KR20150120750A

KR20150120750A - Lift guide assembly

Info

Publication number: KR20150120750A
Application number: KR1020140046801A
Authority: KR
Inventors: 김동원; 김수웅; 김영현; 정석철; 하윤규
Original assignee: 주성엔지니어링(주)
Priority date: 2014-04-18
Filing date: 2014-04-18
Publication date: 2015-10-28

Abstract

The present invention relates to a lift pin guide assembly which minimizes a friction force between a lift pin and a lift pin guide assembly to prevent damage to the lift pin. Specifically, the lift pin guide assembly according to the present invention guides a vertical movement of a lift pin which lifts a substrate supported on an upper surface of a substrate loading unit by a movement relative to the substrate loading unit, and comprises: a guide main body fixed in the substrate loading unit, and provided with a penetration unit which is disposed therein and through which the lift pin penetrates; and a low friction support unit which is disposed around the penetration unit in the guide main body, and supports a side of the lift pin. A portion or a whole of the low friction support unit is made of a self-lubricating material.

Description

Lift pin guide assembly {LIFT GUIDE ASSEMBLY}

본 발명은 리프트핀 가이드 조립체에 관한 것으로서, 상세하게는 리프트핀과 리프트핀 가이드 조립체 사이의 마찰력을 최소화하여 리프트핀의 파손을 방지하는 리프트핀 가이드 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a lift pin guide assembly, and more particularly, to a lift pin guide assembly that minimizes frictional force between a lift pin and a lift pin guide assembly to prevent breakage of the lift pin.

일반적으로, 리프트 핀은 반응챔버 내에서 서셉터와 로봇암 사이에서 기판이 이송될 수 있도록 서셉터의 안착부에 안착된 기판을 상승시키거나 로봇암에 의해 전달된 기판을 지지 및 하강하여 상기 기판을 서셉터의 안착부에 내려놓는 장치이다. In general, a lift pin lifts a substrate that is seated in the seating portion of the susceptor so that the substrate can be transferred between the susceptor and the robot arm in the reaction chamber, or supports and lowers the substrate transferred by the robot arm, To the seat portion of the susceptor.

이러한, 리프트 핀은 기판의 하부면을 안정적으로 지지하기 위하여 서셉터의 테두리방향으로 및/또는 반경방향으로 복수 개 구비된다.The plurality of lift pins are provided in the radial direction and / or the radial direction of the susceptor in order to stably support the lower surface of the substrate.

도 1a는 종래기술에 따른 기판처리장치에 대한 개략도이고, 도 1b는 종래기술에 따른 서셉터 및 리프트핀 어셈블리에 대한 개략적인 종단면도이고, 도 1c는 종래기술에 따른 리프트핀 어셈블리의 작동상태에 대한 개략적인 종단면도이다.FIG. 1B is a schematic vertical sectional view of a susceptor and a lift pin assembly according to the related art, FIG. 1C is a cross-sectional view of the susceptor and the lift pin assembly according to the prior art, Fig.

도 1a에 도시된 바와 같이, 종래기술에 따른 기판처리장치(10)는 일정한 반응공간이 내부에 형성되며 기판(S)을 출입하기 위한 도어(D)가 측벽에 구비되는 챔버(1)와, 상면에 기판(S)이 안착되며 상기 챔버의 내부에 위치되는 서셉터(3)와, 상기 서셉터(3)에 대해 상하로 이동하는 리프트핀 어셈블리(4)와, 다수의 분사홀을 통해 서셉터의 상부에서 공정가스를 분사하는 가스분배판(2)을 포함한다.1A, a substrate processing apparatus 10 according to the related art includes a chamber 1 having a reaction space formed therein and having a door D for entering and exiting the substrate S, A susceptor 3 having an upper surface on which a substrate S is mounted and positioned inside the chamber, a lift pin assembly 4 moving up and down with respect to the susceptor 3, And a gas distribution plate (2) for injecting a process gas at the top of the susceptor.

도 1b에 도시된 바와 같이, 종래기술에 따른 리프트핀 어셈블리(4)는 기판(S)을 서셉터에 안착시키거나 반출하는데 이용되며, 상단부에 구비되며 직경이 큰 헤드와 상기 헤드의 하부에 연장되며 직경이 작은 몸체를 포함하는 리프트핀과, 상기 리프트핀을 서셉터 내부에서 지지하며 상기 리프트핀의 승강이동을 안내하는 리프트핀 가이드부(5)를 포함한다.1B, the lift pin assembly 4 according to the prior art is used to seat or unload the substrate S to the susceptor, and is provided at the upper end and has a large diameter head, And a lift pin guide portion (5) for supporting the lift pin inside the susceptor and guiding the lift movement of the lift pin.

종래기술에 따른 리프트핀 가이드부(5)는 중앙에 상하로 관통하는 관통홀을 구비하는 관형의 구조체로서, 서셉터의 하부로부터 삽입되어 고정된다. 상기 리프트핀의 상부 및 하부에는 내벽에서 안쪽 방향으로 선접촉부 또는 면접촉부가 각각 형성되어 있는데, 이는 리프트핀 가이드부를 관통하여 승강하는 리프트핀을 상부와 하부에서 고정하여 상기 리프트핀이 최대한 수직상태를 유지시키기 위한 것이다.The lift pin guide portion 5 according to the related art is a tubular structure having a through hole vertically passing through the center thereof, and is inserted and fixed from the lower portion of the susceptor. In the upper and lower portions of the lift pins, a line contact portion or a surface contact portion is formed inwardly from the inner wall. The lift pin is fixed at the upper and lower portions through the lift pin guide portion, .

그러나, 종래기술에 따른 리프트핀 가이드부의 경우, 서셉터 내의 리프트핀이 외부 구동수단에 의하여 승강된 상태에서 로봇이 기판(S)을 챔버 내부로 이동시켜 리프트핀 상부에 올려 놓으면, 서셉터의 열변형과 상기 기판(S)의 하중으로 기판(S)은 도 1c에 도시된 바와 같이 휘어지게 되고, 이로 인해 리프트핀이 기울어지게 된다. 이러한 리프트핀의 기울어짐에 의해 도 1c에서의 원형 표시부분에서 리프트핀이 리프트핀 가이드부를 누르게 되어 리프트핀과 리프트핀 가이드부 사이에서 대각선 방향으로 마찰력이 증가하게 되고, 이 상태에 기판(S)의 언로딩(unloading)을 위해 서셉터가 하강하면, 상기 마찰력에 의해 순간적인 전단력이 발생하여 리프트핀이 부러지는 상황이 발생하는 문제점이 존재하여 왔다.However, in the case of the lift pin guide portion according to the related art, when the robot moves the substrate S into the chamber and places the lift pin on the lift pin in a state where the lift pin in the susceptor is lifted by the external driving means, By the deformation and the load of the substrate S, the substrate S is bent as shown in Fig. 1C, whereby the lift pins are inclined. The inclination of the lift pins causes the lift pins to press the lift pin guide portions in the circular display portion in FIG. 1C, thereby increasing the frictional force in a diagonal direction between the lift pins and the lift pin guide portions. In this state, When the susceptor is lowered for unloading of the lift pin, an instantaneous shearing force is generated by the frictional force and the lift pin is broken.

따라서, 본 발명의 목적은 종래기술의 문제점을 해결하는 리프트핀 가이드 조립체를 제공하는 것이다.It is therefore an object of the present invention to provide a lift pin guide assembly that solves the problems of the prior art.

구체적으로, 본 발명의 목적은 리프트핀 가이드 조립체와 리프트핀 사이의 마찰력을 현저히 감소시킬 수 있는 리프트핀 가이드 조립체를 제공하는 것이다.Specifically, it is an object of the present invention to provide a lift pin guide assembly capable of significantly reducing the frictional force between the lift pin guide assembly and the lift pin.

이를 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명은, 기판안착부와의 상대운동으로 상기 기판안착부의 상부면에 지지되는 기판을 승강시키는 리프트핀의 상하이동을 가이드하는 리프트핀 가이드 조립체로서, 상기 기판안착부의 내부에 고정되고, 내부에 상기 리프트핀이 관통하는 관통부를 구비하는 가이드본체와; 상기 가이드본체의 내부에서 상기 관통부의 둘레에 구비되며, 상기 리프트핀의 측면을 지지하는 저마찰 지지부;를 포함하고, 상기 저마찰 지지부의 일부 또는 전체는 자기윤활성(自己潤滑性) 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 리프트핀 가이드 조립체를 제공할 수 있다.To this end, according to one embodiment of the present invention, there is provided a lift pin guide assembly for guiding up-and-down movement of a lift pin for lifting and lowering a substrate supported on an upper surface of the substrate seating portion by relative movement with a substrate seating portion A guide body fixed to the inside of the substrate seating portion and having a penetration portion through which the lift pin penetrates; And a low friction supporting portion provided around the penetrating portion inside the guide body and supporting a side surface of the lift pin, wherein a part or the whole of the low friction supporting portion is made of a self-lubricating material The lift pin guide assembly according to the present invention can be provided.

또한, 바람직하게는, 상기 저마찰 지지부는 상기 가이드본체의 상부 및 하부 중 적어도 하나 이상에 구비되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the low friction supporting portion is provided on at least one of an upper portion and a lower portion of the guide body.

또한, 바람직하게는, 상기 저마찰 지지부는, 상기 리프트핀의 측면을 지지하면서 회전하는 복수 개의 볼 베어링을 포함하는 것을 특징으로 한다.Preferably, the low friction supporting portion includes a plurality of ball bearings rotating while supporting a side surface of the lift pin.

또한, 바람직하게는, 상기 저마찰 지지부는, 상기 가이드본체의 내부에서 상기 관통구의 둘레에 구비되며 상기 복수 개의 볼베어링을 상기 가이드본체의 외측방향에서 지지하는 외측 케이스와, 상기 외측 케이스보다 상기 가이드본체의 내측방향에 구비되며 상기 복수 개의 볼베어링을 상기 가이드본체의 내측방향에서 지지하는 내측 케이스를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Preferably, the low friction supporting portion includes an outer case provided around the through-hole in the guide body and supporting the plurality of ball bearings in an outer direction of the guide body, And an inner case provided in an inner side of the guide body and supporting the plurality of ball bearings in an inner direction of the guide body.

또한, 바람직하게는, 상기 외측 케이스 및 상기 내측 케이스 중 적어도 하나 이상의 케이스는, 자기윤활성 물질로 구성되는 것을 특징으로 한다.Preferably, at least one of the outer case and the inner case is made of a self-lubricating material.

또한, 바람직하게는, 상기 내측 케이스는, 상기 볼베어링의 일부가 상기 관통부에 노출되어 수용되도록 상기 내측 케이스의 외측면에서부터 상기 내측 케이스의 내측면으로 테이퍼진 형상으로 관통 형성된 복수 개의 지지홈을 구비하는 것을 특징으로 한다.Preferably, the inner case has a plurality of support grooves formed in a tapered shape from an outer side surface of the inner case to an inner side surface of the inner case so that a part of the ball bearing is exposed and accommodated in the penetration portion .

또한, 바람직하게는, 상기 내측 케이스는, 상기 볼베어링의 일부가 상기 관통부에 노출되어 수용되도록 상기 내측 케이스의 외측면에서부터 상기 내측 케이스의 내측면으로 테이퍼진 형상으로 관통 형성된 복수 개의 지지홈과, 상기 복수 개의 지지홈 각각에 돌출 형성된 복수 개의 지지돌기를 구비하는 것을 특징으로 한다.Preferably, the inner case includes a plurality of support grooves formed in a tapered shape from an outer side surface of the inner case to an inner side surface of the inner case so that a part of the ball bearing is exposed and received in the through- And a plurality of support protrusions protruding from each of the plurality of support grooves.

또한, 바람직하게는, 상기 지지돌기는, 종단면이 반구형 또는 원호 형상인 것을 특징으로 한다.Further, preferably, the supporting protrusions are hemispherical or arcuate in longitudinal section.

또한, 바람직하게는, 상기 지지돌기는, 자기윤활성 물질로 구성되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the support protrusions are made of a self-lubricating material.

그리고, 본 발명의 다른 일 실시예에 따르면, 본 발명은, 기판안착부와의 상대운동으로 상기 기판안착부의 상부면에 지지되는 기판을 승강시키는 리프트핀의 상하이동을 가이드하는 리프트핀 가이드 조립체로서, 상기 기판안착부의 내부에 고정되고, 내부에 상기 리프트핀이 관통하는 관통부를 구비하는 가이드본체와; 상기 리프트핀의 측면을 지지하면서 회전하는 복수 개의 볼 베어링과, 상기 가이드본체의 내부에서 상기 관통부의 둘레에 구비되며 상기 복수 개의 볼베어링의 외측 부분을 지지하는 외측 케이스와, 상기 외측 케이스보다 상기 가이드본체의 내측방향에 구비되며 상기 복수 개의 볼베어링의 내측 부분을 지지하는 내측 케이스를 포함하는 저마찰 지지부;를 포함하고, 상기 외측 케이스 및 상기 내측 케이스는 자기윤활성(自己潤滑性) 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 리프트핀 가이드 조립체를 제공할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a lift pin guide assembly for guiding up-and-down movement of a lift pin for lifting and lowering a substrate supported on an upper surface of the substrate seating portion by a relative movement with respect to a substrate seating portion A guide body fixed to the inside of the substrate seating portion and having a penetration portion through which the lift pin penetrates; A plurality of ball bearings rotatable while supporting the side surfaces of the lift pins; an outer case provided around the perforations in the guide body for supporting outer portions of the plurality of ball bearings; And a low friction support portion provided on an inner side of the inner case and supporting an inner portion of the plurality of ball bearings, wherein the outer case and the inner case are made of a self-lubricating material The lift pin guide assembly can be provided.

또한, 바람직하게는, 상기 자기윤활성 물질은 엔지니어링 플라스틱인 것을 특징으로 한다.Preferably, the self-lubricating material is an engineering plastic.

전술한 과제해결수단에 의하면, 본 발명은 리프트핀 가이드 조립체의 적어도 일부분을 자기윤활성 물질로 구성함으로써, 리프트핀 가이드 조립체와 리프트핀 사이의 마찰력을 현저히 감소시킬 수 있다. According to the above-mentioned problem solving means, the present invention can significantly reduce the frictional force between the lift pin guide assembly and the lift pin by configuring at least a portion of the lift pin guide assembly with a self-lubricating material.

이로 인해, 본 발명은 리프트핀이 기판의 하중에 의해 일측 방향으로 기울어진 상태에서 리프트핀과 기판안착부 사이의 상대 상하이동이 발생하더라도, 리프트핀과 리프트핀 가이드 조립체 사이의 접촉 마찰력이 현저히 감소되므로 리프트핀이 파손되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 리프트핀의 승강이동을 보다 원활하게 유도할 수 있다.Therefore, even if the lift pin is tilted in one direction by the load of the substrate, the relative frictional force between the lift pin and the lift pin guide assembly is significantly reduced It is possible to prevent the lift pin from being broken and also to move the lift pin up and down more smoothly.

게다가, 본 발명은 리프트핀의 승강이동이 원활히 이루어지도록 하여 리프트핀의 헤드부에 의해 지지되는 기판을 안전하게 승강이동시킬 수 있고, 그 결과 기판의 승강이동시 기판을 안전하게 보호할 수 있다. Further, according to the present invention, the lifting and lowering movement of the lift pin can be performed smoothly, and the substrate supported by the head portion of the lift pin can be safely lifted and moved. As a result, the substrate can be safely protected simultaneously with lifting and lowering of the substrate.

도 1a는 종래기술에 따른 기판처리장치에 대한 개략도이고,
도 1b는 종래기술에 따른 서셉터 및 리프트핀 어셈블리에 대한 개략적인 종단면도이고,
도 1c는 종래기술에 따른 리프트핀 어셈블리의 작동상태에 대한 개략적인 종단면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 기판안착부 및 리프트핀 가이드 조립체에 대한 개략적인 종단면도이고,
도 3은 본 발명에 따른 기판안착부 및 리프트핀 가이드 조립체에 대한 개략적인 절개 사시도이고,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 저마찰 지지부에 대한 개략적인 분해 사시도이고,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 저마찰 지지부에 대한 도 3의 A-A선에 따른 개략적인 횡단면도이고,
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 저마찰 지지부에 대한 개략적인 분해 사시도이고,
도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 저마찰 지지부에 대한 도 3의 A-A선에 따른 개략적인 횡단면도이고,
도 8은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 저마찰 지지부에 대한 도 3의 B-B선에 따른 개략적인 종단면도이다.FIG. 1A is a schematic view of a conventional substrate processing apparatus,
1B is a schematic vertical cross-sectional view of a susceptor and a lift pin assembly according to the prior art,
1C is a schematic longitudinal sectional view of an operation state of a lift pin assembly according to the prior art,
2 is a schematic vertical cross-sectional view of a substrate seating portion and a lift pin guide assembly according to the present invention,
3 is a schematic cut-away perspective view of a substrate seating portion and a lift pin guide assembly according to the present invention,
Figure 4 is a schematic exploded perspective view of a low friction support according to an embodiment of the present invention,
Figure 5 is a schematic cross-sectional view along the line AA of Figure 3 for a low friction support according to an embodiment of the present invention,
6 is a schematic exploded perspective view of a low friction support according to another embodiment of the present invention,
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view taken along line AA of FIG. 3 for a low friction support according to another embodiment of the present invention,
FIG. 8 is a schematic longitudinal sectional view of the low friction support according to another embodiment of the present invention, taken along line BB of FIG. 3. FIG.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 설명하기로 한다. 첨부된 도면들에서 구성에 표기된 도면번호는 다른 도면에서도 동일한 구성을 표기할 때에 가능한 한 동일한 도면번호를 사용하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지의 기능 또는 공지의 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고 도면에 제시된 어떤 특징들은 설명의 용이함을 위해 확대 또는 축소 또는 단순화된 것이고, 도면 및 그 구성요소들이 반드시 적절한 비율로 도시되어 있지는 않다. 그러나 당업자라면 이러한 상세 사항들을 쉽게 이해할 것이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. It should be noted that the drawings denoted by the same reference numerals in the drawings denote the same reference numerals whenever possible, in other drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. And certain features shown in the drawings are to be enlarged or reduced or simplified for ease of explanation, and the drawings and their components are not necessarily drawn to scale. However, those skilled in the art will readily understand these details.

참고로, 내측방향, 내측면, 내측부분이란 리프트핀 가이드 조립체의 중심을 향하는 방향, 면, 부분을 의미하고, 외측방향, 외측면, 외측부분이란 리프트핀 가이드 조립체의 중심으로부터 멀어지는 방향, 면, 부분을 의미한다.The outer direction, the outer side, and the outer portion mean a direction away from the center of the lift pin guide assembly, a direction away from the center of the lift pin guide assembly, .

도 2는 본 발명에 따른 기판안착부(100) 및 리프트핀 가이드 조립체(300)에 대한 개략적인 종단면도이다. 2 is a schematic longitudinal cross-sectional view of a substrate seating portion 100 and a lift pin guide assembly 300 in accordance with the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판안착부(100)는 기판(S)처리장치의 반응챔버 내부에서 기판(S)이 안착되는 부분으로서, 복수 개의 리프트핀(200) 및 상기 복수 개의 리프트핀(200)을 지지 및 안내하는 복수 개의 리프트핀 가이드 조립체(300)를 포함한다.2, a substrate seating part 100 according to the present invention is a part where a substrate S is seated inside a reaction chamber of a substrate S processing apparatus, and includes a plurality of lift pins 200 and a plurality of And a plurality of lift pin guide assemblies 300 for supporting and guiding the lift pins 200.

상기 기판안착부(100)는 복수 개의 관통구를 포함한다. 상기 복수 개의 관통구는 상기 리프트핀(200)의 승강경로를 한정하고 동시에 상기 리프트핀 가이드 조립체(300)의 설치공간을 제공한다. 상기 복수 개의 관통구는 상기 기판안착부(100)의 평면도를 기준으로 원주방향으로 및/또는 반경방향으로 배치된다. 마찬가지로, 상기 복수 개의 리프트핀(200) 및 상기 복수 개의 리프트핀(200) 가이드 조립체 또한 상기 기판안착부(100)의 평면도를 기준으로 원주방향으로 및/또는 반경방향으로 배치된다. 이로 인해, 복수 개의 리프트핀(200)은 기판(S)의 하부면을 지지할 때 기판(S)의 하부면 전체에 걸쳐 균일한 지지력으로 상기 기판(S)을 지지할 수 있다.The substrate seating part 100 includes a plurality of through-holes. The plurality of through-holes define a lifting path of the lift pins 200 and provide an installation space for the lift pin guide assemblies 300. The plurality of through-holes are arranged in a circumferential direction and / or a radial direction with reference to a plan view of the substrate seating portion 100. Similarly, the plurality of lift pins 200 and the plurality of lift pin 200 guide assemblies are also disposed circumferentially and / or radially with respect to the top view of the substrate seating 100. The plurality of lift pins 200 can support the substrate S with a uniform supporting force over the entire lower surface of the substrate S when the lower surface of the substrate S is supported.

상기 복수 개의 관통구는 상부에서 후술할 리프트핀(200)의 헤드부(210)가 안착되는 안착홈(120)을 구비하고, 하부에서 후술할 리프트핀 가이드 조립체(300)의 일부가 삽입 및 고정되는 설치공간을 포함한다.The plurality of through-holes has a seating groove 120 in which a head portion 210 of a lift pin 200 to be described later is seated, and a portion of a lift pin guide assembly 300, which will be described later, Includes installation space.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 리프트핀(200)은 반응챔버 내부에서 상기 기판안착부(100)에 대해 기판(S)을 상기 기판안착부(100)의 하부면으로부터 들어올리고 내리는 장치로서, 기판(S)이 안착되는 기판안착부(100)에 구비된 관통구를 따라 상하로 이동한다. 2, a lift pin 200 according to the present invention is configured to lift and lower the substrate S from the lower surface of the substrate seating portion 100 with respect to the substrate seating portion 100 within the reaction chamber The substrate S moves up and down along a through hole provided in the substrate seating part 100 on which the substrate S is placed.

상기 리프트핀(200)이 기판(S)을 승강시키는 과정은 상기 리프트핀(200)과 상기 기판안착부(100) 사이의 상대 상하이동에 의해 이루어진다. The process of raising and lowering the substrate S by the lift pins 200 is performed by relative up and down movement between the lift pins 200 and the substrate seating unit 100.

즉, 상기 리프트핀(200)이 반응챔버 내부에 고정되고, 상기 기판안착부(100)가 구동장치(미도시)에 의해 상하로 이동하도록 구성되거나, 또는 상기 기판안착부(100)가 반응챔버 내부에 고정되고, 상기 리프트핀(200)이 구동장치(미도시)에 의해 상하로 이동하도록 구성된다.That is, the lift pin 200 is fixed inside the reaction chamber, and the substrate seating part 100 is configured to move up and down by a driving device (not shown) And is configured such that the lift pins 200 are moved up and down by a driving device (not shown).

상기 리프트핀(200)은, 기판(S)의 하부면에 접촉하는 헤드부(210)와, 상기 헤드부(210)의 하부에 연결되며 상기 헤드부(210)를 지지하는 몸체부(220)를 포함한다.The lift pin 200 includes a head portion 210 contacting the lower surface of the substrate S and a body portion 220 connected to a lower portion of the head portion 210 and supporting the head portion 210, .

상기 헤드부(210)는 상기 몸체부(220)에 비해 상대적으로 큰 직경을 가지며, 상부면에서 기판(S)의 하부면을 지지하고, 상기 기판안착부(100)의 안착홈(120)에 의해 리프트핀(200)의 헤드부(210)의 하부면이 걸려 하부이동거리가 제한된다. The head part 210 has a relatively large diameter as compared to the body part 220 and supports the lower surface of the substrate S on the upper surface thereof and supports the lower surface of the substrate S on the seating groove 120 of the substrate seating part 100 The lower surface of the head portion 210 of the lift pin 200 is caught by the lower surface of the lift pin 200 to limit the movement distance of the lower portion.

바람직하게는, 상기 헤드부(210)의 상부면의 테두리(211)는 라운딩 가공되거나, 또는 챔퍼링(chamfering) 가공되어 있을 수 있다. 이러한 테두리 형상으로 인해, 상기 리프트핀(200)이 기판(S)의 하부면을 지지하기 위하여 상승할 때, 리프트핀(200)의 테두리와 기판(S)의 하부면이 충돌되는 것을 방지할 수 있어 기판(S)의 승강시 기판(S)의 손상을 최소화할 수 있다.Preferably, the rim 211 of the upper surface of the head portion 210 may be rounded or chamfered. This shape of the rim prevents the lower surface of the substrate S from colliding with the rim of the lift pin 200 when the lift pin 200 is lifted to support the lower surface of the substrate S So that the damage of the substrate S when the substrate S is moved up and down can be minimized.

상기 몸체부(220)는 상기 헤드부(210)에 비해 상대적으로 작은 직경을 가지며, 상기 헤드부(210)의 하부면에 일체형으로 연장된다. 상기 몸체부(220)는 상기 헤드부(210)의 하부면을 지지하면서 동시에 구동장치(미도시)로부터 승강 구동력을 전달받는 부분이다.The body 220 has a relatively smaller diameter than the head 210 and extends integrally with the lower surface of the head 210. The body portion 220 is a portion that supports the lower surface of the head portion 210 and simultaneously receives a lift driving force from a driving device (not shown).

상기 몸체부(220)는 상기 리프트핀 가이드 조립체(300)에 의해 측면방향으로 지지되어 수직상태를 유지한다.The body portion 220 is supported in the lateral direction by the lift pin guide assembly 300 to maintain a vertical state.

바람직하게는, 상기 리프트핀(200)은 세라믹으로 구성될 수 있다.Preferably, the lift pins 200 may be made of ceramic.

상기 리프트핀 가이드 조립체(300)는 리프트핀(200)의 몸체부(220)를 측면방향 또는 반경방향에서 지지하고 동시에 리프트핀(200)의 상하이동경로를 안정적으로 한정하여 상기 리프트핀(200)의 상하이동을 가이드하는 장치이다.The lift pin guide assembly 300 supports the body portion 220 of the lift pin 200 in the lateral direction or the radial direction and stably limits the upper and lower path of the lift pin 200, To guide the up and down movement of the apparatus.

상기 리프트핀 가이드 조립체(300)는 기판안착부(100)의 하부에서 소정 깊이 상부 두께방향으로 관통 형성된 설치공간 내에 삽입 및 고정된다.The lift pin guide assembly 300 is inserted and fixed into a mounting space formed in a lower portion of the substrate seating portion 100 and passing through the upper portion in a predetermined thickness direction.

상기 리프트핀 가이드 조립체(300)에 대해서는, 이하에서 도면을 참고하여 보다 구체적으로 기술하기로 한다.The lift pin guide assembly 300 will be described in more detail with reference to the drawings.

도 3은 본 발명에 따른 기판안착부(100) 및 리프트핀 가이드 조립체(300)에 대한 개략적인 절개 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 저마찰 지지부(330)에 대한 개략적인 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 저마찰 지지부(330)에 대한 도 3의 A-A선에 따른 개략적인 횡단면도이다.3 is a schematic perspective view of a substrate seating part 100 and a lift pin guide assembly 300 according to the present invention. FIG. 4 is a schematic perspective view of a low friction supporting part 330 according to an embodiment of the present invention. 5 is a schematic cross-sectional view according to line AA of FIG. 3 for a low friction support 330 according to an embodiment of the present invention.

도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트핀 가이드 조립체(300)는, 기판안착부(100)와의 상대운동으로 상기 기판안착부(100)의 상부면에 지지되는 기판(S)을 승강시키는 리프트핀(200)의 상하이동을 가이드하는 장치로서, 가이드본체(310)와 저마찰 지지부(330)를 포함한다.3 to 5, a lift pin guide assembly 300 according to an embodiment of the present invention is mounted on the upper surface of the substrate seating portion 100 by relative movement with the substrate seating portion 100, Which guides the up and down movement of the lift pins 200 for moving the substrate S up and down.

상기 가이드본체(310)는 상기 기판안착부(100)의 내부에 고정된다. 구체적으로, 상기 가이드본체(310)는 상기 기판안착부(100)의 하부에서 상부방향으로 일정 깊이 관통 형성된 설치공간 내에 안착 및 고정된다. The guide body 310 is fixed to the inside of the substrate seating part 100. Specifically, the guide body 310 is seated and fixed in an installation space formed through the substrate seating part 100 at a predetermined depth in the upward direction.

상기 가이드본체(310)는 상부 및 하부가 개방되어 있고, 내부에는 상기 리프트핀(200)이 관통하는 관통부를 구비한다. 상기 관통부의 직경은 상기 리프트핀(200)의 몸체부(220)의 직경보다 크다.The guide body 310 has upper and lower openings and a penetration portion through which the lift pins 200 pass. The diameter of the penetration portion is larger than the diameter of the body portion 220 of the lift pin 200.

상기 가이드본체(310)의 상부 및 하부의 내측면에는, 즉 상기 관통부의 둘레에는, 상기 저마찰 지지부(330)가 수용 및 안착되는 수용홈이 구비된다. 즉, 상기 저마찰 지지부(330)는 상기 수용홈 내에 안착 및 결합된다.In the upper and lower inner surfaces of the guide body 310, that is, around the perforations, receiving grooves for receiving and seating the low friction supporting portions 330 are provided. That is, the low friction supporting portion 330 is seated and engaged in the receiving groove.

상기 가이드본체(310)의 상부 및 하부에는, 덮개부(320)가 구비된다. 상기 덮개부(320)는, 상기 저마찰 지지부(330)를 상기 수용홈에 고정시킨 후 상기 가이드본체(310)의 개방된 상부단부 및 하부단부를 덮도록 상기 가이드본체(310)에 고정된다.The cover body 320 is provided on the upper and lower portions of the guide body 310. The lid 320 is fixed to the guide body 310 so as to cover the opened upper end and lower end of the guide body 310 after fixing the low friction support part 330 to the receiving groove.

또한, 상기 덮개부(320)는 상기 가이드본체(310)의 상부 및 하부에 안착되는 저마찰 지지부(330)가 상기 가이드본체(310) 내부에 구속 및 고정하는 역할도 한다.The lid 320 also restrains and fixes the low frictional support portion 330, which is seated on the upper and lower portions of the guide body 310, inside the guide body 310.

상기 가이드본체(310)의 중간부분의 외주면에는 외측방향으로 돌출된 단턱부(311)가 구비된다. 상기 단턱부(311)는 상기 가이드본체(310)가 기판안착부(100)에 삽입 및 고정될 때 기판안착부(100)의 단턱홈에 맞물려 상기 가이드본체(310)의 상부방향 이동거리를 제한한다.A step portion 311 protruding outward is provided on the outer peripheral surface of the intermediate portion of the guide main body 310. The stepped portion 311 is engaged with the stepped groove of the substrate seating portion 100 when the guide body 310 is inserted into and fixed to the substrate seating portion 100 to limit the moving distance of the guide body 310 in the upward direction. do.

바람직하게는, 상기 가이드본체(310)는 세라믹으로 구성될 수 있다.Preferably, the guide body 310 may be formed of ceramic.

상기 저마찰 지지부(330)는 상기 가이드본체(310)의 내부에서 상기 기판안착부(100)의 관통부의 둘레에 구비되며, 상기 리프트핀(200)의 측면을 지지하도록 구성된다. The low friction support portion 330 is provided around the penetration portion of the substrate seating portion 100 in the guide body 310 and is configured to support the side surface of the lift pin 200.

그리고, 전술한 바에서는 상기 저마찰 지지부(330)가 상기 가이드본체(310)의 상부 및 하부 모두에 구비되는 것에 대해 기술하였으나, 본 발명은 이에 제한되지 않으며, 상기 저마찰 지지부(330)는 상기 가이드본체(310)의 상부 및 하부 중 적어도 하나에만 구비될 수도 있다.In the above description, the low friction supporting portion 330 is provided on both the upper portion and the lower portion of the guide body 310. However, the present invention is not limited to this, But may be provided only on at least one of the upper and lower portions of the guide body 310. [

상기 저마찰 지지부(330)는 상기 저마찰 지지부(330)의 일부 또는 전체가 자기윤활성 물질(自己潤滑性, self-lubricative material)로 구성된다. 여기서, 자기윤활성 물질이란 외부 윤활제를 공급하지 않더라도 마찰 저항이 매주 작은 재료를 의미한다.The low friction supporting portion 330 may be formed of a self-lubricating material such that a part or the whole of the low friction supporting portion 330 is a self-lubricating material. Here, the self-lubricating material means a material whose friction resistance is small every week even if no external lubricant is supplied.

바람직하게는, 상기 자기윤활성 물질은 4불화 에틸렌 또는 흑연일 수 있다.Preferably, the self-lubricating material may be tetrafluoroethylene or graphite.

더욱 바람직하게는, 상기 자기윤활성 물질은 엔지니어링 플라스틱(engineering plastic)일 수 있다. 이는, 리프트핀 가이드 조립체(300)의 경우 고온 상태 및 격렬한 화학반응 진행 상태의 반응챔버 내에 위치하므로, 내열성, 내마모성, 내약품성이 뛰어난 엔지니어링 플라스틱이 최적이기 때문이다.More preferably, the self-lubricating material may be an engineering plastic. This is because, in the case of the lift pin guide assembly 300, the engineering plastic having excellent heat resistance, abrasion resistance, and chemical resistance is optimal because it is located in the reaction chamber in a high temperature state and a vigorous chemical reaction progress state.

상기 저마찰 지지부(330)는, 상기 리프트핀(200)의 측면에 직접 접촉하여 상기 리프트핀(200)의 측면을 지지하는 복수 개의 볼베어링(335)과, 상기 가이드본체(310)와 리프트핀(200) 사이에 상기 볼베어링(335)을 구속하는 외측 케이스(331) 및 내측 케이스(333)를 포함한다.The low friction support portion 330 includes a plurality of ball bearings 335 that directly contact the side surface of the lift pin 200 to support the side surface of the lift pin 200, And an outer case 331 and an inner case 333 for restraining the ball bearing 335 between the inner case 331 and the inner case 331. [

상기 복수 개의 볼베어링(335)은 상기 가이드본체(310)의 상부 및 하부 중 적어도 하나 이상의 내부에서 상기 리프트핀(200)의 몸체부(220)의 외주면을 반경방향으로 또는 측면방향으로 지지하도록 상기 관통부의 둘레에 원주방향으로 배치된다.The plurality of ball bearings 335 may be formed in at least one of an upper portion and a lower portion of the guide body 310 so as to support the outer peripheral surface of the body portion 220 of the lift pin 200 radially or laterally, And is disposed circumferentially around the portion.

바람직하게는, 상기 복수 개의 볼베어링(335)은 상기 가이드본체(310)의 상부 및 하부 각각의 내부에서 짝수 개 구비되고, 짝수 개의 볼베어링(335)은 쌍을 이루어 서로 마주하도록 배치될 수 있다. 이는, 리프트핀(200)의 몸체부(220)의 측면 지지력을 보다 더 안정화하기 위함이다.Preferably, the plurality of ball bearings 335 are provided in the upper and lower portions of the guide body 310, respectively, and the even number of ball bearings 335 may be arranged to face each other in pairs. This is to further stabilize the lateral support force of the body portion 220 of the lift pin 200. [

상기 볼베어링(335)은 상기 리프트핀(200)의 측면을 지지하면서 동시에 상기 외측 케이스(331) 및 상기 내측 케이스(333)에 대해 회전하도록 구성된다. 따라서, 리프트핀(200)과 리프트핀 가이드 조립체(300)가 접촉한 상태에서 리프트핀(200)이 상하로 이동하는 경우에 리프트핀(200)과 리프트핀 가이드 조립체(300) 사이의 마찰력을 상당히 감소시킬 수 있다.The ball bearing 335 is configured to rotate with respect to the outer case 331 and the inner case 333 while supporting the side surface of the lift pin 200. When the lift pin 200 moves up and down with the lift pin 200 in contact with the lift pin guide assembly 300 the frictional force between the lift pin 200 and the lift pin guide assembly 300 is significantly reduced .

상기 외측 케이스(331)는 상기 가이드본체(310)의 수용홈에 안착되며, 전체적으로 중공형 원통기둥 형상을 구비한다. The outer case 331 is seated in the receiving groove of the guide body 310 and has a hollow cylindrical shape as a whole.

그리고, 상기 외측 케이스(331)는 상기 가이드본체(310)의 내부에서 상기 관통부의 둘레에 구비되며 상기 복수 개의 볼베어링(335)의 외측 부분을 지지한다. 즉, 상기 외측 케이스(331)는 상기 복수 개의 볼베어링(335)이 외측방향으로 이탈하는 것을 방지한다.The outer case 331 is provided around the through-hole in the guide body 310 and supports an outer portion of the plurality of ball bearings 335. That is, the outer case 331 prevents the plurality of ball bearings 335 from deviating outward.

또한, 상기 내측 케이스(333)는 상기 외측 케이스(331)보다 상기 가이드본체(310)의 내측방향에 구비되며 상기 복수 개의 볼베어링(335)의 내측 부분을 지지하도록 구성된다. 상기 내측 케이스(333)는 전체적으로 중공 원통기둥 형상을 구비하고, 상기 외측 케이스(331)의 외경보다 작은 외경을 구비한다.The inner case 333 is provided in an inner direction of the guide body 310 than the outer case 331 and is configured to support an inner portion of the plurality of ball bearings 335. The inner case 333 has a hollow cylindrical shape as a whole, and has an outer diameter smaller than the outer diameter of the outer case 331.

상기 내측 케이스(333)는 복수 개의 지지홈(333a)을 구비한다. The inner case 333 has a plurality of support grooves 333a.

상기 복수 개의 지지홈(333a)은 상기 내측 케이스(333)의 중간부분에서 원주방향으로 소정 각도 이격되게 구비된다. 그리고, 상기 복수 개의 지지홈(333a)은 상기 볼베어링(335)의 일부가 상기 가이드본체(310)의 관통부에 노출되어 수용되도록 상기 내측 케이스(333)의 외측면에서부터 상기 내측 케이스(333)의 내측면으로 테이퍼진 형상으로 관통 형성된다.The plurality of support grooves 333a are provided at a predetermined angle in the circumferential direction at an intermediate portion of the inner case 333. The plurality of support grooves 333a are formed on the outer circumferential surface of the inner case 333 so that a part of the ball bearing 335 is exposed to the penetration portion of the guide body 310, And is formed in a tapered shape on the inner side.

이로 인해, 상기 볼베어링(335)은 외측방향에서 외측 케이스(331)의 내측면에 점 접촉되고, 내측방향에서 내측 케이스(333)의 지지홈(333a)의 표면에 선 접촉되어 지지된다.The ball bearing 335 is in point contact with the inner surface of the outer case 331 in the outer direction and in line contact with the surface of the support groove 333a in the inner case 333 in the inner direction.

또한, 바람직하게는, 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 지지홈(333a)은 상기 볼베어링(335)의 중심(O)이 상기 내측 케이스(333)의 외측면(333c)보다 외측방향에 위치된 상태에서 상기 볼베어링(335)을 지지하도록 구성될 수 있다. 이로 인해, 볼베어링의 마모 등으로 볼베어링을 교체할 때 볼베어링을 내측 케이스의 지지홈에서 용이하게 분리할 수 있으므로, 볼베어링 교체 용이성을 향상시킬 수 있다.3 and 5, the support groove 333a is formed such that the center O of the ball bearing 335 is positioned outside the outer surface 333c of the inner case 333 To support the ball bearing (335). Therefore, when replacing the ball bearing by abrasion of the ball bearing or the like, it is possible to easily separate the ball bearing from the support groove of the inner case, so that the ease of replacement of the ball bearing can be improved.

상기 외측 케이스(331) 및 상기 내측 케이스(333)는 모두 자기윤활성 물질로 구성되거나, 또는 상기 외측 케이스(331)만 자기윤활성 물질로 구성되거나, 또는 상기 내측 케이스(333)만 자기윤활성 물질로 구성될 수 있다. 물론, 상기 내측 케이스(333)가 자기윤활성 물질로 구성되는 경우, 상기 지지홈(333a)의 표면 또한 자기윤활성 물질로 구성된다.The outer case 331 and the inner case 333 may be made of a self lubricating material or only the outer case 331 may be made of a self lubricating material or only the inner case 333 may be made of a self- . Of course, when the inner case 333 is made of a self-lubricating material, the surface of the support groove 333a is also made of a self-lubricating material.

이렇게, 외측 케이스(331) 및 내측 케이스(333) 중 적어도 하나 이상의 케이스를 자기윤활성 물질로 구성함으로써, 외측 케이스(331)와 내측 케이스(333) 및 볼베어링(335) 사이의 마찰력을 현저히 감소시킬 수 있고, 이로 인해 외측 케이스(331)와 내측 케이스(333) 사이에서 상기 볼베어링(335)이 보다 원활하게 회전할 수 있어 결과적으로 리프트핀(200)과 리프트핀 가이드 조립체(300) 사이의 마찰력을 현저히 감소시킬 수 있다.The friction between the outer case 331 and the inner case 333 and the ball bearing 335 can be significantly reduced by constituting at least one of the outer case 331 and the inner case 333 with a self- The ball bearing 335 can rotate more smoothly between the outer case 331 and the inner case 333 and consequently the frictional force between the lift pin 200 and the lift pin guide assembly 300 can be significantly .

도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 저마찰 지지부(330)에 대한 개략적인 분해 사시도이고, 도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 저마찰 지지부(330)에 대한 도 3의 A-A선에 따른 개략적인 횡단면도이고, 도 8은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 저마찰 지지부(330)에 대한 도 3의 B-B선에 따른 개략적인 종단면도이다.FIG. 6 is a schematic exploded perspective view of a low friction support 330 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a cross-sectional view of a low friction support 330 according to another embodiment of the present invention, FIG. 8 is a schematic longitudinal sectional view taken along the line BB of FIG. 3 for a low friction support portion 330 according to another embodiment of the present invention.

도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 저마찰 지지부(330)는 전술한 도 4 및 도 5에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 저마찰 지지부(330)에 포함되는 기술적 특징 및 구성요소들을 모두 포함한다.6 to 8, the low friction supporting part 330 according to another embodiment of the present invention includes the low friction supporting part 330 (see FIG. 4) and the low friction supporting part 330 according to the embodiment of the present invention And the like.

본 실시예에서, 상기 저마찰 지지부(330)는, 볼베어링(335)과, 내측 케이스(333) 및 외측 케이스(331)를 포함하고, 상기 내측 케이스(333)는 복수 개의 지지홈(333a)과, 상기 복수 개의 지지홈(333a) 각각에 구비되는 복수 개의 지지돌기(333b)를 포함한다. The low friction support portion 330 includes a ball bearing 335 and an inner case 333 and an outer case 331. The inner case 333 includes a plurality of support grooves 333a, And a plurality of support protrusions 333b provided in each of the plurality of support grooves 333a.

여기서, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 지지홈(333a)은 상기 볼베어링(335)의 중심(O)이 상기 내측 케이스(333)의 외측면(333c)보다 외측방향에 위치된 상태에서 상기 볼베어링(335)을 지지하도록 구성된다. 이로 인해, 볼베어링의 마모 등으로 볼베어링을 교체할 때 볼베어링을 내측 케이스의 지지홈에서 용이하게 분리할 수 있으므로, 볼베어링 교체 용이성을 향상시킬 수 있다.7 and 8, the support groove 333a is formed in a state in which the center O of the ball bearing 335 is positioned outside the outer surface 333c of the inner case 333 To support the ball bearing (335). Therefore, when replacing the ball bearing by abrasion of the ball bearing or the like, it is possible to easily separate the ball bearing from the support groove of the inner case, so that the ease of replacement of the ball bearing can be improved.

그리고, 상기 복수 개의 지지돌기(333b)는 상기 지지홈(333a) 각각에 돌출 형성되어 있다. The plurality of support protrusions 333b protrude from the support grooves 333a.

그리고, 상기 복수 개의 지지돌기(333b)는 상기 지지홈(333a) 각각의 표면에서 지지홈(333a)의 원주방향으로 소정 각도 이격되게 배치된다. The plurality of support protrusions 333b are disposed on the surface of each of the support grooves 333a at a predetermined angle in the circumferential direction of the support groove 333a.

상기 지지돌기(333b)는 바람직하게는 반구형 단면 또는 원호 형상 단면을 구비한다. 즉, 상기 지지돌기(333b)는 반구형 형상 또는 이와 유사한 형상을 구비한다.The support protrusion 333b preferably has a hemispherical cross section or an arcuate cross section. That is, the support protrusion 333b has a hemispherical shape or a similar shape.

이렇게, 상기 지지돌기(333b)가 구비됨으로써, 상기 볼베어링(335)은 외측방향에서 외측 케이스(331)의 내측면에 점 접촉되고, 내측방향에서 내측 케이스(333)의 지지돌기(333b)와 점 접촉되어 지지된다. 즉, 상기 지지돌기(333b)가 구비됨으로써, 상기 볼베어링(335)은 외측 케이스(331) 및 내측 케이스(333) 모두에서 점 접촉 방식으로 지지될 수 있어, 볼베어링(335)에 대한 지지마찰력을 현저히 감소시킬 수 있다.The support protrusion 333b of the inner case 333 and the inner protrusion 333b of the inner case 333 are in point contact with the inner side surface of the outer case 331 from the outer side, . That is, since the support protrusions 333b are provided, the ball bearings 335 can be supported in a point-contact manner at both the outer case 331 and the inner case 333, so that the supporting frictional force against the ball bearings 335 can be significantly .

바람직하게는, 상기 지지돌기(333b)는 내측 케이스(333)의 연장부분으로서, 자기윤활성 물질로 구성될 수 있다. 이로 인해, 지지돌기(333b)로 인한 볼베어링(335)에 대한 지지마찰력을 보다 더 현저히 감소시킬 수 있다.Preferably, the support protrusion 333b is an extension of the inner case 333 and may be made of a self-lubricating material. This makes it possible to further reduce the supporting frictional force with respect to the ball bearing 335 due to the support protrusion 333b.

전술한 바에 의하면, 본 발명은 리프트핀 가이드 조립체의 적어도 일부분을 자기윤활성 물질로 구성함으로써, 리프트핀 가이드 조립체와 리프트핀 사이의 마찰력을 현저히 감소시킬 수 있다. As described above, the present invention can significantly reduce the frictional force between the lift pin guide assembly and the lift pin by configuring at least a portion of the lift pin guide assembly with a self-lubricating material.

이상에서 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위해 구체적인 실시 예로 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기와 같이 구체적인 실시 예와 동일한 구성 및 작용에만 국한되지 않고, 여러가지 변형이 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 실시될 수 있다. 따라서, 그와 같은 변형도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주해야 하며, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의해 결정되어야 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, . &Lt; / RTI > Accordingly, such modifications are deemed to be within the scope of the present invention, and the scope of the present invention should be determined by the following claims.

100 : 기판안착부
200 : 리프트핀
210 : 헤드부
220 : 몸체부
300 : 리프트핀 가이드 조립체
310 : 가이드본체
311 : 단턱부
320 : 덮개부
330 : 저마찰 지지부
331 : 외측 케이스
333 : 내측 케이스
335 : 볼베어링100:
200: Lift pin
210:
220:
300: Lift pin guide assembly
310: Guide body
311:
320:
330: Low friction support
331: outer case
333: Inner case
335: Ball Bearing

Claims

A lift pin guide assembly for guiding up-and-down movement of a lift pin for lifting and lowering a substrate supported on an upper surface of a substrate seating portion by relative movement with a substrate seating portion,
A guide body fixed to the inside of the substrate seating part and having a penetration part through which the lift pin passes;
And a low friction supporting portion provided around the penetrating portion inside the guide body and supporting a side surface of the lift pin,
Wherein a portion or the entirety of the low friction support portion is made of a self-lubricating material.

The method according to claim 1,
Wherein the low friction support portion is provided on at least one of an upper portion and a lower portion of the guide body.

The method according to claim 1,
Wherein the low friction support portion includes a plurality of ball bearings rotating while supporting a side surface of the lift pin.

The method of claim 3,
The low friction supporting portion may include an outer case provided around the through hole in the guide body and supporting the plurality of ball bearings in the outer direction of the guide body, Further comprising an inner case for supporting the plurality of ball bearings in an inner direction of the guide body.

5. The method of claim 4,
Wherein at least one of the outer case and the inner case is made of a self-lubricating material.

The method according to claim 4 or 5,
Wherein the inner case has a plurality of support grooves formed in a tapered shape from an outer side surface of the inner case to an inner side surface of the inner case so that a part of the ball bearing is exposed and received in the penetration portion. Pin guide assembly.

The method according to claim 4 or 5,
The inner case includes a plurality of support grooves formed in a tapered shape from an outer side surface of the inner case to an inner side surface of the inner case so that a part of the ball bearing is exposed and accommodated in the penetration portion, And a plurality of support protrusions protruded from the guide pins.

8. The method of claim 7,
Wherein the support projection has a hemispherical or arcuate profile in its longitudinal section.

8. The method of claim 7,
Wherein the support protrusions are made of a self-lubricating material.

A lift pin guide assembly for guiding up-and-down movement of a lift pin for lifting and lowering a substrate supported on an upper surface of a substrate seating portion by relative movement with a substrate seating portion,
A guide body fixed to the inside of the substrate seating part and having a penetration part through which the lift pin passes;
A plurality of ball bearings rotatable while supporting the side surfaces of the lift pins; an outer case provided around the perforations in the guide body for supporting outer portions of the plurality of ball bearings; And a low friction supporting portion provided on an inner side of the plurality of ball bearings and including an inner case supporting an inner portion of the plurality of ball bearings,
Wherein the outer case and the inner case are made of a self-lubricating material.

11. The method of claim 10,
Wherein the self-lubricating material is an engineering plastic.