KR102239477B1 - Lift pin assembly - Google Patents

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Abstract

본 발명은 서셉터의 내부에 형성된 장착공에 결합되어 기판을 하측에서 지지하는 리프트 핀이 승강하는 것을 안내하는 가이드부 및 상기 가이드부의 내부에서 상측 또는 하측에 각각 복수개 결합되어 상기 리프트 핀과 접촉하는 볼트랜스퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리를 제공한다.The present invention is coupled to a mounting hole formed in the interior of the susceptor guide portion for guiding the lifting of the lift pin supporting the substrate from the lower side, and a plurality of the guide portion is coupled to the upper or lower side of the inside of the guide portion, respectively, in contact with the lift pin. It provides a lift pin support assembly comprising a bolt transfer unit.

Description

리프트 핀 지지 어셈블리{LIFT PIN ASSEMBLY} Lift pin support assembly {LIFT PIN ASSEMBLY}

본 발명은 리프트 핀 지지 어셈블리에 관한 것으로서, 리프트 핀의 승강작동에 발생하는 마찰저항을 감소시킬 수 있도록 서셉터 상에 구비되는 리프트 핀 지지 어셈블리에 관한 것이다.The present invention relates to a lift pin support assembly, and relates to a lift pin support assembly provided on a susceptor so as to reduce frictional resistance generated in an elevating operation of the lift pin.

일반적으로, 리프트 핀은 반응챔버 내에서 서셉터와 로봇암 사이에서 기판이 이송될 수 있도록 서셉터의 안착부에 안착된 기판을 상승시키거나 로봇암에 의해 전달된 기판을 지지 또는 승강하여 상기 기판을 설정 높이로 서셉터의 안착부에 승강시키는 장치이다. In general, the lift pin raises the substrate mounted on the seating portion of the susceptor so that the substrate can be transferred between the susceptor and the robot arm in the reaction chamber, or supports or elevates the substrate transferred by the robot arm. It is a device that lifts and lowers the susceptor to a set height.

이러한, 리프트 핀은 기판의 하부면을 안정적으로 지지하기 위하여 서셉터의 테두리방향으로 복수개 구비된다.A plurality of lift pins are provided in the rim direction of the susceptor in order to stably support the lower surface of the substrate.

종래기술에 따른 리프트 핀은 기판의 하부면에 접촉하여 지지하는 헤드부와, 상기 헤드부의 하부에 연결되는 연결부와, 상기 연결부의 하부에 연결되어 상기 헤드부를 승강시키는 몸체부를 포함한다.A lift pin according to the prior art includes a head portion for contacting and supporting a lower surface of a substrate, a connection portion connected to a lower portion of the head portion, and a body portion connected to a lower portion of the connection portion to elevate the head portion.

기판이 안착되는 안착부재는 상기 헤드부를 수용하고 상기 헤드부의 이동을 안내하는 관통공과, 상기 헤드부의 하강을 저지하는 걸림턱을 포함한다.The seating member on which the substrate is mounted includes a through hole for receiving the head portion and guiding the movement of the head portion, and a locking jaw for preventing the head portion from descending.

연결부는 하부단부에는 핀홀이 구비되고, 상기 연결부의 하부단부는 상기 몸체부의 상단부에서 상기 핀홀을 관통하는 볼트와 상기 볼트에 체결되는 너트에 의해 고정된다.The connection part has a pinhole at its lower end, and the lower end of the connection part is fixed by a bolt penetrating the pinhole at the upper end of the body part and a nut fastened to the bolt.

또한 종래기술에 따른 헤드부는 몸체부에 대해 어떠한 회동도 이루어지지 않도록 연결된다. In addition, the head portion according to the prior art is connected so that no rotation is made with respect to the body portion.

이로 인해 종래기술은 넓은 기판(예를 들어, 웨이퍼 또는 유리기판)을 리프트 핀으로 지지할 때 기판의 처짐현상(warpage)으로 인해 기판의 하부면이 헤드부의 지지면에 의해 안정적으로 지지되지 못하고 헤드부의 테두리에 접촉하게 되어 기판에 손상이 발생하는 문제점이 존재한다.For this reason, in the prior art, when supporting a wide substrate (for example, a wafer or a glass substrate) with a lift pin, the lower surface of the substrate cannot be stably supported by the support surface of the head due to the warpage of the substrate. There is a problem that damage to the substrate occurs due to contact with the edge of the negative.

또한, 기판의 처짐현상(warpage)으로 인한 기판과 헤드부의 테두리의 접촉으로 인해 기판의 하중이 리프트 핀에 수평 편하중으로 작용하게 되며, 이러한 수평 편하중으로 인해 리프트 핀에 부하가 걸려 리프트 핀의 수명이 단축되는 문제점이 있다.In addition, due to the contact between the board and the edge of the head due to the warpage of the board, the load of the board acts as a horizontal offset load on the lift pin. There is a shortened problem.

게다가 이러한 편하중으로 인하여 관통공 내부에서 리프트 핀의 끼임현상이 발생하여 결국에는 파손되는 문제점이 있으며, 파손됨과 동시에 기판의 불량으로 연결되는 한계를 여전히 가지고 있다.In addition, due to such an offset load, there is a problem in that the lift pin is pinched inside the through hole, and eventually it is damaged, and there is still a limit of being damaged and at the same time leading to a defect in the substrate.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 리프트 핀의 변형 또는 파손에 의해 지지하고 있던 기판이 손상되는 것을 방지하기 위하여, 리프트 핀의 승강 작동 시 발생하는 마찰력을 감소시키고, 또한 리프트 핀이 승강 운동 중에 파손되는 것을 방지할 수 있는 리프트 핀 지지 어셈블리를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve such a problem, in order to prevent damage to the substrate supported by the deformation or breakage of the lift pin, to reduce the frictional force generated during the lifting operation of the lift pin, and also lift the lift pin An object thereof is to provide a lift pin support assembly capable of preventing breakage during movement.

이와 같은 목적을 수행하기 위한 본 발명은 서셉터의 내부에 형성된 장착공에 결합되어 기판의 하측을 지지하는 리프트 핀이 승강하는 것을 안내하는 가이드부 및 상기 가이드부의 내부에서 상측 또는 하측에 각각 복수개 결합되어 상기 리프트 핀과 접촉하는 볼트랜스퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리를 제공한다.The present invention for accomplishing this purpose is a guide unit that is coupled to a mounting hole formed inside the susceptor to guide the lift pins supporting the lower side of the substrate to move up and down, and a plurality of each coupled to the upper or lower side from the inside of the guide unit. It provides a lift pin support assembly, characterized in that it comprises a bolt transfer part in contact with the lift pin.

상기 리프트 핀 지지 어셈블리는 상기 가이드부의 상측 또는 하측 단부에 각각 결합되어 상기 가이드부 상에서 상기 볼트랜스퍼부를 커버하도록 결합되는 커버부를 더 포함할 수 있다.The lift pin support assembly may further include a cover portion coupled to an upper or lower end of the guide portion to cover the bolt transfer portion on the guide portion.

상기 볼트랜스퍼부는 상기 가이드부에 탈착 가능하도록 결합되는 하우징과, 상기 하우징 내부에 복수개 구비되는 제1베어링과, 상기 제1베어링 각각에 일 측이 접촉하고 상기 하우징에 형성된 통공을 통하여 외부로 돌출되어 상기 리프트 핀의 외주면과 타 측이 접촉하도록 마련되는 제2베어링을 포함할 수 있다.The bolt transfer part is a housing detachably coupled to the guide part, a plurality of first bearings provided inside the housing, and one side of each of the first bearings contacts each other and protrudes outward through a through hole formed in the housing It may include a second bearing provided so that the outer circumferential surface of the lift pin and the other side contact.

상기 가이드부는 상측 및 하측 단부에서 각각 상기 하우징을 탈착 가능하도록 슬라이딩 결합시키는 가이드홈이 형성될 수 있다.Guide grooves may be formed at upper and lower ends of the guide unit to slide and engage the housing so as to be detachable.

상기 제1베어링, 제2베어링 및 리프트 핀은 세라믹 재질로 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the first bearing, the second bearing, and the lift pin are formed of a ceramic material.

상기 볼트랜스퍼부는 상기 가이드부의 상측 일 방향 및 이와 대각선 방향으로 대향하는 상기 가이드부의 하측 타 방향에 배치되어 각각의 상기 제2베어링에 상기 리프트 핀이 접촉하여 운동할 수 있다.The bolt transfer part is disposed in one direction above the guide part and in the other direction below the guide part facing diagonally thereto, so that the lift pin may contact each of the second bearings to move.

상기 커버부는 상기 가이드부 상에 결합된 상기 하우징의 일 측 단부가 삽입되어 고정되도록 형성된 결합홈을 포함할 수 있다.The cover portion may include a coupling groove formed so that one end of the housing coupled to the guide portion is inserted and fixed.

상기 볼트랜스퍼부는 상기 리프트 핀의 서로 다른 높이에서 원주방향을 따라 적어도 2개의 다른 각도로 각각 접촉하도록 배치될 수 있다.The bolt transfer part may be disposed to contact at least two different angles along the circumferential direction at different heights of the lift pin.

또한 본 발명은 반응챔버 내부에서 서셉터 상의 기판을 하측에서 지지하는 리프트 핀; 상기 서셉터의 내부에 형성된 장착공에 결합되어 상기 리프트 핀이 승강 하는 것을 안내하는 가이드부 및 상기 리프트 핀의 서로 다른 높이에서 각각 접촉하는 복수개의 볼트랜스퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리를 제공한다.In addition, the present invention is a lift pin for supporting the substrate on the susceptor from the bottom inside the reaction chamber; A lift pin support assembly comprising a guide portion coupled to a mounting hole formed in the susceptor to guide the lift pin to move up and down, and a plurality of bolt transfer portions contacting each of the lift pins at different heights. Provides.

또한 본 발명은 서셉터 내부에 형성된 장착공에 결합되어 기판의 하측을 지지하는 리프트 핀이 승강하는 것을 안내하는 가이드부; 상기 리프트 핀과 점접촉하는 복수개의 제1부재 및 상기 제1부재와 점접촉하는 복수개의 제2부재를 포함하며, 상기 복수개의 제1부재는 상기 가이드부의 상측 또는 하측에서 각각 수용하고, 상기 복수개의 제2부재는 상기 복수개의 제1부재와 상기 가이드부 사이에 위치하며, 상기 복수개의 제1부재는 상기 리프트 핀과 상기 복수개의 제2부재에 대하여 회전운동이 가능한 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리를 제공한다.In addition, the present invention is coupled to the mounting hole formed inside the susceptor guide portion for guiding the lifting of the lift pin supporting the lower side of the substrate; And a plurality of first members in point contact with the lift pin and a plurality of second members in point contact with the first member, wherein the plurality of first members are respectively accommodated from an upper or lower side of the guide part, and the plurality of Two second members are positioned between the plurality of first members and the guide part, and the plurality of first members are capable of rotational movement with respect to the lift pin and the plurality of second members. Provide assembly.

본 발명에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리에 의하면,According to the lift pin support assembly according to the present invention,

첫째, 리프트 핀과 가이드부 사이에서 발생하는 마찰력을 현저히 감소시킬 수 있고,First, it is possible to significantly reduce the frictional force generated between the lift pin and the guide part,

둘째, 마찰력이 감소함에 따라 기판의 승강 운동을 안정적으로 지지함으로써 기판의 불량률을 감소시킬 수 있으며,Second, it is possible to reduce the defect rate of the substrate by stably supporting the lifting motion of the substrate as the frictional force decreases.

셋째, 리프트 핀의 승강 운동 시 발생하는 마찰력이 감소되면서 리프트 핀의 수명이 증가하고,Third, the life of the lift pin increases as the friction force generated during the lifting movement of the lift pin decreases,

넷째, 볼트랜스퍼부의 지지각도를 변경하여 리프트 핀의 지지각도를 다각도에서 지지할 수 있으며,Fourth, the support angle of the lift pin can be supported from multiple angles by changing the support angle of the bolt transfer part.

다섯째, 이에 따라 리프트 핀의 수명이 증가하여 생산성을 증대시킬 수 있고, 유지관리가 용이한 효과를 기대할 수 있다.Fifth, accordingly, the life of the lift pin can be increased to increase productivity, and an effect of easy maintenance can be expected.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리에 대한 분리사시도이다
도 2는 도 1에 나타낸 리프트 핀 지지 어셈블리를 도시하는 단면도이다.
도 3은 도 1에 나타낸 볼트랜스퍼부를 부분적으로 확대 도시하는 부분확대 단면도이다.
도 4는 도 1에 나타낸 볼트랜스퍼부와 가이드부가 결합된 상태를 도시하는 평면도이다.
도 5는 도 1에 나타낸 리프트 핀 지지 어셈블리의 작동상태를 도시하는 참고도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리를 도시하는 단면도이다.
도 7은 도 6에 나타낸 볼트랜스퍼부와 가이드부가 결합된 상태를 도시하는 평면도이다.1 is an exploded perspective view of a lift pin support assembly according to a first embodiment of the present invention
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the lift pin support assembly shown in FIG. 1.
3 is a partially enlarged cross-sectional view showing a partially enlarged bolt transfer unit shown in FIG. 1.
4 is a plan view showing a state in which the bolt transfer part and the guide part shown in FIG. 1 are combined.
5 is a reference diagram showing an operating state of the lift pin support assembly shown in FIG. 1.
6 is a cross-sectional view showing a lift pin support assembly according to a second embodiment of the present invention.
7 is a plan view showing a state in which the bolt transfer part and the guide part shown in FIG. 6 are combined.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 설명하기로 한다. 첨부된 도면들에서 구성에 표기된 도면번호는 다른 도면에서도 동일한 구성을 표기할 때에 가능한 한 동일한 도면번호를 사용하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지의 기능 또는 공지의 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고 도면에 제시된 어떤 특징들은 설명의 용이함을 위해 확대 또는 축소 또는 단순화된 것이고, 도면 및 그 구성요소들이 반드시 적절한 비율로 도시되어 있지는 않다. 그러나 당업자라면 이러한 상세 사항들을 쉽게 이해할 것이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art can easily implement them. It should be noted that, in the accompanying drawings, the same reference number is used as much as possible when indicating the same configuration in other drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that a detailed description of a related known function or a known configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted. In addition, certain features shown in the drawings are enlarged or reduced or simplified for ease of description, and the drawings and their components are not necessarily drawn to scale. However, those skilled in the art will readily understand these details.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리(100)에 대한 분리사시도이고, 도 2는 도 1에 나타낸 리프트 핀 지지 어셈블리(100)를 도시하는 단면도이다. 이하에서 전기한 참조부호와 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 나타낸다.1 is an exploded perspective view of a lift pin support assembly 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing the lift pin support assembly 100 shown in FIG. 1. The same reference numerals as the reference numerals mentioned below indicate the same elements.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리(100)는 웨이퍼나 유리기판 등과 같이 반응챔버 내에서 가공 공정이 수행되는 기판(S)을 승강시키는 리프트 핀(110)과, 상기 리프트 핀(110)이 승강하는 것을 안내할 수 있도록 서셉터 내부에 설치된 장착공에 삽입되는 가이드부(120)와, 상기 가이드부(120) 내부에 체결되어 상기 리프트 핀(110)과 점접촉하는 볼트랜스퍼부(130, 130')를 포함한다.1 and 2, the lift pin support assembly 100 according to an embodiment of the present invention is a lift pin for lifting a substrate S on which a processing process is performed in a reaction chamber such as a wafer or a glass substrate. 110 and a guide part 120 inserted into a mounting hole installed inside the susceptor to guide the lifting of the lift pin 110, and the lift pin ( 110) and the bolt transfer unit (130, 130') in point contact.

상기 리프트 핀(110)은 반응챔버 내부에 위치하여 기판(S)의 저면을 지지하며 선택적으로 승강하도록 마련된다. 상기 리프트 핀(110)은 기판(S)의 저면과 접촉하는 헤드와, 상기 헤드 하측으로 연장 형성되는 연결부재로 구성되며, 상기 연결부재가 상기 볼트랜스퍼부(130, 130')와 접촉하도록 배치되어 승강하는데 발생하는 마찰저항이 감소된다.The lift pin 110 is positioned inside the reaction chamber to support the bottom surface of the substrate S and is provided to selectively elevate and descend. The lift pin 110 is composed of a head in contact with the bottom surface of the substrate S, and a connection member extending toward the lower side of the head, and the connection member is arranged to contact the bolt transfer parts 130 and 130 ′. As a result, frictional resistance generated during lifting and descending is reduced.

이때 상기 가이드부(120)의 상측 또는 하측에는 상기 가이드부(120) 내부에 결합된 상기 볼트랜스퍼부(130)를 고정시키는 커버부(140)가 마련될 수 있다.In this case, a cover part 140 for fixing the bolt transfer part 130 coupled to the inside of the guide part 120 may be provided on the upper or lower side of the guide part 120.

상기 커버부(140)는 중앙에 상기 리프트 핀(110)이 출입할 수 있도록 핀홀(142)이 형성되고, 상기 핀홀(142)의 주면에는 상기 볼트랜스퍼부(130)의 하우징(133)이 일부 삽입되도록 결합홈(141)이 형성된다. 그러면 상기 볼트랜스퍼부(130)가 상기 가이드부(120)의 내부에서 보다 견고하게 결합이 이루어지기 때문에 상기 볼트랜스퍼부(130)와 가이드부(120) 사이의 유격을 정밀하게 유지할 수 있고, 또한 상기 볼트랜스퍼부(130)와 리프트 핀(110) 사이의 유격도 정밀하게 유지할 수 있는 효과가 있다.The cover part 140 has a pinhole 142 formed in the center so that the lift pin 110 can enter and exit, and a part of the housing 133 of the bolt transfer part 130 is on the main surface of the pinhole 142 A coupling groove 141 is formed to be inserted. Then, since the bolt transfer part 130 is more firmly coupled inside the guide part 120, the clearance between the bolt transfer part 130 and the guide part 120 can be precisely maintained, and There is an effect that the clearance between the bolt transfer unit 130 and the lift pin 110 can also be precisely maintained.

상기 가이드부(120)의 외주면 상에는 원주방향을 따라서 걸림턱(122)이 형성된다. 상기 걸림턱(122)은 서셉터 상에 상기 가이드부(120)가 결합되면서 삽입되는 위치를 제한하고, 또한 서셉터에 삽입된 후 나사결합 또는 서셉터 상에 체결되도록 별도의 부재에 의해 결합될 수도 있다.On the outer circumferential surface of the guide part 120, a locking protrusion 122 is formed along the circumferential direction. The locking protrusion 122 limits the position to be inserted while the guide part 120 is coupled to the susceptor, and may be coupled by a separate member to be screwed or fastened on the susceptor after being inserted into the susceptor. May be.

상기 가이드부(120)의 상측 단부에는 복수개의 볼트랜스퍼부(130)가 마련되고, 또한 하측 단부에는 복수개의 볼트랜스퍼부(130')가 마련된다. 여기서 상기 볼트랜스퍼부(130)과 볼트랜스퍼부(130')는 동일한 구성요소이며 위치에 따른 차이만이 존재하기 때문에 이하에서는 볼트랜스퍼부(130)에 대해서만 설명한다. 그리고 본 발명의 실시예에서는 구체적으로 상기 가이드부(120)의 상측 단부와 하측 단부에 각각 4개씩 등간격으로 배치되어 있다. 상기 볼트랜스퍼부(130)는 상기 리프트 핀(110)을 지지하는 하중을 고려하여 적어도 3개 이상의 복수개가 등간격으로 마련되는 것이 바람직하며, 상기 볼트랜스퍼부(130)의 개수는 이에 한정되지 않는다.A plurality of bolt transfer parts 130 are provided at an upper end of the guide part 120, and a plurality of bolt transfer parts 130 ′ are provided at a lower end of the guide part 120. Here, since the bolt transfer unit 130 and the bolt transfer unit 130 ′ are the same components and there is only a difference according to the position, only the bolt transfer unit 130 will be described below. And in the embodiment of the present invention, in detail, four are disposed at equal intervals at each of the upper and lower ends of the guide part 120. It is preferable that at least three or more bolt transfer parts 130 are provided at equal intervals in consideration of the load supporting the lift pin 110, and the number of the bolt transfer parts 130 is not limited thereto. .

그리고 상기 볼트랜스퍼부(130)는 상기 가이드부(120)의 상측 또는 하측 단부 중 일 측에만 구비될 수도 있으며, 상기 가이드부(120)의 중심 부분에만 선택적으로 마련될 수도 있다. 이렇게 상기 볼트랜스퍼부(130)의 위치를 하측 단부 또는 중심부분에 배치하는 경우 상기 볼트랜스퍼부(130)의 사용량을 줄일 수 있어 생산비용을 절감시킬 수 있는 효과가 있다. 게다가 상기 볼트랜스퍼부(130)가 상기 가이드부(120)의 상측 단부에만 구비되는 경우 기판 안착부재의 상부와 가까워 불필요한 증착과 식각에 노출되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the bolt transfer part 130 may be provided only at one of the upper or lower end of the guide part 120, or may be selectively provided only at the center of the guide part 120. In this way, when the position of the bolt transfer unit 130 is disposed at the lower end or the center portion, the amount of use of the bolt transfer unit 130 can be reduced, thereby reducing production cost. In addition, when the bolt transfer part 130 is provided only at the upper end of the guide part 120, it is close to the upper part of the substrate mounting member, and thus it is possible to prevent exposure to unnecessary deposition and etching.

도 2를 살펴보면, 상기 볼트랜스퍼부(130)는 상기 가이드부(120)의 내부 중심방향을 향하여 결합되고, 도면에 도시하지는 않았지만 상기 볼트랜스퍼부(130)와 리프트 핀(110) 사이에는 소정의 간극이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 2, the bolt transfer part 130 is coupled toward the inner center of the guide part 120, and although not shown in the drawing, a predetermined distance between the bolt transfer part 130 and the lift pin 110 A gap can be formed.

그리고 상기 볼트랜스퍼부(130)는 상기 리프트 핀(110)이 상기 가이드부(120) 내벽에 직접적으로 면 접촉 또는 선 접촉하는 것을 방지하여 상기 리프트 핀(110)이 승강하는데 발생하는 마찰저항을 현저히 감소시키는 기능을 제공한다.In addition, the bolt transfer part 130 prevents the lift pin 110 from making direct surface or line contact with the inner wall of the guide part 120 to significantly reduce the frictional resistance generated when the lift pin 110 moves up and down. Provides a reducing function.

또한 상기 리프트 핀(110)의 상부 헤드에는 기판(S)이 올려짐과 동시에 하중이 가해지며, 이때 상기 리프트 핀(110) 상부로부터 가해지는 하중이 편하중으로 가해질 수 있다. 여기서 편하중이란 상기 리프트 핀(110)의 상부에서 지구 중심방향으로 정확하게 하중이 가해지는 것이 아니라 소정의 각도로 휘어져 지구 중심방향에서 벗어난 방향으로 가해지는 것을 의미하며, 이때 상기 리프트 핀(110)의 상부 헤드부분에 가해진 편하중은 연결부재를 포함하여 상기 리프트 핀(110) 전체에 전단응력으로 가해질 수 있다. 이를 상기 볼트랜스퍼부(130)가 여러 방향에서 상기 리프트 핀(110)을 지지하여 마찰저항을 감소시킴과 동시에 상기 리프트 핀(110)의 파손을 방지한다.In addition, a load is applied to the upper head of the lift pin 110 at the same time as the substrate S is mounted, and at this time, a load applied from the upper portion of the lift pin 110 may be applied as an offset load. Here, the offset load means that the load is not accurately applied from the top of the lift pin 110 in the direction of the center of the earth, but is bent at a predetermined angle and applied in a direction away from the center of the earth. The biased load applied to the upper head portion may be applied as a shear stress to the entire lift pin 110 including the connecting member. As a result, the bolt transfer part 130 supports the lift pin 110 in various directions to reduce frictional resistance and prevent damage to the lift pin 110 at the same time.

그리고 상기 리프트 핀(110)은 비전도성 재질이며 경도가 높은 비금속 무기질의 세라믹 재질로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the lift pin 110 is preferably formed of a non-conductive material and a non-metallic inorganic ceramic material having high hardness.

도 3은 도 1에 나타낸 볼트랜스퍼부를 부분적으로 확대 도시하는 부분확대 단면도이고, 도 4는 도 1에 나타낸 볼트랜스퍼부와 가이드부(120)가 결합된 상태를 도시하는 평면도이다.3 is a partially enlarged cross-sectional view showing a partially enlarged bolt transfer part shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a plan view showing a state in which the bolt transfer part and the guide part 120 shown in FIG. 1 are coupled.

도 3 및 도 4를 살펴보면, 상기 볼트랜스퍼부(130)는 외형을 형성하고 상기 가이드부(120) 내부에 형성된 가이드홈(도 1 참조, 121) 상에서 탈착 가능하도록 마련되는 하우징(133)과, 상기 하우징(133) 내부에 일 측에 복수개 구비되는 제1베어링(132)과, 상기 하우징(133) 내부에 타 측에 배치되어 상기 하우징(133)에 형성된 통공(134)을 통하여 일부 돌출되도록 노출되는 제2베어링(131)을 포함한다.3 and 4, the bolt transfer part 130 has an outer shape and a housing 133 provided to be detachable on a guide groove (see FIG. 1, 121) formed in the guide part 120, A first bearing 132 provided in plurality on one side inside the housing 133, and a first bearing 132 disposed on the other side inside the housing 133 to partially protrude through the through hole 134 formed in the housing 133 It includes a second bearing (131).

상기 하우징(133)은 내부에 상기 제1베어링(132) 및 제2베어링(131)을 수용할 수 있는 수용공간이 형성되고, 상기 가이드홈(121) 상에 슬라이딩 결합 또는 억지끼움 방식으로 결합할 수 있도록 단차가 형성된다. 도면에 도시하지는 않았지만 상기 가이드홈(121)과 하우징(133)의 단차 사이에 형성되어 상기 가이드홈(121) 상에서 하우징(133)이 이탈되는 것을 방지할 수 있도록 별도의 가압수단 또는 실링수단이 구비될 수 있다. 또한 상기 제1베어링(132)은 제2부재로 표현할 수 있으며, 상기 제2베어링(131)은 제1부재로 표현할 수 있다. 이는 표현상의 기재방법일 뿐 각각 동일한 구조의 구성요소를 나타낸다.The housing 133 has an accommodation space for accommodating the first bearing 132 and the second bearing 131 therein, and can be coupled to the guide groove 121 by sliding coupling or force fitting. The step is formed so that it can be done. Although not shown in the drawing, a separate pressing means or sealing means is provided to prevent the housing 133 from being separated from the guide groove 121 by being formed between the step difference between the guide groove 121 and the housing 133 Can be. In addition, the first bearing 132 may be expressed as a second member, and the second bearing 131 may be expressed as a first member. This is only a description method in terms of expression, and each represents the components of the same structure.

상기 제1베어링(132)과 제2베어링(131)은 세라믹 재질의 구형 볼베어링으로 구성된다. 상기 제1베어링(132)은 상기 제2베어링(131)의 일 방향에 복수개 구비되어 각각의 상기 제1베어링(132)은 상기 제1베어링(132)과 점접촉하도록 구비된다.The first bearing 132 and the second bearing 131 are formed of spherical ball bearings made of ceramic. A plurality of first bearings 132 are provided in one direction of the second bearing 131, and each of the first bearings 132 is provided to make point contact with the first bearing 132.

이때 상기 제2베어링(131)의 타 방향은 상기 하우징(133)에 형성된 통공(134)으로부터 외측으로 돌출되어 일부 노출된다. 그러면 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 가이드부(120) 내부 중심에 위치하는 상기 리프트 핀(110)의 외주면과 상기 제2베어링(131)이 접촉하게 된다.At this time, the other direction of the second bearing 131 is partially exposed by protruding outward from the through hole 134 formed in the housing 133. Then, as shown in FIG. 4, the outer circumferential surface of the lift pin 110 located at the inner center of the guide part 120 and the second bearing 131 come into contact.

따라서 상기 제2베어링(131)은 상기 리프트 핀(110)의 승강 작동에 대하여 상대적으로 회전이동이 발생하고, 상기 복수개의 제1베어링(132)과 상대회전이 발생하여 회전운동을 하게 된다.Accordingly, the second bearing 131 is rotated relative to the lifting operation of the lift pin 110, and relative rotation occurs with the plurality of first bearings 132 to perform a rotational motion.

여기서 상기 볼트랜스퍼부(130)는 상기 가이드부(120) 상에서 착탈 가능하기 때문에 복수개의 볼트랜스퍼부(130) 중 파손된 볼트랜스퍼부(130)만 부분적으로 교체가 가능한 이점이 있다.Here, since the bolt transfer part 130 is detachable from the guide part 120, only the damaged bolt transfer part 130 among the plurality of bolt transfer parts 130 can be partially replaced.

도 5는 도 1에 나타낸 리프트 핀 지지 어셈블리(100)의 작동상태를 도시하는 참고도이다.5 is a reference diagram showing an operating state of the lift pin support assembly 100 shown in FIG. 1.

도 5에 도시된 바와 같이, 상기 리프트 핀(110)은 상기 가이드부(120) 내부에서 소정의 각도(θ)로 기울어진 상태에서 승강운동이 발생할 수 있다.As illustrated in FIG. 5, the lift pin 110 may be inclined at a predetermined angle θ within the guide unit 120 to cause an elevating movement.

이는 상기 리프트 핀(110)과 볼트랜스퍼부(130) 사이에 형성된 간극에 의해서 또는 상기 볼트랜스퍼부(130)의 제1베어링(132) 또는 제2베어링(131)이 부분적으로 마모되면서 상기 리프트 핀(110)이 기울어진 상태로 승강작동이 이루어질 수 있다.This is due to a gap formed between the lift pin 110 and the bolt transfer unit 130 or when the first bearing 132 or the second bearing 131 of the bolt transfer unit 130 is partially worn, the lift pin The lifting operation may be performed while the 110 is inclined.

또한 상기 리프트 핀(110)의 상부에 배치된 기판(S)의 하중에 의해서 편하중이 발생하면서, 편하중에 의해 상기 리프트 핀(110)에 가해지는 힘의 방향에 따라 상기 리프트 핀(110)의 기울어지는 방향이 결정될 수 있다.In addition, while an offset load is generated by the load of the substrate S disposed on the lift pin 110, the lift pin 110 is applied according to the direction of the force applied to the lift pin 110 by the bias load. The direction of inclination can be determined.

본 발명의 도 5에서는 좀 더 과도하게 상기 리프트 핀(110)의 기울어진 상태를 도시하고 있으며, 이렇게 상기 리프트 핀(110)이 기울어지기 때문에 결과적으로 상기 볼트랜스퍼부(130)는 상기 가이드부(120)의 상측과 하측에서 일 부분만이 상기 리프트 핀(110)과 접촉하게 된다. 물론 상기 리프트 핀(110)과 볼트랜스퍼부(130) 사이에 간극이 미약한 경우, 또는 상기 리프트 핀(110)의 상부 헤드에 가해지는 하중이 설정 하중 이하인 경우에는 상기 리프트 핀(110)과 모든 볼트랜스퍼부(130)가 점접촉하도록 마련될 수도 있다.Figure 5 of the present invention shows a more excessively inclined state of the lift pin 110, and as a result, the bolt transfer part 130 is the guide part ( Only one portion of the upper and lower sides of 120) comes into contact with the lift pin 110. Of course, when the clearance between the lift pin 110 and the bolt transfer unit 130 is weak, or when the load applied to the upper head of the lift pin 110 is less than or equal to a set load, the lift pin 110 and all The bolt transfer unit 130 may be provided to make point contact.

도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리(200)를 도시하는 단면도이고, 도 7은 도 6에 나타낸 볼트랜스퍼부와 가이드부가 결합된 상태를 도시하는 평면도이다.6 is a cross-sectional view showing a lift pin support assembly 200 according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a plan view showing a state in which the bolt transfer part and the guide part shown in FIG. 6 are coupled.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리(200)에서는 제1실시예와 달리 상기 가이드부(120) 중심부분에도 볼트랜스퍼부(130")가 마련된다. 이하에서는 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리(200)와 제1실시예에 기재된 기술과의 차이점을 중심으로 상세하게 설명한다.6 and 7, in the lift pin support assembly 200 according to the second embodiment of the present invention, unlike the first embodiment, a bolt transfer part 130" is also provided in the center of the guide part 120 Hereinafter, the difference between the lift pin support assembly 200 according to the second embodiment of the present invention and the technology described in the first embodiment will be described in detail.

상기 볼프랜스퍼부(130")는 상기 가이드부(120)의 상측에 구비된 볼트랜스퍼부(130)와 하측에 구비된 볼트랜스퍼부(130') 사이에 배치되며, 보다 바람직하게는 상기 상측에 구비된 볼트랜스퍼부(130)와 하측에 구비된 볼트랜스퍼부(130') 사이의 중심에 마련되는 것이 이상적이다. 물론 상기 리프트 핀(110)에 가해지는 정하중(지구 중심방향으로 가해지는 일반적인 하중) 또는 편하중의 크기에 따라서 상기 상측에 구비된 볼트랜스퍼부(130)와 하측에 구비된 볼트랜스퍼부(130') 사이에 높이를 가변적으로 설치할 수도 있으며, 또한 추가적인 볼트랜스퍼부의 장착이 가능함은 물론이다.The ball transfer part 130" is disposed between the bolt transfer part 130 provided at the upper side of the guide part 120 and the bolt transfer part 130 ′ provided at the lower side, more preferably at the upper side. Ideally, it is provided in the center between the provided bolt transfer unit 130 and the bolt transfer unit 130' provided at the lower side, of course, a static load applied to the lift pin 110 (general load applied toward the center of the earth) ) Alternatively, the height may be variably installed between the bolt transfer part 130 provided on the upper side and the bolt transfer part 130 ′ provided on the lower side, depending on the size of the offset load, and additional bolt transfer parts may be installed Of course.

이와 같이 상기 가이드부(120)의 중심부분에 추가적으로 상기 볼트랜스퍼부(130")를 구비하면, 보다 안정적으로 상기 리프트 핀(110)의 승강작동을 지지할 수 있는 효과가 있다.In this way, if the bolt transfer part 130" is additionally provided in the central portion of the guide part 120, there is an effect of supporting the lifting operation of the lift pin 110 more stably.

도 7을 살펴보면, 상기 상측에 구비된 볼트랜스퍼부(130)는 도면상에서 상기 리프트 핀(110)의 원주방향을 따라서 12시, 3시, 6시, 9시 방향에 배치된다. 그리고 중심부분에 구비된 상기 볼트랜스퍼부(130")는 배치각도를 달리하여 약 45°회전이동한 상태로 배치되어 상기 리프트 핀(110)의 원주방향을 따라서 1시반, 4시반, 7시반, 10시반 위치에 배치된다. 또한 상기 볼트랜스퍼부들(130, 130', 130")이 높이에 따라서 각각 서로 다른 각도로 배치되거나, 회전이동한 각도를 변경하여 설치할 수 있음은 물론이다.Referring to FIG. 7, the bolt transfer unit 130 provided on the upper side is disposed at 12 o'clock, 3 o'clock, 6 o'clock, and 9 o'clock along the circumferential direction of the lift pin 110 in the drawing. And the bolt transfer unit 130" provided in the central part is arranged in a state of about 45° rotational movement at different angles of arrangement, and along the circumferential direction of the lift pin 110, 1:30, 4:30, 7:30, It is arranged at the position of 10:30. It goes without saying that the bolt transfer parts 130, 130', 130" can be arranged at different angles depending on the height, or can be installed by changing the rotational angle.

이 경우 볼트랜스퍼부들(130, 130', 130")이 각각 시계방향을 따라서 동일한 배치구조를 이루는 구조와 비교하여 상기 리프트 핀(110)을 다각도로 지지할 수 있기 때문에 상기 리프트 핀(110)의 수명을 현저히 증가시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있다.In this case, the lift pin 110 can be supported at multiple angles compared to a structure in which the bolt transfer parts 130, 130 ′, 130 ″ respectively form the same arrangement structure along the clockwise direction. An effect that can significantly increase the lifespan can be expected.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 리프트 핀 지지 어렘블리는 기판(S)의 편하중이 발생하는 경우라도 상기 리프트 핀의 승강작동에 마찰저항을 현저히 감소시킬 수 있기 때문에 기판(S)의 하부면을 안정적으로 지지할 수 있고, 또한 상기 리프트 핀의 파손에 의한 기판(S)의 손상을 방지할 수 있다. 이로 인해, 본 발명은 리프트 핀에 의한 기판(S)의 불량률을 상당히 감소시킬 수 있다.As described above, since the lift pin support assembly according to the present invention can significantly reduce the frictional resistance in the lifting operation of the lift pin even when an unbalanced load of the substrate S occurs, the lower portion of the substrate S The surface can be stably supported, and damage to the substrate S due to the breakage of the lift pin can be prevented. For this reason, the present invention can significantly reduce the defect rate of the substrate S due to the lift pin.

이상에서 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위해 구체적인 실시 예로 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기와 같이 구체적인 실시 예와 동일한 구성 및 작용에만 국한되지 않고, 여러가지 변형이 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 실시될 수 있다. 따라서, 그와 같은 변형도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주해야 하며, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의해 결정되어야 한다.Although shown and described in specific embodiments to illustrate the technical idea of the present invention, the present invention is not limited to the same configuration and operation as the specific embodiment as described above, and various modifications are within the scope of the present invention. Can be carried out in Therefore, such modifications should be regarded as belonging to the scope of the present invention, and the scope of the present invention should be determined by the claims to be described later.

100, 200 : 리프트 핀 지지 어셈블리
110 : 리프트 핀 120 : 가이드부
121 : 가이드홈 122 : 걸림턱
130, 130', 130" : 볼트랜스퍼부 132 : 제1베어링
131 : 제2베어링 133 : 하우징
134 : 통공 140 : 커버부
141 : 결합홈 142 : 핀홀
S : 기판100, 200: lift pin support assembly
110: lift pin 120: guide part
121: guide groove 122: locking jaw
130, 130', 130": bolt transfer part 132: first bearing
131: second bearing 133: housing
134: through hole 140: cover
141: coupling groove 142: pinhole
S: substrate

Claims (10)

서셉터의 내부에 형성된 장착공에 결합되어 기판의 하측을 지지하는 리프트 핀이 승강하는 것을 안내하는 가이드부;
상기 가이드부의 내부에서 상측 또는 하측에 각각 복수개 결합되어 상기 리프트 핀과 접촉하는 볼트랜스퍼부; 및
상기 볼트랜스퍼부의 일측 단부가 결합되어 상기 가이드부 상에서 상기 볼트랜스퍼부를 커버하도록 결합되는 커버부를 포함하고,
상기 가이드부는,
상기 볼트랜스퍼부를 탈착 가능하도록 슬라이딩 결합시키는 가이드홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.A guide part coupled to a mounting hole formed inside the susceptor to guide a lift pin supporting the lower side of the substrate to be elevated;
A plurality of bolt transfer units coupled to the upper or lower sides of the guide unit to contact the lift pins; And
One end of the bolt transfer part is coupled to include a cover part coupled to cover the bolt transfer part on the guide part,
The guide part,
Lift pin support assembly comprising a guide groove for slidingly coupled to the bolt transfer unit detachably. 청구항 1에 있어서,
상기 볼트랜스퍼부는,
상기 가이드부에 탈착 가능하도록 결합되는 하우징과,
상기 하우징 내부에 복수개 구비되는 제1베어링과,
상기 제1베어링 각각에 일 측이 접촉하고 상기 하우징에 형성된 통공을 통하여 외부로 돌출되어 상기 리프트 핀의 외주면과 타 측이 접촉하도록 마련되는 제2베어링을 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.The method according to claim 1,
The bolt transfer part,
A housing detachably coupled to the guide portion,
A plurality of first bearings provided inside the housing,
And a second bearing having one side in contact with each of the first bearings and protruding outward through a through hole formed in the housing so that the outer circumferential surface of the lift pin and the other side are in contact with each other. 청구항 1에 있어서,
상기 가이드홈은 상기 가이드부의 상측 및 하측 단부에 형성되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.The method according to claim 1,
The guide groove is a lift pin support assembly, characterized in that formed in the upper and lower ends of the guide portion. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 커버부는,
상기 가이드부의 상측 및/또는 하측 단부에 상기 볼트랜스퍼부의 일측 단부가 삽입되어 고정되도록 형성된 결합홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.The method according to claim 1,
The cover part,
The lift pin support assembly, characterized in that it comprises a coupling groove formed to be fixed by inserting one end of the bolt transfer part to the upper and/or lower end of the guide part. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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