KR20150104419A - Oled 증착기 소스의 노즐구조 - Google Patents

Oled 증착기 소스의 노즐구조 Download PDF

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Abstract

본 발명은 증착물질이 배출되는 노즐에서 증착물질의 증착을 방지하여 파티클 발생 또는 증착물질의 퇴적을 최소화할 수 있는 OLED 증착기 소스의 노즐구조를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명에 따른 OLED 증착기 소스의 노즐구조는 증착용 기판(S)이 로딩되는 증착챔버(10)와, 증착챔버(10) 내부에 설치되어 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발하도록 증착물질을 가열하여 증발시키는 하나 이상의 소스(20)를 포함하는 OLED 증착기 소스에 있어서, 증착물질을 배출하도록 선형으로 배열되어 복수의 토출구(111)가 형성된 소스본체(110)와, 상기 복수의 토출구들(111) 각각에 설치되어 불활성가스가 내주면을 따라서 외측으로 유동되도록 가스유로(210)가 형성된 복수의 노즐부(200)와; 상기 복수의 노즐부(200)의 가스유로(210)와 연결되어 불활성가스를 공급하는 가스공급관부(220)를 포함함으로써 노즐의 내주면에 불활성가스를 흐르도록 하여 노즐의 내주면에 증착물질이 증착되는 것을 방지함으로써 증착물질이 배출되는 노즐에서 증착물질의 증착을 방지하여 파티클 발생 또는 증착물질의 퇴적을 최소화하여 최적의 공정조건을 형성할 수 있다.

Description

OLED 증착기 소스의 노즐구조 {Nozzle ofLlinear source for OLED deposition apparatus}
본 발명은 OLED 증착기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증착물질를 증발시켜 OLED 기판표면에 박막을 형성하는 OLED 증착기 소스의 노즐구조에 관한 것이다.
증착기란, 반도체 제조용 웨이퍼, LCD 제조용 기판, AMOLED 제조용 기판 등 기판의 표면에 CVD, PVD, 증발증착 등 박막을 형성하는 장치를 말한다.
그리고 AMOLED 제조용 기판의 경우 증착물질의 증착에 있어 유기물, 무기물, 금속 등을 증발시켜 기판 표면에 박막을 형성하는 공정이 많이 사용되고 있다.
도 1은 종래의 따른 OLED 증착기를 보여주는 단면도이다.
증착물질을 증발시켜 박막을 형성하는 종래의 OLED 증착기는 도 1에 도시된 바와 같이, 게이트(11)를 통하여 증착용 기판(S)이 로딩되는 증착챔버(10)와, 증착챔버(10) 내부에 설치되어 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발하도록 증착물질을 가열하여 증발시키는 소스(20)를 포함하여, 증착물질이 증발되어 기판표면에 박막을 형성하는 기판처리를 수행한다.
여기서 소스(20)는 가열에 의하여 증착물질이 증발되며 증착물질의 가열을 위한 히터(미도시)설치된 증발용기(22)와, 증발용기(22)와 연결되고 기판(S)을 향하여 돌출된 복수의 노즐(21)들이 형성된 복수의 노즐(23)을 포함한다.
그런데 종래의 OLED 증착기는 증착공정을 수행하면서 노즐(23)의 내주면에 증착물질이 증착되며 노즐(23)의 내주면에 증착된 퇴적물은 파티클을 발생시켜 기판처리의 불량을 야기하는 문제가 있다.
또한 노즐(23)의 내주면에의 증착물질의 증착에 의하여 노즐(23)의 내경을 감소시켜 노즐(23)을 통한 증착물질의 증발량의 변화를 초래하여 증착공정 조건을 변화시켜 균일한 공정수행을 저해하는 문제가 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 증착물질이 배출되는 노즐에서 증착물질의 증착을 방지하여 파티클 발생 또는 증착물질의 퇴적을 최소화할 수 있는 OLED 증착기 소스의 노즐구조를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 증착용 기판(S)이 로딩되는 증착챔버(10)와, 증착챔버(10) 내부에 설치되어 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발하도록 증착물질을 가열하여 증발시키는 하나 이상의 소스(20)를 포함하는 OLED 증착기 소스에 있어서, 증착물질을 배출하도록 선형으로 배열되어 복수의 토출구(111)가 형성된 소스본체(110)와, 상기 복수의 토출구들(111) 각각에 설치되어 불활성가스가 내주면을 따라서 외측으로 유동되도록 가스유로(210)가 형성된 복수의 노즐부(200)와; 상기 복수의 노즐부(200)의 가스유로(210)와 연결되어 불활성가스를 공급하는 가스공급관부(220)를 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 증착기 소스의 노즐구조를 제시한다.
상기 노즐부(200)는 상기 토출구(111)로부터 외측으로 돌출되는 노즐목부(121)와, 상기 노즐목부(221)로부터 상기 토출구(111)의 외경방향으로 연장되어 형성되는 허브부(222)를 포함하며, 상기 가스유로(210)는 상기 허브부(222) 및 상기 노즐목부(221) 중 어느 하나에 형성될 수 있다.
상기 가스유로(210)는 상기 허브부(222)에 형성되며 상기 가스공급관부(220)와 연결되는 하나 이상의 메인유로(211)와, 상기 메인유로(211)와 연결되며 상기 메인유로(211)를 통하여 공급된 불활성가스를 상기 노즐목부(221)의 내주면을 따라서 분사되도록 하는 분사유로(212)를 포함할 수 있다.
상기 분사유로(212)는 상기 노즐목부(221)의 내주면과 평행하거나 상기 노즐목부(221)의 내주면을 향하여 형성될 수 있다.
상기 노즐목부(221)는 그 내주면에 가스가 통과될 수 있는 다공성부재(230)가 설치되며, 상기 가스유로(210) 중 일부는 상기 노즐목부(221)의 내주면 및 상기 다공성부재(230)의 외주면 사이에 형성될 수 있다.
상기 가스유로(210)는, 상기 노즐부(200)의 내측면과 상기 소스본체(111)의 외면에 의하여 형성될 수 있다.
상기 가스유로(210)는 상기 노즐부(200)와 상기 토출구(111)에 결합된 보조부재(120)에 의하여 형성될 수 있다.
상기 소스(20)는 상기 증착챔버(10)의 상측에 위치된 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발시킬 수 있도록 상기 기판(S)의 하측에 위치될 수 있다.
상기 소스(20)는 상기 증착챔버(100) 내부에 수직으로 로딩된 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발시킬 수 있도록 기판(S)을 향하여 수직으로 배치될 수 있다.
상기 소스(20)는 기판(S)에 대하여 상대이동될 수 있다.
본 발명에 따른 OLED 증착기 소스의 노즐구조는, 노즐의 내주면에 불활성가스를 흐르도록 하여 증착물질이 배출되는 노즐의 내주면에서 증착물질의 증착을 방지하여 파티클 발생 또는 증착물질의 퇴적을 최소화하여 최적의 공정조건을 형성할 수 있다.
도 1은 종래의 따른 OLED 증착기를 보여주는 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 OLED 증착기 소스를 보여주는 정면도,
도 3은 도 2의 OLED 증착기 소스의 노즐부를 보여주는 도면,
도 4는 도 3에서 Ⅳ-Ⅳ방향에서 본 단면도,
도 5는 도 2의 OLED 증착기 소스의 노즐부의 제2실시예를 보여주는 단면도,
도 6은 도 2의 OLED 증착기 소스의 노즐부의 제3실시예를 보여주는 단면도,
도 7은 도 2의 OLED 증착기 소스의 노즐부의 제3실시예를 보여주는 단면도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다. 도 2는 본 발명에 따른 OLED 증착기 소스를 보여주는 정면도, 도 3은 도 2의 OLED 증착기 소스의 노즐부를 보여주는 도면, 도 4는 도 3에서 Ⅳ-Ⅳ방향에서 본 단면도, 도 5는 도 2의 OLED 증착기 소스의 노즐부의 제2실시예를 보여주는 단면도, 도 6은 도 2의 OLED 증착기 소스의 노즐부의 제3실시예를 보여주는 단면도, 도 7은 도 2의 OLED 증착기 소스의 노즐부의 제3실시예를 보여주는 단면도이다.
여기서 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서 종래기술과 기능 또는 구조가 동일하거나 유사한 도면부호는 설명의 편의상 동일한 도면부호를 부여한다.
본 발명에 따른 OLED 증착기는 도 1에 도시된 바와 같이 증착용 기판(S)이 게이트(11)를 통하여 로딩되는 증착챔버(10)와, 증착챔버(10) 내부에 설치되어 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발하도록 증착물질을 가열하여 증발시키는 하나 이상의 소스(20)를 포함한다.
여기서 기판(S)은 단독으로 이송되거나 캐리어(미도시) 등에 안착되어 이송될 수 있다.
또한 도시되지 않았지만 증착챔버(10) 내부에는 증착공정의 수행을 위하여 기판(S)을 지지하는 기판지지구성이 별도로 설치됨이 바람직하다.
증착챔버(10)는 박막증착공정 수행을 위한 처리환경을 제공하는 구성요소로서 어떠한 구성도 가능하다.
증착챔버(10)는 소정의 내부공간을 형성하며 기판(S)이 통과할 수 있는 게이트(11)가 형성되는 용기로 이루어질 수 있다.
그리고 용기에는 내부공간에 대한 소정의 압력을 유지하기 위한 배기수단을 구비할 수 있다.
특히 본 발명에 따른 OLED 증착기 소스(20)는 도 2에 도시된 바와 같이, 증착물질을 배출하도록 선형으로 배열되어 복수의 토출구(111)가 형성된 소스본체(110)와, 복수의 토출구들(111) 각각에 설치되어 불활성가스가 내주면을 따라서 외측으로 유동되도록 가스유로(210)가 형성된 복수의 노즐부(200)와; 복수의 노즐부(200)의 가스유로(210)와 연결되어 불활성가스를 공급하는 가스공급관부(220)를 포함한다.
소스본체(110)는 증착물질을 배출하도록 선형으로 배열되어 복수의 토출구(111)가 형성되며 내부에는 가열되어 증발될 증착물질이 담겨지는 증발용기로서 다양한 구조를 가질 수 있다.
소스본체(110)에 담기는 증착물질은 기판에 형성된 박막의 물성에 따라서 유기물, 무기물, 금속 등이 될 수 있으며 액상 또는 고체상으로 이루어질 수 있다.
소스본체(110)는 복수의 토출구들(111)이 선형으로 배열되어 형성될 수 있도록 기판(S)의 폭방향에 대응되는 방향으로 길게 형성될 수 있다.
복수의 노즐부(200)는 복수의 토출구들(111) 각각에 대응되어 설치되어 불활성가스가 내주면을 따라서 외측으로 유동되도록 가스유로(210)가 형성된다.
일 실시예로서, 노즐부(200)는 토출구(111)로부터 외측으로 돌출되는 노즐목부(121)와, 노즐목부(221)로부터 토출구(111)의 외경방향으로 연장되어 형성되는 허브부(222)를 포함할 수 있다.
그리고 노즐부(200)는 하나의 부재로 이루어지거나, 복수의 부재로 이루어질 수 있으며, 토출구(111)가 형성된 소스본체(110)의 일부와 함께 이루어질 수 있다.
가스유로(210)는 복수의 토출구들(111) 각각에 설치되어 불활성가스가 내주면을 따라서 외측으로 유동되도록 노즐부(200)에 형성되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
가스유로(210)는 허브부(222) 및 노즐목부(221) 중 어느 하나에 형성될 수 있다.
도 4는 가스유로(210)가 허브부(222) 및 소스본체(110) 사이, 즉 노즐부(200)의 내측면과 소스본체(111)의 외면에 의하여 형성된 예를, 도 5 및 도 6은 가스유로(210)가 허브부(222)에 형성된 예를 도시한 것이다.
또한 가스유로(210)는 노즐부(200)와 토출구(111)에 결합된 보조부재(미도시)에 의하여 형성될 수 있다.
일 실시예로서 가스유로(210)는 허브부(222)에 형성되며 가스공급관부(220)와 연결되는 하나 이상의 메인유로(211)와, 메인유로(211)와 연결되며 메인유로(211)를 통하여 공급된 불활성가스를 노즐목부(221)의 내주면을 따라서 분사되도록 하는 분사유로(212)를 포함할 수 있다.
메인유로(211)는 허브부(222)에 형성되며 가스공급관부(220)와 연결되며 하나 이상으로 형성되어 분사유로(211)로 불활성가스를 공급하는 유로로 다양하게 형성될 수 있다.
분사유로(212)는 메인유로(211)와 연결되며 메인유로(211)를 통하여 공급된 불활성가스를 노즐목부(221)의 내주면을 따라서 분사되도록 하는 유로로서 다양하게 형성될 수 있다.
분사유로(212)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 노즐목부(221)의 내주면과 평행하거나, 도 6에 도시된 바와 같이 노즐목부(221)의 내주면을 향하여 형성될 수 있다.
한편 다른 실시예로서, 노즐목부(221)는 도 7에 도시된 바와 같이 그 내주면에 가스가 통과될 수 있는 다공성부재(230)가 설치되며, 가스유로(210) 중 일부는 노즐목부(221)의 내주면 및 다공성부재(230)의 외주면 사이에 형성될 수 있다.
가스공급관부(220)는 복수의 노즐부(200)의 가스유로(210)와 연결되어 불활성가스를 공급하는 구성이다.
가스공급관부(220)는 외부에 설치된 가스공급장치(240)와 연결된 공급관(241)과 연결되며 소스본체(110)에 설치되어 단독으로 또는 소스본체(110)와 함께 가스공급유로를 형성하는 등 다양한 변형이 가능하다.
한편 본 발명에 따른 OLED증착지는 기판(S) 및 소스(20)의 위치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기와 같은 OLED 증착기 소스(20)는 도 1에 도시된 바와 같이 증착챔버(10)의 상측에 위치된 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발시킬 수 있도록 기판(S)의 하측에 위치될 수 있다.
또한 상기와 같은 OLED 증착기 소스(20)는 도시되지 않았지만 증착챔버(100) 내부에서 수직으로 배치된 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발시킬 수 있도록 기판(S)을 향하여 수직으로 배치될 수 있다.
또한 상기와 같은 OLED 증착기 소스(20)는 기판(S)에 대하여 고정된 상태로 증착물질을 기판(S)을 향하여 증발시키거나, 선형이동, 회전이동 등 기판(S)에 대하여 상대이동되면서 증착물질을 기판(S)을 향하여 증발시킬 수 있다.
여기서 OLED 증착기 소스(20)가 기판(S)에 대하여 상대이동될 때 그 이동을 구동하기 위한 구동부가 증착챔버(10)에 설치된다.
S... 기판 10... 증착챔버
20... 소스 110... 소스본체
200... 노즐부 210... 가스유로

Claims (10)

  1. 증착용 기판(S)이 로딩되는 증착챔버(10)와, 증착챔버(10) 내부에 설치되어 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발하도록 증착물질을 가열하여 증발시키는 하나 이상의 소스(20)를 포함하는 OLED 증착기 소스에 있어서,
    증착물질을 배출하도록 선형으로 배열되어 복수의 토출구(111)가 형성된 소스본체(110)와,
    상기 복수의 토출구들(111) 각각에 설치되어 불활성가스가 내주면을 따라서 외측으로 유동되도록 가스유로(210)가 형성된 복수의 노즐부(200)와;
    상기 복수의 노즐부(200)의 가스유로(210)와 연결되어 불활성가스를 공급하는 가스공급관부(220)를 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 증착기 소스의 노즐구조.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 노즐부(200)는 상기 토출구(111)로부터 외측으로 돌출되는 노즐목부(121)와, 상기 노즐목부(221)로부터 상기 토출구(111)의 외경방향으로 연장되어 형성되는 허브부(222)를 포함하며,
    상기 가스유로(210)는 상기 허브부(222) 및 상기 노즐목부(221) 중 어느 하나에 형성되는 것을 특징으로 하는 OLED 증착기 소스의 노즐구조.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가스유로(210)는 상기 허브부(222)에 형성되며 상기 가스공급관부(220)와 연결되는 하나 이상의 메인유로(211)와, 상기 메인유로(211)와 연결되며 상기 메인유로(211)를 통하여 공급된 불활성가스를 상기 노즐목부(221)의 내주면을 따라서 분사되도록 하는 분사유로(212)를 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 증착기 소스의 노즐구조.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 분사유로(212)는 상기 노즐목부(221)의 내주면과 평행하거나 상기 노즐목부(221)의 내주면을 향하여 형성된 것을 특징으로 하는 OLED 증착기 소스의 노즐구조.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 노즐목부(221)는 그 내주면에 가스가 통과될 수 있는 다공성부재(230)가 설치되며, 상기 가스유로(210) 중 일부는 상기 노즐목부(221)의 내주면 및 상기 다공성부재(230)의 외주면 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 OLED 증착기 소스의 노즐구조.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 가스유로(210)는, 상기 노즐부(200)의 내측면과 상기 소스본체(111)의 외면에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 OLED 증착기 소스의 노즐구조.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 가스유로(210)는 상기 노즐부(200)와 상기 토출구(111)에 결합된 보조부재(120)에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 OLED 증착기 소스의 노즐구조.
  8. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 소스(20)는 상기 증착챔버(10)의 상측에 위치된 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발시킬 수 있도록 상기 기판(S)의 하측에 위치된 것을 특징으로 하는 OLED 증착기 소스.
  9. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 소스(20)는 상기 증착챔버(100) 내부에 수직으로 로딩된 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발시킬 수 있도록 기판(S)을 향하여 수직으로 배치된 것을 특징으로 하는 OLED 증착기 소스.
  10. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 소스(20)는 기판(S)에 대하여 상대이동되는 것을 특징으로 하는 OLED 증착기 소스.
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KR102634693B1 (ko) * 2022-12-29 2024-02-13 하나머티리얼즈(주) 탄화규소 부품 제조 장치, 이의 증착 노즐, 및 이를 이용한 탄화규소 부품의 제조 방법

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KR102634693B1 (ko) * 2022-12-29 2024-02-13 하나머티리얼즈(주) 탄화규소 부품 제조 장치, 이의 증착 노즐, 및 이를 이용한 탄화규소 부품의 제조 방법

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