KR20150094403A - 조명용 로드 렌즈 및 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치 - Google Patents

조명용 로드 렌즈 및 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치 Download PDF

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KR20150094403A
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Abstract

본 발명의 기술적 사상에 의한 조명용 로드 렌즈 및 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치는 다중 수광부에 기록되는 단면과 조명 조사 영역을 일치하게 하여 광량 손실 문제를 해결하고, 음영 지역에서 반사되는 광 노이즈를 최소화하기 위해, 제1 밑면, 상기 제1 밑면에 대향되는 방향에 형성되는 제2 밑면을 포함하는 직육면체 형태의 막대 구조를 가지고, 상기 제1 밑면은 연속된 하나의 면으로 형성되고, 상기 제2 밑면은 분리된 복수의 면으로 형성되는 조명 장치용 로드 렌즈(Rod lens)를 제공한다.

Description

조명용 로드 렌즈 및 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치{Rod lens for lighting apparatus and lighting apparatus comprises the same}
본 발명은 발광 조명용 로드 렌지 및 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치에 관한 것으로, 특히 검사 대상물에 조명을 조사할 때 사용되는 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치에 관한 것이다.
반도체, 액정 표시 장치(LCD), 인쇄회로기판(PCB) 등의 제품을 생산함에 있어, 미세한 결함을 찾아내는 검사 공정은 제조의 생산성 향상에 매우 중요하다. 그리고 검사 공정 기술은 더 작은 결함을 더 빠른 속도로 검출하는 방향으로 발전하고 있다. 특히, 더 빠른 속도로 결함을 검출하는 방법으로 두 개 이상의 다중 수광부를 장착하는 방법이 고안되어 사용되고 있는데, 이 방법을 사용하면, 한 번에 더 넓은 영역을 검사할 수 있어 검사 시간을 대폭 단축시킬 수 있다.
본 발명의 기술적 사상이 이루고자 하는 기술적 과제는, 두 개 이상의 다중 수광부가 설치되는 경우 기구의 구조적 문제로 불연속적인 검사 영역이 발생되고, 상기 불연속적 검사 영역 사이에는 음영 지역이 발생되는데, 상기 음영 지역에 불필요한 조명이 조사되는 것을 방지할 수 있는 조명용 로드 렌즈 및 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치를 제공하는데 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 기술적 사상은 제1 밑면, 상기 제1 밑면에 대향되는 방향에 형성되는 제2 밑면을 포함하는 직육면체 형태의 막대 구조를 가지고, 상기 제1 밑면은 연속된 하나의 면으로 형성되고, 상기 제2 밑면은 분리된 복수의 면으로 형성되는 조명 장치용 로드 렌즈(Rod lens)를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 밑면은 동일한 면적의 두 개의 면을 갖도록 세로 방향으로 분리되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1 측면, 상기 제1 측면에 인접하여 형성되는 제2 측면, 상기 제2 측면에 인접하고 상기 제1 측면에 대향되는 제3 측면 및 상기 제3 측면에 인접하고 상기 제2 측면에 대향되는 제4 측면을 포함하고, 상기 제1 측면 및 상기 제3 측면의 일부는 상기 제2 밑면의 분리된 두 개의 면에 대응되도록 분리되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 밑면은 동일한 면적의 세 개의 면을 갖도록 세로 방향으로 분리되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1 측면, 상기 제1 측면에 인접하여 형성되는 제2 측면, 상기 제2 측면에 인접하고 상기 제1 측면에 대향되는 제3 측면 및 상기 제3 측면에 인접하고 상기 제2 측면에 대향되는 제4 측면을 포함하고, 상기 제1 측면 및 상기 제3 측면의 일부는 상기 제2 밑면의 분리된 세 개의 면에 대응되도록 세 갈래로 분리되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 밑면은 동일한 면적의 네 개의 면을 갖도록 세로 및 가로 방향으로 분리되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1 측면, 상기 제1 측면에 인접하여 형성되는 제2 측면, 상기 제2 측면에 인접하고 상기 제1 측면에 대향되는 제3 측면 및 상기 제3 측면에 인접하고 상기 제2 측면에 대향되는 제4 측면을 포함하고, 상기 제1 측면 내지 상기 제4 측면의 일부는 상기 제2 밑면의 분리된 4개의 면에 대응되도록 각각 두 갈래로 분리되는 것을 특징으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 기술적 사상은 또한, 광원; 상기 광원으로부터 빛이 입사되는 로드 렌즈; 상기 로드 렌즈를 통과한 빛이 도달되고, 검사 대상물과 접하는 대물 렌즈; 및 상기 검사 대상물에서 반사된 빛을 수광하여 상기 검사 대상물의 이미지를 기록하는 복수개의 수광부; 를 포함하고, 상기 광원에서 빛이 입사되는 로드 렌즈의 입사면은 연속된 하나의 면으로 형성되고, 상기 로드 렌즈에서 빛이 방출되는 로드렌즈의 출사면은 복수개의 면으로 분리되도록 형성되는 조명 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 광원에서 입사되는 빛을 상기 로드 렌즈의 축에 평행하게 하는 시준기; 및 상기 시준기를 통과한 빛의 파장을 반사 및 반전시켜 상기 대물 렌즈에 전달하는 릴레이부(Relay)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 복수의 수광부는 두 개의 수광부로 구성되고, 상기 두 개의 수광부에 기록되는 기록 단면과 상기 광원에서 발생한 빛이 상기 로드 렌즈를 통해 상기 검사 대상물에 조사되는 조명 조사 영역이 대응되도록 상기 로드 렌즈의 출사면이 두 개로 분리되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 로드 렌즈의 출사면은 세로로 분리되어 동일한 면적을 갖는 두 개의 면을 포함하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 복수의 수광부는 세 개의 수광부로 구성되고, 상기 세 개의 수광부에 기록되는 기록 단면과 상기 광원에서 발생한 빛이 상기 로드 렌즈를 통해 상기 검사 대상물에 조사되는 조명 조사 영역이 대응되도록 상기 로드 렌즈의 출사면이 세 개로 분리되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 로드 렌즈의 출사면은 세로로 분리되어 동일한 면적을 갖는 세 개의 면을 포함하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 복수의 수광부에 기록되는 기록 단면과 상기 광원에서 발생한 빛이 상기 로드 렌즈를 통해 상기 검사 대상물에 조사되는 조명 조사 영역이 대응되도록 상기 로드 렌즈의 출사면이 네 개로 분리되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 로드 렌즈의 출사면은 세로 및 가로로 분리되어 동일한 면적을 갖는 네 개의 면을 포함하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 기술적 사상에 의한 조명용 로드 렌즈 및 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치는, 두 개 이상의 다중 수광부를 사용하는 조명 장치에서 검사 대상물에 조사되는 조명 조사 영역을 수광부의 기록 영역만으로 제한하여 상기 조명 조사 영역의 불연속면에 불필요한 조명이 조사되는 것을 방지하여 광량 손실 및 반사 노이즈를 최소화할 수 있으며, 검사 장치의 검출력을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치의 개념도이다.
도 2는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치에 대한 개념도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈의 사시도들이다.
도 3c는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈의 측면도이다.
도 4는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치를 이용해 검사 대상물에 조명을 조사한 경우의 조명 조사 영역을 나타낸 도면이다.
도 5는 하나의 수광부를 사용해 조명을 조사한 경우 및 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈를 포함하는 다중 수광부를 사용해 조명을 조사한 경우의 검사 대상물의 단면이다.
도 6은 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치에 대한 개념도이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈의 사시도들이다.
도 7c는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈의 측면도이다.
도 8은 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치를 이용해 검사 대상물에 조명을 조사한 경우의 조명 조사 영역을 나타낸 도면이다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈의 사시도들이다.
도 9c는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈의 측면도이다.
본 발명의 구성 및 효과를 충분히 이해하기 위하여, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라, 여러 가지 형태로 구현될 수 있고 다양한 변경을 가할 수 있다. 단지, 본 실시 예들에 대한 설명은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것이다. 첨부된 도면에서 구성 요소들은 설명의 편의를 위하여 그 과장되거나 축소될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "상에" 있다거나 "접하여" 있다고 기재된 경우, 다른 구성 요소에 상에 직접 맞닿아 있거나 또는 연결되어 있을 수 있지만, 중간에 또 다른 구성 요소가 존재할 수 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "바로 위에" 있다거나 "직접 접하여" 있다고 기재된 경우에는, 중간에 또 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 예를 들면, "~사이에"와 "직접 ~사이에" 등도 마찬가지로 해석될 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 표현하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. "포함한다" 또는 "가진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하기 위한 것으로, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들이 부가될 수 있는 것으로 해석될 수 있다.
본 발명의 실시예들에서 사용되는 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 통상적으로 알려진 의미로 해석될 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써 본 발명을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치(100)의 개념도이다.
상기 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치(100)는 광원(110), 조명용 로드 렌즈(120), 시준기(130), 릴레이(Relay)부(140) 및 대물 렌즈(150)를 포함한다. 상기 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치(100)는 검사 대상물(200)에 상기 광원(110)에서 발생되는 빛을 조사하여 상기 검사 대상물(200)의 미세한 결함 등을 검사할 수 있다.
상기 광원(110)은 상기 조명용 로드 렌즈(120)에 빛을 입사시켜 상기 시준기(130), 릴레이부(140) 및 대물 렌즈(150)를 거쳐 상기 검사 대상물(200)에 빛을 조사하기 위한 빛의 공급원이다. 상기 광원(110)은 빛을 발생시키는 램프 및 상기 램프에서 발생된 빛을 상기 조명용 로드 렌즈(120)로 반사시키는 반사경을 포함할 수 있다. 상기 광원은, 예컨대 ArF 엑시머 레이저, KrF 엑시머 레이저 또는 XeCl 엑시머 레이저를 이용하는 레이저 광원일 수 있다.
상기 광원(110)으로부터 발생된 빛은 조명용 로드 렌즈(120)로 입사된다. 도 1에서 상기 조명용 로드 렌즈(120)는 직사각형 형태로 도시되었으나, 이는 개념도인바 실제로는 길이가 긴 막대 모양의 직육면체로 형성될 수 있다. 상기 조명용 로드 렌즈(120)는 상기 광원(110)에서 발생된 빛이 입사되는 입사면(120i, 도 3a 내지 도 3c 참조) 및 상기 광원(110)에서 입사된 빛이 방출되는 출사면(120f, 도 3a 내지 도 3c 참조)을 포함할 수 있다.
상기 조명용 로드 렌즈(120)를 통해 방출되는 빛은 시준기(130)로 입사된다. 상기 시준기(130)는 광원(110)에서 발생되어 상기 조명용 로드 렌즈(120)를 통과하여 분산된 빛을 대물 렌즈(150)의 축에 평행하게 시준하하는 장치이다. 상기 시준기(130)는 슬릿(Slit)과 볼록 렌즈를 포함하는 관 형태로 형성되고, 상기 슬릿은 상기 조명용 로드 렌즈(120)의 초점 평면에 형성된다. 슬릿으로 들어간 빛은 상기 시준기(130)를 지나면서 평행광으로 바뀔 수 있다. 상기 시준기(130)는 상기 조명용 로드 렌즈(120)의 주초점 거리에 슬릿이 있는 망원경의 형태일 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 시준기(130)는 봉 렌즈형으로 형성될 수 있다.
상기 시준기(130)에서 출력되는 평행 광은 제1 릴레이부(142) 및 제2 릴레이부(144)를 통과하여 대물 렌즈(150)에 도달한다. 상기 제1 릴레이부(142) 및 상기 제2 릴레이부(144)는 릴레이부(140)를 구성하며, 상기 릴레이부(140)는 상기 시준기(130)를 통과한 평행 광을 전반사를 통해 상기 대물 렌즈(150)에 전달한다.
상기 릴레이부(140)를 통한 평행 광은 대물 렌즈(150)로 도달한다. 상기 대물 렌즈(150)는 평행 광을 집광하여 검사 대상물(200)에 조사함으로써, 상기 검사 대상물(200)의 미세한 흠 등을 검출시킬 수 있다.
도 2는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치(102)에 대한 개념도이다.
상기 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치(102)는 상기 조명용 로드 렌즈를 포함하는 조명 장치(100)와 같이 광원(110), 조명용 로드 렌즈(120), 시준기(130), 릴레이부(140) 및 대물 렌즈(150)를 포함한다. 상기 광원(110), 조명용 로드 렌즈(120), 시준기(130), 릴레이부(140) 및 대물 렌즈(150)는 도 1에서 설명한 바와 동일한 바, 중복되는 설명은 생략한다.
상기 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치(102)는 상기 구성 요소 외에 반사판(160), 편광 분리 장치(170), 제1 결상 광학계(180a) 및 제2 결상 광학계(180b)를 더 포함한다.
반사판(160)은 대물 렌즈(150)를 통과하여 검사 대상물(200)에 도달한 후 다시 반사된 빛의 방향을 편광 분리 장치(170) 쪽으로 바꾸어주는 장치이다.
상기 반사판(160)을 통해 반사된 빛은 편광 분리 렌즈(162)를 통하여 편광 분리 장치(170)에 도달한다. 상기 편광 분리 렌즈(162)는 검사 대상물(200)에 조사되고, 상기 반사판(160)을 통해 반사된 빛을 각 파장으로 분리시켜 제1 결상 광학계(180a)와 제2 결상 광학계(180b)로 도달하게 한다.
상기 편광 분리 렌즈(162)를 통과한 빛은 각 파장 별로 분광되어 편광 분리 장치(170)에 도달한다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 편광 분리 장치(170)는 삼각형의 프리즘으로 형성될 수 있다. 상기 편광 분리 장치(170)의 제1 면(170a)에 도달하여 집광된 빛의 파장은 제1 결상 광학계(180a)로 도달되고, 제2 면(170b)에 도달하여 집광된 빛의 파장은 제2 결상 광학계(180b)로 도달된다.
상기 제1 결상 광학계(180a)는 제1 결상 렌즈(182a), 제2 결상 렌즈(184a) 및 제1 수광부(186a)를 포함한다. 상기 제1 결상 렌즈(182a)는 편광 분리 장치(170)의 제1 면(170a)으로 집광된 빛의 파장을 평행화하여 제2 결상 렌즈(184a)에 전달한다. 상기 제2 결상 렌즈(184a)는 상기 제1 결상 렌즈(182a)에서 전달된 평행 광선을 다시 집광하여 제1 수광부(186a)에 전달한다. 상기 제1 수광부(186a)는 상기 제2 결상 렌즈(184a)를 통해 집광된 빛을 받아 검사 대상물(200)의 일부면을 기록한다. 상기 제1 수광부(186a)는 검사 대상물(200)에서 반사되는 빛을 받아 이미지화하여 기록하는 장치로서, 예컨대, CCD 카메라(Charge Coupled Device Camera), CMOS 이미지 센서(Complementary Metal-Oxide Semiconductor Image Sensor) 또는 LBCAST(Lateral Buried Charge Accumulator and Sensing Transistor array)로 이루어질 수 있다.
상기 제2 결상 광학계(180b)는 제1 결상 렌즈(182b), 제2 결상 렌즈(184b) 및 제2 수광부(186b)를 포함한다. 상기 제2 결상 광학계(180b)는 제1 결상 광학계(180a)와 대향되는 방향에 배치되어 상기 제1 결상 광학계(180a)와 대칭되는 기능을 수행한다. 제2 수광부(186b)는 제1 수광부(186a)가 기록하는 검사 대상물(200)의 일부에 대칭되는 상기 검사 대상물(200)의 나머지 일부분을 기록한다.
편광 분리 장치(170)의 제3 면(170s)에 도달하는 빛의 파장은 제1 면(170a) 및 제2 면(170b)에 도달하는 빛의 파장과는 달리 일정한 방향으로 반사되지 않고, 난반사(亂反射)되어 사방으로 퍼지게 된다. 따라서 상기 제3 면(170s)에 도달한 빛의 파장에 해당하는 영역은 제1 수광부(186a) 또는 제2 수광부(186b)에서 기록할 수 없게 된다. 전술한 바와 같이, 제1 수광부(186a) 및 제2 수광부(186b)를 포함하는 다중 수광부가 설치되는 경우, 편광 분리 장치(170) 등 구조적 문제로 연속적인 검사 영역을 형성할 수 없다. 즉, 검사 대상물(200)에 도달한 빛의 파장 중 상기 제3 면(170s)에 도달한 빛은 난반사를 통해 수광부가 기록할 수 없고, 조명 조사 영역에서 음영 지역을 형성하게 된다. 따라서, 상기 제3 면(170s)에 도달한 빛의 파장에 해당하는 영역은 제1 수광부(186a) 또는 제2 수광부(186b)에서 기록할 수 없게 된다. 즉, 검사 대상물(200)에 도달한 빛의 파장 중 상기 제3 면(170s)에 도달한 빛은 난반사를 통해 수광부가 기록할 수 없고, 조명 조사 영역에서 음영 지역을 형성하게 된다.
수십 나노 미터(nm)의 미세한 결함을 검출하는 검사 장치에 있어서 작은 반사 노이즈도 무시할 수 없으므로, 조명이 조사되는 조명 조사 영역은 수광부의 기록 영역만으로 제한하는 것이 매우 중요하다. 전술한 바와 같이 음영 지역이 있는 경우 상기 음영 지역에도 광원(110)으로부터 빛이 조사되는바, 상기 음영 지역에 불필요한 빛이 조사됨으로써, 광량 손실이 발생하고, 광효율이 나빠지며, 또한 상기 음영 지역에 조사된 빛이 반사되는 경우 반사 노이즈가 발생하는 등의 문제점이 있다. 본 발명의 기술적 사상에 의한 조명용 로드 렌즈(120)는 입사면(120i, 도 3a 내지 도 3c 참조)은 연속된 하나의 면으로 형성하되, 출사면(120f, 도 3a 내지 도 3c 참조)은 불연속적으로 분리된 두 개의 면으로 형성함으로써 전술한 문제점을 해결할 수 있다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈의 사시도들이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈(120)는 긴 막대 형상의 직육면체 구조로 형성된다. 상기 조명용 로드 렌즈(120)의 입사면(120i)은 광원(110)으로부터 빛이 입사되는 면으로써 전체적인 직육면체 구조의 밑면에 해당되며, 불연속면이 없는 하나의 사각면으로 형성된다. 출사면(120f)은 상기 입사면(120i)에 대향되는 직육면체 구조의 밑면에 해당되고, 중앙부가 분리되어 동일한 면적을 가진 두 개의 사각면을 포함하도록 형성된다. 본 발명의 일 실시예에서, 상기 출사면(120f)은 동일한 면적을 가진 두 개의 면을 갖도록 도시되었으나, 이에 한정되는 것은 아니고, 편광 분리 장치(170)의 편광 분리도 및 다중 수광부의 배치 관계에 따라 서로 다른 면적을 갖도록 형성될 수도 있다.
상기 조명용 로드 렌즈(120)는 직육면체 구조로 되어 있는바, 제1 측면, 상기 제1 측면에 인접하여 형성되는 제2 측면, 상기 제2 측면에 인접하고 상기 제1 측면에 대향되는 제3 측면 및 상기 제3 측면에 인접하고 상기 제2 측면에 대향되는 제4 측면의 네 개의 측면을 포함한다. 상기 네 개의 측면 중 대향되는 두 개의 측면에는 상기 출사면(120f)의 분리된 두 개의 면에 대응되도록 두 갈레로 분리되는 시점인 분리 영역(120d)이 형성된다.
도 3c는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈(120)의 측면도이다.
도 3c를 참조하면, 입사면(120i)은 하나의 면으로 형성되고, 분리 영역(120d)에서 두 개의 면으로 분리되어 출사면(120f)은 불연속적으로 분리된 두 개의 면을 포함하도록 형성된다. 도 3a 내지 도 3c에서는 상기 분리 영역(120d)이 상기 조명용 로드 렌즈(120)의 측면 중앙 부위보다 입사면(120i)에 인접하여 형성되도록 도시되어 있으나 이에 한정되는 것은 아니고, 중앙 부위 또는 출사면(120f)에 인접하도록 형성될 수도 있다.
본 발명의 기술적 사상에 의한 조명용 로드 렌즈(120)는 연속적인 하나의 면으로 형성된 입사면(120i)과 동일한 면적을 가진 이격된 두 개의 면으로 형성된 출사면(120f)을 포함하고, 광원(110)으로부터 입사된 빛의 파장을 상기 출사면(120f)을 통해 두 개로 분리하여 출사시켜 제1 수광부(186a) 및 제2 수광부(186b)의 기록 영역과 조명 조사 영역을 대응되게 함으로써, 음영 지역에 불필요한 빛을 조사하지 않게 하고, 또한 상기 음영 지역에서 반사되는 빛의 노이즈를 억제하여 검사 장치의 검출력 향상에 기여할 수 있다.
도 4는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치(102)를 이용해 검사 대상물에 조명을 조사한 경우의 조명 조사 영역을 나타낸 도면이다.
대물 렌즈(150)의 시야에서 동일한 면적의 제1 수광부 기록 영역(188a)과 제2 수광부 기록 영역(188b)이 나란히 형성되고, 상기 제1 수광부 기록 영역(188a)과 상기 제2 수광부 기록 영역(188b) 사이에는 음영 지역(200s)이 형성된다. 상기 대물 렌즈(150)의 시야에는 상기 제1 수광부 기록 영역(188a)을 둘러싸고, 상기 제1 수광부 기록 영역(188a)과 실질적으로 동일한 면적을 가진 제1 조명 조사 영역(200a) 및 상기 제2 수광부 기록 영역(188b)을 둘러싸고, 상기 제2 수광부 기록 영역(188b)과 실질적으로 동일한 면적을 가진 제2 조명 조사 영역(200b)이 형성된다. 상기 제1 조명 조사 영역(200a)과 상기 제2 조명 조사 영역(200b)은 모두 음영 지역(200s)에는 형성되지 않는다. 도 4에 도시된 바와 같이 다중 수광부에 기록된 영역과 광원(110)으로부터 조명용 로드 렌즈(120)를 통해 검사 대상물(200)에 조사된 조명 조사 영역이 실질적으로 동일하게 형성되면 상기 음영 지역(200s)에 빛이 조사되지 않아 불필요한 광량의 손실을 막고, 상기 음영 지역(200s)에서 반사되는 빛에 의한 반사 노이즈를 감소시켜 전체적인 조명 장치 및 상기 조명 장치를 포함하는 검사 장치의 검출력을 향상시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치(102)를 사용하여 조명을 조사한 경우의 검사 대상물의 시뮬레이션 단면이다.
도 5를 참조하면, 도 4에 도시된 바와 같이 제1 수광부 기록 영역(188a)과 제2 수광부 기록 영역(188b)의 사이에 빛이 조사되지 않아 어둡게 표시된 영역, 즉 음영 지역(200s)이 존재하고, 상기 제1 수광부 기록 영역(188a) 및 상기 제2 수광부 기록 영역(188b)만이 밝게 표시된 것으로 보아 제1 조명 조사 영역(200a, 도 4 참조)가 상기 제1 수광부 기록 영역(188a)과 실질적으로 동일한 면적으로 조사되고, 제2 조명 조사 영역(200b, 도 4 참조)가 상기 제2 수광부 기록 영역(188b)와 실질적으로 동일한 면적으로 조사되는 것을 알 수 있다.
도 5에서 시뮬레이션 결과와 같이 다중 수광부의 기록 영역과 실질적으로 일치되는 분리된 조명 조사 영역을 구현하여 광량 손실 문제를 해결하고, 음영 지역(200s)에서의 반사에 의한 광 노이즈를 최소화할 수 있다.
도 6은 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치(104)에 대한 개념도이다.
상기 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치(104)는 도 2에 도시된 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치(102)와 같이 광원(110), 조명용 로드 렌즈(120-2), 시준기(130), 릴레이부(140), 대물 렌즈(150) 및 반사판(160)를 포함한다. 상기 광원(110), 시준기(130), 릴레이부(140), 대물 렌즈(150) 및 반사판(160)은 도 2에서 설명한 바와 동일한 바, 중복되는 설명은 생략한다.
상기 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치(104)는 상기 구성 요소 외에 제1 편광 분리 장치(172), 제1 결상 광학계(190a), 제2 결상 광학계(190b), 제3 결상 광학계(190c) 및 제2 편광 분리 장치(178)를 더 포함한다.
광원(110)으로부터 발생된 빛은 조명용 로드 렌즈(120-2)를 통해 시준기(130) 및 릴레이부(140)를 거쳐 대물 렌즈(150)를 통과하여 검사 대상물(200)에 도달한 후 다시 반사되어 반사판(160)을 통해 제1 편광 분리 장치(172)에 도달된다. 상기 제1 편광 분리 장치(172)는 상기 반사판(160)을 통해 반사된 빛의 파장을 각각의 편광으로 분할하여 제1 결상 광학계(190a)와 제2 편광 분리 장치(178)에 전달한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 편광 분리 장치(172)는 삼각 형태의 프리즘으로 형성될 수 있다. 상기 제1 편광 분리 장치(172)의 삼각형 꼭지점은 도 2에 도시된 것과는 달리 편광 분리 렌즈(162)의 정중앙에서 연장된 중앙선(162l)에 형성되지 않고, 상기 중앙선(162l)의 오른쪽에 비스듬히 배치된다. 따라서, 반사판(160)을 통해 반사된 빛이 편광 분리 렌즈(162)를 통하여 분리된 편광의 광속이 불균형하게 상기 제1 편광 분리 장치(172)에 도달하게 된다. 즉, 상기 편광 분리 렌즈(162)를 통과하여 분리된 편광의 광속 중 제1 결상 광학계(190a) 쪽으로 반사되는 광속보다 제2 편광 분리 장치(178) 쪽으로 반사되는 광속이 더 많게 된다.
구체적으로, 상기 제1 편광 분리 장치(172)에서 반사된 편광 중 상기 제1 편광 분리 장치(172)의 제1 면(172a)에서 반사된 편광은 제1 결상 광학계(190a) 쪽으로 전달되어 제1 수광부(196a)에 상이 ?히고, 제2 면(172b)에서 반사된 편광은 제2 집광 렌즈(174b) 및 제2 편광 분리 렌즈(176b)를 거쳐 제2 편광 분리 장치(178)에 전달되며, 제3 면(172s)에서 반사된 편광은 프리즘의 꼭지점에 도달하였으므로, 난반사가 일어나 특정 방향으로 전달되지 않고, 사방으로 퍼지게 된다. 상기 제3 면(172s)에서 반사된 편광은 어느 수광부에도 상이 맺히지 않고 제1 음영 지역(202s, 도 8 참조)를 형성하게 된다.
상기 제1 결상 광학계(190a)는 제1 결상 렌즈(192a), 제2 결상 렌즈(194a) 및 제1 수광부(196a)를 포함한다. 상기 제1 결상 렌즈(192a)는 제1 편광 분리 장치(172)의 제1 면(172a)으로 집광되어 반사된 빛의 파장을 평행화하여 제2 결상 렌즈(194a)에 전달한다. 상기 제2 결상 렌즈(194a)는 상기 제1 결상 렌즈(192a)에서 전달된 평행 광선을 다시 집광하여 제1 수광부(196a)에 전달한다. 상기 제1 수광부(196a)는 상기 제2 결상 렌즈(194a)를 통해 집광된 빛을 받아 검사 대상물(200)의 제1 수광부 기록 영역(198a, 도 8 참조)에 해당하는 일부면의 상을 기록할 수 있다. 상기 제1 수광부(196a)는 도 2에 도시된 제1 수광부(186a)와 같이 CCD 카메라(Charge Coupled Device Camera), CMOS 이미지 센서(Complementary Metal-Oxide Semiconductor Image Sensor) 또는 LBCAST(Lateral Buried Charge Accumulator and Sensing Transistor array)로 이루어질 수 있다.
제1 편광 분리 장치(172)의 제2 면(172b)에 도달하여 반사된 편광은 제2 집광 렌즈(174b)를 통해 평행광으로 변환되고, 제2 편광 분리 렌즈(176b)를 통해 집광되어 제2 편광 분리 장치(178)에 도달된다. 상기 제2 편광 분리 렌즈(176b)는 상기 제2 집광 렌즈(174b)를 통과해 평행광이 된 파장을 각각의 편광으로 분리하여 제2 편광 분리 장치(178)에 전달한다. 상기 제2 편광 분리 장치(178)의 제1 면(178b)에 도달한 편광은 제2 결상 광학계(190b)에 반사되어 제2 수광부(196b)에 상이 맺히고, 제2 면(178c)에 도달한 편광은 제3 결상 광학계(190c)에 반사되어 제3 수광부(196c)에 상이 맺히게 된다. 상기 제2 수광부(196b)는 검사 대상물(200)의 제2 수광부 기록 영역(198b, 도 8 참조)에 해당하는 일부면의 상을 기록하고, 상기 제3 수광부(196c)는 상기 검사 대상물(200)의 제3 수광부 기록 영역(198c, 도 8 참조)에 해당하는 일부면의 상을 기록할 수 있다.
상기 제2 결상 광학계(190b) 및 상기 제3 결상 광학계(190c)의 구성 및 상기 제2 수광부(196b) 및 상기 제3 수광부(196c)에 상이 맺히는 방법 등은 상기 제1 결상 광학계(190a) 및 상기 제1 수광부(196a)에서 설명한 바와 동일하므로 중복되는 설명은 생략한다.
제2 편광 분리 렌즈(176b)를 통과하여 제2 편광 분리 장치(178)의 제3 면(178s)에 도달한 편광은 프리즘의 꼭지점에서 특정 지역에 반사되지 않고 난반사되어 제1 수광부(196a) 내지 제3 수광부(196c)의 어디에도 상이 맺히지 않는다. 따라서, 상기 제3 면(178s)에 도달한 편광은 도 8에 도시된 제2 음영 지역(204s)를 형성한다.
도 2에서 설명한 바와 같이 음영 지역이 형성되는 경우 광원(110)으로부터 발생된 광량의 손실이 발생하고, 광효율이 나빠지며, 음영 지역에 조사된 빛이 반사되는 경우 반사 노이즈가 발생하는 등의 문제점이 있다. 도 6에서 설명한 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치(104)에서는 제1 수광부(196a) 내지 제3 수광부(196c)의 세 개의 수광부를 포함하므로, 상기 제1 수광부(196a) 내지 제3 수광부(196c)의 위치 관계 및 상이 맺히는 기록 영역 등을 고려하여 조명용 로드 렌즈(120-2)의 출사면을 불연속면으로 형성할 수 있다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈(120-2)의 사시도들이다.
도 7a 및 도 7b를 참조하면, 조명용 로드 렌즈(120-2)는 긴 막대 형상의 직육면체 구조로 형성되고, 입사면(120i)과 출사면(120f)의 형태가 다르게 형성된다. 상기 조명용 로드 렌즈(120-2)의 입사면(120i)은 광원(110)으로부터 빛이 입사되는 면으로써 연속적인 하나의 사각 평면으로 형성된다. 반면, 출사면(120f)은 상기 입사면(120i)과 달리 세로로 분리된 두 개의 분리된 개구(120h)가 있고, 상기 개구(120h)로 인해 분리된 동일한 면적을 가진 세 개의 사각면을 포함하도록 형성된다. 상기 개구(120h)는 제1 편광 분리 장치(172, 도 6 참조) 및 제2 편광 분리 장치(178, 도 6 참조)에 편광된 빛이 반사됨으로 인한 음영 지역(202s 및 204s, 도 8 참조)의 위치에 대응되게 형성될 수 있다. 도 7a 및 도 7b에서 상기 조명용 로드 렌즈(120-2)의 출사면(120f)은 동일한 면적을 가진 세 개의 사각면을 포함하도록 도시되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니고 상기 제1 편광 분리장치(172, 도 6 참조) 및 상기 제2 편광 분리 장치(178, 도 6 참조)가 배치된 위치 및 편광 분리도에 따라 다른 면적을 갖도록 형성될 수도 있다.
도 7c는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈(120-2)의 측면도다.
도 7c를 참조하면, 상기 조명용 로드 렌즈(120-2)는, 두 개의 분리 영역(120d)을 포함하여, 상기 두 개의 분리 영역(120d)에서 분리되어 세 갈레로 갈라지는 측면을 포함하도록 형성된다. 도 7a 내지 도 7c에서는 상기 두 개의 분리 영역(120d)이 상기 조명용 로드 렌즈(120-2)의 측면 중앙 부위보다 입사면(120i)에 인접하여 형성되도록 도시되어 있으나 이에 한정되는 것은 아니고, 중앙 부위 또는 출사면(120f)에 인접하도록 형성될 수도 있다.
도 8은 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈 및 다중 수광부를 포함하는 조명 장치(104)를 이용해 검사 대상물에 조명을 조사한 경우의 조명 조사 영역을 나타낸 도면이다.
대물 렌즈(150)의 시야에서 동일한 면적의 제1 수광부 기록 영역(198a) 내지 제3 수광부 기록 영역(198c)이 나란히 형성되고, 상기 제1 수광부 기록 영역(198a)과 상기 제2 수광부 기록 영역(198b) 사이에는 제1 음영 지역(202s)이 형성되며, 상기 제2 수광부 기록 영역(198b)와 상기 제3 수광부 기록 영역(198c)의 사이에는 제2 음영 지역(204s)가 형성된다. 상기 대물 렌즈(150)의 시야에는 상기 제1 수광부 기록 영역(198a)을 둘러싸고, 상기 제1 수광부 기록 영역(198a)과 실질적으로 동일한 면적을 가진 제1 조명 조사 영역(200a), 상기 제2 수광부 기록 영역(198b)을 둘러싸고, 상기 제2 수광부 기록 영역(198b)과 실질적으로 동일한 면적을 가진 제2 조명 조사 영역(200b) 및 상기 제3 수광부 기록 영역(198c)을 둘러싸고, 상기 제3 수광부 기록 영역(198c)과 실질적으로 동일한 면적을 가진 제3 조명 조사 영역(200c)이 형성된다. 도 4에서 설명한 바와 같이 다중 수광부에 기록되는 영역과 광원(110)으로부터 조명용 로드 렌즈(120-2)를 통해 검사 대상물(200)에 조사되는 조명 조사 영역이 실질적으로 동일하게 형성되면, 음영 지역에 불필요한 조명이 조사되지 않아 광량의 손실을 막고, 음영 지역에서 반사되는 빛에 의한 반사 노이즈를 감소시켜 전체적인 조명 장치 및 상기 조명 장치를 포함하는 검사 장치의 검출력을 향상시킬 수 있다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈(120-3)의 사시도들이다.
도 9a 및 도 9b를 참조하면, 상기 조명용 로드 렌즈(120-3)는 도 3a 및 도 7a에 도시된 조명용 로드 렌즈(120, 120-2)와 같이 긴 막대 형상의 직육면체 구조로 형성되고, 입사면(120i)과 출사면(120f)의 형태가 다르게 형성된다. 상기 조명용 로드 렌즈(120-2)의 출사면(120f)은 입사면(120i)과 달리 세로 및 가로로 분리된 십자(十) 형태의 개구(120h)가 형성되고, 상기 개구(120h)로 인해 분리된 동일한 면적을 가진 네 개의 사각면을 포함하도록 형성된다. 상기 개구(120h)는 편광 분리 장치가 입체 형상을 가져 편광을 네 갈레로 분리시키는 경우 편광 분리도 및 네 개의 수광부의 위치에 대응되도록 형성될 수 있다. 상기 개구(120h)에 해당되는 부분에서는 조명이 조사되지 않고, 음영 지역(200s, 도 10 참조)에 대응된다. 도 9a 및 도 9b에서 상기 조명용 로드 렌즈(120-3)의 출사면(120f)은 동일한 면적을 가진 네 개의 사각면을 포함하도록 도시되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니 편광 분리 장치의 입체도 및 편광 분리도에 따라 다른 면적을 갖도록 형성될 수도 있다.
도 9c는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예에 따른 조명용 로드 렌즈(120-3)의 측면도다.
도 9a 및 도 9b를 참조하면, 상기 조명용 로드 렌즈(120-3)는 네 개의 측면을 갖는 직육면체로 형성되고, 도 9c를 참조하면, 상기 조명용 로드 렌즈(120-3)의 각 측면에는 분리 영역(120d)이 형성되어 있다. 상기 조명용 로드 렌즈(120-3)의 측면은 도 3c에 도시된 것과 동일할 수 있다. 도 9a 내지 도 9c에서는 상기 분리 영역(120d)이 상기 조명용 로드 렌즈(120-3)의 측면 중앙 부위보다 입사면(120i)에 인접하여 형성되도록 도시되어 있으나 이에 한정되는 것은 아니고, 중앙 부위 또는 출사면(120f)에 인접하도록 형성될 수도 있다.
도 10은 네 개의 수광부를 가진 조명 장치에서 상기 조명용 로드 렌즈(120-3)를 통해 검사 대상물에 조명을 조사한 경우 조명 조사 영역을 나타낸 도면이다.
도 10을 참조하면, 대물 렌즈(150)의 시야에서 동일한 면적의 네 개의 수광부 기록 영역(198a 내지 198d)가 상기 대물 렌즈(150) 시야를 세로 및 가로로 나누어 바둑판 형상으로 형성되고, 네 개의 수광부 기록 영역(198a 내지 198d)에는 각각 실질적으로 동일한 면적을 가진 조명 조사 영역(200a 내지 200d)가 형성된다. 상기 네 개의 수광부 기록 영역(198a 내지 198d) 각각의 사이에는 십자(十) 형태의 음영 지역(200s)가 형성되고, 상기 음영 지역(200s)은 편광 분리 장치에 의해 난반사가 일어나 수광부의 기록 영역에 기록되지 않는 영역을 나타내며, 상기 조명용 로드 렌즈(120-3)의 개구(120h, 도 9b 참조)에 대응된다.
110: 광원, 120, 120-2, 120-3: 조명용 로드 렌즈, 120h: 개구, 120d: 분리 영역, 120i: 입사면, 120f: 출사면, 130: 시준기, 140: 릴레이부, 142: 제1 릴레이부, 144: 제2 릴레이부, 150: 대물 렌즈, 160: 반사판, 162l: 중앙선, 162: 편광 분리 렌즈, 170: 편광 분리 장치, 172: 제1 편광 분리 장치, 174b: 제2 집광 렌즈, 176b: 제2 편광 분리 렌즈, 178: 제2 편광 분리 장치, 180a: 제1 결상 광학계, 180b: 제2 결상 광학계, 182a: 제1 결상 렌즈, 182b: 제1 결상 렌즈, 184a: 제2 결상 렌즈, 184b: 제2 결상 렌즈, 186a: 제1 수광부, 186b: 제2 수광부, 188a: 제1 수광부 기록 영역, 188b: 제2 수광부 기록 영역, 190a: 제1 결상 광학계, 190b: 제2 결상 광학계, 190c: 제3 결상 광학계, 192a: 제1 결상 렌즈, 194a: 제2 결상 렌즈, 196a: 제1 수광부, 196b: 제2 수광부, 196c: 제3 수광부, 198b: 상기 제2 수광부 기록 영역, 198a: 제1 수광부 기록 영역, 198c: 제3 수광부 기록 영역, 200: 검사 대상물

Claims (10)

  1. 제1 밑면, 상기 제1 밑면에 대향되는 방향에 형성되는 제2 밑면을 포함하는 직육면체 형태의 막대 구조를 가지고,
    상기 제1 밑면은 연속된 하나의 면으로 형성되고,
    상기 제2 밑면은 분리된 복수의 면으로 형성되는 조명 장치용 로드 렌즈(Rod lens).
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 밑면은 동일한 면적의 두 개의 면을 갖도록 세로 방향으로 분리되는 것을 특징으로 하는 조명 장치용 로드 렌즈.
  3. 제2 항에 있어서,
    제1 측면, 상기 제1 측면에 인접하여 형성되는 제2 측면, 상기 제2 측면에 인접하고 상기 제1 측면에 대향되는 제3 측면 및 상기 제3 측면에 인접하고 상기 제2 측면에 대향되는 제4 측면을 포함하고,
    상기 제1 측면 및 상기 제3 측면의 일부는 상기 제2 밑면의 분리된 두 개의 면에 대응되도록 분리되는 것을 특징으로 하는 조명 장치용 로드 렌즈.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 밑면은 동일한 면적의 세 개의 면을 갖도록 세로 방향으로 분리되는 것을 특징으로 하는 조명 장치용 로드 렌즈.
  5. 제4 항에 있어서,
    제1 측면, 상기 제1 측면에 인접하여 형성되는 제2 측면, 상기 제2 측면에 인접하고 상기 제1 측면에 대향되는 제3 측면 및 상기 제3 측면에 인접하고 상기 제2 측면에 대향되는 제4 측면을 포함하고,
    상기 제1 측면 및 상기 제3 측면의 일부는 상기 제2 밑면의 분리된 세 개의 면에 대응되도록 세 갈래로 분리되는 것을 특징으로 하는 조명 장치용 로드 렌즈.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 밑면은 동일한 면적의 네 개의 면을 갖도록 세로 및 가로 방향으로 분리되는 것을 특징으로 하는 조명 장치용 로드 렌즈.
  7. 제6 항에 있어서,
    제1 측면, 상기 제1 측면에 인접하여 형성되는 제2 측면, 상기 제2 측면에 인접하고 상기 제1 측면에 대향되는 제3 측면 및 상기 제3 측면에 인접하고 상기 제2 측면에 대향되는 제4 측면을 포함하고,
    상기 제1 측면 내지 상기 제4 측면의 일부는 상기 제2 밑면의 분리된 4개의 면에 대응되도록 각각 두 갈래로 분리되는 것을 특징으로 하는 조명 장치용 로드 렌즈.
  8. 광원;
    상기 광원으로부터 빛이 입사되는 로드 렌즈;
    상기 로드 렌즈를 통과한 빛이 도달되고, 검사 대상물과 접하는 대물 렌즈; 및
    상기 검사 대상물에서 반사된 빛을 수광하여 상기 검사 대상물의 이미지를 기록하는 복수개의 수광부; 를 포함하고,
    상기 광원에서 빛이 입사되는 로드 렌즈의 입사면은 연속된 하나의 면으로 형성되고,
    상기 로드 렌즈에서 빛이 방출되는 로드렌즈의 출사면은 복수개의 면으로 분리되도록 형성되는 조명 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 복수의 수광부는 두 개의 수광부로 구성되고,
    상기 두 개의 수광부에 기록되는 기록 단면과 상기 광원에서 발생한 빛이 상기 로드 렌즈를 통해 상기 검사 대상물에 조사되는 조명 조사 영역이 대응되도록 상기 로드 렌즈의 출사면이 두 개로 분리되는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  10. 제8 항에 있어서,
    상기 복수의 수광부는 세 개의 수광부로 구성되고,
    상기 세 개의 수광부에 기록되는 기록 단면과 상기 광원에서 발생한 빛이 상기 로드 렌즈를 통해 상기 검사 대상물에 조사되는 조명 조사 영역이 대응되도록 상기 로드 렌즈의 출사면이 세 개로 분리되는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
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