KR20150094200A - 마스크 세정장비 - Google Patents

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KR20150094200A
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이재홍
오민섭
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멤스피아 주식회사
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    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
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Abstract

마스크 세정장비가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 내측에 포토마스크의 세정을 위한 작업공간이 구비되는 챔버부; 상기 챔버부의 상부면을 차폐시키며, 상기 작업공간으로 상기 포토마스크를 투입하기 위한 마스크투입홀이 구비되는 커버부; 상기 커버부의 하부측에 배치되어, 상기 포토마스크로 세정액 및 에어 중 적어도 하나를 분사하는 분사부; 각각 좌우 방향의 회전축을 구비하고 상기 챔버부 내측에 회전 가능하게 장착되며, 상기 포토마스크의 두께에 대응되도록 전후 방향으로 이격 배치되는 한 쌍의 롤브러쉬; 및 상기 포토마스크의 하단을 지지하는 마스크지지단을 구비하고, 상기 한 쌍의 롤브러쉬에 대해 상하 방향 이동 가능하도록 형성되어, 상기 포토마스크를 상하 방향 이동시키는 이동브라켓;을 포함하는 마스크 세정장비가 제공될 수 있다.

Description

마스크 세정장비 {MASK CLEANING DEVICE}
본 발명은 마스크 세정장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 멤스 공정 등에서 사용된 포토마스크를 세정하기 위한 마스크 세정장비에 관한 것이다.
멤스(MEMS, Micro Electro Mechanical Systems)는, 실리콘이나 수정, 유리 등을 가공해 초고밀도 집적회로, 초소형 기어, 손톱 크기의 하드디스크 등 초미세 기계구조물을 만드는 기술로 알려져 있다. 멤스로 만든 미세 기계는 마이크로미터 이하의 정밀도를 가질 수 있으며, 나노 및 시스템온칩(SoC) 기술의 등장과 함께 그 중요성이 날로 부각되고 있다. 멤스 기술의 응용 범위는 종래 자동차 에어백의 가속도 센서나 잉크젯 프린터 헤드 등에서 벗어나 유전자 정보 해독을 위한 바이오칩 등 생명의료 분야, 무선부품, 광부품 등의 미세기계 분야로 급속히 확산되고 있다.
한편, 필름 기반의 멤스 기술은, FPCB(Flexible Printed Circuit Board), 필름 등의 연성회로기판을 기재(substrate)로 사용한 것으로, 굴곡성이 뛰어나 휴대폰 폴더, LCD, PDP 모듈 등 디스플레이 제품에 많이 사용되고 있다. 관련하여, 본 출원인은 필름 기반의 멤스 공정을 자동화 또는 양산화하기 위한 필름 기반의 멤스 양상화 시스템(출원번호: 제10-2013-0117671호, 출원일: 2013년 10월 02일) 및 필름 기반의 멤스 양상화 시스템(출원번호: 제10-2013-0117673호, 출원일: 2013년 10월 02일)을 기 출원한 바 있다.
그러나 상기와 같은 양산화 시스템이나 공정을 위하여는, 미세 패턴 형성에 사용된 포토마스크(photomask)을 신속히 세정하여 다시 공정에 재투입하는 과정이 요구되는데, 종래 알려진 마스크 세정장비 등의 경우 작업 시간 등에 있어 양산화에 적용하기 어려운 난점이 있으며, 이로 인해, 고가의 포토마스크가 다수 구비되어야 하는 문제점이 발생되고 있다.
본 발명의 실시예들은 신속하고 효율적으로 포토마스크를 세정하여 양산화 시스템 또는 공정에 적용 가능한 마스크 세정장비를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 내측에 포토마스크의 세정을 위한 작업공간이 구비되는 챔버부; 상기 챔버부의 상부면을 차폐시키며, 상기 작업공간으로 상기 포토마스크를 투입하기 위한 마스크투입홀이 구비되는 커버부; 상기 커버부의 하부측에 배치되어, 상기 포토마스크로 세정액 및 에어 중 적어도 하나를 분사하는 분사부; 각각 좌우 방향의 회전축을 구비하고 상기 챔버부 내측에 회전 가능하게 장착되며, 상기 포토마스크의 두께에 대응되도록 전후 방향으로 이격 배치되는 한 쌍의 롤브러쉬; 및 상기 포토마스크의 하단을 지지하는 마스크지지단을 구비하고, 상기 한 쌍의 롤브러쉬에 대해 상하 방향 이동 가능하도록 형성되어, 상기 포토마스크를 상하 방향 이동시키는 이동브라켓;을 포함하는 마스크 세정장비가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 마스크 세정장비는 한 쌍의 롤브러쉬를 구비하고 이와 같은 한 쌍의 롤브러쉬 사이로 포토마스크가 세로로 세워져 배치된 상태에서 포토마스크의 세정이 이뤄질 수 있도록 함으로써, 보다 신속하고 효율적으로 포토마스크의 세정이 가능해진다. 이는 특히, 사용된 포토마스크의 신속한 세정 및 공정으로의 재투입이 요구되는 양산화 시스템이나 공정에서 유용하게 활용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 세정장비를 보여주는 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 세정장비의 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 마스크 세정장비의 평면도이다.
도 4는 도 1 및 2에 도시된 이동브라켓의 정면도 및 측면도이다.
도 5는 도 1 내지 3에 도시된 마스크 세정장비가 장착 설치되는 캐비닛을 보여주는 정면도 및 측면도이다.
도 6은 도 1 내지 3에 도시된 마스크 세정장비의 제 1 작동상태도이다.
도 7은 도 1 내지 3에 도시된 마스크 세정장비의 제 2 작동상태도이다.
이하, 본 발명의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다. 다만, 이하의 실시예들은 본 발명의 이해를 돕기 위해 제공되는 것이며, 본 발명의 범위가 이하의 실시예들에 한정되는 것은 아님을 알려둔다. 또한, 이하의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것으로, 불필요하게 본 발명의 기술적 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 공지의 구성에 대해서는 상세한 기술을 생략하기로 한다.
한편, 본 발명의 실시예들을 설명하기에 앞서, 이하의 실시예들은 필름 기반의 멤스(MEMS, Micro Electro Mechanical Systems) 양상화 공정 또는 시스템에 있어 사용된 포토마스크(photomask)를 신속히 세정하기 위한 장비로서, 본 출원인이 기 출원한 필름 기반의 멤스 양상화 시스템(출원번호: 제10-2013-0117671호, 출원일: 2013년 10월 02일) 및 필름 기반의 멤스 양상화 시스템(출원번호: 제10-2013-0117673호, 출원일: 2013년 10월 02일)은 본 명세서에서 원용하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 세정장비를 보여주는 정면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 마스크 세정장비의 측면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 마스크 세정장비의 평면도이다.
도 1 내지 3을 참고하면, 본 실시예에 따른 마스크 세정장비(100)는 챔버부(110)를 구비할 수 있다.
챔버부(110)는 대략 함체 형상으로 형성될 수 있으며, 후술할 롤브러쉬(140a, 140b) 등이 장착 지지되기 위한 기본 골격을 제공할 수 있다. 챔버부(110)의 내측에는 롤브러쉬(140a, 140b), 포토마스크 등이 배치되어 세정 작업을 수행하기 위한 작업공간이 구비될 수 있다.
챔버부(110)에 하부에는 세정에 사용된 세정액이 포집될 수 있으며, 원활한 세정액의 포집을 위해 챔버부(110)의 하부면은 호퍼(hopper, 111) 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 챔버부(110)의 하부측에는 포집된 세정액을 외부 배출시키기 위한 배수부(112)가 구비될 수 있다.
챔버부(110) 내측에는 포토마스크의 세정을 위한 롤브러쉬(140a, 140b) 등이 배치될 수 있는데, 필요에 따라 이러한 롤브러쉬(140a, 140b) 등은 하나의 챔버부(110) 내에 복수개의 셋트(set)가 구비될 수 있다. 예컨대, 본 실시예와 같은 경우, 도 1에 도시된 바와 같이 챔버부(110) 내측에 롤브러쉬(140a, 140b) 등이 좌우로 2개 셋트 구비된 경우를 예시하고 있다. 이와 같은 경우, 좌우측 셋트에 각각 포토마스크를 투입하여 한 번에 2개의 포토마스크를 세정 가능하게 된다. 다만, 챔버부(110) 내에 배치되는 롤브러쉬(140a, 140b) 등의 개수는 필요에 따라 증감 변동될 수 있으며, 이하에서는 설명의 편의를 위해 하나의 셋트을 중심으로 설명하기로 한다.
한편, 본 실시예에 따른 마스크 세정장비(100)는 커버부(120)를 구비할 수 있다.
커버부(120)는 도 2에 도시된 바와 같이 측면상 대략 'L'자형으로 형성될 수 있으며, 챔버부(110) 상단에 체결되어 챔버부(110)의 상부면을 차폐시키게 된다. 이와 같은 커버부(120)는 챔버부(110) 내측에서 포토마스크의 세정시 세정액 등이 외부로 튀거나 누출되는 것을 방지하게 된다.
커버부(120)에는 도 3에 도시된 바와 같이 포토마스크를 챔버부(110) 내측 공간으로 투입시키기 위한 마스크투입홀(121)이 형성될 수 있다. 마스크투입홀(121)은 포토마스크의 폭, 두께 등에 대응되도록 좌우 방향 연장된 슬릿홀(slit hole)의 형태로 형성될 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 마스크 세정장비(100)는 분사부(130)를 구비할 수 있다.
분사부(130)는 커버부(120)의 하부측에 장착되어 챔버부(110) 내측을 향해 배치될 수 있다. 또한, 분사부(130)는 포토마스크가 투입되는 마스크투입홀(121)과 인접하도록 배치되어 챔버부(110) 내측으로 투입되는 포토마스크를 향해 세정액 또는 에어(air)를 분사할 수 있다.
분사부(130)는 포토마스크의 세정에 필요한 세정액을 포토마스크에 분사하거나 세정이 완료된 포토마스크에 에어를 분사하여 포토마스크를 건조시키기 위한 것으로, 하나 이상의 세정액분사노즐(131) 및 하나 이상의 에어분사노즐(132)을 구비할 수 있다. 본 실시예의 경우, 도 2에 도시된 바와 같이 2개의 세정액분사노즐(131) 및 2개의 에어분사노즐(132)이 구비된 경우를 예시하고 있다. 다만, 세정액분사노즐(131)이나 에어분사노즐(132)의 개수는 필요에 따라 증감 변동될 수 있음은 물론이다.
세정액분사노즐(131)은 세정액공급장비(미도시)로부터 세정액을 공급받고 포토마스크의 투입시 포토마스크를 향해 세정액을 분사할 수 있다. 세정액은 액상(液狀)의 세정액이 사용될 수 있으며, 예컨대, 아세톤(acetone), IPA(IsoPropylAlcohol) 또는 그 혼합물 등을 포함할 수 있다. 다만, 특정한 종류의 세정액에 한정되지 않음은 물론이다.
에어분사노즐(132)은 세정이 완료된 포토마스크가 다시 마스크투입홀(121)을 통해 배출될 때 포토마스크로 에어를 분사하여 포토마스크에 잔존하는 세정액을 제거하고 포토마스크를 건조시키게 된다. 에어분사노즐(132)은 에어펌프(미도시) 등과 연결되어 에어 분사를 위한 압축공기를 제공받을 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 마스크 세정장비(100)는 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b)를 구비할 수 있다.
각 롤브러쉬(140a, 140b)는 좌우 방향의 회전축(141)을 구비하고 챔버부(110) 내측에 회전 가능하게 장착될 수 있다. 각 롤브러쉬(140a, 140b)는 마스크투입홀(121)로 투입되는 포토마스크의 표면에 접촉 회전되어 포토마스크를 세정시키게 된다.
또한, 롤브러쉬(140a, 140b)는 한 쌍이 구비될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b)는 챔버부(110) 내에 전후 방향으로 소정간격 이격 배치될 수 있다. 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b) 간 간격은 포토마스크의 두께에 대응되며, 각 롤브러쉬(140a, 140b)는 포토마스크의 전면 또는 후면에 접촉 회전되어 포토마스크의 전면 및 후면이 함께 세정되게 된다. 따라서 한 번의 공정을 통해 포토마스트의 전후면이 동시에 세정될 수 있으며, 이는 작업시간을 단축하고 신속한 포토마스크의 세정을 가능하게 한다.
한편, 본 실시예에 따른 마스크 세정장비(100)는 제 1 구동부(150)를 구비할 수 있다.
제 1 구동부(150)는 롤브러쉬(140a, 140b)를 회전 구동시키기 위한 것으로, 구동모터(151) 및 구동모터(151)의 출력축을 롤브러쉬(140a, 140b)의 회전축(141)과 연결하기 위한 벨트(152)로 구성될 수 있다. 또한, 전술한 바와 같이 롤브러쉬(140a, 140b)는 한 쌍이 구비될 수 있는바, 도 2에 도시된 바와 같이 제 1 구동부(150a, 150b) 또한 각 롤브러쉬(140a, 140b)를 회전 구동시킬 수 있도록 한 쌍이 구비될 수 있다. 다만, 필요에 따라 하나의 제 1 구동부(150)가 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b)를 함께 구동시킬 수 있도록 하나로 통합되거나 일체화될 수 있음은 물론이다.
한편, 본 실시예에 따른 마스크 세정장비(100)는 한 쌍의 가이드(160a, 160b)를 구비할 수 있다.
한 쌍의 가이드(160a, 160b)는 포토마스크의 투입이나 세정 과정에서 포토마스크의 이동을 가이드하고 포토마스크를 지지하기 위한 것으로, 챔버부(110) 내측에 상하 방향으로 장착 설치될 수 있다.
또한, 한 쌍의 가이드(160a, 160b)는 도 1에 도시된 바와 같이 좌우 방향으로 이격 배치될 수 있으며, 한 쌍의 가이드(160a, 160b) 간 간격은 투입되는 포토마스크의 폭에 대응되도록 형성될 수 있다. 각 가이드(160a, 160b)는 포토마스크의 측면 모서리에 체결될 수 있으며, 따라서 마스크투입홀(121)로 투입된 포토마스크는 좌우측 모서리가 각 가이드(160a, 160b)에 체결되어 지지되게 된다.
또한, 각 가이드(160a, 160b)는 챔버부(110) 내에서 상하 방향으로 소정정도 연장 형성될 수 있다. 이는 챔버부(110) 내에서 상하 방향으로 이동되는 포토마스크의 이동 경로에 대응된다. 또한, 도 3에 도시된 바와 같이 각 가이드(160a, 160b)는 포토마스크의 측면 모서리 부위가 삽입될 수 있는 마스크삽입홈(미표시)이 구비될 수 있다. 마스크삽입홈의 폭은 포토마스크의 두께에 대응되며 포토마스크는 이와 같은 마스크삽입홈 내로 측면 모서리 일부가 삽입 체결되어 각 가이드(160a, 160b)에 의해 지지 및 이동 안내될 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 마스크 세정장비(100)는 이동브라켓(170)을 구비할 수 있다.
이동브라켓(170)은 마스크투입홀(121)로 투입된 포토마스크의 하단을 지지하며, 상하 방향으로 이동되어 포토마스크가 챔버부(110) 내에서 상하 이동될 수 있도록 한다. 즉, 마스크투입홀(121)로 투입된 포토마스크는 좌우측 모서리가 각 가이드(160a, 160b)에 체결된 상태로 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b) 사이에 배치되게 되는데, 이동브라켓(170)은 이와 같은 상태에서 포토마스크의 하단을 접촉 지지하게 된다. 따라서 이동브라켓(170)이 상하 이동됨에 따라 포토마스크는 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b)에 대해 상하로 이동될 수 있으며, 이로 인해, 포토마스크의 전표면에 걸쳐 세정이 이뤄질 수 있게 된다. 이에 대하여는 본 실시예의 작동과 관련하여 부연키로 한다.
도 4는 도 1 및 2에 도시된 이동브라켓의 정면도 및 측면도로서, 이를 참고하면, 이동브라켓(170)은 챔버부(110)의 일측면(113)을 사이에 두고 절곡 형성된 플레이트 형태로 형성될 수 있으며, 일측에 포토마스크의 하단을 지지하기 위한 마스크지지단(171)을 구비할 수 있다. 마스크지지단(171)은 상방으로 절곡 형성되어 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b) 사이에 배치될 수 있다 (도 2 참고).
또한, 이동브라켓(170)의 타측에는 후술할 제 2 구동부(180)와의 체결을 위한 링크브라켓(172)이 구비될 수 있다. 링크브라켓(172)은 챔버부(110)의 외측에 배치될 수 있으며, 후술할 제 2 구동부(180)의 컨베이어벨트(181))와 체결되어 제 2 구동부(180)에 의해 이동브라켓(170)이 상하 이동될 수 있도록 한다.
다시 도 1 내지 3을 참고하면, 본 실시예에 따른 마스크 세정장비(100)는 제 2 구동부(180)를 구비할 수 있다.
제 2 구동부(180)는 이동브라켓(170)을 상하 이동시키기 위한 것으로, 링크브라켓(172)에 체결되는 컨베이어벨트(181))와, 컨베이어벨트(181))에 구동력을 제공하는 구동모터(182)로 구성될 수 있다. 컨베이어벨트(181))는 일측에 링크브라켓(172)이 체결된 상태로 양단이 풀리(183, 184)에 의해 지지될 수 있으며, 구동모터(182)는 벨트(185)를 통해 하단의 풀리(184)에 연결되어 컨베이어벨트(181))로 구동력을 제공할 수 있다. 링크브라켓(172)은 구동모터(182)의 회전 방향에 따라 상측 또는 하측으로 이동되게 된다.
도 5는 도 1 내지 3에 도시된 마스크 세정장비가 수납 설치되는 캐비닛을 보여주는 정면도 및 측면도이다.
도 5를 참고하면, 전술한 실시예의 마스크 세정장비(100)는 함체 형상의 캐비닛(190) 내에 수납 설치될 수 있다. 캐비닛(190)에는 포토마스크의 투입을 위한 개폐 가능한 투입문(191)이 마련될 수 있으며, 이러한 투입문(191)은 작업자 등이 내부의 상황을 관찰할 수 있도록 투명 재질로 형성될 수 있다. 캐비닛(190)에는 제 1, 2 구동부(150, 180)의 구동 제어나 세정액이나 에어 분사 등을 구동 제어하기 위한 제어패널(192)이 마련될 수 있으며, 캐비닛(190) 하단에는 이동을 용이하게 하기 위한 캐스터(193)가 구비될 수 있다.
상기와 같은 캐비닛(190)은 마스크 세정장비(100)에서 사용되는 세정액 등이 외부로 누출되지 않도록 하고, 작업자가 제어패널(192) 등을 통해 외부에서 세정 작업을 제어할 수 있도록 함으로써, 보다 안전한 포토 마스크의 세정을 가능하게 한다.
이하, 도면을 참고하여 본 실시예에 따른 마스크 세정장비(100)의 작동에 대해 설명하도록 한다.
도 6은 도 1 내지 3에 도시된 마스크 세정장비의 제 1 작동상태도이다.
도 6은 본 실시예에 따른 마스크 세정장비(100) 내로 포토마스크(M)를 투입하는 모습을 도시한 것으로, 작업자는 캐비닛(190)의 투입문(191)을 열고(도 5 참고), 사용된 포토마스크(M)를 커버부(120)에 형성된 마스크투입홀(121)로 투입하게 된다(도 3 참고). 이때, 포토마스크(M)는 소정 넓이 및 두께를 가지는 플레이트 형태로 형성되며, 슬릿홀 형태의 마스크투입홀(121)로 세로 방향 투입되게 된다. 이는 종래 일반적인 마스크 세정장비나 방법이 포토마스크를 바닥면에 눕혀둔 상태로 세정하게 되는 것과 구별되며, 본 실시예에 따는 마스크 세정장비(100)의 경우 이와 같이 포토마스크(M)가 세로로 세워져 투입되는 방식을 사용함으로써 보다 신속하고 효율적인 포토마스크(M)의 세정이 가능하게 된다.
한편, 마스크투입홀(121)로 투입된 포토마스크(M)는 좌우측 모서리가 각 가이드(160a, 160b)의 마스크삽입홈으로 삽입 체결되어 상하 방향 이동이 안내될 수 있으며, 전후 방향으로 이격 배치된 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b) 사이에 배치되게 된다. 즉, 포토마스크(M)는 전후면이 각각의 롤브러쉬(140a, 140b)에 대향하도록 배치되어 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b) 사이에 투입된 포토마스크(M)로 세로로 세워진 형태가 된다.
또한, 포토마스크(M)의 하단은 이동브라켓(170)의 마스크지지단(171)에 의해 지지될 수 있다. 포토마스크(M)의 투입 단계에서 이동브라켓(170) 및 마스크지지단(171)은 롤브러쉬(140a, 140b)를 향해 상부측으로 소정정도 올라온 상태로 배치되게 된다.
상기와 같이 포토마스크(M)가 투입되어 마스크 세정장비(100) 내에 배치되면, 작업자는 투입문(191)을 닫고 제어패널(192)을 통해 세정 작업을 시작하게 된다. 이에 대하여는 하기 도 6을 참조하여 설명하도록 한다.
도 6은 도 1 내지 3에 도시된 마스크 세정장비의 제 2 작동상태도이다.
도 6은 세정 작업이 시작되어 이동브라켓(170) 및 포토마스크(M)가 초기 위치에서 소정정도 하부측으로 이동된 모습을 도시하고 있다. 작업자가 제어패널(192)을 통해 세정 작업을 시작하면, 분사부(130)에 구비된 세정액분사노즐(131)에서 포토마스크(M)를 향해 세정액이 분사되며, 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b)는 제 1 구동부(150)에 의해 회전 구동되게 된다. 각 롤브러쉬(140a, 140b)는 포토마스크(M)의 전면 또는 후면에 접촉 회전되어 포토마스크(M)의 전후면을 동시에 세정하게 되며, 이와 같이 포토마스크(M)의 전후면을 동시에 세정함으로 인해, 보다 신속하고 효율적인 포토마스크(M)의 세정이 가능해진다.
또한, 이동브라켓(170)은 제 2 구동부(180)에 의해 상하 방향으로 이동되게 된다. 이동브라켓(170)의 상하 이동은 포토마스크(M)를 롤브러쉬(140a, 140b)에 대해 상하로 이동시키게 되며, 이로 인해, 포토마스크(M)는 전면적에 걸쳐 각 롤브러쉬(140a, 140b)와 접촉 및 세정될 수 있다. 이와 같은 이동브라켓(170)이 이동은 상하 방향으로 소정횟수 반복될 수 있다.
한편, 포토마스크(M)의 세정이 완료되면, 롤브러쉬(140a, 140b)는 구동 정지될 수 있으며, 분사부(130)에 구비된 에어분사노즐(132)에서 포토마스크(M)를 향해 에어가 분사될 수 있다. 분사된 에어는 포토마스크(M)의 표면에 잔존하는 세정액을 제거하고 포토마스크(M)를 건조시키게 된다. 이와 같은 과정에서 이동브라켓(170)은 하부측에서 서서히 상부측으로 이동될 수 있으며, 건조 과정과 함께 포토마스크(M)를 마스크투입홀(121)로 밀어 올리게 된다.
건조가 완료된 포토마스크(M)는 이동브라켓(170)에 의해 상부측으로 밀어올려져 다시 마스크투입홀(121)을 통해 배출되게 되며, 세정이 완료된 포토마스크(M)가 배출되면 작업자는 투입문(191)을 열고 세정 완료된 포토마스크(M)를 꺼내는 한편, 다음 세정을 위한 포토마스크(M)를 다시 투입하게 된다.
한편, 세정에 사용된 세정액은 챔버부(110) 하부로 흘려내려 챔버부(110) 하부면의 호퍼(111) 형상을 의해 포집되게 되며, 배수부(112)를 통해 외부로 배출되게 된다.
이상에서 설명한 바, 본 실시예에 따른 마스크 세정장비(100)는 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b)를 구비하고 이와 같은 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b) 사이로 포토마스크(M)가 세로로 세워져 배치된 상태에서 포토마스크(M)의 세정이 이뤄질 수 있도록 함으로써, 보다 신속하고 효율적으로 포토마스크(M)의 세정이 가능해진다. 이는 특히, 사용된 포토마스크(M)의 신속한 세정 및 공정으로의 재투입이 요구되는 양산화 시스템이나 공정에서 유용하게 활용될 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
100: 마스크 세정장비 110: 챔버부
120: 커버부 130: 분사부
140a, 140b: 롤브러쉬 150: 제 1 구동부
160a, 160b: 가이드 170: 이동브라켓
180: 제 2 구동부 190: 캐비닛
M: 포토마스크

Claims (9)

  1. 내측에 포토마스크(M)의 세정을 위한 작업공간이 구비되는 챔버부(110);
    상기 챔버부(110)의 상부면을 차폐시키며, 상기 작업공간으로 상기 포토마스크(M)를 투입하기 위한 마스크투입홀(121)이 구비되는 커버부(120);
    상기 커버부(120)의 하부측에 배치되어, 상기 포토마스크(M)로 세정액 및 에어 중 적어도 하나를 분사하는 분사부(130);
    각각 좌우 방향의 회전축(141)을 구비하고 상기 챔버부(110) 내측에 회전 가능하게 장착되며, 상기 포토마스크(M)의 두께에 대응되도록 전후 방향으로 이격 배치되는 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b); 및
    일측에 상기 포토마스크(M)의 하단을 지지하는 마스크지지단(171)을 구비하고, 상기 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b)에 대해 상하 방향 이동 가능하도록 형성되어, 상기 포토마스크(M)를 상하 방향 이동시키는 이동브라켓(170);을 포함하는, 마스크 세정장비.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 한 쌍의 롤브러쉬(140a, 140b)를 회전 구동시키는 제 1 구동부(150); 및
    상기 이동브라켓(170)을 상하 이동시키는 제 2 구동부(180);를 더 포함하는, 마스크 세정장비.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제 2 구동부(180)는,
    상하 방향을 따라 배치되어 상기 이동브라켓(170)의 타측에 마련된 링크브라켓(172)과 체결되는 컨베이어벨트(181); 및
    상기 컨베이어벨트(181)와 연결되어 구동력을 제공하는 구동모터(182);를 포함하는, 마스크 세정장비.
  4. 청구항 1에 있어서,
    각각 상기 포토마스크(M)의 이동 경로를 따라 상하 방향으로 연장 형성되며, 상기 챔버부(110) 내측에 좌우 방향으로 소정간격 이격 배치되어 상기 포토마스크(M)의 좌우측 모서리를 지지하는 한 쌍의 가이드(160a, 160b);를 더 포함하는, 마스크 세정장비.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 각 가이드(160a, 160b)는, 상기 포토마스크(M)의 측면 모서리가 삽입 체결될 수 있도록, 상기 포토마스크(M)의 두께에 대응되는 폭으로 형성된 마스크삽입홈을 구비하는, 마스크 세정장비.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 챔버부(110)는, 하부면이 호퍼(hopper, 111) 형상으로 형성되며, 하부면에 포집된 세정액을 외부 배출시키기 위한 배수부(112)를 구비하는, 마스크 세정장비.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 마스크투입홀(121)은, 상기 포토마스크(M)의 폭 및 두께에 대응되는 슬릿홀(slit hole)의 형태로 형성되며,
    상기 포토마스크(M)는, 세로로 세워진 상태로 상기 마스크투입홀(121)로 투입되어, 전후면이 상기 각 롤브러쉬(140a, 140b)에 의해 동시에 세정되는, 마스크 세정장비.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 분사부(130)는,
    상기 포토마스크(M)의 투입시 상기 포토마스크(M)로 세정액을 분사하는 하나 이상의 세정액분사노즐(131); 및
    세정이 완료된 상기 포토마스크(M)로 에어를 분사하는 하나 이상의 에어분사노즐(132);을 포함하는, 마스크 세정장비.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 이동브라켓(170)은, 상기 포토마스크(M)의 세정시 상하 방향으로 복수회 반복 이동되는, 마스크 세정장비.
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