KR20150090699A - 부품 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 부품 검사 장치는, 적어도 하나의 검사 대상 부품이 안착되는 투과 패널, 상기 투과 패널의 상부에 구비되어 상기 검사 대상 부품을 촬영하는 카메라부, 상기 투과 패널의 상부에 구비되어 상기 투과 패널 및 상기 검사 대상 부품을 향해 조명을 제공하는 조명부, 상기 투과 패널의 하부에 구비되어 상기 조명부에서 제공된 빛 중 상기 투과 패널을 통과한 빛을 상기 카메라부를 향해 반사하는 반사부 및 상기 조명부에서 제공된 빛 중 상기 검사 대상 부품에 반사되어 상기 카메라부로 진입하는 빛은 차단하고, 상기 조명부에서 제공되어 상기 투과 패널을 통과한 빛 중 상기 반사부에 의해 반사되고 상기 투과 패널을 다시 통과하여 상기 카메라로 진입하는 빛은 통과시키는 편광부를 포함한다.

Description

부품 검사 장치{APPARATUS FOR INSPECTING COMPONENT}
본 발명은 부품 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 인쇄회로기판 상에 삽입되는 부품의 위치 등을 검사하는 부품 검사 장치에 관한 것이다.
전자 장비 내에는 적어도 하나의 인쇄회로기판이 장착되어 회로를 구성하며, 인쇄회로기판 상에는 다양한 종류와 크기의 전자 부품이 실장된다. 여기서 전자 부품은 인쇄회로기판 상에 회로를 구성할 수 있도록 하는 직접회로, 다이오드, 콘덴서, 저항, 트랜지스터 등의 전자부품을 의미할 수 있다.
일반적으로 인쇄회로기판 상에 복수 종의 전자 부품을 실장하는 실장 라인은 부품 실장 장치와 부품 검사 장치를 포함한다. 부품 실장 장치는 여러 종류의 전자 부품을 각각 인쇄회로기판의 정해진 위치 상에 올려놓는 실장 작업을 수행하고, 부품 검사 장치는 전자 부품의 장착 위치 및/또는 전자 부품의 납땜 상태 등의 전자 부품들의 실장 상태를 검사하는 작업을 수행한다.
특히 전자 부품의 위치를 측정하기 위해 현재 사용되고 있는 일반적인 부품 검사 장치는 투명 재질의 글래스 패널의 상면에 부품을 실장시키고, 글래스 패널의 하부에 백라이트 패널(back light pannel)을 설치하고 글래스 패널을 향해 조명을 제공한 후, 글래스 패널의 상부에 위치한 카메라로 부품의 그림자를 촬영하여 부품의 위치를 검사한다.
그러나, 종래의 백라이트 패널을 이용한 부품 검사 장치는 구조적인 문제로 백라이트 패널에 외부 전원을 연결할 수 없다. 따라서 백라이트 패널은 건전지 등의 내부 전원에 의해 조명을 제공한다. 그러나, 건전지의 수명으로 인해 백라이트의 밝기가 변하는 상황이나 검사 도중에 건전지의 전원 부족으로 검사가 중단되는 상황 등이 빈번하게 발생한다. 또한, 백라이트의 밝기 조절이 곤란하여 촬영 영상이 너무 밝거나 어두운 경우에 부품에 대한 영상이 왜곡되어 부품의 정확한 위치 측정이 곤란한 경우도 종종 발생한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 안정적인 조명을 제공하고 동시에 명확한 부품의 위치 확인이 가능한 부품 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 부품 검사 장치는, 적어도 하나의 검사 대상 부품이 안착되는 투과 패널, 상기 투과 패널의 상부에 구비되어 상기 검사 대상 부품을 촬영하는 카메라부, 상기 투과 패널의 상부에 구비되어 상기 투과 패널 및 상기 검사 대상 부품을 향해 조명을 제공하는 조명부, 상기 투과 패널의 하부에 구비되어 상기 조명부에서 제공된 빛 중 상기 투과 패널을 통과한 빛을 상기 카메라부를 향해 반사하는 반사부 및 상기 조명부에서 제공된 빛 중 상기 검사 대상 부품에 반사되어 상기 카메라부로 진입하는 빛은 차단하고, 상기 조명부에서 제공되어 상기 투과 패널을 통과한 빛 중 상기 반사부에 의해 반사되고 상기 투과 패널을 다시 통과하여 상기 카메라로 진입하는 빛은 통과시키는 편광부를 포함한다.
일 실시예에 따르면, 상기 편광부는, 상기 조명부에서 제공된 빛을 제1 편광으로 편광된 빛으로 통과시키는 제1 편광 필터 및 상기 카메라로 진입하는 빛 중 제2 편광으로 편광된 빛을 통과시키는 제2 편광 필터를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제1 편광 필터는 상기 조명부와 상기 투과 패널 사이에 구비되고, 상기 제2 편광 필터는 상기 카메라부와 상기 투과 패널 사이에 구비될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 조명부에서 제공된 빛은 상기 제1 편광 필터를 통과하며 상기 제1 편광으로 편광되고, 상기 제1 편광으로 편광된 빛 중 상기 검사 대상 부품에 반사되어 상기 카메라부로 진입하는 빛은 상기 제2 편광 필터에 의해 차단될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 반사부는, 상기 제1 편광 필터를 통과하며 상기 제1 편광으로 편광된 빛 중 상기 투과 패널을 통과한 빛을 상기 제2 편광으로 변환하여 상기 카메라부를 향해 반사할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 반사부는, 제1 프리즘 시트와 상기 제1 프리즘 시트의 하부에 구비되는 제2 프리즘 시트를 포함하고, 상기 제1 프리즘 시트는 상기 제1 편광으로 편광되어 상기 투과 패널을 통과한 빛을 상기 제2 프리즘 시트를 향해 굴절 및 확산시키고, 상기 제2 프리즘 시트는 상기 제1 프리즘 시트를 통과한 상기 제1 편광으로 편광된 빛을 상기 제2 편광으로 변환하여 상기 카메라부를 향해 반사할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제1 프리즘 시트는 삼각 단면을 갖는 복수 개의 제1 프리즘이 상부를 향하도록 구비되고, 상기 제2 프리즘 시트는 삼각 다면을 갖는 복수 개의 제2 프리즘이 하부를 향하도록 구비될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 복수 개의 제1 프리즘의 편향 패턴과 상기 복수 개의 제2 프리즘의 편향 패턴은 상호 수직하게 형성될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 반사부는, 삼각 단면을 갖는 복수 개의 프리즘이 하부를 향하도록 구비되는 프리즘 시트를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 복수 개의 프리즘의 편향 패턴은 상기 프리즘 시트의 경계면과 45도의 편향각을 이루며 형성될 수 있다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
부품의 위치를 촬영하기 위한 조명이 투과 패널의 상부에 구비되므로, 안정적인 외부 전원을 이용해 조명을 제공할 수 있다.
카메라와 조명이 검사 대상 부품의 상부에 위치하더라도 편광 필터를 이용해 명확한 부품의 그림자 이미지를 획득할 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 부품 검사 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 부품 검사 장치의 편광부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반사부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 반사부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 반사부를 이용한 부품 검사 원리를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 편광부를 부착하지 않은 촬영 이미지이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 편광부를 부착한 촬영 이미지이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
또한, 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 개략도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 또한 본 발명에 도시된 각 도면에 있어서 각 구성 요소들은 설명의 편의를 고려하여 다소 확대 또는 축소되어 도시된 것일 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "이루어지다(made of)"는 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 구성 요소들 상호 간의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 부품 검사 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대하여 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 부품 검사 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 부품 검사 장치(1)는 촬영부(10), 편광부(20), 투과 패널(30), 반사부(40) 및 지지 프레임(50)을 포함한다.
촬영부(10)는 카메라부(11), 렌즈부(12) 및 조명부(13)를 포함한다.
카메라부(11)는 적어도 하나의 검사 대상 부품(60)의 위치를 촬영하기 위한 구성 요소로서, 검사 대상 부품(60) 및 투과 패널(30)의 상부에 설치된다. 검사 대상 부품(60)은 인쇄회로기판(미도시)에 실장되는 각종의 전자 부품이다.
카메라부(11)의 이미지 감지수단은 CCD(Charge Coupled Device) 또는 CMOS(Complementary metal-oxide semiconductor)등의 촬상 소자가 사용될 수 있다.
도 1에는 단일의 카메라부(11)가 설치되는 예를 도시하였으나, 서로 다른 위치를 촬영하는 복수 개의 카메라부(11)가 구비될 수도 있다.
카메라부(11)의 하부에는 렌즈부(12)가 설치된다. 렌즈부(12)는 그 초점거리가 카메라부(11)와 검사 대상 부품(60) 사이의 거리에 대응하도록 설계될 수 있으며, 투과 패널(30)의 일정 영역이 촬영 이미지로 형성되는 배율을 가질 수 있다. 복수 개의 카메라부(11)가 구비되는 경우에는 서로 다른 배율의 복수 개의 렌즈가 설치되어 검사 대상 부품(60)의 촬영 이미지를 다양화 할 수 있다.
조명부(13)는 투과 패널(30)의 상부에 설치된다. 조명부(13)는 카메라부(11)가 검사 대상 부품(60)의 위치를 촬영하기 위한 조명을 제공하는 구성 요소이다.
도 1에는 조명부(13)가 렌즈부(12)의 하부에 위치하는 예를 도시하였으나, 조명부(13)의 위치는 이에 한정되지 않고, 투과 패널(30)의 상부에 카메라부(11)와 별도로 구비되어 투과 패널(30)을 향해 조명을 제공하는 위치에 설치될 수 있다.
검사 대상 부품(60)의 높이에 의해 발생하는 검사 대상 부품(60)의 그림자가 투과 패널(30) 상에 형성되는 것을 방지하기 위해, 조명부(13)는 투과 패널(30)의 상부에 원형으로 배치되는 복수 개의 광원(미도시)를 포함할 수 있다. 이를 위해 도 1의 조명부(13)는 렌즈부(12)의 주변을 원형으로 둘러싸는 복수 개의 광원을 포함할 수 있다.
렌즈부(12) 및 조명부(13)의 하부에는 편광부(20)가 구비된다. 편광부(20)는 조명부(13)로부터 조사된 무편광의 빛을 편광된 빛으로 통과시키고, 특정 방향으로 편광된 빛만이 렌즈부(12)를 통해 입사되도록 하는 구성 요소로서, 이에 대한 구체적인 설명은 후술한다.
한편, 촬영부(10) 및 편광부(20)의 하부에는 투과 패널(30)이 구비된다.
투과 패널(30)은 적어도 하나의 검사 대상 부품(60)이 안착되는 공간을 제공한다. 투과 패널(30)은 상하로 빛이 투과할 수 있는 플레이트로서, 유리(glass) 등의 투명 재질을 이용해 형성될 수 있다.
투과 패널(30)은 지지 프레임(50)에 의해 지지될 수 있으며, 지지 프레임(50)은 투과 패널(30)의 측부를 지지하며, 투과 패널(30)의 하부에 반사부(40)에 구비되는 공간을 형성한다.
반사부(40)는 조명부(13)에서 제공된 빛 중 투과 패널(30)을 통과한 빛을 반사하여 다시 투과 패널(30)을 통과하고 렌즈부(13)를 통해 카메라부(11)로 입사되도록 하는 구성 요소로서, 이에 대한 구체적인 설명은 후술한다.
이하에서는, 도 2를 참고하여 본 발명의 실시예에 따른 편광부(20)에 대해 구체적으로 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 부품 검사 장치의 편광부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 편광부(20)는 필터 프레임(21), 제1 편광 필터(22) 및 제2 편광 필터(23)를 포함한다.
필터 프레임(21)은 제2 편광 필터(23)가 중앙에 설치되고, 제1 편광 필터(22)가 제2 편광 필터(23)의 양측으로 제2 편광 필터(23)를 둘러싸도록 설치되도록 형성된다.
제1 편광 필터(22)와 제2 편광 필터(23)는 상호 교호적인(reciprocal) 편광 방향을 갖도록 형성된다. 따라서, 제1 편광 필터(22)를 통과한 빛은 제1 편광 방향으로 편광되고, 제2 편광 필터(23)는 제2 편광 방향으로 편광되며, 제1 편광 방향과 제2 편광 방향은 서로 다른 편광 방향이 된다.
예를 들어, 제1 편광 필터(22)는 P 편광 필터이고, 제2 편광 필터(23)는 S로편광 필터일 수 있다. 이 경우에, 무편광의 빛이 제1 편광 필터(22)를 통과하면 P 편광의 빛만이 출사되고, 무편광의 빛이 제2 편광 필터(23)를 통과하면 S 편광의 빛만이 출사된다. 따라서, 제1 편광 필터(22)를 통과하여 P 편광으로 편광된 빛은 제2 편광 필터(23)를 통과하지 못하고 차단된다.
본 발명의 실시예에 따른 부품 검사 장치에서는, 제1 편광 필터(22)는 조명부(13)의 하부에 위치되고, 제2 편광 필터(23)는 렌즈부(12)의 하부에 위치된다.
따라서, 조명부(13)에서 제공된 빛은 제1 편광 필터(22)를 통과하여 제1 편광으로 편광되어 투광 패널(30) 및 검사 대상 부품(60)을 향해 조사된다. 그리고, 렌즈부(12)를 통해 입사되는 빛은 제2 편광 필터(23)에 의해 걸러져 제2 편광으로 편광된 빛 만이 렌즈부(12)를 통해 카메라부(11)로 입사된다.
이하에서는, 도 3 및 도 4를 참고하여 참고하여 본 발명의 실시예에 따른 반사부(40, 140)에 대해 구체적으로 설명한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반사부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 반사부(40)는 제1 프리즘 시트(41)와 제2 프리즘 시트(42)를 포함한다.
제1 프리즘 시트(41)는 상부면에 삼각 단면을 갖는 복수 개의 제1 프리즘(41a)이 나란하게 형성된다. 따라서, 이웃하는 제1 프리즘(41a)사이에는 제1 밸리(41b)가 형성되며, 복수 개의 제1 밸리(41b)는 서로 평행하게 형성된다.
제2 프리즘 시트(42)는 하부면에 삼각 단면을 갖는 복수 개의 제2 프리즘(42a)이 나란하게 형성된다. 따라서, 이웃하는 제2 프리즘(42a)사이에는 제2 밸리(42b)가 형성되며, 복수 개의 제2 밸리(42b)는 서로 평행하게 형성된다.
제1 프리즘 시트(41)의 상부면에 복수 개의 제1 프리즘(41a)과 복수 개의 제1 밸리(41b)에 의해 형성되는 편향 패턴은 제2 프리즘 시트(42)의 하부면에 복수 개의 제2 프리즘(42a)과 복수 개의 제2 밸리(42b)에 의해 형성되는 편향 패턴과 상호 수직하게 형성될 수 있다.
즉, 서로 나란하게 형성된 복수 개의 제1 프리즘(41a)의 연장 방향과 서로 나란하게 형성된 복수 개의 제2 프리즘(42a)의 연장 방향은 상호 수직하게 형성된다.
제1 프리즘 시트(41)는 투과 패널(30)을 통과하여 반사부(40)로 입사된 빛을 굴절 및 확산시켜 제2 프리즘 시트(42)로 통과시킨다. 제2 프리즘 시트(42)는 제1 프리즘 시트(41)를 통과한 빛을 다시 투과 패널(30)을 향해 반사시킨다.
반사에 의한 광 손실을 최소화하기 위해 제2 프리즘 시트(42)의 제2 프리즘(42a)의 경사각은 제1 프리즘 시트(41)를 통과하여 입사된 빛이 전반사를 일으키는 각도로 형성될 수 있다.
또한, 제1 프리즘 시트(41)의 편향 패턴과 제2 프리즘 시트(42)의 편향 패턴이 상호 수직하게 형성되어 있으므로, 제1 프리즘 시트(41)로 입사된 빛이 P 편광으로 편광된 빛인 경우에 제2 프리즘 시트(42)에 의해 반사되어 투과 패널(30)을 통과하는 빛은 S 편광이 된다. 즉, 반사부(40)로 입사된 P 편광이 제1 프리즘 시트(41)와 제2 프리즘 시트(42)에 의해 S 편광으로 변환되어 투과 패널(30)을 향해 조사된다.
제1 실시예에 따른 반사부(40)는 굴절 및 확산의 기능을 갖는 제1 프리즘 시트(41)와 반사의 기능을 갖는 제2 프리즘 시트(42)를 별개로 구비하여, 반사부(40)를 거쳐 투과 패널(30)을 통과하는 빛의 광 분포를 균일하게 하는 효과가 있다. 이는 카메라부(11)에 의해 획득되는 이미지의 광 분포를 균일하게 하여 영상의 품질을 향상시킨다.
한편, 도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 반사부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 반사부(140)는, 제1 실시예에 따른 반사부(40)와 달리, 단일의 프리즘 시트를 포함한다.
프리즘 시트는 하부면에 삼각 단면을 갖는 복수 개의 프리즘(140a)이 나란하게 형성된다. 따라서, 이웃하는 프리즘(140a)사이에는 밸리(140b)가 형성되며, 복수 개의 밸리(140b)는 서로 평행하게 형성된다.
다만, 제1 실시예의 제2 프리즘 시트(42)와 달리, 제2 실시예에 따른 프리즘 시트의 편향 패턴은 프리즘 시트의 경계면과 45도의 편향각(θ)을 이루도록 형성된다. 즉, 복수 개의 프리즘(140a) 및 밸리(140b)의 연장 방향은 프리즘 시트의 경계면과 45도의 경사를 이루도록 형성된다.
반사에 의한 광 손실을 최소화하기 위해 프리즘(140a)의 경사각은 투과 패널(30)을 통과하여 입사된 빛이 전반사를 일으키는 각도로 형성될 수 있다.
또한, 프리즘 시트의 경계면과 45도의 편향각(θ)을 이루는 편향 패턴은, 프리즘 시트로 입사된 빛이 P 편광으로 편광된 빛일 경우에, P 편광을 S 편광으로 변환하여 투과 패널(30)으로 반사한다.
제2 실시예에 따른 반사부(140)는 제1 실시예에 따른 반사부(40)와 달리, 굴절 및 확산의 기능을 갖는 제1 프리즘 시트(41)를 구비하지 않으므로, 제1 실시예에 따른 반사부(40)에 비해 반사되는 빛의 광 분포가 다소 균일하지 않으나, 단일의 프리즘 시트를 사용하므로 제1 실시예에 비해 컴팩트한 구조를 가능하게 하며 동시에 제조 비용을 절감할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 부품 검사 장치의 동작에 대해 설명한다. 설명의 편의를 위해 전술한 제1 실시예에 따른 반사부를 이용하는 부품 검사 장치를 기준으로 설명한다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 반사부를 이용한 부품 검사 원리를 도시한 도면이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 조명부(13)로부터 제공된 무편광의 빛(L)은 제1 필터(22)를 통과하며 제1 편광(이하, P 편광)으로 편광된다. P 편광 중 일부(L1)는 투광 패널(30)을 통과하여 반사부(40)로 입사되고, P 편광 중 다른 일부(L2)는 검사 대상 부품(60)으로 직접 조사된다.
투광 패널(30)을 통과하여 반사부(40)로 입사되는 L1은 제1 프리즘 시트(41)에 의해 굴절 및 확산되어 제2 프리즘 시트(42)로 입사된다. 제2 프리즘 시트(42)로 입사된 빛은 제2 프리즘(42a)에 의해 전반사되어 다시 제1 프리즘 시트(41)를 향해 상부로 반사되며, 동시에 P 편광에서 제2 편광(이하, S 편광)으로 변환된다.
반사부(40)에 의해 P 편광에서 S 편광으로 변환된 빛은 제1 프리즘 시트(41) 및 투광 패널(30)을 통과하며 검사 대상 부품(60)의 외곽 형상과 일치하는 그림자 영역을 형성하며 제2 필터(23)를 통과한다.
제2 필터(23)는 S 편광은 통과시키고 P 편광은 차단하는 필터이므로 반사부(40)에 의해 P 편광에서 S 편광으로 변환된 빛은 제2 필터(23)를 통과하게 된다.
반면, 검사 대상 부품(60)으로 직접 조사된 L2는 검사 대상 부품(60)의 표면에서 반사되어 제2 필터(23)로 입사된다. 그러나, L2는 P 편광이므로 제2 필터를 통과하지 못하고 차단된다.
따라서, 렌즈부(12)를 통해 카메라부(11)로 입사되는 빛은 L1으로 한정되어 검사 대사 부품(60)의 명확한 그림자 영역이 형성된 이미지가 촬영된다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 편광부를 부착하지 않은 촬영 이미지이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 편광부를 부착한 촬영 이미지이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 편광부(20)가 부착되지 않은 경우에는, 반사부(40)에 의해 투광 패널(30)의 하부로부터 반사된 L1 뿐만 아니라, 검사 대상 부품(60)의 표면에서 반사된 L2까지 촬영 이미지에 나타나므로 검사 대상 부품(60)의 외곽이 분명하게 구분되지 않는다.
그러나 도 7에 도시된 바와 같이, 편광부(20)가 부착된 경우에는 검사 대상 부품(60)의 표면에서 반사된 L2가 렌즈부(12)로 입사되는 것이 차단되어, 검사 대상 부품(60)에 대응하는 검은색의 그림자 영역이 분명하게 나타나고 그림자 영역의 경계선도 분명하게 구분된다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 부품 검사 장치 10: 촬영부
11: 카메라부 12: 렌즈부
13: 조명부 20: 편광부
21: 필터 프레임 22: 제1 편광 필터
23: 제2 편광 필터 30: 투광 패널
40, 140: 반사부 41: 제1 프리즘 시트
41a: 제1 프리즘 41b: 제1 밸리
42: 제2 프리즘 시트 42a: 제2 프리즘
42b: 제2 밸리 50: 지지 프레임
60: 검사 대상 부품 140a: 프리즘
140b: 밸리

Claims (10)

  1. 적어도 하나의 검사 대상 부품이 안착되는 투과 패널;
    상기 투과 패널의 상부에 구비되어 상기 검사 대상 부품을 촬영하는 카메라부;
    상기 투과 패널의 상부에 구비되어 상기 투과 패널 및 상기 검사 대상 부품을 향해 조명을 제공하는 조명부;
    상기 투과 패널의 하부에 구비되어 상기 조명부에서 제공된 빛 중 상기 투과 패널을 통과한 빛을 상기 카메라부를 향해 반사하는 반사부; 및
    상기 조명부에서 제공된 빛 중 상기 검사 대상 부품에 반사되어 상기 카메라부로 진입하는 빛은 차단하고, 상기 조명부에서 제공되어 상기 투과 패널을 통과한 빛 중 상기 반사부에 의해 반사되고 상기 투과 패널을 다시 통과하여 상기 카메라로 진입하는 빛은 통과시키는 편광부를 포함하는, 부품 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 편광부는,
    상기 조명부에서 제공된 빛을 제1 편광으로 편광된 빛으로 통과시키는 제1 편광 필터 및
    상기 카메라로 진입하는 빛 중 제2 편광으로 편광된 빛을 통과시키는 제2 편광 필터를 포함하는, 부품 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 편광 필터는 상기 조명부와 상기 투과 패널 사이에 구비되고,
    상기 제2 편광 필터는 상기 카메라부와 상기 투과 패널 사이에 구비되는, 부품 검사 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 조명부에서 제공된 빛은 상기 제1 편광 필터를 통과하며 상기 제1 편광으로 편광되고,
    상기 제1 편광으로 편광된 빛 중 상기 검사 대상 부품에 반사되어 상기 카메라부로 진입하는 빛은 상기 제2 편광 필터에 의해 차단되는, 부품 검사 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 반사부는, 상기 제1 편광 필터를 통과하며 상기 제1 편광으로 편광된 빛 중 상기 투과 패널을 통과한 빛을 상기 제2 편광으로 변환하여 상기 카메라부를 향해 반사하는, 부품 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 반사부는,
    제1 프리즘 시트와 상기 제1 프리즘 시트의 하부에 구비되는 제2 프리즘 시트를 포함하고,
    상기 제1 프리즘 시트는 상기 제1 편광으로 편광되어 상기 투과 패널을 통과한 빛을 상기 제2 프리즘 시트를 향해 굴절 및 확산시키고,
    상기 제2 프리즘 시트는 상기 제1 프리즘 시트를 통과한 상기 제1 편광으로 편광된 빛을 상기 제2 편광으로 변환하여 상기 카메라부를 향해 반사하는, 부품 검사 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 프리즘 시트는 삼각 단면을 갖는 복수 개의 제1 프리즘이 상부를 향하도록 구비되고,
    상기 제2 프리즘 시트는 삼각 다면을 갖는 복수 개의 제2 프리즘이 하부를 향하도록 구비되는, 부품 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수 개의 제1 프리즘의 편향 패턴과 상기 복수 개의 제2 프리즘의 편향 패턴은 상호 수직하게 형성되는, 부품 검사 장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 반사부는, 삼각 단면을 갖는 복수 개의 프리즘이 하부를 향하도록 구비되는 프리즘 시트를 포함하는, 부품 검사 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 복수 개의 프리즘의 편향 패턴은 상기 프리즘 시트의 경계면과 45도의 편향각을 이루며 형성되는, 부품 검사 장치.
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Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4648053A (en) * 1984-10-30 1987-03-03 Kollmorgen Technologies, Corp. High speed optical inspection system
JPS63124943A (ja) * 1986-11-14 1988-05-28 Omron Tateisi Electronics Co 実装基板検査装置
JPS6474676A (en) * 1987-09-16 1989-03-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd Pattern recognizing device
US6064483A (en) * 1997-08-07 2000-05-16 Siemens Aktiengesellschaft Device for checking the position the coplanarity and the separation of terminals of components
US6765185B2 (en) * 2001-10-04 2004-07-20 Koninklijke Philips Electronics N.V. Computer vision recognition of metallic objects against a poorly contrasting background
KR100479904B1 (ko) * 2002-06-29 2005-03-30 삼성테크윈 주식회사 부품 검사 장치
WO2009110081A1 (ja) * 2008-03-06 2009-09-11 Necディスプレイソリューションズ株式会社 投光光学系、及びこれを用いた投写型表示装置

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