KR20150074379A - 액정표시장치 및 그의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 박막 트랜지스터는 제1 기판 상에 형성되면서 게이트 전극, 액티브층, 소스 전극, 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터 상에 형성되면서 상기 드레인 전극을 노출하는 컨택홀을 구비하는 보호막, 상기 보호막 상에 형성되는 칼럼 스페이서, 상기 칼럼 스페이서 상에 형성된 제1 배향막, 상기 제1 기판에 소정 간격 이격되어 배치된 제2 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스, 및 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 충진되어 있는 액정층을 포함하고, 상기 칼럼 스페이서는 상기 컨택홀을 채우는 채움부 및 상기 제1 기판과 제2 기판 사이를 유지하는 지지부로 이루어져 있는 것을 특징으로 하여, 상기 제1 배향막은 상기 컨택홀로 흘러 들러가지 않아서 상기 컨택홀의 주변 영역에서 불균일하게 형성되는 문제를 개선할 수 있다.

Description

액정표시장치 및 그의 제조방법{Liquid Crystal Display Device and Method of manufacturing the same}
본 발명은 디스플레이 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 투과율을 향상시킬 수 있는 액정표시장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device)는 액정분자의 광학적 이방성과 복굴절 특성을 이용하여 화상을 표현하는 것으로, 전계가 인가되면 액정의 배열이 달라지고 달라진 액정의 배열 방향에 따라 빛이 투과되는 특성 또한 달라진다.
일반적으로 액정표시장치는 전계 생성 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 두 전극이 형성되어 있는 면이 마주 대하도록 배치하고 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 상기 액정 분자를 움직이게 함으로써, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치이다.
이하 도면을 참조로 종래의 액정표시장치에 대해서 설명하기로 한다.
도 1은 종래기술에 따른 액정표시장치의 개략적인 단면도이다.
도 1에서 알 수 있듯이, 종래에 따른 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device)는, 화상을 표시하는 액정표시패널과, 액정표시패널을 구동하는 구동회로(미도시)와, 액정표시패널에 광을 제공하는 백라이트 유닛(미도시)을 포함한다. 액정표시패널은 액정층(30)을 사이에 두고 합착된 칼라필터 기판(20) 및 박막 트랜지스터 기판(10)을 포함한다.
상기 박막 트랜지스터 기판(10)은 제1 기판(11) 상에 형성된 박막 트랜지스터(T), 상기 박막 트랜지스터(T)와 접속된 화소 전극(17), 상기 박막 트랜지스터(T)와 화소 전극(17) 사이에 형성되는 보호막(16), 상기 보호막(16) 및 화소 전극(16)을 덮도록 형성된 제1 배향막(18)을 포함한다.
상기 박막 트랜지스터(T)는 게이트 라인(미도시)으로부터의 게이트 온/오프전압에 응답하여 데이터 라인(미도시)으로부터의 데이터 전압을 화소 전극(17)에 공급한다. 이를 위해, 상기 박막 트랜지스터(T)는 게이트 라인과 접속된 게이트 전극(12), 게이트 전극(12)을 보호하는 게이트 절연막(13), 데이터 라인과 접속된 소스 전극(15a), 상기 소스 전극(15a)과 마주보고 형성되어 있으며 상기 화소 전극(17)과 접속된 드레인 전극(15b), 상기 게이트 절연막(13)을 사이에 두고 상기 게이트 전극(12)과 중첩된 영역에 형성된 액티브층(14)을 포함하고 있다.
상기 칼라필터 기판(20)은 제2 기판(21) 상에 빛샘 방지를 위해 형성된 블랙 매트릭스(22), 상기 블랙 매트릭스(22)에 의해 구획된 영역에 형성됨과 아울러 적색, 녹색, 청색의 색구현을 위한 칼라필터(23), 상기 블랙 매트릭스(22) 및 칼라필터(23)를 덮도록 형성된 오버코트(24), 상기 오버코트(24) 상에 형성된 공통전극(25), 셀 갭을 유지하기 위한 칼럼 스페이서(26), 상기 공통전극(25) 및 칼럼 스페이서(26)을 덮도록 형성된 제2 배향막(27)을 포함한다.
도 2는 종래기술에 따른 액정표시장치의 배향막 형성과정을 나타내는 도면이다.
도 2에서 알 수 있듯이, 종래기술에 따른 액정표시장치의 배향막(18)은 폴리이미드(Polyimide) 등과 같은 유기물질을 이용하여 형성된다. 보다 구체적으로, 배향막 인쇄장치(미도시)를 이용하여 배향액(18a)을 보호막(16) 상에 도포한 다음 소정 온도로 소성하여 용매를 제거함으로써 배향막(18)을 형성한다.
이때, 유동성을 가지는 상기 배향액(18a)은 컨택홀(CH)로 흘러내리고, 이로 인하여 상기 컨택홀(CH)의 주변 영역(P)은 상기 배향액(18a)이 불균일하게 형성됨으로써 불량 화상이 발생하는 문제가 있다.
다시, 도 1을 참조하면, 배향액(18a) 불균일이 발생하는 컨택홀(CH) 주변 영역(P)의 불량 화소를 방지하기 위해서 상기 컨택홀(CH) 주변 영역(P)과 중첩되게 제2 기판(21) 상에 블랙 매트릭스(22)을 형성하게 된다.
이때, 상기 블랙 매트릭스(22)는 상기 칼럼 스페이서(26)에 의해 상기 셀 갭을 유지하기 위한 최소한의 마진(A), 및 상기 컨택홀(CH)과 주변 영역(P)을 가리기 위한 최소한의 마진(B, C)을 포함하여 형성된다.
즉 종래기술에 따른 액정표시장치는 상기 블랙 매트릭스(22)가 길게 형성됨으로써 백 라이트(미도시) 광을 투과하는 개구부를 잠식하여 액정표시패널의 투과율을 감소시키는 문제가 있다.
본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 본 발명은 컨택홀 주변 영역의 배향액 불균형으로 인한 불량 화소를 개선하고, 개구율을 향상시킬 수 있는 액정표시장치 및 그의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서, 제1 기판 상에 형성되면서 게이트 전극, 액티브층, 소스 전극, 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터 상에 형성되면서 상기 드레인 전극을 노출하는 컨택홀을 구비하는 보호막, 상기 보호막 상에 형성되는 칼럼 스페이서, 상기 칼럼 스페이서 상에 형성된 제1 배향막, 상기 제1 기판에 소정 간격 이격되어 배치된 제2 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스, 및 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 충진되어 있는 액정층을 포함하고, 상기 칼럼 스페이서는 상기 컨택홀을 채우는 채움부 및 상기 제1 기판과 제2 기판 사이를 유지하는 지지부로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치를 제공한다.
본 발명은 또한, 제1 기판 상에 게이트 전극, 액티브층, 소스 전극, 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 형성하는 공정, 상기 박막 트랜지스터 상에 형성되면서 상기 드레인 전극을 노출하는 컨택홀을 구비하는 보호막을 형성하는 공정, 상기 컨택홀을 채우는 채움부 및 셀 갭을 유지하는 지지부로 이루어진 칼럼 스페이서를 형성하는 공정, 및 상기 칼럼 스페이서 상에 제1 배향막을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법을 제공한다.
위에서 언급된 본 발명의 기술적 과제 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
이상과 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치는 상기 컨택홀을 채우는 칼럼 스페이서를 포함함으로써, 상기 제1 배향막은 상기 컨택홀로 흘러 들러가지 않아서 상기 컨택홀의 주변 영역에서 배향막이 불균일하게 형성되는 문제를 개선할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 블랙 매트릭스(220)를 상기 칼럼 스페이서(180)와 중첩되게 형성되면서, 상기 칼럼 스페이서(180)보다 셀 갭을 유지하기 위한 최소한의 마진(D)만큼만 더 길게 형성함으로써 패널 투과율을 상승시킬 수 있다
이 밖에도, 본 발명의 실시 예들을 통해 본 발명의 또 다른 특징 및 이점들이 새롭게 파악될 수도 있을 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 액정표시장치의 개략적인 단면도.
도 2는 종래기술에 따른 액정표시장치의 배향막 형성과정을 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치의 개략적인 단면도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치의 개략적인 단면도.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치의 개략적인 제조 공정도.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치의 개략적인 제조 공정도.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제 2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"상에"라는 용어는 어떤 구성이 다른 구성의 바로 상면에 형성되는 경우뿐만 아니라 이들 구성들 사이에 제3의 구성이 개재되는 경우까지 포함하는 것을 의미한다.
이하, 첨부되는 도면을 참고하여 상기 문제점을 해결하기 위해 고안된 본 발명의 바람직한 실시예들에 대해 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치의 개략적인 단면도 이다.
도 3에서 알 수 있듯이, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치는 입사되는 광의 투과량을 조절하는 액정층(300)과, 상기 액정층(300)을 사이에 두고 합착된 상부기판(200) 및 하부기판(100)을 포함한다.
상기 액정층(300)은 상기 하부기판(100)의 화소 전극(170)으로부터 데이터 전압과 상기 상부기판(200)의 공통 전극(250)으로부터의 공통전압의 차이에 의해 회전하여 입사되는 광의 투과량을 조절한다. 이를 위해, 상기 액정층(300)은 유전율 이방성 및 굴절률 이방성을 갖는 액정분자(310)로 이루어진다.
상기 하부기판(100)은 제1 기판(110) 상에 형성된 박막 트랜지스터(T)와, 상기 박막 트랜지스터(T)와 접속된 화소 전극(170)과, 상기 박막 트랜지스터(T)와 화소 전극(170) 사이에 형성되는 보호막(160)과, 상기 보호막(160) 상에 형성되는 칼럼 스페이서(180) 및 상기 칼럼 스페이서(180)를 덮도록 상기 보호막(160) 상에 형성된 제1 배향막(190)을 포함한다.
상기 박막 트랜지스터(T)는 게이트 라인(미도시)으로부터의 게이트 온/오프전압에 응답하여 데이터 라인(미도시)으로부터의 데이터 전압을 상기 화소 전극(170)에 공급한다. 이를 위해, 상기 박막 트랜지스터(T)는 게이트 라인(미도시)과 접속된 게이트 전극(120), 상기 게이트 전극(120)을 보호하는 게이트 절연막(130), 데이터 라인(미도시)과 접속된 소스 전극(150a), 상기 소스 전극(150a)과 마주보고 형성되어 있으며 상기 화소 전극(170)과 접속된 드레인 전극(150b), 상기 게이트 절연막(130)을 사이에 두고 상기 게이트 전극(120)과 중첩된 영역에 형성된 액티브층(140)을 포함하고 있다.
상기 게이트 전극(120)은 게이트 라인(미도시)으로부터의 게이트 온/오프 전압을 사용하여 상기 박막 트랜지스터(T)를 턴온/턴오프 시킨다.
상기 소스 전극(150a)은 데이터 라인(미도시)으로부터의 데이터 전압을 상기 박막 트랜지스터(T)의 채널을 경유하여 상기 드레인 전극(150b)에 공급한다.
상기 드레인 전극(150b)은 상기 소스 전극(150a)으로부터의 데이터 전압을 상기 보호막(160)을 관통하는 콘택홀(CH)을 통해 상기 화소 전극(170)에 공급한다.
상기 액티브층(140)은 비정질 실리콘 또는 산화물로 형성될 수 있으며 상기 박막 트랜지스터(T)의 채널을 형성한다.
상기 화소 전극(170)은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 투명한 금속으로 형성될 수 있으며 상기 드레인 전극(150b)으로부터 데이터 전압을 상기 액정층(300)에 인가한다.
상기 보호막(160)은 상기 박막 트랜지스터(T)와 상기 화소 전극(170) 사이에 형성되고, 상기 박막 트랜지스터(T)를 보호할 수 있다. 이러한 상기 보호막(160)은 아크릴 계열의 화합물로 형성될 수 있다.
상기 칼럼 스페이서(180)은 상기 보호막(160) 상에 형성된다.
보다 구체적으로, 상기 칼럼 스페이서(180)는 상기 보호막(160)에 형성된 화소 전극(170) 상부에 형성되면서, 상기 컨택홀(CH)을 채우는 채움부(181) 및 상기 하부기판(100)과 상부기판(200) 사이를 유지하는 지지부(183)로 이루어진다.
즉, 상기 채움부(181)는 상기 화소 전극(170)과 평편하도록 상기 컨택홀(CH)을 채우는 유기물질로 형성되고, 상기 지지부(183)는 셀 갭을 유지하도록 유기물질로 볼록하게 형성된다. 이때, 상기 채움부(180)와 지지부(183)는 일부 영역이 중첩되어 형성될 수 있다.
상기 제1 배향막(190)은 상기 칼럼 스페이서(180)를 덮도록 상기 보호막(160) 상에 형성된다.
상기 제1 배향막(190)은 계면효과에 의해 상기 액정 분자(310)의 배열 상태를 규제한다. 이를 위해, 상기 제1 배향막(190)은 폴리 이미드와 같은 유기물질을 이용하여 수백 Å ~ 수천 Å의 막두께로 형성되며 상기 액정층(300)과 화소 전극(170) 사이에서 전기적으로 안정함을 유지하기 위해 비저항치를 갖는다.
이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치는 상기 컨택홀(CH)을 채우는 칼럼 스페이서(180)를 포함함으로써, 유동성을 가지는 유기물질로 형성된 상기 제1 배향막(190)이 상기 컨택홀(CH)로 내부로 흘러 들러가지 않아서 상기 제1 배향막(190)이 상기 컨택홀(CH)의 주변 영역에서 불균일하게 형성되는 문제를 개선할 수 있다.
상기 상부기판(200)은 상기 제1 기판(110)과 소정 간격 이격되어 배치된 제2 기판(210) 상에 빛 샘 방지를 위해 형성된 블랙 매트릭스(220)와, 상기 블랙 매트릭스(220)에 의해 구획된 영역에 형성됨과 아울러 색구현을 위한 칼라필터(230)와, 상기 블랙 매트릭스(220) 및 칼라필터(230)를 덮도록 형성된 오버코트(240)와, 상기 오버코트(240) 상에 형성된 공통전극(250)과, 상기 공통전극(250)을 덮도록 형성된 제2 배향막(260)을 포함한다.
상기 블랙 매트릭스(220)는 빛 샘 방지를 위해 상기 칼럼 스페이서(180)와 중첩되면서 상기 칼럼 스페이서(180)보다 더 크게 제2 기판(210) 상에 형성되고, 상기 블랙 매트릭스(220)를 이루는 재질은 Cr 금속 환경 규제를 받음으로써 불투명한 유기물질인 블랙 레진(black resin)으로 하는 것이 바람직하다.
이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치는 상기 칼럼 스페이서(180)가 상기 컨택홀(CH)을 채움으로써 상기 컨택홀(CH) 주변에서 제1 배향막(190)의 불균형이 발생되지 않고, 이로 인해 상기 블랙 매트릭스(220)는 상기 컨택홀(CH) 주변 영역을 가리기 위한 최소한의 마진만큼 줄어들게 된다.
즉, 상기 블랙 매트릭스(220)는 상기 칼럼 스페이서(180)와 중첩되게 형성되면서, 상기 칼럼 스페이서(180)보다 셀 갭을 유지하기 위한 최소한의 마진(D)만큼만 더 길게 형성될 수 있고, 이는 종래기술에 따른 액정표시장치에 포함된 블랙 매트릭스보다 작게 형성될 수 있어 패널 투과율을 상승시킬 수 있다.
상기 칼라필터(220)는 색을 구현하기 위해 적색, 녹색 및 청색 칼라필러를 포함하고 있다. 적색, 녹색, 및 청색 칼라필터는 각각 자신이 포함하고 있는 적색, 녹색, 및 청색안료를 통해 파장의 광을 흡수 또는 투과시킴으로써 적색, 녹색, 및 청색을 띄게 된다. 이때, 적색, 녹색 및 청색 칼라필터를 각각 투과한 적색, 녹색, 및 청색광의 가법혼색을 통해 다양한 색상이 구현된다.
상기 오버코트(240)는 상기 칼라필터(220)를 보호함과 아울러, 상기 공통전극(250)의 양호한 스텝 커버리지(Step Coverage)를 위해 형성되고, 상기 오버코트(240)를 이루는 재질은 유기 또는 무기 물질로서, 특히 평탄화 특성이 우수한 유기물질로 하는 것이 바람직하다. 이러한 유기물질로는 BCB(benzocyclobutene), 아크릴 수지를 들 수 있다.
상기 공통전극(250)은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 투명한 금속으로 형성되어 있으며 공통전압을 상기 액정층(300)에 인가한다.
상기 제2 배향막(260)은 계면효과에 의해 상기 액정분자(310)의 배열 상태를 규제한다. 이를 위해, 상기 제2 배향막(260)은 폴리이미드와 같은 유기물질을 이용하여 수백 Å ~ 수천 Å의 막두께로 형성되며 상기 액정층(300)과 공통 전극(250) 사이에서 전기적으로 안정함을 유지하기 위해 비저항치를 갖는다.
이때, 본 발명의 실시예의 경우에는 액정표시패널에 일반적으로 사용되는 구동방식으로 네마틱상의 액정분자를 기판에 대해 수직 방향으로 구동시키는 트위스티드 네마틱(Twisted Nematic; TN)방식을 적용한 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 본 발명은 액정분자를 기판에 대해 수평한 방향으로 구동시켜 시야각을 170도 이상으로 향상시킨 횡전계(In Plane Switching; IPS)방식 액정표시패널에도 적용 가능하며, 이 경우에는 하부 박막 트랜지스터 어레이 기판에 화소 전극과 함께 공통 전극을 형성하게 된다.
이하에서는, 각각의 구성의 재료 및 구조 등에 있어서 반복되는 부분에 대한 중복 설명은 생략하기로 한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치의 개략적인 단면도로서, 칼럼 스페이서(180) 및 블랙 매트릭스(220)의 구조를 변경한 것을 제외하고는 전술한 도 3에 따른 액정표시장치와 동일하다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 동일한 구성에 대한 반복 설명은 생략하기로 한다.
도 4를 참조하면, 상기 하부기판(100)은 제1 기판(110) 상에 형성된 박막 트랜지스터(T)와, 상기 박막 트랜지스터(T)와 접속된 화소 전극(170)과, 상기 박막 트랜지스터(T)와 화소 전극(170) 사이에 형성되는 보호막(160)과, 상기 보호막(160) 상에 형성되는 칼럼 스페이서(180) 및 상기 칼럼 스페이서(180)를 덮도록 상기 보호막(160) 상에 형성된 제1 배향막(190)을 포함한다.
이때, 상기 칼럼 스페이서(180)는 상기 컨택홀(CH)을 채우는 채움부(181) 및 상기 하부기판(100)과 상부기판(200) 사이를 유지하는 지지부(183)로 이루어지고, 상기 채움부(181)와 지지부(183)는 중첩되어 형성된다.
즉, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치는 상기 채움부(181)는 상기 컨택홀(CH) 내부를 채우는 채움부(181) 및 상기 채움부(181) 상부에 형성된 지지부(183)로 이루어진 칼럼 스페이서(180)를 포함함으로써, 유동성을 가지는 유기물질로 형성된 상기 제1 배향막(190)이 상기 컨택홀(CH)로 내부로 흘러 들러가지 않아서 상기 제1 배향막(190)이 상기 컨택홀(CH)의 주변 영역에서 불균일하게 형성되는 문제를 개선할 수 있다.
상기 상부기판(200)은 상기 제1 기판(110)과 소정 간격 이격되어 배치된 제2 기판(210) 상에 빛 샘 방지를 위해 형성된 블랙 매트릭스(220)와, 상기 블랙 매트릭스(220)에 의해 구획된 영역에 형성됨과 아울러 색구현을 위한 칼라필터(230)와, 상기 블랙 매트릭스(220) 및 칼라필터(230)를 덮도록 형성된 오버코트(240)와, 상기 오버코트(240) 상에 형성된 공통전극(250)과, 상기 공통전극(250)을 덮도록 형성된 제2 배향막(260)을 포함한다.
이때, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치는 상기 컨택홀(CH) 내부를 채우는 채움부(181) 및 상기 채움부 상부에 형성된 지지부(183)로 이루어진 칼럼 스페이서(180)를 포함함으로써, 상기 블랙 매트릭스(220)는 상기 칼럼 스페이서(180)보다 셀 갭을 유지하기 위한 최소한의 마진(E)만큼만 더 길게 형성될 수 있고, 이는 종래기술에 따른 액정표시장치에 포함된 블랙 매트릭스보다 작게 형성될 수 있어 패널 투과율을 상승시킬 수 있다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치의 개략적인 제조 공정도로서, 이는 전술한 도 3에 따른 액정표시장치의 제조 공정도에 관한 것이다.
도 5a에서 알 수 있듯이, 제1 기판(110) 상에 박막 트랜지스터(T)를 형성한다.
상기 박막 트랜지스터(TFT)는 제1 기판(110) 상에 차례로 적층된 게이트 전극(120), 게이트 절연막(130), 액티브층(140), 소스 전극(150a) 및 드레인 전극(150b)을 포함하여 이루어질 수 있다.
기판(100) 상의 전면에 게이트 절연막(110)을 PECVD법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)을 이용하여 증착하고, 상기 절연막(110) 상에 게이트 전극(120)을 패턴 형성한다.
상기 게이트 전극(120)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오듐(Nd), 구리(Cu), 또는 그들의 합금을 PECVD법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)을 이용하여 증착하고, 증착한 a-Si 위에 포토 레지스트 패턴을 형성한 후 노광, 현상 및 식각 공정을 차례로 수행하는 마스크 공정을 이용하여 패턴 형성할 수 있다. 이하에서 설명하는 각각의 구성에 대한 패턴형성도 상기와 같은 노광, 현상 및 식각 공정을 포함한 마스크 공정을 이용하여 수행할 수 있다.
다음, 상기 게이트 전극(120)을 포함하여 상기 제1 기판(110) 상의 전면에 게이트 절연막(130)을 증착하고, 상기 게이트 전극(120)과 중첩되면서 상기 게이트 절연막(130) 상에 액티브층(140)을 패턴 형성한다.
상기 액티브층(140)은 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)을 이용하여 비정질 실리콘을 증착한 후 마스크 공정으로 패턴 형성하거나 또는 a-IGZO와 같은 비정질 산화물 반도체를 스퍼터링법(Sputtering) 또는 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)을 이용하여 증착하고, 노(furnace) 또는 급속열처리(Rapid Thermal Process:RTP)를 통해서 약 650? 이상의 고온 열처리 공정을 수행하여 상기 비정질 산화물 반도체를 결정화하고, 결정화된 산화물 반도체를 마스크 공정으로 패터닝하여 형성할 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다.
다음, 마스크 공정을 통해서 상기 액티브층(140)의 소정 영역과 연결되면서 상기 액티브층(140) 상에 서로 마주하도록 소스 전극(150a) 및 드레인 전극(150b)을 패턴 형성한다.
다음, 도 5b에서 알 수 있듯이, 상기 소스 전극(150a) 및 드레인 전극(150b) 상에 컨택홀(CH)을 구비하도록 보호막(160)을 패턴 형성한다. 상기 드레인 전극(150b)은 상기 컨택홀(CH)을 통하여 일부가 노출된다.
다음, 상기 보호막(160) 상에 화소 전극(170)을 패턴 형성한다. 상기 화소 전극(170)은 컨택홀(CH)을 통하여 상기 드레인 전극(150b)과 연결된다.
다음, 도 5c 및 도 5d에서 알 수 있듯이, 한번의 마스크 공정, 보다 구체적으로는, 회절 마스크 또는 하프톤 마스크를 이용한 한 번의 마스크 공정을 통해서 칼럼 스페이서(180)를 패턴 형성한다.
구체적으로 설명하면, 상기 보호막(160) 상에 칼럼 스페이서 물질(180a) 및 포토 레지스트 물질(550)을 차례로 적층하고, 상기 포토 레지스트 물질(550) 위에 회절 또는 하프톤 마스크(500)를 위치시킨 후 상기 포토 레지스트 물질(550)에 광을 조사한다.
상기 회절 또는 하프톤 마스크(500)는 투과부(500a), 반투과부(500b) 및 차단부(500c)를 포함하고 있다. 상기 투과부(500a)는 광을 투과시키는 부분이고, 상기 반투과부(500b)는 광의 일부만 투과시키는 부분이고, 상기 차단부(500c)는 광의 투과를 차단시키는 부분이다.
그 후, 광이 조사된 상기 포토 레지스트 물질(550)을 현상하여 포토 레지스트 패턴(미도시)을 형성한다. 상기 투과부(500a)에 대응하는 포토 레지스트 물질(550)은 현상 공정에 의해 모두 제거되고, 상기 반투과부(500b)에 대응하는 포토 레지스트 물질(550)은 현상 공정에 의해 일부만 제거되고, 상기 차단부(500c)에 대응하는 포토 레지스트 물질(550)은 현상 공정에 의해 제거되지 않고 잔존하다. 따라서, 패턴이 형성되지 않은 영역, 상대적으로 낮은 높이로 패턴이 형성된 영역, 및 상대적으로 높은 높이로 패턴이 형성된 영역을 구비하는 포토 레지스트 패턴이 완성된다.
그 후, 상기 포토 레지스트 패턴을 마스크로 이용하여 칼럼 스페이서 물질(180a)을 식각한다. 그 후 상기 포토 레지스트 패턴을 애싱(ashing)처리 하여 컨택홀(CH)을 채우는 채움부(181) 및 셀 갭을 유지하는 지지부(183)로 이루어진 칼럼 스페이서(180)를 패턴 형성한다.
이때, 상기 채움부(181)와 지지부(183)는 일부 영역이 중첩되어 패턴 형성된다.
다음, 상기 칼럼 스페이서(180) 상에 제1 배향막(190)을 증착하여 형성한다.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치의 개략적인 제조 공정도로서, 이는 전술한 도 4에 따른 액정표시장치의 제조 공정에 관한 것이다.
도 6a 내지 도 6d에 따른 제조 공정은 칼럼 스페이서(180) 제조 방법을 제외하고는 도 5a 내지 도 5d에 따른 제조 공정과 동일하다. 이하, 동일한 제조 공정에 대한 반복 설명은 생략하기로 한다.
도 6a 및 도 6b의 공정은 전술한 도 5a 및 도 5b의 공정과 동일하므로 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 6c 및 도 6d에서 알 수 있듯이, 마스크 공정을 통해서 칼럼 스페이서(180)를 패턴 형성한다.
구체적으로 설명하면, 보호막(160) 상에 칼럼 스페이서 물질(180a) 및 포토 레지스트 물질(550)을 차례로 적층하고, 상기 포토 레지스트 물질(550) 위에 마스크(600)를 위치시킨 후 상기 포토 레지스트 물질(550)에 광을 조사한다.
상기 마스크(600)는 투과부(600a), 및 차단부(600b)를 포함하고 있다. 상기 투과부(600a)는 광을 투과시키는 부분이고, 차단부(600b)는 광의 투과를 차단시키는 부분이다.
그 후, 광이 조사된 상기 포토 레지스트 물질(550)을 현상하여 포토 레지스트 패턴(미도시)을 형성한다. 상기 투과부(500a)에 대응하는 포토 레지스트 물질(550)은 현상 공정에 의해 모두 제거되고, 상기 차단부(600b)에 대응하는 포토 레지스트 물질(550)은 현상 공정에 의해 제거되지 않고 잔존하다.
그 후, 상기 포토 레지스트 패턴을 마스크로 이용하여 칼럼 스페이서 물질(180a)을 식각한다. 그 후 상기 포토 레지스트 패턴을 애싱(ashing)처리 하여 컨택홀(CH)을 채우는 채움부(181) 및 셀 갭을 유지하는 지지부(183)로 이루어진 칼럼 스페이서(180)를 패턴 형성한다. 이때, 상기 채움부(181)와 지지부(183)는 중첩되어 패턴 형성된다.
이상에서 설명한 본 발명이 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
100: 하부 기판 200: 상부 기판
300: 액정층 110: 제1 기판
120: 게이트 전극 130: 게이트 절연막
140: 액티브층 150a: 소스 전극
150b: 드레인 전극 160: 보호막
170: 화소 전극 180: 칼럼 스페이서
181: 채움부 183: 지지부
190: 제1 배향막 210: 제2 기판
220: 블랙 매트릭스 230: 칼라필터
240: 오버코트 250: 공통전극
260: 제2 배향막 310: 액정 분자

Claims (10)

  1. 제1 기판 상에 형성되면서 게이트 전극, 액티브층, 소스 전극, 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터;
    상기 박막 트랜지스터 상에 형성되면서 상기 드레인 전극을 노출하는 컨택홀을 구비하는 보호막;
    상기 보호막 상에 형성되는 칼럼 스페이서;
    상기 칼럼 스페이서 상에 형성된 제1 배향막;
    상기 제1 기판에 소정 간격 이격되어 배치된 제2 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스; 및
    상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 충진되어 있는 액정층을 포함하고,
    상기 칼럼 스페이서는 상기 컨택홀을 채우는 채움부 및 상기 제1 기판과 제2 기판 사이를 유지하는 지지부로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 채움부와 지지부는 일부 영역이 중첩되어 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 채움부와 지지부는 중첩되어 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 블랙 매트릭스는 상기 칼럼 스페이서와 중첩되는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 블랙 매트릭스는 상기 칼럼 스페이서를 중심으로 상기 칼럼 스페이서보다 더 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 배향막은 유기물질로 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  7. 제1 기판 상에 게이트 전극, 액티브층, 소스 전극, 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 형성하는 공정;
    상기 박막 트랜지스터 상에 형성되면서 상기 드레인 전극을 노출하는 컨택홀을 구비하는 보호막을 형성하는 공정;
    상기 컨택홀을 채우는 채움부 및 셀 갭을 유지하는 지지부로 이루어진 칼럼 스페이서를 형성하는 공정; 및
    상기 칼럼 스페이서 상에 제1 배향막을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 채움부와 지지부는 일부 영역이 중첩되어 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 칼럼 스페이서를 형성하는 공정은 하프톤 마스크를 이용하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 채움부와 지지부는 중첩되어 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170062231A (ko) * 2015-11-27 2017-06-07 엘지디스플레이 주식회사 광 제어 장치, 및 그를 포함한 투명표시장치
CN106918967A (zh) * 2015-12-28 2017-07-04 乐金显示有限公司 阵列基板及具有该阵列基板的显示面板
CN109870855A (zh) * 2019-04-09 2019-06-11 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板、液晶显示面板及液晶显示装置
WO2024020767A1 (zh) * 2022-07-26 2024-02-01 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及其制备方法、液晶盒、显示装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070001505A (ko) * 2005-06-29 2007-01-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정패널 및 그 제조방법
KR20120032375A (ko) * 2010-09-28 2012-04-05 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치 및 액정표시장치용 컬러필터기판의 제조방법
KR20130068558A (ko) * 2011-12-15 2013-06-26 엘지디스플레이 주식회사 표시장치 및 그 제조방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070001505A (ko) * 2005-06-29 2007-01-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정패널 및 그 제조방법
KR20120032375A (ko) * 2010-09-28 2012-04-05 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치 및 액정표시장치용 컬러필터기판의 제조방법
KR20130068558A (ko) * 2011-12-15 2013-06-26 엘지디스플레이 주식회사 표시장치 및 그 제조방법

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170062231A (ko) * 2015-11-27 2017-06-07 엘지디스플레이 주식회사 광 제어 장치, 및 그를 포함한 투명표시장치
CN106918967A (zh) * 2015-12-28 2017-07-04 乐金显示有限公司 阵列基板及具有该阵列基板的显示面板
CN109870855A (zh) * 2019-04-09 2019-06-11 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板、液晶显示面板及液晶显示装置
WO2020207255A1 (zh) * 2019-04-09 2020-10-15 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及其制备方法、液晶显示面板、液晶显示装置
WO2024020767A1 (zh) * 2022-07-26 2024-02-01 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及其制备方法、液晶盒、显示装置

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