KR20150069816A - 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브 - Google Patents

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KR20150069816A KR1020130156405A KR20130156405A KR20150069816A KR 20150069816 A KR20150069816 A KR 20150069816A KR 1020130156405 A KR1020130156405 A KR 1020130156405A KR 20130156405 A KR20130156405 A KR 20130156405A KR 20150069816 A KR20150069816 A KR 20150069816A
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Abstract

본 발명은 반도체 제조에 사용되는 챔버의 진공 정도를 제어하기 위해 펌프의 흡입력을 효과적으로 제어하여, 챔버 내의 공기의 압력을 효율적으로 제어할 수 있도록 하는 밸브에 관한 것으로, 본 발명은 내부가 원통형으로 형성되고, 일측에 진공챔버와 결합되어 상기 진공챔버의 공기가 흡입될 수 있는 흡입구가 형성되고, 상기 흡입구의 방향과 수직하는 일측 단부에 배출구가 형성된 하우징과; 상기 하우징 내부에 회전가능하게 삽입되는 원통형으로 형성되고, 상기 흡입구에 대응하는 위치에 개구부가 형성되어 회전에 의해 상기 흡입구의 개방 정도를 조절하는 스로틀 실린더; 그리고 상기 스로틀 실린더 내부에 승하강되도록 삽입되어 상기 배출구를 개폐하는 개폐 피스톤을 포함하여 구성된다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 복동식 피스톤에 의한 밸브와 스로틀식 밸브를 일체화시켜, 밸브의 차폐력이 강화되고, 토출구의 개폐정도를 정확하고 안정적으로 제어할 수 있는 장점이 있다.

Description

진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브 { THROTTLE ANGLE VALVE FOR VACUUM CHAMBER }
본 발명은 반도체 제조에 사용되는 챔버의 진공을 제어하는 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 펌프의 흡입력을 효과적으로 제어하여, 챔버 내의 공기의 압력을 효율적으로 제어할 수 있도록 하는 밸브에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에서 진공 챔버의 내부를 진공 펌프로 감압하는 경우에, 상기 진공 챔버와 진공 펌프를 잇는 유로 내에서 진공 밸브를 접속하고, 이 진공 밸브로 유로를 개폐한다.
일반적으로 이와 같은 용도로 사용되는 진공 밸브는 유로를 개폐하는 밸브 부재에 실린더 로드를 접속하고, 실린더의 피스톤 운동에 의하여 구동하는 것으로 구성되어 있다.
이러한 진공 밸브의 실린더의 구동 방식은 일반적으로 노멀크로스타입, 노멀오픈타입, 복동(復動)타입의 3종류가 있고, 각각의 용도에 맞추어 선정된다.
노멀크로스타입의 진공 밸브는, 한쪽의 밸브실에 구동 공기를 공급하고, 한 쪽에 용수철을 사용하여 실린더를 구동하는 것이 가능하며, 구동 공기를 공급하지 않는 경우 진공 밸브는 닫힌다. 따라서, 전원이 떨어져 공기가 빠진 경우 진공 밸브를 닫힌 상태로 되어, 안전하게 사용된다.
한편, 노멀오픈타입의 진공 밸브도 동일하게 한쪽의 밸브실에 구동 공기를 공급하고, 한쪽에 용수철을 사용하여 실린더를 구동하며, 구동 공기를 공급하지 않는 경우 진공 밸브는 열린다. 이러한 노멀오픈타입의 진공 밸브는 사용자의 사용 상태에 따라 진공 밸브를 연 경우에 안전하게 사용된다.
또한, 복동 타입의 진공 밸브는 양쪽의 밸브실에 구동 공기를 공급하여 밸브를 개폐한다. 이러한 복동 타입의 진공 밸브는 사용자의 안전에 대하여 고려하지 않으므로, 전원이 떨어진 경우 구동 공기의 압력에 의하여 확실하게 진공 밸브를 차단하는 경우 등에 사용된다.
이와 같은, 복동 타입의 진공 밸브의 일예가 대한민국 공개특허 제2007-0044787호에 개시되어 있다.
그러나, 이와 같은 일반적인 복동 타입의 진공 밸브는, 피스톤에 의해 개폐 여부가 제어될 뿐만 아니라, 동시에 상기 피스톤에 의해 흡입구의 개폐 정도가 제어된다.
따라서, 배출구의 완전 개방 상태 또는 완전 차폐상태가 아닌 일부 개방상태에서, 공기의 흐름에 의한 외력이 상기 피스톤에 가해지게 되고, 상기 피스톤을 정위치에 일정하게 유지하기 위해서는 상기 공기 흐름에 따른 외력에 대응하는 힘이 가해져야 하고, 이러한 구조에 의해 상기 피스톤을 이용하여 상기 흡입구의 개방 정도를 정밀하게 제어하는 것이 어려운 문제점이 있었다.
그리고 전술한 바와 같이,흡입구의 일부 개방상태에서, 공기의 흐름에 의한 외력이 상기 피스톤에 가해지게 되면, 상기 피스톤에 진동이 발생되는 문제점이 있었다.
또한, 언급된 문제점으로 인하여, 복동식 진공밸브로 개폐여부를 제어하고, 스로틀 밸브를 추가로 설치하여 개방 정도를 제어하는 방식의 밸브도 선보인 바 있으나, 설치 공간을 많이 차지하고, 설치 비용이 증가하여 실제 장비에 적용되기는 어려운 문제점이 있었다.
대한민국 공개특허 제2007-0044787호
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명은 복동식 피스톤에 의한 밸브와 스로틀식 밸브를 일체화시켜, 밸브의 차폐력을 강화시키면서, 흡입구의 개폐정도를 정확하고 안정적으로 제어할 수 있는 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브를 제공하는 것이다.
그리고 본 발명은 일체화된 밸브를 L보 형태로 구성시켜, 펌프와 함께 진공 챔버에 부착되는 설치공간을 최소화할 수 있는 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브를 제공하는 것이다.
또한 본 발명은 복동식 피스톤 밸브와 스로틀식 밸브를 일체화시켜, 피스톤의 진동으로 인한 진동 발생을 억제하고, 내구성이 향상된 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은, 내부가 원통형으로 형성되고, 일측에 진공챔버와 결합되어 상기 진공챔버의 공기가 흡입될 수 있는 흡입구가 형성되고, 상기 흡입구의 방향과 수직하는 일측 단부에 배출구가 형성된 하우징과; 상기 하우징 내부에 회전가능하게 삽입되는 원통형으로 형성되고, 상기 흡입구에 대응하는 위치에 개구부가 형성되어 회전에 의해 상기 흡입구의 개방 정도를 조절하는 스로틀 실린더; 그리고 상기 스로틀 실린더 내부에 승하강되도록 삽입되어 상기 배출구를 개폐하는 개폐 피스톤을 포함하여 구성ehld다
여기서, 본 발명은 스테핑 모터와, 상기 스테핑 모터와 결합되는 타이밍 밸트를 더 포함하여 구성되고; 상기 스로틀 실린더 일측 외주면에는 스테핑 기어가 형성되어, 상기 스테핑 모터의 구동에 의해 상기 스로틀 실린더가 회전될 수도 있다.
그리고 상기 개구부는 사각형으로 형성될 수도 있다.
또한, 상기 개구부는, 상기 흡입구의 형태에 대응하여, 회전각에 따라 상기 흡입구의 개방 공간이 선형적으로 증감되도록 형성될 수도 있다.
그리고 상기 개폐 피스톤을 승강시키는 승강펌프를 더 포함하여 구성될 수도 있다.
또한, 상기 개폐피스톤의 단부 테두리에는 오(O)링이 삽입되어 설치될 수도 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명은 복동식 피스톤에 의한 밸브와 스로틀식 밸브를 일체화시켜, 밸브의 차폐력이 강화되고, 흡입구의 개폐정도를 정확하고 안정적으로 제어할 수 있는 장점이 있다.
그리고 본 발명은 일체화된 밸브를 L보 형태로 구성시켜, 펌프와 함께 진공 챔버에 부착되는 설치공간을 최소화하여 공간 활용률이 높아지는 장점이 있다.
또한 본 발명은 복동식 피스톤 밸브와 스로틀식 밸브를 일체화시켜, 피스톤의 진동으로 인한 진동 발생을 억제하고, 내구성이 향상되는 장점이 있다.
도 1은 종래기술에 의한 복동식 진공 밸브의 내부구성을 도시한 단면도.
도 2는 본 발명에 의한 스로틀 앵글 밸브가 진공 챔버에 펌프와 함께 장착된 모습을 도시한 개략도.
도 3은 본 발명에 의한 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브의 구체적인 구성을 도시한 부분 절개도.
도 4a는 본 발명에 의한 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브를 구성하는 스로틀 실린더의 구체적인 실시예를 도시한 사시도.
도 4b는 본 발명에 의한 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브를 구성하는 스로틀 실린더의 다른 실시예를 도시한 사시도.
도 5는 본 발명에 의한 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브가 작동하는 모습을 도시한 예시도.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예에 의한 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브를 살펴보기로 한다.
도 2는 본 발명에 의한 스로틀 앵글 밸브가 진공 챔버에 펌프와 함께 장착된 모습을 도시한 개략도이고, 도 3은 본 발명에 의한 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브의 구체적인 구성을 도시한 부분 절개도이며, 도 4a는 본 발명에 의한 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브를 구성하는 스로틀 실린더의 구체적인 실시예를 도시한 사시도이고, 도 4b는 본 발명에 의한 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브를 구성하는 스로틀 실린더의 다른 실시예를 도시한 사시도이다.
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 진공챔버(100)의 일측에 본 발명에 의한 스로틀 앵글 밸브(200)가 구비된다. 이때, 상기 스로틀 앵글 밸브(200)의 흡입구(230)가 상기 진공챔버(100)와 결합되고, 상기 흡입구(230)와 수직하는 방향으로 형성된 배출구(240)에 펌프가 구비된다.
따라서, 상기 펌프가 작동함에 따라 상기 스로틀 앵글 밸브(200)의 개폐정도에 따라 상기 진공챔버(100) 내부로부터 공기를 흡입하는 흡입력의 정도가 조절된다.
이하에서는 도 3, 도 4a 및 도 4b를 참조하여 본 발명에 의한 스로틀 앵글 밸브의 구성을 상세히 살펴보기로 한다.
본 발명에 의한 스로틀 앵글 밸브(200)는 도 3에 도시한 바와 같이 외부 본체를 구성하는 하우징(210) 내부에 스로틀 실린더(220)가 삽입되어 구비된다.
상기 하우징(210)은 사각형 또는 원통형 등 다양한 형태로 제작될 수 있으나, 그 내부는 원통형으로 형성되어, 상기 원통형의 스로틀 실린더(220)가 삽입될 수 있도록 구성된다.
상기 하우징(210)의 일측면에는 상기 진공챔버(100)와 결합되어 상기 진공챔버(100)의 공기가 흡입될 수 있는 흡입구(230)가 형성되고, 상기 흡입구(230)의 방향과 수직하는 일측 단부에는 후술할 펌프와 연결되는 배출구(240)가 형성된다.
상기 흡입구(230)는 사각형 또는 원형 등의 다양한 형태로 형성될 수 있으나, 본 명세서에서는 설명의 편의상 원형의 절개부로 형성된 것을 예로 들어 설명한다.
한편, 상기 스로틀 실린더(220)는 상기 하우징(210) 측면과 면접하여 상기 하우징(210) 내부에서 회전가능하게 구비되는 원통형 실린더로, 일측에 개구부(224)가 형성되어 상기 흡입구(230)와 상기 개구부(224)의 교차 위치에 따라 상기 흡입구(230)의 개폐 정도가 조절되는 구성을 갖는다.
그리고 상기 하우징(210)의 배출구(240) 타단에는 상기 스로틀 실린더(220)를 회전시키기 위한 타이밍 벨트(260)가 구비된다.
상기 타이밍 벨트(260)는 상기 스로틀 실린더(220) 일측에 형성된 타이밍 기어(222)와 결합하여 상기 스로틀 실린더(220)를 회전시키는 구성이다.
즉, 상기 하우징(210)의 단부 일측에는 스테핑 모터(250)가 구비되고, 상기 스테핑 모터(250)와 상기 스로틀 실린더(220) 단부가 타이밍 벨트(260)에 의해 결합되어, 상기 스테핑 모터(250)가 구동함에 따라 상기 스로틀 실린더(220)가 회전하게 된다.
한편 상기 스로틀 실린더(220) 내측에는 상기 배출구(240)를 차폐하기 위한 개폐 피스톤(270)이 구비된다.
그리고 상기 개폐피스톤(270)의 단부 테두리에는 차폐효과를 O링(290)이 삽입되어 구비되어, 상기 차폐 피스톤(270)이 상기 배출구(240) 테두리 부분과 접한 경우, 상기 접합면을 통해 공기가 유동하는 것을 방지한다.
한편, 상기 개폐 피스톤(270)의 축은 상기 배출구(240) 타측의 하우징(210) 측면을 관통하여 승강펌프(280)에 연결된다.
상기 승강펌프(280)는 공압(또는 유압)을 이용하여 상기 개폐 피스톤(270)을 승하강 시키는 역할을 수행한다.
이하에서는 상기 스로틀 실린더(220)의 구성을 상세히 살펴보기로 한다.
상기 스로틀 실린더(220)의 구체적인 실시예는 도 4a 에 도시된 바와 같이, 원통형의 실린더에 일측 외주면에 상기 타이밍 벨트(260)와 결합하기 위한 타이밍 기어(222)가 형성된다.
그리고 상기 흡입구(230)와 대응하는 위치에 일부가 절개되어 형성되는 개구부(224)가 형성된다. 도 4a 에는 상기 개구부(224)가 사각형으로 형성된 모습이 도시되어 있고, 도 4b에는 상기 스로틀 실린더(220)의 개구부(226)가 상기 흡입구(230)와 동일한 형태의 원형으로 형성된 모습이 도시되어 있다.
이때, 상기 개구부는 다양한 형태로 형성되는 것이 가능한데, 예를 들어 상기 개구부는 다양한 기하학적 형태로 형성되어, 상기 실린더의 회전 각도에 따라 상기 흡입구(230)의 개방정도가 선형적으로 변화되도록 구성될 수 있다.
즉, 상기 흡입구가 원형으로 형성되고, 상기 개구부가 사각형으로 형성된 경우, 상기 스로틀 실린더(220)의 회전각에 따라 상기 흡입구의 개방 정도는 비 선형적으로 증가/감소하게 된다.
따라서, 상기 스테핑 모터(250)는 이와 같은 비선형적인 증감량을 감안하여 상기 스로틀 실린더(220)를 회전시키게 된다.
반면에, 상기 스로틀 실린더(220)의 개구부를 상기 흡입구(230)의 형태에 대응하여, 회전각에 따라 선형적으로 개방정도가 변화되도록 구성하는 경우, 상기 스테핑 모터(250)는 개방하고자 하는 변화량만큼 선형적으로 구동하게 되어, 상기 흡입구(230)의 개폐량 제어가 손쉬워지게 된다.
예를 들면, 상기 흡입구가 사각형으로 형성된 경우, 상기 개구부는 상기 흡입구보다 큰 사각형으로 형성되는 것이고, 상기 흡입구가 원형으로 형성된 경우, 상기 개구부는 『)(』형태로 형성되는 것일 수 있다.
이하에서는 상기한 바와 같은 본 발명에 의한 진공챔버(100)용 스로틀 앵글 밸브(200)의 작용을 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
도 5는 본 발명에 의한 진공챔버(100)용 스로틀 앵글 밸브(200)가 작동하는 모습을 도시한 예시도이다.
먼저 상기 흡입구(230)가 모두 차폐된 상태에서 상기 흡입구(230)가 개방되는 방향으로 상기 진공챔버(100)용 스로틀 앵글 밸브(200)가 동작하는 내용을 설명하기로 한다.
상기 흡입구(230)가 모두 차폐된 경우, 상기 개폐 피스톤(270)은 상기 하우징(210) 하단으로 하강하여 상기 배출구(240)를 차폐한 상태로 유지된다. 그리고 상기 스로틀 실린더(220)는 그 개구부(224)와 흡입구(230)가 겹쳐지지 않도록 회전하여 상기 스로틀 실린더(220)가 상기 흡입구(230)를 모두 가린 상태로 유지된다.
이후, 상기 흡입구(230)를 일부 개방하는 경우, 먼저 승강펌프(280)가 동작하여 상기 개폐 피스톤(270)을 승강시켜 상기 흡입구(230) 상방으로 승강된다.
그리고 상기 스테핑 모터(250)가 구동하여 상기 스테핑 모터(250)와 연결된 타이밍 벨트(260)를 회전시키고, 상기 타이밍 벨트(260)가 상기 스로틀 실린더(220)의 타이밍 기어(222)와 맞물려 상기 스로틀 실린더(220)를 회전시킨다.
상기 스로틀 실린더(220)가 회전함에 따라 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 스로틀 실린더(220)의 개구부(224)가 상기 흡입구(230)가 겹쳐져 일부가 개방된 상태가 된다.
이후에, 상기 스로틀 실린더(220)는 지속적으로 회전하여 상기 개구부(224)를 모두 개방한 상태로 개폐과정이 진행된다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
본 발명은 반도체 제조에 사용되는 챔버의 진공 정도를 제어하기 위해 펌프의 흡입력을 효과적으로 제어하여, 챔버 내의 공기의 압력을 효율적으로 제어할 수 있도록 하는 밸브에 관한 것으로, 본 발명에 의하면, 복동식 피스톤에 의한 밸브와 스로틀식 밸브를 일체화시켜, 밸브의 차폐력이 강화되고, 토출구의 개폐정도를 정확하고 안정적으로 제어할 수 있는 장점이 있다.
100 : 진공 챔버 200 : 스로틀 앵글 밸브
210 : 하우징 220 : 스로틀 실린더
222 : 타이밍 기어 224, 226 : 개구부
230 : 흡입구 240 : 배출구
250 : 스테핑 모터 260 : 타이밍 벨트
270 : 개폐 피스톤 280 : 승강펌프
290 : O링

Claims (6)

  1. 내부가 원통형으로 형성되고, 일측에 진공챔버와 결합되어 상기 진공챔버의 공기가 흡입될 수 있는 흡입구가 형성되고, 상기 흡입구의 방향과 수직하는 일측 단부에 배출구가 형성된 하우징과;
    상기 하우징 내부에 회전가능하게 삽입되는 원통형으로 형성되고, 상기 흡입구에 대응하는 위치에 개구부가 형성되어 회전에 의해 상기 흡입구의 개방 정도를 조절하는 스로틀 실린더; 그리고
    상기 스로틀 실린더 내부에 승하강되도록 삽입되어 상기 배출구를 개폐하는 개폐 피스톤을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    스테핑 모터와,
    상기 스테핑 모터와 결합되는 타이밍 밸트를 더 포함하여 구성되고;
    상기 스로틀 실린더 일측 외주면에는 스테핑 기어가 형성되어, 상기 스테핑 모터의 구동에 의해 상기 스로틀 실린더가 회전됨을 특징으로 하는 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 개구부는 사각형으로 형성됨을 특징으로 하는 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 개구부는,
    상기 흡입구의 형태에 대응하여, 회전각에 따라 상기 흡입구의 개방 공간이 선형적으로 증감되도록 형성됨을 특징으로 하는 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 개폐 피스톤을 승강시키는 승강펌프를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 개폐피스톤의 단부 테두리에는 오(O)링이 삽입되어 설치됨을 특징으로 하는 진공 챔버용 스로틀 앵글 밸브.
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CN112412565A (zh) * 2020-12-08 2021-02-26 陈谦 一种滚筒式进气的节气门
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