KR20150067663A

KR20150067663A - Nozzle cleaning apparatus, nozzle cleaning method and paste dispenser

Info

Publication number: KR20150067663A
Application number: KR1020130153402A
Authority: KR
Inventors: 김영휘; 한충녕; 박학철; 민경준
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2013-12-10
Filing date: 2013-12-10
Publication date: 2015-06-18

Abstract

The present invention provides a nozzle cleaning apparatus, a nozzle cleaning method and a paste dispenser. Paste is applied onto a substrate. The nozzle of a paste pattern forming device for forming a paste pattern is cleaned by automatically cleaning a single cleaning tape. Thereby, process efficiency is improved. Costs can be reduced.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a nozzle cleaning apparatus, a nozzle cleaning method, and a paste dispenser (hereinafter referred to as " NOZZLE "

본 발명은 노즐을 세정하는 노즐 세정장치, 노즐 세정장치를 이용한 노즐 세정방법 및 노즐 세정장치를 포함하는 페이스트 디스펜서에 관한 것이다.The present invention relates to a nozzle cleaning apparatus for cleaning nozzles, a nozzle cleaning method using a nozzle cleaning apparatus, and a paste dispenser including a nozzle cleaning apparatus.

최근 들어, 액정디스플레이(liquid crystal display, LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP), 유기발광다이오드(organic light emitting diodes, OLED)와 같이 가볍고 얇은 평판디스플레이(flat panel display, FPD)가 널리 보급되어 많이 사용되고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, a light and thin flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting diode And it is widely used.

여기에서, 액정디스플레이(LCD)에 적용되는 액정패널은 두 기판 사이의 간격을 유지하고 액정이 누출되는 것을 방지하기 위하여 두 기판 중 적어도 어느 한 기판에 페이스트를 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 두 기판 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 제조된다. 이 때, 기판 상에 페이스트 패턴을 형성하는 과정에는 페이스트 디스펜서(paste dispenser)가 이용된다.Here, in order to maintain the gap between the two substrates and prevent the liquid crystal from leaking, the liquid crystal panel applied to the liquid crystal display (LCD) forms a paste pattern by applying paste to at least one of the two substrates, And a liquid crystal layer is formed between the substrates. At this time, a paste dispenser is used for forming the paste pattern on the substrate.

페이스트 디스펜서는, 기판이 로딩되는 스테이지 및 스테이지에 로딩된 기판 상에 페이스트를 토출하는 노즐을 포함한다. 노즐은 기판과 일정한 갭(gap)을 유지한 상태에서 수평방향으로 이동하면서 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다.The paste dispenser includes a stage on which the substrate is loaded and a nozzle that discharges the paste onto the substrate loaded on the stage. The nozzle moves in the horizontal direction while maintaining a constant gap with the substrate, and forms a paste pattern on the substrate.

이와 같은 페이스트 디스펜서를 이용하여 기판 상에 페이스트 패턴을 형성하는 공정에서, 노즐의 토출구 주변에는 페이스트가 묻을 수 있다. 노즐의 토출구 주변에 페이스트가 묻으면, 노즐의 토출구가 그 주변에 묻은 페이스트에 의하여 부분적 또는 전체적으로 폐색되어 페이스트의 토출이 비원활하게 이루어질 수 있다. 노즐의 토출구 주변에는 이물이 묻을 수도 있는데, 이러한 경우에는 페이스트 패턴에 이물이 혼입될 수 있다. 이에 따라, 페이스트 패턴을 형성하는 과정은 노즐의 토출구 주변에 페이스트나 이물이 묻었는지를 주기적으로 확인하고 노즐의 토출구 주변에 묻은 페이스트나 이물을 제거하는 작업이 요구된다.In the step of forming the paste pattern on the substrate using such a paste dispenser, paste may be adhered to the periphery of the discharge port of the nozzle. When the paste is adhered to the periphery of the discharge port of the nozzle, the discharge port of the nozzle is partially or totally blocked by the paste attached to the periphery of the nozzle, so that the discharge of the paste can be made non-smoothly. Foreign matter may be adhered to the periphery of the discharge port of the nozzle. In this case, foreign matter may be mixed into the paste pattern. Accordingly, in the process of forming the paste pattern, it is required to periodically check whether paste or foreign matter is adhered to the periphery of the ejection opening of the nozzle, and to remove paste or foreign matter adhering to the periphery of the ejection opening of the nozzle.

이전까지는 노즐의 토출구 주변에 페이스트, 이물 등이 묻었는지를 작업자가 육안으로 확인하고 노즐의 토출구 주변에 묻은 페이스트나 이물을 작업자가 수작업으로 닦아서 제거하였다. 때문에, 노즐을 세정하는 데 오랜 시간이 소요되는 등 공정효율이 나쁠 수밖에 없는 문제가 있다.Previously, the operator visually checked whether paste or foreign matter was adhered to the vicinity of the discharge port of the nozzle, and the operator manually wiped away the paste or foreign matter adhering to the discharge port of the nozzle. Therefore, there is a problem that the process efficiency is bad such as a long time is required to clean the nozzle.

한편, 노즐의 세정에는 노즐 자동세정장치가 이용될 수 있다. 노즐 자동세정장치는 단일의 세정테이프를 이용하여 노즐 주변의 일면을 닦거나 두 세정테이프를 이용하여 노즐 주변의 양면을 각각 닦도록 구성된다.On the other hand, a nozzle automatic cleaning apparatus can be used for cleaning the nozzles. The nozzle automatic cleaning apparatus is configured to wipe one surface around the nozzle using a single cleaning tape or to clean both surfaces around the nozzle using two cleaning tapes.

이와 같은 기존의 노즐 자동세정장치에 의하면, 노즐이 부분적으로 세정되기 때문에, 미처 세정되지 않고 노즐에 묻어 있는 페이스트에 의하여 노즐의 토출구가 폐색되는 문제 및 페이스트 패턴에 이물이 혼입되는 문제가 여전히 존재하는바, 이에 대한 개선책 마련이 요구되는 실정이다.According to the conventional automatic nozzle cleaning apparatus, since the nozzle is partially cleaned, there is still a problem that the discharge port of the nozzle is clogged by the paste on the nozzle without being cleaned and the foreign matter is mixed into the paste pattern Bar, and it is required to make improvements.

본 발명의 실시예는, 노즐의 주변 전체(사방)를 자동으로 세정할 수 있는 노즐 세정장치, 이러한 노즐 세정장치를 이용한 노즐 세정방법, 그리고 이러한 노즐 세정장치를 포함하는 페이스트 디스펜서를 제공하는 데 목적이 있다.An embodiment of the present invention is directed to a nozzle cleaning apparatus capable of automatically cleaning all the periphery of a nozzle, a nozzle cleaning method using such a nozzle cleaning apparatus, and a paste dispenser including such a nozzle cleaning apparatus .

본 발명의 실시예에 따르면, 서로에 대하여 이격 및 접근 가능하며 사이에 위치된 노즐을 가압하는 두 가압부재를 갖는 노즐 척과; 상기 노즐 척을 승강시키는 승강수단과; 상기 두 가압부재의 상측에 상기 두 가압부재에 걸쳐질 수 있게 배치되고 상기 두 가압부재 사이로 상측으로부터 진입되는 노즐에 밀려 상기 노즐과 함께 진입되면서 상기 두 가압부재와 노즐 사이에 개재되는 세정테이프와; 상기 세정테이프의 길이방향의 양쪽이 각각 감기며 상기 두 가압부재의 상측에 상기 세정테이프를 공급하고 공급된 세정테이프를 회수하는 공급롤러 및 회수롤러를 포함하는 노즐 세정장치가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a nozzle apparatus comprising: a nozzle chuck having two pressing members that are spacable and accessible to each other and press a nozzle positioned therebetween; An elevating means for elevating the nozzle chuck; A cleaning tape disposed between the two pressure members on the upper side of the two pressure members and interposed between the two pressure members and the nozzle while being pushed by a nozzle which is introduced from above into the space between the two pressure members, And a supply roller and a collection roller that are wound on both sides in the longitudinal direction of the cleaning tape and supply the cleaning tape to the upper side of the two pressing members and recover the supplied cleaning tape.

본 발명의 실시예에 따른 노즐 세정장치는, 상기 노즐 척을 수직방향의 축을 중심으로 회전시키는 회전수단을 더 포함할 수 있다.The nozzle cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a rotating means for rotating the nozzle chuck about a vertical axis.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 노즐 세정장치는, 상기 공급롤러로부터 상기 회수롤러로 이송되는 세정테이프의 이송경로 측에 상기 세정테이프에 대하여 이격 및 접근 가능하게 구비되고 접근 시에 상기 세정테이프를 가압하여 긴장시키는 적어도 하나의 텐션조절부재와; 상기 세정테이프가 상기 텐션조절부재에 의하여 가압되도록 상기 텐션조절부재에 탄성력을 부여하는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.The nozzle cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention is provided so as to be spaced apart from and approachable to the cleaning tape on the conveying path side of the cleaning tape conveyed from the feeding roller to the collection roller, At least one tension adjusting member for pressing and tensing; And an elastic member that applies an elastic force to the tension adjusting member so that the cleaning tape is pressed by the tension adjusting member.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 노즐 세정장치는, 상기 노즐이 상기 두 가압부재 사이로 진입될 수 있고 상기 두 가압부재와의 사이에 개재된 세정테이프에 의하여 닦일 수 있게 상기 노즐을 수직방향 및 수평방향으로 이동시키는 이동수단을 더 포함할 수 있다.The nozzle cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a nozzle cleaning mechanism for vertically and horizontally moving the nozzle so that the nozzle can be moved between the two pressure members and cleaned by a cleaning tape interposed between the two pressure members. And a moving means for moving the recording medium in the direction of the recording medium.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 노즐 세정장치는, 상기 공급롤러로부터 공급되는 세정테이프가 상기 회수롤러로 회수되도록 상기 공급롤러 및 상기 회수롤러를 각각 회전시키는 롤러 구동유닛을 더 포함할 수 있다.The nozzle cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a roller driving unit that rotates the feeding roller and the collection roller so that the cleaning tape supplied from the feeding roller is collected by the collection roller.

상기 롤러 구동유닛은, 모터축이 상기 공급롤러의 롤러축 및 상기 회수롤러의 롤러축과 각각 교차하도록 배치된 제1구동모터 및 제2구동모터와; 상기 각각의 롤러축과 모터축에 N극과 S극이 원주방향을 따라 번갈아 배열된 복수의 자석을 가져 상기 롤러축 측 자석과 모터축 측 자석 간의 자력에 의하여 상기 공급롤러 및 상기 회수롤러에 각각 상기 제1구동모터 및 상기 제2구동모터의 회전력을 전달하는 베벨기어 형식의 제1전동기구 및 제2전동기구를 포함할 수 있다.Wherein the roller driving unit comprises: a first driving motor and a second driving motor arranged such that a motor shaft crosses a roller shaft of the supplying roller and a roller shaft of the collecting roller; And a plurality of magnets in which N poles and S poles are alternately arranged in the circumferential direction on the respective roller shafts and motor shafts, respectively, by the magnetic force between the roller shaft magnet and the motor shaft magnet, And a first transmission mechanism and a second transmission mechanism of a bevel gear type for transmitting the rotational force of the first drive motor and the second drive motor.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기와 같은 노즐 세정장치를 이용하여 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포유닛에 구비된 노즐을 세정하는 방법으로서, 서로 이격된 두 가압부재에 세정테이프가 걸쳐질 수 있게 상기 이격된 두 가압부재의 상측에 세정테이프를 배치하는 단계와; 상기 세정테이프의 배치단계 후, 상기 이격된 두 가압부재 사이로 상기 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포유닛을 이동시키는 도포유닛 이동수단에 의하여 상기 노즐을 상측으로부터 진입시킴으로써 상기 세정테이프를 상기 노즐과 함께 진입시켜 상기 두 가압부재와 노즐 사이에 개재시키는 단계와; 상기 노즐의 진입단계 후, 상기 두 가압부재를 접근시켜 상기 노즐을 가압하는 단계와; 상기 노즐의 가압단계 후, 상기 도포유닛 이동수단에 의하여 상기 노즐을 상기 두 가압부재 사이를 따라 수평방향으로 이동시켜 상기 노즐을 상기 세정테이프로 닦는 제1세정단계와; 상기 제1세정단계 후, 상기 두 가압부재를 90도 회전시키는 단계와; 상기 도포유닛 이동수단에 의하여 상기 노즐을 상기 회전된 두 가압부재 사이를 따라 수평방향으로 이동시켜 상기 노즐을 상기 세정테이프로 닦는 제2세정단계를 포함하는 노즐 세정방법이 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a method of cleaning a nozzle provided in a paste dispensing unit of a paste dispenser using the nozzle cleaning apparatus, comprising the steps of: Disposing a cleaning tape on the upper side of the two pressing members; The cleaning tape is moved along with the nozzle by moving the nozzle from above by the coating unit moving means for moving the paste coating unit of the paste dispenser between the two spaced apart pressing members after the arrangement of the cleaning tape, Interposing between the pressure member and the nozzle; After the step of entering the nozzle, pressing the nozzle by approaching the two pressing members; A first cleaning step of wiping the nozzle with the cleaning tape by moving the nozzle horizontally between the two pressing members by the coating unit moving unit after the pressing of the nozzle; Rotating the two pressing members 90 degrees after the first cleaning step; And a second cleaning step of moving the nozzle in the horizontal direction between the two pressed members by the coating unit moving means to clean the nozzle with the cleaning tape.

본 발명의 실시예에 따르면, 기판이 로딩되는 스테이지, 상기 스테이지에 로딩된 기판에 페이스트를 토출하는 노즐이 구비된 페이스트 도포유닛, 상기 페이스트 도포유닛을 수직방향 및 수평방향으로 이동시키는 도포유닛 이동수단을 갖는 페이스트 패턴 형성장치와; 상기 페이스트 패턴 형성장치에 설치되며 상기와 같이 구성된 노즐 세정장치를 포함하는 페이스트 디스펜서가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a paste dispensing apparatus including a stage on which a substrate is loaded, a paste dispensing unit including a nozzle for dispensing paste on a substrate loaded on the stage, A paste pattern forming apparatus having a paste pattern forming apparatus; A paste dispenser provided in the paste pattern forming apparatus and including the nozzle cleaning apparatus configured as described above may be provided.

본 발명의 실시예에 의하면, 노즐이 자동으로 세정되므로 공정효율을 대폭적으로 향상시킬 수 있다.According to the embodiment of the present invention, since the nozzle is automatically cleaned, the process efficiency can be greatly improved.

특히, 본 발명의 실시예에 의하면, 노즐의 토출구 주변 전체(사방)가 세정되기 때문에, 노즐에 묻은 페이스트를 보다 완벽하게 제거할 수 있고, 이로써 노즐에 묻은 페이스트가 위치에 따라서는 세정테이프에 의하여 제대로 닦이지 않고 그대로 남음에 따라 유발되는 토출구 폐색 및 페이스트 패턴으로의 혼입 문제를 방지할 수 있다.Particularly, according to the embodiment of the present invention, since the entire periphery (four sides) around the discharge port of the nozzle is cleaned, the paste adhered to the nozzle can be more completely removed, It is possible to prevent the problem of mixing of the discharge port clogging and the paste pattern which are caused by leaving the product as it is.

아울러, 노즐의 토출구 주변 전체(사방)에 대한 세정이 단일의 세정테이프에 의하여 이루어지기 때문에, 노즐의 세정에 요구되는 세정테이프의 수를 줄일 수 있는바, 이에 따라 세정비용을 절감할 수 있고, 구조를 단순화할 수 있다.In addition, since the cleaning of all the nozzles around the discharge port is performed by a single cleaning tape, it is possible to reduce the number of cleaning tapes required for cleaning the nozzles, thereby reducing the cleaning cost, The structure can be simplified.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 세정장치가 적용된 페이스트 디스펜서를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 페이스트 도포유닛을 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 노즐 세정장치를 나타내는 사시도이다.
도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 노즐 세정장치를 나타내는 정면도이다.
도 6은 도 3 내지 도 5에 도시된 노즐 척, 척 승강수단 및 척 회전수단을 나타내는 부분단면도이다.
도 7은 도 3 내지 도 5에 도시된 공급롤러/회수롤러 및 롤러 구동유닛을 나타내는 부분단면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 롤러 구동유닛의 전동기구를 나타내는 확대도이다.
도 9 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 세정장치를 이용하여 노즐을 세정하는 과정을 나타낸다.1 is a perspective view illustrating a paste dispenser to which a nozzle cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention is applied.
Fig. 2 is a perspective view showing the paste application unit shown in Fig. 1. Fig.
Fig. 3 is a perspective view showing the nozzle cleaning apparatus shown in Fig. 1. Fig.
4 and 5 are front views showing the nozzle cleaning apparatus shown in Fig.
6 is a partial cross-sectional view showing the nozzle chuck, the chuck lifting means, and the chuck rotating means shown in Figs. 3 to 5. Fig.
Fig. 7 is a partial cross-sectional view showing the supply roller / collection roller and the roller drive unit shown in Figs. 3 to 5. Fig.
8 is an enlarged view showing a transmission mechanism of the roller drive unit shown in Fig.
9 to 13 show a process of cleaning a nozzle using a nozzle cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서가 도시된 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a paste dispenser according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는 페이스트 패턴 형성장치(A)와 노즐 세정장치(40)를 포함한다. 그리고, 페이스트 패턴 형성장치(A)는 베이스 프레임(12), Y축 테이블(14), X축 테이블(16), 스테이지(18) 및 단수 또는 복수의 페이스트 도포유닛(20)을 포함한다. Y축 테이블(14)은 베이스 프레임(12) 상에 Y축방향으로 이동 가능하게 설치되고, X축 테이블(16)은 Y축 테이블(14) 상에 X축방향으로 이동 가능하게 설치되며, 스테이지(18)는 X축 테이블(16) 상에 X축 테이블(16)과 함께 이동하도록 설치된다. 스테이지(18) 상에는 기판(도 2의 도면부호 2 참조)이 로딩되고, 페이스트 도포유닛(20)은 X축, Y축 및 Z축방향으로 이동하면서 스테이지(18)에 로딩된 기판 상에 페이스트를 도포하여 페이스트 패턴(도 2의 도면부호 4 참조)을 형성한다.As shown in FIG. 1, the paste dispenser according to the embodiment of the present invention includes a paste pattern forming apparatus A and a nozzle cleaning apparatus 40. The paste pattern forming apparatus A includes a base frame 12, a Y-axis table 14, an X-axis table 16, a stage 18, and a single or plural paste application units 20. The Y-axis table 14 is installed on the base frame 12 so as to be movable in the Y-axis direction. The X-axis table 16 is installed on the Y-axis table 14 so as to be movable in the X- Axis table 16 is installed to move together with the X-axis table 16 on the X-axis table 16. 2) is loaded on the stage 18 and the paste applying unit 20 moves the paste in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions to form a paste on the substrate loaded on the stage 18 To form a paste pattern (refer to reference numeral 4 in Fig. 2).

페이스트 도포유닛(20)은 페이스트가 정량으로 토출되는 노즐(도 2의 도면부호 22 참조)을 포함하고, 페이스트 도포유닛(20)의 노즐은 노즐 세정장치(40)에 의하여 세정된다. 기판(2) 상에 페이스트를 도포하는 동작, 노즐을 세정하는 동작 등은 제어수단(도시되지 않음)에 의하여 컨트롤된다.The paste application unit 20 includes a nozzle (see reference numeral 22 in Fig. 2) through which the paste is discharged in a fixed amount, and the nozzle of the paste application unit 20 is cleaned by the nozzle cleaning apparatus 40. [ The operation of applying the paste on the substrate 2, the operation of cleaning the nozzle, and the like are controlled by control means (not shown).

구체적인 도시는 없으나, Y축 테이블(14)과 X축 테이블(16)은 각각 이동유닛에 의하여 이동된다.Although there is no specific illustration, the Y-axis table 14 and the X-axis table 16 are moved by the respective mobile units.

Y축 테이블(14) 이동유닛을 작동시키면 X축 테이블(16), 스테이지(18) 및 스테이지(18)에 로딩된 기판(2)이 Y축 테이블(14)과 함께 Y축방향으로 이동되고, X축 테이블(16) 이동유닛을 작동시키면 스테이지(18)와 스테이지(18)에 로딩된 기판(2)이 X축 테이블(16)과 함께 X축방향으로 이동된다. Y축 테이블(14)의 위치와 X축 테이블(16)의 위치는 서로 바뀔 수도 있다.When the Y-axis table 14 moving unit is operated, the substrate 2 loaded on the X-axis table 16, the stage 18 and the stage 18 is moved in the Y-axis direction together with the Y-axis table 14, When the X-axis table 16 moving unit is operated, the stage 18 and the substrate 2 loaded on the stage 18 are moved together with the X-axis table 16 in the X-axis direction. The position of the Y-axis table 14 and the position of the X-axis table 16 may be exchanged with each other.

도 2는 페이스트 도포유닛(20)이 도시된 사시도이다.2 is a perspective view showing the paste application unit 20.

도 2에 도시된 바와 같이, 페이스트 도포유닛(20)은 페이스트가 충전되는 시린지(24)를 더 포함한다. 노즐(22)은 토출구를 가지며 시린지(24)와 연결되어 시린지(24)로부터의 페이스트를 토출한다. 노즐(22)은 토출구가 위치하는 하단부(끝 부분)가 원통형의 구조를 갖도록 형성될 수 있다.As shown in Fig. 2, the paste application unit 20 further includes a syringe 24 to which the paste is filled. The nozzle 22 has a discharge port and is connected to the syringe 24 to discharge the paste from the syringe 24. The nozzle 22 may be formed such that the lower end (end portion) where the discharge port is located has a cylindrical structure.

이와 같은 페이스트 도포유닛(20)은 도포유닛 이동수단(30)에 의하여 이동된다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 도포유닛 이동수단(30)은 도포유닛 지지대(32), Y축 구동유닛(34), 가동부재(36), X축 구동유닛(도시되지 않음) 및 Z축 구동유닛(38)을 포함한다. 도포유닛 지지대(32)는 스테이지(18)의 상측에 X축방향으로 배치된 상태로 베이스 프레임(10) 상에 Y축방향으로 이동 가능하게 설치된다. 도포유닛 지지대(32)는 베이스 프레임(10)에 양단부가 Y축방향으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. Y축 구동유닛(34)은 도포유닛 지지대(32)를 이동시킨다. 도포유닛 지지대(32)의 중간부에는 가동부재(36)가 X축방향으로 이동 가능하게 설치되고, X축 구동유닛은 가동부재(36)를 이동시킨다. 가동부재(36)에는 페이스트 도포유닛(20)이 Z축 구동유닛(38)에 의하여 Z축방향으로 이동 가능하게 설치된다.The paste applying unit 20 is moved by the applying unit moving means 30. 1 and 2, the coating unit moving means 30 includes a coating unit support 32, a Y-axis driving unit 34, a movable member 36, an X-axis driving unit (not shown) And a driving unit (38). The coating unit support base 32 is installed on the base frame 10 so as to be movable in the Y-axis direction while being arranged in the X-axis direction on the upper side of the stage 18. [ Both ends of the coating unit support base 32 can be coupled to the base frame 10 so as to be movable in the Y-axis direction. The Y-axis drive unit 34 moves the application unit support table 32. At the intermediate portion of the coating unit support base 32, a movable member 36 is provided so as to be movable in the X-axis direction, and the X-axis drive unit moves the movable member 36. The movable member 36 is provided with a paste application unit 20 so as to be movable in the Z-axis direction by a Z-axis drive unit 38.

Y축 구동유닛(34)을 작동시키면 가동부재(36)와 페이스트 도포유닛(20)의 노즐(22)이 도포유닛 지지대(32)와 함께 Y축방향으로 이동되고, X축 구동유닛을 작동시키면 페이스트 도포유닛(20)의 노즐(22)이 가동부재(36)와 함께 X축방향으로 이동되며, Z축 구동유닛(38)을 작동시키면 페이스트 도포유닛(20)의 노즐(22)이 Z축방향으로 이동됨으로써, 노즐(22)은 수직, 수평방향인 X축, Y축 및 Z축방향으로 이동될 수 있다.When the Y-axis drive unit 34 is operated, the movable member 36 and the nozzle 22 of the paste application unit 20 are moved together with the application unit support table 32 in the Y-axis direction. When the X- When the nozzle 22 of the paste application unit 20 is moved in the X axis direction together with the movable member 36 and the Z axis drive unit 38 is operated, the nozzle 22 of the paste application unit 20 is moved in the Z axis The nozzle 22 can be moved in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions in the vertical and horizontal directions.

페이스트 도포유닛(20)에는, 기판(2)과 노즐(22) 사이의 간격을 측정하는 변위센서(26) 및 기판(2) 상에 형성된 페이스트 패턴(4)의 단면적을 측정하는 단면적센서(28)가 장착된다. 변위센서(26)에 의한 데이터는 페이스트 도포 시 노즐(22)을 기판(2)과 일정한 갭(gap)으로 유지시키는 데 이용될 수 있다. 그리고, 단면적센서(28)에 의한 데이터는 페이스트 패턴(4)의 불량을 검출하는 데 이용될 수 있다.The paste applying unit 20 is provided with a cross sectional area sensor 28 for measuring the cross sectional area of the paste pattern 4 formed on the substrate 2 and a displacement sensor 26 for measuring the distance between the substrate 2 and the nozzle 22 Is mounted. The data by the displacement sensor 26 can be used to maintain the nozzle 22 at a constant gap with the substrate 2 during paste application. Then, the data by the cross-sectional area sensor 28 can be used to detect the failure of the paste pattern 4. [

노즐 세정장치(40)는 단일의 세정테이프(도 4의 도면부호 43)를 이용하여 노즐(22)의 토출구 및 그 주변(사방)을 세정(이물 및 페이스트 제거)할 수 있게 구성된다. 노즐 세정장치(40)는 페이스트 패턴 형성장치(A)에 탈착 가능하게 설치될 수 있다. 구체적으로, 노즐 세정장치(40)는 베이스 프레임(10) 상에 배치될 수 있다.(도 1 참조) 또는, 노즐 세정장치(40)는 X축 테이블(16) 상에 배치될 수도 있고 스테이지(18) 상에 배치될 수도 있다. 페이스트 패턴 형성장치(A)에서 노즐 세정장치(40)가 설치되는 위치는 반드시 이에 한정되어야 할 이유가 없으므로, 노즐 세정장치(40)는 스테이지(18) 및/또는 페이스트 도포유닛(20)을 이동시켜 노즐(22)을 접근시킬 수 있는 범위 이내에서 기판(2) 상에 페이스트를 도포하는 동작을 방해함이 없는 위치라면 어디라도 배치될 수 있다.The nozzle cleaning device 40 is configured to clean (remove foreign matters and paste) the discharge port of the nozzle 22 and its periphery (four sides) by using a single cleaning tape (43 in FIG. 4). The nozzle cleaning device 40 may be detachably installed in the paste pattern forming device A. Specifically, the nozzle cleaning apparatus 40 may be disposed on the base frame 10 (see FIG. 1). Alternatively, the nozzle cleaning apparatus 40 may be disposed on the X-axis table 16, 18). The position of the nozzle cleaning apparatus 40 in the paste pattern forming apparatus A is not necessarily limited to this position so that the nozzle cleaning apparatus 40 moves the stage 18 and / It is possible to arrange it at any position that does not interfere with the operation of applying the paste on the substrate 2 within a range in which the nozzle 22 can be approached.

이와는 달리, 노즐(22)의 세정 시에 노즐 세정장치(40)가 노즐(22)에 접근되도록 노즐 세정장치(40)를 별도의 이동수단에 의하여 직접 이동시킬 수도 있다.Alternatively, the nozzle cleaning apparatus 40 may be directly moved by another moving means so that the nozzle cleaning apparatus 40 approaches the nozzle 22 when the nozzle 22 is cleaned.

도 3은 노즐 세정장치(40)가 도시된 사시도이다. 그리고, 도 4 및 도 5는 노즐 세정장치(40)가 도시된 정면도이다.Fig. 3 is a perspective view showing the nozzle cleaning apparatus 40. Fig. 4 and 5 are front views in which the nozzle cleaning apparatus 40 is shown.

도 3, 4를 참조하면, 노즐 세정장치(40)는 노즐 척(42) 및 세정테이프(43)를 포함하고, 노즐(22)은 노즐 척(42)에 의하여 가압된 상태에서 토출구 및 그 주변이 세정테이프(43)에 의하여 세정된다.3 and 4, the nozzle cleaning device 40 includes a nozzle chuck 42 and a cleaning tape 43, and the nozzle 22 is pressed by the nozzle chuck 42 to the discharge port and its periphery Is cleaned by the cleaning tape 43.

노즐 척(42)은 마운팅 프레임(41)에 의하여 페이스트 패턴 형성장치(A)에 설치된다. 마운팅 프레임(41)은 프레임 바디(41B)와 프레임 커버(41C)를 포함한다.The nozzle chuck 42 is installed in the paste pattern forming apparatus A by the mounting frame 41. The mounting frame 41 includes a frame body 41B and a frame cover 41C.

프레임 바디(41B)는, 페이스트 패턴 형성장치(A)에 탈착 가능하게 설치된 바닥판(411), 바닥판(411) 상에 세워지고 X축방향으로 배치되어 바닥판(411) 상의 영역을 앞쪽의 전방영역(A1)과 상대적으로 뒤쪽의 후방영역(도 7의 도면부호 A2)으로 구분하는 구획벽(412)을 포함한다. 이러한 프레임 바디(41B)는, 후방영역(A2)에 덮여 후방영역(A2)을 외부와 차단시키는 차폐부재(도 3, 4의 도면부호 413, 414 및 415 참조)를 더 포함할 수 있다. 차폐부재는, 후방영역(A2)의 좌측 및 우측(X축방향 양쪽)를 각각 차폐하는 측벽(413), 후방영역(A2)의 상측을 차폐하는 상판(414), 후방영역(A2)의 후방을 차폐하는 뒷벽(415)으로 구성될 수 있다.The frame body 41B includes a bottom plate 411 detachably mounted on the paste pattern forming apparatus A and a frame body 41B disposed on the bottom plate 411 and disposed in the X- And includes a partition wall 412 which is divided into a front region A1 and a rear region (reference symbol A2 in Fig. 7) relatively backward. The frame body 41B may further include a shielding member 413, 414, and 415, which are covered by the rear region A2 and shield the rear region A2 from the outside. The shielding member includes a side wall 413 for shielding the left side and right side (both the X axis direction) of the rear region A2, an upper plate 414 for shielding the upper side of the rear region A2, And a rear wall 415 for shielding the rear wall 415.

프레임 커버(41C)는 전방영역(A1)에 덮여 전방영역(A1)을 외부와 차단시키는 역할을 한다. 전방영역(A1)에는 노즐 척(42)과 세정테이프(43)가 배치된다. 프레임 커버(41C)는 세정테이프(43) 교체 등 유지 및 보수작업의 편의를 위하여 프레임 바디(41B)에 여닫을 수 있게 설치되거나 탈착 가능하게 설치될 수 있다. 프레임 커버(41C)는 프레임 커버(41C)에 의하여 덮인 전방영역(A1)을 외부에서 들여다볼 수 있도록 투광성 재질에 의하여 투명 또는 반투명으로 제작하는 것이 바람직하다.The frame cover 41C is covered with the front region A1 and serves to shield the front region A1 from the outside. A nozzle chuck 42 and a cleaning tape 43 are disposed in the front region A1. The frame cover 41C can be installed on or detachable from the frame body 41B for convenience of maintenance and repair work such as replacement of the cleaning tape 43. [ The frame cover 41C is preferably made transparent or semitransparent by a light-transmitting material so that the front area A1 covered by the frame cover 41C can be viewed from the outside.

도 6은 노즐 척(42) 및 그 주변 구성이 도시된 부분단면도이다.6 is a partial cross-sectional view showing the nozzle chuck 42 and its peripheral structure.

도 6을 더 참조하면, 노즐 척(42)은, 서로에 대하여 이격 및 접근이 가능한 두 가압부재(421), 두 가압부재(421)를 이격 및 접근시키는 가압부재 구동유닛(422)을 포함한다. 두 가압부재(421)는 Z축방향으로 세워지고 서로 대향하도록 배치된다. 두 가압부재(421)는 서로 이격 및 접근되는 방향으로 각각 이동 가능하게 설치된다. 가압부재 구동유닛(422)은 두 가압부재(421)를 각각 이동시킨다. 가압부재 구동유닛(422)으로는 리니어 모터, 공압식 또는 유압식 실린더 등의 직선이동기구가 적용될 수 있다.6, the nozzle chuck 42 includes two pressing members 421, which can be separated from and approach each other, and a pressing member driving unit 422 for separating and approaching the two pressing members 421 . The two pressing members 421 are disposed so as to face each other in the Z-axis direction. The two pressing members 421 are movably installed in directions away from and approach each other. The pressing member driving unit 422 moves the two pressing members 421, respectively. As the pressing member driving unit 422, a linear moving mechanism such as a linear motor, a pneumatic type or a hydraulic cylinder may be applied.

두 가압부재(421)는 사이에 노즐(22)을 위치시킬 수 있는 간격으로 이격되고(도 10 참조) 서로 접근되어 사이에 위치한 노즐(22)을 가압한다.(도 11 참조) 노즐(22)을 서로 이격된 두 노즐(22) 사이에 위치시키기 위하여, 도포유닛 이동수단(30)은 노즐(22)을 X축 및/또는 Y축방향(수평방향)으로 이동시켜 서로 이격된 두 가압부재(421) 사이의 상측에 위치시킨 후, 노즐(22)을 Z축방향(수직방향)으로 하강시켜 서로 이격된 두 가압부재(421) 사이로 진입시킨다. 도 3에 도시된 바와 같이, 프레임 커버(41C)의 상부에는 이렇게 서로 이격된 두 가압부재(421) 사이를 향하여 하강하는 노즐(22)이 전방영역(A1)의 외부로부터 전방영역(A1)으로 반입될 수 있게 하는 개구(416)가 마련된다.The two pressing members 421 are separated from each other by an interval allowing the nozzle 22 to be positioned therebetween (see Fig. 10) and are urged toward each other to press the nozzle 22 located therebetween (see Fig. 11) The coating unit moving means 30 moves the nozzles 22 in the X axis direction and / or the Y axis direction (horizontal direction) so as to position the two pressing members (spaced apart from each other) 421, the nozzle 22 is lowered in the Z-axis direction (vertical direction) to enter between the two pressing members 421 spaced from each other. 3, a nozzle 22 descending toward the space between the two pressing members 421 spaced apart from each other is provided on the upper portion of the frame cover 41C from the outside of the front region A1 to the front region A1 An opening 416 is provided which allows it to be carried.

두 가압부재(421)의 서로 대향하는 부분에는 고무나 스펀지와 같은 구션재로 구성된 쿠션부재(423)가 각각 부착된다.A cushion member 423 composed of a sealing material such as rubber or sponge is attached to each of the opposed portions of the two pressing members 421.

이와 같은 노즐 척(42)은 두 가압부재(421)가 모두 이동되면서 서로 이격 및 접근되는 것이 아닌, 두 가압부재(421) 중 어느 하나만이 이동되면서 서로 이격 및 접근되도록 구성될 수도 있다.The nozzle chuck 42 may be configured such that both the pressing members 421 are moved away from each other and apart from each other while moving only one of the two pressing members 421 away from each other.

노즐 척(42)은 척 승강수단(44)에 의하여 Z축방향으로 이동(승강)되고 척 회전수단(45)에 의하여 Z축방향의 축을 중심으로 회전된다.The nozzle chuck 42 is moved (lifted and lowered) in the Z-axis direction by the chuck lifting means 44 and rotated about the axis in the Z-axis direction by the chuck rotating means 45.

척 승강수단(44)은 노즐 척(42)에 연결되어 노즐 척(42)을 Z축방향으로 이동시키는 공압식 또는 유압식 실린더 등의 직선이동기구를 포함할 수 있다. 척 회전수단(45)은 척 승강수단(44)에 연결되어 척 승강수단(44)과 함께 노즐 척(42)을 양방향으로 회전시키는 구동모터를 포함할 수 있다. 이에 따르면, 척 회전수단(45)은 전방영역(A1)에 위치하도록 바닥판(411) 상에 설치되고, 노즐 척(42)은 척 회전수단(45)의 상측에 배치되며, 척 승강수단(44)은 노즐 척(42)과 척 회전수단(45) 사이에 설치될 수 있다. 척 승강수단(44)과 척 회전수단(45)은 이러한 구성에 한정되지 않으며 노즐 척(42)을 Z축방향으로 이동시키고 Z축방향의 축을 중심으로 회전시킬 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다.The chuck lifting means 44 may include a linear movement mechanism, such as a pneumatic or hydraulic cylinder, connected to the nozzle chuck 42 to move the nozzle chuck 42 in the Z axis direction. The chuck rotating means 45 may include a driving motor connected to the chuck lifting means 44 to rotate the nozzle chuck 42 in both directions together with the chuck lifting means 44. The chuck rotating means 45 is disposed on the bottom plate 411 so as to be located in the front region A1 and the nozzle chuck 42 is disposed on the upper side of the chuck rotating means 45, 44 may be provided between the nozzle chuck 42 and the chuck rotating means 45. The chuck lifting means 44 and the chuck rotating means 45 are not limited to this configuration, and various configurations can be applied so that the nozzle chuck 42 can be moved in the Z-axis direction and rotated around an axis in the Z-axis direction.

척 회전수단(45)은 두 가압부재(421)가 X축 또는 Y축방향으로 서로 대향하는 상태에서 노즐 척(42)을 90도 간격으로 회전시키도록 제어된다. 도포유닛 이동수단(30)은 노즐(22)의 중심부가 축 회전수단(45)에 의하여 회전되는 노즐 척(42)의 회전중심(Z축방향의 축의 중심부)과 일치하도록 두 가압부재(421) 사이에 노즐(22)을 위치시킨다.The chuck rotating means 45 is controlled so as to rotate the nozzle chuck 42 at 90 degree intervals in a state where the two pressing members 421 face each other in the X axis or Y axis direction. The coating unit moving means 30 moves the two pressing members 421 so that the center portion of the nozzle 22 coincides with the rotation center (the center portion of the axis in the Z axis direction) of the nozzle chuck 42 rotated by the shaft rotating means 45. [ And the nozzle 22 is positioned between the two nozzles.

세정테이프(43)는 페이스트가 부착되는 성질을 갖는 재질에 의하여 이루어질 수 있다. 또한, 세정테이프(43)에는 페이스트를 용해시킬 수 있는 성분(아세톤 등)으로 이루어진 물질이 도포될 수 있다. 이러한 세정테이프(43)는 두 가압부재(421)에 걸쳐질 수 있게 두 가압부재(421)의 상측에 X축방향으로 배치된다.(도 9 참조) 이 때, 세정테이프(43)는 양면이 각각 상측과 하측을 향하는 자세로 세팅된다.The cleaning tape 43 may be made of a material having properties to which a paste is adhered. Further, the cleaning tape 43 may be coated with a material composed of a component (such as acetone) capable of dissolving the paste. This cleaning tape 43 is arranged in the X-axis direction on the upper side of the two pressing members 421 so as to be able to pass over the two pressing members 421. (Refer to Fig. 9) And are set to the positions facing upward and downward, respectively.

세정테이프(43)는, 도 4에서와 같이 두 가압부재(421)의 상부와 근접하게 배치되어 있다가, 도 5에서와 같이 노즐 척(42)이 척 승강수단(44)에 의하여 상승 시 두 가압부재(421)의 상부에 밀착될 수 있다.4, the cleaning tape 43 is disposed close to the upper portion of the two pressure members 421. When the nozzle chuck 42 is lifted up by the chuck lifting means 44 as shown in Fig. 5 And can be brought into close contact with the upper portion of the pressing member 421.

두 가압부재(421)의 상측에 배치된 세정테이프(43)는 서로 이격된 두 가압부재(421) 사이로 상측으로부터 하강되어 진입하는 노즐(22)에 의하여 밀려 노즐(22)과 함께 진입된다.(도 10 참조) 이 때, 서로 이격된 두 가압부재(421) 사이로 노즐(22)과 함께 진입되는 세정테이프(43)는 두 가압부재(421)에 걸쳐질 수 있는 것에 의하여 자연히 노즐(22)을 사이에 두고 접힌다.The cleaning tape 43 disposed on the upper side of the two pressing members 421 is lowered from the upper side between the two pressing members 421 spaced from each other and is pushed by the entering nozzle 22 to enter together with the nozzle 22. The cleaning tape 43 which enters with the nozzle 22 between the two pressure members 421 spaced from each other can naturally spread over the two pressing members 421 and the nozzle 22 .

도 3 내지 도 5의 도면부호 46은 세정테이프(43)를 두 가압부재(421)의 상측으로 X축방향으로 공급, 두 가압부재(421)의 상측에 배치시키는 세정테이프 공급수단으로, 세정테이프 공급수단(46)은 서로 이격된 두 가압부재(421) 사이로 세정테이프(43)가 노즐(22)과 함께 진입 가능하도록 세정테이프(43)의 양쪽을 탄력적으로 지지하는 역할을 겸한다.Reference numeral 46 in Figs. 3 to 5 denotes a cleaning tape feeding means for supplying the cleaning tape 43 to the upper side of the two pressing members 421 in the X axis direction and placing the cleaning tape 43 on the upper side of the two pressing members 421, The feeding means 46 also serves to elastically support both sides of the cleaning tape 43 so that the cleaning tape 43 can enter the nozzle 22 together with the two pressing members 421 spaced from each other.

세정테이프 공급수단(46)은, 세정테이프(43)의 길이방향의 양쪽이 각각 감긴 공급롤러(51A) 및 회수롤러(51B), 공급롤러(51A)로부터의 세정테이프(43)가 회수롤러(51B)로 회수되도록 공급롤러(51A) 및 회수롤러(51B)를 각각 회전시키는 롤러 구동유닛(도 7의 도면부호 55), 공급롤러(51A)와 회수롤러(51B) 사이의 세정테이프(43)의 이송경로 측에서 세정테이프(43)를 긴장시키는 적어도 하나의 텐션조절유닛(61), 세정테이프(43)의 이송경로에서 세정테이프(43)가 정확히 이송되도록 안내하는 적어도 하나의 안내부재(65)를 포함한다.The cleaning tape supply means 46 is provided with a supply roller 51A and a collection roller 51B wound on both sides in the longitudinal direction of the cleaning tape 43 and a cleaning tape 43 from the supply roller 51A, A roller driving unit 55 for rotating the feeding roller 51A and the collecting roller 51B so as to collect the cleaning tape 51B between the supplying roller 51A and the collecting roller 51B, At least one guide member 65 for guiding the cleaning tape 43 to be accurately conveyed in the conveyance path of the cleaning tape 43; at least one guide member 65 for guiding the cleaning tape 43 in the conveying path of the cleaning tape 43; ).

공급롤러(51A)와 회수롤러(51B)는 전방영역(A1)에 위치된다. 공급롤러(51A)와 회수롤러(51B)는 노즐 척(42)을 사이에 두도록 X축방향의 양쪽인 노즐 척(42)의 좌측 및 우측에 각각 배치된다.The supply roller 51A and the collection roller 51B are located in the front area A1. The supply roller 51A and the collection roller 51B are disposed on the left and right sides of the nozzle chuck 42 on both sides in the X-axis direction so as to sandwich the nozzle chuck 42 therebetween.

도 7은 공급롤러(51A)/회수롤러(51B) 및 롤러 구동유닛(55)가 도시된 부분단면도이다.Fig. 7 is a partial cross-sectional view showing the supply roller 51A / recovery roller 51B and the roller drive unit 55. Fig.

도 7을 더 참조하면, 공급롤러(51A)와 회수롤러(51B)는 둘 모두, 외주에 세정테이프(43)가 감기는 롤러 본체(52), 롤러 본체(52)의 중심에 구비된 롤러축(53)을 포함한다. 이러한 공급롤러(51A)와 회수롤러(51B)는 롤러축(53)이 Y축방향으로 배치되고 구획벽(412)에 롤러축(53)을 중심으로 회전 가능하게 설치된다. 롤러축(53)은 구획벽(412)을 관통하여 후방영역(A2)으로 돌출된다.7, the supply roller 51A and the collection roller 51B both have a roller body 52 around which a cleaning tape 43 is wound, a roller shaft 52 provided at the center of the roller body 52, (53). The supply roller 51A and the collection roller 51B are disposed such that the roller shaft 53 is disposed in the Y axis direction and rotatable about the roller shaft 53 in the partition wall 412. [ The roller shaft 53 penetrates through the partition wall 412 and protrudes into the rear area A2.

롤러 구동유닛(55)은 후방영역(A2)에 위치하도록 설치된다. 롤러 구동유닛(55)은 공급롤러(51A)용 회수롤러(51B)용이 서로 동일한 구성을 갖는다. 롤러 구동유닛(55)은, 구동모터(56) 및 구동모터(56)로부터의 회전력을 롤러축(53)에 전달하여 롤러축(53)을 회전시키는 전동기구(도 8의 도면부호 58, 59 참조)를 포함한다.The roller drive unit 55 is installed so as to be located in the rear region A2. The roller drive unit 55 has the same configuration as that of the recovery roller 51B for the supply roller 51A. The roller drive unit 55 includes a transmission mechanism (58, 59 in Fig. 8) for transmitting the rotational force from the drive motor 56 and the drive motor 56 to the roller shaft 53 to rotate the roller shaft 53 ).

도 8은 도 7의 롤러 구동유닛(55)의 전동기구가 도시된 확대도이다.8 is an enlarged view showing the transmission mechanism of the roller drive unit 55 of Fig.

롤러 구동유닛(55)의 구동모터(56)는 모터축(57)이 롤러축(53)과 교차하도록 배치된다. 도 8에 도시된 바와 같이, 롤러 구동유닛(55)의 전동기구는, 롤러축(53)에 설치된 복수의 제1자석부재(58) 및 모터축(57)에 제1자석부재(58)와의 상호 자력에 의하여 회전력을 전달할 수 있게 설치된 복수의 제2자석부재(59)를 포함한다. 복수의 제1 및 제2자석부재(58, 59)는 롤러축(53) 및 모터축(57)에 각각 N극과 S극이 원주방향을 따라 번갈아 배열된다. 복수의 제1 및 제2자석부재(58, 59)는 서로 대응되는 베벨기어의 구조를 갖도록 구성될 수 있다.The drive motor 56 of the roller drive unit 55 is arranged such that the motor shaft 57 intersects the roller shaft 53. 8, the transmission mechanism of the roller drive unit 55 includes a plurality of first magnet members 58 provided on the roller shaft 53, and a plurality of second magnet members 58 mounted on the motor shaft 57 with respect to the first magnet member 58 And a plurality of second magnet members (59) installed to transmit rotational force by mutual magnetic force. The plurality of first and second magnet members 58 and 59 are alternately arranged in the circumferential direction of the N and S poles on the roller shaft 53 and the motor shaft 57, respectively. The plurality of first and second magnet members 58 and 59 may be configured to have bevel gear structures corresponding to each other.

롤러 구동유닛(55)에 의하면, 모터축(57)을 통하여 출력되는 구동모터(56)의 회전력은 복수의 제1 및 제2자석부재(58, 59)의 상호 간에 작용하는 자력에 의하여 롤러축(53)에 전달된다.The rotational force of the drive motor 56 output through the motor shaft 57 is transmitted to the roller shaft 55 by the magnetic force acting between the plurality of first and second magnet members 58, (53).

이와 같은 롤러 구동유닛(55)은 구동모터(56)의 모터축(57)이 Y축방향으로 배치된 롤러축(53)과 교차하도록 배치(예를 들어, X축 또는 Z축방향으로 배치)되기 때문에, 구동모터(56)에 대한 Y축방향(전후) 설치면적으로 줄일 수 있고, 나아가서는 노즐 세정장치(40)를 콤팩트하게 제작할 수 있다. 또한, 롤러 구동유닛(55)의 전동기구가 제1 및 제2자석부재(58, 59)에 의하여 비접촉방식으로 동력을 전달하기 때문에, 서로 접촉되어 동력을 전달하는 기어 전동방식에서 기어가 마모됨에 따라 파티클이 발생되는 문제를 원천적으로 방지할 수 있다.The roller drive unit 55 is disposed such that the motor shaft 57 of the drive motor 56 crosses the roller shaft 53 arranged in the Y axis direction (for example, arranged in the X axis or Z axis direction) It is possible to reduce the installation area in the Y-axis direction (back and forth) with respect to the drive motor 56, and further, the nozzle cleaning apparatus 40 can be manufactured compactly. Further, since the transmission mechanism of the roller drive unit 55 transmits the power in a non-contact manner by the first and second magnet members 58 and 59, the gears are worn out in the gear transmission system in contact with each other to transmit power Accordingly, it is possible to prevent the problem of generating particles from occurring.

텐션조절유닛(61)은 복수로 구비하는 것이 바람직하다. 텐션조절유닛(61)은 세정테이프(43)의 이송경로에서 공급롤러(51A)와 노즐 척(42) 사이 및 노즐 척(42)과 회수롤러(51B) 사이에 하나씩 배치될 수 있다.It is preferable that a plurality of tension control units 61 are provided. The tension adjusting unit 61 may be disposed one by one between the feeding roller 51A and the nozzle chuck 42 and between the nozzle chuck 42 and the collecting roller 51B in the feeding path of the cleaning tape 43. [

텐션조절유닛(61)은, 가압레버(62)와 접촉부재(63)를 갖는 텐션조절부재, 텐션조절부재에 탄성력을 부여하는 탄성부재(65)로 구성된다. 가압레버(62)는 세정테이프(43) 측에 위치되며 구획벽(412)에 Y축방향의 축을 중심으로 한 각운동이 가능하도록 한쪽 단부가 설치된다. 접촉부재(63)는 가압레버(62)의 다른 쪽 단부에 세정테이프(43)와 접촉 가능하도록 구비된다. 접촉부재(63)로는 롤러 또는 원형 로드가 적용될 수 있다. 탄성부재(65)는 접촉부재(63)가 세정테이프(43)를 가압하여 긴장시키도록 가압레버(62)에 탄성력을 부여한다.The tension adjusting unit 61 includes a tension adjusting member having a pressing lever 62 and a contact member 63 and an elastic member 65 for applying an elastic force to the tension adjusting member. The pressure lever 62 is located on the side of the cleaning tape 43 and has one end so as to be angularly movable about the axis in the Y-axis direction on the partition wall 412. The contact member 63 is provided so as to be in contact with the cleaning tape 43 at the other end of the pressure lever 62. [ As the contact member 63, a roller or a circular rod can be applied. The elastic member 65 applies an elastic force to the pressing lever 62 so that the contact member 63 presses and tightens the cleaning tape 43. [

안내부재(65)는 세정테이프(43)의 이송경로 상에서 공급롤러(51A) 측의 텐션조절유닛(61)과 노즐 척(42) 사이 및 회수롤러(51B) 측의 텐션조절유닛(61)과 노즐 척(42) 사이에 각각 복수로 구비될 수 있다. 안내부재(65)는 공급롤러(51A)로부터의 세정테이프(43)가 변형(일부가 구겨지는 현상 등) 및 이송경로부터 이탈됨이 없이 두 가압부재(421)의 상측으로 정확히 공급되고 회수롤러(51B)로 회수되도록 세정테이프(43)의 이송을 안내한다. 안내부재(65)로는 세정테이프(43)를 걸 수 있는 안내롤러 또는 안내로드가 적용될 수 있다.The guide member 65 is disposed between the tension adjusting unit 61 and the nozzle chuck 42 on the feeding roller 51A side and the tension adjusting unit 61 on the side of the collecting roller 51B on the conveying path of the cleaning tape 43 And a plurality of nozzle chucks 42, respectively. The guide member 65 is accurately supplied to the upper side of the two pressing members 421 without being deformed (partly wrinkled phenomenon) and separated from the conveying path and the cleaning tape 43 from the supplying roller 51A is correctly supplied, And guided to convey the cleaning tape 43 so as to be recovered by the cleaning unit 51B. As the guide member 65, a guide roller or guide rod capable of hanging the cleaning tape 43 may be applied.

도 9 내지 도 13을 참조하여 노즐 세정장치(40)를 이용하여 노즐(22)을 세정하는 과정을 살펴본다.A process of cleaning the nozzle 22 using the nozzle cleaning apparatus 40 will be described with reference to FIGS.

노즐 척(42)은 하강되고, 두 가압부재(421)는 서로 이격됨과 아울러 Y축방향으로 서로 대향된 상태로 대기한다. 세정테이프(43)는 이 같은 두 가압부재(421)의 상측에 X축방향으로 배치된다. 이 때, 세정테이프(43)는 공급롤러(51A)로부터 사전에 정한 여분의 길이만큼 풀린 상태이고 텐션조절유닛(61)에 의하여 긴장이 유지된다.The nozzle chuck 42 is lowered, and the two pressing members 421 are spaced from each other and stand by in the state of being opposed to each other in the Y axis direction. The cleaning tape 43 is arranged on the upper side of the two pressing members 421 in the X-axis direction. At this time, the cleaning tape 43 is unwound from the feeding roller 51A by a predetermined length, and the tension is maintained by the tension adjusting unit 61. [

먼저, 도포유닛 이동수단(30)에 의하여 노즐(22)을 서로 이격된 두 가압부재(421) 사이의 상측으로 이동시키고, 척 승강수단(44)에 의하여 노즐 척(42)을 상승시킨다.(도 9 참조) 이 때, 노즐(22)은 중심부가 축 회전수단(45)에 의하여 회전되는 노즐 척(42)의 회전중심(Z축방향의 축의 중심부)과 일치하도록 위치되고, 두 가압부재(421)의 상부에는 세정테이프(43)가 밀착된다.The nozzle 22 is moved upward between the two pressing members 421 spaced from each other by the coating unit moving means 30 and the nozzle chuck 42 is raised by the chuck raising and lowering means 44. 9). At this time, the nozzle 22 is located so that its central portion coincides with the rotation center (the center of the axis in the Z-axis direction) of the nozzle chuck 42 rotated by the shaft rotating means 45, The cleaning tape 43 is adhered to the upper portion of the cleaning tape 421.

노즐 척(42)의 상승과정에서 노즐 척(42)과 함께 상승되는 두 가압부재(421)는 세정테이프(43)를 상측으로 밀어낸다. 이 때, 공급롤러(51A)와 회수롤러(51B)는 자유회전이 불가하므로, 세정테이프(43)는 공급롤러(51A)로부터 더 이상 풀리지 않으나, 세정테이프(43)가 두 가압부재(421)에 의하여 상측으로 밀리는 동작은 공급롤러(51A)로부터 사전에 풀어 놓은 세정테이프(43)의 여분 및 가압레버(62)의 각운동에 따른 공급롤러(51A)와 노즐 척(42) 간 세정테이프(43)의 이송거리 단축에 의하여 자연스럽게 이루어질 수 있다.(도 5 참조) 물론, 세정테이프(43)는 이러한 상태에서도 텐션조절유닛(61)의 가압작용에 의하여 긴장이 유지된다.In the ascending process of the nozzle chuck 42, the two pressing members 421 lifted together with the nozzle chuck 42 push the cleaning tape 43 upward. At this time, since the feed roller 51A and the collection roller 51B can not freely rotate, the cleaning tape 43 is no longer released from the supply roller 51A, but the cleaning tape 43 is pressed against the two pressing members 421, The operation of pushing the upper side by the feed roller 51A causes the excess of the cleaning tape 43 previously released from the supply roller 51A and the cleaning tape between the supply roller 51A and the nozzle chuck 42 due to the angular movement of the pressure lever 62 43). (See Fig. 5) Of course, even in this state, the cleaning tape 43 is kept in tension by the urging action of the tension adjusting unit 61.

다음, 도포유닛 이동수단(30)에 의하여 노즐(22)을 하강시킨다.(도 10 참조) 이 때, 노즐(22)은 서로 이격된 두 가압부재(421) 사이로 진입된다. 그리고, 세정테이프(43)에서 노즐(22)과 접촉되는 부분은 노즐(22)에 의하여 하측으로 밀려 서로 이격된 두 가압부재(421) 사이로 노즐(22)과 함께 진입됨과 아울러, 서로 이격된 두 가압부재(421)에 걸쳐진 것(서로 이격된 두 가압부재(421) 사이의 거리가 세정테이프(43)의 너비에 비하여 작은 것)에 의하여 노즐(22)을 사이에 두고 접힌다.Next, the nozzle 22 is lowered by the coating unit moving means 30 (see Fig. 10). At this time, the nozzle 22 enters between the two pressing members 421 spaced from each other. The portion of the cleaning tape 43 that is in contact with the nozzle 22 is pushed downward by the nozzle 22 to enter the nozzle 22 together with the two pressure members 421 spaced apart from each other, (The distance between the two pressing members 421 that are spaced apart from each other is smaller than the width of the cleaning tape 43), the nozzle 22 is interposed between the pressing members 421.

이와 같은 노즐(22)의 하강과정도 세정테이프(43)의 여분 및 가압레버(62)의 각운동에 의하여 자연스럽게 진행될 수 있다.Such a descent process of the nozzle 22 can also naturally proceed by the extra movement of the cleaning tape 43 and the angular movement of the pressure lever 62.

그 다음, 가압부재 구동유닛(422)에 의하여 두 가압부재(421)를 서로 접근시킨다.(도 11 참조) 그러면, 두 가압부재(421) 사이의 노즐(22)은 두 가압부재(421)에 의하여 가압된다. 즉, 노즐(22)은 토출구 및 그 주변이 세정테이프(43)에 밀착된다. 쿠션부재(423)은 노즐(22)과 세정테이프(43)의 밀착을 긴밀히 한다.11). Then, the nozzle 22 between the two pressing members 421 is brought into contact with the two pressing members 421 (see Fig. 11). Then, the two pressing members 421 are moved toward each other by the pressing member driving unit 422 Lt; / RTI > That is, the discharge port and the periphery of the nozzle 22 are brought into close contact with the cleaning tape 43. The cushion member 423 tightly contacts the nozzle 22 and the cleaning tape 43 closely.

다음, 두 가압부재(421) 사이에서 도포유닛 이동수단(30)에 의하여 노즐(22)을 X축방향으로 왕복시킨다.(도 12 참조) 즉, 두 가압부재(421) 사이를 따라 노즐(22)을 수평방향으로 왕복 이동시킨다. 이 때, 노즐(22)은 토출구 및 그 주변이 세정테이프(43)에 의하여 닦여 세정된다. 노즐(22)의 토출구의 주변은 그 외주 중 두 가압부재(421)를 향하는 양쪽이 주로 세정된다.Next, the nozzle 22 is reciprocated in the X-axis direction between the two pressing members 421 by the coating unit moving means 30 (see Fig. 12). Namely, the nozzle 22 ) In the horizontal direction. At this time, the nozzle 22 is wiped and cleaned by the cleaning tape 43 at the discharge port and its periphery. The periphery of the discharge port of the nozzle 22 is mainly cleaned both toward the two pressing members 421 on the outer periphery thereof.

그 다음, 노즐(22)의 중심부가 축 회전수단(45)에 의하여 회전되는 노즐 척(42)의 회전중심(Z축방향의 축의 중심부)과 일치하도록 노즐(22)을 위치시킨 상태에서, 척 회전수단(45)에 의하여 노즐 척(42)을 90도 회전시킨 후, 두 가압부재(421) 사이에서 도포유닛 이동수단(30)에 의하여 노즐(22)을 Y축방향으로 왕복시킨다.(도 13 참조) 이 때, 척 회전수단(45)에 의하면, 두 가압부재(421)는 Y축방향으로 서로 대향된다. 그리고, 도포유닛 이동수단(30)에 의하면, 노즐(22)은 두 가압부재(421) 사이를 따라 수평방향으로 왕복 이동되고, 노즐(22)은 토출구 및 그 주변이 세정테이프(43)에 의하여 닦여 세정된다. 여기에서는, 두 가압부재(421)가 90도 회전됨에 따라, 노즐(22)의 토출구의 주변은 그 외주 중 다른 양쪽이 주로 세정된다.Then, with the nozzle 22 positioned so that the center of the nozzle 22 coincides with the center of rotation (the center of the axis in the Z-axis direction) of the nozzle chuck 42 rotated by the shaft rotating means 45, The nozzle chuck 42 is rotated 90 degrees by the rotating means 45 and then the nozzle 22 is reciprocated in the Y axis direction by the coating unit moving means 30 between the two pressing members 421. 13). At this time, according to the chuck rotating means 45, the two pressing members 421 are opposed to each other in the Y axis direction. The nozzle 22 is reciprocated in the horizontal direction along the space between the two pressing members 421 and the discharge port and its periphery are moved by the cleaning tape 43 by the coating unit moving means 30, It is wiped clean. Here, as the two pressing members 421 are rotated by 90 degrees, the periphery of the discharge port of the nozzle 22 is mainly cleaned on the other of its outer periphery.

참고로, 척 회전수단(45)에 의하여 노즐 척(42)의 회전과정 또한 세정테이프(43)의 여분 및 가압레버(62)의 각운동에 의하여 자연스럽게 진행될 수 있다.The rotating process of the nozzle chuck 42 by the chuck rotating means 45 can also proceed smoothly by the angular movement of the pressing lever 62 and the excess of the cleaning tape 43. [

살펴본 바와 같은 본 발명의 실시예는 서로 이격된 두 가압부재(421) 사이로 노즐(22)을 진입시키는 과정에서 세정테이프(43)가 사이에 노즐(22)을 두도록 접히므로 노즐(22)의 토출구 및 그 주변의 양쪽을 단일의 세정테이프(43)에 의하여 닦아 세정할 수 있다.The cleaning tape 43 is folded so that the nozzle 22 is interposed therebetween in the course of entering the nozzle 22 between the two pressing members 421 spaced from each other, And the periphery thereof can be cleaned by wiping with a single cleaning tape 43. [

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

22 : 노즐 30 : 도포유닛 이동수단
40 : 노즐 세정장치 42 : 노즐 척
421 : 가압부재 422 : 가압부재 구동유닛
423 : 쿠션부재 43 : 세정테이프
44 : 척 승강수단 45 : 척 회전수단
46 : 세정테이프 공급수단 51A : 공급롤러
51B : 회수롤러 55 : 롤러 구동유닛
61 : 텐션조절유닛22: nozzle 30: coating unit moving means
40: nozzle cleaning device 42: nozzle chuck
421: pressing member 422: pressing member driving unit
423: cushion member 43: cleaning tape
44: chuck elevating means 45: chuck rotating means
46: cleaning tape supplying means 51A: supplying roller
51B: Collection roller 55: Roller drive unit
61: Tension control unit

Claims

A nozzle chuck having two pressing members which are spaced apart from and accessible to each other and which pressurize a nozzle positioned between the nozzle chuck;
An elevating means for elevating the nozzle chuck;
A cleaning tape disposed between the two pressing members and disposed between the two pressing members on the upper side of the two pressing members;
And a supplying roller and a collecting roller for supplying the cleaning tape to the upper side of the two pressing members and collecting the supplied cleaning tape.

The method according to claim 1,
And rotating means for rotating the nozzle chuck about an axis in the vertical direction.

The method according to claim 1,
At least one tension adjusting member provided so as to be spaced apart from and approachable to the cleaning tape on the conveying path side of the cleaning tape fed from the feeding roller to the collection roller and pressing and tensioning the cleaning tape when approaching;
Further comprising an elastic member that applies an elastic force to the tension adjusting member so that the cleaning tape is pressed by the tension adjusting member.

The method according to claim 1 or 3,
Further comprising: a roller driving unit that rotates the feeding roller and the collecting roller so that the cleaning tape supplied from the feeding roller is collected by the collecting roller.

5. The image forming apparatus according to claim 4,
A first driving motor and a second driving motor arranged such that a motor shaft crosses a roller shaft of the feed roller and a roller shaft of the collecting roller;
And a plurality of magnets in which N poles and S poles are alternately arranged in the circumferential direction on the respective roller shafts and motor shafts, respectively, by the magnetic force between the roller shaft magnet and the motor shaft magnet, And a first transmission mechanism and a second transmission mechanism of a bevel gear type for transmitting rotational force of the first drive motor and the second drive motor.

A method for cleaning a nozzle provided in a paste dispensing unit of a paste dispenser using the nozzle cleaning apparatus according to claim 2,
Disposing a cleaning tape on top of the spaced apart pressure members so that a cleaning tape is spread over two spaced apart pressure members;
The cleaning tape is moved along with the nozzle by moving the nozzle from above by the coating unit moving means for moving the paste coating unit of the paste dispenser between the two spaced apart pressing members after the arrangement of the cleaning tape, Interposing between the pressure member and the nozzle;
After the step of entering the nozzle, pressing the nozzle by approaching the two pressing members;
A first cleaning step of wiping the nozzle with the cleaning tape by moving the nozzle horizontally between the two pressing members by the coating unit moving unit after the pressing of the nozzle;
Rotating the two pressing members 90 degrees after the first cleaning step;
And a second cleaning step of moving the nozzle horizontally between the two pressed members by the coating unit moving means to wipe the nozzle with the cleaning tape.

A paste applying unit having a nozzle for discharging a paste onto a substrate loaded on the stage; a paste pattern forming device having a coating unit moving means for moving the paste applying unit in a vertical direction and a horizontal direction;
The paste dispenser according to claim 1, wherein the paste dispenser is provided in the paste pattern forming apparatus.