KR20150064556A - 잉곳의 성장공정을 관찰하기 위한 뷰 포트 및 이를 포함하는 잉곳성장장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 잉곳성장공정이 수행되는 공간을 제공하는 챔버 내부를 관찰하기 위한 뷰 포트로서, 상기 챔버 일측에 설치되며, 상기 챔버 내부와 연결된 홀을 갖는 바디부; 상기 바디부 상부에 배치되어, 상기 홀을 밀폐하면서 상기 챔버 내부의 빛을 투과하는 윈도우부; 및 상기 윈도우부에 설치되어, 상기 윈도우부의 하면을 클리닝하는 윈도우 클리너;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
제안되는 본 발명에 의하여 챔버의 밀폐상태는 유지하면서 효율적으로 뷰 포트의 글라스 오염을 세척할 수 있는 장점이 있다. 그리고, 이러한 뷰 포트를 통해 챔버 내부에서 성장하는 잉곳을 명확히 관찰할 수 있고, 성장되는 잉곳의 직경 등의 공정 데이터를 정확하게 측정할 수 있는 장점이 있다. 따라서, 정확하게 측정된 공정 데이터를 통해 공정조건을 제어하여, 고품질의 잉곳을 생산할 수 있는 장점이 있다.

Description

잉곳의 성장공정을 관찰하기 위한 뷰 포트 및 이를 포함하는 잉곳성장장치 {View port for observing ingot growing process and ingot growing apparatus having the same}

본 발명은 잉곳 성장을 관찰하기 위한 뷰 포트와, 이를 포함하는 잉곳성장장치에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼의 재료가 되는 실리콘 단결정 잉곳은 초크랄스키법(CZ법)으로 제조된다.

CZ법이란, 석영도가니에 실리콘을 넣고 석영도가니를 가열하여 실리콘을 용융시킨 후, 종자 결정(seed crystal)을 실리콘 융액에 접촉시킨 상태에서 회전하면서 서서히 끌어올리면서 종자 단결정 표면에서 융액을 고체로 응고시킴에 따라 소정의 직경을 갖는 잉곳을 성장시키는 방법이다.

이러한 잉곳을 성장시키는 장치는 챔버 내부에 구성되며, 상기 챔버는 반도체 등의 전자 부품 소재로 사용되는 웨이퍼용 잉곳을 성장시키기 위한 소정의 공정들이 수행되는 공간을 제공한다.

그리고, 상기 챔버는 오염물질 유입 방지 및 내부 분위기를 유지하기 위하여 밀폐되어 있기 때문에, 챔버 내부에서 성장하는 잉곳을 관찰하기 위하여 챔버의 일 측에는 별도로 뷰 포트(view port)가 설치된다.

이러한 뷰 포트를 통해서 잉곳의 성장을 육안으로 관찰할 수 있을 뿐만 아니라, 직경 측정 센서나 멜트 갭(melt gap) 측정 센서 등은 뷰 포트를 통해 성장하는 잉곳의 직경과 멜트 갭과 같은 공정 데이터를 측정할 수 있다.

이후, 위와 같이 측정된 실시간 공정 데이터를 고려하여 잉곳 인상속도나 히터 파워 등 잉곳성장의 공정조건이 결정되기 때문에, 챔버 내부의 공정 데이터를 정확하게 측정하는 것이 중요하다.

그런데, 상기 챔버 내부의 석영 도가니에서 발생하는 기화된 산화물(SiOx)이나 도펀트에 의하여, 뷰 포트의 글라스가 오염되는 문제점이 발생한다.

특히, 공정의 후반부로 넘어갈수록 글라스의 오염은 더욱 심화되어 챔버 내부를 거의 관찰할 수 없을 정도로 오염되며, 뷰 포트를 통해 측정된 직경 등의 공정 데이터에 오차도 증가하게 된다.

결국에는 이러한 오측된 공정 데이터에 의해 공정 조건이 결정되어, 성장된 잉곳의 품질이 저하되는 문제점이 발생하였다.

또한, 이러한 오차를 방지하기 위하여, 측정 센서의 이동속도, 감도, 감도 조절 등을 실시하는 방안들이 제시되었지만 오차개선효과는 미비하였다.

본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 글라스의 오염을 챔버 외부에서 클리닝하여, 잉곳의 성장을 정확하게 관찰할 수 있도록 하는 뷰 포트와 이를 포함하는 잉곳성장장치를 제안하고자 한다.

본 실시예는 잉곳성장공정이 수행되는 공간을 제공하는 챔버 내부를 관찰하기 위한 뷰 포트로서, 상기 챔버 일측에 설치되며, 상기 챔버 내부와 연결된 홀을 갖는 바디부; 상기 바디부 상부에 배치되어, 상기 홀을 밀폐하면서 상기 챔버 내부의 빛을 투과하는 윈도우부; 및 상기 윈도우부에 설치되어, 상기 윈도우부의 하면을 클리닝하는 윈도우 클리너;를 포함하는 잉곳의 성장공정을 관찰하기 위한 뷰 포트이다.

또한, 본 실시예의 잉곳성장장치는 잉곳의 성장공정이 수행되는 공간을 제공하고 밀폐된 챔버; 상기 챔버의 내부에 배치되어, 실리콘 멜트를 수용하는 석영도가니; 상기 실리콘 멜트에 시드를 침지하고 회전 및 인상하여 상기 잉곳을 성장시키는 인상수단; 상기 챔버의 일측에 설치되어 상기 챔버 내부의 공정상황을 관찰할 수 있도록 내부의 빛을 투과하는 뷰 포트; 를 포함하고, 상기 뷰 포트는 상기 챔버 내부와 연결된 홀을 갖는 바디부와, 상기 바디부의 상부에 배치되어 상기 홀을 밀폐하면서 상기 챔버 내부의 빛을 투과하는 윈도우부와, 상기 윈도우부에 설치되어 상기 윈도우부의 하면을 클리닝하는 윈도우 클리너로 구성된 것을 특징으로 한다.

제안되는 본 발명에 의하여 챔버의 밀폐상태는 유지하면서 효율적으로 뷰 포트의 글라스 오염을 세척할 수 있는 장점이 있다.

그리고, 이러한 뷰 포트를 통해 챔버 내부에서 성장하는 잉곳을 명확히 관찰할 수 있고, 성장되는 잉곳의 직경 등의 공정 데이터를 정확하게 측정할 수 있는 장점이 있다.

따라서, 정확하게 측정된 공정 데이터를 통해 공정조건을 제어하여, 고품질의 잉곳을 생산할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 일반적인 잉곳성장장치의 개략적인 모습을 나타낸다.
도 2는 일반적인 잉곳성장장치에서 성장한 잉곳의 직경을 측정한 데이터와, 실제 잉곳 직경의 차이를 나타내는 그래프이다.
도 3은 본 발명이 실시예에 따른, 챔버 외부에서 윈도우를 세척할 수 있는 윈도우 클리너가 장착된 잉곳성장장치를 개략적으로 나타낸다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른, 윈도우 클리너가 설치된 뷰 포트의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른, 윈도우 클리너가 설치된 뷰 포트의 단면도를 나타낸다.
도 6는 본 발명의 다른 실시예에 따른, 자동으로 윈도우 클리너를 주기적으로 작동시키는 장치가 구비된 뷰 포트를 나타낸다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른, 주기적인 뷰 포트 클리닝에 따라서 공정이 진행될 때 잉곳의 직경을 측정한 데이터와, 실제 잉곳 직경의 차이를 나타내는 그래프이다.

이하에서는, 본 실시예에 대하여 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 살펴보도록 한다. 다만, 본 실시예가 개시하는 사항으로부터 본 실시예가 갖는 발명의 사상의 범위가 정해질 수 있을 것이며, 본 실시예가 갖는 발명의 사상은 제안되는 실시예에 대하여 구성요소의 추가, 삭제, 변경 등의 실시변형을 포함한다고 할 것이다.

도 1은 일반적인 잉곳성장장치의 개략적인 모습을 나타낸다.

일반적인 잉곳성장장치의 구성들은 챔버(10) 내부에 배치되며, 챔버(10)는 밀폐(sealing)되어 있기 때문에, 챔버(10) 내부에서 성장하는 잉곳(IG)을 관찰하기 위해서는 뷰 포트 (100) (view port)가 구비되어야 한다.

상기 뷰 포트(100)는 챔버(10) 내부의 공정 상황을 관찰하는 수단으로, 챔버(10) 일 측에 설치되며, 빛을 투과하면서 챔버(10)의 밀폐상태(sealing)를 유지할 수 있도록 뷰 포트(100)의 상부에는 윈도우부(110)가 구성된다.

이러한 윈도우부(110)를 통해 육안으로 잉곳의 성장공정을 관찰할 수 있고, 챔버(10) 외부에는 마련된 센서(200)들은 윈도우부(110)를 통해 잉곳의 직경과 같은 공정상황을 측정하여 공정 데이터(raw data)로 출력한다.

즉, 상기 센서(200)들은 뷰 포트(100)를 통해 챔버(10) 내부의 빛을 센싱하여, 잉곳의 직경이나 열차폐체(30)와 실리콘 멜트(S)의 높이 차이인 멜트 갭(M/G) 등을 측정하여 공정 데이터로 출력하는 이미지 센서이다.

그리고, 위와 같이 측정된 공정 데이터에 기반하여 인상속도와 히터파워 등의 공정조건들이 제어되므로, 정확한 공정 데이터를 측정하는 것은 잉곳 품질에 중대한 영향을 미치게 된다.

특히, 잉곳의 직경이 균일한지 여부는 잉곳의 품질을 결정하는 중요한 판단요소이므로, 상기 뷰 포트(100)를 통해 성장하는 잉곳의 직경을 정확하게 측정하여 균일한 직경의 잉곳을 생산하는 것이 중요하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 뷰 포트(100)를 통해 측정되는 공정 데이터는 잉곳의 직경을 대표하여 설명하기로 한다.

그리고, 이러한 잉곳의 직경을 측정하여 로데이터(raw data)로 출력하는 직경 센서부(200)는 적외선 센서(IR sensor), CCD 카메라 또는 고온계(pyrometer) 다양한 센서가 사용될 수 있다.

본 실시예에서는 직경 센서부(200)로 성장되는 잉곳의 메니스커스(meniscus)의 밝기를 측정하여 실제 ADC 값(actual ADC)으로 산출한 후 실제 ADC 값에 따라서 인상속도를 조절하여 잉곳의 직경을 제어하는 ADC 센서부(200)(Automatic Diameter Control)가 사용될 수 있다.

한편, 잉곳 성장공정 진행 중에 발생한 다량의 기화(Evaporation)된 산화물(SiOx) 또는 기화된 도펀트가 윈도우부(110)의 하면에 흡착되어, 윈도우부(110)를 불투명하게 오염시킬 수 있다.

특히, 고휘발성 도펀트의 도핑 공정이 포함된 잉곳 성장공정에서는 휘발된 도펀트가 윈도우부(110)에 증착되어, 챔버(10) 내부를 전혀 관찰할 수 없을 정도로 불투명하게 오염시키게 된다.

그리고, 이러한 오염된 윈도우부(110)를 통해 측정된 직경 데이터는 실제 잉곳의 직경과 큰 오차를 가지게 되며, 이러한 오차에 따라서 성장한 잉곳의 직경의 편차가 증가되는 문제가 발생한다.

도 2는 일반적인 잉곳성장장치에서 성장한 잉곳의 직경을 측정한 데이터와, 실제 잉곳 직경의 차이를 나타내는 그래프이다.

도 2를 참조하면, 측정된 직경 데이터(ADC)가 공정 후반부로 갈수록 급격하게 저하되고 있는데, 이와 반대로, 실제 잉곳의 직경은 오히려 증가하고 있다. 위 그래프로부터, ADC 센서(200)에 의하여 잉곳의 직경이 제대로 제어되고 있지 않음을 알 수 있다.

즉, ADC 센서(200)는 실제 잉곳의 직경이 증가되고 있음에도 뷰 포트(100)에 오염에 의해 오측하여 실제 ADC 값(actual ADC)을 작게 산출하고, 오측된 ADC 값에 따라 인상속도를 감소시켜 실제 잉곳의 직경이 증가되는 것이다.

상기 ADC 값이 실제 직경보다 작게 측정되는 이유는, 공정의 후반부로 갈수록 윈도우부(110)의 오염이 증가하여 점차적으로 불투명해지고, 이러한 윈도우부(110)를 통해 방출되는 메니스커스의 밝기도 줄어들게 되어, 이에 종속하는 ADC 값이 작게 측정된 것이다.

위와 같은 문제점을 방지하고자, 본 실시예는 오염된 윈도우부(110)를 챔버(10) 외부에서 클리닝할 수 있는 뷰 포트(100)를 제안하고자 한다.

도 3은 본 발명이 실시예에 따른, 챔버 외부에서 윈도우를 세정할 수 있는 윈도우 클리너가 장착된 잉곳성장장치를 개략적으로 나타낸다.

도 3을 참조하면, 본 실시예의 잉곳성장장치는 챔버(10)와, 실리콘 멜트를 수용하는 석영도가니(20)와, 상기 석영도가니(20)를 가열하기 위한 히터(30)와, 상기 다결정 실리콘 멜트에서 접하여 단결정화하는 시드(seed)를 고정하기 위한 시드 척(70)(seed chuck)과, 상기 시드 척(70)을 승강 및 회전시키는 인상수단과, 상기 석영도가니(20) 상측에서 실리콘 멜트와 멜트 갭을 형성하는 열차폐체(40)와, 상기 챔버(10) 내부에 불활성 가스를 공급하여 불활성 가스의 흐름과 분위기를 제어하는 불활성 가스 주입부(50)와, 상기 챔버(10) 내부를 관찰하기 위한 뷰 포트(100)와, 상기 챔버(10) 외부에서 뷰 포트(100)를 통해 잉곳의 직경을 측정하고 측정된 데이터(actual ADC)로 인상속도의 제어하는 ADC 센서부(200)를 포함한다.

특히, 상기 뷰 포트(100)는 챔버(10)의 상부에 배치되어 챔버 내부와 연결된 홀이 구비된 바디부(120)와, 상기 바디부(120)의 상부에서 챔버(10)의 밀폐상태를 유지하며 빛을 투과하는 윈도우부(110)와, 상기 윈도우부(110)의 불순물을 제거하는 윈도우 클리너(130)로 구성된다.

이하에서는 상기 뷰 포트(100)를 도 4와 도 5를 참조하여 좀더 상세히 설명한다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른, 윈도우 클리너가 설치된 뷰 포트의 사시도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른, 윈도우 클리너가 설치된 뷰 포트의 단면도를 나타낸다.

먼저, 상기 바디부(120)에는 챔버(10)의 상측에 장착되어 내부의 공정상황을 관찰할 수 있도록 챔버(10) 내부와 연결되는 홀이 중앙에 마련된다.

예를 들어, 상기 바디부(120)는 상기 홀이 잉곳의 메니스커스를 향할 수 있도록 챔버(10)의 상부에서 상측 방향으로 연장된 튜브형상으로 형성될 수 있다.

그리고, 상기 바디부(120)의 상측에는 상기 홀을 밀폐하면서 챔버(10) 내부의 빛을 투과할 수 있는 투명한 재질의 글라스(111)가 개재된 윈도우부(110)가 배치된다.

이때, 상기 글라스(111)는 유리뿐만 아니라 빛을 투과할 수 있는 다양한 재질로 구성될 수 있으며, 열에 강하고 잉곳을 오염시키지 않는 석영 유리로 구성될 수 있다.

좀더 상세히, 상기 윈도우부(110)는 챔버(10)를 밀폐시키기 위하여, 상기 바디부(120)의 상부에 플랜지(flange)로 결합될 수 있으며, 상기 플랜지는 바디부(120)의 홀에 연장된 윈도우 홀이 구비되고, 상기 윈도우 홀에 글라스(111)가 삽입되도록 구성될 수 있다.

그리고, 상기 플랜지와 글라스(111)의 결합부위에는 오 링(111)(O-ring)과 같은 가스켓(gasket)이 개재되어, 밀폐상태를 유지하면서 글라스(111)를 통해 빛을 투과할 수 있도록 구성될 수 있다.

그리고, 본 실시예의 뷰 포트(100)에는 상기 글라스를 사이에 두고 글라스의 흡착된 불순물을 제거하기 위한 윈도우 클리너(130)가 더 마련된다.

상기 윈도우 클리너(130)는 글라스(111)의 상면에 부착되어 손잡이가 되는 핸들부(140)와, 상기 핸들부(140)에 대향되는 글라스(111)의 하면에 부착되어 하면의 불순물을 제거하는 클리닝부(150)와, 제거된 불순물을 수거하는 포집부(160)를 포함한다.

좀더 상세히, 상기 핸들부(140)는 사용자의 손으로 잡기 쉽도록 글라스(111)상면에서 상측 방향으로 연장된 자성체로 이루어진 상부 몸체(141)와, 상기 상부 몸체(141) 하단에서 글라스(111) 상면을 클리닝하는 상부 패드(142)로 구성될 수 있다.

그리고, 상기 핸들부(140)와 대향되는 글라스(111)의 하면에는 불순물을 제거하는 하부 패드(151)와 자성체로 이루어진 몸체(152)로 구성된 클리닝부(150)가 배치된다.

즉, 상기 클리닝부(150)의 하부 몸체(152)와 핸들부(140)의 상부 몸체(141)는 반대의 극성으로 구성되어, 상기 클리닝부(150)가 자성체의 인력으로 글라스(111)의 하면에 지지되도록 구성될 수 있다.

그리고, 상기 클리닝부(150)의 하부에는 하부 패드(151)가 제거한 불순물들을 수거하는 포집부(160)가 더 마련될 수 있다.

상기 포집부(160)는 상기 하부 몸체(152)에 기울어져 비스듬하게 형성되도록 볼트 체결(170)되어 하부 패드(151)에서 제거되는 불순물을 효율적으로 수거할 수 있다.

한편, 상기 뷰 포트(100)에는 상기 클리닝부(150)가 추락하는 것을 방지하기 위하여, 안전장치가 더 마련될 수 있다.

예를 들어, 상기 바디부(120)에 와이어(181)가 권취된 도르레(180)를 마련하고, 상기 와이어(181)를 볼트 체결부(170)에 연결하여, 만일을 대비해 클리닝부(150)가 챔버(10)의 하부로 추락하는 사고를 방지할 수 있다.

이러한 구성을 통하여, 상기 글라스(111) 하면에 불순물이 흡착되었을 때, 사용자는 상기 핸들부(141)를 상하방향으로 움직여 클리닝부(150)를 글라스(111)의 하면에서 이동시킴으로써, 상기 불순물을 제거할 수 있다.

즉, 공정 중에 사용자는 주기적으로 윈도우 클리너(130)를 이용해 뷰 포트(100)를 청소하여 윈도우부(110)를 투명하게 유지할 수 있으며, 이를 통해 챔버(10) 내부에서 성장되는 잉곳의 직경을 정확하게 관찰 및 측정할 수 있다.

그런데, 상기 잉곳성장공정은 장시간의 공정을 요하기 때문에, 직접 사용자가 수동으로 뷰 포트(100)를 클리닝하는 것은 비효율적일 수 있다. 또한, 사용자가 가하는 힘은 유동적이여서, 순간적으로 과다한 힘이 가해졌을 때 상기 클리닝부(150)가 추락할 여지가 있다.

이하에서는 효율적이고 안정적으로 뷰 포트를 클리닝할 수 있도록 자동으로 상기 윈도우 클리너(130)를 동작시킬 수 있는 장치에 대해 설명하고자 한다.

도 6는 본 발명의 실시예에 따른, 자동으로 윈도우 클리너를 주기적으로 작동할 수 있는 장치가 구비된 뷰 포트를 나타낸다.

도 6를 참조하면, 상기 뷰 포트(100)의 일측에는 상기 윈도우 클리너(130)를 자동으로 작동시킬 수 있는 모터부(190)가 구비되고, 상기 모터부(190)와 상부 몸체(141)는 볼 스크류(191)로 연결된다.

상기 모터부(190)가 볼 스크류(191)를 회전시키면, 상기 볼 스크류(191)는 회전운동은 직선운동으로 변환하여 상기 윈도우 클리너(130)를 글라스(111)를 따라서 이동시키게 된다. 이때, 상기 모터부(190)는 상기 볼 스크류(191)에 적절한 회전력을 가하여, 상기 윈도우 클리너(130)를 일정한 힘으로 안정적으로 이동시킬 수 있다.

또한, 상기 모터부(190)는 사용자의 설정에 따라서 주기적으로 윈도우 클리너(130)를 이동시키는 것이 가능하다.

예를 들어, 상기 모터부(190)는 30분을 주기로 상기 윈도우 클리너(130)를 이동시켜 글라스(111)를 클리닝하는 것이 가능하다. 이때, 상기 모터부(190)는 ADC 센서(200)가 잉곳의 직경을 측정하는 주기를 피해 윈도우 클리너(130)를 동작하도록 설정된 것이 바람직하다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른, 뷰 포트의 주기적인 클리닝에 따라서 공정이 진행될 때 성장한 잉곳의 직경을 측정한 데이터와, 실제 잉곳 직경의 차이를 나타내는 그래프이다.

도 7을 참조하면, 도 2와 달리 ADC 센서(200)에 의해 측정된 ADC 값의 평균과 실제 잉곳의 직경이 거의 동일하며, 실제 잉곳의 직경의 편차도 감소되었다.

이를 통해, 주기적으로 클리닝된 뷰 포트(100)에 의해 측정된 ADC값은 실제 성장하는 잉곳의 직경을 정확하게 반영하고 있어서, ADC 센서(200)의 적절한 제어를 통해 직경이 균일한 고품질의 잉곳이 성장하고 있음을 알 수 있다.

즉, 전술한 본 실시예는 상기 뷰 포트(100)를 효율적으로 클리닝 할 수 있으며, 클리닝된 뷰 포트(100)를 통해 명확하게 챔버(10)내의 공정상황을 파악할 수 있어, 최종적으로 고품질의 잉곳을 생산할 수 있다.

10: 챔버
20: 석영도가니
30: 히터
40: 열차폐체
100: 뷰 포트
130: 윈도우 클리너
200: ADC 센서

Claims (13)

1. 잉곳성장공정이 수행되는 공간을 제공하는 챔버 내부를 관찰하기 위한 뷰 포트로서,
   상기 챔버 일측에 설치되며, 상기 챔버 내부와 연결된 홀을 갖는 바디부;
   상기 바디부 상부에 배치되어, 상기 홀을 밀폐하면서 상기 챔버 내부의 빛을 투과하는 윈도우부; 및
   상기 윈도우부에 설치되어, 상기 윈도우부의 하면을 클리닝하는 윈도우 클리너;를 포함하는 잉곳의 성장공정을 관찰하기 위한 뷰 포트.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 윈도우부는 플랜지로 상기 바디부와 결합되며, 상기 플랜지의 홀에는 글라스가 삽입된 잉곳의 성장공정을 관찰하기 위한 뷰 포트.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 플랜지와 상기 글라스의 결합부위에는 오 링(O-ring)이 개재되는 잉곳의 성장공정을 관찰하기 위한 뷰 포트.
4. 제 2 항에 있어서,
   상기 윈도우 클리너는 상기 글라스의 상면에 배치되고 자성체로 구성된 핸들부와, 상기 핸들부에 대향되는 글라스의 하면에는 자성체로 구성된 클리닝부를 포함하고, 상기 클리닝부는 자기력으로 지지되는 잉곳의 성장공정을 관찰하기 위한 뷰 포트.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 윈도우 클리너는 상기 클리닝부의 하부에 결합되어, 상기 클리닝부가 제거한 불순물을 수거하는 포집부를 더 포함하는 잉곳의 성장공정을 관찰하기 위한 뷰 포트.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 클리닝부에는 상기 글라스의 하면과 부착되는 부분에 클리닝 패드가 구성된 잉곳의 성장공정을 관찰하기 위한 뷰 포트.
7. 제 5 항에 있어서,
   상기 클리닝부의 추락을 방지하기 위한 안전수단을 더 포함하고, 상기 안전수단은 상기 바디부에 고정된 도르레와, 상기 도르레에 권취되고 상기 클리닝부와 연결된 와이어로 구성된 잉곳성장장치.
8. 제 5 항에 있어서,
   상기 윈도우 클리너를 주기적으로 이동시켜 상기 글라스를 클리닝하는 자동 제어수단을 더 포함하는 잉곳의 성장공정을 관찰하기 위한 뷰 포트.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 자동 제어수단은 모터부와, 상기 모터부와 상기 핸들부에 연결되고 상기 모터부의 회전력을 직선운동으로 변환하여 상기 핸들부를 상기 글라스 상면에서 이동시키는 볼 스크류로 구성된 잉곳의 성장공정을 관찰하기 위한 뷰 포트.
10. 잉곳의 성장공정이 수행되는 공간을 제공하고 밀폐된 챔버;
    상기 챔버의 내부에 배치되어, 실리콘 멜트를 수용하는 석영도가니;
    상기 실리콘 멜트에 시드를 침지하고 회전 및 인상하여 상기 잉곳을 성장시키는 인상수단;
    상기 챔버의 일측에 설치되어 상기 챔버 내부의 공정상황을 관찰할 수 있도록 내부의 빛을 투과하는 뷰 포트; 를 포함하고,
    상기 뷰 포트는 상기 챔버 내부와 연결된 홀을 갖는 바디부와, 상기 바디부의 상부에 배치되어 상기 홀을 밀폐하면서 상기 챔버 내부의 빛을 투과하는 윈도우부와, 상기 윈도우부에 설치되어 상기 윈도우부의 하면을 클리닝하는 윈도우 클리너로 구성된 잉곳성장장치.
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 뷰 포트를 통과한 빛을 센싱하여 상기 챔버 내부의 공정상황을 측정하여 공정 데이터로 출력하는 이미지 센서를 더 포함하는 잉곳성장장치.
12. 제 11 항에 있어서,
    상기 이미지 센서는 성장되는 잉곳의 메니스커스의 밝기를 측정하여 잉곳의 직경을 실제 ADC 값으로 나타내고, 상기 실제 ADC 값으로 상기 잉곳의 인상속도를 제어하는 ADC 센서인 잉곳성장장치.
13. 제 11 항에 있어서,
    상기 이미지 센서는 멜트 갭을 측정하여 멜트 갭 데이터로 산출하고, 상기 산출된 멜트 갭에 따라서 상기 석영도가니의 승강속도를 제어하는 멜트 갭 센서부인 잉곳성장장치.

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