KR20150060189A - Method of preparing barium titanyl oxalate, method of preparing barium titanate comprising the same, and barium titanate prepared thereby - Google Patents

Method of preparing barium titanyl oxalate, method of preparing barium titanate comprising the same, and barium titanate prepared thereby Download PDF

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Abstract

Disclosed are a manufacturing method of barium titanyl oxalate, a manufacturing method of barium titanate, and the barium titanate. The disclosed manufacturing method of barium titanyl oxalate comprises the steps of: manufacturing a barium compound solution, a titanium compound solution, and an oxalate solution (a material solution manufacturing step); contacting the barium compound solution and the titanium compound solution with the oxalate solution, and compounding the barium titanyl oxalate [BaTiO(C_2O_4)_2·4H_2O] (BTO) (a BTO compounding step); wet-grinding the dried BTO (a BTO dry-grinding step); drying the wet-ground BTO, and gaining a BTO powder (a BTO drying step); and dry-grinding the dried BTO (a BTO dry-grinding step). The BTO dry-grinding step is conducted until a bulk density of the dry-ground BTO is greater than or equal to 0.2 g/cm^3 and less than or equal to 0.50 g/cm^3.

Description

바륨티타닐옥살레이트의 제조방법, 티탄산바륨의 제조방법, 및 티탄산바륨{Method of preparing barium titanyl oxalate, method of preparing barium titanate comprising the same, and barium titanate prepared thereby}A method for producing barium titanyl oxalate, a method for preparing barium titanate, and a method for preparing barium titanate, and a method for preparing barium titanate,

바륨티타닐옥살레이트의 제조방법, 티탄산바륨의 제조방법, 및 티탄산바륨이개시된다. 보다 상세하게는, 건식분쇄 효율을 향상시켜 부피 밀도(bulk density)가 낮은 바륨티타닐옥살레이트 분말을 얻을 수 있는 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법, 응집체의 함량 및 네킹 비율이 낮아 결정성이 높은 티탄산바륨을 얻을 수 있는 티탄산바륨의 제조방법, 및 그 방법에 의해 제조된 티탄산바륨이 개시된다.A process for producing barium titanyl oxalate, a process for preparing barium titanate, and barium titanate are disclosed. More particularly, the present invention relates to a process for producing barium titanyl oxalate capable of obtaining a barium titanyl oxalate powder having a low bulk density by improving dry grinding efficiency, a method of producing barium titanyl oxalate having a high crystallinity A process for producing barium titanate capable of obtaining barium titanate, and barium titanate produced by the method are disclosed.

본 발명은 지식경제부 및 한국산업기술평가관리원(KEIT)의 융복합소재 부품개발사업의 일환으로 수행한 연구로부터 도출된 것이다. The present invention is derived from the research carried out by the Ministry of Knowledge Economy and the Korea Industrial Technology Evaluation & Management Service (KEIT) as part of the development project of fusion composite parts.

[과제관리번호: 10040832, 과제명: 47μF급 1005 MLCC 제품을 위한 50 ~ 80㎚ BaTiO3 분말 소재 및 소자 제조 기술 개발][Task Control Number: 10040832, Title: Development of 50 ~ 80nm BaTiO 3 Powder Material and Device Manufacturing Technology for 47μF Class 1005 MLCC]

티탄산바륨 분말은 종래에는 이산화티탄(TiO2)과 탄산바륨(BaCO3)을 혼합하여 고온에서 열처리하는 고상반응에 의해 제조되었지만, 최근에는 적층 세라믹 콘덴서(multi layer ceramic condenser: MLCC)의 소형 대용량화(고유전율 조성, 유전체 박층화 및 고적층화), 저온 소성화, 고주파 및 고성능화 등에 따라, 고순도/조성 균일성, 미립/입도 균일성, 非응집성/고분산성 등이 요구되어 고상법뿐만 아니라 액상법 및 기상법 등 다양한 합성법이 티탄산바륨 분말의 제조를 위해 사용되고 있다. 그러나, 티탄산바륨 분말의 대량 생산을 위해서는, 제조비용이 저렴하고 화학적으로 균일한 티탄산바륨 분말을 얻을 수 있는 액상법의 일종인 공침법이 사용되어야 한다.Conventionally, barium titanate powder has been produced by a solid phase reaction in which titanium dioxide (TiO 2 ) and barium carbonate (BaCO 3 ) are mixed and heat-treated at a high temperature. In recent years, barium titanate powder has been used as a small-capacity (MLCC) multilayer ceramic condenser It is required to have high purity / composition uniformity, fine particle / particle uniformity, non-cohesive / high dispersibility due to low temperature firing, high frequency and high performance due to high dielectric constant, high dielectric constant, dielectric thinning, Have been used for the production of barium titanate powder. However, for mass production of barium titanate powder, coprecipitation, which is a kind of liquid phase method, is required to obtain chemically uniform barium titanate powder with low manufacturing cost.

공침법에서는, 바륨(Ba)과 티타늄(Ti)을 함유하는 액상 원료를 옥살산(H2C2O4)과 접촉시켜 바륨티타닐옥살레이트[BaTiO(C2O4)2·4H2O](이하, 간단히 BTO라고 함)를 형성한 후, 이 BTO를 높은 온도에서 열처리함으로써 적정 크기를 갖는 티탄산바륨(BaTiO3) 분말을 합성한다. 이러한 공침법은 침전된 BTO를 적절한 크기로 분쇄하지 않을 경우, BTO의 하소후 형성된 티탄산바륨(BT)은 입자간 강하게 응집되어, 추후 BT의 분쇄과정에서 입자간 분리와 함께 미분이 다량 발생하게 되고, BT의 입도분포가 넓어지며 결정성이 저하되는 문제점이 있다. 이에 따라, 상기 특성상 BTO의 미립화가 요구된다. 따라서, 종래의 공침법에서는 분쇄효율이 높은 습식분쇄공정을 채택하여 사용하고 있으나, 상기 습식분쇄공정 후 건조공정이 진행됨에 따라 BTO 입자들이 서로 응집하여 BTO 분말 중 응집체의 비율이 증가하고, 이에 따라 최종 제품인 티탄산바륨의 결정성이 떨어지는 문제점이 있다. 또한, 상기 티탄산바륨을 MLCC에 적용할 경우, MLCC의 소결과정에서 비정상 입자성장(abnormal grain growth)이 발생하면서 입자내부에 기공이 형성될 수 있으며, 이는 MLCC의 용량 및 신뢰성에 부정적인 영향을 미쳐서 상기 티탄산바륨을 고용량의 MLCC에 적용하기 어려운 문제점이 있다.In the coprecipitation method, a liquid raw material containing barium (Ba) and titanium (Ti) is contacted with oxalic acid (H 2 C 2 O 4 ) to form barium titanyl oxalate [BaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H 2 O] (Hereinafter simply referred to as BTO) is formed, and then the BTO is heat-treated at a high temperature to synthesize a barium titanate (BaTiO 3 ) powder having an appropriate size. In this coprecipitation method, barium titanate (BT) formed after calcination of BTO is strongly agglomerated when the precipitated BTO is not pulverized to an appropriate size, so that a large amount of fine powder is generated along with particle separation in the BT grinding process , The particle size distribution of BT is widened, and crystallinity is deteriorated. Accordingly, the above properties are required to make the BTO small. Therefore, in the conventional coprecipitation method, a wet grinding process with high grinding efficiency is adopted and used. However, as the drying process after the wet grinding process proceeds, the BTO particles agglomerate with each other to increase the ratio of agglomerates in the BTO powder, There is a problem that the crystallinity of barium titanate which is the final product is lowered. In addition, when the barium titanate is applied to MLCC, abnormal grain growth may occur during sintering of the MLCC, and pores may be formed inside the particles, which negatively affects the capacity and reliability of the MLCC. It is difficult to apply barium titanate to a high-capacity MLCC.

본 발명의 일 구현예는 건식분쇄 효율을 향상시켜 부피 밀도(bulk density)가 낮은 바륨티타닐옥살레이트 분말을 얻을 수 있는 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법을 제공한다.One embodiment of the present invention provides a method for producing barium titanyl oxalate capable of obtaining a barium titanyl oxalate powder having a low bulk density by improving dry grinding efficiency.

본 발명의 다른 구현예는 응집체의 함량 및 네킹 비율이 낮아 결정성이 높은 티탄산바륨을 얻을 수 있는 티탄산바륨의 제조방법을 제공한다.Another embodiment of the present invention provides a method for producing barium titanate in which barium titanate having a high crystallinity is obtained because the content and the necking ratio of the aggregate are low.

본 발명의 또 다른 구현예는 상기 티탄산바륨의 제조방법에 의해 제조된, 소형-초고용량 적층형 세라믹 컨덴서에 사용이 가능한 티탄산바륨을 제공한다.Another embodiment of the present invention provides barium titanate which can be used for a small-to-high capacity multilayer ceramic capacitor manufactured by the above-mentioned method for producing barium titanate.

본 발명의 일 측면은,According to an aspect of the present invention,

바륨 화합물 용액, 티탄 화합물 용액 및 옥살산 용액을 제조하는 단계(원료 용액 제조단계); Barium compound solution, titanium compound solution and oxalic acid solution (raw material solution preparation step);

상기 바륨 화합물 용액과 상기 티탄 화합물 용액을 상기 옥살산 용액과 접촉시켜 바륨티타닐옥살레이트[BaTiO(C2O4)2·4H2O](이하, 간단히 BTO라고 함)를 합성하는 단계(BTO 합성단계); (BTO synthesis) of barium titanyl oxalate [BaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H 2 O] (hereinafter simply referred to as BTO) by bringing the barium compound solution and the titanium compound solution into contact with the oxalic acid solution, step);

상기 합성된 BTO를 습식분쇄하는 단계(BTO 습식분쇄단계);Wet pulverizing the synthesized BTO (BTO wet pulverization step);

상기 습식분쇄된 BTO를 건조하여 BTO 분말을 얻는 단계(BTO 건조단계); 및Drying the wet pulverized BTO to obtain a BTO powder (BTO drying step); And

상기 건조된 BTO를 건식분쇄하는 단계(BTO 건식분쇄단계)를 포함하고,And dry-milling the dried BTO (BTO dry milling step)

상기 BTO 건식분쇄단계는 상기 건식분쇄된 BTO의 부피 밀도(bulk density)가 0.2g/cm3 이상 0.50g/cm3 이하로 될 때까지 실시되는 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법을 제공한다.The BTO dry grinding step is carried out until the bulk density of the dry pulverized BTO is from 0.2 g / cm 3 to 0.50 g / cm 3 or less.

상기 바륨 화합물 용액은 염화바륨(BaCl2), 질산바륨(Ba(NO3)2) 및 과염소산바륨(Ba(ClO4)2)으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 1종의 바륨 화합물을 물에 용해시켜 제조한 것이고, 상기 티탄 화합물 용액은 옥시염화티탄(TiOCl2) 및 사염화티탄(TiCl4) 중 적어도 1종의 티탄 화합물을 물에 용해시켜 제조한 것이고, 상기 옥살산 용액은 옥살산을 물에 용해시켜 제조한 것일 수 있다.The barium compound solution is prepared by dissolving at least one barium compound selected from the group consisting of barium chloride (BaCl 2 ), barium nitrate (Ba (NO 3 ) 2 ) and barium perchlorate (Ba (ClO 4 ) 2 ) Wherein the titanium compound solution is prepared by dissolving at least one titanium compound selected from the group consisting of titanium oxychloride (TiOCl 2 ) and titanium tetrachloride (TiCl 4 ) in water, and the oxalic acid solution is prepared by dissolving oxalic acid in water Lt; / RTI >

상기 BTO 합성단계는 20~100℃의 합성온도에서 수행될 수 있다.The BTO synthesis step may be performed at a synthesis temperature of 20 to 100 < 0 > C.

상기 BTO 건식분쇄단계는 해머밀, 기류분급분쇄기(ACM) 및 제트밀로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 1종의 분쇄기를 사용하여 실시될 수 있다.The BTO dry pulverization step may be carried out using at least one pulverizer selected from the group consisting of a hammer mill, an air flow classifier (ACM) and a jet mill.

상기 건식분쇄된 BTO는 2.5㎛ 이하의 입경(PSA D50) 및 8.0㎛ 이하의 입경(PSA D90)을 가질 수 있다.The dry-milled BTO may have a particle size (PSA D50) of 2.5 μm or less and a particle size (PSA D90) of 8.0 μm or less.

상기 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법은, 상기 BTO 합성단계와 상기 BTO 습식분쇄단계 사이에, 상기 합성된 BTO를 숙성하는 단계, 상기 숙성된 BTO를 여과하는 단계, 및 상기 여과된 BTO를 과량의 물로 세정하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method of producing barium titanyl oxalate may further comprise, between the BTO synthesis step and the BTO wet grinding step, aging the synthesized BTO, filtering the aged BTO, and treating the filtered BTO with an excess And washing with water.

본 발명의 다른 측면은,According to another aspect of the present invention,

상기 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법에 따라 제조된 BTO를 800~1000℃에서 열처리하여 티탄산바륨[BaTiO3](이하, 간단히 BT라고 함)을 합성하는 단계(BT 합성단계)를 포함하는 티탄산바륨의 제조방법을 제공한다.Barium titanate (BaTiO 3 ) (hereinafter simply referred to as BT) (BT synthesis step) by heat-treating BTO prepared according to the production method of barium titanyl oxalate at 800 to 1000 ° C, Of the present invention.

상기 티탄산바륨의 제조방법은, 상기 BT 합성단계 이후에, 상기 합성된 BT를 분쇄하는 단계(BT 분쇄단계)를 더 포함할 수 있다.The method for producing barium titanate may further include a step (BT crushing step) of pulverizing the synthesized BT after the BT synthesis step.

본 발명의 또 다른 측면은,According to another aspect of the present invention,

상기 티탄산바륨의 제조방법에 의해 제조된 티탄산바륨을 제공한다.And barium titanate produced by the method for producing barium titanate.

상기 티탄산바륨으로 이루어진 티탄산바륨 분말이 10중량% 이하의 응집체를 포함할 수 있다.The barium titanate powder composed of the barium titanate may contain not more than 10% by weight of agglomerates.

본 발명의 일 구현예에 따른 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법에 의하면, 건식분쇄공정을 도입함으로써, 바륨티타닐옥살레이트의 분쇄 균일화 및 분쇄수준 상향화를 달성하고 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the method for producing barium titanyl oxalate according to one embodiment of the present invention, by introducing the dry grinding step, it is possible to achieve the homogenization of the barium titanyl oxalate and the grinding level up, and the productivity can be improved.

본 발명의 다른 구현예에 따른 티탄산바륨의 제조방법에 의하면, 응집체의 함량 및 네킹 비율이 낮아 결정성이 높은 티탄산바륨을 얻을 수 있다.According to the method for producing barium titanate according to another embodiment of the present invention, barium titanate having a high crystallinity can be obtained because the aggregate content and the necking ratio are low.

도 1a는 본 발명의 일 구현예 따른 바륨티타닐옥살레이트(BTO)의 제조방법에서, BTO 건식분쇄단계의 작용 및 효과를 설명하기 위한 도면이다.
도 1b는 종래의 바륨티타닐옥살레이트(BTO)의 제조방법에서와 같이, BTO 건식분쇄단계가 없을 경우 발생하는 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 일부 실시예 및 비교예의 BTO 제조방법에 따라 제조된 BTO의 SEM 사진이다.
도 3은 일부 실시예 및 비교예의 BT 제조방법에 따라 제조된 BT를 알코올에 분산시켜 BT 분산액을 제조한 후 상기 BT 분산액을 필터로 여과한 경우, 상기 필터를 통과하지 못하고 남아있는 물질(즉, 응집체)을 보여주는 사진이다.
도 4는 일부 실시예 및 비교예의 BT 제조방법에 따라 제조된 BT의 SEM 사진이다.
도 5는 일부 실시예 및 비교예의 BT 제조방법에 따라 제조된 BT의 XRD 스펙트럼이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1A is a diagram for explaining the action and effect of the BTO dry pulverization step in the method for producing barium titanyl oxalate (BTO) according to one embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 1B is a view for explaining a problem that occurs when the BTO dry pulverization step is not performed, as in the conventional method for producing barium titanyl oxalate (BTO).
2 is a SEM photograph of BTO prepared according to the BTO production method of some examples and comparative examples.
FIG. 3 is a graph showing the results of a comparison between the results of the BT production according to the BT production method of the present invention and the comparative example, in which the BT dispersion was prepared by dispersing BT in an alcohol and then filtering the BT dispersion with a filter. Agglomerate).
4 is a SEM photograph of BT prepared according to the BT production method of some examples and comparative examples.
5 is an XRD spectrum of BT prepared according to the BT production method of some examples and comparative examples.

이하, 본 발명의 일 구현예에 따른 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법 및 티탄산바륨의 제조방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, a method for producing barium titanyl oxalate and a method for producing barium titanate according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

본 발명의 일 구현예에 따른 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법은 바륨 화합물 용액, 티탄 화합물 용액 및 옥살산 용액을 제조하는 단계(원료 용액 제조단계), 상기 바륨 화합물 용액과 상기 티탄 화합물 용액을 상기 옥살산 용액과 접촉시켜 바륨티타닐옥살레이트[BaTiO(C2O4)2·4H2O](이하, 간단히 BTO라고 함)를 합성하는 단계(BTO 합성단계), 상기 합성된 BTO를 습식분쇄하는 단계(BTO 습식분쇄단계), 상기 습식분쇄된 BTO를 건조하여 BTO 분말을 얻는 단계(BTO 건조단계), 및 상기 건조된 BTO를 건식분쇄하는 단계(BTO 건식분쇄단계)를 포함한다.A method for producing barium titanyl oxalate according to an embodiment of the present invention includes the steps of preparing a barium compound solution, a titanium compound solution, and an oxalic acid solution (raw material solution preparation step), adding the barium compound solution and the titanium compound solution to the oxalic acid (BTO synthesis step) of barium titanyl oxalate [BaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H 2 O] (hereinafter simply referred to as BTO) by bringing the obtained BTO into contact with a solution, (BTO wet grinding step), drying the wet pulverized BTO to obtain BTO powder (BTO drying step), and dry-pulverizing the dried BTO (BTO dry grinding step).

상기 바륨 화합물 용액은 염화바륨(BaCl2), 질산바륨(Ba(NO3)2) 및 과염소산바륨(Ba(ClO4)2)으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 1종의 바륨 화합물을 물에 용해시켜 제조한 것일 수 있다. 상기 바륨 화합물 용액의 농도는 0.2~2.0 mol/L일 수 있다. 상기 바륨 화합물 용액의 농도가 상기 범위이내이면, 상기 바륨 화합물 용액의 부피 대비 후술하는 티탄산바륨(BT)의 생산성이 높으며, 바륨 화합물이 석출되지 않는다. The barium compound solution is prepared by dissolving at least one barium compound selected from the group consisting of barium chloride (BaCl 2 ), barium nitrate (Ba (NO 3 ) 2 ) and barium perchlorate (Ba (ClO 4 ) 2 ) It can be done. The concentration of the barium compound solution may be 0.2 to 2.0 mol / L. When the concentration of the barium compound solution is within the above range, the productivity of barium titanate (BT) described later with respect to the volume of the barium compound solution is high, and the barium compound is not precipitated.

상기 티탄 화합물 용액은 옥시염화티탄(TiOCl2) 및 사염화티탄(TiCl4) 중 적어도 1종의 티탄 화합물을 물에 용해시켜 제조한 것일 수 있다. 상기 티탄 화합물 용액의 농도는 0.2~2.0 mol/L일 수 있다. 상기 티탄 화합물 용액의 농도가 상기 범위이내이면, 상기 티탄 화합물 용액의 부피 대비 BT의 생산성이 높으며, 티탄 화합물이 석출되지 않는다.The titanium compound solution may be prepared by dissolving at least one titanium compound selected from the group consisting of titanium oxychloride (TiOCl 2 ) and titanium tetrachloride (TiCl 4 ) in water. The concentration of the titanium compound solution may be 0.2 to 2.0 mol / L. If the concentration of the titanium compound solution is within the above range, the productivity of the BT compound to the volume of the titanium compound solution is high, and the titanium compound is not precipitated.

상기 옥살산 용액은 옥살산(H2C2O4)을 물에 용해시켜 제조한 것일 수 있다. 이때, 상기 옥살산 용액은 상기 바륨 화합물 용액이나 상기 티탄 화합물 용액 보다 많은 양이 사용될 수 있다. 구체적으로, 상기 옥살산 용액의 농도범위는 0.2~5.0 mol/L일 수 있다. 상기 옥살산 용액의 농도가 상기 범위이내이면, 상기 옥살산 용액의 부피 대비 BT의 생산성이 높고, 옥살산이 물에 완전히 용해될 수 있다.The oxalic acid solution may be prepared by dissolving oxalic acid (H 2 C 2 O 4 ) in water. At this time, the oxalic acid solution may be used in a larger amount than the barium compound solution or the titanium compound solution. Specifically, the concentration range of the oxalic acid solution may be 0.2 to 5.0 mol / L. When the concentration of the oxalic acid solution is within the above range, the productivity of BT relative to the volume of the oxalic acid solution is high, and oxalic acid can be completely dissolved in water.

상기 BTO 합성단계는 20~100℃, 예를 들어, 50~90℃의 합성온도에서 수행될 수 있다. 상기 BTO 합성단계에서 상기 합성온도가 상기 범위이내이면, BTO의 생산성이 높고 합성된 BTO가 재분해되는 것을 방지할 수 있다.The BTO synthesis step may be performed at a synthesis temperature of 20 to 100 ° C, for example, 50 to 90 ° C. If the synthesis temperature is within the above range in the BTO synthesis step, the productivity of BTO is high and the synthesized BTO can be prevented from being re-decomposed.

상기 BTO 합성단계에서 상기 바륨 화합물 용액 및 상기 티탄 화합물 용액은 혼합 용액의 형태로 또는 각각 별도로 상기 옥살산 용액과 동시에 또는 순차적으로 접촉할 수 있다. 상기 접촉은 노즐 분사에 의해 진행될 수 있으며, 상기 접촉이 이루어지는 시간 (즉, 접촉 시간)은 1~3시간일 수 있다. 이러한 접촉 시간은 노즐의 분사속도를 조절함으로써 달성될 수 있다. 분사노즐은 유체의 흐름에 따라 일류체 또는 이류체 노즐을 사용할 수 있으며, 일류체 노즐을 사용하는 것이 편리성 면에서나 균일한 침전물을 획득하는데 있어서 더욱 유리할 수 있다. 일류체 노즐로는 풀콘(full cone), 할로우 콘(hollow cone), 또는 플랫(flat) 등이 사용될 수 있다. 예를 들어, 바륨 화합물 용액으로서 염화바륨 수용액 및 티탄 화합물 용액으로서 옥시염화티탄 수용액을 옥살산 수용액과 접촉시켜 BTO[BaTiO(C2O4)2·4H2O]를 생성하는 과정은 하기 반응식 1과 같이 표시될 수 있다.In the BTO synthesis step, the barium compound solution and the titanium compound solution may be simultaneously or sequentially contacted with the oxalic acid solution in the form of a mixed solution or separately. The contact may proceed by nozzle injection, and the time at which the contact is made (i.e., the contact time) may be from 1 to 3 hours. This contact time can be achieved by adjusting the injection speed of the nozzle. Injection nozzles can use a first-flow or second-flow nozzle depending on the flow of the fluid, and the use of a first-flow nozzle may be more advantageous in terms of convenience and obtaining uniform sediment. The first nozzle may be a full cone, a hollow cone, or a flat nozzle. For example, a process for producing BTO [BaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H 2 O] by bringing an aqueous barium chloride solution as a barium compound solution and an aqueous titanium oxychloride solution as a titanium compound solution into contact with an oxalic acid aqueous solution is as follows: Can be displayed together.

[반응식 1][Reaction Scheme 1]

BaCl2·2H2O + TiOCl2· + 2H2C2O4·2H2O → BaTiO(C2O4)2·4H2O + 4HClBaCl 2 .2H 2 O + TiOCl 2. + 2H 2 C 2 O 4 .2H 2 O? BaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H 2 O + 4HCl

다음에, 상기 합성된 BTO를 숙성하고(BTO 숙성단계), 여과한 다음(BTO 여과단계), 물로 세정할 수 있다(BTO 세정단계). 상기 BTO 숙성단계는 0.5~2시간 동안 진행하는 것이 생산성 측면에서 유리할 수 있다. 여기서, 여과란, 구체적으로 원심분리기 또는 필터 프레스(filter press) 등을 이용하여 BTO 함유 BTO 슬러리로부터 고상의 BTO만을 분리해내는 공정을 말한다. 이후, 세정액의 pH가 중성이 될 때까지 과량의 물로 상기 여과된 BTO를 세정할 수 있다.Next, the synthesized BTO can be aged (BTO aging step), filtered (BTO filtration step), and then washed with water (BTO cleaning step). The BTO aging step may be advantageous in productivity from 0.5 to 2 hours. Here, filtration refers to a process of separating only solid phase BTO from a BTO-containing BTO slurry using a centrifugal separator, a filter press, or the like. Thereafter, the filtered BTO can be washed with excess water until the pH of the washing liquid becomes neutral.

다음에, 선택적으로, 상기 세정된 BTO를 80~150℃에서 8~12시간 동안 건조할 수 있다.Optionally, the cleaned BTO can then be dried at 80-150 ° C for 8-12 hours.

이후, 상기와 같은 과정을 거쳐 얻어진 BTO를 습식분쇄한다(BTO 습식분쇄단계). 여기서, 습식분쇄란 소정의 매질과 함께 BTO를 비즈밀(beads mill), 볼밀(ball mill) 및 어트리션 밀(attrition mill) 등과 같은 습식분쇄기에 투입하여 분쇄하는 것을 말한다. 여기서, 매질이란 알코올과 같은 유기매질이나 탈이온수(deionized water)와 같은 물을 의미하는 것으로, 유기매질을 사용하게 되면 분쇄효율이나 입도관리 측면에서는 유리하지만 비용이 증가하는 단점이 있고, 물을 사용하게 되면 공정이 단순해져서 비용을 절감할 수 있는 잇점이 있다. 상기 매질로서 물을 사용하는 경우, 이의 사용량은 BTO 1중량부에 대하여 1~10 중량부일 수 있다. 상기 물의 사용량이 상기 범위이내이면, 점도가 적당하여 분쇄가 용이하고, 물의 부피 대비 BTO의 생산성이 높다. 분쇄시간은 분쇄설비에 따라 분쇄력의 차이가 발생하여 적절히 제어될 필요가 있으며, 비즈밀을 사용하는 경우 10~300분일 수 있다. 이와 같이 분쇄시간을 조절함으로써 최종 제품인 BT 분말의 입도를 적절하게 조절할 수 있다. 이러한 습식분쇄 과정 중에 암모니아와 같은 질소함유 첨가제를 더 첨가할 수 있는데, 이로써 분쇄 전후의 혼합물의 산성화, 분쇄 후의 BTO 슬러리의 고점도화, 합성된 BTO 내의 염소이온 존재로 인한 분말의 유전특성 감소 문제를 부분적으로 또는 완전히 해결할 수 있다. Thereafter, the BTO obtained through the above process is wet pulverized (BTO wet pulverization step). Here, wet grinding refers to pulverizing BTO together with a predetermined medium into a wet grinder such as a beads mill, a ball mill, and an attrition mill. Here, the medium means water such as organic medium such as alcohol and deionized water. If organic medium is used, it is advantageous from the viewpoint of grinding efficiency and particle size control, but there is a disadvantage that cost is increased. This simplifies the process and reduces costs. When water is used as the medium, the amount thereof may be 1 to 10 parts by weight based on 1 part by weight of BTO. When the amount of the water used is within the above range, the viscosity is adequate and the pulverization is easy, and the productivity of BTO relative to the volume of water is high. The milling time needs to be appropriately controlled by the difference in milling power depending on the milling equipment, and it may be 10 to 300 minutes when using the bead mill. By adjusting the milling time in this manner, the particle size of the BT powder as the final product can be appropriately controlled. During the wet milling process, a nitrogen-containing additive such as ammonia can be further added. This makes it possible to acidify the mixture before and after pulverization, increase the viscosity of the BTO slurry after pulverization, and reduce the dielectric property of the powder due to the presence of chloride ions in the synthesized BTO Partially or completely.

다음에, 상기 습식분쇄된 BTO를 400℃ 이하의 온도에서 건조하여 사용된 매질을 제거한다(BTO 건조단계). 결과로서, 건조된 BTO 분말을 얻는다. 이 경우, 사용된 매질을 증발시켜 제거하기 위해, 상기 건조온도가 상기 매질의 끓는점 이상이 되어야 함은 당연하다.Next, the wet pulverized BTO is dried at a temperature of 400 DEG C or lower to remove the used medium (BTO drying step). As a result, a dried BTO powder is obtained. In this case, it is natural that the drying temperature should be equal to or higher than the boiling point of the medium in order to evaporate and remove the used medium.

이후, 상기 건조된 BTO를 건식분쇄한다(BTO 건식분쇄단계). 결과로서, 건식분쇄된 BTO 분말을 얻는다. Thereafter, the dried BTO is dry-pulverized (BTO dry pulverization step). As a result, a dry milled BTO powder is obtained.

상기 BTO 건식분쇄단계는 상기 건식분쇄된 BTO의 부피 밀도(bulk density)가 0.2g/cm3 이상 0.50g/cm3 이하로 될 때까지 실시된다. 이에 따라, 상기 건식분쇄된 BTO 분말을 열처리하여 제조한 티탄산바륨 분말 중 응집체의 비율 및 네킹(necking) 비율이 감소할 수 있으며, BTO의 열처리시(즉, BT 합성단계시), BTO가 분해되어 생성되는 가스(CO, CO2, H2O 등)가 효율적으로 제거되어 BT에 형성되는 결함이 최소화되고, 이에 따라 결정성 높은 BT가 얻어질 수 있다. 본 명세서에서, 「네킹」이란 2 이상의 입자가 서로 결합될 경우 그 경계에 잘록한 부분이 생기는 것을 의미한다.The BTO dry grinding step is carried out until the bulk density of the dry pulverized BTO becomes 0.2 g / cm 3 or more and 0.50 g / cm 3 or less. Accordingly, the ratio and necking ratio of the agglomerate in the barium titanate powder prepared by heat-treating the dry pulverized BTO powder may be reduced. In the heat treatment of BTO (i.e., during the BT synthesis step), BTO decomposes The generated gas (CO, CO 2 , H 2 O, etc.) is efficiently removed, defects formed in the BT are minimized, and thus a highly crystalline BT can be obtained. In this specification, " necking " means that when two or more particles are bonded to each other, a constricted portion occurs at the boundary.

상기 건식분쇄된 BTO는 2.5㎛ 이하의 입경(PSA D50) 및 8.0㎛ 이하의 입경(PSA D90)을 가질 수 있다. 본 명세서에서, 입경(PSA D10, PSA D50 및 PSA D90)은 입도분석기(Malvern社 Mastersizer 2000)로 측정된 것이다.The dry-milled BTO may have a particle size (PSA D50) of 2.5 μm or less and a particle size (PSA D90) of 8.0 μm or less. In this specification, particle diameters (PSA D10, PSA D50 and PSA D90) were measured with a particle size analyzer (Malvern Mastersizer 2000).

이하, 도 1a 을 참조하여, 상기 BTO 건식분쇄단계의 작용 및 효과를 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation and effect of the BTO dry grinding step will be described in detail with reference to FIG. 1A.

도 1a를 참조하면, 상기 BTO 건식분쇄단계에 의해, 상기 건식분쇄된 BTO 분말의 부피 밀도가 0.50g/cm3 이하로 감소함으로써, 상기 건식분쇄된 BTO 분말은 응집체의 형성 비율이 낮아져 각 입자들이 서로 분리된 상태로 존재하는 비율이 증가한다. 반면에, 상기 건식분쇄된 BTO 분말의 부피 밀도가 0.2g/cm3 미만으로 감소하게 되면, 미립의 BTO가 서로 분리되지 않고 재응집된 상태로 존재하여 열처리시 BT분말에는 응집체 형성의 결과로 인한 공극이 존재하며, 미립으로 존재하는 BTO 분말은 열처리시 느린 BTO 입자간 확산 속도로 인해 입성장이 느린 문제점이 있다. 이에 따라, 상기 건식분쇄된 BTO 분말, 즉 부피밀도가 0.2g/cm3 이상 0.5g/cm3 이하인 BTO 분말을 열처리할 경우, 합성된 BT 입자들이 서로 분리된 상태로 존재하는 비율이 높은 BT 분말을 형성하게 된다. 이후, 상기 BT 분말을 MLCC에 적용한다. 즉, 상기 BT 분말을 두 전극층(10) 사이에 배치하여 유전층(20)을 형성함으로써 MLCC를 제조한다. 이때, 상기 유전층(20)은 서로 응집되지 않고 규칙적으로 배열된 BT 입자들을 높은 비율로 포함한다. 이어서, 상기 MLCC를 소결한다. 이때, 상기 유전층(20)의 BT 입자들이 결정화되어 공극이 없는 결정구조를 형성한다. 이와 같이, 도 1a는 상기 BTO 건식분쇄단계가 결정화도가 높은 BT를 형성하게 하는 작용 및 효과를 가짐을 예시한다.1A, the BTO dry grinding step reduces the bulk density of the dry-milled BTO powder to less than 0.50 g / cm 3 , so that the dry milled BTO powder has a low aggregate formation ratio, The ratio in which they exist in a state of being separated from each other increases. On the other hand, when the bulk density of the dry pulverized BTO powder is reduced to less than 0.2 g / cm 3 , the fine BTO is present in a re-agglomerated state without being separated from each other. As a result, There is a problem that the BTO powder present in the form of voids has a slow grain growth due to the slow BTO particle diffusion rate during the heat treatment. Thus, when the dry-milled BTO powder, that is, the BTO powder having a bulk density of 0.2 g / cm 3 or more and 0.5 g / cm 3 or less is heat-treated, the BT particles having a high ratio of the BT particles, . The BT powder is then applied to the MLCC. That is, the MLCC is manufactured by disposing the BT powder between the two electrode layers 10 to form the dielectric layer 20. At this time, the dielectric layer 20 contains a large proportion of BT particles arranged regularly without being agglomerated with each other. The MLCC is then sintered. At this time, the BT particles of the dielectric layer 20 are crystallized to form a void-free crystal structure. Thus, FIG. 1A illustrates that the BTO dry milling step has the action and effect of forming BT with high crystallinity.

이하, 도 1b를 참조하여, 종래의 바륨티타닐옥살레이트(BTO)의 제조방법에서와 같이, BTO 건식분쇄단계가 없거나 적절하지 않을 경우 발생하는 문제점을 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to FIG. 1B, the problems that occur when the BTO dry milling step is absent or not suitable, as in the conventional method of producing barium titanyl oxalate (BTO), will be described in detail.

도 1b를 참조하면, 상기 BTO 건식분쇄단계가 없거나 적절하지 않을 경우, 상기 건식분쇄된 BTO 분말은 BTO 입자들 중의 적어도 일부가 응집체를 형성한 상태로 존재한다. 이에 따라, 상기 건식분쇄된 BTO 분말을 열처리할 경우, 합성된 BT 입자들 중의 적어도 일부가 응집체를 형성한 상태로 존재하는 BT 분말을 형성하게 된다. 또한, 상기 BT 분말에는 응집체 형성의 결과물인 공극이 존재하게 된다. 이후, 상기 BT 분말을 MLCC에 적용한다. 즉, 상기 BT 분말을 두 전극층(10) 사이에 배치하여 유전층(20')을 형성함으로써 MLCC를 제조한다. 이때, 상기 유전층(20')은 서로 응집되어 불규칙적으로 배열된 BT 입자들을 높은 비율로 포함한다. 이어서, 상기 MLCC를 소결한다. 이때, 상기 유전층(20')의 BT 입자들이 결정화되어 공극을 포함하는 결정구조를 형성한다. 이와 같이, 도 1b는 상기 BTO 건식분쇄단계가 없을 경우 결정화도가 낮은 BT가 형성되게 되는 문제점을 예시한다.Referring to FIG. 1B, when the BTO dry milling step is absent or not suitable, the dry milled BTO powder is present with at least some of the BTO particles forming aggregates. Accordingly, when the dry-milled BTO powder is heat-treated, at least a part of the synthesized BT particles forms a BT powder present in the form of agglomerates. In addition, the BT powder has pores as a result of aggregate formation. The BT powder is then applied to the MLCC. That is, the MLCC is manufactured by disposing the BT powder between the two electrode layers 10 to form the dielectric layer 20 '. At this time, the dielectric layer 20 'contains a large proportion of irregularly arranged BT particles, which are agglomerated with each other. The MLCC is then sintered. At this time, the BT particles of the dielectric layer 20 'are crystallized to form a crystal structure including voids. Thus, FIG. 1B illustrates the problem that BT with low crystallinity is formed without the BTO dry milling step.

상기 BTO 건식분쇄단계는 해머밀(hammer mill), 기류분급분쇄기(ACM: air classifying mill) 및 제트밀(jet mill)로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 1종의 분쇄기를 사용하여 실시될 수 있다. 상기 해머밀 및 기류분급분쇄기의 로터 회전속도, 및 상기 제트밀의 공기압은 상기 건식분쇄된 BTO의 부피 밀도가 0.2g/cm3 이상 0.50g/cm3 이하로 되도록 적당히 조절될 수 있다.The BTO dry pulverization step may be carried out using at least one pulverizer selected from the group consisting of a hammer mill, an air classifying mill (ACM), and a jet mill. The rotor rotation speed of the hammer mill and the airflow classifying pulverizer and the air pressure of the jet mill were such that the dry milled BTO had a bulk density of 0.2 g / cm 3 Or more and 0.50 g / cm < 3 > or less.

이어서, 상기 BTO 분말을 가열로에 충전시킨 다음, 800~1000℃에서 열처리하여 티탄산바륨[BaTiO3](이하, 간단히 BT라고 함)을 합성한다(BT 합성단계). 상기 BT 합성단계에서 상기 열처리온도가 상기 범위이내이면, 목표로 하는 입경(PSA D50)(즉, 0.08~0.5㎛)의 티탄산바륨을 얻을 수 있다. 상기 BT 합성단계에서는 수분 및/또는 탄소를 포함하는 불순물(CO, CO2, H2O 등)이 제거될 수 있다. 상기 BTO 건조단계의 건조온도에서부터 상기 BT 합성단계의 상기 열처리온도로의 승온속도는 0.5~10℃/min, 예를 들어 1~5℃/min일 수 있다. 상기 승온속도가 상기 범위이내이면, BT의 생산성이 높고, 온도분포가 균일해져 BT 분말의 입도가 균일해진다. 이와 같이 상기 BT 합성단계를 수행함으로써, BTO 결정의 내부에 결정수로 존재하는 수분과 과량의 탄산가스를 제거하여 하기 반응식 2 내지 4와 같은 과정을 거쳐 수십 nm 내지 수백 nm 크기의 BT 분말을 얻을 수 있다.Then, the BTO powder is filled in a heating furnace and then heat-treated at 800 to 1000 ° C to synthesize barium titanate [BaTiO 3 ] (hereinafter simply referred to as BT) (BT synthesis step). When the heat treatment temperature is within the above range in the BT synthesis step, barium titanate having a target particle size (PSA D50) (that is, 0.08 to 0.5 탆) can be obtained. In the BT synthesis step, impurities (CO, CO 2 , H 2 O, etc.) including moisture and / or carbon may be removed. The temperature raising rate from the drying temperature of the BTO drying step to the heat treatment temperature of the BT synthesis step may be 0.5 to 10 占 폚 / min, for example, 1 to 5 占 폚 / min. When the temperature raising rate is within the above range, productivity of BT is high and the temperature distribution becomes uniform, and the particle size of the BT powder becomes uniform. By performing the BT synthesis step as described above, water and excess carbon dioxide gas existing as crystal water are removed in the BTO crystal, and BT powder of several tens nm to several hundreds nm is obtained through the processes of the following Reaction Schemes 2 to 4 .

[반응식 2][Reaction Scheme 2]

BaTiO(C2O4)2·4H2O → BaTiO(C2O4)2 + 4H2OBaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H 2 O? BaTiO (C 2 O 4 ) 2 + 4H 2 O

[반응식 3][Reaction Scheme 3]

BaTiO(C2O4)2 + 1/2 O2 → BaCO3 + TiO2 + 2CO2 BaTiO (C 2 O 4 ) 2 + 1/2 O 2 - > BaCO 3 + TiO 2 + 2CO 2

[반응식 4][Reaction Scheme 4]

BaCO3 + TiO2 → BaTiO3 BaCO 3 + TiO 2 - > BaTiO 3

상기 건조된 BTO 분말의 열처리를 위해 가열로로서 Sagger 또는 Tray가 사용될 수 있다. 여기서, Sagger란 내화토(耐火土) 용기를 의미한다. 상기 Sagger는, 예를 들어, 정사각형 형태의 밑면을 갖는 육면체 형상의 용기일 수 있다. Sagger or Tray may be used as a heating furnace for the heat treatment of the dried BTO powder. Here, Sagger refers to refractory earth containers. The sagger may be, for example, a hexagonal container having a square bottom surface.

이후, 상기 BT 합성단계를 통해 생성된 BT를 분쇄하여 BT 분말을 얻는다(BT 분쇄단계). 그러나, 이러한 BT 분쇄단계는 생략될 수도 있다. 상기 BT 분쇄단계는, 소정의 매질과 함께 비즈밀(beads mill), 어트리션밀(attrition mill), 또는 볼밀(ball mill)과 같은 분쇄기를 사용하는 습식분쇄에 의해 수행될 수도 있고, 제트밀(jet mill) 또는 디스크밀(disk mill)과 같이 매질을 사용하지 않은 상태에서 원료간의 충돌이나 분쇄기와의 마찰력을 이용하는 건식분쇄에 의해 수행될 수도 있다. 상기 분쇄단계는 티탄산바륨의 입자간 응집을 해소하기 위한 것으로, 습식분쇄를 행한 후에는 건조과정이 추가로 필요하지만 건조를 위해 특별히 한정된 설비를 사용해야 하는 것은 아니다. 상기 BT 분쇄단계에서 분쇄효율이 지나치게 높은 설비를 사용할 경우, 입자의 파괴가 유발되어 미분이 다량으로 발생하게 되고, 이로 인해 오히려 입도분포와 결정성이 저하될 가능성이 있으므로 가능한 한 분쇄 강도를 낮춰서 입자 자체의 파괴없이 입자간의 결합(necking)만을 끊어줄 수 있다. Thereafter, BT produced through the BT synthesis step is pulverized to obtain BT powder (BT pulverization step). However, this BT crushing step may be omitted. The BT pulverization step may be performed by wet grinding using a pulverizer such as a beads mill, attrition mill, or ball mill together with a predetermined medium, jet mill or a disk mill in a state in which no medium is used, or by dry grinding using frictional force with the grinder. The pulverization step is intended to solve the intergranular agglomeration of barium titanate. After the wet pulverization, a drying process is additionally required, but it is not necessary to use facilities specially limited for drying. In the BT grinding step, when the grinding efficiency is excessively high, fracture of the particles is caused and a large amount of fine powder is generated. As a result, the particle size distribution and crystallinity may be lowered, Only the necking between the particles can be broken without destroying itself.

본 발명의 다른 측면은 상기 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법을 포함하는 상기 티탄산바륨의 제조방법에 의해 제조된 티탄산바륨을 제공한다.Another aspect of the present invention provides barium titanate produced by the above-described method for producing barium titanyl oxalate.

상기 티탄산바륨으로 이루어진 티탄산바륨 분말은 10중량% 이하의 응집체를 포함할 수 있다. 본 명세서에서, 「응집체」란 소정량(예를 들어, 5g)의 BT 분말을 알코올(예를 들어, 에탄올 150ml)에 분산시켜 BT 분산액을 제조한 후, 상기 BT 분산액을 정량펌프를 이용하여 14㎛ 메쉬 크기의 필터에 주입하여 여과한 경우, 상기 필터를 통과하지 못하고 남아있는 물질을 의미한다.The barium titanate powder composed of barium titanate may contain not more than 10% by weight of agglomerates. In the present specification, the term "aggregate" means a BT dispersion in which a predetermined amount (for example, 5 g) of BT powder is dispersed in alcohol (for example, 150 ml of ethanol) Means a material that does not pass through the filter when it is injected into a filter having a mesh size of 탆 and then filtered.

이하, 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세히 설명하지만, 본 발명이 이에 의해 제한되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples, but the present invention is not limited thereto.

실시예Example

실시예Example 1~5 및  1 to 5 and 비교예Comparative Example 1~4 1-4

(BTO 합성 및 숙성)(BTO synthesis and aging)

1mol/L 농도의 염화바륨 수용액 1320L와 1mol/L 농도의 사염화티탄 수용액 1200L를 4M3 글래스-라인(glass-lined) 반응조에서 잘 섞어서 혼합 수용액을 만들었다. 이후, 상기 혼합 수용액을 6M3 반응기에 충진된, 미리 만들어둔 1mol/L 농도의 옥살산 수용액 2520L에 풀콘(full cone) 타입의 노즐을 이용하여 2.5L/min의 속도로 분사하였다. 노즐 분사시 상기 혼합 수용액의 공급을 위해 다이아프램 펌프를 사용하였다. 이때, 옥살산 용액을 교반기로 교반하면서 분사하였으며, 교반기의 교반속도는 150rpm으로 유지하였고, 옥살산 용액의 온도는 70℃로 유지하였다.1320 L of a 1 mol / L aqueous solution of barium chloride and 1200 L of a titanium tetrachloride aqueous solution having a concentration of 1 mol / L were mixed well in a 4M 3 glass-lined reaction tank to prepare a mixed aqueous solution. Then, the mixed aqueous solution was injected into 2520 L of oxalic acid aqueous solution having a concentration of 1 mol / L prepared in a 6M 3 reactor at a rate of 2.5 L / min using a full cone type nozzle. A diaphragm pump was used to supply the mixed aqueous solution during nozzle injection. At this time, the oxalic acid solution was sprayed while stirring with a stirrer, the stirring speed of the stirrer was maintained at 150 rpm, and the temperature of the oxalic acid solution was maintained at 70 ° C.

2시간 동안 상기 혼합 수용액을 적가후 1시간 동안 반응온도를 유지한 다음, 교반을 유지한 채로 공냉시켜 1시간 동안 숙성시켰다. 결과로서, BTO를 함유하는 BTO 슬러리를 얻었다. After the dropwise addition of the mixed aqueous solution for 2 hours, the reaction temperature was maintained for 1 hour, and the mixture was air-cooled while stirring and aged for 1 hour. As a result, a BTO slurry containing BTO was obtained.

(합성된 BTO 슬러리의 여과 및 세정)(Filtration and washing of the synthesized BTO slurry)

상기에서 제조된 BTO 슬러리를 원심분리기로 여과하고, 과량의 물로 세정액의 pH가 3 이상이 되도록 세정하여 세정된 BTO를 얻었다.The BTO slurry prepared above was filtered with a centrifugal separator, and the washed BTO was obtained by washing the washed slurry with an excessive amount of water to a pH of 3 or more.

(세정된 BTO의 습식분쇄 및 건조)(Wet grinding and drying of cleaned BTO)

상기 BTO 50kg, 탈이온수 250kg 및 29부피% 암모니아수 0.5kg(BTO 100몰부 대비 8.4 몰부)을 혼합조에 투입하고 교반하여 슬러리를 생성하였다. 이때, 슬러리의 pH는 4.5이었다. 이후, 20L의 수평식 비즈밀(매질: 탈이온수)로 최대 입경이 5㎛ 이하가 되도록 상기 BTO를 습식분쇄하였다. 분쇄 후, 슬러리의 pH는 5.1, 점도는 1800cP이었다. 이렇게 얻어진 BTO 슬러리를 오븐안에서 200℃의 온도로 12시간 동안 건조하여 BTO 분말을 제조하였다.50 kg of BTO, 250 kg of deionized water and 0.5 kg of 29 vol.% Ammonia water (8.4 molar parts relative to 100 molar parts of BTO) were charged into a mixing tank and stirred to produce a slurry. At this time, the pH of the slurry was 4.5. Thereafter, the BTO was wet pulverized so as to have a maximum particle diameter of 5 탆 or less with a 20 L horizontal bead mill (medium: deionized water). After milling, the slurry had a pH of 5.1 and a viscosity of 1800 cP. The BTO slurry thus obtained was dried in an oven at a temperature of 200 DEG C for 12 hours to prepare a BTO powder.

(건조된 BTO의 건식분쇄)(Dry milling of dried BTO)

상기 건조된 BTO를 해머밀(대가파우더시스템, DGHSM-2), 기류분급분쇄기 (베스트피티에스㈜, BCM-T1-00) 또는 제트밀(SEISHIN ENTERPRISE社, STJ-560)에 4kg/hr의 속도로 주입하여 건식분쇄하였다. 결과로서, 건식분쇄된 BTO를 얻었다. 상기 각 실시예 및 비교예에서 채택한 해머밀의 로터 회전속도, 기류분급분쇄기의 로터 회전속도, 및 제트밀의 공기압을 하기 표 1에 각각 나타내었다.The dried BTO was fed to a hammer mill (DGHSM-2), an air stream classifier (BCM-T1-00) or a jet mill (SEISHIN ENTERPRISE, STJ-560) at a rate of 4 kg / hr Followed by dry pulverization. As a result, dry milled BTO was obtained. The rotor rotation speed of the hammer mill, the rotor rotation speed of the airflow classifying pulverizer, and the air pressure of the jet mill employed in each of the above Examples and Comparative Examples are shown in Table 1 below.

건식분쇄장치Dry grinding device 공정변수Process variable 회전 속도(rpm) 또는 공기압(MPa)Rotation speed (rpm) or air pressure (MPa) 비교예 1Comparative Example 1 해머밀Hammer mill 로터의 회전속도Rotation speed of the rotor 20002000 비교예 2Comparative Example 2 40004000 비교예 3Comparative Example 3 60006000 비교예 4Comparative Example 4 ACMACM 로터의 회전속도Rotation speed of the rotor 50005000 실시예 1Example 1 80008000 실시예 2Example 2 1100011000 실시예 3Example 3 제트밀Jet mill 공기압windage 0.50.5 실시예 4Example 4 0.60.6 실시예 5Example 5 0.70.7

(열처리, 습식분쇄 및 건조)(Heat treatment, wet grinding and drying)

상기 건식분쇄된 BTO 분말을 전기로(원준, RHK)에 투입한 후, 930℃에서 3시간 동안 열처리를 수행하였다. 결과로서, BT 분말을 얻었다. 이후, 상기 BT 분말을 20L의 수평식 비즈밀(매질: 탈이온수)로 주속 5m/s(즉, 1500rpm)으로 30분간 습식분쇄하였다. 상기 습식분쇄 후 형성된 BT 슬러리를 150℃ 오븐에서 24시간 동안 건조하였다. 결과로서, BT 분말을 얻었다.
The dry-pulverized BTO powder was put into an electric furnace (Wonjun, RHK) and heat-treated at 930 ° C for 3 hours. As a result, a BT powder was obtained. Then, the BT powder was wet-pulverized for 30 minutes at a peripheral speed of 5 m / s (i.e., 1500 rpm) using 20 L of a horizontal type bead mill (medium: deionized water). The BT slurry formed after the wet grinding was dried in an oven at 150 캜 for 24 hours. As a result, a BT powder was obtained.

평가예Evaluation example

평가예Evaluation example 1: 건식분쇄된  1: dry-milled BTOBTO 의 부피 밀도 평가Evaluation of bulk density

상기 각 실시예 및 비교예에서 얻어진 건식분쇄된 BTO의 부피 밀도를 측정하여, 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다. 구체적으로, ISO 23145-1 규격에 의거하여 상기 건식분쇄된 BTO(즉, BTO 분말)의 부피 밀도를 측정하였다.The bulk density of the dry pulverized BTO obtained in each of the Examples and Comparative Examples was measured. The results are shown in Table 2 below. Specifically, the bulk density of the dry-milled BTO (i.e., BTO powder) was measured according to ISO 23145-1 standard.

평가예Evaluation example 2:  2: BTOBTO 의 입경 측정Particle size measurement

상기 각 실시예 및 비교예에서 얻어진 건식분쇄된 BTO의 입경(PSA D10, PSA D50 및 PSA D90을 측정한 후, 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다. 여기서, 상기 입경(PSA D10, PSA D50 및 PSA D90)은 입도분석기(Malvern社, Mastersizer2000)를 사용하여 측정하였다. The particle sizes (PSA D10, PSA D50 and PSA D90) of the dry-milled BTO obtained in the above Examples and Comparative Examples were measured and the results are shown in Table 2. Here, PSA D90) was measured using a particle size analyzer (Malvern, Mastersizer 2000).

부피 밀도
(g/cm3)
Bulk density
(g / cm 3)
입경(㎛)Particle size (탆)
PSA D10PSA D10 PSA D50PSA D50 PSA D90PSA D90 비교예 1Comparative Example 1 0.570.57 3.683.68 16.516.5 41.5141.51 비교예 2Comparative Example 2 0.530.53 2.592.59 12.5412.54 33.9233.92 비교예 3Comparative Example 3 0.520.52 2.212.21 7.167.16 20.5420.54 비교예 4Comparative Example 4 0.550.55 2.712.71 13.1913.19 38.1138.11 실시예 1Example 1 0.480.48 1.561.56 6.166.16 19.3419.34 실시예 2Example 2 0.370.37 0.820.82 2.612.61 10.2110.21 실시예 3Example 3 0.390.39 1.381.38 5.125.12 12.8612.86 실시예 4Example 4 0.360.36 0.780.78 2.442.44 11.2211.22 실시예 5Example 5 0.310.31 0.720.72 2.052.05 6.216.21

상기 표 2를 참조하면, 실시예 1~5에서 제조된 BTO는 비교예 1~4에서 제조된 BTO에 비해 입경(PSA D10, PSA D50 및 PSA D90)이 작은 것으로 나타났다.Referring to Table 2 above, the particle sizes (PSA D10, PSA D50 and PSA D90) of the BTO prepared in Examples 1 to 5 were smaller than those of BTO prepared in Comparative Examples 1 to 4.

평가예Evaluation example 2: 합성된  2: Synthesized BTIT 의 결정화도(k-(K- factorfactor 및 c/a) 평가 And c / a) evaluation

상기 각 실시예 및 비교예에서 합성된 BT의 결정화도(k-factor 및 c/a)를 XRD(Rigaku사의 D/Max 2000 series)로 측정하여, 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다. 구체적으로, 40kV, 200mA에서 2sec/step의 속도와 0.02의 step size의 XRD 분석조건으로, 2θ = 44.5~46도(°)의 범위에 대하여 분석하였다. 이후, 도 5에 도시된 것과 같은 XRD 스펙트럼에서, 입방정상의 분율(Ic)에 대한 정방정상의 분율(It)의 비(It/Ic)로서 BT 입자의 k-factor를 계산하였다. 또한, 결정 격자의 a축과 c축의 d-spacing 값을 구한 후 이들의 비로써 BT 입자의 c/a를 계산하였다. 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다. 도 5에는, 실시예 2, 실시예 5 및 비교예 3에서 제조된 BT의 XRD 스펙트럼을 나타내었다.The crystallinity (k-factor and c / a) of BT synthesized in the above Examples and Comparative Examples was measured by XRD (D / Max 2000 series manufactured by Rigaku Co.) and the results are shown in Table 3 below. Specifically, the XRD analysis conditions of 40 kV, 200 mA at a rate of 2 sec / step and a step size of 0.02 were analyzed for the range of 2? = 44.5 to 46 degrees (?). Then, in the XRD spectrum as shown in Fig. 5, the k-factor of the BT particles was calculated as the ratio (I t / I c ) of the tetragonal fraction (I t ) to the cubic phase fraction (I c ). Also, the d-spacing values of the a-axis and the c-axis of the crystal lattice were calculated, and then the c / a of the BT particles was calculated by the ratio. The results are shown in Table 3 below. FIG. 5 shows XRD spectra of BT prepared in Examples 2, 5 and Comparative Example 3. FIG.

평가예Evaluation example 3: 합성된  3: Synthesized BTIT 의 입경(Particle size ( SEMSEM D50D50 ) 측정) Measure

상기 각 실시예 및 비교예에서 얻어진 건조 완료 후의 BT의 입경(SEM D50)을 측정한 다음, 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다. 여기서, 상기 입경(SEM D50)은 주사전자현미경(SEM, Jeol사의 JSM-7400F)을 이용하여 이미지 촬영후 이미지 분석 프로그램(Mediacybernetics社의 이미지프로 플러스 ver 4.5)을 이용하여 티탄산바륨 입자의 장축과 단축의 평균으로 평균입경을 계산한 후 이 평균입경을 기초로 하여 얻어졌으며, 측정한 티탄산바륨 입자의 개수는 500개 이상이었다.The particle diameters (SEM D50) of the BT after completion of drying obtained in the above Examples and Comparative Examples were measured, and the results are shown in Table 3 below. The particle size (SEM D50) was measured by scanning electron microscopy (SEM, JSM-7400F from Jeol Co.) using an image analysis program (Image Pro Plus ver. 4.5 from Mediacybernetics) And the number of barium titanate particles measured was 500 or more.

평가예Evaluation example 4: 합성된  4: Synthesized BTIT of 비표면적Specific surface area 평가 evaluation

상기 각 실시예 및 비교예에서 합성된 BT의 비표면적을 비표면적 측정기(Mountech사, Macsorb HM-1220)로 분석하여, 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다.The specific surface area of BT synthesized in each of the above Examples and Comparative Examples was analyzed by a specific surface area meter (Mountech Co., Macsorb HM-1220), and the results are shown in Table 3 below.

평가예Evaluation example 5: 합성된  5: Synthesized BTIT 분말 중의 응집체의 함량 평가 Evaluation of the content of agglomerate in powder

상기 각 실시예 및 비교예에서 합성된 BT 분말 중의 응집체의 함량을 분석하여, 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다. 구체적으로, 상기 각 실시예 및 비교예에서 합성된 BT 분말 5g을 에탄올 150ml에 분산시켜 BT 분산액을 제조한 후, 상기 BT 분산액을 정량펌프(Masterflex, 7528-10S)를 이용하여 14㎛ 메쉬 크기의 필터(일동금망, stainless steel mesh)에 주입하여 여과하였다. 이어서, 상기 필터를 통과하지 못하고 남아있는 물질의 함량(WR)을 'g' 단위로 측정하였다. 이후, 하기 수학식 1에 따라 응집체의 함량을 계산하였다.The contents of agglomerates in the BT powders synthesized in the above Examples and Comparative Examples were analyzed, and the results are shown in Table 3 below. Specifically, 5 g of the BT powder synthesized in each of the above Examples and Comparative Examples was dispersed in 150 ml of ethanol to prepare a BT dispersion. Then, the BT dispersion was dispersed by using a metering pump (Masterflex, 7528-10S) Filter (stainless steel mesh) and filtered. Then, the content (W R ) of the remaining material that did not pass through the filter was measured in units of 'g'. Then, the content of agglomerates was calculated according to the following equation (1).

[수학식 1][Equation 1]

응집체의 함량(wt%) = WR/5 * 100Content of agglomerate (wt%) = W R / 5 * 100

결정화도Crystallinity SEM D50
(nm)
SEM D50
(nm)
비표면적
(m2/g)
Specific surface area
(m 2 / g)
응집체의 함량(wt%)Content of agglomerates (wt%)
k-factork-factor c/ac / a 비교예 1Comparative Example 1 3.903.90 1.00971.0097 211211 2.892.89 18.1918.19 비교예 2Comparative Example 2 4.744.74 1.00991.0099 205205 3.153.15 13.8813.88 비교예 3Comparative Example 3 5.185.18 1.01001.0100 203203 3.373.37 10.1310.13 비교예 4Comparative Example 4 4.184.18 1.00971.0097 208208 3.003.00 14.9514.95 실시예 1Example 1 5.625.62 1.01011.0101 201201 3.423.42 8.138.13 실시예 2Example 2 6.996.99 1.01051.0105 194194 3.753.75 5.415.41 실시예 3Example 3 5.845.84 1.01021.0102 197197 3.523.52 7.947.94 실시예 4Example 4 6.906.90 1.01041.0104 195195 3.733.73 5.915.91 실시예 5Example 5 7.847.84 1.01061.0106 183183 4.304.30 0.300.30

상기 표 3을 참조하면, 실시예 1~5에서 제조된 BT는 비교예 1~4에서 제조된 BT에 비해 결정화도(k-factor 및 c/a)는 높고, 입경(SEM D50)은 작으며, 비표면적은 크고, 응집체의 함량은 매우 적은 것으로 나타났다.Referring to Table 3, the BT prepared in Examples 1 to 5 has a higher crystallinity (k-factor and c / a) and a smaller particle size (SEM D50) than the BT prepared in Comparative Examples 1 to 4, The specific surface area was large and the content of agglomerates was very small.

평가예Evaluation example 6:  6: BTOBTO 분말의  Of powder SEMSEM 평가 evaluation

건식분쇄 전과 후의 BTO 분말의 SEM 사진을 촬영하여, 그 결과를 도 2에 나타내었다. 도 2에서, (a)는 상기 실시예 1~5 및 비교예 1~4에서 제조된 건식분쇄 전의 BTO 분말이고, (b)는 비교예 3에서 제조된 건식분쇄 후의 BTO 분말이고, (c)는 실시예 2에서 제조된 건식분쇄 후의 BTO 분말이고, (d)는 실시예 5에서 제조된 건식분쇄 후의 BTO 분말이다.SEM photographs of BTO powder before and after dry pulverization were taken and the results are shown in Fig. (B) is a BTO powder after dry milling produced in Comparative Example 3, and (c) is a BTO powder after dry milling in Comparative Example 3, (B) is a BTO powder after dry milling as prepared in Example 2, and (d) is a BTO powder after dry milling as prepared in Example 5. Fig.

도 2를 참조하면, 실시예 2 및 5에서 제조된 건식분쇄 후의 BTO 분말((c) 및 (d))은 건식 분쇄 전의 BTO 분말((a)) 및 비교예 3에서 제조된 건식분쇄 후의 BTO 분말((b))에 비해 응집체의 함량이 현저하게 적은 것으로 나타났다. 2, BTO powders ((c) and (d)) after dry milling prepared in Examples 2 and 5 were prepared by mixing BTO powder (a) before dry milling and BTO after dry milling The content of agglomerate was remarkably smaller than that of the powder ((b)).

평가예Evaluation example 7:  7: BTIT 응집체의 사진 평가 Evaluation of photos of aggregates

평가예 5에 따라 BT 분산액을 제조 및 여과한 후 필터를 통과하지 못하고 남아있는 응집체를 촬영하여, 그 결과를 도 3에 나타내었다. 도 3에서, (a)는 상기 실시예 1~5 및 비교예 1~4에서 제조된 건식분쇄 전의 BT 분말을 사용한 경우이고, (b)는 비교예 3에서 제조된 건식분쇄 후의 BT 분말을 사용한 경우이고, (c)는 실시예 2에서 제조된 건식분쇄 후의 BT 분말을 사용한 경우이고, (d)는 실시예 5에서 제조된 건식분쇄 후의 BT 분말을 사용한 경우이다.The BT dispersion was prepared and filtered according to the evaluation example 5, and the remaining aggregate which could not pass through the filter was photographed. The results are shown in Fig. 3 (a) shows the BT powder before dry milling prepared in Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 4, and FIG. 3 (b) shows the BT powder after dry- (C) shows the case where the BT powder after dry milling prepared in Example 2 is used, and (d) shows the case where the BT powder after dry milling prepared in Example 5 is used.

도 3을 참조하면, 실시예 2 및 5에서 제조된 건식분쇄 후의 BT 분말((c) 및 (d))은 건식 분쇄 전의 BT 분말((a)) 및 비교예 3에서 제조된 건식분쇄 후의 BT 분말((b))에 비해 응집체의 함량이 현저하게 적은 것으로 나타났다. 3 (c) and (d)) of the BT powder after dry milling (a) prepared in Examples 2 and 5 and the BT powder (a) after dry grinding The content of agglomerate was remarkably smaller than that of the powder ((b)).

평가예Evaluation example 8:  8: BTIT 분말의  Of powder SEMSEM 평가 evaluation

건식분쇄 전과 후의 BTO 분말을 열처리하여 제조한 BT 분말의 SEM 사진을 촬영하여, 그 결과를 도 4에 나타내었다. 도 4에서, (a)는 상기 실시예 1~5 및 비교예 1~4에서 제조된 건식분쇄 전의 BTO 분말을 건식분쇄 없이 곧바로 열처리하여 제조한 BT 분말이고, (b)는 비교예 3에서 제조된 BT 분말이고, (c)는 실시예 2에서 제조된 BT 분말이고, (d)는 실시예 5에서 제조된 BT 분말이다.SEM photographs of the BT powder prepared by heat-treating the BTO powder before and after dry pulverization were taken and the results are shown in FIG. 4 (a) is a BT powder prepared by directly heat-treating the BTO powder before dry grinding produced in Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 4, and (b) (C) is the BT powder prepared in Example 2, and (d) is the BT powder prepared in Example 5.

도 4를 참조하면, 실시예 2 및 5에서 제조된 BT 분말((c) 및 (d))은 건식 분쇄 전의 BTO 분말을 건식분쇄 없이 곧바로 열처리하여 제조한 BT 분말((a)) 및 비교예 3에서 제조된 BT 분말((b))과 비교할 경우, 입자크기는 서로 비슷하지만 응집체의 함량은 현저하게 적은 것으로 나타났다. Referring to FIG. 4, the BT powders ((c) and (d)) prepared in Examples 2 and 5 were prepared by blending BT powder ((a)) prepared by directly heating the BTO powder before dry pulverization Compared with the BT powder ((b)) prepared in Example 3, the particle size was similar but the amount of aggregate was remarkably small.

본 발명은 도면 및 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the drawings and embodiments, it is to be understood that various modifications and equivalent embodiments may be made by those skilled in the art. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

10: 전극층 20, 20': 유전체층10: electrode layer 20, 20 ': dielectric layer

Claims (10)

바륨 화합물 용액, 티탄 화합물 용액 및 옥살산 용액을 제조하는 단계(원료 용액 제조단계);
상기 바륨 화합물 용액과 상기 티탄 화합물 용액을 상기 옥살산 용액과 접촉시켜 바륨티타닐옥살레이트[BaTiO(C2O4)2·4H2O](이하, 간단히 BTO라고 함)를 합성하는 단계(BTO 합성단계);
상기 합성된 BTO를 습식분쇄하는 단계(BTO 습식분쇄단계);
상기 습식분쇄된 BTO를 건조하여 BTO 분말을 얻는 단계(BTO 건조단계); 및
상기 건조된 BTO를 건식분쇄하는 단계(BTO 건식분쇄단계)를 포함하고,
상기 BTO 건식분쇄단계는 상기 건식분쇄된 BTO의 부피 밀도(bulk density)가 0.2g/cm3 이상 0.50g/cm3 이하로 될 때까지 실시되는 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법.
Barium compound solution, titanium compound solution and oxalic acid solution (raw material solution preparation step);
(BTO synthesis) of barium titanyl oxalate [BaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H 2 O] (hereinafter simply referred to as BTO) by bringing the barium compound solution and the titanium compound solution into contact with the oxalic acid solution, step);
Wet pulverizing the synthesized BTO (BTO wet pulverization step);
Drying the wet pulverized BTO to obtain a BTO powder (BTO drying step); And
And dry-milling the dried BTO (BTO dry milling step)
Wherein the BTO dry grinding step is carried out until the bulk density of the dry pulverized BTO is from 0.2 g / cm 3 to 0.50 g / cm 3 or less.
제1항에 있어서,
상기 바륨 화합물 용액은 염화바륨(BaCl2), 질산바륨(Ba(NO3)2) 및 과염소산바륨(Ba(ClO4)2)으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 1종의 바륨 화합물을 물에 용해시켜 제조한 것이고, 상기 티탄 화합물 용액은 옥시염화티탄(TiOCl2) 및 사염화티탄(TiCl4) 중 적어도 1종의 티탄 화합물을 물에 용해시켜 제조한 것이고, 상기 옥살산 용액은 옥살산을 물에 용해시켜 제조한 것인 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법.
The method according to claim 1,
The barium compound solution is prepared by dissolving at least one barium compound selected from the group consisting of barium chloride (BaCl 2 ), barium nitrate (Ba (NO 3 ) 2 ) and barium perchlorate (Ba (ClO 4 ) 2 ) Wherein the titanium compound solution is prepared by dissolving at least one titanium compound selected from the group consisting of titanium oxychloride (TiOCl 2 ) and titanium tetrachloride (TiCl 4 ) in water, and the oxalic acid solution is prepared by dissolving oxalic acid in water ≪ / RTI > barium titanyl oxalate.
제1항에 있어서,
상기 BTO 합성단계는 20~100℃의 합성온도에서 수행되는 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the BTO synthesis step is carried out at a synthesis temperature of from 20 to 100 < 0 > C.
제1항에 있어서,
상기 BTO 건식분쇄단계는 해머밀, 기류분급분쇄기(ACM) 및 제트밀로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 1종의 분쇄기를 사용하여 실시되는 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the BTO dry pulverization step is carried out using at least one pulverizer selected from the group consisting of a hammer mill, an airflow classifier (ACM) and a jet mill.
제1항에 있어서,
상기 건식분쇄된 BTO는 2.5㎛ 이하의 입경(PSA D50) 및 8.0㎛ 이하의 입경(PSA D90)을 갖는 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the dry-milled BTO has a particle size (PSA D50) of 2.5 占 퐉 or less and a particle size (PSA D90) of 8.0 占 퐉 or less.
제1항에 있어서,
상기 BTO 합성단계와 상기 BTO 습식분쇄단계 사이에,
상기 합성된 BTO를 숙성하는 단계;
상기 숙성된 BTO를 여과하는 단계; 및
상기 여과된 BTO를 과량의 물로 세정하는 단계를 더 포함하는 바륨티타닐옥살레이트의 제조방법.
The method according to claim 1,
Between the BTO synthesis step and the BTO wet grinding step,
Aging the synthesized BTO;
Filtering the aged BTO; And
Further comprising washing the filtered BTO with excess water. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따라 제조된 BTO를 800~1000℃에서 열처리하여 티탄산바륨[BaTiO3](이하, 간단히 BT라고 함)을 합성하는 단계(BT 합성단계)를 포함하는 티탄산바륨의 제조방법.(BT synthesis step) of synthesizing barium titanate [BaTiO 3 ] (hereinafter simply referred to as BT) by heat-treating BTO prepared according to any one of claims 1 to 6 at 800 to 1000 ° C. Process for the preparation of barium titanate. 제7항에 있어서,
상기 BT 합성단계 이후에, 상기 합성된 BT를 분쇄하는 단계(BT 분쇄단계)를 더 포함하는 티탄산바륨의 제조방법.
8. The method of claim 7,
Further comprising, after the BT synthesis step, grinding the synthesized BT (BT grinding step).
제7항의 제조방법에 의해 제조된 티탄산바륨.A barium titanate produced by the method of claim 7. 제9항에 있어서,
상기 티탄산바륨으로 이루어진 티탄산바륨 분말이 10중량% 이하의 응집체를 포함하는 티탄산바륨.
10. The method of claim 9,
And barium titanate powder comprising barium titanate in an amount of 10 wt% or less.
KR1020130144323A 2013-11-26 2013-11-26 Method of preparing barium titanyl oxalate, method of preparing barium titanate comprising the same, and barium titanate prepared thereby KR20150060189A (en)

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