KR101606932B1 - A method of preparing barium titanate powder by oxalate process and barium titanate powder prepared by same - Google Patents

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Abstract

티탄산바륨 분말의 제조방법 및 그 방법에 의하여 제조된 티탄산바륨 분말이 개시된다. 개시된 티탄산바륨 분말의 제조방법은 바륨티타닐옥살레이트 합성후 상기 합성된 바륨티타닐옥살레이트 분말 및 적어도 1종의 필러를 가열로에 충전하여 열처리하는 단계를 포함한다. 또한, 상기 제조방법에 의해 제조된 티탄산바륨 분말은 미립의 균일한 입도분포 및 높은 결정성을 갖는다.A method for producing barium titanate powder and barium titanate powder produced by the method are disclosed. The disclosed method for producing barium titanate powder includes filling a barium titanyl oxalate powder and at least one kind of filler in a heating furnace after the synthesis of barium titanyl oxalate, followed by heat treatment. In addition, the barium titanate powder produced by the above-described production method has fine particle size distribution and high crystallinity.

Description

옥살레이트 공정에 의한 티탄산바륨 분말의 제조방법 및 그 방법에 의하여 제조된 티탄산바륨 분말{A method of preparing barium titanate powder by oxalate process and barium titanate powder prepared by same}[0001] The present invention relates to a method for producing barium titanate powder by an oxalate process and a barium titanate powder prepared by the method,

티탄산바륨 분말의 제조방법 및 그 방법에 의하여 제조된 티탄산바륨 분말이개시된다. 보다 상세하게는 바륨티타닐옥살레이트 합성후 상기 합성된 바륨티타닐옥살레이트 분말 및 적어도 1종의 필러를 가열로에 충전하여 열처리하는 단계를 포함하는 옥살레이트 공정에 의한 티탄산바륨 분말의 제조방법 및 그 방법에 의하여 제조된 티탄산바륨 분말이 개시된다.A method for producing barium titanate powder and barium titanate powder produced by the method are disclosed. More particularly, the present invention relates to a process for producing barium titanate powder by an oxalate process comprising the steps of filling a barium titanyl oxalate synthesized with the synthesized barium titanyl oxalate powder and at least one kind of filler into a heating furnace, A barium titanate powder produced by the method is disclosed.

티탄산바륨 분말은 종래에는 이산화티탄(TiO2)과 탄산바륨(BaCO3)을 혼합하여 고온에서 열처리하는 고상반응에 의해 제조되었지만, 최근에는 적층 세라믹 콘덴서(Multi Layer Ceramic Condenser: MLCC)의 소형 대용량화(고유전율 조성, 유전체 박층화 및 고적층화), 저온 소성화, 고주파 및 고성능화 등에 따라, 고순도/조성 균일성, 미립/입도 균일성, 비응집성/고분산성 등이 요구되어 수열법, 공침법 등 다양한 합성법에 의해 제조되고 있다. 특히, 적층 세라믹 콘덴서가 박층화 및 고적층화 되면서 150nm이하의 입경에서도 균일한 입도분포와 높은 결정성을 갖는 티탄산바륨 분말이 요구되고 있다.Conventionally, barium titanate powder has been produced by a solid phase reaction in which titanium dioxide (TiO 2 ) and barium carbonate (BaCO 3 ) are mixed and heat-treated at a high temperature. In recent years, barium titanate powder has been used as a small-capacity (MLCC) multilayer ceramic condenser It is required to have high purity / composition uniformity, fine particle / particle uniformity, non-cohesive / high dispersibility due to low temperature firing, high frequency and high performance due to high dielectric constant, high dielectric constant, high dielectric constant, And is produced by a synthetic method. Particularly, as the multilayer ceramic capacitor becomes thinner and more stable, it is required to have a barium titanate powder having a uniform particle size distribution and a high crystallinity at a particle diameter of 150 nm or less.

이러한 티탄산바륨 분말을 제조하는 선행기술로는 한국공개특허 제2007-0031969호의 "페로브스카이트 구조를 갖는 세라믹 분말의 제조방법과, 페로브스카이트 구조를 갖는 세라믹 전자부품 및 그 제조방법과 적층 세라믹 콘덴서 및 그 제조방법"이 있다. 그러나, 여기에서 제시된 방법은 고상법에 의해 티탄산바륨을 합성한 후 합성된 티탄산바륨 분말을 pH 7 이상의 물 또는 수산화바륨 수용액으로 채워진 밀폐용기에 넣고 열처리하는 것으로, 이 방법을 수행하기 위해서는 합성 후 재건조공정이 추가되어 생산비용의 증가 및 생산수율의 저하를 초래한다. 더욱이, 상기 제조방법에 의해 제조된 티탄산바륨의 결정화도(c/a)는 200nm급에서 최대 1.009 이하로서 고용량의 소형화 MLCC의 제조에 요구되는 1.009 초과의 결정성에 미달할 뿐만 아니라, 저순도, 조성 불균일성 및 입도 불균일성 등을 초래하는 고상 반응법의 근본적인 한계를 극복할 수 없는 문제점이 있다. 또한, 상기 방법은 고결정성의 100nm급의 티탄산바륨을 제조할 수 없는 한계도 가지고 있다.Prior art for producing such barium titanate powder is disclosed in Korean Patent Publication No. 2007-0031969 entitled "Method for producing ceramic powder having a perovskite structure, ceramic electronic component having a perovskite structure, A ceramic capacitor and a manufacturing method thereof ". However, in the method disclosed herein, barium titanate is synthesized by the solid phase method, and then the synthesized barium titanate powder is placed in a sealed container filled with water or a barium hydroxide aqueous solution having a pH of 7 or more to perform heat treatment. The drying process is added to increase the production cost and decrease the production yield. Furthermore, the crystallinity (c / a) of the barium titanate produced by the above-described production method is not more than 1.009 at a maximum of 200 nm and not only exceeds the crystallinity of more than 1.009 required for the production of a high-capacity miniaturized MLCC, There is a problem in that it can not overcome the fundamental limitation of the solid-phase reaction method which causes unevenness in particle size and the like. In addition, the above method also has a limitation in that it can not produce 100 nm-grade barium titanate of high crystallinity.

또한 한국공개특허 제2005-0045580호의 "무중력 고온열처리에 의한 복합 산화물의 제조방법"에는 100nm급의 티탄산바륨을 제조하였으나, 그 결정성(c/a)은 1.005로 정도로서 매우 낮다.In addition, Korean Patent Publication No. 2005-0045580, "Barium titanate having a particle size of 100 nm" was prepared in the "Method of producing a composite oxide by a zero-gravity high-temperature heat treatment", but its crystallinity (c / a) was as low as 1.005.

본 발명의 일 구현예는 바륨티타닐옥살레이트 합성후 상기 합성된 바륨티타닐옥살레이트 분말 및 적어도 1종의 필러를 가열로에 충전하여 열처리하는 단계를 포함하는 옥살레이트 공정에 의한 티탄산바륨 분말의 제조방법을 제공한다.One embodiment of the present invention relates to a method for producing barium titanyl oxalate, comprising the steps of filling a barium titanyl oxalate powder and at least one kind of filler in a heating furnace after the synthesis of barium titanyl oxalate, And a manufacturing method thereof.

본 발명의 다른 구현예는 상기 제조방법에 의해 제조되어 미립의 균일한 입도분포 및 높은 결정성을 갖는 티탄산바륨 분말을 제공한다.Another embodiment of the present invention provides a barium titanate powder having a fine particle size distribution and a high crystallinity prepared by the above production method.

본 발명의 일 측면은,According to an aspect of the present invention,

염화바륨(BaCl2) 수용액 및 사염화티탄(TiCl4) 수용액을 마련하는 단계(원료 수용액 마련단계);A step of preparing an aqueous solution of barium chloride (BaCl 2 ) and an aqueous solution of titanium tetrachloride (TiCl 4 ) (raw material aqueous solution preparation step);

상기 수용액들을 옥살산(H2C2O4) 수용액에 적가함으로써 바륨티타닐옥살레이트[BaTiO(C2O4)2·4H2O]를 생성하는 단계(BTO 생성단계);To produce barium titanyl oxalate [BaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H 2 O] by dropwise adding the aqueous solutions to an aqueous solution of oxalic acid (H 2 C 2 O 4 ) (BTO production step);

상기 바륨티타닐옥살레이트를 습식분쇄하는 단계(습식분쇄단계);Wet grinding the barium titanyl oxalate (wet grinding step);

상기 습식분쇄된 바륨티타닐옥살레이트를 건조하여 바륨티타닐옥살레이트 분말을 얻는 단계(건조단계); Drying the wet-milled barium titanyl oxalate to obtain barium titanyl oxalate powder (drying step);

상기 바륨티타닐옥살레이트 분말 및 적어도 1종의 필러를 가열로에 충전하는 단계(충전단계); 및Filling the barium titanyl oxalate powder and at least one filler into a heating furnace (charging step); And

상기 가열로에 충전된 바륨티타닐옥살레이트 분말을 열처리하여 티탄산바륨를 생성함과 동시에 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말에 함유된 불순물을 제거하는 단계(BT 생성 및 불순물 제거단계)를 포함하는 티탄산바륨 분말의 제조방법을 제공한다.Barium titanate powder containing barium titanyl oxalate powder charged in the heating furnace to produce barium titanate and removing impurities contained in the barium titanyl oxalate powder (BT production and impurity removal step) Of the present invention.

상기 필러는 다공성의 가스 흡착물질을 포함할 수 있다.The filler may comprise a porous gas adsorbent material.

상기 필러는 제올라이트, 활성탄 및 글래스울 중에서 선택된 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있다.The filler may comprise at least one material selected from zeolite, activated carbon and glass wool.

상기 필러는 입자(particle) 형상, 울(wool) 형상, 와이어(wire) 형상 및 판(plate) 형상 중에서 선택된 적어도 하나의 형상을 가질 수 있다.The filler may have at least one shape selected from a particle shape, a wool shape, a wire shape, and a plate shape.

상기 필러의 충전량은 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말의 충전량 100 부피부에 대하여 200~10,000부피부일 수 있다.The filling amount of the filler may be 200 to 10,000 parts by volume per 100 parts of the charged amount of the barium titanyl oxalate powder.

상기 불순물은 수분 및 탄소 중 적어도 하나의 성분을 포함할 수 있다.The impurities may include at least one of water and carbon.

상기 불순물은 수증기 및 탄산가스 중 적어도 하나의 형태로 제거될 수 있다.The impurities may be removed in the form of at least one of water vapor and carbon dioxide gas.

상기 가열로는 Sagger 또는 Tray일 수 있다.The heating furnace may be a sagger or a tray.

상기 티탄산바륨 분말의 제조방법은 상기 BTO 생성단계와 상기 습식분쇄단계 사이에, 상기 생성된 바륨티타닐옥살레이트를 숙성하는 단계; 상기 숙성된 바륨티타닐옥살레이트를 여과하는 단계; 및 상기 여과된 바륨티타닐옥살레이트를 과량의 물로 세척하는 단계를 더 포함할 수 있다.Wherein the barium titanate powder is produced by aging the barium titanyl oxalate produced between the BTO production step and the wet pulverization step; Filtering the aged barium titanyl oxalate; And washing the filtered barium titanyl oxalate with an excess of water.

상기 습식분쇄단계는 상기 바륨티타닐옥살레이트에 암모니아, 아민, 암모늄 화합물 및 아미노산 중에서 선택된 적어도 1종의 질소함유 첨가제를 첨가함으로써 수행될 수 있다.The wet pulverization step may be performed by adding at least one nitrogen-containing additive selected from ammonia, an amine, an ammonium compound and an amino acid to the barium titanyl oxalate.

상기 티탄산바륨 분말의 제조방법은 상기 BT 생성 및 불순물 제거단계에서 생성된 티탄산바륨를 분쇄하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method for producing barium titanate powder may further include pulverizing barium titanate produced in the BT production step and the impurity removal step.

본 발명의 다른 측면은,According to another aspect of the present invention,

상기 제조방법에 의해 제조된 티탄산바륨 분말을 제공한다.And barium titanate powder prepared by the above production method.

본 발명의 일 구현예에 의하면, 바륨티타닐옥살레이트 합성후 상기 합성된 바륨티타닐옥살레이트 분말 및 적어도 1종의 필러를 가열로에 충전하여 열처리하는 단계를 포함하는 옥살레이트 공정에 의한 티탄산바륨 분말의 제조방법이 제공될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, barium titanyl oxalate powder and at least one kind of filler are synthesized after the synthesis of barium titanyl oxalate, A method for producing a powder can be provided.

본 발명의 다른 구현예에 의하면, 상기 제조방법에 의해 제조되어 미립의 균일한 입도분포 및 높은 결정성을 갖는 티탄산바륨 분말이 제공될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, barium titanate powder having a fine particle size distribution and a high crystallinity can be prepared by the above production method.

이하, 본 발명의 일 구현예에 따른 티탄산바륨 분말의 제조방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, a method for producing barium titanate powder according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

먼저, 염화바륨(BaCl2) 수용액 및 사염화티탄(TiCl4) 수용액을 마련한다(원료 수용액 마련단계). 염화바륨 수용액은 보통 BaCl2·2H2O를 물에 녹여 사용하는데, 그 농도범위는 0.2~2.0 mol/l일 수 있다. 염화바륨 수용액의 농도가 0.2mol/l 미만인 경우에는 염화바륨 수용액의 부피 대비 후술하는 티탄산바륨의 생산성이 낮 으며, 상기 농도가 2.0mol/l를 초과할 경우에는 물에 대한 염화바륨의 용해도 범위를 벗어나 염화바륨이 석출될 가능성이 있다. 사염화티탄 수용액은 보통 고농도의 사염화티탄 용액을 희석하여 사용하는데, 그 농도범위는 0.2~2.0 mol/l일 수 있다. 사염화티탄 수용액의 농도가 0.2mol/l 미만인 경우에는 사염화티탄 수용액의 부피 대비 티탄산바륨의 생산성이 낮으며, 상기 농도가 2.0mol/l를 초과할 경우에는 물에 대한 사염화티탄의 용해도 범위를 벗어나 사염화티탄이 석출될 가능성이 있다.First, an aqueous solution of barium chloride (BaCl 2 ) and an aqueous solution of titanium tetrachloride (TiCl 4 ) are prepared (raw material aqueous solution preparation step). The aqueous barium chloride solution is usually prepared by dissolving BaCl 2 .2H 2 O in water, and its concentration range may be from 0.2 to 2.0 mol / l. When the concentration of barium chloride aqueous solution is less than 0.2 mol / l, the productivity of barium titanate described below is low compared to the volume of barium chloride aqueous solution. When the concentration exceeds 2.0 mol / l, the solubility range of barium chloride There is a possibility that barium chloride will precipitate out. The titanium tetrachloride aqueous solution is usually diluted with a high concentration titanium tetrachloride solution, and its concentration range may be from 0.2 to 2.0 mol / l. When the concentration of the titanium tetrachloride aqueous solution is less than 0.2 mol / l, the productivity of barium titanate is lower than that of the aqueous solution of titanium tetrachloride. When the concentration exceeds 2.0 mol / l, the solubility of titanium tetrachloride There is a possibility of titanium precipitation.

다음에, 상기 염화바륨 수용액 및 사염화티탄 수용액의 혼합 수용액이나 이들 각각의 수용액을 고속분사 노즐을 사용하여 옥살산(H2C2O4) 수용액에 적가함으로써 바륨티타닐옥살레이트[BTO: BaTiO(C2O4)2·4H2O]를 생성시킨다(BTO 생성단계). 이때, 옥살산 수용액은 염화바륨 수용액이나 사염화티탄 수용액 보다 많은 양이 사용될 수 있다. 옥살산 수용액의 농도범위는 0.2~5.0 mol/l일 수 있다. 옥살산 수용액의 농도가 0.2mol/l 미만인 경우에는 옥살산 수용액의 부피 대비 티탄산바륨의 생산성이 낮고, 상기 농도가 5.0mol/l를 초과할 경우에는 물에 대한 옥살산의 용해도 범위를 벗어날 가능성이 있다. 또한 이 경우, 옥살산 수용액의 온도는 20~100℃, 예를 들어 50~90℃로 유지될 수 있다. 염화바륨 수용액과 사염화티탄 수용액이 혼합 용액의 형태로 또는 각각 별도로 옥살산 수용액에 노즐 분사되어 적가되는 시간은 1~3시간일 수 있다. 이러한 적가 시간은 노즐의 분사속도를 조절함으로써 달성될 수 있다. 분사노즐은 유체의 흐름에 따라 일류체 또는 이류체 노즐을 사용할 수 있으며, 일류체 노즐을 사용하는 것이 편리성 면에서나 균일한 침전물을 획득하는 데 있어서 더욱 유리할 수 있다. 일류체 노즐로는 풀콘(full con), 할로우 콘(hollow con), 또는 플랫(flat) 등이 사용될 수 있다. 이와 같이 염화바륨 수용액과 사염화티탄 수용액을 옥살산 수용액에 적가하여 바륨티타닐옥살레이트[BaTiO(C2O4)2·4H2O]를 생성하는 과정은 하기 반응식 1과 같이 표시될 수 있다.Next, barium titanyl oxalate (BTO: BaTiO (C (O)) is added dropwise to the mixed aqueous solution of the aqueous solution of barium chloride and aqueous solution of titanium tetrachloride or each of the aqueous solutions thereof by dropping it in an aqueous solution of oxalic acid (H 2 C 2 O 4 ) 2 O 4 ) 2 .4H 2 O] (BTO production step). At this time, the oxalic acid aqueous solution may be used in a larger amount than the aqueous solution of barium chloride or aqueous solution of titanium tetrachloride. The concentration range of the oxalic acid aqueous solution may be 0.2 to 5.0 mol / l. If the concentration of oxalic acid aqueous solution is less than 0.2 mol / l, the productivity of barium titanate is low relative to the volume of oxalic acid aqueous solution. If the concentration exceeds 5.0 mol / l, the solubility of oxalic acid in water may be out of the range. Also in this case, the temperature of the oxalic acid aqueous solution may be maintained at 20 to 100 ° C, for example, 50 to 90 ° C. The time for which the aqueous solution of barium chloride and the aqueous solution of titanium tetrachloride are injected into the oxalic acid aqueous solution separately in the form of a mixed solution or separately is 1 to 3 hours. This drop time can be achieved by adjusting the injection speed of the nozzle. Injection nozzles can use a first-flow or second-flow nozzle depending on the flow of the fluid, and the use of a first-flow nozzle may be more advantageous in terms of convenience and obtaining uniform sediment. The first nozzle may be a full con, a hollow con, or a flat nozzle. The process of adding barium chloride aqueous solution and aqueous titanium tetrachloride solution to oxalic acid aqueous solution to produce barium titanyl oxalate [BaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H 2 O] can be represented by the following reaction formula 1.

[반응식 1][Reaction Scheme 1]

BaCl2·2H2O + TiOCl2· + 2H2C2O4 2H2O → BaTiO(C2O4)2·4H2O + 4HClBaCl 2 .2H 2 O + TiOCl 2. + 2H 2 C 2 O 4 2H 2 O? BaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H 2 O + 4HCl

다음에, 상기 생성된 바륨티타닐옥살레이트를 숙성하고, 여과한 다음, 물로 세척할 수 있다. 숙성시간은 0.5~2시간 행하는 것이 생산성 측면에서 유리할 수 있다. 여기서, 여과란, 구체적으로 원심분리기를 이용하여 바륨티타닐옥살레이트 함유 슬러리로부터 고상의 바륨티타닐옥살레이트만을 분리해내는 공정을 말한다. 이후, 세척액의 pH가 중성이 될 때까지 과량의 물로 여과된 바륨티타닐옥살레이트를 세척할 수 있다.The resulting barium titanyl oxalate can then be aged, filtered and washed with water. The aging time is preferably 0.5 to 2 hours in terms of productivity. Here, filtration refers to a step of separating only solid phase barium titanyl oxalate from barium titanyl oxalate-containing slurry using a centrifugal separator. The barium titanyl oxalate filtered with excess water can then be washed until the pH of the wash is neutral.

이후, 상기와 같은 과정을 거쳐 얻어진 바륨티타닐옥살레이트를 습식분쇄한다(습식분쇄단계). 여기서, 습식분쇄란 소정의 매질과 함께 바륨티타닐옥살레이트를 비즈밀(beads mill), 볼밀(ball mill) 및 어트리션 밀(attrition mill) 등과 같은 습식분쇄기에 투입하여 분쇄하는 방식을 말한다. 여기서, 매질이란 알코올과 같은 유기매질이나 탈이온수(deionized water)와 같은 물을 의미하는 것으로, 유기매질을 사용하게 되면 분쇄효율이나 입도관리 측면에서는 유리하지만 비용이 증가하는 단점이 있고, 물을 사용하게 되면 공정이 단순해져 비용을 절감할 수 있는 잇점 이 있다. 상기 매질로서 물을 사용하는 경우, 이의 사용량은 바륨티타닐옥살레이트 1중량부에 대하여 1~10 중량부일 수 있다. 상기 물의 사용량이 1 중량부 미만인 경우에는 점도 증가로 인해 분쇄가 불가능하고, 상기 사용량이 10 중량부를 초과할 경우에는 물의 부피 대비 바륨티타닐옥살레이트의 생산성이 낮다. 분쇄시간은 분쇄설비에 따라 분쇄력의 차이가 발생하여 적절히 제어될 필요가 있으며, 비즈밀을 사용하는 경우 10~300분일 수 있다. 이와 같이 분쇄시간을 조절함으로써 최종 제품인 티탄산바륨 분말의 입도를 적절하게 조절할 수 있다. 이러한 습식분쇄 과정 중에 질소함유 첨가제를 추가할 수 있는데, 이로써 분쇄 전후의 혼합물의 산성화, 분쇄 후의 슬러리의 고점도화, 생성된 바륨티타닐옥살레이트 내의 염소이온 존재로 인한 분말의 유전특성 감소 문제를 해결할 수 있다. 여기서, 질소함유 첨가제로는 아민, 암모니아, 암모늄 화합물, 아미노산 및 이들 중 2 이상의 혼합물이 사용될 수 있으며, 상기 암모늄 화합물로는 수산화암모늄, 탄산암모늄, 초산암모늄, 인산암모늄, 옥살산암모늄, 중탄산암모늄, 트리메틸암모늄히드록사이드 및 이들 중 2 이상의 혼합물 등이 사용될 수 있고, 상기 아미노산으로는 아르기닌, 라이신 및 이들의 혼합물 등이 사용될 수 있다. 이러한 질소함유 첨가제의 함량은 바륨티타닐옥살레이트의 100몰부에 대하여 0.5~20몰부일 수 있다. 상기 함량이 0.5몰부 미만인 경우에는 분쇄후 슬러리의 산성화 및 고점도화 등의 현상이 나타나며, 20몰부를 초과할 경우에는 바륨티타닐옥살레이트 결정으로부터 티타늄 성분이 빠져나가 바륨/티타늄 몰비가 불균형해지는 문제가 발생한다.Thereafter, barium titanyl oxalate obtained through the above process is wet pulverized (wet pulverization step). Here, wet grinding refers to a method of pulverizing barium titanyl oxalate together with a predetermined medium into a wet pulverizer such as a beads mill, a ball mill, and an attrition mill. Here, the medium means water such as organic medium such as alcohol and deionized water. If organic medium is used, it is advantageous from the viewpoint of grinding efficiency and particle size control, but there is a disadvantage that cost is increased. This has the advantage of simplifying the process and reducing costs. When water is used as the medium, the amount thereof may be 1 to 10 parts by weight based on 1 part by weight of barium titanyl oxalate. When the amount of the water used is less than 1 part by weight, the powder can not be pulverized due to viscosity increase. When the amount is more than 10 parts by weight, the productivity of barium titanyl oxalate to the volume of water is low. The milling time needs to be appropriately controlled by the difference in milling power depending on the milling equipment, and it may be 10 to 300 minutes when using the bead mill. By controlling the milling time in this way, the particle size of the final product, barium titanate powder, can be appropriately controlled. It is possible to add a nitrogen-containing additive during the wet milling process, thereby solving the problem of acidification of the mixture before and after the milling, high viscosity of the slurry after milling, and reduction of the dielectric property of the powder due to the presence of chloride ion in the barium titanyl oxalate produced . Examples of the nitrogen-containing additive include amines, ammonia, ammonium compounds, amino acids, and mixtures of two or more thereof. Examples of the ammonium compounds include ammonium hydroxide, ammonium carbonate, ammonium acetate, ammonium phosphate, ammonium oxalate, ammonium bicarbonate, Ammonium hydroxide, a mixture of two or more thereof, and the like, and examples of the amino acids include arginine, lysine, and mixtures thereof. The content of such a nitrogen-containing additive may be 0.5 to 20 moles per 100 moles of barium titanyl oxalate. When the content is less than 0.5 molar parts, a phenomenon such as acidification and high viscosity of the slurry after grinding appears. When the amount exceeds 20 molar parts, the titanium component escapes from the barium titanyl oxalate crystal and the barium / titanium molar ratio becomes unbalanced Occurs.

다음에, 습식분쇄된 바륨티타닐옥살레이트를 400℃ 이하의 온도에서 건조하 여 사용된 매질을 제거한다(건조단계). 결과로서, 건조된 바륨티타닐옥살레이트 분말을 얻는다. 이 경우, 사용된 매질을 증발시켜 제거하기 위해, 상기 건조 온도가 상기 매질의 끓는점 이상이 되어야 함은 당연하다.Next, the wet milled barium titanyl oxalate is dried at a temperature of 400 DEG C or lower to remove the used medium (drying step). As a result, a dried barium titanyl oxalate powder is obtained. In this case, it is natural that the drying temperature should be equal to or higher than the boiling point of the medium in order to evaporate and remove the used medium.

이어서, 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말 및 적어도 1종의 필러를 가열로에 충전한다(충전단계). 상기 필러는 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말의 분산성을 증가시키고 충전밀도를 감소시켜 후술하는 BT 생성 및 불순물 제거단계에서 가열로에 충전된 필러 및/또는 분말 입자들 사이의 빈틈으로의 공기 소통 및 상기 필러 및/또는 입자들 간의 열 전달을 원활하게 하여 균일한 가열 및 생성된 가스의 원활한 배출을 촉진하는 역할을 수행한다. 상기 필러는 다공성의 가스 흡착물질을 포함할 수 있는데, 이 경우 상기 필러는 후술하는 BT 생성 및 불순물 제거단계에서 생성된 가스를 흡착하여 제거하는 역할을 추가로 수행할 수 있다. 또한, 상기 필러는 제올라이트, 활성탄 및/또는 글래스울을 포함할 수 있으며, 입자(particle) 형상, 울(wool) 형상, 와이어(wire) 형상 및/또는 판(plate) 형상을 가질 수 있다. 상기 필러가 입자 형상인 경우에는 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말은 상기 가열로에 충전되기 전 또는 후에 상기 필러와 혼합되고, 상기 필러가 입자 형상이 아닌 다른 형상인 경우에는 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말은 상기 필러의 내부 및/또는 외부에 분산된다. 상기 필러의 충전량은 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말의 충전량 100 부피부에 대하여 200~10,000부피부, 예를 들어 500~2,000부피부일 수 있다. 상기 필러의 충전량이 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말의 충전량 100 부피부에 대하여 200부피부 미만이면 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말의 충전밀도가 높아져서 바 람직하지 않고, 10,000부피부를 초과하는 경우에는 생산성 측면에서 경제적이지 못하다. Next, the barium titanyl oxalate powder and at least one kind of filler are charged into a heating furnace (charging step). The filler can increase the dispersibility of the barium titanyl oxalate powder and reduce the packing density, thereby enabling air communication to the gaps between the filler and / or powder particles filled in the heating furnace in the BT production and impurity removal steps to be described later, and Facilitates heat transfer between the filler and / or particles to promote uniform heating and smooth discharge of generated gas. The filler may include a porous gas adsorbing material. In this case, the filler may further perform a function of adsorbing and removing the gas generated in the BT generation and the impurity removal step described later. In addition, the filler may include zeolite, activated carbon, and / or glass wool, and may have a particle shape, a wool shape, a wire shape, and / or a plate shape. When the filler is in the form of particles, the barium titanyl oxalate powder is mixed with the filler before or after being filled in the heating furnace, and when the filler has a shape other than a particle shape, the barium titanyl oxalate powder Are dispersed inside and / or outside the filler. The filling amount of the filler may be 200 to 10,000 parts by volume, for example, 500 to 2,000 parts by volume, for 100 parts by volume of the barium titanyl oxalate powder. If the filling amount of the barium titanyl oxalate powder is less than 200 parts by volume with respect to 100 parts by volume of the filling amount of the barium titanyl oxalate powder, the filling density of the barium titanyl oxalate powder becomes high, It is not economical from the side.

다음에, 상기 가열로에 충전된 바륨티타닐옥살레이트 분말을 열처리하여 티탄산바륨를 생성함과 동시에 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말에 함유된 불순물을 분리하여 제거한다(BT 생성 및 불순물 제거단계). 상기 불순물은 수분 및/또는 탄소를 포함할 수 있다. 이러한 불순물은 열처리시 수증기 및/또는 탄산가스의 형태로 제거될 수 있다. 이 단계에서는 전술한 바와 같이 가열로에 필러가 충전됨으로써 바륨티타닐옥살레이트 분말이 상기 가열로내에 골고루 분산되고 충전밀도가 낮아져 상기 분말 입자들 각각에 열이 골고루 전달되며, 열처리 중 생성된 가스들(수증기, 탄산가스 등)이 원활하게 배출되어 티탄산바륨의 핵생성 온도가 낮아지게 되어 입도가 작아지며, 티탄산바륨의 입성장이 고르게 일어나 결정화도가 높고 입도분포가 균일해진다. 더욱이, 상기 필러가 다공성의 가스 흡착물질을 포함하는 경우에는 열처리 중 생성된 가스가 상기 필러에 흡착되어 제거됨으로써 티탄산바륨의 고른 핵생성 및 입성장이 이루어지고 결정화도가 증가하게 된다. 만약, 열처리 중에 발생하는 수분이나 가스가 가열로 내에 잔류하게 되면 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말에 잔류하는 수분의 추가 증발이나 탄소 성분의 추가 분리가 억제되므로, 생성된 수분 및 가스를 가능한 한 빠른 속도로 다량 제거할 필요가 있다. 상기 열처리 온도는 800~1,000℃일 수 있다. 상기 열처리 온도가 800℃ 미만인 경우에는 티탄산바륨이 거의 생성되지 않아 바람직하지 않으며, 1000℃를 초과하는 경우에는 생성되는 티탄산바륨 미분말의 입자 크기가 지나치게 커져서 바람직하지 않다. 상 기 건조온도에서부터 상기 열처리 온도로의 승온속도는 0.5~10℃/min, 예를 들어 1~5℃/min일 수 있다. 상기 승온속도가 0.5℃/min 미만인 경우에는 티탄산바륨의 생산성이 저하되어 바람직하지 않고, 10℃/min를 초과할 경우에는 온도분포가 균일하지 않아 티탄산바륨 미분말의 입도가 불균일해져서 바람직하지 않다. 이와 같이 열처리를 행함으로써, 바륨티타닐옥살레이트 결정의 내부에 결정수로 존재하는 수분과 과량의 탄산가스를 제거하여 하기 반응식 2 내지 4와 같은 과정을 거쳐 수십~수백nm 크기의 티탄산바륨 분말을 얻는다. Next, barium titanyl oxalate powder charged in the heating furnace is heat-treated to produce barium titanate, and impurities contained in the barium titanyl oxalate powder are separated and removed (BT formation and impurity removal step). The impurities may comprise moisture and / or carbon. These impurities can be removed in the form of steam and / or carbon dioxide gas during heat treatment. In this step, the filler is filled in the heating furnace as described above, so that the barium titanyl oxalate powder is uniformly dispersed in the heating furnace and the packing density is lowered, so that heat is uniformly transferred to each of the powder particles, (Water vapor, carbon dioxide gas, etc.) is smoothly discharged, the nucleation temperature of barium titanate is lowered, and the particle size becomes smaller. The grain boundary of barium titanate is uniformly formed, the crystallinity is high and the particle size distribution becomes uniform. Further, when the filler includes a porous gas-absorbing material, the gas generated during the heat treatment is adsorbed on the filler to be removed, so that uniform nucleation and grain growth of barium titanate are achieved and crystallinity is increased. If moisture or gas generated during the heat treatment remains in the heating furnace, further evaporation of moisture remaining in the barium titanyl oxalate powder or further separation of carbon components is suppressed, As shown in FIG. The heat treatment temperature may be 800 to 1,000 ° C. When the heat treatment temperature is lower than 800 ° C, barium titanate is hardly produced, which is undesirable. When the heat treatment temperature is higher than 1000 ° C, the resulting barium titanate powder becomes too large in particle size. The heating rate from the drying temperature to the heat treatment temperature may be 0.5 to 10 ° C / min, for example, 1 to 5 ° C / min. If the rate of temperature rise is less than 0.5 占 폚 / min, the productivity of barium titanate is lowered. If the heating rate is more than 10 占 폚 / min, the temperature distribution is not uniform and the barium titanate fine powder becomes uneven in particle size. By performing the heat treatment in this way, water and excess carbonic acid present as crystal water are removed in the barium titanyl oxalate crystal, and barium titanate powder of several tens to several hundreds of nanometers in size is obtained through the process of the following Reaction Schemes 2 to 4 .

[반응식 2][Reaction Scheme 2]

BaTiO(C2O4)2·4H2O → BaTiO(C2O4)2 + 4H2OBaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H 2 O? BaTiO (C 2 O 4 ) 2 + 4H 2 O

[반응식 3][Reaction Scheme 3]

BaTiO(C2O4)2 + 1/2 O2 → BaCO3 + TiO2 + 2CO2 BaTiO (C 2 O 4 ) 2 + 1/2 O 2 - > BaCO 3 + TiO 2 + 2CO 2

[반응식 4][Reaction Scheme 4]

BaCO3 + TiO2 → BaTiO3 BaCO 3 + TiO 2 - > BaTiO 3

상기 건조된 바륨티타닐옥살레이트 분말의 열처리를 위해 가열로로서 Sagger 또는 Tray를 사용할 수 있다. 여기서, Sagger란 내화토(耐火土) 용기를 의미한다. 상기 Sagger는, 예를 들어 정사각형 형태의 밑면을 갖는 육면체 형상의 용기일 수 있다. Sagger or Tray may be used as a heating furnace for the heat treatment of the dried barium titanyl oxalate powder. Here, Sagger refers to refractory earth containers. The sagger may be, for example, a hexagonal container having a square bottom surface.

이후, 상기 열처리 과정(즉, BT 생성 및 불순물 제거단계)을 통해 생성된 티탄산바륨를 분쇄할 수 있으나, 이러한 분쇄단계는 생략될 수도 있다. 상기 분쇄 는, 소정의 매질과 함께 비즈밀(beads mill), 어트리션밀(Atrition mill), 및 볼밀(ball mill)과 같은 분쇄기를 사용하는 습식분쇄와, 젯밀(jet mill) 및 디스크밀(Disk mill)과 같이 매질을 사용하지 않은 상태에서 원료간의 충돌이나 분쇄기와의 마찰력을 이용하는 건식분쇄를 포함할 수 있다. 상기 분쇄단계는 티탄산바륨 분말의 입자간 응집을 해소하기 위한 것으로, 습식분쇄를 행한 후에는 건조과정이 추가로 필요하지만 건조를 위해 특별히 한정된 설비를 사용해야 하는 것은 아니다. 상기 분쇄단계에서 분쇄효율이 지나치게 높은 설비를 사용할 경우, 입자의 파괴가 유발되어 미분이 다량으로 발생하게 되고, 이로 인해 오히려 입도분포와 결정성이 저하될 가능성이 있으므로 가능한한 분쇄 강도를 낮춰서 입자 자체의 파괴없이 입자간의 결합(necking)만을 끊어주는 것이 바람직하다. Thereafter, the barium titanate produced through the heat treatment process (that is, the BT production and the impurity removal step) may be pulverized, but such a pulverization step may be omitted. The pulverization may be carried out by wet pulverization using a pulverizer such as a beads mill, an atrition mill, and a ball mill together with a predetermined medium, a jet mill and a disk mill Disk mill or the like may be used for the pulverization between the raw materials without using the medium or the dry grinding using the frictional force with the grinder. The pulverization step is intended to solve the intergranular agglomeration of the barium titanate powder. After the wet pulverization, a drying process is additionally required, but it is not necessary to use facilities specially limited for drying. In the case of using an apparatus having an excessively high grinding efficiency in the grinding step, the grinding strength is lowered as much as possible to reduce the grain size distribution and crystallinity, It is preferable to cut only the necking between the particles without destroying the particles.

이하, 바람직한 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세히 설명하지만, 본 발명이 이에 의해 제한되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited thereto.

실시예Example

실시예 1~8Examples 1 to 8

(바륨티타닐옥살레이트 생성 및 숙성)(Formation and aging of barium titanyl oxalate)

1mol/ℓ 농도의 염화바륨 수용액 1320ℓ와 1mol/ℓ 농도의 사염화티탄 수용액 1200ℓ를 4M3 글래스-라인(Glass-lined) 반응조에서 잘 섞어서 혼합 수용액을 만들었다. 이후, 상기 혼합 수용액을 6M3 반응기에 충진된, 미리 만들어둔 1mol/ℓ 농도의 옥살산 수용액 2520ℓ에 풀콘(full con) 타입의 노즐을 이용하여 2.5ℓ/min의 속도로 분사하였다. 노즐 분사시 상기 혼합 수용액의 공급을 위해 다이아프램 펌프를 사용하였다. 이때, 옥살산 용액을 교반기로 교반하면서 분사하였으며, 교반기의 교반속도는 150rpm으로 유지하였고, 옥살산 용액의 온도는 90℃로 유지하였다.1320 L of a 1 mol / L aqueous solution of barium chloride and 1200 L of a 1 M / L aqueous solution of titanium tetrachloride were mixed well in a 4M 3 glass-lined reaction tank to prepare a mixed aqueous solution. Thereafter, the mixed aqueous solution was injected at a rate of 2.5 L / min using a full cone type nozzle into 2520 L of a previously prepared 1 mol / l oxalic acid aqueous solution filled in a 6 M 3 reactor. A diaphragm pump was used to supply the mixed aqueous solution during nozzle injection. At this time, the oxalic acid solution was sprayed while stirring with a stirrer, the stirring speed of the stirrer was maintained at 150 rpm, and the temperature of the oxalic acid solution was maintained at 90 ° C.

2시간 동안 상기 혼합 수용액을 적가후 1시간 동안 반응온도를 유지한 다음, 교반을 유지한 채로 공냉시켜 1시간 동안 숙성시켰다. 결과로서, 바륨티타닐옥살레이트를 함유하는 슬러리를 얻었다. After the dropwise addition of the mixed aqueous solution for 2 hours, the reaction temperature was maintained for 1 hour, and the mixture was air-cooled while stirring and aged for 1 hour. As a result, a slurry containing barium titanyl oxalate was obtained.

(생성된 바륨티타닐옥살레이트 슬러리의 여과 및 세척)(Filtration and washing of the resulting barium titanyl oxalate slurry)

상기에서 제조된 바륨티타닐옥살레이트 슬러리를 원심분리기로 여과하고 과량의 물로 세척액의 pH가 6 이상이 되도록 세척하여 바륨티타닐옥살레이트를 얻었다.The barium titanyl oxalate slurry prepared above was filtered with a centrifuge and washed with excessive water to a pH of the washing solution of 6 or more to obtain barium titanyl oxalate.

(생성된 바륨티타닐옥살레이트의 습식분쇄 및 건조)(Wet grinding and drying of the resulting barium titanyl oxalate)

상기 바륨티타닐옥살레이트 50kg, 탈이온수 250kg 및 29부피% 암모니아수 0.5kg(바륨티타닐옥살레이트 100몰부 대비 8.4 몰부)을 혼합조에 투입하고 교반하여 슬러리를 생성하였다. 이때, 슬러리의 pH는 9.3이었다. 이후, 20ℓ의 수평식 비즈밀로 최대 입경이 5㎛ 이하가 되도록 상기 바륨티타닐옥살레이트를 습식분쇄하였다. 분쇄 후, 슬러리의 pH는 5.1, 점도는 1800cP이었다. 이렇게 얻어진 바륨티타닐옥살레이트 슬러리를 오븐안에서 200℃의 온도로 12시간 동안 건조한 후 염소 이온 함량을 측정하였다. 측정 결과, 상기 염소 이온 함량은 200ppm이었다. 50 kg of barium titanyl oxalate, 250 kg of deionized water and 0.5 kg of 29 vol.% Ammonia water (8.4 molar parts relative to 100 molar parts of barium titanyl oxalate) were added to a mixing vessel and stirred to produce a slurry. At this time, the pH of the slurry was 9.3. Thereafter, the barium titanyl oxalate was wet pulverized so as to have a maximum particle diameter of 5 탆 or less with a 20-liter horizontal bead mill. After milling, the slurry had a pH of 5.1 and a viscosity of 1800 cP. The thus obtained barium titanyl oxalate slurry was dried in an oven at a temperature of 200 ° C for 12 hours, and the chlorine ion content thereof was measured. As a result of the measurement, the chlorine ion content was 200 ppm.

(열처리)(Heat treatment)

건조된 바륨티타닐옥살레이트 100부피부(10g)와 하기 표 1에 나타낸 것과 같은 필러 667부피부(20g)를 1L Sagger에 함께 충전하여 820~890℃의 온도범위에서 각 실시예별로 온도 및 선택적으로 필러의 종류를 변경시켜가면서 열처리를 실시하였다. 결과로서, 티탄산바륨을 얻었다. 상기 열처리시 채택한 온도와 함께, 제조된 티탄산바륨의 결정화도(c/a), 평균입경 및 입도분포(D10/D50, D50/D90)를 측정하여 하기 표 1에 나타내었다.100 g of dried barium titanyl oxalate and 10 g of skin (20 g) of filler 667 parts as shown in the following Table 1 were charged together in a 1 L Sagger, and the temperature and selective The heat treatment was carried out while changing the type of the filler. As a result, barium titanate was obtained. The crystallization degree (c / a), the average particle size and the particle size distribution (D 10 / D 50 , D 50 / D 90 ) of barium titanate were measured with the temperature employed in the heat treatment.

상기 결정화도(c/a)는 XRD(Rigaku사의 D/Max 2000 series)를 이용하여 40kV, 200mA에서 2sec/step의 속도와 0.02의 step size의 조건으로, 2Θ = 44~46.5°를 측정하여 결정 격자의 a축과 c축의 d-spacing 값을 구한 후 이들의 비로써 티탄산바륨의 결정성을 평가한 지표이다. 또한, 상기 평균입경, 및 입도분포의 지표인 D10/D50와 D50/D90는 Jeol사의 JSM-7400F를 이용하여 주사전자현미경(SEM) 사진을 50,000배로 촬영한 후 이미지 분석 프로그램(이미지프로 플러스 ver 4.5)을 이용하여 티탄산바륨 입자의 장축과 단축의 평균으로 티탄산바륨 입자의 크기를 계산하였으며, 측정한 티탄산바륨 입자의 개수는 800개 이상이었다. 여기서, D10/D50 및 D50/D90이 클수록 입도분포가 좋다고 할 수 있다. 여기서, D10, D50, D90은 측정한 입자를 입경이 작은 것부터 큰 것 순으로 나열할 때 입자의 전체 개수 중 각각 10%, 50%, 90%의 순위에 해당하는 입자의 입경을 의미한다.The crystallinity (c / a) was determined by measuring XRD (D / Max 2000 series by Rigaku) at 40 kV, 200 mA at a rate of 2 sec / step and 0.02 step size, And the d-spacing values of the a-axis and the c-axis of the barium titanate were measured. D 10 / D 50 and D 50 / D 90, which are the indexes of the average particle size and the particle size distribution, were measured by scanning electron microscope (SEM) photographs using a JSM-7400F manufactured by Jeol Co., Pro Plus ver 4.5) was used to calculate the size of the barium titanate particles on the average of the major axis and the minor axis of the barium titanate particles. The number of barium titanate particles measured was 800 or more. Here, the larger the D 10 / D 50 and the D 50 / D 90 , the better the particle size distribution. Here, D 10, D 50, and D 90 represent the particle diameters of particles corresponding to the order of 10%, 50%, and 90% of the total number of particles when the measured particles are arranged in the order of small particle size to large particle size. do.

비교예 1~3Comparative Examples 1 to 3

Sagger에 필러를 전혀 충전하지 않은 것을 제외하고는, 상기 실시예 1~3과 동일한 방법으로 티탄산바륨를 제조하고, 제조된 티탄산바륨의 결정화도(c/a), 평 균입경 및 입도분포(D10/D50, D50/D90)를 측정하여 하기 표 1에 나타내었다. 비교예 1~3의 각 경우에, 건조된 바륨티타닐옥살레이트의 충전량은 실시예 1~3의 경우와 동일하게 10g이었다.Barium titanate was prepared in the same manner as in Examples 1 to 3 except that no filler was filled in the sagger, and the crystallinity (c / a), the average particle diameter and the particle size distribution (D 10 / D 50 , and D 50 / D 90 ) were measured and are shown in Table 1 below. In each of the cases of Comparative Examples 1 to 3, the charged amount of barium titanyl oxalate dried was 10 g in the same manner as in Examples 1 to 3.

Figure 112009026127898-pat00001
Figure 112009026127898-pat00001

주 1) 입경: 2~3.5㎛, 겉보기 밀도: 0.25g/cm3 이상, 판상.Note 1) Particle size: 2 to 3.5 μm, apparent density: 0.25 g / cm 3 or more, plate shape.

2) 입경: 2~9㎛, 겉보기 밀도: 0.001~0.003g/cm3, 와이어 형상.2) Particle diameter: 2 to 9 탆; apparent density: 0.001 to 0.003 g / cm 3 ;

3) 비표면적: 1200m2/g 이상, 겉보기 밀도: 0.45~0.5g/cm3, 판상.3) Specific surface area: 1200 m 2 / g or more, apparent density: 0.45 to 0.5 g / cm 3 , plate shape.

상기 표 1에서, c/a 값이 "-"인 것은 XRD 분석시 정방정상(tetragonal phase)이 아닌 입방정상(cubic phase)으로 관찰되어 값을 측정할 수 없는 경우이다.In Table 1, the c / a value is "- " when XRD analysis is not a tetragonal phase but is observed as a cubic phase and can not be measured.

상기 표 1을 참조하면, 실시예 1~3 및 실시예 4~8의 티탄산바륨은 비교예 2~3의 티탄산바륨과 비교할 때, 보다 낮은 열처리 온도에서 결정화되었을 뿐만 아니라, 이처럼 상대적으로 낮은 열처리 온도에서 결정화되었음에도 대체적으로 높은 결정화도, 작은 평균입경 및 균일한 입도분포를 갖는 것으로 나타났다. Referring to Table 1 above, barium titanate of Examples 1 to 3 and Examples 4 to 8 was crystallized at a lower heat treatment temperature as compared with the barium titanate of Comparative Examples 2 to 3, as well as at such a relatively low heat treatment temperature , It was found that they have generally high crystallinity, small average particle size and uniform particle size distribution.

본 발명은 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다. While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

Claims (12)

염화바륨(BaCl2) 수용액 및 사염화티탄(TiCl4) 수용액을 마련하는 단계(원료 수용액 마련단계);A step of preparing an aqueous solution of barium chloride (BaCl 2 ) and an aqueous solution of titanium tetrachloride (TiCl 4 ) (raw material aqueous solution preparation step); 상기 수용액들을 옥살산(H2C2O4) 수용액에 적가함으로써 바륨티타닐옥살레이트[BaTiO(C2O4)2·4H2O]를 생성하는 단계(BTO 생성단계);To produce barium titanyl oxalate [BaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H 2 O] by dropwise adding the aqueous solutions to an aqueous solution of oxalic acid (H 2 C 2 O 4 ) (BTO production step); 상기 바륨티타닐옥살레이트를 습식분쇄하는 단계(습식분쇄단계);Wet grinding the barium titanyl oxalate (wet grinding step); 상기 습식분쇄된 바륨티타닐옥살레이트를 건조하여 바륨티타닐옥살레이트 분말을 얻는 단계(건조단계); Drying the wet-milled barium titanyl oxalate to obtain barium titanyl oxalate powder (drying step); 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말 및 적어도 1종의 필러를 가열로에 충전하는 단계(충전단계); 및Filling the barium titanyl oxalate powder and at least one filler into a heating furnace (charging step); And 상기 가열로에 충전된 바륨티타닐옥살레이트 분말을 열처리하여 티탄산바륨를 생성함과 동시에 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말에 함유된 불순물을 제거하는 단계(BT 생성 및 불순물 제거단계)를 포함하는 티탄산바륨 분말의 제조방법.Barium titanate powder containing barium titanyl oxalate powder charged in the heating furnace to produce barium titanate and removing impurities contained in the barium titanyl oxalate powder (BT production and impurity removal step) ≪ / RTI > 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 필러는 다공성의 가스 흡착물질을 포함하는 티탄산바륨 분말의 제조방법.Wherein the filler comprises a porous gas adsorbent material. 제2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 필러는 제올라이트, 활성탄 및 글래스울 중에서 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 티탄산바륨 분말의 제조방법. Wherein the filler comprises at least one material selected from zeolite, activated carbon and glass wool. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 필러는 입자(particle) 형상, 울(wool) 형상, 와이어(wire) 형상 및 판(plate) 형상 중에서 선택된 적어도 하나의 형상을 갖는 티탄산바륨 분말의 제조방법.Wherein the filler has at least one shape selected from a particle shape, a wool shape, a wire shape, and a plate shape. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 필러의 충전량은 상기 바륨티타닐옥살레이트 분말의 충전량 100 부피부에 대하여 200~10,000부피부인 티탄산바륨 분말의 제조방법. Wherein the filled amount of the filler is 200 to 10,000 parts by volume per 100 parts of skin charged with the barium titanyl oxalate powder. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 불순물은 수분 및 탄소 중 적어도 하나의 성분을 포함하는 티탄산바륨 분말의 제조방법.Wherein the impurity comprises at least one of water and carbon. 제6항에 있어서,The method according to claim 6, 상기 불순물은 수증기 및 탄산가스 중 적어도 하나의 형태로 제거되는 티탄산바륨 분말의 제조방법.Wherein the impurities are removed in the form of at least one of water vapor and carbon dioxide gas. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 가열로는 Sagger 또는 Tray인 티탄산바륨 분말의 제조방법.Wherein the heating furnace is a sagger or a tray. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 BTO 생성단계와 상기 습식분쇄단계 사이에,Between the BTO generation step and the wet grinding step, 상기 생성된 바륨티타닐옥살레이트를 숙성하는 단계; Aging the resulting barium titanyl oxalate; 상기 숙성된 바륨티타닐옥살레이트를 여과하는 단계; 및 Filtering the aged barium titanyl oxalate; And 상기 여과된 바륨티타닐옥살레이트를 과량의 물로 세척하는 단계를 더 포함하는 티탄산바륨 분말의 제조방법.And washing the filtered barium titanyl oxalate with an excess of water. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 습식분쇄단계는 상기 바륨티타닐옥살레이트에 암모니아, 아민, 암모늄 화합물 및 아미노산 중에서 선택된 적어도 1종의 질소함유 첨가제를 첨가함으로써 수행되는 티탄산바륨 분말의 제조방법.Wherein the wet pulverization step is performed by adding at least one nitrogen-containing additive selected from ammonia, an amine, an ammonium compound and an amino acid to the barium titanyl oxalate. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 BT 생성 및 불순물 제거단계에서 생성된 티탄산바륨를 분쇄하는 단계를 더 포함하는 티탄산바륨 분말의 제조방법.And b) grinding the barium titanate produced in the BT production and the impurity removal step. 삭제delete
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