KR20150055555A

KR20150055555A - 진공 펌프 및 그 운전 방법

Info

Publication number: KR20150055555A
Application number: KR1020140152866A
Authority: KR
Inventors: 고이치 이와사키
Original assignee: 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
Priority date: 2013-11-13
Filing date: 2014-11-05
Publication date: 2015-05-21
Also published as: CN104632599B; CN104632599A; KR102175619B1

Abstract

본 발명은 에러의 발생에 기인하는 운전 정지의 빈도를 적게 할 수 있는 진공 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 진공 펌프는, 기체를 배기하는 펌프 모듈(1)과, 펌프 모듈(1)을 구동하는 모터(2)와, 모터(2)에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치(5)와, 인버터 장치(5)를 제어하는 제어 장치(7)를 구비한다. 인버터 장치(5)는, 과전압 또는 과전류에 기인하는 에러가 발생한 경우에는, 자신의 운전을 정지하고, 제어 장치(7)는, 에러의 발생이 소정의 조건을 만족시키고 있으면, 인버터 장치(5)를 재시동시킨다.

Description

진공 펌프 및 그 운전 방법{VACUUM PUMP AND OPERATION METHOD OF THE VACUUM PUMP}

본 발명은 진공 챔버 등의 밀폐 용기로부터 기체를 흡인하는 진공 펌프에 관한 것으로, 특히 과전압 및/또는 과전류에 기인하는 고장을 회피하기 위한 보호 기능을 구비한 인버터 장치를 갖는 진공 펌프에 관한 것이다.

드라이 진공 펌프는, 반도체 디바이스의 제조 설비로서 널리 사용되고 있다. 반도체 디바이스의 제조 과정에는 진공 공간 중에서 제품의 처리를 행하는 공정이 있으며, 상기 진공 공간을 형성하기 위해서 드라이 진공 펌프가 이용되고 있다.

드라이 진공 펌프는, 원하는 토크를 출력하거나, 에너지 절약이나 진공 공간의 압력을 제어하기 위해서 운전 속도를 변화시키는 것을 목적으로 하여, 인버터 장치로 모터 제어를 행하는 것이 일반적으로 되어 있다. 인버터 장치는, 과전압 및/또는 과전류 등의 에러에 기인하는 고장을 회피하기 위해서, 자신을 보호하는 보호 기능을 구비하는 것이 있다. 이러한 타입의 인버터 장치는, 에러를 검출하면, 보호 기능이 작동하여 그 운전을 정지하도록 구성된다.

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2010-127107호 공보 [특허문헌 2] 일본 특허 공개 제2011-89428호 공보

그러나, 반도체 디바이스의 생산 중에 드라이 진공 펌프가 돌연히 운전을 정지하면, 진공 공간 내의 압력이 상승하여, 생산 중인 제품(반도체 디바이스)에 손상을 주어, 불량품을 발생시켜 버린다.

그래서, 본 발명은, 에러의 발생에 기인하는 운전 정지의 빈도를 적게 할 수 있는 진공 펌프 및 그 운전 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

전술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 제1 양태는, 기체를 배기하는 펌프 모듈과, 상기 펌프 모듈을 구동하는 모터와, 상기 모터에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치와, 상기 인버터 장치를 제어하는 제어 장치를 구비하고, 상기 인버터 장치는, 과전압 또는 과전류에 기인하는 에러가 발생한 경우에는, 자신의 운전을 정지하며, 상기 제어 장치는, 상기 에러의 발생이 소정의 조건을 만족시키고 있으면, 상기 인버터 장치를 재시동시키는 것을 특징으로 하는 진공 펌프이다.

본 발명의 제2 양태는, 기체를 배기하는 펌프 모듈과, 상기 펌프 모듈을 구동하는 모터와, 상기 모터에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치와, 상기 인버터 장치를 제어하는 제어 장치를 구비하고, 상기 인버터 장치는, 과전압 또는 과전류에 기인하는 에러가 발생한 경우에는, 자신의 운전을 정지하며, 상기 제어 장치는, 미리 정해진 기간 내에 발생한 에러를 해제하기 위한 에러 해제 신호를 상기 인버터 장치에 송신하고, 상기 인버터 장치는, 상기 에러 해제 신호를 받으면, 상기 미리 정해진 기간 내에 상기 에러가 발생한 경우에는 자신의 운전을 정지시키지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프이다.

본 발명의 제3 양태는, 기체를 배기하는 펌프 모듈과, 상기 펌프 모듈을 구동하는 모터와, 상기 모터에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치와, 상기 인버터 장치를 제어하는 제어 장치를 구비하며, 상기 인버터 장치는, 에러가 발생한 경우에는, 자신의 운전을 정지하고, 상기 제어 장치는, 상기 인버터 장치의 운전이 정지한 후에 상기 인버터 장치를 재시동시키며, 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수가 소정의 임계값에 도달한 경우에는, 상기 인버터 장치를 재시동시키지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프이다.

본 발명의 제4 양태는, 기체를 배기하는 펌프 모듈과, 상기 펌프 모듈을 구동하는 모터와, 상기 모터에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치와, 상기 인버터 장치를 제어하는 제어 장치를 구비한 진공 펌프의 운전 방법으로서, 과전압 또는 과전류에 기인하는 에러가 발생한 경우에는, 상기 인버터 장치의 운전을 정지시키고, 상기 에러의 발생이 소정의 조건을 만족시키고 있으면, 상기 인버터 장치를 재시동시키는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법이다.

본 발명의 제5 양태는, 기체를 배기하는 펌프 모듈과, 상기 펌프 모듈을 구동하는 모터와, 상기 모터에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치와, 상기 인버터 장치를 제어하는 제어 장치를 구비한 진공 펌프의 운전 방법으로서, 과전압 또는 과전류에 기인하는 에러가 발생한 경우에는, 상기 인버터 장치의 운전을 정지시키고, 미리 정해진 기간 내에 발생한 에러를 해제하기 위한 에러 해제 신호를 상기 인버터 장치에 송신하며, 상기 미리 정해진 기간 내에 상기 에러가 발생한 경우에는 상기 인버터 장치의 운전을 정지시키지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법이다.

본 발명의 제6 양태는, 기체를 배기하는 펌프 모듈과, 상기 펌프 모듈을 구동하는 모터와, 상기 모터에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치와, 상기 인버터 장치를 제어하는 제어 장치를 구비한 진공 펌프의 운전 방법으로서, 에러가 발생한 경우에는, 상기 인버터 장치의 운전을 정지시키고, 상기 인버터 장치의 운전이 정지한 후에 상기 인버터 장치를 재시동시키며, 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수가 소정의 임계값에 도달한 경우에는, 상기 인버터 장치를 재시동시키지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법이다.

본 발명의 제1 및 제4 양태에 의하면, 에러가 소정의 조건하에서 발생한 경우에는, 인버터 장치가 재시동된다. 이 소정의 조건은, 인버터 장치의 운전을 계속해도 인버터 장치가 고장나지 않는다고 예상되는 에러의 발생 조건이다. 이러한 에러 감시 제어에 의해, 에러의 발생에 기인하는 펌프의 운전 정지의 빈도를 적게 할 수 있다.

본 발명의 제2 및 제5 양태에 의하면, 에러가 소정의 기간 내에 발생한 경우에는, 에러가 자동적으로 해제되고, 인버터 장치는 정지되지 않는다. 이러한 에러 감시 제어에 의해, 에러의 발생에 기인하는 펌프의 운전 정지의 빈도를 적게 할 수 있다.

본 발명의 제3 및 제6 양태에 의하면, 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수가 소정의 임계값에 도달하지 않는 한, 인버터 장치의 운전이 에러 발생에 의해 정지해도, 인버터 장치는 즉시 재시동된다. 이러한 에러 감시 제어에 의해, 에러의 발생에 기인하는 펌프의 운전 정지의 빈도를 적게 할 수 있다. 또한, 에러가 발생할 때마다 복수의 타이머 중 어느 하나가 시간의 계측을 개시하기 때문에, 제어 장치는, 에러가 고빈도로 발생한 것을 신속히 또한 확실하게 검출할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 진공 펌프를 도시한 모식도이다.
도 2는 인버터 장치의 모식도이다.
도 3은 모터가 아이들 운전하고 있을 때에 에러가 발생한 경우의 모터의 회전 속도의 변화를 나타낸 그래프이다.
도 4는 제어 장치로부터의 지령에 따라 인버터 장치가 모터를 감속시키고 있을 때에 에러가 발생한 경우의 모터의 회전 속도의 변화를 나타낸 그래프이다.
도 5는 에러의 횟수를 카운트하는 카운터와, 감시 시간을 계측하는 타이머의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 소정의 기간에서는 인버터 장치가 에러 해제 모드에 있는 것을 설명하는 그래프이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시형태에 따른 진공 펌프를 도시한 모식도이다.
도 8은 에러가 낮은 빈도로 발생한 경우의 타이머의 동작을 설명하는 타임 차트이다.
도 9는 에러가 높은 빈도로 발생한 경우의 타이머의 동작을 설명하는 타임 차트이다.
도 10은 하나의 타이머를 이용하여, 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수가 소정의 임계값에 도달했는지의 여부를 판정하는 방법을 설명한 타임 차트이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 진공 펌프를 도시한 모식도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 진공 펌프는, 기체를 배기하는 펌프 모듈(1)과, 이 펌프 모듈(1)을 구동하는 모터(2)와, 모터(2)에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치(5)와, 인버터 장치(5)를 제어하는 제어 장치(7)를 구비한다.

펌프 모듈(1)은, 진공 챔버 등의 밀폐 용기(8)에 접속되어 있고, 이 밀폐 용기(8) 내의 기체를 흡인하여 밀폐 용기(8) 내에 진공을 형성한다. 펌프 모듈(1)로서는, 그 내부에 형성되어 있는 기체의 유로에 오일을 이용하지 않는 드라이 펌프 모듈이 형성된다. 이러한 드라이 펌프 모듈을 구비한 진공 펌프는, 일반적으로, 드라이 진공 펌프라고 불리고 있으며, 반도체 디바이스의 제조에 널리 사용되고 있다.

도 2는 인버터 장치(5)의 모식도이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 인버터 장치(5)는, 컨버터부(11), 평활 커패시터(15), 인버터부(12), 게이트 드라이버(13) 및 인버터 제어부(16)를 갖는다. 컨버터부(11)는 그 내부에 정류 회로를 가지며, 전력 공급원(9)으로부터 공급되는 3상의 교류 전력을 직류 전력으로 변환하도록 구성되어 있다. 평활 커패시터(15)는, 변환된 직류 전력을 평활화하기 위해서 설치되어 있다.

인버터부(12)는, IGBT(절연 게이트 바이폴라 트랜지스터) 등의 스위칭 소자를 가지며, 평활화된 직류 전력으로부터 3상의 교류 전력을 생성한다. 게이트 드라이버(13)는, 인버터부(12)의 각 스위칭 소자를 개폐하기 위한 게이트 드라이브 신호를 생성한다. 인버터부(12)의 스위칭 소자는, 게이트 드라이버(13)로부터의 게이트 드라이브 신호에 따라 구동되고, 이에 의해 인버터부(12)는 가변 주파수의 교류 전력을 출력한다.

전류 측정기(20)는, 인버터부(12)로부터 출력되는 3상 전류를 측정하고, 3상 전류의 측정값을 인버터 제어부(16)에 보낸다. 인버터 제어부(16)는, 전류 측정기(20)로부터 보내지는 측정값, 및 제어 장치(7)로부터 보내지는 속도 지령값에 기초하여, 인버터부(12)로부터 출력되는 교류 전력을 제어한다. 즉, 인버터 제어부(16)는, 속도 지령값을 상위의 펌프 컨트롤러(도시하지 않음)로부터 받고, 3상 전류의 측정값에 기초하여 PWM 신호를 생성한다. 이 PWM 신호는 게이트 드라이버(13)에 보내진다. 게이트 드라이버(13)는, PWM 신호에 기초하여, 인버터부(12)의 스위칭 소자를 구동하기 위한 게이트 드라이브 신호를 생성한다. 인버터부(12)의 스위칭 소자는, 게이트 드라이버(13)로부터의 게이트 드라이브 신호에 따라 구동되고, 이에 의해 인버터부(12)는 가변 주파수의 교류 전력을 모터(2)에 출력한다.

인버터 장치(5)는, 과전압 및 과전류 등의 에러가 발생했을 때에, 자신을 고장으로부터 보호하기 위한 보호 기능을 구비한다. 보다 구체적으로는, 에러가 발생하면, 인버터 장치(5)는, 그 운전을 정지하도록 구성되어 있다. 에러는, 과전압 에러[즉, 과대한 전압이 인버터 장치(5)에 인가되는 것]와, 과전류 에러[즉, 과대한 전류가 인버터 장치(5)에 흐르는 것]로 크게 나뉜다.

컨버터부(11)에 입력되는 직류 전력이 상승하면, 인버터 장치(5) 내부의 평활 커패시터(15)나 인버터부(12)의 각 스위칭 소자가 파괴될 우려가 있다. 그래서, 인버터 장치(5)는, 컨버터부(11)의 직류 전압을 감시하고, 이 직류 전압이 미리 설정한 값 이상이었던 경우에, 인버터 장치(5)는 그 운전을 정지하도록 구성되어 있다.

컨버터부(11)의 직류 전압이 상승하는 원인으로서는, 전력 공급원(9)의 이상, 및 인버터 제어의 난조가 고려된다. 이하, 전력 공급원(9)의 이상에 기인하는 과전압 에러를 에러 1이라고 하고, 인버터 제어의 난조에 기인하는 과전압 에러를 에러 2라고 한다.

에러 1은, 인버터 장치(5)에 교류 전력을 공급하는 전력 공급원(9)의 이상에 기인하는 것이다. 에러 1은 여러 가지 원인에 의해 발생할 수 있다. 에러 1이 발생하면, 인버터 장치(5)에의 입력 전압이 상승하기 때문에, 인버터 장치(5)가 고장날 우려가 있다. 따라서, 이 경우에는, 인버터 장치(5)는 즉시 그 운전을 정지한다.

에러 2는, 순간적인 정전 후에, 관성의 힘만으로 회전하고 있는[즉 프리 런(free run)하고 있는] 모터(2) 및 펌프 모듈(1)을 다시 시동시키는 경우에 발생하기 쉽다. 순간적인 정전이 발생하면, 자동적으로 인버터 장치(5)의 전력 출력은 정지한다(즉, 전력이 입력되지 않기 때문에, 인버터 장치(5)는 전력을 출력할 수 없다). 순간적인 정전의 시간적 길이는, 통상 1초 이내이기 때문에, 순간적인 정전 동안, 모터(2)는 타성으로 계속 회전하지만, 베어링의 손실 등에 의해 모터(2)의 회전 속도는 서서히 저하된다.

전력이 복구되면, 인버터 장치(5)는, 프리 런하고 있는 현재의 모터(2)의 회전 속도를 측정하고, 인버터 장치(5)는 모터(2)의 회전 속도와 동기한 주파수를 갖는 교류 전력의 출력을 개시한다. 이때, 모터(2)의 회전 속도에 대응한 주파수보다도 낮은 주파수의 교류 전력을 인버터 장치(5)가 출력하면, 인버터 장치(5)는 모터(2)를 적극적으로 감속시키게 되고, 모터(2)의 동력이 회생 에너지로서 인버터 장치(5)로 되돌아간다. 그 결과, 인버터 장치(5) 내의 전압이 상승하여, 과전압이 발생한다.

정전이 어느 정도 장시간 계속되면, 모터(2)는 완전히 정지한다. 따라서, 장시간의 정전 후에 인버터 장치(5)를 시동하는 동작은, 통상의 시동 동작과 아무런 변함이 없고, 이 경우에는 전술한 바와 같은 에러는 발생하지 않는다.

에러 2는, 제어 장치(7)로부터의 지령에 따라 인버터 장치(5)가 모터(2)를 감속시키는 경우에도 발생하기 쉽다. 예컨대, 진공 펌프를 통상 운전 모드로부터 아이들 운전 모드로 이행하는 경우, 제어 장치(7)는, 모터(2)의 회전 속도를 낮추도록 인버터 장치(5)에 지령한다. 이와 같이 적극적으로 모터(2)의 회전 속도를 저하시키면, 모터(2)의 동력이 회생 에너지로서 인버터 장치(5)로 되돌아가는 경우가 있다. 그 결과, 인버터 장치(5) 내의 전압이 상승하여, 과전압이 발생하는 경우가 있다.

과전압에 더하여, 과전류도 인버터 장치(5)의 고장 원인이 될 수 있다. 즉, 인버터 장치(5)에 큰 전류가 흐르면, 인버터 장치(5) 내부의 스위칭 소자가 파괴될 우려가 있다. 그래서, 인버터 장치(5)는 인버터부(12)의 출력 전류를 감시하고, 이 출력 전류가 미리 설정한 값 이상이었던 경우에, 인버터 장치(5)는 그 운전을 정지하도록 구성되어 있다.

과전류의 원인으로서는, 인버터 제어의 난조 및 모터(2)의 고장이 고려된다. 이하, 인버터 제어의 난조에 기인하는 과전류 에러를 에러 3이라고 하고, 모터(2)의 고장에 기인하는 과전류 에러를 에러 4라고 한다.

에러 3은, 에러 2와 마찬가지로, 순간적인 정전 후에, 관성의 힘만으로 회전하고 있는 모터(2)를 다시 시동시키는 경우나, 제어 장치(7)로부터의 지령에 따라 인버터 장치(5)가 모터(2)를 감속시키는 경우에 발생하기 쉽다. 예컨대, 순간적인 정전 후에 인버터 장치(5)를 재시동할 때, 인버터 장치(5)로부터 출력되는 교류 전력의 주파수가 모터(2)의 실제의 회전 속도와 크게 상이하면, 인버터 제어의 난조에 의해 과전류가 흐른다. 특히, 모터(2)의 로터 위치의 센싱에 실패하면, 부적절한 타이밍에 전압이 모터(2)에 인가되고, 그 결과 과전류가 흐른다. 로터 위치의 센싱에 실패하는 원인으로서는, 모터(2)의 검출 전류에 노이즈가 중첩하는 것이나, 펌프 모듈(1)의 부하가 급격히 변화하여, 모터(2)의 회전 속도가 급격히 변화하는 것을 들 수 있다.

또한, 에러 3은, 펌프 모듈(1)[및 모터(2)]을 아이들 운전하고 있을 때에 발생하기 쉽다. 아이들 운전이란, 에너지 절약을 목적으로 하여, 모터(2)의 정격 속도보다도 낮은 아이들 속도로 모터(2)를 회전시키는 운전을 말한다. 예컨대, 아이들 운전에서는, 모터(2)의 정격 속도의 10%의 속도로 모터(2)를 회전시킨다. 인버터 장치(5)는, 모터(2)가 그 정격 속도로 회전하고 있을 때에 적절한 속도 제어를 할 수 있도록 조정되어 있다. 아이들 속도와 정격 속도의 차가 크면, 인버터 제어부(16)의 제어 동작이 불안정해져, 과전류가 흐르는 경우가 있다.

에러 4는, 모터(2)의 고장에 기인하는 에러이다. 이 때문에, 에러 4가 발생한 경우에는, 인버터 장치(5)의 운전을 즉시 정지시키고, 모터(2)의 수리 또는 교환을 하지 않으면 안 된다.

이상 설명한 바와 같이, 인버터 장치(5)의 에러는, 과전압 에러와 과전류 에러로 크게 나뉜다. 또한, 과전압 에러는, 전력 공급원(9)의 이상에 기인하는 에러 1과, 인버터 제어의 난조에 기인하는 에러 2로 나뉘고, 과전류 에러는, 인버터 제어의 난조에 기인하는 에러 3과, 모터(2)의 고장에 기인하는 에러 4로 나뉜다. 이들 에러 1~4가 발생하면, 인버터 장치(5)는, 그 운전을 정지하고, 제어 장치(7)에 에러 신호를 송신한다.

4가지 에러 1~4 중, 에러 1, 4는 심각한 에러이다. 바꿔 말하면, 에러 1, 4가 발생한 후에 인버터 장치(5)의 운전을 계속하면, 인버터 장치(5)가 고장날 우려가 있다. 따라서, 에러 1, 4가 발생했을 때에는, 인버터 장치(5)의 운전을 정지시킬 필요가 있다.

이에 비하여, 에러 2, 3은 비교적 가벼운 에러이다. 예컨대, 타성으로 회전하고 있는 모터(2)의 회전 속도가 저하되어 회생 에너지가 작아지면, 과전압 및 과전류는 발생하지 않게 된다. 또한, 로터 위치의 센싱에 실패한 경우라도, 다음 순간에는 로터 위치의 센싱을 정확하게 행할 수 있는 경우도 있다. 이들 에러 2, 3은, 인버터 장치(5) 자체의 고장에 의해 발생한 것이 아니라, 인버터 장치(5)의 제어의 난조에 의해 발생한 것이기 때문에, 인버터 장치(5)의 운전을 정지할 필요가 없는 경우도 있다.

그래서, 에러 발생에 따르는 진공 펌프의 빈번한 운전 정지를 회피하기 위해서, 제어 장치(7)는, 에러 2, 3이 발생한 경우에는, 인버터 장치(5)를 즉시 재시동시키도록 구성되어 있다.

에러 1~4 중 어느 하나가 발생하면, 에러 신호가 인버터 장치(5)로부터 제어 장치(7)에 보내진다. 따라서, 제어 장치(7)는, 이 에러 신호를 수신함으로써, 에러의 발생을 검출할 수 있다. 제어 장치(7)는, 에러의 발생이 소정의 조건을 만족시키는 경우에는, 그 에러는 에러 2 또는 에러 3이라고 판단하고, 인버터 장치(5)를 재시동시킨다. 소정의 조건이란, 다음의 3가지 조건이다.

조건 1: 정전(순간적인 정전)이 복구되어 전력의 공급이 재개되고 나서 소정의 시간 이내(10초 이내, 바람직하게는 5초 정도 내, 더 바람직하게는 2초 이내)에, 에러가 발생한 것.

조건 2: 제어 장치(7)로부터의 지령에 따라 인버터 장치(5)가 모터(2)의 감속을 개시한 시점으로부터 소정의 시간 이내(10초 이내, 바람직하게는 5초 정도 내, 더 바람직하게는 2초 이내)에 에러가 발생한 것.

조건 3: 인버터 장치(5)가 모터(2)를 그 정격 속도보다도 낮은 아이들 속도(정격 속도의 50% 미만, 바람직하게는 30% 미만, 보다 바람직하게는 10% 미만)로 회전시키고 있을 때에 에러가 발생한 것.

제어 장치(7)는, 에러의 발생이, 조건 1, 조건 2 및 조건 3 중 어느 하나를 만족시키는 경우에는, 인버터 장치(5)를 재시동시킨다. 이에 비하여, 에러의 발생이, 조건 1, 조건 2 및 조건 3 중의 어느 것도 만족시키지 않는 경우에는, 그 에러는 전술한 에러 1, 4라고 고려되기 때문에, 제어 장치(7)는 인버터 장치(5)를 재시동시키지 않는다. 상기 조건 1~3을 설정한 이유는, 에러 2, 3은, 전술한 바와 같이, 순간적인 정전 직후에 인버터 장치(5)를 재시동할 때, 모터(2)를 적극적으로 감속시킬 때, 및 모터(2)가 아이들 운전하고 있을 때에 발생하기 쉽기 때문이다.

도 3은, 모터(2)가 아이들 운전하고 있을 때에 에러가 발생했을 때의 모터(2)의 회전 속도의 변화를 나타낸 그래프이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 모터(2)가 아이들 속도로 회전하고 있을 때에 에러가 발생하면, 인버터 장치(5)는 에러 신호를 제어 장치(7)에 보냄과 동시에, 일단 그 운전을 정지한다. 제어 장치(7)는, 에러의 발생이 조건 3을 만족시키고 있기 때문에, 인버터 장치(5)를 재시동시킨다. 모터(2)는 완전히 정지하기 전에 다시 회전하여, 펌프 모듈(1)을 계속 구동한다. 이와 같이, 에러가 발생해도 인버터 장치(5)는 그 운전을 계속하기 때문에, 펌프 모듈(1)은 밀폐 용기(8)의 진공 배기를 계속할 수 있다.

도 4는, 제어 장치(7)로부터의 지령에 따라 인버터 장치(5)가 모터(2)를 감속시키고 있을 때에 에러가 발생했을 때의 모터(2)의 회전 속도의 변화를 나타낸 그래프이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 인버터 장치(5)가 모터(2)를 감속시키고 있을 때에 에러가 발생하면, 인버터 장치(5)는 에러 신호를 제어 장치(7)에 보냄과 동시에, 일단 그 운전을 정지한다. 제어 장치(7)는, 에러의 발생이 조건 2를 만족시키고 있기 때문에, 인버터 장치(5)를 재시동시킨다. 도 4에 도시한 바와 같이, 인버터 장치(5)가 재시동하고 나서 소정 시간 이내(10초 이내, 바람직하게는 5초 정도 내, 더 바람직하게는 2초 이내)에 다시 에러가 발생했을 때에는, 제어 장치(7)는, 다시 인버터 장치(5)를 재시동시켜도 좋다.

에러 2, 3은 비교적 가벼운 에러이지만, 그 발생 빈도가 높으면 중대한 고장으로 이어지는 경우도 있다. 그래서, 제어 장치(7)는, 에러 2, 3의 발생 빈도에 기초하여 인버터 장치(5)의 운전을 계속시킬지, 또는 정지시킬지를 판단한다. 보다 구체적으로는, 제어 장치(7)는, 에러(에러 2 또는 에러 3)가 발생한 횟수를 카운트하고, 카운트된 횟수가 소정의 임계값에 도달한 경우에는, 인버터 장치(5)를 재시동시키지 않도록 구성되어 있다.

도 1에 도시한 바와 같이, 제어 장치(7)는, 에러의 횟수를 카운트하는 카운터(22)와, 감시 시간을 계측하는 타이머(23)를 구비한다. 제어 장치(7)는, 소정의 감시 시간 내에 에러가 발생하지 않았을 때에는, 카운트된 횟수를 0으로 리셋한다. 이것은, 소정의 감시 시간 내에 에러가 발생하지 않았다고 하는 것은, 에러 2, 3의 발생 빈도가 낮다고 고려되기 때문이다.

도 5는, 에러의 횟수를 카운트하는 카운터(22)와, 감시 시간을 계측하는 타이머(23)의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 에러(에러 2 또는 에러 3)가 발생하면, 카운터(22)는 에러의 발생 횟수를 카운트하고, 동시에 타이머(23)가 스타트한다. 다음으로 에러(에러 2 또는 에러 3)가 발생하면, 카운터(22)는 에러의 발생 횟수를 카운트하고, 동시에 타이머(23)가 0으로 리셋되어, 다시 스타트한다. 소정의 감시 시간(도 5에서는 10초) 동안에 에러가 발생하지 않은 경우에는, 카운트된 에러의 횟수가 0으로 리셋된다.

다시 에러(에러 2 또는 에러 3)가 발생하면, 카운터(22)는 에러의 발생 횟수를 1부터 카운트하고, 동시에 타이머(23)가 스타트한다. 이러한 에러 횟수의 카운트와 타이머(23)의 리셋/스타트가 반복된 결과, 카운트된 에러 횟수가 소정의 임계값(도 5에서는 3회)에 도달한 경우에는, 제어 장치(7)는, 다음에 에러가 발생해도 인버터 장치(5)를 재시동시키지 않는다. 그 결과, 인버터 장치(5)로부터 모터(2)에의 전력의 공급이 정지하고, 이에 따라 펌프 모듈(1)도 정지한다.

소정의 감시 시간이 경과하기 전에 에러가 발생한다고 하는 것은, 에러 발생의 빈도가 높은 것을 의미한다. 따라서, 이러한 경우에는, 제어 장치(7)는, 인버터 장치(5)를 재시동시키지 않음으로써, 인버터 장치(5)를 고장으로부터 보호할 수 있다.

다음으로, 본 발명의 다른 실시형태에 대해서 설명한다. 특별히 설명하지 않는 본 실시형태의 구성 및 동작은, 전술한 실시형태와 동일하며, 그 중복되는 설명을 생략한다. 본 실시형태에서는, 제어 장치(7)는, 미리 정해진 기간 내에 발생한 에러를 해제하기 위한 에러 해제 신호를 인버터 장치(5)에 송신하도록 구성되고, 인버터 장치(5)는, 에러 해제 신호를 받으면, 상기 미리 정해진 기간 내에 에러가 발생한 경우에는 자신의 운전을 정지시키지 않도록 구성된다.

상기 미리 정해진 시간이란, 다음의 3가지 기간이다.

기간 1: 정전이 복구되어 전력의 공급이 재개된 시점으로부터 소정의 시간(10초, 바람직하게는 5초, 더 바람직하게는 2초)이 경과하기까지의 기간.

기간 2: 제어 장치(7)로부터의 지령에 따라 인버터 장치(5)가 모터(2)의 감속을 개시한 시점으로부터 소정의 시간(10초, 바람직하게는 5초, 더 바람직하게는 2초)이 경과하기까지의 기간.

기간 3: 인버터 장치(5)가 모터(2)를 그 정격 속도보다도 낮은 아이들 속도(정격 속도의 50% 미만, 바람직하게는 30% 미만, 보다 바람직하게는 10% 미만)로 회전시키고 있는 기간.

도 6은, 기간 1, 2, 3 동안에는 인버터 장치(5)가 에러 해제 모드에 있는 것을 설명하는 그래프이다. 제어 장치(7)는, 상기 기간 1, 2, 3의 개시점에 인버터 장치(5)에 에러 해제 신호를 송신한다. 인버터 장치(5)는, 이 에러 해제 신호를 받아, 기간 1, 2, 3 내에 발생하는 에러를 캔슬한다. 본 실시형태에 의하면, 에러가 해제되기 때문에, 인버터 장치(5)는 정지하지 않는다. 따라서, 모터(2)의 회전 속도의 하락을 회피할 수 있고, 펌프 모듈(1)은 밀폐 용기(8) 내의 진공 압력을 유지할 수 있다.

상기 기간 1, 2, 3 동안에 발생하는 에러는, 전술한 에러 2 또는 에러 3이라고 고려된다. 이에 비하여, 상기 기간 1, 2, 3 이외에 발생하는 에러는, 전술한 에러 1 또는 에러 4라고 고려된다. 에러 해제 신호는, 기간 1, 2, 3 내에만 인버터 장치(5)를 에러 해제 모드로 하기 때문에, 기간 1, 2, 3 이외에 에러가 발생한 경우에는, 인버터 장치(5)는 그 운전을 정지한다.

본 실시형태에 있어서도, 에러가 발생할 때마다, 인버터 장치(5)는 제어 장치(7)에 에러 신호를 송신한다. 제어 장치(7)는, 전술한 실시형태와 마찬가지로, 에러(에러 2 또는 에러 3)가 발생한 횟수를 카운트하고, 소정의 감시 시간(예컨대 10초) 내에 에러가 발생하지 않았을 때에는 카운트된 횟수를 0으로 리셋하며, 카운트된 횟수가 소정의 임계값에 도달한 경우에는, 에러 해제 신호를 인버터 장치(5)에 송신하지 않도록 구성된다. 따라서, 카운트된 횟수가 소정의 임계값에 도달한 후에 에러가 발생하면, 그 에러는 해제되지 않고, 인버터 장치(5)는 그 운전을 정지한다.

도 7은, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 진공 펌프를 도시한 모식도이다. 특별히 설명하지 않는 본 실시형태의 구성 및 동작은, 도 1에 도시한 실시형태와 동일하기 때문에, 그 중복되는 설명을 생략한다. 인버터 장치(5)는, 에러가 발생한 경우에는, 자신의 운전을 정지하고, 제어 장치(7)는, 인버터 장치(5)의 운전이 정지한 후에 상기 인버터 장치(5)를 재시동시키도록 구성되어 있다. 에러의 종류는, 과전류에 기인하는 에러, 과전압에 기인하는 에러를 포함하는 모든 종류의 에러가 포함된다. 즉, 에러의 종류에 상관없이, 에러가 발생한 경우에는, 인버터 장치(5)는 자신의 운전을 정지한다.

에러가 발생한 결과, 인버터 장치(5)의 운전이 정지되어도, 제어 장치(7)에 의해 인버터 장치(5)는 즉시 재시동된다. 따라서, 모터(2)의 회전 속도의 하락이 회피되고, 펌프 모듈(1)은 밀폐 용기(8) 내의 진공 압력을 유지할 수 있다. 그러나, 에러가 빈번히 발생한 경우에 인버터 장치(5)를 강제적으로 재시동시키면, 인버터 장치(5)가 고장나 버릴 우려가 있다. 그래서, 제어 장치(7)는, 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수가 소정의 임계값 n에 도달한 경우에는, 인버터 장치(5)를 재시동시키지 않도록 구성되어 있다. n은 3 이상의 자연수이며(n≥3), 미리 정해진다.

도 7에 도시한 바와 같이, 제어 장치(7)는, 시간을 계측하기 위한 복수의 타이머(23)를 구비한다. 이들 타이머(23)의 대수는, 상기 소정의 임계값 n에서 1을 뺀 수, 즉 n-1이다. 복수의 타이머의 각각은, 시간을 계측하고, 계측한 시간이 설정 시간에 도달하면 시간의 계측을 종료하며, 계측한 시간을 0으로 리셋하도록 구성되어 있다. 제어 장치(7)는, 에러가 발생할 때마다 복수의 타이머 중 어느 하나를 시동시키고, 에러가 발생했을 때에 복수의 타이머 전부가 시간을 계측하고 있는 중인 경우에는, 인버터 장치(5)를 재시동시키지 않도록 구성되어 있다.

도 8은, 에러가 낮은 빈도로 발생한 경우의 타이머의 동작을 설명하는 타임 차트이다. 도 8에 나타낸 예에서는, 5개의 타이머(23A, 23B, 23C, 23D, 23E)가 설치되어 있고, 설정 시간은 10분이다. 제어 장치(7)(도 7 참조)는, 에러가 발생할 때마다, 이들 타이머(23A, 23B, 23C, 23D, 23E) 중 어느 하나를 미리 정한 순서에 따라 시동시킨다. 이 예에서는, 에러 E1이 발생하면, 타이머(23A)가 시동되어, 시간의 계측을 개시한다. 에러 E2가 발생하면, 타이머(23B)가 시동되어, 시간의 계측을 개시한다. 마찬가지로, 에러 E3, E4, E5가 발생하면, 타이머(23C, 23D, 23E)가 이 순서로 시동된다.

타이머(23A~23E)는, 계측한 시간이 설정 시간인 10분에 도달했을 때에 시간의 계측을 종료하고, 계측한 시간을 0으로 리셋한다. 따라서, 에러의 발생 빈도가 낮은 경우, 6건째의 에러 E6이 발생했을 때에는, 최초의 타이머(23A)의 시간 계측 동작은 이미 종료하고 있으며, 타이머(23A)는 시간의 계측을 재차 개시할 수 있다. 이와 같이, 에러가 낮은 빈도로 발생한 경우에는, 5개의 타이머(23A~23E) 중 어느 하나는, 에러가 발생할 때마다 시간 계측을 개시할 수 있다.

이에 비하여, 도 9는, 에러가 높은 빈도로 발생한 경우의 타이머의 동작을 설명하는 타임 차트이다. 이 예에서도, 마찬가지로, 5개의 타이머(23A~23E)는, 에러 E1~E5가 발생했을 때에 순차 시동된다. 그러나, 6건째의 에러 E6이 발생했을 때에는, 최초의 타이머(23A)는 시간의 계측을 아직 행하고 있는 중이다. 다른 타이머(23B~23E)도 마찬가지로 시간의 계측을 행하고 있다. 이와 같이, 에러가 높은 빈도로 발생한 경우에는, 타이머(23A)를 포함하는 모든 타이머는 이전회의 시간의 계측이 종료되어 있지 않기 때문에, 시간의 계측을 개시할 수 없다.

도 9로부터 알 수 있듯이, 에러가 발생했을 때에 n-1대의 타이머(23) 전부가 시간을 계측하고 있는 중이라고 하는 것은, 상기 설정 시간 내에 에러가 n회 발생한 것, 즉 에러가 고빈도로 발생하고 있는 것을 의미한다. 따라서, 이러한 경우에는, 제어 장치(7)는 인버터 장치(5)를 재시동시키지 않음으로써, 인버터 장치(5)의 고장을 미연에 방지하고 있다. 한편, 도 8에 도시한 바와 같이 에러가 낮은 빈도로 발생하고 있는 경우에는, 제어 장치(7)는 인버터 장치(5)를 즉시 재시동시켜, 펌프 모듈(1)의 운전을 계속시킨다.

본 실시형태에서는, 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수가 소정의 임계값에 도달했는지의 여부를 판정하기 위해서, 복수의 타이머(23)를 채용하고 있다. 하나의 타이머를 이용하여, 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수가 소정의 임계값에 도달했는지의 여부를 판정하는 것은 가능하지만, 복수의 타이머(23)를 사용함으로써, 에러가 고빈도로 발생한 것을 신속히 또한 확실하게 검출할 수 있다. 이하, 복수의 타이머(23)를 이용하는 것의 이점에 대해서 도 9 및 도 10을 참조하여 설명한다.

도 9에 나타낸 예에서는, 에러의 발생 횟수의 임계값은 6으로 설정되어 있다. 바꿔 말하면, 설정 시간(도 9에서는 10분) 내에 에러가 5회까지 발생하는 것은 허용되지만, 에러가 6회 발생한 경우에는, 제어 장치(7)는 인버터 장치(5)를 재시동시키지 않는다. 도 10은, 하나의 타이머를 이용하여 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수가 소정의 임계값에 도달했는지의 여부를 판정하는 방법을 설명한 타임 차트이다. 도 10에 나타낸 예에서도 마찬가지로, 에러의 발생 횟수의 임계값은 6으로 설정되어 있다.

도 10에 도시한 바와 같이, 타이머는 설정 시간(도 10에서는 10분)의 계측을 반복해서 실행하고, 제어 장치(7)는 이 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수를 카운트한다. 에러 E1, E2, E3, E4는, 최초의 설정 시간 내에 발생하고 있다. 따라서, 최초의 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수는 4이며, 임계값 6보다도 작다. 에러 E5, E6, E7, E8은, 다음의 설정 시간 내에 발생하고 있다. 따라서, 다음의 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수도 4이며, 임계값 6보다도 작다.

그러나, 에러 E2, E3, E4, E5, E6, E7은, 설정 시간인 10분 이내에 발생하고 있다. 이것은, 10분 이내에 에러가 6회 발생하고 있는 것을 의미한다. 하나의 타이머만을 사용한 경우에서는, 제어 장치(7)는 이러한 고빈도의 에러 발생을 검출할 수 없는 경우가 있을 수 있다.

이에 비하여, 도 9에 나타낸 본 실시형태에 의하면, 에러가 발생할 때마다 복수의 타이머(23A~23E) 중 어느 하나가 순서대로 시간의 계측을 개시한다. 따라서, 제어 장치(7)는, 에러가 고빈도로 발생한 것을 신속히 또한 확실하게 검출할 수 있다.

전술한 실시형태는, 본 발명이 속하는 기술 분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 실시할 수 있는 것을 목적으로 하여 기재된 것이다. 상기 실시형태의 여러 가지 변형예는, 당업자라면 당연히 이룰 수 있는 것이며, 본 발명의 기술적 사상은 다른 실시형태에도 적용할 수 있는 것이다. 따라서, 본 발명은, 기재된 실시형태에 한정되는 일은 없으며, 특허청구의 범위에 의해 정의되는 기술적 사상에 따른 가장 넓은 범위로 해석되는 것이다.

1: 펌프 모듈 2: 모터
5: 인버터 장치 7: 제어 장치
8: 밀폐 용기 11: 컨버터부
15: 평활 커패시터 12: 인버터부
13: 게이트 드라이버 16: 인버터 제어부
22: 카운터 23, 23A~23E: 타이머

Claims

기체를 배기하는 펌프 모듈과,
상기 펌프 모듈을 구동하는 모터와,
상기 모터에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치와,
상기 인버터 장치를 제어하는 제어 장치
를 구비하며, 상기 인버터 장치는, 과전압 또는 과전류에 기인하는 에러가 발생한 경우에는, 자신의 운전을 정지하고,
상기 제어 장치는, 상기 에러의 발생이 미리 정해진 조건을 만족시키고 있으면, 상기 인버터 장치를 재시동시키는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항에 있어서, 상기 미리 정해진 조건은, 정전이 복구되어 전력의 공급이 재개되고 나서 미리 정해진 시간 이내에 에러가 발생한 것인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항에 있어서, 상기 미리 정해진 조건은, 상기 제어 장치로부터의 지령에 따라 상기 인버터 장치가 상기 모터의 감속을 개시한 시점으로부터 미리 정해진 시간 이내에 에러가 발생한 것인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항에 있어서, 상기 미리 정해진 조건은, 상기 인버터 장치가 상기 모터를 그 정격 속도보다도 낮은 아이들 속도로 회전시키고 있을 때에 에러가 발생한 것인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제어 장치는, 상기 에러가 발생한 횟수를 카운트하고, 미리 정해진 감시 시간 내에 상기 에러가 발생하지 않았을 때에는 상기 카운트된 횟수를 0으로 리셋하며, 상기 카운트된 횟수가 미리 정해진 임계값에 도달한 경우에는, 상기 인버터 장치를 재시동시키지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
기체를 배기하는 펌프 모듈과,
상기 펌프 모듈을 구동하는 모터와,
상기 모터에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치와,
상기 인버터 장치를 제어하는 제어 장치
를 구비하며, 상기 인버터 장치는, 과전압 또는 과전류에 기인하는 에러가 발생한 경우에는, 자신의 운전을 정지하고,
상기 제어 장치는, 미리 정해진 기간 내에 발생한 에러를 해제하기 위한 에러 해제 신호를 상기 인버터 장치에 송신하며,
상기 인버터 장치는, 상기 에러 해제 신호를 받으면, 상기 미리 정해진 기간 내에 상기 에러가 발생한 경우에는 자신의 운전을 정지시키지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제6항에 있어서, 상기 미리 정해진 기간은, 정전이 복구되어 전력의 공급이 재개된 시점으로부터 미리 정해진 시간이 경과하기까지의 기간인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제6항에 있어서, 상기 미리 정해진 기간은, 상기 제어 장치로부터의 지령에 따라 상기 인버터 장치가 상기 모터의 감속을 개시한 시점으로부터 미리 정해진 시간이 경과하기까지의 기간인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제6항에 있어서, 상기 미리 정해진 기간은, 상기 인버터 장치가 상기 모터를 그 정격 속도보다도 낮은 아이들 속도로 회전시키고 있는 기간인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제어 장치는, 상기 에러가 발생한 횟수를 카운트하고, 미리 정해진 감시 시간 내에 상기 에러가 발생하지 않았을 때에는 상기 카운트된 횟수를 0으로 리셋하며, 상기 카운트된 횟수가 미리 정해진 임계값에 도달한 경우에는, 상기 에러 해제 신호를 상기 인버터 장치에 송신하지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
기체를 배기하는 펌프 모듈과,
상기 펌프 모듈을 구동하는 모터와,
상기 모터에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치와,
상기 인버터 장치를 제어하는 제어 장치
를 구비하며, 상기 인버터 장치는, 에러가 발생한 경우에는, 자신의 운전을 정지하고,
상기 제어 장치는, 상기 인버터 장치의 운전이 정지한 후에 상기 인버터 장치를 재시동시키며, 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수가 미리 정해진 임계값에 도달한 경우에는, 상기 인버터 장치를 재시동시키지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제11항에 있어서, 상기 제어 장치는, 시간을 계측하는 복수의 타이머를 구비하고, 상기 복수의 타이머의 대수는 상기 미리 정해진 임계값으로부터 1을 뺀 수와 동일하며, 상기 복수의 타이머의 각각은, 계측한 시간이 상기 설정 시간에 도달하면 시간의 계측을 종료하도록 구성되어 있고,
상기 제어 장치는,
에러가 발생할 때마다 상기 복수의 타이머 중 어느 하나를 시동시키며,
에러가 발생했을 때에 상기 복수의 타이머 전부가 시간의 계측을 실행하고 있는 중인 경우에는, 상기 인버터 장치를 재시동시키지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
기체를 배기하는 펌프 모듈과,
상기 펌프 모듈을 구동하는 모터와,
상기 모터에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치와,
상기 인버터 장치를 제어하는 제어 장치를 구비한 진공 펌프의 운전 방법으로서,
과전압 또는 과전류에 기인하는 에러가 발생한 경우에는, 상기 인버터 장치의 운전을 정지시키고,
상기 에러의 발생이 미리 정해진 조건을 만족시키고 있으면, 상기 인버터 장치를 재시동시키는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법.
제13항에 있어서, 상기 미리 정해진 조건은, 정전이 복구되어 전력의 공급이 재개되고 나서 미리 정해진 시간 이내에 에러가 발생한 것인 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법.
제13항에 있어서, 상기 미리 정해진 조건은, 상기 제어 장치로부터의 지령에 따라 상기 인버터 장치가 상기 모터의 감속을 개시한 시점으로부터 미리 정해진 시간 이내에 에러가 발생한 것인 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법.
제13항에 있어서, 상기 미리 정해진 조건은, 상기 인버터 장치가 상기 모터를 그 정격 속도보다도 낮은 아이들 속도로 회전시키고 있을 때에 에러가 발생한 것인 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법.
제13항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 에러가 발생한 횟수를 카운트하고,
미리 정해진 감시 시간 내에 상기 에러가 발생하지 않았을 때에는 상기 카운트된 횟수를 0으로 리셋하며,
상기 카운트된 횟수가 미리 정해진 임계값에 도달한 경우에는, 상기 인버터 장치를 재시동시키지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법.
기체를 배기하는 펌프 모듈과,
상기 펌프 모듈을 구동하는 모터와,
상기 모터에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치와,
상기 인버터 장치를 제어하는 제어 장치를 구비한 진공 펌프의 운전 방법으로서,
과전압 또는 과전류에 기인하는 에러가 발생한 경우에는, 상기 인버터 장치의 운전을 정지시키고,
미리 정해진 기간 내에 발생한 에러를 해제하기 위한 에러 해제 신호를 상기 인버터 장치에 송신하며,
상기 미리 정해진 기간 내에 상기 에러가 발생한 경우에는 상기 인버터 장치의 운전을 정지시키지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법.
제18항에 있어서, 상기 미리 정해진 기간은, 정전이 복구되어 전력의 공급이 재개된 시점으로부터 미리 정해진 시간이 경과하기까지의 기간인 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법.
제18항에 있어서, 상기 미리 정해진 기간은, 상기 제어 장치로부터의 지령에 따라 상기 인버터 장치가 상기 모터의 감속을 개시한 시점으로부터 미리 정해진 시간이 경과하기까지의 기간인 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법.
제18항에 있어서, 상기 미리 정해진 기간은, 상기 인버터 장치가 상기 모터를 그 정격 속도보다도 낮은 아이들 속도로 회전시키고 있는 기간인 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법.
제18항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 에러가 발생한 횟수를 카운트하고,
미리 정해진 감시 시간 내에 상기 에러가 발생하지 않았을 때에는 상기 카운트된 횟수를 0으로 리셋하며,
상기 카운트된 횟수가 미리 정해진 임계값에 도달한 경우에는, 상기 에러 해제 신호를 상기 인버터 장치에 송신하지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법.
기체를 배기하는 펌프 모듈과,
상기 펌프 모듈을 구동하는 모터와,
상기 모터에 가변 주파수의 교류 전력을 공급하는 인버터 장치와,
상기 인버터 장치를 제어하는 제어 장치를 구비한 진공 펌프의 운전 방법으로서,
에러가 발생한 경우에는, 상기 인버터 장치의 운전을 정지시키고,
상기 인버터 장치의 운전이 정지한 후에 상기 인버터 장치를 재시동시키며, 설정 시간 내에 발생한 에러의 횟수가 미리 정해진 임계값에 도달한 경우에는, 상기 인버터 장치를 재시동시키지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법.
제23항에 있어서, 상기 제어 장치는, 시간을 계측하는 복수의 타이머를 구비하고, 상기 복수의 타이머의 대수는 상기 미리 정해진 임계값으로부터 1을 뺀 수와 동일하며, 상기 복수의 타이머의 각각은, 계측한 시간이 상기 설정 시간에 도달하면 시간의 계측을 종료하도록 구성되어 있고,
에러가 발생할 때마다 상기 복수의 타이머 중 어느 하나를 시동시키며,
에러가 발생했을 때에 상기 복수의 타이머 전부가 시간의 계측을 실행하고 있는 중인 경우에는, 상기 인버터 장치를 재시동시키지 않는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 운전 방법.