CN104632599B - 真空泵及其运转方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够减少由错误的发生导致的运转停止的频率的真空泵及其运转方法。真空泵具有：对气体进行排气的泵组件(1)；驱动泵组件(1)的马达(2)；向马达(2)提供频率可变的交流电的逆变器装置(5)；和控制逆变器装置(5)的控制装置(7)。在发生了由过电压或过电流导致的错误的情况下，逆变器装置(5)停止自身的运转，如果错误的发生满足规定的条件，则控制装置(7)使逆变器装置(5)重启。

Description

真空泵及其运转方法
技术领域
本发明涉及从真空腔室等密闭容器抽吸气体的真空泵，尤其涉及一种具有逆变器装置的真空泵，其中，该逆变器装置具备用于避免由过电压及/或过电流导致的故障的保护功能。
背景技术
干式真空泵作为半导体装置的制造设备被广泛使用。在半导体装置的制造过程中有在真空空间中进行产品的处理的工序，为了形成该真空空间而使用干式真空泵。
干式真空泵通常用逆变器装置进行马达控制，以输出所希望的转矩、或者为了节能或控制真空空间的压力而使运转速度变化。存在为了避免由过电压及/或过电流等错误导致的故障而具有保护自身的保护功能的逆变器装置。该类型的逆变器装置构成为当检测到错误时，保护功能工作并使逆变器装置的运转停止。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2010—127107号公报
专利文献2：日本特开2011—89428号公报
发明内容
然而，当在半导体装置的生产过程中干式真空泵突然停止运转时，真空空间内的压力上升，对生产中的产品(半导体装置)带来损伤，产生不良品。
因此，本发明的目的在于，提供一种真空泵及其运转方法，能够降低由错误的发生导致的运转停止的频率。
用于解决课题的手段
为了实现上述目的，本发明的第1方案是，一种真空泵，其特征在于，具有：对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；向上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，在发生了由过电压或者过电流导致的错误的情况下，上述逆变器装置停止自身的运转，如果上述错误的发生满足规定的条件，则上述控制装置使上述逆变器装置重启。
本发明的第2方案是，一种真空泵，其特征在于，具有：对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，在发生了由过电压或者过电流导致的错误的情况下，上述逆变器装置停止自身的运转，上述控制装置将错误解除信号发送至上述逆变器装置，上述错误接触信号用于解除在预定的期间内发生的错误，若上述逆变器装置接收到上述错误解除信号，则在上述预定的期间内发生了上述错误的情况下上述逆变器装置不使自身的运转停止。
本发明的第3方案是，一种真空泵，其特征在于，具有：对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，在发生了错误产生的情况下，上述逆变器装置停止自身的运转，上述控制装置在上述逆变器装置的运转停止后使该逆变器装置重启，在设定时间内发生的错误的次数达到规定的阈值的情况下，不使上述逆变器装置重启。
本发明的第4方案是，一种真空泵的运转方法，上述真空泵具有：对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，该真空泵的运转方法的特征在于，在发生了由过电压或者过电流导致的错误产生的情况下，使上述逆变器装置的运转停止，如果上述错误的发生满足规定的条件，则使上述逆变器装置重启。
本发明的第5方案是，一种真空泵的运转方法，上述真空泵具有：对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，该真空泵的运转方法的特征在于，在发生了由过电压或者过电流导致的错误产生的情况下，使上述逆变器装置的运转停止，将错误解除信号发送至上述逆变器装置，上述错误解除信号用于解除在预定的期间内发生的错误，在上述预定期间内发生了上述错误的情况下不使上述逆变器装置的运转停止。
本发明的第6方案是，一种真空泵的运转方法，上述真空泵具有：对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，该真空泵的运转方法的特征在于，在发生了错误的情况下，使上述逆变器装置的运转停止，在上述逆变器装置的运转停止后使该逆变器装置重启，在设定时间内发生的错误的次数达到规定的阈值的情况下，不使上述逆变器装置重启。
发明效果
根据本发明的第1方案及第4方案，在错误在规定的条件下发生的情况下，使逆变器装置重启。该规定的条件是如下的错误的发生条件，即预测为即使逆变器装置继续运转，逆变器装置也不会发生故障。通过这样的错误监视控制，能够减少由错误的发生导致的泵的运转停止的频率。
根据本发明的第2方案及第5方案，在错误在规定的期间内发生的情况下，自动地解除错误且不使逆变器装置停止。通过这样的错误监视控制，能够减少由错误的发生导致的泵的运转停止的频率。
根据本发明的第3方案及第6方案，除非在设定时间内发生的错误的次数达到规定的阈值，否则即使逆变器装置的运转由于错误发生而停止，也使逆变器装置立即重启。通过这样的错误监视控制，能够减少由错误的发生导致的泵的运转停止的频率。进而，由于每当错误发生时多个计时器的某一个开始时间的计测，所以控制装置能够迅速且可靠地检测出错误以高频率发生的情况。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式的真空泵的示意图。
图2是逆变器装置的示意图。
图3是表示在马达空转运转时发生了错误时的马达的旋转速度的变化的图。
图4是表示在逆变器装置根据来自控制装置的指令使马达减速时发生了错误时的马达的旋转速度的变化的图。
图5是用于说明对错误的次数进行计数的计数器和计测监视时间的计时器的动作的图。
图6是说明在规定的期间，逆变器装置处于错误解除模式的情况的图。
图7是表示本发明的其他实施方式的真空泵的示意图。
图8是说明错误以低频率发生的情况下的计时器的动作的时间图。
图9是说明错误以高频率发生的情况下的计时器的动作的时间图。
图10是说明使用一个计时器来判断在设定时间内发生的错误的次数是否达到规定的阈值的方法的时间图。
附图标记说明
1 泵组件
2 马达
5 逆变器装置
7 控制装置
8 密闭容器
11 转换器部
15 平滑电容器
12 逆变器部
13 栅极驱动器
16 逆变器控制部
22 计数器
23、23A～23E 计时器
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的实施方式。
图1是表示本发明的一个实施方式的真空泵的示意图。如图1所示，真空泵具有对气体进行排气的泵组件1、驱动该泵组件1的马达2、对马达2提供频率可变的交流电的逆变器装置5、和控制逆变器装置5的控制装置7。
泵组件1与真空腔室等密闭容器8连接，抽吸该密闭容器8内的气体，从而在密闭容器8内形成真空。作为泵组件1，形成对形成于其内部的气体的流路不使用油的干式泵组件。具有这样的干式泵组件的真空泵通常被称为干式真空泵，在半导体装置的制造中被广泛使用。
图2是逆变器装置5的示意图。如图2所示，逆变器装置5具有转换器(converter)部11、平滑电容器15、逆变器部12、栅极驱动器(gate driver)13、及逆变器控制部16。转换器部11在其内部具有整流电路，构成为将从电力供给源9供给的三相交流电转换为直流电。平滑电容器15是为了使转换的直流电平滑而设置的。
逆变器部12具有IGBT(绝缘栅双极晶体管)等开关元件，从平滑化的直流电生成三相交流电。栅极驱动器13生成用于使逆变器部12的各开关元件开关的栅极驱动信号。逆变器部12的开关元件按照来自栅极驱动器13的栅极驱动信号而被驱动，由此逆变器部12输出频率可变的交流电。
电流测定器20测定从逆变器部12输出的三相电流，并将三相电流的测定值发送到逆变器控制部16。逆变器控制部16基于从电流测定器20发送的测定值、及从控制装置7发送的速度指令值，控制从逆变器部12输出的交流电。即，逆变器控制部16从上位泵控制器(未图示)接收速度指令值，基于三相电流的测定值生成PWM信号。该PWM信号被发送至栅极驱动器13。栅极驱动器13基于PWM信号，生成用于驱动逆变器部12的开关元件的栅极驱动信号。逆变器部12的开关元件按照来自栅极驱动器13的栅极驱动信号而被驱动，由此逆变器部12将频率可变的交流电输出至马达2。
逆变器装置5具有用于在发生了过电压及过电流等错误时，保护自身不受故障影响的保护功能。更具体地，构成为当错误发生时，逆变器装置5停止其运转。错误大致分为过电压错误(即，过大的电压施加于逆变器装置5)和过电流错误(即，过大的电流流向逆变器装置5)。
当输入至转换器部11的直流电上升时，有可能破坏逆变器装置5内部的平滑电容器15或逆变器部12的各开关元件。因此，逆变器装置5构成为，监视转换器部11的直流电压，在该直流电压为预先设定的值以上的情况下，逆变器装置5停止其运转。
作为转换器部11的直流电压上升的原因，可以想到电力供给源9的异常及逆变器控制的失调。以下，将由电力供给源9的异常导致的过电压错误称为错误1，将由逆变器控制的失调导致的过电压错误称为错误2。
错误1是由向逆变器装置5供给交流电的电力供给源9的异常导致的错误。错误1能够因各种原因而发生。当错误1发生时，向逆变器装置5的输入电压上升，因此逆变器装置5有可能发生故障。因此，在这种情况下，逆变器装置5立即停止其运转。
在瞬间停电之后使仅以惯性力旋转(即空转(free run))的马达2及泵组件1重启的情况下容易发生错误2。当发生瞬间的停电时，逆变器装置5的电力输出自动地停止(即，由于无电力输入，所以逆变器装置5无法输出电力)。由于瞬间停电的时间的长度通常在1秒以内，所以在瞬间停电期间，马达2因惯性而继续旋转，但由于轴承的损耗等，马达2的旋转速度逐渐降低。
当电力恢复时，逆变器装置5测定正在空转的马达2的此刻的旋转速度，逆变器装置5开始交流电的输出，该交流电具有与马达2的旋转速度同步的频率。此时，当逆变器装置5输出比与马达2的旋转速度对应的频率低的频率的交流电时，逆变器装置5使马达2主动地减速，从而马达2的动力作为再生能量而返回至逆变器装置5。作为结果，逆变器装置5内的电压上升，发生过电压。
当停电在一定程度上持续长时间时，马达2完全停止。因此，在长时间的停电后启动逆变器装置5的动作与通常的启动动作相比丝毫没有改变，在这种情况下不发生上述的错误。
在逆变器装置5按照来自控制装置7的指令使马达2减速的情况下也容易发生错误2。例如，在使真空泵从通常运转模式向空转运转模式过渡的情况下，控制装置7对逆变器装置5发出指令以减小马达2的旋转速度。当像这样主动地使马达2的旋转速度降低时，马达2的动力作为再生能量而返回至逆变器装置5。作为结果，逆变器装置5内的电压上升，发生过电压。
除过电压外，过电流也可能成为逆变器装置5的故障原因。即，当逆变器装置5中流过大的电流时，有可能破坏逆变器装置5内部的开关元件。因此，逆变器装置5构成为，监视逆变器部12的输出电流，在该输出电流为预先设定的值以上的情况下，逆变器装置5停止其运转。
作为过电流的原因，可以想到逆变器控制的失调及马达2的故障。以下，将由逆变器控制的失调导致的过电流错误称为错误3，将由马达2的故障导致的过电流错误称为错误4。
与错误2相同地，在瞬间停电后使仅以惯性力旋转的马达2重启的情况下、或在逆变器装置5根据来自控制装置7的指令使马达2减速的情况下容易产生错误3。例如，在瞬间停电后重启逆变器装置5时，若从逆变器装置5输出的交流电的频率与马达2的实际的旋转速度有很大不同，则会由于逆变器控制的失调导致过电流流过。尤其是，当马达2的转子位置的传感检测(sensing)失败时，会在不适当的时机对马达2施加电压，作为结果，流过过电流。作为转子位置的传感检测失败的原因，可以列举出在马达2的检测电流中重叠噪声、或泵组件1的负载急剧地变化从而马达2的旋转速度急剧地变化。
另外，在使泵组件1(及马达2)空转运转时容易产生错误3。空转运转是指，以节能为目的而使马达2以比马达2的额定速度低的空转速度旋转的运转。例如，在空转运转中，使马达2以马达2的额定速度的10％的速度旋转。逆变器装置5调整为在马达2以其额定速度旋转时能够进行合适的速度控制。当空转速度与额定速度之差较大时，存在逆变器控制部16的控制动作变得不稳定而流过过电流的情况。
错误4是由马达2的故障导致的错误。因此，在产生了错误4的情况下，必须使逆变器装置5的运转立即停止，进行马达2的修理或更换。
如上所述，逆变器装置5的错误大致分为过电压错误和过电流错误。进而，过电压错误分成由电力供给源9的异常导致的错误1和由逆变器控制的失调导致的错误2，过电流错误分成由逆变器控制的失调导致的错误3和由马达2的故障导致的错误4。当产生这些错误1～错误4时，逆变器装置5停止其运转并且向控制装置7发送错误信号。
在四个错误1～4中，错误1、错误4是严重的错误。换言之，当在错误1、错误4发生后逆变器装置5继续运转时，逆变器装置5有可能发生故障。因此，在发生了错误1、错误4时有必要使逆变器装置5的运转停止。
与此相对的，错误2、错误3是比较轻度的错误。例如，如果以惯性旋转的马达2的旋转速度降低且再生能量变小，则不会发生过电压及过电流。另外，即使在转子位置的传感检测失败的情况下，也存在能够在下一个瞬间正确进行转子位置的传感检测的情况。由于这些错误2、错误3不是由逆变器装置5本身的故障产生的，而是由逆变器装置5的控制的紊乱而产生的，所以有时也不需要停止逆变器装置5的运转。
因此，为了避免伴随错误发生的真空泵的频繁的运转停止，控制装置7构成为，在发生了错误2、错误3的情况下，使逆变器装置5立即重启。
当发生了错误1～4中的某一个时，错误信号从逆变器装置5发送至控制装置7。因此，控制装置7能够通过接收该错误信号而检测出错误的发生。控制装置7在错误的发生满足规定的条件的情况下，判断为该错误是错误2或错误3，使逆变器装置5重启。规定的条件是指以下的三个条件。
条件1：从停电(瞬间停电)恢复而重新开始电力供给开始在规定时间以内(10秒以内，优选5秒以内，更优选2秒以内)发生了错误。
条件2：从逆变器装置5按照来自控制装置7的指令使马达2的减速开始的时刻开始在规定时间以内(10秒以内，优选5秒以内，更优选2秒以内)发生了错误。
条件3：在逆变器装置5使马达2以比其额定速度低的空转速度(小于额定速度的50％，优选小于30％，更优选小于10％)旋转时发生了错误。
控制装置7在错误的发生满足条件1、条件2、及条件3中某一个的情况下，使逆变器装置5重启。与此相对的，在错误的发生不满足条件1、条件2、及条件3中的任一个的情况下，认为该错误为上述的错误1、错误4，因此控制装置7不使逆变器装置5重启。设定上述条件1～3的理由是，如上所述，在瞬间停电之后将逆变器装置5重启时、使马达2主动减速时、及马达2空转运转时容易发生错误2、错误3。
图3是表示在马达2空转运转时发生了错误时的马达2的旋转速度的变化的图。如图3所示，若在马达2以空转速度旋转时发生错误，则逆变器装置5将错误信号发送至控制装置7，同时暂时停止其运转。由于错误的发生满足条件3，所以控制装置7使逆变器装置5重启。马达2在完全停止前再次旋转，继续驱动泵组件1。这样，即使发生错误，逆变器装置5也继续其运转，所以泵组件1能够继续进行密闭容器8的真空排气。
图4是表示在逆变器装置5按照来自控制装置7的指令使马达2减速时发生了错误时的马达2的旋转速度的变化的图。如图4所示，若在逆变器装置5使马达2减速时发生错误，则逆变器装置5将错误信号发送至控制装置7，同时暂时停止其运转。由于错误的发生满足条件2，所以控制装置7使逆变器装置5重启。如图4所示，当逆变器装置5从重启开始在规定时间以内(10秒以内，优选为5秒以内，更优选为2秒以内)再次发生了错误时，控制装置7也可以再次使逆变器装置5重启。
虽然错误2、3是比较轻度的错误，但若其发生频繁高则有时会导致重大的故障。因此，控制装置7基于错误2、错误3的发生频率判断是使逆变器装置5继续运转，还是使其停止。更具体地，控制装置7构成为，对错误(错误2或错误3)发生的次数进行计数，在计数的次数达到规定阈值的情况下，不使逆变器装置5重启。
如图1所示，控制装置7具有对错误的次数进行计数的计数器22和计测监视时间的计时器23。在规定的监视时间内未发生错误时，控制装置7将所计数的次数重置为0。这是因为，认为在规定的监视时间内未发生错误意味着错误2、错误3的发生频率低。
图5是用于说明对错误的次数进行计数的计数器22和计测监视时间的计时器23的动作的图。当错误(错误2或错误3)发生时，计数器22对错误的发生次数进行计数，同时计时器23启动。当接下来错误(错误2或错误3)发生时，计数器22对错误的发生次数进行计数，同时计时器23重置为0，并再次启动。在规定的监视时间(图5中是10秒)的期间未发生错误的情况下，将所计数的错误的次数重置为0。
当错误(错误2或错误3)再次发生时，计数器22从1开始对错误的发生次数进行计数，同时启动计时器23。在重复这样的错误次数的计数和计时器23的重置/启动的结果是所计数的错误次数达到规定的阈值(在图5中是3次)的情况下，即使接下来发生错误，控制装置7也不使逆变器装置5重启。作为结果，从逆变器装置5向马达2的电力供给停止，伴随于此，泵组件1也停止。
在经过规定的监视时间前发生错误意味着错误发生的频率高。因此，在这样的情况下，控制装置7能够通过不使逆变器装置5重启来保护逆变器装置5不受故障的影响。
接下来，说明本发明的其他的实施方式。未特别说明的本实施方式的构成及动作与上述的实施方式相同，省略其重复的说明。在本实施方式中，控制装置7构成为，将错误解除信号发送至逆变器装置5，该错误接触信号用于解除在预定的期间内发生的错误，逆变器装置5构成为，若接收到错误解除信号，则在上述预定的期间内发生了错误的情况下不使自身的运转停止。
上述预定的期间是以下3个期间。
期间1：从停电恢复而重新开始电力供给的时刻开始到经过规定的时间(10秒，优选为5秒，更优选为2秒)为止的期间。
期间2：从逆变器装置5按照来自控制装置7的指令使马达2的减速开始的时刻到经过规定的时间(10秒，优选为5秒，更优选为2秒)为止的期间。
期间3：逆变器装置5使马达2以比其额定速度低的空转速度(小于额定速度的50％，优选小于30％，更优选小于10％)旋转的期间。
图6是说明在期间1、2、3中逆变器装置5处于错误解除模式的情况的图。控制装置7在上述期间1、2、3的开始点向逆变器装置5发送错误解除信号。逆变器装置5接收该错误解除信号，取消期间1、2、3内发生的错误。根据本实施方式，由于错误被解除，所以逆变器装置5不停止。由此，能够避免马达2的旋转速度的下降，泵组件1能够维持密闭容器8内的真空压力。
认为在上述期间1、2、3中发生的错误是上述的错误2或错误3。与此相对的，认为在上述期间1、2、3以外发生的错误是上述错误1或错误4。由于错误解除信号仅在期间1、2、3内将逆变器装置5设为错误解除模式，所以在期间1、2、3以外发生了错误的情况下，逆变器装置5停止其运转。
在本实施方式中，每当错误发生，逆变器装置5就向控制装置7发送错误信号。与上述实施方式相同地，控制装置7构成为，对错误(错误2或错误3)发生的次数进行计数，当在规定的监视时间(例如10秒)内未发生错误时将所计数的次数重置为0，在所计数的次数达到规定的阈值的情况下，不将错误解除信号发送至逆变器装置5。由此，当在所计数的次数达到规定的阈值后发生错误时，不解除该错误，逆变器装置5停止其运转。
图7是表示本发明的其他实施方式的真空泵的示意图。未特别说明的本实施方式的构成及动作与图1所示实施方式相同，所以省略其重复的说明。逆变器装置5构成为，在发生了错误的情况下，停止自身的运转，控制装置7构成为，在逆变器装置5的运转停止后使该逆变器装置5重启。错误的种类包含包括由过电流导致的错误、由过电压导致的错误在内的所有种类的错误。即，无论错误的种类是哪种，在发生了错误的情况下，逆变器装置5均停止自身的运转。
即使发生了错误的结果是逆变器装置5的运转停止，也通过控制装置7使逆变器装置5立即重启。由此，避免马达2的旋转速度的下降，泵组件1能够维持密闭容器8内的真空压力。然而，如果在错误频繁地发生的情况下使逆变器装置5强制重启，则逆变器装置5有可能发生故障。因此，控制装置7构成为，在设定时间内发生的错误的次数达到规定的阈值n的情况下，不使逆变器装置5重启。n为3以上的自然数(n≥3)，被预先设定。
如图7所示，控制装置7具有用于计测时间的多个计时器23。这些计时器23的台数为从上述规定的阈值n减去1而得到的数值，即为n-1。多个计时器的每一个分别构成为，计测时间，当所计测的时间达到设定时间时结束时间的计测，并将计测的时间重置为0。控制装置7构成为，每当错误发生时就使多个计时器中的某一个启动，在当发生了错误时全部的多个计时器均正在计测时间的情况下，不使逆变器装置5重启。
图8是说明错误以低频率发生的情况下的计时器的动作的时间图。在图8所示的例子中，设有5个计时器23A、23B、23C、23D、23E，设定时间为10分钟。每当错误发生时，控制装置7(参照图7)使这些计时器23A、23B、23C、23D、23E中的某一个按照预定的顺序启动。在该例中，当错误E1发生时，使计时器23A启动，开始时间的计测。当错误E2发生时，使计时器23B启动，开始时间的计测。相同地，当错误E3、E4、E5发生时，使计时器23C、23D、23E按顺序启动。
计时器23A～23B在计测的时间达到设定时间即10分钟时结束时间的计测，并将计测的时间重置为0。由此，在错误的发生频率低的情况下，在第6次错误E6发生时，最开始的计时器23A的时间计测动作已经结束，计时器23A能够重新开始时间的计测。这样，在错误以低频率发生的情况下，5个计时器23A～23B中的某一个能够在每当错误发生时开始时间计测。
与此相对的，图9是说明错误以高频率发生的情况下的计时器的动作的时间图。在该例中，相同地，使5个计时器23A～23B在错误E1～E5发生时依次启动。然而，在第6次错误E6发生时，最开始的计时器23A正在进行时间的计测。其他的计时器23B～23E也相同地在进行时间的计测。这样，在错误以高频率发生的情况下，由于包含计时器23A在内的全部计时器均未结束上一次的时间计测，所以无法开始时间的计测。
从图9得以明确的是，在错误发生时全部的n-1台计时器23均正在计测时间的情况意味着，在上述设定时间内发生了n次错误，即，错误以高频率发生。因此，在这样的情况下，控制装置7不使逆变器装置5重启，由此防范逆变器装置5的故障于未然。另一方面，在如图8所示那样错误以低频率发生的情况下，控制装置7使逆变器装置5立即重启，继续泵组件1的运转。
在本实施方式中，为了判断在设定时间内发生的错误的次数是否达到规定的阈值，采用多个计时器23。虽然能够使用一个计时器来判断在设定时间内发生的错误的次数是否达到规定的阈值，但通过使用多个计时器23，能够迅速且可靠地检测出错误以高频率发生的情况。以下，关于使用多个计时器23的优点，参照图9及图10进行说明。
在如图9所示的例子中，错误的发生次数的阈值被设定为6。换言之，允许在设定时间(图9中是10分钟)内发生5次错误，在发生了6次错误的情况下，控制装置7不使逆变器装置5重启。图10是说明使用一个计时器来判断在设定时间内发生的错误的次数是否达到规定的阈值的方法的时间图。在图10所示的例中也相同地，将错误的发生次数的阈值设定为6。
如图10所示，计时器反复执行设定时间(在图10中为10分钟)的测定，控制装置7对在该设定时间内发生的错误的次数进行计数。错误E1、E2、E3、E4在最开始的设定时间内发生。因此，在最开始的设定时间内发生的错误的次数为4，比阈值6小。错误E5、E6、E7、E8在接下来的设定时间内发生。因此，在接下来的设定时间内发生的错误的次数也为4，比阈值6小。
然而，错误E2、E3、E4、E5、E6、E7在作为设定时间的10分钟以内发生。这意味着在10分钟以内发生了6次错误。在仅使用一个计时器的情况下，可能存在控制装置7无法检测出这样的高频率的错误发生的情况。
与此相对的，根据图9所示的本实施方式，每当错误发生时多个计时器23A～23B的某一个按顺序开始时间的计测。由此，控制装置7能够迅速且可靠地检测出错误以高频率发生这一情况。
上述实施方式是以具有本发明所属的技术领域中的常识的人员能够实施本发明作为目而记载的。上述实施方式的各种变形例是若为本领域技术人员则当然能够完成的，本发明的技术的思想也能够用于其他的实施方式。因此，本发明不限定于所记载的实施方式，而是解释为由权利要求书定义的技术思想的最大范围。

Claims (24)

1.一种真空泵，其特征在于，具有：
对气体进行排气的泵组件；
驱动所述泵组件的马达；
向所述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及
控制所述逆变器装置的控制装置，
在发生了由过电压或过电流导致的错误的情况下，所述逆变器装置停止自身的运转，
如果所述错误的发生满足规定的条件，则所述控制装置在所述马达完全停止前使所述逆变器装置重启，从而使所述泵组件的运转继续。
2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
所述规定的条件是，从停电恢复而重新开始电力供给开始在规定的时间以内发生了错误。
3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
所述规定的条件是，从所述逆变器装置按照来自所述控制装置的指令使所述马达的减速开始的时刻开始在规定的时间以内发生了错误。
4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
所述规定的条件是，在所述逆变器装置使所述马达以比其额定速度低的空转速度旋转时发生了错误。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的真空泵，其特征在于，
所述控制装置对所述错误发生的次数进行计数，当在规定的监视时间内未发生所述错误时将所述计数的次数重置为0，在所述计数的次数达到规定的阈值的情况下，不使所述逆变器装置重启。
6.一种真空泵，其特征在于，具有：
对气体进行排气的泵组件；
驱动所述泵组件的马达；
向所述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；
对时间进行计测的计时器；以及
控制所述逆变器装置的控制装置，
在发生了由过电压或过电流导致的错误的情况下，所述逆变器装置停止自身的运转，
所述控制装置将错误解除信号发送至所述逆变器装置，所述错误解除信号用于解除在预定的期间内发生的错误，
若所述逆变器装置接收到所述错误解除信号，则在所述预定的期间内发生了所述错误的情况下所述逆变器装置不使自身的运转停止，从而使所述泵组件的运转继续。
7.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，
所述预定的期间是，从停电恢复而重新开始电力供给的时刻到经过规定的时间为止的期间。
8.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，
所述预定的期间是，从所述逆变器装置按照来自所述控制装置的指令使所述马达的减速开始的时刻到经过规定的时间为止的期间。
9.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，
所述预定的期间是，所述逆变器装置使所述马达以比其额定速度低的空转速度旋转的期间。
10.根据权利要求6至9中任一项所述的真空泵，其特征在于，
所述控制装置对所述错误发生的次数进行计数，当在规定的监视时间内未发生所述错误时将所述计数的次数重置为0，在所述计数的次数达到规定的阈值的情况下，不将所述错误解除信号发送至所述逆变器装置。
11.一种真空泵，其特征在于，具有：
对气体进行排气的泵组件；
驱动所述泵组件的马达；
向所述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及
控制所述逆变器装置的控制装置，
在发生了错误的情况下，所述逆变器装置停止自身的运转，
所述控制装置在所述逆变器装置的运转停止后使该逆变器装置立即重启，在设定时间内发生的错误的次数达到规定的阈值的情况下，不使所述逆变器装置重启。
12.根据权利要求11所述的真空泵，其特征在于，
所述控制装置构成为，具有计测时间的多个计时器，所述多个计时器的台数与从所述规定的阈值减去1而得到的数值相等，所述多个计时器的每一个分别在所计测的时间达到所述设定时间时结束时间的计测，
所述控制装置在每当错误发生时使所述多个计时器中的某一个启动，
在发生了错误时全部的所述多个计时器均正在执行时间的计测的情况下，所述控制装置不使所述逆变器装置重启。
13.一种真空泵的运转方法，所述真空泵具有：对气体进行排气的泵组件；驱动所述泵组件的马达；向所述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；及控制所述逆变器装置的控制装置，所述真空泵的运转方法的特征在于，
在发生了由过电压或过电流导致的错误的情况下，使所述逆变器装置的运转停止，
如果所述错误的发生满足规定的条件，则在所述马达完全停止前使所述逆变器装置重启，从而使所述泵组件的运转继续。
14.根据权利要求13所述的真空泵的运转方法，其特征在于，
所述规定的条件是，从停电恢复而重新开始电力供给开始在规定的时间以内发生了错误。
15.根据权利要求13所述的真空泵的运转方法，其特征在于，
所述规定的条件是，从所述逆变器装置按照来自所述控制装置的指令使所述马达的减速开始的时刻开始在规定的时间以内发生了错误。
16.根据权利要求13所述的真空泵的运转方法，其特征在于，
所述规定的条件是，在所述逆变器装置使所述马达以比其额定速度低的空转速度旋转时发生了错误。
17.根据权利要求13至16中任一项所述的真空泵的运转方法，其特征在于，
对所述错误发生的次数进行计数，
当在规定的监视时间内未发生所述错误时将所述计数的次数重置为0，
在所述计数的次数达到规定的阈值的情况下，不使所述逆变器装置重启。
18.一种真空泵的运转方法，所述真空泵具有：对气体进行排气的泵组件；驱动所述泵组件的马达；向所述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；对时间进行计测的计时器；及控制所述逆变器装置的控制装置，所述真空泵的运转方法的特征在于，
在发生了由过电压或过电流导致的错误的情况下，使所述逆变器装置的运转停止，
将错误解除信号发送至所述逆变器装置，所述错误解除信号用于解除在预定的期间内发生的错误，
在所述预定的期间内发生了所述错误的情况下不使所述逆变器装置的运转停止，从而使所述泵组件的运转继续。
19.根据权利要求18所述的真空泵的运转方法，其特征在于，
所述预定的期间是，从停电恢复而重新开始电力供给的时刻到经过规定的时间为止的期间。
20.根据权利要求18所述的真空泵的运转方法，其特征在于，
所述预定的期间是，从所述逆变器装置按照来自所述控制装置的指令使所述马达的减速开始的时刻到经过规定的时间为止的期间。
21.根据权利要求18所述的真空泵的运转方法，其特征在于，
所述预定的期间是，所述逆变器装置使所述马达以比其额定速度低的空转速度旋转的期间。
22.根据权利要求18至21的任一项所述的真空泵的运转方法，其特征在于，
对所述错误发生的次数进行计数，
当在规定的监视时间内未发生所述错误时将所述计数的次数重置为0，
在所述计数的次数达到规定的阈值的情况下，不将所述错误解除信号发送至所述逆变器装置。
23.一种真空泵的运转方法，所述真空泵具有：对气体进行排气的泵组件；驱动所述泵组件的马达；向所述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；及控制所述逆变器装置的控制装置，所述真空泵的运转方法的特征在于，
在发生了错误的情况下，使所述逆变器装置的运转停止，
在所述逆变器装置的运转停止后使该逆变器装置立即重启，在设定时间内发生的错误的次数达到规定的阈值的情况下，不使所述逆变器装置重启。
24.根据权利要求23所述的真空泵的运转方法，其特征在于，
所述控制装置构成为，具有计测时间的多个计时器，所述多个计时器的台数与从所述规定的阈值减去1而得到的数值相等，所述多个计时器的每一个分别在所计测的时间达到所述设定时间时结束时间的计测，
每当错误发生时使所述多个计时器中的某一个启动，
在发生了错误时全部的所述多个计时器均正在执行时间的计测的情况下，不使所述逆变器装置重启。
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