KR20150045650A - 녹색 발광 형광체, 그 제조 방법 및 이를 이용한 발광 소자 패키지 - Google Patents

녹색 발광 형광체, 그 제조 방법 및 이를 이용한 발광 소자 패키지 Download PDF

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Abstract

본 발명은 형광체에 관한 것으로 특히, 녹색 발광 형광체, 그 제조 방법 및 이를 이용한 발광 소자 패키지에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 녹색 발광 형광체에 있어서, 청색 파장 대역에서 주 흡수 대역을 가지고, 녹색 파장 대역에서 주 피크를 가지는 광을 발광하며, 하기의 화학식 1로 표시되는 녹색 발광 형광체를 제공할 수 있다.
화학식 1: SrAl2(O1 -3 xN2x)4

Description

녹색 발광 형광체, 그 제조 방법 및 이를 이용한 발광 소자 패키지 {Phophor emitting green-color band range, method for manufacturing the same and light emitting device package}
본 발명은 형광체에 관한 것으로 특히, 녹색 발광 형광체, 그 제조 방법 및 이를 이용한 발광 소자 패키지에 관한 것이다.
백색 광을 발광하는 발광 다이오드(light emitting diode; LED)는 기존의 일반 조명 중 가장 대표적이라 할 수 있는 형광등을 대체 할 수 있는 차세대 발광 소자 후보의 하나이다.
발광 다이오드는 기존의 광원보다 소비전력이 적으며, 형광등과 달리 수은을 포함하지 않아 친환경적이라 할 수 있다. 또한 기존의 광원과 비교하여 수명이 길며 응답속도가 빠르다는 장점을 갖는다.
백색 발광 다이오드를 제조하는 방법에는 크게 세 가지가 있는데 적색, 녹색, 청색 LED를 조합하여 백색 광을 구현하는 방법과, 청색 LED에 황색 형광체를 도포하여 백색광을 구현하는 방법, 그리고 자외선(UV) LED에 적색, 녹색, 청색 LED를 조합하여 백색광을 구현하는 방법이 그것이다.
이 중에서 청색 LED에 황색 형광체를 도포하여 백색광을 구현하는 방법은 발광 다이오드를 이용하여 백색광을 구현하는 가장 대표적인 방법이다.
근자외선 및 청색 LED에 의하여 여기되는 녹색 형광체는 여기원의 중심파장(400 내지 450 nm)에서 광 변환 효율이 낮은 문제점이 있다.
또한, 이로 인하여 발광 장치의 효율이 저하되는 단점이 있으며, 형광체의 낮은 색순도로 인하여 디스플레이 장치의 색 재현 및 조명의 연색성이 저하되는 단점이 있었다.
근자외선 또는 청색 여기원을 이용하여 광 변환 효율이 높고 색 순도가 우수한 녹색 형광체를 제공할 수 있는 녹색 발광 형광체, 그 제조 방법 및 이를 이용한 발광 소자 패키지를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 제1관점으로서, 녹색 발광 형광체에 있어서, 청색 파장 대역에서 주 흡수 대역을 가지고, 녹색 파장 대역에서 주 피크를 가지는 광을 발광하며, 하기의 화학식 1로 표시되는 녹색 발광 형광체를 제공할 수 있다.
화학식 1: SrAl2(O1 -3 xN2x)4
여기서, 상기 녹색 파장 대역의 광은, 500 nm 내지 540 nm에서 중심 파장을 가질 수 있다.
여기서, 상기 녹색 파장 대역은, 440 nm 내지 620 nm 대역 중 적어도 일부를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 청색 파장 대역은, 420 nm 내지 460 nm 중 적어도 일부의 대역을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 x 값은, 0 < x < 0.2의 조건을 만족할 수 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 제2관점으로서, 본 발명은, 녹색 발광 형광체의 제조 방법에 있어서, 청색 파장 대역에서 주 흡수 대역을 가지고, 녹색 파장 대역에서 주 피크를 가지는 광을 발광하며, 질소(N)가 산소(O)와 치환되어 하기의 화학식 1로 표시되는 녹색 발광 형광체의 제조 방법을 제공할 수 있다.
화학식 1: SrAl2(O1 -3 xN2x)4
여기서, 상기 녹색 발광 형광체의 제조는, 스트론튬, 알루미늄 및 유로퓸 원료를 사용하여 합성 후 질소를 혼입시켜 제조할 수 있다.
한편, 상기 녹색 발광 형광체의 제조는, 산화물계 및 질화물계 원료를 이용하여 합성하여 제조할 수 있다.
이때, 상기 질화물계 원료는, Sr3N2 및 AlN 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체의 제조 방법.
또한, 상기 산화물계 원료는, SrCO3, Al2O3 및 Eu2O3 중 적어도 어느 하나일 수 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 제3관점으로서, 본 발명은, 위에서 게재한 형광체 또는 형광체의 제조 방법에 의하여 제조되는 화학식 1로 표시되는 형광체를 포함하는 발광 소자 패키지를 제공할 수 있다.
본 발명은 다음과 같은 효과가 있는 것이다.
본 발명은 근자외선 및 청색 여기원을 사용하여 광 변환 효율이 높고 색 순도가 우수한 녹색 형광체를 사용하여 조명의 광원 혹은 LCD TV용 백라이트 유닛(backlight unit; BLU)의 효율과 색 표현력을 향상시킬 수 있다.
이와 같은 녹색 발광 형광체를 사용하여 색 순도가 높은 광원을 구현할 수 있고, 조명으로 이용되는 경우에, 인접한 파장의 형광체와 혼합하여 연속된 스펙트럼을 설계함으로써 조명의 연색성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 녹색 발광 형광체의 여기 스펙트럼을 나타내는 도이다.
도 2는 본 발명의 녹색 발광 형광체의 발광 스펙트럼을 나타내는 도이다.
도 3은 본 발명의 녹색 발광 형광체의 XRD 측정 스펙트럼을 나타내는 도이다.
도 4는 본 발명의 녹색 발광 형광체의 XRD 측정 스펙트럼의 피크 리스트(상측)를 SrAl2O4의 결정구조의 ICOD 데이터 베이스(하측)와 비교한 도이다.
도 5는 본 발명의 녹색 발광 형광체의 XPS 측정 스펙트럼을 나타내는 도이다.
도 6은 본 발명의 녹색 발광 형광체가 이용된 발광 소자 패키지의 일례를 나타내는 개략도이다.
도 7은 본 발명의 녹색 발광 형광체가 이용된 발광 소자 패키지의 다른 예를 나타내는 개략도이다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명이 여러 가지 수정 및 변형을 허용하면서도, 그 특정 실시예들이 도면들로 예시되어 나타내어지며, 이하에서 상세히 설명될 것이다. 그러나 본 발명을 개시된 특별한 형태로 한정하려는 의도는 아니며, 오히려 본 발명은 청구항들에 의해 정의된 본 발명의 사상과 합치되는 모든 수정, 균등 및 대용을 포함한다.
층, 영역 또는 기판과 같은 요소가 다른 구성요소 "상(on)"에 존재하는 것으로 언급될 때, 이것은 직접적으로 다른 요소 상에 존재하거나 또는 그 사이에 중간 요소가 존재할 수도 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
비록 제1, 제2 등의 용어가 여러 가지 요소들, 성분들, 영역들, 층들 및/또는 지역들을 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 이러한 요소들, 성분들, 영역들, 층들 및/또는 지역들은 이러한 용어에 의해 한정되어서는 안 된다는 것을 이해할 것이다.
본 발명은 청색 파장 대역에서 주 흡수 대역을 가지고, 녹색 파장 대역에서 주 피크를 가지는 광을 발광하며, 하기의 화학식 1로 표시되는 녹색 발광 형광체를 제공할 수 있다.
Figure pat00001
여기서, 녹색 파장 대역의 광은, 500 nm 내지 540 nm에서 중심 파장을 가질 수 있다. 즉, 녹색 파장 대역에 위치하는 주 피크는 500 nm 내지 540 nm의 파장 대역에 위치한다.
또한, 이러한 녹색 파장 대역은, 440 nm 내지 620 nm 대역 중 적어도 일부를 포함할 수 있다.
여기서, 청색 파장 대역은, 420 nm 내지 460 nm 중 적어도 일부의 대역을 포함할 수 있다.
따라서, 이러한 녹색 발광 형광체는 발광 다이오드(LED) 및 레이저 다이오드(LD)를 비롯한 청색 발광 소자에서 방출되는 청색 광에 의하여 여기되어 녹색 광을 발광할 수 있다.
또한, 이러한 녹색 발광 형광체는 근자외선에 의하여 여기되어 녹색 광을 발광할 수도 있다.
이와 같이, 본 발명은, 근자외선 및 청색 발광 소자를 여기원으로 이용하여 광 변환 효율이 높고 색 순도가 우수한 녹색 형광체를 제공할 수 있다.
화학식 1에서, x 값은, 0 < x < 0.2의 조건을 만족할 수 있다.
이러한 녹색 발광 형광체는 화학식 1에서 나타내는 바와 같이, SrAl2O4 형광체에서 산소(O)를 질소(N)와 치환시킴으로써 구현할 수 있다.
즉, 화학식 1에 의하여 표현된 녹색 발광 형광체는 알루미네이트 모체에 질소가 치환된 형태의 형광체로서, 이를 사용하여 백색광 및 녹색 광을 구현할 수 있다.
이러한 질소 치환이란 형광체 합성시 원료 물질 및 합성 가스에 질소(N2)를 포함시킴으로써 알루미네이트 모체(SrAl2O4)에 질소(N2)가 격자 내에 위치하도록 합성하는 것을 의미한다.
이와 같은 근자외선 및 청색 여기원으로 이용하는 녹색 발광 형광체는 광 발광(photoluminescense) 형태의 형광체로서 이용될 수 있다.
이러한 광 발광형 형광체는 형광체마다 결합형태에 따라 고유의 여기 스펙트럼을 가지므로, 여기 파장 형태에 따라 진공 자외선(VUV), 근자외선(NUV) 또는 청색 발광 형광체로 구분될 수 있다.
본 발명의 녹색 발광 형광체는 이러한 형광체들 중 청색 발광형 혹은 근자외선에서 여기 효율이 우수한 모체를 사용하여 제작할 수 있다.
이와 같은 근자외선 또는 청색 광(파장 대역 400 nm 내지 470 nm)에서 광 변환 효율이 우수한 형광체를 제조하기 위하여, 위에서 언급한 바와 같이, 이온 결합성이 높은 산화물계 형광체에 질소를 치환하여 공유 결합성을 높이고 이를 통해 여기 파장을 장파장으로 이동시킬 수 있다.
즉, 5족 원소인 질소(N)를 추가함으로써 3족 원소인 알루미늄(Al)과의 결합에 의하여 공유 결합성이 향상될 수 있다.
위에서 언급한 알루미네이트 모체인 산화물계 SrAl2O4 형광체는 공부활제(Co-activator) 혼입에 의한 장잔광(야광) 특성을 가지므로 야광 형광체 후보 물질로 이용될 수 있다.
그러나, 청색 여기광(440 nm 내지 470 nm의 파장 대역)에서 낮은 여기 특성을 가지고 있어 광 변환 효율이 낮으므로 청색 LED를 이용하여 제작하는 백색 LED용 형광체로 사용이 어렵다.
이러한 SrAl2O4 형광체의 청색 광에서 낮은 여기 효율을 개선하기 위하여 형광체 합성시 질화물계 원료(Sr3N2, AlN)를 사용하여 혼합하여 합성하거나, 합성 분위기 가스(질소 혹은 질소 혼합 가스)를 사용하여 형광체 격자 내에 질소를 혼입시킴으로써 SrAl2O4 산화물계 형광체를 화학식 1과 같은 SrAl2(O1 -3 xN2x)4 형태의 산질화물계 형광체로 합성할 수 있다.
이렇게 합성된 SrAl2(O1 -3 xN2x)4 형광체는 위에서 설명한 바와 같이, 격자 내에 질소가 치환됨에 따라 공유결합성이 증가하게 된다.
또한, 이러한 공유결합성의 변화로 인하여 여기 파장이 장파장으로 이동되어 청색광을 사용하는 광원에서 효율을 개선할 수 있다.
즉, 본 발명을 통하여 제안된 SrAl2(O1 -3 xN2x)4 형광체는 여기 파장이 알루미네이트에 비하여 장파장으로 이동되어 파장 대역이 440 nm 내지 470 nm에 이르는 청색 광에서의 흡수율이 증대된다.
그러므로 이와 같이 형광체에 흡수된 청색 광은 녹색 광으로 변환하여 발광하게 되고, 이와 함께 발광 휘도가 증가하여 청색 여기원을 광원으로 사용하는 백색 LED(phosphor converted LED) 및 레이저 다이오드(laser diode; LD) 광원을 사용하는 조명 및 디스플레이 장치의 효율을 증가시킬 수 있다.
또한, 파장 400 nm를 포함하는 근자외선에 의한 발광도 가능하게 된다.
이렇게 여기 파장이 이동된 녹색 발광 형광체를 사용하여 색 순도가 높은 광원을 구현할 수 있고, 조명으로 이용되는 경우에, 인접한 파장의 형광체와 혼합하여 연속된 스펙트럼을 설계함으로써 조명의 연색성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 녹색 발광 형광체의 여기 스펙트럼을 나타내고 있고, 도 2는 본 발명의 녹색 발광 형광체의 발광 스펙트럼을 나타내고 있다.
이러한 SrAl2(O1 -3 xN2x)4 형광체는, 도 1에서 도시하는 바와 같이, 점선으로 표시된 SrAl2O4 형광체에 비하여 장파장으로 전이되어 400 nm 이상의 파장에서 여기 효율이 증가하여 450 nm 파장에서 최대 흡수를 보이는 것을 알 수 있다.
또한, 도 2에서 도시하는 바와 같이, SrAl2(O1 -3 xN2x)4 형광체는 발광 스펙트럼에 있어서, 점선으로 표시된 SrAl2O4 형광체에 비하여 녹색 파장 대역에서의 발광 효율이 크게 증가한 것을 알 수 있다.
도 3은 화학식 1로 표현되는 형광체의 XRD 측정 스펙트럼을 나타내는 도이다. 도 4에서는 이러한 XRD 측정 스펙트럼의 피크 리스트(상측)를 SrAl2O4의 결정구조의 ICOD 데이터 베이스(하측)와 비교한 도면이다.
즉, 도 3 및 도 4에서 도시하는 바와 같이, 본 발명에서 합성된 형광체는 SrAl2O4와 동일한 결정구조를 가지는 것으로 확인할 수 있다.
한편, 도 5는 화학식 1로 표현되는 형광체의 XPS 측정 스펙트럼을 나타내는 도이다.
XPS 측정 스펙트럼을 통한 XPS 분석은 분석하고자 하는 시료의 표면에 X 선을 조사하여 발생하는 광전자(photoelectron)를 분석하는 방법이다.
즉, X 선을 형광체 시료에 조사하면 형광체의 원자 주기에 위치하던 전자가 X 선에 의한 에너지를 받고 나오게 되며, 이때 이 전자의 운동 에너지(kinetic energy)를 측정하고 해당 원소마다 가지는 고유한 일함수(work function)를 알고 있다면 시료의 결합 에너지(binding energy) 값을 측정할 수 있다.
이를 통하여 형광체를 구성하는 구성 원자의 성분비를 알 수 있고, 도 5를 통하여 화학식 1로 표현되는 형광체의 질소 성분은 1.2 %인 것을 알 수 있다.
한편, ON 분석기를 통하여 질소 및 산소를 정성적 및 정량적으로 분석할 수 있다.
이러한 ON 분석기는 형광체 시료를 용융시키는 전극로(electrode furnace)를 통하여 분석할 수 있으며, 이러한 용융된 시료에서 나온 가스의 질소 및 산소를 분석할 수 있다.
아래의 표 1은 질화 전의 SrAl2O4 형광체와, 질화 후의 SrAl2O4 형광체(SrAl2(O1 -3 xN2x)4 형광체)의 XPS 분석 및 ON 분석기를 통한 분석 데이터를 나타내고 있다.
Figure pat00002
표 1에서 나타내는 바와 같이, 좌측에는 XPS 분석을 통하여 얻어진 형광체를 이루는 각 성분의 성분비(원자비율; atomic %)를 나타내고 있고, 우측에서는 ON 분석기를 통하여 얻어진 질소 및 산소의 함량 및 비율(몰비율; mol %)을 나타내고 있다.
이와 같이, 표 1을 통하여, 질화 합성을 통하여 SrAl2(O1 -3 xN2x)4 형광체가 이루어졌음을 알 수 있으며, 이때 질소의 비율은 1.2 % (0.24 mol %)임을 알 수 있다.
아래의 표 2에서는 질소(N) 치환량에 따른 중심 파장과 상대 휘도를 나타내고 있다.
Figure pat00003
표 2에서 나타내는 바와 같이, 질소 치환량이 0에서 1.6 %까지 증가함에 따라 중심 파장이 상대적으로 장파장 쪽으로 이동함을 할 수 있고, 상대 휘도가 점차 증가함을 알 수 있다.
화학식 1(SrAl2(O1 -3 xN2x)4)을 고려하면 질소 치환량이 1.6 % 일 때의 x 값은 0.0082이다.
위에서 설명한 바와 같이, 화학식 1로 표현되는 본 발명의 녹색 발광 형광체는 스트론튬, 알루미늄 및 유로퓸 원료를 사용하여 질소(N)가 산소(O)와 치환되어 화학식 1로 표시되는 녹색 발광 형광체를 이루도록 합성할 수 있다.
여기서, 질소와 산소가 치환되도록 하는 방법은 먼저, 산화물계 스트론튬, 알루미늄 및 유로퓸 원료를 사용하여 합성 후 질소를 혼입시켜 제조할 수 있다.
또한, 산화물계 및 질화물계 스트론튬, 알루미늄, 유로퓸 원료를 이용하여 합성하여 제조할 수도 있다.
이때, 질화물계 원료는, 질화 스트론튬 및 질화 알루미늄 중 적어도 어느 하나를 이용할 수 있다.
또한, 산화물계 원료는 스트론튬 산화물, 알루미늄 산화물 및 유로퓸 산화물 원료 중 적어도 어느 하나를 이용할 수 있다.
이하, 구체적인 실시예를 설명한다.
실시예1
화학식 1로 표현되는 녹색 발광 형광체를 합성하기 위하여, 산화물계 원료를 이용하여 상압(1 기압)에서 합성을 진행하고 질화하는 과정으로 합성할 수 있다.
이러한 산화물계 원료는 SrCO3, Al2O3 및 Eu2O3 이용할 수 있다.
이때, 1450 ℃의 온도 조건에서 3시간 동안 합성하여 위에서 설명한 형광체를 합성할 수 있다.
1200 ℃부터 합성 온도가 증가하면 휘도가 증가하나 1450 ℃ 이상의 온도에서는 용융되어 휘도가 저하될 수 있다.
실시예2
화학식 1로 표현되는 녹색 발광 형광체를 합성하기 위하여, 산화물계 원료 및 질화물계 원료를 이용하여 상압(1 기압)에서 합성할 수 있다.
이러한 산화물계 원료는 SrCO3, Al2O3 및 Eu2O3 를 이용할 수 있고, 질화물계 원료는 Sr3N2 및 AlN를 이용할 수 있다.
이와 같은 산화물계 원료 및 질화물계 원료를 양론비로 혼합 후 고압(9 기압)에서 1550 ℃ 내지 1850 ℃까지 온도를 변경하여 3시간 동안 형광체를 합성할 수 있다.
이때, 1750 ℃에서 휘도가 가장 우수하며 1800 ℃ 이상에서는 용융되어 휘도가 저하될 수 있다.
위에서 설명한 바와 같이, 근자외선 및 청색 여기원을 사용하여 광 변환 효율이 높고 색 순도가 우수한 녹색 형광체를 사용하여 조명의 광원 혹은 LCD TV용 백라이트 유닛(backlight unit; BLU)의 효율과 색 표현력을 향상시킬 수 있다.
이렇게 여기 파장 이동된 녹색 발광 형광체를 사용하여 색 순도가 높은 광원을 구현할 수 있고, 조명으로 이용되는 경우에, 인접한 파장의 형광체와 혼합하여 연속된 스펙트럼을 설계함으로써 조명의 연색성을 높일 수 있다.
도 6은 본 발명의 녹색 발광 형광체가 이용된 발광 소자 패키지의 일례를 나타내고 있다.
패키지 몸체(10)에 형성된 반사컵(11) 내측에 발광 소자(20)가 장착되고, 이 발광 소자(20)의 상측에 위에서 설명한 녹색 발광 형광체(41)가 구비된다.
이때, 반사컵(11) 내의 발광 소자(20) 상에는 충진재(30)가 위치하고, 형광체(41)는 이러한 충진재(30)에 고르게 혼합되어 구비될 수 있다.
또한, 이러한 충진재(30) 및 형광체(41) 상에는 발광 소자(20)에서 방출되는 빛을 집속할 수 있는 렌즈(50)가 구비될 수 있다.
도 7은 본 발명의 녹색 발광 형광체가 이용된 발광 소자 패키지의 다른 예를 나타내고 있다.
도시하는 바와 같이, 본 발명의 녹색 발광 형광체를 이용하여 별도의 형광체층(40)을 제작하여 발광 소자 패키지를 구성할 수 있다.
즉, 패키지 몸체(10)에 형성된 반사컵(11) 내측에 발광 소자(20)가 장착되고, 이 발광 소자(20)의 상측에는 충진재(30)가 위치한다.
이때, 이러한 충진재(30) 상에 발광 소자(20)와 이격된 형광체층(40)이 위치할 수 있는 것이다.
위에서는 본 발명의 녹색 발광 형광체가 발광 소자 패키지에 이용되는 예를 나타내고 있으나, 다른 색상의 광을 발광하는 형광체가 함께 이용될 수 있으며, 이러한 녹색 발광 형광체는 그 외에도 PDP, CRT, FED 등의 표시 장치에도 이용될 수 있음은 물론이다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
10: 패키지 몸체 11: 반사컵
20: 발광 소자 30: 충진재
40: 형광체층 41: 형광체
50: 렌즈

Claims (15)

  1. 녹색 발광 형광체에 있어서,
    청색 파장 대역에서 주 흡수 대역을 가지고, 녹색 파장 대역에서 주 피크를 가지는 광을 발광하며, 하기의 화학식 1로 표시되는 녹색 발광 형광체.
    화학식 1: SrAl2(O1 -3 xN2x)4
  2. 제1항에 있어서, 상기 녹색 파장 대역의 광은, 500 nm 내지 540 nm에서 중심 파장을 가지는 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체.
  3. 제1항에 있어서, 상기 녹색 파장 대역은, 440 nm 내지 620 nm 대역 중 적어도 일부를 포함하는 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체.
  4. 제2항에 있어서, 상기 청색 파장 대역은, 420 nm 내지 460 nm 중 적어도 일부의 대역을 포함하는 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체.
  5. 제1항에 있어서, 상기 x 값은, 0 < x < 0.2의 조건을 만족하는 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체.
  6. 녹색 발광 형광체의 제조 방법에 있어서,
    청색 파장 대역에서 주 흡수 대역을 가지고, 녹색 파장 대역에서 주 피크를 가지는 광을 발광하며,
    질소(N)가 산소(O)와 치환되어 하기의 화학식 1로 표시되는 녹색 발광 형광체의 제조 방법.
    화학식 1: SrAl2(O1 -3 xN2x)4
  7. 제6항에 있어서, 상기 녹색 발광 형광체의 제조는, 산화물계 원료를 사용하여 합성 후 질소를 혼입시켜 제조하는 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체의 제조 방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 녹색 발광 형광체의 제조는, 산화물계 및 질화물계 원료를 이용하여 합성하여 제조하는 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 질화물계 원료는, Sr3N2 및 AlN 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체의 제조 방법.
  10. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 산화물계 원료는, SrCO3, Al2O3 및 Eu2O3 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체의 제조 방법.
  11. 제6항에 있어서, 상기 녹색 파장 대역의 광은, 500 nm 내지 540 nm에서 중심 파장을 가지는 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체의 제조 방법.
  12. 제6항에 있어서, 상기 청색 파장 대역은, 420 nm 내지 460 nm 중 적어도 일부의 대역을 포함하는 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체의 제조 방법.
  13. 제6항에 있어서, 녹색 파장 대역은, 440 nm 내지 620 nm 대역 중 적어도 일부를 포함하는 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체의 제조 방법.
  14. 제6항에 있어서, 상기 x 값은, 0 < x < 0.2의 조건을 만족하는 것을 특징으로 하는 녹색 발광 형광체의 제조 방법.
  15. 제1항의 화학식 1로 표시되는 형광체 또는 제6항의 방법에 의하여 제조되는 화학식 1로 표시되는 형광체를 포함하는 발광 소자 패키지.
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