KR20150041566A - 스크라이브 방법 - Google Patents

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KR20150041566A
KR20150041566A KR20140088301A KR20140088301A KR20150041566A KR 20150041566 A KR20150041566 A KR 20150041566A KR 20140088301 A KR20140088301 A KR 20140088301A KR 20140088301 A KR20140088301 A KR 20140088301A KR 20150041566 A KR20150041566 A KR 20150041566A
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다다노부 나카노
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

과제
칼날 끝에 대한 데미지를 억제하면서, 스크라이브 라인의 형성을 원하는 위치에서 확실하게 개시한다.
해결 수단
제 1 및 제 2 변 (D1, D2) 에 의해 구성된 모서리를 갖는 가장자리에 둘러싸인 표면이 형성된 기판 (4) 이 준비된다. 기판 (4) 의 표면을 스크라이브함으로써, 제 1 변 (D1) 과의 사이에 기판 (4) 의 표면을 부분적으로 두도록 제 1 어시스트 라인 (AL1) 이 형성된다. 기판 (4) 의 표면 상에 있어서의, 가장자리로부터 떨어지고 또한 제 1 변 (D1) 과 제 1 어시스트 라인 (AL1) 사이의 위치에 칼날 끝이 가압된다. 칼날 끝이 제 1 어시스트 라인 (AL1) 과 교차하는 제 1 궤도에서 슬라이딩된다. 칼날 끝이 제 1 어시스트 라인 (AL1) 에 교차하는 것을 계기로 하여 제 1 스크라이브 라인 (SL1) 이 형성되기 시작한다.

Description

스크라이브 방법{SCRIBING METHOD}
본 발명은, 기판의 스크라이브 방법에 관한 것으로, 특히 칼날 끝을 사용한 스크라이브 방법에 관한 것이다.
플랫 디스플레이 패널 또는 태양 전지 패널 등의 전기 기기의 제조에 있어서, 예를 들어, 유리판, 반도체 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼, 또는 세라믹스판 등, 취성 재료로 제조된 기판을 절단하는 것이 종종 필요해진다. 이 때, 스크라이브 장치에 의해 기판에 스크라이브가 종종 실시된다. 즉 기판 표면에 스크라이브 라인이 형성된다. 스크라이브 라인은, 기판의 두께 방향으로 적어도 부분적으로 진행된 크랙이 기판의 표면 상에 있어서 라인상으로 연장되어 있는 것임을 말한다. 크랙이 두께 방향으로 완전히 진행되고 있는 경우에는, 스크라이브 라인의 형성만으로 스크라이브 라인을 따라 기판이 완전히 절단된다. 크랙이 두께 방향으로 부분적으로만 진행되고 있는 경우에는, 스크라이브 라인의 형성 후에 브레이크 공정으로 칭해지는 응력 부여가 이루어진다. 브레이크 공정에 의해 크랙을 두께 방향으로 완전히 진행시킴으로써, 스크라이브 라인을 따라 기판이 완전히 절단된다.
스크라이브 라인은, 기판의 가장자리를 기점으로 하면 용이하게 형성할 수 있다. 왜냐하면, 기판의 가장자리에 있어서는 국소적인 파괴가 일어나기 쉽고, 이 파괴를 기점으로 하여 스크라이브 라인을 연장시킬 수 있기 때문이다. 그러나, 기판 상에 있어서 가장자리로부터 떨어진 위치로부터 스크라이브 라인을 형성하기 시작하는 것이 요망되는 경우도 많다. 이 경우, 스크라이브 라인의 기점이 기판 표면의 평탄면 상인 점에서, 스크라이브 라인을 형성하기 시작할 때에 칼날 끝이 기판 상에서 미끄러지기 쉽다. 이 때문에 스크라이브을 형성하기 시작하기 위한 계기가 되는 파괴 (이하, 기점 크랙이라고 한다) 를 발생시키기 어렵다. 이 때문에, 기점 크랙을 형성하는 기술이 검토되고 있다.
일본 공개특허공보 2000-264656호 (특허문헌 1) 에 의하면, 워크면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법이 개시되어 있다. 스크라이브 장치는, 커터와, 커터에 진동을 부여하는 진동 발생 부재를 갖는 스크라이브 본체를 포함한다. 이 방법에 의하면, 스크라이브 본체를, 워크로부터 상방으로 떨어뜨린 상태로 워크면을 따라 상대 이동시킴으로써, 커터가 스크라이브 개시점의 바로 위에 위치된다. 다음으로, 스크라이브 본체를 하강시킴으로써, 커터의 선단이 스크라이브 본체의 자중으로 스크라이브 개시점에 대어진다. 그 후, 스크라이브 본체에 충격을 부여함으로써, 워크면에 있어서 가장자리로부터 떨어진 스크라이브 개시점에 기점 크랙이 형성된다. 워크에 진동을 부여함으로써, 기점 크랙을 계기로 하여 스크라이브 라인이 형성된다.
일본 공개특허공보 2000-264656호
상기 공보에 기재된 스크라이브 장치에 의하면, 기점 크랙이 스크라이브 본체 (스크라이브 헤드) 에 충격을 부여함으로써 형성된다. 그러나 충격에만 의존하여 스크라이브 라인의 기점을 얻으려고 하면, 커터에 대하여 큰 충격력을 부가할 필요가 있다. 이 때문에 커터의 칼날 끝에 큰 데미지가 가해진다.
본 발명은 이상과 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 그 목적은, 칼날 끝에 대한 데미지를 억제하면서, 스크라이브 라인의 형성을 기판의 가장자리로부터 떨어진 위치로부터 개시할 수 있는 스크라이브 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 스크라이브 방법은, 다음의 공정을 갖는다. 제 1 및 제 2 변에 의해 구성된 모서리를 갖는 가장자리에 둘러싸인 표면이 형성된 기판이 준비된다. 기판의 표면을 스크라이브함으로써, 제 1 변과의 사이에 기판의 표면을 부분적으로 두도록 제 1 어시스트 라인이 형성된다. 기판의 표면 상에 있어서의, 가장자리로부터 떨어지고 또한 제 1 변과 제 1 어시스트 라인 사이의 위치에 기판으로부터 떨어져 있던 칼날 끝이 가압된다. 기판의 표면 상에 가압된 칼날 끝이, 제 1 어시스트 라인과 교차하는 제 1 궤도에서 슬라이딩된다. 칼날 끝이 제 1 어시스트 라인에 교차하는 것을 계기로 하여 제 1 스크라이브 라인이 형성되기 시작한다.
이 스크라이브 방법에 의하면, 슬라이딩하는 칼날 끝이 제 1 어시스트 라인에 교차하는 것을 계기로 하여 제 1 스크라이브 라인을 형성하기 시작한다. 이로써, 제 1 스크라이브 라인 형성의 계기를 확보하기 위해 칼날 끝에 큰 충격을 부가할 필요가 없어진다. 따라서 칼날 끝에 대한 데미지를 억제하면서, 제 1 스크라이브 라인의 형성을 기판의 가장자리로부터 떨어진 위치로부터 개시할 수 있다.
바람직하게는, 제 1 어시스트 라인이 형성될 때, 제 2 변으로부터 기판의 표면이 스크라이브된다. 이로써, 제 1 어시스트 라인의 형성을 제 2 변을 계기로 하여 개시할 수 있다.
보다 바람직하게는, 제 2 변으로부터 기판의 표면이 스크라이브될 때, 기판의 표면 상에 있어서 칼날 끝이 슬라이딩된다. 슬라이딩하는 칼날 끝은 기판의 표면에 파고드는 계기를 일반적으로 얻기 어렵지만, 기판의 제 2 변 상, 즉 가장자리 상에서는 기판 중에 파고들기 쉽다. 따라서 슬라이딩하는 칼날 끝을 사용하는 경우에도 제 1 어시스트 라인의 형성을 용이하게 개시할 수 있다.
상기 스크라이브 방법은, 다음의 공정을 추가로 가져도 된다. 기판의 표면 상에 있어서의, 가장자리로부터 떨어지고 또한 제 2 변과 제 1 스크라이브 라인 사이의 위치에 기판으로부터 떨어져 있던 칼날 끝이 가압된다. 기판의 표면 상에 가압된 칼날 끝이 제 1 스크라이브 라인과 교차하는 제 2 궤도에서 슬라이딩된다. 칼날 끝이 제 1 스크라이브 라인에 교차하는 것을 계기로 하여 제 2 스크라이브 라인이 형성되기 시작한다. 이로써, 제 1 스크라이브 라인이, 제 2 스크라이브 라인 형성의 계기를 확보하는 어시스트 라인으로서 이용된다. 따라서 별도로 어시스트 라인이 형성되는 경우에 비해 공정을 간소화할 수 있다.
혹은 상기 스크라이브 방법은, 다음의 공정을 추가로 가져도 된다. 제 1 변으로부터 기판의 표면을 스크라이브함으로써, 제 2 변과 제 1 스크라이브 라인 사이에 끼이도록 연장되는 제 2 어시스트 라인이 형성된다. 기판의 표면 상에 있어서의, 가장자리로부터 떨어지고 또한 제 2 변과 제 2 어시스트 라인 사이의 위치에 기판으로부터 떨어져 있던 칼날 끝이 가압된다. 기판의 표면 상에 가압된 칼날 끝이 제 2 어시스트 라인 및 제 1 스크라이브 라인에 순서대로 교차하는 제 2 궤도에서 슬라이딩된다. 칼날 끝이 제 2 어시스트 라인에 교차하는 것을 계기로 하여 제 2 스크라이브 라인이 형성되기 시작한다. 이로써, 제 2 어시스트 라인을 이용하여 형성되기 시작한 제 2 스크라이브 라인은, 신전 (伸展) 됨으로써 안정화된 후, 제 1 스크라이브 라인과 교차한다. 따라서, 제 1 스크라이브 라인의 근방에서 제 2 스크라이브 라인을 안정적으로 형성할 수 있다.
본 발명에 의하면, 상기 서술한 바와 같이, 칼날 끝에 대한 데미지를 억제하면서, 스크라이브 라인의 형성을 기판의 가장자리로부터 떨어진 위치로부터 개시할 수 있다.
도 1 은 본 발명의 실시형태 1 에 있어서의 스크라이브 방법을 개략적으로 나타내는 플로우도이다.
도 2 는 본 발명의 실시형태 1 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 1 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 3 은 본 발명의 실시형태 1 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 2 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 4 는 본 발명의 실시형태 1 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 3 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 5 는 본 발명의 실시형태 1 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 4 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 6 은 본 발명의 실시형태 1 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 5 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 7 은 본 발명의 실시형태 1 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 6 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 8 은 본 발명의 실시형태 1 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 7 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 9 는 도 2 의 공정을 개략적으로 나타내는 부분 측면도이다.
도 10 은 본 발명의 실시형태 2 에 있어서의 스크라이브 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 부분 측면도이다.
도 11 은 본 발명의 실시형태 3 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 1 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 12 는 본 발명의 실시형태 3 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 2 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 13 은 본 발명의 실시형태 3 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 3 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 14 는 본 발명의 실시형태 3 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 4 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 15 는 본 발명의 실시형태 3 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 5 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 16 은 본 발명의 실시형태 3 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 6 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 17 은 본 발명의 실시형태 3 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 7 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 18 은 본 발명의 실시형태 4 에 있어서의 스크라이브 방법을 개략적으로 나타내는 플로우도이다.
도 19 는 본 발명의 실시형태 4 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 1 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 20 은 본 발명의 실시형태 4 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 2 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 21 은 본 발명의 실시형태 4 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 3 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 22 는 본 발명의 실시형태 4 에 있어서의 스크라이브 방법의 제 4 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
이하, 도면에 기초하여 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 또한, 이하의 도면에 있어서 동일하거나 또는 상당하는 부분에는 동일한 참조 번호를 부여하고 그 설명은 반복하지 않는다.
(실시형태 1)
도 1 은 본 실시형태에 있어서의 스크라이브 방법을 개략적으로 나타내는 플로우도이다. 도 2 ∼ 도 8 은 이 스크라이브 방법의 공정을 순서대로 나타내는 상면도이다.
도 2 를 참조하면, 유리로 제조된 마더 기판 (4) (기판) 이 준비된다 (도 1 : 단계 S10). 마더 기판 (4) 에는, 변 (D1 ∼ D4) (제 1 ∼ 제 4 변) 을 갖는 가장자리에 둘러싸인 표면이 형성되어 있다. 변 D1 및 D2 는, 도면 중, 좌측 상측의 모서리를 구성하고 있다. 변 D2 및 D3 은, 도면 중, 우측 상측의 모서리를 구성하고 있다. 변 D3 및 D4 는, 도면 중, 우측 하측의 모서리를 구성하고 있다. 변 D4 및 D1 은, 도면 중, 좌측 하측의 모서리를 구성하고 있다. 본 실시형태에 있어서는, 마더 기판 (4) 의 표면은 이들 4 개의 모서리를 갖는 장방형의 가장자리에 둘러싸여 있다. 여기서 장방형이란, 정방형을 포함하는 개념이다.
마더 기판 (4) 의 표면이, 변 (D1) 과 평행한 방향 (DR1) 을 향하여 변 (D2) 으로부터 스크라이브된다. 구체적으로는, 추가로 도 9 를 참조하면, 테이블 (11) 상에 지지된 마더 기판 (4) 의 표면 상에 있어서, 커터 (120) 의 칼날 끝 (121) (도 9) 이 방향 (DR1) 을 향하여 슬라이딩된다. 이로써, 변 (D1) 으로부터 떨어지고 또한 변 (D2) 상에 위치하는 기점 (PL1) 으로부터 방향 (DR1) 을 향하여 어시스트 라인 (AL1) (제 1 어시스트 라인) 이 형성된다 (도 1 : 단계 S20). 어시스트 라인 (AL1) 은, 변 (D1) 과의 사이에 마더 기판 (4) 의 표면을 부분적으로 두도록 (도면 중, 마더 기판 (4) 의 좌측 부분을 두도록) 형성된다. 본 실시형태에 있어서는, 어시스트 라인 (AL1) 은 변 (D1) 과 평행하게 연장되고, 변 (D2 및 D4) 사이를 연결한다.
또한 도 9 에 나타내는 바와 같이, 커터 (120) 는, 칼날 끝 (121) 을 유지하는 홀더 (122) 를 가져도 된다. 커터 (120) 는 다이아몬드 포인트인 것이 바람직하다. 즉 칼날 끝 (121) 은 다이아몬드로 제조되어 있는 것이 바람직하다. 다이아몬드는, 천연의 혹은 합성된 단결정체 다이아몬드, 다결정체 다이아몬드, 또는 다이아몬드 입자를 철족 원소 등의 결합재에 의해 결합시킨 소결 다이아몬드이다.
도 3 을 참조하면, 마더 기판 (4) 으로부터 떨어져 있던 칼날 끝 (121) (도 9) 이 마더 기판 (4) 의 표면 상의 접촉점 (PP1) 에 가압된다 (도 1 : 단계 S30). 접촉점 (PP1) 은, 마더 기판 (4) 의 가장자리로부터 떨어지고 또한 변 (D1) 과 어시스트 라인 (AL1) 사이이다. 여기서 「변 (D1) 과 어시스트 라인 (AL1) 사이」란, 변 (D1) 및 어시스트 라인 (AL1) 사이에 끼이고, 또한 변 (D1) 및 어시스트 라인 (AL1) 의 각각으로부터 떨어진 위치를 말한다. 본 실시형태에 있어서는, 이 칼날 끝 (121) 은 어시스트 라인 (AL1) 의 형성에 사용한 것과 동일하거나 또는 마찬가지의 것이다. 다음으로, 마더 기판 (4) 의 표면 상에 가압된 칼날 끝 (121) 이, 어시스트 라인 (AL1) 과 교차점 (PA1) 에서 교차하여 변 (D3) 에 이르는 궤도 (TJ1) (제 1 궤도) 에서, 변 (D2) 과 평행한 방향 (DR2) 을 향하여 슬라이딩된다 (도 1 : 단계 S40).
도 4 를 참조하면, 칼날 끝 (121) 이 어시스트 라인 (AL1) 에 교차하는 것을 계기로 하여 스크라이브 라인 (SL1) (제 1 스크라이브 라인) 이 형성되기 시작한다. 구체적으로는, 접촉점 (PP1) 에서 교차점 (PA1) 까지의 구간 (NL1) 에 있어서 마더 기판 (4) 의 표면을 미끄러지고 있던 칼날 끝 (121) 이, 교차점 (PA1) 에 있어서 어시스트 라인 (AL1) 의 크랙에 걸린다. 이로써 칼날 끝 (121) 이 교차점 (PA1) 을 기점으로 하여 스크라이브 라인 (SL1) 을 형성하기 시작한다.
또한 칼날 끝 (121) 이 마더 기판 (4) 의 표면을 미끄러지는 경우, 마더 기판 (4) 의 표면에 흠집이 형성될 수 있다. 이 흠집은, 전술한 브레이크 공정에 이용하기에는 지나치게 얕은 것으로서, 본 명세서에 있어서의「스크라이브 라인」에 상당하는 것은 아니다.
도 5 를 참조하면, 스크라이브 라인 (SL1) 과 변 (D4) 사이에 스크라이브 라인 (SL1) 과 병주 (竝走) 하는 스크라이브 라인 (SL1a ∼ SL1d) 이 형성된다. 스크라이브 라인 (SL1a ∼ SL1d) 의 형성 방법은, 스크라이브 라인 (SL1) 의 형성 방법과 동일하다.
도 6 을 참조하면, 마더 기판 (4) 으로부터 떨어져 있던 칼날 끝 (121) (도 9) 이 마더 기판 (4) 의 표면 상의 접촉점 (PP2) 에 가압된다 (도 1 : 단계 S50). 접촉점 (PP2) 은, 마더 기판 (4) 의 가장자리로부터 떨어지고 또한 변 (D2) 과 스크라이브 라인 (SL1) 사이이다. 여기서「변 (D2) 과 스크라이브 라인 (SL1) 사이」란, 변 (D2) 및 스크라이브 라인 (SL1) 사이에 끼이고 또한 변 (D2) 및 스크라이브 라인 (SL1) 의 각각으로부터 떨어진 위치를 말한다. 본 실시형태에 있어서는, 이 칼날 끝 (121) 은 어시스트 라인 (AL1) 의 형성에 사용한 것과 동일하거나 또는 마찬가지의 것이다. 다음으로, 마더 기판 (4) 의 표면 상에 가압된 칼날 끝 (121) 이, 스크라이브 라인 (SL1) 과 교차점 (PS2) 에서 교차하는 궤도 (TJ2) (제 2 궤도) 에서, 변 (D1) 과 평행하게 슬라이딩된다 (도 1 : 단계 S60).
도 7 을 참조하면, 칼날 끝 (121) 이 스크라이브 라인 (SL1) 에 교차하는 것을 계기로 하여 스크라이브 라인 (SL2) (제 2 스크라이브 라인) 이 형성되기 시작한다. 구체적으로는, 접촉점 (PP2) 에서 교차점 (PS2) 까지의 구간 (NL2) 에 있어서 마더 기판 (4) 의 표면을 미끄러지고 있던 칼날 끝 (121) 이, 교차점 (PS2) 에 있어서 스크라이브 라인 (SL1) 의 크랙에 걸림으로써, 교차점 (PS2) 을 기점으로 하여 스크라이브 라인 (SL2) 을 형성하기 시작한다.
도 8 을 참조하면, 스크라이브 라인 (SL2) 과 변 (D3) 사이에 스크라이브 라인 (SL2) 과 병주하는 스크라이브 라인 (SL2a 및 SL2b) 이 형성된다. 스크라이브 라인 (SL2a 및 SL2b) 의 형성 방법은, 스크라이브 라인 (SL2) 의 형성 방법과 동일하다.
이상에 의해, 변 (D2) 에 평행하게 병주하는 스크라이브 라인 (SL1 및 SL1a ∼ SL1d) 과, 변 (D1) 에 평행하게 병주하는 어시스트 라인 (AL1), 스크라이브 라인 (SL2, SL2a 및 SL2b) 에 의해, 단위 기판 (U1 ∼ U12) 이 되는 부분이 구획된다. 다음으로 마더 기판 (4) 이 브레이크 장치 (도시 생략) 로 반송된다. 그리고 마더 기판 (4) 의 브레이크 공정이 실시된다. 이로써, 서로 분리된 단위 기판 (U1 ∼ U12) 이 얻어진다.
본 실시형태에 의하면, 슬라이딩하는 칼날 끝 (121) (도 9) 이 어시스트 라인 (AL1) (도 4) 에 교차점 (PA1) 에서 교차하는 것을 계기로 하여 스크라이브 라인 (SL1) 을 형성하기 시작한다. 이로써, 스크라이브 라인 (SL1) 형성의 계기를 확보하기 위해 칼날 끝 (121) 에 큰 충격을 부가할 필요가 없어진다. 따라서 칼날 끝 (121) 에 대한 데미지를 억제하면서, 스크라이브 라인 (SL1) 의 형성을 마더 기판 (4) 의 가장자리로부터 떨어진 위치 (교차점 (PA1)) 로부터 개시할 수 있다.
또 어시스트 라인 (AL1) (도 2) 이 형성될 때, 변 (D2) 상의 기점 (PL1) 으로부터 마더 기판 (4) 의 표면이 스크라이브된다. 이로써, 어시스트 라인 (AL1) 의 형성을 변 (D2) 을 계기로 하여 개시할 수 있다. 또 변 (D2) 으로부터 마더 기판 (4) 의 표면이 스크라이브될 때, 마더 기판 (4) 의 표면 상에 있어서 칼날 끝 (121) (도 9) 이 슬라이딩된다.
슬라이딩하는 칼날 끝 (121) 은 마더 기판 (4) 의 표면에 파고드는 계기를 일반적으로 얻기 어렵지만, 마더 기판 (4) 의 변 (D2) 상, 즉 가장자리 상에서는, 마더 기판 (4) 중에 파고들기 쉽다. 따라서 슬라이딩하는 칼날 끝 (121) 을 사용하는 경우에도 어시스트 라인 (AL1) 의 형성을 용이하게 개시할 수 있다.
또 칼날 끝 (121) 이 스크라이브 라인 (SL1) (도 7) 에 교차점 (PS2) 에서 교차하는 것을 계기로 하여 스크라이브 라인 (SL2) 이 형성되기 시작한다. 이로써, 스크라이브 라인 (SL1) 이, 스크라이브 라인 (SL2) 형성의 계기를 확보하는 어시스트 라인으로서 이용된다. 따라서 별도로 어시스트 라인이 형성되는 경우에 비해 공정을 간소화할 수 있다.
(실시형태 2)
도 10 을 참조하면, 본 실시형태에서는, 실시형태 1 에 있어서 스크라이브 라인 (SL1) 을 형성할 때 (도 3 및 도 4), 스크라이브 헤드 (30) 가 사용된다. 스크라이브 헤드 (30) 는, 스크라이브 헤드 (30) 를 마더 기판 (4) 에 대하여 상대 변위시키는 기구 (도 10 에 있어서 도시 생략) 와 함께, 스크라이브 장치에 장착되어 사용된다.
스크라이브 헤드 (30) 는, 보디부 (110) 와, 커터 (120) (도 9) 와, 하중부 (130) 를 갖는다. 커터 (120) 는 보디부 (110) 에 장착되어 있다. 커터 (120) 는, 보디부 (110) 로부터의 작용에 의해 마더 기판 (4) 의 표면에 힘 (F) 으로 가압된다. 보디부 (110) 는 지지점 (AX) 둘레로 회전 운동 가능하게 지지되고 있다. 하중부 (130) 는, 마더 기판 (4) 의 표면 상에 커터 (120) 가 가압되도록 보디부 (110) 에 연속적인 힘 (LD) 을 부가할 수 있는 것이다. 하중부 (130) 는, 힘 (LD) 을 발생시키기 위한 에어 실린더 (131) 와, 힘을 전달하기 위한 가압 핀 (132) 을 갖는다.
에어 실린더 (131) 에 의해 보디부 (110) 에 연속적인 힘 (LD) 이 부가됨으로써, 마더 기판 (4) 의 표면 상에 커터 (120) 의 칼날 끝 (121) 이 힘 (F) 으로 가압된다. 힘 (F) 이 부가된 상태로, 스크라이브 헤드 (30) 를 방향 (DR2) 을 향하여 이동시킴으로써 마더 기판 (4) 의 표면 상에서 칼날 끝 (121) 이 주행된다. 방향 (DR2) 은, 지지점 (AX) 에서 칼날 끝 (121) 을 향하는 방향을 따르고 있다. 따라서 마더 기판 (4) 의 표면 상에 있어서의 칼날 끝 (121) 의 주행은, 칼날 끝 (121) 의 후측에 지지점 (AX) 이 위치하도록 실시된다.
또한, 상기 이외의 구성에 대해서는, 상기 서술한 실시형태 1 의 구성과 거의 동일하기 때문에, 동일하거나 또는 대응하는 요소에 대해 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 반복하지 않는다.
본 실시형태에 의하면, 보디부 (110) 의 회전 운동을 통하여 칼날 끝 (121) 에 하중을 전달할 수 있다. 또 마더 기판 (4) 의 표면 상에서 칼날 끝 (121) 이 주행할 때, 지지점 (AX) 이 칼날 끝 (121) 의 후측에 위치한다. 이로써, 스크라이브 라인 (SL1) 의 형성에 있어서 커터 (120) 가 마더 기판 (4) 중에 파고들기 쉬워진다. 따라서, 스크라이브 라인 (SL1) 을 형성하기 시작하는 계기를 교차점 (PA1) (도 4) 에서 보다 확실하게 얻을 수 있다. 따라서 스크라이브 라인 (SL1) 을 보다 확실하게 형성할 수 있다.
(실시형태 3)
도 11 ∼ 도 17 은 본 실시형태에 있어서의 스크라이브 방법의 공정을 순서대로 나타내는 상면도이다.
도 11 을 참조하면, 마더 기판 (4) 이 준비된다 (도 1 : 단계 S10). 마더 기판 (4) 의 표면이 변 (D1) 과 평행한 방향 (DR1) 을 향하여 변 (D2) 에서 종료점 (PE1) 까지 칼날 끝 (121) (도 9) 에 의해 스크라이브된다. 종료점 (PE1) 은 마더 기판 (4) 표면의 가장자리로부터 떨어져 있다. 이로써, 변 (D1) 으로부터 떨어지고 또한 변 (D2) 상에 위치하는 기점 (PL1) 으로부터 방향 (DR1) 을 향하여 어시스트 라인 (AL1v) (제 1 어시스트 라인) 이 형성된다 (도 1 : 단계 S20). 어시스트 라인 (AL1) 은, 변 (D1) 과의 사이에 마더 기판 (4) 의 표면을 부분적으로 두도록 (도면 중, 마더 기판 (4) 의 좌측 상측 부분을 두도록) 형성된다. 본 실시형태에 있어서는, 어시스트 라인 (AL1) 은 변 (D1) 과 평행하게 연장되어 있다.
도 12 를 참조하면, 마더 기판 (4) 으로부터 떨어져 있던 칼날 끝 (121) (도 9) 이 마더 기판 (4) 의 표면 상의 접촉점 (PP1) 에 가압된다 (도 1 : 단계 S30). 접촉점 (PP1) 은, 마더 기판 (4) 의 가장자리로부터 떨어지고 또한 변 (D1) 과 어시스트 라인 (AL1v) 사이이다. 여기서「변 (D1) 과 어시스트 라인 (AL1v) 사이」란, 변 (D1) 및 어시스트 라인 (AL1v) 사이에 끼이고 또한 변 (D1) 및 어시스트 라인 (AL1v) 의 각각으로부터 떨어진 위치를 말한다. 본 실시형태에 있어서는, 이 칼날 끝 (121) 은 어시스트 라인 (AL1v) 의 형성에 사용한 것과 동일하거나 또는 마찬가지의 것이다. 다음으로, 마더 기판 (4) 의 표면 상에 가압된 칼날 끝 (121) 이, 어시스트 라인 (AL1v) 과 교차점 (PA1) 에서 교차하여 종료점 (PE2) 에 이르는 궤도 (TJ1v) (제 1 궤도) 에서, 변 (D2) 과 평행한 방향 (DR2) 을 향하여 슬라이딩된다 (도 1 : 단계 S40). 종료점 (PE2) 은 마더 기판 (4) 의 표면의 가장자리로부터 떨어져 있다.
도 13 을 참조하면, 칼날 끝 (121) 이 어시스트 라인 (AL1v) 에 교차하는 것을 계기로 하여 스크라이브 라인 (SL1v) (제 1 스크라이브 라인) 이 형성되기 시작한다. 구체적으로는, 접촉점 (PP1) 에서 교차점 (PA1) 까지의 구간 (NL1) 에 있어서 마더 기판 (4) 의 표면을 미끄러지고 있던 칼날 끝 (121) 이, 교차점 (PA1) 에 있어서 어시스트 라인 (AL1v) 의 크랙에 걸림으로써, 교차점 (PA1) 을 기점으로 하여 스크라이브 라인 (SL1v) 을 형성하기 시작한다.
도 14 를 참조하면, 스크라이브 라인 (SL1v) 과 변 (D4) 사이에 스크라이브 라인 (SL1v) 과 병주하는 스크라이브 라인 (SL1va ∼ SL1vd) 이 형성된다. 스크라이브 라인 (SL1va ∼ SL1vd) 의 형성 방법은, 스크라이브 라인 (SL1v) 의 형성 방법과 동일하다.
도 15 를 참조하면, 마더 기판 (4) 으로부터 떨어져 있던 칼날 끝 (121) (도 9) 이 마더 기판 (4) 의 표면 상의 접촉점 (PP2) 에 가압된다 (도 1 : 단계 S50). 접촉점 (PP2) 은, 마더 기판 (4) 의 가장자리로부터 떨어지고 또한 변 (D2) 과 스크라이브 라인 (SL1v) 사이이다. 여기서「변 (D2) 과 스크라이브 라인 (SL1v) 사이」란, 변 (D2) 및 스크라이브 라인 (SL1v) 사이에 끼이고 또한 변 (D2) 및 스크라이브 라인 (SL1v) 의 각각으로부터 떨어진 위치를 말한다. 본 실시형태에 있어서는, 이 칼날 끝 (121) 은 어시스트 라인 (AL1v) 의 형성에 사용한 것과 동일하거나 또는 마찬가지의 것이다. 다음으로, 마더 기판 (4) 의 표면 상에 가압된 칼날 끝 (121) 이, 스크라이브 라인 (SL1v) 과 교차점 (PS2) 에서 교차하여 종료점 (PE3) 에 이르는 궤도 (TJ2v) (제 2 궤도) 에서, 변 (D1) 과 평행하게 슬라이딩된다 (도 1 : 단계 S60). 종료점 (PE3) 은 마더 기판 (4) 의 표면의 가장자리로부터 떨어져 있다.
도 16 을 참조하면, 칼날 끝 (121) 이 스크라이브 라인 (SL1v) 에 교차하는 것을 계기로 하여 스크라이브 라인 (SL2v) (제 2 스크라이브 라인) 이 형성되기 시작한다. 구체적으로는, 접촉점 (PP2) 에서 교차점 (PS2) 까지의 구간 (NL2) 에 있어서 마더 기판 (4) 의 표면을 미끄러지고 있던 칼날 끝 (121) 이, 교차점 (PS2) 에 있어서 스크라이브 라인 (SL1v) 의 크랙에 걸림으로써, 교차점 (PS2) 을 기점으로 하여 스크라이브 라인 (SL2v) 을 형성하기 시작한다.
도 17 을 참조하면, 스크라이브 라인 (SL2v) 과 변 (D3) 사이에 스크라이브 라인 (SL2v) 과 병주하는 스크라이브 라인 (SL2va 및 SL2vb) 이 형성된다. 스크라이브 라인 (SL2va 및 SL2vb) 의 형성 방법은, 스크라이브 라인 (SL2v) 의 형성 방법과 동일하다.
이상에 의해, 변 (D2) 에 평행하게 병주하는 스크라이브 라인 (SL1v 및 SL1va ∼ SL1vd) 과, 변 (D1) 에 평행하게 병주하는 어시스트 라인 (AL1v), 스크라이브 라인 (SL2v, SL2va 및 SL2vb) 에 의해, 단위 기판 (U1 ∼ U12) 이 되는 부분이 구획된다. 다음으로 마더 기판 (4) 이 브레이크 장치 (도시 생략) 로 반송된다. 그리고 마더 기판 (4) 의 브레이크 공정이 실시된다. 이로써, 서로 분리된 단위 기판 (U1 ∼ U12) 이 얻어진다.
또한, 상기 이외의 구성에 대해서는, 상기 서술한 실시형태 1 또는 2 의 구성과 거의 동일하기 때문에, 동일하거나 또는 대응하는 요소에 대해 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 반복하지 않는다.
본 실시형태에 의하면, 스크라이브가 종료된 시점에서, 마더 기판 (4) 의 표면의 가장자리는, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 일련으로 연결되어 있다. 구체적으로는, 스크라이브에 의해 나뉘어져 있지 않은 영역이 가장자리를 따라 변 (D1) 에서 변 (D4) 및 변 (D3) 을 순서대로 경유하여 변 (D2) 으로 연속적으로 연장되어 있다. 이로써, 스크라이브 후 브레이크 전의 마더 기판 (4) 의 반송 중에 마더 기판 (4) 이 의도치 않게 복수의 부분으로 분리되는 것이 억제된다.
(실시형태 4)
도 18 은 본 실시형태에 있어서의 스크라이브 방법을 개략적으로 나타내는 플로우도이다. 본 실시형태에 있어서는 실시형태 1 의 도 2 ∼ 도 5 와 동일한 공정 (도 1의 단계 S10 ∼ S40 과 동일한 공정) 이 먼저 실시된다. 그 이후의 공정에 대해, 이하에 설명한다.
도 19 를 참조하면, 변 (D1) 으로부터 마더 기판 (4) 의 표면을 스크라이브함으로써, 변 (D2) 과 스크라이브 라인 (SL1) 사이에 끼이도록 연장되는 어시스트 라인 (AL2) (제 2 어시스트 라인) 이 형성된다 (도 18 : 단계 S52).
도 20 을 참조하면, 마더 기판 (4) 으로부터 떨어져 있던 칼날 끝 (121) (도 9) 이 마더 기판 (4) 의 표면 상의 접촉점 (PP2) 에 가압된다 (도 18 : 단계 S54). 접촉점 (PP2) 은, 마더 기판 (4) 의 가장자리로부터 떨어지고 또한 변 (D2) 과 어시스트 라인 (AL2) 사이이다. 여기서「변 (D2) 과 어시스트 라인 (AL2) 사이」란, 변 (D2) 및 어시스트 라인 (AL2) 사이에 끼이고 또한 변 (D2) 및 어시스트 라인 (AL2) 의 각각으로부터 떨어진 위치를 말한다. 본 실시형태에 있어서는, 이 칼날 끝 (121) 은 어시스트 라인 (AL1) 의 형성에 사용한 것과 동일하거나 또는 마찬가지의 것이다. 다음으로, 마더 기판 (4) 의 표면 상에 가압된 칼날 끝 (121) 이 어시스트 라인 (AL2) 및 스크라이브 라인 (SL1) 에 순서대로 교차하는 궤도 (TJ2) (제 2 궤도) 에서 슬라이딩된다 (도 18 : 단계 S62).
도 21 을 참조하면, 칼날 끝 (121) 이 어시스트 라인 (AL2) 에 교차하는 것을 계기로 하여 스크라이브 라인 (SL2) (제 2 스크라이브 라인) 이 형성되기 시작한다. 구체적으로는, 접촉점 (PP2) 에서 교차점 (PA2) 까지의 구간 (NL2) 에 있어서 마더 기판 (4) 의 표면을 미끄러지고 있던 칼날 끝 (121) 이, 교차점 (PA2) 에 있어서 어시스트 라인 (AL2) 의 크랙에 걸림으로써, 교차점 (PA2) 을 기점으로 하여 스크라이브 라인 (SL2) 을 형성하기 시작한다.
도 22 를 참조하면, 스크라이브 라인 (SL2) 과 변 (D3) 사이에 스크라이브 라인 (SL2) 과 병주하는 스크라이브 라인 (SL2a 및 SL2b) 이 형성된다. 스크라이브 라인 (SL2a 및 SL2b) 의 형성 방법은, 스크라이브 라인 (SL2) 의 형성 방법과 동일하다.
이상에 의해, 변 (D2) 에 평행하게 병주하는 스크라이브 라인 (SL1 및 SL1a ∼ SL1d) 과, 변 (D1) 에 평행하게 병주하는 어시스트 라인 (AL1), 스크라이브 라인 (SL2, SL2a 및 SL2b) 에 의해, 단위 기판 (U1 ∼ U12) 이 되는 부분이 구획된다. 다음으로 마더 기판 (4) 이 브레이크 장치 (도시 생략) 로 반송된다. 그리고 마더 기판 (4) 의 브레이크 공정이 실시된다. 이로써, 서로 분리된 단위 기판 (U1 ∼ U12) 이 얻어진다.
본 실시형태에 의하면, 어시스트 라인 (AL2) (도 21) 을 이용하여 형성되기 시작한 스크라이브 라인 (SL2) 은, 신전됨으로써 안정화된 후, 스크라이브 라인 (SL1) 과 교차한다. 따라서, 스크라이브 라인 (SL1) 의 근방에서 스크라이브 라인 (SL2) 을 안정적으로 형성할 수 있다.
또한, 본 발명은, 그 발명의 범위 내에 있어서, 각 실시형태를 자유롭게 조합하거나, 각 실시형태를 적절히 변형, 생략할 수 있다. 예를 들어, 상기 각 실시형태에 있어서는 어시스트 라인 (AL1) 이 마더 기판 (4) 의 변 (D2) 상의 기점 (PL1) (도 2) 으로부터 형성되지만, 대신에 변 (D2) 으로부터 떨어진 기점으로부터 형성되어도 된다. 또 도 9 에 나타내는 바와 같이 마더 기판 (4) 을 정치 (靜置) 시키면서 칼날 끝 (121) 을 이동시킴으로써 스크라이브를 실시하는 대신에, 이것과 등가의 상대 이동이 마더 기판 (4) 과 칼날 끝 (121) 사이에서 발생하도록, 칼날 끝 (121) 을 정지시키면서 마더 기판 (4) 을 이동시키거나, 이들 양방을 이동시키거나 해도 된다.
또 마더 기판 (4) 은 유리로 제조되어 있지만, 대신에 다른 취성 재료로 제조되어 있어도 된다. 또 어시스트 라인 (AL1) 의 형성 (도 2) 을 위한 스크라이브는, 마더 기판 (4) 의 표면 상에 있어서의 칼날 끝 (121) 의 슬라이딩 (도 9) 대신에, 휠상의 칼날 끝의 전동 (轉動) 에 의해 실시되어도 된다. 어시스트 라인 (AL2) (도 19) 에 대해서도 동일하다.
4 : 마더 기판 (기판)
11 : 테이블
110 : 보디부
120 : 커터
121 : 칼날 끝
122 : 홀더
130 : 하중부
131 : 에어 실린더
132 : 가압 핀
30 : 스크라이브 헤드
AL1, AL1v : 어시스트 라인 (제 1 어시스트 라인)
AL2 : 어시스트 라인 (제 2 어시스트 라인)
AX : 지지점
D1 ∼ D4 : 변 (제 1 ∼ 제 4 변)
SL1, SL1v : 스크라이브 라인 (제 1 스크라이브 라인)
SL1a ∼ SL1d, SL1va ∼ SL1vd : 스크라이브 라인
SL2, SL2v : 스크라이브 라인 (제 2 스크라이브 라인)
SL2a, SL2b, SL2va, SL2vb : 스크라이브 라인
TJ1, TJ1v : 궤도 (제 1 궤도)
TJ2, TJ2v : 궤도 (제 2 궤도)
U1 ∼ U12 : 단위 기판

Claims (5)

  1. 제 1 및 제 2 변에 의해 구성된 모서리를 갖는 가장자리에 둘러싸인 표면이 형성된 기판을 준비하는 공정과,
    상기 기판의 상기 표면을 스크라이브함으로써, 상기 제 1 변과의 사이에 상기 기판의 상기 표면을 부분적으로 두도록 제 1 어시스트 라인을 형성하는 공정과,
    상기 기판의 상기 표면 상에 있어서의, 상기 가장자리로부터 떨어지고 또한 상기 제 1 변과 상기 제 1 어시스트 라인 사이의 위치에 상기 기판으로부터 떨어져 있던 칼날 끝을 가압하는 공정과,
    상기 기판의 상기 표면 상에 가압된 상기 칼날 끝을 상기 제 1 어시스트 라인과 교차하는 제 1 궤도에서 슬라이딩시키는 공정을 구비하고, 상기 칼날 끝이 상기 제 1 어시스트 라인에 교차하는 것을 계기로 하여 제 1 스크라이브 라인이 형성되기 시작하는 스크라이브 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 어시스트 라인을 형성하는 공정은, 상기 제 2 변으로부터 상기 기판의 상기 표면을 스크라이브하는 공정을 포함하는 스크라이브 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 변으로부터 상기 기판의 상기 표면을 스크라이브하는 공정은, 상기 기판의 상기 표면 상에 있어서 칼날 끝을 슬라이딩시키는 공정을 포함하는 스크라이브 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판의 상기 표면 상에 있어서의, 상기 가장자리로부터 떨어지고 또한 상기 제 2 변과 상기 제 1 스크라이브 라인 사이의 위치에 상기 기판으로부터 떨어져 있던 칼날 끝을 가압하는 공정과,
    상기 기판의 상기 표면 상에 가압된 상기 칼날 끝을 상기 제 1 스크라이브 라인과 교차하는 제 2 궤도에서 슬라이딩시키는 공정을 추가로 구비하고, 상기 칼날 끝이 상기 제 1 스크라이브 라인에 교차하는 것을 계기로 하여 제 2 스크라이브 라인이 형성되기 시작하는 스크라이브 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 변으로부터 상기 기판의 상기 표면을 스크라이브함으로써, 상기 제 2 변과 상기 제 1 스크라이브 라인 사이에 끼이도록 연장되는 제 2 어시스트 라인을 형성하는 공정과,
    상기 기판의 상기 표면 상에 있어서의, 상기 가장자리로부터 떨어지고 또한 상기 제 2 변과 상기 제 2 어시스트 라인 사이의 위치에 상기 기판으로부터 떨어져 있던 칼날 끝을 가압하는 공정과,
    상기 기판의 상기 표면 상에 가압된 칼날 끝을 상기 제 2 어시스트 라인 및 상기 제 1 스크라이브 라인에 순서대로 교차하는 제 2 궤도에서 슬라이딩시키는 공정을 구비하고, 상기 칼날 끝이 상기 제 2 어시스트 라인에 교차하는 것을 계기로 하여 제 2 스크라이브 라인이 형성되기 시작하는 스크라이브 방법.
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