KR20150041387A - A Apparatus for Depositing Large Area Thin Film - Google Patents

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KR20150041387A KR20130119842A KR20130119842A KR20150041387A KR 20150041387 A KR20150041387 A KR 20150041387A KR 20130119842 A KR20130119842 A KR 20130119842A KR 20130119842 A KR20130119842 A KR 20130119842A KR 20150041387 A KR20150041387 A KR 20150041387A
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Abstract

The present invention relates to an apparatus for depositing large area thin film, comprises: a deposition chamber wherein the deposition process is in progress with respect to a substrate; a crucible for receiving the evaporating material and discharging the evaporating material into the deposition chamber depending on the heating; and an linear moving unit wherein the crucible is provided so as to move to the one end of the deposition chamber; a linear lifting unit wherein the crucible moved to the one end of the deposition chamber is provided so as to lift in the vertical direction. In the end, the manufacturing cost of the equipment can be lowered by reducing the height of the entire equipment by reducing the height of the crucible, and the removable crucible is simple so that work space for the detachable crucible is sufficiently provided so that the safety of the operator can significantly be increased.

Description

대면적 박막 증착장치{A Apparatus for Depositing Large Area Thin Film}[0001] The present invention relates to a large area thin film deposition apparatus,

본 발명은 대면적 박막 증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도가니의 높이를 줄여 전체 장비의 높이를 줄임으로써 장비의 제작비용을 절감할 수 있고, 도가니의 탈부착에 대한 작업공간이 충분히 마련되어 도가니의 탈부착이 간단하므로, 작업자의 안정성을 크게 향상시킬 수 있는 대면적 박막 증착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a large-area thin-film deposition apparatus, and more particularly, to a method of manufacturing a large-area thin-film deposition apparatus capable of reducing the height of a crucible by reducing the height of the entire apparatus, The present invention relates to a large-area thin film deposition apparatus capable of greatly improving the stability of an operator.

최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광을 받고 있다. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 EL(Organic Electro Luminescence) 등이 대표적이다.[0002] Recently, with the rapid development of information and communication technology and the expansion of the market, a flat panel display (FPD) has attracted attention as a display device. Examples of such flat panel display devices include a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic EL (Organic Electro Luminescence).

그 중에서도, 최근에는 저전압 구동, 자기발광, 경량 박형, 광시야각, 빠른 응답속도 등의 장점을 갖는 유기 EL(Organic Electro Luminescence)이 각광받고 있는 추세인데, 유기 EL 소자를 제작하는데 있어서 가장 중요한 공정은 유기박막을 형성하는 공정이며, 이러한 유기 박막을 형성하기 위해서는 진공 증착이 주로 사용된다.Among them, organic EL (Organic Electro Luminescence) having advantages of low-voltage driving, self-luminescence, light-weight thin type, wide viewing angle, fast response speed and the like are in the spotlight. And an organic thin film is formed. In order to form such an organic thin film, vacuum deposition is mainly used.

이러한 진공 증착은 챔버 내에 기판(glass)와 같은 기판과 파우더(powder) 형태의 원료 물질이 담긴 포인트 소스(point source) 또는 점증발원과 같은 증발원을 대향 배치하고, 증발원 내에 담긴 파우더 형태의 원료 물질을 증발시켜 증발된 원료 물질을 분사함으로써 기판의 일면에 유기 박막을 형성한다. 최근에는 기판이 점차 대면적화되고 있으며, 대면적 기판에 박막을 증착하기 위해서는 도가니 안에 증착 물질이 충분히 공급되어야 하므로, 도가니의 볼륨이 커야 한다. In such a vacuum deposition process, a substrate such as a glass substrate and an evaporation source such as a point source or a gradual source containing a raw material in the form of powder are disposed in a chamber, and a powdery raw material contained in the evaporation source And the organic thin film is formed on one surface of the substrate by spraying the evaporated raw material. In recent years, the substrate has gradually become large-sized, and in order to deposit a thin film on a large-area substrate, the evaporation material must be sufficiently supplied in the crucible, so that the volume of the crucible must be large.

따라서, 도가니의 높이가 높게 되어 장비 하단의 공간을 많이 차지하게 되므로, 제작 비용이 증가되는 문제점이 있다. Therefore, the height of the crucible is increased, and the space at the lower end of the equipment is occupied more, resulting in an increase in production cost.

또한, 종래의 선형증발원에서는 도가니를 분리할 수 있는 작업공간이 협소하여 도가니의 탈부착할 경우, 히터 블럭을 다운시킨 후 작업자가 직접 장비 밑으로 들어가서 스크류로 조립되어 있는 도가니를 탈부착해야 하므로, 안전성에도 큰 문제가 있었다.In addition, in the conventional linear evaporation source, when the crucible is detached and attached because the work space for separating the crucible is small, the operator must descend directly after the heater block is lowered and the crucible assembled with the screw must be detached and attached. There was a big problem.

대한민국 공개특허 제2013-069037호.Korean Patent Publication No. 2013-069037.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 도가니의 높이를 줄여 전체 장비의 높이를 줄임으로써 장비의 제작비용을 절감할 수 있고, 도가니의 탈부착에 대한 작업공간이 충분히 마련되어 도가니의 탈부착이 간단하므로, 작업자의 안정성을 크게 향상시킬 수 있는 대면적 박막 증착장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to reduce the height of the crucible by reducing the height of the crucible, thereby reducing the manufacturing cost of the crucible and sufficient work space for crucible detachment, The present invention has an object to provide a large-area thin film deposition apparatus which can greatly improve the stability of an operator.

또한, 도가니의 높이를 줄이면서도 도가니의 형태를 기존의 원형이 아닌 타원형 등으로 하여 대면적 증착에 필요한 원료 물질이 충분히 마련되는 대면적 박막 증착장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a large-area thin film deposition apparatus in which a crucible is formed in an elliptical shape instead of a conventional circular shape while sufficiently reducing the height of the crucible.

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 기판에 대한 증착공정이 진행되는 증착챔버와, 증발물질이 수용되며 가열에 따라 상기 증발물질을 상기 증착챔버 내로 방출하는 도가니와, 상기 도가니를 상기 증착챔버의 일측 단부로 이동시키도록 마련되는 리니어 이동부와, 상기 증착챔버의 일측 단부로 이동된 도가니를 수직방향으로 승강시키도록 마련되는 리니어 승강부를 포함하는 대면적 박막 증착장치가 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a deposition apparatus including: a deposition chamber in which a deposition process is performed on a substrate; a crucible that receives the evaporation material and discharges the evaporation material into the deposition chamber upon heating; A linear moving part provided to move to one side end of the chamber and a linear elevating part provided to vertically move the crucible moved to one side end of the deposition chamber.

본 발명에서, 상기 도가니는 도가니 수용체에 수용되어 설치되며, 상기 도가니 수용체는, 상기 도가니가 가열되도록 탑재되는 히터블럭과, 상기 히터블럭에 상기 리니어 승강부가 결합되도록 상기 히터블럭에 마련되는 이동브라켓을 포함할 수 있다. In the present invention, the crucible is accommodated in a crucible receiver, and the crucible receiver includes a heater block mounted to heat the crucible, and a movable bracket provided on the heater block so that the linear lifting and lowering unit is coupled to the heater block .

또한, 상기 리니어 이동부는, 상기 증착챔버의 하부에 상호 대향하게 배치되는 한 쌍의 리니어 가이드를 포함할 수 있다. In addition, the linear moving unit may include a pair of linear guides disposed to face each other at a lower portion of the deposition chamber.

상기 리니어 승강부는, 상기 도가니를 수용하는 히터블럭의 양측부에 마련되는 이동브라켓을 승강시키도록 상기 이동브라켓에 각각 결합되는 볼스크류와, 상기 이동브라켓의 승강이동을 안내하도록 마련되되, 상기 볼스크류를 사이에 두도록 상기 이동브라켓의 양쪽에 각각 결합되는 복수의 승강가이드를 포함할 수 있다. The linear elevating unit may include a ball screw coupled to the moving bracket so as to move up and down a moving bracket provided at both sides of a heater block for accommodating the crucible, And a plurality of lifting and lowering guides respectively coupled to both sides of the moving bracket so as to sandwich the movable bracket.

본 발명에서, 상기 도가니는, 평면에 대한 투영 형상으로서, 타원형상을 갖거나, 일부의 영역이 중첩되도록 배치되는 한 쌍의 원형 형상을 가질 수 있다. In the present invention, the crucible may have an elliptical shape as a projected shape with respect to a plane, or may have a pair of circular shapes arranged so that a part of regions overlap each other.

또한, 본 발명은 상기 기판으로 증착물질이 증착되도록 상기 증착챔버의 내부에 마련되는 소스증착유닛이 더 포함될 수 있다. In addition, the present invention may further include a source deposition unit provided inside the deposition chamber to deposit the deposition material on the substrate.

이 경우, 상기 소스증착유닛은, 상기 증착 물질을 상기 기판로 공급하도록 복수의 노즐이 마련되되, 상기 복수의 노즐이 상기 기판에 대한 상대 이동방향에 교차하게 배치되는 선형 분배관과, 상기 소스공급유닛에 연결되도록 상기 선형 분배관의 하부에 마련되는 소스통로모듈을 포함할 수 있다. In this case, the source vapor deposition unit may include: a linear distribution pipe having a plurality of nozzles provided to supply the evaporation material to the substrate, the plurality of nozzles being disposed to cross the relative movement direction with respect to the substrate; And a source passage module provided at a lower portion of the linear distribution pipe to be connected to the unit.

상기 소스통로모듈은, 상기 선형 분배관에 연결되는 소스통로본체와, 상기 도가니의 상단부에 밀착 및 탈착 가능토록 상기 소스통로본체의 하단부에 마련되는 탈착 결합부를 포함할 수 있다. The source channel module may include a source channel body connected to the linear distribution pipe and a detachable coupling part provided at a lower end of the source channel body so as to be in close contact with and detachable from the upper end of the crucible.

상기 도가니의 상단부에는, 상기 탈착 결합부의 하단부가 삽입되는 실링홈이 마련되며, 상기 탈착 결합부는, 상기 실링홈에 삽입되는 탈착돌기로 이루어지며, 상기 탈착돌기는 탄성력을 갖는 금속 재질로 이루어지는 메탈 스프링 가스켓(metal spring gasket)인 것을 특징으로 한다. The crucible is provided with a sealing groove through which a lower end of the detachable engagement portion is inserted. The detachable engagement portion includes a detachment protrusion inserted into the sealing groove. The detachment protrusion includes a metal spring And is a metal spring gasket.

상기 도가니의 상단에는 상기 실림홈 보다 작은 직경을 갖는 환형의 실링 돌기가 마련될 수 있다. An annular sealing protrusion having a smaller diameter than the opening groove may be provided at an upper end of the crucible.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 도가니의 높이를 줄여 전체 장비의 높이를 줄임으로써 장비의 제작비용을 절감할 수 있고, 도가니의 탈부착에 대한 작업공간이 충분히 마련되어 도가니의 탈부착이 간단하므로, 작업자의 안정성을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다. According to an embodiment of the present invention, it is possible to reduce the height of the crucible by reducing the height of the entire equipment, thereby reducing the manufacturing cost of the equipment and sufficient work space for detaching and attaching the crucible, And the stability can be greatly improved.

또한, 도가니의 높이를 줄이면서도 도가니의 형태를 기존의 원형이 아닌 타원형 등으로 하여 대면적 증착에 필요한 원료 물질이 충분히 마련될 수 있는 증착장비를 제공할 수 있다.In addition, it is possible to provide a deposition apparatus capable of reducing the height of the crucible, making the crucible a elliptical shape instead of a conventional circular shape, and sufficiently providing a raw material necessary for large-area deposition.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 증착장치의 사시도다.
도 2는 도 1의 소스증착유닛과 소스공급유닛의 사시도다.
도 3은 본 발명의 탈착 결합부에서 도가니가 분리된 사시도다.
도 4는 도 3의 탈착 결합부와 도가니의 결합영역에 대한 확대 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도가니의 사시도다.1 is a perspective view of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a perspective view of the source deposition unit and the source supply unit of Fig. 1; Fig.
Fig. 3 is a perspective view showing the crucible separated from the desorption joining part of the present invention. Fig.
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a joining region of the desorption joining portion and the crucible of FIG. 3;
5 is a perspective view of a crucible according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면에 도시된 특정 실시 예들에 의해 본 발명의 다양한 실시 예들을 설명한다. 후술되는 본 발명의 실시 예들에 차이는 상호 배타적이지 않은 사항으로 이해되어야 한다. 즉 본 발명의 기술 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서, 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은, 일 실시 예에 관련하여 다른 실시 예로 구현될 수 있으며, 각각의 개시된 실시 예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 변경될 수 있음이 이해되어야 하며, 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.Various embodiments of the present invention will now be described by way of specific embodiments shown in the accompanying drawings. The differences between the embodiments of the present invention described below are to be understood as mutually exclusive. That is, the specific shapes, structures, and characteristics described may be embodied in other embodiments in accordance with one embodiment without departing from the spirit and scope of the present invention, It is to be understood that the arrangements may be altered, where like reference numerals refer to like or similar features throughout the several views, and length and area, thickness, and the like may be exaggerated for convenience.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 증착장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 소스증착유닛과 소스공급유닛의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 탈착 결합부에서 도가니가 분리된 사시도이고, 도 4는 도 3의 탈착 결합부와 도가니의 결합영역에 대한 확대 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a source deposition unit and a source supply unit of FIG. 1, FIG. 3 is a perspective view of a crucible separated from a desorption joining part of the present invention And FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the joining region of the desorption joining portion and the crucible of FIG.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 증착장치(100)는, 기판(도시안함)에 대한 증착공정이 진행되는 증착챔버(110)와, 증발물질이 수용되며 가열에 따라 상기 증발물질을 상기 증착챔버(110) 내로 방출하는 도가니(140)와, 상기 도가니(140)를 상기 증착챔버(110)의 일측 단부로 이동시키도록 마련되는 리니어 이동부(150)와, 상기 증착챔버(110)의 일측 단부로 이동된 도가니(140)를 수직방향으로 승강시키도록 마련되는 리니어 승강부(155)를 포함하여 구성된다. 1 to 4, a deposition apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a deposition chamber 110 in which a deposition process for a substrate (not shown) proceeds, A crucible 140 for discharging the evaporation material into the deposition chamber 110 according to heating and a linear movement unit 150 for moving the crucible 140 to one end of the deposition chamber 110, And a linear lifting unit 155 installed to vertically move the crucible 140 moved to one side of the deposition chamber 110.

상기 증착챔버(110)는 기판에 대한 증착공정이 진공상태에서 진행되도록 마련되며, 기판이 반입 및 반출되는 개구(111)가 양측에 형성된다. The deposition chamber 110 is provided so that the deposition process for the substrate proceeds in a vacuum state, and openings 111 through which the substrates are carried in and out are formed on both sides.

이와 같은 증착챔버(110)의 내부에는 기판으로 증착물질이 증착되도록 소스증착유닛(120)이 마련되는데, 상기 도가니(140)는 소스증착유닛(120)의 하부에 분리 가능하게 마련되어 증착챔버(110)의 일측 단부로 이동 가능하게 된다. In the deposition chamber 110, a source deposition unit 120 is provided to deposit a deposition material on a substrate. The crucible 140 is detachably provided in a lower portion of the source deposition unit 120, and the deposition chamber 110 To the other end.

이러한 본 실시 예에 따르면, 소스증착유닛(120)에 대해 분리 가능하게 마련되는 도가니(140)가 증착챔버(110)의 하부에서 소스증착유닛(120)로부터 분리된 후, 일측 단부로 이동되어 도가니(140)의 탈부착에 대한 작업공간이 충분히 마련되므로, 도가니(140)의 탈부착 작업이 수월하며 도가니(140)에 대한 증착물질의 충진시간을 줄일 수 있다.According to this embodiment, after the crucible 140 detachably provided to the source deposition unit 120 is detached from the source deposition unit 120 in the lower portion of the deposition chamber 110, the crucible 140 is moved to the one end, Since the work space for detaching and attaching the crucible 140 is sufficiently provided, the crucible 140 can be easily attached and detached, and the filling time of the evaporation material with respect to the crucible 140 can be reduced.

종래에는 도가니(140)의 증착물질이 모두 소모된 경우에, 증착챔버(110)의 하부 좁은 공간에 작업자가 위치하여 도가니(140)를 분리한 후, 도가니(140)에 증착물질을 충진하였지만, 본 실시 예에서는 도가니(140)가 소스증착유닛(120)으로부터 분리된 후, 증착챔버(110)의 일측 단부에 해당되는 좌측 끝으로 이동되어 증착챔버(110)의 외측에서 도가니(140)의 분리 및 충진작업이 가능하므로, 작업자가 도가니(140)에 대한 증착물질의 충진작업을 수월하게 진행할 수 있다.Conventionally, when the evaporation material of the crucible 140 is exhausted, the operator is positioned in a narrow space below the deposition chamber 110 to separate the crucible 140 and fill the crucible 140 with the evaporation material. However, The crucible 140 is separated from the source deposition unit 120 and then moved to the left end corresponding to one end of the deposition chamber 110 to separate the crucible 140 from the outside of the deposition chamber 110 And the filling operation can be performed, so that the operator can easily perform the filling operation of the evaporation material with respect to the crucible 140.

이하 본 실시 예에 따른 증착장치(100)의 구성요소들에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, the constituent elements of the deposition apparatus 100 according to the present embodiment will be described in detail.

먼저, 본 실시 예에 따른 증착챔버(110)는, 진공배기계통 및 내부공간을 형성하는 챔버의 구조가 상세하게 도시되진 않았으나, 기판이 통과되는 일측 개구(111)와 타측 개구(111) 사이의 내부공간에 진공이 마련되어 기판의 증착이 진공상태에서 진행될 수 있다.Although the structure of the chamber for forming the vacuum evacuation system and the inner space is not shown in detail in the deposition chamber 110 according to the present embodiment, A vacuum is provided in the inner space so that deposition of the substrate can proceed in a vacuum state.

이러한 증착챔버(110)의 개구(111)와 개구(111) 사이의 내부공간에 배치되는 소스증착유닛(120)은, 증착 물질을 기판로 공급하도록 복수의 노즐(122)이 마련되되 복수의 노즐(122)이 기판에 대한 상대 이동방향에 교차하게 배치되는 선형 분배관(121)과, 소스공급유닛(135)에 연결되도록 선형 분배관(121)의 하부에 마련되는 소스통로(125)을 포함할 수 있다.A source deposition unit 120 disposed in an internal space between the opening 111 and the opening 111 of the deposition chamber 110 is provided with a plurality of nozzles 122 for supplying the deposition material to the substrate, And a source passage 125 provided at a lower portion of the linear distribution pipe 121 so as to be connected to the source supply unit 135. The linear distribution pipe 121 includes a linear distribution pipe 121, can do.

본 실시 예에 따른 선형 분배관(121)은, 기판의 이동방향에 교차하도록 길게 마련되며, 증착물질이 각각의 노즐(122)로 유동되도록 내부통로가 형성된 바(Bar) 형상이다.The linear distribution pipe 121 according to the present embodiment has a bar shape which is formed so as to cross the moving direction of the substrate and in which an inner passage is formed so that the evaporation material flows into the respective nozzles 122.

상기 노즐(122)은, 선형 분배관(121)의 상단부에 일정 간격으로 배치되어 위로 통과하는 기판의 저면부로 증착물질을 균일하게 제공할 수 있다. 이러한 선형 분배관(121)은, 상대 이동되는 기판에 대해 스캔 방식으로 증착물질을 증착시킨다.The nozzles 122 are arranged at regular intervals on the upper end of the linear distribution pipe 121 to uniformly provide the deposition material to the bottom surface of the substrate passing through the nozzles 122. The linear distribution tube 121 deposits the evaporation material on the relatively moved substrate by a scanning method.

또한 소스증착유닛(120)은, 선형 분배관(121)이 내부에 배치되되 기판에 대한 선형 분배관(121)의 증착공간이 마련되도록 증착챔버(110)의 상부에 결합되며, 소스공급유닛(135)이 하부에 결합되는 소스증착본체(127)와, 선형 분배관(121)이 지지되도록 도가니 이동본체(147)에 마련되는 지지대(129)를 더 포함할 수 있다.The source vapor deposition unit 120 is coupled to the upper portion of the deposition chamber 110 so that a linear distribution pipe 121 is disposed therein and a deposition space of the linear distribution pipe 121 for the substrate is provided, And a supporter 129 provided on the crucible moving body 147 such that the linear distribution pipe 121 is supported.

전술한 선형 분배관(121)의 하부에 배치되는 소스공급유닛(135)은, 소스증착유닛(120)의 하부에 배치되되 소스통로(125)이 도가니(140)와 연결 가능토록 연결 개구(149)가 마련되며, 도가니(140)가 소스통로(125)로부터 분리되어 증착챔버(110)의 일측 단부로 이동 가능하게 탑재되는 도가니 이동모듈(145)과, 도가니(140)와 함께 이동되도록 도가니 이동모듈(145)에 탑재되되 도가니(140)가 수용되도록 마련되는 도가니 수용체(160)를 포함할 수 있다.The source supply unit 135 disposed below the linear distribution pipe 121 is disposed below the source deposition unit 120 so that the source passage 125 can be connected to the crucible 140 through the connection opening 149 A crucible moving module 145 which is separated from the source passage 125 and mounted to one end of the deposition chamber 110 so as to move together with the crucible 140, And a crucible receiver 160 mounted on the module 145 and adapted to receive the crucible 140.

이러한 소스공급유닛(135)은, 도가니(140)가 증착챔버(110)의 일측 끝단으로 이동될 수 있도록 도가니 수용체(160)를 이동시킬 수 있는 도가니 이동모듈(145)이 배치되는데, 도가니 이동모듈(145)은, 후술되는 바와 같이 전동 승강 및 리니어 구동방식으로 구성될 수 있다.The crucible transfer module 145 is disposed in the source supply unit 135 so that the crucible 140 can be moved to one end of the deposition chamber 110, (145) may be configured as an electric lift-up and linear drive system as will be described later.

본 실시 예에 따른 도가니 이동모듈(145)은, 증착챔버(110)의 하부에서 기판에 대한 상대 이동방향에 교차하도록 증착챔버(110)의 일측 단부와 타측 단부 사이에 배치되며 연결 개구(149)가 마련되는 도가니 이동본체(147)와, 도가니 수용체(160)가 결합되되 도가니 수용체(160)을 증착챔버(110)의 일측 단부로 이동시키도록 도가니 이동본체(147)에 마련되는 리니어 이동부(150)와, 도가니 수용체(160)을 승강시키도록 도가니 수용체(160)에 결합되되 도가니 수용체(160)을 리니어 이동부(150)에 결합시키도록 마련되는 리니어 승강부(155)를 포함할 수 있다.The crucible transfer module 145 according to the present embodiment is disposed between one end and the other end of the deposition chamber 110 so as to cross the relative movement direction with respect to the substrate in the lower portion of the deposition chamber 110, And a linear moving part 147 provided on the crucible moving body 147 for moving the crucible receiving part 160 to one side end of the deposition chamber 110, And a linear elevator 155 coupled to the crucible receiver 160 to elevate and lower the crucible receiver 160 and to couple the crucible receiver 160 to the linear moving unit 150 .

도가니 이동본체(147)는, 전술한 소스증착본체(127)와 더불어 직육면체의 증착공간을 마련하는 패널형상의 블록으로서, 리니어 이동부(150)가 양쪽 단부에 배치되며, 중앙부에 연결 개구(149)가 마련된다.The crucible transfer main body 147 is a panel-shaped block for providing a deposition space for a rectangular parallelepiped together with the above-described source vapor deposition body 127. The linear movement portion 150 is disposed at both ends, ).

또한 리니어 이동부(150)는, 도가니 이동본체(147)의 하부에 상호 대향하게 배치되는 한 쌍의 리니어 가이드(152)를 포함할 수 있다. 리니어 가이드(152)에는, 선형작동을 위한 리니어 모터 또는 수평 이동을 위한 모터와 스크류가 결합될 수 있다.The linear moving unit 150 may include a pair of linear guides 152 disposed below the crucible moving body 147 so as to face each other. The linear guide 152 may be combined with a linear motor for linear operation or a motor and a screw for horizontal movement.

본 실시 예에 따른 리니어 승강부(155)는, 리니어 이동부(150)에 각각 배치되어 후술되는 이동브라켓(165)에 결합된다. 이러한 리니어 승강부(155)는, 도시되진 않았으나 승강모터를 구비하여 전동방식으로 작동될 수 있다.The linear elevating portion 155 according to the present embodiment is disposed on the linear moving portion 150 and is coupled to a moving bracket 165, which will be described later. The linear elevating portion 155 is not shown, but may be operated in a motorized manner with a lifting motor.

이러한 리니어 승강부(155)는, 후술되는 이동브라켓(165)을 승강시키도록 이동브라켓(165)의 양쪽에 각각 결합되는 볼스크류(158)와, 이동브라켓(165)의 승강이동을 안내하도록 마련되되 볼스크류(158)를 사이에 두도록 이동브라켓(165)의 양쪽에 각각 결합되는 복수의 승강가이드(159)를 포함할 수 있다.The linear elevating portion 155 includes a ball screw 158 coupled to both sides of the moving bracket 165 to lift and move the moving bracket 165 to be described later, And a plurality of elevating guides 159 coupled to both sides of the moving bracket 165 so as to interpose the ball screws 158 therebetween.

즉, 본 실시 예에 따른 리니어 승강부(155)는, 볼스크류(158)와 도시되지 않은 승강모터의 조합에 의해 승강구동이 가능한데, 볼스크류(158)의 구동에 의한 이동브라켓(165)의 승강운동은 양쪽 한 쌍씩 배치되는 승강가이드(159)에 의해 안내된다.That is, in the linear elevating unit 155 according to the present embodiment, the elevation driving can be performed by the combination of the ball screw 158 and the elevating motor (not shown) The movement is guided by the elevation guide 159 arranged in pairs.

이러한 리니어 이동부(150)와 리니어 승강부(155)에 의해 수평 선형이동 및 수직 승강운동이 가능하도록 마련되는 도가니 수용체(160)는, 도가니(140)가 실질적으로 탑재되어 가열될 수 있도록 히터가 탑재되며 도가니(140)가 배치된 상태에서 쉽게 분리 가능하도록 도가니(140)가 수용 가능한 구조를 갖는다.The crucible receiver 160 provided to be able to perform horizontal linear movement and vertical vertical movement by the linear movement part 150 and the linear elevation part 155 is provided with a heater so that the crucible 140 can be substantially mounted and heated And has a structure in which the crucible 140 can be received so that the crucible 140 can be easily separated from the crucible 140.

본 실시 예에 따른 도가니 수용체(160)는, 도가니(140)가 가열되도록 탑재되는 히터블럭(161)와, 히터블럭(161)에 리니어 승강부(155)가 결합되도록 히터블럭(161)에 마련되는 이동브라켓(165)을 포함할 수 있다.The crucible receiver 160 according to the present embodiment is provided with a heater block 161 mounted so that the crucible 140 is heated and a heater block 161 mounted on the heater block 161 so that the linear lift portion 155 is coupled to the heater block 161 (Not shown).

상기 히터블럭(161)은 도가니(140)를 가열할 수 있는 히터가 도가니(140)의 주위에 배치되며, 도가니(140)가 수용될 수 있는 수용공간이 마련된다. 이러한 히터블럭(161)은, 이동브라켓(165)에 의해 리니어 승강부(155)에 결합되어 후술되는 바와 같이 도가니(140)가 소스통로(125)로부터 분리 또는 결합되도록 승강될 수 있다.The heater block 161 is provided around the crucible 140 with a heater capable of heating the crucible 140 and has a receiving space in which the crucible 140 can be received. The heater block 161 is coupled to the linear elevating portion 155 by the moving bracket 165 so that the crucible 140 can be lifted or lowered from the source passage 125 as described below.

이러한 도가니 수용체(160)는, 도가니(140)의 용량이 커지도록 기존보다 폭이 커진 구조에 해당된다. 이에 따라 도가니(140)는 기판의 진행방향에 교차하는 폭 방향으로 길어져, 기존보다 증가된 용량으로 배치될 수 있으며, 증착물질이 더 수용되어 배치될 수 있다.Such a crucible receiver 160 corresponds to a structure having a larger width than that of the conventional one so that the capacity of the crucible 140 is increased. Accordingly, the crucibles 140 are elongated in the width direction crossing the traveling direction of the substrate, and can be disposed at an increased capacity than in the prior art, and the deposition material can be further accommodated and disposed.

즉 본 실시 예에 따른 도가니(140)는, 평면에 대한 투영 형상으로서, 선형 분배관(121)의 길이 방향을 따른 라인 상에 초점이 배치되는 타원형상을 가질 수 있다. 이에 따라 도가니(140)의 용량이 충분히 마련되는 구조가 제공될 수 있다.That is, the crucible 140 according to the present embodiment may have an elliptical shape in which a focal point is arranged on a line along the longitudinal direction of the linear distribution pipe 121 as a projection shape with respect to a plane. Accordingly, a structure in which the capacity of the crucible 140 is sufficiently provided can be provided.

도가니(140)가 탈착 가능하게 연결되는 소스통로(125)는, 선형 분배관(121)에 연결되는 소스통로본체(130)와, 도가니(140)의 상단부에 밀착 및 탈착 가능토록 소스통로본체(130)의 하단부에 마련되는 탈착 결합부(132)를 포함할 수 있다.The source passage 125 to which the crucible 140 is detachably connected includes a source passage body 130 connected to the linear distribution pipe 121 and a source passage body 130 connected to the upper end of the crucible 140, And a detachable coupling portion 132 provided at a lower end portion of the main body 130.

이러한 본 실시 예에 따른 도가니(140)의 상단부에는, 탈착 결합부(132)의 하단부가 삽입되는 실링홈(141)이 마련되고, 상기 탈착 결합부(132)는 실링홈(141)에 삽입되는 탈착돌기(166)로 이루어진다. The upper end of the crucible 140 according to the present embodiment is provided with a sealing groove 141 into which the lower end of the detachable engagement part 132 is inserted and the detachable engagement part 132 is inserted into the sealing groove 141 And a detachment protrusion 166.

여기서, 상기 탈착돌기(166)는 탄성력을 갖는 금속 재질로 이루어지는 메탈 스프링 가스켓(metal spring gasket)으로 이루어질 수 있다. Here, the detachable protrusion 166 may be a metal spring gasket made of a metal material having elasticity.

이 경우, 실링홈(141)은 탈착돌기(166)와 대응되는 형상을 가지면서 탈착돌기(166)보다 작은 사이즈로 형성될 수 있으며, 이에 따라 탈착돌기(166)는 실링홈(141) 내에 억지끼움(tight fit)되어 도가니(140)와 소스통로(125) 간 보다 효과적인 밀봉이 가능하게 한다.In this case, the sealing groove 141 may have a shape corresponding to that of the detachable protrusion 166 and may be formed in a smaller size than the detachable protrusion 166, Thereby enabling a more effective sealing between the crucible 140 and the source passageway 125.

한편, 상기 도가니(140)의 상단에는 상기 실림홈(141) 보다 작은 직경을 갖는 환형의 실링 돌기가 마련될 수 있다. 이러한 실링 돌기는 실림홈(141) 보다 작은 직경을 갖는 환형 구조이므로, 도 3에 도시된 바와 같이 도가니(140)와 소스통로(125)의 결합시 내측 공간부에 위치하면서 도가니(140)와 소스통로(125) 간 간극을 커버하여 보다 효과적으로 밀봉하게 된다.On the other hand, an annular sealing protrusion having a smaller diameter than the opening groove 141 may be provided on the upper end of the crucible 140. 3, when the crucible 140 and the source passageway 125 are coupled to each other, the sealing protrusions are positioned in the inner space of the crucible 140 and the source passageway 125, Thereby sealing the gap between the passages 125 more effectively.

본 실시 예에 따르면, 도가니(140)가 리니어 승강부(155)에 의해 소스통로본체(130) 측으로 상승되면, 도가니(140)의 실링홈(141)에 탈착 결합부(132)의 탈착돌기(166)가 삽입되어 실링홈(141)에 밀접되므로, 도가니(140)는 소스통로(125)에 기밀되도록 연결될 수 있다. 이에 따라 도가니(140)의 증착물질은 기체상태에서 소스통로본체(130)를 통과하여 선형 분배관(121)의 양쪽 단부 측으로 이동되어 각각의 노즐(122)을 통해 기판로 제공될 수 있다.According to the present embodiment, when the crucible 140 is lifted toward the source passage body 130 side by the linear elevating portion 155, the desorption protrusion (not shown) of the desorption engaging portion 132 is inserted into the sealing groove 141 of the crucible 140 The crucible 140 can be connected to the source passage 125 so as to be hermetically sealed. The deposition material of the crucible 140 may be supplied to the substrate through the respective nozzle 122 through the source passageway body 130 in the gaseous state to be moved toward both ends of the linear distribution pipe 121.

도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도가니(140)의 사시도다.5 is a perspective view of a crucible 140 according to another embodiment of the present invention.

전술한 본 실시 예에 따른 도가니(140)는, 평면에 대한 투영 형상으로서, 선형 분배관(121)의 길이 방향을 따른 라인 상에 중심이 배치되되, 일부의 영역이 중첩되도록 배치되는 한 쌍의 원형 형상(142)을 가질 수 있다.The crucible 140 according to the present embodiment described above is a projected shape with respect to a plane and has a pair of center portions arranged on a line along the longitudinal direction of the linear distribution pipe 121, And may have a circular shape 142.

즉 도가니(140)는, 타원형상뿐만 아니라 폭 방향으로 충분히 형성되어 소스통로본체(130) 결합될 수 있는 한 쌍의 중첩된 원형 형상으로 마련될 수 있다.That is, the crucible 140 may be provided in a pair of overlapping circular shapes that are sufficiently formed in the width direction as well as in the elliptical shape and can be coupled to the source passage body 130.

이와 같은 본 발명은 도가니(140)의 높이를 줄이면서도 원형이 아닌 타원형 또는 한 쌍의 중첩된 원형 형상으로 구성하여 도가니의 볼륨을 확보할 수 있게 되어 전체 장비의 높이를 줄일 수 있다. The present invention can reduce the height of the crucible 140, and can be formed into an elliptical shape or a pair of overlapping circular shapes, so that the volume of the crucible can be secured, thereby reducing the height of the entire equipment.

또한, 도가니의 조립 방법을 나사산이 아닌 탄성력을 갖는 금속 재질로 이루어지는 메탈 스프링 가스켓(metal spring gasket)의 탈착돌기(166)를 이용함으로써, 도가니(140)의 탈부착 작업을 용이하게 할 수 있다. In addition, by using the metal spring gasket detachment protrusion 166 made of a metal material having elasticity rather than a screw, the crucible 140 can be easily attached and detached.

이상과 같이 본 발명의 일 실시 예에 대하여 설명하였으나, 이를 기초로 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Deletion, addition or the like of the present invention may be variously modified and changed within the scope of the present invention.

100: 증착장치 110: 증착챔버
111: 개구 120: 소스증착유닛
121: 선형 분배관 122: 노즐
125: 소스통로모듈 127: 소스증착본체
129: 서포트모듈 130: 소스통로본체
132: 탈착 결합부 135: 소스공급유닛
140: 도가니 141: 실링홈
145: 도가니 이동모듈
147: 도가니 이동본체 149: 연결 개구
150: 리니어 이동부 152: 리니어 가이드
155: 리니어 승강부
158: 리드 스크류 159: 승강가이드
160: 도가니 수용체 161: 히터블럭
165: 이동브라켓 166: 탈착돌기100: Deposition apparatus 110: Deposition chamber
111: opening 120: source deposition unit
121: linear distribution pipe 122: nozzle
125: source channel module 127: source deposition body
129: Support module 130: Source channel body
132: detachment engaging part 135: source supply unit
140: Crucible 141: Sealing groove
145: crucible transfer module
147: crucible moving body 149: connecting opening
150: linear moving part 152: linear guide
155: Linear lift unit
158: lead screw 159: elevating guide
160: Crucible receiver 161: Heater block
165: moving bracket 166: detachment projection

Claims (11)

기판에 대한 증착공정이 진행되는 증착챔버;
증발물질이 수용되며 가열에 따라 상기 증발물질을 상기 증착챔버 내로 방출하는 도가니;
상기 도가니를 상기 증착챔버의 일측 단부로 이동시키도록 마련되는 리니어 이동부; 및
상기 증착챔버의 일측 단부로 이동된 도가니를 수직방향으로 승강시키도록 마련되는 리니어 승강부;
를 포함하는 대면적 박막 증착장치.A deposition chamber in which a deposition process is performed on a substrate;
A crucible for receiving the evaporation material and discharging the evaporation material into the deposition chamber upon heating;
A linear moving unit configured to move the crucible to one end of the deposition chamber; And
A linear lifting unit vertically lifting the crucible moved to one end of the deposition chamber;
Wherein the thin film deposition apparatus comprises: 청구항 1에 있어서,
상기 도가니는 도가니 수용체에 수용되어 설치되며,
상기 도가니 수용체는,
상기 도가니가 가열되도록 탑재되는 히터블럭; 및
상기 히터블럭에 상기 리니어 승강부가 결합되도록 상기 히터블럭에 마련되는 이동브라켓을 포함하는 대면적 박막 증착장치.The method according to claim 1,
The crucible is accommodated in a crucible receiver,
In the crucible receiver,
A heater block mounted to heat the crucible; And
And a moving bracket provided on the heater block so that the linear elevating unit is coupled to the heater block. 청구항 1에 있어서,
상기 리니어 이동부는, 상기 증착챔버의 하부에 상호 대향하게 배치되는 한 쌍의 리니어 가이드를 포함하는 대면적 박막 증착장치.The method according to claim 1,
Wherein the linear moving unit includes a pair of linear guides disposed to face each other at a lower portion of the deposition chamber. 청구항 1에 있어서,
상기 리니어 승강부는,
상기 도가니를 수용하는 히터블럭의 양측부에 마련되는 이동브라켓을 승강시키도록 상기 이동브라켓에 각각 결합되는 볼스크류; 및
상기 이동브라켓의 승강이동을 안내하도록 마련되되, 상기 볼스크류를 사이에 두도록 상기 이동브라켓의 양쪽에 각각 결합되는 복수의 승강가이드를 포함하는 대면적 박막 증착장치.The method according to claim 1,
Wherein the linear elevator includes:
A ball screw coupled to the movable bracket so as to move up and down a movable bracket provided at both sides of a heater block for accommodating the crucible; And
And a plurality of lifting and lowering guides guiding the lifting movement of the moving brackets and respectively coupled to both sides of the moving brackets so as to sandwich the ball screws. 청구항 1에 있어서,
상기 도가니는, 평면에 대한 투영 형상으로서, 타원형상을 갖는 대면적 박막 증착장치.The method according to claim 1,
Wherein the crucible has an elliptical shape as a projection shape with respect to a plane. 청구항 1에 있어서,
상기 도가니는, 평면에 대한 투영 형상으로서, 일부의 영역이 중첩되도록 배치되는 한 쌍의 원형 형상을 갖는 대면적 박막 증착장치.The method according to claim 1,
Wherein the crucible has a pair of circular shapes arranged so that a part of the regions overlap with each other as a projection shape with respect to a plane. 청구항 1에 있어서,
상기 기판으로 증착물질이 증착되도록 상기 증착챔버의 내부에 마련되는 소스증착유닛이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 증착장치.The method according to claim 1,
Further comprising a source deposition unit provided inside the deposition chamber to deposit the deposition material on the substrate. 청구항 7에 있어서,
상기 소스증착유닛은,
상기 증착 물질을 상기 기판로 공급하도록 복수의 노즐이 마련되되, 상기 복수의 노즐이 상기 기판에 대한 상대 이동방향에 교차하게 배치되는 선형 분배관; 및
상기 소스공급유닛에 연결되도록 상기 선형 분배관의 하부에 마련되는 소스통로모듈을 포함하는 대면적 박막 증착장치.The method of claim 7,
The source deposition unit may include:
A linear distribution pipe in which a plurality of nozzles are provided to supply the evaporation material to the substrate, the plurality of nozzles being arranged to cross the relative movement direction with respect to the substrate; And
And a source channel module provided below the linear distribution pipe to be connected to the source supply unit. 청구항 8에 있어서,
상기 소스통로모듈은,
상기 선형 분배관에 연결되는 소스통로본체; 및
상기 도가니의 상단부에 밀착 및 탈착 가능토록 상기 소스통로본체의 하단부에 마련되는 탈착 결합부를 포함하는 대면적 박막 증착장치.The method of claim 8,
The source channel module includes:
A source passage body connected to the linear distribution pipe; And
And a detachable coupling portion provided at a lower end of the source passage body so as to be in contact with and detachable from the upper end of the crucible. 청구항 9에 있어서,
상기 도가니의 상단부에는, 상기 탈착 결합부의 하단부가 삽입되는 실링홈이 마련되며,
상기 탈착 결합부는,
상기 실링홈에 삽입되는 탈착돌기로 이루어지며,
상기 탈착돌기는 탄성력을 갖는 금속 재질로 이루어지는 메탈 스프링 가스켓(metal spring gasket)인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 증착장치.The method of claim 9,
A sealing groove is formed in the upper end of the crucible for inserting a lower end of the detachable engagement portion,
The desorption-
And a detachment protrusion inserted into the sealing groove,
Wherein the detachment protrusion is a metal spring gasket made of a metal material having elasticity. 청구항 10에 있어서,
상기 도가니의 상단에는 상기 실림홈 보다 작은 직경을 갖는 환형의 실링 돌기가 마련되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 증착장치.


The method of claim 10,
And an annular sealing projection having a smaller diameter than the opening groove is provided at an upper end of the crucible.


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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180046306A (en) * 2016-10-27 2018-05-08 주식회사 원익아이피에스 Evaporation source and substrate processing apparatus having the same
KR20200045704A (en) * 2018-10-23 2020-05-06 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 Evaporation Source For Automatic Exchange Of Crucible And Evaporation Deposition System Having The Same
KR20230042228A (en) * 2020-06-08 2023-03-28 주식회사 야스 Evaporator

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230140271A (en) 2022-03-29 2023-10-06 한국전기연구원 An apparatus for depositing large area thin film and large area thin film deposting method using of the same

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060099974A (en) * 2005-03-15 2006-09-20 삼성에스디아이 주식회사 Evaporation source and vapor deposition apparatus having the same
KR20100034168A (en) * 2008-09-23 2010-04-01 주식회사 선익시스템 Material providing unit and apparatus for depositioning thin film having the same and material providing method
KR20120035787A (en) * 2010-10-06 2012-04-16 엘아이지에이디피 주식회사 Apparatus for supplying organic matter, apparatus and method for depositing organic matter using the same
KR20120090652A (en) * 2011-02-08 2012-08-17 엘아이지에이디피 주식회사 Crucible heating apparatus, method for controlling the same, and thin film deposition equipment with the crucible heating apparatus
KR20130007221A (en) * 2011-06-30 2013-01-18 엘아이지에이디피 주식회사 Source supply apparatus for evaporation device
KR20130069037A (en) 2011-12-16 2013-06-26 삼성디스플레이 주식회사 Apparatus for thin layer deposition, method for manufacturing of organic light emitting display apparatus using the same, and organic light emitting display apparatus
KR20140081566A (en) * 2012-12-21 2014-07-01 주식회사 선익시스템 Deposition apparatus

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060099974A (en) * 2005-03-15 2006-09-20 삼성에스디아이 주식회사 Evaporation source and vapor deposition apparatus having the same
KR20100034168A (en) * 2008-09-23 2010-04-01 주식회사 선익시스템 Material providing unit and apparatus for depositioning thin film having the same and material providing method
KR20120035787A (en) * 2010-10-06 2012-04-16 엘아이지에이디피 주식회사 Apparatus for supplying organic matter, apparatus and method for depositing organic matter using the same
KR20120090652A (en) * 2011-02-08 2012-08-17 엘아이지에이디피 주식회사 Crucible heating apparatus, method for controlling the same, and thin film deposition equipment with the crucible heating apparatus
KR20130007221A (en) * 2011-06-30 2013-01-18 엘아이지에이디피 주식회사 Source supply apparatus for evaporation device
KR20130069037A (en) 2011-12-16 2013-06-26 삼성디스플레이 주식회사 Apparatus for thin layer deposition, method for manufacturing of organic light emitting display apparatus using the same, and organic light emitting display apparatus
KR20140081566A (en) * 2012-12-21 2014-07-01 주식회사 선익시스템 Deposition apparatus

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180046306A (en) * 2016-10-27 2018-05-08 주식회사 원익아이피에스 Evaporation source and substrate processing apparatus having the same
KR20200045704A (en) * 2018-10-23 2020-05-06 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 Evaporation Source For Automatic Exchange Of Crucible And Evaporation Deposition System Having The Same
KR20230042228A (en) * 2020-06-08 2023-03-28 주식회사 야스 Evaporator

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