KR20150035197A - 스테이지 장치 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치 - Google Patents

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KR20150035197A
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박상욱
김의석
장상돈
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삼성전자주식회사
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Abstract

스테이지 장치 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치를 제공한다. 상기 스테이지 장치는 X축 방향으로 연장되는 간섭 반사경 및 상기 간섭 반사경을 고정하기 위한 제 1 내지 제 3 플렉셔 구조물들을 포함한다. 상기 제 1 플렉셔 구조물은 상기 간섭 반사경을 Y축 방향과 Z축 방향으로 고정한다. 상기 제 2 플렉셔 구조물은 상기 간섭 반사경을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정한다. 상기 제 3 플렉셔 구조물은 상기 간섭 반사경을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정한다.

Description

스테이지 장치 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치{Stage device and Apparatus for fabricating a semiconductor device including the same}
본 발명은 간섭계를 포함하는 스테이지 장치 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 장치는 웨이퍼를 지지하는 스테이지 장치를 포함한다. 상기 웨이퍼는 상기 스테이지 장치에 의해 제조 공정 동안 X축 방향과 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 상기 반도체 제조 장치에선느 제조 공정 동안 웨이퍼의 위치를 정밀하게 측정 및 제어하기 위한 다양한 연구가 진행되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 간섭 반사경을 설치할 때 또는 스테이지가 이동할 때, 상기 간섭 반사경의 변형을 방지할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 간섭 반사경으로 전달되는 응력을 감소할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 간섭 반사경을 설치한 후 또는 스테이지가 구동되기 전 상기 간섭 반사경의 반사면을 조절하여 변형에 대한 보정을 수행할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 앞서 설명한 과제들로 한정되지 않는다. 여기서 언급되지 않은 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 것이다.
상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 스테이지 장치는 X축 방향으로 연장되는 간섭 반사경; 상기 간섭 반사경을 Y축 방향과 Z축 방향으로 고정하고, 상기 간섭 반사경과 결합하기 위한 기준 상부 플레이트 및 상기 기준 상부 플레이트의 아래에 위치하는 기준 힌지부를 포함하는 기준 플렉셔 구조물; 상기 간섭 반사경을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하고, 상기 기준 상부 플레이트와 상기 X축 방향으로 이격되는 원위 상부 플레이트(distant upper plate) 및 상기 원위 상부 플레이트의 아래에 위치하는 제 1 원위 힌지부를 포함하는 원위 플렉셔 구조물; 및 상기 간섭 반사경을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하고, 상기 기준 상부 플레이트와 상기 원위 상부 플레이트 사이에 위치하는 중간 상부 플레이트 및 상기 중간 상부 플레이트의 아래에 위치하는 제 1 중간 힌지부를 포함하는 중간 플렉셔 구조물을 포함한다. 상기 기준 힌지부, 상기 제 1 원위 힌지부 및 상기 제 1 중간 힌지부 각각은 상기 Z축 방향으로 적층되는 플렉셔 힌지들을 포함한다. 상기 중간 상부 플레이트는 상기 기준 상부 플레이트 및 상기 원위 상부 플레이트와 상기 Y축 방향으로 이격된다.
상기 기준 힌지부는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 제 1 yz 기준 플렉셔 힌지, 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 제 2 yz 기준 플렉셔 힌지, 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 xz 기준 플렉셔 힌지 및 상기 Z축 방향으로 연장되는 십자형 zc 기준 플렉셔 힌지를 포함할 수 있다.
상기 제 2 yz 기준 플렉셔 힌지는 상기 제 1 yz 기준 플렉셔 힌지와 상기 Z축 방향으로 이격될 수 있다.
상기 기준 힌지부의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 기준 상부 플레이트로부터 멀어질수록 증가할 수 있다.
상기 제 1 원위 힌지부는 상기 제 1 yz 기준 플렉셔 힌지와 평행한 제 1 yz 원위 플렉셔 힌지, 상기 제 2 yz 기준 플렉셔 힌지와 평행한 제 2 yz 원위 플렉셔 힌지, 상기 xz 기준 플렉셔 힌지와 평행한 제 1 xz 원위 플렉셔 힌지 및 상기 zc 기준 플렉셔 힌지와 평행한 zc 원위 플렉셔 힌지를 포함할 수 있다.
상기 제 1 yz 원위 플렉셔 힌지, 상기 제 2 yz 원위 플렉셔 힌지, 상기 제 1 xz 원위 플렉셔 힌지 및 상기 zc 원위 플렉셔 힌지의 적층 순서는 상기 제 1 yz 기준 플렉셔 힌지, 상기 제 2 yz 기준 플렉셔 힌지, 상기 xz 기준 플렉셔 힌지 및 상기 zc 기준 플렉셔 힌지의 적층 순서와 다를 수 있다.
상기 원위 플렉셔 구조물은 상기 제 1 원위 힌지부와 상기 Y축 방향으로 이격되는 제 1 원위 몸체; 및 상기 원위 상부 플레이트를 상기 Y축 방향으로 고정하기 위한 제 2 원위 힌지부를 더 포함할 수 있다. 상기 제 2 원위 힌지부는 상기 제 1 원위 힌지부의 상단부와 상기 제 1 원위 몸체의 상단부 사이에 위치하고 상기 Y축 방향으로 적층되는 플렉셔 힌지들을 포함할 수 있다. 상기 제 1 원위 힌지부는 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 제 2 xz 원위 플렉셔 힌지를 더 포함할 수 있다.
상기 제 2 원위 힌지부는 상기 X축 방향으로 연장되는 수평형 제 1 xy 원위 플렉셔 힌지, 상기 X축 방향으로 연장되는 수평형 제 2 xy 원위 플렉셔 힌지, 상기 Z축 방향으로 연장되는 Y축형 제 1 zy 원위 플렉셔 힌지, 상기 Z축 방향으로 연장되는 Y축형 제 2 zy 원위 플렉셔 힌지 및 상기 Y축 방향으로 연장되는 십자형 yc 원위 플렉셔 힌지를 포함할 수 있다.
상기 원위 플렉셔 구조물은 상기 제 1 원위 힌지부의 하부에 위치하고 상기 Y축 방향으로 연장되는 원위 하부 플레이트; 상기 제 2 원위 힌지부의 하부에 위치하고 상기 원위 하부 플레이트 상에 고정되는 제 2 원위 몸체; 상기 제 2 원위 몸체의 상단부와 상기 제 1 원위 몸체 사이에 위치하고 상기 X축 방향으로 연장되는 수평형 xy 회전 플렉셔 힌지; 및 상기 제 1 원위 몸체의 하단부에 위치하는 회전 조절 부재를 더 포함할 수 있다. 상기 제 1 원위 몸체는 상기 원위 하부 플레이트와 이격될 수 있다. 상기 제 1 원위 몸체의 하부면의 레벨은 상기 원위 하부 플레이트의 하부면의 레벨보다 높을 수 있다.
상기 제 1 중간 힌지부는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 제 1 yz 중간 플렉셔 힌지, 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 제 1 xz 중간 플렉셔 힌지, 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 제 2 xz 중간 플렉셔 힌지 및 상기 Z축 방향으로 연장되는 십자형 zc 중간 플렉셔 힌지를 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상에 따른 스테이지 장치 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치는 X축 방향으로 연장되는 간섭 반사경 및 상기 간섭 반사경을 고정하기 위한 세 개의 플렉셔 구조물들을 포함한다. 상기 플렉셔 구조물들은 상기 간섭 반사경의 X축 이동, X축 회전, Y축 이동 Y축 회전, Z축 이동 및 Z축 회전을 중복 없이 구속할 수 있다. 이에 따라 본 발명의 기술적 사상에 따른 스테이지 장치 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치에서는 간섭 반사경의 설치 또는 스테이지 이동 시 발 발생하는 응력에 의해 간섭 반사경이 변형되는 것이 방지될 수 있다. 따라서 본 발명의 기술적 사상에 따른 스테이지 장치 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치에서는 스테이지의 위치 측정/제어에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 장치를 나타낸 상면도이다.
도 3a는 도 2의 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 3b는 도 2의 II-II'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 반사경 지지대 및 Y축 간섭 반사경을 나타낸 분리 사시도이다.
도 5a 및 5b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 기준 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다.
도 5c 내지 5e는 본 발명의 일 실시 예에 따른 Y축 기준 플렉셔 구조물의 일부를 나타낸 부분 사시도들이다.
도 6a 및 6b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 원위 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다.
도 6c 내지 6e는 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 원위 플렉셔 구조물을 나타낸 부분 사시도들이다.
도 6f 및 6g는 본 발명의 일 실시 예에 따른 Y축 원위 플렉셔 구조물 및 이의 동작을 나타낸 측면도들이다.
도 7a 및 7b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 중간 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다.
도 7c 내지 7e는 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 중간 플렉셔 구조물을 나타낸 부분 사시도들이다.
도 7f 및 7g는 본 발명의 일 실시 예에 따른 Y축 중간 플렉셔 구조물 및 이의 동작을 나타낸 측면도들이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 Y축 기준 플렉셔 구조물, Y축 원위 플렉셔 구조물 및 Y축 중간 플렉셔 구조물들을 나타낸 상면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 반사경 지지대 및 X축 간섭 반사경을 나타낸 분리 사시도이다.
도 10a 및 10b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 기준 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다.
도 11a 및 11b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 원위 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다.
도 12a 및 12b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 중간 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다.
도 13은 본 발명의 일 실시 예에 따른 X축 기준 플렉셔 구조물, X축 원위 플렉셔 구조물 및 X축 중간 플렉셔 구조물들을 나타낸 상면도이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 Y축 기준 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도이다.
도 15는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 X축 기준 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도이다.
도 16은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 반사경 지지대 및 Y축 간섭 반사경을 나타낸 분리 사시도이다.
도 17은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 반사경 지지대 및 X축 간섭 반사경을 나타낸 분리 사시도이다.
도 18은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 반사경 지지대 및 Y축 간섭 반사경을 나타낸 분리 사시도이다.
도 19a 및 19b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 고정 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다.
도 20은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 반사경 지지대 및 X축 간섭 반사경을 나타낸 분리 사시도이다.
도 21a 및 21b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 고정 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다.
도 22는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 스테이지 장치를 나타낸 사시도이다.
도 23은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 스테이지 장치를 나타낸 상면도이다.
도 24a는 도 23의 III-III'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 24b는 도 23의 IV-IV'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 25 내지 27은 본 발명의 기술적 사상에 따른 스테이지 장치를 포함하는 반도체 제조 장치들을 나타낸 개략도들이다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 이에 따른 작용 효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 실시 예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 더욱 명확하게 이해될 것이다. 여기서, 본 발명의 실시 예들은 당업자에게 본 발명의 기술적 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위하여 제공되는 것이므로, 본 발명은 이하 설명되는 실시 예들에 한정되지 않도록 다른 형태로 구체화될 수 있다.
또한, 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호로 표시된 부분들은 동일한 구성 요소들을 의미하며, 도면들에 있어서 층 또는 영역의 길이와 두께는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 덧붙여, 제 1 구성 요소가 제 2 구성 요소 "상"에 있다고 기재되는 경우, 상기 제 1 구성 요소가 상기 제 2 구성 요소와 직접 접촉하는 상측에 위치하는 것뿐만 아니라, 상기 제 1 구성 요소와 상기 제 2 구성 요소 사이에 제 3 구성 요소가 위치하는 경우도 포함한다.
여기서, 상기 제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소를 설명하기 위한 것으로, 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 다만, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서는 제 1 구성 요소와 제 2 구성 요소는 당업자의 편의에 따라 임의로 명명될 수 있다.
본 발명의 명세서에서 사용하는 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용되는 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 예를 들어, 단수로 표현된 구성 요소는 문맥상 명백하게 단수만을 의미하지 않는다면 복수의 구성 요소를 포함한다. 또한, 본 발명의 명세서에서, "포함하다"　또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
덧붙여, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
　
(실시 예)
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치를 나타낸 사시도이다. 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치를 나타낸 상면도이다. 도 3a는 도 2의 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다. 도 3b는 도 2의 II-II'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 1, 2, 3a 및 3b를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치는 스테이지(110), 스테이지 베이스(120), Y축 간섭계(Y-axis interferometer, 130y), X축 간섭계(130x), Y축 간섭 반사경(Y-axis interference mirror, 140y), X축 간섭 반사경(140x), Y축 기준 플렉셔 구조물(Y-axis datum flexure structure, 200), Y축 원위 플렉셔 구조물(Y-axis distant flexure structure, 300), Y축 중간 플렉셔 구조물(400), X축 기준 플렉셔 구조물(500), X축 원위 플렉셔 구조물(600) 및 X축 중간 플렉셔 구조물(700)을 포함할 수 있다.
상기 스테이지(110)는 웨이퍼를 지지할 수 있다. 상기 웨이퍼는 제조 공정이 진행되는 동안 상기 스테이지(110) 상에 고정될 수 있다. 상기 스테이지(110)는 상기 웨이퍼와 직접 접촉할 수 있다. 상기 스테이지(110)는 Y축 반사경 지지대(111y) 및 X축 반사경 지지대(111x)를 포함할 수 있다.
상기 Y축 반사경 지지대(111y)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)을 지지할 수 있다. 상기 Y축 반사경 지지대(111y)는 상기 스테이지(110)의 상부면 상에 위치할 수 있다. 상기 Y축 반사경 지지대(111y)는 상기 Y축 간섭계(130y)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 Y축 반사경 지지대(111y)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 동일 방향으로 연장될 수 있다. 상기 Y축 반사경 지지대(111y)는 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 스테이지(110)의 상기 X축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다.
상기 X축 반사경 지지대(111x)는 상기 X축 간섭 반사경(140x)을 지지할 수 있다. 상기 X축 반사경 지지대(111x)는 상기 스테이지(110)의 상부면 상에 위치할 수 있다. 상기 X축 반사경 지지대(111x)는 상기 X축 간섭계(130x)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 X축 반사경 지지대(111x)는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)와 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 반사경 지지대(111x)는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 X축 반사경 지지대(111x)는 상기 X축 간섭계(130x)와 상기 Y축 반사경 지지대(111y) 사이에 위치할 수 있다.
상기 X축 반사경 지지대(111x)는 상기 X축 간섭 반사경(140x)와 동일 방향으로 연장될 수 있다. 상기 X축 반사경 지지대(111x)는 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 클 수 있다.
상기 스테이지 베이스(120)는 상기 스테이지(110)를 지지할 수 있다. 상기 스테이지(110)는 상기 스테이지 베이스(120)의 상부면 상에 위치할 수 있다. 상기 스테이지 베이스(120)는 상기 스테이지(110)를 이동할 수 있다. 상기 스테이지(110)는 상기 스테이지 베이스(120)에 의해 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
상기 스테이지 베이스(120)는 베이스 몸체(121), Y축 구동 부재들(122), 가이드 블록(123) 및 X축 구동 부재(124)를 포함할 수 있다.
상기 베이스 몸체(121)는 상기 스테이지(110)가 이동되기 위한 공간을 제공할 수 있다. 예를 들어, 상기 베이스 몸체(121)의 상부면은 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향에 의해 이루어지는 평면과 평행할 수 있다. 상기 Y축 구동 부재들(122), 상기 가이드 블록(123) 및 상기 X축 구동 부재(124)는 상기 베이스 몸체(121)의 상부면 상에 위치할 수 있다.
상기 베이스 몸체(121)는 직사각형 형상일 수 있다. 예를 들어, 상기 베이스 몸체(121)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 베이스 몸체(121)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 스테이지(110)의 상기 Y축 방향의 이동 거리는 상기 스테이지(110)의 상기 X축 방향의 이동 거리보다 클 수 있다.
상기 베이스 몸체(121)는 몸체 돌출부들(121p)을 포함할 수 있다. 상기 몸체 돌출부들(121p)은 상기 베이스 몸체(121)의 상부면 가장 자리에 위치할 수 있다. 상기 몸체 돌출부들(121p)은 상기 베이스 몸체(121)의 마주보는 측면들에 가까이 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 몸체 돌출부들(121p) 각각은 상기 베이스 몸체(121)의 상기 Y축 방향으로 연장되는 측면에 가까이 위치할 수 있다. 상기 몸체 돌출부들(121p)은 상기 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다.
상기 몸체 돌출부들(121p)은 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 몸체 돌출부들(121p)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 베이스 몸체(121)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 상기 스테이지(110)는 상기 몸체 돌출부들(121p) 사이에서 이동될 수 있다.
상기 몸체 돌출부들(121p) 각각은 블록 가이드 홈(121g)을 포함할 수 있다. 상기 블록 가이드 홈(121g)은 해당 몸체 돌출부(121p)의 측면에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 블록 가이드 홈(121g)은 해당 몸체 돌출부(121p)의 상기 스테이지(110)와 마주보는 측면에 위치할 수 있다. 상기 블록 가이드 홈(121g)은 상기 스테이지(110)의 측면과 마주볼 수 있다.
상기 블록 가이드 홈(121g)은 해당 몸체 돌출부(121p)를 따라 연장될 수 있다. 예를 들어, 상기 블록 가이드 홈(121g)은 상기 Y축 방향을 따라 연장될 수 있다. 상기 블록 가이드 홈(121g)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 해당 몸체 돌출부(12p)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 Y축 구동 부재들(122)은 상기 스테이지(110)를 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 상기 스테이지(110)는 상기 Y축 구동 부재들(122)에 의해 상기 스테이지 베이스(120)의 상부면을 벗어나지 않을 수 있다. 상기 웨이퍼는 상기 Y축 구동 부재들(122)에 의해 상기 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
상기 Y축 구동 부재들(122)은 상기 베이스 몸체(121)의 상부면 상에 위치할 수 있다. 상기 Y축 구동 부재들(122)은 상기 몸체 돌출부들(121p) 상에 위치할 수 있다. 각각의 Y축 구동 부재(122)는 해당 몸체 돌출부(121p)의 상부면과 직접 접촉할 수 있다.
상기 Y축 구동 부재들(122)은 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 Y축 구동 부재들(122)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 몸체 돌출부들(121p)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 Y축 구동 부재들(122)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 베이스 몸체(121)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 Y축 구동 부재들(122)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 스테이지 베이스(120)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다.
각각의 Y축 구동 부재(122)는 블록 결합 홈(122g)을 포함할 수 있다. 상기 블록 결합 홈(122g)은 해당 Y축 구동 부재(122)의 측면에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 블록 결합 홈(122g)은 해당 Y축 구동 부재(122)의 상기 스테이지(110)와 마주보는 측면에 위치할 수 있다. 상기 블록 결합 홈(122g)은 상기 스테이지(110)의 측면과 마주볼 수 있다.
상기 블록 결합 홈(122g)은 해당 Y축 구동 부재(122)를 따라 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 블록 결합 홈(122g)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 해당 Y축 구동 부재(122)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 블록 결합 홈(122g)은 상기 블록 가이드 홈(121g) 상에 위치할 수 있다. 상기 블록 결합 홈(122g)은 상기 블록 가이드 홈(121g)와 나란히 위치할 수 있다. 상기 블록 결합 홈(122g)은 상기 블록 가이드 홈(121g)와 평행할 수 있다. 상기 블록 결합 홈(122g)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 블록 가이드 홈(121g)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다.
상기 가이드 블록(123)은 상기 스테이지(110)의 상기 X축 방향의 이동 경로를 제공할 수 있다. 상기 스테이지(110)는 상기 가이드 블록(123)을 따라 상기 X축 방향으로 이동할 수 있다.
상기 가이드 블록(123)은 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 가이드 블록(123)은 상기 Y축 구동 부재들(122) 사이를 연결할 수 있다. 상기 가이드 블록(123)은 상기 몸체 돌출부들(121p) 사이를 연결할 수 있다. 상기 스테이지(110)는 상기 가이드 블록(123)을 둘러싸는 형상일 수 있다. 상기 스테이지(110)의 하부면은 상기 베이스 몸체(121)의 상부면과 이격될 수 있다.
상기 가이드 블록(123)은 가이드 돌출부들(123p), 가이드 연결부들(123c) 및 스테이지 가이드 홈(123g)을 포함할 수 있다.
상기 가이드 돌출부들(123p)은 상기 몸체 돌출부들(121p)의 상기 블록 가이드 홈들(121g) 내로 연장될 수 있다. 상기 가이드 돌출부들(123p)은 상기 몸체 돌출부들(121p)을 따라 상기 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
상기 가이드 연결부들(123c)은 상기 가이드 블록(123)의 상기 Y축 구동 부재들(122)과 마주보는 측면에 위치할 수 있다. 상기 가이드 연결부들(123c)은 상기 Y축 구동 부재들(122)의 상기 블록 결합 홈들(122g) 내로 연장될 수 있다. 각각의 가이드 연결부(123c)는 해당 블록 결합 홈(122g)과 결합될 수 있다. 상기 가이드 연결부들(123c)은 상기 Y축 구동 부재들(122)에 의해 상기 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
상기 스테이지 가이드 홈(123g)은 상기 가이드 블록(123)의 상부면에 위치할 수 있다. 상기 스테이지 가이드 홈(123g)은 상기 가이드 블록(123)과 동일한 방향으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 상기 스테이지 가이드 홈(123g)은 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 스테이지 가이드 홈(123g)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 가이드 블록(123)의 상기 X축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 스테이지 가이드 홈(123g)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 스테이지(110)의 상기 X축 방향의 수평 길이보다 클 수 있다.
상기 X축 구동 부재(124)는 상기 스테이지(110)를 상기 X축 방향으로 이동할 수 있다. 상기 스테이지(110)는 상기 X축 구동 부재(124)에 의해 상기 가이드 블록(123)을 따라 이동될 수 있다.
상기 X축 구동 부재(124)는 상기 스테이지 가이드 홈(123g) 내에 위치할 수 있다. 상기 X축 구동 부재(124)는 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 X축 구동 부재(124)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 스테이지(110)의 상기 X축 방향의 수평 길이보다 클 수 있다. 상기 X축 구동 부재(124)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 스테이지 가이드 홈(123g)의 상기 X축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 X축 구동 부재(124)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 스테이지 가이드 홈(123g)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다.
상기 X축 구동 부재(124)는 상기 가이드 블록(123)과 직접 접촉할 수 있다. 상기 X축 구동 부재(124)는 상기 스테이지 가이드 홈(123g)의 바닥면과 직접 접촉할 수 있다. 상기 X축 구동 부재(124)의 상부면의 레벨은 상기 가이드 블록(123)의 최고 레벨보다 낮을 수 있다. 상기 X축 구동 부재(124)는 상기 스테이지(110)와 이격될 수 있다.
상기 X축 구동 부재(124)는 스테이지 결합 홈(124g)을 포함할 수 있다. 상기 스테이지 결합 홈(124g)은 상기 X축 구동 부재(124)의 측면에 위치할 수 있다. 상기 스테이지 결합 홈(124g)은 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 스테이지 결합 홈(124g)은 상기 X축 구동 부재(124)의 측면을 따라 연장될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치는 상기 스테이지(110)가 상기 X축 구동 부재(124)와 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 스테이지(110)는 스테이지 연결부(110c)를 더 포함할 수 있다. 상기 스테이지 연결부(110c)는 상기 스테이지 결합 홈(124g) 내로 연장될 수 있다. 상기 스테이지 연결부(110c)는 상기 스테이지 결합 홈(124g)와 결합될 수 있다. 상기 X축 구동 부재(124)는 상기 스테이지 연결부(110c)를 상기 X축 방향으로 이동할 수 있다.
상기 Y축 간섭계(130y)는 상기 스테이지(110)의 상기 Y축 방향의 위치를 측정할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 간섭계(130y)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)을 이용하여 상기 스테이지(110)의 상기 Y축 방향의 위치를 측정할 수 있다. 예를 들어, 상기 스테이지(110)의 상기 Y축 방향의 위치를 측정하는 방법은 광원으로부터 상기 Y축 간섭계(130y)로 빔을 조사하는 단계, 빔 스플리터를 이용하여 상기 Y축 간섭 반사경(140y) 방향과 기준 반사경 방향으로 빔을 분배하는 단계, 상기 Y축 간섭 반사경(140y)에 의해 반사된 빔(Ly)을 상기 기준 반사경에 의해 반사된 빔과 비교하는 단계 및 상기 Y축 간섭 반사경(140y)에 의해 반사된 빔(Ly)의 주파수 또는 위상 변화를 이용하여 상기 스테이지(110)의 상기 Y축 방향의 위치를 측정하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 Y축 간섭계(130y)는 상기 스테이지(110)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 Y축 간섭계(130y)는 상기 스테이지 베이스(120) 상에 위치할 수 있다. 상기 Y축 간섭계(130y)는 상기 베이스 몸체(121)의 상부면 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 간섭계(130y)는 상기 베이스 몸체(121)의 상기 Y축 방향의 종단부 상에 위치할 수 있다. 상기 Y축 간섭계(130y)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 X축 방향으로 연장되는 측면과 마주볼 수 있다.
상기 X축 간섭계(130x)는 상기 스테이지(110)의 상기 X축 방향의 위치를 측정할 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 간섭계(130x)는 상기 X축 간섭 반사경(130x)을 이용하여 상기 스테이지(110)의 상기 X축 방향의 위치를 측정할 수 있다. 상기 X축 간섭계(130x)의 구조는 상기 Y축 간섭계(130y)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 스테이지(110)의 상기 X축 방향의 위치를 측정하는 방법은 광원으로부터 상기 X축 간섭계(130x)로 빔을 조사하는 단계, 빔 스플리터를 이용하여 상기 X축 간섭 반사경(140x) 방향과 기준 반사경 방향으로 빔을 분배하는 단계, 상기 X축 간섭 반사경(140x)에 의해 반사된 빔(Lx)을 상기 기준 반사경에 의해 반사된 빔과 비교하는 단계 및 상기 X축 간섭 반사경(140x)에 의해 반사된 빔(Lx)의 주파수 또는 위상 변화를 이용하여 상기 스테이지(110)의 상기 X축 방향의 위치를 측정하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 X축 간섭계(130x)는 상기 스테이지(110)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 간섭계(130x)는 상기 베이스 몸체(121)의 몸체 돌출부(121p) 상에 위치할 수 있다. 상기 X축 간섭계(130x)는 상기 Y축 구동 부재들(122) 상에 위치할 수 있다. 상기 X축 간섭계(130x)는 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 Y축 방향으로 연장되는 측면과 마주볼 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 반사경 지지대 및 Y축 간섭 반사경을 나타낸 분리 사시도이다.
도 1 및 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서 상기 Y축 간섭 반사경(140y)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y) 상에 위치할 수 있다. 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200), 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300) 및 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)와 상기 Y축 간섭 반사경(140y) 사이에 위치할 수 있다
상기 Y축 간섭 반사경(140y)은 상기 Y축 간섭계(130y)로부터 조사된 빔을 상기 Y축 간섭계(130y) 방향으로 반사할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)에 의해 반사된 빔(Ly)의 주파수 및 위상은 상기 스테이지(110)의 상기 Y축 방향의 위치에 따라 상기 Y축 간섭계(130y)로부터 조사된 빔의 주파수 및 위상과 다를 수 있다.
상기 Y축 간섭 반사경(140y)은 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 스테이지(110)의 상기 X축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 X축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 면적은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 면적과 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 측면들은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 측면들과 수직 정렬될 수 있다.
상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200), 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300) 및 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)을 고정할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)은 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200), 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300) 및 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)에 의해 상기 Y축 반사경 지지대(111y) 상에 고정될 수 있다.
상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200), 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300) 및 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)은 상기 X축 방향으로 배열될 수 있다. 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200), 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300) 및 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)은 상기 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)은 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)과 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)은 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)과 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300) 사이에 위치할 수 있다.
상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 제 1 측면(ys1)에 가까이 위치할 수 있다. 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 1 측면(ys1)은 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 1 측면(ys1)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 제 1 측면(141ys)과 수직 정렬될 수 있다. 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 제 1 측면(141ys)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 1 측면(ys1)에 가까이 위치할 수 있다. 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 제 1 측면(141ys)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 제 2 측면(ys2)에 가까이 위치할 수 있다. 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 2 측면(ys2)은 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 2 측면(ys2)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 1 측면(ys1)과 대향할 수 있다. 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 2 측면(ys2)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 제 2 측면(142ys)와 수직 정렬될 수 있다. 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 제 2 측면(142ys)에 가까이 위치할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치는 제 1 Y축 어댑터(first Y-axis adaptor, 151y), 제 2 Y축 어댑터(152y) 및 제 3 Y축 어댑터(153y)를 더 포함할 수 있다.
상기 제 1 Y축 어댑터(151y)는 상기 제 1 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)을 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합할 수 있다. 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)은 상기 제 1 Y축 어댑터(151y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합될 수 있다. 상기 제 1 Y축 어댑터(151y)는 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)과 상기 Y축 간섭 반사경(140y) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 1 Y축 어댑터(151y)의 열변형 특성은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 열변형 특성과 동일할 수 있다. 상기 제 1 Y축 어댑터(151y)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)보다 단단할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 Y축 어댑터(151y)는 금속 재질일 수 있다.
상기 제 2 Y축 어댑터(152y)는 상기 제 1 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)을 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합할 수 있다. 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)은 상기 제 2 Y축 어댑터(152y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합될 수 있다. 상기 제 2 Y축 어댑터(152y)는 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)과 상기 Y축 간섭 반사경(140y) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 Y축 어댑터(152y)의 열변형 특성은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 열변형 특성과 동일할 수 있다. 상기 제 2 Y축 어댑터(152y)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)보다 단단할 수 있다. 상기 제 2 Y축 어댑터(152y)의 물질은 상기 제 1 Y축 어댑터(151y)의 물질과 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 Y축 어댑터(152y)는 금속 재질일 수 있다.
상기 제 3 Y축 어댑터(153y)는 상기 제 1 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)을 상기 Y축 간섭 반사경(140y)에 결합할 수 있다. 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)은 상기 제 3 Y축 어댑터(153y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)에 결합될 수 있다. 상기 제 3 Y축 어댑터(153y)는 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(300)과 상기 Y축 간섭 반사경(140y) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 3 Y축 어댑터(153y)의 열변형 특성은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 열변형 특성과 동일할 수 있다. 상기 제 3 Y축 어댑터(153y)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)보다 단단할 수 있다. 상기 제 3 Y축 어댑터(153y)의 물질은 상기 제 1 Y축 어댑터(151y)의 물질과 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 Y축 어댑터(153y)는 금속 재질일 수 있다.
도 5a 및 5b는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 기준 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다. 도 5c 내지 5e는 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 기준 플렉셔 구조물을 나타낸 부분 사시도들이다.
도 4 및 5a 내지 5e를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)은 Y축 기준 상부 플레이트(210), Y축 기준 하부 플레이트(220) 및 Y축 기준 힌지부(230)를 포함할 수 있다.
상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합할 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)는 상기 제 1 Y축 어댑터(151y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합될 수 있다.
상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이의 절반 이하일 수 있다.
상기 Y축 기준 하부 플레이트(220)는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)과 결합할 수 있다. 상기 Y축 기준 하부 플레이트(220)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210) 및 상기 Y축 기준 힌지부(230)를 지지할 수 있다.
상기 Y축 기준 하부 플레이트(220)는 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 Y축 기준 하부 플레이트(220)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 클 수 있다. 상기 Y축 기준 하부 플레이트(220)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 Y축 기준 하부 플레이트(220)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다.
상기 Y축 기준 힌지부(230)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)를 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)와 수직 중첩되는 영역은 상기 Y축 기준 힌지부(230)에 의해 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정될 수 있다.
상기 Y축 기준 힌지부(230)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)와 상기 Y축 기준 하부 플레이트(220) 사이에 위치할 수 있다. 상기 Y축 기준 힌지부(230)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)로부터 멀어질수록 증가할 수 있다. 상기 Y축 기준 힌지부(230)의 상기 Y축 방향의 최소 수평 길이는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 상기 Y축 기준 힌지부(230)의 상기 Y축 방향의 최대 수평 길이는 상기 Y축 기준 하부 플레이트(220)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 Y축 기준 힌지부(230)는 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz), xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz), zc Y축 기준 플렉셔 힌지(130zc) 및 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)를 상기 X축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 X축 이동에 대한 자유도는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)에 의해 구속될 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)를 상기 Y축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 Y축 이동에 대한 자유도는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)에 의해 구속될 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)를 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 Z축 이동에 대한 자유도는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)에 의해 구속될 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)가 상기 X축을 기준으로 회전되지 않도록 할 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 X축 회전에 대한 자유도는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)에 의해 구속될 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)가 상기 Z축을 기준으로 회전되지 않도록 할 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 Z축 회전에 대한 자유도는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)에 의해 구속될 수 있다.
상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 Y축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)는 도 5c에 도시된 바와 같이, yz 플렉셔 지지대(yzs) 및 yz 플렉셔 홈들(yzg)을 포함할 수 있다.
상기 yz 플렉셔 지지대(yzs)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)를 상기 X축 방향, 상기 Y축 방향 및 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 X축 이동, Y축 이동 및 Z축 이동에 대한 자유도는 상기 yz 플렉셔 지지대(yzs)에 의해 구속될 수 있다. 상기 yz 플렉셔 지지대(yzs)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)가 상기 X축 또는 상기 Z축을 기준으로 회전되지 않도록 할 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 X축 회전 및 Z축 회전에 대한 자유도는 상기 yz 플렉셔 지지대(yzs)에 의해 구속될 수 있다.
상기 yz 플렉셔 지지대(yzs)는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)와 동일한 방향으로 연장될 수 있다. 상기 yz 플렉셔 지지대(yzs)는 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 yz 플렉셔 지지대(yzs)는 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향에 의해 형성된 평면과 평행할 수 있다.
상기 yz 플렉셔 홈들(yzg)은 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)가 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있는 공간을 제공한다. 상기 Y축 기준 플레이트(210)는 상기 yz 플렉셔 홈들(yzg)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 Y축 회전에 대한 자유도는 상기 yz 플렉셔 홈들(yzg)에 의해 구속되지 않을 수 있다.
상기 yz 플렉셔 홈들(yzg)은 상기 yz 플렉셔 지지대(yzs)의 측면 상에 위치할 수 있다. 상기 yz 플렉셔 홈들(yzg)은 상기 yz 플렉셔 지지대(yzs)와 동일한 방향으로 연장될 수 있다. 상기 yz 플렉셔 홈들(yzg)은 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 yz 플렉셔 홈들(yzg)은 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)의 상기 Y축 기준 힌지부(230)를 상기 Y축 방향으로 관통할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yz Y축 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 I빔(i-beam) 형상일 수 있다.
상기 yz 플렉셔 홈들(yzg)는 상기 yz 플렉셔 지지대(yzs)의 측면으로부터 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 yz 플렉셔 홈들(yzg)은 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)의 상부에 위치하는 구성 요소와 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)의 하부에 위치하는 구성 요소가 상기 yz 플렉셔 지지대(yzs)에 의해 연결되도록 할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)는 상기 yz 플렉셔 지지대(yzs)에 의해 지지될 수 있다.
상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)를 상기 X축 방향, 상기 Y축 방향 및 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도는 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)에 의해 구속될 수 있다. 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)가 상기 Y축 또는 상기 Z축을 기준으로 회전되지 않도록 할 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 Y축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도는 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)에 의해 구속될 수 있다.
상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)는 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)에 의해 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 X축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)와 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz) 사이에 위치할 수 있다. 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)와 상기 Y축 기준 하부 플레이트(220) 사이에 위치할 수 있다.
상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)는 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)는 도 5d에 도시된 바와 같이, xz 플렉셔 지지대(xzs) 및 xz 플렉셔 홈들(xzg)을 포함할 수 있다.
상기 xz 플렉셔 지지대(xzs)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)를 상기 X축 방향, 상기 Y축 방향 및 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 X축 이동, Y축 이동 및 Z축 이동에 대한 자유도는 상기 xz 플렉셔 지지대(230xs)에 의해 구속될 수 있다. 상기 xz 플렉셔 지지대(xzs)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)가 상기 Y축 또는 상기 Z축을 기준으로 회전되지 않도록 할 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 Y축 회전 및 Z축 회전에 대한 자유도는 상기 xz 플렉셔 지지대(xzs)에 의해 구속될 수 있다.
상기 xz 플렉셔 지지대(xzs)는 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)와 동일한 방향으로 연장될 수 있다. 상기 xz 플렉셔 지지대(xzs)는 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 xz 플렉셔 지지대(xzs)는 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향에 의해 형성된 평면과 평행할 수 있다.
상기 xz 플렉셔 홈들(xzg)은 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)가 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있는 공간을 제공한다. 상기 Y축 기준 플레이트(210)는 상기 xz 플렉셔 홈들(xzg)에 의해 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 X축 회전에 대한 자유도는 상기 xz 플렉셔 홈들(xzg)에 의해 구속되지 않을 수 있다.
상기 xz 플렉셔 홈들(xzg)은 상기 xz 플렉셔 지지대(xzs)의 측면 상에 위치할 수 있다. 상기 xz 플렉셔 홈들(xzg)은 상기 xz 플렉셔 지지대(xzs)와 동일한 방향으로 연장될 수 있다. 상기 xz 플렉셔 홈들(xzg)은 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 xz 플렉셔 홈들(xzg)은 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)의 상기 Y축 기준 힌지부(230)를 상기 X축 방향으로 관통할 수 있다. 예를 들어 상기 xz Y축 플렉셔 힌지(230xz)는 상기 X축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다.
상기 xz 플렉셔 홈들(xzg)는 상기 xz 플렉셔 지지대(xzs)의 측면으로부터 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 xz 플렉셔 홈들(xzg)은 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)의 상부에 위치하는 구성 요소와 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)의 하부에 위치하는 구성 요소가 상기 xz 플렉셔 지지대(xzs)에 의해 연결되도록 할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yz Y축 플렉셔 힌지(231yz)는 상기 xz 플렉셔 지지대(xzs)에 의해 지지될 수 있다.
상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 X축 회전 및 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)는 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)는 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)와 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc) 사이에 위치할 수 있다.
상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 십자형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)는 도 5e에 도시된 바와 같이, zc 플렉셔 지지대(zcs) 및 zc 플렉셔 홈들(zcg)을 포함할 수 있다.
상기 zc 플렉셔 지지대(zcs)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 zc 플렉셔 지지대(zcs)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 X축 회전 및 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다.
상기 zc 플렉셔 지지대(zxs)는 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)와 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 zc 플렉셔 지지대(zcs)의 종단면은 상기 X축 방향과 상기 Y축 방향으로 연장되는 십자 형상일 수 있다.
상기 zc 플렉셔 홈들(zcg)은 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)가 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있는 공간을 제공한다. 상기 Y축 기준 플레이트(210)는 상기 zc 플렉셔 홈들(zcg)에 의해 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있다.
상기 zc 플렉셔 홈들(zcg)는 상기 zc 플렉셔 지지대(zcs) 사이에 위치할 수 있다. 상기 zc 플렉셔 홈들(zcg)은 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)의 상부에 위치하는 구성 요소와 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)의 하부에 위치하는 구성 요소가 상기 zc 플렉셔 지지대(zcs)에 의해 연결되도록 할 수 있다. 예를 들어, 상기 xz Y축 플렉셔 힌지(230xz)는 상기 zc 플렉셔 지지대(zcs)에 의해 지지될 수 있다.
상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 X축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 Y축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)는 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)와 상기 Z축 방향으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)는 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)는 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)와 상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)의 구조는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 yz Y축 플렉셔 힌지(232yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)는 상기 yz 플렉셔 지지대(yzs) 및 상기 yz 플렉셔 홈들(yzg)을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 Y축 기준 플렉셔 힌지(200)의 Y축 기준 힌지부(230)는 상기 Z축 방향으로 적층되는 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz), xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz), zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc) 및 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)를 포함할 수 있다. 상기 Y축 기준 플렉셔 힌지(200)의 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)에 의해 Y축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)는 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(232xz)에 의해 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)는 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)에 의해 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)는 상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 기준 플렉셔 힌지(200)의 Y축 기준 상부 플레이트(210)는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz) 및 상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)에 의해 상기 X축 방향으로 이동될 수 있다. 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 X축 이동에 대한 자유도는 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz) 및 상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)에 의해 구속되지 않을 수 있다.
따라서 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 기준 힌지부(230)는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)를 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 즉 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 기준 플렉셔 힌지(200)에서는 상기 Y축 기준 힌지부(230)가 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 Y축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도만을 구속할 수 있다.
도 6a 및 6b는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 원위 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다. 도 6c 내지 6e는 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 원위 플렉셔 구조물을 나타낸 부분 사시도들이다. 도 6f 및 6g는 본 발명의 일 실시 예에 따른 Y축 원위 플렉셔 구조물 및 이의 동작을 나타낸 측면도들이다.
도 4 및 6a 내지 6g를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)은 Y축 원위 상부 플레이트(310), Y축 원위 하부 플레이트(320), 제 1 Y축 원위 힌지부(330), 제 1 Y축 원위 몸체(340), 제 2 Y축 원위 힌지부(350), 제 2 Y축 원위 몸체(360), Y축 회전 조절 부재(370) 및 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(380)를 포함할 수 있다.
상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합할 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 2 Y축 어댑터(152y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합될 수 있다.
상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이의 절반 이하일 수 있다.
상기 Y축 원위 하부 플레이트(320)는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)와 결합할 수 있다. 상기 Y축 원위 하부 플레이트(320)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310), 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330) 및 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)를 지지할 수 있다.
상기 Y축 원위 하부 플레이트(320)는 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 Y축 원위 하부 플레이트(320)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 클 수 있다. 상기 Y축 원위 하부 플레이트(320)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 Y축 원위 하부 플레이트(320)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 Y축 원위 하부 플레이트(320)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 기준 하부 플레이트(220)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 다를 수 있다.
상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)를 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)와 수직 중첩되는 영역은 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)에 의해 상기 Z축 방향으로 고정될 수 있다.
상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)와 상기 Y축 원위 하부 플레이트(320) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)의 상단부의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)의 하단부의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)의 상단부의 상기 Y축 방향의 수평 길이 및 하단부의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 제 1 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)는 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz), 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz), zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc), 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz) 및 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)는 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)는 도 5a 및 5b에 도시된 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)와 평행할 수 있다. 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)의 구조는 도 5d에 도시된 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)는 상기 X축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다. 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)는 도 5d에 도시된 xz 플렉셔 지지대(xzs) 및 xz 플렉셔 홈들(xzg)을 포함할 수 있다.
상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)는 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)는 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)와 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)는 도 5a 및 5b에 도시된 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)와 평행할 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)의 구조는 도 5c에 도시된 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)는 도 5c에 도시된 yz 플렉셔 지지대(yzs) 및 yz 플렉셔 홈들(yzg)을 포함할 수 있다.
상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 회전 및 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc)는 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc)는 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)는 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)와 상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc) 사이에 위치할 수 있다.
상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 십자형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc)는 도 5a 및 5b에 도시된 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)와 평행할 수 있다. 상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc)의 구조는 도 5e에 도시된 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc)는 도 5e에 도시된 zc 플렉셔 지지대(zcs) 및 zc 플렉셔 홈들(zcg)을 포함할 수 있다.
상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)는 상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)는 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)와 상기 Z축 방향으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)는 상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc)는 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)와 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)는 도 5a 및 5b에 도시된 상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)와 평행할 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)의 구조는 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)의 구조와 동일할 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)의 구조는 도 5c에 도시된 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)는 도 5c에 도시된 yz 플렉셔 지지대(yzs) 및 yz 플렉셔 홈들(yzg)을 포함할 수 있다.
상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)는 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)는 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)와 상기 Z축 방향으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)는 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)는 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)와 상기 Y축 원위 하부 플레이트(320) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)는 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)의 구조는 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)의 구조와 동일할 수 있다. 상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)의 구조는 도 5a 및 5b에 도시된 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)는 상기 X축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다. 상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)는 도 5d에 도시된 xz 플렉셔 지지대(xzs) 및 xz 플렉셔 홈들(xzg)을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 Y축 원위 플렉셔 힌지(300)의 제 1 Y축 원위 힌지부(330)는 상기 Z축 방향으로 적층되는 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz), 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz), zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc), 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz) 및 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)를 포함할 수 있다. 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)의 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)에 의해 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 zc Y축 원위 플렉셔 힌지(330zc)에 의해 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)에 의해 X축을 기준으로 회전될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 원위 플렉셔 힌지(300)의 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz) 및 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)에 의해 상기 X축 방향으로 이동될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동에 대한 자유도는 상기 제 1 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(331yz) 및 상기 제 2 yz Y축 원위 플렉셔 힌지(332yz)에 의해 구속되지 않을 수 있다.
더욱이, 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 원위 플렉셔 힌지(300)의 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz) 및 상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)에 의해 상기 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 이동에 대한 자유도는 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz) 및 상기 제 2 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(332xz)에 의해 구속되지 않을 수 있다.
따라서 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 제 1 Y축 원위 힌지부(330)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)를 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 즉 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 원위 플렉셔 힌지(300)에서는 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)가 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Z축 이동에 대한 자유도만을 구속할 수 있다.
상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)는 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)는 상기 Y축 원위 하부 플레이트(320)와 이격될 수 있다.
상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)는 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)의 하부면의 레벨은 상기 Y축 원위 하부 플레이트(320)의 하부면의 레벨보다 높을 수 있다. 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)의 하부면의 레벨은 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)의 하부면의 레벨보다 낮을 수 있다. 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)의 상부면의 레벨은 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상부면의 레벨보다 낮을 수 있다. 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)의 상부면의 레벨은 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)의 상부면의 레벨보다 낮을 수 있다.
상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)를 상기 Y축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)와 수직 중첩되는 영역은 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)에 의해 상기 Y축 방향으로 고정될 수 있다.
상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)는 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)와 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340) 사이에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)는 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)의 상단부와 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)의 상단부 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)와 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340) 사이의 상기 Y축 방향의 수평 거리와 동일할 수 있다.
상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)는 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy), 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy), yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc), 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy) 및 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 Y축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)와 상기 Y축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 하단부에서 상기 Y축 방향으로 적층될 수 있다. 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)에 가까이 위치할 수 있다. 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)는 상기 제 1 xz Y축 원위 플렉셔 힌지(331xz)의 xz 플렉셔 지지대 상에 위치할 수 있다.
상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)는 상기 X축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)는 도 6c에 도시된 바와 같이, xy 플렉셔 지지대(xys) 및 xy 플렉셔 홈들(xyg)을 포함할 수 있다.
상기 xy 플렉셔 지지대(xys)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 Y축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다.
상기 xy 플렉셔 지지대(xys)는 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 xy 플렉셔 지지대(xys)는 상기 X축 방향과 상기 Y축 방향에 의해 형성된 평면과 평행할 수 있다.
상기 xy 플렉셔 홈들(xyg)은 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)가 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있는 공간을 제공한다. 상기 Y축 원위 플레이트(310)는 상기 xy 플렉셔 홈들(xyg)에 의해 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있다.
상기 xy 플렉셔 홈들(xyg)은 상기 xy 플렉셔 지지대(xys)의 상부 및 하부에 위치할 수 있다. 상기 xy 플렉셔 홈들(xyg)은 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 xy 플렉셔 홈들(xyg)은 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)의 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)를 상기 X축 방향으로 관통할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 xy Y축 플렉셔 힌지(351xy)는 상기 X축 방향으로 연장되는 H빔(H-beam) 형상일 수 있다.
상기 xy 플렉셔 홈들(xyg)은 상기 xy 플렉셔 지지대(xys)로부터 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 xy 플렉셔 홈들(xyg)은 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)의 측면에 위치하는 구성 요소들이 상기 xy 플렉셔 지지대(xys)에 의해 연결되도록 할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 측면은 상기 xy 플렉셔 지지대(xys)와 연결될 수 있다.
상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy)는 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)와 상기 Y축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)는 상기 Y축 원위 플레이트(310)와 상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 Y축형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy)는 도 6d에 도시된 바와 같이, zy 플렉셔 지지대(zys) 및 zy 플렉셔 홈들(zyg)을 포함할 수 있다.
상기 zy 플렉셔 지지대(zys)는 상기 Y축 원위 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다.
상기 zy 플렉셔 지지대(zys)는 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 zy 플렉셔 지지대(zys)는 상기 Y축 방향 및 상기 Z축 방향에 의해 형성된 평면과 평행할 수 있다.
상기 zy 플렉셔 홈들(zyg)은 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)가 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있는 공간을 제공한다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 zy 플렉셔 홈들(zyg)에 의해 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있다.
상기 zy 플렉셔 홈들(zyg)은 상기 zy 플렉셔 지지대(zys)의 측면 상에 위치할 수 있다. 상기 zy 플렉셔 홈들(zyg)은 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 zy 플렉셔 홈들(zyg)은 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)의 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)를 상기 Z축 방향으로 관통할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 zy Y축 플렉셔 힌지(351zy)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다.
상기 zy 플렉셔 홈들(zyg)은 상기 zy 플렉셔 지지대(zys)의 측면으로부터 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 zy 플렉셔 홈들(zyg)은 상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy)의 측면에 위치하는 구성 요소들이 상기 zy 플렉셔 지지대(zys)에 의해 연결되도록 할 수 있다.
상기 yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc)는 상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy)와 상기 Y축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy)는 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)와 상기 yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc) 사이에 위치할 수 있다.
상기 yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 십자형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc)는 도 6e에 도시된 바와 같이, yc 플렉셔 지지대(ycs) 및 yc 플렉셔 홈들(ycg)을 포함할 수 있다.
상기 yc 플렉셔 지지대(ycs)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다.
상기 yc 플렉셔 지지대(ycs)는 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 yc 플렉셔 지지대(ycs)의 횡단면은 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 연장되는 십자 형상일 수 있다.
상기 yc 플렉셔 홈들(ycg)은 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)가 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있는 공간을 제공한다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 yc 플렉셔 홈들(ycg)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다.
상기 yc 플렉셔 홈들(ycg)은 상기 yc 플렉셔 지지대(ycs) 사이에 위치할 수 있다. 상기 yc 플렉셔 홈들(ycg)은 상기 yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc)의 측면에 위치하는 구성 요소들이 상기 yc 플렉셔 지지대(ycs)에 의해 연결되도록 할 수 있다.
상기 제 2 zy Y축 플렉셔 힌지(352zy)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy)는 상기 yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc)와 상기 Y축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc)는 상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy)와 상기 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 Y축형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy)의 구조는 상기 제 1 Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다. 상기 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy)는 상기 zy 플렉셔 지지대(zys) 및 상기 zy 플렉셔 홈들(zyg)을 포함할 수 있다.
상기 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 Y축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)는 상기 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy)와 상기 Y축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy)는 상기 yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc)와 상기 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)는 상기 X축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)의 구조는 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)는 상기 X축 방향으로 연장되는 H빔 형상일 수 있다. 상기 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)는 상기 xy 플렉셔 지지대(xys) 및 상기 xy 플렉셔 홈들(xyg)을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 Y축 원위 플렉셔 힌지(300)의 제 2 Y축 원위 힌지부(350)는 상기 Y축 방향으로 적층되는 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy), 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy), yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc), 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy) 및 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)를 포함할 수 있다. 상기 Y축 원위 플렉셔 힌지(300)의 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)에 의해 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy)에 의해 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(210)는 상기 yc Y축 원위 플렉셔 힌지(350yc)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy)에 의해 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)에 의해 X축을 기준으로 회전될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 원위 플렉셔 힌지(300)의 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(331zy) 및 상기 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy)에 의해 상기 X축 방향으로 이동될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 X축 이동에 대한 자유도는 상기 제 1 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(351zy) 및 상기 제 2 zy Y축 원위 플렉셔 힌지(352zy)에 의해 구속되지 않을 수 있다.
더욱이, 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 원위 플렉셔 힌지(300)의 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy) 및 상기 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)에 의해 상기 Z축 방향으로 이동될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Z축 이동에 대한 자유도는 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy) 및 상기 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)에 의해 구속되지 않을 수 있다.
따라서 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 제 2 Y축 원위 힌지부(350)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)를 상기 Y축 방향으로 고정될 수 있다. 즉 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 원위 플렉셔 힌지(300)에서는 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)가 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 이동에 대한 자유도만을 구속할 수 있다.
상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)는 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)와 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)는 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)의 하부에 위치할 수 있다. 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)는 상기 Y축 원위 하부 플레이트(320) 상에 고정될 수 있다.
상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)의 상부면의 레벨은 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)의 상부면의 레벨보다 낮을 수 있다. 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)는 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)에 가까이 위치하는 수 있다.
상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)의 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)와 마주보는 측면은 상기 Y축 원위 하부 플레이트(320)의 측면과 수직 정렬될 수 있다. 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)의 상기 제 1 Y축 원위 힌지부(330)를 향한 측면은 경사질 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 원위 하부 플레이트(320)로부터 멀어질수록 감소할 수 있다.
상기 Y축 회전 조절 부재(370)는 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)와 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 상기 Y축 회전 조절 부재(370)는 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)의 하단부에 위치할 수 있다. 상기 Y축 회전 조절 부재(370)는 Y축 원위 이격 부재(371) 및 Y축 원위 고정 부재(372)를 포함할 수 있다.
상기 Y축 원위 이격 부재(371)는 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)로부터 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)를 이동할 수 있다. 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)와 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360) 사이의 상기 Y축 방향의 수평 거리는 상기 Y축 원위 이격 부재(371)에 의해 조절될 수 있다.
상기 Y축 원위 고정 부재(372)는 상기 제 1 Y축 원위 몸체(360)의 위치를 고정할 수 있다. 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)와 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360) 사이의 상기 Y축 방향의 수평 거리는 상기 Y축 원위 고정 부재(372)에 의해 유지될 수 있다.
상기 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(380)는 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)와 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360) 사이를 연결할 수 있다. 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)는 상기 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(380)에 의해 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)와 연결될 수 있다.
상기 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(380)는 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)의 상단부와 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340) 사이에 위치할 수 있다. 상기 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(380)는 상기 Y축 회전 조절 부재(370) 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(380)는 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)의 상기 제 2 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(352xy)의 아래에 위치할 수 있다.
상기 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(380)는 상기 X축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(380)의 구조는 상기 제 1 xy Y축 원위 플렉셔 힌지(351xy)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(380)는 상기 X축 방향으로 연장되는 H빔 형상일 수 있다. 상기 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(380)는 상기 xy 플렉셔 지지대(xys) 및 상기 xy 플렉셔 홈들(xyg)을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)은 상기 Y축 회전 조절 부재(370)에 의해 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)와 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360) 사이의 간격이 조절되면, 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310) 및 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)가 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)에 의해 상기 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
도 6f는 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)의 Y축 회전 조절 부재(370)에 의해 제 1 Y축 원위 몸체(340)와 제 2 Y축 원위 몸체(360) 사이의 간격이 증가할 때의 동작을 나타낸 측면도이다.
도 4 및 6f를 참조하면, 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)의 하단부가 상기 Y축 회전 조절 부재(370)에 의해 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360)로부터 멀어지면, 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)는 상기 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(380)에 의해 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있다. 이에 따라 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)의 상단부는 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)를 상기 Y축 방향으로 밀 수 있다. 즉 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)는 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)에 의해 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 1 측면(ys1) 방향으로 이동될 수 있다.
상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)와 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)는 상기 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(352xy)에 의해 연결될 수 있다. 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)는 상기 X축 또는 상기 Y축 방향의 이동 없이 상기 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)에 의해 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 1 측면(ys1) 방향으로 이동될 수 있다. 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)에 의해 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 1 측면(ys1) 방향으로 이동될 수 있다.
도 6g는 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)의 Y축 회전 조절 부재(370)에 의해 제 1 Y축 원위 몸체(340)와 제 2 Y축 원위 몸체(360) 사이의 간격이 감소할 때의 동작을 나타낸 측면도이다.
도 4 및 6f를 참조하면, 상기 Y축 회전 조절 부재(370)에 의해 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)와 상기 제 2 Y축 원위 몸체(360) 사이의 간격이 감소하면, 상기 xy Y축 회전 플렉셔 힌지(380)가 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)에 의해 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있다. 이에 따라 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)의 상단부는 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)를 상기 Y축 방향으로 당길 수 있다. 즉 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)는 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)에 의해 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 2 측면(ys2) 방향으로 이동될 수 있다. 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)는 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)를 상기 Y축 방향으로 고정하고 있으므로, 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)에 의해 상기 제 2 Y축 원위 힌지부(350)와 함께 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 2 측면(ys2) 방향으로 이동될 수 있다.
상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)와 결합되므로, 상기 Y축 원위 상부 플레이트(310)와 결합된 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 영역은 상기 제 1 Y축 원위 몸체(340)에 의해 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 제 1 측면(ys1) 방향으로 이동될 수 있다. 따라서 상기 Y축 간섭 반사경(140y)은 상기 Y축 회전 조절 부재(370)에 의해 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있다.
도 7a 및 7b는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 중간 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다. 도 7c 내지 7e는 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 중간 플렉셔 구조물을 나타낸 부분 사시도들이다. 도 7f 및 7g는 본 발명의 일 실시 예에 따른 Y축 중간 플렉셔 구조물 및 이의 동작을 나타낸 측면도들이다.
도 4 및 7a 내지 7g를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)은 Y축 중간 상부 플레이트(410), Y축 중간 하부 플레이트(420), 제 1 Y축 중간 힌지부(430), Y축 중간 고정 몸체(440), 제 2 Y축 중간 힌지부(450) 및 Y축 경사 조절 부재(460)를 포함할 수 있다.
상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합할 수 있다. 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)는 상기 제 3 Y축 어댑터(153y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합될 수 있다.
상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이의 절반 이하일 수 있다.
상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)와 결합할 수 있다. 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)의 하부면의 레벨은 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)의 하부면의 레벨보다 낮을 수 있다. 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)는 상기 Y축 중간 고정 몸체(440) 및 상기 경사 조절 부재(460)를 지지할 수 있다.
상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)는 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)과 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300) 사이의 상기 X축 방향의 수평 거리보다 작을 수 있다.
상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)를 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)와 수직 중첩되는 영역은 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)에 의해 상기 Z축 방향으로 고정될 수 있다.
상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)의 상단부의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)의 하단부의 상기 X축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)의 상단부의 상기 X축 방향의 수평 길이 및 하단부의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 제 1 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)는 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz), 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz), zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc), 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz) 및 제 2 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)는 도 5a 및 5b에 도시된 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)와 평행할 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)의 구조는 도 5d에 도시된 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)는 상기 Y축 방향으로 연장된 I빔 형상일 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)는 도 5c에 도시된 yz 플렉셔 지지대(yzs) 및 yz 플렉셔 홈들(yzg)을 포함할 수 있다.
상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 Y축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)는 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)는 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)와 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)는 도 5a 및 5b에 도시된 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)와 평행할 수 있다. 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)의 구조는 도 5d에 도시된 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)는 상기 X축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다. 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)는 도 5d에 도시된 xz 플렉셔 지지대(xzs) 및 xz 플렉셔 홈들(xzg)을 포함할 수 있다.
상기 zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc)는 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc)는 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)는 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)와 상기 zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc) 사이에 위치할 수 있다.
상기 zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 십자형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc)는 도 5a 및 5b에 도시된 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)와 평행할 수 있다. 상기 zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc)의 구조는 도 5e에 도시된 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc)는 도 5e에 도시된 zc 플렉셔 지지대(zcs) 및 zc 플렉셔 홈들(zcg)을 포함할 수 있다.
상기 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 Y축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz)는 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)와 상기 Z축 방향으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz)는 상기 zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc)의 아래에 위치할 수 있다. 상기 zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc)는 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)와 상기 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz)는 도 5a 및 5b에 도시된 상기 제 2 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(232xz)와 평행할 수 있다. 상기 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz)의 구조는 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)의 구조와 동일할 수 있다. 상기 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz)의 구조는 도 5d에 도시된 제 1 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(231xz)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz)는 상기 X축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다. 상기 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz)는 도 5d에 도시된 xz 플렉셔 지지대(xzs) 및 xz 플렉셔 홈들(xzg)을 포함할 수 있다.
상기 제 2 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 Y축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 2 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)는 상기 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz)와 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)는 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)와 상기 Z축 방향으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)는 상기 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz)의 아래에 위치할 수 있다.
상기 제 2 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)의 구조는 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)의 구조와 동일할 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)의 구조는 도 5a 및 5b에 도시된 상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다. 상기 제 2 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)는 도 5c에 도시된 yz 플렉셔 지지대(yzs) 및 yz 플렉셔 홈들(yzg)을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 Y축 중간 플렉셔 힌지(400)의 제 1 Y축 중간 힌지부(430)는 상기 Z축 방향으로 적층되는 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz), 제 1 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(431xz), zc Y축 중간 플렉셔 힌지(430zc), 제 2 xz Y축 중간 플렉셔 힌지(432xz) 및 제 2 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(432yz)를 포함할 수 있다. 이에 따라 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)가 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)를 상기 Z축 방향으로만 고정할 수 있다. 따라서 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Z축 이동에 대한 자유도만이 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)에 의해 구속될 수 있다.
상기 Y축 중간 고정 몸체(440)는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 Y축 중간 고정 몸체(440)는 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420) 상에 고정될 수 있다.
상기 제 1 Y축 중간 고정 몸체(440)는 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 제 1 Y축 중간 고정 몸체(440)의 상부면의 레벨은 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상부면의 레벨보다 낮을 수 있다.
상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)를 상기 X축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)와 수직 중첩되는 영역은 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(350)에 의해 상기 X축 방향으로 고정될 수 있다.
상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)와 상기 Y축 중간 고정 몸체(440) 사이에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)의 상단부와 상기 Y축 중간 고정 몸체(440)의 상단부 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)와 상기 Y축 중간 고정 몸체(440) 사이의 상기 X축 방향의 수평 거리와 동일할 수 있다.
상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)는 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx), 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx), xc Y축 중간 플렉셔 힌지(450xc), 제 2 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(452zx) 및 제 2 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(452yx)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)와 상기 X축 방향으로 적층된 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 하단부에서 상기 Y축 방향으로 적층될 수 있다. 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)에 가까이 위치할 수 있다. 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)는 상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(431yz)의 yz 플렉셔 지지대 상에 위치할 수 있다.
상기 제 1 yz Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)는 도 7c에 도시된 바와 같이, yx 플렉셔 지지대(yxs) 및 yx 플렉셔 홈들(yxg)을 포함할 수 있다.
상기 yx 플렉셔 지지대(yxs)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다.
상기 yx 플렉셔 지지대(yxs)는 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 yx 플렉셔 지지대(yxs)는 상기 X축 방향과 상기 Y축 방향에 의해 형성된 평면과 평행할 수 있다.
상기 yx 플렉셔 홈들(yxg)은 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)가 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있는 공간을 제공한다. 상기 Y축 중간 플레이트(410)는 상기 yx 플렉셔 홈들(yxg)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다.
상기 yx 플렉셔 홈들(yxg)은 상기 yx 플렉셔 지지대(yxs)의 상부 및 하부에 위치할 수 있다. 상기 yx 플렉셔 홈들(yxg)은 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 yx 플렉셔 홈들(yxg)은 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)의 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)를 상기 Y축 방향으로 관통할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yx Y축 플렉셔 힌지(451yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 H빔 형상일 수 있다.
상기 yx 플렉셔 홈들(yxg)은 상기 yx 플렉셔 지지대(yxs)로부터 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 yx 플렉셔 홈들(yxg)은 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)의 측면에 위치하는 구성 요소들인 상기 yx 플렉셔 지지대(yxs)에 의해 연결되도록 할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 측면은 상기 yx 플렉셔 지지대(yxs)와 연결될 수 있다.
상기 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx)는 상기 Y축 중간 플이트(410)의 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx)는 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)와 상기 Y축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)는 상기 Y축 중간 플레이트(410)와 상기 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 X축형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx)는 도 7d에 도시된 바와 같이, zx 플렉셔 지지대(zxs) 및 zx 플렉셔 홈들(zxg)을 포함할 수 있다.
상기 zx 플렉셔 지지대(zxs)는 상기 Y축 중간 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다.
상기 zx 플렉셔 지지대(zxs)는 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 zx 플렉셔 지지대(zxs)는 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향에 의해 형성된 평면과 평행할 수 있다.
상기 zx 플렉셔 홈들(zxg)은 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)가 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있는 공간을 제공한다. 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)는 상기 zx 플렉셔 홈들(zxg)에 의해 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있다.
상기 zx 플렉셔 홈들(zxg)은 상기 zx 플렉셔 지지대(zxs)의 측면 상에 위치할 수 있다. 상기 zx 플렉셔 홈들(zxg)은 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 zx 플렉셔 홈들(zxg)은 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)의 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)를 상기 Z축 방향으로 관통할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 zx Y축 플렉셔 힌지(451zx)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다.
상기 zx 플렉셔 홈들(zxg)은 상기 zx 플렉셔 지지대(zxs)의 측면으로부터 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 zx 플렉셔 홈들(zxg)은 상기 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx)의 측면에 위치하는 구성 요소들이 상기 zx 플렉셔 지지대(zxs)에 의해 연결되도록 할 수 있따.
상기 xc Y축 중간 플렉셔 힌지(450xc)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 Y축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 xc Y축 중간 플렉셔 힌지(450xc)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 xc Y축 중간 플렉셔 힌지(450xc)는 상기 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx)와 상기 Y축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx)는 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)와 상기 xc Y축 중간 플렉셔 힌지(450xc) 사이에 위치할 수 있다.
상기 xc Y축 중간 플렉셔 힌지(450xc)는 상기 X축 방향으로 연장되는 십자형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 xc Y축 중간 플렉셔 힌지(450xc)는 도 7e에 도시된 바와 같이, xc 플렉셔 지지대(xcs) 및 xc 플렉셔 홈들(xcg)을 포함할 수 있다.
상기 xc 플렉셔 지지대(xcs)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 Y축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다.
상기 xc 플렉셔 지지대(xcs)는 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 xc 플렉셔 지지대(xcs)의 횡단면은 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 연장되는 십자 형상일 수 있다.
상기 xc 플렉셔 홈들(xcg)은 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)가 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있는 공간을 제공한다. 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)는 상기 xc 플렉셔 홈들(xcg)에 의해 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있다.
상기 xc 플렉셔 홈들(xcg)은 상기 xc 플렉셔 지지대(xcs) 사이에 위치할 수 있다. 상기 xc 플렉셔 홈들(xcg)은 상기 xc Y축 중간 플렉셔 힌지(450xc)의 측면에 위치하는 구성 요소들이 상기 xc 플렉셔 지지대(xcs)에 의해 연결되도록 할 수 있다.
상기 제 2 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(452zx)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 2 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(452zx)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 2 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(452zx)는 상기 xc Y축 중간 플렉셔 힌지(450xc)와 상기 X축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 xc Y축 중간 플렉셔 힌지(450xc)는 상기 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx)와 상기 제 2 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(452zx) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(352zx)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 X축형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 2 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(452zx)의 구조는 상기 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 I빔 형상일 수 있다. 상기 제 2 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(452zx)는 상기 zx 플렉셔 지지대(zxs) 및 상기 zx 플렉셔 홈들(zxg)을 포함할 수 있다.
상기 제 2 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(452yx)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동, 상기 Y축 이동, 상기 Z축 이동, 상기 X축 회전 및 상기 Z축 회전에 대한 자유도를 구속할 수 있다. 상기 제 2 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(452yx)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Y축 회전에 대한 자유도를 구속하지 않을 수 있다.
상기 제 2 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(452yx)는 상기 제 2 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(452zx)와 상기 Y축 방향으로 적층될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(452zx)는 상기 xc Y축 중간 플렉셔 힌지(450xc)와 상기 제 2 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(452yx) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(452yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 2 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(452yx)의 구조는 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(452yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 H빔 형상일 수 있다. 상기 제 2 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(452yx)는 상기 yx 플렉셔 지지대(yxs) 및 상기 yx 플렉셔 홈들(yxg)을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 Y축 중간 플렉셔 힌지(400)의 제 2 Y축 중간 힌지부(450)는 상기 X축 방향으로 적층되는 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx), 제 1 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(451zx), xc Y축 중간 플렉셔 힌지(450xc), 제 2 zx Y축 중간 플렉셔 힌지(452zx) 및 제 2 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(452yx)를 포함할 수 있다. 이에 따라 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)가 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)를 상기 X축 방향으로만 고정할 수 있다. 따라서 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 X축 이동에 대한 자유도만이 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)에 의해 구속될 수 있다.
상기 Y축 경사 조절부(460)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)의 상기 Z축 방향의 위치를 조절할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 경사 조절부(460)는 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410) 및 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)를 상기 Z축 방향으로 이동할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)와 결합하는 영역은 상기 Y축 경사 조절부(460)에 의해 상기 Z축 방향으로 이동될 수 있다.
상기 Y축 경사 조절부(460)는 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)의 하부에 위치할 수 있다. 상기 Y축 경사 조절부(460)는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 경사 조절부(460)는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)와 상기 중간 고정 몸체(440) 사이에 위치할 수 있다.
상기 Y축 경사 조절부(460)는 Y축 경사 고정 몸체(460fb), 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb), 제 2 Y축 경사 조절 몸체(462mb), 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb), 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx), 제 2 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(462yx), 제 3 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(463yx), 제 4 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(464yx) 및 Y축 경사 조절 부재(460ae)를 포함할 수 있다.
상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)와 상기 Y축 중간 고정 몸체(440) 사이에 위치할 수 있다. 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)는 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420) 상에 위치할 수 있다. 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)는 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)의 상부면 상에 고정될 수 있다.
상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)는 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)의 상부면의 레벨은 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)의 하부면의 레벨보다 낮을 수 있다.
상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)는 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)와 상기 Y축 중간 고정 몸체(440) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)는 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420) 상에 위치할 수 있다. 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)는 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)와 이격될 수 있다. 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)의 하부면의 레벨은 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)의 상부면의 레벨보다 높을 수 있다.
상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)는 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)의 상부면의 레벨은 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)의 하부면의 레벨보다 낮을 수 있다. 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)의 상부면의 레벨은 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)의 상부면의 레벨보다 높을 수 있다.
상기 제 2 Y축 경사 조절 몸체(462mb)는 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)와 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 Y축 경사 조절 몸체(462mb)는 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb) 및 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)과 이격될 수 있다. 상기 제 2 Y축 경사 조절 몸체(462mb)의 하부면의 레벨은 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)의 상부면의 레벨보다 높을 수 있다. 상기 제 2 Y축 경사 조절 몸체(462mb)의 상부면의 레벨은 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)의 하부면의 레벨보다 낮을 수 있다. 상기 제 2 Y축 경사 조절 몸체(462mb)의 상부면의 레벨은 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)의 상부면의 레벨과 동일할 수 있다.
상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb)는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)와 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb)는 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb)의 하부면의 레벨은 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)의 하부면의 레벨보다 높을 수 있다. 상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb)의 하부면의 레벨은 상기 Y축 중간 하부 플레이트(420)의 상부면의 레벨보다 낮을 수 있다.
상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb)는 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb)의 상부면의 레벨은 상기 제 2 Y축 중간 힌지부(450)의 하부면의 레벨보다 낮을 수 있다. 상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb)의 상부면의 레벨은 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)의 상부면의 레벨보다 높을 수 있다. 상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb)의 상부면의 레벨은 상기 제 2 Y축 경사 조절 몸체(462mb)의 상부면의 레벨과 동일할 수 있다.
상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx)는 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)와 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)는 상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx)에 의해 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)와 연결될 수 있다.
상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx)는 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)의 상부면에 가까이 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx)는 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)의 상단부와 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx)의 구조는 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 yx Y축 플렉셔 힌지(461yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 H빔 형상일 수 있다. 상기 제 1 yx Y축 플렉셔 힌지(461yx)는 상기 yx 플렉셔 지지대(yxs) 및 상기 yx 플렉셔 홈들(yxg)을 포함할 수 있다.
상기 제 2 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(462yx)는 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)와 상기 제 2 Y축 경사 조절 몸체(462mb) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 Y축 경사 조절 몸체(462mb)는 상기 제 2 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(462yx)에 의해 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)와 연결될 수 있다.
상기 제 2 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(462yx)는 상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx) 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(462yx)는 상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx)의 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다.
상기 제 2 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(462yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 2 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(462yx)의 구조는 상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx)의 구조와 동일할 수 있다. 상기 제 2 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(462yx)의 구조는 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 yx Y축 플렉셔 힌지(462yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 H빔 형상일 수 있다. 상기 제 2 yx Y축 플렉셔 힌지(462yx)는 상기 yx 플렉셔 지지대(yxs) 및 상기 yx 플렉셔 홈들(yxg)을 포함할 수 있다.
상기 제 3 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(463yx)는 상기 제 2 Y축 경사 조절 몸체(462mb)와 상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb)는 상기 제 3 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(463yx)에 의해 상기 제 2 Y축 경사 조절 몸체(462mb)와 연결될 수 있다.
상기 제 3 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(463yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 3 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(463yx)의 구조는 상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx)의 구조와 동일할 수 있다. 상기 제 3 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(463yx)의 구조는 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 yx Y축 플렉셔 힌지(463yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 H빔 형상일 수 있다. 상기 제 3 yx Y축 플렉셔 힌지(463yx)는 상기 yx 플렉셔 지지대(yxs) 및 상기 yx 플렉셔 홈들(yxg)을 포함할 수 있다.
상기 제 4 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(464yx)는 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)와 상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb)는 상기 제 4 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(464yx)에 의해 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)와 연결될 수 있다.
상기 제 4 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(464yx)는 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)의 하부면에 가까이 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 4 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(464yx)는 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)의 하단부와 상기 제 3 Y축 경사 조절 몸체(463mb) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 4 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(464yx)는 상기 제 3 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(463yx)의 아래에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(463yx)는 상기 제 4 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(464yx)의 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다.
상기 제 4 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(464yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 4 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(464yx)의 구조는 상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx)의 구조와 동일할 수 있다. 상기 제 4 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(464yx)의 구조는 상기 제 1 yx Y축 중간 플렉셔 힌지(451yx)의 구조와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 4 yx Y축 플렉셔 힌지(464yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 H빔 형상일 수 있다. 상기 제 4 yx Y축 플렉셔 힌지(464yx)는 상기 yx 플렉셔 지지대(yxs) 및 상기 yx 플렉셔 홈들(yxg)을 포함할 수 있다.
상기 Y축 경사 조절 부재(460ae)는 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)와 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 상기 Y축 경사 조절 부재(460ae)는 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)의 하단부에 위치할 수 있다. 상기 Y축 경사 조절 부재(460ae)는 Y축 중간 이격 부재(460me) 및 Y축 중간 고정 부재(460fe)를 포함할 수 있다.
상기 Y축 중간 이격 부재(460me)는 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)로부터 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)를 이동할 수 있다. 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)와 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb) 사이의 상기 X축 방향의 수평 거리는 상기 Y축 중간 이격 부재(460me)에 의해 조절될 수 있다.
상기 Y축 중간 고정 부재(460fe)는 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb)의 위치를 고정할 수 있다. 상기 Y축 경사 고정 몸체(460fb)와 상기 제 1 Y축 경사 조절 몸체(461mb) 사이의 상기 X축 방향의 수평 거리는 상기 Y축 중간 고정 부재(460fe)에 의해 유지될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 중간 플렉셔 힌지(400)는 상기 Y축 경사 조절 부재(400ae)의 효율적인 조절을 위한 구성 요소를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 중간 고정 몸체(440)는 제 1 관통홀(440mh) 및 제 2 관통홀(440fh)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 관통홀(440mh) 및 상기 제 2 관통홀(440fh)는 상기 Y축 중간 고정 몸체(440)를 상기 X축 방향으로 관통할 수 있다. 상기 제 1 관통홀(440mh)의 상기 Z축 방향의 높이는 상기 Y축 중간 이격 부재(460me)의 상기 Z축 방향의 높이와 동일할 수 있다. 상기 제 2 관통홀(440fh)의 상기 Z축 방향의 높이는 상기 Y축 중간 고정 부재(460fe)의 상기 Z축 방향의 높이와 동일할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)은 상기 Y축 경사 조절 부재(460)에 의해 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410) 및 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)의 상기 Z축 방향의 위치가 조절될 수 있다.
도 7f는 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)의 Y축 경사 조절 부재(370)에 의해 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410) 및 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)가 하강할 때의 동작을 나타낸 측면도이다.
도 4 및 7f를 참조하면, 상기 제 1 Y축 중간 조절 몸체(461mb)의 하단부가 상기 Y축 경사 조절 부재(460ae)에 의해 상기 Y축 중간 고정 몸체(460fb)로부터 멀어지면, 상기 제 1 Y축 중간 조절 몸체(461mb)는 상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다. 이에 따라 상기 제 1 Y축 중간 조절 몸체(461mb)의 상단부는 상기 제 2 Y축 중간 조절 몸체(462mb)를 상기 X축 방향으로 밀 수 있다. 즉 상기 제 2 Y축 중간 조절 몸체(462mb)는 상기 제 1 Y축 중간 조절 몸체(461mb)에 의해 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410) 방향으로 이동될 수 있다.
상기 제 1 Y축 중간 조절 몸체(461mb)와 상기 제 2 Y축 중간 조절 몸체(462mb)는 상기 제 2 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(462yx)에 의해 연결될 수 있다. 상기 제 2 Y축 중간 조절 몸체(462mb)는 상기 Y축 또는 상기 Z축 방향의 이동 없이 상기 X축 방향으로 이동될 수 있다.
상기 제 3 Y축 중간 조절 몸체(462mb)의 상단부는 상기 제 2 Y축 중간 조절 몸체(462mb)의 상기 X축 방향의 이동에 의해 상기 X축 방향으로 이동될 수 있다. 상기 제 2 Y축 중간 조절 몸체(462mb)와 상기 제 3 Y축 중간 조절 몸체(463mb)는 상기 제 3 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(463yx)에 의해 연결될 수 있다. 상기 제 3 Y축 중간 조절 몸체(463mb)의 상단부는 상기 Y축 또는 상기 Z축 방향의 이동 없이 상기 X축 방향으로 이동될 수 있다.
상기 제 3 Y축 중간 조절 몸체(463mb)의 상단부가 상기 X축 방향으로 이동되면, 상기 제 3 Y축 중간 조절 몸체(463mb)는 상기 제 4 Y축 yx 경사 플렉셔 힌지(464yx)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다. 이에 따라 상기 제 3 Y축 중간 조절 몸체(463mb)의 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)의 하부로 연장되는 영역은 상기 Z축 방향으로 내려올 수 있다. 즉 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)는 상기 제 3 Y축 중간 조절 몸체(463mb)에 의해 상기 Z축 방향으로 내려올 수 있다. 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)에 의해 하강할 수 있다.
도 7g는 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)의 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410) 및 상기 제 1 Y축 중간 힌주부(430)가 증가할 때의 동작을 나타낸 측면도이다.
도 4 및 7g를 참조하면, 상기 제 1 Y축 중간 조절 몸체(461mb)의 하단부가 상기 Y축 경사 조절 부재(460ae)에 의해 상기 Y축 중간 고정 몸체(460fb)에 가까워지면, 상기 제 1 Y축 중간 조절 몸체(461mb)는 상기 제 1 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(461yx)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다. 이에 따라 상기 제 1 Y축 중간 조절 몸체(461mb)의 상단부는 상기 제 2 Y축 중간 조절 몸체(462mb)를 상기 X축 방향으로 당길 수 있다. 즉 상기 제 2 Y축 중간 조절 몸체(462mb)는 상기 제 1 Y축 중간 조절 몸체(461mb)에 의해 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)로부터 멀어질 수 있다.
상기 제 3 Y축 중간 조절 몸체(463mb)의 상단부는 상기 제 2 Y축 중간 조절 몸체(462mb)의 상기 X축 방향의 이동에 의해 당겨질 수 있다. 상기 제 3 Y축 중간 조절 몸체(463mb)의 상단부가 당겨지면, 상기 제 4 yx Y축 경사 플렉셔 힌지(464yx)에 의해 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)가 상기 Z축 방향으로 올라가게 된다. 상기 Y축 중간 상부 플레이트(410)는 상기 제 1 Y축 중간 힌지부(430)에 의해 상승할 수 있다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 기준 플렉셔 구조물(200), Y축 원위 플렉셔 구조물(300) 및 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)을 나타낸 평면도이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)의 중간 상부 플레이트(410)는 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 중간 상부 플레이트(410)는 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)의 Y축 원위 상부 플레이트(310)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)은 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200) 및 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)의 영향을 받지 않을 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 반사경 지지대 및 X축 간섭 반사경을 나타낸 분리 사시도이다.
도 1 및 9를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서 상기 X축 간섭 반사경(140x)은 상기 X축 반사경 지지대(111x) 상에 위치할 수 있다. 상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500), 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600) 및 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)와 상기 X축 간섭 반사경(140x) 사이에 위치할 수 있다
상기 X축 간섭 반사경(140x)은 상기 X축 간섭계(130x)로부터 조사된 빔을 상기 X축 간섭계(130x) 방향으로 반사할 수 있다. 상기 X축 간섭 반사경(140x)에 의해 반사된 빔(Lx)의 주파수 및 위상 상기 스테이지(110)의 상기 X축 방향의 위치에 따라 상기 X축 간섭계(130x)로부터 조사된 빔의 주파수 및 위상과 다를 수 있다.
상기 X축 간섭 반사경(140x)은 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 스테이지(110)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 길 수 있다. 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 면적은 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 면적과 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 측면들은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 측면들과 수직 정렬될 수 있다.
상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500), 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600) 및 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)을 고정할 수 있다. 상기 X축 간섭 반사경(140x)은 상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500), 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600) 및 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)에 의해 상기 X축 반사경 지지대(111x) 상에 고정될 수 있다.
상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500), 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600) 및 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)은 상기 Y축 방향으로 배열될 수 있다. 상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500), 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600) 및 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)은 상기 Y축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600)은 상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500)과 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)은 상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500)과 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600) 사이에 위치할 수 있다.
상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 제 1 측면(xs1)에 가까이 위치할 수 있다. 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 제 1 측면(xs1)은 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 제 1 측면(xs1)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 제 1 측면(141xs)와 수직 정렬될 수 있다. 상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 제 1 측면(141xs)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 제 1 측면(xs1)에 가까이 위치할 수 있다. 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 제 1 측면(141xs)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 제 2 측면(xs2)에 가까이 위치할 수 있다. 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 제 2 측면(xs2)은 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 제 2 측면(xs2)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 제 1 측면(xs1)과 대향할 수 있다. 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 제 2 측면(xs2)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 제 2 측면(142xs)과 수직 정렬될 수 있다. 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 제 2 측면(142xs)에 가까이 위치할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치는 제 1 X축 어댑터(151x), 제 2 X축 어댑터(152x) 및 제 3 X축 어댑터(153x)를 더 포함할 수 있다.
상기 제 1 X축 어댑터(151x)는 상기 제 1 X축 기준 플렉셔 구조물(500)을 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합할 수 있다. 상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500)은 상기 제 1 X축 어댑터(151x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합될 수 있다. 상기 제 1 X축 어댑터(151x)는 상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500)과 상기 X축 간섭 반사경(140x) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 1 X축 어댑터(151x)의 열변형 특성은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 열변형 특성과 동일할 수 있다. 상기 제 1 X축 어댑터(151x)는 상기 X축 간섭 반사경(140x)보다 단단할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 X축 어댑터(151x)는 금속 재질일 수 있다.
상기 제 2 X축 어댑터(152x)는 상기 제 1 X축 원위 플렉셔 구조물(600)을 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합할 수 있다. 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600)은 상기 제 2 X축 어댑터(152x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합될 수 있다. 상기 제 2 X축 어댑터(152x)는 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600)과 상기 X축 간섭 반사경(140x) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 X축 어댑터(152x)의 열변형 특성은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 열변형 특성과 동일할 수 있다. 상기 제 2 X축 어댑터(152x)는 상기 X축 간섭 반사경(140x)보다 단단할 수 있다. 상기 제 2 X축 어댑터(152x)의 물질은 상기 제 1 X축 어댑터(151x)의 물질과 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 X축 어댑터(152x)는 금속 재질일 수 있다.
상기 제 3 X축 어댑터(153x)는 상기 제 1 X축 중간 플렉셔 구조물(700)을 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합할 수 있다. 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)은 상기 제 3 X축 어댑터(153x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합될 수 있다. 상기 제 3 X축 어댑터(153x)는 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(600)과 상기 X축 간섭 반사경(140x) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 3 X축 어댑터(153x)의 열변형 특성은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 열변형 특성과 동일할 수 있다. 상기 제 3 X축 어댑터(153x)는 상기 X축 간섭 반사경(140x)보다 단단할 수 있다. 상기 제 3 X축 어댑터(153x)의 물질은 상기 제 1 X축 어댑터(151x)의 물질과 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 X축 어댑터(153x)는 금속 재질일 수 있다.
도 10a 및 10b는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 기준 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다.
도 9, 10a 및 10b를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 기준 플렉셔 구조물(500)은 X축 기준 상부 플레이트(510), X축 기준 하부 플레이트(520) 및 X축 기준 힌지부(530)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500)는 도 5a 및 5b에 도시된 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200)을 상기 Z축을 기준으로 90°회전한 것과 동일할 수 있다.
상기 X축 기준 상부 플레이트(510)는 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합할 수 있다. 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)는 상기 제 1 X축 어댑터(151x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 X축 방향의 수평 길이의 절반 이하일 수 있다.
상기 X축 기준 하부 플레이트(520)는 상기 X축 반사경 지지대(111y)과 결합할 수 있다. 상기 X축 기준 하부 플레이트(520)는 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 X축 기준 하부 플레이트(520)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 클 수 있다. 상기 X축 기준 하부 플레이트(520)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 X축 기준 하부 플레이트(520)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다.
상기 X축 기준 힌지부(530)는 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)를 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 X축 기준 힌지부(530)는 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)와 상기 X축 기준 하부 플레이트(520) 사이에 위치할 수 있다.
상기 X축 기준 힌지부(530)는 제 1 xz X축 기준 플렉셔 힌지(531xz), yz X축 기준 플렉셔 힌지(530yz), zc X축 기준 플렉셔 힌지(530zc) 및 제 2 xz X축 기준 플렉셔 힌지(532xz)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 xz X축 기준 플렉셔 힌지(531xz), 상기 yz X축 기준 플렉셔 힌지(530yz), 상기 zc X축 기준 플렉셔 힌지(530zc) 및 상기 제 2 xz X축 기준 플렉셔 힌지(532xz)는 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다.
상기 X축 기준 상부 플레이트(510)는 상기 제 1 xz X축 기준 플렉셔 힌지(531xz)에 의해 X축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)는 상기 yz X축 기준 플렉셔 힌지(532yz)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)는 상기 zc X축 기준 플렉셔 힌지(530zc)에 의해 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)는 상기 제 1 xz X축 기준 플렉셔 힌지(531xz) 및 상기 제 2 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(532xz)에 의해 상기 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 상기 X축 기준 힌지부(530)는 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)를 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다.
따라서 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 상기 X축 기준 힌지부(530)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)와 접촉하는 영역의 상기 X축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도가 구속될 수 있다.
도 11a 및 11b는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 원위 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다.
도 9,11a 및 11b를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 원위 플렉셔 구조물(600)은 X축 원위 상부 플레이트(610), X축 원위 하부 플레이트(620), 제 1 X축 원위 힌지부(630), 제 1 X축 원위 몸체(640), 제 2 X축 원위 힌지부(650), 제 2 X축 원위 몸체(660), X축 회전 조절 부재(670) 및 yx X축 회전 플렉셔 힌지(680)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600)는 도 6a 및 6b에 도시된 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300)을 상기 Z축을 기준으로 90° 회전한 것과 동일할 수 있다.
상기 X축 원위 상부 플레이트(610)는 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합할 수 있다. 상기 X축 원위 상부 플레이트(610)는 상기 제 2 X축 어댑터(152x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 원위 상부 플레이트(610)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 X축 방향의 수평 길이의 절반 이하일 수 있다.
상기 X축 원위 하부 플레이트(620)는 상기 X축 반사경 지지대(111x)와 결합할 수 있다. 상기 X축 원위 하부 플레이트(620)는 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 X축 원위 하부 플레이트(620)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 X축 원위 상부 플레이트(610)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 클 수 있다. 상기 X축 원위 하부 플레이트(620)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 X축 원위 하부 플레이트(620)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 X축 원위 하부 플레이트(620)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 X축 기준 하부 플레이트(620)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 다를 수 있다.
상기 제 1 X축 원위 힌지부(630)는 상기 X축 원위 상부 플레이트(610)를 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 1 X축 원위 힌지부(630)는 상기 X축 원위 상부 플레이트(610)와 상기 X축 원위 하부 플레이트(620) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 1 X축 원위 힌지부(630)는 제 1 yz X축 원위 플렉셔 힌지(631yz), 제 1 xz X축 원위 플렉셔 힌지(631xz), zc X축 원위 플렉셔 힌지(630zc), 제 2 xz X축 원위 플렉셔 힌지(632xz) 및 제 2 yz X축 원위 플렉셔 힌지(632yz)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 yz X축 원위 플렉셔 힌지(631yz), 상기 제 1 xz X축 원위 플렉셔 힌지(631xz), 상기 zc X축 원위 플렉셔 힌지(630zc), 상기 제 2 xz X축 원위 플렉셔 힌지(632xz) 및 상기 제 2 yz X축 원위 플렉셔 힌지(632yz)는 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다.
상기 제 1 X축 원위 몸체(640)는 상기 X축 원위 하부 플레이트(620)와 이격될 수 있다. 상기 제 1 X축 원위 몸체(640)의 하부면의 레벨은 상기 X축 원위 하부 플레이트(620)의 하부면의 레벨보다 높을 수 있다. 상기 제 1 X축 원위 몸체(640)의 상부면의 레벨은 상기 제 1 X축 원위 힌지부(630)의 상부면의 레벨보다 낮을 수 있다.
상기 제 2 X축 원위 힌지부(650)는 상기 X축 원위 상부 플레이트(610)를 상기 X축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 2 X축 원위 힌지부(650)는 상기 제 1 X축 원위 힌지부(630)의 상단부와 상기 제 1 X축 원위 몸체(640)의 상단부 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 X축 원위 힌지부(650)는 제 1 yx X축 원위 플렉셔 힌지(651yx), 제 1 zx X축 원위 플렉셔 힌지(651zx), xc X축 원위 플렉셔 힌지(650xc), 제 2 zx X축 원위 플렉셔 힌지(652zx) 및 제 2 yx X축 원위 플렉셔 힌지(652yx)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 yx X축 원위 플렉셔 힌지(651yx), 상기 제 1 zx X축 원위 플렉셔 힌지(651zx), 상기 xc X축 원위 플렉셔 힌지(650xc), 상기 제 2 zx X축 원위 플렉셔 힌지(652zx) 및 상기 제 2 yx X축 원위 플렉셔 힌지(652yx)는 상기 X축 방향으로 적층될 수 있다.
상기 X축 원위 상부 플레이트(610)는 상기 제 1 yx X축 원위 플렉셔 힌지(651yx)에 의해 상기 Y축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 X축 원위 상부 플레이트(610)는 상기 제 1 zx X축 원위 플렉셔 힌지(652zx)에 의해 상기 Z축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 X축 원위 상부 플레이트(610)는 상기 xc X축 원위 플렉셔 힌지(650xc)에 의해 상기 X축을 기준으로 회전될 수 있다. 상기 X축 원위 상부 플레이트(610)는 상기 제 1 zx X축 원위 플렉셔 힌지(651zx) 및 상기 제 2 zx X축 원위 플렉셔 힌지(652zx)에 의해 상기 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 상기 X축 원위 상부 플레이트(610)는 상기 제 1 yx X축 원위 플렉셔 힌지(651yx) 및 상기 제 2 yx X축 원위 플렉셔 힌지(652yx)에 의해 Z축 방향으로 이동될 수 있다.
따라서 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 상기 제 1 X축 원위 힌지부(630) 및 상기 제 2 X축 원위 힌지부(650)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 X축 원위 상부 플레이트(610)와 접촉하는 영역의 상기 X축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도가 구속될 수 있다.
상기 제 2 X축 원위 몸체(660)는 상기 제 1 X축 원위 힌지부(630)와 상기 제 1 X축 원위 몸체(640) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 X축 원위 몸체(660)는 상기 X축 원위 하부 플레이트(620) 상에 고정될 수 있다. 상기 제 2 X축 원위 몸체(660)의 상부면의 레벨은 상기 제 1 X축 원위 몸체(640)의 상부면의 레벨보다 낮을 수 있다.
상기 X축 회전 조절 부재(670)는 상기 제 1 X축 원위 몸체(640)와 상기 제 2 X축 원위 몸체(660) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 상기 X축 회전 조절 부재(670)는 상기 제 1 X축 원위 몸체(640)의 하단부에 위치할 수 있다. 상기 X축 회전 조절 부재(670)는 X축 원위 이격 부재(671) 및 X축 원위 고정 부재(672)를 포함할 수 있다.
상기 yx X축 회전 플렉셔 힌지(680)는 상기 제 2 X축 원위 몸체(660)의 상단부와 상기 제 1 X축 원위 몸체(640) 사이에 위치할 수 있다. 상기 yx X축 회전 플렉셔 힌지(680)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지일 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 반사면의 Z축 회전이 조절될 수 있다.
도 12a 및 12b는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 중간 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다.
도 9, 12a 및 12b를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 중간 플렉셔 구조물(700)은 X축 중간 상부 플레이트(710), X축 중간 하부 플레이트(720), 제 1 X축 중간 힌지부(730), X축 중간 고정 몸체(740), 제 2 X축 중간 힌지부(750) 및 X축 경사 조절 부재(760)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)는 도 7a 및 7b에 도시된 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(400)을 상기 Z축을 기준으로 90°회전한 것과 동일할 수 있다.
상기 X축 중간 상부 플레이트(710)는 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합할 수 있다. 상기 X축 중간 상부 플레이트(710)는 상기 제 3 X축 어댑터(153x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 중간 상부 플레이트(710)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 상기 X축 방향의 상기 수평 길이의 절반 이하일 수 있다.
상기 X축 중간 하부 플레이트(720)는 상기 X축 반사경 지지대(111x)와 결합할 수 있다. 상기 X축 중간 하부 플레이트(720)는 상기 X축 중간 상부 플레이트(710)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 X축 중간 하부 플레이트(720)의 하부면의 레벨은 상기 제 1 X축 중간 힌지부(730)의 하부면의 레벨보다 낮을 수 있다. 상기 X축 중간 하부 플레이트(720)는 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다.
상기 X축 중간 하부 플레이트(720)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 상기 X축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 X축 중간 하부 플레이트(720)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 X축 방향의 수평 길이보다 작을 수 있다. 상기 X축 중간 하부 플레이트(720)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 X축 중간 상부 플레이트(710)의 상기 X축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 제 1 X축 중간 힌지부(730)는 상기 X축 중간 상부 플레이트(710)를 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 1 X축 중간 힌지부(730)는 상기 X축 중간 상부 플레이트(710)의 아래에 위치할 수 있다.
상기 제 1 X축 중간 힌지부(730)는 제 1 xz X축 중간 플렉셔 힌지(731xz), 제 1 yz X축 중간 플렉셔 힌지(731yz), zc X축 중간 플렉셔 힌지(730zc), 제 2 yz X축 중간 플렉셔 힌지(732yz) 및 제 2 xz X축 중간 플렉셔 힌지(732xz)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 xz X축 중간 플렉셔 힌지(731xz), 상기 제 1 yz X축 중간 플렉셔 힌지(731yz), 상기 zc X축 중간 플렉셔 힌지(730zc), 상기 제 2 yz X축 중간 플렉셔 힌지(732yz) 및 상기 제 2 xz X축 중간 플렉셔 힌지(732xz)는 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다.
상기 X축 중간 고정 몸체(740)는 상기 제 1 X축 중간 힌지부(730)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 X축 중간 고정 몸체(740)는 상기 X축 중간 하부 플레이트(720) 상에 고정될 수 있다. 상기 제 1 X축 중간 고정 몸체(740)는 상기 Z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 제 1 X축 중간 고정 몸체(740)의 상부면의 레벨은 상기 X축 중간 상부 플레이트(710)의 상부면의 레벨보다 낮을 수 있다.
상기 제 2 X축 중간 힌지부(750)는 상기 X축 중간 상부 플레이트(710)를 상기 X축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 2 X축 중간 힌지부(750)는 상기 제 1 X축 중간 힌지부(730)의 상단부와 상기 X축 중간 고정 몸체(740)의 상단부 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 X축 중간 힌지부(750)는 제 1 yx X축 중간 플렉셔 힌지(751xy), 제 1 zy X축 중간 플렉셔 힌지(751zy), yc X축 중간 플렉셔 힌지(750yc), 제 2 zy X축 중간 플렉셔 힌지(752zy) 및 제 2 xy X축 중간 플렉셔 힌지(752xy)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 yx X축 중간 플렉셔 힌지(751xy), 상기 제 1 zy X축 중간 플렉셔 힌지(751zy), 상기 yc X축 중간 플렉셔 힌지(750yc), 상기 제 2 zy X축 중간 플렉셔 힌지(752zy) 및 상기 제 2 xy X축 중간 플렉셔 힌지(752xy)는 상기 Y축 방향으로 적층될 수 있다.
따라서 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 상기 제 1 X축 중간 힌지부(730) 및 상기 제 2 X축 중간 힌지부(750)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 상기 X축 중간 상부 플레이트(710)와 접촉하는 영역의 상기 Y축 이동 및 상기 Z축 이동에 대한 자유도가 구속될 수 있다.
상기 X축 경사 조절부(760)는 상기 X축 중간 상부 플레이트(710)의 상기 Z축 방향의 위치를 조절할 수 있다. 상기 X축 경사 조절부(760)는 상기 제 2 X축 중간 힌지부(750)의 하부에 위치할 수 있다.
상기 X축 경사 조절부(760)는 X축 경사 고정 몸체(760fb), 제 1 X축 경사 조절 몸체(761mb), 제 2 X축 경사 조절 몸체(762mb), 제 3 X축 경사 조절 몸체(763mb), 제 1 xy X축 경사 플렉셔 힌지(761xy), 제 2 xy X축 경사 플렉셔 힌지(762xy), 제 3 xy X축 경사 플렉셔 힌지(763xy), 제 4 xy X축 경사 플렉셔 힌지(764xy) 및 X축 경사 조절 부재(760ae)를 포함할 수 있다.
상기 X축 경사 고정 몸체(760fb)는 상기 제 1 X축 중간 힌지부(730)와 상기 X축 중간 고정 몸체(740) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 1 X축 경사 조절 몸체(761mb)는 상기 X축 경사 고정 몸체(760fb)와 상기 X축 중간 고정 몸체(740) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 X축 경사 조절 몸체(762mb)는 상기 X축 경사 고정 몸체(760fb), 상기 제 2 X축 중간 힌지부(750), 상기 제 1 X축 경사 조절 몸체(761mb) 및 상기 제 2 X축 경사 조절 몸체(762mb)에 의해 둘러싸일 수 있다. 상기 제 3 X축 경사 조절 몸체(763mb)는 상기 제 1 X축 중간 힌지부(730)와 상기 X축 경사 고정 몸체(760fb) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 1 xy X축 경사 플렉셔 힌지(761xy)는 상기 X축 경사 고정 몸체(760fb)의 상단부와 상기 제 1 X축 경사 조절 몸체(461mb) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 xy X축 경사 플렉셔 힌지(762xy)는 상기 제 1 X축 경사 조절 몸체(761mb)와 상기 제 2 X축 경사 조절 몸체(762mb) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 3 xy X축 경사 플렉셔 힌지(763xy)는 상기 제 2 X축 경사 조절 몸체(762mb)와 상기 제 3 X축 경사 조절 몸체(763mb) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 4 xy X축 경사 플렉셔 힌지(764xy)는 상기 X축 경사 고정 몸체(460fb)의 하단부와 상기 제 3 X축 경사 조절 몸체(763mb) 사이에 위치할 수 있다. 상기 X축 경사 조절 부재(460ae)는 상기 제 1 X축 경사 조절 몸체(761mb)의 하단부에 위치할 수 있다.
상기 제 1 내지 4 xy X축 경사 플렉셔 힌지(761xy-764xy)는 상기 X축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 X축 경사 조절 부재(760ae)는 X축 중간 이격 부재(760me) 및 X축 중간 고정 부재(760fe)를 포함할 수 있다. 상기 X축 중간 고정 몸체(740)는 제 1 관통홀(740mh) 및 제 2 관통홀(740fh)를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 중간 플렉셔 구조물(700)은 상기 Y축 경사 조절 부재(460)에 의해 상기 X축 중간 상부 플레이트(410) 및 상기 제 1 X축 중간 힌지부(430)의 상기 Z축 방향의 위치가 조절될 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 반사면의 Y축 회전이 조절될 수 있다.
도 13은 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 기준 플렉셔 구조물(500), X축 원위 플렉셔 구조물(600) 및 X축 중간 플렉셔 구조물(700)을 나타낸 평면도이다.
도 13을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 X축 중간 플렉셔 구조물(700)의 X축 중간 상부 플레이트(710)가 X축 기준 플렉셔 구조물(500)의 X축 원위 상부 플레이트(610) 및 X축 원위 플렉셔 구조물(600)의 X축 원위 상부 플레이트(610)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 따라서 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)은 상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500) 및 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600)의 영향을 받지 않을 수 있다.
도 14는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 기준 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도이다. 도 15는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 기준 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도이다.
도 14 및 15를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치는 Y축 기준 상부 플레이트(210), Y축 기준 하부 플레이트(220) 및 Y축 기준 힌지부(230)를 포함하는 Y축 기준 구조물(200)과 X축 기준 상부 플레이트(510), X축 기준 하부 플레이트(520) 및 X축 기준 힌지부(530)를 포함하는 X축 기준 구조물(500)을 포함할 수 있다.
상기 Y축 기준 하부 플레이트(220)의 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 Y축 기준 힌지부(230)는 Z축 방향으로 적층되는 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz), xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz), zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc) 및 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(231yz)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 상기 xz Y축 기준 플렉셔 힌지(230xz)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 상기 zc Y축 기준 플렉셔 힌지(230zc)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 제 2 yz Y축 기준 플렉셔 힌지(232yz)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 기준 힌지부(230)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(210)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 X축 기준 하부 플레이트(520)의 X축 방향의 수평 길이는 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)의 상기 X축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 기준 상부 플레이트(310)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 X축 기준 힌지부(530)는 Z축 방향으로 적층되는 제 1 xz X축 기준 플렉셔 힌지(531xz), yz X축 기준 플렉셔 힌지(530yz), zc X축 기준 플렉셔 힌지(530zc) 및 제 2 xz X축 기준 플렉셔 힌지(532xz)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 xz X축 기준 플렉셔 힌지(531yz)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 yz X축 기준 플렉셔 힌지(530yz)의 상기 X축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 상기 yz X축 기준 플렉셔 힌지(530yz)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 zc X축 기준 플렉셔 힌지(530zc)의 상기 X축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 상기 zc X축 기준 플렉셔 힌지(530zc)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 제 2 xz X축 기준 플렉셔 힌지(532xz)의 상기 X축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 기준 힌지부(530)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 X축 기준 상부 플레이트(510)의 상기 X축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
도 16은 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 반사경 지지대 및 Y축 간섭 반사경을 나타낸 분리 사시도이다. 도 17은 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 반사경 지지대 및 X축 간섭 반사경을 나타낸 분리 사시도이다.
도 16 및 17을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치는 Y축 간섭 반사경(140y)을 고정하기 위한 제 1 내지 제 3 Y축 기준 플렉셔 구조물들(201~203) 및 X축 간섭 반사경(140x)을 고정하기 위한 제 1 내지 제 3 X축 기준 플렉셔 구조물들(501~503)을 포함할 수 있다.
상기 제 1 내지 제 3 Y축 기준 플렉셔 구조물들(201~203)은 Y축 반사경 지지대(111y)의 상부면 상에 위치할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)은 상기 제 1 내지 제 3 Y축 기준 플렉셔 구조물들(201~203) 상에 위치할 수 있다. 상기 제 1 내지 제 3 Y축 기준 플렉셔 구조물들(201~203)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)와 상기 Y축 간섭 반사경(140y) 사이에 위치할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)은 상기 제 1 내지 제 3 Y축 기준 플렉셔 구조물들(201~203)에 의해 상기 Y축 반사경 지지대(111y) 상에 고정될 수 있다.
상기 제 1 Y축 기준 플렉셔 구조물(201)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 일부 영역을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 1 Y축 기준 플렉셔 구조물(201)은 제 1 Y축 어댑터(151y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 하부면과 결합할 수 있다.
상기 제 1 Y축 기준 플렉셔 구조물(201)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 제 1 측면(ys1)에 가까이 위치할 수 있다. 상기 제 1 Y축 기준 플렉셔 구조물(201)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합되는 영역을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하기 위한 기준 플렉셔 힌지들을 포함할 수 있다. 상기 제 1 Y축 기준 플렉셔 구조물(201)은 상기 Y축 방향으로 연장되는 형상일 수 있다.
상기 제 2 Y축 기준 플렉셔 구조물(202)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 일부 영역을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 2 Y축 기준 플렉셔 구조물(202)은 제 2 Y축 어댑터(152y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 하부면과 결합할 수 있다.
상기 제 2 Y축 기준 플렉셔 구조물(202)은 상기 제 1 Y축 기준 플렉셔 구조물(201)과 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 2 Y축 기준 플렉셔 구조물(202)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 제 1 측면(ys1)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 제 2 Y축 기준 플렉셔 구조물(202)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합되는 영역을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하기 위한 기준 플렉셔 힌지들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 Y축 기준 플렉셔 구조물(202)의 구조는 상기 제 1 Y축 기준 플렉셔 구조물(201)의 구조와 동일할 수 있다. 상기 제 2 Y축 기준 플렉셔 구조물(202)은 상기 Y축 방향으로 연장되는 형상일 수 있다.
상기 제 3 Y축 기준 플렉셔 구조물(203)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 일부 영역을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 3 Y축 기준 플렉셔 구조물(203)은 제 3 Y축 어댑터(153y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 하부면과 결합할 수 있다.
상기 제 3 Y축 기준 플렉셔 구조물(203)은 상기 제 1 Y축 기준 플렉셔 구조물(201)과 상기 제 2 Y축 기준 플렉셔 구조물(202) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 3 Y축 기준 플렉셔 구조물(203)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 제 2 측면(ys2)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 제 3 Y축 기준 플렉셔 구조물(203)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합되는 영역을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하기 위한 기준 플렉셔 힌지들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 Y축 기준 플렉셔 구조물(203)의 구조는 상기 제 1 Y축 기준 플렉셔 구조물(201)을 상기 Z축을 기준으로 90°회전한 구조와 동일할 수 있다. 상기 제 3 Y축 기준 플렉셔 구조물(203)은 상기 X축 방향으로 연장되는 형상일 수 있다.
상기 제 1 내지 제 3 X축 기준 플렉셔 구조물들(501~503)은 X축 반사경 지지대(111x)의 상부면 상에 위치할 수 있다. 상기 X축 간섭 반사경(140x)은 상기 제 1 내지 제 3 X축 기준 플렉셔 구조물들(501~503) 상에 위치할 수 있다. 상기 제 1 내지 제 3 X축 기준 플렉셔 구조물들(501~503)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)와 상기 X축 간섭 반사경(140x) 사이에 위치할 수 있다. 상기 X축 간섭 반사경(140x)은 상기 제 1 내지 제 3 X축 기준 플렉셔 구조물들(501~503)에 의해 상기 X축 반사경 지지대(111x) 상에 고정될 수 있다.
상기 제 1 X축 기준 플렉셔 구조물(501)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 일부 영역을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 1 X축 기준 플렉셔 구조물(501)은 제 1 Y축 어댑터(151x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 하부면과 결합할 수 있다.
상기 제 1 X축 기준 플렉셔 구조물(501)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 제 1 측면(xs1)에 가까이 위치할 수 있다. 상기 제 1 X축 기준 플렉셔 구조물(501)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합되는 영역을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하기 위한 기준 플렉셔 힌지들을 포함할 수 있다. 상기 제 1 X축 기준 플렉셔 구조물(501)은 상기 X축 방향으로 연장되는 형상일 수 있다.
상기 제 2 X축 기준 플렉셔 구조물(502)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 일부 영역을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 2 X축 기준 플렉셔 구조물(502)은 제 2 Y축 어댑터(152x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 하부면과 결합할 수 있다.
상기 제 2 X축 기준 플렉셔 구조물(502)은 상기 제 1 X축 기준 플렉셔 구조물(501)과 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 2 X축 기준 플렉셔 구조물(502)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 제 1 측면(xs1)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 제 2 X축 기준 플렉셔 구조물(502)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합되는 영역을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하기 위한 기준 플렉셔 힌지들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 X축 기준 플렉셔 구조물(502)의 구조는 상기 제 1 X축 기준 플렉셔 구조물(501)의 구조와 동일할 수 있다. 상기 제 2 X축 기준 플렉셔 구조물(502)은 상기 X축 방향으로 연장되는 형상일 수 있다.
상기 제 3 X축 기준 플렉셔 구조물(503)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 일부 영역을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 3 X축 기준 플렉셔 구조물(503)은 제 3 Y축 어댑터(153x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 하부면과 결합할 수 있다.
상기 제 3 X축 기준 플렉셔 구조물(503)은 상기 제 1 X축 기준 플렉셔 구조물(501)과 상기 제 2 X축 기준 플렉셔 구조물(502) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 3 X축 기준 플렉셔 구조물(503)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 제 2 측면(xs2)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 제 3 X축 기준 플렉셔 구조물(503)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합되는 영역을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하기 위한 기준 플렉셔 힌지들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 X축 기준 플렉셔 구조물(503)의 구조는 상기 제 1 X축 기준 플렉셔 구조물(501)을 상기 Z축을 기준으로 90°회전한 구조와 동일할 수 있다. 상기 제 3 X축 기준 플렉셔 구조물(503)은 상기 Y축 방향으로 연장되는 형상일 수 있다.
도 18은 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 Y축 반사경 지지대 및 Y축 간섭 반사경을 나타낸 분리 사시도이다. 도 19a 및 19b는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 제 1 Y축 고정 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다. 도 20은 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 X축 반사경 지지대 및 X축 간섭 반사경을 나타낸 분리 사시도이다. 도 21a 및 21b는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치의 제 1 X축 고정 플렉셔 구조물을 나타낸 사시도들이다.
상기 제 1 내지 제 3 Y축 고정 플렉셔 구조물들(801~803)은 Y축 반사경 지지대(111y)의 상부면 상에 위치할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)은 상기 제 1 내지 제 3 Y축 고정 플렉셔 구조물들(801~803) 상에 위치할 수 있다. 상기 제 1 내지 제 3 Y축 고정 플렉셔 구조물들(801~803)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)와 상기 Y축 간섭 반사경(140y) 사이에 위치할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)은 상기 제 1 내지 제 3 Y축 고정 플렉셔 구조물들(801~803)에 의해 상기 Y축 반사경 지지대(111y) 상에 고정될 수 있다.
상기 제 1 Y축 고정 플렉셔 구조물(801)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 일부 영역을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 1 Y축 고정 플렉셔 구조물(801)은 제 1 Y축 어댑터(151y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 하부면과 결합할 수 있다.
상기 제 1 Y축 고정 플렉셔 구조물(801)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 제 1 측면(ys1)에 가까이 위치할 수 있다. 상기 제 1 Y축 고정 플렉셔 구조물(801)은 Y축 고정 상부 플레이트(810), Y축 고정 하부 플레이트(820), 제 1 Y축 고정 힌지부(830), Y축 고정 몸체(840) 및 제 2 Y축 고정 힌지부(850)를 포함할 수 있다.
상기 Y축 고정 상부 플레이트(810)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합할 수 있다. 상기 Y축 고정 상부 플레이트(810)는 상기 제 1 Y축 어댑터(151y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합될 수 있다.
상기 Y축 고정 하부 플레이트(820)는 상기 Y축 반사경 지지대(111y)와 결합할 수 있다. 상기 Y축 고정 하부 플레이트(820)는 상기 Y축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 Y축 고정 하부 플레이트(820)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 Y축 고정 상부 플레이트(810)의 상기 Y축 방향의 수평 길이보다 클 수 있다.
상기 제 1 Y축 고정 힌지부(830)는 상기 Y축 고정 상부 플레이트(810)를 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 1 Y축 고정 힌지부(830)는 상기 Y축 고정 상부 플레이트(810)와 상기 Y축 고정 하부 플레이트(820) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 1 Y축 고정 힌지부(830)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 제 1 Y축 고정 상부 플레이트(810)의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 제 1 Y축 고정 힌지부(830)는 제 1 xz Y축 고정 플렉셔 힌지(831xz), 제 1 yz Y축 고정 플렉셔 힌지(831yz), zc Y축 고정 플렉셔 힌지(830zc), 제 2 yz Y축 고정 플렉셔 힌지(832yz) 및 제 2 xz Y축 고정 플렉셔 힌지(832xz)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 xz Y축 고정 플렉셔 힌지(831xz), 상기 제 1 yz Y축 고정 플렉셔 힌지(831yz), 상기 zc Y축 고정 플렉셔 힌지(830zc), 상기 제 2 yz Y축 고정 플렉셔 힌지(832yz) 및 상기 제 2 xz Y축 고정 플렉셔 힌지(832xz)는 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다.
상기 제 1 xz Y축 고정 플렉셔 힌지(831xz) 및 상기 제 2 xz Y축 고정 플렉셔 힌지(832xz)는 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지들일 수 있다. 상기 zc Y축 고정 플렉셔 힌지(830zc)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 십자형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 yz Y축 고정 플렉셔 힌지(831yz) 및 상기 제 2 yz Y축 고정 플렉셔 힌지(832yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지들일 수 있다.
상기 Y축 고정 몸체(840)는 상기 제 1 Y축 고정 힌지부(830)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 Y축 고정 몸체(840)는 상기 Y축 고정 하부 플레이트(820) 상에 고정될 수 있다. 상기 Y축 고정 몸체(840)의 상부면의 레벨은 상기 Y축 고정 상부 플레이트(810)의 상부면의 레벨보다 낮을 수 있다.
상기 제 2 Y축 고정 힌지부(850)는 상기 Y축 고정 상부 플레이트(810)를 상기 Y축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 2 Y축 고정 힌지부(850)는 상기 제 1 Y축 고정 힌지부(830)의 상단부와 상기 Y축 고정 몸체(840)의 상단부 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 Y축 고정 힌지부(850)의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 제 1 Y축 고정 힌지부(830)와 상기 Y축 고정 몸체(840) 사이의 상기 Y축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 제 2 Y축 고정 힌지부(850)는 제 1 xy Y축 고정 플렉셔 힌지(851xy), 제 1 zy Y축 고정 플렉셔 힌지(851zy), yc Y축 고정 플렉셔 힌지(850yc), 제 2 zy Y축 고정 플렉셔 힌지(852zy) 및 제 2 xy Y축 고정 플렉셔 힌지(852xy)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 xy Y축 고정 플렉셔 힌지(851xy), 상기 제 1 zy Y축 고정 플렉셔 힌지(851zy), 상기 yc Y축 고정 플렉셔 힌지(850yc), 상기 제 2 zy Y축 고정 플렉셔 힌지(852zy) 및 상기 제 2 xy Y축 고정 플렉셔 힌지(852xy)는 상기 Y축 방향으로 적층될 수 있다.
상기 제 1 xy Y축 고정 플렉셔 힌지(851xy) 및 상기 제 2 xy Y축 고정 플렉셔 힌지(852xy)는 상기 X축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지들일 수 있다. 상기 yc Y축 고정 플렉셔 힌지(850yc)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 십자형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 zy Y축 고정 플렉셔 힌지(851zy) 및 상기 제 2 zy Y축 고정 플렉셔 힌지(852zy)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 Y축형 플렉셔 힌지들일 수 있다.
상기 제 2 Y축 고정 플렉셔 구조물(802)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 일부 영역을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 2 Y축 고정 플렉셔 구조물(802)은 제 2 Y축 어댑터(152y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 하부면과 결합할 수 있다.
상기 제 2 Y축 고정 플렉셔 구조물(802)은 상기 제 1 Y축 고정 플렉셔 구조물(801)과 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 2 Y축 고정 플렉셔 구조물(802)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 제 1 측면(ys1)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 제 2 Y축 고정 플렉셔 구조물(802)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합되는 영역을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하기 위한 고정 플렉셔 힌지들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 Y축 고정 플렉셔 구조물(802)의 구조는 상기 제 1 Y축 고정 플렉셔 구조물(801)의 구조와 동일할 수 있다.
상기 제 3 Y축 고정 플렉셔 구조물(803)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 일부 영역을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 3 Y축 고정 플렉셔 구조물(803)은 제 3 Y축 어댑터(153y)에 의해 상기 Y축 간섭 반사경(140y)의 하부면과 결합할 수 있다.
상기 제 3 Y축 고정 플렉셔 구조물(803)은 상기 제 1 Y축 고정 플렉셔 구조물(801)과 상기 제 2 Y축 고정 플렉셔 구조물(802) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 3 Y축 고정 플렉셔 구조물(803)은 상기 Y축 반사경 지지대(111y)의 제 2 측면(ys2)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 제 3 Y축 고정 플렉셔 구조물(803)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 결합되는 영역을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하기 위한 고정 플렉셔 힌지들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 Y축 고정 플렉셔 구조물(803)의 구조는 상기 제 1 Y축 고정 플렉셔 구조물(801)을 상기 Z축을 기준으로 90°회전한 구조와 동일할 수 있다.
상기 제 1 내지 제 3 X축 고정 플렉셔 구조물들(901~903)은 X축 반사경 지지대(111x)의 상부면 상에 위치할 수 있다. 상기 X축 간섭 반사경(140x)은 상기 제 1 내지 제 3 X축 고정 플렉셔 구조물들(901~903) 상에 위치할 수 있다. 상기 제 1 내지 제 3 X축 고정 플렉셔 구조물들(901~903)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)와 상기 X축 간섭 반사경(140x) 사이에 위치할 수 있다. 상기 X축 간섭 반사경(140x)은 상기 제 1 내지 제 3 X축 고정 플렉셔 구조물들(901~903)에 의해 상기 X축 반사경 지지대(111x) 상에 고정될 수 있다.
상기 제 1 X축 고정 플렉셔 구조물(901)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 일부 영역을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 1 X축 고정 플렉셔 구조물(901)은 제 1 Y축 어댑터(151x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 하부면과 결합할 수 있다.
상기 제 1 X축 고정 플렉셔 구조물(901)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 제 1 측면(xs1)에 가까이 위치할 수 있다. 상기 제 1 X축 고정 플렉셔 구조물(901)은 X축 고정 상부 플레이트(910), X축 고정 하부 플레이트(920), 제 1 X축 고정 힌지부(930), X축 고정 몸체(940) 및 제 2 X축 고정 힌지부(950)를 포함할 수 있다.
상기 X축 고정 상부 플레이트(910)는 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합할 수 있다. 상기 X축 고정 상부 플레이트(910)는 상기 제 1 X축 어댑터(151x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합될 수 있다.
상기 X축 고정 하부 플레이트(920)는 상기 X축 반사경 지지대(111x)와 결합할 수 있다. 상기 X축 고정 하부 플레이트(920)는 상기 X축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 X축 고정 하부 플레이트(920)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 X축 고정 상부 플레이트(910)의 상기 X축 방향의 수평 길이보다 클 수 있다.
상기 제 1 X축 고정 힌지부(930)는 상기 X축 고정 상부 플레이트(910)를 상기 X축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 1 X축 고정 힌지부(930)는 상기 X축 고정 상부 플레이트(910)와 상기 X축 고정 하부 플레이트(920) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 1 X축 고정 힌지부(930)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 제 1 X축 고정 상부 플레이트(910)의 상기 X축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 제 1 X축 고정 힌지부(930)는 제 1 yz X축 고정 플렉셔 힌지(931yz), 제 1 xz X축 고정 플렉셔 힌지(931xz), zc X축 고정 플렉셔 힌지(930zc), 제 2 xz X축 고정 플렉셔 힌지(932xz) 및 제 2 yz X축 고정 플렉셔 힌지(932yz)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 yz X축 고정 플렉셔 힌지(931yz), 상기 제 1 xz X축 고정 플렉셔 힌지(931xz), 상기 zc X축 고정 플렉셔 힌지(930zc), 상기 제 2 xz X축 고정 플렉셔 힌지(932xz) 및 상기 제 2 yz X축 고정 플렉셔 힌지(932yz)는 상기 Z축 방향으로 적층될 수 있다.
상기 제 1 yz X축 고정 플렉셔 힌지(931yz) 및 상기 제 2 yz X축 고정 플렉셔 힌지(932yz)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지들일 수 있다. 상기 zc X축 고정 플렉셔 힌지(930zc)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 십자형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 xz X축 고정 플렉셔 힌지(931xz) 및 상기 제 2 xz X축 고정 플렉셔 힌지(932xz)는 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 플렉셔 힌지들일 수 있다.
상기 X축 고정 몸체(940)는 상기 제 1 X축 고정 힌지부(930)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 X축 고정 몸체(940)는 상기 X축 고정 하부 플레이트(920) 상에 고정될 수 있다. 상기 X축 고정 몸체(940)의 상부면의 레벨은 상기 X축 고정 상부 플레이트(910)의 상부면의 레벨보다 낮을 수 있다.
상기 제 2 X축 고정 힌지부(950)는 상기 X축 고정 상부 플레이트(910)를 상기 X축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 2 X축 고정 힌지부(950)는 상기 제 1 X축 고정 힌지부(930)의 상단부와 상기 X축 고정 몸체(940)의 상단부 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 X축 고정 힌지부(950)의 상기 X축 방향의 수평 길이는 상기 제 1 X축 고정 힌지부(930)와 상기 X축 고정 몸체(940) 사이의 상기 X축 방향의 수평 길이와 동일할 수 있다.
상기 제 2 X축 고정 힌지부(950)는 제 1 yx X축 고정 플렉셔 힌지(951yx), 제 1 zx X축 고정 플렉셔 힌지(951zx), xc X축 고정 플렉셔 힌지(950xc), 제 2 zx X축 고정 플렉셔 힌지(952zx) 및 제 2 yx X축 고정 플렉셔 힌지(952yx)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 yx X축 고정 플렉셔 힌지(951yx), 상기 제 1 zx X축 고정 플렉셔 힌지(951zx), 상기 xc X축 고정 플렉셔 힌지(950xc), 상기 제 2 zx X축 고정 플렉셔 힌지(952zx) 및 상기 제 2 yx X축 고정 플렉셔 힌지(952yx)는 상기 X축 방향으로 적층될 수 있다.
상기 제 1 yx X축 고정 플렉셔 힌지(951yx) 및 상기 제 2 yx X축 고정 플렉셔 힌지(952yx)는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수평형 플렉셔 힌지들일 수 있다. 상기 xc X축 고정 플렉셔 힌지(950yc)는 상기 X축 방향으로 연장되는 십자형 플렉셔 힌지일 수 있다. 상기 제 1 zx X축 고정 플렉셔 힌지(951zx) 및 상기 제 2 zx X축 고정 플렉셔 힌지(952zx)는 상기 Z축 방향으로 연장되는 X축형 플렉셔 힌지들일 수 있다.
상기 제 2 X축 고정 플렉셔 구조물(902)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 일부 영역을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 2 X축 고정 플렉셔 구조물(902)은 제 2 Y축 어댑터(152x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 하부면과 결합할 수 있다.
상기 제 2 X축 고정 플렉셔 구조물(902)은 상기 제 1 X축 고정 플렉셔 구조물(901)과 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 2 X축 고정 플렉셔 구조물(902)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 제 1 측면(xs1)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 제 2 X축 고정 플렉셔 구조물(902)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합되는 영역을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하기 위한 고정 플렉셔 힌지들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 X축 고정 플렉셔 구조물(902)의 구조는 상기 제 1 X축 고정 플렉셔 구조물(901)의 구조와 동일할 수 있다.
상기 제 3 X축 고정 플렉셔 구조물(903)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 일부 영역을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정할 수 있다. 상기 제 3 X축 고정 플렉셔 구조물(903)은 제 3 Y축 어댑터(153x)에 의해 상기 X축 간섭 반사경(140x)의 하부면과 결합할 수 있다.
상기 제 3 X축 고정 플렉셔 구조물(903)은 상기 제 1 X축 고정 플렉셔 구조물(901)과 상기 제 2 X축 고정 플렉셔 구조물(902) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 3 X축 고정 플렉셔 구조물(903)은 상기 X축 반사경 지지대(111x)의 제 2 측면(xs2)에 가까이 위치할 수 있다.
상기 제 3 X축 고정 플렉셔 구조물(903)은 상기 X축 간섭 반사경(140x)과 결합되는 영역을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하기 위한 고정 플렉셔 힌지들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 X축 고정 플렉셔 구조물(903)의 구조는 상기 제 1 X축 고정 플렉셔 구조물(901)을 상기 Z축을 기준으로 90°회전한 구조와 동일할 수 있다.
도 22는 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치를 나타낸 사시도이다. 도 23은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 스테이지 장치를 나타낸 상면도이다. 도 24a는 도 23의 III-III'선을 따라 절단한 단면도이다. 도 24b는 도 23의 IV-IV'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 22, 23, 24a 및 24b를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치는 스테이지(110), 스테이지 베이스(120), 제 1 Y축 간섭계(131y), 제 2 Y축 간섭계(132y), X축 간섭계(130x), Y축 간섭 반사경(140y), X축 간섭 반사경(140x), 광원(150), 광학 이동 부재(160), 이동 빔 스플리터(170), Y축 고정 반사경(181), Y축 빔 스플리터(182), Y축 기준 플렉셔 구조물(200), Y축 원위 플렉셔 구조물(300), Y축 중간 플렉셔 구조물(400), X축 기준 플렉셔 구조물(500), X축 원위 플렉셔 구조물(600) 및 X축 중간 플렉셔 구조물(700)을 포함할 수 있다.
상기 스테이지 베이스(120)는 베이스 몸체(121), Y축 구동 부재들(122), 가이드 블록(123) 및 X축 구동 부재(124)를 포함할 수 있다. 상기 베이스 몸체(121)는 몸체 돌출부(121p)를 포함할 수 있다.
상기 제 1 Y축 간섭 반사경(131y)은 상기 Y축 고정 반사경(181)에 의해 반사된 빔(Lyf)을 상기 Y축 간섭 반사경(140y)으로 조사할 수 있다. 상기 제 1 Y축 간섭 반사경(131y)은 상기 Y축 간섭 반사경(140y)로부터 반사된 빔(Ly1)을 이용하여 상기 스테이지(110)의 상기 Y축 방향의 위치를 측정할 수 있다.
상기 제 1 Y축 간섭계(131y)는 상기 베이스 몸체(121) 상에 위치할 수 있다. 상기 제 1 Y축 간섭계(131y)는 상기 스테이지(110)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 1 Y축 간섭계(131y)는 상기 스테이지(110)와 상기 Y축 고정 반사경(181) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 Y축 간섭계(132y)는 상기 Y축 빔 스플리터(182)에 의해 반사된 빔(Lyr)을 상기 Y축 간섭 반사경(140y)으로 조사할 수 있다. 상기 제 2 Y축 간섭계(132y)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)으로부터 반사된 빔(Ly2)을 이용하여 상기 스테이지(110)의 상기 Y축 방향의 위치를 측정할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치는 스테이지(110)의 Y축 방향의 위치를 측정하기 위한 제 1 Y축 간섭계(131y) 및 제 2 Y축 간섭계(132y)를 포함할 수 있다. 이에 따라 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 상기 스테이지(110)의 Z축을 기준으로 하는 회전이 측정될 수 있다. 따라서 본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치에서는 상기 스테이지(110)의 위치 측정에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다.
상기 제 2 Y축 간섭계(132y)는 상기 베이스 몸체(121) 상에 위치할 수 있다. 상기 제 1 Y축 간섭계(131y)는 상기 스테이지(110)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 2 Y축 간섭계(132y)는 상기 스테이지(110)와 상기 Y축 빔 스플리터(182) 사이에 위치할 수 있다.
상기 제 2 Y축 간섭계(132y)는 상기 제 1 Y축 간섭계(131y)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 2 Y축 간섭계(132y)는 상기 광원(150)과 상기 제 1 Y축 간섭계(131y) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 Y축 간섭계(132y)와 상기 Y축 간섭 반사경(140y) 사이의 상기 Y축 방향의 수평 거리는 상기 제 1 Y축 간섭계(131y)와 상기 Y축 간섭 반사경(140y) 사이의 상기 Y축 방향의 수평 거리와 동일할 수 있다.
상기 X축 간섭계(130x)는 상기 이동 빔 스플리터(170)에 의해 반사된 빔(Lmr)을 상기 X축 간섭 반사경(140x)으로 조사할 수 있다. 상기 X축 간섭계(130x)는 상기 X축 간섭 반사경(140x)으로부터 반사된 빔(Lx)을 이용하여 상기 스테이지(110)의 상기 X축 방향의 위치를 측정할 수 있다.
상기 X축 간섭계(130x)는 상기 스테이지(110) 상에 위치할 수 있다. 상기 X축 간섭계(130x)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 간섭계(130x)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 상기 X축 간섭 반사경(140x) 사이에 위치할 수 있다.
상기 Y축 간섭 반사경(140y)은 상기 스테이지(110) 상에 위치할 수 있다. 상기 Y축 간섭 반사경(140y)은 상기 Y축 기준 플렉셔 구조물(200), 상기 Y축 원위 플렉셔 구조물(300) 및 상기 Y축 중간 플렉셔 구조물(400)에 의해 상기 스테이지(110)의 상부면에 고정될 수 있다.
상기 X축 간섭 반사경(140x)은 상기 Y축 구동 부재들(122) 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 X축 간섭 반사경(140x)은 상기 베이스 몸체(121)의 상기 몸체 돌출부(121p) 상에 위치할 수 있다. 상기 X축 간섭 반사경(140x)은 상기 X축 기준 플렉셔 구조물(500), 상기 X축 원위 플렉셔 구조물(600) 및 상기 X축 중간 플렉셔 구조물(700)에 의해 상기 몸체 돌출부(121p)의 상부면에 고정될 수 있다.
상기 광원(150)은 상기 X축 간섭계(130x), 상기 제 1 Y축 간섭계(131y) 및 상기 제 2 Y축 간섭계(132y)로 조사되는 빔(Lb)을 생성할 수 있다. 상기 광원(150)은 상기 빔(Lb)을 일측 방향으로 조사할 수 있다. 예를 들어, 상기 광원(150)은 상기 X축 방향으로 상기 빔(Lb)을 조사할 수 있다.
상기 광원(150)은 상기 스테이지(100)와 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 광원(150)은 상기 스테이지(100)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 광원(150)은 상기 스테이지 베이스(200) 상에 위치할 수 있다. 상기 광원(150)은 상기 베이스 몸체(210)의 상부면 상에 위치할 수 있다.
상기 광학 이동 부재(160)는 상기 이동 빔 스플리터(170)를 이동할 수 있다. 상기 광학 이동 부재(160)는 상기 이동 빔 스플리터(170)를 상기 X축 방향으로 이동할 수 있다. 상기 광학 이동 부재(160)는 상기 이동 빔 스플리터(170)에 의해 반사된 빔(Lmr)의 경로 상에 상기 X축 간섭계(130x)가 위치하도록 상기 이동 빔 스플리터(170)를 이동할 수 있다. 상기 광학 이동 부재(160)는 상기 스테이지(100)의 위치에 따라 상기 이동 빔 스플리터(170)를 이동할 수 있다. 상기 이동 빔 스플리터(170)로부터 상기 X축 간섭계(130x) 방향으로 조사된 빔(Lmr)의 경로는 상기 스테이지(100)의 상기 X축 방향의 위치에 따라 상기 광학 이동 부재(160)에 의해 상기 X축 방향으로 이동될 수 있다.
상기 광학 이동 부재(160)는 상기 스테이지(100)와 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 광학 이동 부재(160)는 상기 스테이지(100)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 광학 이동 부재(160)는 상기 베이스 몸체(210)의 상부면 상에 위치할 수 있다. 상기 광학 이동 부재(160)는 상기 이동 빔 스플리터(170)를 지지할 수 있다. 상기 광학 이동 부재(160)는 상기 베이스 몸체(210)와 상기 이동 빔 스플리터(170) 사이에 위치할 수 있다.
상기 이동 빔 스플리터(170)는 상기 광원(160)에 의해 조사된 빔(Lb)을 분배할 수 있다. 상기 광원(150)으로부터 조사된 빔(Lb)은 상기 이동 빔 스플리터(170)에 의해 상기 X축 간섭계(130x) 방향 및 상기 제 1 Y축 간섭계(131y)와 상기 제 2 Y축 간섭계(132y) 방향으로 분배될 수 있다. 상기 이동 빔 스플리터(170)는 상기 광원(150)에 의해 조사된 빔(Lb)을 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 분배할 수 있다. 예를 들어, 상기 이동 빔 스플리터(170)는 상기 광원(150)에 의해 조사된 빔(Lb)을 상기 제 1 X축 간섭계(130x) 방향 및 상기 제 1 Y축 간섭계(131y) 방향으로 분배하기 위한 빔 스플리터(beam splitter)를 포함할 수 있다.
상기 이동 빔 스플리터(170)는 상기 스테이지(100)와 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 이동 빔 스플리터(170)는 상기 스테이지(100)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 이동 빔 스플리터(170)는 상기 베이스 몸체(210)의 상부면 상에 위치할 수 있다.
상기 이동 빔 스플리터(170)는 상기 광원(150)에 의해 조사된 빔(Lb)의 경로 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 이동 빔 스플리터(170)는 상기 광원(150)과 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 이동 빔 스플리터(170)는 상기 광원(150)과 상기 제 1 Y축 간섭계(131y) 사이에 위치할 수 있다. 상기 이동 빔 스플리터(170)는 상기 광원(150)과 상기 제 2 Y축 간섭계(132y) 사이에 위치할 수 있다.
상기 Y축 고정 반사경(181)은 상기 제 1 Y축 간섭계(131y)로 빔을 조사할 수 있다. 상기 Y축 고정 반사경(181)은 상기 이동 빔 스플리터(170)를 통과한 빔(Lmt)을 상기 제 1 Y축 간섭계(131y) 방향으로 반사할 수 있다. 상기 제 1 Y축 간섭계(131y)는 상기 Y축 고정 반사경(181)에 의해 반사된 빔(Lyf)의 경로 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 고정 반사경(181)은 상기 제 1 Y축 간섭계(131y)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 1 Y축 간섭계(131y)는 상기 Y축 간섭 반사경(140y)과 상기 Y축 고정 반사경(181) 사이에 위치할 수 있다.
상기 Y축 고정 반사경(181)은 상기 스테이지(100)와 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 고정 반사경(181)은 상기 스테이지(100)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 Y축 고정 반사경(181)은 상기 베이스 몸체(210)의 상부면 상에 위치할 수 있다.
상기 Y축 고정 반사경(181)은 상기 이동 빔 스플리터(170)에 의해 상기 제 1 Y축 간섭계(131y) 방향으로 조사된 빔(Lmt)의 경로 상에 위치할 수 있다. 상기 Y축 고정 반사경(181)은 상기 이동 빔 스플리터(170)를 통과한 빔(Lmt)의 경로 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 고정 반사경(181)은 상기 이동 빔 스플리터(170)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 이동 빔 스플리터(170)는 상기 광원(150)과 상기 Y축 고정 반사경(181) 사이에 위치할 수 있다.
상기 Y축 빔 스플리터(182)는 상기 이동 빔 스플리터(170)를 통과한 빔(Lmt)을 분배할 수 있다. 상기 Y축 빔 스플리터(182)는 상기 이동 빔 스플리터(170)를 통과한 빔(Lmt)을 상기 제 2 Y축 간섭계(132y) 방향 및 상기 Y축 고정 반사경(181) 방향으로 분배할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 빔 스플리터(182)는 상기 이동 빔 스플리터(170)를 통과한 빔(Lmt)을 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 분배할 수 있다. 상기 제 2 Y축 간섭계(132y)는 상기 Y축 빔 스플리터(182)에 의해 반사된 빔(Lyr)의 경로 상에 위치할 수 있다.
상기 Y축 빔 스플리터(182)는 상기 스테이지(100)와 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 빔 스플리터(182)는 상기 스테이지(100)와 상기 Y축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 Y축 빔 스플리터(182)는 상기 베이스 몸체(210)의 상부면 상에 위치할 수 있다.
상기 Y축 빔 스플리터(182)는 상기 이동 빔 스플리터(170)와 상기 Y축 고정 반사경(181) 사이에 위치할 수 있다. 상기 Y축 고정 반사경(181)은 상기 Y축 빔 스플리터(182)를 통과한 빔(Lyt)의 경로 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 Y축 고정 반사경(181)은 상기 Y축 빔 스플리터(182)와 상기 X축 방향으로 이격될 수 있다. 상기 Y축 빔 스플리터(182)를 통과한 빔(Lyt)의 경로는 상기 이동 빔 스플리터(170)를 통과한 빔(Lmt)의 경로와 동일할 수 있다. 상기 Y축 고정 반사경(181)은 상기 Y축 빔 스플리터(182)를 통과한 빔(Lyt)의 경로 상에 위치할 수 있다.
도 25는 본 발명의 기술적 사상에 따른 스테이지 장치를 포함하는 반도체 제조 장치를 나타낸 개략도이다.
도 25를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상에 따른 스테이지 장치를 포함하는 반도체 제조 장치(1000)는 광원 부재(1100), 빔 스플리터(beam splitter, 1200), 검사 광학계(1300), 검출부(detector, 1400) 및 스테이지 부재(1500)를 포함할 수 있다. 상기 반도체 제조 장치(1000)는 웨이퍼의 표면을 측정하기 위한 광학 측정 장치일 수 있다. 상기 반도체 제조 장치(1000)는 웨이퍼의 표면 결합을 검사하기 위한 광학 검사 장치일 수 있다.
상기 광원 부재(1100)는 상기 빔 스플리터(1200) 및 상기 검사 광학계(1300)를 통해 웨이퍼(W) 상에 빛을 조사할 수 있다. 상기 빔 스플리터(1200)는 상기 광원 부재(11000)의 빛을 상기 웨이퍼(W) 방향으로 반사할 수 있다. 상기 빔 스플린터(1200)는 상기 웨이퍼(W)에 의해 반사된 빛을 투과할 수 있다. 상기 검사 광학계(1300)는 상기 빔 스플리터(1200)에 의해 반사된 빛을 상기 웨이퍼(W) 상에 집광할 수 있다. 상기 웨이퍼(W)에 의해 반사된 빛은 상기 검사 광학계(1300)에 의해 상기 빔 스플리터(1200)를 통과할 수 있다. 상기 검출부(1400)는 상기 웨이퍼(W)에 의해 반사된 빛을 이용하여 상기 웨이퍼(W)의 표면 형태를 측정할 수 있다. 상기 검출부(1400)는 상기 웨이퍼(W)에 의해 반사된 빛을 이용하여 상기 웨이퍼(W) 상에 형성된 패턴의 결함을 확인할 수 있다.
상기 스테이지 부재(1500)는 상기 웨이퍼(W)를 지지할 수 있다. 상기 웨이퍼(W)는 상기 스테이지 부재(1500) 상에 고정될 수 있다. 상기 스테이지 부재(1500)는 제조 공정 동안 상기 웨이퍼(W)를 이동할 수 있다. 상기 스테이지 부재(1500)는 본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시 예들에 따른 스테이지 장치를 포함할 수 있다. 이에 따라 상기 스테이지 부재(1500)는 상기 웨이퍼(W)를 정밀하게 제어할 수 있다. 따라서 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 제조 장치(1000)에서는 측정/검사에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 26은 본 발명의 기술적 사상에 따른 스테이지 장치를 포함하는 반도체 제조 장치를 나타낸 개략도이다.
도 26을 참조하면, 본 발명의 기술적 사상에 따른 스테이지 장치를 포함하는 반도체 제조 장치(2000)는 광원 부재(2100), 레티클(reticle, 2200), 레티클 테이블(2300), 노광 광학계(2400) 및 스테이지 부재(2500)를 포함할 수 있다. 상기 반도체 제조 장치(2000)는 노광 장치일 수 있다.
상기 광원 부재(2100)는 상기 레티클(2200) 및 상기 노광 광학계(2400)를 통해 웨이퍼(W) 상에 빛을 조사할 수 있다. 상기 레티클(2200)은 상기 광원 부재(2100)와 상기 웨이퍼 스테이지(2500) 사이에 위치할 수 있다. 상기 레티클(2200)은 일정 패턴을 포함할 수 있다. 상기 광원 부재(2100)에 의해 조사되는 빛은 상기 레티클(2200)의 패턴에 의해 패터닝될 수 있다. 상기 광원 부재(2100)는 상기 레티클(2200)의 패턴을 상기 웨이퍼(W) 상에 전사할 수 있다. 상기 레티클 테이블(2300)은 상기 레티클(2200)의 하부에 위치할 수 있다. 상기 레티클 테이블(2300)은 상기 레티클(2200)을 지지할 수 있다. 상기 레티클 테이블(2300)은 상기 레티클(2200)과 직접 접촉할 수 있다. 상기 노광 광학계(2400)는 상기 레티클(2200)을 통과한 빛을 상기 웨이퍼(W) 상에 집중할 수 있다.
상기 스테이지 부재(2500)는 상기 웨이퍼(W)를 고정할 수 있다. 상기 스테이지 부재(2500)는 상기 노광 광학계(2400)의 하부에 위치할 수 있다. 상기 스테이지 부재(2500)는 제조 공정 동안 상기 웨이퍼(W)를 이동할 수 있다. 상기 스테이지 부재(2500)는 본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시 예들에 따른 스테이지 장치를 포함할 수 있다. 이에 따라 상기 스테이지 부재(2500)는 상기 웨이퍼(W)를 정밀하게 제어할 수 있다. 따라서 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 제조 장치(2000)에서는 노광 공정에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 27은 본 발명의 기술적 사상에 따른 스테이지 장치를 포함하는 반도체 제조 장치를 나타낸 개략도이다.
도 27을 참조하면, 본 발명의 기술적 사상에 따른 스테이지 장치를 포함하는 반도체 제조 장치(3000)는 광원 부재(3100), 광 검출 부재(3200), 캔틸러버 지지 부재(3300), 캔틸러버(cantilever, 3400) 및 스테이지 부재(3500)를 포함할 수 있다. 상기 반도체 제조 장치(3000)는 STM(Scanning Tunneling Microscope) 및 AFM(Atomic Force Microscope)과 같은 원자 현미경 일 수 있다.
상기 광원 부재(3100)는 상기 캔틸러버(3400)의 끝단 상에 빛을 조사할 수 있다. 상기 광 검출 부재(3200)는 상기 캔틸러버(3400)로부터 반사된 빔을 검출할 수 있다. 상기 광 검출 부재(3200)는 상기 캔틸러버(3400)로부터 반사된 빛의 파장, 위상, 세기 또는 위치 변화를 통해 웨이퍼(W)의 표면을 측정할 수 있다. 상기 캔틸러버 지지 부재(3300)는 상기 캔틸러버(3400)의 위치를 고정할 수 있다. 상기 캔틸러버(3400)는 상기 웨이퍼(W) 가까이 위치하는 팁(3410)을 포함할 수 있다. 상기 팁(3410)은 상기 웨이퍼(W)의 표면 상태에 따라 상하 유동할 수 있다. 상기 팁(3410)은 상기 웨이퍼(W)의 표면과 이격될 수 있다.
상기 스테이지 부재(3500)는 상기 웨이퍼(W)를 고정할 수 있다. 상기 스테이지 부재(3500)는 제조 공정 동안 상기 웨이퍼(W)를 이동할 수 있다. 상기 스테이지 부재(3500)는 본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시 예들에 따른 스테이지 장치를 포함할 수 있다. 이에 따라 상기 스테이지 부재(3500)는 상기 웨이퍼(W)를 정밀하게 제어할 수 있다. 따라서 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 제조 장치(3000)에서는 측정된 표면에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다.
110 : 스테이지 120 : 스테이지 베이스
130x : X축 간섭 반사경 130y : Y축 간섭 반사경
140x : X축 간섭계 140y : Y축 간섭계
200 : Y축 기준 플렉셔 구조물 300 : Y축 원위 플렉셔 구조물
400 : Y축 중간 플렉셔 구조물 500 : X축 기준 플렉셔 구조물
600 : X축 원위 플렉셔 구조물 700 : X축 중간 플렉셔 구조물

Claims (10)

  1. X축 방향으로 연장되는 간섭 반사경;
    상기 간섭 반사경을 Y축 방향과 Z축 방향으로 고정하고, 상기 간섭 반사경과 결합하기 위한 기준 상부 플레이트 및 상기 기준 상부 플레이트의 아래에 위치하는 기준 힌지부를 포함하는 기준 플렉셔 구조물;
    상기 간섭 반사경을 상기 Y축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하고, 상기 기준 상부 플레이트와 상기 X축 방향으로 이격되는 원위 상부 플레이트 및 상기 원위 상부 플레이트의 아래에 위치하는 제 1 원위 힌지부를 포함하는 원위 플렉셔 구조물; 및
    상기 간섭 반사경을 상기 X축 방향과 상기 Z축 방향으로 고정하고, 상기 기준 상부 플레이트와 상기 원위 상부 플레이트 사이에 위치하는 중간 상부 플레이트 및 상기 중간 상부 플레이트의 아래에 위치하는 제 1 중간 힌지부를 포함하는 중간 플렉셔 구조물을 포함하되,
    상기 기준 힌지부, 상기 제 1 원위 힌지부 및 상기 제 1 중간 힌지부 각각은 상기 Z축 방향으로 적층되는 플렉셔 힌지들을 포함하고,
    상기 중간 상부 플레이트는 상기 기준 상부 플레이트 및 상기 원위 상부 플레이트와 상기 Y축 방향으로 이격되는 스테이지 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기준 힌지부는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 제 1 yz 기준 플렉셔 힌지, 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 제 2 yz 기준 플렉셔 힌지, 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 xz 기준 플렉셔 힌지 및 상기 Z축 방향으로 연장되는 십자형 zc 기준 플렉셔 힌지를 포함하는 스테이지 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 yz 기준 플렉셔 힌지는 상기 제 1 yz 기준 플렉셔 힌지와 상기 Z축 방향으로 이격되는 스테이지 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 기준 힌지부의 상기 Y축 방향의 수평 길이는 상기 기준 상부 플레이트로부터 멀어질수록 증가하는 스테이지 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 원위 힌지부는 상기 제 1 yz 기준 플렉셔 힌지와 평행한 제 1 yz 원위 플렉셔 힌지, 상기 제 2 yz 기준 플렉셔 힌지와 평행한 제 2 yz 원위 플렉셔 힌지, 상기 xz 기준 플렉셔 힌지와 평행한 제 1 xz 원위 플렉셔 힌지 및 상기 zc 기준 플렉셔 힌지와 평행한 zc 원위 플렉셔 힌지를 포함하는 스테이지 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 yz 원위 플렉셔 힌지, 상기 제 2 yz 원위 플렉셔 힌지, 상기 제 1 xz 원위 플렉셔 힌지 및 상기 zc 원위 플렉셔 힌지의 적층 순서는 상기 제 1 yz 기준 플렉셔 힌지, 상기 제 2 yz 기준 플렉셔 힌지, 상기 xz 기준 플렉셔 힌지 및 상기 zc 기준 플렉셔 힌지의 적층 순서와 다른 스테이지 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 원위 플렉셔 구조물은 상기 제 1 원위 힌지부와 상기 Y축 방향으로 이격되는 제 1 원위 몸체; 및 상기 원위 상부 플레이트를 상기 Y축 방향으로 고정하기 위한 제 2 원위 힌지부를 더 포함하되,
    상기 제 2 원위 힌지부는 상기 제 1 원위 힌지부의 상단부와 상기 제 1 원위 몸체의 상단부 사이에 위치하고 상기 Y축 방향으로 적층되는 플렉셔 힌지들을 포함하고,
    상기 제 1 원위 힌지부는 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 제 2 xz 원위 플렉셔 힌지를 더 포함하는 스테이지 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 2 원위 힌지부는 상기 X축 방향으로 연장되는 수평형 제 1 xy 원위 플렉셔 힌지, 상기 X축 방향으로 연장되는 수평형 제 2 xy 원위 플렉셔 힌지, 상기 Z축 방향으로 연장되는 Y축형 제 1 zy 원위 플렉셔 힌지, 상기 Z축 방향으로 연장되는 Y축형 제 2 zy 원위 플렉셔 힌지 및 상기 Y축 방향으로 연장되는 십자형 yc 원위 플렉셔 힌지를 포함하는 스테이지 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 원위 플렉셔 구조물은 상기 제 1 원위 힌지부의 하부에 위치하고 상기 Y축 방향으로 연장되는 원위 하부 플레이트; 상기 제 2 원위 힌지부의 하부에 위치하고 상기 원위 하부 플레이트 상에 고정되는 제 2 원위 몸체; 상기 제 2 원위 몸체의 상단부와 상기 제 1 원위 몸체 사이에 위치하고 상기 X축 방향으로 연장되는 수평형 xy 회전 플렉셔 힌지; 및 상기 제 1 원위 몸체의 하단부에 위치하는 회전 조절 부재를 더 포함하되,
    상기 제 1 원위 몸체는 상기 원위 하부 플레이트와 이격되고,
    상기 제 1 원위 몸체의 하부면의 레벨은 상기 원위 하부 플레이트의 하부면의 레벨보다 높은 스테이지 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 중간 힌지부는 상기 Y축 방향으로 연장되는 수직형 제 1 yz 중간 플렉셔 힌지, 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 제 1 xz 중간 플렉셔 힌지, 상기 X축 방향으로 연장되는 수직형 제 2 xz 중간 플렉셔 힌지 및 상기 Z축 방향으로 연장되는 십자형 zc 중간 플렉셔 힌지를 포함하는 스테이지 장치.
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