KR20150033141A - Organic Light Emitting Diode Device And Method Of Fabricating The Same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유기발광다이오드소자에 관한 것으로, 이물에 의한 화소의 불량을 방지할 수 있는 유기발광다이오드소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
정보화 사회가 발전함에 따라 화상을 표시하기 위한 표시장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있으며, 근래에는 액정표시장치(LCD: liquid crystal display), 플라즈마표시장치(PDP: plasma display panel), 유기발광다이오드소자(Organic light emitting diode device: OLED)와 같은 여러 가지 평판표시장치(flat display device)가 활용되고 있다.2. Description of the Related Art [0002] As an information-oriented society develops, demands for a display device for displaying an image have increased in various forms. Recently, a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP) Various flat display devices such as an organic light emitting diode (OLED) device have been utilized.
유기발광다이오드소자는 전자(electron) 주입전극(cathode)과 정공(hole) 주입전극(anode) 으로부터 각각 전자(electron)와 정공(hole)을 발광층 내부로 주입시켜, 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 결합한 엑시톤(exciton)이 여기 상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광하는 소자이다.The organic light emitting diode device injects electrons and holes into the light emitting layer from an electron injection cathode and an anode and injects electrons and holes into the light emitting layer, and emits light when an exciton coupled with a hole falls from an excited state to a ground state.
이러한 원리로 인해, 종래의 액정표시장치(LCD)와 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 소자의 부피와 무게를 줄일 수 있는 장점이 있다.Because of this principle, unlike a conventional liquid crystal display (LCD), there is no need for a separate light source, so that the volume and weight of the device can be reduced.
또한, 유기발광다이오드소자는 높은 휘도와 낮은 동작 전압 특성을 가지며, 스스로 빛을 내는 자체발광형이기 때문에 명암대비(contrast ratio)가 크고, 초박형 디스플레이의 구현이 가능하며, 응답시간이 수 마이크로초(㎲) 정도로 동화상 구현이 쉽고, 시야각의 제한이 없으며 저온에서도 안정적이고, 직류 5 내지 15V의 낮은 전압으로 구동하므로 구동회로의 제작 및 설계가 용이하므로 최근 평판표시장치로서 주목 받고 있다. In addition, since the organic light emitting diode device has a high luminance and a low operating voltage characteristic and is a self-luminous type that emits light by itself, it has a large contrast ratio, can realize an ultra-thin display, Mu s), has no limitation of viewing angles, is stable at low temperatures, and is driven at a low voltage of 5 to 15 V DC, making it easy to manufacture and design a driving circuit, and has recently attracted attention as a flat panel display device.
이러한 유기발광다이오드소자를 구동하는 방식은 수동 매트릭스형(passive matrix type)과 능동 매트릭스형(active matrix type)으로 나눌 수 있다.The driving method of such an organic light emitting diode device can be divided into a passive matrix type and an active matrix type.
수동 매트릭스형 유기발광다이오드소자는 그 구성이 단순하여 제조방법 또한 단순 하나 높은 소비전력과 표시소자의 대면적화에 어려움이 있으며, 배선의 수가 증가하면 할수록 개구율이 저하되는 단점이 있다.The passive matrix type organic light emitting diode device has a simple structure and a simple manufacturing method. However, the passive matrix organic light emitting diode device has a problem in that it has difficulty in increasing the power consumption and size of the display device, and the aperture ratio is lowered as the number of wirings is increased.
반면, 능동 매트릭스형 유기발광다이오드소자는 높은 발광효율과 고화질을 제공할 수 있는 장점이 있다.On the other hand, the active matrix type organic light emitting diode device has an advantage of providing high luminous efficiency and high image quality.
이러한 능동 매트릭스형 유기발광다이오드소자의 기본적인 구조 및 동작특성에 대해서 이하 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.The basic structure and operational characteristics of such an active matrix type organic light emitting diode device will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 일반적인 유기발광다이오드소자의 단위 화소에 대해 나타낸 회로도이다.1 is a circuit diagram showing a unit pixel of a general organic light emitting diode device.
도시한 바와 같이, 종래에 따른 유기발광다이오드소자의 단위 화소는 일 방향으로 형성된 게이트배선(GL)과 게이트배선(GL)과 수직 교차하여 화소영역(P)를 정의하는 데이터배선(DL)과 데이터배선(DL)과 이격하며 전원전압을 인가하기 위한 전원배선(PL)이 각각 형성 된다. As shown in the figure, a unit pixel of a conventional organic light emitting diode device includes a data line DL defining a pixel region P and a data line DL crossing a gate line GL formed in one direction and a gate line GL, And a power supply line PL for applying a power supply voltage are formed separately from the wiring DL.
화소영역(P)에는 스위칭 트랜지스터(Ts)와, 구동 트랜지스터(Td)와, 유기발광다이오드(E)와, 스토리지 커패시터(Cst)가 형성되어 있다.A switching transistor Ts, a driving transistor Td, an organic light emitting diode E and a storage capacitor Cst are formed in the pixel region P. [
스위칭 트랜지스터(Ts)는 대응되는 게이트배선 및 데이터배선(GL, DL)과 연결된다. 구동 트랜지스터(Td)는 스위칭 트랜지스터(Ts)와 연결된다. 구동 트랜지스터(Td)의 게이트전극은, 스위칭 트랜지스터(Ts)의 드레인전극과 연결된다. The switching transistor Ts is connected to the corresponding gate wiring and data lines GL and DL. The driving transistor Td is connected to the switching transistor Ts. The gate electrode of the driving transistor Td is connected to the drain electrode of the switching transistor Ts.
유기발광다이오드(E)는 구동 트랜지스터(Td)와 연결된다. 예를 들면, 유기발광다이오드(E)의 제1전극(예를 들어, 애노드(anode))은 구동 트랜지스터(Td)의 드레인전극과 연결되고, 유기발광다이오드(E)의 제2전극(예를 들어, 캐소드(cathode))는 기저전압(VSS)을 인가받게 된다. The organic light emitting diode E is connected to the driving transistor Td. For example, the first electrode (e.g., anode) of the organic light emitting diode E is connected to the drain electrode of the driving transistor Td, and the second electrode of the organic light emitting diode E For example, the cathode, is supplied with the ground voltage VSS.
이때, 구동 트랜지스터(Td)는 전원배선(PL)과 유기발광다이오드(E) 사이에 연결된다. 한편, 유기발광다이오드(E)의 제1 및 제2전극 사이에는 빛을 발광하는 유기발광물질을 포함하는 유기발광층이 구성되어 있다.At this time, the driving transistor Td is connected between the power supply line PL and the organic light emitting diode E. Meanwhile, an organic light emitting layer including an organic light emitting material that emits light is formed between the first and second electrodes of the organic light emitting diode (E).
스토리지 커패시터(Cst)는, 대응되는 구동 트랜지스터(Td)의 게이트전극과 소스전극 사이에 연결된다. The storage capacitor Cst is connected between the gate electrode and the source electrode of the corresponding driving transistor Td.
따라서, 게이트배선(GL)을 통해 신호가 인가되면 스위칭 트랜지스터(Ts)가 턴-온(turn-on) 되고, 데이터배선(DL)의 신호가 구동 트랜지스터(Td)의 게이트전극에 전달되어 구동 트랜지스터(Td)의 턴-온으로 이에 연결된 유기발광다이오드(E)의 전계-전공쌍에 의해 빛이 출력된다. 이 때, 상기 구동 트랜지스터(Td)가 턴-온 상태가 되면, 전원배선(PL)으로부터 유기발광다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨이 정해지며 이로 인해 유기발광다이오드(E)는 그레이 스케일(gray scale)을 구현할 수 있게 된다.Therefore, when a signal is applied through the gate line GL, the switching transistor Ts is turned on and the signal of the data line DL is transmitted to the gate electrode of the driving transistor Td, (Td), and the light is output by the electric field-major pair of the organic light emitting diode (E) connected thereto. At this time, when the driving transistor Td is turned on, the level of the electric current flowing from the power supply line PL to the organic light emitting diode E is determined. As a result, the organic light emitting diode E is gray- scale can be implemented.
또한, 상기 스토리지 커패시터(Cst)는 스위칭 트랜지스터(Ts)가 오프(off) 되었을 때, 상기 구동 트랜지스터(Td)의 게이트 전압을 일정하게 유지시키는 역할을 함으로써 상기 스위칭 트랜지스터(Ts)가 오프(off) 상태가 되더라도 다음 프레임(frame)까지 상기 유기발광다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨을 일정하게 유지할 수 있게 된다.The storage capacitor Cst serves to keep the gate voltage of the driving transistor Td constant when the switching transistor Ts is turned off so that the switching transistor Ts is turned off, The level of the current flowing through the organic light emitting diode E can be kept constant until the next frame.
일반적으로, 이러한 유기발광다이오드소자는 하나의 기판에 박막트랜지스터 등의 어레이 소자와 제1 및 제2전극과 유기발광층을 포함하는 유기발광다이오드를 형성하고 있다.In general, such an organic light emitting diode device forms an organic light emitting diode including an array element such as a thin film transistor, first and second electrodes and an organic light emitting layer on one substrate.
도 2는 종래의 유기발광다이오드소자의 하나의 화소영역에 대한 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a conventional pixel region of an organic light emitting diode device.
도시한 바와 같이, 유기발광다이오드소자(1)는 크게 유기발광다이오드(11)가 형성된 제1기판(2)과, 제1기판(2)과 마주하는 제2기판(15)으로 구분된다.The organic light
제1기판(2) 상에는 반도체층(3)이 형성되는데, 반도체층(3)은 채널영역을 이루는 액티브영역(3a), 그리고 액티브영역(3a) 양측으로 소스 및 드레인영역(3b, 3c)으로 구성된다.A
이러한 반도체층(3) 상부에는 게이트절연막(4)이 형성되어 있다.A
게이트절연막(4) 상부에는 반도체층(3)의 액티브영역(3a)에 대응하여 게이트전극(5)이 형성되어 있다.A
게이트전극(5) 상부에는 층간절연막(9)이 형성되어 있으며, 층간절연막(9)과 층간절연막(9) 하부의 게이트절연막(4)은 반도체층(3)의 소스 및 드레인영역(3b, 3c)을 노출시키는 콘택홀이 구비되고, 콘택홀을 통해 소스 및 드레인영역(3b, 3c)과 접속하는 소스 및 드레인전극(7a, 7b)이 형성되어 있다.An
그리고, 드레인전극(7b)을 노출시키면서 평탄화막(10)이 형성된다.Then, the
이 때, 소스 및 드레인전극(7a, 7b)과 이들 전극과 각각 접속하는 소스 및 드레인영역(3b, 3c)를 포함하는 반도체층(3)과, 게이트절연막(4) 및 게이트전극(5)은 구동 트랜지스터(DTr)를 이루게 된다.At this time, the
구동 트랜지스터(DTr)의 드레인전극(7b)과 연결되며 평탄화막(10) 상부로는 화상을 표시하는 영역에는 유기발광다이오드(11)를 구성하는 일 구성요소로써 양극(anode)을 이루는 제1전극(11a)이 형성되어 있다. A first electrode connected to the
이러한 제1전극(11a)은 각 화소영역(P)별로 형성되는데, 각 화소영역(P) 별로 형성된 제 전극(11a)의 가장자리에는 뱅크(bank: 13)가 위치한다.The
그리고, 제1전극(11a)의 상부에는 유기발광층(11b)이 형성되고, 유기발광층(11b) 상부에는 음극(cathode)을 이루는 제2전극(11c)이 형성되어 있다.An organic
제2전극(11c) 상부에는 보호층(15)이 구비되고, 보호층(15) 상부의 제2기판(15)을 통해 인캡슐레이션(Encapsulation)된다.A
한편, 유기발광다이오드(11)를 형성하는 과정에서 이물(23)이 발생하게 되는데, 이물(23)에 의해 제1 및 제2전극(11a, 11b) 간에 쇼트가 발생하게 된다.Meanwhile, in the process of forming the organic
다시 말해, 제1전극(11a)이 형성 된 후 이물(23)이 발생하게 되고, 이물(23)에 의해 유기발광층(11b)이 이물(23) 주위로 형성되지 않게 된다. In other words, after the
유기발광층(11b) 상부에 형성되는 제2전극(11c)이 이물(23) 주변의 유기발광층(11b)이 형성되지 않은 부분으로 파고들며 형성되고, 최종적으로 제2전극(11c)이 제1전극(11a)의 표면과 접촉하게 됨으로 쇼트가 발생하고, 쇼트가 발생한 화소영역(P)은 암점이 발생하여, 암점으로 인해 화상품질을 저하시키거나 수율을 저하시키는 문제점이 있다.
The
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 이물에 의한 유기발광층의 제1전극과 제2전극의 쇼트발생을 방지하여 화상품질의 향상과 수율을 향상시키는 것을 제1목적으로 한다.The first object of the present invention is to prevent short-circuiting between the first electrode and the second electrode of the organic light-emitting layer by foreign matter, thereby improving image quality and yield.
나아가, 제2전극의 저저항을 실현하기 위한 유기발광다이오드소자를 제공하는 것을 제2목적으로 한다.
A second object of the present invention is to provide an organic light emitting diode device for realizing low resistance of the second electrode.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기발광다이오드소자의 제조방법은 표시영역이 정의된 기판의 상기 표시영역 경계에 격벽을 형성하는 단계와; 상기 격벽이 형성된 상기 기판 상에 제1전극을 형성하는 단계와; 상기 격벽을 덮는 보조전극과, 상기 표시영역에 상기 보조전극과 이격하는 제1전극을 형성하는 단계와; 상기 보조전극과 상기 제1전극 사이에 상기 표시영역을 둘러싸는 형태로 뱅크를 형성하는 단계와; 상기 격벽의 측면에 형성된 상기 보조전극을 노출시키고, 상기 제1전극을 덮는 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기발광층을 덮으며 상기 노출된 보조전극과 접촉하는 제2전극을 형성하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating an organic light emitting diode device, including: forming a barrier rib on a boundary of a display region of a substrate on which a display region is defined; Forming a first electrode on the substrate on which the barrier rib is formed; Forming an auxiliary electrode covering the barrier rib and a first electrode spaced apart from the auxiliary electrode in the display region; Forming a bank between the auxiliary electrode and the first electrode to surround the display region; Exposing the auxiliary electrode formed on a side surface of the barrier rib and forming an organic light emitting layer covering the first electrode; And forming a second electrode covering the organic light emitting layer and contacting the exposed auxiliary electrode.
상기 격벽은 역테이퍼 형상인 것을 특징으로 한다.And the partition wall has an inverted taper shape.
상기 보조전극과 상기 제1전극을 형성하는 단계는; 상기 제1기판 상에 알루미늄, 은, 몰리브덴, 몰리브덴합금, 티타늄, 티타늄합금, 크롬, 크롬합금 중 하나를 선택하여 제1금속층을 형성하는 단계와; 상기 제1금속층 상부에 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 증착하여 제2금속층을 형성하는 단계와; 상기 제1 및 제2금속층을 패터닝하여 상기 보조전극과 제1전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제2금속층은 상기 격벽을 완전히 덮는 것을 특징으로 한다.Wherein forming the auxiliary electrode and the first electrode comprises: Forming a first metal layer on the first substrate by selecting one of aluminum, silver, molybdenum, molybdenum alloy, titanium, titanium alloy, chromium, and chromium alloy; Depositing indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO) on the first metal layer to form a second metal layer; And patterning the first and second metal layers to form the auxiliary electrode and the first electrode, wherein the second metal layer completely covers the barrier ribs.
상기 제1전극의 하부층은 반사판의 역할을 하고, 상기 제1전극의 상부층은 양극(anode)의 역할을 하는 것을 특징으로 한다.The lower layer of the first electrode serves as a reflection plate, and the upper layer of the first electrode serves as an anode.
상기 유기발광층을 형성하는 단계는, 액상타입의 유기발광물질을 잉크젯 또는 노즐 코팅 공정에 의해 형성하는 것을 특징으로 한다.The forming of the organic light emitting layer is characterized in that a liquid type organic light emitting material is formed by an ink jet or nozzle coating process.
상기 유기발광층을 형성하는 단계는, 상기 잉크젯 또는 노즐 코팅 공정에 의해 전공주입층을 형성하는 단계와; 쉐도우 마스크 또는 레이저 공정 중 어느 하나를 사용하여 상기 전공주입층 상부로 전공수송층, 발광층, 전자수송층, 전자주입층을 형성하는 단계를 포함한다.The forming of the organic light emitting layer may include forming an electron injection layer by the ink jet or nozzle coating process; Emitting layer, an electron-transporting layer, and an electron-injecting layer are formed on the electron-injecting layer using either a shadow mask or a laser process.
상기 제2전극을 형성하는 단계는, 상기 유기발광층 상부에 알루미늄, 알루미늄 합금, 은, 마그네슘, 금, 알루미늄마그네슘 합금 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질을 증착하여 제3금속층을 형성하는 단계와; 상기 제3금속층 상부에 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 증착하여 제4금속층을 형성하는 단계를 포함한다.The forming of the second electrode may include forming a third metal layer by depositing one or more of aluminum, aluminum alloy, silver, magnesium, gold, and aluminum magnesium alloy on the organic light emitting layer. Depositing indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO) on the third metal layer to form a fourth metal layer.
상기 제4금속층은 상기 격벽을 완전히 덮도록 형성되어, 상기 보조전극과 연결되는 것을 특징으로 한다.The fourth metal layer is formed to completely cover the barrier ribs and is connected to the auxiliary electrode.
본 발명에 따른 유기발광다이오드소자는, 표시영역이 정의된 기판상에, 상기 표시영역 경계에 형성된 격벽과; 상기 격벽이 형성된 상기 기판의 상기 표시영역에 형성된 제1전극과; 상기 격벽을 덮으며 상기 제1전극과 이격된 보조전극과; 상기 격벽의 측면에 형성된 보조전극을 노출시키고, 상기 제1전극을 덮도록 형성되는 유기발광층과; 상기 유기발광층을 덮으며 상기 노출된 보조전극과 접촉하도록 형성된 제2전극을 포함한다.An organic light emitting diode device according to the present invention includes: a substrate having a display region defined therein; A first electrode formed on the display region of the substrate on which the barrier rib is formed; An auxiliary electrode covering the barrier rib and spaced apart from the first electrode; An organic light emitting layer formed on the side surface of the barrier rib to expose the auxiliary electrode and cover the first electrode; And a second electrode covering the organic light emitting layer and contacting the exposed auxiliary electrode.
상기 격벽은 역테이퍼 형상인 것을 특징으로 한다.And the partition wall has an inverted taper shape.
상기 보조전극과 제1전극 각각은 제1금속층과 상기 제1금속층 상부에 제2금속층으로 이루어지며, 상기 제1금속층은 알루미늄, 은, 몰리브덴, 몰리브덴합금, 티타늄, 티타늄합금, 크롬, 크롬합금 중 어느 하나로 이루어지고, 상기 제2금속층은 인듐-틴-옥사이드(ITO), 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 어느 하나로 이루어지며, 상기 보조전극의 상기 제2금속층은 상기 격벽을 완전히 덮으며 형성되는 것을 특징으로 한다.The auxiliary electrode and the first electrode are each formed of a first metal layer and a second metal layer on the first metal layer. The first metal layer may include at least one of aluminum, silver, molybdenum, molybdenum alloy, titanium, titanium alloy, chromium, Wherein the second metal layer is formed of any one of indium-tin-oxide (ITO) and indium-zinc-oxide (IZO), and the second metal layer of the auxiliary electrode completely covers the barrier rib .
상기 제2전극은 제3금속층과 상기 제3금속층 상부에 제4금속층으로 이루어지는 것을 특징으로 하며, 상기 제3금속층은 알루미늄, 알루미늄 합금, 은, 마그네슘, 금, 알루미늄마그네슘 합금 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질을 증착하여 형성되는 것을 특징으로 하며, 상기 제4금속층은 인듐-틴-옥사이드(ITO), 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 한다.Wherein the second electrode comprises a third metal layer and a fourth metal layer over the third metal layer, wherein the third metal layer is formed of one or more of aluminum, an aluminum alloy, silver, magnesium, gold, and an aluminum magnesium alloy And the fourth metal layer is formed of any one of indium-tin-oxide (ITO) and indium-zinc-oxide (IZO).
상기 제4금속층은 상기 격벽을 완전히 덮도록 형성되어, 상기 격벽의 측면에서 상기 보조전극과 연결되는 것을 특징으로 한다.
The fourth metal layer is formed to completely cover the barrier ribs, and is connected to the auxiliary electrode at the side of the barrier rib.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른, 유기발광다이오드소자는 유기발광층을 프린팅방식의 잉크젯 또는 노즐코팅을 이용하여 형성하는 것으로, 이물에 의한 이물 측면에 유기발광층이 형성되지 않는 문제점을 해결하여, 제1전극과 제2전극의 쇼트 문제를 방지하는 효과를 갖는다.As described above, the organic light emitting diode device according to the present invention forms an organic light emitting layer using a printing type inkjet or nozzle coating, and solves the problem that an organic light emitting layer is not formed on the side of a foreign object due to foreign matter. It is possible to prevent a short circuit between the first electrode and the second electrode.
따라서, 암점상태가 방지되며, 화상품질 향상의 효과를 갖는다.Therefore, the dark spot state is prevented, and the image quality is improved.
나아가, 보조배선을 추가공정 없이 형성하여 공정단계를 줄이며, 보조전극과 제2전극이 연결되는 것으로 제2전극의 저항을 낮추는 효과를 갖는다.Furthermore, the auxiliary wiring is formed without additional process to reduce the number of process steps, and the auxiliary electrode and the second electrode are connected to each other, thereby lowering the resistance of the second electrode.
따라서, 제2전극의 저항감소로 인하여 유기발광다이오드의 소비전력이 줄어드는 효과를 갖는다.
Therefore, the power consumption of the organic light emitting diode is reduced due to the decrease of the resistance of the second electrode.
도 1은 일반적은 유기발광다이오드소자의 한 화소에 대한 회로도이다.
도 2는 종래의 유기발광다이오드소자의 하나의 화소영역에 대한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드소자의 하나의 화소영역에 대한 단면도이다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명에 따른 유기발광다이오드의 하나의 화소영역에 대한 제조 단계별 공정 단면도 이다.1 is a circuit diagram of a pixel of a general organic light emitting diode device.
2 is a cross-sectional view of a conventional pixel region of an organic light emitting diode device.
3 is a cross-sectional view of one pixel region of an organic light emitting diode device according to an embodiment of the present invention.
4A to 4F are cross-sectional views illustrating an organic light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유기발광다이오드소자에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, an organic light emitting diode device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명에 따른 유기발광다이오드소자를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting diode device according to the present invention.
도시한 바와 같이, 유기발광다이오드소자(100)는 구동박막트랜지스터(DTr)와 유기발광다이오드(114)가 형성된 제1기판(102)이 제2기판(130)과 인켑슐레이션(Encapsulation)된다.As shown in the figure, the organic light emitting
이에 좀더 자세히 살펴보면, 제1기판(102) 상의 화소영역(P)에는 반도체층(103)이 형성되는데, 반도체층(103)은 실리콘으로 이루어지며 그 중앙부는 채널을 이루는 액티브영역(103a) 그리고 액티브영역(103a) 양측면에는 고농도의 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(103b, 103c)이 구성된다.A
이러한 반도체층(103) 상부로는 게이트절연막(104)이 형성되어 있다.A
게이트절연막(104) 상부에는 반도체층(103)의 액티브영역(103a)에 대응하여 게이트전극(105)과 도면에 나타나지는 않았지만 일방향으로 연장되는 게이트배선(미도시)이 형성되어 있다.
게이트전극(105)과 게이트배선(미도시) 상부 전면에는 층간절연막(109)이 형성되어 있다.An interlayer insulating
층간절연막(109)과 그 하부의 게이트절연막(104)은 액티브영역(103a) 양측면에 위치한 소스 및 드레인영역(103b, 103c)을 각각 노출시키는 콘택홀(107c)이 구비된다.The
콘택홀(107c)을 포함하는 층간절연막(109) 상부에는 서로 이격하며 콘택홀(107c)을 통해 노출된 소스 및 드레인영역(103b, 103c)과 각각 접촉하는 소스 및 드레인전극(107a, 107b)이 형성되어 있다.Source and
그리고, 소스 및 드레인전극(107a, 107b)의 사이로 노출된 층간절연막(109) 상부로 드레인전극(107b)을 노출시키는 드레인콘택홀(107d)을 갖는 평탄화막(110)이 형성되어 있다.A
이 때, 소스 및 드레인전극(107a, 107b)과 이들 전극가 각각 접속하는 소스 및 드레인영역(103b, 103c)을 포함하는 반도체층(103)과, 반도체층(103)상부에 형성된 게이트절연막(104) 및 게이트전극(105)은 구동 박막트랜지스터(DTr)을 이루게 된다.At this time, the
한편, 도시하지는 않았지만, 게이트배선(미도시)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 데이터배선(미도시)이 형성되어 있다. 그리고, 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 구동 박막트랜지스터(DTr)와 동일한 구조로, 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결된다.Although not shown, a data line (not shown) is formed which crosses the gate line (not shown) and defines the pixel region P. The switching thin film transistor (not shown) has the same structure as the driving thin film transistor DTr and is connected to the driving thin film transistor DTr.
그리고, 평탄화막(110) 상부의 비발광영역에 격벽(117)이 형성되어 있다. 이 때 격벽(117)은 감광성 유기절연물질, 특히 네가티브 타입의 감광성 유기절연물질을 도포하고 이를 노광 마스크를 이용한 노광 및 현상 공정을 진행하여 패터닝함으로써 역테이퍼 형태로 형성된다.A
이어서, 실질적으로 화상을 표시하는 화소영역(P)에 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(107b)과 연결되는 제1전극(111)이 화소영역(P) 각각에 형성되어 있다. Subsequently, a
여기서, 제1전극(111)은 이중층 구조로서 상부층(111b)은 애노드전극의 역할을 하며, 하부층(111a)은 반사판의 역할을 하도록 형성할 수 있으며, 하부층(1111a)을 생략하는 것도 가능할 것이다.Here, the
즉, 제1전극(111)의 상부층(111b)은 애노드전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지고 있으며, 상기 제1전극(111)의 하부층(111a)은 알류미늄(Al), 은(Ag), 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금(Mo alloy), 티타늄(Ti), 티타늄 합금(Ti alloy), 크롬(Cr), 크롬합금(Cr alloy) 중 하나의 금속으로 선택되어 이루어져 상기 제1전극(111) 상부에 형성되는 유기발광층(112)으로부터 발광된 빛을 상부로 반사시켜 재활용함으로서 발광효율을 향상시키는 역할을 하게 된다.That is, the
이 때, 하부층(111a)은 격벽(117)의 역테이퍼 형태에 의해 금속물질의 특성상 연속적으로 형성 되지 않고, 상부층(111b)는 격벽(117)의 역테이퍼 형태에 상관없이 투명 도전성 물질의 특성상 격벽(117)의 측면을 따라 연속적으로 형성된다. 즉, 상부층(111b)은 격벽(117)을 완전히 덮으며 형성되어 격벽(117)주변에는 보조전극(119)이 형성된다.In this case, the
그리고, 각 화소영역(P) 별로 형성된 제1전극(111)사이에는 뱅크(bank : 115)가 형성된다. 뱅크(115)는 각 화소영역(P) 별 경계부(비발광영역)로 하여 제1전극(111)이 화소영역(P)별로 분리된 구조로 형성된다.A bank (bank) 115 is formed between the
또한, 비발광영역에 형성된 격벽(117)의 측면으로 소정폭 이격하여 뱅크(115)가 형성된다.In addition, the
이에 따라, 뱅크(115)와 격벽(117) 사이의 보조전극(119)과 화소영역(P)에 형성된 제1전극(111)이 전기적으로 분리된다. The
그리고, 뱅크(115)와 격벽(117), 그리고 제1전극(111), 보조전극(119)을 포함하는 제1기판(102) 상부에는 유기발광층(112)이 형성되어 있다.An organic
여기서, 유기발광층(112)은 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(Hole injection layer), 전공수송층(Hole transport layer), 발광층(Emitting material layer), 전자수송층(Electron transport layer), 및 전자주입층(Electron injection layer)의 다중층으로 구성될 수도 있다.Here, the organic
이러한 유기발광층(112)은 적, 녹, 청 또는 백, 적, 녹 청색의 색을 표현하게 되는데, 일반적인 방법으로는 각 화소영역(P)마다 백, 적, 녹, 청색을 발광하는 별도의 유기물질을 패턴하여 사용한다.The organic
한편, 유기발광층(112)을 형성하는 과정 전 또는 이를 형성하는 과정에서 이물(123)이 화소영역(P)내의 제1전극(111) 상에 위치하게 된 경우, 유기발광층(112)을 프린팅방식(printing type)의 잉크젯 또는 노즐 코팅으로 형성하게 되는데, 이에 따라 유기발광층(112)이 이물(123)의 하부측면을 감싸며 형성된다. When the
즉, 유기발광층(112)을 잉크젯 또는 노즐 코팅으로 형성함으로 인하여, 유기물을 코팅하기 이전까지 유기물이 갖는 잉크 점도에 의해 이물(123)의 측면까지 고르게 퍼지며 형성되는 것이다. 따라서, 이물(123)에 의한 증착 불량으로 인해 제1전극(111)이 노출되는 것이 방지된다.That is, since the organic
그리고, 유기발광층(112)의 상부로는 표시영역 전면에 제2전극(113)이 형성되어 있다. 제2전극(113)은 이중층 구조로서 상부층(113b)은 보조배선(119)과 연결시켜주는 역할을 하며, 하부층(113a)은 캐소드 전극의 역할을 하도록 형성된다.A
즉, 제2전극(113)의 하부층(113a)은 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지고, 제2전극(113)의 상부층(113b)은 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 형성하여 제2전극(113)을 이루도록 한다.That is, the
이 때, 제2전극(113)의 하부층(113a)은 금속물질의 특성상 격벽(117)과 이물(123)간 연속적이지 않게 형성되고, 제2전극(113)의 상부층(113b)은 투명 도전성 물질의 특성상 연속적으로 형성된다.In this case, the
한편, 제2전극(113)을 단일층 구조가 아닌 이중층 구조로 형성하는 것은 제2전극(113)이 투명한 상태가 되도록 매우 얇게 박막형태로 형성되고, 이에 제2전극(113)을 이루는 금속의 특성상 매우 얇은 박막형태에서는 자체저항이 매우 높아지므로 자체저항을 낮추기 위해 보조전극(119)과 접촉을 해야 하기 때문이다.On the other hand, the
만일, 단일층으로 제2전극(113)을 형성할 경우 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg)의 물질 특성상 격벽(117) 측면을 따라 형성되지 못하여 보조전극과(119)와 접촉되지 않는 문제점이 발생한다. If the
따라서, 본 발명은 제2전극(113)을 이중층 구조로서 하부층(113a)과 보조배선(119)을 연결시키기 위한 상부층(113b)을 포함하며, 상부층(113a)의 물질 특성으로 기판 전면에 연속적으로 형성되어, 격벽(119) 측면을 따라 형성된 보조배선(119)과 접촉하여 제2전극(113)의 저항이 감소하게 된다. Therefore, the present invention includes an
그리고, 제2전극(113)상부에 보호층(120)이 구비되고, 제2기판(130)을 통해 인켑슐레이션(Encapsulation)된다.
A
본 발명의 유기발광다이오드소자(100)는 제2전극을 이중층 구조로 하부층은 캐소드 역할을 하는 금속층, 상부층은 보조배선과 하부층을 연결시키는 투명 도전 물질로 형성하는 것으로 제2전극과 보조배선을 연결시켜 제2전극의 저항을 낮출 수 있는 효과를 가질 수 있다. 또한, 이물에 의해 제1전극과 제2전극이 접촉하여 쇼트가 되는 문제점을, 유기발광층(112)을 프린팅방식(printing type)의 잉크젯 또는 노즐코팅으로 형성함으로써 방지하는 효과를 가질 수 있다.
In the organic light emitting
이하, 전술한 구조를 갖는 본 발명의 유기발광다이오드소자의 제조방법에 대해 설명한다. 이 때, 본 발명의 특징적인 부분은 유기발광다이오드(114)에 있는바, 이의 제조방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the organic light emitting diode device of the present invention having the above-described structure will be described. At this time, a characteristic portion of the present invention is present in the organic light emitting diode 114, and a manufacturing method thereof will be described.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명에 따른 유기발광다이오드의 하나의 화소영역에 대한 제조 단계별 공정 단면도이다. 이 때, 화소영역은 유기발광층 형성 전에 제1전극 위로 이물이 부착된 부분을 포함하는 것을 일례로 나타내었다.4A to 4F are cross-sectional views illustrating an organic light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention. In this case, the pixel region includes a portion where foreign substances are deposited on the first electrode before forming the organic light emitting layer.
우선 도 4a에 도시한 바와 같이, 제1기판(102) 상에 구동 트랜지스터(도 3의 DTr)가 형성되고, 구동 트랜지스터(도 3의 DTr)의 상부에 평탄화막(110)이 형성된 기판 상부에 감광성 유기절연물질 특히 빛을 받으면 현상 시 남게되는 특성을 갖는 네가티브 타입(negative type)의 감광성 유기절연물질을 도포하고, 이를 노광 마스크를 이용한 노광 및 현상 공정을 진행하여 패터닝함으로써 격벽(117)을 형성한다.As shown in Fig. 4A, a driving transistor (DTr in Fig. 3) is formed on the
이 때, 네가티브 특성을 갖는 감광성의 유기절연물질을 노광 마스크를 이용하여 노광하고 현상하여 그 단면구조가 도시한 바와 같이 역테이퍼 형태를 갖도록 한다. 이는 네가티브 특성 상 빛을 받는 부분이 현상 시 남게되며, 빛은 유기절연물질층의 표면이 그 시간적으로 많이 받고, 그 두께에 비례하여 기판에 인접하는 부분에 대해서는 자체의 투과율 등에 의해 상대적으로 빛을 적게 받게 된다. 따라서, 그 빛이 입사가 시작되는 표면에서 가장 빛에 대한 반응이 잘 일어나게 되며, 기판에 인접한 부분에 있어서는 상대적으로 빛량이 모자라게 되어, 현상 시 그 단면이 역테이퍼 형태를 갖는 격벽(117)이 형성되게 된다.At this time, the photosensitive organic insulating material having negative characteristics is exposed and developed using an exposure mask, so that the cross-sectional structure thereof has an inverted taper shape as shown in the figure. The portion of the organic insulating material layer that is exposed to the light due to the negative characteristics is left in the developing state and the light has a relatively large amount of time in the surface of the organic insulating material layer and relatively light due to its transmittance or the like Less. Accordingly, the light is most likely to react with the light on the surface where the light starts to enter, and the light amount is relatively small in the portion adjacent to the substrate, so that the
다음, 도 4b에 도시한 바와 같이, 격벽(117)이 형성된 평탄화막(110) 상부로 알루미늄(Al), 은(Ag), 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금(Mo alloy), 티타늄(Ti), 티타늄 합금(Ti alloy), 크롬(Cr), 크롬 합금(Cr alloy) 중 하나의 금속을 선택하여 제1금속층(미도시)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 4B, aluminum (Al), silver (Ag), molybdenum (Mo), molybdenum alloy (Mo alloy), titanium (Ti) A first metal layer (not shown) is formed by selecting one of a titanium alloy, a chromium (Cr) alloy, and a chromium alloy (Cr alloy).
그리고, 제1금속층(미도시) 상부로 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 증착하여 제2금속층(미도시)을 형성한다.A second metal layer (not shown) is formed by depositing a transparent conductive material having a relatively large work function value such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO) on the first metal layer .
이 때, 역테이퍼 형태의 격벽(117)에 의해 제1금속층(미도시)은 물질의 특성상 격벽(117) 측면으로는 증착이 되지 않고 평탄화막(110) 상부와 격벽(117) 상부에 증착이 이루어 지게 된다. 한편, 제2금속층(미도시)은 물질의 특성상 격벽(117)을 덮으며 평탄화막(110) 전면에 증착이 이루어 지게 된다.At this time, the first metal layer (not shown) is not deposited on the side of the
다음, 제1 및 제2금속층을 패턴하여, 각 화소영역(P)에 하부층(111a)과 상부층(111b)으로 이루어지는 제1전극(111)을 형성하고, 격벽(117)을 덮는 보조전극(119)을 형성한다.Next, the first and second metal layers are patterned to form a
그리고, 제1전극(111)과 보조전극(119)사이에는 평탄화막(110)이 노출되는 뱅크영역(115a)이 정의된다. 즉, 뱅크영역(115a)은 화소영역(P)과 화소영역(P)별 경계부(비발광영역)사이 공간에 대응된다.Between the
이 때, 뱅크영역(115a)을 통해 화소영역(P)의 제1 및 제2금속층(111a, 111b)과, 뱅크영역(115a)과 격벽(117)양측의 제1 및 제2금속층(111a, 111b)이 전기적으로 연결되지 않은 상태가 된다.The first and
다음, 도 4c에 도시한 바와 같이, 뱅크영역(115a)에 투명한 유기절연물질 예를들면 폴리이미드(polyimide), 포토아크릴(photo acryl), 벤조사이클로뷰텐(BCB) 중 어느 하나를 이용하여 뱅크(115)를 형성한다. 또는 블랙을 나타내는 물질 예를 들면 블랙수지로 뱅크(115)를 형성할 수도 있다.Next, as shown in FIG. 4C, a bank (not shown) is formed by using any one of transparent organic insulating materials such as polyimide, photo acryl, and benzocyclobutene (BCB) in the bank region 115a 115). Alternatively, the
한편, 격벽(117)은 제1전극의 형성 전, 즉 뱅크(115)형성 전에 형성되어야 하는데, 만약 뱅크(115)를 형성하는 공정에서 격벽(117)을 형성하게 될 경우 보조전극(119)이 형성된 상태에서 격벽(117)이 형성되므로, 보조전극(119)은 후술하는 유기발광층(112)으로 인하여 완전히 덮여버리게 되어, 보조전극(119)으로서 사용할 수가 없게 된다.If the
다음, 도 4d에 도시한 바와 같이, 제1전극(111)과 보조전극(119), 격벽(117)이 형성된 평탄화막(110) 상에 액상 타입의 유기발광물질을 잉크젯 또는 노즐 코팅을 실시하여 유기발광층(112)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 4D, a liquid type organic light emitting material is coated on the
이 때, 유기발광층(112)은 그 물질을 달리함으로써 각 화소영역(P)별로 순차 반복하는 적, 녹, 청색을 발광하도록 형성할 수 있다. 또한 백색을 추가하여 발광하도록 형성할 수 있다. 그리고, 도면에 나타나지 않았지만, 유기발광층(112)은 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(Hole injection layer), 전공수송층(Hole transport layer), 발광층(Emitting material layer), 전자수송층(Electron transport layer), 및 전자주입층(Electron injection layer)의 다중층으로 형성할 수도 있다.At this time, the organic
한편, 유기발광층(112)을 형성하는 과정 전 또는 이를 형성하는 과정에서 이물(123)이 화소영역(P)내의 제1전극(111)상에 위치하게 된 경우, 유기발광층(112)을 프린팅방식(printing type)의 잉크젯 또는 노즐 코팅으로 형성하게 되는데, 이에 따라 유기발광층(112)이 이물(123)의 하부측면을 감싸며 형성된다. When the
즉, 유기발광층(112)을 잉크젯 또는 노즐 코팅으로 형성함으로 인하여, 유기물을 코팅하기 이전까지 유기물이 갖는 잉크 점도에 의해 이물(123)의 측면까지 고르게 퍼지며 형성되는 것이다.That is, since the organic
그러나, 유기발광층(112)이 다중층으로 구성 될 때 프린팅방식의 잉크젯 또는 노즐코팅으로 각 층 모두를 형성하는 것은 공정의 비용을 상승 시키는 요인이 될 수 있으므로, 정공주입층(hole injection layer)만 프린팅방식의 잉크젯 또는 노즐코팅으로 형성하여, 이물(123)의 하부측면을 감싸는 형태로 형성하고, 이후 정공수송층(hole transporting layer), 발광층(Emitting material layer), 전자수송층(Electron transport layer), 및 전자주입층(Electron injection layer)을 쉐도우 마스크방식의 예를들어 FMM(fine metal mask)나 레이저방식(laser transfer)으로 형성하여 공정비용의 상승을 억제할 수 있을 것이다.However, when the organic
다음, 도 4e에 도시한 바와 같이, 유기발광층(112)이 상부에 대해 일함수가 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질을 증착함으로써 역테이퍼 형태의 격벽(117)에 의해 자동적으로 각 화소영역(P)별로 분리 되는 제2전극(113)의 하부층(113a)을 형성한다.4E, the organic
다음, 도 4f에 도시한 바와 같이 하부층(113a)상부에 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 증착하여 제2전극(113)의 상부층(113b)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 4F, a transparent conductive material such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO) having a relatively large work function value is deposited on the
이에 따라, 격벽(117) 측면으로 형성된 보조전극(119)과 제2전극(113)의 상부층(113b)과 전기적으로 연결되고, 제2전극(113)의 면적이 증가하게 되어, 제2전극(113)을 이루는 물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg)의 저항을 낮출 수 있는 효과를 가지게 된다.As a result, the
또한, 이물(123) 및 격벽(117)에 의해 연속적이지 않았던 제2전극(113)의 하부층(113b)이 상부층(113a)으로 인하여 전기적으로 연결된다. The
한편, 도 3를 참조하면, 전술한 바와 같이 제조된 유기발광다이오드소자는 일반적인 제조 방법 즉 투명한 절연기판(102) 상에 액티브영역(103a)과 소스 및 드레인영역(103b, 103c)의 반도체층(103)을 형성하는 단계와, 게이트절연막(104)을 형성하는 단계, 게이트배선(미도시) 및 게이트전극(105)을 형성하는 단계와, 상기 게이트절연막(104) 위로 반도체층(103)의 액티브영역(103a)에 대응하여 게이트전극(105)과 게이트배선(미도시)을 형성하는 단계와, 게이트전극(105) 및 게이트배선(미도시) 상부 전면으로 층간절연막(109)을 형성하고, 반도체층(103)의 소스 및 드레인영역(103b, 103c)를 노출시켜 콘택홀(107c)을 형성하는 단계와, 콘택홀(107c)을 포함하는 층간절연막(109)상부에 소스 및 드레인전극(107a, 107b)를 형성함으로써 구동 및 스위칭 소자의 역할을 하는 박막트랜지스터(Tr)를 완성하고, 드레인전극(107b)을 노출시키는 드레인콘택홀(107d)을 갖는 평탄화막(110)을 형성한 후, 평탄화막(110) 상부로, 유기발광다이오드를 형성함으로써 유기발광다이오드소자를 완성할 수 있다.
Referring to FIG. 3, the organic light emitting diode device fabricated as described above is fabricated by a general manufacturing method, that is, an
110 : 평탄화막 111 : 제1전극
111a : 제1전극의 하부층 111b : 제1전극의 상부층
112 : 유기발광층 113 : 제2전극
113a : 제2전극의 하부층 113b : 제2전극의 상부층
114 : 유기발광다이오드 115 : 뱅크
117 : 격벽 119 : 보조전극
123 : 이물 P : 화소영역110: planarization film 111: first electrode
111a: lower layer of the
112: organic light emitting layer 113: second electrode
113a: lower layer of the
114: organic light emitting diode 115: bank
117: barrier rib 119: auxiliary electrode
123: foreign substance P: pixel region
Claims (13)
상기 격벽이 형성된 상기 기판 상에 제1전극을 형성하는 단계와;
상기 격벽을 덮는 보조전극과, 상기 표시영역에 상기 보조전극과 이격하는 제1전극을 형성하는 단계와;
상기 보조전극과 상기 제1전극 사이에 상기 표시영역을 둘러싸는 형태로 뱅크를 형성하는 단계와;
상기 격벽의 측면에 형성된 상기 보조전극을 노출시키고, 상기 제1전극을 덮는 유기발광층을 형성하는 단계와;
상기 유기발광층을 덮으며 상기 노출된 보조전극과 접촉하는 제2전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광다이오드소자의 제조방법.
Forming a barrier rib on the boundary of the display area of the substrate on which the display area is defined;
Forming a first electrode on the substrate on which the barrier rib is formed;
Forming an auxiliary electrode covering the barrier rib and a first electrode spaced apart from the auxiliary electrode in the display region;
Forming a bank between the auxiliary electrode and the first electrode to surround the display region;
Exposing the auxiliary electrode formed on a side surface of the barrier rib and forming an organic light emitting layer covering the first electrode;
And forming a second electrode covering the organic light emitting layer and contacting the exposed auxiliary electrode.
상기 격벽은 역테이퍼 형상인 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드소자의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the barrier ribs are reverse tapered.
상기 보조전극과 상기 제1전극을 형성하는 단계는;
상기 제1기판 상에 알루미늄, 은, 몰리브덴, 몰리브덴 합금, 티타늄, 티타늄 합금, 크롬, 크롬 합금 중 하나를 선택하여 제1금속층을 형성하는 단계와;
상기 제1금속층 상부에 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 증착하여 제2금속층을 형성하는 단계와;
상기 제1 및 제2금속층을 패터닝하여 상기 보조전극과 제1전극을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 제2금속층은 상기 격벽을 완전히 덮는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드소자의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein forming the auxiliary electrode and the first electrode comprises:
Forming a first metal layer on the first substrate by selecting one of aluminum, silver, molybdenum, molybdenum alloy, titanium, titanium alloy, chromium, and chromium alloy;
Depositing indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO) on the first metal layer to form a second metal layer;
And patterning the first and second metal layers to form the auxiliary electrode and the first electrode,
Wherein the second metal layer completely covers the barrier ribs.
상기 제1전극의 하부층은 반사판의 역할을 하고, 상기 제1전극의 상부층은 양극(anode)의 역할을 하는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드소자의 제조방법.
The method of claim 3,
Wherein the lower layer of the first electrode serves as a reflector and the upper layer of the first electrode serves as an anode.
상기 유기발광층을 형성하는 단계는,
액상타입의 유기발광물질을 잉크젯 또는 노즐 코팅 공정에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드소자의 제조방법.
The method according to claim 1,
The forming of the organic light-
Characterized in that a liquid type organic light emitting material is formed by an ink jet or nozzle coating process.
상기 유기발광층을 형성하는 단계는,
상기 잉크젯 또는 노즐 코팅 공정에 의해 전공주입층을 형성하는 단계와;
쉐도우 마스크 또는 레이저 공정 중 어느 하나를 사용하여 상기 전공주입층 상부로 전공수송층, 발광층, 전자수송층, 전자주입층을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광다이오드소자의 제조방법.
6. The method of claim 5,
The forming of the organic light-
Forming a major injection layer by the ink jet or nozzle coating process;
Forming an electron transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer on top of the major injection layer by using any one of a shadow mask and a laser process.
상기 제2전극을 형성하는 단계는,
상기 유기발광층 상부에 알루미늄, 알루미늄 합금, 은, 마그네슘, 금, 알루미늄마그네슘 합금 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질을 증착하여 제3금속층을 형성하는 단계와;
상기 제3금속층 상부에 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 증착하여 제4금속층을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광다이오드소자의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein forming the second electrode comprises:
Depositing at least one of aluminum, aluminum alloy, silver, magnesium, gold, and aluminum magnesium alloy on the organic light emitting layer to form a third metal layer;
And depositing indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO) on the third metal layer to form a fourth metal layer.
상기 제4금속층은 상기 격벽을 완전히 덮도록 형성되어, 상기 보조전극과 연결되는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드소자의 제조방법.
8. The method of claim 7,
Wherein the fourth metal layer is formed to completely cover the barrier rib and is connected to the auxiliary electrode.
상기 기판의 상기 표시영역에 형성된 제1전극과;
상기 격벽을 덮으며 상기 제1전극과 이격된 보조전극과;
상기 격벽의 측면에 형성된 보조전극을 노출시키고, 상기 제1전극을 덮도록 형성되는 유기발광층과;
상기 유기발광층을 덮으며 상기 노출된 보조전극과 접촉하도록 형성된 제2전극을 포함하는 유기발광다이오드소자.
A barrier rib formed on the display region boundary on a substrate on which a display region is defined;
A first electrode formed on the display region of the substrate;
An auxiliary electrode covering the barrier rib and spaced apart from the first electrode;
An organic light emitting layer formed on the side surface of the barrier rib to expose the auxiliary electrode and cover the first electrode;
And a second electrode covering the organic light emitting layer and contacting the exposed auxiliary electrode.
상기 격벽은 역테이퍼 형상인 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드소자.
10. The method of claim 9,
Wherein the barrier ribs are reverse tapered.
상기 보조전극과 제1전극 각각은 제1금속층과 상기 제1금속층 상부에 제2금속층으로 이루어지며,
상기 제1금속층은 알루미늄, 은, 몰리브덴, 몰리브덴 합금, 티타늄, 티타늄 합금, 크롬, 크롬 합금 중 어느 하나로 이루어지고,
상기 제2금속층은 인듐-틴-옥사이드(ITO), 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 어느 하나로 이루어지며,
상기 보조전극의 상기 제2금속층은 상기 격벽을 완전히 덮으며 형성되는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드소자.
10. The method of claim 9,
Wherein the auxiliary electrode and the first electrode each comprise a first metal layer and a second metal layer over the first metal layer,
Wherein the first metal layer is made of any one of aluminum, silver, molybdenum, molybdenum alloy, titanium, titanium alloy, chromium, and chromium alloy,
The second metal layer is made of any one of indium-tin-oxide (ITO) and indium-zinc-oxide (IZO)
And the second metal layer of the auxiliary electrode completely covers the barrier ribs.
상기 제2전극은 제3금속층과 상기 제3금속층 상부에 제4금속층으로 이루어지는 것을 특징으로 하며,
상기 제3금속층은 알루미늄, 알루미늄 합금, 은, 마그네슘, 금, 알루미늄마그네슘 합금 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질을 증착하여 형성되는 것을 특징으로 하며,
상기 제4금속층은 인듐-틴-옥사이드(ITO), 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드소자.
10. The method of claim 9,
Wherein the second electrode comprises a third metal layer and a fourth metal layer over the third metal layer,
Wherein the third metal layer is formed by depositing one or more of aluminum, an aluminum alloy, silver, magnesium, gold, and an aluminum magnesium alloy,
Wherein the fourth metal layer is made of any one of indium-tin-oxide (ITO) and indium-zinc-oxide (IZO).
상기 제4금속층은 상기 격벽을 완전히 덮도록 형성되어, 상기 격벽의 측면에서 상기 보조전극과 연결되는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드소자.13. The method of claim 12,
Wherein the fourth metal layer is formed so as to completely cover the barrier ribs and is connected to the auxiliary electrode at a side of the barrier rib.
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