KR20150018523A - 검사 알고리즘 및 필터에 대한 시각적 피드백 - Google Patents

검사 알고리즘 및 필터에 대한 시각적 피드백 Download PDF

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Abstract

본 발명은 검사 시스템에서 테스트 영상과 기준 영상을 처리하기 위해 사용되는 검사 알고리즘(inspection algorithm) 및 차분 필터(difference filter)에 대한 시각적 피드백을 제공하기 위한 것이다. 사용자 인터페이스는 정보를 표시하고 사용자 커맨드를 접수하도록 구성될 수 있다. 사용자 인터페이스에 통신가능하게 결합된 컴퓨팅 시스템은 검사 시스템에 의해 수집된 적어도 한 세트의 테스트 및 기준 영상을 수신하도록 구성될 수 있다. 컴퓨팅 시스템은 또한 검사 알고리즘 및/또는 차분 필터의 효과를 보여주기 위해 사용자 인터페이스를 통해 테스트 및 기준 영상의 적어도 하나의 시각적 표현을 제공하도록 구성될 수 있다.

Description

검사 알고리즘 및 필터에 대한 시각적 피드백{VISUAL FEEDBACK FOR INSPECTION ALGORITHMS AND FILTERS}
<우선권>
본 출원은 현재 동시 계속 중이거나 현재 동시 계속 중인 출원이 그 출원일의 이익을 누릴 권리가 있는 출원에 해당하는, 2012년 5월 8일 Hucheng Lee 등에 의해 출원된 "DIFF FILTER AND GENRALIZED MDAT SETUP UI DESIGN"이란 명칭의 미국 가출원 번호 61/644,026의 우선권을 주장한다.
<기술 분야>
본 발명은 일반적으로 검사 시스템의 분야에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 검사 시스템이 수집한 테스트 영상과 기준 영상을 처리하기 위해 사용하는 검사 알고리즘 및/또는 필터에 대한 시각적 피드백을 제공하는 것에 관한 것이다.
반도체 제조는 좀 더 소형화되고 보다 복잡하게 생산되고 있다. 엄격한 사양을 구현하기 위해서는, 반도체 제조 공정 이전, 사이 및/또는 이후의 다양한 단계에서 검사 시스템을 사용할 수 있다. 위의 단계 중 하나에서, 명시야(brightfield) 검사 시스템, 암시야(darkfield) 검사 시스템, 전자 빔(e-Beam) 검사 시스템 등의 검사 시스템을 사용하여 테스트 샘플에서 하나 이상의 결함을 검출하고 특징지을 수 있다.
검사 시스템은 샘플의 테스트 및 기준 영상을 수집한 다음 분석하여 샘플 결함을 검출하도록 구성될 수 있다. 선택된 검사 알고리즘을 이용하여 테스트 및 기준 영상을 필터링하거나 처리하여 결함 검출 및 분리를 개선할 수 있다. 그러나 처리된 테스트 영상 및 기준 영상에 대한 선택된 필터 또는 검사 알고리즘의 효과를 직접적으로 관찰할 수 없기 때문에, 차분 필터 및 검사 알고리즘 설정 및 평가가 어려워질 수 있다. 애플리케이션 엔지니어 및 고객은 이러한 어려움 때문에 적절한 설정을 확인하는 데 있어 차분 필터의 사용이나 검사 알고리즘 설정 변경을 회피하는 경향이 있다.
본 발명은 검사 시스템이 수집한 적어도 한 세트의 테스트 및 기준 영상(이하, "샘플 영상") 에 대한, 선택된 차분 필터 또는 검사 알고리즘의 효과와 관련한 시각적 피드백을 제공하는 것을 목적으로 한다. 시각적 피드백은 결함 검출 및 분리를 개선하기 위한 차분 필터 및/또는 검사 알고리즘 설정을 선택가능하게 할 수 있다.
일 양태에 따르면, 본 발명은 적어도 한 세트의 샘플 영상을 처리하기 위한 시스템에 관한 것이다. 이 시스템은 정보를 표시하고 사용자 커맨드를 접수하도록 구성된 사용자 인터페이스와 이 사용자 인터페이스에 통신가능하게 결합된 컴퓨팅 시스템을 포함할 수 있다. 컴퓨팅 시스템은 적어도 한 세트의 샘플 영상을 수신하도록 구성될 수 있다. 컴퓨팅 시스템은 또한 선택된 검사 알고리즘 및/또는 선택된 차분 필터를 사용하여 샘플 영상을 처리하도록 구성될 수 있다. 컴퓨팅 시스템은 또한 샘플 영상의 적어도 하나의 시각적 표현을 사용자 인터페이스를 통하여 제공하도록 구성될 수 있다. 이 시각적 표현은, 샘플의 적어도 하나의 결함의 극성(polarity)을 식별하기 위해 픽셀에서 값을 갖는 부호있는 차분 영상(signed difference image)과, 원본 차분 영상과 필터링된 차분 영상의 사이드 바이 사이드 뷰(side-by-side view)와, 샘플의 적어도 하나의 결함과 연관된 하나 이상의 픽셀을 선택하도록 구성된 커서(cursor)와, 검사 알고리즘을 이용하여 생성된 이진 산점도(binary scatter plot) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
다른 양태에 따르면, 본 발명은 검사 시스템으로부터 수신된 적어도 한 세트의 샘플 영상을 처리하기 위한 시스템에 관한 것이다. 시스템은 검사 시스템, 사용자 인터페이스 및 컴퓨팅 시스템을 포함할 수 있다. 사용자 인터페이스는 정보를 표시하고 사용자 커맨드를 접수하도록 구성될 수 있다. 검사 시스템은 적어도 한 세트의 샘플 영상을 수집하도록 구성될 수 있다. 컴퓨팅 시스템은 사용자 인터페이스 및 검사 시스템에 통신가능하게 결합될 수 있다. 컴퓨팅 시스템은 검사 시스템으로부터 샘플 영상을 수신하도록 구성될 수 있다. 컴퓨팅 시스템은 또한 선택된 검사 알고리즘 및/또는 선택된 차분 필터를 사용하여 샘플 영상을 처리하도록 구성될 수 있다. 컴퓨팅 시스템은 또한 사용자 인터페이스를 통하여 샘플 영상의 적어도 하나의 시각적 표현을 제공하도록 구성될 수 있다. 상기 시각적 표현은, 샘플의 적어도 하나의 결함의 극성을 식별하기 위해 픽셀에서 값을 갖는 부호있는 차분 영상과, 원본 차분 영상과 필터링된 차분 영상의 사이드 바이 사이드 뷰와, 샘플의 적어도 하나의 결함과 연관된 하나 이상의 픽셀을 선택하도록 구성된 커서와, 검사 알고리즘을 이용하여 생성된 이진 산점도 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
다른 양태에 따르면, 본 발명은 적어도 한 세트의 샘플 영상을 처리하는 방법에 관한 것으로, 상기 방법은 검사 시스템을 사용하여 수집된 적어도 한 세트의 샘플 영상을 수신하는 단계와, 상기 샘플 영상을 선택된 검사 알고리즘 및/또는 선택된 차분 필터를 이용하여 처리하는 단계와, 사용자 인터페이스를 통해 상기 샘플 영상의 적어도 하나의 시각적 표현을 제공하는 단계를 포함한다. 상기 시각적 표현은, 샘플의 적어도 하나의 결함의 극성을 식별하기 위해 픽셀에서 값을 갖는 부호있는 차분 영상과, 원본 차분 영상과 필터링된 차분 영상의 사이드 바이 사이드 뷰와, 샘플의 적어도 하나의 결함과 연관된 하나 이상의 픽셀을 선택하도록 구성된 커서와, 검사 알고리즘을 이용하여 생성된 이진 산점도 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
전술한 개요 및 다음의 상세한 설명은 예시적 설명을 위한 것일 뿐 반드시 본 발명을 제한하려는 의도는 아님을 알아야 할 것이다. 첨부 도면은 본 명세서에 포함되고 명세서의 일부를 구성하며, 발명의 주제를 설명한다. 이와 함께, 상세한 설명 및 도면은 본 발명의 원리를 설명하기 위한 것이다.
본 발명의 여러 장점들은 첨부된 도면을 참조함으로써 당업자에게 좀 더 잘 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른, 적어도 한 세트의 샘플 영상을 처리하기 위한 시스템을 도시하는 블록도이고,
도 2a는 본 발명의 실시예에 따른, 그래픽 사용자 인터페이스를 개념적으로 도시한 도면이며,
도 2b는 본 발명의 실시예에 따른, 그래픽 사용자 인터페이스를 개념적으로 도시한 것으로, 복수의 차분 필터 템플릿이 표시되어 있는 도면이고,
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른, 적어도 한 세트의 샘플 영상의 시각적 표현을 개념적으로 도시한 것으로, 상기 시각적 표현이 부호있는 차분 영상을 포함하고 있는 도면이며,
도 3b는 본 발명의 실시예에 따른, 적어도 한 세트의 샘플 영상의 시각적 표현을 개념적으로 도시한 것으로, 상기 시각적 표현이 적어도 하나의 원본 차분 영상과 적어도 하나의 필터링된 차분 영상을 포함하고 있는 도면이고,
도 3c는 본 발명의 실시예에 따른, 적어도 한 세트의 샘플 영상의 시각적 표현을 개념적으로 도시한 것으로, 상기 시각적 표현이 선택된 검사 알고리즘을 사용하여 생성된 적어도 하나의 이진 산점도(binary scatter plot)를 포함하고 있는 도면이며,
도 3d는 본 발명의 실시예에 따른, 적어도 한 세트의 샘플 영상의 시각적 표현을 개념적으로 도시한 것으로, 상기 시각적 표현이 선택된 y축 파라미터에 대응하여 분할된 적어도 하나의 이진 산점도를 포함하고 있는 도면이고,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른, 적어도 한 세트의 샘플 영상 처리 방법을 도시하는 흐름도이다.
이제, 첨부 도면에 도시되어 있는 본 발명의 주제를 상세하게 살펴보기로 한다.
도 1 내지 도 4는 적어도 하나의 샘플의 적어도 한 세트의 테스트 영상 및 기준 영상(이하, "샘플 영상")에 대한, 선택된 검사 알고리즘 및/또는 차분 필터의 효과에 관한 시각적 피드백을 제공하기 위한 시스템 및 방법을 일반적으로 도시한 도면이다. 샘플 영상은 명시야(brighfield), 암시야(dark field) 또는 전자 빔(e-Beam) 검사 시스템 등의 검사 시스템에 의해 수집될 수 있지만, 이들에 국한되는 것은 아니다. 사용자 인터페이스를 통해 샘플 영상의 시각적 표현을 관찰할 수 있으며, 다양한 필터, 알고리즘 및/또는 표시 옵션을 조작할 수 있어, 결함의 검출 및/또는 분리 능력을 개선할 수 있다. 검사 알고리즘 설정 및/또는 차분 필터 템플릿은 관찰된 시각적 표현에 기초하여 선택될 수 있다. 다음의 실시예들에서는 전술한 원리를 보다 상세하게 설명한다.
본 발명 전반에 걸쳐 사용되는 용어 "샘플"은 일반적으로 패턴화된 또는 비패턴화 웨이퍼를 언급한다. 그러나, 일부 실시예에서 샘플은 하드 디스크 드라이브(HDD)와 같은 저장 매체의 적어도 일부를 포함할 수 있지만, 이에 국한되는 것은 아니다. 일부 실시예에서, 샘플은 단결정 실리콘, 갈륨 비소 및 인듐 인화물 등의 반도체 또는 비반도체 재료로 형성된 기판을 포함할 수 있지만 이들에 국한되는 것은 아니다. 일부 실시예에서는 샘플은 또한 레지스트, 유전체 재료, 도전성 재료 또는 반도체성 재료 등의 기판 상에 형성된 하나 이상의 층(layers)을 포함할 수 있지만 이들에 국한되는 것은 아니다. 많은 다른 유형의 기판, 샘플 계층 및 저장 매체가 해당 분야에 공지되어있다. 따라서, 전술한 용어 "샘플"은 본 발명을 어떠한 방식으로든 제한하는 의미로 해석되어서는 안된다.
도 1은 선택된 검사 알고리즘 및/또는 차분 필터의 효과에 관한 시각적 피드백을 제공함으로써 샘플 영상을 처리하기 위한 시스템(100)의 실시예를 도시한다. 검사 시스템(102)은 샘플 스테이지(106) 위에 배치된 적어도 하나의 샘플(104)의 적어도 한 세트의 샘플 영상을 수집하도록 구성될 수 있다. 컴퓨팅 시스템(108)은 검사 시스템(102)에서 수집한 샘플 영상을 수신하도록 구성될 수 있다. 컴퓨팅 시스템(108)은 본 명세서에 개시된 하나 이상의 기능 또는 단계를 수행하도록 구성된 소프트웨어, 하드웨어, 및/또는 펌웨어의 임의의 조합을 포함할 수 있다. 실시예에서, 컴퓨팅 시스템(108)은 캐리어 매체(carrier media)(110)로부터의 프로그램 명령어(112)를 실행하도록 구성된 하나 이상의 프로세서를 포함할 수 있다.
컴퓨팅 시스템(108)는 정보를 표시 및/또는 사용자 커맨드를 접수하도록 구성된 사용자 인터페이스(114)에 결합될 수 있다. 사용자 인터페이스(114)는 그래픽 사용자 인터페이스 및 선택된 검사 알고리즘 및/또는 차분 필터에 의한 처리 이전 또는 처리 후의 샘플 영상의 시각적 표현을 제공하도록 구성된 LCD, LED, 플라즈마, CRT 또는 프로젝션 디스플레이 등의 적어도 하나의 표시 장치를 포함할 수 있지만, 이들에 국한되는 것은 아니다. 사용자 인터페이스(114)는 또한 사용자 커맨드, 요청, 선택 등을 접수하도록 구성된 키보드, 마우스, 버튼, 트랙볼, 다이얼, 터치 패드, 터치 스크린, 마이크로폰 등의 입력 장치를 포함할 수 있지만, 이들에 국한되는 것은 아니다.
일 실시예에서, 컴퓨팅 시스템(108)은 검사 시스템(102)에 통신가능하게 결합될 수 있다. 컴퓨팅 시스템(108)은 검사 시스템(102)으로부터 유선 또는 무선 데이터 접속(예를 들어, 직접 통신 링크, ad-hoc 통신 네트워크, LAN, WAN)을 통하여 전송된 샘플 영상을 수신하도록 구성될 수 있다. 다른 실시예에서, 검사 시스템(102)은 컴퓨팅 시스템(108)과 사용자 인터페이스(114)를 포함할 수 있다. 본 명세서에 설명된 컴퓨팅 시스템(108)과 사용자 인터페이스(114)의 기능은 검사 시스템(102)의 컴퓨팅 시스템(108)과 사용자 인터페이스(114)으로 통합될 수 있다. 다른 실시예에서, 컴퓨팅 시스템(108)과 사용자 인터페이스(114)가 검사 시스템(102)으로부터 분리될 수도 있다. 샘플 영상은 검사 시스템(102)으로부터 플래시 드라이브나 메모리 카드 등의, 하지만 이들에 한정되지는 않는 가반성(transpotable) 캐리어 매체로 다운로드될 수 있다. 컴퓨팅 시스템(108)은 처리 및 분석을 위해 가반성 캐리어 매체로부터 샘플 영상을 수신하도록 구성될 수 있다. 별도로 명시하지 않는 한, 컴퓨팅 시스템(108), 사용자 인터페이스(114), 및/또는 검사 시스템(102)에 대한 설명은 전술한 방식의 어느 것에도 적용될 것이다.
컴퓨팅 시스템(108)은 선택된 차분 필터를 이용하여 샘플 영상을 필터링하도록 구성될 수 있다. 실시예에서, 선택된 차분 필터는 복수의 차분 필터 템플릿 중에서 선택할 수 있다. 차분 필터 템플릿은 하이 패스, 로우 패스, 하이브리드, 협 대역, 수직 방향, 수평 방향, 및 다른 선택 방향 필터 등의 미리 정의된 필터를 포함할 수 있지만, 이들에 국한되는 것은 아니다. 어떤 실시예에서, 선택된 방향 필터와 같은 필터 템플릿은 웨이퍼 상의 스크래치 등과 같은 샘플(104)의 특정 결함도 검출할 수 있을 만큼 개선되었다. 차분 필터 템플릿은 또한 선택적으로 조절 가능한 파라미터를 갖는 맞춤형 또는 사용자 정의가능한 필터(customizable filter)를 포함할 수 있다. 컴퓨팅 시스템(108)은 또한 필터링된 및/또는 필터링되지 않은 차분 영상을 결함 검출을 위해 처리하기 위해, 검사 알고리즘을 다중 다이 적응적 문턱값(multiple die adaptive-thresholding: MDAT) 또는 일반화 MDAT 알고리즘에 적용하도록 구성할 수 있지만, 이에 국한되는 것은 아니다. 검사 알고리즘의 실시예들은 본 명세서에 참조로 병합된 미국 특허 제7440607호에 좀 더 상세히 기재되어 있다. 어떤 실시예에서, 컴퓨팅 시스템(108)은 또한 에너지 필터, IMX 필터 또는 퍼지 차분 필터를 사용하여 샘플 영상을 필터링하도록 구성할 수 있다.
도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 컴퓨팅 시스템(108)은 또한 사용자 인터페이스(114)의 표시부를 통해 복수의 사용자 옵션을 포함하는 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)(200)를 제공하도록 구성될 수 있다. GUI(200)는 사용자 선택가능한 복수의 모드(202), 영역(regions: 204), X축 파라미터(206), 및/또는 Y축 파라미터(208)를 포함할 수 있다. 도 2b에 도시된 바와 같이, GUI(200)는 또한 선택된 모드(210), 영역(212), X축 파라미터(214) 및/또는 Y축 파라미터 중 적어도 하나의 표시를 포함할 수 있다. GUI(200)는 또한 선택 가능한 복수의 필터 템플릿(216)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 선택된 X축 파라미터(214)가 차분 필터인 경우 GUI(200)는 선택가능한 복수의 차분 필터 템플릿(216)을 제공할 수 있다. 컴퓨팅 시스템(108)은 사용자 인터페이스(114)를 통해 사용자 선택을 수신하도록 구성되어 사용자가 GUI(200)와 상호 작용할 수 있게 한다. 다른 실시예에서, GUI(200)는 검사 시스템(102)의 GUI 내에 통합될 수 있다. 예를 들어, 검사 시스템의 광학 선택기는 GUI(200)를 포함할 수 있다.
도 3a 내지 도 3d는 선택한 검사 알고리즘 및/또는 차분 필터의 효과에 관한 시각적 피드백을 위해, 사용자 인터페이스(114)를 통해 제공될 수 있는 샘플 영상의 시각적 표현(300)을 도시한다. 어떤 실시예에서, 적어도 하나의 차분 영상을 샘플 영상으로부터 추출할 수 있다. 차분 영상은 샘플(104)의 테스트 및 기준 영상과의 비교에 기초하여 결정될 수 있다. 도 3a에 도시된 실시예에서, 시각적 표현(300)은 적어도 하나의 결함의 극성을 식별하기 위해 각 픽셀에 양수 또는 음수 값을 가진 적어도 하나의 부호있는 차분 영상((signed difference image, 302)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 부호있는 차분 영상(302A 또는 302B)은 각각 어두운 극성을 갖는 결함의 픽셀에서는 음의 값을 갖고 밝은 극성을 갖는 결함의 픽셀에서는 양의 값을 가질 수 있다.
시각적 표현(300)은 사용자 인터페이스(114)의 입력 장치를 통해 제어되는 커서(304)를 더 포함할 수 있다. 커서(304)는 샘플(104)의 적어도 하나의 결함과 관련된 하나 이상의 픽셀을 선택하도록 구성될 수 있다. 픽셀은 이러한 선택된 결함 또는 결함의 선택된 부분 등의 분석을 위한 관심 영역을 묘사(delineate)할 수 있다. 실시예에서, 하나의 검사 모드에 표시된 결함 픽셀의 위치가 다른 검사 모드에도 적용될 수 있다. 그러나, 잠재적 영상의 이동 및/또는 단계 정확성 때문에 사용자 인터페이스(114)를 통해서 보정이 허용될 수 있다.
또 다른 실시예에서, 신호 대 노이즈 비(SNR) 및/또는 결함의 절대차(|S-N|) 는 결함의 극성에 대한 정보를 이용하여 결정할 수 있다. 예를 들어, 결함을 중심으로 하여, 선택된 기준 그레이 레벨 중간값(selected reference median gray level) 또는 기준 거칠기의 또는 일반화 MDAT에 대한 해당 세그멘테이션 브레이크(segmentation breaks)의 디폴트 범위 또는 사용자 정의 범위(custom range) 내에서, SNR 또는 |S-N|을 계산하는데 결함과 동일한 극성을 갖는 노이즈를 사용할 수 있다. 또한, 반대 극성을 갖는 노이즈는 SNR 또는 |S-N| 결정에서 제외될 수 있다.
도 3b에 도시된 다른 실시예에서, 시각적 표현(300)은 적어도 하나의 원본 차분 영상(306)와 적어도 하나의 필터링된 차분 영상(308)의 사이드 바이 사이드 뷰를 포함할 수 있다. 차분 필터의 효과는 필터링되지 않은 차분 영상(306)과 필터링된 차분 영상(308)를 시각적으로 비교함으로써 확인할 수 있다. 도 3c에 도시된 다른 실시예에, 시각적 표현(300)은 선택된 검사 알고리즘을 이용하여 생성된 적어도 하나의 이진 산점도(310, 312)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 이진 산점도(310, 312)는 필터링된 또는 필터링되지 않은 차분 영상의 픽셀을 나타내는 복수의 마커(marker)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 각 마커는 차분 영상의 1 픽셀 또는 선택된 픽셀 수에 대응할 수 있다. X축은 선택된 차분 필터 또는 다른 선택된 필터에 대응할 수 있다. 일 실시예에서, 시각적 표현(300)은 또한 필터링되지 않은 차분 영상의 적어도 하나의 이진 산점도(310) 및 필터링된 차분 영상의 적어도 하나의 이진 산점도(312)의 사이드 바이 사이드 뷰를 포함할 수 있다. 사이드 바이 사이드 뷰는 시각적 비교를 가능하게 하여, 선택된 차분 필터를 이용하여 차분 영상을 필터링함으로써 생긴 결함(314) 검출 능력의 변화를 파악하는 것을 가능하게 할 수 있다.
일 실시예에서, 시각적 표현(300)은 또한 선택된 Y축 파라미터에 대응하여 분할된 적어도 하나의 이진 산점도(316, 318)를 포함할 수 있다. 선택된 Y축 파라미터는 중간값(median), 확장 중간값(dilated median) 또는 범위 기반의 분할(range based segmentation)을 포함할 수 있지만 이에 국한되는 것은 아니다. 일 실시예에서, 시각적 표현(300)은 또한 제1 분할(예를 들어, 중간값 기준)을 갖는 적어도 하나의 이진 산점도(316)와 제2 분할(예를 들어, 범위 기준)을 갖는 적어도 하나의 이진 산점도(318)의 사이드 바이 사이드 뷰를 포함하여 검사 알고리즘 플롯 옵션(inspection algorithm plotting option) 변경으로 생기는 효과의 시각적 비교를 가능하게 한다.
다른 실시예에서, 시각적 표현(300)은 적어도 하나의 밀도 분포도(density scatter plot)를 포함할 수 있고, 차분 영상의 각 위치에 대한 픽셀 수를 복수의 색상을 사용하여 표현한다. 제1 색상(예를 들어, 검정)은 픽셀이 없음을 나타낼 수 있다. 제2 색상(예를 들어, 녹색)은 높은 픽셀 밀도를 나타낼 수 있다. 제3 색상(예를 들어, 빨강)은 결함 픽셀을 나타낼 수 있다. 일 실시예에서, 시각적 표현(300)은 또한 필터링되지 않은 차분 영상의 적어도 하나의 밀도 분포도와 필터링된 차분 영상의 적어도 하나의 밀도 분포도의 사이드 바이 사이드 뷰를 포함하여, 차분 필터의 효과를 확인하기 위한 시각적 비교를 가능하게 한다.
다른 실시예에서, 시각적 표현(300)은 또한 다양한 필터 및/또는 알고리즘 설정의 수치적 비교를 위한 복수의 신호, 노이즈, SNR, |S-N| 및/또는 MDAT 오프셋을 갖는 테이블을 포함할 수 있다. 테이블은 선택된 검사 알고리즘 및/또는 차분 필터의 효과를 확인하기 위한 비교를 가능하게 하는 신호, 노이즈, SNR 및/또는 |S-N| 정보로 정렬된 차트를 포함할 수 있다.
실시예에서, 컴퓨팅 시스템(108)은 또한 검사 알고리즘 및/또는 차분 필터를 위한 적어도 한 세트의 선택된 설정을 저장하도록 구성할 수 있다. 컴퓨팅 시스템(108)은 앞으로의 검사를 위해 또는 임의의 선택된 시간에 샘플 영상 처리를 위해 저장된 설정을 복구하도록 구성될 수 있다. 실시예에서, 저장된 설정은 하나 이상의 시각적 표현(300)에 기초하여 사용자 인터페이스((114)를 통해 제공된 최적의 또는 사용자 선택된 구성일 수 있다.
도 4는 선택된 검사 알고리즘 및/또는 차분 필터의 효과에 관한 시각적 피드백을 제공함으로써 적어도 한 세트의 샘플 영상을 처리하는 방법(400)을 도시한다. 본 명세서에 기재된 시스템(100)의 실시예들은 방법(400)을 통해 실현한 것들임을 주지하기 바란다. 그러나, 방법(400)의 하나 이상의 단계들이 당업자에 공지된 다른 수단들을 통해 달성될 수도 있음을 이해하기 바란다. 따라서, 방법(400)은 본 명세서에 기재된 단계들을 실행하기 위한 임의의 수단을 광범위하게 포함하는 것으로서 해석되어야 한다.
단계 402에서, 적어도 하나의 샘플(104)의 적어도 한 세트의 샘플 영상을 검사 시스템(102)으로부터 수신한다. 단계 404에서, 선택된 검사 알고리즘 및/또는 차분 필터를 사용하여 샘플 영상을 처리한다. 실시예에서, 다수의 검사 알고리즘 옵션 및/또는 차분 필터 테플릿이 선택을 위해 사용자 인터페이스(114)의 표시부를 통해 제공될 수 있다. 하나 이상의 사용자 커맨드를 사용자 인터페이스(114)의 입력 장치를 통해 수신하여 복수의 필터 템플릿으로부터 선택된 차분 필터 및/또는 선택된 검사 알고리즘 설정을 지정할 수 있게 된다. 단계 406에서, 선택된 검사 알고리즘 및/또는 차분 필터의 효과를 전달하기 위해, 샘플 영상의 적어도 하나의 시각적 표현(300)이 사용자 인터페이스(114)를 통해 제공된다. 차분 필터 및/또는 검사 알고리즘 설정은 시각적 피드백에 기초하여 조정될 수 있다. 또한, 선택된 검사 알고리즘 및/또는 차분 필터 설정은 임의의 선택된 시간에 사용하기 위해 저장될 수 있다.
전술한 방법의 실시예들 각각은 본 명세서에 기재된 임의의 다른 방법의 임의의 다른 단계를 포함할 수 있다. 또한, 전술한 방법의 실시예들 각각은 본 명세서에 기재된 시스템들 중 임의의 것에 의해 실행될 수 있다.
본 명세서 전반에 걸쳐 기재된 여러 단계들을 하나의 컴퓨팅 시스템 또는 복수의 컴퓨팅 시스템에 의해 실행할 수 있음을 주지하기 바란다. 또한, 시스템의 다른 서브시스템들이 전술한 단계들 중 적어도 일부를 실행하기에 적합한 컴퓨팅 시스템을 포함할 수 있다. 따라서, 전술한 내용은 본 발명의 이해를 돕고자 하는 것일 뿐 발명을 제한하는 의미로서 해석되어서는 안된다. 또한, 본 명세서에 기재된 임의의 방법 실시예들의 임의의 다른 단계를 수행하기 위해 하나 이상의 컴퓨팅 시스템이 구성될 수도 있다.
컴퓨팅 시스템은 개인 컴퓨팅 시스템, 메인 프레임 컴퓨팅 시스템, 워크 스테이션, 이미지 컴퓨터, 병렬 프로세서, 또는 당 기술 분야에 공지된 임의의 다른 장치를 포함할 수 있으며, 이것에 국한되는 것은 아니다. 일반적으로, "컴퓨팅 시스템"이라는 용어는 메모리 매체에서 명령어를 실행하는 하나 이상의 프로세서를 갖는 임의의 장치를 포함하도록 광범위하게 정의될 수 있다.
당업자는 본 명세서에 기재된 프로세스 및/또는 시스템 및/또는 다른 기술이 예를 들어, 하드웨어, 소프트웨어 및/또는 펌웨어에 영향을 받을 수 있는 다양한 수단들이 있음을 이해하고, 그 바람직한 수단은 프로세스 및/또는 시스템 및/또는 다른 기술이 채용되는 상황에 따라 다양하게 변화될 수 있음을 주지하기 바란다. 본 명세서에 기재된 것들과 같은 방법을 구현하는 프로그램 명령어는 캐리어 매체를 통해 전송되거나 저장될 수 있다. 캐리어 매체는 와이어, 케이블 또는 무선 전송 링크 등의 전송 매체일 수 있다. 캐리어 매체는 또한 읽기 전용 메모리, 랜덤 액세스 메모리, 자기 또는 광 디스크 또는 자기 테이프 등의 저장 매체를 포함할 수 있다.
본 명세서에 기재된 모든 방법은 방법 실시 형태의 하나 이상의 단계의 결과를 저장 매체에 저장하는 단계를 포함할 수 있다. 그 결과는 본 명세서에 기재된 결과 중 하나를 포함할 수도 있고, 당 기술 분야에 공지된 임의의 방법으로 저장될 수도 있다. 저장 매체는 본 명세서에 기재된 임의의 저장 매체 또는 당 기술 분야에 공지된 임의의 다른 적절한 저장 매체를 포함할 수 있다. 결과가 저장된 후, 그 결과는 저장 매체에 액세스될 수 있고, 사용자에 표시하기 위해 포맷되고 다른 소프트웨어 모듈, 방법 또는 시스템 등에 의해 사용되는 본 명세서에 기재된 방법 또는 시스템의 실시예들 중 하나에 의해 사용된다. 또한, 그 결과는 영구적으로, 반영구적으로, 일시적으로 또는 일정 기간 동안 저장될 수 있다. 예를 들어, 저장 매체는 랜덤 액세스 메모리(RAM)일 수 있고, 결과가 저장 매체에 무기한 존속할 필요는 없다.
본 발명의 특정 실시 형태들을 예시하였지만, 전술한 개시의 범위 및 사상에서 벗어나지 않고서 당업자에 의해 본 발명의 다양한 변경 및 실시예가 이뤄질 수 있음이 명백하다. 따라서, 본 발명의 범위는 오로지 첨부된 특허청구범위에 의해서만 한정되어야 한다.

Claims (29)

  1. 적어도 한 세트의 샘플 영상을 처리하기 위한 시스템에 있어서,
    정보를 표시하고 사용자 커맨드를 접수하도록 구성된 사용자 인터페이스와,
    상기 사용자 인터페이스에 통신가능하게 결합된 컴퓨팅 시스템
    을 포함하고,
    상기 컴퓨팅 시스템은,
    적어도 한 세트의 샘플 영상을 수신하고,
    선택된 차분 필터와 선택된 검사 알고리즘 중 적어도 하나를 사용하여 상기 적어도 한 세트의 샘플 영상을 처리하며,
    상기 사용자 인터페이스를 통해 상기 적어도 한 세트의 샘플 영상의 적어도 하나의 시각적 표현을 제공하도록 구성되고,
    상기 적어도 하나의 시각적 표현은,
    상기 차분 영상의 픽셀들에서 상기 적어도 하나의 샘플의 적어도 하나의 결함의 극성을 식별하는 값들을 갖는 부호있는 차분 영상(signed difference image),
    원본 차분 영상과 필터링된 차분 영상의 사이드 바이 사이드 뷰(side-by-side view),
    상기 적어도 하나의 샘플의 적어도 하나의 결함과 연관된 하나 이상의 픽셀들을 선택하도록 구성된 커서, 및
    선택된 검사 알고리즘을 사용하여 생성된 이진 산점도(binary scatter plot) 중 적어도 하나를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 컴퓨팅 시스템은 또한,
    상기 사용자 인터페이스를 통해 복수의 차분 필터 템플릿(difference filter template)을 제공하고,
    상기 복수의 차분 필터 템플릿으로부터 선정한 선택된 차분 필터를 지정하는 사용자 커맨드를 수신하도록 구성되는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 복수의 필터 템플릿은, 하이패스 필터, 로우패스 필터, 협대역 필터, 수직 방향 필터, 수평 방향 필터, 선택 방향 필터, 및 사용자 정의 필터(customizable filter) 중 적어도 하나를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 컴퓨팅 시스템은 또한, 상기 적어도 하나의 결함과 반대의 극성을 갖는 노이즈를 제외하여 상기 적어도 하나의 샘플의 적어도 하나의 결함에 대한 신호 대 노이즈 비(signal-to-noise ratio)를 결정하도록 구성되는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 시각적 표현은, 상기 차분 영상의 픽셀에서 상기 적어도 하나의 샘플의 적어도 하나의 결함의 극성을 식별하는 값들을 갖는 부호있는 차분 영상(signed difference image)을 포함하며, 양의 값과 음의 값으로 명극성(bright polarity)과 암극성(dark polarity)을 구별하는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 시각적 표현은, 적어도 하나의 차분 영상의 복수의 픽셀을 표현하는 복수의 마커(marker)를 포함하는 이진 산점도를 포함하며, 각각의 픽셀이 대응하는 마커로 표현되는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 시각적 표현은, 선택된 y축 파라미터에 대응하여 분할된 이진 산점도를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 컴퓨팅 시스템은 또한,
    상기 사용자 인터페이스를 통해 복수의 선택적(optional) y축 파라미터를 제공하고,
    상기 복수의 선택적 y축 파라미터로부터 선정한 선택된 y축 파라미터를 지정하는 사용자 커맨드를 수신하도록 구성되는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 복수의 선택적 y축 파라미터는, 중간값(median), 확장 중간값(dilated median), 및 범위(range) 중 적어도 하나를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  10. 적어도 한 세트의 샘플 영상을 처리하기 위한 시스템에 있어서,
    적어도 한 세트의 샘플 영상을 수집하도록 구성된 검사 시스템과,
    정보를 표시하고 사용자 커맨드를 접수하도록 구성된 사용자 인터페이스와,
    상기 사용자 인터페이스 및 상기 검사 시스템에 통신가능하게 결합된 컴퓨팅 시스템
    을 포함하고,
    상기 컴퓨팅 시스템은,
    상기 검사 시스템으로부터 상기 적어도 한 세트의 샘플 영상을 수신하고,
    선택된 차분 필터와 선택된 검사 알고리즘 중 적어도 하나를 사용하여 상기 적어도 한 세트의 샘플 영상을 처리하며,
    상기 사용자 인터페이스를 통해 상기 적어도 한 세트의 샘플 영상의 적어도 하나의 시각적 표현을 제공하도록 구성되고,
    상기 적어도 하나의 시각적 표현은,
    상기 차분 영상의 픽셀들에서 상기 적어도 하나의 샘플의 적어도 하나의 결함의 극성을 식별하는 값들을 갖는 부호있는 차분 영상,
    원본 차분 영상과 필터링된 차분 영상의 사이드 바이 사이드 뷰,
    상기 적어도 하나의 샘플의 적어도 하나의 결함과 연관된 하나 이상의 픽셀들을 선택하도록 구성된 커서, 및
    선택된 검사 알고리즘을 사용하여 생성된 이진 산점도 중 적어도 하나를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 컴퓨팅 시스템은 또한,
    상기 사용자 인터페이스를 통해 복수의 차분 필터 템플릿을 제공하고,
    상기 복수의 차분 필터 템플릿으로부터 선정한 선택된 차분 필터를 지정하는 사용자 커맨드를 수신하도록 구성되는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 복수의 필터 템플릿은, 하이패스 필터, 로우패스 필터, 협대역 필터, 수직 방향 필터, 수평 방향 필터, 선택 방향 필터, 및 사용자 정의 필터 중 적어도 하나를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  13. 제 10 항에 있어서, 상기 컴퓨팅 시스템은 또한, 상기 적어도 하나의 결함과 반대의 극성을 갖는 노이즈를 제외하여 상기 적어도 하나의 샘플의 적어도 하나의 결함에 대한 신호 대 노이즈 비를 결정하도록 구성되는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  14. 제 10 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 시각적 표현은, 상기 차분 영상의 픽셀들에서 상기 적어도 하나의 샘플의 적어도 하나의 결함의 극성을 식별하는 값들을 갖는 부호있는 차분 영상을 포함하며, 양의 값과 음의 값으로 명극성과 암극성을 구별하는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  15. 제 10 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 시각적 표현은, 적어도 하나의 차분 영상의 복수의 픽셀을 표현하는 복수의 마커를 포함하는 이진 산점도를 포함하며, 각각의 픽셀이 대응하는 마커로 표현되는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  16. 제 10 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 시각적 표현은, 선택된 y축 파라미터에 대응하여 분할된 이진 산점도를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  17. 제 16 항에 있어서, 상기 컴퓨팅 시스템은 또한,
    상기 사용자 인터페이스를 통해 복수의 선택적 y축 파라미터를 제공하고,
    상기 복수의 선택적 y축 파라미터로부터 선정한 선택된 y축 파라미터를 지정하는 사용자 커맨드를 수신하도록 구성되는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 복수의 선택적 y축 파라미터는, 중간값, 확장 중간값, 및 범위 중 적어도 하나를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  19. 제 10 항에 있어서, 상기 검사 시스템은, 명시야 검사 시스템, 암시야 검사 시스템, 및 전자 빔(e-beam) 검사 시스템 중 적어도 하나를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 시스템.
  20. 적어도 한 세트의 샘플 영상을 처리하는 방법에 있어서,
    검사 시스템을 사용하여 적어도 한 세트의 샘플 영상을 수신하는 단계와,
    선택된 차분 필터와 선택된 검사 알고리즘 중 적어도 하나를 사용하여 상기 적어도 한 세트의 샘플 영상을 처리하는 단계와,
    사용자 인터페이스를 통해 상기 적어도 한 세트의 샘플 영상의 적어도 하나의 시각적 표현을 제공하는 단계
    를 포함하고,
    상기 적어도 하나의 시각적 표현은,
    상기 차분 영상의 픽셀들에서 상기 적어도 하나의 샘플의 적어도 하나의 결함의 극성을 식별하는 값들을 갖는 부호있는 차분 영상,
    원본 차분 영상과 필터링된 차분 영상의 사이드 바이 사이드 뷰,
    상기 적어도 하나의 샘플의 적어도 하나의 결함과 연관된 하나 이상의 픽셀들을 선택하도록 구성된 커서, 및
    선택된 검사 알고리즘을 사용하여 생성된 이진 산점도 중 적어도 하나를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 방법.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 사용자 인터페이스를 통해 복수의 차분 필터 템플릿들을 제공하는 단계와,
    상기 복수의 차분 필터 템플릿으로부터 선정한 선택된 차분 필터를 지정하는 사용자 커맨드를 수신하는 단계
    를 더 포함하는 샘플 영상 처리 방법.
  22. 제 20 항에 있어서, 상기 복수의 필터 템플릿은, 하이패스 필터, 로우패스 필터, 협대역 필터, 수직 방향 필터, 수평 방향 필터, 선택 방향 필터, 및 사용자 정의 필터 중 적어도 하나를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 방법.
  23. 제 20 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 결함과 반대의 극성을 갖는 노이즈를 제외하여 상기 적어도 하나의 샘플의 적어도 하나의 결함에 대한 신호 대 노이즈 비를 결정하는 단계를 더 포함하는 샘플 영상 처리 방법.
  24. 제 20 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 시각적 표현은, 상기 차분 영상의 픽셀들에서 상기 적어도 하나의 샘플의 적어도 하나의 결함의 극성을 식별하는 값들을 갖는 부호있는 차분 영상을 포함하며, 양의 값과 음의 값으로 명극성과 암극성을 구별하는 것인 샘플 영상 처리 방법.
  25. 제 20 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 시각적 표현은, 적어도 하나의 차분 영상의 복수의 픽셀을 표현하는 복수의 마커를 포함하는 이진 산점도를 포함하며, 각각의 픽셀이 대응하는 마커로 표현되는 것인 샘플 영상 처리 방법.
  26. 제 20 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 시각적 표현은, 선택된 y축 파라미터에 대응하여 분할된 이진 산점도를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 방법.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 사용자 인터페이스를 통해 복수의 선택적 y축 파라미터를 제공하는 단계와,
    상기 복수의 선택적 y축 파라미터로부터 선정한 선택된 y축 파라미터를 지정하는 사용자 커맨드를 수신하는 단계
    를 더 포함하는 샘플 영상 처리 방법.
  28. 제 27 항에 있어서, 상기 복수의 선택적 y축 파라미터는, 중간값, 확장 중간값, 및 범위 중 적어도 하나를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 방법.
  29. 제 20 항에 있어서, 상기 검사 시스템은, 명시야 검사 시스템, 암시야 검사 시스템, 및 전자 빔 검사 시스템 중 적어도 하나를 포함하는 것인 샘플 영상 처리 방법.
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