KR20150010251A - 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치 - Google Patents

인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치에 관한 것으로, 서로 이격되어 제1방향으로 배치되는 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구와; 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구 중 하나와 제1방향과 직교하는 제2방향으로 각각 연결되는 제2방향 전측직선이동기구와; 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구 중 다른 하나와 제1방향과 직교하는 제2방향으로 각각 연결되는 제2방향 후측직선이동기구와; 제2방향 전측직선이동기구와 제2방향 후측직선이동기구에 각각 제1방향과 평행이 되도록 연결되는 다수개의 제1방향 종속직선이동기구와; 제1방향 종속직선이동기구에 각각 연결되어 인쇄회로패턴이 형성될 기판이나 마스크 필름에 배치된 위치결정 기준마크를 감지하는 다수개의 CCD 카메라로 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치{Device for detecting align mark of exposure apparatus for printed circuit board}
본 발명은 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치에 관한 것으로, 특히 필름마스크나 인쇄회로패턴이 형성될 기판에 배치된 다수개의 위치결정 기준마크들이 동일선상에 배치되지 않은 경우에 CCD 카메라를 보조 직선이송기구를 이용하여 위치결정 기준마크와 대응되는 위치로 이송시켜 감지함으로써 위치결정 기준마크의 정렬감지시간을 줄일 수 있는 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치에 관한 것이다.
인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)은 기판에 인쇄회로패턴을 전사한 후 인쇄회로패턴을 이용하여 인쇄회로를 형성하여 제조된다. 기판으로 인쇄회로패턴을 전사하기 위해 인쇄회로기판용 노광장치가 사용된다.
한국등록특허 제205199호(특허문헌 1)는 인쇄회로기판용 노광장치에 관한 것으로 기판 지지장치, 마스크 필름 지지장치, 가압장치, TV(Television) 카메라 및 광원으로 이루어진다. 기판 지지장치는 인쇄회로패턴이 형성될 기판을 흡인하여 지지하는 척이 구비되며, 마스크 필름 지지장치는 기판 지지장치의 상부에 배치되어 필름마스크를 지지한다. 가압장치는 마스크 필름 지지장치와 연결되어 베이스에 배치되어 노광용 광원이 투과되는 유리판을 지지하며, 기판 지지장치의 상승에 의해 마스크 필름이 인쇄회로패턴이 형성될 기판에 밀착되도록 한다. TV 카메라는 마스크 필름 지지장치의 상부에 배치되어 마스크 필름에 배치된 위치결정 기준마크와 인쇄회로패턴이 형성될 기판에 배치된 위치결정 기준마크를 감지하여 위치가 서로 정렬되었는지 여부를 감지하며, 광원은 TV 카메라의 상부에 배치되어 광을 마스크 필름으로 조사하여 기판의 상부에 인쇄회로패턴이 조사되도록 한다.
특허문헌 1과 같은 종래의 인쇄회로기판용 노광장치는 마스크 필름와 인쇄회로패턴이 형성될 기판에 배치된 위치결정 기준마크를 감지 시 오류가 발생되면 기판 지지장치를 구동하여 기판을 이동시켜 재정렬 후 감지한다. 즉, 마스크 필름와 기판에 배치된 위치결정 기준마크가 서로 정렬되지 않으면 기판을 반복적으로 이동시켜 정렬시킴으로써 정렬작업을 수행한다.
종래의 인쇄회로기판용 노광장치와 같이 마스크 필름와 기판에 각각 배치된 위치결정 기준마크 중 서로 동일선상에 위치되지 않은 경우에 기판을 기판 지지장치를 이용하여 이동시켜 정렬함으로써 정렬 작업 시간이 증가되는 문제점이 있다.
특허문헌 1: 한국등록특허 제1089839호(등록일: 2011.11.29)
본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 필름마스크나 인쇄회로패턴이 형성될 기판에 배치된 다수개의 위치결정 기준마크들이 동일선상에 배치되지 않은 경우에 CCD 카메라를 보조 직선이송기구를 이용하여 위치결정 기준마크와 대응되는 위치로 이송시켜 감지함으로써 위치결정 기준마크의 정렬감지시간을 줄일 수 있는 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 정렬 작업 시간을 줄일 수 있도록 함으로써 인쇄회로기판용 노광장치의 가동율을 개선시켜 노광공정의 생산성을 증가시킬 수 있는 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치를 제공함에 있다.
본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치는 서로 이격되어 제1방향으로 배치되는 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구와; 상기 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구 중 하나와 제1방향과 직교하는 제2방향으로 각각 연결되는 제2방향 전측직선이동기구와; 상기 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구 중 다른 하나와 제1방향과 직교하는 제2방향으로 각각 연결되는 제2방향 후측직선이동기구와; 상기 제2방향 전측직선이동기구와 상기 제2방향 후측직선이동기구에 각각 제1방향과 평행이 되도록 연결되는 다수개의 제1방향 종속직선이동기구와; 상기 제1방향 종속직선이동기구에 각각 연결되어 제1방향 메인직선이동기구에 의해 제1방향으로 이동되고 제2방향 전측직선이동기구와 제2방향 후측직선이동기구 중 하나에 의해 제2방향으로 이동되며 제1방향 종속직선이동기구에 의해 제1방향으로 이동되어 인쇄회로패턴이 형성될 기판이나 마스크 필름에 배치된 위치결정 기준마크를 감지하는 다수개의 CCD(Charge Coupled Device) 카메라로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치는 필름마스크나 인쇄회로패턴이 형성될 기판에 배치된 다수개의 위치결정 기준마크들이 동일선상에 배치되지 않은 경우에 CCD 카메라를 보조 직선이송기구를 이용하여 위치결정 기준마크와 대응되는 위치로 이송시켜 감지함으로써 위치결정 기준마크의 정렬감지시간을 줄일 수 있는 이점이 있으며, 정렬 작업 시간을 줄일 수 있도록 함으로써 인쇄회로기판용 노광장치의 가동율을 개선시켜 노광공정의 생산성을 증가시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 정렬마크감지장치가 적용된 인쇄회로기판용 노광장치의 평면도,
도 2는 도 1에 도시된 정렬마크감지장치의 사시도,
도 3은 도 1에 도시된 인쇄회로기판용 노광장치의 다른 실시예를 나타낸 측면도,
도 4 및 도 5는 각각 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크감지장치를 이용한 정렬감지방법을 나타낸 도.
이하, 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1에서와 같이 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치는 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구(110), 제2방향 전측직선이동기구(120), 제2방향 후측직선이동기구(130), 다수개의 제1방향 종속직선이동기구(140) 및 다수개의 CCD(Charge Coupled Device) 카메라(150)로 구성된다.
한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구(110)는 각각 베이스 프레임(101)의 상부에 서로 이격되어 제1방향(Y)으로 배치되며, 제2방향 전측직선이동기구(120)는 각각 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구(110) 중 하나와 제1방향(Y)과 직교하는 제2방향(X)으로 각각 연결되어 제1방향 메인직선이동기구(110)에 의해 각각 제1방향(Y)으로 이동된다. 제2방향 후측직선이동기구(130)는 각각 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구(110) 중 다른 하나와 제1방향(Y)과 직교하는 제2방향으로 각각 연결되어 제2방향 전측직선이동기구(120)와 독립적으로 제1방향 메인직선이동기구(110)에 의해 각각 제1방향(Y)으로 이동된다. 다수개의 제1방향 종속직선이동기구(140)는 각각 제2방향 전측직선이동기구(120)와 제2방향 후측직선이동기구(130)에 각각 제1방향(Y)과 평행이 되도록 연결되어 제2방향 전측직선이동기구(120)나 제2방향 후측직선이동기구(130)에 의해 제1방향(Y)으로 서로 독립적으로 이동된다. 다수개의 CCD(Charge Coupled Device) 카메라(150)는 각각 제1방향 종속직선이동기구(140)에 각각 연결되어 제1방향 메인직선이동기구(110)에 의해 제1방향(Y)으로 이동되고, 제2방향 전측직선이동기구(120)와 제2방향 후측직선이동기구(130) 중 하나에 의해 제2방향(X)으로 이동되며, 제1방향(Y) 종속직선이동기구에 의해 제1방향(Y)으로 이동되어 인쇄회로패턴이 형성될 기판(PCB)이나 마스크 필름(MF)에 배치된 위치결정 기준마크(AM)를 감지한다.
상기 구성을 갖는 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치의 구성을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구(110)는 각각 도 1 및 도 2에서와 같이 지지판(111), 리니어 모션가이드(112) 및 볼스크류 이송기구(113)로 구성된다.
지지판(111)는 베이스 프레임(101)의 상부에 제1방향(Y)으로 배치되어 제1방향 메인직선이동기구(110)를 전반적으로 지지하며, 리니어 모션가이드(112)는 지지판(111)의 상부에 제1방향(Y)으로 배치되어 제2방향 전측직선이동기구(120)와 제2방향 후측직선이동기구(130) 중 하나의 이송을 가이드한다. 볼스크류 이송기구(113)는 리니어 모션가이드(112)의 일측에 위치되도록 지지판(111)에 배치되어 제2방향 전측직선이동기구(120)와 제2방향 후측직선이동기구(130) 중 하나를 제1방향(Y)으로 이송시킨다.
예를 들어, 제2방향 전측직선이동기구(120)가 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구(110) 중 하나의 볼스크류 이송기구(113)에 연결되면 제2방향 후측직선이동기구(130)는 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구(110) 중 하나의 볼스크류 이송기구(113)의 일측에 위치되도록 배치된 리니어 모션가이드(112)에 연결되어 리니어 모션가이드(112)에 가이드되어 이동된다. 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구(110) 중 다른 하나 또한 전술한 것과 동일하게 볼스크류 이송기구(113)에 제2방향 후측직선이동기구(130)가 연결되면 볼스크류 이송기구(113)의 일측에 위치된 리니어 모션가이드(112)에 제2방향 전측직선이동기구(120)가 연결된다.
제2방향 전측직선이동기구(120)와 제2방향 후측직선이동기구(130)는 각각 도 1 및 도 3에서와 같이 한 쌍의 연결블럭(121,131), 이동판(122,132) 및 한 쌍의 볼스크류 이송기구(123,133)로 구성된다.
한 쌍의 연결블럭(121,131)은 각각 제1방향 메인직선이동기구(110)의 리니어 모션가이드(112)나 볼스크류 이송기구(113)에 각각 연결된다. 이동판(122,132)은 한 쌍의 연결블럭(121,131)에 일측과 타측이 연결되고, 제1방향 메인직선이동기구(110)에 의해 제1방향(Y)으로 이송되며, 연결블럭(121,131)에 이동판(122,132)을 연결 시 이동판(122,132)을 폭방향으로 세워서 연결한다. 이러한 한 쌍의 연결블럭(121,131)은 각각 연결부재(121a,131a)에 의해 리니어 모션가이드(112)이나 볼스크류 이송기구(113)에 연결되어 제1방향 메인직선이송기구(110)에 의해 제1방향(Y)으로 이동된다.
즉, 이동판(122,132)을 폭방향으로 세워서 연결블럭(121,131)에 연결함으로써 광원(106: 도 3에 도시됨)이 다수개의 제1방향 종속직선이동기구(140)의 길이에 의해 간섭되지 않고 광을 조사하도록 함과 아울러 다수개의 제1방향 종속직선이동기구(140)의 각각의 이동 거리를 최대로 증가시켜 인쇄회로패턴이 형성될 기판(PCB)이나 마스크 필름(MF)에 배치된 위치결정 기준마크(AM)를 감지하도록 한다. 한 쌍의 볼스크류 이송기구(123,133)는 각각 이동판(122,132)에 서로 이격되도록 배치되며 각각 서로 독립적으로 제1방향 종속직선이동기구(140)를 제2방향(X)으로 이동시킨다.
제2방향 전측직선이동기구(120)와 제2방향 후측직선이동기구(130)의 다른 실시예는 도 3에서와 같이 각각 리니어모터 이송기구(124)가 사용된다. 리니어모터 이송기구(124)는 하나의 고정자(124a)와 한 쌍의 가동자(124b)로 이루어진다. 고정자(124a)는 이동판(122)에 제2방향(X)으로 배치되며, 한 쌍의 가동자(124b)는 각각 고정자(124a)에 배치되어 서로 독립적으로 구동되어 각각 제1방향 종속직선이동기구(140)를 제2방향(X)으로 이동시킨다.
다수개의 제1방향 종속직선이동기구(140)는 각각 인쇄회로패턴이 형성될 기판(PCB)이나 마스크 필름(MF)에 배치된 위치결정 기준마크(AM)를 감지하는 CCD 카메라(150)와 동일한 개수로 구비되며, 각각은 볼스크류 이송기구나 실린더 이송기구 중 하나가 선택되어 사용된다. 즉, 다수개의 제1방향 종속직선이동기구(140)는 도 1 및 도 3에서와 같이 CCD 카메라(150)가 4개가 구비되는 경우에 4개가 구비되어 각각 CCD 카메라(150)를 제1방향(Y)이나 제2방향(X)으로 이동시켜 위치결정 기준마크(AM)를 감지하도록 함으로써 CCD 카메라(150)를 통해 기판(PCB)이나 마스크 필름(MF)이 정렬되었는지 여부를 확인하도록 한다.
다수개의 CCD 카메라(150)는 각각 제1방향 메인직선이동기구(110)에 의해 제1방향(Y)으로 이동되고 제2방향 전측직선이동기구(120)나 제2방향 후측직선이동기구(130)에 의해 제2방향(X)으로 이송되며, 다수개의 제1방향 종속직선이동기구(140) 중 하나에 의해 제1방향 메인직선이동기구(110)와 동일선상으로 이동되지 않도록 제1방향(Y)과 평행하도록 이송되어 인쇄회로패턴이 형성될 기판(PCB)이나 마스크 필름(MF)에 배치된 위치결정 기준마크(AM)를 감지한다. 즉, 다수개의 CCD 카메라(150)는 각각 제1방향 종속직선이동기구(140)에 의해 다개의 위치결정 기준마크(AM) 중 동일선상에서 오프셋 거리(D_offset)만큼 이격되어 배치된 위치결정 기준마크(AM)가 있으면 이 위치결정 기준마크(AM)를 감지하기 위해 제1방향 종속직선이동기구(140)에 의해 제1방향(Y)으로 오프셋 거리(D_offset)만큼 이동되어 위치결정 기준마크(AM)를 감지한다.
위치결정 기준마크(AM)를 감지하는 CCD 카메라(150)와 종속직선이동기구(140) 사이에는 승강기구(160)와 홀더(170)가 구비되어 배치된다. 홀더(170)는 도 2에서와 같이 CCD 카메라(150)와 체결되어 CCD 카메라(150)를 지지하며, 승강기구(160)는 홀더(170)와 제1방향 종속직선이동기구(140) 사이에 연결되어 CCD 카메라(150)를 수직방향으로 승하강시켜 초점을 조절한다. CCD 카메라(150)를 승하강시키는 승강기구(160)는 승강기구는 볼스크류 이송기구와 실린더 이송기구 중 하나가 선택되어 사용된다.
상기 구성을 갖는 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
인쇄회로패턴이 형성될 기판(PCB)이나 마스크 필름(MF)은 각각 도 4에서와 같이 다수개 즉, 4개의 위치결정 정렬마크(AM)가 제1방향(Y)이나 제2방향(X)으로 동일선상에 배치되도록 성된다. 개의 위치결정 정렬마크(AM)가 제1방향(Y)이나 제2방향(X)으로 동일선상에 형성되는 경우에 CCD 카메라(150)는 제1방향 메인직선이동기구(110)와 제2방향 전측직선이동기구(120) 및 제2방향 후측직선이동기구(130) 중 하나에 의해 이동되어 4개의 위치결정 정렬마크(AM)를 감지할 수 있다.
인쇄회로패턴이 형성될 기판(PCB)이나 마스크 필름(MA)은 각각 도 5 및 도 6에서와 같이 4개의 위치결정 정렬마크(AM)가 제1방향(Y)이나 제2방향(X) 중 어느 한 방향으로 동일선상에 배치되지 않고 오프셋 거리(D_offset)만큼 이격되어 배치된 경우에 CCD 카메라(150)는 제1방향 메인직선이동기구(110)와 제2방향 전측직선이동기구(120) 및 제2방향 후측직선이동기구(130) 중 하나만으로 이동하는 경우에 이를 감지하기 위해 제1방향 메인직선이동기구(110)에 의해 다시 이동됨으로써 이동시간이 증가된다.
본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치는 다개의 위치결정 기준마크(AM) 중 동일선상에서 오프셋 거리(D_offset)만큼 이격되어 배치된 위치결정 기준마크(AM)가 있으면 해당 위치결정 기준마크(AM)를 감지하는 CCD 카메라(150)를 제1방향 종속직선이동기구(140)에 의해 오프셋 거리(D_offset)만큼 이동시켜 위치결정 기준마크(AM)를 촬영하여 감지할 수 있도록 한다.
CCD 카메라(150)에 의해 촬영된 영상정보에서 인쇄회로패턴이 형성될 기판(PCB)이나 마스크 필름(MF)에 배치된 위치결정 기준마크(AM)가 서로 정렬된 상태가 되면 플래튼(platen)(104)에 배치된 기판(PCB)을 XYθ축 스테이지(103) 및 Z축 승강기구(102)에 의해 기판(PCB)을 승강시켜 필름 홀더(105)에 흡착된 마스크 필름(MF)과 압착되도록 한다.
기판(PCB)과 마스크 필름(MF)이 서로 접촉되면 베이스 프레임(101)의 가장 상부에 배치된 광원(106)에서 광원을 조시함으써 마스크 필름(MF)에 형성된 인쇄회로패턴을 기판(PCB)으로 전사한다. 인쇄회로패턴이 전사되면 기판(PCB)은 인쇄회로패턴을 기준으로 식각 하여 인쇄회로기판을 제조한다.
이상에서와 같이 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치는 필름마스크나 인쇄회로패턴이 형성될 기판에 배치된 다수개의 위치결정 기준마크들이 동일선상에 배치되지 않은 경우에 CCD 카메라를 보조 직선이송기구를 이용하여 위치결정 기준마크와 대응되는 위치로 이송시켜 감지함으로써 위치결정 기준마크의 정렬감지시간을 줄일 수 있으며, 정렬 작업 시간을 줄일 수 있도록 함으로써 인쇄회로기판용 노광장치의 가동율을 개선시켜 노광공정의 생산성을 증가시킬 수 있다.
본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치는 인쇄회로기판 제조산업 분야에 적용할 수 있다.
110: 제1방향 메인직선이동기구 120: 제2방향 전측직선이동기구
130: 제2방향 후측직선이동기구 121,131:연결블럭
122,132D; 이동판 123,133: 볼스크류 이송기구
140: 제1방향 종속직선이동기구 150: CCD 카메라
160: 승강기구 170: 홀더

Claims (7)

  1. 서로 이격되어 제1방향으로 배치되는 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구와;
    상기 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구 중 하나와 제1방향과 직교하는 제2방향으로 각각 연결되는 제2방향 전측직선이동기구와;
    상기 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구 중 다른 하나와 제1방향과 직교하는 제2방향으로 각각 연결되는 제2방향 후측직선이동기구와;
    상기 제2방향 전측직선이동기구와 상기 제2방향 후측직선이동기구에 각각 제1방향과 평행이 되도록 연결되는 다수개의 제1방향 종속직선이동기구와;
    상기 제1방향 종속직선이동기구에 각각 연결되어 제1방향 메인직선이동기구에 의해 제1방향으로 이동되고 제2방향 전측직선이동기구와 제2방향 후측직선이동기구 중 하나에 의해 제2방향으로 이동되며 제1방향 종속직선이동기구에 의해 제1방향으로 이동되어 인쇄회로패턴이 형성될 기판이나 마스크 필름에 배치된 위치결정 기준마크를 감지하는 다수개의 CCD(Charge Coupled Device) 카메라로 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 한 쌍의 제1방향 메인직선이동기구는 각각 베이스 프레임의 상부에 제1방향으로 배치되는 지지판과;
    상기 지지판의 상부에 제1방향으로 배치되어 제2방향 전측직선이동기구와 제2방향 후측직선이동기구 중 하나의 이송을 가이드하는 리니어 모션가이드와;
    상기 리니어 모션가이드의 일측에 위치되도록 상기 지지판에 배치되어 제2방향 전측직선이동기구와 제2방향 후측직선이동기구 중 하나를 제1방향으로 이송시키는 볼스크류 이송기구로 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제2방향 전측직선이동기구와 제2방향 후측직선이동기구는 각각 제1방향 메인직선이동기구의 리니어 모션가이드나 볼스크류 이송기구에 각각 연결되어 한 쌍의 연결블럭과;
    상기 한 쌍의 연결블럭에 연결되며 제1방향 메인직선이동기구에 의해 제1방향으로 이송되는 이동판과;
    상기 이동판에 서로 이격되도록 배치되며 각각 제1방향 종속직선이동기구를 제2방향으로 이동시키는 한 쌍의 볼스크류 이송기구로 구성되며,
    상기 이동판은 상기 한 쌍의 연결블럭에 폭방향으로 세워져 연결되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제2방향 전측직선이동기구와 상기 제2방향 후측직선이동기구는 각각 리니어모터 이송기구가 사용되며, 상기 리니어모터 이송기구는 하나의 고정자와, 상기 고정자에 배치되어 서로 독립적으로 구동되어 각각 제1방향 종속직선이동기구를 제2방향으로 이동시키는 한 쌍의 가동자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 다수개의 제1방향 종속직선이동기구는 각각 볼스크류 이송기구나 실린더 이송기구 중 하나가 선택되어 사용되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1방향 종속직선이동기구와 상기 CCD 카메라 사이에는 승강기구와 홀더가 구비되고, 상기 홀더는 상기 CCD 카메라와 체결되며, 상기 승강기구는 볼스크류 이송기구와 실린더 이송기구 중 하나가 선택되어 사용되며, 홀더와 제1방향 종속직선이동기구 사이에 연결되어 CCD 카메라를 수직방향으로 승하강시키는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 다수개의 CCD 카메라는 각각 다수개의 위치결정 기준마크 중 동일선상에서 오프셋 거리만큼 이격되어 배치된 위치결정 기준마크를 제1방향 종속직선이동기구에 의해 제1방향으로 오프셋 거리만큼 이동되어 위치결정 기준마크를 감지하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107525477A (zh) * 2016-06-22 2017-12-29 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种五点识别ccd方法
CN108058854A (zh) * 2017-10-26 2018-05-22 深圳市策维科技有限公司 一种自动扣合装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0174486B1 (ko) * 1995-09-28 1999-02-01 이해규 노광 장비에서 시시디 카메라를 이용한 정렬 장치
JP3397127B2 (ja) * 1998-03-26 2003-04-14 松下電器産業株式会社 電子部品の実装装置および実装方法
KR20130017894A (ko) * 2011-08-12 2013-02-20 서병규 노광 장치 및 그 방법
KR101256791B1 (ko) * 2012-08-27 2013-04-19 주식회사 필옵틱스 노광 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107525477A (zh) * 2016-06-22 2017-12-29 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种五点识别ccd方法
CN107525477B (zh) * 2016-06-22 2019-09-20 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种五点识别ccd方法
CN108058854A (zh) * 2017-10-26 2018-05-22 深圳市策维科技有限公司 一种自动扣合装置

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