KR20150000544A - 정전기 측정 장치 및 정전기 측정 방법 - Google Patents

정전기 측정 장치 및 정전기 측정 방법 Download PDF

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Abstract

정전기 측정 장치 및 정전기 측정 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 장치는 복수개의 정전기 센서를 포함하는 측정부, 측정부에 의해 측정된 정전기 정보를 처리하여 상기 기판 상의 정전기 분포 상태를 산출하는 정보 처리부, 정보 처리부에 의해 산출된 상기 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 표시부를 포함하되, 상기 기판 상에 상기 복수개의 정전기 센서에 대응되는 복수개의 센싱 영역이 정의되고, 상기 센싱 영역을 제외한 나머지 영역인 비 센싱 영역이 정의되되, 상기 각 정전기 센서는 상기 각 정전기 센서에 대응되는 상기 각 센싱 영역의 정전기 정보를 측정하고, 상기 정보 처리부는 상기 각 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보를 기초로 인접하는 비 센싱 영역 또는 인접하는 다른 센싱 영역의 정전기 정보를 추정하는 연산부 및 상기 복수개의 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보와 상기 연산부에 의해 추정된 정전기 정보를 기초로 상기 기판 상의 상기 정전기 분포 상태를 산출하는 제어부를 포함한다.

Description

정전기 측정 장치 및 정전기 측정 방법{APPRATUS FOR MEASURING STATIC ELECTRICITY AND METHOD FOR MEASURING STATIC ELECTRICITY}
본 발명은 정전기 측정 장치 및 정전기 측정 방법에 대한 것으로 보다 상세하게는 기판의 정전기 분포 상태를 측정하는 정전기 측정 장치 및 정전기 측정 방법에 대한 것이다.
정전기는 대전에 의하여 발생되는 전하가 대전체의 표면이 가지는 저항이 커서 방전되지 못하고 축적됨으로써 형성되는 것으로서, 이는 부도체인 평판 웨이퍼나 글래스를 이용하는 반도체 제조 공정에 있어서 수율을 향상시키기 위하여 해결해야할 중요한 문제중의 하나이다.
부도체인 웨이퍼나 글래스를 제조하는 공정에는 정전기가 발생되는 요인이 다양하다. 그 예로써 비대전체(Uncharged Material)가 대전체(Charged Material)와 접촉되면 비대전체는 대전체와 동일 극성으로 정전기가 형성되고, 접촉된 두 물체가 분리될 때 마찰계수의 차에 의하여 발생되는 전자 이동에 의하여 두 물체에 정전기가 형성되며, 이온주입 공정에서 이온이나, 전자 또는 알파 파티클 등이 웨이퍼에 충돌되면 웨이퍼에서는 에너지 전이가 발생되어서 정전기가 형성되고, 스프레이되는 물질과 마찰되면 웨이퍼나 글래스에 정전기가 형성되며, 단순한 온도 상승에 따른 전자 에너지의 증가로 인한 전자 방출에 의하여 정전기가 형성되고, 비대전체가 전기장 내에 위치될 때 대전으로 정전기가 형성된다.
전술한 바와 같은 다양한 원인으로 형성되는 정전기는 제조 공정 중 웨이퍼나 글래스에 파티클을 집진하여 파티클 불량을 발생시키는 주 원인으로 발생되고 있으며, 정전기로 인하여 방전이 발생되는 경우 정전기의 전위는 수백 또는 수천 볼트(Volt) 정도의 레벨을 갖는다. 고집적화된 칩이 형성되는 웨이퍼는 수십 볼트 정도의 대전 전위에 의해서도 소자가 파괴되는 심각한 영향을 받을 수 있다.
특히, 최근의 웨이퍼가 대구경화되고 액정디스프레이장치(LCD)가 대화면화됨에 따라서 표면 정전기에 대한 효과적인 평가 방법과 정전기의 방전 대책이 절실하게 요구되고 있다.
현재 웨이퍼나 글래스에 형성된 정전기를 분석하고 측정하는 장치로는 대상물 표면의 전위를 측정하기 위하여 이용되는 포터블 포인트 정전기 메터와 공기 중의 정전기 전위를 측정하기 위하여 이용되고 있는 포터블 충전 플래이트 모니터(Potable Charge Plate Monitor) 또는 온라인으로 접속되어 액정 디스플레이(Liquid Crystal Device)에서 글래스 포인트를 측정하기 위하여 이용되는 정전기 모니터링 시스템 등이 있다.
그러나, 전술한 장치들은 측정 대상의 특정 포인트에 대한 정전기 전위를 측정하는 것으로서 정전기의 전위는 측정 위치에 따라 불균일한 점을 감안하면 특정 위치에 대하여 측정된 정전기 전위는 측정 대상인 웨이퍼 또는 글래스 전체 표면의 정전기 전위를 대표하는 샘플값으로 이용되기에는 불충분하며, 역바이어스 방식으로 중성화가 수행될 때 전술한 바 샘플 값을 기준으로 하여 방전 기준을 설정하면, 웨이퍼 표면 또는 글래스 표면의 정전기 전위 불균일로 인하여 중성화 과정 중에 부차적인 정전기가 웨이퍼 또는 글래스의 표면에 형성되는 문제점이 있었다.
그리고, 전술한 종래의 장치를 이용해서는 웨이퍼나 글래스에 대한 표면 전체의 정전기 분포 상황을 용이하게 파악하기 어려웠고, 정전기 측정 장치와 분석 장치 그리고 중성화 시스템이 상호 연계성이 없이 운용되었으므로, 효과적인 정전기의 계측, 분석 및 정전기 관리가 어려운 문제점이 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판 전 영역의 정전기 분포 상태를 파악할 수 있는 정전기 측정 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 기판의 동작에 따른 정전기 분포 상태의 변화를 실시간으로 측정할 수 있는 정전기 측정 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 기판 전 영역의 정전기 분포 상태를 파악할 수 있는 정전기 측정 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 기판의 동작에 따른 정전기 분포 상태의 변화를 실시간으로 측정할 수 있는 정전기 측정 방법을를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 장치는 복수개의 정전기 센서를 포함하는 측정부, 상기 측정부에 의해 측정된 정전기 정보를 처리하여 상기 기판 상의 정전기 분포 상태를 산출하는 정보 처리부, 정보 처리부에 의해 산출된 상기 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 표시부를 포함하되, 상기 기판 상에 상기 복수개의 정전기 센서에 대응되는 복수개의 센싱 영역이 정의되고, 상기 센싱 영역을 제외한 나머지 영역인 비 센싱 영역이 정의되되, 상기 각 정전기 센서는 상기 각 정전기 센서에 대응되는 상기 각 센싱 영역의 정전기 정보를 측정하고, 상기 정보 처리부는 상기 각 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보를 기초로 인접하는 비 센싱 영역 또는 인접하는 다른 센싱 영역의 정전기 정보를 추정하는 연산부 및 상기 복수개의 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보와 상기 연산부에 의해 추정된 정전기 정보를 기초로 상기 기판 상의 상기 정전기 분포 상태를 산출하는 제어부를 포함한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 방법은 복수개의 정전기 센서를 가지는 측정부를 기판 상에 배치하는 단계, 기판 상에 복수개의 센서에 대응되는 복수개의 센싱 영역이 정의되고, 기판 상에 센싱 영역을 제외한 나머지 영역인 비 센싱 영역이 정의되되, 상기 각 정전기 센서가 상기 각 정전기 센서에 대응되는 상기 각 센싱 영역의 정전기 정보를 측정하는 단계, 각 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보를 기초로 비 센싱 영역 또는 인접하는 다른 센싱 영역의 정전기 정보를 추정하는 단계, 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보와 추정된 비 센싱 영역 또는 인접하는 다른 센싱 영역의 정전기 정보를 종합하여 기판 상 전 영역의 정전기 분포 상태를 산출하는 단계 및 상기 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 단계를 포함한다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
즉, 기판 상 전 영역의 정전기 분포 상태를 파악할 수 있다.
또한, 또한 기판의 동작에 따른 기판 상 정전기 분포 상태의 변화를 실시간으로 확인할 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 블록도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 측정부의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 부분 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 측정 대상체인 기판의 평면도이다.
도 5는 도 4의 A 영역을 확대한 부분 확대도이다.
도 6은 도 4의 B1 영역을 확대한 부분 확대도이다.
도 7은 도 4의 B2 영역을 확대한 부분 확대도이다.
도 8은 도 4의 B3 영역을 확대한 부분 확대도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 장치 표시부의 평면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치 표시부의 평면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치 표시부의 평면도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치 표시부의 평면도이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 블록도이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 블록도이다.
도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치 촬영부의 위치를 나타내는 평면도이다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치 표시부의 평면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 장치(1000)는 복수개의 정전기 센서(102)를 포함하는 측정부(100), 측정부(100)에 의해 측정된 정전기 정보를 처리하여 상기 기판(10) 상의 정전기 분포 상태를 산출하는 정보 처리부(200), 정보 처리부(200)에 의해 산출된 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 표시부(300)를 포함하되, 기판(10) 상에 상기 복수개의 정전기 센서(102)에 대응되는 복수개의 센싱 영역(12)이 정의되고, 센싱 영역(12)을 제외한 나머지 영역인 비 센싱 영역(11)이 정의되되, 상기 각 정전기 센서(102)는 상기 각 정전기 센서(102)에 대응되는 각 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 측정하고, 상기 정보 처리부(200)는 상기 각 정전기 센서(102)에 의해 측정된 정전기 정보를 기초로 인접하는 비 센싱 영역(11) 또는 인접하는 다른 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 추정하는 연산부(220) 및 상기 복수개의 정전기 센서(102)에 의해 측정된 정전기 정보와 상기 연산부(220)에 의해 추정된 정전기 정보를 기초로 상기 기판 상의 정전기 분포 상태를 산출하는 제어부(210)를 포함한다.
측정부(100)는 기판 상의 정전기 정보를 측정할 수 있다. 측정부(100)를 위한 구체적인 설명을 위해 도 2 내지 도 3이 참조된다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 측정부(100)의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 장치(1000)의 부분 사시도이다.
도 2 내지 도 3을 참조하면, 측정부(100)는 기판 상의 정전기 정보를 측정하기 위해 정전기 센서(102)를 포함할 수 있다. 정전기 센서(102)는 기판(10) 상의 단일 지점 또는 단일 영역의 정전기 값을 측정할 수 있다. 정전기 센서(102)의 종류는 제한되지 않으며, 현재 상용화되어 있거나, 앞으로 기술의 발전에 따라 상용화될 수 있는 모든 정전기 센서를 포함할 수 있다.
측정부(100)는 베이스 판(101)에 배치된 복수개의 정전기 센서(102)를 포함할 수 있다. 예시적인 실시예에서 복수개의 정전기 센서(102)는 일정 간격 이격되어 매트릭스 형태로 배치될 수 있다. 다만, 정전기 센서(102)의 배열은 이에 제한되지 않으며, 다양한 형태로 배치될 수 있다. 또한, 예시적인 실시예에서 복수개의 정전기 센서(102)는 기판(10)과 대향되게 배치될 수 있다. 또한, 베이스 판(101)은 측정 대상체인 기판(10)과 일정 간격 이격되거나, 기판(10)과 접할 수 있다.
예시적인 실시예에서 베이스 판(101)과 기판(10)의 크기는 서로 대응될 수 있다. 바꾸어 말하면, 베이스 판(101)과 기판(10)의 크기는 실질적으로 동일할 수 있다. 다만, 베이스 판(101)의 크기가 이에 제한되는 것은 아니며, 기판(10)의 크기보다 작거나 기판(10)의 크기보다 클 수 있다. 베이스 판(101)의 크기가 기판(10)의 크기와 실절적으로 동일한 경우, 기판(10) 전 영역의 정전기 분포 상태를 보다 정확하게 파악할 수 있다.
복수개의 정전기 센서(102)는 기판 상의 복수개의 지점 또는 복수의 영역의 정전기 값을 측정할 수 있다. 설명의 편의상 기판 상에 복수개의 정전기 센서에 대응하는 영역을 센싱 영역(12), 센싱 영역(12)을 제외한 나머지 영역을 비센싱 영역(11)으로 정의하기로 한다. 정의된다. 즉, 센싱 영역(12)은 기판(10)에서 각 정전기 센서(102)의 측정 대상이 되는 일정 지점 또는 영역일 수 있다. 센싱 영역(12)의 형상이나 크기는 제한되지 않으며, 센싱 영역(12)은 점 형상 또는 점을 중심으로 확대된 원 형상을 가질 수 있다. 각 정전기 센서(102)는 각 정전기 센서(102)에 대응되는 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 측정할 수 있다.
센싱 영역(12)의 개수는 정전기 센서(102)의 개수와 동일할 수 있으나, 센싱 영역(12)의 개수가 이에 제한되는 것은 아니다.
측정부가 측정하는 정전기 정보는 각 정전기 센서(102)가 담당하는 각 센싱 영역(12)의 절대적인 정전기 값 또는 일정한 정전기 값을 기준으로 한 상대적인 값일 수 있다.
기판(10)은 단위 표시 기판일 수 있으며, 복수개의 단위 표시 기판으로 절단되어 분할되기 전의 모기판일 수 있다. 기판(10)은 한 매의 기판일 수도 있지만, 적층된 복수의 기판을 포함할 수 있다.
기판(10)은 절연 기판을 포함할 수 있다. 상기 절연 기판은 투명한 SiO2를 주성분으로 하는 투명 재질의 글라스재로 형성될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 기판(10)은 불투명 재질로 이루어지거나, 플라스틱 재질로 이루어질 수도 있다. 더 나아가, 기판(10)은 벤딩, 폴딩이나 롤링이 가능한 플렉서블 기판일 수 있다. 또한, 본 명세서에서 기판(10)이란 그 사전적 의미로서의 기판뿐만 아니라, 기판 상에 몇몇 구조물들이 배치된 상태 또는 완성된 제품으로서 표시 패널을 포함하는 개념으로 이해될 수 있다.
정보 처리부(200)는 측정부(100)에 의해 측정된 정전기 정보를 처리할 수 있다. 구체적으로, 정보 처리부(200)는 측정부(100)에 의해 측정된 정전기 정보를 기초로 기판(10) 상의 정전기 분포 상태를 산출할 수 있다.
정보 처리부(200)는 복수개의 정전기 센서(102)가 측정한 복수개의 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 기초로 비 센싱 영역(11) 또는 인접하는 다른 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 추정하는 연산부(220)를 포함할 수 있다. 연산부(220)는 다양한 통계적인 방법을 사용하여 비 센싱 영역(11) 또는 인접하는 다른 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 추정할 수 있다. 연산부(220)가 비 센싱 영역(11) 또는 인접하는 다른 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 추정하는 방법은 제한되지 않으며, 예컨대, 보간법(interpolation), 회귀 분석(Regression analysis), 일반 선형 모형(General linear model, GLM) 등을 포함할 수 있다. 연산부(220)에 대한 구체적인 설명을 위해 도 4 내지 도 6이 참조된다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 측정 대상체인 기판의 평면도이다. 도 5는 도 4의 A 영역을 확대한 부분 확대도이다. 도 6은 도 4의 B1 영역을 확대한 부분 확대도이다. 도 7은 도 4의 B2 영역을 확대한 부분 확대도이다. 도 8은 도 4의 B3 영역을 확대한 부분 확대도이다.
도 4 내지 도 5를 참조하면, 연산부(220)는 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 기초로 비 센싱 영역(11)의 정전기 정보를 추정할 수 있다.
설명의 편의상 제1 정전기 센서, 제1 정전기 센서와 제1 방향으로 이격된 제2 정전기 센서, 제1 정전기 센서와 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이격된 제3 정전기 센서, 제3 정전기 센서와 제1 방향으로 이격된 제4 정전기 센서를 정의한다. 또한, 기판(10) 상에서 제1 정전기 센서 내지 제4 정전기 센서와 대응되는 제1 센싱 영역(121) 내지 제4 센싱 영역(124)이 정의된다. 예시적인 실시예에서 제1 센싱 영역(121) 내지 제4 센싱 영역(124)은 제1 정전기 센서 내지 제4 정전기 센서의 수직 하부 또는 수직 상부에 위치할 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
또한, 제1 센싱 영역(121) 내지 제4 센싱 영역(124)의 중심을 둘러싸는 제1 영역이 정의된다. 바꾸어 말하면, 제1 영역은 제1 센싱 영역(121)의 중심과 제2 센싱 영역(122)의 중심을 잇는 제1 선분, 제2 센싱 영역(122)의 중심과 제4 센싱 영역(124)의 중심을 잇는 제2 선분, 제4 센싱 영역(124)의 중심과 제3 센싱 영역(123)의 중심을 잇는 제3 선분 및 제3 센싱 영역(123)의 중심과 제1 센싱 영역(121)의 중심을 잇는 제4 선분에 의해 둘러싸인 영역일 수 있다.
예시적인 실시예에서 연산부(220)는 제1 정전기 센서 내지 제4 정전기 센서에 의해 측정된 제1 센싱 영역(121) 내지 제4 센싱 영역(124)의 정전기 정보를 기초로 제1 영역 내 임의의 지점의 정전기 정보를 추정할 수 있다. 또한, 이를 제1 영역 내 전 지점에 대해 수행함으로써, 제1 영역 전 영역의 정전기 정보를 획득할 수 있다.
더욱 구체적으로 설명하면,연산부(220)는 단수 또는 복수개의 변수를 사용한 다양한 통계적 방법 또는 알고리즘을 활용하여 기판상 임의의 지점의 정전기 정보(설명의 편의상 임의의 지점을 "R" 로 지칭한다.)를 추정할 수 있다.
예시적인 실시예에서 복수개의 변수는 제1 센싱 영역(121) 내지 제4 센싱 영역(124)으로부터 임의의 지점까지 거리(d1 내지 d4) 및 제1 센싱 영역(121) 내지 제4 센싱 영역(124)의 절대적 또는 상대적인 정전기 값을 포함할 수 있다. 더욱 구체적으로는 제1 센싱 영역(121)의 중심으로부터 임의의 지점(R)까지의 제1 거리(d1), 제2 센싱 영역(122)의 중심으로부터 임의의 지점(R)까지의 제2 거리(d2), 제3 센싱 영역(123)으로부터 임의의 지점(R)까지 제3 거리(d3), 제4 센싱 영역(124)으로부터 임의의 지점(R)까지의 제4 거리(d4) 중 적어도 하나와 제1 센싱 영역(121) 내지 제4 센싱 영역(124)의 정전기 정보 중 적어도 하나를 기초로 기판(10) 상 임의의 지점(R)의 정전기 정보를 추정할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 연산부(220)가 사용할 수 있는 변수가 이에 제한되는 것이 아님은 물론이다.
또한, 연산부(220)는 복수개의 변수를 기초로 다양한 통계적 방법을 활용할 수 있다. 통계적 방법 또는 알고리즘은 제한되지 않으며, 예시적으로 보간법(interpolation), 회귀 분석(Regression analysis), 일반 선형 모형(General linear model, GLM) 등이 사용될 수 있음은 앞서 설명한 바와 같다.
도 4 및 도 6 내지 도 8을 참조하면, 연산부(220)는 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 기초로 인접하는 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 추정할 수도 있다.
예시적인 실시예에서 복수개의 정전기 센서 중 일부가 오류 등을 이유로 정상 작동하지 않을 수 있다. 이하, 정상 작동하지 않는 센서를 비정상 센서로 지칭하기로 한다. 이 경우, 연산부(220)는 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역과 인접한 센싱 영역의 정전기 정보를 기초로 비정상 센서의 정전기 정보를 추정할 수 있다.
도 6은 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(125) 주변에 8개의 센싱 영역(12)이 배치되는 경우를 예시한다. 이 경우, 연산부(220)는 인접하는 8개의 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 기초로 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(125)의 정전기 정보를 측정할 수 있다. 또한, 8개의 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 기초로 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(125)의 정전기 정보를 측정하는데 있어, 인접하는 센싱 영역(12)과 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(125)의 거리가 변수로서 이용될 수 있다. 인접하는 8개 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 기초로 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(125)의 정전기 정보를 추정하는 것을 예시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 8개 센싱 영역(12) 중 일부 센싱 영역의 정전기 정보를 기초로 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(125)의 정전기 정보를 추정할 수도 있음은 물론이다.
도 7은 비 정상 센서가 측정하는 센싱 영역(126) 주변에 3개의 센싱 영역(12)이 배치되는 경우를 예시한다. 복수개의 정전기 센서가 매트릭스 형태로 배치된 예시적인 실시예에서 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(126)은 측정부의 모서리에 위치할 수 있다. 이 경우, 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(126) 주위에는 인접하는 3 개의 센싱 영역(12)이 배치될 수 있으며, 연산부(220)는 인접하는 3개의 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 기초로 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(126)의 정전기 정보를 측정할 수 있다. 또한, 3개의 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 기초로 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(126)의 정전기 정보를 측정하는데 있어, 인접하는 센싱 영역(12)과 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(126)의 거리가 변수로서 이용될 수 있다. 또한, 인접하는 3 개의 센싱 영역(12)의 정전기 정보가 전부 이용될 수 있고, 그 중 일부만이 이용될 수도 있음은 앞서 설명한 바와 같다.
도 8은 비 정상 센서가 측정하는 센싱 영역(127) 주변에 5 개의 센싱 영역(12)이 배치되는 경우를 예시한다. 복수개의 정전기 센서가 매트릭스 형태로 배치된 예시적인 실시예에서 비정상 센서는 측정부의 측부에 위치할 수 있다. 이 경우, 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(127) 주위에는 인접하는 5 개의 센싱 영역(12)이 배치될 수 있으며, 연산부(220)는 인접하는 5 개의 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 기초로 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(127)의 정전기 정보를 추정할 수 있다. 또한, 5 개의 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 기초로 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(127)의 정전기 정보를 측정하는데 있어, 인접하는 센싱 영역(12)과 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역(127)간의 거리가 변수로서 이용될 수 있다. 또한, 인접하는 5 개의 센싱 영역(12)의 정전기 정보가 전부 이용될 수 있고, 그 중 일부만이 이용될 수도 있음은 앞서 설명한 바와 같다.
정보 처리부(200)는 복수개의 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보와 연산부(220)에 의해 추정된 정전기 정보를 기초로 기판 상의 정전기 분포 상태를 산출하는 제어부(210)를 포함할 수 있다. 즉, 제어부(210)는 복수개의 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보와 연산부(220)에 의해 추정된 정전기 정보를 종합하여 기판(10) 상의 전 영역의 정전기 분포 상태를 산출할 수 있다. 예시적으로 제어부(210)에 의해 산출된 정전기 분포 상태는 수치화된 데이터를 포함할 수 있다.
정보 처리부(220)는 영상 출력부(230)를 포함할 수 있다. 영상 출력부(230)는 제어부(210)가 산출한 정전기 분포 상태를 이미지화할 수 있다. 상기 이미지의 종류는 제한되지 않으며, 다양한 형태로 정전기 분포 상태를 이미지화할 수 있다. 예시적으로, 상기 이미지는 숫자, 숫자 와 색채의 조합, 색채의 조합, 3D 차트, 등고선 형태의 이미지를 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
표시부(300)는 정보 처리부(200)가 산출한 정전기 분포 상태를 표시할 수 있다. 정보 처리부(200)가 산출한 정전기 분포 상태를 표시하기 위해 표시부(300)는 표시 패널을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 표시 패널은 OLED(Organic Light Emitting Diode), LED, 무기 EL(Electro Luminescent display), FED(Field Emission Display), SED(surface-conduction electron-emitter display), PDP(Plasma Display Panel), CRT(Cathode Ray Tube) 등과 같은 자발광 표시 패널일 수 있다. 다른 몇몇 실시예에서, 표시 패널은 LCD(Liquid Crystal Display), 전기영동 표시 장치(Electrophoretic Display, EPD) 등과 같은 비발광 표시 패널일 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 범위는 표시 패널에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 표시부(300)는 정보 처리부(200)가 산출한 기판(10) 상의 정전기 분포 상태를 표시할 수 있다. 이에 대한 자세한 설명을 위해 도 9가 참조된다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 장치 표시부의 평면도이다. 앞서 설명한 바와 같이 정전기 분포 상태는 수치화된 데이터일 수 있으며, 이 경우, 표시부(301)는 수치화된 정전기 분포 상태를 표시할 수 있다. 표시부(301)는 영상 출력부(230)에 의해 생성된 이미지를 표시할 수 있다. 표시부(301)에 의해 표시될 수 있는 이미지는 앞서 영상 출력부(230)에서 설명한 바와 동일하므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
표시부(301)에 표시되는 각각의 숫자는 각 정전기 센서가 측정한 각 센싱 영역의 정전기 값일 수 있다. 각각의 숫자가 상대적인 정전기 값일 수 있음은 앞서 설명한 바와 같다.
이하, 본 발명의 다른 실시예들에 대해 설명한다. 이하의 실시예에서 이미 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조 번호로서 지칭하며, 중복 설명은 생략하거나 간략화하기로 한다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치 표시부의 평면도이다.
도 10을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 표시부(302)는 정전기 분포 상태를 색채 또는 색채의 조합으로 표시할 수 있다.
앞서 설명한 바와 같이 영상 출력부(230)는 기판 상의 정전기 분포 상태를 이미지화할 수 있다. 또한, 상기 이미지는 색채 또는 색채의 조합을 포함할 수 있다. 또한, 표시부(302)는 영상 출력부(230)에 의해 이미지화한 정전기 분포 상태를 화면에 표시할 수 있다. 예시적으로 상대적인 정전기 값이 0 내지 100 사이인 경우 파란색 영역, 100 내지 200 인 경우 노란색 영역, 200 이상인 경우 빨간색 영역으로 표시할 수 있다. 또한, 동일한 색채 영역 내에서도 상대적인 정전기 값에 따라 톤 차이가 나도록 표시할 수 있다. 예를 들어, 정전기 값이 0~100 사이에 해당하는 파란색 영역을 세분하여, 수치가 커질수록 톤 다운(Tone down) 시키거나 톤 업(Tone up) 시킬 수 있다. 다만, 앞서 말한 각 영역의 색상과 수치 구간은 예시적인 것으로 본 발명의 범위가 이에 제한되지 않음은 자명하다 할 것이다. 정전기 분포 상태를 색채 또는 색채의 조합으로 표시하는 경우, 기판(10) 상의 전 영역의 정전기 분포 상태를 용이하게 파악할 수 있다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치 표시부의 평면도이다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치 표시부(303)는 정전기 분포 상태를 등고선 형태로 표시할 수 있다.
앞서 설명한 바와 같이 영상 출력부(230)는 기판(10) 상의 정전기 분포 상태를 이미지화할 수 있다. 또한, 상기 이미지는 등고선 형태를 포함할 수 있다. 또한, 표시부(30.)는 영상 출력부(230)에 의해 이미지화한 정전기 분포 상태를 화면에 표시할 수 있다. 즉, 영상 출력부(230)가 기판(10)의 정전기 분포 상태를 상대적인 정전기 값이 동일한 지점을 연결한 등고선을 포함하는 이미지로 출력하고, 표시부(303)가 이를 표시할 수 있다. 표시부(303)가 정전기 분포 상태를 등고선 형태로 표시함으로써 기판(10) 상 정전기 분포 상태를 용이하게 파악할 수 있다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치 표시부의 평면도이다.
도 12를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치 표시부(304)는 정전기 분포 상태를 3차원 차트 형태로 표시할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 영상 출력부(230)는 기판(10) 상의 정전기 분포 상태를 이미지화할 수 있다. 또한, 표시부(304)는 영상 출력부(230)에 의해 이미지화한 정전기 분포 상태를 화면에 표시할 수 있다. 또한, 상기 이미지는 3차원 차트 형태를 포함할 수 있다. 즉, 영상 출력부(230)가 정전기 값의 높고 낮음을 3차원 차트로 구성하여 출력하고 표시부가 이를 표시할 수 있다. 표시부(304)가 정전기 분포 상태를 3차원 차트 형태로 표시함으로써 기판 상 정전기 분포 상태를 용이하게 파악할 수 있다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 블록도이다.
도 13을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치(1001)는 기판을 동작시키는 구동부(400)를 더 포함한다.
앞서 설명한 바와 같이 본 명세서에서 기판(10)은 기판(10) 상에 몇몇 구조물들이 배치된 상태 또는 완성된 제품으로서 표시 패널을 의미할 수 있다. 구동부(400)는 기판(10)을 동작시킬 수 있다. "구동부가 기판을 동작시킨다" 함은 기판(10) 상에 전압을 인가하는 것을 포함할 수 있다. 또한, 예시적인 실시예에서 구동부(400)는 프로브 유닛을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 기판(10)을 동작시키는 데 필요한 다양한 구성을 포함할 수 있다.
기판(10) 상에 전압을 인가하여 기판(10)을 동작시키면서, 측정부(100)는 기판(10)의 동작에 따라 변화하는 기판(10) 상의 정전기 정보를 실시간으로 측정할 수 있다. 구체적으로, 복수개의 정전기 센서(102)에 대응하는 복수개의 센싱 영역(12)의 정전기 정보의 변화를 측정할 수 있다. 이에 따라, 연산부(220)는 측정부(100)가 측정한 정전기 정보를 기초로 비센싱 영역(11) 또는 인접하는 다른 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 실시간으로 추정할 수 있으며, 제어부(210)는 측정된 정전기 정보와 추정된 정전기 정보를 종합하여 기판(10)의 동작에 따라 변화하는 정전기 분포 상태를 실시간으로 산출할 수 있다.
이에 더하여, 정보 처리부(200)는 기판(10)의 동작에 따라 변화하는 정전기 분포 상태의 변화를 저장하는 메모리부(240)를 더 포함할 수 있다. 메모리부(240)는 기판(10)의 동작에 따라 변화하는 정전기 분포 상태를 저장할 수 있으며, 저장된 정전기 분포 상태는 표시부(300)에 의해 재생될 수 있다. 즉, 메모리부(240)는 구동부(400)가 기판(10)을 동작시키는 시점과 기판(10)의 동작을 종료시키는 시점 사이의 기판(10)상 정전기 분포 상태의 변화를 저장할 수 있으며, 저장된 기판(10) 상 정전기 분포 상태의 변화는 표시부(300)에 의해 재생될 수 있다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 블록도이다.
도 14를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치(1002)는 기판(10)의 동작 영상을 촬영하는 촬영부(500)를 더 포함하는 점이 도 12의 실시예와 다른 점이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치는 촬영부(500)를 더 포함할 수 있다. 촬영부(500)는 기판(10)의 동작 상태를 촬영할 수 있다. 예시적인 실시예에서 촬영부(500)는 웹 캠(Web cam)일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치 촬영부의 위치를 나타내는 평면도이다.
도 15는 촬영부(500)가 측정부의 베이스 판 상에 배치된 것을 예시한다. 촬영부(500)는 기판과 대향되도록 배치될 수 있으며, 예시적인 실시예에서 촬영부(500)는 측정부의 베이스 판 상에 배치될 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 예시적인 실시예에서 촬영부(500)는 매트릭스 형태로 배치된 복수개의 정전기 센서 사이에 배치될 수 있으며, 촬영부(500)의 개수는 단수 또는 복수일 수 있다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치 표시부의 평면도이다.
도 16을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 표시부는 기판의 동작 영상과 기판 상의 정전기 분포 상태가 오버랩된 이미지를 표시할 수 있다.
촬영부(500)에 의해 촬영한 영상은 정보 처리부(200)로 송신될 수 있다. 정보 처리부(200)는 촬영부(500)에 의해 촬영된 기판(10)의 동작 영상과 기판(10) 상 정전기 정보가 매칭된 정전기 분포 상태를 산출할 수 있다. 예를 들어, 제어부(210)가 기판(10)의 동작 영상과 기판(10) 상의 의 정전기 정보를 매칭시키고, 영상 출력부(230)가 기판(10)의 동작 영상 상에 기판(10)의 정전기 분포 상태가 오버랩되는 이미지를 생성할 수 있다. 또한, 기판(10)의 동작 영상과 기판(10)의 정전기 분포 상태가 동시에 시인되기 위해 기판의 정전기 분포 상태의 일부 또는 전부는 투명하거나 반투명하게 표시될 수 있다.
정전기 측정 장치가 촬영부(500)를 포함하는 경우, 기판(10)의 동작 영상과 그에 따른 정전기 분포 상태의 변화를 동시에 볼 수 있어, 기판의 동작 상태에 따른 정전기 분포 상태의 변화를 보다 더 용이하게 파악할 수 있다.
이에 더하여, 정보 처리부(200)는 기판(10)의 동작에 따라 변화하는 정전기 분포 상태의 변화를 저장하는 메모리부(400)를 더 포함할 수 있다. 메모리부(400)는 촬영부(500)에 의해 촬영된 기판의 동작 영상 및/또는 이에 따라 변화하는 정전기 분포 상태를 저장할 수 있으며, 저장된 기판(10)의 동작 영상 및/또는 이에 따라 변화하는 정전기 분포 상태는 표시부(300)에 의해 재생될 수 있다. 또한, 메모리부(400)는 기판(10)의 동작 영상 상에 기판(10)의 정전기 분포 상태가 오버랩된 이미지를 저장할 수도 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 방법에 대해 설명하기로 한다. 설명의 편의상 도 1 내지 도 9에 나타낸 각 구성요소와 실질적으로 동일하거나 유사한 구성요소는 동일 부호로 지칭하고, 중복 설명은 생략하기로 한다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 방법은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 정전기 측정 장치에 의해 실시될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 방법은 복수개의 정전기 센서(102)를 가지는 측정부(100)를 기판(10) 상에 배치하는 단계, 기판(10) 상에 복수개의 정전기 센서(102)에 대응되는 복수개의 센싱 영역(12)이 정의되고, 기판(10) 상에 센싱 영역(12)을 제외한 나머지 영역인 비 센싱 영역(11)이 정의되되, 상기 각 정전기 센서(102)가 상기 각 정전기 센서(102)에 대응되는 상기 각 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 측정하는 단계, 각 정전기 센서(102)에 의해 측정된 정전기 정보를 기초로 비 센싱 영역(11) 또는 인접하는 다른 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 추정하는 단계, 정전기 센서(102)에 의해 측정된 정전기 정보와 추정된 비 센싱 영역(11) 또는 인접하는 다른 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 종합하여 기판(10) 상 전 영역의 정전기 분포 상태를 산출하는 단계 및 상기 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 단계를 포함한다.
먼저, 복수개의 정전기 센서를 갖는 측정부(100)를 기판(10) 상에 배치할 수 있다. 복수개의 정전기 센서(102)는 기판(10)과 대향되게 배치될 수 있다. 복수개의 정전기 센서(102)와 기판(10)에 대한 것은 앞서 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 정전기 측정 장치에서 설명한 것과 실질적으로 동일하므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
앞서 설명한 바와 같이 기판(10) 상에 복수개의 정전기 센서(102)에 대응되는 복수개의 센싱 영역(12)이 정의되고, 센싱 영역(12)을 제외한 나머지 영역인 비 센싱 영역(11)이 정의된다. 측정부(100)가 기판(10) 상에 배치된 상태에서 각 정전기 센서(102)가 각 정전기 센서(102)에 대응되는 각 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 측정하는 단계가 진행된다. 각 정전기 센서(102)는 각 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 측정할 수 있으며, 각 정전기 센서(102)가 각 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 측정하는 방법은 제한되지 않는다. 각 센싱 영역(12)에 대한 것은 앞서 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 정전기 측정 장치에서 설명한 것과 실질적으로 동일하므로 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
이어서, 각 정전기 센서(102)에 의해 측정된 정전기 정보를 기초로 비 센싱 영역(11) 또는 인접하는 다른 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 추정하는 단계가 진행된다. 각 정전기 센서(102)에 의해 측정된 정전기 정보를 기초로 비 센싱 영역(11) 또는 인접하는 다른 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 추정하는 단계는 앞서 설명한 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 연산부(220)에 의해 수행될 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 비 센싱 영역(11) 또는 인접하는 다른 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 추정하는 방법은 제한되지 않으며, 예컨대, 보간법(interpolation), 회귀 분석(Regression analysis), 일반 선형 모형(General linear model, GLM) 등을 포함할 수 있다. 비 센싱 영역(11) 또는 인접하는 다른 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 추정하는 단계는 앞서 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 정전기 측정 장치에서 설명한 것과 실질적으로 동일하므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
이어서, 정전기 센서(102)에 의해 측정된 정전기 정보와 추정된 비 센싱 영역(11) 또는 인접하는 다른 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 종합하여 기판(10) 상 전 영역의 정전기 분포 상태를 산출하는 단계가 진행된다. 정전기 센서(102)에 의해 측정된 정전기 정보와 추정된 정전기 정보를 종합하여 기판(10) 상 전 영역의 정전기 분포 상태를 산출하는 단계는 앞서 설명한 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 제어부(210)에 의해 수행될 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
이어서, 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 단계가 진행된다. 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 단계는 앞서 설명한 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 표시부(300)에 의해 수행될 수 있다. 또한, 앞서 설명한 바와 같이 정전기 분포 상태는 수치화된 데이터를 포함할 수 있으며, 표시부(300)는 각 센싱 영역(12)의 수치화된 정전기 분포 상태를 표시할 수 있다. 또한, 앞서 설명한 바와 같이 표시부(300)는 이미지화된 정전기 분포 상태를 표시할 수도 있다. 정전기 분포 상태에 대한 이미지를 생성하는 것은 앞서 설명한 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 정전기 측정 장치의 영상 출력부(230)에 의해 수행될 수 있음은 물론이다.
이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 방법에 대해 설명하기로 한다. 설명의 편의상 도 10 내지 도 16에 나타낸 각 구성요소와 실질적으로 동일하거나 유사한 구성요소는 동일 부호로 지칭하고, 중복 설명은 생략하기로 한다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 방법은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 정전기 측정 장치에 의해 실시될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 방법은 기판(10)을 동작시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 기판(10)을 동작시키는 단계는 기판(10) 상에 전압을 인가하는 단계를 포함할 수 있다. 즉, 기판(10)을 동작시킨 상태에서 각 센싱 영역(12)의 정전기 정보를 측정함으로써, 기판(10)의 동작에 따른 정전기 분포 상태의 변화를 측정할 수 있다.
이에 더하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 방법은 기판(10)의 동작 영상을 촬영하는 단계를 더 포함할 수 있다. 즉, 기판(10)을 구동시킴과 동시에 또는 순차적으로 기판(10)의 동작 영상을 촬영할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 측정 방법에서 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 단계는 기판(10)의 동작 영상과 정전기 분포 상태가 오버랩된 이미지를 표시하는 단계를 포함할 수 있다. 기판(10)의 동작 영상과 정전기 분포 상태가 오버랩된 이미지를 표시하기 위해, 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 표시 방법은 촬영된 기판(10)의 동작 영상과 산출된 정전기 분포 상태를 매칭하는 단계 및 기판(10)의 동작 영상 상에 기판의 정전기 분포 상태가 오버랩되는 이미지를 생성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 기판
100: 측정부
200: 정보 처리부
101: 베이스 판
102: 정전기 센서
300, 301, 302, 303, 304: 표시부
400: 구동부
210: 제어부
220: 연산부
230: 영상 출력부
240: 메모리부
500: 촬영부

Claims (20)

  1. 기판 상의 정전기를 측정하는 정전기 측정 장치로서, 복수개의 정전기 센서를 포함하는 측정부;
    상기 측정부에 의해 측정된 정전기 정보를 처리하여 상기 기판 상의 정전기 분포 상태를 산출하는 정보 처리부; 및
    상기 정보 처리부에 의해 산출된 상기 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 표시부를 포함하되,
    상기 기판 상에 상기 복수개의 정전기 센서에 대응되는 복수개의 센싱 영역이 정의되고, 상기 센싱 영역을 제외한 나머지 영역인 비 센싱 영역이 정의되되, 상기 각 정전기 센서는 상기 각 정전기 센서에 대응되는 상기 각 센싱 영역의 정전기 정보를 측정하고,
    상기 정보 처리부는 상기 각 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보를 기초로 인접하는 비 센싱 영역 또는 인접하는 다른 센싱 영역의 정전기 정보를 추정하는 연산부; 및
    상기 복수개의 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보와 상기 연산부에 의해 추정된 정전기 정보를 기초로 상기 기판 상의 상기 정전기 분포 상태를 산출하는 제어부를 포함하는 정전기 측정 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 정보 처리부는 상기 정전기 분포 상태에 대한 이미지를 생성하는 영상 출력부를 더 포함하고, 상기 표시부는 상기 이미지를 디스플레이하는 정전기 측정 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 이미지는 색채 또는 색채의 조합을 포함하는 정전기 측정 장치.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 이미지는 3차원 형태를 포함하는 정전기 측정 장치.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 이미지는 등고선 형태로 이루어진 정전기 측정 장치.
  6. 제2 항에 있어서,
    상기 기판을 동작시키는 구동부를 더 포함하는 정전기 측정 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 기판의 동작 영상을 촬영하는 촬영부를 더 포함하고, 상기 표시부는 상기 기판의 동작 영상과 상기 정보처리부에 의해 산출된 정전기 분포 상태를 매칭하여 디스플레이하는 정전기 측정 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 기판의 동작에 따른 상기 정전기 분포 상태의 변화와 상기 기판의 동작 영상을 저장하는 메모리부를 더 포함하는 정전기 측정 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 측정부는 베이스 판을 포함하고, 상기 복수개의 정전기 센서는 상기 베이스 판 상에 복수의 행과 복수의 열을 갖는 매트릭스 형태로 배치되는 정전기 측정 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 베이스 판의 크기는 상기 기판의 크기에 대응되는 정전기 측정 장치.
  11. 제9 항에 있어서,
    상기 베이스 판 상에 배치되는 웹 캠(web cam)을 더 포함하는 정전기 측정 장치.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 측정부는 제1 정전기 센서;
    상기 제1 정전기 센서와 제1 방향으로 이격되어 배치된 제2 정전기 센서;
    상기 제1 정전기 센서와 상기 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 이격된 제3 정전기 센서; 및
    상기 제3 정전기 센서와 제1 방향으로 이격된 제4 정전기 센서를 포함하는 정전기 측정 장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 기판 상에 상기 제1 정전기 센서 내지 제4 정전기 센서와 대응되는 제1 센싱 영역 내지 제4 센싱 영역이 정의되고, 제1 정전기 센서 내지 제4 정전기 센서는 각각 제1 센싱 영역 내지 제4 센싱 영역의 정전기 정보를 측정하되, 상기 제1 센싱 영역 내지 제4 센싱 영역을 둘러 싸는 제1 영역이 정의되고, 상기 연산부는 제1 센싱 영역 내지 제4 센싱 영역의 정전기 정보를 기초로 상기 제1 영역 내 임의의 지점의 정전기 정보를 추정하는 정전기 측정 장치.
  14. 제12 항에 있어서,
    상기 기판 상에 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역이 정의되고, 상기 연산부는 상기 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역과 인접한 복수의 센싱 영역의 정전기 정보를 기초로 상기 비정상 센서가 측정하는 센싱 영역의 정전기 정보를 측정하는 정전기 측정 장치.
  15. 복수개의 정전기 센서를 가지는 측정부를 기판 상에 배치하는 단계;
    상기 기판 상에 상기 복수개의 센서에 대응되는 복수개의 센싱 영역이 정의되고, 상기 센싱 영역을 제외한 나머지 영역인 비 센싱 영역이 정의되되, 상기 각 정전기 센서가 상기 각 정전기 센서에 대응되는 상기 각 센싱 영역의 정전기 정보를 측정하는 단계;
    상기 각 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보를 기초로 비 센싱 영역 또는 인접하는 다른 센싱 영역의 정전기 정보를 추정하는 단계;
    상기 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보와 추정된 상기 비 센싱 영역 또는 인접하는 다른 센싱 영역의 정전기 정보를 종합하여 상기 기판 상 전 영역의 정전기 분포 상태를 산출하는 단계; 및
    상기 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 단계를 포함하는 정전기 측정 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 기판의 동작 영상을 촬영하는 단계를 더 포함하는 정전기 측정 방법.
  17. 제15 항에 있어서,
    상기 기판을 동작시키는 단계를 더 포함하는 정전기 측정 방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 단계는 상기 산출된 정전기 분포 상태와 상기 기판의 동작 영상을 매칭하여 디스플레이하는 정전기 측정 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 산출된 정전기 분포 상태와 상기 기판의 동작 영상을 매칭하여 디스플레이하는 단계는 상기 기판의 동작 영상과 상기 정전기 분포 상태가 오버랩된 이미지를 표시하는 단계를 포함하는 정전기 측정 방법.
  20. 제15 항에 있어서,
    상기 각 정전기 센서에 의해 측정된 정전기 정보를 기초로 비 센싱 영역 또는 인접하는 다른 센싱 영역의 정전기 정보를 추정하는 단계는 보간법을 사용하여 비 센싱 영역 또는 인접하는 다른 센싱 영역의 정전기 정보를 추정하는 단계를 포함하는 정전기 측정 방법.
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