KR20140147974A - 픽커 - Google Patents

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KR20140147974A
KR20140147974A KR20130071066A KR20130071066A KR20140147974A KR 20140147974 A KR20140147974 A KR 20140147974A KR 20130071066 A KR20130071066 A KR 20130071066A KR 20130071066 A KR20130071066 A KR 20130071066A KR 20140147974 A KR20140147974 A KR 20140147974A
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KR20130071066A
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유홍준
서용진
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(주)제이티
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 픽커는 크기를 최소화하기 위한 것으로, 관통홀이 형성되는 바디와, 상기 관통홀에 슬라이드 이동이 가능하게 삽입되며, 전방에 소자가 흡착되는 흡착부가 결합되며 후방에 진공원이 연결되는 중공의 로드를 포함하고, 상기 로드에는 상기 관통홀에 의하여 상기 바디의 내부에 형성되는 공간을 제1공간 및 제2공간으로 구획하는 구획부가 형성되고, 상기 바디에는 상기 제1공간으로 유체가 유입되는 제1유로 및 상기 제2공간으로 유체가 유입되는 제2유로가 형성된다.

Description

픽커 {PICKER}
본 발명은 소자를 이송하는 픽앤플레이스장치에 장착되어 소자를 흡착하는 픽커에 관한 것이다.
일반적으로, 픽커는 소자를 픽업한 후 이송하여 소정의 안착위치에 안착시키는 픽앤플레이스장치에 설치되어 소자를 흡착하는 기구로서, 내부에 진공압이 작용되는 흡입통로가 형성되고 일단에 소자가 흡착되는 흡착부가 결합되는 로드와, 로드를 전후방으로 이동시키기 위한 액추에이터가 구비된다.
액추에이터는 공압으로 작동하는 구성으로서, 공압이 작용되는 공간을 제공하는 실린더와, 공압에 의하여 실린더의 내부에서 슬라이드 이동되는 피스톤으로 구성된다. 그리고, 이와 같은 액추에이터의 피스톤과 로드가 링크 등을 통하여 연결되며, 이에 따라, 실린더의 내부에서 피스톤이 슬라이드 이동되는 것에 의하여 로드가 전후방으로 이동된다.
그러나, 종래의 픽앤플레이스장치에 장착되는 픽커에는 로드를 전후방으로 이동시키기 위하여 실린더 및 피스톤으로 구성된 액추에이터가 독립적으로 구비되었으므로, 픽커의 크기가 비교적 크다는 단점이 있다. 또한, 크기가 큰 픽커가 복수의 열 및 복수의 행으로 장착되는 종래의 픽앤플레이스장치의 크기 역시 비교적 크다는 단점이 있으며, 복수의 픽커 사이의 간격이 커질 수 밖에 없어 복수의 픽커가 동시에 픽업할 수 있는 복수의 소자의 간격을 줄이는 데에 한계가 있다는 단점이 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 크기를 최소화할 수 있는 픽커를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 관통홀이 형성되는 바디와, 상기 관통홀에 슬라이드 이동이 가능하게 삽입되며, 전방에 소자가 흡착되는 흡착부가 결합되며 후방에 진공원이 연결되는 중공의 로드를 포함하고, 상기 로드에는 상기 관통홀에 의하여 상기 바디의 내부에 형성되는 공간을 제1공간 및 제2공간으로 구획하는 구획부가 형성될 수 있고, 상기 바디에는 상기 제1공간으로 유체가 유입되는 제1유로 및 상기 제2공간으로 유체가 유입되는 제2유로가 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 상기 로드가 통과하는 통과홀이 각각 형성되고, 상기 관통홀의 양쪽 개구에 삽입되어 상기 제1공간 및 상기 제2공간을 외부로부터 밀폐시키는 제1가이드부재 및 제2가이드부재를 포함할 수 있다.
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재에는 상기 제1유로 및 상기 제2유로를 상기 제1공간 및 상기 제2공간과 연통시키는 연통홀이 형성될 수 있다.
상기 연통홀은 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 둘레방향을 따라 복수로 형성되고, 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 외면에는 상기 복수의 연통홀을 서로 연결시키는 연결홈이 형성될 수 있다.
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 통과홀의 내면에는 상기 연통홀과 연통되며 반경방향으로 내입되는 내입홈이 형성될 수 있다.
상기 내입홈은 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 둘레방향으로 연장될 수 있다.
상기 구획부가 상기 제1가이드부재에 접촉되거나 상기 구획부가 상기 제2가이드부재에 접촉되는 것에 의하여 상기 구획부의 외면과 상기 관통홀의 내면 사이의 실링이 이루어질 수 있다.
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재를 향하는 상기 구획부의 양측 단부에는 실링부재가 설치될 수 있다.
상기 로드의 전방 및 후방에는 각각 제1스토퍼 및 제2스토퍼가 구비되며, 상기 제1스토퍼가 상기 제1가이드부재에 접촉되는 것에 의하여 상기 제1공간이 밀폐되고, 상기 제2스토퍼가 상기 제2가이드부재에 접촉되는 것에 의하여 상기 제2공간이 밀폐될 수 있다.
상기 제1공간 및 상기 제2공간은 상기 로드의 둘레방향으로 형성될 수 있다.
상기 로드의 외면 중 적어도 일부에는 상기 로드의 길이방향과 평행한 하나 이상의 평면이 형성되고, 상기 제1가이드부재의 통과홀 또는 상기 제2가이드부재의 통과홀 중 적어도 어느 하나의 내면에는 상기 로드의 하나 이상의 평면과 대응되는 하나 이상의 평면이 형성될 수 있다.
상기 제1공간으로 유체가 유입될 때, 상기 제1공간으로 유입된 유체가 상기 흡착부를 향하여 분사되도록, 상기 로드의 외면과 상기 제1가이드부재의 통과홀의 내면 사이에는 미세유로가 형성될 수 있다.
상기 제1공간으로 유체가 유입될 때, 상기 제1공간으로 유입된 유체가 상기 흡착부를 향하여 분사되도록, 상기 로드의 외면과 상기 제1가이드부재의 통과홀의 내면 사이에는 미세유로가 형성될 수 있다.
상기 제2공간으로 유체가 유입될 때, 상기 제2공간으로 유입된 유체가 상기 로드를 향하여 분사되도록, 상기 로드의 외면과 상기 제2가이드부재의 통과홀의 내면 사이에는 미세유로가 형성될 수 있다.
상기 바디에는 상기 제1유로 및 상기 제2유로를 유체공급원과 연결하기 위한 제1연결부재 및 제2연결부재가 설치되고, 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는 상기 바디의 후방에서 상기 로드의 반경방향으로의 일측에 함께 설치될 수 있다.
상기 로드의 단면은 다각형상이나 곡률반경이 서로 다른 복수의 선이 연결된 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 상기 로드의 이동에 의하여 상기 흡착부가 상기 소자에 접촉될 때, 상기 제2공간으로 유입되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절장치를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 바디의 내부에 로드의 구획부에 의하여 구획되는 제1공간 및 제2공간을 형성하고, 제1공간 및 제2공간의 내부에 유체를 선택적으로 공급하는 것을 통하여 로드를 전후방으로 이동시킬 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 로드의 전후방으로의 이동을 안내하는 관통홀이 실린더로서의 기능을 함께 수행할 수 있으며, 로드의 구획부가 피스톤으로서의 기능을 함께 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는 로드의 이동라인과 로드를 이동시키기 위한 압력이 작용하는 라인이 동일선상에 존재하므로, 로드를 전후방으로 이동시키기 위하여 실린더 및 피스톤으로 구성된 액추에이터가 독립적으로 구비되는 종래기술에 비하여 픽커의 크기를 최소화할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 로드의 전후방으로의 이동을 안내하는 관통홀이 실린더로서의 기능을 수행할 수 있으며, 로드의 구획부가 피스톤으로서의 기능을 수행할 수 있으므로, 로드의 이동라인과 로드를 이동시키기 위한 압력이 작용하는 라인이 동일선상에 존재한다. 따라서, 별도의 액추에이터가 구비되는 종래기술에서와 같이, 로드의 이동라인과 로드를 이동시키기 위한 압력이 작용하는 라인이 서로 일치하지 않는 경우에 발생하였던 모멘트를 제거할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커가 복수 열 및 복수의 행으로 픽앤플레이스장치에 장착되는 경우에는, 픽커의 크기가 최소화됨에 따라 각 픽커 사이의 간격이 최소화될 수 있으므로, 픽앤플레이스장치의 크기를 최소화시킬 수 있는 이점이 있으며, 복수의 픽커가 동시에 픽업할 수 있는 복수의 소자들 사이의 간격이 최소화될 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는 그 크기가 최소화되므로, 복수의 픽커 사이의 간섭을 최소화할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는 그 크기를 최소화됨에 따라 중량이 최소화될 수 있다. 따라서, 이러한 픽커가 장착된 픽앤플레이스장치의 크기 및 중량을 최소화할 수 있으며, 이에 따라, 픽앤플레이스장치의 관성을 최소화할 수 있으므로, 픽앤플레이스장치의 제어가 용이한 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 로드의 외면과 제1가이드부재의 통과홀의 내면 사이 또는 로드의 외면과 제2가이드부재의 통과홀의 내면 사이에 갭이 형성되므로, 로드를 전후방으로 이동시키기 위한 유체의 일부를 이용하여 로드, 흡착부 및 흡착부에 부착된 소자를 세정할 수 있고, 이물질이 제1공간 및 제2공간의 내부로 유입되는 것이 방지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 픽커가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 픽커의 일부가 확대되어 도시된 단면도이다.
도 4는 도 1의 픽커에서 가이드부재가 도시된 사시도이다.
도 5 및 도 6은 도 1의 픽커의 작동상태가 도시된 단면도이다.
도 7은 도 1의 픽커의 일부가 도시된 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 픽커에 대하여 설명한다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 관통홀(11)이 형성되는 바디(10)와, 관통홀(11)에 슬라이드 이동이 가능하게 삽입되고, 전방에 소자가 흡착되는 흡착부(90)가 결합되며 후방에 진공원이 연결되는 중공의 로드(20)를 포함할 수 있다.
바디(10)의 재질은 금속, 특히, 알루미늄 또는 알루미늄합금일 수 있다.
이러한 픽커는 소자를 이송하는 픽앤플레이스장치에 설치되어 소자를 흡착하여 픽업하는 기구로서, 로드(20)의 전방단부에는 소자가 흡착되는 흡착부(90)가 탈착이 가능하게 결합되는 결합부(21)가 구비될 수 있다. 그리고, 로드(20)의 내부에는 흡착부(90)로부터 공기가 흡입되는 흡입통로(22)가 형성될 수 있다. 또한, 로드(20)의 후방단부에서 흡입통로(22)는 진공펌프 등과 같은 진공원과 연결될 수 있다.
그리고, 로드(20)에는 관통홀(11)이 형성되는 것에 의하여 바디(10)의 내부에 형성되는 공간을 제1공간(31) 및 제2공간(32)으로 구획하는 구획부(23)가 형성된다. 여기에서, 제1공간(31)은 구획부(23)를 기준으로 전방에 위치되며, 제2공간(32)은 구획부(23)를 기준으로 후방에 위치된다. 구획부(23)의 외면과 관통홀(11)의 내면이 서로 접촉된 상태에서 로드(20)가 슬라이드 이동될 수 있도록 구획부(23)의 외경은 관통홀(11)의 내경과 대응되는 크기를 가진다.
로드(20)의 구획부(23)는 로드(20)의 나머지 부분과 일체로 형성될 수 있고, 서로 별개로 성형된 후 서로 결합될 수 있다.
그리고, 바디(10)에는, 제1공간(31)으로 유체가 유입되는 통로가 되는 제1유로(41) 및 제2공간(32)으로 유체가 유입되는 통로가 되는 제2유로(42)가 형성될 수 있다. 제1유로(41) 및 제2유로(42)에는 유체공급원(미도시)와 각각 연결되는 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)가 연결될 수 있다. 따라서, 유체공급원으로부터 공급된 유체는, 제1유로(41)를 통하여 제1공간(31)으로 유입될 수 있고, 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)으로 유입될 수 있다. 유체공급원으로부터 공급되는 유체는 공기와 같은 기체가 될 수 있으며, 이와 같은 경우, 유체공급원에는 제1공간(31) 및 제2공간(32)으로 유출입되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절장치(미도시)가 구비될 수 있다.
제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)에는 유체공급원과 연결된 튜브가 각각 연결될 수 있다. 로드(10)가 흡착부(90)와 연결되는 방향을 전방이라고 하고, 로드(10)가 진공원과 연결되는 방향을 후방이라고 할 때, 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)는 바디(10)의 후방에 형성될 수 있다. 여기에서, 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)는 로드(20)의 반경방향으로의 일측에 함께 설치될 수 있다. 이와 같은 경우에는, 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)가 설치되는 제1부분의 폭에 비하여 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)가 설치되지 않은 제2부분의 폭이 작다. 픽앤플레이스장치에 복수의 픽커가 마련되는 경우에, 제2부분은 복수의 픽커가 서로 마주보는 부분이 될 수 있다. 이와 같이, 복수의 픽커가 서로 마주보는 부분의 폭을 작게 함으로써, 복수의 픽커 사이의 간격을 최소화할 수 있다.
제1유로(41)로의 유체의 공급 및 제2유로(42)로의 유체의 공급은 교대로 수행될 수 있다. 제1유로(41)를 통하여 제1공간(31)으로 유체가 공급되는 과정에서는 제2공간(32)의 내부의 유체는 제2유로(42)를 통하여 외부로 배출될 수 있으며, 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)로 유체가 공급되는 과정에서는 제1공간(31)의 내부의 유체는 제1유로(41)를 통하여 외부로 배출될 수 있다.
제1유로(41) 및 제2유로(42)는 바디(10)의 내부에서 서로 연통되지 않도록 형성된다. 이를 위하여, 일체로 형성된 바디(10)에 제1유로(41) 및 제2유로(42)를 각각 드릴링을 통하여 형성하고, 드릴링 과정에서 형성된 드릴이 삽입된 구멍을 용접 등의 방법으로 밀폐하거나, 각각 밀폐부재(412, 422)로 밀폐하는 과정을 통하여, 제1유로(41) 및 제2유로(42)가 바디(10)의 내부에 형성될 수 있다.
도 1 내지 도 3에서는 제1유로(41) 및 제2유로(42)가 절곡된 형상으로 바디(10)의 내부에 형성되는 구성을 도시하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 바디(10)의 내부에서의 제1유로(41) 및 제2유로(42)의 형상은 픽커의 폭이나 길이를 축소할 수 있는 최적화된 형상으로 형성될 수 있다.
한편, 관통홀(11)의 양쪽 개구(12, 13)에는 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 외부로부터 밀폐시키는 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)가 삽입될 수 있다. 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)에는 각각 로드(20)가 통과하는 통과홀(811, 821)이 형성될 수 있다. 로드(20)의 전방에 형성된 개구(12)에는 제1가이드부재(81)가 삽입될 수 있으며, 로드(20)의 후방에 형성된 개구(13)에는 제2가이드부재(82)가 삽입될 수 있다. 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)는 억지끼워맞춤의 방식 또는 나사결합의 방식으로 관통홀(11)의 개구(12, 13)에 긴밀하게 삽입될 수 있다. 따라서, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 각 외면과 관통홀(11)의 내면 사이에는 유체가 통과하는 유격이 형성되지 않을 수 있다.
제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)는 로드(20)의 구획부(23)가 관통홀(11)의 내부에 삽입된 상태에서 관통홀(11)의 개구(12, 13)에 삽입될 수 있다. 따라서, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)가 개구(12, 13)에 삽입되는 간단한 방법에 의하여 제1공간(31) 및 제2공간(32)이 외부로부터 밀폐될 수 있다. 이러한 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 재질은 금속 또는 엔지니어링플라스틱일 수 있다.
제1공간(31)이 형성될 수 있도록 제1가이드부재(81)의 내면에는 소정의 깊이로 내입되는 내입홈(812)이 형성될 수 있으며, 제2공간(32)이 형성될 수 있도록 제2가이드부재(82)의 내면에는 소정의 깊이로 내입되는 내입홈(822)이 형성될 수 있다. 따라서, 제1공간(31)은 제1가이드부재(81)의 내면, 로드(20)의 외면 및 구획부(23)의 전방단부에 의하여 둘러싸인 영역이 될 수 있고, 제2공간(32)은 제2가이드부재(82)의 내면, 로드(20)의 외면 및 구획부(23)의 후방단부에 의하여 둘러싸인 영역이 될 수 있다. 이러한 구획부(23)의 전방단부 및 후방단부는 제1공간(31) 및 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체의 압력이 작용되는 부분으로, 구획부(23)의 전방단부 및 후방단부에 작용되는 압력에 의하여 로드(20)가 전방 및 후방으로 이동될 수 있다. 따라서, 구획부(23)는 실질적으로 피스톤으로서의 역할을 하며, 관통홀(11)은 실질적으로 실린더로서의 역할을 한다. 여기에서, 제1공간(31)으로 유체가 유입되고 이에 따라 제2공간(32)으로부터 유체가 배출되는 경우에는, 로드(20)가 후방으로 이동되면서 제1공간(31)의 체적이 확장되고, 제2공간(32)의 체적은 축소된다. 반대로, 제2공간(32)으로 유체가 유입되고 이에 따라 제1공간(31)으로부터 유체가 배출되는 경우에는, 로드(20)가 전방으로 이동되면서 제2공간(32)의 체적이 확장되고, 제1공간(31)의 체적은 축소된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 내부에는 구획부(23)를 제외한 로드(20)의 양측이 통과할 수 있을 정도의 통과홀(811, 821)이 형성된다. 또한, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 내면에는 소정의 깊이로 내입되고 일측으로 개방되는 내입홈(812, 822)이 형성된다. 이러한 내입홈(812, 822)에 의하여 제1가이드부재(81)의 내면과 로드(20)의 외면 사이 및 제2가이드부재(82)의 내면과 로드(20)의 외면 사이에 각각 제1공간(31) 및 제2공간(32)이 형성될 수 있다. 여기에서, 제1공간(31) 및 제2공간(31)이 로드(20)의 둘레방향으로 연장되는 형상으로 형성될 수 있도록 내입홈(812, 822)은 각각 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 내면에서 둘레방향으로 연장될 수 있다. 이와 같이, 제1공간(31) 및 제2공간(32)이 로드(20)의 둘레방향으로 연장되는 형상으로 형성되므로, 로드(20)의 구획부(23)에 균일한 압력이 작용될 수 있다.
또한, 제1가이드부재(81)에는 제1유로(41)와 제1공간(31)을 연통시키는 연통홀(813)이 형성될 수 있다. 연통홀(813)은 내입홈(812)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 제1유로(41)를 통하여 공급되는 유체가 연통홀(813)을 통하여 제1공간(31)의 내부로 유입될 수 있으며, 제1공간(31)의 내부의 유체가 연통홀(813) 및 제1유로(41)를 통하여 외부로 배출될 수 있다. 연통홀(813)은 제1가이드부재(81)의 둘레방향을 따라 복수로 형성될 수 있으며, 이와 같은 경우 복수의 연통홀(813)이 제1유로(41)와 함께 연결될 수 있도록 제1가이드부재(81)의 외면의 둘레에는 복수의 연통홀(813)을 서로 연통시키는 연결홈(814)이 형성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 연결홈(814)이 형성되지 않고, 복수의 제1유로(41)가 복수의 연통홀(813)과 연결되는 구성이 사용될 수 있다.
마찬가지로, 제2가이드부재(82)에는 제2유로(42)와 제2공간(32)을 연통시키는 연통홀(823)이 형성될 수 있다. 연통홀(823)은 내입홈(822)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 제2유로(42)를 통하여 공급되는 유체가 연통홀(823)을 통하여 제2공간(32)의 내부로 유입될 수 있으며, 제2공간(32)의 내부의 유체가 연통홀(823) 및 제2유로(42)를 통하여 외부로 배출될 수 있다. 연통홀(823)은 제2가이드부재(82)의 둘레방향을 따라 복수로 형성될 수 있으며, 이와 같은 경우 복수의 연통홀(823)이 제2유로(42)와 함께 연결될 수 있도록 제2가이드부재(82)의 외면의 둘레에는 복수의 연통홀(823)을 서로 연통시키는 연결홈(824)이 형성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 연결홈(824)이 형성되지 않고, 복수의 제2유로(42)가 복수의 연통홀(823)과 연결되는 구성이 사용될 수 있다.
이와 같이, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)에 복수의 연통홀(813, 823)이 형성되는 경우에는 제1공간(31) 및 제2공간(32)으로 유체가 반경방향으로 균일하게 유입될 수 있으며, 이에 따라, 로드(20)의 구획부(23)에 작용되는 압력이 균일해지므로, 로드(20)의 전후방으로의 이동과정에서 로드(20)가 편심되는 것을 방지할 수 있다.
여기에서, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 통과홀(811, 821)의 내경은 로드(20)의 구획부(23)의 외경에 비하여 작게 형성될 수 있다. 따라서, 도 5에 도시된 바와 같이, 제2공간(32)의 내부로 유체가 유입되어 로드(20)가 전방으로 이동되면, 구획부(23)의 전방단부가 제1가이드부재(81)에 접촉되면서 구획부(23)의 외면과 관통홀(11)의 내면 사이의 실링이 이루어질 수 있다. 따라서, 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체가 구획부(23)의 외면과 관통홀(11)의 내면 사이의 간격을 통하여 제1공간(31)으로 유입된 후 제1유로(41)를 통하여 외부로 배출되는 현상이 방지될 수 있으며, 이에 따라, 유체가 불필요하게 소모되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1공간(31)의 내부로 유체가 유입되어 로드(20)가 후방으로 이동되면, 구획부(23)의 후방단부가 제2가이드부재(82)에 접촉되면서 구획부(23)의 외면과 관통홀(11)의 내면 사이의 실링이 이루어질 수 있다. 따라서, 제1공간(31)의 내부로 유입된 유체가 구획부(23)의 외면과 관통홀(11)의 내면 사이의 간격을 통하여 제2공간(32)으로 유입된 후 제2유로(42)를 통하여 외부로 배출되는 현상이 방지될 수 있으며, 이에 따라, 유체가 불필요하게 소모되는 것을 방지할 수 있다.
여기에서, 상기한 바와 같은 실링이 긴밀하게 이루어질 수 있도록, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)를 향하는 구획부(23)의 양측 단부, 즉, 구획부(23)가 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)에 접촉되는 부분인 전방단부 및 후방단부에는, 실링부재(61, 62)가 설치되는 것이 바람직하다. 실링부재(61, 62)는 구획부(23)가 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)와 접촉될 때 발생하는 충격을 완충할 수 있도록 고무나 합성수지와 같은 소정의 탄성을 가지는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 실링부재(61, 62)는 금속이나 엔지니어링플라스틱으로 이루어질 수 있다. 실링부재(61, 62)가 설치되는 경우에는, 실링부재(61, 62)가 관통홀(11)의 내면에 접촉된 상태에서 로드(20)가 슬라이드 이동될 수 있다.
또한, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)가 구비되는 경우에는, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)를 관통홀(11)의 개구(12, 13)에 삽입시키는 것에 의하여 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 형성할 수 있고, 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 각각 제1유로(41) 및 제2유로(42)와 연통시킬 수 있다. 따라서, 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 형성하기 위하여 관통홀(11)의 내면 및/또는 로드(20)의 외면을 별도로 가공할 필요가 없으므로, 가공상의 편의성이 향상되는 이점이 있다.
또한, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 통과홀(811, 821)에 의하여 로드(20)의 전후방으로의 이동이 안내되므로, 로드(20)의 왕복이동이 안정적으로 수행될 수 있다.
한편, 로드(20)의 전방 및 후방에는 바디(10)를 사이에 두고 제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)가 구비될 수 있다. 제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 로드(20)와 일체로 형성될 수 있으며, 별도로 성형되어 로드(20)에 결합될 수 있다. 제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 각각 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)와 접촉될 수 있는 크기를 가질 수 있다. 제1스토퍼(71)가 제1가이드부재(81)에 접촉되는 것에 의하여 로드(20)의 후방으로의 이동이 제한될 수 있고, 제2스토퍼(72)가 제2가이드부재(82)에 접촉되는 것에 의하여 로드(20)의 전방으로의 이동이 제한될 수 있다. 제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)에 접촉될 때 발생하는 충격을 완충할 수 있도록 고무나 합성수지와 같은 소정의 탄성을 가지는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 금속이나 엔지니어링플라스틱으로 이루어질 수 있다. 이와 같은 제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)에 접촉되면서 제1공간(31) 또는 제2공간(32)을 밀폐시켜 제1공간(31) 또는 제2공간(32)으로 유입된 유체가 외부로 누설되는 것을 차단하는 역할을 함께 수행할 수 있다.
한편, 로드(20)가 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)에 안내되면서 전후방으로 이동하는 과정에서, 로드(20)가 그 길이방향 중심축을 기준으로 회전되는 현상, 즉, 로드(20)의 롤링현상을 방지할 수 있도록, 도 7에 도시된 바와 같이, 로드(20)와 제1가이드부재(81) 사이 또는 로드(20)와 제2가이드부재(82) 사이에는 로드(20)의 회전을 방지하는 회전방지수단이 구비되는 것이 바람직하다. 예를 들면, 회전방지수단으로, 로드(20)의 외면 중 적어도 일부에는 로드(20)의 길이방향과 평행한 하나 이상의 평면(25)이 형성되고, 제1가이드부재(81)의 통과홀(811) 또는 제2가이드부재(82)의 통과홀(821) 중 적어도 하나의 내면에는 로드(20)의 하나 이상의 평면(25)과 대응되는 하나 이상의 평면(85)이 형성되는 구성이 적용될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에서는 로드(20)의 롤링을 방지하기 위하여 로드(20)의 외면이 평면으로 형성되는 구성에 대하여 제시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 로드(20)의 단면이 다각형상으로 형성되거나, 로드(20)의 단면이 곡률반경이 서로 다른 복수의 선이 연결된 형상으로 형성되고, 제1가이드부재(81)의 통과홀(811) 또는 제2가이드부재(82)의 통과홀(821)이 이에 대응되는 형상으로 형성되는 등, 로드(20)의 롤링을 방지하기 위하여 로드(20)의 단면의 형상이 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
한편, 도 3에서 화살표로 표시된 바와 같이, 제1공간(31)의 내부로 유체가 유입될 때, 제1공간(31)으로 유입된 유체가 흡착부(90)를 향하여 분사되도록, 로드(20)의 외면과 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)의 내면 사이에는 갭이 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 갭은 0.005 mm 내지 0.01 mm 의 범위 내의 간격을 가지는 것이 바람직하다. 갭이 0.005 mm 에 비하여 작은 경우에는 로드(20)의 외면과 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)의 내면 사이의 마찰에 의하여 로드(20)의 이동이 어렵게 되며, 갭이 0.01 mm 에 비하여 큰 경우에는 제1공간(31)에 유입된 유체의 분사량이 지나치게 커지게 되어 로드(20)의 이동이 어렵게 된다. 또한, 로드(20)의 외면과 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)의 내면 사이에는 별도의 실링부재가 개재되지 않으며, 이에 따라, 로드(20)의 외면과 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)의 내면 사이에는 제1공간(31)과 외부를 연통시키는 미세유로가 형성될 수 있다.
이와 같은 구성에 따르면, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1공간(31)의 내부로 유체가 유입되는 것과 함께 제2공간(32)으로부터 유체가 배출되면서 로드(20)가 후방으로 이동될 때, 제1공간(31)의 내부로 유입된 유체의 일부가 로드(20)의 외면과 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)의 내면 사이의 갭에 의하여 형성되는 미세유로를 통하여 흡착부(90) 및 로드(20)를 향하여 분사될 수 있다. 이와 같이 분사된 유체는 흡착부(90), 흡착부(90) 흡착된 소자 및 로드(20)에 존재할 수 있는 이물질과 충돌되면서, 이물질이 흡착부(90), 소자 및 로드(20)로부터 제거될 수 있다. 이와 같이, 로드(20)를 후방으로 이동시키기 위한 유체의 일부를 이용하여 흡착부(90), 소자 및 로드(20)를 세정할 수 있고, 이물질이 제1공간(31)의 내부로 유입되는 것이 방지될 수 있으며, 이물질이 로드(20)의 외면과 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)의 내면 사이에 끼어 로드(20)가 이동될 때 로드(20)의 외면 또는 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)의 내면이 손상되는 것이 방지될 수 있다.
또한, 제2공간(32)의 내부로 유체가 유입될 때, 제2공간(32)으로 유입된 유체가 로드(20)를 향하여 분사되도록, 로드(20)의 외면과 제2가이드부재(82)의 통과홀(821)의 내면 사이에는 갭이 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 갭은 0.005 mm 내지 0.01 mm 의 범위 내의 간격을 가지는 것이 바람직하다. 또한, 로드(20)의 외면과 제2가이드부재(82)의 통과홀(821)의 내면 사이에는 별도의 실링부재가 개재되지 않으며, 이에 따라, 로드(20)의 외면과 제2가이드부재(82)의 통과홀(821)의 내면 사이에는 제2공간(32)과 외부를 연통시키는 미세유로가 형성될 수 있다.
이와 같은 구성에 따르면, 제2공간(32)의 내부로 유체가 유입되는 것과 함께 제1공간(31)으로부터 유체가 배출되면서 로드(20)가 전방으로 이동될 때, 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체의 일부가 로드(20)의 외면과 제2가이드부재(82)의 통과홀(821)의 내면 사이의 갭에 의하여 형성되는 미세유로를 통하여 로드(20)를 향하여 분사될 수 있다. 이와 같이 분사된 유체는 로드(20)에 존재할 수 있는 이물질과 충돌되면서, 이물질이 로드(20)로부터 제거될 수 있다. 이와 같이, 로드(20)를 전방으로 이동시키기 위한 유체의 일부를 이용하여 로드(20)를 세정할 수 있고, 이물질이 제2공간(32)의 내부로 유입되는 것이 방지될 수 있으며, 이물질이 로드(20)의 외면과 제2가이드부재(82)의 통과홀(821)의 내면 사이에 끼어 로드(20)가 이동될 때 로드(20)의 외면 또는 제2가이드부재(82)의 통과홀(821)의 내면이 손상되는 것이 방지될 수 있다.
로드(20)의 외면과 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)의 내면 사이의 갭 및 로드(20)의 외면과 제2가이드부재(82)의 통과홀(821)의 내면 사이의 갭은 가공공차에 의하여 형성될 수 있다.
한편, 도 6에 도시된 바와 같이, 로드(20)와 후방으로 후퇴한 때에는 제1스토퍼(71)가 제1가이드부재(81)에 접촉되는 것에 의하여 제1공간(31)을 밀폐되는 것과 함께 로드(20)의 외면과 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)의 내면 사이의 미세유로가 폐쇄되므로, 제1공간(31)으로 유입된 유체가 외부로 누설되는 것이 차단되며, 이에 따라, 유체가 불필요하게 소모되는 것이 방지될 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 픽커는 로드(20)의 전후방으로의 이동 및 진공원의 작동에 의하여 소자를 픽업하여 이송시키는 작동을 수행한다. 예를 들면, 로드(20)가 전방으로 이동하고 진공원이 작동되어 흡입통로(22)에 진공압이 작용되면서 흡착부(90)에 소자가 흡착될 수 있고, 소자가 흡착된 상태에서 로드(20)가 후방으로 이동된 후 픽커가 소자의 안착위치로 이동될 수 있고, 소자의 안착위치에서 로드(20)가 전방으로 이동된 후 진공원의 작동이 중지되어 흡입통로(22)의 진공이 해제되면서 소자가 안착위치에 안착될 수 있다.
이와 같이, 로드(20)가 전후방으로 왕복적으로 이동되면서 소자의 픽앤플레이스동작이 수행된다. 로드(20)의 전방으로의 이동을 위하여 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)로 유체가 공급되는 것에 의하여 제1공간(31)의 내부의 유체가 제1유로(41)를 통하여 외부로 배출된다. 이에 따라, 로드(20)의 구획부(23)의 후방단부에는 전방으로의 압력이 작용하게 되며, 이와 같은 압력에 의하여 로드(20)가 전방으로 이동될 수 있다.
그리고, 이와 같은 과정에서, 제2공간(32)으로 유입된 유체의 일부가 로드(20)의 외면과 제2가이드부재(82)의 통과홀(821)의 내면 사이의 갭에 의하여 형성되는 미세유로를 통하여 로드(20)를 향하여 분사되면서, 로드(20)에 흡착된 소자를 세정하는 동작이 함께 수행될 수 있다.
이와 같은 로드(20)의 전방으로의 이동에 의하여 흡착부(90)가 소자와 접촉하면서 소자가 흡착부(90)에 흡착되는데, 흡착부(90)가 소자에 접촉과정에서 흡착부(90) 및 소자에는 충돌력이 작용될 수 있다. 이와 같은 충돌력은 로드(20) 및 구획부(23)을 통하여 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체로 전달된 후 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체에 흡수된다. 따라서, 제2공간(32)으로 유입된 유체는 흡착부(90)와 소자가 접촉될 때 발생하는 충돌력을 완충하는 것으로 이른바 에어쿠션으로서의 역할을 한다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는 상기한 충돌력을 완충하기 위한 완충용 스프링이 별도로 구비되지 않는 경우에도, 흡착부(90)와 소자가 접촉될 때 발생하는 충돌력에 의하여 발생할 수 있는 흡착부(90) 또는 소자의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)으로 유입되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절장치가 구비되는 경우에는, 압력조절장치는, 흡착부(90)가 소자와 접촉될 때, 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)로 유체의 압력을 조절하도록 구성될 수 있다. 흡착부(90)가 소자와 접촉될 때 제2공간(32)로 유입되는 유체의 압력은 로드(20)를 전방으로 이동시키기 위하여 제2공간(32)로 최초로 유입되는 유체의 압력에 비하여 작을 수 있다. 따라서, 흡착부(90)에 흡착되는 소자의 특성에 따라, 제2공간(32)으로 유입되는 유체의 압력을 조절하는 것을 통하여 흡착부(90)와 소자 사이의 충격력을 완충할 수 있으므로, 흡착부(90)가 소자와 접촉되는 과정에서의 소자의 손상을 방지하면서 로드(20)의 이동속도를 최적화할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 로드(20)의 전방으로의 이동이 완료된 상태에서는, 구획부(23)의 전방단부가 제1가이드부재(81)에 접촉됨에 따라, 제2공간(32)으로 유입된 유체가 구획부(23)의 외면과 관통홀(11)의 내면 사이의 갭을 통하여 제1공간(31)으로 유입되는 것이 방지되므로, 제2공간(32)으로 유입된 유체가 제1공간(31) 및 제1유로(41)를 통하여 외부로 불필요하게 배출되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 제2스토퍼(72)가 제2가이드부재(82)에 접촉되므로 제2공간(32)이 외부로부터 밀폐되므로, 제2공간(32)으로 유입된 유체가 로드(20)의 외면과 제2가이드부재(82)의 통과홀(821)의 내면 사이의 유격을 통하여 외부로 누출되는 것이 방지될 수 있다.
그리고, 로드(20)의 후방으로의 이동을 위하여 제1유로(41)를 통하여 제1공간(31)로 유체가 공급되는 것에 의하여 제2공간(32)의 내부의 유체가 제2유로(42)를 통하여 외부로 배출된다. 이에 따라, 로드(20)의 구획부(23)의 전방단부에는 후방으로의 압력이 작용하게 되며, 이와 같은 압력에 의하여 로드(20)가 후방으로 이동될 수 있다.
이와 같은 과정에서, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1공간(31)으로 유입된 유체의 일부가 로드(20)의 외면과 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)의 내면 사이의 갭에 의하여 형성되는 미세유로를 통하여 흡착부(90)를 향하여 분사되면서, 흡착부(90) 및/또는 흡착부(90)에 흡착된 소자를 세정하는 동작이 함께 수행될 수 있다.
그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 로드(20)의 후방으로의 이동이 완료된 상태에서는, 구획부(23)의 후방단부가 제2가이드부재(82)에 접촉됨에 따라, 제1공간(31)으로 유입된 유체가 구획부(23)의 외면과 관통홀(11)의 내면 사이의 갭을 통하여 제2공간(32)으로 유입되는 것이 방지되므로, 제1공간(31)으로 유입된 유체가 제2공간(32) 및 제2유로(42)를 통하여 외부로 불필요하게 배출되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 제1스토퍼(71)가 제1가이드부재(81)에 접촉되므로 제1공간(31)이 외부로부터 밀폐되므로, 제1공간(31)으로 유입된 유체가 로드(20)의 외면과 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)의 내면 사이의 미세유로를 통하여 외부로 누출되는 것이 방지될 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 바디(10)의 관통홀(11)과 로드(20)의 사이에 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 형성하고, 제1공간(31) 및 제2공간(32)의 내부에 유체를 선택적으로 공급하는 것을 통하여 로드(20)를 전후방으로 이동시킬 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 로드(20)의 전후방으로의 이동을 안내하는 관통홀(11)이 실린더로서의 기능을 함께 수행할 수 있으며, 로드(20)가 피스톤으로서의 기능을 함께 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는 로드(20)의 이동라인과 로드(20)를 이동시키기 위한 압력이 작용하는 라인이 동일선상에 존재하므로, 로드(20)를 전후방으로 이동시키기 위하여 실린더 및 피스톤으로 구성된 액추에이터가 독립적으로 구비되는 종래기술에 비하여 픽커의 크기를 최소화할 수 있는 이점이 있다.
그리고, 본 발명의 실시예에 따른 픽커가 복수 열 및 복수의 행으로 픽앤플레이스장치에 장착되는 경우에는, 픽커의 크기가 최소화됨에 따라 각 픽커 사이의 간격이 최소화될 수 있으므로, 픽앤플레이스장치의 크기를 최소화시킬 수 있는 이점이 있으며, 복수의 픽커가 동시에 픽업할 수 있는 복수의 소자들 사이의 간격이 최소화될 수 있는 이점이 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예들에만 한정되는 것이 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
10: 바디 11: 관통홀
20: 로드 23: 구획부
31: 제1공간 32: 제2공간
41: 제1유로 42: 제2유로
81: 제1가이드부재 82: 제2가이드부재
71: 제1스토퍼 72: 제2스토퍼

Claims (16)

  1. 관통홀이 형성되는 바디; 및
    상기 관통홀에 슬라이드 이동이 가능하게 삽입되며, 전방에 소자가 흡착되는 흡착부가 결합되며 후방에 진공원이 연결되는 중공의 로드를 포함하고,
    상기 로드에는 상기 관통홀에 의하여 상기 바디의 내부에 형성되는 공간을 제1공간 및 제2공간으로 구획하는 구획부가 형성되고,
    상기 바디에는 상기 제1공간으로 유체가 유입되는 제1유로 및 상기 제2공간으로 유체가 유입되는 제2유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 로드가 통과하는 통과홀이 각각 형성되고, 상기 관통홀의 양쪽 개구에 삽입되어 상기 제1공간 및 상기 제2공간을 외부로부터 밀폐시키는 제1가이드부재 및 제2가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재에는 상기 제1유로 및 상기 제2유로를 상기 제1공간 및 상기 제2공간과 연통시키는 연통홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 연통홀은 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 둘레방향을 따라 복수로 형성되고,
    상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 외면에는 상기 복수의 연통홀을 서로 연결시키는 연결홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 통과홀의 내면에는 상기 연통홀과 연통되며 반경방향으로 내입되는 내입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 내입홈은 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 둘레방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 구획부가 상기 제1가이드부재에 접촉되거나 상기 구획부가 상기 제2가이드부재에 접촉되는 것에 의하여 상기 구획부의 외면과 상기 관통홀의 내면 사이의 실링이 이루어지는 것을 특징으로 하는 픽커.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재를 향하는 상기 구획부의 양측 단부에는 실링부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  9. 청구항 2에 있어서,
    상기 로드의 전방 및 후방에는 각각 제1스토퍼 및 제2스토퍼가 구비되며, 상기 제1스토퍼가 상기 제1가이드부재에 접촉되는 것에 의하여 상기 제1공간이 밀폐되고, 상기 제2스토퍼가 상기 제2가이드부재에 접촉되는 것에 의하여 상기 제2공간이 밀폐되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  10. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1공간 및 상기 제2공간은 상기 로드의 둘레방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  11. 청구항 2에 있어서,
    상기 로드의 외면 중 적어도 일부에는 상기 로드의 길이방향과 평행한 하나 이상의 평면이 형성되고, 상기 제1가이드부재의 통과홀 또는 상기 제2가이드부재의 통과홀 중 적어도 어느 하나의 내면에는 상기 로드의 하나 이상의 평면과 대응되는 하나 이상의 평면이 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  12. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1공간으로 유체가 유입될 때 상기 제1공간으로 유입된 유체가 상기 흡착부를 향하여 분사되도록, 상기 로드의 외면과 상기 제1가이드부재의 통과홀의 내면 사이에는 미세유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  13. 청구항 2에 있어서,
    상기 제2공간으로 유체가 유입될 때 상기 제2공간으로 유입된 유체가 상기 로드를 향하여 분사되도록, 상기 로드의 외면과 상기 제2가이드부재의 통과홀의 내면 사이에는 미세유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  14. 청구항 1에 있어서,
    상기 바디에는 상기 제1유로 및 상기 제2유로를 유체공급원과 연결하기 위한 제1연결부재 및 제2연결부재가 설치되고,
    상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는 상기 바디의 후방에서 상기 로드의 반경방향으로의 일측에 함께 설치되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  15. 청구항 1에 있어서,
    상기 로드의 단면은 다각형상이나 곡률반경이 서로 다른 복수의 선이 연결된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.
  16. 청구항 1에 있어서,
    상기 로드의 이동에 의하여 상기 흡착부가 상기 소자에 접촉될 때, 상기 제2공간으로 유입되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절장치를 포함하는 픽커.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160135474A (ko) * 2015-05-18 2016-11-28 세메스 주식회사 반도체 소자 픽업 모듈

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