KR20140144337A - 테스트 핸들러 - Google Patents

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Abstract

베어 상태의 에스에스디(SSD)에 대한 성능을 테스트하기 위한 테스트 핸들러에 있어서, 상기 에스에스디의 테스트를 위하여 상기 에스에스디가 이송 경로를 따라 로딩 및 언로딩함에 의해 상기 테스트 핸들러에 부속되는 다수개의 유니트들 각각에 안착되는 상황이 불량으로 판단될 경우 상기 에스에스디를 수용하여 정렬한 후 다시 상기 유니트들 각각에 안착하도록 상기 유니트들 중 어느 하나의 유니트 일측에 구비되는 정렬 유니트를 포함할 수 있다.

Description

테스트 핸들러{Test handler}
본 발명은 테스트 핸들러에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 베어 상태의 에스에스디(SSD)에 대한 성능을 테스트하기 위한 에스에스디용 테스트 핸들러에 관한 것이다.
집적회로 소자 등과 같은 전자 부품의 제조에서는 패키징된 집적회로 소자(이하, '반도체 소자'라 함)를 대상으로 전기적 성능, 열적 스트레스 등과 같은 성능에 대한 테스트를 수행한다. 특히, 언급한 반도체 소자의 전기적 성능, 열적 스트레스 등과 같은 성능을 테스트하기 위한 장치의 예로서는 테스트 핸들러를 들 수 있다.
그리고 언급한 반도체 소자 중 에스에스디(SSD : Solid State Drive)의 경우에는 베어 상태에서 성능에 대한 테스트가 이루어지고 있다. 아울러, 언급한 에스에스디의 경우에는 그 크기가 일정하지 하지 않기 때문에 테스트시 정렬이 중요한 요인으로 작용한다.
언급한 에스에스디에 대한 테스트에서도 에스에스디가 이송 경로를 따라 로딩 및 언로딩함에 의해 테스트 핸들러에 부속되는 리트프(lift) 유니트, 해드(head) 유니트, 랙(rack) 유니트 등과 같은 다수개의 유니트들 각각에 안착되는 구성을 갖는다.
여기서, 종래의 에스에스디에 대한 성능을 테스트하기 위한 테스트 핸들러는 다수개의 유니트들 각각에 에스에스디가 안착되는 상황이 불량으로 판단될 경우 테스트 핸들러 자체를 에러 상태로 설정하여 테스트 핸들러의 가동을 중단하고, 작업자가 이를 보정함에 의해 문제를 해결하고 있다.
이에, 종래의 에스에스디에 대한 성능을 테스트하기 위한 테스트 핸들러의 경우에는 언급한 에스에스디의 안착에 따른 불량이 발생할 경우 테스트 핸들러의 가동을 중단하고, 작업자가 이를 보정하기 때문에 테스트 핸들러의 운용에 따른 효율이 저하되는 문제점이 있을 뿐만 아니라 테스트에 따른 작업 시간이 길어지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 에스에스디에 대한 성능을 테스트할 때 다수개의 유니트들 각각에 에스에스디가 안착되는 상황이 불량으로 판단되어도 이를 자체적으로 정렬할 수 있는 테스트 핸들러를 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러는 베어 상태의 에스에스디(SSD)에 대한 성능을 테스트하기 위한 테스트 핸들러에 있어서, 상기 에스에스디의 테스트를 위하여 상기 에스에스디가 이송 경로를 따라 로딩 및 언로딩함에 의해 상기 테스트 핸들러에 부속되는 다수개의 유니트들 각각에 안착되는 상황이 불량으로 판단될 경우 상기 에스에스디를 수용하여 정렬한 후 다시 상기 유니트들 각각에 안착하도록 상기 유니트들 중 어느 하나의 유니트 일측에 구비되는 정렬 유니트를 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러에서, 상기 정렬 유니트는, 상기 에스에스디를 수용하는 공간을 제공하는 챔버: 상기 챔버 내에 수용되는 상기 에스에스디를 상기 챔버 일측으로 푸싱하는 푸싱바; 상기 푸싱바를 구동하기 위한 구동부; 상기 푸싱바의 푸싱에 의해 상기 에스에스디가 상기 챔버 일측으로 푸싱됨에 따라 정렬이 이루어질 때 상기 에스에스디의 정렬 상태를 센싱하는 제1 센서; 및 상기 구동부의 동작을 제어하도록 상기 제1 센서로부터 센싱 신호를 전달받는 제2 센서를 포함하고, 상기 정렬 유니트는 리프트 유니트의 일측에 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 테스트 핸들러는 다수개의 유니트들 각각에 안착되는 상황이 불량으로 판단될 경우 에스에스디를 수용하여 정렬한 후 다시 다수개의 유니트들 각각에 안착하도록 다수개의 유니트들 중 어느 하나의 유니트 일측에 정렬 유니트를 구비함으로써 에스에스디에 대한 성능을 테스트할 때 다수개의 유니트들 각각에 에스에스디가 안착되는 상황이 불량으로 판단되어도 이를 자체적으로 정렬할 수 있다.
따라서 본 발명의 테스트 핸들러를 사용하여 에스에스디에 대한 성능을 테스트할 경우에는 에스에스디의 안착에 따른 불량이 발생하여도 언급한 바와 같이 자체적으로 정렬을 수행할 수 있기 때문에 테스트 핸들러의 운용에 따른 효율의 향상을 기대할 수 있고, 더불어 에스에스디의 성능 테스트에 따른 시간의 단축을 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 에스에스디에 대한 성능을 테스트하기 위한 테스트 핸들러에 구비되는 정렬 유니트를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
먼저, 도시하지는 않았지만 본 발명의 테스트 핸들러를 이용하여 테스트하기 위한 전자 부품의 하나인 에스에스디에 대하여 설명하면 다음과 같다.
언급한 에스에스디는 베어 상태에서 테스트를 수행하는 것으로써, 베어 구조는 케이스가 조립되지 않은 상태를 의미한다. 언급한 베어 상태의 에스에스디는 인쇄회로기판, 다수개의 플래쉬 메모리, 제어기, 입출력 제어기, 커넥터 등을 포함할 수 있다. 여기서, 언급한 다수개의 플래쉬 메모리, 제어기, 입출력 제어기, 커넥터 등이 인쇄회로기판에 실장되는 구조를 갖는 것으로써, 인쇄회로기판의 일면에 제어기와 입출력 제어기가 그리고 인쇄회로기판의 타면에 플레쉬 메모리가 실장되는 구조를 가질 수 있다.
특히, 언급한 베어 상태의 에스에스디는 용량, 구조 등에 따라 서로 다른 크기를 가질 수 있고, 서로 다른 크기를 갖는 베어 상태의 에스에스디라도 동일한 테스트 핸들러를 사용하여 성능에 대한 테스트를 수행한다. 즉, 서로 다른 크기를 갖는 베어 상태의 에스에스디 각각에 부합되는 테스트 핸들러 각각을 별도로 마련하는 것이 아니라 하나의 테스트 핸들러를 사용하여 서로 다른 크기를 갖는 베어 상태의 에스에스디를 테스트하는 것이다.
이에, 언급한 에스에스디에 대한 성능을 테스트하기 위한 테스트 핸들러의 경우에는 에스에스디가 이송 경로를 따라 로딩 및 언로딩함에 의해 테스트 핸들러에 부속되는 리트프 유니트, 해드 유니트, 랙 유니트 등과 같은 다수개의 유니트들 각각에 안착될 때 그 크기가 일정하지 하지 않기 때문에 정렬이 중요한 요인으로 작용한다.
그리고 본 발명의 테스트 핸들러는 언급한 바와 같이 리트프 유니트, 해드 유니트, 랙 유니트 등과 같은 다수개의 유니트들을 구비할 수 있고, 이에 본 발명의 테스트 핸들러를 사용한 베어 상태의 에스에스디에 대한 성능을 테스트할 때 언급한 베어 상태의 에스에스디가 리트프 유니트, 해드 유니트, 랙 유니트 등과 같은 다수개의 유니트들 사이를 이송 경로를 따라 로딩 및 언로딩하고, 그리고 다수개의 유니트들 각각에 안착되는 구성을 가질 수 있다.
이하, 본 발명의 정렬 유니트를 구비하는 에스에스디에 대한 성능을 테스트하기 위한 테스트 핸들러에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 에스에스디에 대한 성능을 테스트하기 위한 테스트 핸들러에 구비되는 정렬 유니트를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 테스트 핸들러는 베어 상태의 에스에스디에 대한 성능을 테스트하기 위한 테스트 핸들러에 구비되는 정렬 유니트(100)로써, 언급한 정렬 유니트(100)는 챔버(11), 푸싱바(13), 구동부(15), 제1 센서(17), 제2 센서(19) 등을 포함할수 있다.
여기서, 본 발명의 테스트 핸들러는 도시하지는 않았지만 언급한 리트프 유니트, 해드 유니트, 랙 유니트 등과 같은 다수개의 유니트들을 구비할 수 있다. 이에, 본 발명의 테스트 핸들러를 사용하는 에스에스디에 대한 성능을 테스트할 때 에스에스디는 리트프 유니트, 해드 유니트, 랙 유니트 등과 같은 다수개의 유니트들 사이를 이송 경로를 따라 로딩 및 언로딩하고, 그리고 다수개의 유니트들 각각에 안착되는 구성을 가질 수 있다.
그리고 언급한 리트프 유니트, 해드 유니트, 랙 유니트 등과 같은 다수개의 유니트들 사이를 이송 경로를 따라 로딩 및 언로딩하고, 이에 다수개의 유니트들 각각에 안착될 때 에스에스디가 안착되는 상황이 불량으로 확인될 경우가 발생할 수 있다.
따라서 본 발명의 테스트 핸들러는 언급한 정렬 유니트(100)를 사용하여 에스에스디를 정렬한 후 다시 언급한 유니트들 각각에 안착시킬 수 있다. 즉, 본 발명의 테스트 핸들러는 언급한 정렬 유니트(100)를 구비함으로써 에스에스디의 테스트를 위하여 에스에스디가 이송 경로를 따라 로딩 및 언로딩함에 의해 테스트 핸들러에 부속되는 다수개의 유니트들 각각에 안착되는 상황이 불량으로 판단될 경우 에스에스디를 수용하여 정렬한 후 다시 상기 유니트들 각각에 안착하도록 할 수 있는 것이다.
이에, 언급한 본 발명의 테스트 핸들러는 종래와 같이 에스에스디가 다수개의 유니트들 각각에 안착되는 상황이 불량으로 확인될 경우 에러를 통한 테스트 핸들러의 가동을 중단시키는 것이 아니라 언급한 정렬 유니트(100)를 사용하여 에스에스디를 자체적으로 정렬시킴으로써 테스트를 위한 공정을 테스트 핸들러의 가동 중단없이 계속적으로 수행할 수 있는 것이다.
여기서, 언급한 정렬 유니트(100)는 언급한 리트프 유니트, 해드 유니트, 랙 유니트 등과 같은 다수개의 유니트들 중 어느 하나의 유니트 일측에 구비될 수 있는 것으로써, 테스트를 위한 대상물인 에스에스디의 로딩 및 언로딩이 빈번하게 이루어지는 리프트 유니트의 일측에 구비되는 것이 보다 효율적일 수 있다.
특히, 정렬 유니트(100)에서 언급한 챔버(11)는 에스에스디를 수용하는 공간을 제공할 수 있다. 그리고 챔버(10)는 서로 다른 크기를 갖는 에스에스디를 수용할 수 있는 공간을 제공해야 하기 때문에 에스에스디의 크기보다 다소 큰 크기를 갖는 공간으로 이루어질 수 있다.
언급한 푸싱바(13)는 챔버(11) 내에 수용되는 에스에스디를 챔버(11) 일측으로 푸싱하도록 구비될 수 있다. 즉, 챔버(11) 내에 수용되는 에스에스디의 경우 언급한 바와 같이 그 크기를 서로 달리하기 때문에 챔버(11) 일측으로 푸싱하여 정렬할 필요가 있는 것으로써, 이에 언급한 푸싱바(13)를 이용하여 챔버(11) 내에 수용되는 에스에스디를 챔버(11) 일측으로 푸싱하여 정렬을 수행하는 것이다.
그리고 언급한 구동부(15)는 푸싱바(13)를 구동하기 위한 것으로써, 주로 푸싱바(13)의 단부에 구비되는 스프링 및 푸싱바(13)와 연결되는 실린더 등과 같은 부재를 구비할 수 있다. 이에, 스프링의 텐선에 의해 푸싱바(13)를 지지함으로써 챔버(11) 내에 수용되는 에스에스디를 챔버(11) 일측으로 푸싱할 수 있고, 아울러 실린더 등과 같은 부재에 의해 푸싱바(13)를 도시된 화살표 방향으로 직선 운동시킴으로써 푸싱바(13)를 원래 위치로 복귀시킬 수 있는 것이다.
또한, 언급한 제1 센서(17)는 푸싱바(13)의 푸싱에 의해 에스에스디가 챔버(11) 일측으로 푸싱됨에 따라 정렬이 이루어질 때 에스에스디의 정렬 상태를 센싱하도록 구비될 수 있다. 즉, 챔버(11) 일측으로 에스에스디가 위치하는 상태를 센싱함으로써 에스에스디의 정렬 상태를 확인할 수 있는 것이다. 아울러, 언급한 제2 센서(19)는 제1 센서(17)와 연결되는 것으로써, 구동부(15)의 동작을 제어하도록 제1 센서(17)로부터 센싱 신호를 전달받을 수 있다.
이에, 에스에스디의 테스트를 위하여 에스에스디가 이송 경로를 따라 로딩 및 언로딩함에 의해 테스트 핸들러에 부속되는 다수개의 유니트들 각각에 안착되는 상황이 불량으로 판단될 경우 언급한 에스에스디를 정렬 유니트(100)의 챔버(11)로 위치시킨다. 이때, 제1 센서(17)가 정렬 유니트(100)의 챔버(11)로 위치하는 에스에스디를 센싱함에 의해 대기 상태를 유지하는 푸싱바(13)가 후진한다. 따라서 에스에스디는 챔버(11) 내에 수용된 상태를 유지할 수 있다. 이어서, 언급한 구동부(15)의 스프링에 의해 푸싱바(13)가 에스에스디를 챔버(11) 일측으로 푸싱함에 의해 에스에스디의 정렬이 이루어진다. 계속해서, 제1 센서(17)에 의해 에스에스디의 정렬 상태가 센싱되면 에스에스디의 정렬이 달성된다. 그리고 제1 센서(17)는 제2 센서(19)로 센싱 신호를 전달함에 의해 구동부(15)가 푸싱바(13)를 복귀시킬 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 테스트 핸들러는 언급한 정렬 유니트(100)를 구비함으로써 에스에스디의 테스트를 위하여 에스에스디가 이송 경로를 따라 로딩 및 언로딩함에 의해 테스트 핸들러에 부속되는 다수개의 유니트들 각각에 안착되는 상황이 불량으로 판단될 경우 에스에스디를 수용하여 정렬한 후 다시 상기 유니트들 각각에 안착하도록 할 수 있는 것이다.
언급한 본 발명의 테스트 핸들러를 사용하여 에스에스디에 대한 성능을 테스트할 경우에는 에스에스디의 안착에 따른 불량이 발생하여도 언급한 바와 같이 자체적으로 정렬을 수행할 수 있기 때문에 테스트 핸들러의 운용에 따른 효율의 향상을 기대할 수 있고, 더불어 에스에스디의 성능 테스트에 따른 시간의 단축을 기대할 수 있다.
따라서 본 발명의 테스트 핸들러는 반도체 소자에 대한 성능을 테스트할 때 테스트 핸들러의 운용에 따른 효율성의 향상을 통하여 반도체 소자의 제조에 따른 신뢰도의 향상을 기대할 수 있고, 아울러 성능 테스트에 따른 시간의 단축을 통하여 반도체 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 챔버 13 : 푸싱바
15 : 구동부 17 : 제1 센서
19 : 제2 센서 100 : 정렬 유니트

Claims (2)

  1. 베어 상태의 에스에스디(SSD)에 대한 성능을 테스트하기 위한 테스트 핸들러에 있어서,
    상기 에스에스디의 테스트를 위하여 상기 에스에스디가 이송 경로를 따라 로딩 및 언로딩함에 의해 상기 테스트 핸들러에 부속되는 다수개의 유니트들 각각에 안착되는 상황이 불량으로 판단될 경우 상기 에스에스디를 수용하여 정렬한 후 다시 상기 유니트들 각각에 안착하도록 상기 유니트들 중 어느 하나의 유니트 일측에 구비되는 정렬 유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 정렬 유니트는, 상기 에스에스디를 수용하는 공간을 제공하는 챔버: 상기 챔버 내에 수용되는 상기 에스에스디를 상기 챔버 일측으로 푸싱하는 푸싱바; 상기 푸싱바를 구동하기 위한 구동부; 상기 푸싱바의 푸싱에 의해 상기 에스에스디가 상기 챔버 일측으로 푸싱됨에 따라 정렬이 이루어질 때 상기 에스에스디의 정렬 상태를 센싱하는 제1 센서; 및 상기 구동부의 동작을 제어하도록 상기 제1 센서로부터 센싱 신호를 전달받는 제2 센서를 포함하고,
    상기 정렬 유니트는 리프트 유니트의 일측에 구비되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100876292B1 (ko) * 2007-08-23 2008-12-31 에버테크노 주식회사 에스에스디(ssd) 테스트 핸들러
KR100909949B1 (ko) * 2008-02-04 2009-07-30 에버테크노 주식회사 에스에스디(ssd) 테스트 핸들러의 정렬장치
KR20090011163U (ko) * 2008-04-28 2009-11-02 (주)맥스 저장매체 검사장치의 랙 구조
CN201655775U (zh) * 2010-01-14 2010-11-24 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 一种用于芯片测试处理机的定位机构

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100876292B1 (ko) * 2007-08-23 2008-12-31 에버테크노 주식회사 에스에스디(ssd) 테스트 핸들러
KR100909949B1 (ko) * 2008-02-04 2009-07-30 에버테크노 주식회사 에스에스디(ssd) 테스트 핸들러의 정렬장치
KR20090011163U (ko) * 2008-04-28 2009-11-02 (주)맥스 저장매체 검사장치의 랙 구조
CN201655775U (zh) * 2010-01-14 2010-11-24 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 一种用于芯片测试处理机的定位机构

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