KR20140143707A - Inspection apparatus, calibration and inspection method of the inspection apparatus - Google Patents

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KR20140143707A
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니혼덴산리드가부시키가이샤
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Abstract

A test device for a test target such as a sensor panel enables calibration to remove errors due to stray capacitance of a cable, and also enables the measurement of minute capacitance of the sensor panel with reasonable preciseness. When a sensor panel is separated, a calibration unit (46) of a sensor panel test device (1) supplies an AC signal from a signal unit (11) to at least one among a plurality of second cables (37), and adjusts the voltage and phase of AC power corresponding to a current meter of a current detection unit (41) in a calibration signal unit (42) to make the output of the current meter of the current detection unit (41), which is electrically connected to a first cable (36), into zero. When the output of the current meter becomes 0, the voltage and phase of the AC power is stored. In the test of the sensor panel, an AC signal is generated in the AC power of the calibration signal unit (42) based on the stored voltage and phase.

Description

검사장치, 검사장치의 캘리브레이션 방법 및 검사방법{INSPECTION APPARATUS, CALIBRATION AND INSPECTION METHOD OF THE INSPECTION APPARATUS}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an inspection apparatus, a calibration method of a test apparatus, and a method of inspecting the inspection apparatus.

본 발명은, 주로 정전용량방식(靜電容量方式)의 센서패널(sensor panel) 등을 검사의 대상으로 하는 검사장치(檢査裝置)에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an inspection apparatus that mainly uses a sensor panel of an electrostatic capacity type.

종래로부터, 터치위치(touch位置)를 검출하는 터치패널장치(touch panel 裝置)의 일종으로서 소위 정전용량방식의 것이 알려져 있다. 정전용량식 터치패널장치의 센서패널은, 예를 들면 글래스(glass) 등에 의하여 형성된 투명한 기판에 제1패턴 투명도전층(第一pattern 透明導電層)과 제2패턴 투명도전층이 형성된 구조를 구비하고 있다. 이 패턴 투명도전층은 예를 들면 산화인듐주석(Indium Tin Oxide, ITO)을 사용하여 성막(成膜)함으로써 형성할 수 있다.BACKGROUND ART [0002] Conventionally, a touch panel device for detecting a touch position (touch position device) is known as a capacitive touch panel device. The sensor panel of the capacitive touch panel device has a structure in which a first pattern transparent conductive layer (first pattern transparent conductive layer) and a second pattern transparent conductive layer are formed on a transparent substrate formed, for example, by glass or the like . The pattern transparent whole layer can be formed by forming a film using indium tin oxide (ITO), for example.

2개의 패턴 투명도전층은 서로 수직으로 교차하도록 배치되어 각각이 전극으로서 기능을 한다. 또 이하에서는, 제1 및 제2패턴 투명도전층을 제1전극 및 제2전극이라고 부르는 경우가 있다. 제1전극과 제2전극은, 센서패널의 두께방향의 간극을 사이에 두고 대향(對向)하도록 배치되어 있다.The two pattern transparency layers are disposed so as to cross each other at right angles and each function as an electrode. In the following, the first and second pattern transparency layers may be referred to as a first electrode and a second electrode. The first electrode and the second electrode are arranged so as to face each other with a gap in the thickness direction of the sensor panel therebetween.

이상의 구성에 의하여 제1전극과 제2전극의 교차부분에는 일종의 콘덴서가 형성되고, 이 콘덴서의 정전용량이 도전성 물체(예를 들면 인체(人體))가 접근 혹은 접촉함으로써 변화된다. 터치패널장치는, 이 정전용량의 변화를 검출함으로써 센서패널에 터치된 위치를 검출할 수 있다. 이 방식은 소위 투영형 정전용량방식(投影型 靜電容量方式)이라고 불리는 것이며, 터치위치를 고정밀도로 검출할 수 있는 점에서 우수하다.According to the above configuration, a kind of capacitor is formed at the intersection portion of the first electrode and the second electrode, and the capacitance of the capacitor is changed by approaching or contacting a conductive object (for example, a human body). The touch panel device can detect a touched position on the sensor panel by detecting a change in the capacitance. This method is called a projection type capacitance type (projection type capacitance type), and is excellent in that it can detect a touch position with high accuracy.

그런데 터치패널장치의 제조자에 있어서, 센서패널을 검사하는 것은 불량품의 혼입을 피하여 제품의 품질을 확보하기 위하여 매우 중요하다.However, in the manufacturer of the touch panel device, it is very important to inspect the sensor panel in order to secure the quality of the product by avoiding the inclusion of defective products.

이 검사방법의 하나로서, 가로·세로방향으로 배치되는 각각의 전극이나 그것에 접속된 배선에 대하여 바늘모양의 도통 프로브(導通 probe)로 이루어지는 접촉자(接觸子)를 직접 접촉시켜서, 각 전극(배선)의 도통과, 인접하는 전극(배선)과의 단락(短絡)의 유무를 검사하는 것이 종래로부터 이루어져 왔다.As one of the inspection methods, a contact made of a needle-like conductive probe is directly brought into contact with each electrode arranged in the horizontal and vertical directions and the wiring connected thereto, (Short-circuiting) with the adjacent electrode (wiring) has been conventionally conducted.

그러나 이와 같이 접촉자를 직접 접촉시켜서 검사하는 방법에서는, ITO막으로 이루어지는 상기한 전극과 접촉자에 안정성이 없어, 산화막에 의한 접촉저항의 불안정성에 의하여 전기적 특성을 정확하게 측정할 수 없었다. 또한 접촉자가 검사대상의 전극 등과 직접 접촉하기 때문에, 타흔(打痕)이 형성되어 품질을 저하시켜 버리는 문제가 있었다.However, in the method in which the contact is directly brought into contact with the contact member in this way, the electrode and the contact made of the ITO film are not stable, and the electrical characteristics can not be accurately measured due to instability of contact resistance caused by the oxide film. Further, since the contactor is in direct contact with an electrode or the like to be inspected, there is a problem that a scratch is formed and the quality is deteriorated.

한편 특허문헌1에 개시된 바와 같이 조립된 터치패널 상의 소정의 터치입력위치의 검출을 정밀도 좋게 하기 위하여, 터치패널 전체의 저항값 등의 전기적 특성을 검사하는 방법이 제안되어 있다.In order to improve the detection precision of a predetermined touch input position on a touch panel assembled as disclosed in Patent Document 1, a method of inspecting electrical characteristics such as a resistance value of the entire touch panel has been proposed.

또한 특허문헌1에 개시되어 있는 것 이외에도, 각각의 전극에 검사신호를 공급하면서 전극교차부분에 접촉자를 접촉시켜서, 접촉자의 검출신호에 의거하여 전극 등의 양부를 검사하는 것이 이루어지고 있다.
In addition to the technique disclosed in Patent Document 1, a contact portion is brought into contact with a crossing portion of an electrode while supplying an inspection signal to each electrode, and both parts of the electrode and the like are inspected based on the detection signal of the contact.

（특허문헌1）일본국 공개특허 특개2005-274225호 공보(Patent Document 1) Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-274225

그러나 이러한 검사방법에서는, 가로·세로방향으로 배치되는 전극의 교차부분 전부에 대하여 접촉자를 접촉시켜서 검사를 할 필요가 있다. 따라서 전극의 수가 증가하면, 접촉자의 이동을 위하여 장시간이 필요하게 되어 검사시간이 현저하게 증가하여 버린다.However, in this inspection method, it is necessary to conduct inspection by bringing the contacts into contact with all the intersecting portions of the electrodes arranged in the lateral and longitudinal directions. Therefore, when the number of electrodes is increased, a long time is required for moving the contactor, and the inspection time is significantly increased.

또한 검사의 과정에서 제1전극과 제2전극의 교차부분에 있어서의 정전용량을 측정하는 것이 생각되지만, 이 정전용량은 크더라도 10pF 정도인 것에 대하여, 검사장치의 회로에 포함되는 의도하지 않은 용량성분(소위 부유용량(浮遊容量))은 100pF 정도이며, 이 부유용량이 측정 정밀도를 저하시키는 큰 원인이 되고 있다. 따라서 검사의 정밀도를 높이는 관점으로부터 당해 부유용량의 영향을 적절하게 제거하는 것이 요구되고 있다.It is also conceivable to measure the capacitance at the intersection of the first electrode and the second electrode in the course of the inspection. However, this capacitance is about 10 pF even if it is large. However, the unintended capacitance Component (so-called stray capacitance) is about 100 pF, and this stray capacitance is a major cause for lowering the measurement accuracy. Therefore, it is required to appropriately remove the influence of the stray capacitance from the viewpoint of increasing the accuracy of inspection.

본 발명은 이상의 사정을 고려하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 센서패널 등의 검사대상물의 검사장치에 있어서 케이블의 부유용량 등에 의한 오차를 제거하는 캘리브레이션(calibration)을 실현함과 아울러, 센서패널의 미소한 정전용량을 양호한 정밀도로 측정할 수 있도록 하는 것에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an apparatus for inspecting an object to be inspected such as a sensor panel, which realizes a calibration for eliminating an error caused by a floating capacity of a cable, So that a capacitance can be measured with good precision.

본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이상과 같으며, 다음에 이 과제의 해결수단과 그 효과를 설명한다.The problem to be solved by the present invention is as described above, and the solution of this problem and its effect will be described below.

본 발명의 제1관점에 의하면, 패널 모양의 검사대상물로서, 나란하게 배열된 복수의 제1도전체와, 나란하게 배열된 복수의 제2도전체가 패널의 두께방향에서 보았을 때에 서로 교차하도록 배치된 검사대상물의 검사장치에 있어서의 이하의 구성이 제공된다. 즉 이 검사장치는, 제1배선체와, 제2배선체와, 시그널부와, 시그널 공급절체부와, 전류검출부와, 검출절체부와, 캘리브레이션 시그널부를 구비한다. 상기 제1배선체는 복수 구비되고, 검사 시에 상기 제1도전체의 각각에 전기적으로 접속된다. 상기 제2배선체는 복수 구비되고, 검사 시에 상기 제2도전체의 각각에 전기적으로 접속된다. 상기 시그널부는 교류신호를 공급하는 교류전원이다. 상기 시그널 공급절체부는, 복수의 상기 제2도전체의 각각에 대하여 상기 시그널부의 교류신호를 상기 제2배선체를 경유하여 공급하거나 차단할지를 절체할 수 있다. 상기 전류검출부는, 상기 제1도전체에 흐르는 전류를 검출할 수 있는 복수의 전류계를 구비한다. 상기 검출절체부는, 상기 제1도전체의 각각을 상기 전류계와 상기 제1배선체를 경유하여 접속하거나 차단할지를 절체할 수 있다. 상기 캘리브레이션 시그널부는, 각각의 상기 전류계에 대하여 교류신호를 공급할 수 있는 복수의 교류전원을 구비한다. 상기 캘리브레이션 시그널부의 각각의 상기 교류전원은, 그 전압 및 위상을 변경할 수 있도록 구성되어 있다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a panel-like inspection object comprising: a plurality of first conductors arranged in parallel; and a plurality of second conductors arranged in parallel arranged so as to intersect each other when viewed from the thickness direction of the panel The following arrangement of the inspection apparatus of the inspection object is provided. That is, the inspection apparatus includes a first wiring body, a second wiring body, a signal portion, a signal supply / output portion, a current detection portion, a detection switching portion, and a calibration signal portion. A plurality of the first wiring bodies are provided and electrically connected to each of the first conductors at the time of inspection. A plurality of the second wiring bodies are provided and electrically connected to each of the second conductors at the time of inspection. The signal portion is an AC power supply for supplying an AC signal. The signal supply switching unit may switch whether to supply or block an AC signal of the signal portion to each of the plurality of second conductors via the second wiring member. The current detecting section includes a plurality of ammeters capable of detecting a current flowing in the first conductor. The detection switching unit may switch whether to connect or disconnect each of the first conductors via the ammeter and the first wiring member. The calibration signal section includes a plurality of ac power supplies capable of supplying an ac signal to each of the ammeter. Each of the AC power supplies of the calibration signal section is configured to be able to change its voltage and phase.

이에 따라 케이블의 부유용량 등에 의한 오차를 제거하는 캘리브레이션을 실현할 수 있다. 또한 부유용량 등에 의한 전류를 제거하도록 캘리브레이션 시그널부의 교류전원을 제어하기 때문에, 전류검출부의 전류계는 제1도전체와 제2도전체의 교차부분의 정전용량에 의거하는 전류 그 자체를 검출할 수 있다. 따라서 전류계의 레인지를 적절하게 정함으로써 센서패널의 미소한 정전용량을 양호한 정밀도로 측정할 수 있다.Accordingly, it is possible to realize the calibration for eliminating the error caused by the stray capacitance of the cable or the like. Further, since the AC power source of the calibration signal portion is controlled to remove the current due to the stray capacitance or the like, the ammeter of the current detecting portion can detect the current itself based on the capacitance of the intersection portion of the first conductor and the second conductor . Therefore, the minute capacitance of the sensor panel can be measured with good precision by properly setting the range of the ammeter.

상기의 검사장치에 있어서는, 이하의 구성으로 하는 것이 바람직하다. 즉 이 검사장치는, 적어도 상기 시그널부, 상기 전류검출부 및 상기 캘리브레이션 시그널부를 제어하는 캘리브레이션부를 구비한다. 상기 캘리브레이션부는, 상기 검사대상물이 분리된 캘리브레이션할 때에 있어서, 상기 제2배선체 중에서 적어도 어느 하나에 상기 시그널부의 교류신호를 공급시키면서, 상기 제1배선체에 전기적으로 접속되는 상기 전류검출부의 전류계의 출력이 0이 되도록, 상기 캘리브레이션 시그널부에 있어서 상기 전류계에 대응하는 교류전원의 전압 및 위상을 조정한다. 또한 상기 캘리브레이션부는, 상기 전류계의 출력이 0이 되었을 때의 상기 캘리브레이션 시그널부의 교류전원에 부여한 전압 및 위상의 파라미터인 캘리브레이션 파라미터를 취득하여 기억한다. 또한 상기 캘리브레이션부는, 상기 검사대상물의 검사 시에 있어서는, 기억된 상기 캘리브레이션 파라미터에 의거하여 상기 캘리브레이션 시그널부의 교류전원에 교류신호를 발생시킨다.In the above inspection apparatus, it is preferable to have the following configuration. That is, the inspection apparatus includes a calibration section for controlling at least the signal section, the current detection section, and the calibration signal section. Wherein the calibrating unit is configured to calibrate the current measurement unit of the ammeter of the current detecting unit electrically connected to the first wiring body while supplying an AC signal of the signal portion to at least one of the second wiring bodies, The voltage and phase of the AC power supply corresponding to the ammeter in the calibration signal portion are adjusted so that the output becomes zero. The calibration section acquires and stores calibration parameters which are parameters of a voltage and a phase given to the AC power supply of the calibration signal section when the output of the ammeter becomes zero. Further, the calibration section generates an AC signal to the AC power source of the calibration signal section based on the stored calibration parameter when inspecting the object to be inspected.

이에 따라 부유용량에 의한 전류를 제거하기 위한 캘리브레이션 시그널부의 교류전원의 전압 및 위상이 자동적으로 결정된다. 따라서 캘리브레이션의 수고를 경감시킬 수 있다.Accordingly, the voltage and phase of the AC power source of the calibration signal portion for removing the current due to the stray capacitance are automatically determined. Therefore, the labor of calibration can be reduced.

상기의 검사장치에 있어서는, 이하의 구성으로 하는 것이 바람직하다. 즉 상기 캘리브레이션부는, 상기 캘리브레이션할 때에 있어서, 상기 시그널부의 신호의 공급처가 되는 상기 제2배선체를 변경시키도록 상기 시그널 공급절체부의 상태를 절체하면서, 상기 시그널 공급절체부의 상태와 상기 캘리브레이션 파라미터를 대응시켜서 기억한다. 상기 캘리브레이션부는, 상기 검사대상물의 검사 시에 있어서는, 상기 시그널 공급절체부의 상태에 대응하여 기억된 상기 캘리브레이션 파라미터에 의거하여 상기 캘리브레이션 시그널부의 교류전원에 교류신호를 발생시킨다.In the above inspection apparatus, it is preferable to have the following configuration. That is, the calibration unit may be configured such that, at the time of calibration, the state of the signal supply transfer unit is switched to the calibration parameter so that the state of the signal supply transfer unit is changed so as to change the second wiring member as a supply source of the signal of the signal unit I remember it. The calibration section generates an AC signal to the AC power source of the calibration signal section based on the calibration parameter stored corresponding to the state of the signal supply transfer section when the inspected object is inspected.

이에 따라 어느 제2배선체를 신호공급처로 하는가에 따라 부유용량 등이 변화되더라도, 그것에 대응한 캘리브레이션을 할 수 있기 때문에 측정 정밀도를 양호하게 유지할 수 있다.Accordingly, even if the stray capacitance or the like changes depending on which of the second wiring bodies is used as a signal supply source, the calibration can be performed correspondingly, and thus the measurement accuracy can be maintained satisfactorily.

상기의 검사장치에 있어서는, 상기 캘리브레이션부는, 상기 캘리브레이션할 때에 있어서, 복수의 상기 제1배선체와, 그것에 대응하는 상기 전류검출부의 전류계가 동시에 접속되도록 상기 검출절체부를 제어하는 것이 바람직하다.In the above inspection apparatus, it is preferable that the calibration section controls the detection switching section so that a plurality of the first wiring bodies and the ammeter of the current detection section corresponding thereto are simultaneously connected at the time of calibration.

이에 따라 복수의 전류계에 관한 캘리브레이션 작업을 동시병행적으로 하는 것이 가능하기 때문에, 캘리브레이션에 필요한 시간을 효과적으로 단축할 수 있다.As a result, it is possible to concurrently perform the calibration work for a plurality of ammeters, so that the time required for the calibration can be effectively shortened.

상기의 검사장치에 있어서는, 이하의 구성으로 하는 것이 바람직하다. 즉 이 검사장치는, 적어도 상기 시그널부, 상기 전류검출부, 상기 시그널 공급절체부 및 상기 검출절체부를 제어하는 검사부를 구비한다. 상기 검사부는, 복수의 상기 제2도전체 중에서 선택된 1개에 상기 시그널부의 교류신호를 공급하도록 상기 시그널 공급절체부를 제어함과 아울러, 복수의 상기 제1도전체 중에서 선택된 1개와, 대응하는 상기 전류검출부의 전류계를 접속하도록 상기 검출절체부를 제어한다. 상기 검사부는, 선택된 제2도전체에 있어서 상기 시그널부의 교류신호가 공급되는 끝부인 공급단으로부터, 선택된 제2도전체와 선택된 제1도전체의 교차부분을 경유하여, 선택된 제1도전체에 있어서 상기 전류계가 접속되는 쪽의 끝부인 계측단에 이르는 회로를 형성회로라고 하였을 때에, 상기 형성회로의 저항인 회로저항과, 상기 형성회로에 흐르는 전류의 위상의 차이인 전류위상차이 중에서 어느 하나를 포함하는 형성회로 계측값을 상기 전류계에 의하여 전류를 검출함으로써 계측한다. 또한 상기 검사부는, 얻어진 상기 형성회로 계측값에 의거하여 상기 제1도전체 및 상기 제2도전체의 이상을 검사한다.In the above inspection apparatus, it is preferable to have the following configuration. That is, the inspection apparatus includes an inspection section for controlling at least the signal section, the current detection section, the signal supply / transfer section, and the detection / transfer section. Wherein the inspection unit controls the signal supply / reception unit so as to supply an AC signal of the signal portion to one selected from the plurality of second conductors, and controls one of the plurality of the first conductors, And controls the detection change unit to connect the ammeter of the detection unit. The inspection section may be configured to detect a current flowing through the selected second conductor from a supply end which is an end to which an AC signal of the signal portion is supplied, And a current phase difference which is a difference between the phase of the current flowing through the forming circuit and the circuit resistance which is the resistance of the forming circuit when the circuit reaching the measuring end which is the end of the side to which the ammeter is connected is referred to as a forming circuit Is measured by detecting the current by the ammeter. Further, the inspection unit inspects the abnormality of the first conductor and the second conductor on the basis of the obtained measurement value of the formed circuit.

이에 따라 제1도전체 및 제2도전체가 균일하게 형성되어 있는가 아닌가를 형성회로 계측값을 얻음으로써 판정할 수 있다. 또한 접촉자 등을 사용하지 않고 비접촉의 검사가 실현되기 때문에 택트타임을 대폭적으로 단축할 수 있다.Thus, whether or not the first conductor and the second conductor are uniformly formed can be determined by obtaining the measurement value of the forming circuit. In addition, the non-contact inspection can be realized without using a contactor or the like, so that the tact time can be remarkably shortened.

상기의 검사장치에 있어서는, 상기 검사부는, 상기 형성회로 계측값을 계측함과 아울러, 선택된 상기 제1도전체 및 상기 제2도전체의 교차부분에 있어서의 정전용량을 측정하는 것이 바람직하다.In the above inspection apparatus, it is preferable that the inspection unit measures the forming circuit measured value and measures the capacitance at the intersection portion of the selected first conductor and the second conductor.

이에 따라 검사시간을 효율적으로 활용하여 검사를 하는 것이 가능하기 때문에 택트타임을 더 단축할 수 있다.Therefore, the inspection time can be further shortened because it is possible to perform the inspection using the inspection time efficiently.

상기의 검사장치에 있어서는, 상기 검사부는, 선택되는 제1도전체를 공통으로 하고, 선택되는 제2도전체를 상기 제1도전체의 길이방향 일측으로부터 타측으로 순차적으로 변화시킴에 따라 상기 형성회로의 회로저항 또는 전류위상차이가 단조로 증가 또는 감소하는가 아닌가를 판정함으로써 상기 제1도전체 및 상기 제2도전체의 이상을 검사하는 것이 바람직하다.In the inspecting apparatus, the inspecting unit may be configured such that the selected first conductor is common, and the selected second conductor is sequentially changed from one side in the longitudinal direction of the first conductor to the other side, It is preferable to check the abnormality of the first conductor and the second conductor by judging whether the circuit resistance or the current phase difference of the first conductor and the second conductor increases or decreases monotonously.

또한 상기의 검사장치에 있어서는, 상기 검사부는, 선택되는 제2도전체를 공통으로 하고, 선택되는 제1도전체를 상기 제2도전체의 길이방향 일측으로부터 타측으로 순차적으로 변화시킴에 따라 상기 형성회로의 회로저항 또는 전류위상차이가 단조로 증가 또는 감소하는가 아닌가를 판정함으로써 상기 제1도전체 및 상기 제2도전체의 이상을 검사하는 것이 바람직하다.Further, in the inspection apparatus described above, the inspection section may be configured such that the selected second conductor is made common, and the selected first conductor is sequentially changed from one side in the longitudinal direction of the second conductor to the other side, It is preferable to check the abnormality of the first conductor and the second conductor by judging whether the circuit resistance or the current phase difference of the circuit increases or decreases monotonously.

이에 따라 제1도전체 및 제2도전체의 형상이 균일한가 아닌가를 합리적으로 판정할 수 있다.Accordingly, whether or not the shapes of the first conductor and the second conductor are uniform can be reasonably determined.

상기의 검사장치에 있어서는, 이하의 구성으로 할 수도 있다. 즉 상기 검사부는, 상기 제1도전체와 상기 제2도전체를 각각 선택하여 구성되는 상기 형성회로인 제1형성회로와, 상기 제1도전체의 선택을, 상기 제1형성회로에서 선택된 제1도전체에 대하여 상기 제2도전체의 상기 공급단으로부터 먼 방향으로 1개 이동함과 아울러, 상기 제2도전체의 선택을, 상기 제1형성회로에서 선택된 제2도전체에 대하여 상기 제1도전체의 상기 계측단으로부터 가까운 방향으로 1개 이동함으로써 구성되는 상기 형성회로인 제2형성회로와의 사이에서 상기 회로저항 또는 전류위상차이가 동일한가 아닌가를 판정함으로써 상기 제1도전체 및 상기 제2도전체의 이상을 검사한다.The above inspection apparatus may be configured as follows. That is, the inspection unit may include: a first forming circuit that is the forming circuit configured by respectively selecting the first conductor and the second conductor; and a selection circuit that selects the first conductor from among the first conductor selected in the first forming circuit One of the first conductor and the second conductor is moved in a direction away from the supply end of the second conductor with respect to the conductor, By determining whether or not the circuit resistance or the current phase difference is the same between the first conductor and the second forming circuit which is the forming circuit constituted by moving one in the direction closer to the measuring end of the body Inspect the sieve for abnormalities.

이것에 의해서도 제1도전체 및 제2도전체의 형상이 균일한가 아닌가를 합리적으로 판정할 수 있다.This also makes it possible to reasonably determine whether or not the shapes of the first conductor and the second conductor are uniform.

본 발명의 제2관점에 의하면, 패널 모양의 검사대상물로서, 나란하게 배열된 복수의 제1도전체와, 나란하게 배열된 복수의 제2도전체가 패널의 두께방향에서 보았을 때에 서로 교차하도록 배치된 검사대상물의 검사장치에 있어서, 이하와 같은 캘리브레이션 방법이 제공된다. 즉 상기 검사장치는, 제1배선체와, 제2배선체와, 시그널부와, 시그널 공급절체부와, 전류검출부와, 검출절체부와, 캘리브레이션 시그널부를 구비한다. 상기 제1배선체는 복수 구비되고, 검사 시에 상기 제1도전체의 각각에 전기적으로 접속된다. 상기 제2배선체는 복수 구비되고, 검사 시에 상기 제2도전체의 각각에 전기적으로 접속된다. 상기 시그널부는 교류신호를 공급하는 교류전원이다. 상기 시그널 공급절체부는, 복수의 상기 제2도전체의 각각에 대하여 상기 시그널부의 교류신호를 상기 제2배선체를 경유하여 공급하거나 차단할지를 절체할 수 있다. 상기 전류검출부는, 상기 제1도전체에 흐르는 전류를 검출할 수 있는 복수의 전류계를 구비한다. 상기 검출절체부는, 상기 제1도전체의 각각을 상기 전류계와 상기 제1배선체를 경유하여 접속하거나 차단할지를 절체할 수 있다. 상기 캘리브레이션 시그널부는, 각각의 상기 전류계에 대하여 교류신호를 공급할 수 있는 복수의 교류전원을 구비한다. 상기 캘리브레이션 시그널부의 각각의 상기 교류전원은, 그 전압 및 위상을 변경할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고 상기의 캘리브레이션 방법은, 시그널 조건 조정공정과, 시그널 조건 기억공정과, 캘리브레이션 시그널 발생공정을 포함한다. 상기 시그널 조건 조정공정에서는, 상기 검사대상물이 분리된 상태에서, 상기 제2배선체 중에서 적어도 어느 하나에 상기 시그널부의 교류신호를 공급시키면서, 상기 제1배선체에 전기적으로 접속되는 상기 전류검출부의 전류계의 출력이 0이 되도록, 상기 캘리브레이션 시그널부에 있어서 상기 전류계에 대응하는 교류전원의 전압 및 위상을 조정한다. 상기 시그널 조건 기억공정에서는, 상기 전류계의 출력이 0이 되었을 때의 상기 캘리브레이션 시그널부의 교류전원에 부여한 전압 및 위상의 파라미터인 캘리브레이션 파라미터를 취득하여 기억한다. 상기 캘리브레이션 시그널 발생공정에서는, 상기 검사대상물의 검사 시에 있어서, 기억된 상기 캘리브레이션 파라미터에 의거하여 상기 캘리브레이션 시그널부의 교류전원에 교류신호를 발생시킨다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a panel-like inspection object, comprising: a plurality of first conductors arranged in parallel; and a plurality of second conductors arranged in parallel arranged so as to cross each other when viewed in the thickness direction of the panel In the inspection apparatus for an object to be inspected, the following calibration method is provided. That is, the inspection apparatus includes a first wiring body, a second wiring body, a signal portion, a signal supply / output portion, a current detection portion, a detection switching portion, and a calibration signal portion. A plurality of the first wiring bodies are provided and electrically connected to each of the first conductors at the time of inspection. A plurality of the second wiring bodies are provided and electrically connected to each of the second conductors at the time of inspection. The signal portion is an AC power supply for supplying an AC signal. The signal supply switching unit may switch whether to supply or block an AC signal of the signal portion to each of the plurality of second conductors via the second wiring member. The current detecting section includes a plurality of ammeters capable of detecting a current flowing in the first conductor. The detection switching unit may switch whether to connect or disconnect each of the first conductors via the ammeter and the first wiring member. The calibration signal section includes a plurality of ac power supplies capable of supplying an ac signal to each of the ammeter. Each of the AC power supplies of the calibration signal section is configured to be able to change its voltage and phase. The calibration method includes a signal condition adjustment step, a signal condition storage step, and a calibration signal generation step. Wherein the signal condition adjusting step includes a step of adjusting the current value of the current detection unit electrically connected to the first wiring body while supplying the alternating signal of the signal portion to at least one of the second wiring bodies in a state in which the inspection object is separated, The voltage and phase of the AC power supply corresponding to the ammeter in the calibration signal portion are adjusted so that the output of the AC power supply becomes zero. In the signal condition storage step, a calibration parameter which is a parameter of a voltage and a phase given to the AC power source of the calibration signal portion when the output of the ammeter becomes 0 is acquired and stored. In the calibration signal generating step, an AC signal is generated on the AC power source of the calibration signal section based on the stored calibration parameter when inspecting the object to be inspected.

이에 따라 케이블의 부유용량 등에 의한 오차를 제거하는 캘리브레이션을 실현할 수 있다. 또한 부유용량 등에 의한 전류를 제거하도록 캘리브레이션 시그널부의 교류전원을 제어하기 때문에, 전류검출부의 전류계는 제1도전체와 제2도전체의 교차부분의 정전용량에 의거하는 전류 그 자체를 검출할 수 있다. 따라서 전류계의 레인지를 적절하게 정함으로써 센서패널의 미소한 정전용량을 양호한 정밀도로 측정할 수 있다. 또 부유용량에 의한 전류를 제거하기 위한 캘리브레이션 시그널부의 교류전원의 전압 및 위상을 자동적으로 결정하기 때문에 캘리브레이션의 수고를 경감시킬 수 있다.Accordingly, it is possible to realize the calibration for eliminating the error caused by the stray capacitance of the cable or the like. Further, since the AC power source of the calibration signal portion is controlled to remove the current due to the stray capacitance or the like, the ammeter of the current detecting portion can detect the current itself based on the capacitance of the intersection portion of the first conductor and the second conductor . Therefore, the minute capacitance of the sensor panel can be measured with good precision by properly setting the range of the ammeter. In addition, since the voltage and phase of the AC power source of the calibration signal portion for removing the current due to the stray capacitance are automatically determined, the labor of calibration can be reduced.

본 발명의 제3관점에 의하면, 패널 모양의 검사대상물로서, 나란하게 배열된 복수의 제1도전체와, 나란하게 배열된 복수의 제2도전체가 패널의 두께방향에서 보았을 때에 서로 교차하도록 배치된 검사대상물의 검사장치에 있어서, 이하의 검사방법이 제공된다. 즉 이 검사장치는, 제1배선체와, 제2배선체와, 시그널부와, 시그널 공급절체부와, 전류검출부와, 검출절체부와, 캘리브레이션 시그널부를 구비한다. 상기 제1배선체는 복수 구비되고, 검사 시에 상기 제1도전체의 각각에 전기적으로 접속된다. 상기 제2배선체는 복수 구비되고, 검사 시에 상기 제2도전체의 각각에 전기적으로 접속된다. 상기 시그널부는 교류신호를 공급하는 교류전원이다. 상기 시그널 공급절체부는, 복수의 상기 제2도전체의 각각에 대하여 상기 시그널부의 교류신호를 상기 제2배선체를 경유하여 공급하거나 차단할지를 절체할 수 있다. 상기 전류검출부는, 상기 제1도전체에 흐르는 전류를 검출할 수 있는 복수의 전류계를 구비한다. 상기 검출절체부는, 상기 제1도전체의 각각을 상기 전류계와 상기 제1배선체를 경유하여 접속하거나 차단할지를 절체할 수 있다. 상기 캘리브레이션 시그널부는, 각각의 상기 전류계에 대하여 교류신호를 공급할 수 있는 복수의 교류전원을 구비한다. 상기 캘리브레이션 시그널부의 각각의 상기 교류전원은, 그 전압 및 위상을 변경할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고 상기의 검사방법은, 절체공정과, 형성회로 계측값 취득공정과, 판정공정을 포함한다. 상기 절체공정에서는, 복수의 상기 제2도전체 중에서 선택된 1개에 상기 시그널부의 교류신호를 공급하도록 상기 시그널 공급절체부를 제어함과 아울러, 복수의 상기 제1도전체 중에서 선택된 1개와, 대응하는 상기 전류검출부의 전류계를 접속하도록 상기 검출절체부를 제어한다. 상기 형성회로 계측값 취득공정에서는, 선택된 제2도전체에 있어서 상기 시그널부의 교류신호가 공급되는 끝부인 공급단으로부터, 선택된 제2도전체와 선택된 제1도전체의 교차부분을 경유하여, 선택된 제1도전체에 있어서 상기 전류계가 접속되는 쪽의 끝부인 계측단에 이르는 회로를 형성회로라고 하였을 때에, 상기 형성회로의 저항인 회로저항과, 상기 형성회로에 흐르는 전류의 위상의 차이인 전류위상차이 중에서 어느 하나를 포함하는 형성회로 계측값을 상기 전류계에 의하여 전류를 검출함으로써 계측한다. 상기 판정공정에서는, 얻어진 상기 형성회로 계측값에 의거하여 상기 제1도전체 및 상기 제2도전체의 이상의 유무를 판정한다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a panel-like inspection object, comprising: a plurality of first conductors arranged in parallel and a plurality of second conductors arranged in parallel so as to cross each other when viewed in the thickness direction of the panel In the inspection apparatus for an object to be inspected, the following inspection method is provided. That is, the inspection apparatus includes a first wiring body, a second wiring body, a signal portion, a signal supply / output portion, a current detection portion, a detection switching portion, and a calibration signal portion. A plurality of the first wiring bodies are provided and electrically connected to each of the first conductors at the time of inspection. A plurality of the second wiring bodies are provided and electrically connected to each of the second conductors at the time of inspection. The signal portion is an AC power supply for supplying an AC signal. The signal supply switching unit may switch whether to supply or block an AC signal of the signal portion to each of the plurality of second conductors via the second wiring member. The current detecting section includes a plurality of ammeters capable of detecting a current flowing in the first conductor. The detection switching unit may switch whether to connect or disconnect each of the first conductors via the ammeter and the first wiring member. The calibration signal section includes a plurality of ac power supplies capable of supplying an ac signal to each of the ammeter. Each of the AC power supplies of the calibration signal section is configured to be able to change its voltage and phase. The inspection method includes a transfer step, a formation circuit measurement value acquisition step, and a determination step. Wherein the signal transmission and reception unit controls the signal supply and reception unit to supply an AC signal of the signal portion to one selected from the plurality of second conductors, And controls the detection switching unit to connect the ammeter of the current detecting unit. In the forming circuit measurement value acquisition step, the selected second conductor is supplied with the selected signal from the supply terminal, which is the end to which the AC signal of the signal portion is supplied, through the intersection of the selected second conductor and the selected first conductor. 1 circuit is a circuit that reaches the measuring end which is the end of the conductor on the side to which the ammeter is connected, the circuit resistance which is the resistance of the forming circuit and the phase difference of the current flowing in the forming circuit The current value is measured by detecting the current value by the ammeter. The determination step determines whether or not the first conductor and the second conductor are abnormal based on the obtained measurement value of the forming circuit.

이에 따라 제1도전체 및 제2도전체가 균일하게 형성되어 있는가 아닌가를 형성회로 계측값을 얻음으로써 판정할 수 있다. 또한 접촉자 등을 사용하지 않고 비접촉의 검사가 실현되기 때문에, 택트타임을 대폭적으로 단축할 수 있다.
Thus, whether or not the first conductor and the second conductor are uniformly formed can be determined by obtaining the measurement value of the forming circuit. Further, since the contactless inspection is realized without using a contactor or the like, the tact time can be remarkably shortened.

도1은, 본 발명의 1실시형태에 관한 센서패널 검사장치의 전체적인 구성을 나타내는 개념도이다.
도2는, 센서패널을 분리한 상태에서 센서패널 검사장치의 캘리브레이션을 하는 모양을 나타내는 도면이다.
도3은, 시그널부의 전압위상과, 전류검출부의 전류계에서 검출되는 전류위상과의 관계를 나타내는 그래프이다.
도4는, 센서패널 검사장치가 센서패널에 있어서의 위치(1, 4)를 검사하는 경우의 형성회로를 나타내는 도면이다.
도5는, 형성회로를 간략적으로 나타낸 도면이다.
도6은, 검사하는 위치의 좌표와 형성회로의 저항값과의 관계를 나타내는 표이다.
도7은, 형성회로의 저항값과 전류의 위상과의 관계를 나타내는 벡터도이다.1 is a conceptual diagram showing the overall configuration of a sensor panel inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a state in which the sensor panel inspection apparatus is calibrated in a state in which the sensor panel is detached.
3 is a graph showing the relationship between the voltage phase of the signal portion and the current phase detected by the ammeter of the current detecting portion.
4 is a diagram showing a forming circuit when the sensor panel inspecting apparatus inspects the positions (1, 4) in the sensor panel.
5 is a diagram schematically showing a forming circuit.
6 is a table showing the relationship between the coordinates of the position to be inspected and the resistance value of the forming circuit.
7 is a vector diagram showing the relationship between the resistance value of the forming circuit and the phase of the current.

다음에 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대하여 설명한다. 도1은 본 발명의 1실시형태에 관한 센서패널 검사장치(1)의 전체적인 구성을 나타내는 개념도이다. 도2는 센서패널을 분리한 상태에서 센서패널 검사장치(1)의 캘리브레이션을 하는 모양을 나타내는 도면이다. 도3은 시그널부(11)의 전압위상과 전류검출부(41)의 전류계에서 검출되는 전류위상과의 관계를 나타내는 그래프이다.Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a conceptual diagram showing the overall configuration of a sensor panel inspection apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. Fig. 2 is a view showing the calibration of the sensor panel inspection apparatus 1 with the sensor panel removed. 3 is a graph showing the relationship between the voltage phase of the signal portion 11 and the current phase detected by the ammeter of the current detecting portion 41. In Fig.

도1에 나타내는 센서패널 검사장치(sensor panel 檢査裝置)(1)는, 검사대상물인 센서패널(50)을 검사할 수 있도록 구성되어 있다. 도1에는, 센서패널(50)을 센서패널 검사장치(1)에 세트한 상태가 나타나 있다.A sensor panel inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 is configured to be able to inspect the sensor panel 50, which is an object to be inspected. Fig. 1 shows a state in which the sensor panel 50 is set in the sensor panel inspection apparatus 1. Fig.

센서패널(50)은 터치패널장치(touch panel 裝置)의 주요한 구성부품으로서, 글래스(glass) 등으로 이루어지는 투명한 기판 상에, 세로방향으로 가늘고 긴 복수의 제1전극(제1도전체(第一導電體))(51)과, 가로방향으로 가늘고 긴 복수의 제2전극(제2도전체)(52)을 서로 교차하도록 설치한 구성으로 되어 있다.The sensor panel 50 is a major component of a touch panel device. The sensor panel 50 includes a transparent substrate made of glass or the like and a plurality of elongated first electrodes (first conductor And a plurality of elongated second electrodes (second conductors) 52 in the transverse direction are provided so as to cross each other.

제1전극(51)과 제2전극(52)은, 센서패널(50)의 두께방향에서 보았을 때에 서로 수직으로 교차하여 매트릭스 모양으로 배치된다. 구체적으로는, 제1전극(51)이 도1의 가로방향으로 동일한 간격으로 M개 나란하게 설치되어 있고, 제2전극이 도1의 세로방향으로 동일한 간격으로 N개 나란하게 설치되어 있다. 또 이후의 설명에서는 제1전극(51)이 나란하게 배열된 방향을 x방향, 제2전극(52)이 나란하게 배열된 방향을 y방향이라고 각각 부르는 경우가 있다.The first electrode 51 and the second electrode 52 are disposed in a matrix shape so as to cross each other when viewed in the thickness direction of the sensor panel 50. More specifically, M first electrodes 51 are arranged at equal intervals in the horizontal direction in FIG. 1, and N second electrodes are arranged at equal intervals in the longitudinal direction of FIG. 1. In the following description, the direction in which the first electrodes 51 are arranged side by side is referred to as the x direction, and the direction in which the second electrodes 52 are arranged side by side is referred to as the y direction.

이 결과 2개의 전극(51, 52)에 의하여 M × N의 매트릭스가 구성되어 있다. 또 도1에 있어서는 평면적으로 그려져 있지만, 제1전극(51)과 제2전극(52)의 사이에는, 센서패널(50)의 두께방향으로 소정의 간극이 형성되어 있다.As a result, an M × N matrix is formed by the two electrodes 51 and 52. 1, a predetermined gap is formed between the first electrode 51 and the second electrode 52 in the thickness direction of the sensor panel 50. In addition,

제1전극(51) 및 제2전극(52)의 형상은 모두 일정한 크기이며 복수의 작은 다이아몬드 모양을 꼬챙이에 꿰어놓은 것과 같은 패턴으로 되어 있고, 광폭부(廣幅部)와 협폭부(狹幅部)가 길이방향으로 반복하여 교대로 나타나 있다. 제1전극(51) 및 제2전극(52)은, 상기의 협폭부의 부분에 있어서 평면에서 볼 때에 서로 교차하고 있다. 이에 따라 제1전극(51) 및 제2전극(52) 중에서 어느 하나에 의하여 터치위치검출(touch位置檢出)이 가능한 영역(이하, 터치영역이라고 부르는 경우가 있다)의 거의 전체가 덮여져 있다.The shapes of the first electrode 51 and the second electrode 52 are all of a constant size and have a pattern such that a plurality of small diamond shapes are put on a shoehorn and a wide width portion and a narrow width portion Are repeated alternately in the longitudinal direction. The first electrode (51) and the second electrode (52) intersect with each other when seen from the plane in the narrow width portion. Accordingly, almost all of the area (hereinafter, referred to as a touch area) in which the touch position detection can be performed by any one of the first electrode 51 and the second electrode 52 is covered .

상기의 터치영역에 있어서는, 매트릭스 모양으로 배치된 제1전극(51)과 제2전극(52)과의 관계에 의하여 센서 좌표계가 설정되어 있다. 이 좌표계는 상기의 x방향 및 y방향의 좌표에 의하여 표시할 수 있다. 구체적으로는, 도1에 있어서의 터치영역의 좌측 하부 모서리에 있는 양쪽 전극의 교차부분이 (1, 1), 우측 상부 모서리에 있는 교차부분이 (M, N)으로 설정되어 있다.In the touch area, a sensor coordinate system is set by the relationship between the first electrode 51 and the second electrode 52 arranged in a matrix. This coordinate system can be represented by the coordinates in the x direction and the y direction. Specifically, the intersections of both electrodes at the lower left corner of the touch region in Fig. 1 are set to (1, 1) and the intersections at the upper right corner are set to (M, N).

또 도1의 센서패널(50)에 있어서, 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 수는 모두 4개로 되어 있지만(M = 4, N = 4), 이 예에 한정되지 않고 적절하게 증감시킬 수 있다. 또한 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 형상에 대해서도 상기에 한정되지 않으며 예를 들면 폭이 일정한 형상의 전극으로 변경할 수 있다.Although the number of the first electrode 51 and the number of the second electrode 52 is four (M = 4, N = 4) in the sensor panel 50 of FIG. 1, . Also, the shape of the first electrode 51 and the second electrode 52 is not limited to the above. For example, the shape of the electrode having a constant width can be changed.

제1전극(51) 및 제2전극(52)은, 상기의 ITO(Indium Tin Oxide)를 사용하여 스퍼터링(sputtering)이나 증착(蒸着) 등의 공지의 방법에 의하여 패턴 투명도전층(pattern 透明導電層)을 형성함으로써 구성된다. 다만 전극의 재료로서는 ITO를 사용하는 것에 한정되지 않으며 예를 들면 산화인듐아연(Indium Zinc Oxide, IZO) 등과 같은 다양한 재료를 사용할 수 있다.The first electrode 51 and the second electrode 52 may be formed of a pattern transparent conductive layer (not shown) by a known method such as sputtering or evaporation using ITO (Indium Tin Oxide) ). However, the material of the electrode is not limited to ITO, and various materials such as indium zinc oxide (IZO) and the like can be used.

제1탭 배선부(第一tab 配線部)(56) 및 제2탭 배선부(57)가 제1전극(51) 및 제2전극(52)에 접속되도록 하여 기판 상에 형성되어 있다. 이 제1탭 배선부(56) 및 제2탭 배선부(57)는, 상기의 터치영역을 피한 위치에 형성되어 있고, 제1전극(51) 및 제2전극(52)과, 터치패널장치의 드라이버 회로(도면에 나타내는 것을 생략함)를 전기적으로 접속할 수 있도록 구성되어 있다.A first tab wiring portion 56 and a second tab wiring portion 57 are formed on the substrate so as to be connected to the first electrode 51 and the second electrode 52. [ The first tab wiring portion 56 and the second tab wiring portion 57 are formed at a position away from the touch region and include a first electrode 51 and a second electrode 52, (Not shown in the drawing) of the driver circuit (not shown).

본 실시형태에 있어서, 제1탭 배선부(56) 및 제2탭 배선부(57)는, 도전성(導電性)을 구비하는 페이스트 재료(paste 材料)(구체적으로는 은 페이스트(銀 paste))를 사용하여 스크린 인쇄에 의하여 형성되어 있다. 다만 이 구성에 한정되지 않으며, 은 페이스트에 대신하여 예를 들면 구리 페이스트를 사용하거나, 스크린 인쇄에 대신하여 예를 들면 잉크젯 인쇄 등의 다른 인쇄방법을 사용하거나 하더라도 좋다. 또한 도전성을 구비하는 각종 금속막을 증착시킨 후에 선택적인 에칭(etching)을 함으로써 제1탭 배선부(56) 및 제2탭 배선부(57)의 패턴을 형성할 수도 있다.In this embodiment, the first tab wiring portion 56 and the second tab wiring portion 57 are made of a paste material (specifically, a silver paste) having conductivity (conductivity) And is formed by screen printing using a screen printing method. However, the present invention is not limited to this configuration. For example, copper paste may be used in place of the silver paste, or another printing method such as inkjet printing may be used instead of screen printing. The first tab wiring portion 56 and the second tab wiring portion 57 may be patterned by selectively etching after depositing various metal films having conductivity.

본 실시형태의 센서패널 검사장치(1)는, 센서패널(50)에 있어서의 전극교차부분에서의 정전용량(靜電容量)이 설계대로인가 아닌가를 검사함과 아울러, 전극(51, 52)이 정확하게 형성되어 있는가 아닌가를 검사하기 위하여 사용된다. 이 센서패널 검사장치(1)는, 제1케이블(제1배선체(第一配線體))(36)과, 제2케이블(제2배선체)(37)과, 시그널부(signal部)(11)와, 시그널 공급절체부(signal 供給切替部)(31)와, 검출절체부(檢出切替部)(32)와, 전류검출부(電流檢出部)(41)와, 캘리브레이션 시그널부(calibration signal部)(42)와, 컨트롤러 유닛(controller unit)(제어부)(45)을 주요한 구성으로서 구비하고 있다.The sensor panel inspecting apparatus 1 of the present embodiment checks whether or not the electrostatic capacitance at the electrode crossing portion in the sensor panel 50 is in accordance with the design and the electrodes 51 and 52 It is used to check whether it is correctly formed or not. This sensor panel inspection apparatus 1 includes a first cable (a first wiring body (first wiring body)) 36, a second cable (a second wiring body) 37, a signal portion A signal supply switching section 31, a detection switching section 32, a current detection section 41, a calibration signal section 41, (calibration signal unit) 42, and a controller unit (control unit) 45 as main components.

제1케이블(36) 및 제2케이블(37)은 도전성을 구비하는 전선으로 구성되어 있다. 센서패널(50)이 센서패널 검사장치(1)에 세트되면, 제1케이블(36)은 센서패널(50)의 제1탭 배선부(56)를 통하여 제1전극(51)에 전기적으로 접속되고, 제2케이블(37)은 센서패널(50)의 제2탭 배선부(57)를 통하여 제2전극(52)에 전기적으로 접속된다.The first cable 36 and the second cable 37 are made of electric wires having conductivity. The first cable 36 is electrically connected to the first electrode 51 through the first tab wiring portion 56 of the sensor panel 50 when the sensor panel 50 is set in the sensor panel inspecting apparatus 1, And the second cable 37 is electrically connected to the second electrode 52 through the second tab wiring portion 57 of the sensor panel 50.

시그널부(11)는 소정 전압의 교류신호를 공급하는 교류전원으로서 구성되어 있다. 이 시그널부(11)가 공급하는 교류신호는, 예를 들면 주파수가 10kHz∼1000kHz의 범위 내에서 전압의 실효값이 1V∼10V의 범위 내가 되도록 설정할 수 있다. 시그널부(11)의 일단(一端)은 접지되고, 타단(他端)은 시그널 공급절체부(31)에 전기적으로 접속된다.The signal unit 11 is configured as an AC power supply for supplying an AC signal of a predetermined voltage. The AC signal supplied from the signal unit 11 can be set so that the effective value of the voltage falls within the range of 1 V to 10 V within the range of 10 kHz to 1000 kHz, for example. One end of the signal portion 11 is grounded and the other end thereof is electrically connected to the signal supply /

시그널부(11)는 컨트롤러 유닛(45)에 접속되어 있어, 컨트롤러 유닛(45)으로부터의 제어명령에 의거하여 교류신호를 발생시킬 수 있다.The signal unit 11 is connected to the controller unit 45 and can generate an AC signal based on a control command from the controller unit 45. [

시그널 공급절체부(31)는 복수의 제2전극(52)으로부터 전부 또는 일부를 선택하고, 이 선택된 제2전극(52)과 시그널부(11)를 전기적으로 접속시킬 수 있다. 이 시그널 공급절체부(31)는 제2전극(52)에 각각 대응하는 복수의 스위치를 구비하고 있다. 또 도면에서는, 각각의 스위치에 「1」∼「4」의 번호가 붙여져 있고, 이 번호는 상기의 센서 좌표계에 있어서의 y좌표에 대응한다. 각각의 스위치는 ON/OFF 동작이 가능하도록 구성됨과 아울러, 대응하는 제2전극(52)에 대하여 상기 제2케이블(37) 및 제2탭 배선부(57)를 통하여 전기적으로 접속된다.The signal supply switching unit 31 may select all or a part of the plurality of second electrodes 52 and electrically connect the selected second electrode 52 and the signal unit 11. [ The signal supply / changeover unit 31 includes a plurality of switches corresponding to the second electrodes 52, respectively. In the figure, the numbers "1" to "4" are attached to the respective switches, and this number corresponds to the y coordinate in the sensor coordinate system. Each of the switches is configured to be capable of ON / OFF operation and is electrically connected to the corresponding second electrode 52 through the second cable 37 and the second tab wiring portion 57.

시그널 공급절체부(31)는 컨트롤러 유닛(45)에 접속되어 있어, 컨트롤러 유닛(45)으로부터의 제어명령에 의거하여 상기 스위치의 ON/OFF를 각각 절체할 수 있다.The signal supply switching unit 31 is connected to the controller unit 45 and can switch on and off the switches based on a control command from the controller unit 45. [

검출절체부(32)는 복수의 제1전극(51)으로부터 전부 또는 일부를 선택하고, 이 선택된 제1전극(51)과 전류검출부(41)를 전기적으로 접속시킬 수 있다. 이 검출절체부(32)는 제1전극(51)에 각각 대응하는 복수의 스위치를 구비하고 있다. 또 도면에서는, 각각의 스위치에 「1」∼「4」의 번호가 붙여져 있고, 이 번호는 상기의 센서 좌표계에 있어서의 x좌표에 대응한다. 이들의 스위치는 ON/OFF 동작이 가능하도록 구성됨과 아울러, 대응하는 제1전극(51)에 대하여 상기 제1케이블(36) 및 제1탭 배선부(56)를 통하여 전기적으로 접속된다.The detection switch section 32 can select all or part of the plurality of first electrodes 51 and electrically connect the selected first electrode 51 and the current detection section 41. [ The detection switch section 32 includes a plurality of switches corresponding to the first electrodes 51, respectively. In the figure, the numbers "1" to "4" are attached to each switch, and this number corresponds to the x-coordinate in the sensor coordinate system. These switches are configured to be capable of ON / OFF operation and are electrically connected to the corresponding first electrode 51 through the first cable 36 and the first tab wiring portion 56.

검출절체부(32)도 시그널 공급절체부(31)와 마찬가지로 컨트롤러 유닛(45)에 접속되어 있어, 컨트롤러 유닛(45)으로부터의 제어명령에 의거하여 상기 스위치의 ON/OFF를 절체할 수 있다.The detection switch section 32 is also connected to the controller unit 45 like the signal supply switch section 31 so that the switches can be switched on and off based on a control command from the controller unit 45. [

전류검출부(41)는 복수의 제1전극(51)에 각각 대응하도록 복수 배치된 전류계를 구비하고 있다. 각각의 전류계는 검출한 전류의 값을 컨트롤러 유닛(45)으로 송신한다.The current detecting section 41 is provided with a plurality of ammeters arranged so as to correspond to the plurality of first electrodes 51, respectively. Each ammeter transmits the value of the detected current to the controller unit 45.

캘리브레이션 시그널부(42)는 전류검출부(41)의 전류계에 각각 대응하도록 복수 배치된 교류전원을 구비하고 있다. 이 교류전원은, 그 일단이 접지되고, 타단이 상기 전류계에 접속된다.The calibration signal section 42 is provided with a plurality of AC power sources arranged corresponding to the amperage of the current detecting section 41, respectively. One end of the AC power source is grounded, and the other end thereof is connected to the ammeter.

이 교류전원은 상기한 시그널부(11)와 일치하는 주파수의 교류신호를 발생시킬 수 있다. 또한 각각의 교류전원은, 컨트롤러 유닛(45)으로부터의 제어명령에 의거하여 출력하는 교류신호의 전압 및 위상을 독립하여 변경할 수 있도록 구성되어 있다.This AC power source can generate an AC signal having a frequency coinciding with the signal portion 11 described above. Each of the AC power sources is configured so that the voltage and phase of the AC signal output based on the control command from the controller unit 45 can be changed independently.

컨트롤러 유닛(45)은 마이크로 컴퓨터로서 구성되어 있고, 도면에 나타내지 않은 연산부로서의 CPU 및 기억부로서의 ROM, RAM 등을 구비하고 있다. 그리고 컨트롤러 유닛(45)의 상기 ROM에는, 센서패널 검사장치(1)를 동작시키기 위한 프로그램이 기억되어 있다.The controller unit 45 is configured as a microcomputer, and includes a CPU serving as an operation unit and a ROM, a RAM, and the like as a storage unit not shown in the figure. In the ROM of the controller unit 45, a program for operating the sensor panel inspecting apparatus 1 is stored.

상기 프로그램에는, 본 실시형태에 관한 캘리브레이션 방법을 센서패널 검사장치(1)에 의하여 실현하기 위한 캘리브레이션 프로그램이 포함되어 있다. 또한 상기 프로그램에는, 본 실시형태에 관한 검사방법을 센서패널 검사장치(1)에 의하여 실현하기 위한 검사 프로그램이 포함되어 있다.The program includes a calibration program for realizing the calibration method according to the present embodiment by means of the sensor panel inspection apparatus 1. The program also includes an inspection program for realizing the inspection method according to the present embodiment by means of the sensor panel inspection apparatus 1.

상세한 것은 후술하지만 상기 캘리브레이션 방법은, 시그널 조건 조정공정과, 시그널 조건 기억공정과, 캘리브레이션 시그널 발생공정을 포함하고 있다. 따라서 상기 캘리브레이션 프로그램은, 상기 각 공정에 대응하여 시그널 조건 조정스텝과, 시그널 조건 기억스텝과, 캘리브레이션 시그널 발생스텝을 포함하고 있다.The calibration method includes a signal condition adjustment step, a signal condition storage step, and a calibration signal generation step, which will be described later in detail. Therefore, the calibration program includes a signal condition adjusting step, a signal condition storing step, and a calibration signal generating step corresponding to each of the steps.

또한 상세한 것은 후술하지만 상기 검사방법은, 절체공정과, 형성회로 계측값 취득공정과, 판정공정을 포함하고 있다. 따라서 상기 검사 프로그램은, 상기 각 공정에 대응하여 절체스텝과, 형성회로 계측값 취득스텝과, 판정스텝을 포함하고 있다.Although the details will be described later, the inspection method includes a transfer process, a formation circuit measurement value acquisition process, and a determination process. Therefore, the inspection program includes a transfer step, a formation circuit measurement value acquisition step, and a determination step corresponding to each of the above steps.

그리고 상기 하드웨어와 상기 소프트웨어가 협동하여 동작함으로써 컨트롤러 유닛(45)을 캘리브레이션부(46) 및 검사부(47)로서 기능시킬 수 있도록 되어 있다.The hardware and the software cooperate to function as the controller unit 45 as the calibration unit 46 and the checking unit 47. [

캘리브레이션부(46)는, 검사의 전단계로서 시그널부(11), 시그널 공급절체부(31), 검출절체부(32), 전류검출부(41), 캘리브레이션 시그널부(42)에 대하여 제어신호를 보내어 제어하여, 캘리브레이션에 필요한 파라미터를 결정하는 작업을 한다. 이 작업은 센서패널(50)을 분리한 상태에서 이루어진다.The calibration unit 46 sends control signals to the signal unit 11, the signal supply / output unit 31, the detection / switching unit 32, the current detection unit 41, and the calibration signal unit 42 as the previous stage of the inspection And determines the parameters necessary for the calibration. This operation is performed with the sensor panel 50 removed.

검사부(47)는, 센서패널(50)이 센서패널 검사장치(1)에 세트된 상태에서 시그널부(11), 시그널 공급절체부(31), 검출절체부(32), 전류검출부(41), 캘리브레이션 시그널부(42)에 대하여 제어신호를 보내어 제어하여, 센서패널(50)의 검사를 한다.The inspection unit 47 is provided with a signal unit 11, a signal supply / output unit 31, a detection / switching unit 32, a current detection unit 41, and a signal detection unit 41 in a state where the sensor panel 50 is set in the sensor panel inspection apparatus 1. [ And sends a control signal to the calibration signal section 42 to control the sensor panel 50.

맨 먼저 도2를 참조하여 캘리브레이션 작업에 대하여 설명한다. 이 캘리브레이션 작업은 보통, 센서패널 검사장치(1)가 처음 사용되는 경우나 장치의 설치장소를 변경하였을 경우 등에 이루어진다.First, the calibration operation will be described with reference to FIG. This calibration operation is usually performed when the sensor panel inspection apparatus 1 is used for the first time or when the installation location of the apparatus is changed.

센서패널 검사장치(1)는, 도면에는 나타내지 않았지만 검사나 캘리브레이션의 실행을 지시하기 위하여 조작되는 조작부를 구비하고 있다. 센서패널 검사장치(1)에 센서패널(50)이 부착되지 않은 도2의 상태에서 유저가 캘리브레이션 작업을 지시하면, 컨트롤러 유닛(45)(캘리브레이션부(46))은, 시그널부(11)가 교류신호를 발생하고 있는 상태에서 시그널 공급절체부(31)를 구성하는 4개의 스위치 중에서 1개를 ON 하고, 나머지 3개를 OFF 하도록 제어한다. 또한 컨트롤러 유닛(45)은, 검출절체부(32)를 구성하는 4개의 스위치 중에서 1개를 ON 하고, 나머지 3개를 OFF 한다. 이번의 설명에서는, 시그널 공급절체부(31)에서는 「1」의 스위치가, 검출절체부(32)에서는 「1」의 스위치가 각각 ON 된 것으로 한다.The sensor panel inspecting apparatus 1 is provided with an operation unit which is not shown in the drawings but is operated to instruct the execution of inspection or calibration. 2, in which the sensor panel 50 is not attached to the sensor panel inspection apparatus 1, the controller unit 45 (the calibration unit 46) One of the four switches constituting the signal supply switching section 31 is turned on while the AC signal is being generated, and the other three are turned off. Further, the controller unit 45 turns ON one of the four switches constituting the detection change section 32 and turns OFF the remaining three switches. In the present description, it is assumed that the switch of "1" is turned on in the signal supply switch part 31 and the switch of "1" is turned on in the detection switch part 32 respectively.

그리고 시그널 공급절체부(31)의 「1」의 스위치에 대응하는 제2케이블(37)이 시그널부(11)에 접속된 상태에서 시그널부(11)가 교류신호를 발생시킨다. 이에 따라 검출절체부(32)에 있어서의 「1」의 스위치에 대응하는 전류검출부(41)의 전류계에는, 당해 「1」의 스위치에 연결되는 제1케이블(36) 등에 의한 부유용량(浮遊容量)의 영향에 의하여 전류가 흐른다.The signal portion 11 generates an AC signal in a state where the second cable 37 corresponding to the switch of "1" of the signal supply switch portion 31 is connected to the signal portion 11. Thus, in the ammeter of the current detecting section 41 corresponding to the switch of "1" in the detection switch section 32, the stray capacitance (stray capacitance) of the first cable 36 connected to the switch of "1" The current flows.

본 실시형태의 센서패널 검사장치(1)에 있어서의 캘리브레이션 작업에는, 이 전류에 의하여 상기 전류계에 대한 영향을 제거하도록 캘리브레이션 시그널부(42)를 제어하는 조건을 결정하는 것이 포함된다. 이 조건결정작업을 구체적으로 설명하면, 컨트롤러 유닛(45)(캘리브레이션부(46))은, 검출절체부(32)에 있어서의 「1」의 스위치에 연결되는 전류계의 출력을 읽어내면서, 캘리브레이션 시그널부(42)에 있어서 당해 전류계에 대응하는 교류전원의 전압 및 위상을 변화시켜서 전류계의 출력이 0이 되는 조건을 찾는다(시그널 조건 조정공정).The calibration operation in the sensor panel inspection apparatus 1 of the present embodiment includes determining conditions for controlling the calibration signal unit 42 to eliminate the influence on the ammeter by the current. Specifically, the controller unit 45 (the calibration unit 46) reads the output of the ammeter connected to the switch " 1 " in the detection switching unit 32, The voltage and phase of the AC power supply corresponding to the ammeter are changed in the section 42 to find a condition that the output of the ammeter becomes zero (signal condition adjusting step).

또 가령 캘리브레이션할 때에 전류검출부(41)에 흐르는 전류가 상기한 부유용량의 영향만에 의한 것이었던 경우에는, 전류계가 검출하는 파형의 위상은 도3의 점선으로 나타내는 바와 같이 시그널부(11)의 전압위상에 대하여 정확하게 90° 앞서게 된다. 그러나 실제로 전류검출부(41)의 전류계에 흐르는 파형의 위상차이는 90°보다 작은 값이 되어, 이것을 계산으로 구하는 것은 곤란하다. 이것은, 회로를 구성하는 배선이나 스위치가 구비하는 저항(예를 들면 제1케이블(36)의 저항이나 검출절체부(32)의 스위치의 ON 저항)의 영향을 받기 때문이다. 따라서 이 전류의 영향을 적절하게 제거하기 위해서는, 캘리브레이션 시그널부(42)에 있어서의 교류전원의 전압뿐만 아니라 위상을 미세하게 조정할 필요가 있다.In the case where the current flowing through the current detecting unit 41 at the time of calibration is due to only the influence of the stray capacitance described above, the phase of the waveform detected by the ammeter is shifted from the phase of the signal portion 11 Which is precisely 90 DEG ahead of the voltage phase. However, in reality, the phase difference of the waveform flowing through the ammeter of the current detection unit 41 becomes a value smaller than 90 degrees, and it is difficult to calculate this by calculation. This is because the resistances of the wiring and the switches constituting the circuit (for example, the resistance of the first cable 36 and the ON resistance of the switches of the detection / transfer section 32) are affected. Therefore, in order to properly remove the influence of the current, it is necessary to finely adjust the phase as well as the voltage of the AC power source in the calibration signal section 42. [

전류검출부(41)에 있어서의 전류계의 출력이 0이 되면, 컨트롤러 유닛(45)은 그 때에 교류전원에 부여하고 있었던 조건(전압 및 위상의 파라미터)을 상기한 기억부(RAM 등)에 기억시킨다(시그널 조건 기억공정).When the output of the ammeter in the current detection unit 41 becomes 0, the controller unit 45 stores the conditions (voltage and phase parameters) given to the AC power source at that time in the above-mentioned storage unit (RAM or the like) (Signal condition storage step).

상기의 작업이, 검출절체부(32)에 있어서 ON 되는 스위치를 「1」부터 「2」, 「3」, 「4」의 순서로 절체하면서 반복된다. 이에 따라 시그널 공급절체부(31)에 있어서 「1」의 스위치가 ON 된 상태에서, 각각의 제1케이블(36) 등의 부유용량의 영향을 제거하기 위하여 필요한 캘리브레이션 시그널부(42)의 교류전원에 부여하여야 할 전압 및 위상의 파라미터(이하, 캘리브레이션 파라미터라고 부르는 경우가 있다)를 취득할 수 있다.The above operation is repeated while switching the switches to be turned on in the detection switching unit 32 from "1" to "2", "3", and "4". Accordingly, in a state in which the switch 1 is turned on in the signal supply switch section 31, an AC power supply (not shown) of the calibration signal section 42, which is necessary for eliminating the influence of the stray capacitance of each first cable 36, (Hereinafter, may be referred to as a calibration parameter) to be given to the voltage and phase.

다만 상기의 캘리브레이션 파라미터를 취득하는 작업은, 전류검출부(41)의 복수의 전류계에 의하여 동시병행적으로 이루어져도 좋다. 구체적으로는, 컨트롤러 유닛(45)은 검출절체부(32)에 있어서 복수(예를 들면 4개 모두)의 스위치를 ON 한 상태에서, 각각의 스위치에 연결되는 전류검출부(41)의 전류계의 출력을 읽어내면서, 대응하는 캘리브레이션 시그널부(42)의 교류전원의 전압 및 위상을 변화시킨다. 그리고 컨트롤러 유닛(45)은, 각각의 전류계의 출력을 0으로 하기 위하여 각 교류전원에 부여하여야 할 전압 및 위상의 파라미터를 취득하여 기억부에 기억시킨다. 이와 같이 구성함으로써 캘리브레이션에 필요한 시간을 현저하게 단축할 수 있다.However, the operation of acquiring the above-described calibration parameters may be performed simultaneously by a plurality of ammeters of the current detecting section 41. More specifically, the controller unit 45 outputs the output of the ammeter of the current detecting unit 41 connected to each switch in a state in which the switches (for example, all four) are turned on in the detection switching unit 32 The voltage and phase of the AC power supply of the corresponding calibration signal unit 42 are changed. Then, the controller unit 45 acquires the parameters of voltage and phase to be given to the respective AC power sources in order to make the output of each ammeter zero, and stores them in the storage unit. With this configuration, the time required for the calibration can be remarkably shortened.

전류검출부(41)의 모든 전류계(캘리브레이션 시그널부(42)의 교류전원)에 대하여 캘리브레이션 파라미터를 취득하면, 이번에는 시그널 공급절체부(31)에 있어서 ON으로 하는 스위치를 「1」부터 「2」, 「3」, 「4」의 순서로 절체하면서, 상기와 동일한 작업이 반복된다. 이에 따라 시그널 공급절체부(31)의 4개의 스위치의 상태에 대응한, 캘리브레이션 시그널부(42)의 각각의 교류전원에 부여하여야 할 캘리브레이션 파라미터를 얻을 수 있다.When the calibration parameter is acquired for all of the ammeter (AC power source of the calibration signal section 42) of the current detecting section 41, the switch to be turned on in the signal supply switching section 31 is changed from "1" to "2" , &Quot; 3 ", and " 4 ", the same operation as described above is repeated. Accordingly, the calibration parameters to be given to the respective AC power sources of the calibration signal section 42 corresponding to the states of the four switches of the signal supply switching section 31 can be obtained.

또 본 실시형태에서는 상기한 바와 같이 전류계 코먼(common)의 교류전압 발생원으로 이루어지는 캘리브레이션 시그널부(42)를 제어함으로써 캘리브레이션을 하는 구성이다. 이러한 아날로그적인 캘리브레이션은, 측정값으로부터 수치를 오프셋(offset) 연산하는 것만의(디지털적인) 캘리브레이션에 비하여 검사정밀도의 면에서 현저하게 우수하다. 즉 본 실시형태의 센서패널 검사장치(1)에 의한 검사에는, 제1전극(51)과 제2전극(52)의 교차장소에 있어서의 정전용량의 측정이 포함되고, 이 정전용량은 크더라도 10pF 정도이다. 한편 상기의 부유용량의 영향은 100pF 정도에 이른다. 따라서 부유용량을 포함시킨 상태에서 정전용량을 측정하고, 그 후에 부유용량분을 오프셋 연산하는 디지털적인 캘리브레이션 방법에서는, 전류검출부(41)의 전류계의 레인지를 110pF 이상을 측정할 수 있도록 설정할 필요가 있다. 한편 본 실시형태의 캘리브레이션 방법에 의하면, 전류의 측정 단계에서 이미 부유용량분이 제거되어 있기 때문에, 크더라도 20pF 정도를 측정할 수 있는 레인지이면 정전용량을 문제없이 측정할 수 있다. 따라서 전류계의 고분해능의 측정레인지를 활용하여 미소한 정전용량을 양호한 정밀도로 측정할 수 있다.In the present embodiment, calibration is performed by controlling the calibration signal unit 42 comprising an alternating voltage source of the ammeter common as described above. This analogue calibration is significantly superior to the (digital) calibration of only offsetting the numerical value from the measured value in terms of inspection accuracy. That is, the inspection by the sensor panel inspection apparatus 1 of this embodiment includes the measurement of the capacitance at the intersection of the first electrode 51 and the second electrode 52, and even if this capacitance is large Lt; / RTI > On the other hand, the influence of the above stray capacitance reaches about 100 pF. Therefore, in the digital calibration method of measuring the electrostatic capacity in the state that the stray capacitance is included and then calculating the offset capacitance, it is necessary to set the range of the ammeter of the current detection unit 41 to be 110 pF or more . On the other hand, according to the calibration method of the present embodiment, since the floating capacitance component has already been removed in the current measurement step, the capacitance can be measured without any problem if it is a range capable of measuring about 20 pF. Therefore, the minute capacitance can be measured with good precision by utilizing the high resolution measurement range of the ammeter.

이상에 의하여 캘리브레이션에 필요한 작업은 완료하고, 다음에 센서패널(50)의 검사에 대하여 설명한다. 도4는, 센서패널 검사장치(1)가 센서패널(50)에 있어서의 위치(1, 4)를 검사하는 경우의 형성회로를 나타내는 도면이다. 도5는 형성회로를 간략적으로 나타낸 도면이다. 도6은, 검사하는 위치의 좌표와 형성회로의 저항값과의 관계를 나타내는 표이다. 도7은, 형성회로의 저항값과 전류의 위상과의 관계를 나타내는 벡터도이다.The work required for the calibration is thus completed, and the inspection of the sensor panel 50 will be described next. 4 is a diagram showing a forming circuit when the sensor panel inspecting apparatus 1 inspects the positions 1 and 4 in the sensor panel 50. Fig. 5 is a diagram schematically showing a forming circuit. 6 is a table showing the relationship between the coordinates of the position to be inspected and the resistance value of the forming circuit. 7 is a vector diagram showing the relationship between the resistance value of the forming circuit and the phase of the current.

먼저 검사의 방법에 대하여 도4를 참조하여 설명한다. 본 실시형태의 센서패널 검사장치(1)는, 제1전극(51)과 제2전극(52)의 교차부분에 있어서의 정전용량을 측정하는 것에 추가하여, 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 저항값(혹은 저항값에 따라 변화하는 값)에 의거하여 당해 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 형상의 균일성을 검사하는 구성으로 되어 있다. 이것은, 전극의 도통/단락(導通/短絡)뿐만 아니라 전극의 두터움/얇음에 대해서도 적절하게 검사할 수 있는 요구가 높아지고 있는 것에 대응하는 것이다.First, a method of inspection will be described with reference to FIG. The sensor panel inspection apparatus 1 according to the present embodiment can measure the capacitance at the intersection of the first electrode 51 and the second electrode 52 and measure the capacitance of the first electrode 51 and the second electrode 52. [ The uniformity of the shape of the first electrode 51 and the second electrode 52 is inspected on the basis of the resistance value of the electrode 52 (or a value varying with the resistance value). This corresponds to the fact that there is a growing demand for inspecting not only the conduction / short-circuit (conduction / short-circuit) of the electrode but also the thickness / thinness of the electrode.

이하에서는 상세하게 설명한다. 센서패널(50)에 배치되는 제1전극(51) 및 제2전극(52)은 M × N개의 장소에서 서로 교차하고 있다. 상기한 바와 같이 제1전극(51)과 제2전극(52)의 사이에는 간극이 형성되어 있기 때문에, 상기의 교차부분에 콘덴서가 형성되어 있는 것이라고 생각할 수 있다.This will be described in detail below. The first electrode 51 and the second electrode 52 disposed on the sensor panel 50 cross each other at M × N locations. As described above, since a gap is formed between the first electrode 51 and the second electrode 52, it can be considered that a capacitor is formed at the intersection portion.

또한 제1전극(51) 및 제2전극(52)은 상기한 바와 같이 ITO 도전막으로 형성되어 있고, 이 ITO는 다른 투명전극재료와의 관계에서는 우수한 저저항율(低抵抗率)을 나타내는 것에 상응하는 전기저항값을 나타낸다. 따라서 제1전극(51) 및 제2전극(52)이 형성하는 M × N개의 교차부분에 착안하였을 경우에, 이 교차부분과, 당해 교차부분에 x방향 또는 y방향으로 이웃하는 다른 교차부분과의 사이에는, 각각 1개의 저항이 존재한다고 생각할 수 있다. 또 이하의 설명에서는, 각각의 저항을 「단위저항(單位抵抗)」이라고 부르는 경우가 있다.In addition, the first electrode 51 and the second electrode 52 are formed of the ITO conductive film as described above, and this ITO corresponds to an excellent low resistivity (low resistivity) in relation to other transparent electrode materials And the like. Therefore, when the M × N number of intersection portions formed by the first electrode 51 and the second electrode 52 are considered, the intersection portion and the other intersection portions adjacent to the intersection portion in the x direction or the y direction It is conceivable that there is one resistance in each case. In the following description, each resistance may be referred to as a " unit resistance (unit resistance) ".

상기한 바와 같이 제1전극(51) 및 제2전극(52)은 다이아몬드 모양을 반복하여 배치한 것과 같은 패턴형상으로 되어 있지만, 이 다이아몬드 모양의 형상은 제1전극(51) 및 제2전극(52)을 막론하고 일정하다. 또한 제1전극(51)이 나란하게 배열되는 간격과, 제2전극(52)이 나란하게 배열되는 간격은 서로 동일하다. 따라서 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 형상에 이상(異常)(예를 들면 상기의 전극의 두터움/얇음)이 없고 패턴이 균일하게 형성되어 있는 한 교차부분과 교차부분의 사이에 있는 것으로 간주되는 저항의 저항값은, 그 방향이 x방향인지 y방향인지에 관계없이 일정하게 되는 것은 당연하다.As described above, the first electrode 51 and the second electrode 52 have a pattern shape such that diamond patterns are repeatedly formed. However, the shape of the diamond is different from the shape of the first electrode 51 and the second electrode 52 52). The intervals in which the first electrodes 51 are arranged side by side and the intervals in which the second electrodes 52 are arranged side by side are equal to each other. Therefore, as long as the shape of the first electrode 51 and the second electrode 52 does not have an abnormality (for example, the thickness / thickness of the electrode) and the pattern is uniformly formed, It is a matter of course that the resistance value of the resistance regarded as being in the x direction or the y direction is constant regardless of whether the direction is the x direction or the y direction.

또한 제1전극(51)과 제1탭 배선부(56)의 접속부와, 이 접속부에 가장 가까운 상기 교차부분과의 사이에도 저항이 존재한다고 생각할 수 있다. 이 접속부 부근의 제1전극(51)의 형상은, 상기 저항의 저항값이 상기한 단위저항의 저항값과 일치하도록 설정되어 있다. 이것은 제2전극(52)에 대해서도 마찬가지이다.It is also conceivable that a resistance is present between the connection portion of the first electrode 51 and the first tab wiring portion 56 and the intersection closest to the connection portion. The shape of the first electrode 51 in the vicinity of this connection portion is set so that the resistance value of the resistance coincides with the resistance value of the unit resistance described above. This also applies to the second electrode 52.

이상의 설명을 정리하면, 제1전극(51) 및 제2전극(52)에는, 도4에 쇄선 또는 실선으로 나타내는 바와 같이 저항값이 일정한 다수의 저항(단위저항)이 배열되어 있는 것으로 간주할 수 있다.As described above, the first electrode 51 and the second electrode 52 can be regarded as having a plurality of resistors (unit resistance) arranged with a constant resistance value as indicated by a chain line or a solid line in Fig. 4 have.

여기에서 상기의 센서 좌표계에 있어서의 (1, 4)를 검사하는 경우를 생각한다. 이 경우에 검사부(47)는, 4개씩 존재하는 상기 제1전극(51)으로부터 검사대상의 x좌표에 대응하는 제1전극(51)을 선택하고 또한 4개씩 존재하는 상기 제2전극(52)으로부터 검사대상의 y좌표에 대응하는 제2전극(52)을 선택하여, 이들의 전극이 검사대상이 되도록 검출절체부(32) 및 시그널 공급절체부(31)를 제어한다(절체공정). 구체적으로는, 검사부(47)는 검출절체부(32)에 있어서 「1」의 스위치를 ON 하고, 시그널 공급절체부(31)에 있어서 「4」의 스위치를 ON 한다.Here, a case of examining (1, 4) in the sensor coordinate system will be considered. In this case, the inspection unit 47 selects the first electrode 51 corresponding to the x-coordinate of the object to be inspected from the first electrodes 51 existing in each of the four electrodes, The second electrode 52 corresponding to the y coordinate of the object to be inspected is selected and the detection switch unit 32 and the signal supply switch unit 31 are controlled so that these electrodes are to be inspected. More specifically, the checking section 47 turns on the switch "1" in the detection switching section 32 and turns on the switch "4" in the signal supply switching section 31.

이에 따라 시그널부(11)와 전류검출부(41)의 전류계가, 도4에 굵은 선으로 나타내는 L자 모양의 회로에 의하여 접속된다. 이 굵은 선으로 그려진 회로는, 제2전극(52)과 제2탭 배선부(57)의 접속부분으로부터, 상기의 (1, 4)로 나타내는 전극교차부분을 경유하여 제1전극(51)과 제1탭 배선부(56)의 접속부분에 이르고 있다.Accordingly, the ammeter of the signal portion 11 and the current detecting portion 41 is connected by an L-shaped circuit shown by a thick line in Fig. The circuit drawn by this bold line is connected to the first electrode 51 via the electrode intersecting portion indicated by (1, 4) from the connecting portion of the second electrode 52 and the second tab wiring portion 57 And reaches the connection portion of the first tab wiring portion 56.

또 제2전극(52)에 있어서 제2탭 배선부(57)와 접속하는 측의 끝부는, 시그널부(11)로부터의 교류신호가 공급되는 끝부이기 때문에 이하의 설명에서 공급단(供給端)이라고 부르는 경우가 있다. 또한 제1전극(51)에 있어서 제1탭 배선부(56)와 접속하는 측의 끝부는, 전류검출부(41)의 전류계가 연결되는 측의 끝부이기 때문에 이하의 설명에서 계측단(計測端)이라고 부르는 경우가 있다.The end of the second electrode 52 connected to the second tab wiring portion 57 is an end portion to which an AC signal from the signal portion 11 is supplied. . The end portion of the first electrode 51 connected to the first tab wiring portion 56 is the end portion of the current detecting portion 41 to which the ammeter is connected. .

도4에 나타내는 바와 같이 좌표(1, 4)에 대응하는 L자 모양의 회로에는, 직렬로 접속되는 5개분의 저항과, 상기의 전극교차부분에 형성되는 콘덴서가 포함되어 있다.As shown in Fig. 4, the L-shaped circuit corresponding to the coordinates (1, 4) includes five resistors connected in series and a capacitor formed at the intersection of the electrodes.

이와 같이 좌표(x, y)의 검사는, 당해 좌표에 있어서 L자 모양으로 절곡(折曲)하는 회로에 대하여 교류신호를 흐르게 함으로써 이루어진다. 이하, 이 회로를 「형성회로(形成回路)」라고 부르는 경우가 있다. 이 형성회로는 검사하는 좌표에 대하여 1대 1로 대응하고 있다. 본 실시형태에서는, 검사하여야 할 좌표는 M × N개가 있기 때문에, 형성회로도 M × N개가 있게 된다.The inspection of the coordinates (x, y) is performed by flowing an AC signal to a circuit that bends in an L-shape in the coordinates. Hereinafter, this circuit may be referred to as a " forming circuit (forming circuit) ". This forming circuit corresponds to one-to-one correspondence with coordinates to be inspected. In the present embodiment, since there are M x N coordinates to be inspected, there are M x N number of forming circuits.

도5에는, 센서패널(50)에 있어서의 상기 형성회로가 센서패널 검사장치(1)에 접속된 상태가 모델적으로 나타나 있다(다만 이 도면에서는, 캘리브레이션 시그널부(42)는 생략되어 있다). 이 회로를 흐르는 교류전류(i)가 전류검출부(41)의 전류계에 의하여 측정된다.5 shows the state in which the above-described forming circuit of the sensor panel 50 is connected to the sensor panel inspecting apparatus 1 (in this figure, the calibration signal unit 42 is omitted) . The alternating current (i) flowing through this circuit is measured by the ammeter of the current detecting section 41.

또 검사하고 싶은 위치의 좌표(x, y)에 따라 형성회로는 다양하게 변하기 때문에, 형성회로의 저항값도 달라진다. 이것을 고려하여 검사부(47)는, 임의의 좌표(x, y)에 대한 형성회로의 저항값을 미리 계산하여 상기의 RAM 등에 기억하고 있다. 기억내용의 예가 도6에 나타나 있고, 이 표에 의하면 (1, 4)의 경우의 형성회로의 저항값은 단위저항의 5개분이며, (1, 1)의 경우의 형성회로의 저항값은 단위저항의 2개분인 것을 알 수 있다.Further, since the forming circuit varies in various ways according to the coordinates (x, y) of the position to be inspected, the resistance value of the forming circuit also changes. Taking this into consideration, the inspection section 47 previously calculates the resistance value of the forming circuit for any coordinates (x, y) and stores it in the RAM or the like. An example of the memory contents is shown in Fig. 6. According to this table, the resistance value of the forming circuit in the case of (1, 4) is five units of the unit resistance, and the resistance value of the forming circuit in case of (1, It can be seen that the resistance is two.

검사부(47)는, 시그널부(11)에 교류신호를 발생시킨 상태에서 전류검출부(41)의 전류계의 출력을 위상검파(位相檢波)하여 계산함으로써 상기의 형성회로에 있어서의 정전용량과, 형성회로의 저항값(형성회로 계측값)을 취득한다.The inspection unit 47 calculates the phase of the output of the ammeter of the current detection unit 41 in the state where the AC signal is generated in the signal unit 11 to calculate the capacitance in the above forming circuit, The resistance value of the circuit (measurement value of the forming circuit) is obtained.

또 이 때에 시그널부(11)가 발생하는 교류신호는, 도2에서 설명한 캘리브레이션할 때의 것과 동일하다. 또한 캘리브레이션 시그널부(42)의 교류전원은, 시그널 공급절체부(31)의 상태에 따라 기억된 상기의 캘리브레이션 파라미터에 의거하여 교류신호를 발생시키도록 캘리브레이션부(46)에 의하여 제어되고 있다(본 실시형태의 캘리브레이션 방법에 있어서의 캘리브레이션 시그널 발생공정). 이 때문에 전류계의 출력에 의거하여 얻어지는 정전용량의 정밀도는 양호하다.The AC signal generated by the signal unit 11 at this time is the same as that in the calibration described with reference to Fig. The AC power supply of the calibration signal section 42 is controlled by the calibration section 46 so as to generate an AC signal based on the calibration parameters stored in accordance with the state of the signal supply / Calibration signal generating step in the calibration method of the embodiment). For this reason, the precision of the capacitance obtained based on the output of the ammeter is good.

이와 같이 하여 취득된 정전용량은 소정의 판정기준값과 비교되어, 허용범위를 벗어난 경우에는 불량품이라고 판정된다. 또한 취득된 저항값은 소정의 판정기준값과 비교되어, 허용범위를 벗어난 경우에는 전극(51, 52)의 형상에 이상이 있는 불량품이라고 판정된다(판정공정).The capacitance thus obtained is compared with a predetermined determination reference value, and when it is out of the allowable range, it is determined that the capacitance is defective. Also, the acquired resistance value is compared with a predetermined determination reference value, and if the resistance value is out of the allowable range, it is determined that the shape of the electrodes 51 and 52 is defective with an error (determination step).

정전용량 및 형성회로의 저항값의 취득은, 검사하고 싶은 위치의 좌표를 (1, 1), (1, 2), ‥‥‥ , (M-1, N), (M, N)과 같이 절체하면서 모든 좌표에 대하여 이루어진다. 다만 검사하는 좌표의 순서는 상기에 한정되는 것이 아니라 적절하게 정할 수 있다.(1, 1), (1, 2), (M-1, N), (M, N) This is done for all coordinates while switching. However, the order of coordinates to be inspected is not limited to the above, but may be determined appropriately.

또 양품/불량품의 판정방법은 상기에 한정되지 않는다. 예를 들면 형성회로의 저항값을 위상검파에 의하여 취득하는 대신에, 형성회로 계측값으로서 전류계가 검출한 전류의 출력위상을 구해도 좋다. 도7의 벡터도에 나타내는 바와 같이 형성회로의 정전용량(C)이 일정하면, 검출되는 전류의 위상과 시그널부(11)의 전압위상과의 차이(θ)는 형성회로의 저항값이 증가함에 따라 작아지게 된다. 따라서 이 위상에 의거하여 전극(51, 52)의 형상에 이상이 있는가 아닌가를 판정하더라도 좋다.The determination method of good / defective products is not limited to the above. For example, instead of obtaining the resistance value of the forming circuit by phase detection, the output phase of the current detected by the ammeter as the forming circuit measurement value may be obtained. 7, when the capacitance C of the forming circuit is constant, the difference [theta] between the phase of the detected current and the voltage phase of the signal portion 11 increases as the resistance value of the forming circuit increases . Therefore, it may be determined whether or not the shapes of the electrodes 51 and 52 are abnormal based on this phase.

또한 검사하고 싶은 위치의 좌표를 절체하면서 계측을 반복함으로써 얻어진 복수의 형성회로의 저항값(혹은 저항값에 따라 변화하는 값)의 관계를, 전극(51, 52)의 형상의 이상 유무를 판정하는 근거로 하더라도 좋다.The relationship between the resistance values of a plurality of forming circuits (or values varying according to the resistance value) obtained by repeating the measurement while changing the coordinates of the position to be inspected is determined by determining whether or not the shape of the electrodes 51 and 52 is abnormal It may be based on.

예를 들면 y좌표가 일정하고 x좌표를 1씩 증가시켜 가면, 형성회로의 저항값이 단위저항 1개분씩 늘어나는 것이 도6에 의하여 분명하다. 이것을 이용하여 전극(51, 52)의 형상의 정확성에 대해서는, 예를 들면 좌표(1, 1), (2, 1), (3, 1), (4, 1)과 같이 y좌표를 고정하고 x좌표를 증가시켰을 때에, 그에 따라 형성회로의 저항값이 단조증가(單調增加)하고 있는지(또는 전류의 위상차이가 단조감소하고 있는지)를 조사함으로써도 판정할 수 있다.For example, if the y coordinate is constant and the x coordinate is incremented by one, it is evident from Fig. 6 that the resistance value of the forming circuit increases by one unit resistance. With respect to the accuracy of the shape of the electrodes 51 and 52, the y coordinate is fixed as shown in coordinates (1, 1), (2, 1), (3, 1) It is also possible to determine whether the resistance value of the forming circuit is monotonically increasing (or whether the phase difference of the current is monotonously decreasing) when the x-coordinate is increased.

상기한 바와 마찬가지로 x좌표가 일정하고 y좌표를 1씩 증가시켜 가는 경우에도, 형성회로의 저항값은 단위저항 1개분씩 증가하여 간다. 따라서 예를 들면 좌표(3, 1), (3, 2), (3, 3), (3, 4)와 같이 x좌표를 고정하고 y좌표를 증가시켰을 때에, 그에 따라 형성회로의 저항값이 단조증가하고 있는지(또는 전류의 위상차이가 단조감소하고 있는지)를 조사함으로써도 전극(51, 52)의 형상의 정확성을 판정할 수 있다.As described above, even when the x-coordinate is constant and the y-coordinate is increased by 1, the resistance value of the forming circuit increases by one unit resistance. Therefore, for example, when the x coordinate is fixed and the y coordinate is increased as shown in the coordinates (3, 1), (3, 2), (3, 3) The accuracy of the shape of the electrodes 51 and 52 can be determined by examining whether monotone is increasing (or whether the phase difference of the current is monotonously decreasing).

또 도6에 명확하게 나타나 있는 바와 같이 좌표(x, y)와 (x + 1, y - 1)에서는, 형성회로의 저항값이 동일하다는 관계가 있다. 이것을 이용하여 예를 들면 좌표(2, 4), (3, 3), (4, 2)에 대하여, 형성회로의 저항값(또는 전류의 위상차이)이 서로 동일한지를 조사함으로써도 전극(51, 52)의 형상의 정확성을 판정할 수 있다.As clearly shown in FIG. 6, there is a relation that the resistance values of the forming circuits are the same in the coordinates (x, y) and (x + 1, y - 1). It is possible to determine whether the resistance value of the forming circuit (or the phase difference of the current) is the same for the coordinates (2, 4), (3, 3) 52 can be determined accurately.

이상에서 설명한 바와 같이 본 실시형태의 센서패널 검사장치(1)는 센서패널(50)을 검사대상으로 하는 것으로서, 이 센서패널(50)에 있어서는, 나란하게 배열되어 있는 복수의 제1전극(51)과, 나란하게 배열되어 있는 복수의 제2전극(52)이 패널의 두께방향에서 보았을 때에 서로 교차하도록 배치되어 있다. 그리고 센서패널 검사장치(1)는, 제1케이블(36)과, 제2케이블(37)과, 시그널부(11)와, 시그널 공급절체부(31)와, 전류검출부(41)와, 검출절체부(32)와, 캘리브레이션 시그널부(42)를 구비한다. 제1케이블(36)은 복수 구비되고, 검사 시에 제1전극(51)의 각각에 전기적으로 접속된다. 제2케이블(37)은 복수 구비되고, 검사 시에 제2전극(52)의 각각에 전기적으로 접속된다. 시그널부(11)는 교류신호를 공급하는 교류전원이다. 시그널 공급절체부(31)는, 복수의 제2전극(52)의 각각에 대하여 시그널부(11)의 교류신호를 제2케이블(37)을 경유하여 공급하거나 차단할지를 절체할 수 있다. 전류검출부(41)는 제1전극(51)에 흐르는 전류를 검출할 수 있는 복수의 전류계를 구비한다. 검출절체부(32)는, 제1전극(51)의 각각을 전류계와 제1케이블(36)을 경유하여 접속하거나 차단할지를 절체할 수 있다. 캘리브레이션 시그널부(42)는, 각각의 상기 전류계에 대하여 교류신호를 공급할 수 있는 복수의 교류전원을 구비한다. 캘리브레이션 시그널부(42)의 각각의 상기 교류전원은 그 전압 및 위상을 변경할 수 있도록 구성되어 있다.As described above, the sensor panel inspection apparatus 1 according to the present embodiment has the sensor panel 50 as an object to be inspected. In the sensor panel 50, a plurality of first electrodes 51 And a plurality of second electrodes 52 arranged side by side cross each other when viewed in the thickness direction of the panel. The sensor panel inspecting apparatus 1 includes a first cable 36, a second cable 37, a signal portion 11, a signal supply / output portion 31, a current detecting portion 41, A changeover section 32, and a calibration signal section 42. A plurality of first cables 36 are provided and electrically connected to each of the first electrodes 51 at the time of inspection. A plurality of second cables 37 are provided and are electrically connected to each of the second electrodes 52 at the time of inspection. The signal unit 11 is an AC power supply for supplying an AC signal. The signal supply switching unit 31 can switch whether the AC signal of the signal portion 11 is supplied to or blocked from each of the plurality of second electrodes 52 via the second cable 37. [ The current detecting unit 41 includes a plurality of ammeters capable of detecting a current flowing through the first electrode 51. The detection switching unit 32 can switch whether to connect or disconnect each of the first electrodes 51 via the ammeter and the first cable 36. [ The calibration signal section 42 has a plurality of ac power supplies capable of supplying ac signals to the respective ammeter. Each of the AC power supplies of the calibration signal section 42 is configured to be able to change its voltage and phase.

이에 따라 제1케이블(36)의 부유용량 등에 의한 오차를 제거하는 캘리브레이션을 실현할 수 있다. 또한 부유용량 등에 의한 전류를 제거하도록 캘리브레이션 시그널부(42)의 교류전원을 제어하기 때문에, 전류검출부(41)의 전류계는 제1전극(51)과 제2전극(52)의 교차부분의 정전용량에 의거하는 전류 그 자체를 검출할 수 있다. 따라서 전류계의 레인지를 적절하게 정함으로써 센서패널(50)의 미소한 정전용량을 양호한 정밀도로 측정할 수 있다.Accordingly, it is possible to realize the calibration for eliminating the error caused by the stray capacitance of the first cable 36 or the like. The ammeter of the current detecting section 41 is controlled by the capacitance of the intersection portion of the first electrode 51 and the second electrode 52, It is possible to detect the current per se based on the current. Therefore, the minute capacitance of the sensor panel 50 can be measured with good precision by properly setting the range of the ammeter.

또한 본 실시형태의 센서패널 검사장치(1)는, 적어도 시그널부(11), 전류검출부(41) 및 캘리브레이션 시그널부(42)를 제어하는 캘리브레이션부(46)를 구비한다. 캘리브레이션부(46)는, 센서패널(50)이 분리된 캘리브레이션할 때에 있어서 제2케이블(37) 중에서 적어도 어느 하나에 시그널부(11)의 교류신호를 공급시키면서, 제1케이블(36)에 전기적으로 접속되는 전류검출부(41)의 전류계의 출력이 0이 되도록, 캘리브레이션 시그널부(42)에 있어서 상기 전류계에 대응하는 교류전원의 전압 및 위상을 조정한다. 또한 캘리브레이션부(46)는, 전류계의 출력이 0이 되었을 때의 캘리브레이션 시그널부(42)의 교류전원에 부여한 전압 및 위상의 파라미터인 캘리브레이션 파라미터를 취득하여 기억한다. 그리고 캘리브레이션부(46)는, 센서패널(50)의 검사 시에 있어서는 기억된 캘리브레이션 파라미터에 의거하여 캘리브레이션 시그널부(42)의 교류전원에 교류신호를 발생시킨다.The sensor panel inspection apparatus 1 of the present embodiment further includes a calibration section 46 for controlling at least the signal section 11, the current detection section 41 and the calibration signal section 42. The calibration section 46 supplies the AC signal of the signal section 11 to at least one of the second cables 37 when the sensor panel 50 performs the separated calibration, The voltage and the phase of the AC power supply corresponding to the ammeter are adjusted in the calibration signal section 42 so that the output of the ammeter of the current detecting section 41 connected to the ammeter 41 is zero. Further, the calibration section 46 acquires and stores calibration parameters which are parameters of the voltage and phase given to the AC power source of the calibration signal section 42 when the output of the ammeter becomes zero. When the sensor panel 50 is inspected, the calibration section 46 generates an alternating current signal to the alternating current power source of the calibration signal section 42 on the basis of the stored calibration parameters.

이에 따라 부유용량에 의한 전류를 제거하기 위한 캘리브레이션 시그널부의 교류전원의 전압 및 위상이, 캘리브레이션부(46)에 의하여 자동적으로 결정된다. 따라서 캘리브레이션의 수고를 경감시킬 수 있다.Accordingly, the voltage and phase of the AC power source of the calibration signal part for removing the current due to the stray capacitance are automatically determined by the calibration part 46. [ Therefore, the labor of calibration can be reduced.

또한 본 실시형태의 센서패널 검사장치(1)의 캘리브레이션부(46)는, 캘리브레이션할 때에 있어서 시그널부(11)의 신호의 공급처가 되는 제2케이블(37)을 변경시키도록 시그널 공급절체부(31)의 상태를 절체하면서, 당해 시그널 공급절체부(31)의 상태와, 취득된 캘리브레이션 파라미터를 대응시켜서 기억한다. 그리고 캘리브레이션부(46)는, 센서패널(50)의 검사 시에는 시그널 공급절체부(31)의 상태에 대응하여 기억된 캘리브레이션 파라미터에 의거하여 캘리브레이션 시그널부(42)의 교류전원에 교류신호를 발생시킨다.The calibration section 46 of the sensor panel inspecting apparatus 1 according to the present embodiment is provided with a signal supply change-over section (not shown) for changing the second cable 37 serving as a supply source of the signal of the signal section 11 31, the state of the signal supply / transfer section 31 and the acquired calibration parameter are stored in association with each other. The calibration section 46 generates an AC signal to the AC power source of the calibration signal section 42 on the basis of the calibration parameter stored corresponding to the state of the signal supply / .

이에 따라 어느 제2케이블(37)을 신호공급처로 하는가에 따라 부유용량 등이 변화되더라도, 그것에 대응한 캘리브레이션을 할 수 있기 때문에 측정 정밀도를 양호하게 유지할 수 있다.Accordingly, even if the stray capacitance or the like changes depending on which of the second cables 37 is used as the signal supply source, the calibration can be performed correspondingly, so that the measurement accuracy can be maintained satisfactorily.

또한 본 실시형태의 센서패널 검사장치(1)의 캘리브레이션부(46)는, 캘리브레이션할 때에 있어서 복수의 제1케이블(36)과 그것에 대응하는 전류검출부(41)의 전류계가 동시에 접속되도록 검출절체부(32)를 제어할 수 있다.The calibration section 46 of the sensor panel inspecting apparatus 1 of the present embodiment is configured such that the plurality of first cables 36 and the ammeter of the current detecting section 41 corresponding thereto are simultaneously connected at the time of calibration, (32).

이에 따라 복수의 전류계에 관한 캘리브레이션 작업을 동시병행적으로 하는 것이 가능하기 때문에, 캘리브레이션에 필요한 시간을 효과적으로 단축할 수 있다.As a result, it is possible to concurrently perform the calibration work for a plurality of ammeters, so that the time required for the calibration can be effectively shortened.

또한 본 실시형태의 센서패널 검사장치(1)는, 적어도 시그널부(11), 전류검출부(41), 시그널 공급절체부(31) 및 검출절체부(32)를 제어하는 검사부(47)를 구비한다. 검사부(47)는, 4개의 제2전극(52) 중에서 선택된 1개에 시그널부(11)의 교류신호를 공급하도록 시그널 공급절체부(31)를 제어함과 아울러, 4개의 제1전극(51) 중에서 선택된 1개와, 대응하는 전류검출부(41)의 전류계를 접속하도록 검출절체부(32)를 제어한다. 검사부(47)는, 선택된 제2전극(52)에 있어서 시그널부(11)의 교류신호가 공급되는 끝부인 공급단으로부터, 선택된 제2전극(52)과 선택된 제1전극(51)의 교차부분을 경유하여, 선택된 제1전극(51)에 있어서 전류계가 접속되는 쪽의 끝부인 계측단에 이르는 회로를 형성회로로 하였을 때에, 이 형성회로의 저항인 회로저항 또는 형성회로에 흐르는 전류의 위상의 차이인 전류위상차이를 전류계에 의하여 전류를 검출함으로써 형성회로 계측값으로서 계측한다. 그리고 검사부(47)는, 얻어진 형성회로 계측값에 의거하여 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 이상을 검사한다.The sensor panel inspection apparatus 1 of the present embodiment further includes an inspection section 47 for controlling at least the signal section 11, the current detection section 41, the signal supply changeover section 31 and the detection changeover section 32 do. The inspection unit 47 controls the signal supply / supply unit 31 so as to supply the AC signal of the signal unit 11 to one selected from the four second electrodes 52, and the four first electrodes 51 And the detection switch unit 32 to connect the selected one of the current detection units 41 and 41 to the corresponding ammeter of the current detection unit 41. [ The inspection unit 47 detects the intersection of the selected second electrode 52 and the selected first electrode 51 from the supply end which is the end of the selected second electrode 52 to which the AC signal of the signal portion 11 is supplied, The circuit which reaches the measuring end which is the end of the selected first electrode 51 to which the ammeter is connected is used as a forming circuit and the phase of the current flowing through the forming circuit The current phase difference, which is a difference, is measured as a formation circuit measurement value by detecting the current by an ammeter. Then, the inspection section 47 examines the abnormality of the first electrode 51 and the second electrode 52 on the basis of the obtained formation circuit measured value.

이에 따라 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 패턴형상이 균일하게 형성되어 있는가 아닌가를, 형성회로 계측값(저항값 또는 저항값에 따라 변화하는 값)을 얻음으로써 판정할 수 있다. 또한 접촉자 등을 사용하지 않는 비접촉의 검사가 실현되기 때문에 택트타임(tact time)을 대폭적으로 단축할 수 있다.Thus, it can be judged whether or not the pattern shapes of the first electrode 51 and the second electrode 52 are uniformly formed by obtaining the forming circuit measured value (value varying according to the resistance value or the resistance value) . In addition, since the non-contact inspection without using a contactor or the like is realized, the tact time can be remarkably shortened.

또한 본 실시형태의 센서패널 검사장치(1)에 있어서, 검사부(47)는 형성회로 계측값을 계측함과 아울러, 선택된 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 교차부분에 있어서의 정전용량을 측정한다.In the sensor panel inspecting apparatus 1 according to the present embodiment, the inspecting unit 47 measures the forming circuit measured value and measures the measured values at the intersections of the selected first electrode 51 and the second electrode 52 The capacitance is measured.

이에 따라 검사시간을 효율적으로 활용하여 검사를 하는 것이 가능하기 때문에 택트타임을 더 단축할 수 있다.Therefore, the inspection time can be further shortened because it is possible to perform the inspection using the inspection time efficiently.

또한 본 실시형태의 센서패널 검사장치(1)에 있어서, 검사부(47)는 선택되는 제1전극(51)을 공통으로 하고, 선택되는 제2전극(52)을 제1전극(51)의 길이방향 일측(一側)으로부터 타측(他側)으로 순차적으로 변화시킴에 따라(바꾸어 말하면, 검사위치의 x좌표를 고정하고, y좌표를 일측으로부터 타측으로 순차적으로 변화시킴에 따라) 형성회로의 회로저항 또는 전류위상차이가 단조로 증가 또는 감소하는가 아닌가를 판정함으로써 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 이상을 검사할 수 있다.In the sensor panel inspecting apparatus 1 of the present embodiment, the inspecting unit 47 has the first electrode 51 to be selected in common and the second electrode 52 to be selected as the length of the first electrode 51 (In other words, by changing the x-coordinate of the inspection position and sequentially changing the y-coordinate from one side to the other side), the circuit of the forming circuit It is possible to check the abnormality of the first electrode 51 and the second electrode 52 by judging whether the resistance or the current phase difference increases or decreases monotonously.

또한 상기 검사부(47)는 선택되는 제2전극(52)을 공통으로 하고, 선택되는 제1전극(51)을 제2전극(52)의 길이방향 일측으로부터 타측으로 순차적으로 변화시킴에 따라(바꾸어 말하면, 검사위치의 y좌표를 고정하고, x좌표를 일측으로부터 타측으로 순차적으로 변화시킴에 따라) 형성회로의 회로저항 또는 전류위상차이가 단조로 증가 또는 감소하는가 아닌가를 판정함으로써 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 이상을 검사할 수 있다.In addition, the inspection unit 47 has a common second electrode 52 and sequentially changes the selected first electrode 51 from one side in the longitudinal direction of the second electrode 52 to the other side By determining whether the circuit resistance or the current phase difference of the forming circuit is monotonicly increasing or decreasing (by fixing the y-coordinate of the inspection position and sequentially changing the x-coordinate from one side to the other side) And the second electrode 52 can be inspected.

이에 따라 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 패턴형상이 균일한가 아닌가를 합리적으로 판정할 수 있다.It is possible to reasonably determine whether the pattern shapes of the first electrode 51 and the second electrode 52 are uniform.

또한 검사부(47)는, 제1전극(51)과 제2전극(52)을 각각 선택하여(바꾸어 말하면, 검사위치(x, y)를 선택하여) 구성되는 형성회로인 제1형성회로와, 제1전극(51)의 선택을, 이 제1형성회로에서 선택된 제1전극(51)에 대하여 제2전극(52)의 상기 공급단으로부터 먼 방향으로 1개 이동하여 함과 아울러, 제2전극(52)의 선택을, 상기 제1형성회로에서 선택된 제2전극(52)에 대하여 제1전극(51)의 상기 계측단으로부터 가까운 방향으로 1개 이동하여 함으로써(바꾸어 말하면, 검사위치(x + 1, y - 1)를 선택하여) 구성되는 상기 형성회로인 제2형성회로와의 사이에서 상기 회로저항 또는 전류위상차이가 동일한가 아닌가를 판정함으로써 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 이상을 검사할 수도 있다.The inspection unit 47 also includes a first forming circuit which is a forming circuit configured by selecting the first electrode 51 and the second electrode 52 (in other words, by selecting the inspection position (x, y)), One of the first electrodes 51 is moved in the direction away from the supply end of the second electrode 52 with respect to the first electrode 51 selected in the first forming circuit, (X + 1) in the direction closer to the measuring end of the first electrode 51 with respect to the second electrode 52 selected in the first forming circuit (in other words, The first electrode 51 and the second electrode 52 are determined by judging whether or not the circuit resistance or the current phase difference is the same between the first electrode 51 and the second electrode 52, May be examined.

이것에 의해서도 제1전극(51) 및 제2전극(52)의 패턴형상이 균일한 것인가 아닌가를 합리적으로 판정할 수 있다.This also makes it possible to reasonably determine whether or not the pattern shapes of the first electrode 51 and the second electrode 52 are uniform.

이상에서 본 발명의 적합한 실시형태를 설명하였지만, 상기의 구성은 예를 들면 다음과 같이 변경할 수 있다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the above configuration can be changed as follows, for example.

상기 실시형태의 캘리브레이션 방법과 검사방법은 서로 조합시켜서 실시하는 것에 한정되지 않는다. 즉 상기 실시형태의 캘리브레이션 방법은, 다른 검사방법 예를 들면 형성회로의 저항값을 측정하지 않고 정전용량만을 측정하는 검사방법과 조합시킬 수도 있다. 또한 상기 실시형태의 검사방법은, 다른 캘리브레이션 방법 예를 들면 측정값을 오프셋 연산하는 디지털적인 캘리브레이션 방법과 조합시킬 수도 있다.The calibration method and the inspection method of the above embodiments are not limited to being performed in combination with each other. That is, the calibration method of the above-described embodiment may be combined with another inspection method, for example, an inspection method for measuring only the capacitance without measuring the resistance value of the forming circuit. Further, the inspection method of the above embodiment may be combined with another calibration method, for example, a digital calibration method of calculating a measurement value by offset calculation.

검사대상물로서는 터치패널장치의 센서패널(50)에 한정되지 않는다. 즉 본 발명은, 나란하게 배열된 복수의 제1도전체와, 나란하게 배열된 복수의 제2도전체가 패널의 두께방향에서 보았을 때에 서로 교차하도록 배치된 패널 모양의 검사대상물을 검사하는 경우에 널리 적용할 수 있다.
The object to be inspected is not limited to the sensor panel 50 of the touch panel device. That is, the present invention is widely applicable to a case where a plurality of first conductors arranged in parallel and a plurality of second conductors arranged in parallel are arranged so as to cross each other when viewed from the thickness direction of the panel, Can be applied.

1 : 센서패널 검사장치(검사장치)
31 : 시그널 공급절체부
32 : 검출절체부
36 : 제1케이블(제1배선체)
37 : 제2케이블(제2배선체)
41 : 전류검출부
42 : 캘리브레이션 시그널부
45 : 컨트롤러 유닛(제어부)
46 : 캘리브레이션부
47 : 검사부
50 : 센서패널(검사대상물)
51 : 제1전극(제1도전체)
52 : 제2전극(제2도전체)
56 : 제1탭 배선부
57 : 제2탭 배선부1: Sensor panel inspection device (inspection device)
31: Signal supply switching part
32:
36: first cable (first wiring body)
37: second cable (second wiring body)
41: current detector
42: Calibration signal part
45: Controller unit (control unit)
46: Calibration part
47:
50: Sensor panel (object to be inspected)
51: first electrode (first conductor)
52: second electrode (second conductor)
56: first tap wiring portion
57: second tab wiring portion

Claims (11)

나란하게 배열된 복수의 제1도전체(第一導電體)와, 나란하게 배열된 복수의 제2도전체가 패널의 두께방향에서 보았을 때에 서로 교차하도록 배치되고 패널(panel) 모양인 검사대상물의 검사장치(檢査裝置)로서,
검사 시에 상기 제1도전체의 각각에 전기적으로 접속되는 복수의 제1배선체(第一配線體)와,
검사 시에 상기 제2도전체의 각각에 전기적으로 접속되는 복수의 제2배선체와,
교류신호를 공급하는 교류전원인 시그널부(signal部)와,
복수의 상기 제2도전체의 각각에 대하여, 상기 시그널부의 교류신호를 상기 제2배선체를 경유하여 공급하거나 차단할지를 절체(切替)할 수 있는 시그널 공급절체부(signal 供給切替部)와,
상기 제1도전체에 흐르는 전류를 검출할 수 있는 복수의 전류계를 구비하는 전류검출부(電流檢出部)와,
상기 제1도전체의 각각을, 상기 전류계와 상기 제1배선체를 경유하여 접속하거나 차단할지를 절체할 수 있는 검출절체부(檢出切替部)와,
각각의 상기 전류계에 대하여 교류신호를 공급할 수 있는 복수의 교류전원을 구비하는 캘리브레이션 시그널부(calibration signal部)를
구비하고,
상기 캘리브레이션 시그널부의 각각의 상기 교류전원은, 그 전압 및 위상을 변경할 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사장치.
A plurality of first conductors (first conductors) arranged side by side and a plurality of second conductors arranged side by side crossing each other when viewed in the thickness direction of the panel, As a device,
A plurality of first wiring bodies (first wiring bodies) electrically connected to each of the first conductors at the time of inspection,
A plurality of second wiring bodies electrically connected to each of the second conductors at the time of inspection,
An alternating-current signal portion for supplying an alternating-current signal,
A signal supply switching section (signal supply switching section) capable of switching whether each of the plurality of second conductors is supplied with an AC signal of the signal section or blocked via the second wiring body,
A current detecting unit (current detecting unit) having a plurality of ammeters capable of detecting a current flowing through the first conductor,
A detection switching section which can switch whether to connect or disconnect each of the first conductors via the ammeter and the first wiring body,
A calibration signal unit having a plurality of ac power sources capable of supplying an ac signal to each of the ammeters,
Respectively,
Wherein each of the AC power supplies of the calibration signal section is configured to be capable of changing its voltage and phase.
제1항에 있어서,
적어도 상기 시그널부, 상기 전류검출부 및 상기 캘리브레이션 시그널부를 제어하는 캘리브레이션부(calibration部)를 구비하고,
상기 캘리브레이션부는,
상기 검사대상물이 분리된 캘리브레이션할 때에 있어서, 상기 제2배선체 중에서 적어도 어느 하나에 상기 시그널부의 교류신호를 공급시키면서, 상기 제1배선체에 전기적으로 접속되는 상기 전류검출부의 전류계의 출력이 0이 되도록, 상기 캘리브레이션 시그널부에 있어서 상기 전류계에 대응하는 교류전원의 전압 및 위상을 조정하고,
상기 전류계의 출력이 0이 되었을 때의 상기 캘리브레이션 시그널부의 교류전원에 부여한 전압 및 위상의 파라미터(parameter)인 캘리브레이션 파라미터를 취득하여 기억하고,
상기 검사대상물의 검사 시에 있어서는, 기억된 상기 캘리브레이션 파라미터에 의거하여 상기 캘리브레이션 시그널부의 교류전원에 교류신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 검사장치.
The method according to claim 1,
And a calibration section for controlling at least the signal section, the current detection section, and the calibration signal section,
The calibration unit includes:
Wherein an output of the ammeter of the current detecting unit electrically connected to the first wiring body is 0 when the AC signal of the signal portion is supplied to at least one of the second wiring bodies at the time of calibrating the object to be inspected Adjusting the voltage and phase of the AC power supply corresponding to the ammeter in the calibration signal section,
A calibration parameter which is a parameter of a voltage and a phase given to the AC power supply of the calibration signal portion when the output of the ammeter becomes 0,
And generates an AC signal to the AC power source of the calibration signal section based on the stored calibration parameter when inspecting the object to be inspected.
제2항에 있어서,
상기 캘리브레이션부는,
상기 캘리브레이션할 때에 있어서, 상기 시그널부의 신호의 공급처가 되는 상기 제2배선체를 변경시키도록 상기 시그널 공급절체부의 상태를 절체하면서, 상기 시그널 공급절체부의 상태와 상기 캘리브레이션 파라미터를 대응시켜서 기억하고,
상기 검사대상물의 검사 시에 있어서는, 상기 시그널 공급절체부의 상태에 대응하여 기억된 상기 캘리브레이션 파라미터에 의거하여 상기 캘리브레이션 시그널부의 교류전원에 교류신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 검사장치.
3. The method of claim 2,
The calibration unit includes:
The state of the signal supply transfer unit and the calibration parameter are stored in association with each other while the state of the signal supply transfer unit is switched so as to change the second wiring member to be a supply source of the signal of the signal unit,
And generates an alternating current signal to the alternating current power source of the calibration signal section based on the calibration parameter stored corresponding to the state of the signal supply transfer section at the time of inspecting the object to be inspected.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 캘리브레이션부는, 상기 캘리브레이션할 때에 있어서, 복수의 상기 제1배선체와, 그것에 대응하는 상기 전류검출부의 전류계가 동시에 접속되도록 상기 검출절체부를 제어하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
The method according to claim 2 or 3,
Wherein the calibration unit controls the detection switching unit so that a plurality of the first wiring bodies and an ammeter of the current detecting unit corresponding thereto are simultaneously connected at the time of calibration.
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,
적어도 상기 시그널부, 상기 전류검출부, 상기 시그널 공급절체부 및 상기 검출절체부를 제어하는 검사부(檢査部)를 구비하고,
상기 검사대상물의 검사 시에 있어서, 상기 검사부는,
복수의 상기 제2도전체 중에서 선택된 1개에 상기 시그널부의 교류신호를 공급하도록 상기 시그널 공급절체부를 제어하고,
복수의 상기 제1도전체 중에서 선택된 1개와, 대응하는 상기 전류검출부의 전류계를 접속하도록 상기 검출절체부를 제어하고,
선택된 제2도전체에 있어서 상기 시그널부의 교류신호가 공급되는 끝부인 공급단(供給端)으로부터, 선택된 제2도전체와 선택된 제1도전체의 교차부분을 경유하여 선택된 제1도전체에 있어서 상기 전류계가 접속되는 쪽의 끝부인 계측단(計測端)에 이르는 회로를 형성회로(形成回路)라고 하였을 때에, 상기 형성회로의 저항인 회로저항과, 상기 형성회로에 흐르는 전류의 위상의 차이인 전류위상차이 중에서 어느 하나를 포함하는 형성회로 계측값을 상기 전류계에 의하여 전류를 검출함으로써 계측하고,
얻어진 상기 형성회로 계측값에 의거하여 상기 제1도전체 및 상기 제2도전체의 이상(異常)을 검사하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
And an inspection section for controlling at least the signal section, the current detection section, the signal supply transfer section and the detection transfer section,
In inspecting the object to be inspected,
Controls the signal supply / reception unit to supply an AC signal of the signal portion to one of the plurality of second conductors,
Controls the detection switching unit to connect one selected from the plurality of first conductors and the ammeter of the corresponding current detecting unit,
In the first conductor selected via the intersection of the selected second conductor and the selected first conductor from the supply end which is the end of the selected second conductor to which the AC signal of the signal portion is supplied, (A forming circuit) is a circuit that reaches a measuring end (a measuring end) which is an end of a side to which an ammeter is connected, a circuit resistance which is a resistance of the forming circuit and a current And the phase difference is measured by detecting the current by the ammeter,
(Abnormality) of the first conductor and the second conductor on the basis of the obtained measurement value of the forming circuit.
제5항에 있어서,
상기 검사부는, 상기 형성회로 계측값을 계측함과 아울러, 선택된 상기 제1도전체 및 상기 제2도전체의 교차부분에 있어서의 정전용량을 측정하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
6. The method of claim 5,
Wherein the inspection unit measures the forming circuit measurement value and measures the electrostatic capacitance at the intersection portion of the selected first conductor and the second conductor.
제5항 또는 제6항에 있어서,
상기 검사부는, 선택되는 제1도전체를 공통으로 하고, 선택되는 제2도전체를 상기 제1도전체의 길이방향 일측(一側)으로부터 타측(他側)으로 순차적으로 변화시킴에 따라 상기 형성회로의 회로저항 또는 전류위상차이가 단조(單調)로 증가 또는 감소하는가 아닌가를 판정함으로써 상기 제1도전체 및 상기 제2도전체의 이상을 검사하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
The method according to claim 5 or 6,
The inspection unit may be configured such that the selected first conductor is common and the selected second conductor is sequentially changed from one side (one side) to the other side (in the longitudinal direction) of the first conductor, Wherein the abnormality of the first conductor and the second conductor is checked by judging whether the circuit resistance or the current phase difference of the circuit increases or decreases monotonically.
제5항 내지 제7항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 검사부는, 선택되는 제2도전체를 공통으로 하고, 선택되는 제1도전체를 상기 제2도전체의 길이방향 일측으로부터 타측으로 순차적으로 변화시킴에 따라 상기 형성회로의 회로저항 또는 전류위상차이가 단조로 증가 또는 감소하는가 아닌가를 판정함으로써 상기 제1도전체 및 상기 제2도전체의 이상을 검사하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
8. The method according to any one of claims 5 to 7,
The checking unit may be configured to select the second conductor in common and change the selected first conductor from one side in the longitudinal direction of the second conductor to the other side in sequence so that the circuit resistance or the current phase difference Wherein the abnormality of the first conductor and the second conductor is checked by judging whether or not the first conductor and the second conductor are increased or decreased by monotonous.
제5항 내지 제8항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 검사부는,
상기 제1도전체와 상기 제2도전체를 각각 선택하여 구성되는 상기 형성회로인 제1형성회로와,
상기 제1도전체의 선택을, 상기 제1형성회로에서 선택된 제1도전체에 대하여 상기 제2도전체의 상기 공급단으로부터 먼 방향으로 1개 이동함과 아울러, 상기 제2도전체의 선택을, 상기 제1형성회로에서 선택된 제2도전체에 대하여 상기 제1도전체의 상기 계측단으로부터 가까운 방향으로 1개 이동함으로써 구성되는 상기 형성회로인 제2형성회로와의
사이에서 상기 회로저항 또는 전류위상차이가 동일한가 아닌가를 판정함으로써 상기 제1도전체 및 상기 제2도전체의 이상을 검사하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
9. The method according to any one of claims 5 to 8,
Wherein,
A first forming circuit that is the forming circuit configured by respectively selecting the first conductor and the second conductor;
The selection of the first conductor is moved one way in a direction away from the feed end of the second conductor with respect to the first conductor selected in the first forming circuit and the selection of the second conductor And a second forming circuit which is the forming circuit formed by moving one of the first conductor and the second conductor in a direction close to the measuring end of the first conductor with respect to the second conductor selected in the first forming circuit
Wherein the abnormality of the first conductor and the second conductor is checked by determining whether or not the circuit resistance or the current phase difference is the same between the first conductor and the second conductor.
나란하게 배열된 복수의 제1도전체와, 나란하게 배열된 복수의 제2도전체가 패널의 두께방향에서 보았을 때에 서로 교차하도록 배치되고 패널 모양인 검사대상물의 검사장치로서,
검사 시에 상기 제1도전체의 각각에 전기적으로 접속되는 복수의 제1배선체와,
검사 시에 상기 제2도전체의 각각에 전기적으로 접속되는 복수의 제2배선체와,
교류신호를 공급하는 교류전원인 시그널부와,
복수의 상기 제2도전체의 각각에 대하여, 상기 시그널부의 교류신호를 상기 제2배선체를 경유하여 공급하거나 차단할지를 절체할 수 있는 시그널 공급절체부와,
상기 제1도전체에 흐르는 전류를 검출할 수 있는 복수의 전류계를 구비하는 전류검출부와,
상기 제1도전체의 각각을 상기 전류계와 상기 제1배선체를 경유하여 접속하거나 차단할지를 절체할 수 있는 검출절체부와,
각각의 상기 전류계에 대하여 교류신호를 공급할 수 있는 복수의 교류전원을 구비하는 캘리브레이션 시그널부를
구비하고,
상기 캘리브레이션 시그널부의 각각의 상기 교류전원은, 그 전압 및 위상을 변경할 수 있도록 구성되어 있는 검사장치의 캘리브레이션 방법에 있어서,
상기 검사대상물이 분리된 상태에서, 상기 제2배선체 중에서 적어도 어느 하나에 상기 시그널부의 교류신호를 공급시키면서, 상기 제1배선체에 전기적으로 접속되는 상기 전류검출부의 전류계의 출력이 0이 되도록, 상기 캘리브레이션 시그널부에 있어서 상기 전류계에 대응하는 교류전원의 전압 및 위상을 조정하는 시그널 조건 조정공정과,
상기 전류계의 출력이 0이 되었을 때의 상기 캘리브레이션 시그널부의 교류전원에 부여한 전압 및 위상의 파라미터인 캘리브레이션 파라미터를 취득하여 기억하는 시그널 조건 기억공정과,
상기 검사대상물의 검사 시에 있어서, 기억된 상기 캘리브레이션 파라미터에 의거하여 상기 캘리브레이션 시그널부의 교류전원에 교류신호를 발생시키는 캘리브레이션 시그널 발생공정을
포함하는 것을 특징으로 하는 캘리브레이션 방법.
An inspection apparatus for inspecting a plurality of first conductors arranged side by side and a plurality of second conductors arranged side by side so as to cross each other when viewed in the thickness direction of the panel,
A plurality of first wiring bodies electrically connected to the first conductors at the time of inspection,
A plurality of second wiring bodies electrically connected to each of the second conductors at the time of inspection,
An alternating-current source signal part for supplying an alternating-
A signal supply switching unit capable of switching, with respect to each of the plurality of second conductors, whether or not an AC signal of the signal portion is supplied or blocked via the second wiring body,
A current detector having a plurality of ammeters capable of detecting a current flowing in the first conductor;
A detection switching section capable of switching whether to connect or disconnect each of the first conductors via the ammeter and the first wiring body,
A calibration signal section having a plurality of ac power sources capable of supplying an ac signal to each of the ammeter
Respectively,
The calibration method of an inspection apparatus configured so that each of the AC power sources of the calibration signal portion is capable of changing its voltage and phase,
Wherein an AC signal of the signal portion is supplied to at least one of the second wiring bodies so that the output of the ammeter of the current detecting portion electrically connected to the first wiring body becomes 0 while the object to be inspected is separated, A signal condition adjusting step of adjusting the voltage and phase of the AC power supply corresponding to the ammeter in the calibration signal portion;
A signal condition storage step of acquiring and storing a calibration parameter which is a parameter of a voltage and a phase given to the AC power supply of the calibration signal part when the output of the ammeter becomes 0;
A calibration signal generating step of generating an AC signal to the AC power source of the calibration signal section on the basis of the stored calibration parameter at the time of inspecting the object to be inspected
The calibration method comprising the steps of:
나란하게 배열된 복수의 제1도전체와, 나란하게 배열된 복수의 제2도전체가 패널의 두께방향에서 보았을 때에 서로 교차하도록 배치되고 패널 모양인 검사대상물의 검사장치로서,
검사 시에 상기 제1도전체의 각각에 전기적으로 접속되는 복수의 제1배선체와,
검사 시에 상기 제2도전체의 각각에 전기적으로 접속되는 복수의 제2배선체와,
교류신호를 공급하는 교류전원인 시그널부와,
복수의 상기 제2도전체의 각각에 대하여, 상기 시그널부의 교류신호를 상기 제2배선체를 경유하여 공급하거나 차단할지를 절체할 수 있는 시그널 공급절체부와,
상기 제1도전체에 흐르는 전류를 검출할 수 있는 복수의 전류계를 구비하는 전류검출부와,
상기 제1도전체의 각각을, 상기 전류계와 상기 제1배선체를 경유하여 접속하거나 차단할지를 절체할 수 있는 검출절체부와,
각각의 상기 전류계에 대하여 교류신호를 공급할 수 있는 복수의 교류전원을 구비하는 캘리브레이션 시그널부를
구비하고,
상기 캘리브레이션 시그널부의 각각의 상기 교류전원은, 그 전압 및 위상을 변경할 수 있도록 구성되어 있는 검사장치의 검사방법에 있어서,
복수의 상기 제2도전체 중에서 선택된 1개에 상기 시그널부의 교류신호를 공급하도록 상기 시그널 공급절체부를 제어함과 아울러, 복수의 상기 제1도전체 중에서 선택된 1개와, 대응하는 상기 전류검출부의 전류계를 접속하도록 상기 검출절체부를 제어하는 절체공정과,
선택된 제2도전체에 있어서 상기 시그널부의 교류신호가 공급되는 끝부인 공급단으로부터, 선택된 제2도전체와 선택된 제1도전체의 교차부분을 경유하여, 선택된 제1도전체에 있어서 상기 전류계가 접속되는 쪽의 끝부인 계측단에 이르는 회로를 형성회로라고 하였을 때에, 상기 형성회로의 저항인 회로저항과, 상기 형성회로에 흐르는 전류의 위상의 차이인 전류위상차이 중에서 어느 하나를 포함하는 형성회로 계측값을 상기 전류계에 의하여 전류를 검출함으로써 계측하는 형성회로 계측값 취득공정과,
얻어진 상기 형성회로 계측값에 의거하여 상기 제1도전체 및 상기 제2도전체의 이상의 유무를 판정하는 판정공정을
포함하는 것을 특징으로 하는 검사방법.An inspection apparatus for inspecting a plurality of first conductors arranged side by side and a plurality of second conductors arranged side by side so as to cross each other when viewed in the thickness direction of the panel,
A plurality of first wiring bodies electrically connected to the first conductors at the time of inspection,
A plurality of second wiring bodies electrically connected to each of the second conductors at the time of inspection,
An alternating-current source signal part for supplying an alternating-
A signal supply switching unit capable of switching, with respect to each of the plurality of second conductors, whether or not an AC signal of the signal portion is supplied or blocked via the second wiring body,
A current detector having a plurality of ammeters capable of detecting a current flowing in the first conductor;
A detection switching unit capable of switching whether to connect or disconnect each of the first conductors via the ammeter and the first wiring body,
A calibration signal section having a plurality of ac power sources capable of supplying an ac signal to each of the ammeter
Respectively,
Wherein each of the AC power supplies of the calibration signal section is configured to be able to change its voltage and phase,
Wherein the control unit controls the signal supply transfer unit so as to supply an AC signal of the signal portion to one selected from the plurality of second conductors and controls one of the plurality of first conductors and the ammeter of the corresponding current detection unit A switching step of controlling the detection /
Via the intersection of the selected second conductor and the selected first conductor, from the supply end which is the end of the selected second conductor to which the AC signal of the signal portion is supplied, Which is a resistance of the forming circuit and a current phase difference which is a difference in phase between a current flowing in the forming circuit and a current phase difference in a current flowing in the forming circuit, A measured value obtained by measuring the current by means of the ammeter,
And a determination step of determining the presence or absence of an abnormality in the first conductor and the second conductor based on the obtained value of the forming circuit
The method comprising the steps of:
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