KR20140138021A - 커터 휠 그리고 그의 제조 방법 - Google Patents

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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 날끝 각도가 종래와 동일하게 둔각을 유지하는 것이면서, 좁은 폭의 스크라이브 스트리트에 삽입하여 스크라이브 라인을 가공할 수 있는 커터 휠 그리고 그의 제조 방법을 제공한다.
(해결 수단) 방전 가공 가능한 경질 재료로 형성되고, 또한, 연삭 가공에 의해 외주면에 둔각인 날끝 각도를 갖는 날끝(2)이 형성되어 있는 커터 휠(1A)에 있어서, 날끝(2)의 능선 근방에서, 둔각인 날끝(2)의 선단 부분을 남긴 상태에서 날끝의 좌우 경사면(2a, 2b)의 일부를 방전 가공에 의해 절제하여 오목부(3)를 형성한다.

Description

커터 휠 그리고 그의 제조 방법{CUTTER WHEEL AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은, 세라믹 기판이나 유리 기판 등의 취성 재료 기판에 스크라이브 라인(절단홈)을 가공하거나, 분단하거나 할 때에 사용되는 커터 휠(스크라이빙 휠이라고도 함) 그리고 그의 제조 방법에 관한 것이다.
알루미나, HTCC, LTCC 등의 세라믹 기판이나 유리 기판 등의 취성 재료 기판을 분단하는 가공에서는, 커터 휠을 이용하여 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하고, 그 후, 스크라이브 라인을 따라 이면측(裏面側)으로부터 외력을 인가하여 기판을 휘게 함으로써, 기판을 단위 마다로 분단하는 방법이 일반적으로 알려져 있으며, 예를 들면, 특허문헌 1에 개시되어 있다.
가공 대상이 되는 기판에는 각종의 것이 있으며, 그 중에는 기판의 표면에 요철(凹凸)이 존재하는 상태에서 분단하지 않으면 안 되는 것도 있다. 이러한 기판에는, 기판 자체에 요철이 형성되어 있는 것 외에, 예를 들면, 도 8의 사시도, 그리고, 도 9의 일부 확대 단면도에 나타내는 바와 같이, 기판 상에 돌기물이 고착되어 있는 것도 있다.
예를 들면 LED용의 세라믹 적층 마더 기판(W)에서는, 저온 소성 세라믹(LTCC)이나 알루미나 세라믹(Al2O3) 기판(11) 상에, LED 등의 디바이스(D)가 부착되고, 이들 디바이스(D)의 주위는, 시트면(12)과 돌기부(13)가 일체로 형성된 실리콘 수지제의 피복층(14)이 형성되어 있으며, 이에 의해 디바이스(D)(LED 본체)가 봉지되도록 하고 있다. 종래의 기판에서는, 서로 인접하는 돌기부(13) 간의 간격(L1)은, 약 0.12㎜로 하고 있으며, 피복층(14)의 두께(높이)(H)는 약 0.03㎜로 되어 있었다.
인접하는 돌기부(13) 간에 스크라이브 라인(S)을 가공하기 위한 커터 휠은, 일반적으로는, 내마모성이나 연삭성 등의 공구 특성이 우수한 재료인 초경합금이나 소결 다이아몬드(PCD)제의 것이 이용되고 있다. 그러나, 압접 상태에서 반복하여 사용되기 때문에, 날끝의 사용 환경은 열악하다. 그 때문에, 커터 휠 선단의 날끝 각도를 너무 지나치게 예각으로 하면, 이빠짐 등이 발생하기 쉬워져 날의 사용 수명이 짧아진다. 또한, 날끝 각도를 지나치게 예각으로 하면 압접시에 기판에 가해지는 연직 방향의 하중 성분이 커져, 하중 제어가 어려워진다. 특히, 사용하는 커터 휠의 직경은 약 1㎜∼7㎜로 매우 작기 때문에 하중 제어가 곤란해지기 쉽다. 따라서, 통상은 둔각의 날끝 각도를 갖는 커터 휠이 요망되고 있다.
그 때문에, 지금까지는 상기한 둔각의 날끝을 갖는 커터 휠을 이용하여, 마더 기판(W)의 돌기부(13, 13) 간에 스크라이브 라인(S)을 가공하기 위해, 마더 기판(W)의 피복층(14)의 패턴에 있어서의 돌기부(13, 13) 간의 간격(L1)이, 돌기부(13)의 높이(H)에 대하여 약 3배 이상이 되도록 설계되어 있었다. 즉, 둔각의 날끝을 갖는 커터 휠에 의한 스크라이브가 가능해지도록, 간격(L1)이나 높이(H)의 수치를 설계하고, 반대로 그러한 간격(L1)이나 높이(H)에 있어서 허용되는 날끝 각도의 커터 휠이 사용되고 있었다.
예를 들면, 도 9에 나타내는 바와 같이, 날끝 각도(α)(예를 들면 105도)의 커터 휠(K)을 사용해도, 날끝 경사면과 돌기부(13)의 상단 테두리부와의 사이에 극간(C)을 남길 수 있어, 날이 돌기부(13)에 접촉하여 흡집내는 일 없이 스크라이브 라인(S)을 가공하는 것이 가능해지도록 하고 있었다.
일본특허공보 제3787489호
최근, 각각의 마더 기판으로부터 절출되는 단위 기판의 개수를 늘려 제품 비용을 억제하는 관점에서, 절출되는 단위 기판의 면적은, 점점 소형화되는 경향에 있다. 예를 들면, LED를 제조하는 경우에는, 단위 기판의 평면 사이즈가 실상의 2.0㎜×1.6㎜에서 1.0㎜×0.8㎜까지 작게 하는 것이 요구되고 있다. 나아가서는, 단위 기판의 면적뿐만 아니라, 스크라이브 라인(S)을 형성하기 위한 영역인 스크라이브 스트리트의 폭, 즉, 돌기부(13, 13) 간의 간격(L1)에 대해서도, 소형화, 양산화를 위해 작게 하는 것이 요구되고 있다. 구체적으로는, 간격(L1)은 현재의 0.12㎜는 넓고, 0.06㎜ 이하까지 작게 할 필요가 있다.
그러나, 간격(L1)을 0.06㎜까지 작게 하면, 도 10에 나타내는 바와 같이 종래(도 9 참조)와 같은 둔각의 날끝 각도(α)를 갖는 커터 휠(K)에서는, 날끝의 경사면(날끝 능선의 양측에 있는 경사면)이 돌기부(13)의 상단 테두리부에 접촉하여 돌기부(13)를 흠집내게 되기 때문에, 사용할 수 없다. 따라서, 접촉을 피하기 위해, 도 10에 가상선(2점 쇄선)으로 나타내는 바와 같은 날끝 각도(α')를 90도 이하의 예각으로 할 필요가 있다. 그러나, 예각인 날끝을 이용한 경우에는, 전술한 바와 같이 이빠짐 등이 발생하기 쉬워져 사용 수명이 짧아진다. 또한, 날끝이 더욱 예각이 되면, 커터 휠의 소재에 이용되는 탄화 텅스텐이나 다이아몬드 등의 경질 입자가 탈락하기 쉬워, 날끝의 강도 저하가 현저해지고, 연마 가공도 곤란해진다. 또한, 스크라이브시의 하중 제어가 어려워진다는 여러 가지 과제가 발생한다.
그래서 본 발명은, 날끝 각도가 종래와 동일하게 둔각을 유지하는 것이면서, 인접하는 돌기부 간의 스크라이브 스트리트가 좁은 폭(구체적으로는 0.06㎜ 이하)이라도, 날끝이 접촉하는 일 없이 스크라이브 가공을 행할 수 있는 커터 휠 그리고 그의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉 본 발명의 커터 휠은, 방전 가공(electric discharge machining) 가능한 경질 재료로 형성되고, 또한, 좌우의 경사면에 의해 형성되는 날끝 능선의 날끝 각도가 둔각인 커터 휠에 있어서, 날끝 능선 근방의 선단 부분을 둔각의 날끝으로서 남겨둠과 함께, 당해 선단 부분에 이어지는 좌우의 경사면의 일부가 방전 가공에 의해 절제되어, 당해 좌우의 경사면에 함몰된 오목부가 형성되어 있는 구성으로 했다.
또한, 본 발명의 커터 휠의 제조 방법은, 좌우의 경사면에 의해 날끝 능선이 형성되어 이루어지는 커터 휠의 제조 방법으로서, 방전 가공 가능한 경질 재료로 이루어지는 원반 형상 디스크체의 외주면에, 연삭 가공에 의해 날끝 능선의 날끝 각도가 둔각이 되는 좌우의 경사면을 가공하고, 이어서, 날끝 능선 근방의 선단 부분을 둔각의 날끝으로서 남겨둠과 함께, 당해 선단 부분에 이어지는 좌우의 경사면의 일부를 방전 가공에 의해 절제하여, 당해 좌우의 경사면에 함몰된 오목부를 형성하도록 했다.
여기에서, 커터 휠의 날끝 각도는 90도∼150도인 것이 바람직하다. 이에 따라, 스크라이브되는 기판의 돌기부 간의 간격 및 높이에 따라, 오목부의 형상이나 치수를 선택하여, 기판과 접촉하지 않도록 할 수 있다. 또한, 방전 가공 가능한 경질 재료로서, 초경합금이나 소결 다이아몬드, 도전성을 갖는 단결정 다이아몬드 또는 다결정 다이아몬드를 이용해도 좋다. 또한, 날끝 능선을 따라 연속된 요철이 형성되도록 해도 좋다.
본 발명에 의하면, 둔각의 날끝 부분에 이어지는 좌우의 경사면의 일부를 절제하여 함몰된 오목부를 형성하도록 했기 때문에, 커터 휠의 날끝 선단 부분에 있어서의 좌우폭을, 절제한 분만큼 좁게 할 수 있어, 인접하는 돌기부 간의 스크라이브 스트리트가 좁은 폭이라도 돌기 테두리부에 접촉하는 일 없이 스크라이브하는 것이 가능해진다. 또한, 커터 휠의 오목부의 가공은, 종래 제품인(연삭 가공에 의해) 스톡된 둔각의 날끝 각도를 갖는(오목부가 형성되어 있지 않은) 통상의 커터 휠에 대하여, 방전 가공에 의해 전극(와이어나 지그(治具) 전극)을 날끝 경사면에 밀어붙이는 추가 가공만으로 제조할 수 있기 때문에, 미세한 부분의 가공이라도 용이하고 또한 정확하게 제조할 수 있다. 또한, 방전 가공에 의해 절제된 오목부는, 스크라이브시에 가공해야 할 기판에 접촉하여 스크라이브하는 부분이 아니기 때문에, 연마 마무리 등의 후(後)처리를 필요로 하지 않으며, 그대로 제품으로서 사용할 수 있다. 그리고, 날끝 선단부는 원래의 커터 휠의 둔각인 날끝 능선을 남기고 있기 때문에, 스크라이브에 필요한 날끝 강도를 종래와 동일하게 유지할 수 있고, 이빠짐되는 일 없이 장기에 걸쳐 사용할 수 있다. 또한, 하중 제어를 종래와 동등한 수월함으로 행할 수 있다는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 커터 휠을 나타내는 정면도이다.
도 2는 커터 휠의 날끝에 와이어 컷 방전 가공으로 오목부를 형성할 때의 도면이다.
도 3은 커터 휠의 날끝 부분의 확대 단면도이다.
도 4는 커터 휠의 사용 상태를 나타내는 확대도이다.
도 5는 커터 휠에 형조(die sinking) 방전 가공으로 오목부를 형성할 때의 도면이다.
도 6은 도 5와 동일한 형조 방전 가공 방법의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 7은 오목부의 가공 형상의 변경예를 나타내는 정면도이다.
도 8은 가공 대상이 되는 마더 기판의 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 9는 도 8의 일부 확대 단면도이다.
도 10은 마더 기판의 돌기부를 좁은 폭으로 한 경우의 가상예를 나타내는 단면도이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
이하에 있어서, 본 발명의 커터 휠 그리고 그의 제조 방법으로 대해서, 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 여기에서는, 기판 표면에 돌기부를 갖는 마더 기판의 스크라이브에 최적인 커터 휠을 예로 설명한다.
도 1(a)는 본 발명에 따른 커터 휠(1)을 나타내는 정면도로서, 도전성을 갖고, 방전 가공 가능한 경질 재료(예를 들면 금속)에 의해 제작되어 있다. 구체적으로는, 예를 들면 초경합금 또는 소결 다이아몬드, 도전성을 갖는 단결정 다이아몬드 또는 다결정 다이아몬드에 의해 제작되어 있다. 다이아몬드에 도전성을 부여하려면, 합성시에 붕소 등의 불순물을 도프하는 방법 등이 알려져 있다. 다결정 다이아몬드에는, 화학 기상 성장법에 의해 합성된 다이아몬드나, 결합재를 사용하지 않고 미세한 다이아몬드 입자를 소결시켜 합성한 다이아몬드가 포함된다. 또한, 소결 다이아몬드는 일반적으로 바인더로서 코발트 등을 포함함으로써 도전성을 갖지만, 보다 정밀한 방전 가공을 가능하게 하기 위해, 불순물을 혼입시켜 도전성을 부여한 다이아몬드 입자를 이용한 소결 다이아몬드를 이용할 수도 있다.
이 커터 휠(1)은, 원반 형상 디스크의 외주면에, 날끝 능선의 날끝 각도가 둔각, 예를 들면 105도의 각도로 형성된 날끝(2)을 갖는 도 1(b)에 나타내는 바와 같은 커터 휠(1A)을 이용하여 제조된다. 즉, 둔각인 날끝 각도를 갖는 날끝 능선 근방의 선단 부분을 남겨둠과 함께, 선단 부분에 이어지는 날끝(2)의 좌우의 경사면(2a, 2b)의 일부가 방전 가공에 의해 절제되고, 경사면(2a, 2b)에 도 1(a)에 나타내는 오목부(3)가 형성된다.
오목부(3)를 가공하기 전의 도 1(b)에 나타내는 커터 휠(1A)은, 날끝 선단이 매끄럽고 또한 평탄한 능선으로 형성되어 있는 일반적인 기판 스크라이브용의 커터 휠, 즉, 날끝 능선부에 절결(요철부)을 갖지 않는 통상의 커터 휠(노멀 커터 휠)로서, 날끝(2)이 연삭 가공에 의해 제작되어, 날끝 표면이 연마 마무리된 것이다. 또한, 직경은 약 1.0㎜∼7.0㎜, 바람직하게는 1.0∼3.0㎜, 두께는 약 0.4㎜∼1.1㎜의 작은 사이즈로 형성되어 있다. 이들은 그대로 커터 휠로서 이용되는 것으로서, 재고품으로서 스톡되어 있는 것이다.
또한, 오목부(3)를 가공하기 전의 커터 휠로서는, 도 1(c)에 나타내는 바와 같은 날끝 능선을 따라 연속된 작은 요철(절결)(8)을 형성한 커터 휠(홈 부착 커터 휠)(1A')을 이용할 수도 있다. 이 홈 부착 커터 휠(1A')에는, 미쓰보시다이아몬드 가부시키가이샤 제조의 페네트(Penett; 등록상표) 커터 휠, 아피오(APIO; 등록상표) 커터 휠이 있다. 본 발명에 따른 커터 휠은, 이들 도 1(b), 도 1(c)로 나타낸 커터 휠(1A, 1A')을 근거로 추가 가공을 행함으로써 형성할 수 있다.
다음으로, 커터 휠(1)의 날끝(2)의 경사면(2a, 2b)에, 와이어 컷 방전 가공으로 오목부(3)를 가공하는 방법의 일 예를 도 2에 나타낸다.
이 방법에서는, 도 2(a), 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 커터 휠(1A 또는 1A')의 축 구멍(4)에 회전축(도시하지 않음)을 끼워 넣고, 커터 휠(1A)을 회전시키면서 와이어 전극(5)을 날끝(2)의 한쪽의 경사면(2a)으로 이행시켜, 경사면(2a)의 일부를 절제한다.
이어서, 도 2(c)에 나타내는 바와 같이, 와이어 전극(5)을 날끝(2)의 반대측의 경사면(2b)으로 이행시켜, 경사면(2b)의 일부를 절제한다. 이에 따라, 도 2(d)에 나타내는 바와 같이, 날끝(2)의 선단 부분에 이어지는 좌우의 경사면(2a, 2b)의 일부가 함몰되어, 날끝 선단 부분의 폭을 좁게 하는 오목부(3, 3)가 형성된 커터 휠(1)이 제작된다.
이와 같이 하여 형성되는 오목부(3)는, 도 3, 도 4의 확대도에 나타내는 바와 같이, 둔각의 날끝 각도는 그대로 남겨진 커터 휠(1)의 날끝 선단 부분의 좌우의 폭(L2)을, 가공 대상 기판 상의 인접하는 돌기부(13, 13) 간에 예정되어 있는 스크라이브 스트리트의 폭(L1)에 대하여 작아지도록 하여, 커터 휠(1)과 돌기부(13)가 서로 접촉하지 않도록 오목부(3)의 절결 형상이나 절결 치수가 선택된다.
예를 들면, 돌기부(13)의 간격(L1)이 0.06㎜이고, 높이(H)가 0.03㎜의 기판인 경우에는, 커터 휠(1)의 둔각인 선단 부분의 폭(L2)은 0.04㎜로 하고, 날끝 능선으로부터 0.03㎜ 위치에서의 높이(h)는 0.05㎜로 하고 있다. 또한, 돌기부(13)의 간격(L1)의 폭에 따라, 커터 휠(1)의 선단 부분의 폭(L2)은 0.01㎜∼0.05㎜의 범위에서, 또한 돌기부(13)의 높이(H)에 따라서 선단 부분의 높이(h)를 0.005㎜∼0.06㎜의 범위에서 선택할 수 있다. 또한, 폭(L1)과 폭(L2)와의 차가 0.02㎜ 이상이 되도록 선택하는 것이 바람직하다.
이에 따라, 도 4에 나타내는 바와 같이, 커터 휠(1)의 날끝(2)을 가공 대상 기판의 돌기부(13, 13) 간의 스크라이브 스트리트의 폭(L1) 내에 위치 결정하여 스크라이브 라인(S)을 가공할 때에, 돌기부(13)와의 사이에 충분한 극간(C)을 유지한 상태에서 스크라이브할 수 있다.
또한, 도 4에 있어서는, 가공 대상 기판의 스크라이브 스트리트도 수지층으로 피복되어 있지만, 스크라이브 스트리트 부분에 기판이 노출되어 있어도 좋다.
도 5는, 형조 방전 가공에 의한 커터 휠의 가공 방법을 나타낸다.
이 방법에서는, 절제해야 할 부분의 반전 형상을 갖는 한 쌍의 지그 전극(6a, 6b)을, 회전축으로 지지되어 회전하는 커터 휠(1A)의 날끝 경사면(2a, 2b)에 대하여 각각 반대측으로부터, 교대로, 또는 동시에 밀어붙임으로써 오목부(3)를 가공한다.
또한, 도 6은, 형조 방전 가공에 의한 커터 휠의 다른 가공 방법의 일 예를 나타내는 것이다.
이 방법에서는, 절제해야 할 부분의 반전 형상을 갖는 암형(雌型; 7a)을 구비한 지그 전극(7)을, 회전하는 커터 휠(1A)의 날끝 경사면(2a, 2b)에 밀어붙임으로써 오목부(3)를 가공한다.
상기한 와이어 컷 방전 가공 그리고 형조 방전 가공은, 모두 방전 유도체로서의 물이나 기름 등의 액체에, 커터 휠(1A)을 담가 행해진다.
상기 실시예에서는, 오목부(3)의 형상을 진원의 원호로 형성했지만, 도 7(a), 도 7(b)에 나타내는 바와 같이, 둔각의 날끝(2)의 선단부에 인접하는 경사면 상위측을 깊게 하고, 경사면의 하방에 이를수록 점차 얕아지도록 형성할 수도 있다. 또한, 도 7(a)에서는 오목부(3)의 오목부분을 얕게, 도 7(b)에서는 깊게 형성한 예를 나타냈다. 또한, 특히 소경(小徑)의 커터 휠에 있어서는 날끝(2)의 경사면의 폭이 좁아지기 때문에, 이러한 경우에는, 도 7(c)에 나타내는 바와 같이, 오목부(3)가 커터 휠(1)의 측면(9)과 완전히 연속하도록 해도 좋다.
가공 후의 커터 휠(1)은, 날끝(2)의 선단 부분의 좌우폭이 오목부(3)에 의해 절제된 분만큼 좁게 할 수 있어서, 도 4에 나타내는 바와 같이 인접하는 돌기부(13, 13) 간의 스크라이브 스트리트의 폭(L1)이 좁아도, 돌기 테두리부에 접촉하는 일 없이 스크라이브하는 것이 가능해진다. 또한, 오목부(3)의 가공을, 둔각의 날끝 각도를 갖는 커터 휠(1A)에 대하여 방전 가공에 의해 전극이 되는 와이어나 지그 전극을 날끝 경사면에 밀어붙이는 작업으로 행할 수 있기 때문에, 미세한 부분의 가공이라도 용이하고 또한 정확하게 제작할 수 있다.
또한, 방전 가공에 의해 절제한 부분은, 스크라이브시에 기판으로 직접 접촉하는 부분이 아니기 때문에, 반드시 연마 마무리 등의 후처리를 필요로 하지 않으며, 그대로 제품으로서 사용할 수 있다.
또한, 날끝 선단부는, 원래의 커터 휠(1A)의 둔각인 날끝 각도의 날끝 능선이 남겨져 있기 때문에, 스크라이브에 필요한 날끝 강도를 종래와 동일하게 유지할 수 있고, 이빠짐 등이 발생하기 어려워 장기에 걸쳐 사용할 수 있다.
이상, 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시 형태에 특정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기한 실시예에서는, 커터 휠의 소재인 방전 가공 가능한 재료로서, 다이아몬드 입자를 코발트 등의 바인더와 함께 고온 고압에서 소결시킨 소결 다이아몬드를 이용한 예를 나타냈지만, 이를 대신하여 바꾸어 금속 재료인 초경합금을 이용해도 좋다. 또한, 불순물의 첨가에 의해 도전성을 부여한 다이아몬드 입자를 사용한 소결 다이아몬드나, 불순물의 첨가에 의해 도전성을 부여한 단결정 다이아몬드 또는 다결정 다이아몬드 등을 이용할 수 있다. 또한, 상기 실시예에서는, 날끝 각도(α)를 105도로 했지만, 90도∼150도의 범위 내에서 실시하는 것이 가능하다. 그 외 본 발명에서는, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.
본 발명은, 세라믹 기판이나 유리 기판 등의 취성 재료 기판, 특히, 기판 표면에 돌기부가 형성된 마더 기판에 스크라이브 라인을 가공하거나, 분단할 때에 사용되는 커터 휠에 적용된다.
L1 : 마더 기판의 돌기부의 간격
L2 : 커터 휠의 선단 부분의 좌우폭
S : 스크라이브 라인
α : 날끝 각도
h : 오목부의 높이
1 : 커터 휠
1A, 1A' : 오목부 가공 전의 커터 휠
2 : 날끝
2a, 2b : 날끝의 좌우 경사면
3 : 오목부

Claims (6)

  1. 방전 가공 가능한 경질 재료로 형성되고, 또한, 좌우의 경사면에 의해 형성되는 날끝 능선의 날끝 각도가 둔각인 커터 휠에 있어서, 상기 날끝 능선 근방의 선단 부분을 둔각의 날끝으로서 남겨둠과 함께, 당해 선단 부분에 이어지는 좌우의 경사면의 일부가 방전 가공에 의해 절제(切除)되어, 당해 좌우의 경사면에 함몰된 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 커터 휠.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 날끝 각도가 90도∼150도인 커터 휠.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 경질 재료가 초경합금 또는 소결 다이아몬드, 도전성을 갖는 단결정 다이아몬드 또는 다결정 다이아몬드인 커터 휠.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 날끝 능선을 따라 연속된 요철(凹凸)이 형성되어 있는 커터 휠.
  5. 좌우의 경사면에 의해 날끝 능선이 형성되어 이루어지는 커터 휠의 제조 방법으로서, 방전 가공 가능한 경질 재료로 이루어지는 원반 형상 디스크체의 외주면에, 연삭 가공에 의해 날끝 능선의 날끝 각도가 둔각이 되는 좌우의 경사면을 가공하고, 이어서, 상기 날끝 능선 근방의 선단 부분을 둔각의 날끝으로서 남겨둠과 함께, 당해 선단 부분에 이어지는 좌우의 경사면의 일부를 방전 가공에 의해 절제하여, 당해 좌우의 경사면에 함몰된 오목부를 형성하는 것을 특징으로 하는 커터 휠의 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 날끝의 각도가 90도∼150도인 커터 휠의 제조 방법.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI715298B (zh) * 2019-11-20 2021-01-01 國立臺灣師範大學 線上放電削銳系統及其方法
KR102329992B1 (ko) * 2020-01-10 2021-11-24 전북대학교산학협력단 반도체 웨이퍼 절삭 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 절삭 방법

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000036474A (ja) * 1998-07-16 2000-02-02 Murata Mfg Co Ltd 電子部品の製造方法
JP3787489B2 (ja) 2000-10-02 2006-06-21 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性基板のブレイク方法及び装置
US7401537B1 (en) * 2004-03-23 2008-07-22 David Krauter Cutter insert gum modification method and apparatus
JP2010126382A (ja) * 2008-11-26 2010-06-10 Joyo Kogaku Kk ガラス切断用カッターホイール
KR20130024749A (ko) * 2011-08-30 2013-03-08 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 스크라이빙 휠
KR20130035867A (ko) * 2011-09-30 2013-04-09 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 취성 재료용 스크라이빙 휠, 이것을 사용한 취성 재료 기판의 스크라이브 장치 및 스크라이브 공구

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60150014U (ja) * 1984-03-15 1985-10-05 日本電気株式会社 スクライブポイント
JPH06112313A (ja) * 1992-09-25 1994-04-22 Toshiba Corp 短冊状ワ−クのへき開装置
DE102004024971A1 (de) * 2004-05-21 2005-12-08 Man Roland Druckmaschinen Ag Direktantrieb für einen Zylinder einer Verarbeitungsmaschine
TWI249460B (en) * 2004-05-28 2006-02-21 Tzujan Technology Inst A cutting wheel structure
TW200936520A (en) * 2008-02-27 2009-09-01 Kinik Co Cutting wheel and manufacturing method thereof
JP5075185B2 (ja) * 2009-10-29 2012-11-14 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライビングホイール

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000036474A (ja) * 1998-07-16 2000-02-02 Murata Mfg Co Ltd 電子部品の製造方法
JP3787489B2 (ja) 2000-10-02 2006-06-21 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性基板のブレイク方法及び装置
US7401537B1 (en) * 2004-03-23 2008-07-22 David Krauter Cutter insert gum modification method and apparatus
JP2010126382A (ja) * 2008-11-26 2010-06-10 Joyo Kogaku Kk ガラス切断用カッターホイール
KR20130024749A (ko) * 2011-08-30 2013-03-08 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 스크라이빙 휠
KR20130035867A (ko) * 2011-09-30 2013-04-09 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 취성 재료용 스크라이빙 휠, 이것을 사용한 취성 재료 기판의 스크라이브 장치 및 스크라이브 공구

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