KR20140126844A - 브리지생성을 방지하는 미세입자 정량공급장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가압조건에서 브리지생성을 방지할 수 있는 미세입자 정량공급장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 호퍼에서 미세입자를 유입하여 정량공급하는 정량공급스크류를 호퍼 하층의 중간부분인 호퍼저면보다는 상대적으로 넓은 공간에 삽통설치하여 좁은 공간에서 발생되는 브리지현상을 방지하도록 하고, 정량 공급된 미세입자가 고압으로 연소로에 공급되는 연료공급라인에는 호퍼 상부공간과 연통되는 압력평형유지관을 더 설치하여 호퍼의 배출부와 적재된 연료인 미세입자 상부 공간의 압력을 동일하게 유지시켜 압력차에 의해 미세입자가 공급되지 않거나 반대의 경우 고압의 연료공급라인으로 빨려들어가서 과잉공급되는 것을 방지할 수 있는 가압조건에서도 정량공급이 이루어지면서 브리지생성을 방지할 수 있는 미세입자 정량공급장치에 관한 것이다.

Description

브리지생성을 방지하는 미세입자 정량공급장치{Particulate Fixed Quantity Feeder for Preventing Formation of Bridge}

본 발명은 가압조건에서 브리지생성을 방지할 수 있는 미세입자 정량공급장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 호퍼에서 미세입자를 유입하여 정량공급하는 정량공급스크류를 호퍼 하층의 중간부분인 호퍼저면보다는 상대적으로 넓은 공간에 삽통 설치하여 좁은 공간에서 발생되는 브리지현상을 방지하도록 하고, 정량 공급된 미세입자가 고압으로 연소로에 공급되는 연료공급라인에는 호퍼 상부공간과 연통되는 압력평형유지관을 더 설치하여 호퍼의 배출부와 적재된 연료인 미세입자 상부 공간의 압력을 동일하게 유지시켜 압력차에 의해 미세입자가 공급되지 않거나 반대로 미세입자가 고압의 연료공급라인으로 빨려들어가서 과잉 공급되는 것을 방지할 수 있는 가압조건에서도 정량공급이 이루어지면서 브리지생성을 방지할 수 있는 미세입자 정량공급장치에 관한 것이다.

일반적으로 미세입자 정량공급장치는 미세입자를 일정량씩 연속적으로 공급하는 장치로서 주로 연소로 등에 입자상의 연료를 정량 연속적으로 주입하여 공기대 연료비를 일정하게 유지하거나 건조기에 건조대상 입자상 물질을 연속적으로 공급하여 일정한 건조율을 유지하게 하게 하는 등 다양한 분야에 적용하여 사용하고 있다. 특히 정량공급장치는 미세입자를 사용하는 분석장치에서 공급되는 입자량을 일정하게 유지하여 성능을 측정하거나 입자분리 효율을 측정하기 위한 측정기기에서도 유효하게 사용되고 있다.

즉, 상기 정량공급장치는 정량의 미세입자를 연속적으로 공급하는 것이 중요한데 기존에 제공되는 구조는 점진적으로 폭이 좁아져 미세입자를 하부로 배출시키는 호퍼 하부에 정량공급스크류를 장착하여 호퍼에서 낙하된 미세입자를 스크류 회전에 의해 일측 방향으로 밀어 이동시켜 정량공급이 이루어지도록 하였다.

하지만 상기 호퍼는 배출구측의 공간이 좁기 때문에 상부의 미세입자 중량에 의해 다짐이 이루어져 결국 배출구 상부에는 브리지현상으로 공동화가 발생되어 미세입자의 공급이 차단되는 문제점이 발생된다.

또한, 고압조건에서 운전되는 연소로 또는 건조기와 연계하여 설치시에는 정량공급장치의 공급라인이 연소로 또는 건조기와 연통됨으로 이와 동일하게 고압조건을 갖게 된다. 따라서 호퍼의 상부공간과 정량공급장치의 배출부분의 공급라인은 압력차가 발생되며, 압력차에 의해 호퍼에 저장된 미세입자가 공급되지 않거나 반대로 정량공급스크류를 통해 공급라인으로 빨려들어가게 되어 정량공급이 어려웠다.

한국특허등록 제10-0704871호(2007.04.02.등록, 이하 '종래 등록건'이라 함)의 미량의 미분탄 정량공급장치는 도 4를 참조한 바와 같이 미분탄을 저장한 저장탱크(1)의 하부에 스크류(2)가 삽통되어 설치되어 호퍼내부의 미분탄을 스크류로 밀어서 배출되도록 하고, 상기 스크류에는 혼합용스크류(3)를 동일축으로 설치하여 미분탄을 계속 섞어서 뭉치는 것을 방지하였다. 상기 종래 등록건은 호퍼 측면으로 배출이 이루어지고 혼합용스크류에 의해 뭉침을 방지하기 때문에 뭉침에 의한 브리지현상이 일부 방지될 수 있다. 하지만 종래 등록건은 혼합용스크류에 의해 브리지현상은 일부 방지할 수 있으나, 혼합용스크류가 배출구(4)를 지속적으로 가압하기 때문에 배출구 부분에서의 가압 뭉침이 발생되고 뭉친 미분탄을 배출시킴으로써 공급되는 량도 일정하지 않은 단점이 있다.

또한, 고압조건에서 발생되는 공급라인과 저장탱크 내부공간의 압력차이에 의한 미분탄의 공급정체와 과잉공급문제는 여전히 해소되지 못하였다.

이에 상기 문제점을 해소하기 위한 본 발명의 브리지생성을 방지하는 미세입자 정량공급장치는 점진적으로 구간이 좁아지는 호퍼의 협소구간 중간부분에 정량공급스크류를 연통시켜 하중이 작게 작용하며 공간이 넓은 부분에서 미세입자의 공급이 이루어지도록 하여 브리지현상을 방지해 정량공급이 이루어지도록 한 장치의 제공을 목적으로 한다.

또한 본 발명은 정량공급된 미세입자를 고압으로 이송하는 공급구간과 미세입자가 적층된 호퍼 상부공간을 연통시켜 압력이 동일하게 형성되도록 하여 압력차에 의해 공급정체와 과잉공급되는 현상을 방지해 고압에서도 사용할 수 있는 장치의 제공을 또 다른 목적으로 한다.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 미세입자 정량공급장치는,

고압조건에서 미세입자를 정량공급하는 장치에 있어서, 미세입자를 저장하는 호퍼와, 상기 호퍼에 연통하여 미세입자를 정량 배출시키는 정량공급스크류로 구성되는 정량공급수단과; 상기 정량공급수단과 일단이 연통되어 정량공급받은 미세입자를 인젝터의 고압공기에 의해 사용챔버로 고압이송시키는 미세입자공급관과; 압축기에서 생성된 고압공기를 인젝터로 공급하는 고압공기공급관과; 미세입자공급관과 호퍼의 상부공간을 연통시켜 두 공간의 압력을 동일하게 유지시키고, 유로상에는 단속밸브를 설치하여 개폐가 이루어지는 압력평형관;을 포함하여 구성된다.

상기 호퍼는 하부에 점진적으로 폭이 좁아지는 협소부가 형성되고, 협소부의 하단에는 적층된 미세입자를 외부로 배출시키는 단속밸브가 설치된 외부배출구가 형성되며, 상기 정량공급스크류는 상기 호퍼 협소부의 중간부분에 삽통되어 정량공급스크류의 중간부분이 호퍼 내부에 표출되도록 설치되고, 상기 호퍼 외부의 정량공급스크류의 양단부측은 스크류관에 내포되도록 하되, 배출측 스크류관은 단부에서 이격된 내측의 하부에 미세입자공급관과 연통되어 정량 이동된 미세입자가 배출되도록 구성할 수 있다. 이 때 상기 호퍼 내부에는 양측으로 연통된 스크류관을 연결하고 상부가 개구된 반원관을 더 구비하여 호퍼 내부로 표출된 정량공급스크류의 하부를 지지하여 축이 휘는 것을 방지할 수 있다.

상기 해결수단에 의한 본 발명의 미세입자 정량공급장치는,

호퍼의 중간부분에 정량공급스크류를 삽통시켜 브리지생성을 방지하면서 연속적인 미세입자의 공급이 가능하도록 하였다. 특히 압력평형관을 더 설치하여 호퍼 상부공간과 미세입자공급관의 압력을 동일하게 형성하여 압력차에 의해 호퍼에 저장된 미세입자가 공급되지 않거나 반대로 미세입자공급관으로 빨려들어오는 것을 방지함으로써 고압조건에서도 미세입자 또는 공급물질을 정량공급 할 수 있는 장치의 제공이 가능하게 되었다.

도 1은 본 발명에 따른 미세입자 정량공급장치의 전체 구성을 도시한 개략도
도 2는 본 발명에 따른 정량공급수단의 다른 실시예를 도시한 개량도.
도 3은 본 발명에 따른 인젝터의 설치예를 설명하기 위한 도 1의 A부분 확대도.
도 4는 종래 미분탄 정량공급장치를 도시한 개략도.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다. 그러나 첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상의 내용과 범위를 쉽게 설명하기 위한 예시일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되거나 변경되는 것은 아니다. 또한 이러한 예시에 기초하여 본 발명의 기술적 사상의 범위 안에서 다양한 변형과 변경이 가능함은 당업자에게는 당연할 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 미세입자 정량공급장치의 전체 구성을 도시한 개략도이다.

참조한 바와 같이 본 발명에 따른 미세입자 정량공급장치(10)는 미세입자를 저장하는 호퍼(21)와 정량공급스크류(22)로 구성되는 정량공급수단(20)과, 상기 정량공급수단으로부터 공급받은 정량 미세입자를 사용챔버로 이송시키는 미세입자공급관(30)과, 상기 미세입자공급관에 이송기체로 고압공기를 공급하는 고압공기공급관(40)과, 미세입자공급관과 정량공급수단의 호퍼 상부공간을 연통시켜 압력이 동일하게 형성되도록 하는 압력평형관(50)으로 구성된다.

상기 정량공급수단(20)은 미세입자를 저장하는 호퍼(21)와 상기 호퍼에 삽통설치되어 미세입자를 정량배출시키는 정량공급스크류(22)로 구성된다.

상기 호퍼(21)는 미세입자를 저장하는 통체로, 하부는 점진적으로 폭이 좁아지는 상광하협의 협소부(211)로 구성하여 이에 설치되는 정량공급스크류(22)로 미세입자가 용이하게 공급되도록 하며, 상기 협소부(211)는 폭방향만 좁아지도록 하거나 폭방향과 길이방향 모두 좁아지도록 하는 원뿔형태로 제공될 수 있다. 상기 호퍼(21)의 상부에는 덮개를 구비하여 내부에 미세입자를 공급한 다음 상부공간을 밀폐시켜 외부의 공기 또는 이물질이 유입되는 것을 차단하면서 고압조건시 내부압력이 손실되지 않도록 유지시키도록 한다. 또한 상기 호퍼의 하단에는 외부배출구(212)가 형성되며, 상기 외부배출구에는 단속밸브를 형성하여 내부 오염물질을 제거하거나 내부적재물을 완전 제거할시 단속밸브를 개방하여 적재된 미세입자를 외부로 배출시키도록 한다.

상기 정량공급스크류(22)는 일단에 모터가 연결되어 모터로부터 동력을 전달받아 회전한다. 상기 정량공급스크류(22)는 스크류관(23)에 축설되어 스크류관에 의해 지지가 이루어지면서 미세입자를 정량으로 이송시킨다. 즉, 상기 정량공급스크류(22)는 호퍼의 협소부(211) 중간부분에 수평으로 삽통설치되어 정량공급스크류(22)의 중간부분은 호퍼(21) 내부에 표출되고 양측으로는 호퍼 외부에 수평으로 연결된 스크류관(23) 내부에 안치되어 지지가 이루어지도록 한다. 상기 스크류관(23)은 도면을 참조한 바와같이 중간부분이 호퍼에 의해 분리된 형태로 제공된다. 상기 스크류관(23)의 일측은 단부에 모터가 연결되어 모터동력을 내부의 정량공급스크류로 전달하여 정량공급스크류(22)를 회전시키고, 스크류관의 타측은 미세입자공급관(30)과 연통되어 정량공급스크류에 의해 정량이동된 미세입자를 미세입자공급관으로 공급되도록 한다. 상기 스크류관의 단부에는 정량공급스크류의 연속 회전에 의해 미세입자가 압착될 수 있으므로, 상기 스크류관과 미세입자공급관의 연통부분은 스크류관 단부에서 길이방향으로 일정거리 내측의 이격된 부분에 위치시켜 압착없이 미세입자의 공급이 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.

상기 호퍼(21) 내부공간에 위치하는 정량공급스크류(22)는 스크류관(23)의 지지없이 노출된 상태에서 회전되어 적재된 미세입자를 미세입자공급관과 연통된 스크류관측으로 유입시킨다. 상기 호퍼가 대용량이거나 호퍼 내부에 표출되는 정량공급스크류의 길이가 길 경우 정량공급스크류(22)는 축이 휘어지는 현상이 발생될 수 있으므로, 상기 호퍼 내부에는 도 2에 도시된 바와같이 양측 스크류관과 연결되면서 정량공급스크류의 하부를 지지할 수 있는 반원관(24)이 더 구비될 수 있다.

상기 반원관(24)은 상부가 개구된 형태로 형성하여 반원관 상부로 미세입자가 적층될 수 있도록 하여 연속적으로 미세입자가 정량공급될 수 있도록 할 수 있다.

또한 상기 반원관(24)은 다수의 통공이 형성된 다공관으로 형성하여 미세입자가 반원관의 통공을 통해 하부로 배출되어 반원관 하부에도 적층이 이루어지도록 함으로써 반원관 하부공간이 공동화되는 것을 방지할 수 있다. 상기 반원관 하부에 공동화된 공간이 발생되면 정량공급스크류에 의해 미세입자를 정량공급하는 과정에서 공동화공간 양측에 적층된 미세입자가 무너져 공동화공간이 메워지는 현상이 발생된다. 이는 반원관 상부에 적층되는 미세입자까지 양측으로 배출될 수 있어 정량공급스크류에 의해 이송되는 미세입자량이 불균일해질 수 있다. 따라서, 반원관을 다수의 통공이 형성된 다공관으로 형성함으로써 반원관 하부에 공동화된 공간이 발생되는 것을 억제하여 미세입자를 안정적으로 정량공급할 수 있다. 또한, 적층된 미세입자가 반원관을 지지하여 반원관에 작용하는 하향하중을 소량 감쇄시키는 효과도 제공한다.

상기 미세입자공급관(30)은 정량공급수단(20)에 의해 정량공급되는 미세입자를 공급받아 사용챔버인 연소로 또는 건조기에 공급하는 관이다. 도시된 바와 같이 상기 미세입자공급관(30)은 T형관(31)과 평관인 이송관(32)으로 구분될 수 있으며, 상기 T형관(31)은 일단이 정량공급수단(20)과 연통되어 미세입자를 정량공급받고, T형관(31)의 다른 단부에는 이송관(32)이 연결되어 미세입자를 이송시킨다. 이 때 상기 미세입자공급관(30)은 미세입자를 정량공급하는 정량공급수단의 스크류관(23) 하부와 T형관(31)의 수직부분을 연통시키는 수직배관에 의해 미세입자가 자중에 의해 하강이 이루어지도록 한다.

상기 미세입자공급관(30)에는 고압공기공급관(40)이 연통설치되어 이송기체인 고압공기를 유입시킨다. 상기 고압공기공급관(40)은 미세입자공급관의 T형관(31)에서 수평의 양단부 중 일측단부에 연통되어 고압공기를 유입시킨다. 즉, 미세입자공급관의 T형관(31)은 수직관부분이 정량공급수단(20)과 연통되어 미세입자를 공급받고, T형관의 수평관부분의 일측단부에는 고압공기공급관(40)이 연통되고, 타측 단부는 미세입자공급관의 이송관(32)이 연통된다. 따라서, 고압공기공급관(40)은 T형관에서 이송관이 배관된 수평방향으로 고압공기를 송풍시켜 저항을 최소화하면서 고압공기를 공급시킨다.

상기 고압공기공급관(40)은 일단이 압축기(41)와 연결되어 압축기에서 생성된 압축공기를 연속 공급받고, 타단은 미세입자공급관의 T형관(31)과 연통되어 압축공기를 미세입자공급관 내부로 주입시킨다. 이때 상기 미세입자공급관과 연통된 부분에는 인젝터(42)를 설치하여 압축공기를 고압으로 분사해 상부로부터 떨어지는 미세입자를 미세입자공급관의 이송관을 통해 사용 챔버로 이송시킨다. 여기서 인젝터(42)의 단부는 T형관(31)에서 3개 유로로 분기된 분기부분(311)에 위치하도록 하여 상부에서 하강하는 미세입자의 유입을 방해하지 않으면서 인젝터에 의해 분사되는 고압공기를 최대한 이송관 부분으로 전량 공급하여 T형관의 분기된 부분에서 내벽에 부딪혀 와류가 발생되는 것을 억제해 분사압력을 최소화하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 인젝터(42)는 도 3을 참조한 바와 같이 단부로 갈수록 외경을 점진적으로 작게 형성하여 분기부분(311)의 유로를 막는 것을 최소화하면서 이송관과 연통된 유로로 최대한 가깝게 설치되게 할 수 있다.

다음으로 상기 압력평형관(50)은 미세입자공급관(30)과 정량공급수단의 호퍼(21) 상부공간을 연통시켜 두 공간의 압력을 평형화시키는 관체인다. 도시된 바와 같이 상기 압력평형관(50)의 단부는 미세입자공급관(30) 중 이송관(32) 부분과 연통되어 호퍼와 연결된다. 이는 미세입자공급관의 T형관(31) 부분은 인젝터와 가깝기 때문에 인젝터(42) 출구에서만 발생되는 큰 압력이 작용함으로 미세입자공급관의 내부 구동압력 보다 상대적으로 높은 압력을 갖게 된다. 따라서, 이 부분을 호퍼 상부공간과 연통시키면, 최종적으로는 호퍼 상부공간의 압력이 미세입자 정량공급장치의 내부 구동압력보다 높게 형성됨으로 역류현상이 발생되어 정량공급수단으로부터 미세입자의 배출이 용이하게 이루어지지 않는다. 그러므로, 고압공기 분산시 순간적인 고압이 발생되는 인젝터(42)와는 일정거리 이격된 부분에 압력평형관(50)을 연통시켜 사용되는 내부압력으로 호퍼 내부의 상측 공간 압력을 형성하여 압력평형이 이루어지게 함으로써 고압조건에서도 정량공급스크류(22)에 의한 미세입자 정량공급이 가능하게 할 수 있다.

본 발명의 미세입자 정량공급장치(10)는 호퍼세척관(60)이 더 설치된다. 상기 호퍼세척관은 일단이 고압공기공급관(40)과 연통되고 타단은 호퍼(21)상부공간으로 연통되며 유로상에는 단속밸브가 설치되어 필요시 단속밸브를 개방하여 고압공기공급관의 고압공기가 직접 호퍼로 공급되도록 한다.

이러한 호퍼세척관(60)은 호퍼에 저장된 미세입자를 정량공급과는 무관하게 즉시 전량 사용챔버로 공급하여 소진시켜 호퍼를 비울 때 작동시킬 수 있다.

예컨대 호퍼세척관(60)의 단속밸브를 개방하고, 압력평형관(50)의 단속밸브를 닫으면 고압공기는 호퍼와 미세입자공급관에 동시에 공급된다. 호퍼(21)로 공급된 고압공기는 정량스크류의 구동과는 상관없이 저장된 미세입자를 미세입자공급관(30)으로 강제압출시켜 사용챔버로 공급하여 호퍼에 저장된 미세입자를 신속하게 제거한다.

이때 호퍼 하단인 정량공급스크류 하부에는 고압공기의 송풍력이 미치지 않아 잔량의 미세입자가 정체될 수 있으므로, 호퍼(21)의 외부배출구(212)에 설치된 단속밸브를 개방하여 고압공기에 의해 잔량의 미세입자가 외부배출구로 배출되도록 하여 호퍼 내부에 적층된 미세입자를 완전 제거할 수 있다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 미세입자 정량공급장치는,

사용챔버로 미세입자를 정량공급시에는 호퍼세척관(60)과 호퍼하부의 외부배출구(212)에 각각 형성된 단속밸브를 차단시키고, 압력평형관(50)의 단속밸브는 개방하여 호퍼(21)의 적층된 미세입자 상부 공간과 미세입자공급관(30) 내부 압력이 평행되도록 유지시키고, 다음으로 정량공급스크류(22)를 작동시켜 정량공급스크류의 작동에 의해서만 미세입자가 정량공급되도록 한다.

또한, 호퍼 내부에 적층된 미세입자를 제거하기 위해서는 일단 압력평형관(50)의 단속밸브를 차단하고, 호퍼세척관(60)의 단속밸브를 개방하여 고압공기공급관(40)의 고압공기가 직접 호퍼상부로 공급하게 하여 공압공기의 압력에 의해 호퍼(21)에 저장된 미세입자는 정량공급스크류(22)의 틈을 통해 미세입자공급관(30)으로 강제 이송된다.

호퍼(21)의 미세입자가 거의 제거되었을 때에는 호퍼 하부의 외부배출구(212)에 형성된 단속밸브를 개방하여 잔량의 미세입자는 외부배출구를 통해 배출시켜 호퍼 내부가 완전하게 비워지도록 할 수 있다.

10 : 미세입자 정량공급장치
20 : 정량공급수단
21 : 호퍼 22 : 정량공급스크류
23 : 스크류관 24 : 반원관
211 : 협소부 212 : 외부배출구
30 : 미세입자공급관
31 : T형관 32 : 이송관
311 : 분기부분
40 : 고압공기공급관
41 : 압축기 42 : 인젝터
50 : 압력평형관
60 : 호퍼세척관

Claims (5)

1. 고압조건에서 미세입자를 정량공급하는 장치에 있어서,
   미세입자를 저장하는 호퍼(21)와, 상기 호퍼에 연통하여 미세입자를 정량 배출시키는 정량공급스크류(22)로 구성되는 정량공급수단(20)과;
   상기 정량공급수단과 일단이 연통되어 정량공급받은 미세입자를 인젝터(42)의 고압공기에 의해 사용챔버로 고압이송시키는 미세입자공급관(30)과;
   압축기(41)에서 생성된 고압공기를 인젝터(42)를 통해 미세입자공급관으로 공급하는 고압공기공급관(40)과;
   미세입자공급관(30)과 호퍼(21)의 상부공간을 연통시켜 두 공간의 압력을 동일하게 유지시키고, 유로상에는 단속밸브를 설치하여 개폐가 이루어지는 압력평형관(50);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 미세입자 정량공급장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 고압공기공급관(40)과 호퍼(21) 상부공간을 연통시키고, 유로상에는 개폐가 이루어지는 단속밸브를 설치하여 호퍼 세척시 고압공기를 직접 호퍼로 공급시키는 호퍼세척관(60)이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 미세입자 정량공급장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 호퍼(21)는 하부에 점진적으로 폭이 좁아지는 협소부(211)가 형성되고, 협소부의 하단에는 적층된 미세입자를 외부로 배출시키는 단속밸브가 설치된 외부배출구(212)가 형성되며,
   상기 정량공급스크류(22)는 상기 호퍼 협소부(211)의 중간부분에 삽통되어 정량공급스크류의 중간부분이 호퍼 내부에 표출되도록 설치되고, 상기 호퍼 외부의 정량공급스크류의 양단부측은 스크류관(23)에 내포되도록 하되, 배출측 스크류관은 단부에서 이격된 내측의 하부에 미세입자공급관(30)과 연통되어 정량 이동된 미세입자가 배출되도록 구성된 것을 특징으로 하는 미세입자 정량공급장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 호퍼(21) 내부에는 양측으로 연통된 스크류관(23)을 연결하고 상부가 개구된 반원관(24)을 더 구비하여 호퍼 내부로 표출된 정량공급스크류(22)의 하부를 지지하여 축이 휘는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 미세입자 정량공급장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 반원관(24)은 다수의 통공이 형성된 다공관으로 형성하여 미세입자가 반원관 하부에도 적층되어 반원관을 지지하도록 한 것을 특징으로 하는 미세입자 정량공급장치.

Images