KR20140125654A - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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Abstract

처리실과 로딩실을 포함하는 배치식 기판 처리 장치에 이용되는 본 발명의 종형 기판 보지부는, 복수의 기판을 종방향으로 보지하는 기판 보트; 상기 기판 보트의 일면에 배치되며, 상기 처리실과 상기 로딩실의 사이에 형성된 개구부를 개폐하는 캡; 및 상기 캡의 측면에 형성되며, 상기 캡의 외측으로 가스를 분사하기 위한 분사구를 포함한다. 또한, 처리실과 로딩실을 포함하는 배치식 기판 처리 장치에 이용되는 본 발명의 오토 셔터는, 상기 처리실과 상기 로딩실의 사이에 형성된 개구부를 개폐 가능하도록 구성된 덮개체; 복수의 기판을 종방향으로 보지하는 기판 보트를 상기 처리실 내에 반입할 경우에 상기 개구부를 열고, 상기 기판 보트가 상기 로딩실로 반출된 경우에 상기 개구부를 막도록 상기 덮개체를 구동하는 구동부; 및 상기 덮개체의 측면에 형성되며, 상기 덮개체의 외측으로 가스를 분사하기 위한 분사구를 포함한다. 본 발명의 기판 처리 장치는 상기 종형 기판 보지부 및 상기 오토 셔터 중 적어도 하나를 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD}
본 발명은 복수의 기판에 대한 소정의 처리를 행하는 배치식 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 장치의 하나로서, 다수의 반도체 기판에 대하여 일괄(배치)로 처리를 행하는 종형 기판 처리 장치가 있다. 이 기판 처리 장치에서는, 다수 매의 기판을 선반 형상으로 보유 지지한 기판 보트를 처리실 내에 반입하여, 다수 매의 기판에 대하여 동시에 처리를 행한 후, 기판 보트를 처리실로부터 로딩실로 반출하는 것이 행해지고 있다.
상기 처리실에는 하방 측에 개구부가 형성되어 있고, 이 개구부를 통해 기판 보트를 상승시킴으로써 기판 보트를 처리실 내에 반입하도록 구성되어 있다. 이때, 처리실의 개구부는, 기판 보트의 하방에 설치된 캡에 의해 막아지도록 되어 있다. 또한, 기판 보트를 반출했을 때에는, 처리실 내의 열의 방출을 억제하기 위해서, 상기 개구부는 상기 캡과는 별개로 설치된 오토 셔터에 의해 막아지도록 구성되어 있다.
하지만, 이러한 종래의 기술에서는, 오터 셔터를 여는 경우나, 캡을 여는 경우에, 로딩실 내의 파티클 등에 의해 기판이 오염되는 문제가 있었다.
특허 문헌 1에서는 상기 문제를 해결하기 위해, 측면에 설치된 가스 분사구로부터 불활성 가스를 분사함으로써 가스 커튼을 형성하여, 파티클 등의 오염 물질이 처리실 내로 혼입되는 것을 방지하고 있으나, 이러한 구성으로는 기판 보트가 반입 또는 반출되는 때에 불활성 가스가 기판 보트를 향해 직접 분사되기 때문에, 분사된 불활성 가스에 의해 파티클 등의 오염 물질이 기판에 부착되어 버려서 기판을 오염시키는 문제가 있었다.
일본공개특허 평11-329987호
본 발명은, 이러한 사정 하에 이루어진 것으로서, 처리실 내에 혼입되는 파티클을 저감하여, 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있는 기술을 제공하는 것에 그 목적이 있다.
상술한 기술적 과제를 해결하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 제 1 측면에 따른 종형 기판 보지부는, 처리실과 로딩실을 포함하는 배치식 기판 처리 장치에 이용되는 것으로서, 복수의 기판을 종방향으로 보지하는 기판 보트; 상기 기판 보트의 일면에 배치되며, 상기 처리실과 상기 로딩실의 사이에 형성된 개구부를 개폐하는 캡; 및 상기 캡의 측면에 형성되며, 상기 캡의 외측으로 가스를 분사하기 위한 분사구를 포함한다.
본 발명의 제 2 측면에 따른 오토 셔터는, 처리실과 로딩실을 포함하는 배치식 기판 처리 장치에 이용되는 것으로서, 상기 처리실과 상기 로딩실의 사이에 형성된 개구부를 개폐 가능하도록 구성된 덮개체; 복수의 기판을 종방향으로 보지하는 기판 보트를 상기 처리실 내에 반입할 경우에 상기 개구부를 열고, 상기 기판 보트가 상기 로딩실로 반출된 경우에 상기 개구부를 막도록 상기 덮개체를 구동하는 구동부; 및 상기 덮개체의 측면에 형성되며, 상기 덮개체의 외측으로 가스를 분사하기 위한 분사구를 포함한다.
본 발명의 제 3 측면에 따른 기판 처리 장치는, 복수의 기판에 대한 처리를 행하는 배치식 기판 처리 장치로서, 복수의 기판을 수용하여 처리하기 위한 처리실; 상기 처리실의 일측에 배치된 로딩실; 복수의 기판을 종방향으로 보지하는 기판 보트; 상기 기판 보트의 일면에 배치되며, 상기 처리실과 상기 로딩실의 사이에 형성된 개구부를 개폐하는 캡; 및 상기 로딩실 내에 배치되며, 상기 개구부를 개폐하는 오토 셔터를 포함하며, 상기 캡 및 오토 셔터 중 적어도 하나는 그 측면에 외측으로 가스를 분사하기 위한 분사구를 포함한다.
본 발명의 제 4 측면에 따른 기판 처리 방법은, 복수의 기판에 대한 처리를 행하는 배치식 기판 처리 방법으로서, 오토 셔터에 의해 처리실과 로딩실의 사이에 형성된 개구부를 여는 경우에, 상기 오토 셔터의 외측으로 가스를 분사하는 공정; 상기 로딩실 내에 배치된 기판 보트를 상기 처리실 내로 반입하는 공정; 상기 처리실 내에서 복수의 기판을 처리하는 공정; 상기 기판 보트를 상기 로딩실로 반출하는 경우에, 상기 기판 보트의 일면에 배치된 캡의 외측으로 가스를 분사하는 공정; 및 상기 오토 셔터에 의해 상기 개구부를 닫는 공정을 포함한다.
전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 기판 보트가 처리실로부터 로딩실로 반출되는 때에, 처리실과 로딩실 사이의 개구부가 개방되는 경우에 기판 보트의 일면에 배치된 캡의 외측으로 가스를 분사하여, 처리실과 로딩실의 사이에 경계(Demarcation)를 형성함으로써, 처리실과 로딩실 사이의 압력 차이에 의한 기류 변화가 생기더라도, 처리실 쪽으로 파티클 등의 오염 물질이 흘러 들어가는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 기판 보트를 처리실 내로 반입하기 위해 오토 셔터가 개방되는 경우에 오토 셔터의 외측으로 가스를 분사하여, 처리실과 로딩실의 사이에 경계를 형성함으로써, 처리실과 로딩실 사이의 압력 차이에 의한 기류 변화가 생기더라도, 처리실 쪽으로 파티클 등의 오염 물질이 흘러 들어가는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 가스가 직접 기판 보트를 향해 분사되지 않으므로, 파티클 등의 오염 물질이 기판에 부착되는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 종형 기판 보지부 및 오토 셔터를 포함하는 기판 처리 장치의 단면도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리실, 종형 기판 보지부 및 오토 셔터를 나타내는 개략 사시도이다.
도 3의 (a) 및 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 오토 셔터의 분사구를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4의 (a) 및 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 오토 셔터의 분사구를 설명하기 위한 측면도이다.
도 5의 (a) 및 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 오토 셔터의 분사구의 가스 분사 방향을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6a 내지 6d는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에 있어서, 기판이 처리되는 단계 별로 오토 셔터 또는 캡으로부터 가스가 분사되는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고, 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
기술에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 기술의 권리범위는 본 명세서에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 본 발명의 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로, 설명된 기술의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 설명된 기술에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 그 목적 또는 효과를 전부 포함하여야 한다거나 제시된 효과만을 발휘하여야 한다는 의미는 아니므로, 설명된 기술의 권리범위는 그 목적 및 효과에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(1)는 처리실(2) 및 로딩실(3)을 포함한다.
처리실(2)에는 내부에 복수의 기판을 수용할 수 있는 공간이 형성되어 있으며, 복수의 기판을 동시에 처리할 수 있도록 구성되어 있다. 처리실(2)은 쿼츠(quartz)로 형성될 수 있으며, 처리실(2)의 주위에는 상기 처리실(2)을 가열하기 위한 히터(미도시)가 설치될 수 있다.
도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 처리실(2)의 측면에는, 처리실(2) 내에 처리 가스를 공급하기 위한 처리 가스 공급로(21)와, 이 처리실(2) 내의 분위기를 배기하기 위한 배기로(22)가 접속될 수 있다. 이들 처리 가스 공급로(21) 및 배기로(22)는 각각 도시하지 않은 처리 가스 공급원 및 배기 기구에 접속되어 있다.
로딩실(3)은 처리실(2)의 일측(예를 들어, 하부측)에 설치되며, 처리실(2)로 기판이 반입되기 이전 또는 반출된 이후에 기판이 머무르는 공간을 제공한다. 로딩실(3)의 내부는 질소 가스(N2) 또는 청정 공기가 순환되고 있거나 진공(vacuum) 상태일 수 있다. 로딩실(3)의 일측에는 도시되지 않은 순환 장치가 설치될 수 있으며, 이에 의해 로딩실(3) 내부의 가스가 순환될 수 있다.
처리실(2)과 로딩실(3)의 사이에는 기판이 반입 또는 반출될 수 있도록 개구부(20)가 형성되어 있다.
로딩실(3)에는 종방향으로 다수의 기판을 지지하도록 구성된 종형 기판 보지부(4)가 배치되어 있다. 종형 기판 보지부(4)는 다수 매의 기판(W)을 선반 형상으로 배열하여 보지하는 기판 보트(41)와, 상기 기판 보트(41)가 처리실(2) 내에 반입되었을 때 처리실(2)과 로딩실(3)의 사이에 형성된 개구부(20)를 닫을 수 있도록 상기 기판 보트(41)의 일측(예를 들어, 하부측)에 배치된 캡(42)을 포함하고 있다.
기판 보트(41)는, 다수 매의 기판(W)을 선반 형상으로 배열하여 보지할 수 있도록 구성되어 있으며, 상하 운동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 기판 보트(41)는, 천정판(41A)과 바닥판(41B)의 사이에 복수 개의 지주(41C)가 설치되고, 이 지주(41C)에 형성된 홈부 또는 돌기부에 기판(W)의 주연부가 보지되도록 형성되어 있다. 예를 들어, 기판 보트(41)에는 약 100매의 기판(W)이 소정의 간격으로 상하로 배열되어 보지되도록 구성되어 있다. 상기 바닥판(41B)의 하부에는 지지부(41D)가 설치되어 있다. 상기와 같이 구성된 기판 보트(41)는, 예를 들어 쿼츠에 의해 형성될 수 있다.
또한, 기판 보트(41)의 일측에 배치된 캡(42)은 처리실(2)과 로딩실(3) 사이의 개구부(20)를 막을 수 있는 크기 및 형상을 가지며, 예를 들어 스테인리스로 형성될 수 있다. 또한, 캡(42)의 처리실(2) 측의 면은 쿼츠로 형성된 커버(미도시)를 포함할 수도 있다. 캡(42)의 측면에는 캡(42)의 외측으로 가스를 분사할 수 있도록 분사구(43)가 형성되어 있다.
로딩실(3) 내에는 기판 보트(41)에 의해 종방향으로 지지된 기판(W)을 처리실(2) 내로 반입할 수 있도록 종형 기판 보지부(4)를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 승강 기구(미도시)가 설치되어 있다. 상기 승강 기구에 의해, 기판 보트(41)는 처리실(2) 내의 로드 위치와 로딩실(3) 내의 언로드 위치 사이에서 승강 가능하게 되어 있다. 로드 위치란, 기판 보트(4)가 처리실(2) 내로 반입되어 개구부(20)를 캡(42)이 막는 처리 위치이며, 언로드 위치란, 기판 보트(4)가 처리실(2)의 외부로 반출되는 위치(예를 들어, 도 1에 표시된 위치)이다.
또한, 로딩실(3)에는 기판(W)을 로딩실(3) 내로 반입하거나 로딩실(3) 외부로 반출하는 동작을 행하는 웨이퍼 반송기구(미도시)가 구비될 수 있다.
또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 로딩실(3)의 일측에는 처리실(2)과 상기 로딩실(3)의 사이에 형성된 개구부(20)를 개폐하도록 구성된 오토 셔터(5)가 설치되어 있다. 오토 셔터(5)는 로딩실(3)의 천정 하부측에 설치될 수 있으며, 또는 로딩실(3)의 측벽부에 설치될 수도 있다.
도 2a 및 2b를 참조하면, 오토 셔터(5)는 개구부(20)를 덮을 수 있도록 형성된 덮개체(51), 상기 덮개체(51)를 구동하는 구동부(52) 및 상기 덮개체의 측면에 형성된 분사구(53)를 포함하고 있다.
덮개체(51)는 개구부(20)를 막는 크기 및 형상을 가지며, 예를 들어 스테인리스로 형성될 수 있다. 또한, 덮개체(51)의 처리실(2) 측의 면은 쿼츠로 형성된 커버(미도시)를 포함할 수도 있다.
또한, 구동부(52)는 개구부(20)를 막는 위치와, 개구부(20)를 개방하는 위치 사이에서 덮개체(51)를 이동시키는 역할을 하며, 여기서 개구부(20)를 개방하는 위치란 개구부(20)의 측방의 위치일 수 있다.
도 2a에 따른 일 예에서, 구동부(52)는 승강 기구(52A), 회전 기구(52B) 및 덮개체(51)를 지지하는 지지 부재(52C)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 지지 부재(52C)에 의해 지지된 덮개체(51)를 승강 또는 회전시킴으로써 개구부(20)를 열거나 닫을 수 있다.
도 2b에 따른 다른 예에서, 구동부(52)는, 회전 기구(52B) 대신에 진퇴 기구(52B’)를 구비하여, 지지 부재(52C)에 지지된 덮개체(51)를 수평 방향으로 진퇴시킴으로써 개구부(20)를 열거나 닫도록 할 수도 있다.
상기 덮개체(51)의 측면에는 분사구(53)가 형성되어 있으며, 분사구(53)를 통해 덮개체(51)의 외측, 예를 들어 반경방향 외측으로 가스를 분사할 수 있도록 되어 있다.
이하에서는, 도 3 내지 도 5를 참조하여, 오토 셔터(5)의 덮개체(51)의 측면에 형성된 분사구(53)를 구체적으로 설명한다.
도 3의 (a)에 도시되어 있는 바와 같이, 분사구(53)는 덮개체(51)의 반경방향 외측으로 가스를 분사하도록 형성될 수 있다. 가스의 분사가 균일하게 이루어지도록, 바람직하게는 상기 분사구(53)는 덮개체(51)의 외주면에 균일하게 형성되어 있을 수 있다.
또는, 도 3의 (b)에 도시되어 있는 바와 같이, 분사구(53)는 분사되는 가스가 덮개체(51)의 외측으로 소용돌이 형상으로 분사되도록 형성될 수도 있다.
구체적인 분사구(53)의 구성을 살펴보면, 도 4의 (a)에 도시된 예에서는, 덮개체(51)의 측면에 분사구(53)가 복수의 슬롯을 포함하도록 형성되어 있을 수 있다. 또한, 도 4의 (b)에 도시된 다른 예에서는, 덮개체(51)의 측면에 분사구(53)가 복수의 홀을 포함하도록 형성되어 있을 수도 있다.
도 5를 참조하여 가스의 분사 방향을 설명하면, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 분사구(53)는 수평 방향으로 형성될 수 있으며, 이 경우 가스는 덮개체(51)의 외측으로 수평 방향을 따라 분사된다. 또는, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 분사구(53)는 수평 방향으로부터 로딩실(3) 측을 향해 소정의 각도를 이루도록 형성될 수 있다. 상기 ‘소정의 각도’는 처리실(2)과 로딩실(3) 사이의 압력 차이에 의해 발생하는 기류를 방지하기 위한 최적의 각도로 결정될 수 있다. 또한, 도 5의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 덮개체(51)의 내부에는 도시되지 않은 가스 공급원으로부터 가스를 분사구(53)로 공급하기 위한 가스 유로(54)가 형성되어 있다. 상기 가스 유로(54)는 유량 제어를 위한 유량 제어 장치(55)에 연결되어 있어, 분사구(53)에 공급되는 가스의 유량이 제어된다. 유량 제어 장치(55)로는, 예를 들어 MFC(Mass Flow Controller) 또는 MFM(Mass Flow Meter)가 사용될 수 있다. 유량 제어 장치(55)는 레시피와 연동되도록 프로그램화되어, 레시피에 따라 가스의 유량이 제어될 수도 있다. 예를 들어, 기판 보트(41)를 로딩실(3)로 반출하기 위해 개구부(20)가 열리는 경우에 가스를 분사하도록, 또는 기판 보트(41)를 처리실(2)로 반입하기 위해 개구부(20)가 열리는 경우에 가스를 분사하도록, 가스 분사가 제어될 수 있다. 분사구(53)로 공급되는 가스로는 N2, Ar, He 등의 불활성 가스, 또는 청정 공기가 사용될 수 있다.
한편, 캡(42) 및 캡(42)의 측면에 형성된 분사구(43)는 오토 셔터(5)의 덮개체(51) 및 그 측면에 형성된 분사구(53)와 동일 또는 유사한 구조를 가질 수 있다. 따라서, 캡(42) 및 캡에 형성된 분사구(43)에 관한 상세한 설명은 생략한다.
이하, 도 6a 내지 도 6d를 참조하여, 본 발명의 일 실시예의 가스 분사 방법을 설명한다. 한편, 도시의 편의상, 도 6a 내지 도 6d에 있어서는, 처리 가스 공급로(21) 및 배기로(22)를 생략하고 있다.
기판 보트(41) 상에 기판의 탑재(charging)가 완료되면, 기판(W)에 대한 처리를 행하기 위해, 오토 셔터(5)가 열리며, 이에 따라 처리실(2)과 로딩실(3) 사이의 개구부(20)가 개방된다. 도 6a는 기판 처리가 행해지기 전, 기판 보트(41)가 로딩실(3) 내의 언로드 위치에 있는 상태에서, 오토 셔터(5)가 열리는 경우를 나타내고 있다. 오토 셔터(5)가 열리면, 처리실(2)과 로딩실(3) 사이의 압력 차이로 인하여, 로딩실(3)로부터 처리실(2)로의 기류가 형성된다. 이때, 오토 셔터(5)의 덮개체(51)의 측면으로부터 외측으로 가스(불활성 가스 또는 청정 공기)가 분사된다. 분사된 가스에 의해 처리실(2)과 로딩실(3) 사이에 경계(Demarcation)가 형성되며, 이에 따라 로딩실(3)로부터 처리실(2)로의 기류가 억제된다.
도 6b를 참조하면, 오토 셔터(5)가 열린 이후, 기판 보트(41)가 처리실 내로 반입된다. 기판 보트(41)는 도시되지 않은 승강 기구에 의해 승강됨으로써 처리실(2) 내로 반입되게 된다.
도 6c를 참조하면, 기판 보트(41)의 승강 동작이 완료되어 기판 보트(41)가 처리실(2) 내에 반입되면, 개구부(20)는 캡(42)에 의해 닫히고, 처리실(2)은 밀폐된 상태가 된다. 이후 처리실(2) 내에서 다수 매의 기판(W)에 대하여 일괄적으로 원하는 처리가 행해진다. 예를 들어, 확산 공정이나 증착 공정이 행해지는 경우, 각각의 공정에 적합하도록 압력, 온도, 가스 등을 제어함으로써 공정이 진행된다. 공정이 완료되면, 미반응 가스 등의 유독 가스(toxic gas)를 배출하도록 퍼지(purge) 동작을 행하고, 처리실(2)을 대기압 상태로 만든 후에, 캡을 여는 동작을 행한다.
도 6d는 기판 처리가 완료된 이후, 기판 보트(41)를 다시 로딩실(3) 내의 언로드 위치까지 반출하기 위해 캡이 열리는 경우를 도시하고 있다. 캡(42)이 열리면, 처리실(2)과 로딩실(3) 사이의 압력 차이로 인하여, 로딩실(3)로부터 처리실(2)로의 기류가 형성될 수 있다. 이 때, 캡(42)의 측면으로부터 외측으로 가스(불활성 가스 또는 청정 공기)가 분사된다. 분사된 가스에 의해 처리실(2)과 로딩실(3) 사이에 경계(Demarcation)가 형성되며, 이에 따라 로딩실(3)로부터 처리실(2)로의 기류가 억제된다.
이와 같이 하여, 기판의 처리를 행하기 위해 오토 셔터(5)가 열리거나 기판의 처리가 완료된 후 기판 보트(41)를 로딩실(3)로 반출하기 위해 캡(42)이 열리는 경우 등에 있어서, 오토 셔터(5)의 측면 또는 캡(42)의 측면으로부터 외측으로 가스를 분사함으로써, 처리실(2)과 로딩실(3) 사이에 경계를 형성하여 순간적인 압력 차이에 의한 기류로 인해 파티클 등의 오염 물질이 처리실(2) 내로 인입되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 있어서, 오토 셔터(5) 또는 캡(42)으로부터 분사되는 가스의 분사 방향은, 기판(W)에 대한 오염을 방지하기 위하여, 기판(W)이 탑재되어 있는 방향을 피하여 오토 셔터(5) 또는 캡(42)의 외측으로 설정되는 것이 바람직하다.
또한, 앞서 살펴본 바와 같이, 처리실(2)과 로딩실(3) 사이의 압력 차이에 의해 발생하는 기류를 보다 효과적으로 방지하기 위해서는, 상기 가스 분사 방향은 로딩실(3) 측으로 소정의 각도를 이루는 것이 더욱 바람직하다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1 : 기판 처리 장치
W : 기판
2 : 처리실
20 : 개구부
21 : 처리 가스 공급로
22 : 배기로
3 : 로딩실
4 : 종형 기판 보지부
41: 기판 보트
42: 캡
43: 분사구
5 : 오토 셔터
51 : 덮개체
52 : 구동부
53 : 분사구
54 : 가스 유로
55 : 유량 제어 장치

Claims (14)

  1. 처리실과 로딩실을 포함하는 배치식 기판 처리 장치에 이용되는 종형 기판 보지부에 있어서,
    복수의 기판을 종방향으로 보지하는 기판 보트;
    상기 기판 보트의 일면에 배치되며, 상기 처리실과 상기 로딩실의 사이에 형성된 개구부를 개폐하는 캡; 및
    상기 캡의 측면에 형성되며, 상기 캡의 외측으로 가스를 분사하기 위한 분사구
    를 포함하는 종형 기판 보지부.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 보트를 상기 로딩실로 반출하기 위해 상기 개구부가 열리는 경우에 상기 가스를 분사하도록, 상기 분사구의 가스 분사를 제어하는 제어부를 더 포함하는 종형 기판 보지부.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 가스는 불활성 가스 또는 청정 공기인 것을 특징으로 하는 종형 기판 보지부.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 분사구는 수평 방향으로 형성되거나, 또는 상기 로딩실 측으로 소정의 각도를 이루도록 형성되는 것을 특징으로 하는 종형 기판 보지부.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 분사구는 상기 캡의 측면 외주부에 홈 형상 또는 홀 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 종형 기판 보지부.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 캡의 내부에는 상기 분사구와 연결되는 가스 유로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 종형 기판 보지부.
  7. 처리실과 로딩실을 포함하는 배치식 기판 처리 장치에 이용되는 오토 셔터에 있어서,
    상기 처리실과 상기 로딩실의 사이에 형성된 개구부를 개폐 가능하도록 구성된 덮개체;
    복수의 기판을 종방향으로 보지하는 기판 보트를 상기 처리실 내에 반입할 경우에 상기 개구부를 열고, 상기 기판 보트가 상기 로딩실로 반출된 경우에 상기 개구부를 막도록 상기 덮개체를 구동하는 구동부; 및
    상기 덮개체의 측면에 형성되며, 상기 덮개체의 외측으로 가스를 분사하기 위한 분사구
    를 포함하는 오토 셔터.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판 보트를 상기 처리실로 반입하기 위해 상기 개구부가 열리는 경우에 상기 가스를 분사하도록, 상기 분사구의 가스 분사를 제어하는 제어부를 더 포함하는 오토 셔터.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 가스는 불활성 가스 또는 청정 공기인 것을 특징으로 하는 오토 셔터.
  10. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 분사구는 수평 방향으로 형성되거나, 또는 상기 로딩실 측으로 소정의 각도를 이루도록 형성되는 것을 특징으로 하는 오토 셔터.
  11. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 분사구는 상기 덮개체의 측면 외주부에 홈 형상 또는 홀 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 오토 셔터.
  12. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 덮개체의 내부에는 상기 분사구와 연결되는 가스 유로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 오토 셔터.
  13. 복수의 기판에 대한 처리를 행하는 배치식 기판 처리 장치에 있어서,
    복수의 기판을 수용하여 처리하기 위한 처리실;
    상기 처리실의 일측에 배치된 로딩실;
    복수의 기판을 종방향으로 보지하는 기판 보트;
    상기 기판 보트의 일면에 배치되며, 상기 처리실과 상기 로딩실의 사이에 형성된 개구부를 개폐하는 캡; 및
    상기 로딩실 내에 배치되며, 상기 개구부를 개폐하는 오토 셔터
    를 포함하며,
    상기 캡 및 오토 셔터 중 적어도 하나는 그 측면에 외측으로 가스를 분사하기 위한 분사구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  14. 복수의 기판에 대한 처리를 행하는 배치식 기판 처리 방법에 있어서,
    오토 셔터에 의해 처리실과 로딩실의 사이에 형성된 개구부를 여는 경우에, 상기 오토 셔터의 외측으로 가스를 분사하는 공정;
    상기 로딩실 내에 배치된 기판 보트를 상기 처리실 내로 반입하는 공정;
    상기 처리실 내에서 복수의 기판을 처리하는 공정;
    상기 기판 보트를 상기 로딩실로 반출하는 경우에, 상기 기판 보트의 일면에 배치된 캡의 외측으로 가스를 분사하는 공정; 및
    상기 오토 셔터에 의해 상기 개구부를 닫는 공정
    을 포함하는 기판 처리 방법.
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