KR20140119507A

KR20140119507A - 연마 장치

Info

Publication number: KR20140119507A
Application number: KR1020130035273A
Authority: KR
Inventors: 한정열; 남욱원; 나자경; 장비호; 박성준; 장정균
Original assignee: 한국 천문 연구원
Priority date: 2013-04-01
Filing date: 2013-04-01
Publication date: 2014-10-10
Also published as: KR101482842B1

Abstract

본 발명의 연마 장치 및 이를 이용한 연마 방법의 한 예는 외부 또는 내부에 연마 장치의 연마 구동 신호를 제어하는 제어부를 갖는 마운트, 상기 마운트에 장착되는 적어도 하나의 연마부자석 및 상기 마운트의 하단에 위치하며 상기 제어부의 구동신호에 의해 구동하는 연마모터의 동력을 받아 회전하여 비구면 미러 표면을 연마하는 연마헤드를 포함하는 연마부와 상기 연마부자석과 마주보게 위치하며 상기 연마부자석과 인력을 갖도록 극의 위치를 갖는 이동부자석, 상기 이동부자석이 장착되고, 장착된 상기 이동부자석을 y축 방향으로 이동시키는 y축레일 및 상기 y축레일의 양단에 장착되고, 장착된 상기 y축레일을 x축 방향으로 이동시키는 x축레일을 포함하는 이동부를 구비하며, 상기 이동부는 x축 및 y축 레일의 구동에 따라 상기 이동부자석의 위치가 이동될 때, 상기 연마부자석이 상기 이동부자석과의 자성에 의해 상기 이동부자석을 따라 이동하여 상기 연마부를 이동시킨다.

Description

연마 장치 및 이를 이용한 연마 방법{POLISHING APPARATUS AND POLISHING METHOD THEREOF}

본 발명은 연마 장치 및 이를 이용한 연마 방법에 관한 것이다.

비구면 렌즈는 여러 매의 구면 렌즈 조합을 대체할 수 있는 렌즈로서, 광학계를 경량화, 고정밀화, 저가격화할 수 있는 렌즈이다.

이러한 비구면 렌즈를 제조하기 위하여, 현재 정밀 절삭 가공기나 정밀 연삭기를 많이 사용하고 있으나, 이는 재료나 형상에 따라서 많은 제약 조건을 가지며, 비구면 형상의 창성 후에는 공구의 흔적이 남아있기 때문에 표면 거칠기를 개선하기 위해 별도의 정밀 연마를 해주어야 한다. 또한, 이러한 정밀 절삭 가공기나 정밀 연삭기는 상당히 고가의 장비이기 때문에 비구면 렌즈의 제조 가격을 상승시키는 요인이 되기도 한다.

이러한 문제를 해결하기 위하여 구면을 이용하는 비구면 연마장치가 개발되어 사용되고 있다. 이때, 비구면은 구면과는 달리 동일한 곡률 반경을 가지고 있지 않기 때문에 새로운 연마장치가 필요하다.

따라서, 비구면 연마장치는 비구면의 크기보다 작은 소형의 연마공구를 이용하여 공작물의 형상을 추종하면서 연마하는 방식이 일반적으로 사용되고 있다. 이때 연마 가공량은 주로 체재시간 제어방식을 이용하여 조절하는데, 이 체재시간 제어방식은 공작물에 가한 압력과 상대 속도의 곱을 일정하게 유지하면서 공구의 연마 체재시간으로 조절하는 방식이다.

어떠한 방식을 이용하든지 연마 가공량을 원하는 대로 제어하기 위해서는 공작물의 임의 위치에서의 단위 가공량을 알아야 한다. 이 단위 가공량은 연마공구의 형상, 공구의 회전운동의 형태, 공작물의 회전, 형성된 압력 분포형태에 따라서 달라지기 때문에 연마장치의 설계, 제작에서 이를 고려하여야 한다.

비구면 연마장치의 종래기술로서, 미국특허 제4,768,308호, '유니버셜 렌즈 폴리싱 툴, 폴리싱 아파라쳐스 앤드 매소드 오브 폴리싱(UNIVERSAL LENS POLISHING TOOL, POLISHING APPARATUS AND METHOD OF POLISHING)'에는 환(circular ring) 형태의 공구에 탄성 있는 연마 부직포를 붙인 후 공구가 회전하면서 왕복운동 하면서 비구면 렌즈의 표면을 연마하는 방법이 기술되어 있다.

일반적으로 공구가 공작물에 비해서 아주 작을 때에는 공구와 공작물간의 압력 분포는 거의 일정하게 유지되지만, 공구가 공작물에 비해서 아주 클 때에는 압력 분포의 변화가 아주 심하다. 이러한 문제를 해결하기 위해 이 장치는 공구를 그 크기에 따라 접촉영역 10%, 50%, 80%의 3종류로 나누었다. 비구면 렌즈의 경우 아주 작은 공구를 사용하여 연마하여야 하는데, 상기한 환 형태의 연마공구를 이용하면 지름 30mm 이하인 작은 크기의 비구면 렌즈를 연마하기에는 어려움이 많다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 연마 대상에 비하여 매우 큰 공간이 필요한 종래 장비에서 필요한 공간을 최소화한 가공 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 한 특징에 따른 연마 장치는 외부 또는 내부에 연마 장치의 연마 구동 신호를 제어하는 제어부를 갖는 마운트, 상기 마운트에 장착되는 적어도 하나의 연마부자석 및 상기 마운트의 하단에 위치하며 상기 제어부의 구동신호에 의해 구동하는 연마모터의 동력을 받아 회전하여 비구면 미러 표면을 연마하는 연마헤드를 포함하는 연마부와 상기 연마부자석과 마주보게 위치하며 상기 연마부자석과 인력을 갖도록 극의 위치를 갖는 이동부자석, 상기 이동부자석이 장착되고, 장착된 상기 이동부자석을 y축 방향으로 이동시키는 y축레일 및 상기 y축레일의 양단에 장착되고, 장착된 상기 y축레일을 x축 방향으로 이동시키는 x축레일을 포함하는 이동부를 구비하며, 상기 이동부는 x축 및 y축 레일의 구동에 따라 상기 이동부자석의 위치가 이동될 때, 상기 연마부자석이 상기 이동부자석과의 자성에 의해 상기 이동부자석을 따라 이동하여 상기 연마부를 이동시킨다.

상기 마운트는 상기 제어부가 외부에 위치 할 때, 유선 또는 무선으로 연결하기 위해 통신부를 더 포함한다.

상기 연마부자석은 상기 마운트의 외주면에 복수개가 서로 마주보게 장착된다.

상기 이동부는 상기 연마부 하단에 연마하고자 하는 비구면 미러를 사이에 두고 상기 연마부자석과 상기 이동부자석이 자성을 유지하는 거리 내에 위치한다.

상기 연마부자석은 상기 마운트의 상면에 장착된다.

상기 이동부는 상기 연마부 상단에 상기 연마부자석과 상기 이동부자석이 자성을 유지하는 거리 내에 위치한다.

상기 y축레일은 상기 이동부자석의 이송을 위해 리니어 모터(linear motor), 볼스크류(ball screw) 및 구동 벨트(belt) 중 어느 하나를 장착하여 구동한다.

상기 x축레일은 상기 y축레일의 이송을 위해 두 개의 상기 x축레일 중 적어도 하나에 리니어 모터(linear motor), 볼스크류(ball screw) 및 구동 벨트(belt) 중 어느 하나를 장착하여 구동한다.

상기 연마부는 엔코더(encorder) 및 프로브 카드(probe card) 중 적어도 하나를 장착하여 상기 연마부의 위치를 측정한다.

상기 이동부는 엔코더(encorder) 및 프로브 카드(probe card) 중 적어도 하나를 장착하여 상기 이동부의 위치를 측정한다.

상기 연마부와 이동부는 적어도 한 쌍으로 이루어진다.

상기 이동부는 상기 비구면 미러와 상기 연마부를 사이에 두고 상단과 하단에 모두 위치한다.

상기 비구면 미러의 하단에 위치하는 이동부에 의해 구동되는 연마부는 마운트 상단에 판을 더 구비하여 상기 연마부 상단에 위치하는 이동부자석의 자성을 막는다.

상기 비구면 미러는 판으로 형성된 판 비구면 미러, 조각으로 형성된 조각 비구면 미러 중 적어도 하나이다.

본 발명의 한 특징에 따른 연마 방법은 연마 대상의 설계 데이터를 판독하는 단계, 상기 판독된 설계 데이터를 통해 연마 대상의 연마 목표 위치를 확인하는 단계, 상기 연마 대상을 연마하기 위한 연마 장치의 현재 위치를 확인하는 단계, 상기 확인된 연마 대상의 목표위치와 연마 장치의 현재 위치를 이용하여 연마 장치의 이동량 및 이동 방향을 판정하는 단계, 상기 판정된 이동량 및 이동 방향으로 연마 장치를 이동 시키기 위해 상기 연마 장치의 이동부를 제어하는 신호를 출력하는 단계, 상기 출력된 제어 신호에 의해 연마 장치가 정상적으로 작동하는지를 판별하는 단계, 상기 연마 장치가 정상적으로 작동하여 상기 연마 장치의 현재 위치와 연마 대상의 연마하고자 하는 목표 위치가 일치하는지 판별하는 단계, 상기 연마 장치의 상기 현재 위치와 상기 연마 대상의 상기 목표 위치가 일치 하였을 때, 상기 연마 장치의 연마 헤드를 구동하는 신호를 출력하는 단계, 상기 연마 헤드가 구동을 시작한 후 구동 시간이 설정된 연마 시간과 일치하는지 판별하는 단계, 그리고 상기 구동시간이 설정된 시간과 일치하여 설정된 시간이 되었다고 판별되면 연마 헤드를 구동하는 신호를 종료하여 연마 장치를 종료하는 단계를 포함한다.

이러한 특징에 따르면, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 연마 대상에 비하여 매우 큰 공간이 필요한 종래 장비에서 필요한 공간을 최소화 한 가공 장치 및 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 이동부를 미러의 하단에 구비한 연마 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 연마 장치에서 이동부가 이동할 때 연마부가 이동되는 것을 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 이동부를 연마부의 상단에 구비한 연마 장치를 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 연마 장치에서 이동부가 이동할 때 연마부가 이동되는 것을 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 이동부를 미러 하단 및 연마부의 상단에 구비한 연마 장치를 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 5의 연마 장치에서 이동부가 이동할 때 연마부가 이동되는 것을 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 연마 장치를 이용하여 비구면 미러를 연마하는 연마 방법을 나타낸 순서도이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

그러면 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 한 실시예에 따른 비구면 미러의 표면을 연마하는 연마 장치 및 이를 이용한 연마 방법에 대하여 설명한다.

먼저, 도 1 내지 6을 참고로 하면 본 발명의 한 실시예에 따른 연마 장치는 연마헤드(head)(120)를 통해 비구면 미러(mirror, 1)의 표면을 연마하는 연마부(100)와 비구면 미러(1)의 하단, 연마부(100)의 상단 중 적어도 한 곳에 위치하여 연마부(100)를 이동시키는 이동부(200)을 구비한다.

이러한 연마부(100)는 연마부(100)를 지지하는 마운트(mount, 110)와 마운트(110)에 하단에 장착되어 연마모터(121)의 구동에 의해 비구면 미러(1)의 표면을 연마하는 연마헤드(120)를 구비한다.

또한, 마운트(110) 상단에 위치하는 판(130)을 더 구비하는데, 이러한 판(130)은 이후 도 5 및 6을 상세히 설명할 때 함께 설명하도록 한다.

마운트(110)는 연마모터(121)에 의해 구동하는 비구면 미러(1)의 표면을 연마하는 연마헤드(120)를 지지하며, 연마헤드(120)로 전달되는 연마헤드 구동 신호를 출력하는 제어부(미도시)를 마운트(110)의 내부 또는 외부에 구비한다.

여기에서, 제어부가 마운트(110)의 외부에 위치할 경우, 마운트(110)는 연마헤드 구동신호를 제어부로부터 전달 받기 위해 무선 또는 유선으로 연결되는 통신부(미도시)를 더 구비할 수 있다.

또한, 마운트(110)는 적어도 하나의 연마부자석(111)를 더 구비하며, 도 1및 2의 실시예에서는 두 개의 연마부자석(111)이 마운트(110) 외주면에 장착되며, 이러한 연마부자석(111)은 마운트(110)를 사이에 두고 마주보게 위치한다. 두 개의 연마부자석(111)이 장착되고, 도 3 및 4의 실시예에서는 마운트(110) 상면에 한 개의 연마부자석(111)이 장착하거나, 마운트(110) 상면에 판(130)을 더 구비하여 판(130)의 상면에 장착한다.

이러한 연마부자석(111)은 이동부(200)의 구동에 맞춰 연마부(100)를 이동시키기 위한 것으로 이에 대한 설명은 이하에서 이동부(200)을 설명할 때 함께 설명하도록 한다.

연마헤드(120)는 비구면 미러의 표면을 연마하기 위해 연마모터(121)의 동력을 전달받아 회전 구동한다.

이동부(200)는 이동부자석(211)을 포함하며, 이동부자석(211)을 y축 방향으로 이동시키는 y축레일(210)과 y축레일(210)을 x축 방향으로 이동시키는 y축레일 양단에 위치하는 두 개의 x축레일(220, 230)을 구비한다.

이러한 x축 및 y축레일(210, 220, 230)은 정밀 이송을 위해 리니어 모터(linear motor)를 사용할 수 있으며, 연마헤드(120)의 이송에 영향을 줄 경우 볼스크류(ball screw)나 벨트(belt)구동으로 대체될 수 있다.

이때, x축레일(220, 230)은 둘 중 어느 하나에만 리니어 모터, 볼스크류 및 벨트 중 어느 하나를 장착하여 구동시키고 남은 하나는 구동되는 다른 x축레일(220, 230)의 구동에 의해 자연스럽게 따라오게 구성할 수 있다.

또한, 리니어 모터, 볼스크류 및 벨트 중 어느 하나를 장착한 x축 및 y축레일(210, 220, 230)은 리니어 엔코더(linear encorder)를 내장하여 제어부로부터 이동량 및 이동 방향을 이동부(200) 구동 신호를 읽어서 x축 및 y축레일(210, 220, 230)의 이동 및 위치를 측정한다.

이러한 이동부(200)는 마운트(110)에 장착된 연마부자석(111)의 위치에 따라 연마부(100)의 상단 또는 하단에 위치하게 된다.

도 1 및 2에서의 연마부(100)는 비구면 미러(1)의 상단에 위치하며, 이동부(200)는 비구면 미러(1)의 하단에 위치하여 연마하고자 하는 비구면 미러(1)를 사이에 두고 연마부(100)와 이동부(200)가 마주하게 된다.

그러나 도 3 및 4에서의 연마부(100)는 비구면 미러(1)의 상단에 위치하는 것은 동일하나, 이동부(200)는 연마부(100)의 상단에 장착된 연마부자석(111)과의 자성이 유지되는 거리에 위치한 이동부자석(211)이 연마부자석(111)을 바라보는 방향으로 위치하게 된다.

이러한, 연마부자석(111)과 마주보는 이동부자석(211)은 서로 다른 극이 마주보게 위치 하여 이동부(200)가 구동하여 이동부자석(211)이 이동할 때, 연마부자석(111)은 이동부자석(211)과의 자성에 의해 이동부자석(211)과 같이 이동하여 연마부자석(111)이 장착된 연마부(100)를 비구면 미러(1)의 연마하고자 하는 목표 위치로 이동시킨다.

도 1 내지 도 4에서 구성하는 실시예는 적어도 하나의 연마부(100)가 구비되며, 연마부(100)의 개수가 증가하면, 증가한 연마부(100)에 맞춰 x축레일(220, 230), y축레일(210), 이동부자석(211)을 더 추가하여 동시에 여러 대의 연마부(100)를 구동시킬 수 있다.

도 5 및 6의 실시예는, 도 1 내지 도 4에서 나타난 실시예를 조합하여 위와 같이 여러 대의 연마부(100)를 복합적으로 구동시킬 수 있다.

본 실시예에서는 미러(1) 하단에 위치한 이동부(200a)와 이동부(200a)의 구동에 의해 이동되어 미러(1)를 연마하는 연마부(100a)를 구비하고, 동일한 미러(1) 상단에 위치한 연마부(100b)와 연마부(100b)를 이동시키며 연마부(100b) 상단에 위치하는 이동부(200b)를 구비한다.

또한, 마운트(110a, 110b) 상단에 위치하는 판(130a, 130b)를 자성을 차단하는 차폐 소재로 구성하여, 연마부(100a)에 장착된 연마부자석(111a)이 이동부(200b)에 장착된 이동부자석(211b)의 자성에 영향을 받지 않도록 한다.

이렇게 구성된 연마부(100a)는 이동부(200a)의 이동부자석(211a)의 자성에 의해서만 이동하게 된다.

또한, 연마부(100b)의 연마부자석(111b)는 미러(1) 하단에 위치하는 이동부자석(211a)과의 거리가 멀어 자성이 유지되지 않아 이동부(200a)의 영향을 적게 받으며, 적게 받는 자성 마저 마운트(110b)의 상단에 위치하는 판(130b)에 의해 차폐된다. 결과적으로 연마부(100a)에 장착된 연마부자석(111b)은 이동부(200a)에 장착된 이동부자석(211a)의 자성에 영향을 받지 않고, 이동부(200b)에 장착된 이동부자석(211b)의 자성에 의해서만 이동하게 된다.

위와 같이 구성되는 본 발명의 한 실시예에 따른 연마 장치는 판으로 형성된 일반적인 판 비구면 미러(1)를 연마 대상으로 하여 연마하는 것뿐만 아니라 조각으로 형성된 조각 비구면 미러(1)를 연마하는 것이 가능하다.

다음은 도 1 내지 6에서 나타낸 연마 장치가 비구면 미러(1)의 표면을 연마하는 동작을 도 7을 참고로 하여 설명하도록 한다.

비구면 미러(1)의 연마를 위하여 연마 장치의 전원을 입력한다(S1).

제어부에서 연마 대상인 비구면 미러(1)의 설계 데이터를 입력 받아 판독한다(S10).

제어부에서 판독된 설계 데이터 상의 연마 하고자 하는 목표 위치를 좌표로써 확인한다(S20).

비구면 미러(1) 상부에 위치한 연마부(100) 및 이동부(200)의 이동자석(211)의 현재 위치를 확인한다(S30).

이때, 연마부 및 이동부의 현재 위치는 마운트(110)에 엔코더(미도시) 또는 프로브 카드(probe card, 미도시)를 장착하여 측정하거나, 초기에 제어부를 통해 임의의 지점에 원점을 지정하여 현재 위치의 좌표 값으로 설정할 수 있다.

확인된 목표 위치의 좌표와 연마부(100) 및 이동부(200)의 현재 위치를 비교하여 연마 장치의 x축 및 y축의 이동량과 이동 방향을 판정한다(S40).

연마 장치의 이동량과 이동 방향이 판정되면, 제어부에서 이동부를 제어하는 신호를 출력하여 이동부(200)를 구동시킨다(S50).

이때, 이동부(200)가 판정된 이동량과 이동 방향으로 정상적으로 작동하는지 확인한다(S60).

이때, 정상적으로 작동하는 지는 마운트(110)에 엔코더를 추가 장착하고, 장착된 엔코더를 사용하여 연마부(100)의 이동량을 상시 관찰하여 판단하는 것이 가능하다.

그리고 마운트(110)에 프로브 카드를 더 추가하여, 장착된 프로브 카드로 측정을 할 수 있으며, 측정 중 연마목표 위치를 엔코더를 통하여 기록 후 실제 연마헤드로 목표위치로 이동 후 연마 후 다시 프로브 카드로 측정하여 오차값을 보정 할 수 있다.

또한, 위와 같이 모니터링 하면서, 연마 장치가 정상적으로 작동하지 않을 경우 제어부에서 경고 메시지를 출력하거나 소리로 오류를 나타내도록 엔코더 또는 프로브카드에서 제어부로 신호를 보낸다.

비구면 미러(1)는 굴곡면 상태에 따라 연마헤드의 닿는 면이 다를 것이므로 수시로 연마헤드(120)의 비구면 미러(1) 표면의 가공과 엔코더 또는 프로브 카드의 측정이 동시간에 이루어지며 보정해 나가야 오차를 줄일 수 있다.

정상적으로 작동하여 이동한 연마 장치의 현재 위치가 비구면 미러(1)의 연마하고자 하는 목표 위치와 일치하면(S70), 제어부에서 연마모터(121)을 구동시키는 구동 신호를 출력하여 연마헤드(120)를 구동 시킨다(S80).

연마헤드(120)의 위치가 목표위치에 도달 한 것은 위에서 설명한 것처럼 엔코더 또는 프로브카드로 측정하여 확인하거나 육안검사로 확인하며, 추가로 로드셀(load cell)과 같은 충돌 방지용 센서(sensor)를 이용하여 측정할 수 있다.

이렇게 구동하여 비구면 미러(1)의 표면을 연마하던 연마헤드(120)가 설정된 연마 구동시간이 지나면(S90) 제어부에서 출력되던 연마장치 구동 신호를 종료한다(S100).

이와 같이 연마 장치를 통해 비구면 미러(1)의 표면을 연마하는 것이 종료되면 연마 장치의 전원을 끈다(S2).

이러한 과정에서 이동부(200)은 정상 작동하나 연마부(100)가 정상적으로 동작 하지 않을 경우 연마부(100)와 이동부(200)에 상호 위치를 확인하는 리미트 장치를 추가하여 일치하지 않을 때, 이동부(200)의 구동을 멈춘다.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

100: 연마부 110: 마운트
111: 연마부자석 120: 연마헤드
121: 연마모터 130: 판
200: 이동부 210: y축레일
211: 이동부자석 220, 230: x축레일
1: 비구면 미러

Claims

외부 또는 내부에 연마 장치의 연마 구동 신호를 제어하는 제어부를 갖는 마운트,
상기 마운트에 장착되는 적어도 하나의 연마부자석 및
상기 마운트의 하단에 위치하며 상기 제어부의 구동신호에 의해 구동하는 연마모터의 동력을 받아 회전하여 비구면 미러 표면을 연마하는 연마헤드
를 포함하는 연마부와
상기 연마부자석과 마주보게 위치하며 상기 연마부자석과 인력을 갖도록 극의 위치를 갖는 이동부자석,
상기 이동부자석이 장착되고, 장착된 상기 이동부자석을 y축 방향으로 이동시키는 y축레일 및
상기 y축레일의 양단에 장착되고, 장착된 상기 y축레일을 x축 방향으로 이동시키는 x축레일
을 포함하는 이동부
를 구비하며, 상기 이동부는 x축 및 y축 레일의 구동에 따라 상기 이동부자석의 위치가 이동될 때, 상기 연마부자석이 상기 이동부자석과의 자성에 의해 상기 이동부자석을 따라 이동하여 상기 연마부를 이동시키는
연마 장치.
제1항에서,
상기 마운트는 상기 제어부가 외부에 위치 할 때, 유선 또는 무선으로 연결하기 위해 통신부를 더 포함하는 연마 장치.
제1항에서,
상기 연마부자석은 상기 마운트의 외주면에 복수개가 서로 마주보게 장착되는 연마 장치.
제3항에서,
상기 이동부는 상기 연마부 하단에 연마하고자 하는 비구면 미러를 사이에 두고 상기 연마부자석과 상기 이동부자석이 자성을 유지하는 거리 내에 위치하는 연마 장치.
제1항에서,
상기 연마부자석은 상기 마운트의 상면에 장착되는 연마 장치.
제5항에서,
상기 이동부는 상기 연마부 상단에 상기 연마부자석과 상기 이동부자석이 자성을 유지하는 거리 내에 위치하는 연마 장치.
제1항에서,
상기 y축레일은 상기 이동부자석의 이송을 위해 리니어 모터(linear motor), 볼스크류(ball screw) 및 구동 벨트(belt) 중 어느 하나를 장착하여 구동하는 연마 장치.
제1항에서,
상기 x축레일은 상기 y축레일의 이송을 위해 두 개의 상기 x축레일 중 적어도 하나에 리니어 모터(linear motor), 볼스크류(ball screw) 및 구동 벨트(belt) 중 어느 하나를 장착하여 구동하는 연마 장치.
제1항에서,
상기 연마부는 엔코더(encorder) 및 프로브 카드(probe card) 중 적어도 하나를 장착하여 상기 연마부의 위치를 측정하는 연마 장치.
제1항에서,
상기 이동부는 엔코더(encorder) 및 프로브 카드(probe card) 중 적어도 하나를 장착하여 상기 이동부의 위치를 측정하는 연마 장치.
제1항에서,
상기 연마부와 이동부는 적어도 한 쌍으로 이루어지는 연마 장치.
제1항에서,
상기 이동부는 상기 비구면 미러와 상기 연마부를 사이에 두고 상단과 하단에 모두 위치하는 연마 장치.
제12항에서,
상기 비구면 미러의 하단에 위치하는 이동부에 의해 구동되는 연마부는 마운트 상단에 판을 더 구비하여 상기 연마부 상단에 위치하는 이동부자석의 자성을 막는 연마 장치.
제1항에서,
상기 비구면 미러는 판으로 형성된 판 비구면 미러, 조각으로 형성된 조각 비구면 미러 중 적어도 하나인 연마 장치.
연마 대상의 설계 데이터를 판독하는 단계,
상기 판독된 설계 데이터를 통해 연마 대상의 연마 목표 위치를 확인하는 단계,
상기 연마 대상을 연마하기 위한 연마 장치의 현재 위치를 확인하는 단계,
상기 확인된 연마 대상의 목표위치와 연마 장치의 현재 위치를 이용하여 연마 장치의 이동량 및 이동 방향을 판정하는 단계,
상기 판정된 이동량 및 이동 방향으로 연마 장치를 이동 시키기 위해 상기 연마 장치의 이동부를 제어하는 신호를 출력하는 단계,
상기 출력된 제어 신호에 의해 연마 장치가 정상적으로 작동하는지를 판별하는 단계,
상기 연마 장치가 정상적으로 작동하여 상기 연마 장치의 현재 위치와 연마 대상의 연마하고자 하는 목표 위치가 일치하는지 판별하는 단계,
상기 연마 장치의 상기 현재 위치와 상기 연마 대상의 상기 목표 위치가 일치 하였을 때, 상기 연마 장치의 연마 헤드를 구동하는 신호를 출력하는 단계,
상기 연마 헤드가 구동을 시작한 후 구동 시간이 설정된 연마 시간과 일치하는지 판별하는 단계, 그리고
상기 구동시간이 설정된 시간과 일치하여 설정된 시간이 되었다고 판별되면 연마 헤드를 구동하는 신호를 종료하여 연마 장치를 종료하는 단계
를 포함하는 연마장치를 이용한 연마 방법.