KR20140118731A

KR20140118731A - Pattern transfer system and pattern transfer method

Info

Publication number: KR20140118731A
Application number: KR1020140020430A
Authority: KR
Inventors: 유키오 도미후지; 가즈오 조다이; 시게키 미나미
Original assignee: 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
Priority date: 2013-03-27
Filing date: 2014-02-21
Publication date: 2014-10-08
Also published as: CN104070865B; TW201437054A; KR101733840B1; JP2014188819A; JP6196054B2; TWI573698B; CN104070865A

Abstract

An objective is to provide an appropriate technology for mass producing a substrate for an electronic device by an offset printing method. To this end, a pattern transcription system (1) includes: a first cleaning unit (11) to clean a blanket (91) and a printing plate (93); a coating unit (41) to coat a transcribing agent on the blanket (91) a first transcription unit (51) to transcribe a pattern on the blanket (91) by bonding the blanket, on which the transcribing agent is coated, and the printing plate (93); and a second transcription unit (53) to transcribe the pattern on a substrate (9) by bonding the blanket, on which the transcribing agent is coated, and the substrate (9). In addition, the pattern transcription system (1) includes a return unit (23) to return the printing plate (93), which transcribes the pattern on the blanket (91) in the first transcription unit (51), and the blanket (91), which transcribes the pattern on the substrate (9) in the second transcription unit (53), to the first cleaning unit (11).

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a pattern transfer system and a pattern transfer method,

이 발명은, 반도체 웨이퍼, 액정표시 장치용 유리 기판, 플라즈마 디스플레이용 유리 기판, 자기 또는 광디스크용 유리 또는 세라믹 기판, 유기 EL용 유리 기판, 태양전지용 유리 기판 또는 실리콘 기판, 그 외 플렉시블 기판 및 프린트 기판 등의 전자기기 전용의 각종 피처리 기판에 대해, 패턴을 전사하는 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor wafer, a glass substrate for a liquid crystal display, a glass substrate for a plasma display, a glass or ceramic substrate for a magnetic or optical disk, a glass substrate for an organic EL, a glass substrate or a silicon substrate for a solar cell, And transferring a pattern to various substrates to be processed dedicated to electronic devices such as a semiconductor device.

반도체 웨이퍼, 액정표시장치용 유리 기판, 플라즈마 디스플레이용 유리 기판, 자기 또는 광디스크용 유리 또는 세라믹 기판, 유기 EL용 유리 기판, 태양전지용 유리 기판 또는 실리콘 기판, 그 외 플렉시블 기판 및 프린트 기판 등의 전자기기를 위한 기판에 대해, 패턴을 형성하기 위해서, 포토리소그래픽법이 이용되고 있다. 그런데, 포토리소그래픽법의 경우, 포토레지스트의 도포 공정이나 노광 및 현상 공정 등, 각종 공정을 거칠 필요가 있어, 처리 시간이 길고 또한 제조 비용이 높아진다는 문제가 있었다. 그래서, 근래에는, 저비용화가 가능한 오프셋 인쇄법의 이용이 제안되고 있다(예를 들면, 특허 문헌 1).An electronic device such as a semiconductor wafer, a glass substrate for a liquid crystal display, a glass substrate for a plasma display, a glass or ceramic substrate for a magnetic or optical disk, a glass substrate for an organic EL, a glass substrate or a silicon substrate for a solar cell, A photolithographic method is used in order to form a pattern on a substrate. However, in the case of the photolithographic method, there is a problem in that it takes a lot of steps such as an application step of a photoresist, an exposure and a development step, and a long processing time and a high manufacturing cost. Thus, in recent years, the use of an offset printing method capable of lowering the cost has been proposed (for example, Patent Document 1).

오프셋 인쇄법에서는, 주로, 전사제가 도포된 블랭킷에 인쇄판을 눌러 접촉시킴으로써, 블랭킷 상에 패턴을 전사하는 공정(제1 전사 공정)과, 그 블랭킷을 기판에 눌러 접촉시킴으로써, 기판에 패턴을 전사하는 공정(제2 전사 공정)이 포함되어 있다. 또, 각 패턴 전사 공정을 실시하기 위한 개개의 인쇄 장치도, 몇가지 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 2).In the offset printing method, mainly, a process of transferring a pattern onto a blanket (first transfer step) by bringing a printing plate into contact with a blanket applied with a transfer agent, and pressing and pressing the blanket against the substrate, (Second transfer step) is included. Several printing apparatuses for carrying out each pattern transfer process have also been proposed (for example, Patent Document 2).

일본국 특허 공개 2010-158799호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-158799 일본국 특허 공개 2010-234714호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-234714

상기 오프셋 인쇄법을 이용하여 패턴이 형성된 기판을 양산하기 위해서는, 상기 각 공정을 순차적으로 실행하는 개개의 장치를 나열하여, 제조 라인을 구축하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 오프셋 인쇄법에 따라 전자기기를 위한 기판을 양산하는데 적절한 제조 라인은 아직도 알려져 있지 않다.In order to mass-produce a pattern-formed substrate using the offset printing method, it is conceivable to arrange individual devices for sequentially performing the respective steps to construct a manufacturing line. However, a manufacturing line suitable for mass production of a substrate for an electronic device according to the offset printing method is not yet known.

그래서, 본 발명은, 오프셋 인쇄법에 따른 전자기기를 위한 기판의 양산에 적절한 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is therefore an object of the present invention to provide a technique suitable for mass production of a substrate for an electronic apparatus according to the offset printing method.

상기 과제를 해결하기 위해서, 제1의 양태는, 오프셋 인쇄법에 따라 기판에 패턴을 전사하는 패턴 전사 시스템으로서, 인쇄판을 세정하는 세정부와, 블랭킷에 전사제를 도포하는 도포부와, 상기 도포부에 의해서 상기 전사제가 도포된 상기 블랭킷, 및, 상기 세정부에서 세정된 인쇄판을 접합함으로써, 상기 인쇄판의 인쇄 패턴에 대응한 패턴을 상기 블랭킷에 전사하는 제1 전사부와, 상기 패턴이 전사된 블랭킷을 기판에 접합함으로써, 상기 기판에 패턴을 전사하는 제2 전사부와, 상기 제1 전사부에서 상기 블랭킷에 패턴을 전사한 상기 인쇄판을 상기 세정부를 향해서 반송하는 반송부를 구비하고 있다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a pattern transfer system for transferring a pattern onto a substrate in accordance with an offset printing method. The system comprises a cleaner for cleaning a printing plate, a coating unit for applying a transfer agent to the blanket, A first transfer unit for transferring the pattern corresponding to the print pattern of the printing plate to the blanket by bonding the blanket coated with the transfer agent by the printing unit and the printing plate cleaned by the cleaning unit; A second transfer section for transferring the pattern onto the substrate by bonding the blanket to the substrate and a transfer section for transferring the printing plate transferred from the first transfer section to the blanket toward the cleaning section.

또, 제2의 양태는, 오프셋 인쇄법에 따라 기판에 패턴을 전사하는 패턴 전사 시스템으로서, 블랭킷을 세정하는 세정부와, 상기 세정부에서 세정된 상기 블랭킷에 전사제를 도포하는 도포부와, 상기 도포부에 의해서 상기 전사제가 도포된 상기 블랭킷, 및, 인쇄판을 접합함으로써, 상기 인쇄판의 인쇄 패턴에 대응한 패턴을 상기 블랭킷에 전사하는 제1 전사부와, 상기 패턴이 전사된 블랭킷을 기판에 접합함으로써, 상기 기판에 패턴을 전사하는 제2 전사부와, 상기 제2 전사부에서 상기 기판에 패턴을 전사한 상기 블랭킷을 상기 세정부를 향해서 반송하는 반송부를 구비하고 있다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a pattern transfer system for transferring a pattern onto a substrate in accordance with an offset printing method, comprising: a cleaning section for cleaning a blanket; a coating section for applying a transfer agent to the blanket, A first transfer unit for transferring the pattern corresponding to the print pattern of the printing plate onto the blanket by bonding the blanket and the printing plate coated with the transfer agent by the application unit; And a transfer section for transferring the blanket transferred from the second transfer section onto the substrate toward the cleaning section. The transfer section transfers the pattern onto the substrate.

또, 제3의 양태는, 제1 또는 제2의 양태에 따른 패턴 전사 시스템에 있어서, 상기 세정부가, 상기 블랭킷 및 상기 인쇄판 쌍방을 세정 가능한 세정 장치를 구비하고 있다.In a third aspect, in the pattern transfer system according to the first or second aspect, the cleaning section includes a cleaning device capable of cleaning both the blanket and the printing plate.

또, 제4의 양태는, 제3의 양태에 따른 패턴 전사 시스템에 있어서, 상기 세정 장치는, 상기 블랭킷 및 상기 인쇄판을 일방향으로 반송하면서, 그 표면에 처리액을 공급함으로써, 상기 블랭킷 및 상기 인쇄판을 세정한다.The fourth aspect is characterized in that, in the pattern transfer system according to the third aspect, the cleaning device conveys the blanket and the printing plate in one direction, and supplies the treatment liquid to the surface of the blanket and the printing plate, .

또, 제5의 양태는, 제4의 양태에 따른 패턴 전사 시스템에 있어서, 상기 세정 장치는, 상기 블랭킷 및 상기 인쇄판을 경사지게 하여 반송하는 경사 반송부와, 상기 경사지게 한 상기 블랭킷 및 상기 인쇄판의 중력 방향 하측의 측단부를 지지하는 지지부를 구비하고 있다.The fifth aspect is characterized in that, in the pattern transfer system according to the fourth aspect, the cleaning device further comprises: a slant conveying part for slanting and conveying the blanket and the printing plate; and a gravity conveying part for conveying the gravity of the blanket and the printing plate And a support portion for supporting the side end portion on the lower side in the direction.

또, 제6의 양태는, 제 4 또는 제5의 양태에 따른 패턴 전사 시스템에 있어서, 상기 도포부로부터 상기 제1 전사부에 이르기까지의 상기 블랭킷의 이동 방향이 상기 일방향과는 역방향이다.In a sixth aspect, in the pattern transfer system according to the fourth or fifth aspect, the moving direction of the blanket from the application portion to the first transfer portion is opposite to the one direction.

또, 제7의 양태는, 제2의 양태에 따른 패턴 전사 시스템에 있어서, 상기 세정부에서 세정된 상기 블랭킷을, 상기 세정부와는 상이한 양태로 세정하는 제2의 세정부를 더 구비하고 있으며, 상기 도포부는, 상기 제2의 세정부에서 세정된 상기 블랭킷에 상기 전사제를 도포한다.The seventh aspect is the pattern transfer system according to the second aspect, further comprising a second cleaning section for cleaning the blanket cleaned by the cleaning section in a manner different from the cleaning section , The application unit applies the transfer agent to the blanket cleaned by the second cleaning unit.

또, 제8의 양태는, 오프셋 인쇄법에 따라 기판에 패턴을 전사하는 패턴 전사 방법으로서, (a) 인쇄판을 세정하는 공정과, (b) 블랭킷에 전사제를 도포하는 공정과, (c) 상기 (b) 공정에서 상기 전사제가 도포된 상기 블랭킷, 및, 상기 (a) 공정에서 세정된 인쇄판을 접합함으로써, 상기 인쇄판의 인쇄 패턴에 대응한 패턴을 상기 블랭킷에 전사하는 공정과, (d) 상기 (c) 공정에서 상기 패턴이 전사된 블랭킷을 기판에 접합함으로써, 상기 기판에 패턴을 전사하는 공정을 포함하고, 상기 (a) 공정에서 세정되는 상기 인쇄판이, 상기 (c) 공정에서 상기 블랭킷에 패턴을 전사한 상기 인쇄판이다.(A) a step of cleaning the printing plate; (b) a step of applying a transfer agent to the blanket; and (c) a step of transferring the transfer agent onto the substrate. The pattern transfer method according to the eighth aspect is a method of transferring a pattern onto a substrate according to an offset printing method, (D) transferring a pattern corresponding to a printing pattern of the printing plate to the blanket by bonding the printing plate cleaned in the step (a) and the blanket coated with the transfer agent in the step (b) And transferring the pattern onto the substrate by bonding the pattern transferred blanket to the substrate in the step (c), wherein the printing plate to be cleaned in the step (a) To which the pattern is transferred.

또, 제9의 양태는, 오프셋 인쇄법에 따라 기판에 패턴을 전사하는 패턴 전사 방법으로서, (A) 블랭킷을 세정하는 공정과, (B) 상기 (A) 공정에서 세정된 상기 블랭킷에 전사제를 도포하는 공정과, (C) 상기 (B) 공정에서 상기 전사제가 도포된 상기 블랭킷, 및, 인쇄판을 접합함으로써, 상기 인쇄판의 인쇄 패턴에 대응한 패턴을 상기 블랭킷에 전사하는 공정과, (D) 상기 패턴이 전사된 블랭킷을 기판에 접합함으로써, 상기 기판에 패턴을 전사하는 공정을 포함하고, 상기 (A) 공정에서 세정되는 상기 블랭킷이, 상기 (D) 공정에서 상기 기판에 상기 패턴을 전사한 상기 블랭킷이다.A ninth aspect of the present invention is a pattern transfer method for transferring a pattern onto a substrate according to an offset printing method, the method comprising: (A) cleaning a blanket; (B) transferring the blanket washed in the step (A) (C) transferring the pattern corresponding to the printing pattern of the printing plate to the blanket by bonding the blanket and the printing plate coated with the transfer agent in the step (B), and (D) ) Transferring the pattern onto the substrate by bonding the blanket transferred with the pattern to the substrate, wherein the blanket to be cleaned in the step (A) transfers the pattern to the substrate in the step (D) Lt; / RTI >

제1의 양태에 따른 패턴 전사 시스템 및 제8의 양태에 따른 패턴 전사 방법에 의하면, 전사 처리에 사용된 인쇄판이 재이용된다. 이에 의해, 패턴 전사에 있어서 사용되는 인쇄판의 수량을 줄일 수 있다.According to the pattern transfer system according to the first aspect and the pattern transfer method according to the eighth aspect, the printing plate used in the transfer process is reused. As a result, the number of printing plates used in pattern transfer can be reduced.

제2의 양태에 따른 패턴 전사 시스템 및 제9의 양태에 따른 패턴 전사 방법에 의하면, 전사 처리에 사용된 블랭킷이 재이용된다. 이에 의해, 패턴 전사에 있어서 사용되는 블랭킷의 수량을 줄일 수 있다.According to the pattern transfer system according to the second aspect and the pattern transfer method according to the ninth aspect, the blanket used in the transfer process is reused. Thereby, the number of blanket used in pattern transfer can be reduced.

또, 제3의 양태에 따른 패턴 전사 시스템에 의하면, 공통의 세정 장치에 의해서, 블랭킷 및 인쇄판을 세정할 수 있다. 이 때문에, 블랭킷 및 인쇄판의 각각을 전용으로 세정하는 세정 장치를 설치한 경우보다도, 패턴 전사 시스템의 점유 면적을 작게 할 수 있다.Further, according to the pattern transfer system according to the third aspect, the blanket and the printing plate can be cleaned by a common cleaning device. Therefore, the area occupied by the pattern transfer system can be made smaller than in the case where a cleaning device for cleaning each of the blanket and the printing plate is provided exclusively.

또, 제4의 양태에 따른 패턴 전사 시스템에 의하면, 블랭킷 및 인쇄판의 각각을, 다음의 처리 장치를 향해서 반송하면서 세정할 수 있다.According to the pattern transfer system of the fourth aspect, each of the blanket and the printing plate can be cleaned while being transported toward the next processing apparatus.

또, 제5의 양태에 따른 패턴 전사 시스템에 의하면, 블랭킷 및 인쇄판의 사이즈가 상이한 경우에도, 지지부에 의해서, 중력 방향 하측의 측단부의 위치를 맞춰 블랭킷 및 인쇄판을 반송할 수 있다. 이에 의해, 블랭킷 및 인쇄판의 위치 결정을 용이하게 실현할 수 있기 때문에, 양호하게 세정 처리할 수 있다.According to the pattern transfer system of the fifth aspect, even when the size of the blanket and the printing plate are different, the blanket and the printing plate can be conveyed by aligning the side end portion of the lower side in the gravity direction by the supporting portion. As a result, the positioning of the blanket and the printing plate can be easily realized, so that the cleaning process can be satisfactorily performed.

또, 제6의 양태에 따른 패턴 전사 시스템에 의하면, 블랭킷을 패턴 전사 시스템 내에서 U턴하여 반송할 수 있기 때문에, 패턴 전사 시스템의 치수를 짧게 할 수 있다.Further, according to the pattern transfer system according to the sixth aspect, since the blanket can be transferred by U-turn in the pattern transfer system, the dimension of the pattern transfer system can be shortened.

또, 제7의 양태에 따른 패턴 전사 시스템에 의하면, 블랭킷을 적어도 2개의 상이한 양태로 세정 처리할 수 있다.Further, according to the pattern transfer system according to the seventh aspect, the blanket can be subjected to the cleaning treatment in at least two different modes.

도 1은 제1 실시형태에 따른 패턴 전사 시스템의 개략 평면도이다.
도 2는 제1 세정부가 구비하는 세정 장치의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 3은 제1 세정부에 있어서 반송되는 블랭킷 및 인쇄판을 +X측을 향해 보았을 때의 개략 정면도이다.
도 4는 제2 세정부의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 5는 패턴 전사 시스템에 있어서, 패턴이 전사된 기판(9)을 제조하는 흐름을 나타내는 흐름도이다.
도 6은 비교예에 따른 패턴 전사 시스템의 개략 평면도이다.
도 7은 제2 실시형태에 따른 패턴 전사 시스템의 개략 평면도이다.1 is a schematic plan view of a pattern transfer system according to the first embodiment.
2 is a side view schematically showing a cleaning apparatus provided in the first cleaning section.
3 is a schematic front view when the blanket and the printing plate conveyed in the first cleaning section are viewed toward the + X side.
Fig. 4 is a side view showing an outline of a second clevis.
5 is a flowchart showing the flow of manufacturing the substrate 9 onto which the pattern is transferred in the pattern transfer system.
6 is a schematic plan view of a pattern transfer system according to a comparative example.
7 is a schematic plan view of the pattern transfer system according to the second embodiment.

이하, 첨부의 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다. 또한, 도면에서는 용이한 이해를 위해서, 필요에 따라서 각 부의 치수나 수가 과장 또는 간략화되어 도시되어 있는 경우가 있다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the drawings, for the sake of easy understanding, the dimensions and the numbers of the parts may be exaggerated or simplified as necessary.

<1. 제1 실시형태> <1. First Embodiment>

<1. 1. 구성 및 기능><1. 1. Configuration and Features>

도 1은, 제1 실시형태에 따른 패턴 전사 시스템(1)의 개략 평면도이다. 도 1 및 이후의 각 도면에서는, 설명의 편의상, X축방향 및 Y축방향의 두 방향으로 정의되는 평면을 수평면으로 하고, 이들 두방향에 수직인 Z축방향을 연직 방향이라고 정의한다.1 is a schematic plan view of a pattern transfer system 1 according to the first embodiment. In Fig. 1 and subsequent figures, for convenience of explanation, a plane defined by two directions, i.e., an X-axis direction and a Y-axis direction, is defined as a horizontal plane, and a Z-axis direction perpendicular to these two directions is defined as a vertical direction.

패턴 전사 시스템(1)은, 블랭킷(91)과 인쇄판(93)을 겹쳐, 블랭킷(91)에 패턴을 전사한 후, 상기 블랭킷(91)을 기판(9)에 접합하여, 블랭킷(91)의 패턴을 기판(9)에 전사함으로써 패턴이 형성된 기판(9)을 양산하는 시스템이다.The pattern transfer system 1 is constructed such that the blanket 91 and the printing plate 93 are overlapped and the pattern is transferred to the blanket 91 and then the blanket 91 is bonded to the substrate 9, And transfers the pattern to the substrate 9 to mass-produce the substrate 9 on which the pattern is formed.

블랭킷(91)은, 거의 평판형상의 부재이며, 인쇄판(93) 및 기판(9)에 대한 양호한 접촉을 실현하기 위해서, 유연하게 변형 가능하도록 구성되어 있다. 블랭킷(91)은, 예를 들면, 실리콘 고무나 불소 수지 등을 들 수 있다.The blanket 91 is a substantially flat plate-like member and is configured to be deformable in a flexible manner in order to realize good contact with the printing plate 93 and the substrate 9. [ As the blanket 91, for example, silicone rubber, fluorine resin and the like can be given.

인쇄판(93)은, 블랭킷(91)에 소정의 패턴을 전사하는 부재이다. 인쇄판(93)으로는, 예를 들면, 오목부를 갖는 그라비아 오프셋 인쇄판, 또는, 요철이 없는 평판을 이용하는 오프셋 인쇄판 등이 적용 가능하다.The printing plate 93 is a member for transferring a predetermined pattern to the blanket 91. As the printing plate 93, for example, a gravure offset printing plate having a concave portion or an offset printing plate using a flat plate without irregularities can be applied.

기판(9)은, 전자기기용 기판이며, 예를 들면, 반도체 웨이퍼, 액정표시장치용 유리 기판, 플라즈마 디스플레이용 유리 기판, 자기 또는 광디스크용 유리 또는 세라믹 기판, 유기 EL용 유리 기판, 태양전지용 유리 기판 또는 실리콘 기판, 그 외 플렉시블 기판 및 프린트 기판 등이다. 기판(9)에는, 블랭킷(91)에 형성된 패턴이 전사되어, 미세 패턴이 그 표면에 형성된다.The substrate 9 is, for example, a substrate for an electronic device such as a semiconductor wafer, a glass substrate for a liquid crystal display, a glass substrate for a plasma display, a glass or ceramic substrate for a magnetic or optical disk, a glass substrate for an organic EL, A silicon substrate, a flexible substrate, and a printed substrate. On the substrate 9, a pattern formed on the blanket 91 is transferred, and a fine pattern is formed on the surface thereof.

패턴 전사 시스템(1)은, 제1 세정부(11), 제2 세정부(13), 수도(受渡)부(21), 수도 반송부(23), 전처리부(31), 도포부(41), 전사부(51, 53), 박리부(61, 63) 및 로봇 반송부(71 및 73)를 구비하고 있다.The pattern transfer system 1 includes a first cleaning part 11, a second cleaning part 13, a water receiving part 21, a water conveying part 23, a pretreatment part 31, a coating part 41 Transfer sections 51 and 53, peeling sections 61 and 63, and robot transfer sections 71 and 73, respectively.

도 2는, 제1 세정부(11)가 구비하는 세정 장치(111)의 개략을 나타내는 측면도이다. 제1 세정부(11)는, X축방향으로 연장되어 있으며, 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)의 쌍방을 세정 가능한 세정 장치(111)를 구비하고 있다. 제1 세정부(11)는, 코로 반송(롤러 반송)에 의해서 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)을, +X방향으로 반송하면서, 물이나 약액 등으로 세정 처리한다.Fig. 2 is a side view schematically showing the cleaning device 111 provided in the first cleaning part 11. Fig. The first cleaning unit 11 is provided with a cleaning device 111 extending in the X axis direction and capable of cleaning both the blanket 91 and the printing plate 93. The first cleaning unit 11 performs cleaning processing with water or a chemical liquid while conveying the blanket 91 or the printing plate 93 in the + X direction by nose conveyance (roller conveyance).

도 2에 나타난 바와 같이, 세정 장치(111)는, 프리웨트부(14), 약액 처리부(15) 및 린스부(16)로 구성되어 있다. 프리웨트부(14), 약액 처리부(15) 및 린스부(16)는, +X방향을 향해 이 순서로 인접 배치되어 있다. 프리웨트부(14), 약액 처리부(15) 및 린스부(16)는, 각각, 적어도 1개의 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)을 수용하는 공간을 구비하고 있다. 그리고, 프리웨트부(14), 약액 처리부(15) 및 린스부(16)의 경계 부분에는, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)이 통과할 수 있도록 개구가 형성되어 있다.2, the cleaning device 111 is composed of a pre-wetting portion 14, a chemical solution processing portion 15, and a rinsing portion 16. The prewet portion 14, the chemical liquid processing portion 15, and the rinsing portion 16 are arranged adjacently in the + X direction in this order. The prewet portion 14, the chemical liquid processing portion 15 and the rinsing portion 16 each have a space for accommodating at least one blanket 91 or the printing plate 93. An opening is formed at a boundary portion between the pre-wetting portion 14, the chemical liquid processing portion 15 and the rinsing portion 16 so that the blanket 91 or the printing plate 93 can pass through.

프리웨트부(14), 약액 처리부(15) 및 린스부(16)에 있어서의 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)의 반송은, 소정의 간격을 두고 배치되어 있는 복수의 경사 롤러(17)에 의해서 반송된다.The transfer of the blanket 91 or the printing plate 93 in the prewet portion 14, the chemical liquid processing portion 15 and the rinsing portion 16 is carried out by a plurality of inclined rollers 17 .

도 3은, 제1 세정부(11)에 있어서 반송되는 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)을 +X 측을 향해 보았을 때의 개략 정면도이다. 도 3에 나타난 바와 같이, 각 경사 롤러(17)는, 수평면(XY평면)에 대해 기울어 배치되어 있다. 이 때문에, 각 경사 롤러(17)의 상단에 지지된 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)은, 수평면에 대해 기운 자세로 반송된다. 또, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)의 중력 방향 하측(-Z측)의 측단부(91T, 93T)는, 지지 롤러(18)의 표면에 접촘함으로써 지지된다.3 is a schematic front view when the blanket 91 and the printing plate 93 conveyed by the first cleaner section 11 are viewed toward the + X side. As shown in Fig. 3, each of the inclined rollers 17 is inclined with respect to a horizontal plane (XY plane). Therefore, the blanket 91 or the printing plate 93 supported on the upper end of each of the inclining rollers 17 is conveyed in a tilted posture with respect to the horizontal plane. The side end portions 91T and 93T of the blanket 91 or the lower side of the printing plate 93 in the gravity direction (-Z side) are supported by being joined to the surface of the support roller 18.

지지 롤러(18)는, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)의 표면에 수직인 방향으로 연장되는 축(181) 둘레로 회전 가능하게 구성되어 있다. 경사 롤러(17)의 구동에 의해서, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)이 +X방향으로 반송되면, 지지 롤러(18)가 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)의 이동에 추종하여, 축(181) 둘레로 회전한다. 이에 의해, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)이 중력 방향 하측으로 흘러떨어지지 않도록, +X방향을 향해 반송된다. 또한, 지지 롤러(18)는, 도시하지 않는 구동력(모터 등)에 의해서 능동적으로 회전하도록 구성되어 있어도 되고, 프리 롤러로서 수동적으로 회전하도록 구성되어 있어도 된다.The support roller 18 is configured to be rotatable about an axis 181 extending in a direction perpendicular to the surface of the blanket 91 or the printing plate 93. When the blanket 91 or the printing plate 93 is conveyed in the + X direction by the driving of the inclining roller 17, the supporting roller 18 follows the movement of the blanket 91 or the printing plate 93, 181 < / RTI > Thus, the blanket 91 or the printing plate 93 is transported toward the + X direction so as not to flow downward in the gravity direction. The support roller 18 may be configured so as to be actively rotated by a driving force (motor or the like) (not shown) or passively rotated as a free roller.

프리웨트부(14)는, 샤워 노즐(141)로부터 물 또는 소정의 약액을 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)에 공급하여, 이들을 프리웨트한다. 약액 처리부(15)는, 2유체 노즐(151)로부터, 세정용 약액을 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)에 공급하여, 이들을 세정 처리한다. 린스부(16)는, 샤워 노즐(161)로부터 물 등의 린스액을 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)에 공급하여, 세정용 약액을 씻어낸다. 반송중, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)은 수평면에 대해 경사져 있다. 이 때문에, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)에 공급된 액체는 수시로 중력 방향 하측으로 흘러떨어져 간다. 이와 같이 하여, 제1 세정부(11)는 웨트 세정을 행한다.The pre-wet part 14 supplies water or predetermined chemical liquid from the shower nozzle 141 to the blanket 91 or the printing plate 93 to pre-wet them. The chemical liquid processing section 15 supplies the cleaning liquid from the two fluid nozzles 151 to the blanket 91 or the printing plate 93 and cleans them. The rinsing unit 16 supplies a rinsing liquid such as water from the shower nozzle 161 to the blanket 91 or the printing plate 93 to wash the cleaning liquid. During the transportation, the blanket 91 or the printing plate 93 is inclined with respect to the horizontal plane. Therefore, the liquid supplied to the blanket 91 or the printing plate 93 flows downward in the gravitational direction at any time. In this way, the first cleaning part 11 performs wet cleaning.

본 실시형태에서는, 도 3에 나타난 바와 같이, 블랭킷(91)의 폭(Y축방향의 길이)(L1)이, 인쇄판(93)의 폭(L2)보다도 크게 되어 있다. 이와 같이, 경사 롤러(17) 및 지지 롤러(18)에 의해서, 중력 방향 하측의 위치(즉, 지지 롤러(18)의 지지 위치)에서, 반송 대상물을 가지런히 하여 반송할 수 있다. 이에 의해, 폭이 상이한 복수종의 반송 대상물이어도, 그 위치 결정을 용이하고 또한 확실하게 행할 수 있다. 따라서, 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)의 쌍방의 세정 처리를 양호하게 행할 수 있다.In the present embodiment, the width (length in the Y-axis direction) L1 of the blanket 91 is larger than the width L2 of the printing plate 93 as shown in Fig. As described above, the slope roller 17 and the support roller 18 can transport the object to be transported in a uniform position at a lower position in the gravity direction (i.e., the support position of the support roller 18). As a result, even in the case of a plurality of types of transport objects having different widths, the positioning can be easily and reliably performed. Therefore, both the blanket 91 and the printing plate 93 can be cleaned satisfactorily.

경사 롤러(17)는, 등 간격으로 배치되어 있는 복수의 차륜(171), 및, 복수의 차륜(171)이 부착되어 있는 축(173)을 구비하고 있다. 이 복수의 차륜(171)의 간격은, 2개의 반송 대상물인 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)의 유연함에 의해 결정된다. 즉, 본 실시형태에서는, 블랭킷(91)은, 상술한 바와 같이, 비교적 유연한 소재로 형성되어 있다. 이 때문에, 차륜(171, 171) 사이의 거리가 너무 크면, 블랭킷(91) 중, 그들에 지지되는 2개의 지지 부분의 내측 부분이, 차륜(171, 171) 사이에 가라앉아, 세정 불량이 발생할 우려가 있다. 이 경우, 차륜(171, 171) 사이의 거리를, 블랭킷(91)의 유연함에 의해, 좁게 함으로써, 블랭킷(91)의 변형을 억제할 수 있다. 이에 의해, 블랭킷(91)의 세정 불량의 발생을 저감할 수 있다.The tilting rollers 17 are provided with a plurality of wheels 171 arranged at equal intervals and a shaft 173 to which a plurality of wheels 171 are attached. The interval between the plurality of wheels 171 is determined by the flexibility of the blanket 91 and the printing plate 93 which are two carrying objects. That is, in this embodiment, the blanket 91 is formed of a relatively flexible material as described above. Therefore, if the distance between the wheels 171 and 171 is too large, the inner portions of the two support portions supported by the blanket 91 are squeezed between the wheels 171 and 171, There is a concern. In this case, deformation of the blanket 91 can be suppressed by narrowing the distance between the wheels 171 and 171 by the flexibility of the blanket 91. [ As a result, the occurrence of defective cleaning of the blanket 91 can be reduced.

수도부(21)는, 제1 세정부(11)의 +X측에 인접하여 설치되어 있다. 제1 세정부(11)에서 세정된 블랭킷(91)은, 수도부(21)에 의해서, +X측에 인접하는 제2 세정부(13)로 반송된다. 또, 제1 세정부(11)에서 세정된 인쇄판(93)은, 수도부(21)에 의해서, +Y측에 인접하는 로봇 반송부(71)의 반송 로봇(711)에 건네진다. 수도부(21)는, 반송 대상물을 +X방향으로 반송하는, 예를 들면 복수의 반송 롤러 등으로 구성된다.The water supply portion 21 is provided adjacent to the + X side of the first cleaner 11. The blanket 91 washed in the first washing section 11 is conveyed to the second washing section 13 adjacent to the + X side by the water receiving section 21. [ The printing plate 93 washed by the first cleaning section 11 is transferred to the transfer robot 711 of the robot transfer section 71 adjacent to the + Y side by the water receiving section 21. The water receiving portion 21 is constituted by, for example, a plurality of conveying rollers for conveying the conveying object in the + X direction.

도 4는, 제2 세정부(13)의 개략을 나타내는 측면도이다. 제2 세정부(13)는, 제1 세정부(11)와는 상이한 양태로, 블랭킷(91)을 세정하는 부분이다. 본 실시형태에서는, 제2 세정부(13)는, 도 4에 나타난 바와 같이, 소정의 간격을 두고 배치된 복수의 반송 롤러(131)에 의해서 블랭킷(91)을 +X방향으로 반송한다. 그리고 제2 세정부(13)는, Y축방향으로 연장되는 세정용 브러시(133)를, 블랭킷(91)의 상면에 누름으로써 그 표면의 오염 등을 닦아내는, 소위 드라이 세정을 행한다.Fig. 4 is a side view schematically showing the second cleaner 13. Fig. The second cleaning section 13 is a portion for cleaning the blanket 91 in a mode different from that of the first cleaning section 11. In the present embodiment, as shown in Fig. 4, the second cleaning section 13 conveys the blanket 91 in the + X direction by a plurality of conveying rollers 131 arranged at a predetermined interval. The second cleaning section 13 performs so-called dry cleaning, in which the cleaning brush 133 extending in the Y-axis direction is wiped on the upper surface of the blanket 91 to wipe out contamination on the surface thereof.

전처리부(31)는, 제2 세정부(13)에 있어서 드라이 세정이 완료된 블랭킷(91)을 수취하고, 전처리를 행한다. 전처리로는, 예를 들면 베이크 처리 등을 들 수 있다. 전처리부(31)는, 제2 세정부(13)에 대해 +Y측에 인접 배치되어 있다. 제2 세정부(13)·전처리부(31) 사이의 블랭킷(91)의 이동은, 도시를 생략하나, 예를 들면 반송 롤러 등에 의한 코로 반송에 의해 실현된다. 전처리를 끝낸 블랭킷(91)은 도포부(41)로 반송된다.The pre-treatment section 31 receives the dry-cleaned blanket 91 in the second cleaning section 13 and performs pre-treatment. Examples of the pretreatment furnace include baking treatment and the like. The preprocessing section 31 is disposed adjacent to the second cleaner section 13 on the + Y side. The movement of the blanket 91 between the second wiping section 13 and the preprocessing section 31 is realized by, for example, conveying to the nose by a conveying roller or the like, although not shown. After the pre-treatment, the blanket 91 is conveyed to the application unit 41.

도포부(41)는, 전처리부(31)의 -X측에 인접 배치되어 있다. 도포부(41)는, 전처리를 끝낸 블랭킷(91)의 표면에, 전사제를 도포한다. 전사제는, 예를 들면, 제조하는 기판(9)의 종별에 따라 결정된다. 예를 들면, 컬러 필터 전용의 기판(9)을 제조하는 경우에는, 도포부(41)에 있어서, 컬러 필터용 수지 등이 전사제로서 도포되고, 또, 유기 EL디바이스 전용 기판을 제조하는 경우에는, 유기 EL재료가 전사재로서 도포된다. 또한, 도포부(41)에 있어서의 전사제의 도포는, 예를 들면 슬릿형상의 토출구가 형성된 슬릿 노즐로부터 전사제를 토출하면서, 상기 슬릿 노즐을 블랭킷(91)에 대해 상대적으로 이동시킴으로써, 블랭킷(91)의 표면에 전사제의 막을 형성하도록 해도 된다. 혹은, 스핀 코트법에 따라 블랭킷(91)에 전사제가 도포되도록 해도 된다.The application section 41 is disposed adjacent to the -X side of the preprocessing section 31. The application section 41 applies a transfer agent to the surface of the blanket 91 after the pretreatment. The transfer agent is determined, for example, according to the type of the substrate 9 to be produced. For example, in the case of manufacturing the substrate 9 dedicated to the color filter, in the case where a resin for a color filter or the like is applied as a transfer agent in the application portion 41 and a substrate dedicated to an organic EL device is manufactured , An organic EL material is applied as a transferring material. The application of the transfer agent in the application portion 41 can be performed by moving the slit nozzle relative to the blanket 91 while discharging the transfer agent from a slit nozzle having a slit-shaped discharge port, for example, A film of a transfer agent may be formed on the surface of the substrate 91. Alternatively, the transfer agent may be applied to the blanket 91 by the spin coat method.

로봇 반송부(71)는, 도포부(41)의 -X측의 위치이며, 또한, 수도부(21)의 +Y 측에 인접 배치되어 있다. 로봇 반송부(71)는, 반송 로봇(711)을 구비하고 있다. 반송 로봇(711)은, 복수개의 핑거부를 구비하고 있다. 반송 로봇(711)은, 복수의 핑거부를, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)의 하측에 침입시킨 후, 상승시킴으로써, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)을 하측으로부터 들어올려 지지한다. 또, 반송 로봇(711)은, Z축방향으로 연장되는 축을 회전축으로 하여, 핑거부를 선회시키는 것이 가능하다.The robot transfer portion 71 is located on the -X side of the application portion 41 and is disposed adjacent to the + Y side of the water supply portion 21. [ The robot transfer section 71 is provided with a transfer robot 711. The carrying robot 711 has a plurality of finger portions. The transport robot 711 lifts the blanket 91 or the printing plate 93 from below by intruding a plurality of finger portions into the lower side of the blanket 91 or the printing plate 93 and raising the blanket 91 or the printing plate 93 from below. In addition, the carrying robot 711 can rotate the finger portion with the axis extending in the Z-axis direction as the rotation axis.

구체적으로, 반송 로봇(711)은, +X측의 도포부(41)로부터, 전사제가 도포된 블랭킷(91)을 수취하고, 시계 방향으로(또는 반시계 방향으로) 180°선회함으로써, 핑거부에 지지한 블랭킷(91)을 전사부(51)에 건넨다. 또, 반송 로봇(711)은, 수도부(21)에 배치된 웨트 세정 처리 후의 인쇄판(93)을 수취하고, 반시계 방향으로 90°선회하여, 핑거부에 지지한 인쇄판(93)을 전사부(51)에 건넨다.Specifically, the carrying robot 711 receives the blanket 91 coated with the transfer agent from the coating portion 41 on the + X side and turns 180 degrees clockwise (or counterclockwise) The blanket 91 supported on the transfer section 51 is transferred. The conveying robot 711 receives the wet cleaning process printing plate 93 disposed in the water receiving portion 21 and rotates the printing plate 93 in the counterclockwise direction by 90 ° so that the printing plate 93, (51).

전사부(51)는, 로봇 반송부(71)의 -X측에 인접 배치되어 있다. 전사부(51)는, 블랭킷(91)을 인쇄판(93)에 접합하여 패턴을 전사하는 전사 장치(511)를 구비하고 있다. 반송 로봇(711)은, 블랭킷(91)을 이 전사 장치(511)에 건네고, 인쇄판(93)을 스테이지(55)에 건넨다. 그리고, 전사 장치(511)는, 스테이지(55)에 고정된 인쇄판(93)에, 블랭킷(91)을 한쪽 단부로부터 다른쪽 단부에 걸쳐 점차 눌러 감으로써, 인쇄판(93)의 인쇄 패턴에 대응한 패턴을 블랭킷(91) 상에 전사한다. 전사 장치(511)로는, 예를 들면, 특허 문헌 2(일본국 특허 공개 2010-234714호 공보)에 기재된 인쇄 장치를 변형한 것을 채용하는 것을 생각할 수 있다.The transfer section 51 is disposed adjacent to the -X side of the robot transfer section 71. The transfer section 51 is provided with a transfer device 511 for transferring a pattern by bonding the blanket 91 to the printing plate 93. [ The conveying robot 711 hands the blanket 91 to the transfer device 511 and hands the printing plate 93 to the stage 55. [ The transfer device 511 gradually presses the blanket 91 from one end portion to the other end portion of the printing plate 93 fixed to the stage 55 so as to press the blanket 91 against the printing pattern of the printing plate 93 The pattern is transferred onto the blanket 91. As the transfer device 511, for example, a modification of the printing device described in Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-234714) may be adopted.

박리부(61)는, 전사부(51)의 -X측에 인접 배치되어 있으며, 인쇄판(93)에 접합된 블랭킷(91)을 인쇄판(93)으로부터 박리하는, 박리 장치(611)를 구비하고 있다. 전사부(51)에서 접합된 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)의 복합체는, 스테이지(55)의 가이드부(57)를 따른 -X방향으로의 직선 이동에 의해서, 박리부(61)의 박리 장치(611)까지 반송된다. 박리 장치(611)는, 블랭킷(91)을, 그 다른쪽 단부(또는 한쪽 단부)로부터 한쪽 단부(또는 다른쪽 단부)에 걸쳐 서서히 인쇄판(93)으로부터 박리한다. 박리 장치(611)로는, 예를 들면, 전사 장치(511)와 마찬가지로, 특허 문헌 2(일본국 특허 공개 2010-234714호 공보)에 기재된 인쇄 장치를 변형한 것을 채용하는 것을 생각할 수 있다.The peeling section 61 is provided with a peeling apparatus 611 disposed adjacent to the -X side of the transfer section 51 and separating the blanket 91 bonded to the printing plate 93 from the printing plate 93 have. The composite of the blanket 91 and the printing plate 93 joined at the transferring portion 51 is moved in the X direction along the guide portion 57 of the stage 55 by the linear movement in the X direction, And is conveyed to the apparatus 611. The peeling apparatus 611 gradually peels the blanket 91 from the other end (or one end) of the blanket 91 from the printing plate 93 over one end (or the other end). As the peeling apparatus 611, it is conceivable to employ, for example, a modification of the printing apparatus described in Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-234714) as in the case of the transfer apparatus 511.

또한, 전사부(51)의 전사 장치(511)와, 박리부(61)의 박리 장치(611)를 모아, 1대의 장치로 전사(접합) 처리와 박리 처리가 행해지도록 하는 것도 가능하다.It is also possible to collect the transferring device 511 of the transferring section 51 and the peeling apparatus 611 of the peeling section 61 so that the transferring (peeling) treatment and the peeling treatment are performed by one apparatus.

로봇 반송부(73)는, 박리부(61)의 -X측에 인접 배치되어 있다. 로봇 반송부(73)는, 반송 로봇(711)과 거의 동일한 구성의 반송 로봇(731)을 구비하고 있다. 박리부(61)에 있어서, 인쇄판(93)으로부터 박리된 블랭킷(91)은, 로봇 반송부(73)의 반송 로봇(731)에 의해서, 박리 장치(611)로부터 취출되어, 전사부(53)로 반송된다. 또, 스테이지(55)에 유지된 인쇄판(93)은, 반송 로봇(731)에 의해서 취출되어, 수도 반송부(23)에 건네진다.The robot transfer section 73 is disposed adjacent to the -X side of the peeling section 61. The robot transfer section 73 includes a transfer robot 731 having substantially the same configuration as that of the transfer robot 711. The blanket 91 peeled off from the printing plate 93 in the peeling section 61 is taken out from the peeling apparatus 611 by the carrying robot 731 of the robot transfer section 73 and transferred to the transfer section 53. [ . The printing plate 93 held on the stage 55 is taken out by the conveying robot 731 and passed to the water supply conveying section 23. [

로봇 반송부(73)는, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)을 외부로부터 보충하거나 혹은 외부로 배출하거나 한다. 예를 들면, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)의 사용 횟수가, 규정 횟수에 도달한 경우, 또는, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)에 손상 등이 발생한 경우에, 로봇 반송부(73)에 의해서, 블랭킷(91) 또는 인쇄판(93)의 배출 및 보충이 실행된다.The robot transfer section 73 replenishes the blanket 91 or the printing plate 93 from the outside or discharges it to the outside. For example, when the number of times of use of the blanket 91 or the printing plate 93 reaches the prescribed number of times, or when the blanket 91 or the printing plate 93 is damaged, The blanket 91 or the printing plate 93 is discharged and replenished.

전사부(53)는, 로봇 반송부(73)의 -X측에 인접 배치되어 있으며, 전사부(51)와 동일하게 전사 장치(531)를 구비하고 있다. 전사 장치(531)는, -X측으로부터 기판(9)의 공급을 받음과 더불어, +X측으로부터 반송 로봇(731)으로부터 블랭킷(91)의 공급을 받는다. 그리고, 앞서 기술한 전사부(51)에 있어서의 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)의 접합과 동일하게 하여, 블랭킷(91) 및 기판(9)의 접합이 행해진다. 이에 의해, 블랭킷(91)에 형성되어 있던 패턴이, 기판(9)에 전사된다. 전사부(53)에서 접합된 블랭킷(91) 및 기판(9)의 복합체는, 반송 로봇(731)에 의해서, 전사 장치(531)로부터 취출되어, 수도 반송부(23)에 건네진다.The transfer section 53 is disposed adjacent to the -X side of the robot transfer section 73 and has the transfer device 531 in the same manner as the transfer section 51. [ The transfer device 531 receives the supply of the substrate 9 from the -X side and the supply of the blanket 91 from the transport robot 731 from the + X side. Bonding of the blanket 91 and the substrate 9 is carried out in the same manner as the bonding of the blanket 91 and the printing plate 93 in the transfer unit 51 described above. As a result, the pattern formed on the blanket 91 is transferred to the substrate 9. The composite of the blanket 91 and the substrate 9 joined by the transferring unit 53 is taken out of the transferring apparatus 531 by the transferring robot 731 and is transferred to the water supply returning unit 23.

수도 반송부(23)는, 로봇 반송부(73)의 -Y측의 위치이며, 또한, 제1 세정부(11)의 -X측에 인접 배치되어 있다. 수도 반송부(23)는, 도시를 생략하나, 예를 들면, 필요한 간격을 두고 배치된 복수의 반송 롤러를 구비하고 있다. 수도 반송부(23)는, 반송 로봇(731)으로부터 수취한, 블랭킷(91) 및 기판(9)의 복합체를, -X측의 박리부(63)로 반송한다. 또, 수도 반송부(23)는, 반송 로봇(731)으로부터 건네진 인쇄판(93)을, +X측의 제1 세정부(11)로 반송한다. 이에 의해, 한번 전사 처리에 사용된 인쇄판(93)은, 제1 세정부(11)에서 세정됨으로써, 전사 처리에 재이용된다. 즉, 수도 반송부(23)는, 전사 처리 후의 인쇄판(93)을 제1 세정부(11)를 향해서 반송하는 반송부를 구성한다.The water conveyance section 23 is located on the -Y side of the robot transfer section 73 and is disposed adjacent to the -X side of the first washing section 11. [ Although not shown, for example, the water transporting section 23 includes a plurality of conveying rollers arranged at necessary intervals. The water conveyance section 23 conveys the complex of the blanket 91 and the substrate 9 received from the conveying robot 731 to the peeling section 63 on the -X side. The water transporting section 23 transports the printing plate 93 transferred from the transportation robot 731 to the first cleaning section 11 on the + X side. As a result, the printing plate 93 used in the transfer process once is reused in the transfer process by being cleaned in the first cleaning section 11. [ That is, the water supply conveyance section 23 constitutes a conveyance section that conveys the printing plate 93 after the transfer process toward the first washing section 11. [

박리부(63)는, 수도 반송부(23)의 -X측에 인접 배치되어 있으며, 블랭킷(91)을 기판(9)으로부터 박리하는 박리 장치(631)를 구비하고 있다. 박리부(63)에 있어서 블랭킷(91)이 박리된 기판(9)은, -X측으로 반출된다. 또, 박리된 블랭킷(91)은, 수도 반송부(23)로 반송된다. 수도 반송부(23)로 건네진 사용이 끝난 블랭킷(91)은, 수도 반송부(23)의 구동에 의해서, 제1 세정부(11)로 반송된다. 이에 의해, 기판(9)으로의 전사에 사용된 블랭킷(91)은, 제1 세정부(11)에서 세정됨으로써, 다시 전사부(51, 53)에서의 전사 처리에 재이용된다. 즉, 수도 반송부(23)는, 전사 처리 후의 블랭킷(91)을 제1 세정부(11)를 향해서 반송하는 반송부를 구성한다.The peeling section 63 is provided adjacent to the -X side of the water supply conveyance section 23 and has a peeling apparatus 631 for peeling the blanket 91 from the substrate 9. The substrate 9 on which the blanket 91 has been peeled off in the peeling section 63 is carried to the -X side. Further, the separated blanket 91 is conveyed to the water supply conveyance section 23. The used blanket 91 passed to the water conveying section 23 is conveyed to the first washing section 11 by driving of the water conveying section 23. [ The blanket 91 used for transfer to the substrate 9 is reused in the transferring process in the transferring portions 51 and 53 again by being cleaned in the first cleaner 11. [ That is, the water supply conveyance unit 23 constitutes a conveyance unit that conveys the blanket 91 after the transfer processing toward the first cleaner 11. [

<1. 2. 패턴 전사><1. 2. Pattern transfer>

도 5는, 패턴 전사 시스템(1)에 있어서, 패턴이 전사된 기판(9)을 제조하는 흐름을 나타내는 흐름도이다. 또한, 도 5에 나타나는 흐름도는 일례이며, 각 공정의 실행 순서 등은, 필요에 따라서 적절히 변경 가능한 것으로 한다.Fig. 5 is a flowchart showing the flow of manufacturing the substrate 9 on which the pattern is transferred in the pattern transfer system 1. Fig. Note that the flowchart shown in Fig. 5 is an example, and the order of execution of each step and the like may be appropriately changed as necessary.

우선, 제1 세정부(11)에서, 블랭킷(91)이 웨트 세정된다(도 5:단계 S1). 그리고, 제1 세정부(11)에서 세정된 블랭킷(91)이 수도부(21)를 거쳐 제2 세정부로 반송되고, 드라이 세정된다(도 5:단계 S2). 도 1에 나타난 바와 같이, 이 단계 S11 및 S12에 있어서의 블랭킷(91)의 이동 방향은, +X방향으로 되어 있다.First, in the first cleaning unit 11, the blanket 91 is wet-cleaned (Fig. 5: step S1). Then, the blanket 91 washed in the first washing section 11 is conveyed to the second washing section through the water feeding section 21 and is dry-cleaned (Fig. 5: step S2). As shown in Fig. 1, the moving direction of the blanket 91 in the steps S11 and S12 is the + X direction.

블랭킷(91)의 드라이 세정이 완료되면, 상기 블랭킷(91)이 전처리부(31)로 반송되어, 전처리가 행해진다(도 5:단계 S3). 이 전처리는, 예를 들면, 베이크 처리이다. 또, 도 1에 나타난 바와 같이, 제2 세정부(13)로부터 전처리부(31)로 반송되었을 때, 블랭킷(91)의 이동 방향이 지금까지의 +X방향에서 +Y방향으로 전환된다.When the dry cleaning of the blanket 91 is completed, the blanket 91 is conveyed to the pretreatment section 31 and preprocessed (FIG. 5: step S3). This pretreatment is, for example, baking treatment. 1, the direction of movement of the blanket 91 is shifted from the + X direction to the + Y direction so far when it is transported from the second cleaner section 13 to the preprocessing section 31.

전처리가 완료된 블랭킷(91)은, 도포부(41)로 반송된다. 그리고, 도포부(41)에 있어서, 블랭킷(91)의 표면에 있어서의 소정의 범위에 전사제가 도포된다(도 5:단계 S4). 전사제의 도포가 완료되면, 블랭킷(91)은, 반송 로봇(711)에 의해서 전사부(51)로 반송된다.The pre-processed blanket 91 is conveyed to the application unit 41. Then, in the applying section 41, a transfer agent is applied to a predetermined range on the surface of the blanket 91 (Fig. 5: step S4). When the application of the transfer agent is completed, the blanket 91 is conveyed to the transfer unit 51 by the conveying robot 711.

또, 블랭킷(91)의 세정으로부터 전사제의 도포까지의 처리(단계 S1~단계 S4)에 병행하여, 제1 세정부(11)에 있어서의, 인쇄판(93)의 세정이 행해진다(도 5:단계 S5). 제1 세정부(11)에 있어서 세정된 인쇄판(93)은, 반송 로봇(711)에 의해서 전사부(51)로 반송된다. 그리고, 인쇄판(93)은, X축방향으로 직선 이동하는 스테이지(55)에 고정된다.The cleaning of the printing plate 93 in the first cleaner 11 is carried out in parallel with the process from the cleaning of the blanket 91 to the application of the transfer agent (step S1 to step S4) : Step S5). The cleaned printing plate 93 in the first cleaning section 11 is transported to the transfer section 51 by the transfer robot 711. [ Then, the printing plate 93 is fixed to the stage 55 which moves linearly in the X-axis direction.

전사부(51)로 반송된 블랭킷(91)은, 전사 장치(511)에 의해서, 스테이지(55) 에 고정된 인쇄판(93)에 접합된다. 그리고, 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)의 복합체가 박리부(61)의 박리 장치(611)로 반송되어, 블랭킷(91)이 인쇄판(93)으로부터 박리된다. 이에 의해, 인쇄판의 인쇄 패턴에 대응한 소정의 패턴이, 블랭킷(91)에 형성된다(제1 패턴 전사, 도 5:단계 S6).The blanket 91 conveyed to the transfer section 51 is bonded to the printing plate 93 fixed to the stage 55 by the transfer device 511. [ The composite of the blanket 91 and the printing plate 93 is conveyed to the peeling apparatus 611 of the peeling section 61 and the blanket 91 is peeled off from the printing plate 93. Thereby, a predetermined pattern corresponding to the printing pattern of the printing plate is formed in the blanket 91 (first pattern transfer, Fig. 5: step S6).

단계 S6의 패턴 전사가 완료되면, 인쇄판(93)은 반송 로봇(731)에 의해서 수도 반송부(23)로 반송되고, 또한 제1 세정부(11)로 반송된다. 그리고, 인쇄판(93)의 세정이 행해진다(도 5:단계 S7). 즉, 제1 세정부(11)에서 세정되는 인쇄판(93)은, 블랭킷(91)으로 패턴을 전사한 것이다. 이와 같이, 블랭킷(91)으로 패턴을 전사한 인쇄판(93)을 제1 세정부(11)로 반송함으로써, 인쇄판(93)을 재이용할 수 있다. 이에 의해, 패턴 전사 시스템(1)에 있어서 사용되는 인쇄판(93)의 수량을 줄일 수 있다.When the pattern transfer in step S6 is completed, the printing plate 93 is conveyed to the water conveying section 23 by the conveying robot 731 and conveyed to the first cleaning section 11. [ Then, the cleaning of the printing plate 93 is performed (Fig. 5: step S7). That is, the printing plate 93, which is cleaned by the first cleaning unit 11, is a pattern transferred to the blanket 91. As described above, the printing plate 93, on which the pattern is transferred by the blanket 91, is conveyed to the first cleaner 11, so that the printing plate 93 can be reused. Thus, the number of the printing plates 93 used in the pattern transfer system 1 can be reduced.

단계 S7에 병행하여, 기판(9)이 전사부(53)로 반입된다(도 5:단계 S8). 또한, 기판(9)의 전사 장치(531)로의 반입은, 단계 S7보다도 전의 시간에 행해져도 된다. 그리고, 전사부(53)에 반입된 블랭킷(91)이, 전사 장치(531)에 의해서 기판(9)에 접합된다. 그 후, 블랭킷(91)과 기판(9)의 복합체가 반송 로봇(731)에 의해서, 전사 장치(531)로부터 취출되어, 수도 반송부(23)로 반송된다. 그리고, 수도 반송부(23)로부터 박리부(63)로 복합체가 반송되어, 박리 장치(631)에 의해서 블랭킷(91)이 기판(9)으로부터 박리된다. 이에 의해, 기판(9)에 인쇄판(93)의 인쇄 패턴에 대응한 패턴이 전사된다(제2 패턴 전사, 도 5:단계 S9).In parallel with step S7, the substrate 9 is carried into the transfer section 53 (Fig. 5: step S8). Incidentally, the transfer of the substrate 9 to the transfer device 531 may be performed before the step S7. The blanket 91 carried into the transfer section 53 is bonded to the substrate 9 by the transfer device 531. [ The composite of the blanket 91 and the substrate 9 is taken out of the transfer device 531 by the transfer robot 731 and is transferred to the water supply conveying section 23. [ The composite is then conveyed from the water conveyance section 23 to the peeling section 63 and the blanket 91 is peeled off from the substrate 9 by the peeling apparatus 631. Thus, a pattern corresponding to the print pattern of the printing plate 93 is transferred to the substrate 9 (second pattern transfer, Fig. 5: step S9).

단계 S9에서 기판(9)에 패턴을 전사한 블랭킷(91)은, 수도 반송부(23)를 거쳐, 제1 세정부(11)로 반송되어, 세정 처리가 행해진다(도 5:단계 S10). 즉, 제1 세정부(11)에서 세정되는 블랭킷(91)은, 기판(9)에 패턴을 전사한 것으로 되어 있다. 이와 같이, 패턴 전사에 사용된 블랭킷(91)을 세정함으로써 재이용할 수 있다. 이에 의해, 패턴 전사 시스템(1)에 있어서 사용되는 블랭킷(91)의 수량을 줄일 수 있다. 또, 단계 S10와 병행하여 패턴이 형성된 기판(9)은, 박리부(63)로부터 외부로 반출된다(도 5:단계 S11).The blanket 91 transferring the pattern to the substrate 9 in step S9 is conveyed to the first cleaner 11 via the water supply conveyance unit 23 and subjected to a cleaning process (Fig. 5: step S10) . That is, the blanket 91 to be cleaned by the first cleaner 11 is a pattern transferred onto the substrate 9. [ In this manner, the blanket 91 used for pattern transfer can be cleaned and reused. Thereby, the number of blanket 91 used in the pattern transfer system 1 can be reduced. The substrate 9 on which the pattern is formed in parallel with the step S10 is taken out from the peeling unit 63 (Fig. 5: step S11).

이상과 같이 하여, 패턴 전사 시스템(1)에 있어서, 패턴이 전사된 기판(9)이 제조된다. 또, 이러한 각 공정이 반복해서 행해짐으로써, 패턴 전사 시스템(1)에 있어서 기판(9)이 양산된다.As described above, in the pattern transfer system 1, the substrate 9 onto which the pattern is transferred is manufactured. In addition, by repeating these steps, the substrate 9 is mass-produced in the pattern transfer system 1.

<1. 3. 비교예><1. 3. Comparative Example>

도 6은, 비교예에 따른 패턴 전사 시스템(100)의 개략 평면도이다. 비교예에 따른 패턴 전사 시스템(100)에서는, 제1 세정부(11), 전처리부(31), 도포부(41), 전사부(51), 박리부(61), 전사부(53) 및 박리부(63)가, 이 순번으로 일렬로 배열되어 있다. 또, 각 처리부의 측방 부분에, 무인 반송(AGV) 에리어(700)가 설치되어 있다. AGV 에리어(700)에서는, 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)이 제1 세정부(11) 측으로부터 반입되어, 박리부(63) 측으로 반출된다. 또, AGV 에리어(700)에서는, 박리부(63) 측으로부터 기판(9)이 반입되고, 또한, 패턴이 전사된 기판(9)이 박리부(63) 측으로부터 반출된다. 또한, AGV 에리어(700)와, 각 처리부 사이에 있어서의, 블랭킷(91), 인쇄판(93) 또는 기판(9)의 반송이 반송 로봇(701~707)에 의해서 행해진다.6 is a schematic plan view of a pattern transfer system 100 according to a comparative example. In the pattern transfer system 100 according to the comparative example, the first cleaner 11, the pretreatment unit 31, the application unit 41, the transfer unit 51, the peeling unit 61, the transfer unit 53, And the peeling portions 63 are arranged in a line in this order. In addition, an AGV area 700 is provided at the side of each processing section. In the AGV area 700, the blanket 91 and the printing plate 93 are carried from the first cleaner 11 side and carried to the peeler 63 side. In the AGV area 700, the substrate 9 is carried in from the peeling section 63 side and the substrate 9 to which the pattern is transferred is carried out from the peeling section 63 side. The transporting robots 701 to 707 transport the blanket 91, the printing plate 93 or the substrate 9 between the AGV area 700 and each processing unit.

비교예에 따른 패턴 전사 시스템(100)의 경우, AGV 에리어(700) 및 최저 7대의 반송 로봇(701~707)이 필요해져, 그들의 점유 면적이 상당히 커져 버린다. 이에 대해, 패턴 전사 시스템(1)의 경우, 적어도 AGV 에리어(700) 및 반송 로봇(701~707)의 일부를 생략할 수 있기 때문에, 그 만큼의 점유 면적을 삭감할 수 있다는 메리트가 있다.In the case of the pattern transfer system 100 according to the comparative example, the AGV area 700 and the minimum of seven conveying robots 701 to 707 are required, and their occupied area becomes considerably large. On the other hand, in the case of the pattern transfer system 1, at least the AGV area 700 and a part of the conveying robots 701 to 707 can be omitted, so that it is advantageous that the occupied area can be reduced.

또, 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)이 재이용되지 않고 패턴 전사 시스템(100)으로부터 반출된다. 이 때문에, 패턴 전사 시스템(100)에 있어서 사용하는 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)의 수량이 증대해 버린다. 이에 대해, 패턴 전사 시스템(1)의 경우, 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)을 순환 재이용하기 때문에, 수량을 절약할 수 있다는 메리트가 있다.Also, the blanket 91 and the printing plate 93 are unloaded from the pattern transfer system 100 without being reused. As a result, the number of blanket 91 and printing plate 93 used in the pattern transfer system 100 increases. On the other hand, in the case of the pattern transfer system 1, since the blanket 91 and the printing plate 93 are circulated and reused, there is an advantage that the quantity can be saved.

또, 기판(9)에 있어서의 패턴 형성의 정밀도를 높이기 위해서는, 전사제가 도포된 상태의 블랭킷(91), 상기 블랭킷(91)과 인쇄판(93)의 복합체, 패턴이 형성된 상태의 블랭킷(91), 및, 블랭킷(91)과 기판(9)의 복합체(이하, 이들을 「전사제 기재」라고도 칭함)를 소요 온도로 유지함으로써, 전사제 기재가 변형되는 것을 억제하는 것을 억제할 필요가 있다. 이 때문에, 전사제 기재가 반송되는 영역(도 6중, 해칭으로 표시된 영역)을, HEPA 필터 유닛 등의 온도 조정 기기로 온도 조정함과 더불어, 이 영역을 다른 영역으로부터 구획하기 위한 벽을 설치하여, 주변 환경과의 분리를 도모할 필요가 있다. 이에 대해, 패턴 전사 시스템(1)의 경우, 적어도, AGV 에리어(700) 및 반송 로봇(703~707)의 일부를 생략할 수 있기 때문에, 그 점유 면적분에 상당하는 온도 조정 관리 비용을 삭감할 수 있다는 메리트가 있다.In order to improve the accuracy of pattern formation on the substrate 9, the blanket 91 in a state in which a transfer agent is applied, the composite of the blanket 91 and the printing plate 93, the blanket 91 in a state in which the pattern is formed, And the composite of the blanket 91 and the substrate 9 (hereinafter also referred to as " transfer material substrate ") at a desired temperature must be suppressed from suppressing the deformation of the transfer substrate. Therefore, the temperature of the region to which the transferred substrate is transferred (the region indicated by hatching in FIG. 6) is adjusted by a temperature adjusting device such as a HEPA filter unit, and a wall for partitioning the region from other regions , It is necessary to plan the separation from the surrounding environment. On the other hand, in the case of the pattern transfer system 1, at least the AGV area 700 and part of the transporting robots 703 to 707 can be omitted, so that the temperature adjustment management cost corresponding to the occupied area can be reduced There is merit that it can be.

<2. 제2 실시형태><2. Second Embodiment>

제1 실시형태에 따른 패턴 전사 시스템(1)에서는, 블랭킷(91) 및 인쇄판(93) 을 +X방향 또는 -X방향으로 직선적으로 반송하여 각 처리가 행해지도록, 각 처리부가 배치되어 있다. 그러나, 각 처리부의 배치 방법은 이에 한정되는 것은 아니다.In the pattern transfer system 1 according to the first embodiment, the respective processing units are arranged such that the blanket 91 and the printing plate 93 are linearly transported in the + X direction or the -X direction, and the respective processes are performed. However, the arrangement method of each processing section is not limited to this.

도 7은, 제2 실시형태에 따른 패턴 전사 시스템(1A)의 개략 평면도이다. 또한, 본 실시형태의 설명에 있어서, 제1 실시형태에 따른 패턴 전사 시스템(1)의 요소와 동일한 기능을 갖는 요소에 대해서는, 동일 부호를 부여하여 그 설명을 생략한다.7 is a schematic plan view of the pattern transfer system 1A according to the second embodiment. In the description of this embodiment, elements having the same functions as the elements of the pattern transfer system 1 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

패턴 전사 시스템(1A)에서는, 블랭킷(91)을 처리하기 위한 블랭킷 처리부(81)와, 인쇄판(93)을 처리하기 위한 인쇄판 처리부(83)와, 블랭킷(91) 및 인쇄판(93) 사이의 패턴의 전사, 및, 블랭킷(91) 및 기판(9) 사이의 패턴의 전사를 행하는 전사 처리부(85)를 구비하고 있다.The pattern transfer system 1A is provided with a blanket processing section 81 for processing the blanket 91, a printing plate processing section 83 for processing the printing plate 93, a pattern between the blanket 91 and the printing plate 93 And a transfer processing section 85 for transferring the pattern between the blanket 91 and the substrate 9.

블랭킷 처리부(81)에는 중앙에 반송 로봇(751)이 배치되어 있으며, 반송 로봇(751)의 주위에 세정부(11A), 전처리부(31), 도포부(41) 및 수도부(21A)가 배치되어 있다. 세정부(11A)에는 도시를 생략하지만, 코로 반송 등에 의해서 블랭킷(91)을 외부로부터 반송 로봇(751)을 향해서 반송하는 반송 유닛과, 블랭킷(91) 을 세정 처리하는 세정 유닛이 예를 들면, 상하의 위치에 계층적으로 각각 배치되어 있다. 수도부(21A)는, 전사 처리부(85)에 접속되어 있다. 수도부(21A)는, 도포부(41)에 있어서 전사제의 도포가 행해진 블랭킷(91), 및, 전사 처리부(85)에 있어서, 기판(9)에 패턴을 전사한 블랭킷(91)을 일시적으로 올려놓기 위한 장소를 제공한다. 수도부(21A)는, 복수의 블랭킷(91)을, 예를 들면 상하로 필요한 간격을 두고 계층적으로 보관하도록 구성된다.A cleaning robot 751 is disposed at the center of the blanket processing unit 81. A cleaning unit 11A, a pretreatment unit 31, a coating unit 41, and a water supply unit 21A are provided around the transfer robot 751 Respectively. Although not shown in the cleaning section 11A, a cleaning unit for cleaning the blanket 91 may be used as the cleaning unit, for example, a cleaning unit for cleaning the blanket 91, a transfer unit for transferring the blanket 91 from the outside to the transfer robot 751, And are arranged hierarchically at the upper and lower positions, respectively. The water supply section 21A is connected to the transfer processing section 85. [ The water receiving portion 21A is provided with a blanket 91 in which the transfer agent is applied in the application portion 41 and a blanket 91 in which the pattern is transferred to the substrate 9 in the transfer processing portion 85, As shown in FIG. The water receiving portion 21A is configured to store a plurality of blanket 91 in a hierarchical manner at necessary intervals, for example, up and down.

반송 로봇(751)은, 반송 로봇(711, 731)과 거의 동일한 구성을 구비하고 있으며, 세정부(11A)의 반송 유닛에 의해서 외부로부터 반입된 블랭킷(91), 또는, 수도 반송부(23)에 올려진 전사 후의 블랭킷(91)을, 세정부(11A)의 세정 유닛에 반입한다. 그리고, 반송 로봇(751)은, 세정 후의 블랭킷(91)을 전처리부(31), 도포부(41), 수도부(21A)로 적절하게 반송한다. 이에 의해, 각 처리부에서, 블랭킷(9 1)이 처리된다.The conveying robot 751 has substantially the same structure as the conveying robots 711 and 731. The conveying robot 751 has a configuration in which the blanket 91 carried from the outside by the conveying unit of the cleaner 11A, To the cleaning unit of the cleaning unit 11A after the transfer. The carrying robot 751 suitably conveys the cleaned blanket 91 to the pretreatment unit 31, the application unit 41, and the water supply unit 21A. Thereby, in each of the processing sections, the blanket 91 is processed.

인쇄판 처리부(83)에는, 중앙에 반송 로봇(771)이 배치되어 있으며, 반송 로봇(771)의 주위에, 세정부(11B), 전처리부(31A) 및 수도부(21B)가 배치되어 있다. 세정부(11B)는, 세정부(11A)와 동일하게, 반송 유닛 및 세정 유닛이, 예를 들면 상하의 위치에 각각 배치되어 있다. 수도부(21B)는, 전사 처리부(85)에 접속되어 있다. 수도부(21B)는, 전처리부(31A)에서 소정의 전처리(베이크 처리 등)를 끝낸 인쇄판(93), 및, 전사 처리부(85)에 있어서, 블랭킷(91)에 패턴을 전사한 인쇄판(93)을 일시적으로 올려 두기 위한 장소를 제공한다. 수도부(21B)는, 복수의 인쇄판(93)을, 예를 들면 상하로 필요한 간격을 두고 계층적으로 보관하도록 구성된다.The printing plate processing section 83 is provided with a conveying robot 771 at the center and a cleaning section 11B, a pretreatment section 31A and a water receiving section 21B are disposed around the conveying robot 771. In the cleaning section 11B, like the cleaning section 11A, the transport unit and the cleaning unit are arranged at, for example, the upper and lower positions, respectively. The water supply section 21B is connected to the transfer processing section 85. [ The water receiving portion 21B is provided with a printing plate 93 that has undergone predetermined preprocessing (baking treatment) in the preprocessing portion 31A and a printing plate 93 in which the pattern is transferred to the blanket 91 in the transfer processing portion 85 ) To provide a place to temporarily put up. The water receiving portion 21B is configured to store the plurality of printing plates 93 in a hierarchical manner at necessary intervals, for example, up and down.

반송 로봇(771)은, 반송 로봇(751)과 거의 동일한 구성을 구비하고 있으며, 세정부(11B)의 반송 유닛에 의해서 외부로부터 반입된 인쇄판(93), 또는, 수도부(21B)에 올려진 전사 후의 인쇄판(93)을, 세정부(11B)의 세정 유닛에 반입한다. 그리고, 반송 로봇(771)은, 세정 후의 인쇄판(93)을 전처리부(31A), 수도부(21B)로 적절히 반송한다. 이에 의해, 각 처리부에서 인쇄판(93)이 처리된다.The conveying robot 771 has substantially the same structure as the conveying robot 751 and is provided with a printing plate 93 carried from the outside by the conveying unit of the cleansing unit 11B, The transfer printing plate 93 is carried into the cleaning unit of the cleaning section 11B. The conveying robot 771 suitably conveys the cleaned printing plate 93 to the pretreatment unit 31A and the water supply unit 21B. Thereby, the printing plate 93 is processed in each processing section.

전사 처리부(85)에는, 중앙에 반송 로봇(791)이 배치되어 있으며, 반송 로봇(791)의 주위에, 전사부(51, 53), 박리부(61, 63), 기판 반입부(87) 및 기판 반출부(89)가 배치되어 있다. 반송 로봇(791)은 반송 로봇(711) 등과 동일하게, 복수의 핑거부에 의해서 블랭킷(91), 인쇄판(93) 또는 기판(9)을 지지한다. 단, 반송 로봇(791)은, 각 처리부에 액세스 가능하게 하기 위해서 수평 방향으로 이동하기 위한 이동 기구(도시하지 않음), 및, 복수의 핑거부를 상하로 승강시키기 위한 승강기구(도시하지 않음)를 구비하고 있다.The transfer processing unit 85 is provided with a transfer robot 791 at the center and the transfer units 51 and 53, the peeling units 61 and 63, the substrate carrying unit 87, And a substrate carry-out section 89 are disposed. The conveying robot 791 supports the blanket 91, the printing plate 93 or the substrate 9 by a plurality of finger reflections in the same manner as the conveying robot 711 or the like. However, the transport robot 791 is provided with a moving mechanism (not shown) for moving in the horizontal direction so as to be accessible to each processing section and an elevating mechanism (not shown) for moving the plural fingers up and down Respectively.

반송 로봇(791)은, 전사제가 도포된 블랭킷(91)을 수도부(21A)로부터 취득하여, 전사부(51)로 반송한다. 또, 세정 및 전처리가 된 인쇄판(93)을 수도부(21B)로부터 취득하여 전사부(51)로 반송한다. 이에 의해, 전사부(51)에서 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)의 접합이 행해진다.The transfer robot 791 acquires the blanket 91 coated with the transfer agent from the water receiving portion 21A and transfers it to the transfer portion 51. [ Further, the printing plate 93, which has been cleaned and pretreated, is obtained from the water receiving portion 21B and is transported to the transfer portion 51. [ Thereby, the blanket 91 and the printing plate 93 are bonded to each other at the transferring portion 51.

또, 반송 로봇(791)은, 전사부(51)에서 접합된 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)의 복합체를 수취하여, 박리부(61)로 반송한다. 그리고, 박리부(61)에서 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)의 박리가 행해진다.The transfer robot 791 receives the composite of the blanket 91 and the printing plate 93 bonded by the transfer unit 51 and transfers the composite to the peeling unit 61. Then, the blanket 91 and the printing plate 93 are peeled off from the peeling unit 61.

또한, 반송 로봇(791)은, 박리된 인쇄판(93)을 취득하여, 수도부(21B)로 반송한다. 또, 반송 로봇(791)은, 인쇄판(93)으로부터 박리된 블랭킷(91)을 박리부(61)로부터 취득하여 전사부(53)로 반송한다. 또, 외부로부터 기판 반입부(87)에 공급된 기판(9)을 취득하여, 전사부(53)로 반송한다. 이에 의해, 전사부(53)에서 블랭킷(91) 및 기판(9)의 접합이 행해진다.Further, the conveying robot 791 acquires the peeled printing plate 93 and conveys it to the water receiving portion 21B. The transfer robot 791 acquires the blanket 91 peeled off from the printing plate 93 from the peeling unit 61 and transfers the blanket 91 to the transfer unit 53. Further, the substrate 9 supplied from the outside to the substrate carrying-in unit 87 is obtained and transferred to the transferring unit 53. Thereby, the blanket 91 and the substrate 9 are bonded to each other at the transferring portion 53.

또, 반송 로봇(791)은, 블랭킷(91) 및 기판(9)의 복합체를, 전사부(53)로부터 취득하여, 박리부(63)로 반송한다. 그리고 박리부(63)에서 블랭킷(91) 및 기판(9)의 박리가 행해진다.The transfer robot 791 acquires the composite of the blanket 91 and the substrate 9 from the transfer unit 53 and transfers the composite to the peeling unit 63. [ Then, the blanket 91 and the substrate 9 are peeled off from the peeling section 63.

또한, 반송 로봇(791)은, 박리된 기판(9)을 취득하여, 기판 반출부(89)로 반송한다. 이에 의해, 패턴이 형성된 기판(9)이 외부로 반출 가능해진다. 또, 기판(9)으로부터 박리된 블랭킷(91)을 박리부(63)로부터 취득하여, 수도부(21A)로 반송한다.Further, the transfer robot 791 acquires the peeled substrate 9 and transfers it to the substrate carry-out unit 89. [ Thereby, the substrate 9 on which the pattern is formed can be taken out to the outside. Further, the blanket 91 peeled off from the substrate 9 is taken from the peeling section 63 and is conveyed to the water receiving section 21A.

이상과 같이, 본 실시형태에 따른 패턴 전사 시스템(1A)에 있어서도, 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)의 재이용이 가능하다. 이 때문에, 패턴 전사 시스템(1A)에 대해 사용하는 블랭킷(91) 및 인쇄판(93)의 수량의 각각을 줄일 수 있다.As described above, also in the pattern transfer system 1A according to the present embodiment, the blanket 91 and the printing plate 93 can be reused. Therefore, the number of the blankets 91 and the number of the printing plates 93 used for the pattern transfer system 1A can be reduced, respectively.

또, 패턴 전사 시스템(1A)에서는, 반송 로봇(751, 771 및 791)의 주위에 각 처리부를 배치하는, 소위 클러스터 배치를 채용하고 있다. 클러스터 배치를 채용함으로써, 예를 들면, 중앙의 반송 로봇(791)의 동작을 기준으로 하여, 전사 처리부(85)의 각 처리부(전사부(51, 53), 박리부(61, 63), 기판 반입부(87) 및 기판 반출부(89))에 있어서의 동작의 실행 시간을 각각 규정할 수 있다. 또한, 전사 처리부(85)에 있어서의, 각 처리부의 동작의 실행 시간이 결정되면, 블랭킷 처리부(81) 및 인쇄판 처리부(83)의 각 처리부(반송 로봇(751, 771)을 포함함)의 동작시간을 결정할 수 있다. 즉, 클러스터 배치를 채용함으로써, 패턴 전사 시스템(1A)이 구비하는 각 요소의 동작의 제어(또는 스케줄링)가 용이해진다.The pattern transfer system 1A employs a so-called cluster arrangement in which the respective processing units are arranged around the transfer robots 751, 771, and 791. [ The transfer portions 51 and 53 and the peeling portions 61 and 63 of the transfer processing portion 85 and the transfer portions 51 and 53 of the transfer processing portion 85 are set on the basis of the operation of the central transfer robot 791, The carry-in section 87 and the board carry-out section 89) can be respectively defined. When the execution time of the operation of each processing section in the transfer processing section 85 is determined, the operation of each processing section (including the transporting robots 751 and 771) of the blanket processing section 81 and the printing plate processing section 83 Time can be determined. That is, by employing the cluster arrangement, it becomes easy to control (or schedule) the operation of each element included in the pattern transfer system 1A.

<3. 변형예><3. Modifications>

이상, 실시형태에 대해서 설명해 왔는데, 본 발명은 상기와 같은 것에 한정되는 것이 아니라, 다양한 변형이 가능하다.Although the embodiments have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible.

예를 들면, 상기 실시형태에 따른 패턴 전사 시스템(1, 1A)은, 블랭킷(91) 및 인쇄판(93) 쌍방을 재이용하도록 구성되어 있는데, 어느 한쪽만을 재이용하도록 구성되어 있어도 된다.For example, the pattern transfer systems 1 and 1A according to the above embodiment are configured to reuse both the blanket 91 and the printing plate 93, but they may be configured to reuse only one of them.

또, 상기 각 실시형태 및 각 변형예에서 설명한 각 구성은, 서로 모순되지 않는 한 적절히 조합할 수 있다.It is to be noted that the configurations described in the above-described embodiments and modified examples can be appropriately combined as long as they do not contradict each other.

이 발명은 상세하게 설명되었는데, 상기한 설명은 모든 국면에 있어서, 예시이며, 이 발명이 거기에 한정되는 것은 아니다. 예시되어 있지 않은 무수한 변형예가 이 발명의 범위로부터 벗어나지 않고 상정될 수 있는 것이라고 해석된다.The present invention has been described in detail, and the above description is exemplary in all aspects, and the present invention is not limited thereto. It is understood that numerous modifications that are not illustrated can be made without departing from the scope of the present invention.

1, 1A, 100: 패턴 전사 시스템 11: 제1 세정부(세정부)
111: 세정 장치 11A, 11B: 세정부
13: 제2 세정부(제2의 세정부) 14: 프리웨트부
15: 약액 처리부 16: 린스부
17: 경사 롤러(경사부) 18: 지지 롤러(지지부)
1A: 패턴 전사 시스템 23: 수도 반송부(반송부)
41: 도포부 51: 전사부(제1 전사부)
53: 전사부(제2 전사부) 511, 531: 전사 장치
61, 63: 박리부 611, 631: 박리 장치
711, 731, 751, 771, 791: 반송 로봇 71, 73: 로봇 반송부
81: 블랭킷 처리부 83: 인쇄판 처리부
85: 전사 처리부 9: 기판
91: 블랭킷 93: 인쇄판1, 1A, 100: pattern transfer system 11: first taxation (taxation)
111: Cleaning device 11A, 11B: Cleaning part
13: second-tier government (second-tier government) 14: pre-wet part
15: Chemical liquid treatment part 16: Rinse part
17: inclined roller (inclined portion) 18: supporting roller (supporting portion)
1A: pattern transfer system 23: water supply conveying section (conveying section)
41: application part 51: transfer part (first transfer part)
53: Transfer part (second transfer part) 511, 531: Transfer device
61, 63: peeling section 611, 631: peeling apparatus
711, 731, 751, 771, 791: conveying robots 71, 73:
81: blanket processing section 83: printing plate processing section
85: transfer processor 9: substrate
91: Blanket 93: Printing plate

Claims

A pattern transfer system for transferring a pattern onto a substrate in accordance with an offset printing method,
A cleaning unit for cleaning the printing plate,
A coating unit for applying a transfer agent to the blanket,
A first transfer unit that transfers a pattern corresponding to a print pattern of the printing plate to the blanket by bonding the blanket coated with the transfer agent by the application unit and the printing plate cleaned by the cleaning unit;
A second transfer unit transferring the pattern to the substrate by bonding the blanket transferred with the pattern to the substrate,
And a transfer section for transferring the printing plate transferred from the first transfer section to the blanket toward the cleaning section.

A pattern transfer system for transferring a pattern onto a substrate in accordance with an offset printing method,
A cleaning unit for cleaning the blanket,
An application unit for applying a transfer agent to the blanket cleaned by the cleaning unit,
A first transfer unit for transferring a pattern corresponding to a print pattern of the printing plate onto the blanket by bonding the blanket and the printing plate coated with the transfer agent by the application unit;
A second transfer unit transferring the pattern to the substrate by bonding the blanket transferred with the pattern to the substrate,
And a transfer section for transferring the blanket transferred from the second transfer section to the substrate toward the cleaning section.

The method according to claim 1 or 2,
Wherein the cleaning section includes a cleaning device capable of cleaning both the blanket and the printing plate.

The method of claim 3,
Wherein the cleaning device is configured to clean the blanket and the printing plate by supplying the treatment liquid to the surface while conveying the blanket and the printing plate in one direction.

The method of claim 4,
The cleaning apparatus includes a slant conveying section for slanting and conveying the blanket and the printing plate,
And a support portion for supporting the inclined side wall portion of the blanket and the printing plate at a lower side in the gravity direction.

The method of claim 4,
Wherein the direction of movement of the blanket from the application portion to the first transfer portion is opposite to the one direction.

The method of claim 2,
Further comprising a second cleaning section for cleaning the blanket cleaned by the cleaning section in a manner different from the cleaning section,
Wherein the applying section applies the transfer agent to the blanket cleaned in the second cleaning section.

A pattern transfer method for transferring a pattern onto a substrate in accordance with an offset printing method,
(a) cleaning the printing plate,
(b) applying a transfer agent to the blanket,
(c) transferring the pattern corresponding to the printing pattern of the printing plate onto the blanket by bonding the printing plate cleaned in the step (a) and the blanket coated with the transfer agent in the step (b)
(d) transferring the pattern onto the substrate by bonding the blanket transferred with the pattern in the step (c) to the substrate,
Wherein the printing plate cleaned in the step (a) is the printing plate on which the pattern is transferred to the blanket in the step (c).

A pattern transfer method for transferring a pattern onto a substrate in accordance with an offset printing method,
(A) cleaning the blanket,
(B) applying a transfer agent to the blanket cleaned in the step (A)
(C) transferring the pattern corresponding to the printing pattern of the printing plate to the blanket by bonding the blanket and the printing plate coated with the transfer agent in the step (B)
(D) transferring the pattern onto the substrate by bonding the blanket transferred with the pattern to the substrate,
Wherein the blanket to be cleaned in the step (A) is the blanket in which the pattern is transferred to the substrate in the step (D).