KR20140108202A - 스크린을 이용한 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치 - Google Patents

스크린을 이용한 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 스크린을 이용한 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치로서, 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치에 있어서, 패턴이 형성되는 시트를 일정 속도로 이송시키는 회전 드럼; 상기 시트에 형성될 패턴에 대응되는 패턴이 형성되어 있으며, 상기 회전 드럼의 하부에서 상기 회전 드럼 상에서 이송되는 시트에 밀착되어 상기 시트의 이송 속도와 동일한 속도와 방향으로 이동하는 필름 스크린; 및 증착 소스나 인쇄 소스를 수용하여, 상기 회전 드럼 상에 위치하는 시트에 상기 필름 스크린의 패턴에 대응되는 패턴을 형성시키기 위한 패턴 형성 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린을 이용한 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치이며, 이와 같은 본 발명에 의하면 연속적으로 정밀한 패턴을 빠르게 형성시킬 수 있는 패턴 형성 장치를 제공할 수 있다.

Description

스크린을 이용한 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치 {Pattern forming device of roll to roll type}
본 발명은 스크린을 이용한 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치에 대한 것으로서, 보다 상세하게는 롤투롤 방식으로 끊김 없이 연속적으로 전자 부품 시트에 패턴을 형성시킬 수 있는 패턴 형성 장치에 관한 것이다.
얇은 필름에 전자 부품적 기능을 갖게 하는 방법 중 하나가 스크린 인쇄 또는 증착으로서, PET나 폴리이미드 등으로 만들어진 유연한 필름 기판에 대한 스크린 인쇄나 증착은 가동 부품의 전기 신호를 전하는 배선이나 접이식 휴대 전화의 경첩을 통과하는 배선, 카메라의 렌즈내 배선 등에 사용된다.
스크린 인쇄나 증착을 통해 직접 필름상에 패턴을 형성할 수 있기 때문에, 얇거나 구부러져야 하는 배선 기판이나 터치 패널 및 센서, 태양 전지나 연료 전지 등 다방면에 걸친 분야에 응용이 가능하다.
이와 같은 스크린 인쇄나 증착으로 필름 디바이스 생산의 효율을 높이는 방법 중 하나로서 롤투롤 방식이 있다. 종래는 시트로 처리되는 경우가 많았던 스크린 인쇄 또는 증착이지만, 롤투롤화 함으로써 장치간에 연속적으로 흘러 반송에 따른 노력이나 손실을 경감시켜 줄뿐만 아니라 클린도도 높일 수 있다.
도 1은 일반적인 롤투롤 방식의 스크린 증착 장비에 대한 기본적인 구성을 도시한다.
제1 권취롤(60)에는 전자 부품용 시트(30)가 감겨져 있고, 원통형 회전 드럼(50)의 회전에 따라 제1 권취롤(60)에서 풀려 패턴이 형성된 시트(30)는 제2 권취롤에 감겨지게 된다.
시트(30)는 회전 드럼(50)의 주면을 따라 주행하며, 회전 드럼(50)의 주면 상에 위치한 시트 영역이 증착이 되는 부분이다. 회전 드럼(50)의 하부에는 증착 장치(10)가 설치되는데, 증착 장치(10)는 형성될 패턴에 대응되는 마스크(11)와 증착 소스를 수용한 패턴 형성 수단(13)을 포함한다.
이와 같은 종래의 롤투롤 방식의 스크린 인쇄나 증착 장비는 마스크(11)가 고정된 상태에서 패턴 형성 과정이 이루어지므로 패턴 형성 과정이 실질적으로는 연속적이지 않은데, 회전 드럼(50)이 멈춘 상태에서 패턴 형성 과정을 수행하고 패턴 형성이 끝나면 회전 드럼(50)이 작동하여 일정부분의 시트를 이송시키게 된다.
또한 마스크는 평면형태이지만 회전 드럼에 밀착된 시트는 회전 드럼의 형태와 같은 곡선이 되므로 시트의 중앙부와 가장자리부에 형성되는 패턴이 서로 상이하게 되고 가장자리부에 형성되는 패턴에는 번짐 현상이 발생되기도 한다.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하고자 하는 것으로서, 롤투롤 방식의 패턴 형성 과정이 실질적으로 연속적이지 못하고 단속적으로 이루어지는 점을 해결하고자 한다.
또한 시트의 중앙부와 가장자리부에 형성되는 패턴이 서로 상이하게 되고 가장자리부에 형성되는 패턴에는 번짐 현상이 발생하는 문제점을 해결하고자 한다.
특히 연속적으로 정밀한 패턴을 빠르게 형성시킬 수 있는 패턴 형성 장치를 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.
상기 기술적 과제를 달성하고자 본 발명의 제1 특징적 구성은, 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치에 있어서, 패턴이 형성되는 시트를 일정 속도로 이송시키는 회전 드럼; 상기 시트에 형성될 패턴에 대응되는 패턴이 형성되어 있으며, 상기 회전 드럼의 하부에서 상기 회전 드럼 상에서 이송되는 시트에 밀착되어 상기 시트의 이송 속도와 동일한 속도와 방향으로 이동하는 필름 스크린; 및 증착 소스나 인쇄 소스를 수용하여, 상기 회전 드럼 상에 위치하는 시트에 상기 필름 스크린의 패턴에 대응되는 패턴을 형성시키기 위한 패턴 형성 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린을 이용한 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치이다.
본 발명의 제1 실시예로서, 상기 필름 스크린은, 시작단과 끝단이 서로 연결된 무한 궤도로 형성되며, 상기 필름 스크린을 상기 회전 드럼 하부면에 밀착시켜, 상기 시트와 동일한 속도와 방향으로 회전시키는 회전 수단을 더 포함할 수 있다.
바람직하게는 상기 회전 드럼의 하부에 위치하여 상기 회전 드럼의 하단부 형태에 맞춰서 상기 필름 스크린을 상기 회전 드럼 하부면에 위치하는 시트에 밀착시키는 밀착 수단을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 제2 실시예로서, 상기 필름 스크린이 권취롤에 권취되어, 상기 권취롤에서 상기 필름 스크린을 풀어 상기 상기 시트와 동일한 속도와 방향으로 이송시키는 이송 수단 및 상기 스크린 권취롤에서 풀린 상기 필름 스크린을 상기 회전 드럼의 하단부 형태에 맞춰서 상기 필름 스크린을 상기 회전 드럼 하부면에 위치하는 시트에 밀착시키는 이송로를 더 포함할 수 있다.
바람직하게는 상기 회전 드럼은 원통형으로 형성되어 끊김 없이 연속적으로 회전할 수 있다.
본 발명의 제2 특징적 구성은, 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치에 있어서, 패턴이 형성되는 시트를 패턴 형성 후 일정 길이만큼 이송시키는 정다각형의 회전 드럼; 상기 정다각형의 한면에 대응되는 크기를 가지고, 상기 시트에 형성될 패턴에 대응되는 패턴이 형성된 마스크 스크린; 증착 소스나 인쇄 소스를 수용하여, 상기 회전 드럼 상에 위치하는 시트에 상기 마스크 스크린의 패턴에 대응되는 패턴을 형성시키기 위한 패턴 형성 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치이다.
바람직하게는 상기 시트의 패턴 형성시에는 상기 마스크 스크린을 상승시켜 상기 회전 드럼 상의 시트에 밀착시키고, 상기 시트의 이송시에는 상기 마스크 스트린을 하강시키는 승강 수단을 더 포함할 수 있다.
보다 바람직하게는 상기 마스크 스크린과 상기 패턴 형성 수단이 일체형으로 형성되고, 상기 승강 수단은 상기 일체형의 마스크 스크린과 패턴 형성 수단을 상승 또는 하강시킬 수 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 연속적으로 정밀한 패턴을 감광재를 사용하는 사진석판 공정, 건식 또는 습식 방식의 화학 식각 공정이 없이도 필름이나 기판 위에 빠르게 형성시킬 수 있는 패턴 형성 장치를 제공할 수 있다.
특히, 롤투롤 방식의 패턴 형성 과정을 실질적으로 연속적으로 수행함으로써 생산 속도를 단축시켜 효율성을 더욱 증대시킬 수 있다.
또한 시트의 중앙부와 가장자리부에 형성되는 패턴이 서로 상이하게 되고 가장자리부에 형성되는 패턴에는 번짐 현상이 발생하는 문제점을 해결할 수 있다.
도 1은 일반적인 롤투롤 방식의 스크린 증착 장비에 대한 기본적인 구성을 도시하며,
도 2는 본 발명에 따른 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치의 제1 실시예를 도시하며,
도 3은 상기 도 2의 제1 실시예에 대한 개선된 실시예를 도시하며,
도 4는 본 발명에 따른 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치의 제2 실시예를 도시하며,
도 5는 본 발명에 따른 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치의 제3 실시예를 도시하며,
도 6 및 도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 패턴 형성 장치의 동작 상태를 도시한다.
본 발명과 본 발명의 구성상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 설명하기 위하여 이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하고 이를 참조하여 살펴본다.
먼저, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니며, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다. 또한 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
본 발명은, 롤투롤 방식으로 끊김 없이 연속적으로 전자 부품 시트에 패턴을 형성시킬 수 있는 패턴 형성 장치를 개시한다.
본 발명은 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치의 기본적인 구성들을 포함하는데, 이하에서는 본 발명의 특징적 구성을 더욱 명확하게 설명하기 위해 일반적인 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치에 설치되는 구성들에 대한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명에 따른 패턴 형성 장치는 개략적으로 패턴이 형성되는 시트를 일정 속도로 이송시키는 회전 드럼, 상기 시트에 형성될 패턴에 대응되는 패턴이 형성되어 있으며, 상기 회전 드럼의 하부에서 상기 회전 드럼 상에서 이송되는 시트에 밀착되어 상기 시트의 이송 속도와 동일한 속도와 방향으로 이동하는 필름 스크린 및 증착 소스나 인쇄 소스를 수용하여, 상기 회전 드럼 상에 위치하는 시트에 상기 필름 스크린의 패턴에 대응되는 패턴을 형성시키기 위한 패턴 형성 수단을 포함한다.
도 2는 본 발명에 따른 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치의 제1 실시예를 도시한다.
상기 도 2의 제1 실시예는 스크린 증착 방식으로 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치에 대한 실시예이다.
앞서 종래기술에서 살펴본 바와 같이 제1 권취롤(60)에는 전자 부품용 시트(30)가 감겨져 있고, 원통형 회전 드럼(50)의 회전에 따라 제1 권취롤(60)에서 풀려 패턴이 형성된 시트(30)는 제2 권취롤에 감겨지게 되는데, 시트(14)는 회전 드럼(50)의 주면을 따라 주행하며, 회전 드럼(50)의 주면 상에 위치한 시트 영역이 증착이 되는 부분이다.
상기 도 2의 제1 실시예에서의 특징적 구성은 패턴 형성부(100)인데, 패턴 형성부(100)의 필름 스크린(110)은 시작단과 끝단이 서로 연결된 무한 궤도로 형성되며, 무한 궤도 형태의 필름 스크린(110)을 회전 드럼(50)의 하부면에 밀착시키면서 시트(30)와 동일한 속도와 방향으로 회전시키는 회전 수단(150, 170)을 포함한다. 여기서 회전 수단은 필름 스크린(110)의 무한 궤도 형태의 양 끝단에 각각 설치되어 필름 스크린(110)을 회전시킬 수 있는데, 상기 도 2에 도시된 회전 수단 이외에도 무한 궤도 형태의 필름 스크린의 장력을 유지시키면서 시트의 속도와 동일한 속도로 필름 스크린(110)을 회전시킬 수 있는 다양한 형태의 회전 수단이 적용될 수 있다.
그리고 증착 소스를 수용하여 회전 드럼(50) 상에 위치하는 시트(30)에 필름 스크린(110)의 패턴에 대응되는 패턴을 형성시키기 위한 패턴 형성 수단(130)은 무한 궤도 형태의 필름 스크린(110) 내측의 회전 드럼(50) 하단부에 위치된다.
여기서 패턴 형성 수단(130)은 전자빔 증착, 열 증착, 스퍼터링 증착, 이온빔 증착, 펄스 레이저 증착 등의 다양한 증착 방식의 장비가 적용될 수 있다.
상기 도 2에서는 무한 궤도 형태의 필름 스크린(110)이 시트(30)와 밀착되는 부분이 좁아 패턴의 형성시에 시트(30)의 중앙부와 가장자리부에 형성된 패턴에 서로 차이가 발생될 수 있으므로, 본 발명에서는 밀착 수단을 부가하여 이를 개선하는데, 도 3은 상기 도 2의 제1 실시예에 대한 개선된 실시예를 도시한다.
상기 도 3의 기본적인 구성은 상기 도 2의 제1 실시예와 동일하므로 반복적인 설명은 생략하며, 상기 도 3에서는 회전 드럼(50)의 하부에 위치하여 회전 드럼(50)의 하단부 형태에 맞춰서 필름 스크린(110)을 회전 드럼(50) 하부면에 위치하는 시트에 밀착시키는 밀착 수단으로서 회전 드럼(50) 하단부에 두 개의 가이드 롤러가 구비되어 있다.
이와 같이 가이드 롤러의 밀착 수단으로 필름 스크린(110)과 회전 드럼(50)의 하단면에 위치하는 시트(30)를 회전 드럼(50)의 하단부 곡선 형태에 맞춰서 밀착시키게 되므로 패턴 형성의 정밀성을 더욱 높일 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치의 제2 실시예를 도시한다.
상기 도 4의 제2 실시예에서 시트(30)를 이송시키는 회전 드럼(50) 등의 구성은 상기 도 2의 제1 실시예와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략한다.
상기 도 4의 제2 실시예에서 특징적 구성인 패턴 형성부(200)에 대하여 살펴보면, 필름 스크린(210)이 권취롤에 감겨져 있으며, 권취롤에서 필름 스크린을 풀어 상기 권취롤에서 상기 필름 스크린을 풀어 상기 상기 시트와 동일한 속도와 방향으로 이송시키는 이송 수단(250, 270)이 구비되는데, 상기 도 4에서는 권취롤과 이송 수단이 동일하게 도시되어 있으나 상황에 따라서는 권취롤과 이송수단을 별개로 구성시킬 수도 있다.
그리고 스크린 권취롤(250)에서 풀린 필름 스크린(210)을 회전 드럼(50)의 하단부 형태에 맞춰서 필름 스크린(210)을 회전 드럼(50) 하부면에 위치하는 시트(30)에 밀착시키는 이송로가 설치되는데, 상기 도 4에서는 회전 드럼(50) 하단부에 두 개의 가이드 롤러로 이송로가 구성되어 있다.
이와 같은 상기 제1 실시예와 제2 실시예에 의하면 원통형의 회전 드럼(50)이 끊김 없이 연속적으로 회전하면서 시트(30) 상에 패턴의 형성이 가능하게 된다.
또한 본 발명은 플렉서블한 필름 스크린 이외에 구부려지지 않는 금속 등의 마스크 스크린을 이용하는 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치도 개시하는데, 도 5는 본 발명에 따른 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치의 제3 실시예를 도시한다.
상기 도 5에서는 회전 드럼(400)이 정육각형으로 형성되어 있는데, 형성시킬 패턴 및 시트의 크기에 따라 다양한 정다각형의 회전 드럼이 구성될 수도 있다.
정육각형의 회전 드럼(400)은 시트(30)의 패턴 형성 중에는 그 일면이 마스크 스크린(310)과 패턴 형성 수단(330)에 평행하게 정렬하고, 시트(30)의 패턴 형성 후에는 회전하여 일정 길이만큼 시트(30)를 이송시킨다.
정육각형의 회전 드럼(400) 하부에 순차적으로 마스크 스크린(310)과 패턴 형성 수단(330)이 설치되는데, 상기 도 5에서는 마스크 스크린(310)과 패턴 형성 수단(330)이 일체형(300)으로 형성되어 있다.
이와 같은 상기 제3 실시예의 패턴 형성 장치의 동작 관계를 살펴보자면, 도 6은 패턴 형성 중의 동작도를 도시하고, 도 7은 패턴 형성 후 시트 이송 중의 동작도를 도시한다.
먼저 상기 도 6을 참조하여 패턴 형성 중의 동작을 살펴보면, 정육각형의 회전 드럼(400)의 일면이 일체형의 패턴 형성부(300)에 평행하게 정렬한 상태에서 패턴 형성부(300)의 마스크 스크린(310)이 정육각형의 회전 드럼(400) 상의 시트(30)에 밀착될 수 있도록 일체형의 패턴 형성부(300)가 상승한다.
일체형의 패턴 형성부(300)가 상승한 상태에서 패턴 형성 공정이 수행된 후 패턴 형성 공정이 완료되면, 그 다음 시트 부분의 패턴 형성을 위해 시트를 이송시키는데, 상기 도 7을 참조하여 시트 이송 중의 동작을 살펴보면 일체형의 패턴 형성부(300)가 일정 거리만큼 하강을 하고 정육각형의 회전 드럼(400)이 그 다음면에 위치한 시트가 일체형의 패턴 형성부(300)에 평행하게 위치될 때까지 회전을 하게 된다.
이와 같이 마스크 스크린(310)과 패턴 형성 수단(330)을 상승 또는 하강시키기 위해 승강 수단이 구비되며, 상기 도 5 내지 도 7에는 도시되어 있지 않으나, 마스크 스크린(310)과 패턴 형성 수단(330)을 일정 거리 상승 또는 하강시킬 수 있는 승강 액츄레이터, 유압 또는 공압식의 실린더를 이용하여 승강 수단이 구성될 수 있다.
이상에서 살펴본 본 발명에 의하면, 노광이나 현상 등의 포토 공정이나 건식 또는 습식 방식의 화학 식각 공정을 제거하고 연속적으로 정밀한 패턴을 간단하고 빠르게 형성시킬 수 있어 생산성을 높이는 동시에 환경 친화적인 패턴 형성 장치를 제공할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 기재된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상이 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의해서 해석되어야하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
30 : 시트, 50 : 원통형 회전 드럼,
60, 70 : 권취롤,
110 ,210 : 필름 스크린, 130, 230, 330 : 패턴 형성 수단,
150, 170 : 회전 수단,
310 : 마스크 스크린, 400 : 정육각형 회전 드럼.

Claims (8)

  1. 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치에 있어서,
    패턴이 형성되는 시트를 일정 속도로 이송시키는 회전 드럼;
    상기 시트에 형성될 패턴에 대응되는 패턴이 형성되어 있으며, 상기 회전 드럼의 하부에서 상기 회전 드럼 상에서 이송되는 시트에 밀착되어 상기 시트의 이송 속도와 동일한 속도와 방향으로 이동하는 필름 스크린; 및
    증착 소스나 인쇄 소스를 수용하여, 상기 회전 드럼 상에 위치하는 시트에 상기 필름 스크린의 패턴에 대응되는 패턴을 형성시키기 위한 패턴 형성 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린을 이용한 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 필름 스크린은,
    시작단과 끝단이 서로 연결된 무한 궤도로 형성되며,
    상기 필름 스크린을 상기 회전 드럼 하부면에 밀착시켜, 상기 시트와 동일한 속도와 방향으로 회전시키는 회전 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린을 이용한 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 회전 드럼의 하부에 위치하여 상기 회전 드럼의 하단부 형태에 맞춰서 상기 필름 스크린을 상기 회전 드럼 하부면에 위치하는 시트에 밀착시키는 밀착 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 필름 스크린이 권취롤에 권취되어, 상기 권취롤에서 상기 필름 스크린을 풀어 상기 상기 시트와 동일한 속도와 방향으로 이송시키는 이송 수단; 및
    상기 스크린 권취롤에서 풀린 상기 필름 스크린을 상기 회전 드럼의 하단부 형태에 맞춰서 상기 필름 스크린을 상기 회전 드럼 하부면에 위치하는 시트에 밀착시키는 이송로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 회전 드럼은 원통형으로 형성되어 끊김 없이 연속적으로 회전하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치.
  6. 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치에 있어서,
    패턴이 형성되는 시트를 패턴 형성 후 일정 길이만큼 이송시키는 정다각형의 회전 드럼;
    상기 정다각형의 한면에 대응되는 크기를 가지고, 상기 시트에 형성될 패턴에 대응되는 패턴이 형성된 마스크 스크린;
    증착 소스나 인쇄 소스를 수용하여, 상기 회전 드럼 상에 위치하는 시트에 상기 마스크 스크린의 패턴에 대응되는 패턴을 형성시키기 위한 패턴 형성 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 시트의 패턴 형성시에는 상기 마스크 스크린을 상승시켜 상기 회전 드럼 상의 시트에 밀착시키고, 상기 시트의 이송시에는 상기 마스크 스트린을 하강시키는 승강 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 마스크 스크린과 상기 패턴 형성 수단이 일체형으로 형성되고,
    상기 승강 수단은 상기 일체형의 마스크 스크린과 패턴 형성 수단을 상승 또는 하강시키는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 패턴 형성 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20190125618A (ko) 2018-04-30 2019-11-07 에스케이씨하이테크앤마케팅(주) 롤투롤 패턴 형성 방법

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