KR20140106143A

KR20140106143A - 내지문 박막 증착용 보트

Info

Publication number: KR20140106143A
Application number: KR1020130020309A
Authority: KR
Inventors: 권민철
Original assignee: 권민철
Priority date: 2013-02-26
Filing date: 2013-02-26
Publication date: 2014-09-03

Abstract

본 발명은 내지문(Anti-Finger) 박막 증착용 보트(Boat)에 관한 것으로, 이를 더욱 상세하게 설명하면, 일반적으로 스퍼터링을 이용하여 박막의 증착 시, 진공챔버 내의 약품을 열원을 이용하여 박막의 증착이 이루어지며, 증착되어지는 약품의 방향이 위를 바로 보게 되어 설치되어 있어서, 스퍼터의 효율이 떨어지고 약품이 위치가 일렬로 배치되어 위 보트(약품 지그)에 의해 아래 보트의 약품의 증발 방향에 장애가 발생되어 약품의 증발 ?향 및 효율성이 떨어진다.
따라서 본 발명에서는 약품의 방향이 타켓과 서로 마주보게 설치하는 것으로, 보트가 타켓을 바라볼 수 있게 세우고 약품을 고정시켜 증발시킬 시, 상하에 위치하고 있는 보트에 의해 약품의 증발 방향에 장애를 받지 않고 증착되어져 약품의 증발 ?향 및 효율성을 높일 수 있는 것을 특징으로 하는 내지문(Anti-Finger) 박막 증착용 보트(Boat)에 관한 것이다.

Description

내지문 박막 증착용 보트 {Anti-Finger print Boat}

본 발명은 내지문(Anti-Finger print) 박막 증착용 보트(Boat)에 관한 것으로, 스퍼터링을 이용하여 박막의 증착 시, 진공챔버 내의 약품을 열원을 이용하여 박막의 증착이 이루어지며, 약품의 방향이 타켓과 서로 마주보게 설치하여 보트가 타켓을 바라볼 수 있게 세우고 약품을 고정시켜 증발시킴으로, 상하에 위치하고 있는 보트에 의해 약품의 증발 방향에 장애를 받지 않고 증착되어져 약품의 증발 ?향 및 효율성을 높일 수 있는 것을 특징으로 하는 내지문(Anti-Finger) 박막 증착용 보트(Boat)에 관한 것이다.

일반적으로 디스플레이 산업이나 모바일 통신기기 등의 다양한 산업분야에 반드시 필요로 하는 기술로 기존 금속 박막의 경우, 주로 진공증착방식을 이용하여 코팅하는 것으로, 진공증착방식이란 기판 위에 박막 형성을 행하는 기술의 하나로서 진공 상태의 챔버(chamber) 내에서 증착원에 대면되게 기판을 배치하고, 증발원을 가열함으로써 발생한 증발된 분자는 일방향으로 이동하며 기판표면에 증착되어 박막을 형성하는 방식을 말하는 것이며, 스퍼터를 이용한 코팅방법으로 통상적인 진공증착 코팅의 경우, 진공챔버 내의 약품을 열원을 이용하여 박막의 증착이 이루어지며, 약품의 방향이 타켓과 서로 마주보게 설치하여 보트가 타켓을 바라볼 수 있게 세우고 약품을 고정시켜 증발시킨다.

그러나, 상기와 같이 진공챔버 내의 설치된 보트는, 진공챔버 내의 약품을 열원을 이용하여 박막의 증착이 이루어지며, 증착되어지는 약품의 방향이 위를 바로 보게 되어 설치되어 있어서, 스프터의 효율이 떨어지고 약품이 위치가 일렬로 배치되어 위 보트(약품 지그)에 의해 아래 보트의 약품의 증발 방향에 장애가 발생되어 약품의 증발 ?향 및 효율성이 떨어져 스프터링 시 박막의 증착이 코팅하고자 하는 대상물에 균일하게 코팅되지 않아 제품의 불량이 나타나고 있는 문제점 등이 있다.

또한, 이러한 이유로 약품의 증발에 장애를 받아 사용되는 약품의 양이 많고, 박막의 특성이 떨어지는 문제점이 있다.

종래 기술에서는 복수의 유전체 박막을 코팅하는 과정에서 한 층의 박막 두께만 달라져도 색상이 달라져 제품의 불량이 발생하고, 진공증착장비의 특성상 대량 생산이 어려워 가격 및 납기에 많은 문제점이 발생 되었다.

즉, 기존 유전체 박막의 경우 정밀하게 박막의 두께를 관리하면서 여러 층을 성막 해야 하는 어려움과 높은 가격이 문제가 되었으며, 다층의 박막을 스프터로 생산할 경우 장비의 고가화 및 낮은 성막 속도로 인하여 저가의 제품을 생산하기에는 많은 어려움이 있었다.

이에 상기의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에서는 내지문(Anti-Finger print) 박막 증착 시 고효율 보트(Boat)에 관한 것으로, 전자 빔(electron beam)이나 스퍼트 방식을 이용하여 코팅을 실시할 때 사용되는 보트(Boat)의 구조 및 위치를 변경함으로써 종래의 공정에 비하여 50%이상의 열원을 줄일 수 있으며, 코팅의 효율도 훨씬 뛰어난 특성을 가지는 박막 증착용 보트(Boat)는 약품고정용 클립을 개선하여 구성된 것이며, 스퍼터링을 이용하여 박막의 증착 시, 진공챔버 내의 약품을 열원을 이용하여 박막의 증착이 이루어지는 것으로, 약품의 방향이 타켓과 서로 마주보게 설치하여 보트가 타켓을 바라볼 수 있게 세우고 약품을 고정시켜 증발시킴으로, 상하에 위치하고 있는 보트에 의해 약품의 증발방향에 장애를 받지 않고 증착되어지며, 사용되는 약품의 양을 줄일 수 있음으로 약품의 증발 ?향 및 효율성을 높일 수 있는 내지문(Anti-Finger print) 박막 증착용 보트(Boat)를 제공하고자함에 그 목적이 있다.

이상의 설명에서와 같이, 본 발명에 따른 내지문(Anti-Finger print) 박막 증착용 보트(Boat)는 약품의 방향이 타켓과 서로 마주보게 설치하여 보트가 타켓을 바라볼 수 있게 세우고 약품을 고정시켜 증발시킴으로, 상하에 위치하고 있는 보트에 의해 약품의 증발 방향에 장애를 받지 않고 보다 효율적으로 코팅되어져 증착되어지도록 함으로써, 약품의 양을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 표면에서 식별 가능한 오염을 제거하는데 보다 효과적인 내지문성 코팅을 구현할 수 있게 되며, 이에 따라 디스플레이 표면, 전자 제품의 외관 등의 지문 오염을 효과적으로 감소시킬 수 있다.

도 1은 종래 박막 증착용 보트(1)와 본 발명의 박막증착용 보트(2)의 구성 비교도
도 2는 종래의 전자빔 시스템과 스퍼터링 시스템에서 보트가 설치된 구성의 실시도
도 3은 본 발명의 박막증착용 보트가 설치된 구성의 실시도

본 발명은 내지문(Anti-Finger print) 박막 증착용 보트(Boat)에 관한 것으로, 스퍼터링을 이용하여 박막의 증착 시, 진공챔버 내의 약품을 열원을 이용하여 박막의 증착이 이루어지며, 약품의 방향이 타켓과 서로 마주보게 설치하여 보트가 타켓을 바라볼 수 있게 세우고 약품을 고정시켜 증발시킴으로, 상하에 위치하고 있는 보트에 의해 약품의 증발 방향에 장애를 받지 않고 증착되어지며, 사용되는 약품의 양을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 약품의 증발 ?향 및 효율성을 높일 수 있는 내지문(Anti-Finger print) 박막 증착용 보트(Boat)에 관한 것이다.

본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 하기 실시예는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 범주가 이들 실시 예에 국한되는 것은 아니다.

본 발명에 적용되는 스프퍼터링(sputtering)법에 대하여 간략히 살펴보면, 아르곤 가스를 진공분위기로 이루어진 챔버(camber) 내로 주입하여 플라즈마를 생성시킨 후, 상기 플라즈마 내의 입자를 성막하고자 하는 타겟(target) 물질에 충돌시켜 이 충돌에 의해 타겟으로 부터 분리된 물질을 기판(substrate)에 코팅(coating)시키는 방법이다.

도 1은 종래 박막 증착용 보트(1)와 본 발명의 박막증착용 보트(2)의 구성 비교도를 나타낸 것으로, 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 1의 1)-1에 나타낸 것과 같이, 종래에 사용하고 있는 박막 증착용 보트(B)로 철판 모양에 약품(P)을 담을 수 있게 홈을 가지며, 그 홈에 약품을 넣어 승화시키도록 구성되었고, 도 1의 1)-2,3에 나타낸 것과 같이, 종래의 또 다른 보트(B)로 텅스텐을 재질로 철사 모양으로 하여 약품(P)을 포함할 수 있도록 나선형의 홈에 약품을 넣어 승화시키도록 구성된 것이 있다. 이들 보트(B)는 약품(P)과 홈의 사이즈가 맞지 않는 경우도 있고, 접촉면이 적당하지 않아 증발율이 다를 수 있는 단점을 가지고 있다.

상기와 같은 종래의 보트(B)의 경우에는, 도 2에서 나타낸 종래의 전자빔 시스템(1)과 스퍼트링 시스템(2)에서 보트가 설치된 구성의 실시도와 같이,

진공챔버(C)의 회전식 지그(RG) 내에 설치된 보트고정용 지그(BG)에 여러 개의 보트(B)가 상하로 설치되어 있는 시스템에서는 반드시 보트(B) 위에 약품(P) 놓여 지며, 이 약품의 위치가 항상 위를 향하게 일렬로 배치되어 있어,

열원에 의해서 증착 시, 약품의 방향이 위로만 바라보게 설치되어 있기 때문에 위에 놓여진 보트(B)에 의해 아래 보트에 포함된 약품(P)의 증발하는 방향에 장애가 발생되어 약품의 증발 ?향 및 효율성이 떨어져 스프터링 시 박막의 증착이 코팅하고자 하는 대상물에 균일하게 코팅되지 않아 제품의 불량이 나타나며, 이러한 이유로 약품의 증발에 장애를 받아 사용되는 약품의 양이 많이 소비되어진다.

본 발명에서는 도 1의 2)에 나타낸 것과 같이, 박막 증착용 보트(B)로 철판 모양에 약품(P)을 담을 수 있게 레이저로 가공한 약품 고정용 클립(B1)을 가지며, 다수의 약품 고정용 클립(B1)을 통하여 약품을 고정시켜 그 클립 사이에 약품(P)을 넣어 승화시키도록 구성된 것으로, 보트(B)를 옆으로 세우거나, 위에서도 약품 고정용 클립(B1)에 약품(P)의 장착이 가능하며, 약품의 교환도 용이하다.

상기와 같은 본 발명의 보트(B)의 경우에는, 도 3에서 나타낸 본 발명의 박막증착용 보트가 설치된 구성의 실시도와 같이,

스퍼터링을 이용하여 박막의 증착 시, 진공챔버(C) 내의 약품(P)을 열원을 이용하여 박막의 증착이 이루어지며, 진공챔버(C)의 회전식 지그(RG) 내에 설치된 보트고정용 지그(BG)에 여러 개의 보트(B)가 타켓(T)과 서로 마주보게 설치되도록 하여, 보트(B)가 타켓(T)을 바라볼 수 있게 세우고 약품(P)을 약품 고정용 클립(B1)으로 고정시켜 증발시킴으로, 상하에 위치하고 있는 보트(B)에 의해 약품의 증발 방향에 전혀 장애를 받지 않고 균일하게 증착되어져 약품의 소모량을 절약 할뿐만 아니라, 약품의 증발 ?향 및 효율성을 높일 수 있는 것을 특징으로 하는 내지문(Anti-Finger) 박막 증착용 보트(Boat)를 제공하고자 하였다.

B : 보트 B1 : 약품 고정용 클립
C : 챔버 P : 약품 T : 타켓
RG : 회전식 지그 BG : 보트 고정용 지그

Claims

박막증착을 위한 전자 빔(electron beam) 장비 및 스퍼트 장비에 있어서,
박막 증착용 보트(B)로 철판 모양에 약품(P)을 담을 수 있게 레이저로 가공한 약품 고정용 클립(B1)을 가지며, 다수의 약품 고정용 클립(B1)을 통하여 약품을 고정시켜 그 클립 사이에 약품(P)을 넣어 승화시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 내지문(Anti-Finger print) 박막 증착용 보트
박막 증착용 보트(B)로 철판 모양에 약품(P)을 담을 수 있게 레이저로 가공한 약품 고정용 클립(B1)을 가지며, 다수의 약품 고정용 클립(B1)을 통하여 약품을 고정시켜 그 클립 사이에 약품(P)을 넣어 승화시키도록 구성된 보트(B)를 이용하여,

박막의 증착 시, 진공챔버(C) 내의 약품(P)을 열원을 이용하여 박막의 증착이 이루어지며, 진공챔버(C)의 회전식 지그(RG) 내에 설치된 보트고정용 지그(BG)에 여러 개의 보트(B)가 타켓(T)과 서로 마주보게 설치되도록 하여,
보트(B)가 타켓(T)을 바라볼 수 있게 세우고, 약품(P)을 약품 고정용 클립(B1)으로 고정시켜 증발시킴으로, 상하에 위치하고 있는 보트(B)에 의해 약품의 증발 방향에 전혀 장애를 받지 않고 균일하게 증착되어져 약품의 증발 ?향 및 효율성을 가진 것을 특징으로 하는 내지문(Anti-Finger print) 박막 증착용 보트(Boat)의 사용방법