KR20140093527A - 캐리어 프레임 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 캐리어 프레임 구조에 관한 것으로, 특히 캐리어 프레임을 구성하는 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임 모두를 알루미늄 재질의 판재로 형성함으로써, 캐리어 프레임의 무게 및 단가를 감소시키고, 각 프레임의 양면에 티타늄 재질의 보강 바를 결합함으로써, 캐리어 프레임의 열적 변형에 의한 휘어짐 현상을 방지하며, 클램프를 안착시키기 위한 고단부를 각 프레임에 형성하기 위하여 각 프레임에 대한 별도의 가공을 수행하지 않고, 각 프레임에 결합되는 보강 바 상에 바로 클램프를 결합함으로써, 캐리어 프레임의 가공 비용 및 제작 비용을 최소화할 수 있고, 가공 오차 및 가공 시간을 최소화할 수 있는 캐리어 프레임 구조에 관한 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 캐리어 프레임 구조를 이루는 구성수단은, 글라스를 안착 고정시켜 이동시키기 위하여 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임이 서로 결합되어 형성되는 캐리어 프레임 구조에 있어서, 상기 양측 프레임은 모두 알루미늄 재질의 판재로 형성되고, 상기 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임 각각의 양면에는 각 프레임의 길이 방향으로 티타늄 재질의 보강 바가 결합되는 것을 특징으로 한다.

Description

캐리어 프레임 구조{carrier frame structure}

본 발명은 캐리어 프레임 구조에 관한 것으로, 특히 캐리어 프레임을 구성하는 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임 모두를 알루미늄 재질의 판재로 형성함으로써, 캐리어 프레임의 무게 및 단가를 감소시키고, 각 프레임의 양면에 티타늄 재질의 보강 바를 결합함으로써, 캐리어 프레임의 열적 변형에 의한 휘어짐 현상을 방지하며, 클램프를 안착시키기 위한 고단부를 각 프레임에 형성하기 위하여 각 프레임에 대한 별도의 가공을 수행하지 않고, 각 프레임에 결합되는 보강 바 상에 바로 클램프를 결합함으로써, 캐리어 프레임의 가공 비용 및 제작 비용을 최소화할 수 있고, 가공 오차 및 가공 시간을 최소화할 수 있는 캐리어 프레임 구조에 관한 것이다.

일반적으로 LCD 생산 공정 중 일부인 컬러 필터 공정에 있어서 글라스에 ITO 막을 성막하는 과정에는 ITO 타겟이 있는 진공 챔버 내로 글라스를 투입해야 하며, 이때 사용되는 글라스 무빙 장치를 통상 "캐리어" 라고 칭하고, 캐리어를 구성하는 프레임을 "캐리어 프레임"이라 칭한다.

일반적인 캐리어 프레임은 도 1에 도시된 바와 같이, 상측 프레임(10), 하측 프레임(20) 및 양측 프레임(30)으로 구성되고, 이들 각 프레임의 양단에 형성된 프레임 결합부(40)가 서로 결합됨으로써, 캐리어 프레임을 형성한다.

상기 캐리어 프레임으로 구성되는 캐리어의 기능으로는 글라스를 안착시켜 이동시키는 기능, 글라스 이동시 글라스의 움직임이 없도록 하는 클램핑 기능, 그리고 글라스의 원하는 부분에 ITO 성막이 이루어질 수 있도록 하는 마스크 기능이 포함된다.

상기 캐리어는 구동 시, 도 1에 도시된 바와 같이, 세워진 상태에서 구동하기 때문에 전체 하중이 아래 방향으로 받게 되며, 이때 캐리어의 양측 프레임(30)은 캐리어의 구동 시 하중을 가장 많이 받는 부분이기 때문에, 티타늄 재질로 구성되어 있어 강한 프레임 구조를 형성한다.

아울러 캐리어의 전체적인 무게를 고려하여 상측 프레임(10) 및 하측 프레임(20)은 알루미늄 재질로 가볍게 하여 구동 시 하중을 최소로 줄이도록 형성된다. 이러한 조립구조는 이종 재질을 사용하여 변형 발생을 고려하면서 동시에 전체 무게를 줄여야 하는 두가지 설계 요건을 충족하여야 한다.

이와 같은 종래 기술의 문제점 중, 변형 발생의 문제점을 해결하기 위하여 "캐리어 프레임 구조"라는 발명의 명칭으로 특허출원(특허출원 번호 10-2010-0092843, 특허등록 번호 10-1029937)이 이루어진 사례가 있다.

구체적으로, 상기 출원 발명은 글라스를 수용하여 이동시키기 위해 메인 바디와 상, 하부프레임 및 좌, 우측프레임으로 형성되는 캐리어 프레임 구조에 있어서, 상기 상, 하부 프레임은 메인 바디와 볼트와 같은 고정수단에 의해 착탈가능하도록 결합되되 상기 상, 하부프레임의 일측 결합면에는 수평면상으로 돌출되는 돌출로가 형성되어 상기 상, 하부프레임과 결합하는 메인 바디의 결합면에 형성되는 홈로와 형성적으로 대응되어 결합될 수 있도록 하며, 상기 고정수단은 상기 상, 하부프레임의 돌출로에 형성되는 제 1관통홀과, 상기 메인 바디의 홈로 상에 형성되는 제 2관통홀에 관통 설치되어 상기 상, 하부프레임 및 메인 바디가 안정적으로 결합될 수 있도록 함으로써, 상기 종래 기술의 문제점을 해결하고자 하였다.

그러나, 이러한 출원 발명에 의한 경우, 모든 프레임이 티타늄 판재를 절삭 가공하여 형성하기 때문에, 여전히 캐리어 프레임 전체 무게의 과중 문제를 가지고 있고, 이로 인하여 캐리어 구동부에 큰 부담을 부여하고, 캐리어 프레임 운송 및 세정시 관리적 측면에서 단점이 발생하게 된다.

반면, 캐리어 프레임의 전체 무게를 줄이기 위하여 모든 프레임을 티타늄 판재보다 더 가벼운 알루미늄 판재를 이용하여 구성하는 경우에는 열적 변형에 의하여 판재의 휘어짐 현상이 발생할 수 있고, 프레임 하중을 많이 받는 양측 프레임에 무리가 가는 문제점을 가진다.

한편, 캐리어 프레임에 글라스의 에지 부분을 안착시키고, 상기 글라스의 에지 부분을 클램핑하기 위하여, 상기 캐리어 프레임을 구성하는 각 프레임은 소정 형태로 가공된다. 이에 대하여 설명하면 다음과 같다.

도 2는 도 1에 도시된 일반적인 캐리어 프레임에서, 상측 프레임(10)의 측단면도를 보여준다. 도 2에 도시된 바와 같이, 상측 프레임의 단면은 글라스의 에지 부분을 안착시키기 위한 글라스 안착부(11a)와, 상기 글라스 안착부(11a)에 안착되는 상기 글라스의 에지 부분을 클램핑하기 위한 클램프가 장착되는 고단부(11b) 및 상기 클램프가 정상적으로 동작하고, 동작에 따른 간섭을 방지하기 위하여 형성되는 저단부(11c)가 형성된다.

상기와 같은 상측 프레임(10)의 단면의 형상은 하측 프레임(20) 및 양측 프레임(30)의 단면에도 그래도 적용된다. 이와 같이 각 프레임의 단면이 글라스 안착부(11a), 고단부(11b) 및 저단부(11c)가 형성되도록 하기 위해서는 각 프레임에 대하여 절삭 가공 절차를 수행해야 한다. 따라서, 캐리어 프레임의 제작 및 가공에 따른 시간, 비용 및 노력이 필요 이상으로 소요되는 문제점을 가진다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 캐리어 프레임을 구성하는 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임 모두를 알루미늄 재질의 판재로 형성함으로써, 캐리어 프레임의 무게 및 단가를 감소시키고, 각 프레임의 양면에 티타늄 재질의 보강 바를 결합함으로써, 캐리어 프레임의 열적 변형에 의한 휘어짐 현상을 방지하며, 클램프를 안착시키기 위한 고단부를 각 프레임에 형성하기 위하여 각 프레임에 대한 별도의 가공을 수행하지 않고, 각 프레임에 결합되는 보강 바 상에 바로 클램프를 결합함으로써, 캐리어 프레임의 가공 비용 및 제작 비용을 최소화할 수 있고, 가공 오차 및 가공 시간을 최소화할 수 있는 캐리어 프레임 구조를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 캐리어 프레임 구조를 이루는 구성수단은, 글라스를 안착 고정시켜 이동시키기 위하여 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임이 서로 결합되어 형성되는 캐리어 프레임 구조에 있어서, 상기 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임은 모두 알루미늄 재질의 판재로 형성되고, 상기 양측 프레임 각각의 양면에는 각 프레임의 길이 방향으로 티타늄 재질의 보강 바가 결합되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 티타늄 재질의 보강 바는 상기 상측 프레임 및 하측 프레임 각각의 양면에도 결합되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 티타늄 재질의 보강 바는 각 프레임의 길이 방향을 따라 양면 상에 대응되도록 결합되되, 각 프레임의 내측단으로부터 이격된 위치에 결합되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 각 프레임의 양면 중, 상면 상에 결합되는 상기 티타늄 재질의 보강 바 상에는 클램프가 장착되고, 상기 보강 바와 상기 프레임의 내측단 사이에 위치하는 상기 각 프레임의 상면에 해당하는 글라스 안착부에는 상기 글라스의 에지 부분이 안착되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 클램프는 상기 보강 바의 상부면에 양단이 고정 결합되는 고정바와, 상기 고정바의 중앙 부분에 일측이 삽입되어 회전 가능하게 결합되고, 타측은 상기 글라스 안착부 상으로 돌출 형성되는 고정판과, 상기 고정바에 삽입되어 배치되되, 하방향으로 복원력을 가지는 가압단이 상기 글라스 안착부 상으로 돌출 구비되어, 상기 고정판의 상부를 가압하는 토션 스프링을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 고정판과 일측이 고정 결합되고, 타측은 상기 보강 바와 상기 프레임의 외측단 사이의 프레임 상면에 해당하는 저단부 상측에 위치하는 레버를 더 포함하되, 상기 레버의 타측을 상기 저단부 방향으로 가압하여 상기 고정판의 타측을 상승시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 과제 및 해결수단을 가지는 본 발명인 캐리어 프레임 구조에 의하면, 캐리어 프레임을 구성하는 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임 모두를 알루미늄 재질의 판재로 형성하기 때문에, 캐리어 프레임의 무게 및 단가를 감소시킬 수 있는 장점이 있다.

또한, 각 프레임의 양면에 티타늄 재질의 보강 바를 결합하기 때문에, 캐리어 프레임의 열적 변형에 의한 휘어짐 현상을 방지할 수 있고, 전체 강도를 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

또한, 클램프를 안착시키기 위한 고단부를 각 프레임에 형성하기 위하여 각 프레임에 대한 별도의 가공을 수행하지 않고, 각 프레임에 결합되는 보강 바 상에 바로 클램프를 바로 결합하기 때문에, 캐리어 프레임의 가공 비용 및 제작 비용을 최소화할 수 있고, 가공 오차 및 가공 시간을 최소화할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 종래의 일반적인 캐리어 프레임의 개략적인 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 종래의 캐리어 프레임의 측단면을 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명에 적용되는 캐리어 프레임의 개략적인 구조를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명에 적용되는 캐리어 프레임을 구성하는 각 프레임의 측단면을 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명에 적용되는 캐리어 프레임을 구성하는 각 프레임에 클램프가 결합된 상태의 개략도이다.
도 6은 본 발명에 적용되는 클램프의 구성을 보여주는 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결수단 및 효과를 가지는 본 발명인 캐리어 프레임 구조에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.

도 3은 캐리어 프레임의 구조를 보여준다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 캐리어 프레임의 구조는 글라스를 안착 고정시켜 이동시키기 위하여 상측 프레임(10), 하측 프레임(20) 및 두개의 양측 프레임(30)으로 구성되어, 캐리어 프레임을 구성한다.

상기 캐리어 프레임을 구성하는 상기 상측 프레임(10), 하측 프레임(20) 및 두개의 양측 프레임(30)은 기존의 캐리어 프레임과 달리, 모든 프레임이 알루미늄 재질의 판재로 형성된다. 즉, 모든 프레임을 티타늄 재질의 판재로 형성하거나, 상측 프레임과 하측 프레임은 알루미늄 재질의 판재로 형성하고, 양측 프레임은 티타늄 재질의 판재로 형성하는 기존의 프레임 구조와 달리, 모든 프레임은 티타늄 프레임에 비하여 가볍고 값이 저렴한 알루미늄 재질의 판재로 구성한다.

후술하겠지만, 상기 각 프레임을 구성하는 알루미늄 재질의 판재는 최소의 절삭 가공만 수행된다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 각 프레임에 클램프를 장착하기 위한 고단부(11b) 및 글라스 안착부(11a), 저단부(11c)를 형성하기 위하여, 별도의 절삭 가공이 이루어지지 않고, 평탄도 또는 특정 형상을 얻어내기 위한 최소한의 가공만 수행된다. 따라서, 본 발명에 따른 캐리어 프레임 구조는 최소의 비용, 노력 및 시간만을 들여서 제작할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 캐리어 프레임은 알루미늄 재질의 판재를 이용하여 형성된다. 따라서, 경량화 및 비용 절감의 효과는 달성할 수 있지만, 강도 및 열적 변형에 따른 휘어짐 현상 방지는 보장할 수 없다. 특히, 캐리어 프레임의 하중을 많이 받는 양측 프레임의 강도 및 변형 방지를 보장할 수 없다.

따라서, 본 발명에 따른 캐리어 프레임은 도 3에 도시된 바와 같이, 상대적으로 캐리어 프레임의 하중을 많이 받는 양측 프레임의 변형을 방지하기 위하여 티타늄 재질의 보강 바(60)를 상기 양측 프레임(30)에 결합한다.

구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 양측 프레임(30) 각각의 양면에는 각 프레임의 길이 방향으로 티타늄 재질의 보강 바(60)가 결합된다. 즉, 상기 티타늄 재질의 보강 바(60)는 상기 양측 프레임(30)의 각각에 대하여 결합되되, 각 프레임의 양면에 각각 결합된다.

상기 각 양측 프레임(30)의 양면에 각각 결합되는 상기 티타늄 재질의 보강 바(60)는 상기 알루미늄 재질의 판재로 형성되는 상기 프레임을 사이에 두고 서로 마주보도록 결합된다.

상기 서로 마주보도록 결합되는 보강 바(60)는 다양한 방법으로 상기 프레임에 결합된다. 예를 들어, 상기 보강 바(60)는 상기 프레임의 양면에 각각 납땜 또는 핀 고정에 의하여 결합될 수도 있고, 서로 마주보는 두개의 보강 바(60)를 볼트 조임에 의하여 서로 결합시킴으로써, 각각의 보강 바(60)가 각 프레임의 상면과 하면에 강하게 결합되도록 할 수 있다. 이 경우에는 각 프레임의 상면에 결합되는 보강 바, 각 프레임의 하면에 결합되는 보강 바 및 각 프레임에 볼트가 관통할 수 있는 관통홀이 대응되는 위치에 형성되고, 상기 관통홀을 통과한 상기 볼트의 끝 부분을 너트로 체결함으로써, 상기 프레임에 상기 프레임의 상면 및 하면에 결합되는 각각의 보강 바(60)가 강하게 고정될 수 있도록 할 수 있다.

상기 양측 프레임(30)의 양면에 결합되는 티타늄 재질의 보강 바(60)는 다양한 형상으로 형성될 수 있지만, 단면이 사각형, 더 구체적으로 단면이 직사각형인 긴 바 형상을 가지는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 양측 프레임(30)에 상기 보강 바(60)가 결합되면, 상기 프레임에 대한 별도의 절삭 가공을 수행하지 않더라도, 도 2에서 설명한 고단부(11b)가 형성될 수 있다. 결과적으로, 프레임에 대한 별도의 절삭 가공을 수행하지 않더라도, 바로 클램프를 장착할 수 있는 고단부를 형성시킬 수 있다.

이상에서 설명한 상기 티타늄 재질의 보강 바(60)는 양측 프레임(30)에만 결합되는 것으로 설명되고 있지만, 경우에 따라서는 상기 상측 프레임(10) 및 하측 프레임(20)에도 동일한 방법으로 형성시킬 수 있다. 즉, 상기 티타늄 재질의 보강 바(60)는 상기 양측 프레임(30)뿐만 아니라, 상기 상측 프레임(10) 및 하측 프레임(20) 각각의 양면에도 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 캐리어 프레임의 열적 변형 방지는 더욱더 보장할 수 있고, 더 안정적인 캐리어 프레임을 구성할 수 있다. 또한, 상기 보강 바(60)는 판재 형태로 결합되는 것이 아니라, 바 형태로 상기 각 프레임에 결합되기 때문에, 캐리어 프레임의 전체 무게를 크게 과중시키는 문제도 발생시키지 않는다.

본 발명에 따른 캐리어 프레임은 상술한 바와 같이, 두꺼운 판재를 절삭 가공하여 글라스가 안착되는 글라스 안착부(도 2에서 도면 부호 11a로 표기됨) 및 저단부(도 2에서 도면 부호 11c로 표기됨)를 형성함과 동시에, 절삭이 이루어지지 않는 부분으로서, 고단부(도 2에서 도면 부호 11b로 표기됨)를 함께 형성시키는 종래의 방법과 달리, 종래에 비하여 상대적으로 더 얇은 판재에 대하여 별도의 절삭 가공을 수행하지 않고, 판재로 구성되는 각 프레임에 상기 티타늄 재질의 고정 바(60)를 결합시킴으로써, 글라스 안착부, 고단부 및 저단부를 자연스럽게 형성시킬 수 있다.

다만, 각 프레임에 상기 보강 바(60)를 결합하여, 글라스 안착부, 고단부 및 저단부를 자연스럽게 형성하기 위하여, 상기 보강 바(60)는 상기 각 프레임의 특정 위치에 결합될 필요성이 있다.

이에 대하여 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 도 3에 도시된 A-A'의 측단면도, 즉 양측 프레임의 측단면도를 보여준다. 도 4는 양측 프레임(30)에 대한 측단면도를 예시하고 있지만, 상측 프레임 및 하측 프레임에 보강 바(60)가 결합되는 경우에는 동일한 형태를 가진다.

상기 티타늄 재질의 보강 바(60)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 각 프레임의 길이 방향을 따라 양면 상에 대응되도록 결합된다. 도 3 및 도 4에서는 각 프레임의 상면에만 상기 보강 바(60)가 결합되는 것을 보여주고 있지만, 상기 각 프레임의 하면에도 상기 상면에 결합되는 보강 바(60)와 대응되도록 다른 보강 바(60)가 결합된다.

상기 각 프레임의 길이 방향을 따라 양면 상에 대응되도록 결합되는 티타늄 재질의 보강 바(60)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 각 프레임의 내측단(31)으로부터 이격된 위치에 결합된다.

이와 같이, 상기 보강 바(60)가 각 프레임의 내측단(31)에 일치되어 결합되는 것이 아니라, 내측단(31)으로부터 소정 간격 이격되어 결합됨으로써, 글라스의 에지 부분이 안착될 수 있는 상기 글라스 안착부(31a)가 자연스럽게 형성된다. 또한, 상기 보강 바(60)가 각 프레임 상부면에 결합됨으로써, 별도의 절삭 가공 없이 자연스럽게 클램프를 장착할 수 있는 부분에 해당하는 고단부(31b)가 형성된다. 더불어, 상기 고단부(31b)에 장착되는 클램프의 동작을 정상적으로 작동하기 위하여, 상기 고단부(31b)보다 높이가 낮은 저단부(31c)를 자연스럽게 형성시킬 수 있다.

여기서, 상기 고단부(31b)는 상기 글라스 안착부(31a) 및 저단부(31c)에 비하여 높이가 더 높은 부분에 해당되고, 상기 글라스 안착부(31a)와 저단부(31c)의 높이는 동일할 수도 있고, 다를 수도 있다. 별도의 절삭 가공을 수행하지 않는다면, 상기 글라스 안착부(31a)와 저단부(31c)의 높이는 동일할 것이다.

상기 글라스 안착부(31a)는 상기 캐리어 프레임의 내측 부분에 형성되는 부분으로서, 상기 글라스의 에지 부분이 안착되기 위하여 형성되는 글라스 안착부에 해당된다. 따라서, 상기 글라스 안착부(31a)는 안착면이 평탄도를 유지할 필요성이 있다. 이와 같이, 상기 글라스 안착부(31a)에 안착되는 글라스는 상기 글라스 안착부에 접촉되는 에지면의 반대 에지면이 고정될 필요성이 있다.

따라서, 상기 보강 바(60)의 결합에 의하여 형성되는 상기 고단부(31b)에는 상기 글라스 안착부(31a)에 안착되는 글라스 에지 부분을 눌러서 고정하기 위한 클램프(도 5에서 도면부호 50으로 표기됨)가 장착된다. 구체적으로, 상기 고단부(31b)에는 상기 글라스 안착부(31a)에 안착되는 상기 글라스를 고정하는 클램프(50)가 장착된다.

정리하면, 상기 각 프레임의 양면 중, 상면(도 3 및 도 5에서 보여지는 면) 상에 결합되는 상기 티타늄 재질의 보강 바(60) 상에는 클램프가 장착되고, 상기 보강 바(60)와 상기 프레임의 내측단(31) 사이에 위치하는 상기 각 프레임의 상면에 해당하는 글라스 안착부(31a)에는 상기 글라스의 에지 부분이 안착된다.

상기 클램프(50)는 상기 글라스의 에지 부분이 상기 글라스 안착부(31a)에 안착되는 경우에, 상기 글라스를 눌러서 고정할 수 있어야 하고, 반대로 상기 글라스를 상기 글라스 안착부(31a)로부터 이탈(언로딩)시킬 경우에는 클램핑을 해제할 수 있는 구조를 가질 필요가 있다.

도 5는 상기 클램프(50)가 상기 각 프레임의 상면 상에 장착되는 보강 바(60)에 의하여 형성되는 고단부에 장착되어, 상기 글라스 안착부에 에지 부분이 안착된 상기 글라스를 눌러서 클램핑하는 상태를 보여준다.

도 5에서는 하측 프레임(20)에 상기 글라스(1)가 안착되어 클램핑된 상태를 보여준다. 이하에서는 하측 프레임(20)에 상기 글라스(1)가 안착되어 클램핑된 상태에 대하여 설명하지만, 상측 프레임 및 양측 프레임에 글라스가 안착되어 클램핑된 상태에도 그대로 적용된다.

구체적으로, 상기 하측 프레임(20)은 글라스 안착부(21a), 상기 클램프(50)가 장착되는 고단부(21b) 및 상기 고단부(21b)보다 높이가 낮은 저단부(21c)로 구성된다. 상기 하측 프레임(20)의 상면에 상기 보강 바(60)가 결합되어 형성된 상기 고단부(21b)에 장착되는 상기 클램프(50)는 상기 글라스 안착부(21a)에 에지 부분이 안착되는 상기 글라스(1)의 에지 부분(글라스 안착부에 접촉 안착되는 에지면의 반대 에지면)을 눌러서 클램핑한다.

이와 같이 상기 고단부(21b)에 장착되어 상기 글라스 안착부(21a)에 안착되는 상기 글라스(1)의 에지 부분을 클램핑 또는 언클램핑하는 상기 클램프(50)의 구성은 도 6에 도시되어 있다. 도 6을 참조하여 상기 클램프(50)의 구성을 살펴보면, 상기 클램프(50)는 고정바(51), 고정판(55) 및 토션 스프링(30)을 포함하여 구성된다.

상기 고정바(51)는 상기 하측 프레임(20)의 상면에 결합되는 상기 보강 바(60)의 상부면에 해당하는 고단부(21b)에 장착되되, 상기 보강 바(60)의 상부면에 해당하는 상기 고단부(21b)에 양단이 고정 결합되는 구조를 가진다. 이를 위하여, 상기 고정바(51)의 양단에는 고정바 결합홀(51a)이 형성되어 있다. 따라서, 상기 고정바(51)는 나사 또는 볼트를 상기 고정바 결합홀(51a)에 관통하여 상기 고단부(21b)에 결합함으로써, 상기 고단부(21b)에 고정 결합될 수 있다.

상기 고정판(55)은 상기 고정바에 일측이 회전 가능하게 결합되고, 타측은 상기 글라스 안착부(21a) 상으로 돌출 형성됨으로써, 상기 타측이 하방향의 가압력을 받아서 상기 글라스 안착부에 안착되는 글라스의 에지 부분을 눌러서 클램핑할 수 있다.

구체적으로, 상기 고정판(55)은 상기 고정바(51)의 중앙 부분에 일측(55a)이 삽입되어 회전 가능하게 결합되고, 타측은 상기 글라스 안착부(21a) 상으로 돌출 형성된다.

한편, 상기 고정판(55)은 전체적으로 수평한 형상을 가지는 것이 아니라, 일측(55a)과 타측 사이의 중간 부분이 절곡되어 있다. 즉, 상기 고정판(55)은 일측(55a)에서 수평하게 돌출되다가, 고정판의 절곡부(55b)을 지나면서 하방향으로 소정 각도로 절곡된 상태로 돌출 형성된다. 이와 같은 고정판(55)의 절곡 형상은 상기 고단부(21b)에 장착되는 클램프(50)가 상대적으로 더 낮게 형성된 상기 글라스 안착부(21a)에 안착되는 글라스의 에지 부분을 최소 접촉면으로 눌러서 클램핑하기 위해 채택된다.

상기 고정판(55)의 타측이 하방향으로 가압되어 상기 글라스 안착부에 안착된 글라스의 에지 부분을 눌러서 클램핑하기 위해서는 상기 고정판(55)을 가압할 수 있는 구성수단이 필요한데, 이는 상기 토션 스프링(53)에 의하여 가능하다.

상기 토션 스프링(53)은 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 고정바(51)에 삽입되어 배치되되, 하방향으로 복원력을 가지는 가압단(53a)이 상기 글라스 안착부(21a) 상으로 돌출 구비되어, 상기 고정판(55)의 상부를 가압한다. 구체적으로, 상기 토션 스프링(53)은 상기 고정바(51)에 삽입된 상기 고정판(55)의 일측(55a)을 사이에 두고, 상기 고정바(51)의 양측에 삽입 고정되되, 양측에서 각각 연장되어 돌출된 부분이 서로 결합되어 상기 가압단(53a)을 구성한다. 상기 가압단(53a)은 하방향으로 복원력을 가지도록 돌출 형성된다.

따라서, 상기 토션 스프링(53)의 가압단(53a)은 외력인 인가되지 않는 한, 상기 고정판(55)의 상부면을 가압하는 상태를 유지한다. 결과적으로, 상기 가압단에 의하여 하방향으로 가압되는 상기 고정판(55)의 타측은 상기 글라스 안착부에 안착되는 글라스의 에지 부분을 눌러서 클램핑하게 된다.

이와 같은 상기 클램프(50)에 의하여 상기 글라스 안착부에 안착된 글라스를 가압하여 클램핑함으로써, 상기 안정적으로 고정된 글라스에 대하여 스퍼터링 공정을 수행할 수 있다. 이후, 공정이 완료된 상기 글라스를 언로딩하기 위해서는 상기 클램프(50)에 의한 클램핑을 해제할 필요성이 있다.

상기 클램프(50)를 언클램핑하기 위하여, 상기 가압단(53a)을 인위적으로 들어올려서 상기 고정판(55)을 상기 글라스로부터 이격되도록 함으로써, 언클램핑 과정을 수행할 수도 있지만, 언클램핑 과정이 쉽지 않고, 실수로 인하여 글라스에 손상을 입힐 수가 있다.

따라서, 상기 고정판(55)에 레버(미도시)의 일측을 연결하고, 레버의 타단을 하방향으로 가압하여 지렛대 원리를 통하여 상기 고정판(55)을 상승시킴으로써, 언클램핑 과정을 수행할 수 있다.

구체적으로, 상기 레버는 상기 고정판(55)과 일측이 고정 결합되고, 타측은 상기 보강 바(60)와 상기 하측 프레임(20)의 외측단(도 3 및 도 4에서 도면부호 31로 표기된 양측 프레임(30)의 외측단(31)과 동일한 하측 프레임의 외측단에 해당함) 사이의 하측 프레임(20) 상면에 해당하는 저단부(도 5에서 21c로 표기됨) 상측에 위치하도록 배치된다. 이 상태에서 상기 레버의 타측을 상기 저단부(21c) 방향으로 가압하여 상기 고정판(55)의 타측을 상승시킬 수 있다.

상기 레버의 일측을 상기 고정판(55)에 고정 결합하기 위하여, 상기 고정판(55)에는 고정판의 레버 결합홀(55c)이 형성되어 있다. 따라서, 상기 레버를 판상으로 구성하고, 그 일측 양단을 상기 고정판(55)에 형성된 고정판의 레버 결합홀(서로 이격되어 고정바의 길이 방향으로 두개 형성, 55c)에 나사 또는 볼트로 결합함으로써, 상기 레버를 상기 고정판에 고정 결합할 수 있다.

이 때, 상기 레버의 타측은 상기 저단부(21c) 쪽으로 연장형성되어, 그 끝단이 상기 저단부(21c) 상측에 위치하도록 배치된다. 이 상태에서, 상기 레버의 타측을 하방향으로 가압하면, 상기 저단부(21c)는 상기 고단부보다 낮게 형성되기 때문에, 상기 레버의 타측 끝단은 저단부 쪽으로 이동할 수 있고, 상기 고정바(51)를 받침대로 한 지렛대 원리를 이용하여 상기 레버의 일측에 고정 결합된 상기 고정판(55)을 상승시킬 수 있다. 결과적으로 상기 클램프(50)의 언클램핑 과정을 용이하게 수행할 수 있다.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

1 : 글라스 10 : 상측 프레임
11a : 상측 프레임 글라스 안착부
11b : 상측 프레임의 고단부 11c : 상측 프레임의 저단부
20 : 하측 프레임 21a : 하측 프레임의 글라스 안착부
21b : 하측 프레임의 고단부 21c : 하측 프레임의 저단부
30 : 양측 프레임 31 : 프레임의 내측단
33 : 프레임의 외측단 40 : 프레임 결합부
50 : 클램프 51 : 고정바
51a : 고정바 결합홀 53 : 토션 스프링
53a : 토션 스프링의 가압단 55 : 고정판
55a : 고정판의 일측 55b : 고정판의 절곡부
55c : 고정판의 레버 결합홀 60 : 보강 바

Claims (6)

1. 글라스를 안착 고정시켜 이동시키기 위하여 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임이 서로 결합되어 형성되는 캐리어 프레임 구조에 있어서,
   상기 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임은 모두 알루미늄 재질의 판재로 형성되고,
   상기 양측 프레임 각각의 양면에는 각 프레임의 길이 방향으로 티타늄 재질의 보강 바가 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어 프레임 구조.
   
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 티타늄 재질의 보강 바는 상기 상측 프레임 및 하측 프레임 각각의 양면에도 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어 프레임 구조.
   
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 티타늄 재질의 보강 바는 각 프레임의 길이 방향을 따라 양면 상에 대응되도록 결합되되, 각 프레임의 내측단으로부터 이격된 위치에 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어 프레임 구조.
   
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 각 프레임의 양면 중, 상면 상에 결합되는 상기 티타늄 재질의 보강 바 상에는 클램프가 장착되고, 상기 보강 바와 상기 프레임의 내측단 사이에 위치하는 상기 각 프레임의 상면에 해당하는 글라스 안착부에는 상기 글라스의 에지 부분이 안착되는 것을 특징으로 하는 캐리어 프레임 구조.
   
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 클램프는 상기 보강 바의 상부면에 양단이 고정 결합되는 고정바와, 상기 고정바의 중앙 부분에 일측이 삽입되어 회전 가능하게 결합되고, 타측은 상기 글라스 안착부 상으로 돌출 형성되는 고정판과, 상기 고정바에 삽입되어 배치되되, 하방향으로 복원력을 가지는 가압단이 상기 글라스 안착부 상으로 돌출 구비되어, 상기 고정판의 상부를 가압하는 토션 스프링을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 캐리어 프레임 구조.
   
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 고정판과 일측이 고정 결합되고, 타측은 상기 보강 바와 상기 프레임의 외측단 사이의 프레임 상면에 해당하는 저단부 상측에 위치하는 레버를 더 포함하되, 상기 레버의 타측을 상기 저단부 방향으로 가압하여 상기 고정판의 타측을 상승시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 캐리어 프레임 구조.
   

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