KR20140091503A - Panel cutting device and method of transferring panel in the same - Google Patents

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KR20140091503A KR1020140070598A KR20140070598A KR20140091503A KR 20140091503 A KR20140091503 A KR 20140091503A KR 1020140070598 A KR1020140070598 A KR 1020140070598A KR 20140070598 A KR20140070598 A KR 20140070598A KR 20140091503 A KR20140091503 A KR 20140091503A
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Abstract

A panel cutting device according to an embodiment of the present invention comprises: a first conveyor part and a second conveyor part arranged at intervals on an installation stand in a first direction, which is the transferring direction of a panel, and including a belt moving by rotating while wound around a plurality of rotating bodies with the panel put thereon; a scribing unit installed in the interval to scribe the panel; and a dancer rotary body unit including at least a pair of a first rotary body and a second rotary body installed between an upstream-side second conveyor part corresponding to the upstream side of the second conveyor part in the first direction and a downstream-side second conveyor part corresponding to the downstream side thereof, wherein the first rotary body is placed at the outer side of the belt of the second conveyor part, the second rotary body is place at the inner side of the belt of the second conveyor part, and the first rotary body and the second rotary body are formed to move in the opposite directions of a second direction perpendicular to the first direction so that the upstream-side second conveyor part and the downstream-side second conveyor part, which are formed to be integrated, can be in different operation states.

Description

기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법{PANEL CUTTING DEVICE AND METHOD OF TRANSFERRING PANEL IN THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate cutting apparatus and a substrate cutting method,

본 발명은 액정 표시 장치 등의 표시 패널에 사용되는 글라스 기판 등의 머더 기판을 포함한 다양한 재료의 머더 기판을 절단하여 반송하는 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 스크라이브되어 절단된 취성 재료 기판을 다음 단계로 반송할 때, 기판에 손상을 주지 않고 양호한 상태로 반송할 수 있는 기판 절단 장치 및 기판 반송 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate cutting apparatus and a substrate cutting method in a substrate cutting apparatus for cutting and conveying a mother substrate of various materials including a mother substrate such as a glass substrate used for a display panel such as a liquid crystal display Relates to a substrate cutting apparatus and a substrate transporting method capable of transporting a scribed and brittle material substrate to a good state without damaging the substrate when it is transported to the next step.

일반적으로, 액정 표시 장치 등의 표시 패널은 보통, 취성 재료 기판인 글라스 기판을 사용하여 형성되어 있다. 액정 표시 장치는 한 쌍의 글라스 기판을 적당한 간격을 두고 접합시키고 그 간격 내에 액정을 봉입함으로써 표시 패널이 된다.Generally, a display panel such as a liquid crystal display device is usually formed using a glass substrate which is a brittle material substrate. A liquid crystal display device forms a display panel by bonding a pair of glass substrates at appropriate intervals and enclosing liquid crystal within the gap.

이러한 표시 패널을 제조할 때에는, 머더 글라스 기판을 접합시킨 접합 머더 기판을 분단함으로써, 접합 머더 기판으로부터 복수의 표시 패널을 만드는 가공이 이루어지고 있다. 이러한 접합 머더 기판을 절단하기 위한 기판 절단 장치가 국내공개특허공보 제2006-0125915호(이하, '특허문헌 1'이라 한다)에 개시되어 있다.In manufacturing such a display panel, a bonded mother substrate to which a mother glass substrate is bonded is divided to form a plurality of display panels from a bonded mother substrate. A substrate cutting apparatus for cutting such a bonded mother substrate is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2006-0125915 (hereinafter referred to as Patent Document 1).

도 1은 특허문헌 1의 도 32에 도시된 기판 절단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a main configuration of the substrate cutting apparatus shown in Fig. 32 of Patent Document 1. Fig.

도 1을 참조하면, 기판 절단 시스템(200)은, 위치결정 유닛부(220), 스크라이브 유닛부(240), 브레이크 컨베이어부(260), 스팀 브레이크 유닛부(280), 패널 반전 유닛부(320) 및, 패널 단자 분리부(340)를 구비하고 있다.1, the substrate cutting system 200 includes a positioning unit 220, a scribing unit 240, a brake conveyor 260, a steam brake unit 280, a panel reversing unit 320, And a panel terminal separating portion 340. The panel terminal separating portion 340 includes a panel terminal separating portion 340,

위치결정 유닛부(220)가 배치되어 있는 측을 기판 반입 측, 패널 단자 분리부(340)가 배치되어 있는 측을 기판 반출 측이라고 할 때, 기판은 기판 반입 측의 위치결정 유닛부(220)로 공급된 후, 스크라이브 유닛부(240), 브레이크 컨베이어부(260), 스팀 브레이크 유닛부(280), 패널 반전 유닛부(320) 및, 패널 단자 분리부(340)를 따라 차례로 반송되면서 기판 절단 작업이 행해지고, 이후 기판 반출 측으로 반송된다.When the side on which the positioning unit 220 is disposed is referred to as the substrate carry-in side and the side where the panel terminal separating portion 340 is disposed is referred to as the substrate carry-out side, And is then conveyed along the scribing unit 240, the brake conveyor unit 260, the steam brake unit 280, the panel reversing unit 320, and the panel terminal separating unit 340, The work is carried out, and then the substrate is carried to the carry-out side.

즉, 설치대(230)의 상방에 설치된 위치결정 유닛부(220)로 공급되는 기판은 위치결정 유닛부(220)에 형성된 복수의 기판 지지 유닛(도시되지 않음) 상에 올려 놓여지고, 기판 지지 유닛에 설치된 벨트(도시되지 않음) 상에서 기판의 위치가 결정된 후, 벨트의 회전 동작에 의해 다음 단계인 스크라이브 유닛부(240)로 반송된다.That is, the substrate supplied to the positioning unit 220 provided above the mounting table 230 is placed on a plurality of substrate supporting units (not shown) formed in the positioning unit 220, The position of the substrate is determined on a belt (not shown) provided on the scribing unit unit 240 and then conveyed to the scribing unit 240, which is the next step by the rotation operation of the belt.

한편, 스크라이브 유닛부(240)는, 설치대(250) 상방에 X 방향을 따라 설치된 절단장치 가이드체(242)와, 이 절단장치 가이드체(242)를 사이에 두고 Y방향을 따라 배치되는 제1 기판 지지 유닛부(241A) 및 제2 기판 지지 유닛부(241B)를 갖는다. 또한, 제1 기판 지지 유닛부(241A)의 제1 기판 지지 유닛(244A)과 제2 기판 지지 유닛부(241B)의 제2 기판 지지 유닛(244B)은 각각 프레임(243A) 및 프레임(243B)에 대하여 평행하게 배치된다.On the other hand, the scribing unit 240 includes a cutting device guide body 242 provided above the mounting table 250 along the X direction, a first guide member 242 disposed along the Y direction with the cutting device guide member 242 therebetween, And has a substrate supporting unit portion 241A and a second substrate supporting unit portion 241B. The first substrate supporting unit 244A of the first substrate supporting unit 241A and the second substrate supporting unit 244B of the second substrate supporting unit 241B are fixed to the frame 243A and the frame 243B, As shown in FIG.

이 경우, 위치결정 유닛부(220)에서 스크라이브 유닛부(240)로 반송되는 기판은 제1 기판 지지 유닛부(241A)의 제1 기판 지지 유닛(244A)에 올려 놓여지고, 클램프 장치(251)에 의해 클램프된다. 그 후, 제1 기판 지지 유닛(244A)에 설치된 벨트를 회전 이동시킴과 동시에 클램프 장치(251)를 Y 방향을 따라 이동시킴에 따라, 기판이 절단장치 가이드체(242)를 통해 스크라이브되고, 스크라이브된 기판은 제2 기판 지지 유닛부(241B)의 제2 기판 지지 유닛(244B)으로 반송된다.In this case, the substrate conveyed to the scribing unit portion 240 by the positioning unit 220 is placed on the first substrate supporting unit 244A of the first substrate supporting unit 241A, and the clamping device 251 As shown in Fig. Thereafter, as the belt provided on the first substrate supporting unit 244A is rotated and the clamping device 251 is moved along the Y direction, the substrate is scribed through the cutting device guide body 242, Is transferred to the second substrate supporting unit 244B of the second substrate supporting unit portion 241B.

제2 기판 지지 유닛(244B)으로 반송된 기판은, 제2 기판 지지 유닛(244B)에 설치된 벨트를 회전 이동시킴으로써, 제2 기판 지지 유닛(244B)의 벨트와 이격되어 설치된 브레이크 컨베이어부(260)의 벨트(261)로 반송되고, 이후 스팀 브레이크 유닛부(280)에 의해 기판이 완전하게 절단되고, 기판 반송 유닛부(300), 패널 반전 유닛부(320) 및, 패널 단자 분리부(340)를 거치면서 로봇 등에 의해 기판 반출측으로 반출된다.The substrate conveyed to the second substrate supporting unit 244B is transferred to the brake conveyor unit 260 installed apart from the belt of the second substrate supporting unit 244B by rotating the belt provided on the second substrate supporting unit 244B, The substrate transfer unit unit 300, the panel inversion unit unit 320, and the panel terminal separation unit 340 are completely cut by the steam brake unit unit 280, And is carried out by the robot or the like to the substrate carry-out side.

또한, 통상적으로, 상기 기판 절단 장치(200)의 제2 기판 지지 유닛(224B)에서부터 브레이크 컨베이어부(260)로, 스크라이브되어 절단된 기판을 컨베이어 반송에 의해 복수매 동시에 반송하여 브레이크 컨베이어부(260)로 배출한다. 즉, 스크라이브 작업이 완료되어 제2 기판 지지 유닛(244B)의 벨트 상으로 반송된 기판은, 제2 기판 지지 유닛(224B)의 벨트와 브레이크 컨베이어부의 벨트의 회전 이동에 의해 브레이크 컨베이어부로 반송된다. 브레이크 컨베이어부로의 반송이 완료된 기판은, 브레이크 컨베이어부의 회전 이동이 정지된 상태에서, 스팀 브레이크 유닛(280)으로 브레이크 한 후 픽업 로봇 등에 의해 픽업되어 배출 컨베이어부(340) 등으로 배출된다. 또한, 브레이크 컨베이어부의 회전 이동이 정지된 상태라도, 기판의 스크라이브 및 절단을 위해, 스크라이브 유닛부(240)를 구성하는 제1 기판 지지 유닛(244A) 및 제2 기판 지지 유닛(244B)의 벨트는 계속 회전 이동하도록 제어된다.A plurality of scribed substrates are simultaneously conveyed from the second substrate supporting unit 224B of the substrate cutting apparatus 200 to the brake conveyor unit 260 by a conveyor conveyance so that the brake conveyor unit 260 ). That is, the substrate which has been scribed and conveyed onto the belt of the second substrate supporting unit 244B is conveyed to the brake conveyor portion by the rotation of the belt of the second substrate supporting unit 224B and the belt of the brake conveyor portion. The substrate which has been conveyed to the brake conveyor section is picked up by a pickup robot or the like after being broken by the steam brake unit 280 in a state where the rotation movement of the brake conveyor section is stopped and discharged to the discharge conveyor section 340 or the like. The belt of the first substrate supporting unit 244A and the second substrate supporting unit 244B constituting the scribing unit unit 240 can be moved in the same direction as that of the second substrate supporting unit 244B in order to scribe and cut the substrate even when the rotational movement of the brake conveyor unit is stopped And is controlled so as to continuously rotate.

국내공개특허공보 제2006-0125915호Korean Patent Publication No. 2006-0125915

그러나, 이러한 종래의 기판 절단 장치에서는, 스크라이브된 기판이 스크라이브 유닛부(240)로부터 브레이크 컨베이어부로 반송될 때, 더욱 구체적으로는 제2 기판 지지 유닛(244B)의 컨베이어 벨트로부터 브레이크 컨베이어부로 반송될 때, 제2 기판 지지 유닛(244B)의 컨베이어 벨트와 브레이크 컨베이어부의 벨트 사이에서 컨베이어 벨트를 옮겨 타는 컨베이어 환승이 일어나기 때문에, 제2 기판 지지 유닛(244B)과 브레이크 컨베이어부 사이의 간격으로 더미(dummy) 글라스가 낙하하거나, 기판이 깨지는 글라스 치핑(glass chipping) 등이 발생하게 된다. 이러한 컨베이어 환승으로 인한 문제점에 대해 도 2를 참조하여 좀 더 구체적으로 설명한다.However, in such a conventional substrate cutting apparatus, when the scribed substrate is transported from the scribing unit portion 240 to the brake conveyor portion, more specifically, from the conveyor belt of the second substrate supporting unit 244B to the brake conveyor portion The transfer of the conveyor belt between the conveyor belt of the second substrate supporting unit 244B and the belt of the brake conveyor portion occurs, so that the distance between the second substrate supporting unit 244B and the brake conveyor unit is reduced, Glass chipping or the like occurs in which the glass falls or the substrate breaks. The problem caused by the transfer of the conveyor will be described in more detail with reference to FIG.

도 2는 종래의 기판 절단 장치를 이용하여 기판을 절단한 후 스크라이브 유닛부로부터 픽업 컨베이어부로 기판이 반송되는 과정을 개략적으로 나타낸 도면이다. 또한, 도 2에서, 부호 100은 기판 반입측으로부터 반송된 기판을 수취하여 위치결정 및/또는 선회를 행하는 급재부, 부호 110과 120은 각각 상류측 스크라이브부 및 하류측 스크라이브부, 그리고 부호 130은 절단된 기판을 로봇 등에 의해 픽업하여 배출하는 픽업 컨베이어부를 나타낸다.FIG. 2 is a schematic view illustrating a process of cutting a substrate using a conventional substrate cutting apparatus and then transporting the substrate from the scribing unit to the pick-up conveyor. 2, reference numeral 100 denotes a feeding portion for receiving and carrying out the substrate conveyed from the substrate carry-in side, and reference numerals 110 and 120 denote an upstream scribing portion and a downstream scribing portion, respectively, Up conveyor portion for picking up and discharging the cut substrate by a robot or the like.

도 2를 참조하면, 종래의 기판 절단 장치에서, 기판 파지 기구(114)에 파지된 기판은, 상류측 스크라이브부(110)와 하류측 스크라이브부(120) 사이를 왕복 이동하면서, 스크라이브 빔(116)에 설치된 스크라이브 헤드(118)에 접촉되어 스크라이브된다. 그리고, 하류측 스크라이브부(120)의 컨베이어 벨트(135)상에 올려 놓여진 스크라이브된 기판(102a)은 픽업 컨베이어부(130)의 컨베이어 벨트(135)로 반송된다.2, in the conventional substrate cutting apparatus, the substrate gripped by the substrate holding mechanism 114 reciprocates between the upstream side scribing portion 110 and the downstream side scribing portion 120 while moving the scribing beam 116 The scribe head 118 is scribed. The scribed substrate 102a placed on the conveyor belt 135 of the downstream side scribing portion 120 is conveyed to the conveyor belt 135 of the pickup conveyor portion 130. [

그런데, 하류측 스크라이브부(120)의 컨베이어 벨트(135)와 픽업 컨베이어부(130)의 컨베이어 벨트(135) 사이에는 컨베이어 환승부가 존재하기 때문에, 기판(102a)이 픽업 컨베이어부(135) 상의 기판(102b)의 위치로 반송될 때, 스크라이브된 기판(102a)으로부터 더미 글라스가 낙하하게 된다.Since the conveyor transfer portion exists between the conveyor belt 135 of the downstream scribing portion 120 and the conveyor belt 135 of the pickup conveyor portion 130, The dummy glass falls from the scribed substrate 102a when it is transported to the position of the scribe 102b.

또한, 기판(102a)이 하류측 스크라이브부(120)로부터 픽업 컨베이어부(130) 상으로 옮겨 탈 때, 기판(102a)에 출렁거림이 발생하게 되고, 이로 인해 기판의 스크라이브된 부분들끼리 서로 충돌하여 기판의 일부분이 깨지는 글라스 치핑이 발생하게 된다. 설사, 하류측 스크라이브부(120) 및 픽업 컨베이어부(130)의 지면으로부터의 높이를 동일하게 설계한다고 하더라도, 실제로는 하류측 스크라이브부(120)와 픽업 컨베이어부(130)의 높이가 미묘하게 다르게 되거나, 둘 중 어느 한쪽이 경사지게 설치되거나 하기 때문에, 글라스 치핑이 발생하게 된다. 특히, 최근에는 박형화된 기판을 처리하는 경우가 많기 때문에, 이러한 문제는 더욱 심각하게 된다.When the substrate 102a is transferred from the downstream scribing portion 120 onto the pickup conveyor portion 130, the substrate 102a is squeezed and the scribed portions of the substrate collide with each other Thereby causing a chipping of the glass that breaks a part of the substrate. Even if the height of the downstream scribing portion 120 and the height of the pick-up conveyor portion 130 are designed to be the same, the height of the downstream scribing portion 120 and the pickup conveying portion 130 are slightly different from each other Or either one of them is installed at an inclined angle, so that glass chipping occurs. Particularly, since the thinned substrate is often processed recently, this problem becomes more serious.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 그 목적은 컨베이어의 환승으로 인한 전술한 문제점을 방지하고, 스크라이브된 기판에 손상을 주지 않고 기판을 다음 단계까지 반송할 수 있는 기판 절단 장치 및 기판 반송 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a substrate cutting method capable of preventing the above-described problems caused by transferring of a conveyor and transporting a substrate to a next step without damaging the scribed substrate. And a method of transporting the substrate and the substrate.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 절단 장치는, 설치대 상에서 기판의 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되며, 상기 기판이 올려 놓여진 상태로 복수의 회전체에 감겨 회전 이동하는 벨트를 구비하는 제1 컨베이어부 및 제2 컨베이어부와, 상기 간격에 설치되어 상기 기판을 스크라이브하는 스크라이브 유닛과, 상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 컨베이어부의 상류측에 대응하는 상류측 제2 컨베이어부와, 하류측에 대응하는 하류측 제2 컨베이어부와의 사이에 설치되며, 적어도 한 쌍의 제1 회전체 및 제2 회전체를 구비하는 댄서(dancer) 회전체 유닛과, 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제1 스토퍼와, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제2 스토퍼를 포함하고, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체는 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에 있어서 이동가능하게 형성되어, 일체로 형성된 상기 상류측 제2 컨베이어부 및 하류측 제2 컨베이어부가 서로 다른 작동 상태가 될 수 있다.In order to achieve the above object, a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a plurality of rotating bodies, which are arranged on a mounting table at intervals along a first direction, A scribing unit provided at the gap and scribing the substrate; and a scribing unit disposed at the gap and scribing the substrate, wherein the scribing unit is provided at a position corresponding to the upstream side of the second conveyor unit in the first direction A dancer rotating unit provided between the upstream-side second conveyor unit and the downstream-side second conveyor unit corresponding to the downstream side, and having at least a pair of first rotating bodies and a second rotating body; A first stopper for stopping the rotational movement of the belt of the upstream side second conveyor section and a second stopper for stopping the rotational movement of the belt of the downstream side second conveyor section, Wherein the first rotating body and the second rotating body are movable in a second direction intersecting with the first direction so that the upstream side second conveyor portion and the downstream side second conveyor portion are movable relative to each other It may be in another operating state.

또한, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체가 상기 제2 방향에 있어서 이동할 때, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체의 이동 거리는 상호 동일할 수 있다.Further, when the first rotating body and the second rotating body move in the second direction, the moving distances of the first rotating body and the second rotating body may be the same.

또한, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체 중 적어도 어느 하나는 상기 제2 컨베이어부의 벨트의 장력을 유지하면서 당해 벨트와 접촉해 있을 수 있다.At least one of the first rotating body and the second rotating body may be in contact with the belt while maintaining the tension of the belt of the second conveying portion.

또한, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체는, 구동 모터에 연결된 피니언 기어를 사이에 두고 서로 대향 배치된 상태로 상기 피니언 기어와 맞물려 있는 제1 래크 기어 및 제2 래크 기어에 각각 결합될 수 있다. The first rotating body and the second rotating body may be respectively coupled to the first rack gear and the second rack gear which are engaged with the pinion gear in a state in which they are opposed to each other with the pinion gear connected to the driving motor interposed therebetween have.

또한, 상기 복수의 회전체에는 제3 회전체가 포함되고, 상기 제3 회전체에 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트가 감겨져 있으며, 상기 제3 회전체에 구동 모터가 연결될 수 있다.In addition, the plurality of rotors may include a third rotating body, a belt of the downstream second conveyor may be wound around the third rotating body, and a driving motor may be connected to the third rotating body.

또한, 상기 댄서 회전체 유닛에, 상기 제1 스토퍼와 상기 제2 스토퍼가 설치될 수 있다.Further, the first stopper and the second stopper may be installed in the dancer revolver unit.

또한, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체는 롤러일 수 있다. The first rotating body and the second rotating body may be rollers.

또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 반송 방법은, 상기 제2 컨베이어부의 벨트 상에 올려 놓여진 기판을 상기 제1 방향으로 반송하는 기판 반송 방법으로서, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체를 이동시킴으로써, 일체로 형성된 상기 상류측 제2 컨베이어부 및 하류측 제2 컨베이어부를 서로 다르게 작동시킬 수 있다. The substrate conveying method according to an embodiment of the present invention is a substrate conveying method for conveying a substrate placed on a belt of the second conveyor section in the first direction, The upstream side second conveyor portion and the downstream side second conveyor portion integrally formed can be operated differently from each other.

또한, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체를 왕복 이동시킴으로써, 하류측 제2 컨베이어부의 벨트는 정지된 상태에서, 상류측 제2 컨베이어부의 벨트를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전 이동시켜, 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트상에 올려 놓여진 기판을 스크라이브하고, 상기 스크라이브하는 단계에서, 정지된 상태의 하류측 제2 컨베이어부의 벨트상에 놓여 있는 스크라이브된 기판을 언로드 하고, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트에 감겨진 제3 회전체를 회전시키면서 상기 제1 회전체 및 제2 회전체를 이동시킴으로써, 상류측 제2 컨베이어부의 벨트를 정지시킨 상태에서 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트를 회전 이동 시켜, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트상에 올려 놓여진 더미 기판을 언로드하고, 상기 더미 기판을 언로드하는 단계 이후에도 상기 제3 회전체를 계속 회전시켜, 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트 상에 올려 놓여져 있던 스크라이브된 기판이 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트 상으로 반송될 수 있다.By moving the first rotating body and the second rotating body back and forth, the belt of the upstream side second conveyor portion is rotated clockwise or counterclockwise while the belt of the downstream side second conveyor portion is stopped, And scribing the substrate placed on the belt of the upstream side second conveyor section. In the scribing step, the scribed substrate placed on the belt of the downstream second conveyor section in the stopped state is unloaded, and the downstream side second conveyor The belt of the downstream side second conveyor portion is rotationally moved while the belt of the upstream side second conveyor portion is stopped by moving the first rotatable body and the second rotatable body while rotating the third rotatable body , Unloading the dummy substrate placed on the belt of the downstream side second conveyor portion, and unloading the dummy substrate The scribed substrate placed on the belt of the upstream side second conveyor portion can be conveyed onto the belt of the downstream side second conveyor portion by continuously rotating the third rotary member.

또한, 상기 제3 회전체에는 구동 모터가 연결되고, 상기 스크라이브하는 단계에서는 상기 구동 모터의 작동을 정지시키고, 상기 더미 기판을 언로드하는 단계에서는 상기 구동 모터를 작동시킬 수 있다.In addition, a driving motor is connected to the third rotating body, and in the scribing step, the operation of the driving motor is stopped, and in the step of unloading the dummy substrate, the driving motor can be operated.

또한, 상기 댄서 회전체 유닛에 상기 제1 스토퍼와 상기 제2 스토퍼가 설치되고, 상기 스크라이브 하는 단계에서는 상기 제2 스토퍼를 작동시킬 수 있다.In addition, the first stopper and the second stopper may be provided in the dancer revolver unit, and the second stopper may be operated in the scribing step.

또한, 상기 더미기판을 언로드하는 단계에서는 상기 제1스토퍼를 작동시키고, 상기 스크라이브된 기판이 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트로 반송되는 단계에서는, 상기 제1 스토퍼 및 제2 스토퍼의 작동을 모두 해제할 수 있다. In the step of unloading the dummy substrate, the first stopper is operated, and in the step in which the scribed substrate is conveyed to the belt of the downstream side second conveyer section, the operations of the first stopper and the second stopper are all released can do.

본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서 사용되는 기판 반송 방법에 의하면, 일체로 형성된 제2 컨베이어부의 상류측 제2 컨베이어부와 하류측 제2 컨베이어부 사이에 댄서 회전체 유닛이 구비됨으로써, 종래의 하류측 스크라이브부와 픽업 컨베이어부 사이에 존재하던 컨베이어 환승부 없이, 기판이 상류측 제2 컨베이어부로부터 하류측 제2 컨베이어부로 반송될 수 있다. 따라서, 더미 글라스 낙하나 글라스 치핑과 같은 문제점을 미연에 방지할 수 있다. 또한, 컨베이어 환승부에서 발생할 수 있는 기판 표면상의 흠집이나 손상도 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the substrate transporting method used in the substrate cutting apparatus and the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention, the dancer rotation unit unit is provided between the upstream-side second conveyor unit and the downstream- The substrate can be transported from the upstream side second conveyor portion to the downstream side second conveyor portion without the conventional conveyor transfer portion existing between the downstream side scribing portion and the pickup conveyor portion. Therefore, it is possible to prevent problems such as dipping glass and chipping of the glass beforehand. In addition, there is an effect that scratches and damage on the surface of the substrate, which may occur in the conveyor transfer portion, can be prevented.

또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 절단 장치 및 기판 반송 방법에 의하면, 상류측 제2 컨베이어부와 하류측 제2 컨베이어부의 작동을 서로 다르게 작동시킬 수 있기 때문에, 하류측 제2 컨베이어부상의 기판을 픽업하기 위해 하류측 제2 컨베이어부가 정지되어 있는 상태에서도, 상류측 제2 컨베이어부에서 기판의 스크라이브 작업을 계속 진행할 수 있다. 따라서, 기판 절단 장치의 전체적인 처리 효율을 향상시킬 수 있다.Further, according to the substrate cutting apparatus and the substrate conveying method according to the embodiment of the present invention, since the operations of the upstream side second conveyor portion and the downstream side second conveyor portion can be operated differently, The scribing operation of the substrate can be continued at the upstream side second conveyor portion even in a state where the downstream side second conveyor portion is stopped to pick up the substrate. Therefore, the overall processing efficiency of the substrate cutting apparatus can be improved.

도 1은 종래의 기판 절단 시스템의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 종래의 기판 절단 장치에서 스크라이브된 기판이 픽업 컨베이어부로 반송되는 과정을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 절단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 절단 장치에 있어서의 기판 반송 과정을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛이 설치된 기판 절단 장치의 부분 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛의 측면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛에 있어서, 제1 회전체는 하강하고 제2 회전체는 상승해 있는 모습을 나타낸 댄서 회전체 유닛의 측단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛에 있어서, 제1 회전체는 상승하고 제2 회전체는 하강해 있는 모습을 나타낸 댄서 회전체 유닛의 측단면도이다.1 is a perspective view schematically showing a main configuration of a conventional substrate cutting system.
2 is a view schematically showing a process in which a scribed substrate is transported to a pick-up conveyor in a conventional substrate cutting apparatus.
3 is a side view schematically showing a main configuration of a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 4A to 4D are schematic views illustrating a substrate transport process in the substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a partial perspective view of a substrate cutting apparatus provided with a dancer rotating unit according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view of a dancer rotating body unit according to an embodiment of the present invention.
7 is a side view of the dancer rotating body unit according to an embodiment of the present invention.
8 is a side cross-sectional view of a dancer revolver unit according to an embodiment of the present invention, in which the first rotating body is lowered and the second rotating body is lifted.
9 is a side cross-sectional view of a dancer rotating body unit showing a state in which the first rotating body is lifted and the second rotating body is lifted in the dancer rotating body unit according to the embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시형태에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 간단·명료하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다. 또한, 본 발명의 실시 형태에 대해서는 특허문헌 1 등에 개시된 종래의 기판 절단 장치와 구성 상의 차이점을 중심으로 설명하며, 종래의 기판 절단 장치와 동일하거나 유사한 구성에 대해서는 그의 설명을 생략한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to simplify and explain the present invention in the drawings, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification. The embodiment of the present invention will be described mainly on the difference between the conventional substrate cutting apparatus disclosed in Patent Document 1 and the like, and a description of the same or similar configuration as that of the conventional substrate cutting apparatus will be omitted.

한편, 본 발명의 실시 형태에 있어서, 기판에는 복수의 기판으로 절단되는 머더 기판을 포함하고, 또한 강판 등의 금속 기판, 목판, 플라스틱 기판 및 세라믹스 기판, 반도체 기판, 글라스 기판 등의 취성 재료 기판 등의 단판이 포함된다. 또한, 이러한 단판에 한정되지 않고, 한 쌍의 기판끼리를 접합시킨 접합 기판, 한 쌍의 기판끼리를 적층시킨 적층 기판도 포함된다.On the other hand, in the embodiment of the present invention, the substrate includes a mother substrate cut into a plurality of substrates, and a metal substrate such as a steel plate, a wood plate, a plastic substrate and a brittle material substrate such as a ceramics substrate, a semiconductor substrate, . Furthermore, the present invention is not limited to such a single plate, but also includes a bonded substrate on which a pair of substrates are bonded together, and a laminated substrate on which a pair of substrates are laminated.

도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 절단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 측면도이다.3 is a side view schematically showing a main configuration of a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 실시형태에 따른 기판 절단 장치는 제1 컨베이어부(10) 및 제2 컨베이어부(20)와, 스크라이브 유닛(30)과, 댄서(dancer) 회전체 유닛(23)을 포함한다.3, the substrate cutting apparatus according to the present embodiment includes a first conveyor unit 10, a second conveyor unit 20, a scribe unit 30, and a dancer rotator unit 23 .

제1 컨베이어부(10) 및 제2 컨베이어부(20)는 설치대(도시되지 않음) 상에서 기판 반송 방향인 제1 방향(도 3에서 +Y 방향)을 따라 서로 간격을 두고 배치된다. 제1 컨베이어부(10)에는 복수의 회전체(11), 예컨대 롤러 등에 감겨서 회전 이동하는 벨트(18)가 형성되고, 제2 컨베이어부(20)에도 복수의 회전체(21), 예컨대 롤러 등에 감겨서 회전 이동하는 벨트(28)가 형성된다. 그리고, 본 실시 형태에서는, 복수의 회전체(21) 중 제3 회전체(21a)에 구동 모터(40)가 연결되어 있어, 당해 구동 모터(40)의 작동에 의해 제3 회전체(21a)의 회전이 제어되고, 이로 인해 벨트(28)가 회전 이동하도록 구성된다. The first conveyor portion 10 and the second conveyor portion 20 are disposed on a mounting table (not shown) at a distance from each other along a first direction (+ Y direction in FIG. 3) in the substrate transport direction. The first conveyor unit 10 is provided with a plurality of rotors 11 such as rollers or the like and a belt 18 rotatably moving and the second conveyor unit 20 is also provided with a plurality of rotors 21, And a belt 28 that rotates while being wound is formed. In this embodiment, the driving motor 40 is connected to the third rotating body 21a of the plurality of rotating bodies 21, and the third rotating body 21a is rotated by the operation of the driving motor 40, The rotation of the belt 28 is controlled so that the belt 28 rotates.

제1 컨베이어부(10)와 제2 컨베이어부(20) 사이의 간격에는 스크라이브 유닛(30)이 배치된다. 스크라이브 유닛(30)은, 설치대를 가로 지르는 방향(도 3에서 +X 방향)으로 연장하여 설치되는 스크라이브 빔(32)과, 이 스크라이브 빔(32)에 설치되어 스크라이브 빔(32)이 연장하는 방향을 따라 이동 가능하게 형성되는 스크라이브 헤드(34)를 구비한다. A scribe unit (30) is disposed in a space between the first conveyor part (10) and the second conveyor part (20). The scribing unit 30 includes a scribe beam 32 extending in a direction (in the + X direction in FIG. 3) across the mounting base, and a scribe beam 32 provided in the scribe beam 32 to extend in the direction in which the scribe beam 32 extends And a scribe head (34) formed to be movable along the first direction.

또한, 상기 제1 컨베이어부(10)의 벨트(18) 위에는, 제1 방향을 따라 전후 방향(도 3에서 +Y 방향 및 -Y 방향)으로 이동 가능하게 설치된 척 빔(chuck beam; 14)과, 이 척 빔(14)의 일측에 형성되어 기판(2)을 파지하는 척(16)이 설치되어 있다. 그리고, 척 빔(14)이 스크라이브 유닛(30)을 향하여 전후 방향으로 이동함에 따라, 척(16)에 파지되어 있는 기판(2)은 스크라이브 헤드(34)를 지나게 되면서 스크라이브된다.A chuck beam 14 is provided on the belt 18 of the first conveyor unit 10 so as to be movable in the forward and backward directions along the first direction (the + Y direction and the -Y direction in FIG. 3) And a chuck 16 formed on one side of the chuck beam 14 and holding the substrate 2 thereon. As the chuck beam 14 moves back and forth toward the scribe unit 30, the substrate 2 held by the chuck 16 is scribed while passing through the scribe head 34.

본 실시 형태에 있어서, 제2 컨베이어부(20)는 기판의 반송 방향에 있어서 상류측에 대응하는 상류측 제2 컨베이어부(22)(이하, '스크라이브 리어 컨베이어부' 라고도 칭한다)와, 하류측에 대응하는 하류측 제2 컨베이어부(24)(이하, '픽업 컨베이어부'라고도 칭한다)로 구분될 수 있다. In the present embodiment, the second conveyor section 20 includes an upstream-side second conveyor section 22 (hereinafter also referred to as a "scribe conveyor section") corresponding to the upstream side in the conveying direction of the substrate, Side conveyor portion 24 (hereinafter, also referred to as a " pick-up conveyor portion ").

스크라이브 리어 컨베이어부(22)는 제1 컨베이어부(10)로부터 스크라이브 유닛(30)을 지나 스크라이브된 기판이 올려 놓여지는 부분이고, 픽업 컨베이어부(24)는, 예컨대 픽업 로봇 등에 의해 기판이 픽업될 수 있도록, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)로부터 반송된 기판(2a)이 일시적으로 올려 놓여지는 부분이다. The scribe conveyor portion 22 is a portion on which the scribed substrate is placed from the first conveyor portion 10 to the scribe unit 30 and the pick-up conveyor portion 24 is a portion where the substrate is picked up by, for example, The substrate 2a transported from the scribe conveyor section 22 is temporarily placed on the substrate 2a.

이렇게 서로 상이한 기능을 하는 스크라이브 리어 컨베이어부(22) 및 픽업 컨베이어부(24)가, 본 실시 형태에서는 하나의 벨트(28)를 통해 제2 스크라이브부(20)로서 일체로 형성되는데, 이는 스크라이브 리어 컨베이어부(22)와 픽업 컨베이어부(24) 사이에 배치되는 댄서 회전체 유닛(23)을 통해 가능하게 된다.In this embodiment, the scribe conveyor portion 22 and the pick-up conveyor portion 24 having different functions from each other are integrally formed as one second scribe portion 20 through one belt 28, (23) disposed between the conveyor section (22) and the pick-up conveyor section (24).

댄서 회전체 유닛(23)은 스크라이브 리어 컨베이어부(22)와 픽업 컨베이어부(24)의 사이에 설치되며, 적어도 1쌍의 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)를 갖는다. 도 3에는 1쌍의 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)만이 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 2쌍 이상의 회전체가 구비된 댄서 회전체 유닛에도 적용될 수 있다. 또한, 도 3에는, 제1 회전체(23a)가 픽업 컨베이어부(20)의 외측, 즉 벨트(28)의 궤도 바깥쪽에 위치하고, 제2 회전체(23b)가 픽업 컨베이어부(20)의 내측, 즉 벨트(28)의 궤도 안쪽에 위치하고 있지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 회전체(23a)가 벨트(28)의 궤도 안쪽에 위치하고, 제2 회전체(23b)가 벨트(28)의 궤도 바깥쪽에 위치하는 구성에도 적용될 수 있다.The dancer rotating unit 23 is provided between the scribe conveyor unit 22 and the pickup conveyor unit 24 and has at least one pair of the first rotating body 23a and the second rotating body 23b. Although only one pair of the first rotating body 23a and the second rotating body 23b are shown in FIG. 3, the present invention is not limited thereto, and may be applied to a dancer rotating body unit having two or more pairs of rotating bodies. have. 3 shows that the first rotating body 23a is located on the outer side of the pickup conveyor section 20, that is, on the outer side of the belt 28, and the second rotating body 23b is located on the inner side of the pickup conveyor section 20 The present invention is not limited to this but the first rotating body 23a is located inside the orbit of the belt 28 and the second rotating body 23b is located inside the orbit of the belt 28 28 of the first embodiment.

댄서 회전체 유닛(23)의 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)는 기판의 반송 방향인 제1 방향과 교차하는 제2 방향(도 3에서 +Z방향 또는 -Z방향)으로 이동 가능하게 형성된다. 또한, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)는 이동할 때 상호 반대 방향으로 이동하도록 형성되어 있다. 예컨대, 제1 회전체(23a)가 -Z방향으로 이동하면, 제2 회전체(23b)는 +Z방향으로 이동하고, 제1 회전체(23a)가 +Z방향으로 이동하면, 제2 회전체(23b)는 -Z방향으로 이동하도록, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)가 상호 연동하여 결합되어 있다. 이와 관련한 제1 회전체(23b) 및 제2 회전체(23b)의 결합 구성에 대해서는 다음에 설명한다.The first rotating body 23a and the second rotating body 23b of the dancer rotating unit 23 are moved in the second direction (the + Z direction or the -Z direction in Fig. 3) that intersects with the first direction, As shown in Fig. In addition, the first rotating body 23a and the second rotating body 23b are formed so as to move in mutually opposite directions when they move. For example, when the first rotating body 23a moves in the -Z direction, the second rotating body 23b moves in the + Z direction, and when the first rotating body 23a moves in the + Z direction, The first rotating body 23a and the second rotating body 23b are coupled to each other so as to move in the -Z direction. The combination of the first rotating body 23b and the second rotating body 23b will be described below.

이와 같이, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)와 픽업 컨베이어부(24) 사이에, 상호 반대 방향으로 이동 가능하게 형성되는 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)를 구비한 댄서 회전체 유닛(23)이 형성됨으로써, 제2 스크라이브부(20)의 벨트(28)의 움직임이 스크라이브 리어 컨베이어부(22) 및 픽업 컨베이어부(24)에서 각각 독립적으로 제어될 수 있다. 즉, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)는 회전 이동하지만, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)는 정지해 있거나, 이와 반대로 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)는 회전 이동 하지만, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)는 정지해 있도록 제어될 수 있다. 이로 인해, 스크라이브 리어 컨베이어부(22) 및 픽업 컨베이어부(24)는 컨베이어의 환승 없이 일체로 형성된 구성(1개의 벨트(28)로 이루어진 구성)이지만, 작동 상태가 서로 다르게 제어될 수 있게 된다. As described above, between the scribe conveyor section 22 and the pick-up conveyor section 24, the first rotating body 23a and the second rotating body 23b, which are movable in opposite directions to each other, The movement of the belt 28 of the second scribing portion 20 can be independently controlled by the scribe conveyor portion 22 and the pickup conveyor portion 24 by forming the unit 23. That is, the belt 28 of the scribe conveyor portion 22 rotates but the belt 28 of the pick-up conveyor portion 24 is stationary or vice versa, But the belt 28 of the scribe conveyor section 22 can be controlled to be stationary. As a result, the scribe conveyor section 22 and the pick-up conveyor section 24 are integrally formed (one belt 28) without transferring the conveyor, but the operation states can be controlled differently.

따라서, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)상에 올려 놓여진 스크라이브된 기판은 제2 스크라이브(20)의 벨트(28)를 따라 제2 픽업 컨베이어부(24)로 컨베이어의 환승 없이 반송될 수 있다. 따라서, 종래의 기판 절단 장치와 같이, 하류측 스크라이브부로부터 픽업 컨베이어부로 기판이 반송될 때, 컨베이어의 환승으로 인한 더미 글라스 낙하 또는 글라스 치핑 등의 문제점을 방지할 수 있고, 컨베이어의 환승으로 인해 기판 표면에 손상이 가해지는 문제점도 방지할 수 있는 효과가 있다. 이에 대해서 도 4a 내지 도 4d를 참조하여 좀 더 구체적으로 설명한다.The scribed substrate placed on the scribe conveyor portion 22 can be transported along the belt 28 of the second scribe 20 to the second pick-up conveyor portion 24 without transfer of the conveyor. Therefore, when the substrate is transported from the downstream side scribing portion to the pick-up conveyor portion as in the conventional substrate cutting device, it is possible to prevent problems such as falling of the dummy glass or chucking due to transfer of the conveyor, It is possible to prevent the problem that the surface is damaged. This will be described in more detail with reference to Figs. 4A to 4D.

도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 절단 장치에 있어서의 기판 반송 과정을 개략적으로 나타낸 도면이다.FIGS. 4A to 4D are schematic views illustrating a substrate transport process in the substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4a는 기판을 스크라이브하기 시작하는 단계를 나타낸 도면이다.4A is a view showing a step of starting scribing a substrate.

도 4a를 참조하면, 스크라이브 대상이 되는 기판(2)이 척(16)에 파지되어 있다. 또한, 픽업 컨베이어부(24)상에는 스크라이브가 완료된 기판(2a)이 픽업되기 위해 벨트(28)상에 올려 놓여져 있다.Referring to Fig. 4A, the substrate 2 to be scribed is held by the chuck 16. Fig. On the pick-up conveyor portion 24, the scribed substrate 2a is placed on the belt 28 so as to be picked up.

한편, 본 실시 형태에 따른 댄서 회전체 유닛(23)에는, 제1 회전체(23a)를 기준으로 스크라이브 리어 컨베이어부(22)쪽에 형성되는 제1 스토퍼(50a)와, 제1 회전체(23a)를 기준으로 픽업 컨베이어부(24)쪽에 형성되는 제2 스토퍼(50b)가 설치된다. 제1 스토퍼(50a) 및 제2 스토퍼(50b)는 제2 컨베이어부(20)의 벨트(28)의 회전 이동을 더욱 확실히 정지시키기 위한 것으로, 도 4a에서는 제2 스토퍼(50b)가 하강하여 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)의 회전 이동을 더욱 확실히 정지시키고 있다.On the other hand, the dancer rotating unit 23 according to the present embodiment includes a first stopper 50a formed on the side of the scribe conveyor unit 22 with respect to the first rotating body 23a, A second stopper 50b formed on the side of the pickup conveyor 24 is provided. The first stopper 50a and the second stopper 50b stop the rotation of the belt 28 of the second conveyor unit 20 more reliably. In Fig. 4a, the second stopper 50b is lowered, The rotational movement of the belt 28 of the conveyor section 24 is more reliably stopped.

도 4b는 기판(2)을 스크라이브함과 동시에, 픽업 컨베이어부(24) 상의 기판(2a)을 픽업하여 반송 컨베이어부(도시되지 않음) 등의 다음 단계로 언로딩하는 단계를 나타내는 도면이다.4B is a view showing a step of scribing the substrate 2 and picking up the substrate 2a on the pickup conveyor section 24 and unloading the substrate 2a to the next stage such as a conveying conveyor section (not shown).

도 4a 및 도 4b를 참조하면, 척 빔(14)이 기판 반송 방향(도 4a에서 +Y방향)을 따라 이동하고, 이에 따라 척(16)에 파지되어 있던 기판(2)도 스크라이브 헤드(34)를 지나게 된다. 이와 동시에, 제1 회전체(23a)는 -Z방향으로, 그리고 제2 회전체(23b)는 제1 회전체(23a)의 이동 방향과 반대 방향인 +Z방향으로 이동된다.4A and 4B, the chuck beam 14 moves along the substrate carrying direction (the + Y direction in FIG. 4A), so that the substrate 2 held by the chuck 16 is also moved to the scribe head 34 ). At the same time, the first rotating body 23a is moved in the -Z direction and the second rotating body 23b is moved in the + Z direction opposite to the moving direction of the first rotating body 23a.

이 때, 구동 모터(40)는 작동이 오프(OFF)되어 있고, 벨트(28)는 제3 회전체(21a)에 단단히 감겨져 있는 상태이기 때문에, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)가 이동할 때, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)쪽의 벨트(28)만이 움직이고, 픽업 컨베이어부(24)쪽의 벨트(28)는 움직이지 않게 된다. 도 4b에 나타낸 것처럼, 제2 스토퍼(50b)를 하강시켜, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)를 더욱 확실하게 정지시키도록 해도 좋다. At this time, since the operation of the drive motor 40 is turned off and the belt 28 is tightly wound around the third rotating body 21a, the first rotating body 23a and the second rotating body 21b Only the belt 28 on the side of the scribe conveyor section 22 moves and the belt 28 on the side of the pick-up conveyor section 24 does not move. The second stopper 50b may be lowered to further more securely stop the belt 28 of the pickup conveyor portion 24 as shown in Fig. 4B.

또한, 본 실시 형태에서, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)가 이동하는 거리는 서로 동일하도록 형성된다. 즉, 제1 회전체(23a)가 -Z방향으로 L만큼의 거리를 이동하면, 제2 회전체(23a)도 +Z 방향으로 L만큼의 거리를 이동하도록 조정되어 있다. 이에 따라, 제1 회전체(23a)가 -Z방향으로 이동한 거리와 제2 회전체(23b)가 +Z방향으로 이동한 거리가 상쇄되면서, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)만이 제1 회전체(23a) 또는 제2 회전체(23b)가 이동한 거리만큼 시계 방향으로 회전하게 된다. 따라서, 척(16)에 파지되어 있는 기판(2)이, 스크라이브 헤드(34)를 지나 스크라이브 리어 컨베이어부(22)에 도달하더라도, 기판(2)이 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)상에서 계속 이동할 수 있게 된다.In this embodiment, the distances by which the first rotating body 23a and the second rotating body 23b move are equal to each other. That is, when the first rotating body 23a moves a distance of L in the -Z direction, the second rotating body 23a is also adjusted to move the distance by L in the + Z direction. The belt 28 of the scribe conveyor section 22 is moved in the + Z direction while the distance of the movement of the first rotating body 23a in the -Z direction and the moving distance of the second rotating body 23b in the + Is rotated clockwise by the distance that the first rotating body 23a or the second rotating body 23b has moved. Therefore, even if the substrate 2 gripped by the chuck 16 reaches the scribe conveyor portion 22 through the scribe head 34, the substrate 2 is transferred to the belt 28 of the scribe conveyor portion 22 ). ≪ / RTI >

이후, 척 빔(16) 및 척(14)이 기판의 반송 방향과 반대 방향(도 4b에서 -Y 방향)으로 후퇴하면, 이와 동시에 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)는 이전과 반대 방향으로 다시 이동되고, 이에 따라 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)는 제1 회전체(23a) 또는 제2 회전체(23b)가 이동한 거리만큼 다시 반시계 방향으로 회전하게 된다. 그리고, 이러한 과정을 반복함으로써, 척(16)에 파지된 기판(2)의 전면(全面)이 스크라이브된다.Thereafter, when the chuck beam 16 and the chuck 14 move backward (in the -Y direction in FIG. 4B) opposite to the conveying direction of the substrate, the first rotating body 23a and the second rotating body 23b The belt 28 of the scribe conveyor section 22 is rotated counterclockwise again by the distance that the first rotating body 23a or the second rotating body 23b has moved, . By repeating this process, the entire surface of the substrate 2 gripped by the chuck 16 is scribed.

한편, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)는, 전술한 것처럼, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)가 이동하더라도 그의 움직임이 고정되어 있다. 따라서, 기판이 스크라이브되는 과정에서도, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)상에 올려 놓여져 있는, 스크라이브 작업이 완료된 기판(2a)은, 예컨대 픽업 로봇 등에 의해 픽업되어 다음 단계로 언로딩(unloading)될 수 있다.On the other hand, the movement of the belt 28 of the pickup conveyor section 24 is fixed even if the first rotating body 23a and the second rotating body 23b move as described above. Therefore, even in the process of scribing the substrate, the scribe-completed substrate 2a placed on the belt 28 of the pick-up conveyor 24 is picked up by, for example, a pick-up robot and unloaded ).

도 4c는 스크라이브 작업이 완료되어 척 빔(14) 및 척(16)은 초기 위치로 되돌아가고, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)에 남아 있는 더미 기판은 파쇄기로 이송되는 단계를 나타내는 도면이다.4C shows a step in which the scribing operation is completed so that the chuck beam 14 and the chuck 16 are returned to the initial position and the dummy substrate remaining on the belt 28 of the pickup conveyor portion 24 is transported to the crusher to be.

도 4b 및 도 4c를 참조하면, 스크라이브 작업이 완료된 기판(2)은 척(16)으로부터의 결합이 해제되어 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)상에 올려 놓여지고, 척(16) 및 척 빔(14)은 초기 위치로 되돌아간다.4B and 4C, the scribe-completed substrate 2 is released from the chuck 16 and placed on the belt 28 of the scribe conveyor portion 22, And the chuck beam 14 return to the initial position.

이 때, 구동 모터(40)를 작동시켜(ON) 제3 회전체(21a)를 시계 방향으로 회전시킴과 아울러, 제1 회전체(23a)를 +Z방향, 그리고 제2 회전체(23b)를 -Z방향으로 이동시키면, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)만이 시계 방향으로 회전 이동하게 되고, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)는 정지 상태로 있게 된다. 이에 따라, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)상에 있는 기판(2)은 정지된 상태에서, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)상에 올려 놓여져 있던 더미 기판만이 파쇄기로 이송될 수 있다.At this time, the drive motor 40 is turned ON to rotate the third rotating body 21a in the clockwise direction and the first rotating body 23a in the + Z direction and the second rotating body 23b, Only the belt 28 of the pick-up conveyor section 24 rotates clockwise and the belt 28 of the scribe conveyor section 22 is in a stopped state. The substrate 2 on the belt 28 of the scribe conveyor section 22 is stopped and only the dummy substrate placed on the belt 28 of the pickup conveyor section 24 is conveyed to the crusher Lt; / RTI >

또한, 이 경우에, 제2 스토퍼(50b)는 상승하고 제1 스토퍼(50a)는 하강하도록 조정함으로써, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)의 회전 이동은 제한되지 않으면서, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)의 이동을 더욱 확실히 정지시킬 수도 있다.In this case, the rotation of the belt 28 of the pick-up conveyor portion 24 is not restricted by adjusting the second stopper 50b to rise and the first stopper 50a to descend so that the scribe conveyor The movement of the belt 28 of the portion 22 can be more reliably stopped.

도 4d는 새로운 기판을 제1 컨베이어부(10) 상에 로딩하고, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)상에 올려 놓여져 있던 기판을 픽업 컨베이어부(24)로 반송하는 단계를 나타내는 도면이다.4D shows a step of loading a new substrate onto the first conveyor section 10 and conveying the substrate placed on the belt 28 of the scribe conveyor section 22 to the pickup conveyor section 24 to be.

도 4c 및 도 4d를 참조하면, 제1 컨베이어부(10)에서는, 스크라이브될 새로운 기판(2)이 제1 컨베이어부(10)의 벨트(18)상에 로딩되어, 초기 위치로 되돌아간 척 빔(14) 및 척(16)에 파지된다.4C and 4D, in the first conveyor section 10, a new substrate 2 to be scribed is loaded on the belt 18 of the first conveyor section 10, (14) and the chuck (16).

제2 컨베이어부(20)에서는, 제1 회전체(23a)가 +Z 방향으로 계속 이동하여 벨트(28)와의 접촉이 해제되면, 벨트(28)는 굴곡이 없는 평평한 상태로 회복되어, 기판이 올려 놓여져서 반송되는 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)와 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28) 사이에 컨베이어 환승부가 없어지게 된다. 그리고, 제1 스토퍼(50a)는 상승시켜 벨트(28)와의 접촉을 해제시킨다. In the second conveyor unit 20, when the first rotating body 23a continues to move in the + Z direction and the contact with the belt 28 is released, the belt 28 is restored to a flat state without bending, The transferring portion of the conveyor is eliminated between the belt 28 of the scribe conveyor portion 22 and the belt 28 of the pickup conveyor portion 24 which are loaded and transported. Then, the first stopper 50a is lifted to release the contact with the belt 28. [

이때, 구동모터(40)는 계속 작동 중이기 때문에, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)가 회전 이동함에 따라, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)도 함께 회전 이동하게 되고, 이에 따라 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)상에 올려 놓여져 있던 스크라이브된 기판이 컨베이어의 환승없이 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)로 반송될 수 있다. 따라서, 스크라이브된 기판에 손상을 주지 않으면서 다음 단계(예컨대, 픽업 단계)의 반송부로 이송할 수 있다.At this time, since the drive motor 40 is still in operation, as the belt 28 of the pick-up conveyor portion 24 rotates, the belt 28 of the scribe conveyor portion 22 also rotates together, The scribed substrate placed on the belt 28 of the scribe conveyor section 22 can be conveyed to the belt 28 of the pick-up conveyor section 24 without transfer of the conveyor. Therefore, the scribed substrate can be transferred to the carry section in the next step (e.g., the pickup stage) without damaging the scribed substrate.

한편, 본 실시 형태에서, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b) 중 적어도 하나는 벨트(28)의 장력을 유지하면서 접촉해 있다. 이로 인해, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)의 이동에 따라, 벨트(28)도 장력이 유지된 상태로 회전 이동할 수 있게 되어, 벨트(28)상에 올려 놓여 있는 기판도 원활하게 반송될 수 있다.On the other hand, in the present embodiment, at least one of the first rotating body 23a and the second rotating body 23b is held in contact with the belt 28 while maintaining the tension thereof. As a result, the belt 28 can be rotated and moved in a state in which the tension is maintained in accordance with the movement of the first rotating body 23a and the second rotating body 23b, Can be smoothly returned.

또한, 본 실시 형태에서, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)는 롤러일 수 있으며, 롤러 이외에, 벨트(28)에 감긴 상태에서 회전에 의해 벨트(28)를 이동시킬 수 있는 다른 수단으로 구성될 수도 있다.In the present embodiment, the first rotating body 23a and the second rotating body 23b may be rollers. In addition to the rollers, it is also possible to move the belt 28 by rotation in a state of being wound on the belt 28 Or other means.

도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 댄서 회전체 유닛이 설치된 기판 절단 장치의 부분 사시도이다.5 is a partial perspective view of a substrate cutting apparatus provided with a dancer rotating unit according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 기판 반송 방향인 제1 방향을 따라, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)는 스크라이브 리어 컨베이어 프레임(22a)상에, 그리고 픽업 컨베이어부(24)는 픽업 컨베이어 프레임(24a)에 설치되어 있다. 픽업 컨베이어부(24)에는 각각 X, Y, Z축으로 이동 가능하게 설치된 픽업 X축 로봇(25a), 픽업 Y축 로봇(25b), 픽업 Z축 로봇(25c)이 설치되어 있고, 픽업 핸드(27)에 의해 픽업된 기판은 이들 로봇의 이동에 의해 원하는 위치로 옮겨져 언로딩된다.5, the scribe conveyor portion 22 is installed on the scribe conveyor frame 22a and the pickup conveyor portion 24 is mounted on the pick-up conveyor frame 24a along the first direction which is the substrate transport direction . A pick-up X-axis robot 25a, a pick-up Y-axis robot 25b and a pick-up Z-axis robot 25c which are provided movably in the X, Y and Z axes are provided on the pickup conveyor section 24, 27 are moved to a desired position by the movement of these robots and unloaded.

그리고, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)와 픽업 컨베이어부(24)의 사이에는 댄서 회전체 유닛(23)이 설치된다. 댄서 회전체 유닛(23)에 대해서는 도 6 및 도 7을 참조하여 설명한다.A dancer rotating body unit 23 is provided between the scribe conveyor section 22 and the pick-up conveyor section 24. The dancer rotating unit 23 will be described with reference to Figs. 6 and 7. Fig.

도 6은 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛의 사시도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛의 측면도이다. FIG. 6 is a perspective view of a dancer revolver unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a side view of a dancer revolver unit according to an embodiment of the present invention.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛(23)은 구동 모터(232)에 연결된 피니언 기어(234)와, 이 피니언 기어(234)와 맞물린 상태로, 이 피니언 기어(234)를 사이에 두고 서로 대향 배치되는 제1 래크 기어(236a) 및 제2 래크 기어(236b)를 포함한다. 그리고, 제1 래크 기어(236a)에는 연결 부재를 통하여 제1 회전체(23a)가 결합되어 있고, 제2 래크 기어(236b)에는 연결 부재를 통하여 제2 회전체(23b)가 결합되어 있다. 따라서, 구동 모터(232)의 작동에 따라 피니언 기어(234)가 회전하게 되면, 제1 래크 기어(236a) 및 제2 래크 기어(236b)는 Z 방향에 있어서 상호 반대 방향으로 움직이게 되고, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)도 가이드(238)를 따라 제1 래크 기어(236a) 및 제2 래크 기어(236b)가 움직이는 방향으로 움직이게 된다.6 and 7, a dancer rotating unit 23 according to an embodiment of the present invention includes a pinion gear 234 connected to a drive motor 232, a pinion gear 234 engaged with the pinion gear 234, And a first rack gear 236a and a second rack gear 236b which are disposed opposite to each other with the pinion gear 234 interposed therebetween. A first rotating body 23a is coupled to the first rack gear 236a through a connecting member and a second rotating body 23b is coupled to the second rack gear 236b through a connecting member. Accordingly, when the pinion gear 234 is rotated in accordance with the operation of the drive motor 232, the first rack gear 236a and the second rack gear 236b move in mutually opposite directions in the Z direction, The rotating body 23a and the second rotating body 23b are also moved along the guide 238 in the direction in which the first rack gear 236a and the second rack gear 236b move.

또한, 댄서 회전체 유닛(23)의 상부에는 벨트(28)의 이동을 제어하는 제1 스토퍼(50a) 및 제2 스토퍼(50b)가 구비된다. 제1 스토퍼(50a) 및 제2 스토퍼(50b)는, 벨트 스토퍼 카운터축(52)에 연결되어 있는 래크 및 피니언(54)과 결합되어 있다. 따라서, 래크 및 피니언(54)의 작동에 따라 제1 스토퍼(50a) 및 제2 스토퍼(50b)도 상승하거나 하강하게 된다.A first stopper 50a and a second stopper 50b for controlling the movement of the belt 28 are provided on the upper portion of the dancer rotating unit 23. The first stopper 50a and the second stopper 50b are engaged with a rack and a pinion 54 connected to the belt stopper counter shaft 52. [ Accordingly, the first stopper 50a and the second stopper 50b also move up or down according to the operation of the rack and pinion 54. [

도 8은 본 발명의 일 실시형태에 있어서, 제1 회전체는 하강하고 제2 회전체는 상승해 있는 모습을 나타낸 댄서 회전체 유닛의 측단면도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시형태에 있어서, 제1 회전체는 상승하고 제2 회전체는 하강해 있는 모습을 나타낸 댄서 회전체 유닛의 측단면도이다.FIG. 8 is a side cross-sectional view of a dancer rotating unit showing an embodiment in which the first rotating body is lowered and the second rotating body is lifted, and FIG. 9 is a cross- Sectional view of the dancer rotating unit showing a state in which the first rotating body is lifted and the second rotating body is lifted.

도 8 및 도 9를 참조하면, 제1 회전체(23a)가 -Z방향으로 이동(하강)하면서 벨트(28)도 함께 이동하게 되고, 이와 동시에 제2 회전체(23b)는 +Z방향으로 이동(상승)하면서 벨트(28)도 함께 따라 올라가게 된다(도 8 참조). 그리고, 제1 회전체(23a)가 +Z 방향으로 이동(상승)하면서 벨트(28)는 장력이 유지된 평평한 상태로 회복되고, 이와 동시에 제2 회전체(23b)는 -Z방향으로 이동(하강)하면서 벨트(28)도 함께 이동하게 된다(도 9 참조). 이러한 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)의 이동을 통해, 동일한 벨트(28)라도, 댄서 회전체 유닛(23)의 상류측에 있는 벨트(28)의 움직임과 댄서 회전체 유닛(23)의 하류측에 있는 벨트(28)의 움직임을 서로 다르게 제어할 수 있다. 따라서, 벨트(28)상에 놓여 있는 스크라이브된 기판을 컨베이어의 환승없이 다음 단계로 반송할 수 있고, 이에 따라 컨베이어의 환승으로 인한 더미 글라스 낙하 또는 글라스 치핑 등의 문제점을 방지할 수 있다.8 and 9, the belt 28 moves together with the first rotating body 23a moving (descending) in the -Z direction. At the same time, the second rotating body 23b moves in the + Z direction The belt 28 moves up along with the movement (see Fig. 8). Then, the belt 28 is restored to a flat state in which the tension is maintained while the first rotating body 23a moves (rises) in the + Z direction, and at the same time, the second rotating body 23b moves in the -Z direction And the belt 28 is moved together (see Fig. 9). Through the movement of the first rotating body 23a and the second rotating body 23b, even if the same belt 28 is used, the movement of the belt 28 on the upstream side of the rotating body 23 of the dancer unit 23, The movement of the belt 28 on the downstream side of the unit 23 can be controlled differently. Therefore, the scribed substrate placed on the belt 28 can be conveyed to the next step without transferring the conveyor, thereby preventing problems such as falling of the dummy glass or chipping of the glass due to transfer of the conveyor.

전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위에 기재된 구성 요지를 일탈하지 않는 범위 안에서 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, And it goes without saying that they belong to the scope of the present invention.

2, 2a: 기판 10: 제1 컨베이어부
14: 척 빔 16: 척
18: 벨트 20: 제2 컨베이어부
21: 회전체 21a: 제3 회전체
23: 댄서(dancer) 회전체 유닛
23a: 제1 회전체 23b: 제2 회전체
22: 상류측 제2 컨베이어부(스크라이브 리어 컨베이어부)
22a: 스크라이브 리어 컨베이어 프레임
24: 하류측 제2 컨베이어부(픽업 컨베이어부)
24a: 픽업 컨베이어 프레임
25a: 픽업 X축 로봇 25b: 픽업 Y축 로봇
25c: 픽업 Z축 로봇 27: 픽업 핸드
28: 벨트 30: 스크라이브 유닛
32: 스크라이브 빔 34: 스크라이브 헤드
40: 구동 모터 50a: 제1 스토퍼
50b: 제2 스토퍼 52: 벨트 스토퍼 카운터축
54: 래크 및 피니언 232: 구동 모터
234: 피니언 기어 236a: 제1 래크 기어
236b: 제2 래크 기어 238: 가이드2, 2a: substrate 10: first conveyor section
14: chuck beam 16: chuck
18: Belt 20: Second conveyor part
21: rotating body 21a: third rotating body
23: Dancer rotator unit
23a: first rotating body 23b: second rotating body
22: upstream-side second conveyor section (scribe conveyor section)
22a: scribe conveyor frame
24: downstream side second conveyor section (pick-up conveyor section)
24a: pick-up conveyor frame
25a: pickup X-axis robot 25b: pick-up Y-axis robot
25c: pick-up Z-axis robot 27: pickup hand
28: Belt 30: Scribe unit
32: scribe beam 34: scribe head
40: drive motor 50a: first stopper
50b: second stopper 52: belt stopper counter shaft
54: rack and pinion 232: drive motor
234: Pinion gear 236a: First rack gear
236b: second rack gear 238: guide

Claims (14)

설치대 상에서 기판의 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되며, 상기 기판이 올려 놓여진 상태로 복수의 회전체에 감겨 회전 이동하는 벨트를 구비하는 제1 컨베이어부 및 제2 컨베이어부와,
상기 간격에 설치되어 상기 기판을 스크라이브하는 스크라이브 유닛과,
상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 컨베이어부의 상류측에 대응하는 상류측 제2 컨베이어부와, 하류측에 대응하는 하류측 제2 컨베이어부와의 사이에 설치되며, 적어도 한 쌍의 제1 회전체 및 제2 회전체를 구비하는 댄서(dancer) 회전체 유닛과,
상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제1 스토퍼와, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제2 스토퍼를 포함하고,
상기 제1 회전체 및 제2 회전체는 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에 있어서 이동가능하게 형성되어, 일체로 형성된 상기 상류측 제2 컨베이어부 및 하류측 제2 컨베이어부가 서로 다른 작동 상태가 될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.A first conveyor portion and a second conveyor portion disposed at a distance from each other along a first direction which is a conveying direction of the substrate on a mounting table and having a belt wound and rotated around a plurality of rotors in a state in which the substrate is placed,
A scribe unit installed at the interval and scribing the substrate;
And a second conveyor section provided between the upstream side second conveyor section corresponding to the upstream side of the second conveyor section in the first direction and the downstream side second conveyor section corresponding to the downstream side, And a dancer rotating unit unit having a second rotating body,
A first stopper for stopping rotational movement of the belt on the upstream side second conveyor section and a second stopper for stopping rotational movement of the belt on the downstream side second conveyor section,
Wherein the first rotating body and the second rotating body are formed to be movable in a second direction intersecting with the first direction so that the upstream side second conveyor unit and the downstream side second conveyor unit, And the substrate can be cut. 제1항에 있어서,
상기 제1 회전체 및 제2 회전체가 상기 제2 방향에 있어서 이동할 때, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체의 이동 거리는 상호 동일한 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.The method according to claim 1,
Wherein when the first rotating body and the second rotating body move in the second direction, moving distances of the first rotating body and the second rotating body are equal to each other. 제1항에 있어서,
상기 제1 회전체 및 제2 회전체 중 적어도 어느 하나는 상기 제2 컨베이어부의 벨트의 장력을 유지하면서 당해 벨트와 접촉해 있는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.The method according to claim 1,
Wherein at least one of the first rotating body and the second rotating body is in contact with the belt while maintaining the tension of the belt of the second conveying unit. 제1항에 있어서,
상기 제1 회전체 및 제2 회전체는, 구동 모터에 연결된 피니언 기어를 사이에 두고 서로 대향 배치된 상태로 상기 피니언 기어와 맞물려 있는 제1 래크 기어 및 제2 래크 기어에 각각 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.The method according to claim 1,
The first and second rotatable members are respectively coupled to the first rack gear and the second rack gear which are engaged with the pinion gear in a state in which the pinion gears are opposed to each other with the pinion gear connected to the driving motor interposed therebetween. The substrate cutting apparatus comprising: 제1항에 있어서,
상기 복수의 회전체에는 제3 회전체가 포함되고,
상기 제3 회전체에 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트가 감겨져 있으며, 상기 제3 회전체에 구동 모터가 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of rotors includes a third rotator,
Wherein a belt of the downstream side second conveyor portion is wound around the third rotating body, and a driving motor is connected to the third rotating body. 제1항에 있어서,
상기 댄서 회전체 유닛에, 상기 제1 스토퍼와 상기 제2 스토퍼가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first stopper and the second stopper are provided in the dancer rotating unit. 제1항에 있어서,
상기 제1 회전체 및 제2 회전체는 롤러인 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first rotating body and the second rotating body are rollers. 설치대 상에서 기판의 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되며, 상기 기판이 올려 놓여진 상태로 복수의 회전체에 감겨 회전 이동하는 벨트를 구비하는 제1 컨베이어부 및 제2 컨베이어부와, 상기 간격에 설치되어 상기 기판을 스크라이브 하는 스크라이브 유닛을 포함하는 기판 절단 장치에서, 상기 제2 컨베이어부의 벨트 상에 올려 놓여진 기판을 상기 제1 방향으로 반송하는 기판 반송 방법으로서,
상기 기판 절단 장치에는, 상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 컨베이어부의 상류측에 대응하는 상류측 제2 컨베이어부와 하류측에 대응하는 하류측 제2 컨베이어부와의 사이에 설치되며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에 있어서 이동가능하게 설치된 적어도 한 쌍의 제1 회전체 및 제2 회전체를 구비하는 댄서 회전체 유닛과, 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제1 스토퍼와, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제2 스토퍼가 구비되고,
상기 제1 회전체 및 제2 회전체를 이동시킴으로써, 일체로 형성된 상기 상류측 제2 컨베이어부 및 하류측 제2 컨베이어부를 서로 다르게 작동시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.A first conveyor portion and a second conveyor portion disposed at a distance from each other along a first direction which is a conveying direction of the substrate on a mounting table and having a belt wound and rotated around a plurality of rotors in a state in which the substrate is placed, And a scribing unit installed in the gap to scribe the substrate, the substrate transporting method comprising transporting a substrate placed on a belt of the second conveying unit in the first direction,
The substrate cutting device is provided between the upstream side second conveyor portion corresponding to the upstream side of the second conveyor portion in the first direction and the downstream side second conveyor portion corresponding to the downstream side, And a second rotating body which is provided movably in a second direction intersecting the direction of the first rotating body and the second rotating body, 1 stopper and a second stopper for stopping rotational movement of the belt of the downstream side second conveyor part,
Wherein the upstream side second conveyor portion and the downstream side second conveyor portion integrally formed are operated differently by moving the first rotating body and the second rotating body. 제8항에 있어서,
상기 제1 회전체 및 제2 회전체를 왕복 이동시킴으로써, 하류측 제2 컨베이어부의 벨트는 정지된 상태에서, 상류측 제2 컨베이어부의 벨트를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전 이동시켜, 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트상에 올려 놓여진 기판을 스크라이브하고,
상기 스크라이브하는 단계에서, 정지된 상태의 하류측 제2 컨베이어부의 벨트상에 놓여 있는 스크라이브된 기판을 언로드 하고,
상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트에 감겨진 제3 회전체를 회전시키면서 상기 제1 회전체 및 제2 회전체를 이동시킴으로써, 상류측 제2 컨베이어부의 벨트를 정지시킨 상태에서 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트를 회전 이동 시켜, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트상에 올려 놓여진 더미 기판을 언로드하고,
상기 더미 기판을 언로드하는 단계 이후에도 상기 제3 회전체를 계속 회전시켜, 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트 상에 올려 놓여져 있던 스크라이브된 기판이 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트 상으로 반송되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.9. The method of claim 8,
The belt of the downstream side second conveyor portion is rotated in a clockwise or counterclockwise direction while the belt of the upstream side second conveyor portion is stopped while the belt of the downstream side second conveyor portion is stopped, Scribing the substrate placed on the belt of the second conveyor section,
In the scribing step, unloading the scribed substrate placed on the belt of the downstream second conveyor portion in the stopped state,
The first rotating body and the second rotating body are moved while rotating the third rotating body wound around the belt of the downstream side second conveying unit so that the belt of the upstream side second conveying unit is stopped while the belt of the upstream side second conveying unit is stopped, And the dummy substrate placed on the belt of the downstream side second conveyor portion is unloaded,
The scribed substrate placed on the belt of the upstream side second conveyor portion is conveyed onto the belt of the downstream side second conveyor portion by continuously rotating the third rotary body after the step of unloading the dummy substrate . 제9항에 있어서,
상기 제3 회전체에는 구동 모터가 연결되고, 상기 스크라이브하는 단계에서는 상기 구동 모터의 작동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.10. The method of claim 9,
Wherein a drive motor is connected to the third rotary member, and the operation of the drive motor is stopped in the scribing step. 제10항에 있어서,
상기 더미 기판을 언로드하는 단계에서는 상기 구동 모터를 작동시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.11. The method of claim 10,
And the driving motor is operated in the step of unloading the dummy substrate. 제9항에 있어서
상기 댄서 회전체 유닛에 상기 제1 스토퍼와 상기 제2 스토퍼가 설치되고, 상기 스크라이브 하는 단계에서는 상기 제2 스토퍼를 작동시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.The method of claim 9, wherein
Wherein the first stopper and the second stopper are provided in the dancer revolver unit and the second stopper is operated in the scribing step. 제12항에 있어서,
상기 더미기판을 언로드하는 단계에서는 상기 제1 스토퍼를 작동시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.13. The method of claim 12,
And the step of unloading the dummy substrate activates the first stopper. 제13항에 있어서,
상기 스크라이브된 기판이 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트로 반송되는 단계에서는, 상기 제1 스토퍼 및 제2 스토퍼의 작동을 모두 해제하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.14. The method of claim 13,
And the operation of the first stopper and the second stopper is released in the step of scribing the scribed substrate to the belt of the downstream side second conveyor portion.
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