KR20140084527A - Apparatus and method for transferring substrate - Google Patents

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Abstract

An apparatus for transferring a substrate according to an embodiment of the present invention includes a first chamber and a second chamber including a plurality rollers to transfer the substrate; a gate valve disposed between the first chamber and the second chamber to perform opening and closing operations so that the first and second chambers communicate with each other or communication between the first and second chambers is blocked; and a roller part disposed between the first chamber and the second chamber and including an additional roller to transfer the substrate. When the gate valve is open, the additional roller is provided between a roller of the first chamber and a roller of the second chamber so that the substrate is transferred through the roller and the additional roller. Accordingly, the substrate is regularly and easily transferred between chambers.

Description

기판 이송 장치 및 기판 이송 방법{APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate transfer apparatus,

본 발명은 기판 이송 장치 및 기판 이송 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 유기 발광 다이오드 제조 공정에 있어 챔버간 기판을 이송하는 장치 및 그러한 기판 이송 방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method, and more particularly, to an apparatus for transferring an inter-chamber substrate in an organic light emitting diode manufacturing process and a method of transferring such a substrate.

유기 발광 소자(OLED ; Organic Light Emitted Diode)는 투명전극이 도포된 유리기판 상에 여러 층의 유기박막을 형성한 후, 금속전극을 형성하여 전기를 통하면, 유기 박막에서 발광현상을 가지는 차세대 디스플레이 소자로서, LCD 이후를 대체할 전망이 있다. 특히 유기 박막은 고진공 챔버 내에서, 유기물이 담긴 도가니를 가열하여, 증발되는 유기물 기체가 유리기판에 박막의 형태로서 형성하게 된다.Organic light-emitting diodes (OLEDs) are formed by forming a plurality of organic thin films on a glass substrate coated with a transparent electrode and then forming a metal electrode to generate a next-generation display As a device, there is a possibility to replace LCD after. Particularly, in the organic thin film, the crucible containing the organic substance is heated in the high vacuum chamber, and the evaporated organic gas is formed as a thin film on the glass substrate.

유기 발광 소자는 기판상에 유기막 및 금속막 등 다층의 박막을 적층시켜 제작한다. 이러한 증착을 위한 유기 발광 소자 설비는 다수의 단위 챔버가 연결되는 클러스터 방식이 주로 사용된다. 각각의 증착 챔버들 사이에서 기판이 수평으로 배치한 상태에서 기판 이송, 반송 및 소자 공정이 수행되도록 구성되었다.The organic light emitting device is manufactured by laminating a multilayer thin film such as an organic film and a metal film on a substrate. A cluster system in which a plurality of unit chambers are connected is mainly used for the organic light emitting diode device for such deposition. And the substrate transfer, transport, and device processes are performed in a state where the substrates are horizontally disposed between the respective deposition chambers.

도 1 및 도 2는 종래의 챔버들 사이에서 기판이 이송 및 반송되는 과정을 도시한 도면이다.FIG. 1 and FIG. 2 are views showing a process of transferring and transporting a substrate between conventional chambers.

도 1을 참고하면, 기판의 이송 및 반송을 위한 2 개의 챔버(1, 2)가 제공된다. 각각의 챔버(1, 2) 내부에는 기판(S)의 이송을 위한 롤러(3a)와 반송을 위한 롤러(3b)가 구비된다. 각 챔버(1, 2)는 게이트의 역할을 하는 분리 밸브(4)를 통해 연결된다. 도 1은 기판(S)은 하나의 챔버(1)의 이송 롤러(3a)상에 놓여진 것을 도시하고 이때 분리 밸브(4)는 닫힌 상태이다. 분리 밸브(4)가 열리면, 기판(S)은 이송 롤러(3a)를 통해 분리 밸브(4)를 지나 다른 챔버(2)로 이송된다. 마찬가지로, 다른 챔버(2)의 반송 롤러(3b)상에 놓여진 기판(S)은 분리 밸브(4)를 지나 챔버(1)로 반송된다.Referring to FIG. 1, two chambers 1 and 2 are provided for transporting and transporting a substrate. In each of the chambers 1 and 2, a roller 3a for conveying the substrate S and a roller 3b for conveying are provided. Each of the chambers 1 and 2 is connected via a separation valve 4 serving as a gate. Fig. 1 shows that the substrate S is placed on the conveying roller 3a of one chamber 1, and the separating valve 4 is in a closed state. When the separation valve 4 is opened, the substrate S is conveyed to the other chamber 2 through the separation valve 4 via the conveyance roller 3a. The substrate S placed on the conveying roller 3b of the other chamber 2 is conveyed to the chamber 1 through the separation valve 4. [

도 2는 종래의 챔버들 사이에서 분리 밸브(4)가 열리고 기판(S)이 이송 및 반송되는 과정에서 기판(S)이 분리 밸브(4)를 지나는 순간을 도시한다. 일반적으로 분리 밸브(4)의 두께가 두껍기 때문에 분리 밸브(4)의 두께만큼의 공간은 롤러가 배치되지 못한다. 따라서 기판(S)이 분리 밸브(4)를 지나는 부분(P)에서 롤러를 통한 동력이 기판(S)에 제대로 전달되지 않기 때문에 챔버간 기판의 통과 시간이 달라지거나 이송 및 반송이 제대로 이루어지지 않는 문제가 발생한다.Fig. 2 shows the moment when the substrate S passes through the separation valve 4 in the process of opening the separation valve 4 between the conventional chambers and transporting and conveying the substrate S. Fig. Generally, since the thickness of the separation valve 4 is thick, the roller can not be arranged in the space corresponding to the thickness of the separation valve 4. [ Therefore, since the power of the substrate S passing through the separation valve 4 is not properly transferred to the substrate S through the rollers, the passage time of the inter-chamber substrate is changed, A problem arises.

특히 기판 이송 기구물의 무게가 대면적화에 따라 그 무게가 무거워짐으로써 롤러와 기판의 접촉 수량에 따라 이송 및 반송 성능이 크게 달라지기 때문에 이 경우 분리 밸브의 두께만큼 기판이 롤러와 접촉하지 못한다면 기판의 이송 및 반송의 객관성과 효율은 매우 떨어진다.In particular, since the weight of the substrate conveying mechanism is increased according to the size of the substrate conveying mechanism, the conveying and conveying performance of the substrate greatly changes according to the number of contact between the roller and the substrate. Objectivity and efficiency of transfer and transfer are very poor.

따라서 기판의 일관적이고 효율적인 이송 및 반송을 위해 종래의 분리 밸브의 구조를 바꿀 필요가 있다.
Thus, there is a need to change the structure of a conventional isolation valve for consistent and efficient transport and transport of substrates.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 기존의 개폐를 위해 위아래로 슬라이드 동작하던 분리 밸브를 회전 방식으로 개폐하는 플립 밸브로 변경하여 챔버 사이에 밸브가 차지하는 공간을 최소화하고자 한다.In order to solve the above problems, the present invention aims at minimizing the space occupied by the valve between the chambers by changing the flip valve that opens and closes the separating valve that is slid up and down for opening and closing the flush valve.

또한, 본 발명은 밸브가 열렸을 때 롤러를 구비한 별도의 롤러부를 챔버 사이에 배치시킴으로써 최대한 많은 롤러가 기판과 접촉하여 동력을 전달할 수 있도록 한다.In addition, the present invention places a separate roller portion with a roller between the chambers when the valve is opened, so that as many rollers as possible can contact the substrate to transmit power.

또한, 본 발명은 밸브가 닫혔을 때는 별도의 롤러 챔버가 챔버들에 간섭하지 않고 이격되어 위치하다가 밸브가 열릴 때 챔버들 사이로 롤러 챔버가 이동되도록 함으로써 공간 활용도를 높이고 유지 보수가 간편하도록 한다.
In addition, when the valve is closed, a separate roller chamber does not interfere with the chambers and is spaced apart. When the valve is opened, the roller chamber is moved between the chambers, thereby improving space utilization and maintenance.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판을 이송하도록 복수의 롤러를 포함하는 제1 챔버 및 제2 챔버, 상기 제1 챔버 및 제2 챔버 사이에 배치되어 챔버간 연통이 이루어지도록 하거나 연통을 차단하기 위한 개폐 동작을 하는 게이트 밸브, 그리고 상기 제1 챔버 및 제2 챔버의 사이로 삽입 가능하게 배치되고 기판의 이송을 위한 추가 롤러를 포함하는 롤러부를 포함하고, 상기 게이트 밸브가 열렸을 때 상기 제1 챔버의 롤러와 상기 제2 챔버의 롤러 사이에 상기 롤러부의 추가 롤러가 제공되어 상기 기판이 상기 롤러와 추가 롤러를 통해 이송되도록 한다.A substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention includes a first chamber and a second chamber including a plurality of rollers for transferring a substrate, a chamber disposed between the first chamber and the second chamber, And a roller portion disposed between the first and second chambers so as to be insertable between the first chamber and the second chamber and including an additional roller for transferring the substrate, wherein when the gate valve is opened, Additional rollers of the roller portion between the rollers of the first chamber and the rollers of the second chamber are provided to allow the substrate to be transported through the rollers and the additional rollers.

일 실시예에 따르면, 상기 롤러부는 수직 이동이 가능한 롤러 챔버를 포함하고, 상기 추가 롤러는 상기 롤러 챔버 내에 배치되며, 상기 게이트 밸브가 열렸을 때 상기 롤러 챔버가 상기 제1 챔버와 제2 챔버 사이로 이동한다.According to one embodiment, the roller portion includes a vertically movable roller chamber, the additional roller is disposed in the roller chamber, and when the gate valve is opened, the roller chamber moves between the first chamber and the second chamber do.

이때 상기 게이트 밸브가 닫힌 경우에는 상기 롤러 챔버는 상기 제1 챔버와 제2 챔버 사이를 벗어나는 방향으로 이동할 수 있다.At this time, when the gate valve is closed, the roller chamber may move in a direction deviating from the first chamber and the second chamber.

일 실시예에 따르면, 상기 게이트 밸브는 회전 방식으로 상기 제1 및 제2 챔버를 개폐하는 플립 밸브이다. 상기 게이트 밸브는, 밸브의 열림 상태에서 상기 추가 롤러가 상기 게이트 밸브의 상부에 위치하도록, 회전될 수 있다. 상기 게이트 밸브는 상기 롤러부의 일측면에 배치될 수 있다.According to one embodiment, the gate valve is a flip valve that opens and closes the first and second chambers in a rotating manner. The gate valve may be rotated such that the additional roller is positioned above the gate valve in the valve open state. The gate valve may be disposed on one side of the roller portion.

일 실시예에 따르면, 상기 롤러와 추가 롤러는 기판의 이송을 위한 이송 롤러와 기판의 반송을 위한 반송 롤러로 구성된다. 이때 상기 이송 롤러와 상기 반송 롤러는 복층으로 배치되어 이중 레일을 형성할 수 있다.According to one embodiment, the roller and the additional roller are constituted by a conveying roller for conveying the substrate and a conveying roller for conveying the substrate. At this time, the conveying roller and the conveying roller may be arranged in a multi-layer to form a double rail.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법은 상기 기판을 롤러가 배치된 제1 챔버로부터 게이트 밸브를 지나 롤러가 배치된 제2 챔버로 이송하되 상기 게이트 밸브가 열렸을 때 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버 사이에 추가 롤러가 구비된 롤러 챔버를 배치시켜 상기 기판이 상기 롤러와 추가 롤러를 통해 이송되도록 한다.The substrate transferring method according to an embodiment of the present invention includes transferring the substrate from a first chamber in which rollers are disposed to a second chamber in which rollers are disposed through a gate valve, wherein when the gate valve is opened, A roller chamber with additional rollers between the two chambers is disposed to allow the substrate to be transported through the rollers and the additional rollers.

일 실시예에 따르면, 상기 게이트 밸브는 플립 밸브이고, 상기 게이트 밸브가 닫힌 경우에는 상기 롤러 챔버가 상기 제1 챔버 및 제2 챔버에 이격된 위치로 이동되어 있다가 상기 게이트 밸브가 열렸을 때 상기 롤러 챔버가 상기 제1 챔버 및 제2 챔버의 사이로 수직 이동한다.
According to one embodiment, the gate valve is a flip valve, and when the gate valve is closed, the roller chamber is moved to a position spaced apart from the first chamber and the second chamber, and when the gate valve is opened, The chamber vertically moves between the first chamber and the second chamber.

본 발명에 따르면 밸브가 개방되었을 때, 제1 및 제2 챔버 사이에 비어있는 공간에 추가 롤러를 가진 롤러부가 삽입됨으로써, 제1 챔버의 롤러와 롤러부의 추가 롤러와 제2 챔버의 롤러가 연속적으로 배치되고 그 위로 기판이 이송되는바, 챔버와 챔버 간의 기판의 이송이 규칙적이고 일관되며 월활하게 진행된다.According to the present invention, when a valve is opened, a roller portion having an additional roller in an empty space between the first and second chambers is inserted so that the additional roller of the first chamber and the roller of the roller portion and the roller of the second chamber continuously And the substrate is transported over the substrate, the transfer of the substrate between the chamber and the chamber is regular, consistent and whirling.

또한, 본 발명에 따르면, 종래의 상하 이동 방식의 밸브 구조를 회전 방식의 플립 밸브로 변경함으로써, 기판의 이송 시 플립 밸브가 회전하여 챔버와 떨어져 배치됨으로써 밸브가 챔버와 챔버 사이를 간섭하지 않도록 할 수 있다. 게다가 플립 밸브를 사용하면 챔버의 높이만큼의 공간을 모두 기판의 이송 또는 반송에 사용할 수 있어 인라인(inline) 방식의 이중 레일 구성의 제한이 극히 줄어든다.Further, according to the present invention, by changing the conventional vertical movement type valve structure to a rotary type flip valve, the flip valve rotates and is disposed apart from the chamber during transfer of the substrate, thereby preventing the valve from interfering between the chamber and the chamber . Furthermore, the use of a flip valve allows the space of the chamber height to be used for transporting or transporting the substrate, which greatly reduces the limitations of the in-line dual rail configuration.

또한, 본 발명에 따르면, 추가 롤러가 배치된 롤러 챔버가 수직으로 슬라이드 이동할 수 있고, 밸브가 닫혀있을 때는 롤러 챔버가 제1 및 제2 챔버와 이격되게 이동하여 배치되는바, 공간 활용 및 유지 보수가 용이하다.
In addition, according to the present invention, the roller chamber in which the additional roller is disposed can slide vertically, and when the valve is closed, the roller chamber is moved to be spaced apart from the first and second chambers, .

도 1 및 도 2는 종래의 챔버들 사이에서 기판이 이송 및 반송되는 과정을 도시한 도면이고,
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 챔버들 사이에서 기판이 이송 및 반송되는 과정을 도시한 도면이다.FIG. 1 and FIG. 2 are views showing a process of transferring and transporting a substrate between conventional chambers,
FIGS. 3 and 4 are views illustrating a process of transferring and transferring a substrate between chambers according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 이는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이지, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings, which are intended to illustrate the present invention in a manner that allows a person skilled in the art to easily carry out the invention. But does not mean that the technical idea and scope of the present invention are limited.

본 발명에 따른 기판 이송 장치 및 기판 이송 방법은 OLED 설비 중 증착 공정이 이루어지는 증착 챔버 간에 기판을 이송하는 장치 및 기판을 이송하는 방법인 것으로 예시한다. 하지만, 본 발명은 OLED 설비에만 사용되는 것으로 한정되는 것은 아니며 그 이외에 기판의 이송이나 반송이 필요한 다양한 산업 설비에 본 발명에 따른 기판 이송 장치 및 기판 이송 방법이 적용될 수 있다.The substrate transferring apparatus and the substrate transferring method according to the present invention are exemplified as a method of transferring the substrate between the deposition chambers in the OLED equipment in which the deposition process is performed and the substrate transferring method. However, the present invention is not limited to the OLED equipment. In addition, the substrate transferring apparatus and the substrate transferring method according to the present invention can be applied to various industrial equipment requiring transfer or transfer of a substrate.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 제1 챔버(110), 제2 챔버(120), 게이트 밸브(130), 그리고 롤러부(140)를 포함한다.The substrate transfer apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a first chamber 110, a second chamber 120, a gate valve 130, and a roller 140.

제1 챔버(110)와 제2 챔버(120)는 그 내부에 기판(S)이 이송되거나 반송되는 공간을 제공하는 챔버이다. 챔버는 필요에 따라 복수개로 구비될 수 있고 각각의 챔버 내부에서는 기판(S)을 처리하는 다양한 공정이 수행될 수 있다. 예컨대, 기판에 유기물 등의 증착물질을 증착하는 공정이 이루어질 수 있고, 기판을 가열하는 공정이 이루어질 수 있으며, 기판의 표면에 박막을 증착시키는 공정이 수행될 수 있는 등 OLED 를 제조하는데 있어 필요한 다양한 공정이 수행될 수 있다. 상술한 공정이 수행되면서 기판(S)은 챔버와 챔버 사이를 이동한다. 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120)는 복수의 챔버 중 바로 옆에 마주보고 위치한 두 챔버인 것으로 예시한다. 따라서 기판(S)은 제1 챔버(110)에서 제2 챔버(120)로 이송되거나, 제2 챔버(120)에서 제1 챔버(110)로 반송된다.The first chamber 110 and the second chamber 120 are chambers providing a space in which the substrate S is transferred or transported. A plurality of chambers may be provided as needed, and various processes for processing the substrate S may be performed in each of the chambers. For example, a process of depositing a deposition material such as an organic material may be performed on a substrate, a process of heating the substrate may be performed, and a process of depositing a thin film on the surface of the substrate may be performed. The process can be carried out. As the above-described process is performed, the substrate S moves between the chamber and the chamber. The first chamber 110 and the second chamber 120 are illustrated as being two chambers facing each other immediately adjacent to the plurality of chambers. The substrate S is transferred from the first chamber 110 to the second chamber 120 or from the second chamber 120 to the first chamber 110.

제1 챔버(110)는 그 내부에 기판(S)의 이송을 위한 롤러를 포함한다. 롤러는 기판(S)의 이송을 위한 이송 롤러(111)와 기판(S)의 반송을 위한 반송 롤러(112)로 구성된다. 마찬가지로, 제2 챔버(120) 역시 그 내부에 기판(S)의 이송을 위한 이송 롤러(121)와 기판의 반송을 위한 반송 롤러(122)를 포함한다.The first chamber 110 includes a roller for conveying the substrate S therein. The roller is composed of a conveying roller 111 for conveying the substrate S and a conveying roller 112 for conveying the substrate S. Similarly, the second chamber 120 also includes a conveying roller 121 for conveying the substrate S and a conveying roller 122 for conveying the substrate.

기판의 이송 롤러(111, 121)와 반송 롤러(112, 122)는 서로 같은 높이 상에서 병렬적으로 배치될 수 있고, 서로 다른 높이로 평행하게 배치될 수 있다. 본 실시예에서는 이송 롤러(111, 121)와 반송 롤러(112, 122)가 복층으로 평행하게 배치되어 이중 레일의 구조를 갖는 것으로 예시한다. 이러한 이중 레일 구조를 통해 하나의 챔버 공간 내에서 기판의 이송과 반송이 동시 다발적으로 이루어질 수 있어 챔버의 내부 공간 활용도를 높일 수 있다. 다른 실시예에 따르면, 챔버의 높이를 고려하여 필요에 따라 챔버 내부에 삼중, 사중 이상의 레일 구조를 형성할 수도 있다.The conveying rollers 111 and 121 and the conveying rollers 112 and 122 of the substrate may be arranged in parallel on the same height and in parallel with each other. In this embodiment, it is exemplified that the conveying rollers 111 and 121 and the conveying rollers 112 and 122 are arranged in parallel with each other and have a dual rail structure. Through the dual rail structure, the substrate can be transferred and conveyed simultaneously in one chamber space, and the utilization of the internal space of the chamber can be enhanced. According to another embodiment, a triple, quadruple, or more rail structure may be formed in the chamber in consideration of the height of the chamber, if necessary.

게이트 밸브(130)는 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120) 사이에 배치되어 개폐 동작을 한다. 게이트 밸브(130)가 열린 경우에만 기판(S)은 챔버들 간에 이송되거나 반송될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 게이트 밸브(130)는 제1 챔버(110) 또는 제2 챔버(120)에 연결되어 하나의 챔버로부터 반출되는 기판(S)을 다른 챔버로 반입시키는 통로의 역할을 한다. 다른 실시예에 따르면, 게이트 밸브(130)는 제1 챔버(110) 또는 제2 챔버(120)로부터 이격되어 후술할 롤러부(140)의 일측면에 배치될 수 있다. 게이트 밸브(130)는 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120)를 연통시킬 수 있는 다양한 장소에 배치되도록 설계될 수 있다.The gate valve 130 is disposed between the first chamber 110 and the second chamber 120 to perform opening and closing operations. The substrate S can be transported or transported between the chambers only when the gate valve 130 is opened. According to one embodiment, the gate valve 130 is connected to the first chamber 110 or the second chamber 120 to serve as a passage for bringing the substrate S carried out from one chamber into another chamber. According to another embodiment, the gate valve 130 may be disposed on one side of the roller unit 140, which will be described later, away from the first chamber 110 or the second chamber 120. The gate valve 130 may be designed to be disposed at various places where the first chamber 110 and the second chamber 120 can communicate with each other.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 게이트 밸브(130)는 플립 밸브(flip valve)이다. 따라서 게이트 밸브(130)는 상 하 움직임을 통해 개폐 동작을 하는 것이 아니라 밸브 몸체(131)가 회전축(132)을 중심으로 회전하는 방식으로 개폐 동작을 한다. 이러한 구성을 통해, 게이트 밸브(130)가 닫힌 상태에서는 게이트 밸브(130)의 밸브 몸체(131)가 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120)사이에 위치하여 두 챔버간의 연통을 막는 반면에, 게이트 밸브(130)가 열린 상태에서는 밸브 몸체(131)가 회전축(132)을 중심으로 회전하면서 챔버의 하방으로 이동하고 그로 인해 밸브의 개방이 이루어지는바 밸브 몸체(131)가 더이상 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120) 사이의 공간을 차지하지 않는다. 따라서 밸브의 개폐 여부와 무관하게 챔버와 챔버 사이 공간을 밸브가 차지하는 종래의 기판 이송 장치와는 다르게 본 발명의 기판 이송 장치에 따르면 밸브의 개방 시 챔버들 사이에 빈 공간이 확보된다. 다시 말해, 게이트 밸브(130)가 개방되면서 기판(S)의 이송을 위한 추가 롤러를 제공할 수 있는 공간을 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120) 사이에 마련할 수 있다.According to a preferred embodiment of the present invention, the gate valve 130 is a flip valve. Therefore, the gate valve 130 does not perform the opening / closing operation through the upward / downward movement, but performs the opening / closing operation in such a manner that the valve body 131 rotates around the rotation axis 132. With this configuration, when the gate valve 130 is closed, the valve body 131 of the gate valve 130 is positioned between the first chamber 110 and the second chamber 120 to prevent the communication between the two chambers When the gate valve 130 is opened, the valve body 131 rotates about the rotation axis 132 and moves downward of the chamber, thereby opening the valve. And does not occupy a space between the first chamber 110 and the second chamber 120. Therefore, unlike the conventional substrate transfer apparatus in which the valve occupies a space between the chamber and the chamber regardless of whether the valve is opened or closed, according to the substrate transfer apparatus of the present invention, an empty space is secured between the chambers when the valve is opened. In other words, a space may be provided between the first chamber 110 and the second chamber 120 to provide an additional roller for transporting the substrate S while the gate valve 130 is opened.

롤러부(140)는 내부에 기판의 이송 및 반송을 위한 추가 롤러를 포함한다. 롤러부(140)는 게이트 밸브(130)가 개방되었을 때 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120) 사이에 추가 롤러를 제공한다. 앞서 설명한 바와 같이, 게이트 밸브(130)가 회전하면서 열리면, 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120) 사이에는 일정 공간이 형성된다. 따라서, 제1 챔버(110)에 구비된 롤러와 제2 챔버(120)에 구비된 롤러 사이에는 상기 공간만큼의 끊긴 부분이 생긴다. 롤러부(140)는 이러한 끊긴 부분에 추가 롤러를 제공함으로써, 기판(S)이 제1 챔버(110)의 롤러를 지나 롤러부(140)의 추가 롤러를 거쳐 제2 챔버(120)의 롤러를 통해 연속적으로 이송될 수 있도록 한다.The roller portion 140 includes an additional roller for conveying and conveying the substrate therein. The roller portion 140 provides additional rollers between the first chamber 110 and the second chamber 120 when the gate valve 130 is open. As described above, when the gate valve 130 rotates and opens, a certain space is formed between the first chamber 110 and the second chamber 120. Therefore, the broken portion of the space is formed between the roller provided in the first chamber 110 and the roller provided in the second chamber 120. [ The roller portion 140 provides an additional roller to this broken portion so that the substrate S passes through the rollers of the first chamber 110 and the rollers of the second chamber 120 via the additional rollers of the roller portion 140 So that they can be transported continuously.

일 실시예에 따르면, 롤러부(140)는 수직 이동 가능한 롤러 챔버(141)를 포함한다. 추가 롤러는 상기 롤러 챔버(141) 내에 배치될 수 있고, 추가 롤러는 기판(S)의 이송을 위한 이송 추가 롤러(142)와 기판의 반송을 위한 반송 추가 롤러(143)로 구성된다. 본 실시예에서는, 롤러 챔버(141)의 이송 추가 롤러(142)와 반송 추가 롤러(143)의 배치가 제1 및 제2 챔버(110, 120)의 이송 및 반송 롤러의 배치에 대응하도록 이송 추가 롤러(142)와 반송 추가 롤러(143) 역시 복층으로 이중 레일을 구성하는 것으로 예시한다. 따라서, 게이트 밸브(130)가 개방되면, 롤러 챔버(141)가 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120) 사이로 이동하고, 롤러 챔버(141)의 이동이 완료되면 제1 챔버의 이송 롤러(111), 이송 추가 롤러(142), 제2 챔버의 이송 롤러(121)는 하나의 롤러 세트를 이루고, 제1 챔버의 반송 롤러(112), 반송 추가 롤러(143), 그리고 제2 챔버의 반송 롤러(122)는 다른 하나의 롤러 세트를 이룬다. 기판(S)은 상기 롤러 세트를 통해 이송되거나 반송된다.According to one embodiment, the roller portion 140 includes a vertically moveable roller chamber 141. Additional rollers may be disposed in the roller chamber 141 and the additional rollers may comprise a feed addition roller 142 for feeding the substrate S and a feed addition roller 143 for feeding the substrate. In the present embodiment, the feed addition roller 142 and the feed addition roller 143 of the roller chamber 141 are controlled so as to correspond to the feed of the first and second chambers 110 and 120 and the feed roller, The roller 142 and the conveying addition roller 143 are also exemplified by a dual rail construction. When the gate valve 130 is opened, the roller chamber 141 moves between the first chamber 110 and the second chamber 120. When the movement of the roller chamber 141 is completed, The feed roller 121 of the first chamber and the feed roller 121 of the second chamber constitute one set of rollers, and the feed roller 112 of the first chamber, the feed addition roller 143, The conveying roller 122 forms another roller set. The substrate S is conveyed or conveyed through the roller set.

게이트 밸브(130)가 닫히는 경우에는, 롤러 챔버(131)가 다시 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120)로부터 멀어지는 방향으로 이동하고, 롤러 챔버(131)의 이동 후 게이트 밸브(130)의 밸브 몸체(131)가 회전축(132)을 중심으로 회전하여 제1 챔버(110) 또는 제2 챔버(120)를 폐쇄한다.When the gate valve 130 is closed, the roller chamber 131 moves again in the direction away from the first chamber 110 and the second chamber 120, and after the movement of the roller chamber 131, The valve body 131 of the first chamber 110 rotates about the rotation axis 132 to close the first chamber 110 or the second chamber 120.

이하 도 3 및 도 4를 참고하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 통해 기판을 이송하는 방법을 설명한다. 도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 챔버들 사이에서 기판이 이송 및 반송되는 과정을 도시한 도면이다.3 and 4, a method of transferring a substrate through a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention will be described. FIGS. 3 and 4 are views illustrating a process of transferring and transferring a substrate between chambers according to an embodiment of the present invention.

구체적으로, 도 3은 게이트 밸브(130)가 닫혀있는 상태를 도시한다. 게이트 밸브(130)는 제2 챔버(120)쪽 일측에 배치되어 있고, 게이트 밸브의 밸브 몸체(131)는 제2 챔버(120)를 폐쇄하고 있다. 롤러부(140)의 롤러 챔버(141)는 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120)의 상부에 위치한 상태이다. 이 경우 기판(S)의 이송이나 반송은 이루어지지 않는다. 기판(S)의 이송 또는 반송이 요구되는 경우 게이트 밸브(130)는 밸브 몸체(131)가 회전축(132)을 중심으로 회전함으로써 개방된다.Specifically, Fig. 3 shows a state in which the gate valve 130 is closed. The gate valve 130 is disposed at one side of the second chamber 120 and the valve body 131 of the gate valve closes the second chamber 120. The roller chamber 141 of the roller 140 is positioned above the first chamber 110 and the second chamber 120. In this case, the substrate S is not transported or transported. When the substrate S is required to be transferred or transported, the gate valve 130 is opened by rotating the valve body 131 about the rotation axis 132.

도 4는 게이트 밸브(130)가 개방된 상태를 도시한다. 게이트 밸브(130)가 개방되면, 밸브 몸체(131)는 더 이상 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120) 사이에 있지 않고 챔버의 하부에 배치된다. 그리고 밸브의 개방이 완료되면 롤러 챔버 구동부(144)를 통해 롤러 챔버(141)가 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120) 사이로 이동하여 삽입된다. 롤러 챔버(141)의 이동이 완료되면, 밸브 몸체(131)는 롤러 챔버(141) 아래에 위치하게 된다. 따라서 밸브 몸체(131)는 기판의 이송이나 반송에 전혀 영향을 미치지 않는다.4 shows a state in which the gate valve 130 is opened. When the gate valve 130 is opened, the valve body 131 is no longer disposed between the first chamber 110 and the second chamber 120 and is disposed at the bottom of the chamber. When the opening of the valve is completed, the roller chamber 141 is moved and inserted between the first chamber 110 and the second chamber 120 through the roller chamber driving unit 144. When the movement of the roller chamber 141 is completed, the valve body 131 is positioned under the roller chamber 141. Therefore, the valve body 131 has no influence on the conveyance or conveyance of the substrate.

롤러 챔버(141)의 이동이 완료되면, 제1 챔버의 이송 롤러(111), 롤러 챔버의 이송 추가 롤러(142), 제2 챔버의 이송 롤러(121)는 하나의 이송 롤러 세트를 이룬다. 이들 롤러들은 등간격으로 배치되도록 하는 것이 바람직하다. 마찬가지로 제1 챔버의 반송 롤러(112), 롤러 챔버의 반송 추가 롤러(143), 그리고 제2 챔버의 반송 롤러(122)는 반송 롤러 세트를 이룬다. 이들 롤러들 역시 등간격으로 배치되는 것이 바람직하다.When the movement of the roller chamber 141 is completed, the conveying roller 111 of the first chamber, the conveying addition roller 142 of the roller chamber, and the conveying roller 121 of the second chamber form one conveying roller set. These rollers are desirably arranged at regular intervals. Similarly, the conveying roller 112 of the first chamber, the conveying addition roller 143 of the roller chamber, and the conveying roller 122 of the second chamber form a conveying roller set. These rollers are also preferably arranged at regular intervals.

기판(S)은 제1 챔버의 이송 롤러(111)를 통해 이송면서 제1 챔버(110)로부터 반출되고, 반출되는 동시에 추가 챔버의 추가 이송 롤러(142)를 통해 이송이 계속되면서 제2 챔버(120)로 반입되며, 반입되는 동시에 제2 챔버(120)의 이송 롤러(121)를 통해 이송이 계속된다. 기판(S)의 반송 과정 역시 마찬가지 원리로 제2 챔버(120)로부터 제1 챔버(110)로 이루어진다. 본 발명에 따른 이러한 기판 이송 방법으로 인해 챔버와 챔버를 지나는 순간에도 추가 롤러를 통해 일정하게 동력을 전달받음으로써 챔버간 기판 통과 시간이 균일해지고 기판의 이송이 보다 일관되고 원활하게 이루어진다.The substrate S is taken out of the first chamber 110 while being conveyed through the conveying roller 111 of the first chamber and is conveyed through the additional conveying roller 142 of the additional chamber while being taken out, 120, and the transfer is continued through the transfer roller 121 of the second chamber 120 while being carried. The substrate S transporting process also includes the second chamber 120 and the first chamber 110 on the same principle. By this method of conveying the substrate according to the present invention, the power is constantly transmitted through the additional roller even at the time of passing the chamber and the chamber, so that the passage time between the chambers becomes uniform and the conveyance of the substrate becomes more consistent and smooth.

한편, 기판(S)의 이송 또는 반송이 완료된 경우, 롤러 챔버(141)는 다시 제1 챔버(110) 및 제2 챔버(120)로부터 멀어지는 방향으로 이동하고, 게이트 밸브(130)는 다시 폐쇄된다. 기판의 이송 또는 반송이 없는 경우에는 롤러 챔버(141)가 제1 챔버(110) 및 제2 챔버(120)와 분리되어 있으므로 챔버들의 유지 및 보수가 용이해진다.On the other hand, when the transfer or conveyance of the substrate S is completed, the roller chamber 141 moves again in the direction away from the first chamber 110 and the second chamber 120, and the gate valve 130 is closed again . When the substrate is not conveyed or conveyed, the roller chamber 141 is separated from the first chamber 110 and the second chamber 120, thereby facilitating the maintenance and maintenance of the chambers.

이상, 바람직한 실시예로서 본 발명에 따른 기판 이송 장치 및 기판 이송 방법을 설명하였으나, 본 발명은 상술한 실시예에 제한되지 않는다. 청구범위는 본 발명의 기본 사상에 속하는 다양한 수정, 변경, 유사한 구조를 포함하도록 해석되어야 할 것이다.
While the substrate transferring apparatus and the substrate transferring method according to the present invention have been described above as a preferred embodiment, the present invention is not limited to the above-described embodiments. The claims should be construed to cover various modifications, alterations, and similar structures that fall within the basic spirit of the invention.

100: 기판 이송 장치 110: 제1 챔버
120: 제2 챔버 130: 게이트 밸브
140: 롤러부100: substrate transfer device 110: first chamber
120: second chamber 130: gate valve
140: roller portion

Claims (10)

기판을 이송하도록 복수의 롤러를 포함하는 제1 챔버 및 제2 챔버;
상기 제1 챔버 및 제2 챔버 사이에 배치되어 개폐 동작을 하는 게이트 밸브; 및
상기 제1 챔버 및 제2 챔버의 사이로 삽입 가능하게 배치되고 기판의 이송을 위한 추가 롤러를 포함하는 롤러부;
를 포함하고, 상기 게이트 밸브가 열렸을 때 상기 제1 챔버의 롤러와 상기 제2 챔버의 롤러 사이에 상기 롤러부의 추가 롤러가 제공되어 상기 기판이 상기 롤러와 추가 롤러를 통해 이송되는 기판 이송 장치.
A first chamber and a second chamber including a plurality of rollers for transporting a substrate;
A gate valve disposed between the first chamber and the second chamber to perform opening and closing operations; And
A roller portion disposed to be insertable between the first chamber and the second chamber and including an additional roller for conveying the substrate;
Wherein an additional roller of the roller portion is provided between the roller of the first chamber and the roller of the second chamber when the gate valve is opened so that the substrate is transported through the roller and the additional roller.
제1항에 있어서,
상기 롤러부는 수직 이동이 가능한 롤러 챔버를 포함하고, 상기 추가 롤러는 상기 롤러 챔버 내에 배치되며, 상기 게이트 밸브가 열렸을 때 상기 롤러 챔버가 상기 제1 챔버와 제2 챔버 사이로 이동하는 기판 이송 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the roller portion includes a vertically movable roller chamber and wherein the additional roller is disposed within the roller chamber and the roller chamber moves between the first chamber and the second chamber when the gate valve is open.
제2항에 있어서,
상기 게이트 밸브가 닫혔을 때 상기 롤러 챔버는 상기 제1 챔버와 제2 챔버 사이를 벗어나는 방향으로 이동하는 기판 이송 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein when the gate valve is closed, the roller chamber is moved in a direction to leave between the first chamber and the second chamber.
제1항에 있어서,
상기 게이트 밸브는 회전 방식으로 상기 제1 및 제2 챔버를 개폐하는 플립 밸브인 기판 이송 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the gate valve is a flip valve that opens and closes the first and second chambers in a rotating manner.
제4항에 있어서,
상기 게이트 밸브는, 밸브의 열림 상태에서 상기 추가 롤러가 상기 게이트 밸브의 상부에 위치하도록, 회전되는 것인 기판 이송 장치.
5. The method of claim 4,
Wherein the gate valve is rotated so that the additional roller is located at the top of the gate valve in an open state of the valve.
제4항에 있어서,
상기 게이트 밸브는 상기 롤러부의 일측면에 배치되는 기판 이송 장치.
5. The method of claim 4,
And the gate valve is disposed on one side of the roller portion.
제1항에 있어서,
상기 롤러와 추가 롤러는 기판의 이송을 위한 이송 롤러와 기판의 반송을 위한 반송 롤러로 구성되는 기판 이송 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the roller and the additional roller are constituted by a conveying roller for conveying the substrate and a conveying roller for conveying the substrate.
제7항에 있어서,
상기 이송 롤러와 상기 반송 롤러는 복층으로 배치되어 이중 레일을 형성하는 기판 이송 장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the conveying roller and the conveying roller are arranged in a double layer to form a double rail.
기판을 이송하는 방법에 있어서, 상기 기판을 롤러가 배치된 제1 챔버로부터 게이트 밸브를 지나 롤러가 배치된 제2 챔버로 이송하되 상기 게이트 밸브가 열렸을 때 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버 사이에 추가 롤러가 구비된 롤러 챔버를 배치시켜 상기 기판이 상기 롤러와 추가 롤러를 통해 이송되도록 하는 기판 이송 방법.
A method for transferring a substrate, the method comprising: transferring the substrate from a first chamber in which rollers are disposed, through a gate valve, to a second chamber in which rollers are disposed, the first chamber being located between the first chamber and the second chamber Wherein a roller chamber with additional rollers is disposed to allow the substrate to be transported through the rollers and the additional rollers.
제9항에 있어서, 상기 게이트 밸브는 플립 밸브이고, 상기 게이트 밸브가 닫힌 경우에는 상기 롤러 챔버가 상기 제1 챔버 및 제2 챔버에 이격된 위치로 이동되어 있다가 상기 게이트 밸브가 열렸을 때 상기 롤러 챔버가 상기 제1 챔버 및 제2 챔버의 사이로 이동하는 기판 이송 방법.10. The apparatus as claimed in claim 9, wherein the gate valve is a flip valve, and when the gate valve is closed, the roller chamber is moved to a position spaced apart from the first chamber and the second chamber, Wherein the chamber moves between the first chamber and the second chamber.
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