KR20140084397A - 인라인 증착장비의 게이트 밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 인라인 증착장비의 게이트 밸브에 관한 것이다.
본 발명에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브는, 챔버(10)와 다른 챔버(20)사이에 배치되어 증착공정을 수행할 때에 폐쇄상태를 유지하고, 셔틀(50)이 이동될 때에 개방되는 게이트 밸브(30)에 있어서, 스테이터 홀(34)이 형성된 게이트 스테이터(32); 상기 게이트 스테이터(32)에 이동가능하게 설치되고 슬라이더 홀(37)이 형성되어, 상기 스테이터 홀(34)과 상기 슬라이더 홀(37)이 일치될 때에 개방되고, 상기 스테이터 홀(34)과 상기 슬라이더 홀(37)이 어긋날 때에 폐쇄되는 게이트 슬라이더(36); 및 상기 스테이 홀(34)의 인사이트(34a, 34b)에 배치되고, 상기 셔틀(50)을 검출하면 상기 게이트 슬라이더(36)가 개방 되도록 하고, 상기 셔틀(50)이 검출되지 않을 때에 상기 게이트 슬라이더(36)가 폐쇄 되도록 하는 스위치 유닛(100);을 포함한다.

Description

인라인 증착장비의 게이트 밸브{gate valve of In-line Deposition system}
본 발명은 인라인 증착장비의 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 챔버 간에 셔틀의 진출입 될 때에 셔틀과 게이트 밸브의 충돌을 방지하도록 하는 인라인 증착장비의 게이트 밸브에 관한 것이다.
유기발광 다이오드(OLED)와 태양전지(Solar Cell) 등의 제조에 증착 장비가 사용된다. 증착장비는 연속 혹은 불연속 기판이 선형 형태의 각 공정 모듈을 지나면서 공정을 수행하는 인라인 증착장비가 알려져 있다.
인라인 증착장비는 여러 단계의 증착공정을 수행하도록 공정별로 챔버가 구비되고, 각각의 챔버와 다른 챔버의 사이에는 게이트 밸브로 연결되며, 각각 챔버에는 셔틀과 글라스 홀더가 순환을 반복한다.
종래의 챔버와 게이트 밸브는 첨부도면 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.
첨부도면 도 1은 챔버 간에 설치된 게이트 밸브가 닫힌 상태를 보인 예시도면이다. 첨부도면 도 2는 챔버 간에 설치된 게이트 밸브가 열린 상태를 보인 예시도면이다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 증착장비는 복수의 챔버(10, 20)가 구비되고, 챔버(10, 20)간에는 게이트 밸브(30)가 구비된다.
챔버(10, 20)는 양쪽에 각각 제1 출입구(11, 21)와 제2 출입구(12, 22)가 형성된다. 제1, 제2 출입구(11, 21, 12, 22)는 셔틀(50)의 진출입 통로가 된다.
또한, 챔버(10, 20)의 내측면에는 제1 무빙 유닛(13, 23)과 제2 무빙 유닛(14, 24)가 구비된다. 제1, 제2 무빙 유닛(13, 23, 14, 24)는 셔틀(50)을 이동시킨다. 제1, 제2 무빙 유닛(13, 23, 14, 24)은 복수의 휠이 일렬로 배치되고, 휠의 샤프트는 모터의 동력을 전달받아 한쪽방향으로 회전운동하면서 셔틀(50)을 이동시키는 것이다.
한편, 챔버(10, 20)의 내부에는 증착물질(15, 25)이 배치된다.
게이트 밸브(30)는 어느 한쪽 챔버(10)와 다른 한쪽의 챔버(20)사이에 배치되는 것으로, 증착 공정이 수행되는 동안에는 폐쇄된 상태가 유지되고 해당 증착공정이 완료되면 개방되어 셔틀(50)이 이동될 수 있게 한다.
게이트 밸브(30)의 구성을 살펴보면, 게이트 스테이터(32)에서 게이트 슬라이더(36)가 활주되는 구성이다. 게이트 스테이터(32)에는 스테이터 홀(34)이 형성되고 게이트 슬라이더(36)에는 슬라이더 홀(37)이 형성된다.
즉, 게이트 밸브(30)는 스테이터 홀(34)과 슬라이더 홀(37)이 어긋난 위치일 때에 폐쇄되는 것이고, 스테이터 홀(34)과 슬라이더 홀(37)이 일치된 위치일 때에 개방되는 것이다.
한편, 게이트 밸브(30)는 게이트 슬라이더(36)를 액추에이터에 의해 구동된다. 이때 액추에이터는 상술한 모터와 연동되어 작동되는 것으로 모터가 구동되면 게이트 액추에이터가 작동하여 게이트 밸브(30)를 개방하는 것이다.
셔틀(50)은 홀더(51)가 구비되고, 홀더(51)에는 글라스 플레이트(52)가 장착된다. 홀더(51)는 글라스 플레이트(52)를 붙잡는 작용을 하고, 글라스 플레이트(52)는 증착물질이 증착되는 것이다.
상술한 바와 같이 구성되는 종래의 증착장비와 게이트 밸브는 다음과 같은 문제점이 지적된다.
계산되어 설정된 시점에 셔틀(50)이 게이트 밸브(30)에 도달하여야 하고, 게이트 밸브(30)가 개폐되어야 한다.
그러나 셔틀(50)은 제1, 제2 무빙 유닛(13, 23, 14, 24)에 구비된 휠에 얹힌 상태에서 휠이 구름 작동을 구현함으로써 셔틀(50)과 휠 사이에는 슬립(slip)현상 발생한다. 즉, 설정된 시점에 셔틀(50)이 지연되어 도착하는 경우가 있다.
또한, 모터와 액추에이터는 동기화되어 동시에 작동하는 것이지만, 실제로는 게이트 슬라이더(36)가 완전하게 이동될 때까지는 물리적인 시간이 소요되므로 게이트 밸브(30)가 완전하게 개방되지 않은 상태에서 셔틀(50)이 먼저 도착하는 경우가 있다.
상술한 바와 같이, 슬립현상 또는 게이트 밸브(30)의 지연 개방에 따라 셔틀(50)이 게이트 밸브(30)와 부딪히거나 게이트 밸브(30)에 끼이는 문제점이 있다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 셔틀이 도달하거나 완전히 빠져나간 상태를 파악할 수 있도록 하여 게이트 밸브의 개폐시기를 셔틀의 이동과 연동하여 제어할 수 있도록 하는 인라인 증착장비의 게이트 밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브는, 챔버(10)와 다른 챔버(20)사이에 배치되어 증착공정을 수행할 때에 폐쇄상태를 유지하고, 셔틀(50)이 이동될 때에 개방되는 게이트 밸브(30)에 있어서, 스테이터 홀(34)이 형성된 게이트 스테이터(32); 상기 게이트 스테이터(32)에 이동가능하게 설치되고 슬라이더 홀(37)이 형성되어, 상기 스테이터 홀(34)과 상기 슬라이더 홀(37)이 일치될 때에 개방되고, 상기 스테이터 홀(34)과 상기 슬라이더 홀(37)이 어긋날 때에 폐쇄되는 게이트 슬라이더(36); 및 상기 스테이 홀(34)의 인사이트(34a, 34b)에 배치되고, 상기 셔틀(50)을 검출하면 상기 게이트 슬라이더(36)가 개방 되도록 하고, 상기 셔틀(50)이 검출되지 않을 때에 상기 게이트 슬라이더(36)가 폐쇄 되도록 하는 스위치 유닛(100);을 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브의 상기 스위치 유닛(100)은, 상기 게이트 슬라이더(36)를 기준으로 상기 셔틀(50)이 접근하는 쪽에 설치되는 것일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브의 상기 스위치 유닛(100)은, 상기 게이트 슬라이더(36)를 기준으로 게이트 슬라이더(36)의 양쪽에 설치되는 것일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브의 상기 스위치 유닛(100)은, 상기 셔틀(50)이 순방향으로 진행하는 제1 경로 상에 배치되어 상기 셔틀(50)을 검출하는 제1 스위치 유닛(100a);과 상기 셔틀(50)이 역방향으로 진행하는 제2 경로 상에 배치되어 상기 셔틀(50)을 검출하는 제2 스위치 유닛(100a);을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브는, 상기 제1, 제2 스위치 유닛(100a, 100b)은, 셔틀(50)과 직접 닿지 않은 상태에서 셔틀(50)의 존재 유무를 식별하도록 하는 비접촉식 스위치일 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브는 셔틀을 검출할 수 있도록 하는 스위치 유닛을 구비하고, 스위치 유닛과 게이트 밸브의 작동을 연동되도록 함으로써, 셔틀이 게이트 밸브에 도달하면 게이트 밸브를 개방 작동시키고, 셔틀이 게이트 밸브를 통과한 후에 게이트 밸브를 폐쇄 작동시키도록 하여 셔틀이 게이트 밸브와 부딪히거나 게이트 밸브에 끼이는 현상을 방지할 수 있다.
도 1은 챔버 간에 설치된 게이트 밸브가 닫힌 상태를 보인 예시도면이다.
도 2는 챔버 간에 설치된 게이트 밸브가 열린 상태를 보인 예시도면이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브를 설명하기 위한 예시도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브에서 게이트 밸브가 닫힌 상태를 보인 예시도면이다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브에서 게이트 밸브가 열린 상태를 보인 예시도면이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명한다. 이하에서 설명되는 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위하여 예시적으로 나타낸 것이며, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예와 다르게 다양하게 변형되어 실시될 수 있음이 이해되어야 할 것이다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능 혹은 구성요소에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명 및 구체적인 도시를 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 발명의 이해를 돕기 위하여 실제 축척대로 도시된 것이 아니라 일부 구성요소의 크기가 과장되게 도시될 수 있다.
한편, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 설정된 용어들로서 이는 생산자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있으므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭하며, 종래의 기술과 동일한 구성요소에 대하여 동일한 부호를 부여하고 중복된 설명은 생략한다.
이하, 도 3 내지 도 6를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브에 대해서 설명한다.
첨부도면 도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브를 설명하기 위한 예시도면이다. 첨부도면 도 5 및 도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브에서 게이트 밸브가 닫힌 상태 및 열린 상태를 보인 예시도면이다.
본 발명의 일실시예에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브(30)는 게이트 스테이터(32)에 형성된 스테이터 홀(34)에 스위치 유닛(100)을 구비한 것이다. 스위치 유닛(100)은 상술한 게이트 밸브(30)의 구동과 연동된다.
스위치 유닛(100)은 셔틀(50)과 직접 닿지 않은 상태에서 셔틀(50)의 존재 유무를 식별하도록 하는 비접촉식 스위치일 수 있다. 좀 더 상세하게는 비접촉식 스위치는 발광부와 수광부를 한 세트로 구성되는 센서일 수 있다. 이로써 셔틀(50)의 이동에 방해되지 않으면서 셔틀(50)의 진출입을 검출하는 것이다.
셔틀(50)의 진출입을 살펴보면, 어느 한쪽 챔버(10)에서 다른 챔버(20)로 이동될 때에 게이트 밸브(30)에 접근하게 된다. 좀 더 상세하게는 셔틀(50)의 이동 경로는 셔틀(50)이 다음 공정으로 진행하는 제1 경로와 셔틀(50)이 이전 단계로 반송되는 제2 경로가 있다.
제1 경로는 제1 무빙 유닛(13, 23)에 의해 셔틀(50)이 순방향으로 이동되는 경로이고, 제2 경로는 제2 무빙 유닛(14, 24)에 의해 셔틀(50)이 역방향으로 이동되는 경로이다.
즉, 스위치 유닛(100)은 셔틀(50)이 진입되는 쪽에 배치되면 셔틀(50)을 검출하여 게이트 밸브(30)를 개방할 수 있게 된다.
한편, 상술한 바와 같이, 셔틀(50)이 이동되는 경로는 제1 경로와 제2 경로가 존재하고, 제1 경로와 제2 경로는 상하방향으로 배치됨을 알 수 있다.
이에 스테이터 홀(34)의 한쪽 인사이드(34a, 34b)에는 스위치 유닛(100)을 복수로 구비할 수 있고, 좀 더 상세하게는 스위치 유닛(100)은 제1, 제2 스위치 유닛(100a, 100b)으로 제공될 수 있다.
제1 스위치 유닛(100a)은 제1, 제2 발광부(110a, 110b)와 제1, 제2 수광부(112a, 112b)로 구성된다. 또한, 제2 스위치 유닛(100b)은 제3, 제4 발광부(120a, 120b)와 제3, 제4 수광부(122a, 122b)로 구성된다.
즉, 제1 스위치 유닛(100a)은 제1 경로를 통과하는 셔틀(50)을 검출하는 것이고, 제2 스위치 유닛(100b)은 제2 경로를 통과하는 셔틀(50)을 검출하는 것이다.
한편, 상술한 바와 같이 복수의 발광부와 복수의 수광부를 구비하는 것인데, 이는 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 게이트 슬라이더(36)를 기준으로 게이트 슬라이더(36)의 양쪽을 각각 발광부와 수광부를 구비할 수 있다.
이로써 스위치 유닛(100)이 셔틀(50)을 검출하면 게이트 밸브(30)에 셔틀이 가까이 있는 것으로 판단할 수 있는 것이다. 즉, 셔틀(50)이 게이트 밸브(30)에 가깝게 접근하면 게이트 밸브(30)는 개방되고, 셔틀(50)이 게이트 밸브(30)에서 멀어지면 게이트 밸브(30)를 폐쇄한다.
이에 부연 설명하면, 제1, 제3 수광부(112a, 122a)는 셔틀(50)의 진입을 검출하는 것이고, 이로써 셔틀(50)의 진입을 감지하여 게이트 밸브(30)를 개방하여 셔틀(50)이 게이트 밸브(30)에 부딪히는 문제를 해소할 수 있다.
한편, 제2, 제4 수광부(112b, 122b)는 셔틀(50)이 이탈을 검출하는 것이다. 이로써 셔틀(50)이 완전하게 통과되는 것까지 검출함으로써 셔틀(50)이 게이트 밸브(30)에 끼이는 것을 방지하는 것이다.
상술한 바와 같이 구성되고 작동되는 본 발명의 일실시예에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브는, 셔틀(50)을 검출할 수 있도록 하는 스위치 유닛(100)을 구비하고, 스위치 유닛(100)과 게이트 밸브(30)의 작동을 연동되도록 함으로써, 셔틀(50)이 게이트 밸브(30)에 도달하면 게이트 밸브(30)를 개방 작동시키고, 셔틀(50)이 게이트 밸브(30)를 통과한 후에 게이트 밸브(30)를 폐쇄 작동시키도록 하여 셔틀(50)이 게이트 밸브(30)와 부딪히거나 게이트 밸브(30)에 끼이는 현상을 방지할 수 있다.
특히, 제1, 제2 무빙 유닛(13, 23, 14, 24)와 게이트 밸브(30)의 개폐타이밍이 다소 어긋나더라도 스위치 유닛(100)에 의해 셔틀(50)을 감지하여 게이트 밸브(30)의 개폐를 제어하도록 함으로써 셔틀(50)을 안정되게 이송시킬 수 있게 된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
본 발명에 따른 인라인 증착장비의 게이트 밸브는 챔버 간에 셔틀이 이동될 때에 셔틀이 게이트 밸브에 부딪히거나 끼이는 현상을 방지하는 데에 이용될 수 있는 것이다.
10, 20: 챔버
11, 21: 제1 출입구 12, 22: 제2 출입구
13, 23: 제1 무빙 유닛 14, 24: 제2 무빙 유닛
15: 증착 물질 30: 게이트 밸브
32: 게이트 스테이터 34: 스테이터 홀
34a, 34b: 인사이드 36: 게이트 슬라이더
37: 슬라이더 홀 50: 셔틀
51: 홀더 52: 글라스 플레이트
100: 스위치 유닛 100a, 100b: 제1, 제2 스위치 유닛
110a, 110b: 제1, 제2 발광부 112a, 112b: 제1, 제2 수광부
120a, 120b: 제3, 제4 발광부 122a, 122b: 제3, 제4 수광부

Claims (5)

  1. 챔버(10)와 다른 챔버(20)사이에 배치되어 증착공정을 수행할 때에 폐쇄상태를 유지하고, 셔틀(50)이 이동될 때에 개방되는 게이트 밸브(30)에 있어서,
    스테이터 홀(34)이 형성된 게이트 스테이터(32);
    상기 게이트 스테이터(32)에 이동가능하게 설치되고 슬라이더 홀(37)이 형성되어, 상기 스테이터 홀(34)과 상기 슬라이더 홀(37)이 일치될 때에 개방되고, 상기 스테이터 홀(34)과 상기 슬라이더 홀(37)이 어긋날 때에 폐쇄되는 게이트 슬라이더(36); 및
    상기 스테이 홀(34)의 인사이트(34a, 34b)에 배치되고, 상기 셔틀(50)을 검출하면 상기 게이트 슬라이더(36)가 개방 되도록 하고, 상기 셔틀(50)이 검출되지 않을 때에 상기 게이트 슬라이더(36)가 폐쇄 되도록 하는 스위치 유닛(100);
    을 포함하는 인라인 증착장비의 게이트 밸브.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 스위치 유닛(100)은,
    상기 게이트 슬라이더(36)를 기준으로 상기 셔틀(50)이 접근하는 쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 인라인 증착장비의 게이트 밸브.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 스위치 유닛(100)은,
    상기 게이트 슬라이더(36)를 기준으로 게이트 슬라이더(36)의 양쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 인라인 증착장비의 게이트 밸브.
  4. 제 1항 내지 제3항 중에 어느 한 항에 있어서,
    상기 스위치 유닛(100)은,
    상기 셔틀(50)이 순방향으로 진행하는 제1 경로 상에 배치되어 상기 셔틀(50)을 검출하는 제1 스위치 유닛(100a);과
    상기 셔틀(50)이 역방향으로 진행하는 제2 경로 상에 배치되어 상기 셔틀(50)을 검출하는 제2 스위치 유닛(100a);
    을 포함하는 인라인 증착장비의 게이트 밸브.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1, 제2 스위치 유닛(100a, 100b)은,
    셔틀(50)과 직접 닿지 않은 상태에서 셔틀(50)의 존재 유무를 식별하도록 하는 비접촉식 스위치인 것을 특징으로 하는 인라인 증착장비의 게이트 밸브.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN107204301A (zh) * 2017-05-09 2017-09-26 北京大学 一种基于曲线长度的太阳能电池生产过程变化的检测方法
CN107507885A (zh) * 2017-07-17 2017-12-22 北京大学 基于多通道传感器数据的太阳能电池生产过程监测方法

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