KR20140068547A - Organic light emitting display device and method for manufacturing of the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 투습에 의한 소자의 열화를 방지하고 공정이 용이한 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same.
최근, 평판표시장치(FPD: Flat Panel Display)는 멀티미디어의 발달과 함께 그 중요성이 증대되고 있다. 이에 부응하여 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display: LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display: FED), 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Display Device) 등과 같은 여러 가지의 평면형 디스플레이가 실용화되고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, the importance of flat panel displays (FPDs) has been increasing with the development of multimedia. In accordance with this, a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED), an organic light emitting display device Various flat-panel displays have been put into practical use.
특히, 유기전계발광표시장치는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비 전력이 낮고 자체 발광이다. 또한, 시야각에 문제가 없어서 장치의 크기에 상관없이 동화상 표시 매체로서 장점이 있다. 또한, 저온 제작이 가능하고, 기존의 반도체 공정 기술을 바탕으로 제조 공정이 간단하므로 향후 차세대 평판 표시 장치로 주목받고 있다.Particularly, the organic light emitting display device has a response speed of 1 ms or less, a high response speed, low power consumption, and self light emission. In addition, there is no problem in the viewing angle, which is advantageous as a moving picture display medium regardless of the size of the apparatus. In addition, since it can be manufactured at a low temperature and the manufacturing process is simple based on the existing semiconductor process technology, it is attracting attention as a next generation flat panel display device.
종래에 유기전계발광표시장치는 기판 상에 제 1 전극, 유기막층 및 제 2 전극을 포함하는 유기발광 다이오드를 형성한 후, 유리 또는 금속으로 이루어진 봉지기판과 기판을 접착제로 밀봉하여 제조하였다. 그러나, 유기전계발광표시장치는 봉지기판의 사용으로 박형을 구현하는데 어려움이 많으며, 내구성이 약한 문제점이 있었다.Conventionally, an organic light emitting display has been manufactured by forming an organic light emitting diode including a first electrode, an organic layer, and a second electrode on a substrate, sealing the sealing substrate made of glass or metal and the substrate with an adhesive. However, the organic electroluminescent display device is difficult to realize a thin shape by use of an encapsulating substrate, and has a problem of poor durability.
최근에는 무기막과 유기막 등의 박막을 유기발광 다이오드 상에 복수로 적층하여 밀봉하는 방법으로 유기전계발광표시장치를 제조하고 있다. 그러나, 무기막과 유기막을 교대로 적층하기에는 공정이 오래 걸리고 구조가 복잡해지게 된다. 또한, 저온PECVD법을 사용하는 무기막의 증착 공정에서 파티클이 생성되어, 파티클에 의한 수분 침투 경로를 제공하는 문제점이 있다.
Recently, organic light emitting display devices are manufactured by stacking a plurality of thin films such as an inorganic film and an organic film on an organic light emitting diode and sealing them. However, it takes a long time to laminate the inorganic film and the organic film alternately, and the structure becomes complicated. Further, there is a problem that particles are generated in the process of vapor deposition of an inorganic film using a low-temperature PECVD method, thereby providing a moisture infiltration path by the particles.
본 발명은 투습에 의한 소자의 열화를 방지하고 공정이 용이한 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법을 제공한다.
The present invention provides an organic electroluminescent display device and a method of manufacturing the same that prevent deterioration of devices due to moisture permeation and are easy to process.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기전계발광표시장치는 기판, 상기 기판 상에 위치하며, 제1 전극, 유기막층 및 제2 전극을 포함하는 유기발광 다이오드 및 상기 유기발광 다이오드를 덮는 배리어를 포함하며, 상기 배리어는 무기나노입자가 혼합된 폴리실라잔으로 형성된 실리콘산화막인 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an organic light emitting display including a substrate, an organic light emitting diode (OLED) disposed on the substrate and including a first electrode, an organic layer, and a second electrode, And a barrier covering the light emitting diode, wherein the barrier is a silicon oxide film formed of polysilazane mixed with inorganic nanoparticles.
상기 폴리실라잔은 퍼하이드로 폴리실라잔인 것을 특징으로 한다.Wherein the polysilazane is a perhydro polysilazane.
상기 무기나노입자는 금속산화물, 실리카(silica) 및 클레이(clay)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어진 것을 특징으로 한다.The inorganic nanoparticles may be at least one selected from the group consisting of metal oxide, silica, and clay.
상기 무기나노입자는 커플링제로 표면처리된 것을 특징으로 한다.And the inorganic nanoparticles are surface-treated with a coupling agent.
상기 무기나노입자는 상기 폴리실라잔 100wt%에 대해 0.1 내지 10wt%로 포함되는 것을 특징으로 한다.And the inorganic nanoparticles are contained in an amount of 0.1 to 10 wt% based on 100 wt% of the polysilazane.
상기 유기발광 다이오드의 측면으로부터 상기 배리어까지의 거리는 상기 유기발광 다이오드의 상면으로부터 상기 배리어까지의 거리보다 긴 것을 특징으로 한다.And the distance from the side surface of the organic light emitting diode to the barrier is longer than the distance from the top surface of the organic light emitting diode to the barrier.
상기 유기발광 다이오드의 측면으로부터 상기 배리어까지의 거리는 상기 유기발광 다이오드의 상면으로부터 상기 배리어까지의 거리와 동일한 것을 특징으로 한다.The distance from the side of the organic light emitting diode to the barrier is equal to the distance from the top surface of the organic light emitting diode to the barrier.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은 기판 상에 제1 전극, 유기막층 및 제2 전극을 포함하는 유기발광 다이오드를 형성하는 단계 및 상기 유기발광 다이오드가 형성된 상기 기판 상에 무기나노입자가 혼합된 폴리실라잔을 산화시켜 실리콘산화막인 배리어를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating an organic light emitting display, including: forming an organic light emitting diode including a first electrode, an organic layer, and a second electrode on a substrate; And oxidizing the polysilazane mixed with the inorganic nanoparticles on the substrate to form a barrier which is a silicon oxide film.
상기 배리어는 상기 폴리실라잔과 상기 무기나노입자가 혼합된 용액을 상기 기판 상에 도포하여 형성되는 것을 특징으로 한다.And the barrier is formed by applying a solution in which the polysilazane and the inorganic nanoparticles are mixed on the substrate.
상기 폴리실라잔과 상기 무기나노입자가 혼합된 용액을 도포하기 전에, 상기 유기발광 다이오드가 형성된 상기 기판 상에 마스크를 정렬하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.And aligning the mask on the substrate on which the organic light emitting diode is formed, before applying the mixed solution of the polysilazane and the inorganic nanoparticles.
상기 마스크는 상기 유기발광 다이오드가 형성된 영역을 노출하는 개구부가 형성된 것을 특징으로 한다.The mask may have an opening exposing an area where the organic light emitting diode is formed.
상기 무기나노입자는 커플링제로 표면처리된 것을 특징으로 한다.And the inorganic nanoparticles are surface-treated with a coupling agent.
상기 무기나노입자는 상기 폴리실라잔 100wt%에 대해 0.1 내지 10wt%로 포함되는 것을 특징으로 한다.
And the inorganic nanoparticles are contained in an amount of 0.1 to 10 wt% based on 100 wt% of the polysilazane.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법은 유기발광 다이오드 상에 무기나노입자가 혼합된 폴리실라잔을 이용한 배리어를 형성함으로써, 증착 공정이 아닌 용액 공정으로 간소하게 배리어를 제조할 수 있다. An organic light emitting display device and a method of manufacturing the same according to an exemplary embodiment of the present invention can form a barrier using a polysilazane mixed with inorganic nanoparticles on an organic light emitting diode, Can be manufactured.
또한, 무기나노입자가 포함된 배리어를 형성함으로써, 유기발광 다이오드에 외부의 수분과 산소가 침투되는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다. 더욱이, 용액 공정으로 배리어를 도포하되, 유기발광 다이오드의 측면에서 길이를 더 길게 형성함으로써, 유기발광 다이오드의 측면에서의 수분과 산소의 침투를 더욱 방지할 수 있는 이점이 있다.
In addition, by forming the barrier including the inorganic nanoparticles, it is possible to prevent the external moisture and oxygen from penetrating into the organic light emitting diode. Furthermore, by applying a barrier by a solution process, and by forming a longer length on the side surface of the organic light emitting diode, there is an advantage that the penetration of moisture and oxygen on the side of the organic light emitting diode can be further prevented.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기전계발광표시장치를 나타낸 평면도.
도 2는 도 1의 I-I'에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 나타낸 단면도.
도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 나타낸 단면도.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 나타낸 공정별 단면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 배리어의 내투습도를 측정하여 나타낸 그래프.
도 7은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 배리어의 표면을 측정하여 나타낸 도면.
도 8은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 배리어의 단면을 측정하여 나타낸 도면. 1 is a plan view showing an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.
2 is a sectional view of an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention, taken along line I-I 'of FIG.
3 and 4 are cross-sectional views illustrating an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention.
5A to 5D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention.
6 is a graph showing the measurement of the moisture permeability of a barrier fabricated according to an embodiment of the present invention.
7 is a diagram illustrating the surface of a barrier fabricated in accordance with an embodiment of the present invention.
8 is a cross-sectional view of a barrier fabricated in accordance with an embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 나타낸 평면도이고, 도 2는 도 1의 I-I'에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 나타낸 단면도이며, 도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 나타낸 단면도이다.FIG. 1 is a plan view showing an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention, taken along line I-I ' And FIGS. 3 and 4 are cross-sectional views illustrating an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치(10)는 기판(100) 상에 유기발광 다이오드(200)가 위치하고, 유기발광 다이오드(200)를 덮는 배리어(300)로 이루어진다.1 and 2, an organic light
보다 자세하게는, 기판(100) 상에 유기발광 다이오드(200)가 위치한다. 기판(100)은 유리, 플라스틱 또는 도전성 물질로 이루어진 투명한 기판을 사용할 수 있다. 상기 기판(100) 상에 제1 전극(210), 유기막층(230) 및 제2 전극(240)을 포함하는 유기발광 다이오드(200)가 위치한다. More specifically, the organic
상기 제1 전극(210)은 애노드일 수 있으며, 투명 전극 또는 반사 전극일 수 있다. 상기 제1 전극(210)이 투명 전극인 경우에 상기 제1 전극(210)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 또는 ZnO(Zinc Oxide) 중 어느 하나일 수 있다. 또한, 상기 제1 전극(210)이 반사 전극일 경우에 상기 제1 전극(210)은 ITO, IZO 또는 ZnO 중 어느 하나로 이루어진 층 하부에 알루미늄(Al), 은(Ag) 또는 니켈(Ni) 중 어느 하나로 이루어진 반사층을 더 포함할 수 있고, 이와 더불어, ITO, IZO 또는 ZnO 중 어느 하나로 이루어진 두 개의 층 사이에 상기 반사층을 포함할 수 있다.The
상기 제1 전극(210)은 스퍼터링법(Sputtering), 증발법(Evaporation), 기상증착법(Vapor Phase Deposition) 또는 전자빔증착법(Electron Beam Deposition)을 사용하여 형성할 수 있다.The
제1 전극(210)이 형성된 기판(100) 상에 제1 전극(210)의 일부 영역을 노출시키는 절연층(220)이 위치한다. 절연층(220)은 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene, BCB)계 수지, 아크릴계 수지 또는 폴리이미드 수지 등의 유기물을 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. An
절연층(220)에 의해 노출된 제1 전극(210) 상에 유기막층(230)이 위치한다. 유기막층(230)은 적어도 발광층을 포함하며, 발광층의 상부 또는 하부에 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 또는 전자주입층을 더 포함할 수 있다.The
상기 정공주입층은 상기 제1 전극(210)으로부터 발광층으로 정공의 주입을 원활하게 하는 역할을 할 수 있으며, CuPc(cupper phthalocyanine), PEDOT(poly(3,4)-ethylenedioxythiophene), PANI(polyaniline) 및 NPD(N,N-dinaphthyl-N,N'-diphenyl benzidine)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다. The hole injection layer may function to smoothly inject holes from the
상기 정공수송층은 정공의 수송을 원활하게 하는 역할을 하며, NPD(N,N-dinaphthyl-N,N'-diphenyl benzidine), TPD(N,N'-bis-(3-methylphenyl)-N,N'-bis-(phenyl)-benzidine), s-TAD 및 MTDATA(4,4',4"-Tris(N-3-methylphenyl-N-phenyl-amino)-triphenylamine)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The hole transport layer plays a role of facilitating the transport of holes, and it is preferable to use a hole transport layer such as NPD (N-dinaphthyl-N, N'-diphenyl benzidine), TPD (N, N'- -bis- (phenyl) -benzidine), s-TAD and 4,4 ', 4 "-tris (N-3-methylphenyl-N- phenylamino) -triphenylamine But is not limited thereto.
상기 발광층은 적색, 녹색 및 청색을 발광하는 물질로 이루어질 수 있으며, 인광 또는 형광물질을 이용하여 형성할 수 있다.The light emitting layer may be formed of a material that emits red, green, and blue light, and may be formed using phosphorescent or fluorescent materials.
상기 발광층이 적색인 경우, CBP(carbazole biphenyl) 또는 mCP(1,3-bis(carbazol-9-yl)를 포함하는 호스트 물질을 포함하며, PIQIr(acac)(bis(1-phenylisoquinoline)acetylacetonate iridium), PQIr(acac)(bis(1-phenylquinoline)acetylacetonate iridium), PQIr(tris(1-phenylquinoline)iridium) 및 PtOEP(octaethylporphyrin platinum)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하는 도펀트를 포함하는 인광물질로 이루어질 수 있고, 이와는 달리 PBD:Eu(DBM)3(Phen) 또는 Perylene을 포함하는 형광물질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.When the light emitting layer is red, it includes a host material including CBP (carbazole biphenyl) or mCP (1,3-bis (carbazol-9-yl) , PQIr (acac) (bis (1-phenylquinoline) acetylacetonate iridium), PQIr (tris (1-phenylquinoline) iridium) and PtOEP (octaethylporphyrin platinum) Alternatively, it may be made of a fluorescent material including PBD: Eu (DBM) 3 (Phen) or Perylene, but not limited thereto.
상기 발광층이 녹색인 경우, CBP 또는 mCP를 포함하는 호스트 물질을 포함하며, Ir(ppy)3(fac tris(2-phenylpyridine)iridium)을 포함하는 도펀트 물질을 포함하는 인광물질로 이루어질 수 있고, 이와는 달리, Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)aluminum)을 포함하는 형광물질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.And a phosphorescent material including a dopant material including Ir (ppy) 3 (fac tris (2-phenylpyridine) iridium), which includes a host material including CBP or mCP when the light emitting layer is green, Alternatively, it may include, but is not limited to, a fluorescent material containing Alq3 (tris (8-hydroxyquinolino) aluminum).
상기 발광층이 청색인 경우, CBP 또는 mCP를 포함하는 호스트 물질을 포함하며, (4,6-F2ppy)2Irpic을 포함하는 도펀트 물질을 포함하는 인광물질로 이루어질 수 있고, 이와는 달리, spiro-DPVBi, spiro-6P, 디스틸벤젠(DSB), 디스트릴아릴렌(DSA), PFO계 고분자 및 PPV계 고분자로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 형광물질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.(4,6-F 2 ppy) 2 Irpic when the emissive layer is blue, and a host material comprising CBP or mCP. Alternatively, the phosphorescent material may comprise a spiro- But is not limited to, a fluorescent material including any one selected from the group consisting of DPVBi, spiro-6P, distyrylbenzene (DSB), distyrylarylene (DSA), PFO polymer and PPV polymer.
상기 전자수송층은 전자의 수송을 원활하게 하는 역할을 하며, Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq 및 SAlq로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다. The electron transport layer plays a role of facilitating transport of electrons and may be composed of at least one selected from the group consisting of Alq3 (tris (8-hydroxyquinolino) aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq and SAlq It is not limited.
상기 전자수송층은 제1 전극으로부터 주입된 정공이 발광층을 통과하여 제2 전극으로 이동하는 것을 방지하는 역할도 할 수 있다. 즉, 정공저지층의 역할을 하여 발광층에서 정공과 전자의 결합을 효율적이게 하는 역할을 하게 된다.The electron transport layer may also prevent holes injected from the first electrode from passing through the light emitting layer to the second electrode. In other words, it plays a role of a hole blocking layer and plays a role of efficient bonding of holes and electrons in the light emitting layer.
상기 전자주입층은 전자의 주입을 원활하게 하는 역할을 하며, Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq 또는 SAlq를 사용할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The electron injection layer plays a role of injecting electrons smoothly. Alq3 (tris (8-hydroxyquinolino) aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq or SAlq may be used.
상기 전자주입층은 무기물을 더 포함할 수 있으며, 상기 무기물은 금속화합물을 더 포함할 수 있다. 상기 금속화합물은 알칼리 금속 또는 알칼리 토금속을 포함할 수 있다. 상기 알칼리 금속 또는 알칼리 토금속을 포함하는 금속화합물은 LiQ, LiF, NaF, KF, RbF, CsF, FrF, BeF2, MgF2, CaF2, SrF2, BaF2 및 RaF2로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The electron injection layer may further include an inorganic material, and the inorganic material may further include a metal compound. The metal compound may include an alkali metal or an alkaline earth metal. Metal compound containing the alkali metal or alkaline earth metal is LiQ, LiF, NaF, KF, RbF, CsF, FrF, BeF 2, MgF 2, CaF 2, SrF 2, BaF any one selected from 2 the group consisting of RaF 2 But is not limited thereto.
상기 제2 전극(240)은 캐소드 전극일 수 있으며, 일함수가 낮은 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca), 알루미늄(Al), 은(Ag) 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다. 여기서, 제2 전극(240)은 유기전계발광표시장치가 전면 또는 양면발광구조일 경우, 빛을 투과할 수 있을 정도로 얇은 두께로 형성할 수 있으며, 유기전계발광표시장치가 배면발광구조일 경우, 빛을 반사시킬 수 있을 정도로 두껍게 형성할 수 있다. The
상기 유기발광 다이오드(200)를 덮는 배리어(300)가 위치한다. 배리어(300)는 외부의 수분 또는 공기가 침투하는 것을 방지하고 외부의 충격으로부터 유기발광 다이오드(200)를 보호하는 역할을 할 수 있다. 배리어(300)는 무기나노입자(310)가 혼합된 폴리실라잔이 산화되어 형성된 실리콘산화막일 수 있다. A
본 발명에 사용되는 폴리실라잔은 대기 중의 수분과 산소와 반응하여 산화반응(oxidation)을 일으켜 실리콘산화물(SiO2)을 형성하는 것으로, 폴리실라잔에 결합된 체인 길이가 길수록 산화반응이 느리게 진행된다. 폴리실라잔은 가장 반응속도가 빠른 퍼하이드로 폴리실라잔(perhydropolysilazane)일 수 있다. 또한, 폴리실라잔은 실리콘산화막으로 형성되었을 때, 수분이 실리콘산화막으로 침투되는 것을 방지하기 위해 소수성 작용기를 가진다. 여기서, 소수성 작용기는 알킬기, 비닐기, 시클로알킬기 등의 탄화수소기 또는 플루오로기 중 선택된 어느 하나일 수 있다. The polysilazane used in the present invention reacts with water and oxygen in the atmosphere to cause oxidation to form silicon oxide (SiO 2 ). As the chain length bonded to the polysilazane becomes longer, the oxidation reaction proceeds slowly do. The polysilazane can be the most rapid perhydropolysilazane. When the polysilazane is formed of a silicon oxide film, it has a hydrophobic functional group to prevent water from penetrating into the silicon oxide film. Here, the hydrophobic functional group may be any one selected from the group consisting of an alkyl group, a vinyl group, a hydrocarbon group such as a cycloalkyl group, and a fluoro group.
또한, 본 발명의 배리어(300)는 폴리실라잔에 무기나노입자(310)를 혼합하여 실리콘산화막으로 형성되어, 실리콘산화막인 배리어(300)에 무기나노입자(310)가 분산되어 포함된다. 무기나노입자(310)는 외부의 수분과 산소가 배리어(300)를 침투하는 것을 방지하기 위한 것으로, 금속산화물, 실리카(silica), 클레이(clay)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어진다. 여기서, 금속산화물은 대표적으로 산화알루미늄(Al2O3)을 사용할 수 있다. In addition, the
그리고, 무기나노입자(310)는 폴리실라잔과 단순히 혼합할 경우 무기나노입자(310)의 표면에 존재하는 히드록시기(-OH) 등에 의해 폴리실라잔의 산화가 촉진되어 가스가 발생할 수 있다. 따라서, 무기나노입자(310)는 폴리실라잔과 혼합하기 전에 커플링제를 이용하여 표면처리된다. 여기서, 커플링제는 알킬알콕시(alkylalkoxy) 실란(silane)계, 아미노(amino) 실란계, 에폭시(epoxy) 실란 등의 실란 커플링제가 사용될 수 있다.When the
무기나노입자(310)는 폴리실라잔 100wt%에 대해 0.1 내지 10wt%의 비율로 포함될 수 있다. 여기서, 무기나노입자(310)가 폴리실라잔 100wt%에 대해 0.1wt% 이상이면, 외부의 수분과 산소를 차단하는 특성인 내투습성이 향상되고, 무기나노입자(310)가 폴리실라잔 100wt%에 대해 10wt% 이하이면, 무기나노입자(310)에 의해 배리어(300) 박막에 크랙(crack)이 발생하여 막질이 저하되는 것을 방지할 수 있다. The
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 배리어(300)는 유기발광 다이오드(200) 상에 얇게 형성되어, 상부의 다른 구조물 또는 외부 충격으로부터 보호하는 패시베이션(passivation)으로 이루어질 수 있다. 반면, 도 3에 도시된 바와 같이, 유기발광 다이오드(200) 상에 패시베이션막(280)을 별도로 구비하고, 배리어(300)가 두껍게 형성되어 유기발광 다이오드(200)를 봉지(encapsulation)하는 봉지막으로 이루어질 수 있다. As shown in FIG. 2, the
여기서, 본 발명의 배리어(300)는 유기발광 다이오드(200)의 측면으로부터 배리어(300)까지의 거리(D1)가 유기발광 다이오드(200)의 상면으로부터 배리어(300)까지의 거리(D2)보다 길게 형성된다. 유기전계발광표시장치는 유기발광 다이오드(200)의 상면 방향보다 측면 방향에서의 수분과 산소의 침투에 취약하다. 따라서, 본 발명에서는 배리어(300)를 유기발광 다이오드(200)의 측면으로부터 배리어(300)까지의 거리(D1)가 유기발광 다이오드(200)의 상면으로부터 배리어(300)까지의 거리(D2)보다 길게 형성함으로써, 유기발광 다이오드(200)의 측면에서의 수분과 산소의 침투를 방지할 수 있다. 반면, 본 발명의 배리어(300)는 이에 한정되지 않으며, 유기발광 다이오드(200)의 측면으로부터 배리어(300)까지의 거리(D1)가 유기발광 다이오드(200)의 상면으로부터 배리어(300)까지의 거리(D2)와 동일하게 형성될 수도 있다. The
한편, 도 4를 참조하면, 본 발명의 배리어(300)는 도 3과 같이 봉지막으로 형성되나, 배리어(300)의 상부에 실런트(sealant)(410)를 도포하고 유리기판으로 이루어진 봉지기판(400)으로 밀봉될 수도 있다. 본 발명은 도 2 내지 도 4의 구조의 배리어에 한정되지 않으며, 유기발광 다이오드를 감싸는 구조라면 어느 구조라도 적용이 가능하다.3, a
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 전술한 유기전계발광표시장치의 제조방법을 설명하면 다음과 같다. 하기에서는 전술한 도 4에서 설명된 유기전계발광표시장치의 구조에 대한 제조방법을 동일한 도면부호를 붙여 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing the organic light emitting display device will be described with reference to the accompanying drawings. Hereinafter, the manufacturing method of the structure of the organic light emitting display device described with reference to FIG. 4 will be described with the same reference numerals.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 나타낸 공정별 단면도이다.5A to 5D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 5a를 참조하면, 유리, 플라스틱 또는 도전성 물질로 이루어진 투명한 기판(100) 상에 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 또는 ZnO(Zinc Oxide) 중 어느 하나를 증착하여 제1 전극(210)을 형성한다. 이어, 상기 제1 전극(210) 상에 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene, BCB)계 수지, 아크릴계 수지 또는 폴리이미드 수지를 스핀 코팅법 또는 스크린 프링팅법으로 도포하고 이를 포토리소그래피법으로 패터닝하여 제1 전극(210)의 일부를 노출시키는 절연막(220)을 형성한다.5A, one of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and zinc oxide (ZnO) is deposited on a
다음, 상기 절연막(220)에 의해 노출된 제1 전극(210) 상에 적색, 녹색 또는 청색을 발광하는 물질을 증착하여 적어도 발광층을 포함하는 유기막층(230)을 형성한다. 또한, 발광층의 상부 또는 하부에 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 또는 전자주입층을 더 형성할 수도 있다. 이어, 상기 유기막층(230)을 포함하는 기판(100) 상에 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca), 알루미늄(Al), 은(Ag) 또는 이들의 합금을 증착하여 제2 전극(240)을 형성하여 유기발광 다이오드(200)를 형성한다.Next, a material emitting red, green or blue light is deposited on the
이어, 유기발광 다이오드(200)가 형성된 기판(100) 상에 유기발광 다이오드(200)가 형성된 영역을 노출하는 개구부(OP)가 형성된 마스크(450)를 정렬한다. 마스크(450)는 액자틀 형상으로 이루어지고, 개구부(OP)는 유기발광 다이오드(200)가 형성된 영역을 노출하게 된다. 마스크(450)의 개구부(OP)의 깊이를 조절하는 것으로 추후 형성될 배리어의 두께가 결정되고, 개구부(OP)의 크기를 조절하는 것으로 배리어의 폭이나 길이가 결정된다.The
다음, 도 5b를 참조하면, 마스크(450)가 정렬된 기판(100) 상에 폴리실라잔과 무기나노입자(310)가 용매에 혼합된 배리어 용액(460)을 도포한다. 여기서, 용매는 톨루엔, 자일렌, 벤젠 또는 메틸벤조에이트 등과 같은 일반적으로 널리 사용되고 있는 유기 용매를 사용할 수 있다. 이렇게 제조된 용액을 스핀코팅, 스크린 인쇄, 슬릿 코팅 등의 방법을 이용하여 코팅할 수 있으며, 본 실시예에서는 슬릿 코팅하는 것을 도시하였다. 이때, 마스크(450)에 의해 배리어 용액(460)이 외부로 빠져나가지 못하고 기판(100) 상에 도포되게 된다. 도포되는 배리어 용액(460)은 최대 마스크(450)의 상부 표면까지의 두께로 도포될 수 있다. Next, referring to FIG. 5B, a
이어, 도 5c를 참조하면, 도포된 배리어 용액(460) 중 폴리실라잔은 대기 중의 수분과 산소와 반응하여 산화되어 실리콘산화막의 배리어(300)를 형성한다. 그리고, 배리어 용액(460)에 혼합되어 있던 무기나노입자(310)는 배리어(300)에 분산된다. 배리어(300)가 형성되면 마스크(450)를 제거한다. Referring to FIG. 5C, polysilazane in the applied
다음 도 5d를 참조하면, 유리기판으로 이루어진 봉지기판(400)에 실런트(410)를 전체 면에 도포하고, 상기 배리어(300)가 형성된 기판(100)과 합착하여 유기전계발광표시장치를 제조한다. 5D, a
상기와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법은 유기발광 다이오드 상에 폴리실라잔을 이용하여 배리어를 형성함으로써, 증착 공정이 아닌 용액 공정으로 간소하게 배리어를 제조할 수 있다. As described above, the organic light emitting display device and the method for fabricating the same according to the embodiment of the present invention can prevent the formation of the barrier by using the polysilazane on the organic light emitting diode, can do.
또한, 무기나노입자가 혼합된 폴리실라잔을 이용하여 배리어를 형성함으로써, 유기발광 다이오드에 외부의 수분과 산소가 침투되는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다. 더욱이, 용액 공정으로 배리어를 도포하되, 유기발광 다이오드의 측면에서 길이를 더 길게 형성함으로써, 유기발광 다이오드의 측면에서의 수분과 산소의 침투를 더욱 방지할 수 있는 이점이 있다.In addition, there is an advantage that foreign moisture and oxygen can be prevented from penetrating into the organic light emitting diode by forming a barrier using polysilazane mixed with inorganic nanoparticles. Furthermore, by applying a barrier by a solution process, and by forming a longer length on the side surface of the organic light emitting diode, there is an advantage that the penetration of moisture and oxygen on the side of the organic light emitting diode can be further prevented.
이하, 본 발명의 배리어에 관하여 하기 실험예에서 상술하기로 한다. 다만, 하기의 실험예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐 본 발명이 하기 실험예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the barrier of the present invention will be described in detail in the following experimental examples. However, the following experimental examples are merely illustrative of the present invention, and the present invention is not limited to the following experimental examples.
실시예Example
퍼하이드로 실라잔(유피케미칼사, 고형분 19%, amine catalyst 1.5wt%) 용액에 약 100nm의 입경을 가진 산화알루미늄 입자를 4wt%로 혼합한 뒤, 약 5분간 초음파처리(ultra sonication)하였다. 그리고, PES(polyether sulfone) 기판 상에 상기 용액을 1500rpm으로 20초 동안 스핀코팅하고, 약 100℃에서 2시간 동안 열처리하여 배리어를 제조하였다.Aluminum oxide particles having a particle size of about 100 nm were mixed at 4 wt% in a solution of perhydrosilazane (manufactured by Yuka Chemical Co., solid content 19%, amine catalyst 1.5 wt%) and ultrasonicated for about 5 minutes. Then, the solution was spin-coated on a polyether sulfone (PES) substrate at 1500 rpm for 20 seconds and heat-treated at about 100 ° C for 2 hours to prepare a barrier.
상기 실시예에 따라 제조된 배리어를 Aquatran(MOCON) 장비를 이용하여 내투습도(water vapor transmission rate, WVTR)를 측정하여 도 6에 나타내었고, 광학현미경을 통해 배리어의 표면을 관찰하여 도 7에 나타내었으며, SEM으로 측정한 배리어의 단면을 도 8에 나타내었다.The barrier prepared according to the above example was measured for water vapor transmission rate (WVTR) using Aquatran (MOCON) equipment, and the barrier surface was observed through an optical microscope to be shown in FIG. And the cross section of the barrier measured by SEM is shown in Fig.
도 6을 참조하면, 시간에 따른 단위면적당 투습량에 대해 PES 기판의 경우 약 60g/㎡day로 나타나는 반면에 본 발명의 배리어의 내투습율은 약 0.0056g/㎡day로 나타나 매우 우수한 것을 확인하였다. 또한, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 배리어의 표면에 크랙과 같은 손상이 없고 단면도 매우 깨끗하게 나타나 배리어의 막질이 매우 우수한 것을 확인하였다.Referring to FIG. 6, the permeation amount per unit area with time is about 60 g / m 2day in the case of PES substrate, while the moisture permeability of the barrier according to the present invention is about 0.0056 g / m 2day, . Also, as shown in Figs. 7 and 8, it was confirmed that there was no crack-like surface on the surface of the barrier, and the section was very clean, and the barrier property was excellent.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood that the invention may be practiced. It is therefore to be understood that the embodiments described above are to be considered in all respects only as illustrative and not restrictive. In addition, the scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the detailed description. Also, all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included within the scope of the present invention.
10 : 유기전계발광표시장치 100 : 기판
200 : 유기발광 다이오드 210 : 제1 전극
230 : 유기막층 240 : 제2 전극
300 : 배리어10: organic electroluminescence display device 100: substrate
200: organic light emitting diode 210: first electrode
230: organic film layer 240: second electrode
300: Barrier
Claims (13)
상기 기판 상에 위치하며, 제1 전극, 유기막층 및 제2 전극을 포함하는 유기발광 다이오드; 및
상기 유기발광 다이오드를 덮는 배리어를 포함하며,
상기 배리어는 무기나노입자가 혼합된 폴리실라잔으로 형성된 실리콘산화막인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
Board;
An organic light emitting diode (OLED) disposed on the substrate, the organic light emitting diode including a first electrode, an organic layer, and a second electrode; And
And a barrier covering the organic light emitting diode,
Wherein the barrier is a silicon oxide film formed of polysilazane mixed with inorganic nanoparticles.
상기 폴리실라잔은 퍼하이드로 폴리실라잔인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the polysilazane is a perhydro polysilazane.
상기 무기나노입자는 금속산화물, 실리카(silica) 및 클레이(clay)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the inorganic nanoparticles are composed of at least one selected from the group consisting of metal oxide, silica, and clay.
상기 무기나노입자는 커플링제로 표면처리된 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method of claim 3,
Wherein the inorganic nanoparticles are surface-treated with a coupling agent.
상기 무기나노입자는 상기 폴리실라잔 100wt%에 대해 0.1 내지 10wt%로 포함되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the inorganic nanoparticles are contained in an amount of 0.1 to 10 wt% based on 100 wt% of the polysilazane.
상기 유기발광 다이오드의 측면으로부터 상기 배리어까지의 거리는 상기 유기발광 다이오드의 상면으로부터 상기 배리어까지의 거리보다 긴 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein a distance from a side surface of the organic light emitting diode to the barrier is longer than a distance from an upper surface of the organic light emitting diode to the barrier.
상기 유기발광 다이오드의 측면으로부터 상기 배리어까지의 거리는 상기 유기발광 다이오드의 상면으로부터 상기 배리어까지의 거리와 동일한 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein a distance from a side surface of the organic light emitting diode to the barrier is equal to a distance from an upper surface of the organic light emitting diode to the barrier.
상기 유기발광 다이오드가 형성된 상기 기판 상에 무기나노입자가 혼합된 폴리실라잔을 산화시켜 실리콘산화막인 배리어를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
Forming an organic light emitting diode including a first electrode, an organic film layer, and a second electrode on a substrate; And
And oxidizing the polysilazane mixed with the inorganic nanoparticles on the substrate on which the organic light emitting diode is formed to form a barrier which is a silicon oxide film.
상기 배리어는 상기 폴리실라잔과 상기 무기나노입자가 혼합된 용액을 상기 기판 상에 도포하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
9. The method of claim 8,
Wherein the barrier is formed by applying a solution in which the polysilazane and the inorganic nanoparticles are mixed on the substrate.
상기 폴리실라잔과 상기 무기나노입자가 혼합된 용액을 도포하기 전에, 상기 유기발광 다이오드가 형성된 상기 기판 상에 마스크를 정렬하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
10. The method of claim 9,
Further comprising the step of aligning the mask on the substrate on which the organic light emitting diode is formed before applying the mixed solution of the polysilazane and the inorganic nanoparticles.
상기 마스크는 상기 유기발광 다이오드가 형성된 영역을 노출하는 개구부가 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the mask has an opening exposing an area where the organic light emitting diode is formed.
상기 무기나노입자는 커플링제로 표면처리된 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
9. The method of claim 8,
Wherein the inorganic nanoparticles are surface-treated with a coupling agent.
상기 무기나노입자는 상기 폴리실라잔 100wt%에 대해 0.1 내지 10wt%로 포함되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.9. The method of claim 8,
Wherein the inorganic nanoparticles are contained in an amount of 0.1 to 10 wt% based on 100 wt% of the polysilazane.
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160003994A (en) * | 2014-07-01 | 2016-01-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic electroluminescent device |
WO2016016260A1 (en) * | 2014-07-29 | 2016-02-04 | AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l. | Hybrid material for use as coating means in optoelectronic components |
CN108206242A (en) * | 2016-12-19 | 2018-06-26 | 上海和辉光电有限公司 | Encapsulating structure of flexible OLED display and preparation method thereof |
WO2019107892A1 (en) * | 2017-11-28 | 2019-06-06 | 주식회사 엘지화학 | Barrier film |
CN110246985A (en) * | 2019-06-21 | 2019-09-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | Electroluminescent device, preparation method and display device |
KR20210017217A (en) * | 2019-08-07 | 2021-02-17 | 한국과학기술원 | Washable nano-stratified encapsulation barrier and electronic device including the same |
US11458703B2 (en) | 2017-11-28 | 2022-10-04 | Lg Chem, Ltd. | Barrier film |
-
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160003994A (en) * | 2014-07-01 | 2016-01-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic electroluminescent device |
KR20210119370A (en) * | 2014-07-01 | 2021-10-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic electroluminescent device |
WO2016016260A1 (en) * | 2014-07-29 | 2016-02-04 | AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l. | Hybrid material for use as coating means in optoelectronic components |
CN106661272A (en) * | 2014-07-29 | 2017-05-10 | Az电子材料(卢森堡)责任有限公司 | Hybrid material for use as coating means in optoelectronic components |
JP2017524158A (en) * | 2014-07-29 | 2017-08-24 | エイ・ゼット・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルク)エス・ア・エール・エル | Hybrid materials for use as coating means for optoelectronic components |
US10385234B2 (en) | 2014-07-29 | 2019-08-20 | AZ Electronics Materials (LUXEMBOURG) S.Á.R.L. | Hybrid material for use as coating means in optoelectronic components |
CN108206242A (en) * | 2016-12-19 | 2018-06-26 | 上海和辉光电有限公司 | Encapsulating structure of flexible OLED display and preparation method thereof |
WO2019107892A1 (en) * | 2017-11-28 | 2019-06-06 | 주식회사 엘지화학 | Barrier film |
US11458703B2 (en) | 2017-11-28 | 2022-10-04 | Lg Chem, Ltd. | Barrier film |
CN110246985A (en) * | 2019-06-21 | 2019-09-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | Electroluminescent device, preparation method and display device |
CN110246985B (en) * | 2019-06-21 | 2021-10-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | Electroluminescent device, preparation method thereof and display device |
KR20210017217A (en) * | 2019-08-07 | 2021-02-17 | 한국과학기술원 | Washable nano-stratified encapsulation barrier and electronic device including the same |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
E801 | Decision on dismissal of amendment |