KR20140062290A - Metal mask with wing and production method - Google Patents

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KR20140062290A
KR20140062290A KR1020120128791A KR20120128791A KR20140062290A KR 20140062290 A KR20140062290 A KR 20140062290A KR 1020120128791 A KR1020120128791 A KR 1020120128791A KR 20120128791 A KR20120128791 A KR 20120128791A KR 20140062290 A KR20140062290 A KR 20140062290A
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Abstract

The present invention relates to a metal mask with a wing part by a plating method. The metal mask with the wing part by the plating method is composed of a main line and the wind part which supports the main line. The wing part protrudes from the upper side of the main line to the side of the main line and is integrated with the main line. Filling materials are easily released by coating the metal mask according to the present invention with release materials. A method for manufacturing the metal mask by the plating method according to the present invention includes the steps of: plating the wing part; and successively plating the main line after the wing part is plated. The wing part protrudes from the upper side of the main line to the side of the main line and is integrated with the main line. The metal mask is coated with the release materials.

Description

날개부를 구비한 메탈 마스크와 그의 제작방법. {Metal mask with wing and production method }(EN) A metal mask having a wing portion, and a manufacturing method thereof. {Metal mask with wing and production method}

종래의 인쇄전자회로는 메쉬나 망을 통하여 비전도성 기판 위에 액상의 실버페이스트를 인쇄를 하는 방법으로 만들어 졌다.Conventional printed electronic circuits are made by printing a liquid silver paste on a non-conductive substrate through a mesh or net.

그러나 이러한 종래의 인쇄전기회로는 사용이 되는 메쉬나 망의 크기가 크기 때문에 미세하고 정교한 회로를 인쇄하는 것에는 한계가 있었다.However, such a conventional printed electric circuit has a limitation in printing a fine and elaborate circuit because the size of the mesh or net used is large.

본 발명은 종래의 한계를 극복할 수가 있도록 하는 마스크를 제작하는 제작방법과 그 방법에 의하여 만들어 지는 것을 특징으로 하는 메탈 마스크에 대한 것이다.The present invention relates to a fabrication method for fabricating a mask which can overcome the limitations of the prior art, and a metal mask which is fabricated by the method.

특히 본 발명은 메탈 마스크는 메인 라인에 날개부를 가지는 것을 특징으로 한다.In particular, the present invention is characterized in that the metal mask has wings on the main line.

본 발명에서 사용이 되는 마스크는 기존의 스크린 인쇄 등 인쇄기술에서 사용이 되는 스크린 메쉬 또는 망을 응용한 기술이다. The mask used in the present invention is a technique using a screen mesh or net used in printing technology such as conventional screen printing.

이러한 마스크의 예로서 종래의 메탈 마스크는 도 1에 의하여 설명을 한다.A conventional metal mask as an example of such a mask will be described with reference to Fig.

금속의 박막에 수많은 관통부를 형성하며, 상기 관통부들을 통하여 의도하는 안료나 물질을 메탈 마스크의 하부에 놓인 기판에 위치토록 하는 것이다.Numerous penetrating portions are formed in the thin film of metal, and the intended pigment or material is placed on the substrate placed under the metal mask through the penetrating portions.

종래의 스크린 인쇄기법은 종이 또는 섬유 등에 안료를 로울러에 묻혀서 망을 통하여 안료를 필요로 한 부분에만 종이 또는 섬유에 전사시키는 것이다.Conventional screen printing techniques involve transferring pigments to paper or fiber onto rollers and then transferring the pigments to paper or fiber only through the web.

메쉬 또는 망은 관통부들을 가지고 있으며, 메쉬 또는 망의 관통부들을 통하여 잉크 또는 실버페이스트 등의 물질이 인쇄를 하고자 하는 기판에 원하는 곳에만 묻도록 하는 것이다.Mesh or netting has perforations and allows materials such as ink or silver paste to be applied to the substrate where it is intended to be printed, through the mesh or through the perforations of the net.

본 발명에서 사용이 되는 메탈 마스크는 관통부를 가진다.The metal mask used in the present invention has a penetration portion.

본 발명에서 사용이 되는 메탈 마스크의 관통부는 원형, 사각형, 라인 형태 등등의 다양한 형태의 모양을 갖는다. The penetration portion of the metal mask used in the present invention has various shapes such as a circle, a rectangle, a line, and the like.

본 발명의 메탈 마스크에 의하여 미세회로를 구성하고자 할 경우에는 관통부는 미세한 회로의 형태로 구성이 됨은 물론이다.When the metal mask of the present invention is used to construct a microcircuit, the penetrating portion may be formed in the form of a fine circuit.

본 발명의 메탈 마스크를 통하여 미세회로를 만들고자 할 경우, 도전성 미세입자를 접착성을 가진 유동성 수지에 섞은 페이스트를 메탈 마스크의 관통부를 통하여 비전도성 기판 위에 위치 시킨다.In order to make a fine circuit through the metal mask of the present invention, the paste containing the conductive fine particles mixed with the adhesive resin is placed on the nonconductive substrate through the penetration portion of the metal mask.

주입된 페이스트는 경화되어 도전성 회로부를 형성한다.The injected paste is cured to form conductive circuitry.

페이스트 중에서 가장 바람직한 소재로는 실버페이스트를 들 수가 있다.Among the pastes, silver paste is the most preferable material.

본 발명에서는 종래의 인쇄전자회로에 사용이 되는 메쉬 또는 망 보다 정밀하고 미세하게 만들 수가 있는 마스크를 제작하는 것을 그 과제로 한다.In the present invention, it is an object of the present invention to produce a mask which can be made finer and finer than a mesh or net used in a conventional printing electronic circuit.

종래의 메쉬 또는 망은 극히 미세한 회로를 구현시키는 것에는 한계를 가진다. Conventional meshes or networks have limitations in achieving extremely fine circuitry.

그 이유는 메쉬 또는 망에 의하여 형성이 되는 관통부를 일정 수준 이하의 크기로 만들 수가 없기 때문이다. This is because the penetration portion formed by the mesh or mesh can not be made a certain size or less.

미세한 관통부을 구성하면, 미세한 관통부가 너무나 강도가 약하기 때문에 사용을 할 수가 없는 형태가 되는 것이 문제점 이었다.If the fine penetrating portion is constituted, there is a problem that the fine penetrating portion is too weak to be used because it is too weak.

본 발명의 메탈 마스크는 메인 라인과, 상기 메인 라인을 지지하며 강도를 증가시키기 위하여 메인 라인 상부에 날개부로 구성하는 것을 특징으로 한다.The metal mask of the present invention is characterized by comprising a main line and a wing portion on the main line for supporting the main line and increasing the strength.

메인 라인에 대한 설명을 위하여, 도 1을 참고로 칼라 필터를 제작할 때 사용이 되는 메탈 마스크를 통하여 설명을 하겠다. For explanation of the main line, referring to FIG. 1, a metal mask used for fabricating a color filter will be described.

종래 RGB의 색상을 만들기 위하여 사용이 되는 칼라 필터는 메탈 마스크의 관통부를 통하여 차례로 붉은 색, 그린 색, 푸른 색을 기판에 착색시키는 것이다. The conventional color filter used for making RGB colors hues the red, green, and blue colors through the through-holes of the metal mask.

이 때 사용이 되는 메탈 마스크는 얇은 금속판에 에칭에 의하여 관통부를 구성시킨 것이다. The metal mask to be used at this time is a through-hole formed by etching a thin metal plate.

이 메탈 마스크는 동일한 평면상에 관통부가 이루어 진 메인 라인만으로 구성이 된 것이다. This metal mask is constituted by only the main line formed with the through-hole on the same plane.

본 발명에서는 동일한 평면에 관통부가 형성된 것으로서 메탈 마스크의 본체를 형성하는 것을 메인 라인으로 정의한다.In the present invention, the formation of the main body of the metal mask is defined as the main line in which the penetrating portion is formed in the same plane.

이 정의에 따라서 볼 때, 종래의 일반적인 메탈 마스크는 메인 라인으로만 구성된 메탈 마스크라 할 수가 있다.According to this definition, a conventional general metal mask can be called a metal mask composed only of main lines.

본 발명은 상기 메인 라인에 날개부를 형성한 것이다.The present invention forms a wing portion on the main line.

본 발명에서 날개부란 메탈 마스크의 상부에 위치되며, 상기 메인 라인의 일체로 구성이 되며, 상기 메인 라인의 측면으로 돌출부 형태로 구성된 것으로 정의를 한다.In the present invention, the wing portion is positioned on the upper portion of the metal mask, and is configured as an integral part of the main line, and is formed as a protrusion on the side of the main line.

날개부는 메탈 마스크가 기판에 안착되는 안료의 형상이나 안료의 두께에는 영향을 미치지 않고, 상기 메탈 마스크의 핵심이 되는 메인 라인을 튼튼히 지지하는 것이 목적이다.The aim of the wing portion is to firmly support the main line, which is the core of the metal mask, without affecting the shape of the pigment and the thickness of the pigment on which the metal mask is seated on the substrate.

본 발명은 메인 라인과 날개부를 구성한 메탈 마스크를 통하여 보다 정교하고 튼튼한 관통부를 가지는 메탈 마스크를 제작을 할 수가 있다.According to the present invention, a metal mask having a more elaborate and strong penetration portion can be manufactured through the metal mask constituting the main line and the wing portion.

인쇄를 위한 메탈 마스크는 미세한 관통부가 미세한 홈의 형태로 길이 방향으로 또는 폭 방향으로 수많이 형성이 되어져 있다. The metal mask for printing has many minute through holes formed in the form of fine grooves in the longitudinal direction or in the width direction.

종래에는 이러한 홈이나 라인들을 지지하게 위하여 메탈 마스크의 두께를 상대적으로 두껍게 하여 강도를 보강할 수밖에 없었다. Conventionally, in order to support such grooves or lines, the thickness of the metal mask has to be relatively increased to reinforce the strength.

본 발명은 미세한 홈들이나 라인들을 지지하며, 강도를 높이기 위하여 상기 홈들이나 라인들을 형성하는 메인 라인을 보강하기 위하여 날개부를 구성한 것이 특징이다.The present invention is characterized in that a wing portion is formed to support fine grooves or lines and to reinforce main lines forming the grooves or lines to increase the strength.

이러한 날개부의 작용으로 인하여, 본 발명의 메탈 마스크는 기존의 메탈 마스크의 미세한 홈이나 라인들보다 훨씬 미세하게 만들 수가 있게 된다.Due to the action of the wings, the metal mask of the present invention can be made much finer than the fine grooves or lines of the conventional metal mask.

날개부는 관통부를 막아서는 안된다. The wing should not block the penetration.

따라서 날개부의 크기는 메인 라인의 크기에 의하여 제약을 받게 된다.Therefore, the size of the wing portion is limited by the size of the main line.

예를 들면, 기존의 메탈 마스크를 구성하는 메인 라인의 선폭이 50마이크론의 크기라고 한다면, 본 발명의 날개부의 폭은 5마이크론 ~ 10 마이크론 정도가 바람직하다.For example, if the line width of the main line constituting the conventional metal mask is 50 microns, the width of the wing portion of the present invention is preferably about 5 microns to 10 microns.

이러한 날개부가 메탈 마스크의 상부에 형성되면, 메탈 마스크의 강도는 종래의 강도보도 훨씬 증가하여 지게 된다.When such a wing portion is formed on the top of the metal mask, the strength of the metal mask becomes much higher than that of the conventional strength mask.

날개부는 복잡한 다양한 형상으로 구성을 할 수가 있으나, 일반적으로 단순한 직선형태로 구성을 한다.The wing part can be configured in various complex shapes, but it is generally constructed in a simple linear shape.

즉 날개부는 형상은 임의의 선의 형태로 제작될 수가 있음을 의미한다.That is, the shape of the wing portion means that it can be produced in the form of arbitrary lines.

날개부는 메탈 마스크의 메인 라인의 상부에 위치한다. The wing portion is located above the main line of the metal mask.

또한 날개부는 메인 라인의 선폭보다 훨씬 가는 폭으로 만들어 진다.Also, the wings are made much thinner than the line width of the main line.

왜냐하면 인쇄하고자 하는 물질이 메인라인을 통하여 하부로 내려가는 것에 방해를 하면 안되기 때문이다.This is because the material to be printed should not interfere with descending through the main line.

마스크는 기판에 잉크나 안료 또는 기타 필요한 물질을 기판에 도포 또는 인쇄하기 위하여 주로 사용이 되어져 왔다. Masks have been used primarily to apply or print ink, pigment, or other necessary materials to a substrate.

즉 기판 위에 메탈 마스크를 위치시키고, 상기 메탈 마스크의 상부에서 안료를 주입하면, 메탈 마스크의 관통부를 통하여 안료가 기판에 착색되도록 하는 것이다.That is, when the metal mask is placed on the substrate and the pigment is injected in the upper portion of the metal mask, the pigment is colored on the substrate through the penetration portion of the metal mask.

이때 메인 라인의 두께와 안료의 두께는 동일하게 형성되도록 하는 것이 본 발명의 메탈 마스크의 또 다른 특징의 하나이다.Here, it is another feature of the metal mask of the present invention that the thickness of the main line and the thickness of the pigment are formed to be the same.

본 발명의 메탈 마스크의 메인 라인의 두께는 메탈 마스크를 형성할 때의 감광층의 두께를 조절하여 제작을 할 수가 있는 특징이 있다. The thickness of the main line of the metal mask of the present invention is characterized in that it can be manufactured by adjusting the thickness of the photosensitive layer when forming the metal mask.

따라서 메인 라인을 제작하는 과정에서 메인 라인의 두께를 원하는 수준으로 제작을 할 수가 있다.Therefore, it is possible to make the thickness of the main line to the desired level in the process of manufacturing the main line.

날개부는 기판 위에 놓여진 메탈 마스크의 관통부를 통하여 안료가 내려 갈 때, 안료의 내려가는 길을 방해하지 않아야만 하며, 기판으로의 안료 주입에 어떤 부정적인 영향을 끼치게 해서는 아니된다.The wing should not interfere with the descending path of the pigment when the pigment goes down through the penetration of the metal mask placed on the substrate and should not cause any adverse effects on the pigment injection into the substrate.

본 발명의 날개부는 기존의 메탈 마스크가 하는 기능에 어떠한 부작용을 초래하지 않으며, 단지 메탈 마스크의 강도를 지지하는 역할을 수행하도록 하여야 한다. The wing portion of the present invention should not cause any adverse effect on the function of the conventional metal mask, but merely perform the role of supporting the strength of the metal mask.

이러한 목적을 달성하도록 하기 위하여, 본 발명의 날개부는 반드시 메인 라인의 상부에 존재하여야만 하며, 또한 미세한 폭으로 구성되어 안료가 관통부를 통하여 기판으로 흘러가는 것에 어떠한 방해를 하지 않도록 한다. In order to achieve this object, the wings of the present invention must be present on the top of the main line, and also have a fine width so as not to interfere with the flow of the pigment through the penetration to the substrate.

종래에는 메탈 마스크의 강도의 문제로 인하여 메탈 마스크를 이루는 메인 라인의 선폭의 크기를 줄일 수 있는 한계가 있었다. There has been a limit in reducing the line width of the main line constituting the metal mask due to the problem of the strength of the metal mask.

그러나 본 발명의 날개부를 형성하므로 메탈 마스크의 메인 라인의 선폭을 미세하게 제작을 한다 하더라도 강도를 지지 할 수가 있게 되었다.However, since the wing portion of the present invention is formed, even if the line width of the main line of the metal mask is finely manufactured, it is possible to support the strength.

도 1는 메인 라인들로 구성이 된 종래의 메탈 마스크에 대한 설명도이다.
도 2는 종래의 메인 라인의 일부분에 대한 상세 설명도이다.
도 3은 본 발명의 메인 라인의 일부분에 대한 상세 설명도이다.
도 4는 날개부를 제작하는 공정의 설명도이다.
도 5는 메인 라인의 도금공정에 대한 설명도이다.
도 6는 메인 라인의 상부를 연마하여 평면을 고르게 하는 작업을 설명하는 설명도이다.
도 7은 도전성 기판으로부터의 이탈과 노광부를 화학적으로 제거하는 공정에 대한 설명도이다.
도 8는 메인 라인 도금공정 이전에 프레임을 설치하는 것을 설명하는 설명도이다.
FIG. 1 is an explanatory diagram of a conventional metal mask composed of main lines. FIG.
2 is a detailed explanatory view of a portion of a conventional main line.
3 is a detailed explanatory view of a part of the main line of the present invention.
Fig. 4 is an explanatory diagram of a step of manufacturing the blade portion.
5 is an explanatory view of the plating process of the main line.
6 is an explanatory view for explaining an operation of polishing the upper portion of the main line to flatten the plane.
Fig. 7 is an explanatory view of a step of separating from the conductive substrate and chemically removing the exposed portion.
Fig. 8 is an explanatory diagram for explaining the installation of the frame before the main line plating process.

본 발명은 도금 방법에 의한 날개부를 구비한 메탈 마스크에 대한 것이다.The present invention relates to a metal mask having a wing portion by a plating method.

본 발명은 날개부 도금공정을 행하고, 상기 날개부 도금공정 후에, 메인 라인 도금공정이 순차적으로 진행되는 것을 특징으로 한다.The present invention is characterized in that the wing portion plating process is performed and the main line plating process is sequentially performed after the wing portion plating process.

상기 날개부는 메인 라인의 상부에서 상기 메인 라인의 측면으로 돌출되며, 상기 메인 라인과 일체로 구성이 된다.The wing portion protrudes from the upper side of the main line to the side of the main line and is integrated with the main line.

본 발명에서는 메인 라인 도금공정을 시작하기 이전에 프레임을 설치하여, 메인 라인의 도금이 진행됨과 동시에 상기 프레임이 상기 메인 라인과 일체로 제합되는 것을 제작할 수가 있다.In the present invention, a frame is provided before the main line plating process is started, and the plating of the main line is progressed, and at the same time, the frame is integrally formed with the main line.

본 발명의 메탈 마스크는 메인 라인과 상기 메인 라인을 지지하는 날개부로 구성되는 것을 특징으로 한다.The metal mask of the present invention is characterized by comprising a main line and a wing for supporting the main line.

날개부는 메인 라인의 상부에서 상기 메인 라인의 측면으로 돌출되며, 상기 메인 라인과 일체로 구성된다.The wing portion protrudes from the upper side of the main line to the side of the main line and is formed integrally with the main line.

본 발명의 메탈 마스크에 이형재를 코팅하여 충진물의 이형이 잘 되도록 하는 것이 바람직하다.It is preferable that the metal mask of the present invention is coated with a release material so that the release of the fill material is good.

메탈 마스크는 미세한 홀들이나, 미세한 홈이 길이 방향으로 또는 폭 방향으로 수많은 관통부가 형성이 되어져 있다. In the metal mask, fine holes or fine grooves are formed in the longitudinal direction or in the width direction.

종래에는 이러한 홈이나 라인들을 지지하게 위하여 메탈 마스크의 두께를 상대적으로 두껍게 하여 강도를 보강할 수밖에 없었다. Conventionally, in order to support such grooves or lines, the thickness of the metal mask has to be relatively increased to reinforce the strength.

그러나 본 발명은 메탈 마스크의 상부에, 메인 라인의 강도를 보강하기 위하여 날개부를 구성한 것이 특징이다.However, the present invention is characterized in that a wing portion is formed on the upper portion of the metal mask to reinforce the strength of the main line.

이러한 날개부의 보강작용으로 인하여, 본 발명의 메탈 마스크는 기존의 메탈 마스크보다 훨씬 관통홀들을 미세하게 만들 수가 있게 된다.Due to the reinforcing action of the wing portion, the metal mask of the present invention can make the through holes finer than the conventional metal mask.

날개부는 메인 라인의 관통부를 완전히 메꾸게 하여서는 아니된다.The wing should not completely penetrate the penetration of the main line.

예를 들면, 기존의 메탈 마스크를 구성하는 조직들의 선폭이 50마이크론의 크기라고 한다면, 날개부의 폭은 5마이크론 ~ 10마이크론 정도의 돌출부로 구성을 한다. 이러한 날개부에 의하여 메탈 마스크의 강도는 종래의 강도보도 훨씬 증가하여 지게 된다.For example, if the lines constituting the conventional metal mask have a line width of 50 microns, the width of the wings is 5 to 10 microns. The strength of the metal mask is increased by the wing portion much more than the conventional strength report.

날개부는 메탈 마스크의 상부에 위치한다. The wing portion is located at the top of the metal mask.

또한 날개부는 메탈 마스크의 메인 라인의 두께보다 훨씬 얇아야 하며, 날개부는 메인 라인에 의하여 형성되는 관통부를 막아서는 안된다.Also, the wing should be much thinner than the thickness of the main line of the metal mask, and the wing should not block the penetration formed by the main line.

메탈 마스크는 기존에 기판에 잉크나 안료 또는 기타 필요한 물질을 도포하게 주로 사용이 되어져 왔다. Metal masks have been used primarily to apply ink, pigments or other necessary materials to substrates.

즉 기판 위에 메탈 마스크를 위치시키고, 메탈 마스크의 상부에서 안료를 주입하면 메탈 마스크의 관통부를 통하여 상기 안료가 기판에 묻도록 하는 것이다.That is, when a metal mask is placed on a substrate and a pigment is injected from the top of the metal mask, the pigment is allowed to adhere to the substrate through the penetration of the metal mask.

본 발명의 날개부는 종래의 이러한 메탈 마스크의 기능에 어떠한 장애를 주지 않도록 만들어 져야만 한다. 즉 날개부는 기판 위에 놓여진 메탈 마스크의 관통부를 통하여 안료가 내려 갈 때, 안료의 내려가는 길을 방해하지 않아야만 하며, 날개부가 존재하므로 인한 기판에의 안료 주입에 어떤 악영향을 끼치게 해서는 아니된다.The wings of the present invention must be made so as not to impair any function of the conventional metal mask. That is, the wing should not interfere with the descending path of the pigment when the pigment goes down through the penetration of the metal mask placed on the substrate and should not cause any adverse effects on the pigment injection into the substrate due to the presence of the wing.

본 발명의 날개부는 기존의 메탈 마스크가 하는 기능에 어떠한 부작용을 초래하지 않으며, 단지 메탈 마스크의 강도를 지지하는 역할을 수행하도록 하여야 한다. The wing portion of the present invention should not cause any adverse effect on the function of the conventional metal mask, but merely perform the role of supporting the strength of the metal mask.

이러한 목적을 달성하도록 하기 위하여 본 발명의 날개부는 반드시 메탈 마스크의 상부에 존재하여야만 하며, 또한 날개부의 폭이 너무 넓지 않게 구성하여 안료가 기판으로 흘러가는 것에 어떠한 방해를 하지 않도록 한다. In order to achieve this object, the wing portion of the present invention must be located on the top of the metal mask, and the width of the wing portion is not too wide so that the pigment does not interfere with the flow of the pigment to the substrate.

본 발명에서와 같은 날개부를 가지는 메탈 마스크는 메탈 마스크의 선폭의 크기를 종래의 메탈 마스크의 선폭에 비하여 현격하게 미세하게 만들 수가 있게 된다. The metal mask having the wing portion as in the present invention can significantly reduce the line width of the metal mask compared to the line width of the conventional metal mask.

종래에는 메탈 마스크의 강도의 문제로 인하여 메탈 마스크의 선폭의 크기를 줄일 수 있는 한계가 있었다. There has been a limitation in reducing the line width of the metal mask due to the problem of the strength of the metal mask.

그러나 본 발명의 날개부를 형성하므로 메탈 마스크의 선폭을 아무리 미세하게 제작을 한다 하더라도 강도를 지지 할 수가 있게 되었다.However, since the wing portion of the present invention is formed, it is possible to support the strength even if the line width of the metal mask is made finely.

그러므로 종래에 메탈 마스크를 통하여 작업이 불가능한 미세영역까지 본 발명을 통하여서는 가능케 되었다. Therefore, it has been possible through the present invention to a fine region which can not be processed through a metal mask in the past.

종래의 메탈 마스크를 통하여 실버페이스트를 기판에 인쇄하여 오던 인쇄전자회로 기술 분야에 있어서, 본 발명으로 인하여 획기적인 발전이 가능하게 되었다.The inventors of the present invention have made remarkable progress in the field of the printing electronic circuit technology in which the silver paste is printed on the substrate through the conventional metal mask.

즉 종래에는 메탈 마스크의 선폭의 크기가 굵을 수밖에 없었으므로 종래의 인쇄전자 기술로는 미세한 도전성 라인을 만드는 것에 한계가 있었다.That is, conventionally, since the line width of the metal mask is inevitably large, conventional printing electronic technology has a limitation in making a minute conductive line.

그러나 본 발명의 날개부를 구성한 메탈 마스크를 사용하게 되므로 실버페이스트를 사용하는 인쇄전자회로 기술 분야에는 획기적인 발전이 예상된다. However, since the metal mask constituting the wing portion of the present invention is used, a remarkable development is expected in the field of printed circuit technology using silver paste.

즉 종래의 메탈 마스크를 사용하여 기존에 30~40마이크론의 선폭을 가지는 도전성 회로를 구현 하였다면, 본 발명으로 인하여 10 마이크론 또는 그 이하의 도전성 회로를 메탈 마스크를 통하여 구현을 할 수가 있게 되었다.That is, if a conductive circuit having a line width of 30 to 40 microns is implemented using a conventional metal mask, the conductive circuit of 10 microns or less can be realized through the metal mask.

또한 본 발명을 사용하면 인쇄되는 도전성 금속의 두께를 어느정도의 범주내에서는 제한 없이 두껍게 만들 수가 있는 장점을 제공한다.The present invention also provides the advantage that the thickness of the conductive metal to be printed can be made thick without limitation within a certain range.

즉, 메탈마스크의 두께는 도금에 의하여 결정이 되므로 메탈마스크의 두께는 감광재의 높이를 조절하므로써 융통성 있게 조절이 가능하다. That is, since the thickness of the metal mask is determined by plating, the thickness of the metal mask can be flexibly adjusted by adjusting the height of the photosensitive material.

도 1과 같은 종래의 메탈 마스크는 주로 에칭에 의하여 가공이 되어졌다. The conventional metal mask as shown in Fig. 1 was mainly processed by etching.

그러나 본 발명은 에칭에 의한 가공방법을 취하지 않고 감광재의 비노광부를 제거한 공간부에 도금을 실시하는 방법을 취하므로서 메탈 마스크의 선폭을 수 미크론의 크기로도 얼마든지 용이하게 제작을 할 수가 있는 특징이 있다.However, the present invention adopts a method of performing plating on the space portion from which the unexposed portion of the photosensitive material is removed without taking a processing method by etching, so that the line width of the metal mask can be easily manufactured even with a size of several microns .

전자기술의 발달에 따라서, 해상도를 높이기 위한 노력은 꾸준히 진행이 되고 있다. 디스플레이의 해상도를 높이기 위하여, 즉 화소의 수를 늘리기 위하여, RGB의 색소를 주입하기 위한 관통부의 크기가 작아져야만 한다. With the development of electronic technology, efforts to increase the resolution are progressing steadily. In order to increase the resolution of the display, that is, to increase the number of pixels, the size of the penetration portion for injecting the RGB colorant must be small.

그러나 종래에는 에칭에 의한 가공법으로는 관통부의 가공에 한계를 가지게 되었다. However, in the conventional etching method, the through-hole processing has a limitation.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하고 관통부의 크기를 수미크론의 크기까지 만들며, 또한 메탈마스크의 두께는 얼마든지 증가를 시킬 수가 있어서 메탈마스크의 강도를 충분히 유지를 할 수가 있게 한다. The present invention solves this problem and makes the size of the penetration portion up to several microns, and the thickness of the metal mask can be increased as much as possible, so that the strength of the metal mask can be sufficiently maintained.

또한 날개부를 구성하므로써 메탈 마스크의 강도는 얼마든지 유지를 시킬 수가 있게 된다.Also, the strength of the metal mask can be maintained by forming the wing portion.

도 1는 메인 라인들로 구성이 된 종래의 메탈 마스크에 대한 설명도이다. FIG. 1 is an explanatory diagram of a conventional metal mask composed of main lines. FIG.

종래의 메탈 마스크(1)는 얇은 판재에 관통부(2)를 다수 형성한 다양한 형상으로 제작이 된다. The conventional metal mask 1 is manufactured in various shapes in which a plurality of through-holes 2 are formed in a thin plate material.

종래의 메탈 마스크는 관통부를 제외한 부분은 모두 동일 평면상에 존재하게 된다. In the conventional metal mask, all the portions except the penetration portions are present on the same plane.

본 발명에서는 메탈 마스크에서 동일 평면상에 있는 것으로서 관통부를 제외한 부분을 메인 라인(3)이라고 정의를 한다.In the present invention, a portion of the metal mask which is on the same plane, excluding the penetration portion, is defined as a main line 3.

기존의 메탈 마스크는 메인 라인들로만 구성이 된다.Existing metal masks consist of main lines only.

기존의 메탈 마스크의 메인 라인은 동일 평면상에 같은 두께로 존재한다. The main lines of the conventional metal mask exist in the same thickness on the same plane.

메인 라인은 가로방향, 세로방향, 가로세로 방향 등 임의의 형상으로 구성이 된다. The main line is configured in any shape such as a horizontal direction, a vertical direction, and a horizontal and vertical direction.

종래의 메탈 마스크는 주로 얇은 메탈 판재에 에칭에 의하여 각종 형상의 관통부가 구성이 된 형상으로 되어져 있다. The conventional metal mask is formed into a shape in which a thin metal plate material is constituted by penetration of various shapes by etching.

관통부를 통하여 RGB의 색상이나 각종 안료가 기판 위에 필요에 따라 그려지게 된다.RGB colors and various pigments are drawn on the substrate as needed through the through-holes.

관통부의 크기가 미세할수록 디스플레이 장치에서는 해상도가 높은 제품을 만들 수가 있다.The smaller the size of the penetration portion, the higher the resolution of the display device.

도 2는 종래의 메인 라인의 일부분에 대한 상세 설명도이다.2 is a detailed explanatory view of a portion of a conventional main line.

메인 라인은 일정한 두께를 가지며, 선들(4,5)이 서로 연결이 되어져 있는 형태이다.The main line has a constant thickness, and the lines 4,5 are connected to each other.

메일 라인은 관통부(6)를 가진다.The mail line has a penetrating portion (6).

도 3은 본 발명의 메인 라인의 일부분에 대한 상세 설명도이다.3 is a detailed explanatory view of a part of the main line of the present invention.

본 발명에서는 메탈 마스크를 구성하는 메인 라인을 지지하기 위하여, 메인 라인의 상부에 도금에 의하여 메인 라인과 일체로 되는 날개부(7,8,9,10,11)를 구성한다.In the present invention, the wing portions (7, 8, 9, 10, 11) which are integrated with the main line by plating are formed on the main line in order to support the main line constituting the metal mask.

메탈 마스크에는 미세한 홀들이나, 미세한 홈이 길이 방향으로 또는 폭 방향으로 동일 평면상에 관통부로서 수많이 형성이 되어져 있다. In the metal mask, fine holes or fine grooves are formed in the longitudinal direction or on the same plane in the width direction as many as penetration portions.

종래에는 이러한 홈이나 라인들을 지지하게 위하여 메탈 마스크의 두께를 상대적으로 두껍게 하여 강도를 보강할 수밖에 없었다. Conventionally, in order to support such grooves or lines, the thickness of the metal mask has to be relatively increased to reinforce the strength.

본 발명은 종래의 이러한 메탈 마스크의 상부에, 메인 라인의 강도를 지지하는 날개부를 구성한 것이 특징이다.The present invention is characterized in that a wing portion for supporting the strength of the main line is formed on the upper portion of the conventional metal mask.

이러한 날개부의 작용으로 인하여 본 발명의 메탈 마스크는 기존의 메탈 마스크에 비하여 관통부 즉 미세한 홈이나 라인들보다 훨씬 미세하게 만들 수가 있게 된다.Due to the action of the wings, the metal mask of the present invention can be made much finer than the penetrating portion, that is, fine grooves or lines, as compared with the conventional metal mask.

본 발명은 메탈 마스크의 메인 라인 상부에, 메인 라인에서 돌출되는 날개부를 구성한 것이 특징이다. The present invention is characterized in that a wing portion protruding from the main line is formed on the main line of the metal mask.

날개부는 메인 라인을 지지한다.The wing portion supports the main line.

이러한 날개부의 작용으로 인하여 본 발명의 메탈 마스크는 기존의 메탈 마스크보다 관통부의 크기를 작게 할 수가 있으며, 메인 라인의 선폭을 훨씬 미세하게 만들 수가 있게 된다.Due to the action of the wing portion, the metal mask of the present invention can reduce the size of the penetration portion and can make the line width of the main line much finer than the conventional metal mask.

본 발명에서 날개부의 크기는 메인 라인의 크기보다 작아야 한다.In the present invention, the size of the wing should be smaller than the size of the main line.

예를 들면, 기존의 메탈 마스크를 구성하는 조직들의 선폭이 50마이크론의 크기라고 한다면, 날개부의 선폭은 5마이크론 ~ 10마이크론 정도의 미세한 선폭으로 구성을 한다. For example, if the lines constituting the conventional metal mask have a line width of 50 microns, the line width of the wing portion is formed by a fine line width of about 5 microns to 10 microns.

이러한 날개부들이 메탈 마스크의 메인 라인 상부에 메인 라인의 측부로 돌출되어 형성되면, 메탈 마스크의 강도는 훨씬 증가하여 지게 된다.When these wings are formed protruding to the side of the main line above the main line of the metal mask, the strength of the metal mask is greatly increased.

도 4는 날개부를 제작하는 공정의 설명도이다.Fig. 4 is an explanatory diagram of a step of manufacturing the blade portion.

먼저 도전체 기판(13)에 감광재(12)를 균일하게 도포하는 감광재 도포공정에 대한 설명도이다.First, a description will be given of a photosensitive material application step of uniformly applying the photosensitive material 12 to the conductor substrate 13.

도전체 기판(13)에 감광재(12)를 균일하게 도포한다.The photosensitive material 12 is uniformly coated on the conductor substrate 13. [

도전체 기판은 경면을 가지는 스테인레스 판재도 가능하며, 유리와 필름 등과 같은 기판의 상부에 도전성 금속으로 스파트링 층을 형성하여 도전체 기판으로 제작을 할 수가 있다. 물론 상기 스파트링 층 위에 다시 도금층을 형성을 할 수가 있다.The conductive substrate may be a stainless steel plate having a mirror surface, and a sputtering layer may be formed of a conductive metal on a substrate such as a glass and a film to form a conductive substrate. Of course, the plating layer can be formed again on the sputtering layer.

투명부와 불투명부로 구성이 되는 날개부를 형성하기 위한 패턴 필름에 빛을 조사하여 감광재를 노광시킨다.The photographic material is exposed by irradiating light onto a pattern film for forming a wing portion composed of a transparent portion and an opaque portion.

노광부(14)와 비노광부가 형성된다. An exposed portion 14 and an unexposed portion are formed.

상기 비노광부를 화학적으로 제거하여 공간부(15)를 만든다.And the unexposed portion is chemically removed to form the space portion 15. [

상기 공간부에 도금을 실시하여 날개부(16)를 만든다.The space portion is plated to form a wing portion 16.

상기 날개부의 도금층의 높이는 노광부의 높이와 같도록 성장시킨다.The height of the plating layer of the wing portion is made to be equal to the height of the exposure portion.

도 5는 메인 라인의 도금공정에 대한 설명도이다.5 is an explanatory view of the plating process of the main line.

노광부와 날개부로 구성된 평면위에 재차 감광재(17)를 균일하게 도포한다.And the photosensitive material 17 is applied uniformly on the plane composed of the exposed portion and the wing portion.

이때의 감광재의 두께는 메인 라인의 두께와 동일한 두께로 한다.The thickness of the photosensitive material at this time is set to be equal to the thickness of the main line.

투명부와 불투명부로 구성이 되는 메인 라인의 형성을 위한 패턴 필름에 빛을 조사하여 상기 감광재를 노광시킨다.The photosensitive material is exposed to light by irradiating a pattern film for forming a main line composed of a transparent part and an opaque part.

노광부(19)와 비노광부가 형성된다. An exposed portion 19 and an unexposed portion are formed.

상기 비노광부를 화학적으로 제거하여 공간부(18)를 만든다.The unexposed portion is chemically removed to form the space portion 18.

상기 공간부에 도금을 실시하여 도금부(20)를 성장시킨다.The space portion is plated to grow the plating portion 20.

상기 도금부가 노광부의 높이와 같도록 성장이 되면, 상기 도금부는 메인 라인이 된다.When the plating portion grows to be equal to the height of the exposure portion, the plating portion becomes the main line.

도 6는 메인 라인의 상부를 연마하여 평면을 고르게 하는 작업을 설명하는 설명도이다.6 is an explanatory view for explaining an operation of polishing the upper portion of the main line to flatten the plane.

메인 라인 도금공정 이후, 연마공정으로 표면을 매끈하게 하는 것이 필요할 경우가 있다.After the main line plating process, it may be necessary to smooth the surface with a polishing process.

메탈 마스크의 표면을 깨끗하게 하기 위하여, 노광부 사이에 성장된 메인 라인의 도금부를 연마하는 것이 바람직하다. In order to clean the surface of the metal mask, it is preferable to polish the plated portion of the main line grown between the exposed portions.

즉 노광부와 도금부가 일체로 형성된 상태에서 연마휠(21)이나 연마장치를 통하여 평면연마를 하면 메탈 마스크의 표면이 깨끗하게 처리가 된다.That is, when the surface is polished through the polishing wheel 21 or the polishing apparatus in a state where the exposure unit and the plating unit are integrally formed, the surface of the metal mask is cleanly treated.

도 7은 도전성 기판으로부터의 이탈과 노광부를 화학적으로 제거하는 공정에 대한 설명도이다.Fig. 7 is an explanatory view of a step of separating from the conductive substrate and chemically removing the exposed portion.

이탈 후에 노광부를 제거하거나, 노광부를 제거한 후에 이탈을 시킬 수가 있다.It is possible to remove the exposed portion after removal or to remove the exposed portion.

관통부(23)이 형성된 메인 라인(24)이 있으며, 상기 메인 라인의 상부에는 메인 라인의 측면으로 돌출부가 날개부(22)로 형성이 된다.A main line 24 having a penetrating portion 23 is formed and a protruding portion is formed as a wing portion 22 on an upper side of the main line.

본 발명의 메탈 마스크를 완성하기 위하여, 도금부를 도전체 기판으로부터 이탈을 시키며, 모든 노광부를 화학적으로 제거한다.In order to complete the metal mask of the present invention, the plating portion is detached from the conductive substrate, and all the exposed portions are chemically removed.

노광부와 도금층이 혼재하고 있는 상태에서, 노광부만을 화학적으로 제거하면, 노광부가 있던 장소는 모두 관통부가 된다. When only the exposed portion is chemically removed in the state where the exposed portion and the plated layer are mixed, all the exposed portions are penetrated.

메인 라인과 날개부로 구성되는 메탈 마스크를 먼저 도전체 기판으로부터 이탈시키고 나서, 그 후에 노광부를 제거하는 방법이 있다.There is a method in which the metal mask composed of the main line and the wing portion is first detached from the conductive substrate and then the exposed portion is removed.

또는 이탈을 시키기 이전에 노광부를 제거하는 방법도 가능하다.Alternatively, a method of removing the exposed portion before releasing is also possible.

이 과정을 거치고 나면, 날개부가 형성된 메탈 마스크가 완성된다. After this process, the metal mask on which the wing portion is formed is completed.

이 메탈 마스크는 메인 라인(24)과 날개부(22)로 구성이 된다.The metal mask is composed of a main line 24 and a wing portion 22.

본 발명에서 도전체 기판에 이형재를 도포하여 성장이 된 메탈 마스크를 도전체 기판으로부터 용이하게 이탈 시키도록 할 수가 있다. In the present invention, it is possible to apply the releasing material to the conductor substrate to easily remove the grown metal mask from the conductor substrate.

이형을 원활히 하기 위한 목적으로 도전체 기판에 이형재를 도포하는 이형재 도포공정을 포함을 할 수도 있다.And a releasing material applying step of applying a releasing material to the conductor substrate for the purpose of smoothly releasing the releasing material.

본 발명에서 메탈 마스크를 도전체 기판으로부터 이탈시킨 후, 메탈 마스크의 전체에 걸쳐서 이형재를 코팅시키는 것이 바람직하다.In the present invention, after releasing the metal mask from the conductor substrate, it is preferable to coat the release material over the entire metal mask.

메탈 마스크를 통하여 안료 등이 원활하게 메탈 마스크의 하부에 있는 기판으로 흘러가도록 하고, 상기 메탈 마스크에는 안료 등이 묻지 않도록 하기 위함이다. The pigment or the like smoothly flows through the metal mask to the substrate below the metal mask, and the metal mask is prevented from adhering to the pigment.

도 8는 메인 라인 도금공정 이전에 프레임을 설치하는 것을 설명하는 설명도이다. Fig. 8 is an explanatory diagram for explaining the installation of the frame before the main line plating process.

메인 라인 도금공정 이전에 프레임을 설치하는 것이 중요하다.It is important to install the frame before the main line plating process.

메인 라인의 도금공정 이전에 프레임(25)을 노광부와 공간부에 걸쳐서 설치한다. The frame 25 is installed over the exposure part and the space part before the plating process of the main line.

그 후, 도금작업을 통하여 메인 라인과 프레임이 도금에 의하여 일체로 결합되게 한다.Thereafter, the main line and the frame are integrated by plating through the plating operation.

메인 라인이 도금에 의하여 형성이 되는 것과 동시에, 상기 프레임이 메탈마스크와 일체로 결합된다.At the same time that the main line is formed by plating, the frame is integrated with the metal mask.

기존에는 메탈 마스크를 완성시킨 뒤, 메탈 마스크를 지지하는 프레임을 별도로 만들어 장착을 한다. Previously, after completing the metal mask, the frame supporting the metal mask is separately prepared and mounted.

그러나 본 발명에서는 프레임을 본 발명의 도금공정 중에 같이 형성이 될 수가 있도록 할 수가 있다. However, in the present invention, the frame can be formed so as to be formed during the plating process of the present invention.

즉 본 발명에서는 도금공정 이전에 프레임(25)을 도전체 기판의 상부에 위치시키고, 노광부 사이에 형성되어진 공간부에서 메인 라인이 도금되어질 때, 동시에 프레임과 도금부가 견고히 결합이 되도록 하는 것이다.That is, in the present invention, the frame 25 is positioned above the conductive substrate before the plating process, and when the main line is plated in the space portion formed between the exposed portions, the frame and the plating portion are firmly coupled at the same time.

이 같이 결합된 프레임(25)과 메탈 마스크를 도전체 기판으로부터 이탈 시키게 되면, 별도의 프레임 결합작업이 필요가 없게 된다.If the frame 25 and the metal mask are separated from the conductive substrate, a separate frame bonding operation is not required.

본 발명에서는 메인 라인을 제작하기 위하여 감광부를 노광시키는 노광공정에서 노광부를 테이퍼지게 노광시킬 수가 있다.In the present invention, in order to manufacture the main line, the exposure unit can be exposed in a tapered manner in an exposure process in which the photosensitive unit is exposed.

메탈 마스크의 메인 라인에 형성된 관통부를 통하여 RGB 등의 색소가 잘 관통하도록 하기 위하여서, 관통부를 구성하는 도금부들이 테이퍼를 갖도록 하는 것이 바람직하다. It is preferable that the plating portions constituting the penetrating portion have a taper so that the dye such as RGB can penetrate through the penetrating portion formed in the main line of the metal mask.

즉 테이퍼를 형성한 관통부를 형성하는 것이 바람직하다. That is, it is preferable to form a penetrating portion having a taper.

노광부가 테이퍼의 형상을 지니도록 하기 위하여서는 노광기를 통하여 빛을 조사시킬 때, 얼마든지 빛을 조절하여 이러한 테이퍼 형상의 노광부를 구성을 할 수가 있다. When the light is irradiated through the exposing unit in order to have the shape of the taper of the exposure unit, it is possible to configure the exposing unit of such a taper shape by adjusting the light as much as possible.

테이퍼의 형상으로 노광부가 형성되면, 성장이 된 도금부는 역테이퍼 형상을 가지게 된다.When the exposed portion is formed in a tapered shape, the grown plating portion has a reverse tapered shape.

본 발명에서 날개부의 폭은 메인 라인의 선폭의 크기보다 훨씬 가늘게 구성을 하는 것이 바람직하다. In the present invention, it is preferable that the width of the wings is much narrower than the line width of the main line.

메탈 마스크를 통하여 안료 등을 주입할 때, 안료 등이 메탈 마스크에서 잘 이형을 되도록 하기 위하여, 마스크 또는 메탈 마스크에 이형재 코팅을 할 수가 있다.When a pigment or the like is injected through a metal mask, a releasing material coating may be applied to the mask or the metal mask so that the pigment or the like can be easily released from the metal mask.

또한 메인 라인이 역테이퍼의 형상을 갖도록 하여 안료 등이 잘 빠져 나가도록 할 수가 있다.In addition, the main line has a reverse taper shape so that the pigment and the like can easily escape.

본 발명은, 이상에서 설명한 제작방법으로 만들어진 것을 특징으로 하는 날개부를 가지는 메탈 메스크 역시 본 발명의 대상으로 한다.The present invention is also directed to a metal mesh having a wing portion which is made by the manufacturing method described above.

본 발명은, 본 발명에 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환 변형이 가능하므로 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것은 아니다. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined by the appended claims. .

1 : 메탈 마스크
2 : 관통부
3 : 메인 라인
4,5 : 선
6 : 관통부
7,8,9,10,11 : 날개부
12 : 감광재
13 : 도전체 기판
14 : 노광부
15 : 공간부
16 : 날개부
17 : 감광재
18 : 공간부
19 : 노광부
20 : 도금부
21 : 연마휠
22 : 날개부
23 : 관통부
24 : 메인 라인
25 : 프레임
1: Metal mask
2:
3: Main line
4,5: Line
6:
7, 8, 9, 10, 11:
12: Photosensitive material
13: conductor substrate
14:
15:
16: wing portion
17: Photosensitive material
18:
19: Exposure
20:
21: Grinding wheel
22: wing portion
23:
24: Main line
25: Frame

Claims (9)

도금 방법에 의한 메탈 마스크의 제작방법에 있어서,
상기 메탈 마스크는 날개부 도금공정을 행하고;
상기 날개부 도금공정 후에, 메인 라인 도금공정이 순차적으로 진행되는 것을 특징으로 하는 날개부를 구비한 메탈 마스크의 제작방법.
In the method for fabricating a metal mask by a plating method,
The metal mask is subjected to a blade plating process;
Wherein the main line plating process is sequentially performed after the wing portion plating process.
제 1항에 있어서,
상기 날개부는 메인 라인의 상부에서 상기 메인 라인의 측면으로 돌출되며, 상기 메인 라인과 일체로 구성이 되는 것을 특징으로 하는 날개부를 구비한 메탈 마스크의 제작방법.
The method according to claim 1,
Wherein the wing portion protrudes from the upper side of the main line to the side of the main line and is integrally formed with the main line.
제 1항에 있어서,
상기 메탈 마스크에 이형재를 코팅한 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 날개부를 구비한 메탈 마스크의 제작방법.
The method according to claim 1,
Wherein the metal mask is formed by coating a release material on the metal mask.
제 1항에 있어서 날개부의 제작방법은,
도전체 기판에 감광재를 균일하게 도포하는 감광재 도포공정과;
투명부와 불투명부로 구성이 되는 필름에 빛을 조사하여 감광재를 노광시키는 노광공정과;
비노광부를 화학적으로 제거하여 공간부를 형성하는 공간부 형성공정과;
도금조에서 도전체 기판에 전기를 가하여, 상기 공간부에 도금을 실행하여 도금부가 노광부의 높이만큼 성장되는 도금공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 날개부를 구비한 메탈 마스크의 제작방법.
The method of manufacturing a blade according to claim 1,
A photosensitive material applying step of uniformly applying a photosensitive material to a conductor substrate;
An exposure step of exposing a photosensitive material by irradiating light onto a film composed of a transparent part and a non-transparent part;
A space portion forming step of chemically removing the unexposed portion to form a space portion;
And a plating step in which electricity is applied to the conductive substrate in the plating bath to perform plating on the space to grow the plating part by the height of the exposed part.
제 1항에 있어서의 메인 라인의 제작방법은,
날개부와 노광부의 상부에 감광재를 균일하게 도포하는 감광재 도포공정과;
투명부와 불투명부로 구성이 되는 필름에 빛을 조사하여 감광재를 노광시키는 노광공정과;
비노광부를 화학적으로 제거하여 공간부를 형성하는 공간부 형성공정과;
도금조에서 도전체 기판에 전기를 가하여, 상기 공간부에 도금을 실행하여 도금부가 노광부의 높이만큼 성장되는 도금공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 날개부를 구비한 메탈 마스크의 제작방법.
A manufacturing method of a main line according to claim 1,
A photosensitive material applying step of uniformly applying a photosensitive material to the upper portion of the wing portion and the exposed portion;
An exposure step of exposing a photosensitive material by irradiating light onto a film composed of a transparent part and a non-transparent part;
A space portion forming step of chemically removing the unexposed portion to form a space portion;
And a plating step in which electricity is applied to the conductive substrate in the plating bath to perform plating on the space to grow the plating part by the height of the exposed part.
제 1항에 있어서,
메인 라인을 형성시킨 이후에, 표면을 매끈하게 연마하는 연마공정이 포함되는 것을 특징으로 하는 날개부를 구비한 메탈 마스크의 제작방법.
The method according to claim 1,
Wherein the polishing step includes a polishing step of smoothly polishing the surface after the main line is formed.
제 5항에 있어서,
메인 라인을 형성하기 위한 노광공정에서 노광부를 테이퍼지게 노광시키는 것을 특징으로 하는 날개부를 구비한 메탈 마스크의 제작방법.
6. The method of claim 5,
Wherein the step of exposing the exposed portion in a tentering step for forming the main line is performed in a tapered manner.
제 5항에 있어서,
메인 라인 도금공정을 시작하기 이전에 프레임을 설치하며;
상기 메인 라인의 도금이 진행됨과 동시에 상기 프레임이 상기 메인 라인과 일체로 결합되는 것을 특징으로 하는 날개부를 구비한 메탈 마스크의 제작방법.
6. The method of claim 5,
Installing a frame prior to starting the main line plating process;
Wherein the main line is plated and the frame is integrally coupled with the main line.
제 1항에서 제 8항의 어느 한 항에 의한 방법으로 제작된 것을 특징으로 하는 날개부를 구비한 메탈 마스크.9. A metal mask comprising a blade according to any one of claims 1 to 8.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20210114884A (en) * 2020-03-11 2021-09-24 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 Deposition mask and method for manufacturing deposition mask

Cited By (1)

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KR20210114884A (en) * 2020-03-11 2021-09-24 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 Deposition mask and method for manufacturing deposition mask

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