KR20140026116A - 분리막 세척기능을 갖는 수처리 장치 및 수처리 장치의 분리막 세척방법 - Google Patents

분리막 세척기능을 갖는 수처리 장치 및 수처리 장치의 분리막 세척방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 분리막 세척기능을 갖는 수처리 장치 및 수처리 장치의 분리막 세척방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 분리막의 오염 속도를 현저히 감소시킴에 따라 분리막 세정이 필요한 막간 차압의 도달 속도를 늦추고 분리막 세정 주기를 길어지게 하며, 분리막의 세정주기가 길어짐에 따라서 분리막의 수명을 증가시키고 정수처리 운전효율을 향상시킬 수 있는 수처리 장치를 제공할 수 있다. 또한, 분리막 역세척 효율을 향상시켜 투과유속의 회복 속도를 증가시킬 수 있는 분리막 생물반응조(Membrane bio-reactor) 수처리 장치를 제공할 수 있다.

Description

분리막 세척기능을 갖는 수처리 장치 및 수처리 장치의 분리막 세척방법{Water treatment apparatus having membrane cleaning function and method for cleaning membrane of water treatment apparatus}
본 발명은 분리막 세척기능을 갖는 수처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하, 폐수 처리에 있어서 분리막의 오염 속도를 현저히 감소시킬 수 있는 기능을 가진 수처리 장치 및 수처리 장치의 분리막 세척 방법에 관한 것이다.
근래에 들어 수자원의 부족과 적정 수준으로 처리되지 않고 배출되는 오폐수로 인한 수질오염이 심각한 문제가 되고 있다. 하수 처리시설의 수질 기준을 만족하기 위하여 다양한 공정들이 제안되고 있는데, 질소, 인의 처리에 있어 미생물의 상태를 혐기, 무산소, 호기 조건의 다단계 공정을 거침으로써 유입되는 하수 및 오폐수의 유기물 및 영양염류를 처리하는 공정이 통상적으로 쓰이고 있다. 혐기 상태에서는 인이 방출되며, 방출된 인은 호기 조건에서 미생물이 증식함에 따라 과잉섭취(luxury uptake)되고 공정에서 잉여 슬러지가 반출됨으로 인해 제거된다. 호기상태에서는 상기한 바와 같이 미생물이 증식하며 인이 과잉 섭취되고 유기물이 산화됨과 동시에 암모니아 형태의 질소성분이 아질산성 질소(NO2 -, Nitrite)형태를 거쳐 질산성 질소(NO3 -, Nitrate)로 전환하게 된다. 이렇게 전환된 질소성분은 내부반송을 통해 무산소조로 유입되어 무산소 상태에서 질소가스(N2)로 환원되어 대기 중으로 소멸된다. 이러한 공정의 경우에 있어서 최종 처리수를 생산하기 위한 마지막 단계로 침전조를 거치는데 활성 슬러지의 침강성에 의한 처리수 악화가 문제되었다.
이러한 활성 슬러지의 침강성에 의한 처리수 수질 악화 현상을 방지하기 위하여, 1980년대 이후로 미생물과 처리수의 분리를 위한 막여과 공정이 도입되었다. 막여과 공정은 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 폴리술폰(PSf), 폴리이서술폰(PES), PVDF 등을 재질로 하며, 표면에 수 Da(Dalton) ~ 수십만 Da(Dalton)의 공경을 갖는 평판형태 또는 중공사 형태로 제작된 분리막을 이용하는 공정이다.
분리막은 그 특성상 공경보다 큰 입자성 물질의 통과를 완전하게 배제시킬 수 있다. 이러한 특성으로 인해 막 여과 공정이 하수 및 오폐수 처리 공정에 도입되었을 때, 활성 슬러지의 침강성과 관계없이 입자성 물질을 완벽하게 제거할 수 있으므로, 항시 안정적인 처리수를 보장할 수 있다. 또한, 종래의 물리화학적 또는 생물학적 수처리 공정과 비교하여 작은 부지를 통해 보다 많은 양의 하수 및 오폐수의 처리를 가능하게 한다. 이와 같은 공정을 통상적으로 MBR(Membrane Bio-Reactor)공정이라고 하며, 이러한 장점에 따라 현재 MBR 공정은 전 세계적으로 가동 중에 있으며, 그 보급 및 연구가 활발하게 진행되고 있다.
그러나 높은 농도로 유입되는 활성 슬러지는 시간이 지나면서 막 표면에 축적되어 분리막 오염(fouling)의 문제를 야기시키게 되는데, 오염물질이 축적됨에 따라 분리막의 여과 압력은 상승하게 된다. 여과압력의 상승은 투수도 감소, 분리막의 수명단축 및 여과에 필요한 에너지 소비량 증가 등 처리수 생산효율을 저감시키게 되므로 분리막의 운전 차압이 일정 수준 이상이 되면 세척을 수행하여 분리막에 축적된 오염물질들을 세정하여야 한다. 분리막 세정방법으로는 약품을 이용하여 분리막을 세정하거나 분리막에 고압의 세정수를 분사하는 방법이 사용된다.
그러나 종래에는 단시간의 MBR 공정에도 분리막 오염이 빠르게 발생하여 막간차압이 빠르게 상승하고 역세척 등의 분리막 세정 주기가 짧아지는 문제점이 있었다. 이와 같이 분리막 세정을 짧은 주기로 반복 할수록 분리막의 수명이 단축되며, 그에 따라 분리막의 교환 주기가 짧아지게 된다. 또한, 분리막 세정을 위해서는 수처리 장치의 작동을 중단시켜야 하므로 그에 따라 정수처리 효율이 감소하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 분리막 생물반응조에 있어서 분리막의 오염 속도를 현저히 감소시켜 분리막 세정 주기를 길어지게 함으로써 분리막의 수명을 증가시키고 정수처리 운전효율을 증가시킬 수 있을 뿐 아니라 분리막 역세척 효율을 향상시켜 투과유속의 회복 속도를 증가시킬 수 있는 분리막 생물반응조(Membrane bio-reactor) 수처리 장치를 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명은,
금속 중공사막 모듈을 포함하는 MBR(Membrane Bio-Reactor) 수처리 장치에 있어서, 상기 금속 중공사막 모듈 내부의 금속 중공사 분리막에 초음파 발진기가 직접 연결된 것을 특징으로 하는 수처리 장치를 제공한다.
본 발명의 바람직한 일실시예에 따르면, 상기 수처리 장치는 하나 이상의 수조를 포함하며, 상기 금속 중공사막 모듈은 적어도 하나의 수조에 침지될 수 있다.
본 발명의 바람직한 다른 일실시예에 따르면, 상기 하나 이상의 수조는 순차적으로 연결된 혐기조, 무산소조 및 호기조를 포함하며, 상기 금속 중공사막 모듈은 호기조 내에 침지될 수 있다.
본 발명의 바람직한 또 다른 일실시예에 따르면, 상기 하나 이상의 수조는 혐기조, 무산소조 및 호기조를 포함하는 생물반응조; 및 상기 생물반응조에 연결된 막분리조를 포함하며, 상기 금속 중공사막 모듈은 막분리조 내에 침지될 수 있다.
본 발명의 바람직한 다른 일실시예에 따르면, 상기 수처리 장치는 하나 이상의 수조를 포함하며, 상기 금속 중공사막 모듈은 상기 수조 외부에 연결될 수 있다.
본 발명의 바람직한 또 다른 일실시예에 따르면, 상기 초음파 발진기는 금속 중공사막 모듈 외부 또는 내부에 위치할 수 있다.
또한, 본 발명은 금속 중공사막을 포함하여 수행하는 MBR(Membrane Bio-Reactor)공정에 있어서, 금속 중공사막 모듈 내부의 금속 중공사 분리막에 직접 초음파진동을 가하여 금속 중공사막을 세척하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 MBR 공정을 제공한다.
본 발명의 바람직한 일실시예에 따르면, 상기 초음파진동은 MBR 수처리 장치 운전 중에 30 내지 180분 간격으로 1회 진동 시 1 내지 5분 동안 주기적으로 가할 수 있다.
본 발명의 바람직한 다른 일실시예에 따르면, 상기 초음파진동의 주파수는 20 내지 140KHz일 수 있다.
본 발명의 바람직한 또 다른 일실시예에 따르면, 투과 유량이 초기 유량의 90%이하에 도달하는 때에는 20 내지 140KHz 주파수로 초음파진동을 가하면서 금속 중공사막을 역세척할 수 있다.
본 발명의 분리막 세척기능을 갖는 수처리 장치는 분리막의 오염 속도를 현저히 감소시킴에 따라 분리막 세정이 필요한 막간 차압의 도달 속도를 늦추고 분리막 세정 주기를 길어지게 할 수 있다. 분리막의 세정주기가 길어짐에 따라서 분리막의 수명을 증가시키고 정수처리 운전효율을 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 분리막 역세척 효율을 향상시켜 투과유속의 회복 속도를 증가시킬 수 있는 분리막 생물반응조(Membrane bio-reactor) 수처리 장치를 제공할 수 있다.
도1은 본 발명의 바람직한 일구현예에 따른 침지형 분리막 생물반응조 수처리 장치를 도시한 도면이다.
도2는 본 발명의 바람직한 다른 일구현예에 따른 침지형 분리막 생물반응조 수처리 장치를 도시한 도면이다.
도3은 본 발명 분리막 생물반응조에 포함되는 내부 초음파 발진기를 포함하는 금속 중공사막 모듈의 단면도이다.
도4는 본 발명의 바람직한 일구현예에 따른 외부 침지형 분리막 생물반응조 수처리 장치를 도시한 도면이다.
도5는 본 발명의 바람직한 일구현예에 따른 가압형 분리막 생물반응조 수처리 장치를 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다.
상술한 바와 같이 종래의 MBR(Membrane Bio-Reactor) 수처리 장치는 단시간의 MBR 공정에도 분리막 오염이 빠르게 발생하여 막간차압이 빠르게 상승하고 역세척 등의 분리막 세정 주기가 짧아지는 문제점이 있었다. 이와 같이 분리막 세정을 짧은 주기로 반복 할수록 분리막의 수명이 단축되며, 그에 따라 분리막의 교환 주기가 짧아지게 된다. 또한, 분리막 세정을 위해서는 수처리 장치의 작동을 중단시켜야 하므로 그에 따라 정수처리 효율이 감소하는 문제점이 있었다.
이에 본 발명에서는 금속 중공사막 모듈을 포함하는 MBR(Membrane Bio-Reactor) 수처리 장치에 있어서, 상기 금속 중공사막 모듈 내부의 금속 중공사 분리막에 초음파 발진기가 직접 연결된 것을 특징으로 하는 수처리 장치를 제공함으로써 상술한 문제의 해결을 모색하였다. 이를 통해 분리막의 오염 속도를 현저히 감소시켜 분리막 세정 주기를 길어지게 함으로써 분리막의 수명을 증가시키고 정수처리 운전효율을 증가시킬 수 있을 뿐 아니라 분리막 역세척 효율을 향상시켜 투과유속의 회복 속도를 증가된 분리막 생물반응조(Membrane bio-reactor) 수처리 장치를 제공할 수 있다.
구체적으로, 도1은 본 발명의 바람직한 일구현예에 따른 침지형 분리막 생물반응조를 도시한 도면이다.
도1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따르면 금속 중공사막 모듈(31)이 있고 상기 금속 중공사막 모듈(31) 내부에 다수 존재하는 금속 중공사막(33)에 초음파 발진기(40)가 직접 연결된다. 초음파 발진기(40)가 ‘직접 연결’된다는 것은 초음파를 발생시키는 초음파 발진기(40)가 중공사막 모듈 외부 하우징에 연결되어 중공사막 모듈(31) 전체가 진동되는 것이 아니라 중공사막 모듈(31) 내부에 다수의 묶음으로 존재하는 금속 중공사막(33)이 직접 진동할 수 있도록 금속 중공사막(33) 자체에 연결된 것을 말한다.
초음파 발진기(40)를 중공사막에 직접 연결하여 진동을 발생시켜도 중공사막의 손상 또는 파손 없이 각각의 중공사막이 혼(Horn)기능을 하기 위해서는 20MPa 이상의 강도가 필요하며, 이러한 강도를 만족하기 위해서는 금속 중공사막이 바람직하다.
중공사막 모듈 하우징에 초음파 진동을 가하는 경우보다 초음파 발진기(40)가 중공사막 모듈 내부의 금속 중공사막에 직접 연결되어 금속 중공사막(33) 자체를 진동시켜 금속 중공사막에 오염물질 축적을 방지하는 것이 분리막 오염 속도의 현저한 감소를 가져오는데 효과적이다.
반면에, 금속 중공사막 모듈(31)에 초음파 발진기가 연결되고 모듈 전체가 진동하는 경우 금속 중공사막(33)에 가해지는 진동이 약하여 오염물질 축적을 효과적으로 방지하지 못하고 분리막 오염 속도 감소의 효과가 떨어지게 된다. (비교예2 참조)
또한, 고분자 중공사막을 사용할 경우 초음파 발진기를 고분자 중공사막에 직접 연결할 경우 20MPa 이상의 강도를 만족하지 못하여 고분자 중공사막의 손상이 발생하게 된다.(비교예3 참조) 따라서, 고분자 중공사막을 사용할 경우 고분자 중공사막에 초음파 발진기를 직접 연결하지 못하고 중공사막 모듈에 간접 연결할 수 밖에 없으며, 이 경우 상기에서 설명한 바와 같이 분리막 오염 속도 감소의 효과는 현저하게 떨어지게 된다.
초음파 진동을 가하지 않는 경우 막간차압이 98kPa에 도달하는데 약 1시간의 단시간이 소요되고, 초음파 진동을 중공사막 모듈에 간접적으로 가하는 경우 막간차압 98kPa에 도달하는데 약 1.5시간이 소요되는 반면에 본 발명 수처리 장치와 같이 금속 중공사막 모듈 내부의 금속 중공사막에 초음파 발진기를 직접 연결하여 금속 중공사막 자체가 진동하는 경우 막간차압 98kPa에 도달하기까지는 약 3시간의 장시간이 소요되므로 막 오염 속도가 현저하게 감소되고 분리막 세정 주기를 연장시킬 수 있다.
도1은 본 발명에 따른 바람직한 일구현예로서, 혐기조(10), 무산소조(20), 호기조(30)가 순차적으로 연결되어 있으며, 상기 호기조(30) 내부에 금속 중공사 분리막 모듈(31)이 침지된 침지형 MBR(Membrane bio-reactor) 수처리 장치이다. 혐기조(10) 및 무산소조(20)의 순서는 반대일 수 있으며, 하나의 반응조에서 교대로 조건을 변경하여 형성할 수 도 있다. 본 발명은 도1에서와 같이 초음파 발진기(40)가 금속 중공사막 모듈(31) 외부에 위치할 수 있으나, 이에 제한된 것은 아니며 초음파를 발생시키는 초음파 발진기(40)로부터 중공사막 모듈(31) 내부의 금속 중공사막(33)이 직접 연결되어 진동한다면 초음파 발진기(40)는 중공사막 모듈(31) 외부 또는 내부에 위치할 수 있다.
도2는 금속 중공사막 모듈(31) 내부에 초음파 발진기(40)가 위치한 일례를 도시한 것이며, 도3은 내부에 초음파 발진기(40)가 위치한 금속 중공사막 모듈(31)을 확대한 단면도이다. 금속 중공사막 모듈(31) 내부에 위치한 초음파 발진기(40)는 모듈 내부의 금속 중공사막(33)에 직접 연결된다.
또한, 도4는 본 발명에 따른 다른 바람직한 일구현예로서, 혐기조(10), 무산소조(20), 호기조(30)를 포함하는 생물반응조와 상기 생물반응조와 연결된 별도의 막분리조(50) 내부에 금속 중공사 분리막 모듈(31)이 침지되는 외부 침지형 MBR(Membrane bio-reactor) 수처리 장치이다. 마찬가지로 초음파 발진기(40)로부터 침지된 중공사막 모듈(31) 내부의 금속 중공사막(33)이 직접 연결되도록 할 수 있다.
도5는 본 발명에 따른 또 다른 바람직한 일구현예로서, 생물반응조(60)를 포함하며 상기 생물반응조(60) 외부에 금속 중공사 분리막 모듈(61)이 별도로 연결된 가압형 MBR(Membrane bio-reactor) 수처리 장치이다. 이와 같은 경우도 초음파 발진기(40)가 중공사막 모듈(61) 내부의 금속 중공사막에 직접 연결된다.
상기 도1 내지 5는 본 발명 MBR구성의 일례로 이에 제한되지 않으며, 침지형, 가압형, 순환형 등 특별한 제한 없이 적용될 수 있고, 특정 목적의 수조가 추가되거나 생략될 수 있고 통상적으로 사용되는 MBR 수처리 장치 구성에 모두 적용할 수 있다.
또한, 본 발명 MBR(Membrane Bio-Reactor) 수처리 장치 공정은 금속 중공사막 모듈 내부의 금속 중공사막에 직접 초음파 진동을 가하여 금속 중공사막을 세척하는 단계를 포함한다. 중공사막 모듈 전체가 진동하도록 초음파 진동을 가하는 것이 아니라 중공사막 모듈(31) 내부에 다수의 묶음으로 존재하는 금속 중공사막(33)에 직접 초음파 진동을 가함으로써 분리막 오염 속도의 현저한 감소를 가져올 수 있다.
본 발명의 초음파 진동은 MBR(Membrane bio-reactor) 수처리 장치의 운전 중에 금속 중공사막에 직접 주기적으로 가하여 분리막에 오염물질이 축적되는 것을 방해할 수 있다. 초음파 진동의 주파수는 20 내지 140 KHz일 수 있는데, 20 KHz미만일 경우 0.1 μm 이하의 미립자 오염물질의 제거가 이루어지지 않는 문제가 있을 수 있으며, 140 KHz를 초과할 경우 에너지 효율일 낮아지는 문제가 있을 수 있다. 또한, 초음파 진동은 MBR(Membrane bio-reactor) 수처리 장치 운전 중에 30 내지 180분 간격으로 주기적으로 가하며, 1회 진동 시 1 내지 5분 동안 초음파 진동시킬 수 있다. 이와 같이 수저치 장치 운전 중에 금속 중공사막에 직접 초음파 진동을 가함에 따라 막간차압 98kPa에 도달하기까지는 약 3시간의 장시간이 소요되므로 막 오염 속도가 현저하게 감소되고 분리막 세정 주기를 연장시킬 수 있다.
또한, 막간차압이 98kPa 이상으로 상승하여 투과 유량이 최조 유량의 90%이하에 도달할 때에는 역세척 공정을 통해 분리막을 세정할 수 있는데, 이와 같은 역세척 시에도 금속 중공사막에 직접 초음파 진동을 가하면서 역세척을 수행하여 역세척 효율을 높이고 투과 유속 회복 속도를 증가시킬 수 있다. 이 때 초음파 진동을 20 내지 140 KHz 주파수로 가할 수 있으며, 상기 범위를 벗어날 경우 미립자의 제거가 어려워 지거나 에너지 효율이 낮아지는 문제가 있을 수 있다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하기로 하지만, 하기 실시예가 본 발명의 범위를 제한하는 것은 아니며, 이는 본 발명의 이해를 돕기 위한 것으로 해석되어야 할 것이다.
<실시예1>
도1과 같이 생물반응조 내부에는 금속 중공사막 모듈이 침지되어 있고, 금속 중공사막 모듈 내부의 금속 중공사막은 금속 중공사막 모듈 외부에 위치한 초음파 발진기와 직접 연결되어 각각의 중공사막은 초음파진동 혼(Horn)기능을 하는 여과재로 사용되었다.
상기 수처리 장치 운전 공정에서 120 KHz 주파수의 초음파 진동을 30분 간격으로 1회 진동 시 3분 동안 주기적으로 가했다. 여과 공정에서 발생하는 막 표면오염이 진행되는 지표로서 막간차압을 사용하였으며, 막간차압이 98 kPa에 도달하는데 3 시간이 걸렸다.
<실시예2>
실시예1과 같은 수처리 장치에서 막간차압의 상승으로 투과 유량이 초기 유량의 90%로 떨어질 때 역세척을 수행하였다. 금속 중공사막 모듈 내부의 금속 중공사막에 직접 28 KHz의 초음파진동을 가하며 역세척을 수행하였으며, 투과유속의 회복 속도가 증가됨을 확인 할 수 있었다.
<비교예1>
초음파 진동을 가하지 않은 것을 제외하고는 실시예1과 동일하게 실시하였다.
그 결과, 막간차압이 98kPa에 도달하는데 55분의 시간이 소요되었다.
<비교예2>
금속 중공사막에 직접 초음파 진동을 가하는 것이 아닌 금속 중공사막 모듈 자체에 초음파 진동을 가한 것을 제외하고는 실시예1과 동일하게 실시하였다.
그 결과, 막간차압이 98kPa에 도달하는데 1시간 30분의 시간이 소요되었다.
<비교예3>
금속 중공사막을 대신하여 PVDF 중공사막을 사용한 것을 제외하고는 실시예1과 동일하게 실시하였다.
그 결과, 초음파 진동을 직접 가했을 때 그로 인한 PVDF 중공사막의 손상이 발생하였다.
상기 실시예 및 비교예에서 알 수 있듯이, 분리막에 초음파진동을 가하지 않은 경우 단시간에 소정의 막간차압에 도달하며, 분리막에 직접 초음파진동을 가하지 않고 분리막 모듈에 초음파진동을 가하는 경우 막간차압 도달 시간이 다소 느려지기는 하나 효과가 미흡한 것과는 달리 금속 중공사막에 직접 초음파 진동을 부가한 경우에는 장시간을 운전해야 소정의 막간차압에 도달하여서 막오염 속도가 현저히 감소됨을 확인할 수 있었다. 따라서 분리막 세정 주기가 길어지게 되어 분리막의 수명 및 교체주기가 연장되고, 정수처리 효율이 향상될 수 있다.
나아가, 금속 중공사막이 아닌 PVDF 고분자 중공사막의 경우 강도가 약하여 초음파 진동을 직접 가할 경우 막이 손상되어 바람직하지 않은 것을 확인할 수 있다.

Claims (10)

  1. 금속 중공사막 모듈을 포함하는 MBR(Membrane Bio-Reactor) 수처리 장치에 있어서,
    상기 금속 중공사막 모듈 내부의 금속 중공사 분리막에 초음파 발진기가 직접 연결된 것을 특징으로 하는 수처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 수처리 장치는 하나 이상의 수조를 포함하며,
    상기 금속 중공사막 모듈은 적어도 하나의 수조에 침지된 것을 특징으로 하는 수처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 하나 이상의 수조는 순차적으로 연결된 혐기조, 무산소조 및 호기조를 포함하며,
    상기 금속 중공사막 모듈은 호기조 내에 침지된 것을 특징으로 하는 수처리 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 하나 이상의 수조는 혐기조, 무산소조 및 호기조를 포함하는 생물반응조; 및 상기 생물반응조에 연결된 막분리조를 포함하며,
    상기 금속 중공사막 모듈은 막분리조 내에 침지된 것을 특징으로 하는 수처리 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 수처리 장치는 하나 이상의 수조를 포함하며,
    상기 금속 중공사막 모듈은 상기 수조 외부에 연결된 것을 특징으로 하는 수처리 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 초음파 발진기는 금속 중공사막 모듈 외부 또는 내부에 위치한 것을 특징으로 하는 수처리 장치.
  7. 금속 중공사막을 포함하여 수행하는 MBR(Membrane Bio-Reactor)공정에 있어서,
    금속 중공사막 모듈 내부의 금속 중공사 분리막에 직접 초음파진동을 가하여 금속 중공사막을 세척하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 MBR 공정.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 초음파진동은 MBR 수처리 장치 운전 중에 30 내지 180분 간격으로 1회 진동 시 1 내지 5분 동안 주기적으로 가하는 것을 특징으로 하는 MBR 공정.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 초음파진동의 주파수는 20 내지 140 KHz인 것을 특징으로 하는 MBR 공정.
  10. 제7항에 있어서,
    투과 유량이 초기 유량의 90%이하에 도달하는 때에는 20 내지 140 KHz 주파수로 초음파진동을 가하면서 금속 중공사막을 역세척하는 것을 특징으로 하는 MBR 공정.




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