KR20130125579A - 표면 탄성파 소자 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 표면 탄성파 소자에 관한 것으로 보다 상세하게는 복수의 빗살 전극부가 구비된 IDT(Interdigtal Transducer)를 하나 이상 포함하는 표면 탄성파 소자에 있어서, 상기 복수의 빗살 전극부 중 최외곽에 배치된 빗살 전극부와 내측에 배치된 빗살 전극부가 각각 전기적으로 분리된 접지단자에 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 소자에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 표면 탄성파 필터의 통과 대역 특성은 유지하면서 차단 대역의 감쇄 특성을 개선할 수 있고, 다양한 형태의 불평형 표면 탄성파 필터의 감쇄 특성을 개선하여 통과 대역 주파수의 품질을 양호하게 할 수 있다.

Description

표면 탄성파 소자{Surface Acoustic Wave Device}
본 발명은 표면 탄성파 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수의 빗살 전극부가 구비된 IDT를 하나 이상 포함하는 표면 탄성파 소자에 있어서 복수의 빗살 전극부 중 최외곽에 배치된 빗살 전극부와 내측에 배치된 빗살 전극부가 각각 전기적으로 분리된 접지단자에 연결되는 표면 탄성파 소자에 관한 것이다.
표면 탄성파(Surface Acoustic Wave)는 기판의 표면을 따라 전달되는 파동의 상태를 나타내는 것으로 깊이 방향으로 급격히 감쇄되는 특징을 지닌다. 표면 탄성파 소자는 상술한 표면 탄성파의 특징을 주파수 선택 기능으로 응용한 것이다.
표면 탄성파 소자는 절연성이 큰 기판에 금속 전극을 형성하여 압전을 걸면 일시적으로 기판 표면이 뒤틀리는데, 이 작용을 이용해 물리적인 파를 일으킨다. 표면 탄성파 소자 표면을 전달하는 파동의 속도는 전자파보다 느리기 때문에 일시적으로 전기신호를 지연시키거나 특정 주파수 신호만을 통과시키는 필터로 이용한다.
표면 탄성파 소자는 인가되는 전기신호를 파동을 가지는 기계신호로 변환하는데 사용되며, 핸드폰과 같은 무선 통신기기의 신호 송수신관의 말단에 부착되어 외부 송수신 신호 중 필요한 신호를 추출하여 사용자에게 전달하는 필터로 많이 쓰이고 있다.
종래의 표면 탄성파 소자를 도 1 내지 도 5에 나타내었다. 도 1에 도시된 종래의 표면 탄성파 소자는 표면파의 전파 방향을 따라 제 1 및 제 2 IDT가 배치되고, 전기적으로 연결되어 있다. 제 1 IDT는 표면파 전파 방향을 따라 5개의 빗살 전극부가 배치되어 있으며 이 중 제 2 빗살 전극부와 제 4 빗살 전극부는 입력 평형 단자와 연결되어 있다. 한편 제 2 IDT는 출력 불평형 단자와 연결된다. 제 1 IDT의 빗살 전극부는 빗살 전극 중 한 쪽이 접지 단자에 연결되는데 상기 도 1에 도시된 것과 같이 제 1 빗살 전극부 내지 제 5 빗살 전극부가 모두 같은 접지단자에 연결된다.
도 2 내지 도 5에 도시된 표면 탄성파 소자도 각각의 목적에 따라 IDT의 배치 및 빗살 전극부의 수는 다르나, IDT 내의 빗살 전극부가 모두 같은 접지단자에 연결되어 있다.
근래에는 이동 통신에 사용되는 주파수의 밴드가 증가하여, 특히 주파수 차단 대역에서의 감쇄 특성을 양호하게 하는 것이 굉장히 중요한 이슈가 되었다. 따라서 상술한 종래의 표면 탄성파 소자에 비하여 주파수 차단 대역에서의 감쇄 특성을 개선시킬 필요성이 대두되고 있다.
한편, 2006년 12월 5일에 공개된 한국공개특허공보 제 2006-0124434호에는 표면 탄성파 소자의 주파수 통과 대역의 인접 주파수 대역에서의 감쇄 특성을 개선한 SAW 공진기를 제공하기 위해, 별도의 저역 통과 필터(식별번호 200)를 대역 통과 필터 전단에 직렬로 접속시키는 방식을 개시하고 있다(도 31 참조).
본 발명은 상술한 종래기술을 개선하기 위한 것으로, 표면 탄성파 필터에서 주파수 차단 대역의 감쇄 특성을 개선하는 것을 목적으로 한다.
특히 다양한 형태의 불평형 표면 탄성파 필터(Unbalance Surface Acoustic Wave Filter)의 감쇄 특성을 개선하여 통과 대역 주파수의 품질을 양호하게 하는 것을 목적으로 한다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 표면 탄성파 소자는 복수의 빗살 전극부가 구비된 IDT를 하나 이상 포함하고, 상기 복수의 빗살 전극부 중 최외곽에 배치된 빗살 전극부와 내측에 배치된 빗살 전극부가 각각 전기적으로 분리된 접지단자에 연결되는 것을 포함한다.
상기 복수의 빗살 전극부는 표면파 전파 방향에 따라 순차적으로 배열된 제 1 빗살 전극부 내지 제 5 빗살 전극부를 포함하고, 상기 접지단자는 각각 전기적으로 분리된 제 1 접지단자 및 제 2 접지단자를 포함하며, 제 1 빗살 전극부 및 제 5 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고 제 2 빗살 전극부 내지 제 4 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되는 것을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에서는 표면 탄성파 소자 내에 제 1 IDT 및 제 2 IDT를 포함하고, 상기 제 1 IDT는 표면파 전파 방향에 따라 순차적으로 배열된 제 1 빗살 전극부 내지 제 5 빗살 전극부를 포함하며, 제 1 빗살 전극부 및 제 5 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부 내지 제 4 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되는 것을 포함한다.
본 발명의 다른 일 실시예에서는 표면 탄성파 소자 내에 제 1 IDT 및 제 2 IDT를 포함하고, 상기 제 1 IDT 및 제 2 IDT는 각각 표면파 전파 방향에 따라 순차적으로 배열된 제 1 빗살 전극부 내지 제 5 빗살 전극부를 포함하며, 상기 제 1 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 5 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부 내지 제 4 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되며, 상기 제 2 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 5 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부 내지 제 4 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되는 것을 포함한다.
본 발명의 다른 일 실시예에서는 표면 탄성파 소자 내에 제 1 IDT 및 제 2 IDT를 포함하고, 상기 제 1 IDT 및 제 2 IDT는 각각 표면파 전파 방향에 따라 순차적으로 배열된 제 1 빗살 전극부 내지 제 3 빗살 전극부를 포함하며, 상기 접지단자는 각각 전기적으로 분리된 제 1 접지단자 및 제 2 접지단자를 포함하고, 상기 제 1 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 3 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되며, 상기 제 2 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 3 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되는 것을 포함한다. 한편, 상기 제 1 IDT 및 제 2 IDT는 직렬 또는 직렬로 연결되는 것을 포함한다.
또한, 본 발명의 표면 탄성파 소자는 불평형 입력 단자 및 불평형 출력 단자를 가지는 불평형 표면 탄성파 필터인 것을 포함하고, IDT는 DMS 방식의 IDT이며, 표면파 전파 방향을 따라 배치되는 것을 포함한다.
본 발명에 의하는 경우 표면 탄성파 필터의 통과 대역 특성은 유지하면서 차단 대역의 감쇄 특성을 개선할 수 있다.
또한, 다양한 형태의 불평형 표면 탄성파 필터의 감쇄 특성을 개선하여 통과 대역 주파수의 품질을 양호하게 할 수 있다.
도 1 내지 도 5는 종래의 표면 탄성파 소자를 나타낸 도면이다.
도 6 내지 도 10은 본 발명의 표면 탄성파 소자의 제 1 내지 제 5 실시예를 나타낸 도면이다.
도 11 내지 도 14는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표면 탄성파 소자와 종래의 표면 탄성파 소자의 주파수 대역별 통과 및 차단 특성을 도시한 그래프이다.
도 15 내지 도 18은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 표면 탄성파 소자와 종래의 표면 탄성파 소자의 주파수 대역별 통과 및 차단 특성을 도시한 그래프이다.
도 19 내지 도 22는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 표면 탄성파 소자와 종래의 표면 탄성파 소자의 주파수 대역별 통과 및 차단 특성을 도시한 그래프이다.
도 23 내지 도 26은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 표면 탄성파 소자와 종래의 표면 탄성파 소자의 주파수 대역별 통과 및 차단 특성을 도시한 그래프이다.
도 27 내지 도 30은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 표면 탄성파 소자와 종래의 표면 탄성파 소자의 주파수 대역별 통과 및 차단 특성을 도시한 그래프이다.
도 31은 선행기술문헌에 기재된 종래의 표면 탄성파 소자를 도시한 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명한다.
본 발명의 표면 탄성파 소자는 주파수 차단 대역에서의 감쇄 특성을 개선하기 위하여 소자 내에 전기적으로 각각 분리된 접지 단자를 포함한다.
본 발명의 표면 탄성파 소자는 복수의 빗살 전극부가 구비된 IDT(Interdigtal Transducer)를 하나 이상 포함하는데, 상기 복수의 빗살 전극부 중 최외곽에 배치된 빗살 전극부와 내측에 배치된 빗살 전극부가 각각 전기적으로 분리된 접지단자에 연결된다.
도 1 내지 도 5에 도시된 종래의 표면 탄성파 소자는 빗살 전극부 중 접지단자와 연결되는 부분이 모두 공통의 접지 단자에 연결된다. 접지단자 및 접지단자에 연결된 빗살 전극부를 용이하게 식별하기 위하여 접지단자 및 접지단자와 전기적으로 연결된 배선은 적색의 굵은 실선으로 표시하였다.
이에 반해 본 발명의 표면 탄성파 소자는 접지단자에 연결되어야 하는 복수의 빗살 전극부를 모두 동일한 접지단자로 연결시키는 것이 아니라 전기적으로 분리된 복수의 접지단자에 나누어 접속시키는 것을 특징으로 한다.
빗살 전극부를 서로 다른 접지단자에 연결하는 데에 있어 IDT의 최외곽에 배치된 빗살 전극부, 즉 IDT내에서 전파의 진행 방향을 기준으로 할 때 첫 번째 빗살 전극부와 마지막 빗살 전극부를 동일한 접지단자(제 1 접지단자)에 접속시키고, IDT의 내측에 배치된 빗살 전극부를 상기 제 1 접지단자와 전기적으로 분리된 접지단자(제 2 접지단자)에 접속시킨다.
도 6 내지 도 10에 도시된 표면 탄성파 소자는 본 발명의 제 1 내지 제 5 실시예에 해당한다.
도 6 내지 도 10을 살펴보면 최외곽에 배치된 빗살 전극부는 제 1 접지단자에 연결되어 있으며, 식별을 용이하게 하고자 적색의 굵은 실선으로 표시하였다. 내측에 배치된 빗살 전극부는 제 2 접지단자에 연결되어 있으며, 식별을 용이하게 하고자 청색의 굵은 점선으로 표시하였다.
도 6은 본 발명의 표면 탄성파 소자의 제 1 실시예이다.
본 발명의 제 1 실시예는 DCS 대역에 사용되는 표면 탄성파 소자로 제 1 내지 제 5 빗살 전극부를 포함하는 제 1 IDT와 1개의 빗살 전극부가 있는 제 2 IDT로 구성된다.
제 1 실시예에서는 표면파 전파 방향에 따라 순차적으로 배열된 제 1 빗살 전극부 내지 제 5 빗살 전극부를 포함하고, 접지단자는 제 1 접지단자 및 제 2 접지단자로 구분되며, 제 1 빗살 전극부 및 제 5 빗살 전극부는 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부 내지 제 4 빗살 전극부는 제 2 접지단자에 연결된다.
제 1 실시예는 도 1에 도시된 종래의 표면 탄성파 소자에서 빗살 전극부와 접지단자의 연결을 개선한 것이며, 이에 따른 주파수 특성은 도 11 내지 도 14에 나타나 있다.
도 11 내지 도 14에서 실선은 종래 기술의 주파수 특성을 나타낸 것이고 점선은 본 발명의 주파수 특성을 나타낸 것이다.
도 11은 종래 기술과 본 발명의 제 1 실시예를 광대역에서 비교한 것인데, 통과 대역(1800MHz 부근)에서는 종래 기술과 제 1 실시예가 차이가 없으나 통과 대역을 벗어난 차단 대역에서는 제 1 실시예가 종래 기술에 비하여 양호한 차단 특성을 보이는 것을 확인할 수 있다.
도 12는 종래 기술과 본 발명의 제 1 실시예를 협대역에서 비교한 것으로 통과 대역 및 차단 대역에서의 차이를 보다 명확하게 확인할 수 있다. 특히 차단 대역에서 제 1 실시예가 종래 기술에 비하여 훨씬 낮은 통과 특성(또는 높은 차단 특성)을 보이는 점이 그래프를 통해 드러난다.
도 13은 종래기술과 제 1 실시예의 통과 대역(1810 ~ 1870 MHz)에서의 출력 특성을 도시한 그래프이고 도 14는 종래기술과 제 1 실시예의 통과 대역(1810 ~ 1870 MHz)에서의 반사 특성을 도시한 그래프다. 도면에서 확인할 수 있듯이 통과대역에서 종래기술과 제 1 실시예는 동일한 특성을 보인다.
즉, 제 1 실시예는 종래기술에 비해 통과 대역에서의 특성을 그대로 유지한 채 차단 대역의 신호를 효과적으로 감쇄시킨다. 접지 단자를 분리함으로써 특정 대역만을 통과시키기 위한 표면 탄성파 필터 본연의 기능이 강화됨을 확인할 수 있다.
도 7은 본 발명의 표면 탄성파 소자의 제 2 실시예이다.
본 발명의 제 2 실시예는 CDMA 대역에 사용되는 표면 탄성파 소자로 각각 제 1 내지 제 5 빗살 전극부를 포함하는 제 1 IDT와 제 2 IDT로 구성된다.
제 2 실시예에서는 표면파 전파 방향에 따라 순차적으로 배열된 제 1 빗살 전극부 내지 제 5 빗살 전극부를 포함하고, 접지단자는 제 1 접지단자 및 제 2 접지단자로 구분되며, 제 1 IDT 및 제 2 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 5 빗살 전극부는 제 1 접지단자에 연결되고, 제 1 IDT 및 제 2 IDT의 제 2 빗살 전극부 내지 제 4 빗살 전극부는 제 2 접지단자에 연결된다.
제 2 실시예는 도 2에 도시된 종래의 표면 탄성파 소자에서 빗살 전극부와 접지단자의 연결을 개선한 것이며, 이에 따른 주파수 특성은 도 25 내지 도 28에 나타나 있다.
도 15 내지 도 18에서 실선은 종래 기술의 주파수 특성을 나타낸 것이고 점선은 본 발명의 주파수 특성을 나타낸 것이다.
도 15는 종래 기술과 본 발명의 제 2 실시예를 광대역에서 비교한 것인데, 통과 대역(830MHz 부근)에서는 종래 기술과 제 2 실시예가 차이가 없으나 통과 대역을 벗어난 차단 대역에서는 제 2 실시예가 종래 기술에 비하여 양호한 차단 특성을 보이는 것을 확인할 수 있다.
도 16은 종래 기술과 본 발명의 제 2 실시예를 협대역에서 비교한 것으로 통과 대역 및 차단 대역에서의 차이를 보다 명확하게 확인할 수 있다. 특히 차단 대역에서 제 2 실시예가 종래 기술에 비하여 훨씬 낮은 통과 특성(또는 높은 차단 특성)을 보이는 점이 그래프를 통해 드러난다.
도 17은 종래기술과 제 2 실시예의 통과 대역(820 ~ 850 MHz)에서의 출력 특성을 도시한 그래프이고 도 18은 종래기술과 제 2 실시예의 통과 대역(820 ~ 850 MHz)에서의 반사 특성을 도시한 그래프다. 도면에서 확인할 수 있듯이 통과대역에서 종래기술과 제 2 실시예는 동일한 특성을 보인다.
즉, 제 2 실시예는 종래기술에 비해 통과 대역에서의 특성을 그대로 유지한 채 차단 대역의 신호를 효과적으로 감쇄시킨다. 접지 단자를 분리함으로써 특정 대역만을 통과시키기 위한 표면 탄성파 필터 본연의 기능이 강화됨을 확인할 수 있다.
도 8은 본 발명의 표면 탄성파 소자의 제 3 실시예이다.
본 발명의 제 3 실시예는 GPS 대역에 사용되는 표면 탄성파 소자로 제 1 내지 제 5 빗살 전극부를 포함하는 제 1 IDT와 1개의 빗살 전극부가 있는 복수의 IDT로 구성된다.
제 3 실시예의 제 1 IDT는 표면파 전파 방향에 따라 순차적으로 배열된 제 1 빗살 전극부 내지 제 5 빗살 전극부를 포함하고, 접지단자는 제 1 접지단자 및 제 2 접지단자로 구분되며, 제 1 빗살 전극부 및 제 5 빗살 전극부는 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부 내지 제 4 빗살 전극부는 제 2 접지단자에 연결된다.
제 3 실시예는 도 3에 도시된 종래의 표면 탄성파 소자에서 빗살 전극부와 접지단자의 연결을 개선한 것이며, 이에 따른 주파수 특성은 도 19 내지 도 22에 나타나 있다.
도 19 내지 도 22에서 실선은 종래 기술의 주파수 특성을 나타낸 것이고 점선은 본 발명의 주파수 특성을 나타낸 것이다.
도 19은 종래 기술과 본 발명의 제 3 실시예를 광대역에서 비교한 것인데, 통과 대역(1600MHz 부근)에서는 종래 기술과 제 3 실시예가 차이가 없으나 통과 대역을 벗어난 차단 대역에서는 제 3 실시예가 종래 기술에 비하여 양호한 차단 특성을 보이는 것을 확인할 수 있다.
도 20은 종래 기술과 본 발명의 제 3 실시예를 협대역에서 비교한 것으로 통과 대역 및 차단 대역에서의 차이를 보다 명확하게 확인할 수 있다. 특히 차단 대역에서 제 3 실시예가 종래 기술에 비하여 훨씬 낮은 통과 특성(또는 높은 차단 특성)을 보이는 점이 그래프를 통해 드러난다.
도 21은 종래기술과 제 3 실시예의 통과 대역(1560 ~ 1630MHz)에서의 출력 특성을 도시한 그래프이고 도 22는 종래기술과 제 3 실시예의 통과 대역(1560 ~ 1630MHz)에서의 반사 특성을 도시한 그래프다. 도면에서 확인할 수 있듯이 통과대역에서 종래기술과 제 3 실시예는 동일한 특성을 보인다.
즉, 제 3 실시예는 종래기술에 비해 통과 대역에서의 특성을 그대로 유지한 채 차단 대역의 신호를 효과적으로 감쇄시킨다. 접지 단자를 분리함으로써 특정 대역만을 통과시키기 위한 표면 탄성파 필터 본연의 기능이 강화됨을 확인할 수 있다.
도 9는 본 발명의 표면 탄성파 소자의 제 4 실시예이다.
본 발명의 제 4 실시예는 EGSM 대역에 사용되는 표면 탄성파 소자로 각각 제 1 내지 제 3 빗살 전극부를 포함하는 제 1 IDT 및 제 2 IDT로 구성된다.
제 4 실시예의 접지단자는 제 1 접지단자 및 제 2 접지단자로 구분되며, 제 1 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 3 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되며, 상기 제 2 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 3 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결된다. 한편, 제 1 IDT 및 제 2 IDT는 직렬로 연결된다.
제 4 실시예는 도 4에 도시된 종래의 표면 탄성파 소자에서 빗살 전극부와 접지단자의 연결을 개선한 것이며, 이에 따른 주파수 특성은 도 23 내지 도 26에 나타나 있다.
도 23 내지 도 26에서 실선은 종래 기술의 주파수 특성을 나타낸 것이고 점선은 본 발명의 주파수 특성을 나타낸 것이다.
도 23은 종래 기술과 본 발명의 제 4 실시예를 광대역에서 비교한 것인데, 통과 대역(900MHz 부근)에서는 종래 기술과 제 4 실시예의 차이가 없으나 통과 대역을 벗어난 차단 대역에서는 제 4 실시예가 종래 기술에 비하여 양호한 차단 특성을 보이는 것을 확인할 수 있다.
도 24는 종래 기술과 본 발명의 제 4 실시예를 협대역에서 비교한 것으로 통과 대역 및 차단 대역에서의 차이를 보다 명확하게 확인할 수 있다. 특히 차단 대역에서 제 4 실시예가 종래 기술에 비하여 훨씬 낮은 통과 특성(또는 높은 차단 특성)을 보이는 점이 그래프를 통해 드러난다.
도 25는 종래기술과 제 4 실시예의 통과 대역(870 ~ 920MHz)에서의 출력 특성을 도시한 그래프이고 도 24는 종래기술과 제 3 실시예의 통과 대역(870 ~ 920MHz)에서의 반사 특성을 도시한 그래프다. 도면에서 확인할 수 있듯이 통과대역에서 종래기술과 제 4 실시예는 동일한 특성을 보인다.
즉, 제 4 실시예는 종래기술에 비해 통과 대역에서의 특성을 그대로 유지한 채 차단 대역의 신호를 효과적으로 감쇄시킨다. 접지 단자를 분리함으로써 특정 대역만을 통과시키기 위한 표면 탄성파 필터 본연의 기능이 강화됨을 확인할 수 있다.
도 10은 본 발명의 표면 탄성파 소자의 제 5 실시예이다.
본 발명의 제 5 실시예는 WCDMA 대역에 사용되는 표면 탄성파 소자로 각각 제 1 내지 제 3 빗살 전극부를 포함하는 제 1 IDT 및 제 2 IDT로 구성된다.
제 5 실시예의 접지단자는 제 1 접지단자 및 제 2 접지단자로 구분되며, 제 1 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 3 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되며, 상기 제 2 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 3 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결된다. 한편, 제 1 IDT 및 제 2 IDT는 병렬로 연결된다.
제 5 실시예는 도 5에 도시된 종래의 표면 탄성파 소자에서 빗살 전극부와 접지단자의 연결을 개선한 것이며, 이에 따른 주파수 특성은 도 27 내지 도 30에 나타나 있다.
도 27 내지 도 30에서 실선은 종래 기술의 주파수 특성을 나타낸 것이고 점선은 본 발명의 주파수 특성을 나타낸 것이다.
도 27은 종래 기술과 본 발명의 제 5 실시예를 광대역에서 비교한 것인데, 통과 대역(2150MHz 부근)에서는 종래 기술과 제 5 실시예의 차이가 없으나 통과 대역을 벗어난 차단 대역에서는 제 5 실시예가 종래 기술에 비하여 양호한 차단 특성을 보이는 것을 확인할 수 있다.
도 28은 종래 기술과 본 발명의 제 5 실시예를 협대역에서 비교한 것으로 통과 대역 및 차단 대역에서의 차이를 보다 명확하게 확인할 수 있다. 특히 차단 대역에서 제 5 실시예가 종래 기술에 비하여 훨씬 낮은 통과 특성(또는 높은 차단 특성)을 보이는 점이 그래프를 통해 드러난다.
도 29는 종래기술과 제 5 실시예의 통과 대역(2100 ~ 2180MHz)에서의 출력 특성을 도시한 그래프이고 도 30는 종래기술과 제 3 실시예의 통과 대역(2100 ~ 2180MHz)에서의 반사 특성을 도시한 그래프다. 도면에서 확인할 수 있듯이 통과대역에서 종래기술과 제 5 실시예는 동일한 특성을 보인다.
즉, 제 5 실시예는 종래기술에 비해 통과 대역에서의 특성을 그대로 유지한 채 차단 대역의 신호를 효과적으로 감쇄시킨다. 접지 단자를 분리함으로써 특정 대역만을 통과시키기 위한 표면 탄성파 필터 본연의 기능이 강화됨을 확인할 수 있다.
한편 본 발명의 표면 탄성파 소자는 불평형 입력 단자 및 불평형 출력 단자를 가지는 불평형 표면 탄성파 필터인 것을 포함하고, 본 발명의 표면 탄성파 내의 IDT는 DMS 방식이며, 표면파의 전파 방향을 따라 배치되는 것을 포함한다.

Claims (9)

  1. 복수의 빗살 전극부가 구비된 IDT(Interdigtal Transducer)를 하나 이상 포함하는 표면 탄성파 소자에 있어서,
    상기 복수의 빗살 전극부 중 최외곽에 배치된 빗살 전극부와 내측에 배치된 빗살 전극부가 각각 전기적으로 분리된 접지단자에 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 소자
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 빗살 전극부는 표면파 전파 방향에 따라 순차적으로 배열된 제 1 빗살 전극부 내지 제 5 빗살 전극부를 포함하고,
    상기 접지단자는 각각 전기적으로 분리된 제 1 접지단자 및 제 2 접지단자를 포함하며,
    제 1 빗살 전극부 및 제 5 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고
    제 2 빗살 전극부 내지 제 4 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 소자
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 IDT는 제 1 IDT 및 제 2 IDT를 포함하고,
    상기 제 1 IDT는 표면파 전파 방향에 따라 순차적으로 배열된 제 1 빗살 전극부 내지 제 5 빗살 전극부를 포함하며,
    제 1 빗살 전극부 및 제 5 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고,
    제 2 빗살 전극부 내지 제 4 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 소자
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 IDT는 제 1 IDT 및 제 2 IDT를 포함하고,
    상기 제 1 IDT 및 제 2 IDT는 각각 표면파 전파 방향에 따라 순차적으로 배열된 제 1 빗살 전극부 내지 제 5 빗살 전극부를 포함하며,
    상기 제 1 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 5 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부 내지 제 4 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되며,
    상기 제 2 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 5 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부 내지 제 4 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 소자
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 IDT는 제 1 IDT 및 제 2 IDT를 포함하고,
    상기 제 1 IDT 및 제 2 IDT는 각각 표면파 전파 방향에 따라 순차적으로 배열된 제 1 빗살 전극부 내지 제 3 빗살 전극부를 포함하며,
    상기 접지단자는 각각 전기적으로 분리된 제 1 접지단자 및 제 2 접지단자를 포함하고,
    상기 제 1 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 3 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되며,
    상기 제 2 IDT의 제 1 빗살 전극부 및 제 3 빗살 전극부는 상기 제 1 접지단자에 연결되고, 제 2 빗살 전극부는 상기 제 2 접지단자에 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 소자
  6. 청구항 5에 있어서, 상기 제 1 IDT 및 제 2 IDT는 직렬로 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 소자
  7. 청구항 5에 있어서, 상기 제 1 IDT 및 제 2 IDT는 직렬로 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 소자
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 표면 탄성파 소자는 불평형 입력 단자 및 불평형 출력 단자를 가지는 불평형 표면 탄성파 필터인 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 소자
  9. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 IDT는 DMS 방식의 IDT이며, 표면파 전파 방향을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 소자
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