KR20130121497A - 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 검사대상의 표면에 광을 조사하는 하나 이상의 광원과; 상기 검사대상의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 순차적으로 배치되며 상기 광원에 의하여 광이 조사되는 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 2개 이상의 이미지획득부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈을 개시한다.

Description

비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치 {Vision Inspection Module and device inspection apparatus}

본 발명은 소자검사장치에 관한 것으로서, 소자에 대한 외관을 검사하는 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치에 관한 것이다.

패키지 공정을 마친 반도체소자는 번인테스트 등의 검사를 마친 후에 고객 트레이에 적재되어 출하되며, 출하되는 반도체소자는 그 표면에 레이저 등에 의하여 일련번호, 제조사 로고 등의 표지가 표시되는 마킹공정을 거치게 된다.

반도체소자는 제품에 대한 신뢰성 향상을 위하여 리드(lead)나 볼 그리드(ball grid)의 파손여부, 크랙(crack) 유무, 스크래치(scratch) 유무 등 반도체소자의 외관상태 및 표면상태의 양호여부를 검사하는 비전검사과정을 거치게 된다.

그런데 상기와 같은 반도체소자의 외관상태 및 마킹의 양호여부 등의 표면상태 검사가 추가되면서 그 검사시간에 따라서 전체 공정수행을 위한 시간에 영향을 미치게 된다.

특히 반도체소자의 외관상태 및 표면상태의 비전검사과정이 비효율적으로 이루어지는 경우 전체적으로 작업효율을 저하시켜 반도체소자의 생산성이 떨어지게 되는 문제점이 있다.

한편 반도체소자에 대한 비전검사에 있어서, 반도체소자의 표면상태, 즉 크랙, 스크래치 등의 유무, 마킹상태의 검사는 반도체소자의 상면 또는 저면에 대한 2차원형상에 대한 이미지를 획득하고 획득된 이미지를 분석하는 2차원 비전검사과정에 의하여 수행된다.

그리고 반도체소자의 리드의 이상, 볼의 파손여부, 범프의 이상 등의 검사는 반도체소자의 3차원형상에 대한 이미지를 획득하고 획득된 이미지를 분석하는 3차원 비전검사과정에 의하여 수행된다.

그런데 종래의 반도체소자 비전검사장치는 반도체소자의 2차원비전검사 및 3차원비전검사 중 어느 하나만을 수행하도록 구성되거나, 하나의 장치에서 별도의 모듈들에 의하여 수행하도록 구성된다.

그러나 종래의 반도체소자 비전검사장치가 2차원비전검사 및 3차원비전검사 중 어느 하나만을 수행하도록 구성되는 경우 2차원비전검사 및 3차원비전검사를 위한 장치가 별도로 필요하므로 반도체소자의 비전검사를 위한 장치가 이중으로 필요하게 되어 비전검사비용을 증가키는 문제점이 있다.

또한 종래의 반도체소자 비전검사장치가 하나의 장치에서 별도 모듈들에 의하여 수행하도록 구성되는 경우 장치의 구성이 복잡해지고 각 구성의 검사속도에 차이가 있어, 특히 3차원비전검사의 속도가 낮아 전체적으로 비전검사의 검사속도를 저하시키는 문제점이 있다.

또한 규격화된 메모리소자와는 달리, 스마트폰, 태블릿의 CPU, GPU 등 시스템 LSI 등과 같이 규격화가 어려운 반도체 소자의 경우 응용되는 기기에 따라서 그 크기가 달라 비전검사를 위한 장비 또한 검사대상의 종류에 따라서 별도로 필요로 하므로 반도체소자의 비전검사를 위한 장치가 이중으로 필요하게 되어 비전검사비용을 증가키는 문제점이 있다.

더 나아가 메모리소자에 비하여 비교적 소량으로 생산되는 시스템 LSI의 검사를 위하여 그 종류에 따라서 비전검사장비를 구비하여야 하므로 시스템 LSI의 제조비용을 증가시키는 요인으로 작용할 수 있다.

본 발명의 목적은 검사대상의 크기 및 종류에 무관하게 비전검사가 가능한 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 보다 많은 수의 비전검사가 가능한 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치를 제공하는 데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 검사대상의 표면에 광을 조사하는 하나 이상의 광원과; 상기 검사대상의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 순차적으로 배치되며 상기 광원에 의하여 광이 조사되는 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 2개 이상의 이미지획득부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈을 개시한다.

상기 2개 이상의 이미지획득부들의 각 이미지획득영역이 검사대상의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 배치되며, 상기 이미지획득영역은 이웃하는 이미지획득영역과 일부가 중첩될 수 있다.

상기 복수개의 이미지획득부들은 상기 검사대상의 표면에서 그 이동방향과 수직방향을 따라서 이동가능하게 설치될 수 있다.

상기 광원은 복수개로 설치되며, 상기 복수개의 광원들은 상기 검사대상의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 순차적으로 배치됨과 아울러, 상기 검사대상의 표면에 상기 각 광원들에 의하여 조사된 각 조사영역은 이웃하는 조사영역과 일부가 중첩될 수 있다.

상기 이미지획득부들은 2개로 구성될 수 있으며, 라인스캐너 또는 카메라를 포함할 수 있다.

상기 광원은 검사대상의 표면에 대하여 경사를 이루어 광을 조사하도록 설치되며, 상기 이미지획득부는 그 수광축이 검사대상의 표면에 대하여 경사를 이루어 설치될 수 있다.

상기 이미지획득부 및 상기 광원 중 적어도 어느 하나는 2개 이상으로 설치되며, 상기 이미지획득부 및 상기 광원 중 적어도 어느 하나는 상기 검사대상의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 이동가능하도록 설치될 수 있다.

상기 이미지획득부는 상기 검사대상이 이동되는 상태에서 상기 검사대상에 대한 이미지를 획득할 수 있다.

상기 이미지획득부는 상기 프레임에 그 이동을 가이드하는 가이드부를 따라서 이동가능하게 설치되며, 상기 프레임에 설치된 선형구동부에 의하여 선형구동될 수 있다.

본 발명은 또한 트레이에 복수의 검사대상들을 적재하여 검사대상을 로딩하는 로딩부와; 상기 로딩부의 일측에 설치되어 상기 로딩부로부터 적어도 하나의 검사대상을 픽업하여 비전검사 후 로딩부의 트레이에 재적재하는 제1픽업툴과; 상기 비전검사모듈을 포함하며, 상기 제1픽업툴에 의하여 픽업되어 이송되는 검사대상의 저면에 대한 비전검사를 수행하는 제1비전검사부와; 상기 제1비전검사부의 비전검사 결과에 따라서 검사대상을 분류하여 트레이에 적재하는 언로딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치를 개시한다.

상기 로딩부에서 트레이의 이동경로 상에 설치되어 트레이에 적재된 검사대상의 상면을 검사하는 제2비전검사부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 언로딩부는 비전검사 결과 양호한 것으로 검사된 검사대상을 트레이에 적재하는 굿트레이부와, 비전검사 결과 불량인 것으로 검사된 검사대상을 트레이에 적재하는 하나 이상의 소팅트레이부를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치는 은 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득부가 2개 이상, 즉 복수개로 설치됨으로써 더욱 많은 수의 검사대상에 대한 이미지획득이 가능하거나, 상대적으로 크기가 큰 검사대상에 대한 이미지 획득이 가능한 이점이 있다.

특히 카메라와 같은 이미지획득부는 이미지획득을 위한 이미지획득영역의 크기가 큰 경우 제조비용이 현저히 증가하는데, 이미지획득영역이 상대적으로 작은 이미지획득부들을 복수개로 배치하여 상대적으로 큰 이미지획득영역의 획득이 가능하여 비전검사모듈의 제조비용을 현저히 절감할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 비전검사모듈을 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 비전검사모듈을 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 1의 비전검사모듈을 보여주는 측면도이다.
도 4a 및 도 4b는 도 1의 비전검사모듈에 의한 검사과정을 보여주는 개념도들로서 각각 평면에서 본 개념도, 측면에서 본 개념도이다.
도 5는 도 1의 비전검사모듈을 가지는 소자검사장치를 보여주는 평면도이다.

이하 본 발명에 따른 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 도 1 내지 도 4b에 도시된 바와 같이, 검사대상(10)의 표면에 광을 조사하는 하나 이상의 광원(110)과; 검사대상(10)의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 순차적으로 배치되며 광원(110)에 의하여 광이 조사되는 검사대상(10)에 대한 이미지를 획득하는 2개 이상의 이미지획득부(120)들과; 광원(110) 및 이미지획득부(120)들이 설치되는 프레임(130)을 포함한다.

여기서 검사대상(10)은 웨이퍼 상태의 소자, 패키징 과정 중의 소자, 패키징이 완료된 소자 등은 물론 태양전지소자, LCD패널용 기판 등 반도체공정이 수행된 기판 등 표면에 대한 검사가 필요한 대상이면 어떠한 대상도 가능하다.

특히 본 모듈에 의하여 검사대상(10)의 검사는 2차원 또는 3차원 비전검사가 될 수 있으며, 3차원 비전검사가 가장 바람직하다.

상기 프레임(130)은 광원(110)이 및 이미지획득부(120)가 설치되는 프레임으로서 하나 이상의 프레임부재들로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 프레임(130)은 도 1에 도시된 바와 같이, 개구부(131a)가 형성된 개구프레임(131)과 개구부(131a)을 중심으로 대향되어 개구프레임(131)과 결합됨과 아울러 광원(110) 및 이미지획득부(120)를 지지하는 하나 이상의 지지프레임(132, 133)을 포함할 수 있다.

상기 개구프레임(131)은 지지프레임(132, 133)과 함께 안정적인 구조를 이루도록 하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 개구프레임(131)은 광의 투과 및 이미지획득을 위한 개구부(131a)가 형성됨과 아울러 후술하는 소자검사장치 등 설치되는 구조물과의 결합을 위하여 플레이트 형상을 가질 수 있다.

한편 상기 개구부(131a)는 상측에서 이동되는 검사대상(10)에 대한 광의 조사가 가능하고 이미지획득부(120)가 광이 조사된 검사대상(10)에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 개구프레임(131)에 형성되며 광의 조사 및 이미지획득이 가능한 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

상기 지지프레임(132, 133)은 광원(110) 및 이미지획득부(120)의 지지를 위한 구성으로서 그 지지구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 지지프레임(132, 133, 134)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일단이 서로 결합됨과 아울러 결합된 부분이 개구프레임(131)의 상측으로 돌출되도록 개구프레임(131)에 결합되는 제1지지프레임(132) 및 제2지지프레임(133)과, 제1지지프레임(132) 및 제2지지프레임(133) 각각을 대향되는 제1지지프레임(132) 및 제2지지프레임(133)과 연결함과 아울러 광원(110) 및 이미지획득부(120) 중 적어도 어느 하나가 설치되는 연결프레임(134)을 포함할 수 있다.

여기서 상기 제1지지프레임(132) 및 제2지지프레임(133)은 그 결합형태가 뒤집어진 V자 형상을 이룰 수 있다.

한편 상기 제1지지프레임(132) 및 제2지지프레임(133)은 개구프레임(131)의 결합 편의를 위하여 도 1에 도시된 바와 같이, 결합브라켓(136)에 의하여 개구프레임(131)에 결합될 수 있다.

그리고 상기 제1지지프레임(132) 및 제2지지프레임(133)은 광원(110) 및 이미지획득부(120)의 지지가 가능한 구성이면 어떠한 구성도 가능하며 도 1에 도시된 바와 같이, 플레이트 형상을 가질 수 있다.

또한 상기 제1지지프레임(132) 및 제2지지프레임(133)은 서로 결합된 부분에서 회전이 가능하도록 결합되어 검사대상(10)에 대하여 광원(110) 및 이미지획득부(120)가 이루는 각도를 가변시킬 수 있다.

상기 연결프레임(134)은 제1지지프레임(132) 및 제2지지프레임(133) 각각을 대향되는 제1지지프레임(132) 및 제2지지프레임(133)과 연결함과 아울러 광원(110) 및 이미지획득부(120) 중 적어도 어느 하나가 설치되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 광원(110)은 이미지획득부(120)가 검사대상(10)에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 검사대상(10)에 광을 조사하는 구성으로서, 단색의 레이저광 등 이미지 획득에 적절한 빛을 발생시키도록 구성될 수 있다.

그리고 상기 광원(110)은 검사대상(10)이 선형이동되면서 검사대상에 대한 이미지의 획득이 가능하도록 라인레이저를 발생시키도록 구성될 수 있다.

특히 상기 광원(110)을 구성하는 라인레이저는 직사각형의 검사대상(10)이 이동하는 방향과 수직을 이루어 검사대상(10)의 폭보다 큰 크기의 선형상을 가지는 것이 바람직하다.

한편 상기 광원(110)은 모듈(100)을 구성하는 프레임(130)에 고정되어 설치되거나 이미지획득부(120)를 구성하는 카메라의 FOV, 검사대상(10)의 크기 등에 대응할 수 있도록 검사대상(10)에 대한 거리 조정이 가능하도록 구성될 수 있다.

또한 상기 광원(110)은 검사대상(10)에 대한 조사각도를 조절할 수 있도록 프레임(130)에 설치되거나, 검사대상(10)의 표면에 대한 1차원 상대이동, 2차원 선형이동 등 상대이동이 가능하도록 프레임(130)에 설치되는 등 다양하게 설치될 수 있다.

또한 상기 광원(110)은 검사대상(10)의 표면에 대한 조사각도는 검사대상(10)의 표면에 수직을 이루어 광을 조사하거나, 경사를 이루어 광을 조사하는 등 검사대상(10)에 대한 광의 조사각도는 설계 및 디자인에 따라서 다양하게 설정될 수 있다.

이때 상기 이미지획득부(120) 또한 그 수광축, 즉 이미지획득부(120)를 구성하는 광학축이 검사대상(10)의 표면에 경사를 이루어 설치될 수 있다.

특히 상기 광원(110)이 검사대상(10)의 표면에 대하여 이루는 경사각은 이미지획득부(120)가 검사대상(10)의 표면에 대하여 이루는 경사각이 서로 대칭되거나 비대칭되는 등 다양하게 광원(110) 및 이미지획득부(120)가 다양하게 배치될 수 있다.

또한 상기 광원(110)은 하나가 아닌 복수개로 설치될 수 있다.

그리고 상기 광원(110)이 복수개로 설치된 경우, 복수개의 광원(110)들은 검사대상(10)의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 순차적으로 배치됨과 아울러, 검사대상(10)의 표면에 각 광원(110)들에 의하여 조사된 각 조사영역은 이웃하는 조사영역과 일부가 중첩되는 것이 바람직하다.

아울러, 상기 복수의 광원(110)들은 검사대상(10)의 이동방향과 수직인 폭방향으로 이동가능하게 설치되어 복수의 조사영역들에 의하여 형성되는 전체 조사영역이 검사대상(10)의 폭에 걸쳐 충분하게 검사대상(10)에 광이 조사되도록 구성될 수 있다.

상기 이미지획득부(120)는 광원(110)에 의하여 광이 조사된 검사대상(10)에 대한 이미지를 획득하기 위한 구성으로서, 디지털카메라와 같이 소정의 촬영영역을 가지는 카메라, 측정대상의 상대이동에 의하여 이미지를 획득하는 라인스캐너 등이 사용될 수 있다. 여기서 상기 이미지획득부(120)는 검사대상(10)이 고정된 상태에서 이미지를 획득하거나, 검사대상(10)에 대한 상대이동, 특히 검사대상(10)이 이동되는 상태에서 이미지를 획득할 수 있다.

상기 이미지획득부(120)는 프레임(130)에 고정되어 설치되거나 이동가능하게 설치되는 등 다양한 방식에 의하여 설치될 수 있다.

여기서 상기 이미지획득부(120)는 프레임(130)에서 다양한 방식에 의하여 이동가능하게 설치될 수 있다.

일예로서, 상기 이미지획득부(120)는 도 1에 도시된 바와 같이, 프레임(130) 중 연결프레임(134)에 그 이동을 가이드하는 가이드부(135)를 따라서 이동가능하게 설치되며, 프레임(130), 예를 들면 지지프레임 중 어느 하나에 설치된 선형구동부(136)에 의하여 선형구동된다.

상기 이미지획득부(120)는 검사대상(10)의 이동방향, 예를 들면 폭방향으로 이동가능하게 설치되어 검사대상(10)의 폭에 대응되는 이미지획득영역(AA1, AA2)을 형성할 수 있게 된다.

즉, 검사대상(10)의 폭이 상대적으로 큰 경우 복수의 이미지획득부(120)는 이미지획득영역(AA1, AA2)의 길이를 늘리는 방향으로 이동하며, 상대적으로 작은 경우 이미지획득영역(AA1, AA2)의 길이를 줄이는 방향으로 이동하여 다양한 크기의 검사대상(10)에 대한 비전검사를 가능하게 한다.

상기와 같이 상기 이미지획득부(120)가 2개 이상, 즉 복수개로 설치됨으로써 더욱 많은 수의 검사대상(10)에 대한 이미지획득이 가능하거나, 상대적으로 크기가 큰 검사대상(10)에 대한 이미지 획득이 가능한 이점이 있다.

특히 상기 이미지획득부(120)를 하나로 설치하는 경우, 상대적으로 많은 수의 검사대상(10)에 대한 이미지획득을 가능하게 하거나, 상대적으로 크기가 큰 검사대상(10)에 대한 이미지획득을 가능하게 하기 위해서는 광학계의 구성이 복잡해지는 등 상대적으로 고가의 장비를 사용하여야 하나, 본 발명에서는 복수의 이미지획득부(120)들을 이용함으로써 상대적으로 저가의 장비를 사용이 가능함으로써 모듈의 비용을 현저히 절감할 수 있다.

한편 상기 이미지획득부(120)가 2개 이상으로 설치된 경우, 2개 이상의 이미지획득부(120)들은 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 각 이미지획득영역(AA1, AA2)이 검사대상(10)의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 배치되며, 이미지획득영역(AA1)은 이웃하는 이미지획득영역(AA2)과 일부가 중첩되는 것이 바람직하다.

여기서 이미지획득영역(AA1)은 이웃하는 이미지획득영역(AA2)과 일부가 중첩됨으로써 이미지의 합성을 통하여 상대적으로 큰 폭을 가지는 검사대상(10)에 대한 이미지획득을 가능하게 한다.

이때 상기 복수개의 이미지획득부(120)들은 검사대상(10)의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루는 폭방향을 따라서 이동가능하게 설치되어 전체 이미지획득영역(AA1, AA2)가 검사대상(10)의 폭에 충분히 대응될 수 있도록 할 수 있다.

여기서 복수의 이미지획득부(120)들의 각 이미지획득영역(AA1)이 이웃하는 이미지획득영역(AA2)과 일부가 중첩되는 것은 각 이미지획득부(120)에 의하여 획득된 이미지들이 인접한 이미지와 중첩된 부분을 참조하여 비전검사를 위한 하나의 이미지를 형성하기 합성 기준으로 활용하기 위함이다.

즉, 상기 복수의 이미지획득부(120)들에 의하여 획득된 복수의 이미지들은 인접한 이미지에서 중첩된 부분을 기준으로 하여 하나의 이미지로 합성된 후 비전검사의 데이터로서 사용된다.

또한 상기 복수개의 이미지획득부(120)들은 검사대상(10)의 표면에 대하여 경사를 이루어 설치될 때, 검사대상(10)의 표면 상의 이미지획득영역(AA1, AA2)의 길이방향을 따라서 순차적으로 배치될 수 있다.

이때 상기 복수개의 이미지획득부(120)들은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 이미지획득영역(AA1, AA2)의 길이방향을 따라서 서로 엇갈리게 배치됨이 바람직하다.

상기와 같이 복수의 이미지획득부(120)들이 서로 엇갈리게 배치되면 검사대상(10)에 대한 이미지획득시 그 방향이 일부 상이하여 보다 정확한 3차원 검사가 가능한 이점이 있다.

정리하면, 상기 이미지획득부(120) 및 광원(110) 중 적어도 어느 하나가 2개 이상으로 설치되었을 때, 검사대상(10)의 폭의 크기가 변경되는 경우, 이미지획득부(120) 및 광원(110) 중 적어도 어느 하나는 검사대상(10)의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 이동이 가능하도록 설치되어 검사대상(10)에 대한 변경된 폭에 대응하여 광원(110)의 조사영역 및 이미지획득부(120)의 이미지획득영역을 조절하여 검사대상(10)에 대한 비전검사를 최적화할 수 있다.

상기와 같은 구성을 가지는 비전검사모듈은 검사대상에 대한 비전검사를 수행하는 모듈로서 다양한 장치에 적용될 수 있다.

일예로서, 본 발명에 따른 비전검사모듈은 소자에 대한 비전검사를 수행하는 소자검사장치에 적용될 수 있다.

여기서 소자는 웨이퍼 상태의 소자, 패키징 과정 중의 소자, 패키징이 완료된 소자 등은 물론 태양전지소자, LCD패널용 기판 등 반도체공정이 수행된 기판 등이 될 수 있다.

이하 본 발명에 따른 비전검사모듈이 적용된 소자검사장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 소자검사장치는 도 5에 도시된 바와 같이, 트레이(20)에 복수의 검사대상(10)들을 적재하여 검사대상(10)을 로딩하는 로딩부(400)와; 로딩부(400)의 일측에 설치되어 로딩부(400)로부터 적어도 하나의 검사대상(10)을 픽업하여 비전검사 후 로딩부(400)의 트레이(20)에 재적재하는 제1픽업툴(600)과; 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)을 포함하며, 제1픽업툴(600)에 의하여 픽업되어 이송되는 검사대상(10)의 저면에 대한 비전검사를 수행하는 제1비전검사부(101)와; 제1비전검사부(101)의 비전검사 결과에 따라서 검사대상을 분류하여 트레이(20)에 적재하는 언로딩부(300)를 포함할 수 있다.

여기서 상기 트레이(20)는 검사대상(10)이 안착되어 이송하는 구성으로서, 검사대상(10)이 안착되는 안착홈(2a)이 형성되는 등 다양한 구성이 가능하다.

상기 로딩부(400)는 검사대상인 검사대상(10)를 비전검사부(50)로 공급하기 위한 구성으로서, 트레이(20)에 형성된 안착홈(2a)에 안착된 상태로 다수개의 검사대상(10)들을 이송하여 비전검사부(50)가 검사할 수 있도록 구성된다.

상기 로딩부(400)는 다양한 구성이 가능하며, 도 5에 도시된 바와 같이, 다수개의 검사대상(10)들이 적재되는 트레이(20)의 이동을 안내하는 가이드부(410)와, 트레이(20)가 가이드부(410)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 제1픽업툴(600)은 지지브라켓(630)에 설치되는 다수개의 픽커(도 4b 참조; 611)들로 구성되며, 지지브라켓(630)는 본체(10)에 설치된 이송툴가이드(601)를 따라서 이동가능하게 설치된다.

상기 픽커(611)들은 검사대상(10)를 픽업하여 이송하기 위한 장치로서 다양한 구성이 가능하며, 1×8, 2×8 등 다양한 배치로 구성될 수 있으며, 각 픽커(611)는 상하이동(Z방향 이동)과 함께 진공압을 발생시켜 검사대상(10)를 흡착하여 픽업하는 흡착헤드를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 언로딩부(300)는 로딩부(400)와 유사한 구성을 가지며, 검사대상(10)의 검사결과의 수에 따라서 양품(G), 불량1 또는 이상1(R1), 불량2 또는 이상2(R2) 등의 분류등급이 부여되도록 복수개로도 구성이 가능하다.

즉, 상기 언로딩부(300)는 비전검사 결과 양호한 것으로 검사된 검사대상을 트레이(20)에 적재하는 굿트레이부와, 비전검사 결과 불량인 것으로 검사된 검사대상(10)을 트레이에 적재하는 하나 이상의 소팅트레이부를 포함하는 등 다양한 구성이 가능하다.

그리고 각 언로딩부(300)는 로딩부(400)의 일측에 평행하게 설치되는 가이드부(310)와, 트레이(2)가 가이드부(310)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

한편 트레이(2)는 로딩부(400) 및 언로딩부(300)들 사이에서 서로 트레이이송장치(미도시)에 의하여 이송이 가능하며, 언로딩부(300)에 검사대상(10)가 적재되지 않은 빈 트레이(2)를 공급하는 빈트레이부(200)를 추가적으로 포함할 수 있다.

이때 빈트레이부(200)는 로딩부(400)의 일측에 평행하게 설치되는 가이드부(210)와, 트레이(2)가 가이드부(210)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

또한 상기 언로딩부(300)에는 각 언로딩부(300) 사이에서 각 언로딩부(300)의 분류등급에 따라서 검사대상(10)를 이송하기 위한 제2픽업툴(620)이 별도로 설치될 수 있다.

상기 제1비전검사부(101)는 도 1 내지 도 4b에 도시된 비전검사모듈(100)을 포함하며, 도 4b에 도시된 바와 같이 제1픽업툴(600)에 의하여 픽업되어 이송되는 검사대상(10)의 저면에 대한 비전검사, 특히 3차원 비전검사를 수행한다.

한편 본 발명에 따른 소자검사장치는 로딩부(400)에서 트레이(20)의 이동경로 상에 설치되어 트레이(20)에 적재된 검사대상(10)의 상면을 검사하는 제2비전검사부(500)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제2비전검사부(500)는 검사대상(10)와의 상대이동, 즉 X축방향이동, Y축방향이동, X-Y방향이동, 회전이동 등에 의하여 비전검사를 수행하게 되므로, 모듈화된 2차원비전검사부(530)의 X축방향 및 Y축방향의 이동을 가이드하기 위한 가이드부(510, 540)를 포함할 수 있다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

100 : 비전검사모듈
110 : 광원 120 : 이미지획득부

Claims (17)

1. 검사대상의 표면에 광을 조사하는 하나 이상의 광원과;
   상기 검사대상의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 순차적으로 배치되며 상기 광원에 의하여 광이 조사되는 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 2개 이상의 이미지획득부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 2개 이상의 이미지획득부들의 각 이미지획득영역이 검사대상의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 배치되며, 상기 이미지획득영역은 이웃하는 이미지획득영역과 일부가 중첩되는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 복수개의 이미지획득부들은 상기 검사대상의 표면에서 그 이동방향과 수직방향을 따라서 이동가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 광원은 복수개로 설치되며, 상기 복수개의 광원들은 상기 검사대상의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 순차적으로 배치됨과 아울러, 상기 검사대상의 표면에 상기 각 광원들에 의하여 조사된 각 조사영역은 이웃하는 조사영역과 일부가 중첩되는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 이미지획득부들은 2개인 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 이미지획득부는 라인스캐너 또는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
7. 청구항 1에 있어서,
   상기 광원은 검사대상의 표면에 대하여 경사를 이루어 광을 조사하도록 설치되며, 상기 이미지획득부는 그 수광축이 검사대상의 표면에 대하여 경사를 이루어 설치된 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
8. 청구항 1에 있어서,
   상기 이미지획득부 및 상기 광원 중 적어도 어느 하나는 2개 이상으로 설치되며, 상기 이미지획득부 및 상기 광원 중 적어도 어느 하나는 상기 검사대상의 표면에서 그 이동방향과 수직을 이루어 이동가능하도록 설치된 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
9. 청구항 1에 있어서,
   상기 이미지획득부는 상기 검사대상이 이동되는 상태에서 상기 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
10. 청구항 1에 있어서,
    상기 이미지획득부는 복수개로 설치되며,
    상기 복수개의 이미지획득부들은 각 이미지획득부들의 이미지획득영역의 길이방향을 따라서 서로 엇갈리게 배치된 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
11. 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 하나의 항에 있어서,
    개구부가 형성된 개구프레임과, 상기 개구부을 중심으로 대향되어 상기 개구프레임과 결합됨과 아울러 상기 광원 및 상기 이미지획득부를 지지하는 하나 이상의 지지프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
12. 청구항 11에 있어서,
    상기 이미지획득부는 상기 프레임에 그 이동을 가이드하는 가이드부를 따라서 이동가능하게 설치되며, 상기 프레임에 설치된 선형구동부에 의하여 선형구동되는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
13. 트레이에 복수의 검사대상들을 적재하여 검사대상을 로딩하는 로딩부와;
    상기 로딩부의 일측에 설치되어 상기 로딩부로부터 적어도 하나의 검사대상을 픽업하여 비전검사 후 로딩부의 트레이에 재적재하는 제1픽업툴과;
    청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 하나의 항에 따른 비전검사모듈을 포함하며, 상기 제1픽업툴에 의하여 픽업되어 이송되는 검사대상의 저면에 대한 비전검사를 수행하는 제1비전검사부와;
    상기 제1비전검사부의 비전검사 결과에 따라서 검사대상을 분류하여 트레이에 적재하는 언로딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
14. 청구항 13에 따라서,
    상기 로딩부에서 트레이의 이동경로 상에 설치되어 트레이에 적재된 검사대상의 상면을 검사하는 제2비전검사부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
15. 청구항 13에 있어서,
    상기 언로딩부는 비전검사 결과 양호한 것으로 검사된 검사대상을 트레이에 적재하는 굿트레이부와, 비전검사 결과 불량인 것으로 검사된 검사대상을 트레이에 적재하는 하나 이상의 소팅트레이부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
16. 청구항 13에 있어서,
    개구부가 형성된 개구프레임과, 상기 개구부을 중심으로 대향되어 상기 개구프레임과 결합됨과 아울러 상기 광원 및 상기 이미지획득부를 지지하는 하나 이상의 지지프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
17. 청구항 13에 있어서,
    상기 이미지획득부는 상기 프레임에 그 이동을 가이드하는 가이드부를 따라서 이동가능하게 설치되며, 상기 프레임에 설치된 선형구동부에 의하여 선형구동되는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.

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