KR20130102209A - 웨이퍼 정렬 장치 및 웨이퍼 정렬 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시형태에 따른 웨이퍼 정렬 장치는 제 1및 제 2 웨이퍼를 각각 지지하기 위한 제 1 및 제 2 웨이퍼 홀더; 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼가 서로 마주하여 예비 정렬되도록 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼 홀더 중 적어도 하나를 이동시키는 홀더 이동부; 상기 홀더 이동부에 의해 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼가 예비 정렬된 상태에서, 예비 정렬된 상기 제 1및 제 2웨이퍼의 수평방향에 위치하여 상기 예비 정렬된 제 1 및 제 2 웨이퍼의 에지 부분을 관찰하는 적어도 하나의 관찰부; 및 상기 관찰부에 의하여 관찰된 정보를 수신하여 원하는 정렬상태가 아닐 경우 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼가 재정렬되도록 상기 홀더 이동부를 제어하는 제어부;를 포함한다.

Description

웨이퍼 정렬 장치 및 웨이퍼 정렬 방법{APPARATUS AND METHOD FOR WAFER ALIGNMENT}
본 발명은 웨이퍼 정렬 장치 및 웨이퍼 정렬 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 있어서 웨이퍼와 웨이퍼를 정렬해야 하는 경우가 많이 발생한다.
통상, 정렬할 웨이퍼의 형상에 따라 두 웨이퍼의 적절한 세 외각점을 지정한 후, 그 외각점에 대한 물리적 접촉을 이용하여 밀어서 정렬하는 기계적 정렬(mechanical align) 방법을 많이 사용한다. 그러나 이러한 방법에 의하여 정렬을 하는 경우에 공정 및 설비 자체의 문제에 의하여 정렬 정확도에 한계가 있고, 웨이퍼의 형상이 서로 달라 정렬에 문제가 발생한다.
다른 방법으로는, 정렬해야 할 두 개의 웨이퍼에 정렬 키(align key)를 형성시켜 이를 이용하여 정렬하는 방법이 있다. 그러나 이는 두 개의 웨이퍼에 정렬 키(align key)를 형성시키는 공정이 추가된다는 단점이 있으며, 정렬 키(align key)를 이용하는 장비가 고가이기 때문에 양산성 측면에 어려움이 있다.
따라서 정렬 정확도를 제공하면서 보다 간소화된 공정을 통해 웨이퍼 정렬을 구현할 수 있는 웨이퍼 정렬 장치 및 웨이퍼 정렬 방법이 요구되고 있다.
본 발명의 일 실시형태에 따른 웨이퍼 정렬 장치는 제 1및 제 2 웨이퍼를 각각 지지하기 위한 제 1 및 제 2 웨이퍼 홀더; 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼가 서로 마주하여 예비 정렬되도록 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼 홀더 중 적어도 하나를 이동시키는 홀더 이동부; 상기 홀더 이동부에 의해 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼가 예비 정렬된 상태에서, 예비 정렬된 상기 제 1및 제 2웨이퍼의 수평방향에 위치하여 상기 예비 정렬된 제 1 및 제 2 웨이퍼의 에지 부분을 관찰하는 적어도 하나의 관찰부; 및 상기 관찰부에 의하여 관찰된 정보를 수신하여 원하는 정렬상태가 아닐 경우 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼가 재정렬되도록 상기 홀더 이동부를 제어하는 제어부; 를 포함한다.
또한, 상기 관찰부는 현미경을 포함할 수 있다.
또한, 상기 적어도 하나의 관찰부는 복수 개의 관찰부이며, 상기 복수 개의 관찰부는 각각 서로 다른 위치에 있는 복수의 상기 에지 부분을 관찰할 수 있다.
또한, 상기 관찰부는 상기 예비 정렬된 상기 제 1및 제 2웨이퍼의 중심을 기준으로 서로 대칭적으로 배열될 수 있다.
또한, 상기 관찰부는 상기 예비 정렬된 제 1및 제 2웨이퍼의 외각선과 상기 관찰부와의 접선 부분을 관찰할 수 있다.
또한, 상기 제어부에 의하여 제어되는 상기 홀더 이동부는 상기 제 1및 제2 웨이퍼 홀더를 XYθ-방향으로 이동시킬 수 있다.
또한, 상기 제 1 및 제 2웨이퍼는 동일한 형상과 면적을 가지며, 상기 원하는 정렬 상태는 상기 에지 부분에 위치한 제 1 및 제 2웨이퍼의 단면이 하나의 직선 상에 위치하는 상태일 수 있다.
또한, 상기 제 1및 제 2웨이퍼의 형상과 면적 중 적어도 하나는 상이하며, 상기 원하는 정렬 상태는 상기 에지 부분에 위치한 제 1 및 제 2웨이퍼의 단면이 상기 복수 개의 관찰부에서 관찰한 복수의 에지 부분에서 동일한 편차를 갖는 상태일 수 있다.
본 발명의 다른 실시형태에 따른 웨이퍼 정렬 방법은 제 1 및 제 2 웨이퍼 홀더에 제 1 및 제 2 웨이퍼를 배치하는 단계; 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼 홀더 중 적어도 어느 하나를 이동시켜 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼가 서로 마주하도록 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼를 예비 정렬 시키는 단계; 상기 제 1 및 제 2웨이퍼가 예비 정렬된 상태에서, 예비 정렬된 상기 제 1및 제 2 웨이퍼의 수평방향에 위치한 적어도 하나의 관찰부를 이용하여 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼의 에지 부분을 관찰하는 단계; 및 상기 관찰부에 의하여 관찰된 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼의 에지 부분이 원하는 정렬 상태가 아닐 경우 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼를 재정렬시키는 단계;를 포함한다.
또한, 상기 관찰부는 현미경을 포함할 수 있다.
또한, 상기 적어도 하나의 관찰부는 복수개의 관찰부이며, 상기 복수 개의 관찰부는 각각 서로 다른 위치에 있는 복수의 에지 부분을 관찰할 수 있다.
또한, 상기 관찰부는 상기 예비 정렬된 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼의 중심을 기준으로 서로 대칭적으로 배열될 수 있다.
또한, 상기 관찰부는 상기 예비 정렬된 제 1 및 제 2 웨이퍼의 외각선과 상기 관찰부와의 접선 부분을 관찰할 수 있다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼를 재정렬시키는 단계는 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼 홀더를 XYθ-방향으로 이동시킬 수 있다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼는 동일한 형상과 면적을 가지며, 상기 원하는 정렬 상태는 상기 에지 부분에 위치한 제 1 및 제 2 웨이퍼의 단면이 하나의 직선 상에 위치하는 상태일 수 있다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼의 형상과 면적 중 적어도 하나는 상이하며, 상기 원하는 정렬 상태는 상기 에지 부분에 위치한 제 1 및 제 2 웨이퍼의 단면이 상기 복수 개의 관찰부에서 관찰한 상기 복수의 에지 부분에서 동일한 편차를 갖는 상태일 수 있다.
본 발명의 실시형태에 따르면 정렬 정확도를 제공하면서 보다 간소화된 공정을 통해 웨이퍼 정렬을 구현할 수 있는 웨이퍼 정렬 장치 및 웨이퍼 정렬 방법을 제공한다.
본 발명의 실시형태에 따르면 웨이퍼의 형상이 다른 경우에도 웨이퍼 정렬이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 정렬 장치의 개략도이다.
도 2는 도 1에 도시한 웨이퍼 정렬 장치의 현미경으로 예비 정렬된 두 웨이퍼를 관찰하는 방법을 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 웨이퍼 정렬 장치의 현미경으로 관찰한 정렬된 두 웨이퍼의 에지 부분을 나타낸 도면이다.
도 4는 상부 웨이퍼와 하부 웨이퍼의 형상이나 면적이 다른 경우 본 발명에 의한 웨이퍼 정렬 장치의 현미경으로 관찰한 웨이퍼의 에지 부분을 나타낸 도면이다.
본 발명의 실시형태에 따른 웨이퍼 정렬 장치 및 웨이퍼 정렬 방법에 관한 사항을 도면을 참조하여 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명되는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시형태는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다.
따라서, 도면에 도시된 구성요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 도면 상에서 실질적으로 동일한 구성과 기능을 가진 구성요소들은 동일한 참조부호를 사용할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 정렬 장치(100)의 개략도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 정렬 장치(100)는 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)를 지지하는 상부 웨이퍼 홀더(10) 및 하부 웨이퍼 홀더(20), 홀더 이동부(30), 제 1 현미경대(40a) 및 제 2 현미경대(40b), 제 1 현미경(50a) 및 제 2 현미경(50b)을 포함하는 현미경 세트(50a, 50b) 및 제어부(60)를 포함한다.
하부 웨이퍼(W2)는 하부 웨이퍼 홀더(20)에 놓여 있고 상부 웨이퍼(W1)는 진공 흡입에 의해 상부 웨이퍼 홀더(10)에 유지되어 있으며, 상부 웨이퍼 홀더(10)는 홀더 이동부(30)의 동작에 의하여 XYθ-방향으로 이동 가능하도록 홀더 이동부(30)에 연결되어 있다.
제 1 현미경대(40a) 및 제 2 현미경대(40b)에는 제 1 현미경(50a) 및 제 2현미경(50b)이 각각 구비되어 있으며, 제 1 현미경대(40a) 및 제 2 현미경대(40b)는 제 1 현미경(50a) 및 제 2 현미경(50b)을 이동시킨다. 제 1 현미경(50a) 및 제 2 현미경(50b)은 예비 정렬된 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)의 수평방향에서 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)를 중심으로 서로 대칭되도록 위치하며, 웨이퍼 정렬 장치(100)내에서 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)의 정렬상태를 관찰하는 역할을 한다.
본 명세서에서 사용되는 예비 정렬은 통상의 웨이퍼 이동 방식을 이용하여 접합 또는 증착 등과 같은 후속 공정을 위하여 웨이퍼를 정렬한 상태를 의미하며, 원하는 정렬상태로의 재정렬이 용이하도록 두 웨이퍼가 수직방향으로 소정의 간격이 이격되어 완전히 접촉하지 않은 상태를 포함할 수 있다.
상기 제어부(60)는 현미경 세트(50a, 50b)에서 관찰한 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)의 정렬 상태를 파악한 후 홀더 이동부(30)에 연결되어 있는 상부 웨이퍼 홀더(20)을 XYθ-방향으로 이동시켜 웨이퍼를 원하는 정렬상태로 정렬시킨다.
본 발명에 의한 웨이퍼 정렬 장치(100)는 상부 웨이퍼 홀더(10)를 홀더 이동부(30)의 동작에 의하여 XYθ-방향으로 이동 가능하도록 하였으나, 상부 웨이퍼 홀더 또는 하부 웨이퍼 홀더 중 적어도 어느 하나를 이동시켜 상기 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)를 예비 정렬 시킬 수 있다.
본 발명에 의한 웨이퍼 정렬 장치(100)를 이용한 웨이퍼 정렬방법은 먼저, 상부 웨이퍼(W1)는 상부 웨이퍼 홀더(10)에 유지시키고, 하부 웨이퍼(W2)는 하부 웨이퍼 홀더(20)에 안착시킨다. 이후 홀더 이동부(30)에 부착되어 있는 상부 웨이퍼 홀더(10)을 아래로 이동시켜 상부 웨이퍼(W1)와 하부 웨이퍼(W2)를 예비 정렬 시킨다.
이후 현미경대(40a, 40b)에 구비된 현미경 세트(50a, 50b)를 예비 정렬된 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)의 수평방향에 가까이 위치시켜 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)의 에지(edge)부분을 관찰한다. 이후 관찰된 데이타를 제어부(60)에 전달시킨다. 제어부(60)는 전달된 데이터를 판독하여 홀더 이동부(30)에 연결되어 있는 상부 웨이퍼 홀더(10)을 XYθ-방향으로 이동시켜 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)를 재정렬시킨다. 여기서 재정렬된 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)를 현미경 세트(50a, 50b)로 다시 관찰하여 관찰된 데이타를 제어부(60)에 전달 시키고 제어부(60)는 전달된 데이터를 판독하여 홀더 이동부(30)를 XYθ-방향으로 이동시켜 다시 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)를 다시 재정렬시킬 수 있다. 이후 상부 웨이퍼 홀더(10)을 아래로 이동시켜 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)를 접촉시킨다. 이와 같이 정렬된 웨이퍼에 접합 또는 증착과 같은 후속 공정을 실시한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 정렬 방법에서는 상부 웨이퍼 홀더(10)가 홀더 이동부(30)에 의하여 하부 웨이퍼 홀더(20) 방향으로 아래로 이동된 경우에 대하여 설명하였으나, 하부 웨이퍼 홀더(20)가 홀더 이동부(30)에 의하여 상부 웨이퍼 홀더(10) 방향으로 위로 이동할 수 있고, 상부 웨이퍼 홀더와 하부 웨이퍼 홀더를 모두 이동시켜 상기 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)를 예비 정렬 시킬 수 있다.
또한 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 정렬 장치(100)는 상부 웨이퍼 홀더(10)를 홀더 이동부(30)의 동작에 의하여 XYθ-방향으로 이동하여 상기 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)를 재정렬시키는 경우에 대하여 설명하였으나, 상부 웨이퍼 홀더 또는 하부 웨이퍼 홀더 중 적어도 어느 하나를 이동시켜 상기 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)를 재정렬 시킬 수 있다.
도 2는 도 1에 도시한 웨이퍼 정렬 장치의 현미경으로 예비 정렬된 상부 및 하부 웨이퍼를 관찰하는 방법을 나타내는 평면도이다.
웨이퍼 정렬 장치(100)의 현미경 세트(50a, 50b)는 예비 정렬된 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)의 에지(edge)부분을 관찰한다. 예비 정렬된 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)와 제 1 현미경(50a)과의 접선부분을 관찰 지점(P1, P2)로 하여 제 1 현미경(50a)으로 상기 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)의 에지(edge)부분을 관찰하고, 예비 정렬한 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)와 제 2 현미경(50b)과의 접선부분을 관찰 지점(P3, P4)로 하여 제 2 현미경(50b)으로 상기 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)의 에지(edge) 부분을 관찰하여 정렬 여부를 검사한다.
관찰 지점(P1, P2, P3, P4) 중 3개의 지점만 정렬이 맞으면 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)의 정렬 여부를 판단할 수 있으므로 3개의 지점만 관찰할 수 있다.
도 3은 도 1에 도시한 웨이퍼 정렬 장치의 현미경으로 관찰한 정렬된 두 웨이퍼의 에지 부분을 나타낸 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 4개의 관찰 지점(P1, P2, P3, P4) 중 3개의 지점에서 관찰한 상기 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)의 에지(edge)부분의 단면이 하나의 직선(점선부분)상에 위치하면 정렬되어 있다고 판단한다.
도 4는 상부 웨이퍼와 하부 웨이퍼의 형상이나 면적이 다른 경우 본 발명에 의한 웨이퍼 정렬 장치의 현미경으로 관찰한 웨이퍼의 에지 부분을 나타낸 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 두 웨이퍼의 형상이나 면적이 다른 경우, 서로 다른 관찰 지점에서 본 웨이퍼의 제 1 단면(A)과 제 2 단면(B)의 모습이 같으면, 즉 상기 상부 및 하부 웨이퍼(W1, W2)가 같은 크기(d)만큼 편차가 나는 경우에는 정렬이 되어 있다고 판단할 수 있다.
또한, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 4개의 관찰 지점(P1, P2, P3, P4) 중 3개의 관찰 지점에서 관찰된 상하 웨이퍼의 단면의 모습이 일치하는 경우에는 정렬되어 있다고 판단할 수 있다.
본 발명의 실시예에서 두 개의 현미경을 채용한 경우에 대하여 예시하였으나, 웨이퍼 정렬을 위한 복수개의 현미경을 사용할 수 있다.
본 발명에 의한 웨이퍼 정렬장치를 이용하여 웨이퍼를 정렬시키면 다양한 형상의 웨이퍼를 정렬할 수 있어 정렬 정확도를 제공할 수 있으며, 정렬 키를 형성할 필요가 없어 생산단가를 줄일 수 있는 효과가 있다.
W1…상부 웨이퍼 W2…하부 웨이퍼
10…상부 웨이퍼 홀더 20…하부 웨이퍼 홀더
30…홀더 이동부
40a...제 1현미경대 40b...제 2현미경대
50a…제 1현미경 50b….제 1현미경
60…제어부 100… 웨이퍼 정렬 장치

Claims (16)

  1. 제 1및 제 2 웨이퍼를 각각 지지하기 위한 제 1 및 제 2 웨이퍼 홀더;
    상기 제 1 및 제 2 웨이퍼가 서로 마주하여 예비 정렬되도록 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼 홀더 중 적어도 하나를 이동시키는 홀더 이동부;
    상기 홀더 이동부에 의해 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼가 예비 정렬된 상태에서, 예비 정렬된 상기 제 1및 제 2웨이퍼의 수평방향에 위치하여 상기 예비 정렬된 제 1 및 제 2 웨이퍼의 에지 부분을 관찰하는 적어도 하나의 관찰부; 및
    상기 관찰부에 의하여 관찰된 정보를 수신하여 원하는 정렬상태가 아닐 경우 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼가 재정렬되도록 상기 홀더 이동부를 제어하는 제어부;
    를 포함하는 웨이퍼 정렬 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 관찰부는 현미경을 포함하는 웨이퍼 정렬 장치.
  3. 제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 관찰부는 복수 개의 관찰부이며,
    상기 복수 개의 관찰부는 각각 서로 다른 위치에 있는 복수의 상기 에지 부분을 관찰하는 웨이퍼 정렬 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 관찰부는 상기 예비 정렬된 상기 제 1및 제 2웨이퍼의 중심을 기준으로 서로 대칭적으로 배열된 웨이퍼 정렬 장치
  5. 제1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 관찰부는 상기 예비 정렬된 제 1및 제 2웨이퍼의 외각선과 상기 관찰부와의 접선 부분을 관찰하는 웨이퍼 정렬 장치.
  6. 제1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어부에 의하여 제어되는 상기 홀더 이동부는 상기 제 1및 제2 웨이퍼 홀더를 XYθ-방향으로 이동시키는 웨이퍼 정렬 장치.
  7. 제1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2웨이퍼는 동일한 형상과 면적을 가지며,
    상기 원하는 정렬 상태는 상기 에지 부분에 위치한 제 1 및 제 2웨이퍼의 단면이 하나의 직선 상에 위치하는 상태인 웨이퍼 정렬 장치.
  8. 제3항에 있어서,
    상기 제 1및 제 2웨이퍼의 형상과 면적 중 적어도 하나는 상이하며,
    상기 원하는 정렬 상태는 상기 에지 부분에 위치한 제 1 및 제 2웨이퍼의 단면이 상기 복수 개의 관찰부에서 관찰한 복수의 에지 부분에서 동일한 편차를 갖는 상태인 웨이퍼 정렬 장치.
  9. 제 1 및 제 2 웨이퍼 홀더에 제 1 및 제 2 웨이퍼를 배치하는 단계;
    상기 제 1 및 제 2 웨이퍼 홀더 중 적어도 어느 하나를 이동시켜 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼가 서로 마주하도록 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼를 예비 정렬 시키는 단계;
    상기 제 1 및 제 2웨이퍼가 예비 정렬된 상태에서, 예비 정렬된 상기 제 1및 제 2 웨이퍼의 수평방향에 위치한 적어도 하나의 관찰부를 이용하여 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼의 에지 부분을 관찰하는 단계; 및
    상기 관찰부에 의하여 관찰된 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼의 에지 부분이 원하는 정렬 상태가 아닐 경우 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼를 재정렬시키는 단계;
    를 포함하는 웨이퍼 정렬 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 관찰부는 현미경을 포함하는 웨이퍼 정렬 방법.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 관찰부는 복수개의 관찰부이며,
    상기 복수 개의 관찰부는 각각 서로 다른 위치에 있는 복수의 에지 부분을 관찰하는 웨이퍼 정렬 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 관찰부는 상기 예비 정렬된 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼의 중심을 기준으로 서로 대칭적으로 배열된 웨이퍼 정렬 방법.
  13. 제9항 내지 제12항에 있어서,
    상기 관찰부는 상기 예비 정렬된 제 1 및 제 2 웨이퍼의 외각선과 상기 관찰부와의 접선 부분을 관찰하는 웨이퍼 정렬 방법.
  14. 제9항 내지 제13항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 웨이퍼를 재정렬시키는 단계는 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼 홀더를 XYθ-방향으로 이동시키는 웨이퍼 정렬 방법.
  15. 제9항 내지 제14항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 웨이퍼는 동일한 형상과 면적을 가지며,
    상기 원하는 정렬 상태는 상기 에지 부분에 위치한 제 1 및 제 2 웨이퍼의 단면이 하나의 직선 상에 위치하는 상태인 웨이퍼 정렬 방법.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 웨이퍼의 형상과 면적 중 적어도 하나는 상이하며,
    상기 원하는 정렬 상태는 상기 에지 부분에 위치한 제 1 및 제 2 웨이퍼의 단면이 상기 복수 개의 관찰부에서 관찰한 상기 복수의 에지 부분에서 동일한 편차를 갖는 상태인 웨이퍼 정렬 방법.
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