KR20130093032A - 유기물 정제장치 - Google Patents

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KR20130093032A
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곽재수
정연길
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신진엠텍(주)
유일에너테크(주)
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Abstract

본 발명은, 일정크기의 프레임; 상기 프레임의 상부측에 위치되어 이중 진공챔버로서 보호되고, 유기물 재료가 내부에 담기는 프로세스 챔버를 구비하며, 상기 프로세스 챔버의 외측에서 히터를 통하여 프로세스 챔버 내의 유기물 재료를 가열시켜 불순물을 분리하는 정제 처리부; 상기 정제 처리부의 프로세스 챔버 내부에 삽입되고, 그 폭이 높이보다 크게 이루어진 단면으로 형성되며, 내부에는 유기물 재료가 담겨서 정제품과 불순물을 분리시키는 인너 튜브; 상기 정제 처리부의 이중 진공 챔버중 외측 진공챔버에 저압의 진공압을 부여하는 저진공 펌프를 구비하여 외부의 대기압으로부터 프로세스 챔버를 분리시키는 저진공 처리부; 및 상기 정제 처리부의 프로세스 챔버에 고압의 진공압을 부여하는 고진공 펌프를 구비하여 프로세스 챔버를 진공처리하는 고진공 처리부;를 포함하는 유기물 정제장치를 제공한다. 본 발명의 유기물 정제장치에 의하면 인너 튜브에 담긴 유기질 재료의 승화 표면적이 크게 증가되어 적어도 2배 이상 종래의 구조에 비하여 열효율 및 정제 효율을 크게 향상시킬 수 있고, 유기물 재료의 국소적인 온도 편차를 최소화시켜서 유기물 재료의 변질을 방지하고 순도 높은 정제품을 생산할 수 있으며, 대량 정제처리에도 적합한 우수한 효과를 얻는다.

Description

유기물 정제장치{APPARATUS FOR PURIFYING ORGANIC COMPOUND BY SUBLIMATION}
본 발명은 유기물 재료의 물성 변화 온도차이를 이용하여 불순물을 승화 정제시키는 장치에 관한 것으로, 보다 상세히는 이중 진공 챔버 구조의 프로세스 챔버(Process Chamber)내에서 그 폭이 높이보다 현저하게 큰 직사각형 단면의 인너 튜브(Inner Tube)를 적용함으로써 유기질 재료의 승화 표면적을 크게 증가시켜서 정제 효율을 크게 향상시키고, 유기물 재료의 온도 편차에 따른 재료 변질을 효과적으로 방지할 수 있으며, 유기물의 대량 정제처리에 적합함은 물론, 프로세스 챔버의 파손을 방지하여 유지보수 비용을 크게 절감시킬 수 있도록 개선된 유기물 정제장치에 관한 것이다.
일반적으로 유기물 정제장치는 유기물 재료를 가열시키고, 승화시켜서 불순물을 분리하고 고순도의 정제품을 얻기 위하여 사용된다.
종래의 유기물 정제장치(1)는 도 1에 도시된 바와 같이, 진공으로 유지되는 프로세스 챔버(10)의 외측 둘레에 다수의 히터(20)들이 배치되고, 상기 프로세스 챔버(10)를 형성하는 외측 관(12)의 내부에는 석영관으로 이루어진 내측 관(30)이 위치되며, 상기 내측 관(30)의 내부에는 정제시키고자 하는 유기물 재료(40)를 담은 석영 재료의 인너 튜브(Inner Tube)(50)가 삽입된 구조이다.
이와 같은 종래의 유기물 정제장치(1)는 외측 관(12)을 에워싸는 히터(20)를 이용하여 외측 관(12)의 길이방향으로 온도 구배를 형성하여 각각 다른 온도로 가열시키게 된다.
이와 같은 종래의 유기물 정제장치(1)의 기본적인 작동은 석영관으로 이루어진 인너 튜브(50)의 내부에 원료인 유기질 재료(40)를 투입하고, 내측 관(30)과 인너 튜브(50)를 외측 관(12)의 내부로 삽입한다.
그리고 외측 관(12)의 내부, 즉 프로세스 챔버(Process Chamber)(10)를 진공 배기하고, 외측 관(12)을 통해서 히터(20)로 가열시키면, 인너 튜브(50)에 담긴 유기물 재료(40)가 프로세스 챔버(10)내에서 승화되어 정제품(60)과 불순물(70)로 정제된다.
여기서, 외측 관(12)을 길이방향으로 온도 구배를 주어서 가열시키는 이유는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 프로세스 챔버(10)의 내부에 온도 구배, 예를 들면 400℃ 구간, 250℃ 구간, 100℃ 구간별로 온도 구배를 형성시키고, 유기물 재료(40)를 승화시켜 이러한 온도 구배에 따라 각각의 내측 관(30)에 정제품(60)과 불순물(70)을 각각 분리 정제시키기 위함이다.
그리고 이와 같이 유기물 재료(40)의 정제가 완료되면, 프로세스 챔버(10)를 냉각시키고 상온에서 진공을 해제시키며, 인너 튜브(50)를 외측 관(12)으로부터 취외(取外)하여 정제된 유기질 재료(40)의 정제품(60)을 수거하고, 불순물(70)을 분리 처리한다. 그리고 이와 같은 공정을 반복하여 유기질 재료(40)의 순도를 향상시키는 것이다.
그러나 이와 같은 종래의 유기물 정제장치(1)는 유기물 정제 효율을 높이기 위하여 인너 튜브(50)의 직경을 크게 하고, 많은 량의 유기물 재료(40)를 정제처리하는 과정에서 여러가지 문제점을 발생시키는 것이었다.
즉, 종래의 유기물 정제장치(1)는 도 2에 도시된 바와 같이, 인너 튜브(50)가 반원형의 단면을 갖는 것이어서, 그 지름을 증대시켜도 많은 량의 유기물 재료(40)를 일시에 정제시키는 데에는 한계가 있었으며, 인너 튜브(40)의 외주측(P1)과 중심측(P2)에 각각 위치된 유기물 재료(40)는 히터(20)와의 간격이 너무 크게 형성되어 온도 편차가 크게 발생되는 문제점이 있었다.
이와 같이 유기물 재료(40)에서 국소적인 온도 편차가 크게 발생하면, 유기물 재료(40)의 부분적인 변질이 발생되고, 유기물 재료(40)가 부분적으로 열손상되어 정확한 정제품(50)을 얻을 수 없으며, 유기물 재료(40)를 균일하게 가열시키지 못함으로써 열 효율은 물론, 정제 생산효율이 크게 저하되는 문제점이 있었다.
특히, 많은 량의 유기질 재료(40)를 인너 튜브(50)에 장입하여 정제 처리하는 경우에, 인너 튜브(50)는 반원형의 단면을 갖는 것이어서 처리 물량에 비해 프로세스 챔버(10) 내에서 노출되는 승화 표면적(R1)이 상대적으로 적은 것이어서, 단시간 내에 많은 유기물 재료(40)가 승화되지 못하는 결정적인 단점을 갖는 것이었다.
뿐만 아니라, 종래의 유기물 정제장치(1)는 외측 관(12)의 둘레에 단순히 히터(20)들이 원주방향으로 장착되어 외측 관(12) 내부의 프로세스 챔버(10)를 가열시키는 구조이므로, 외측 관(12) 내측의 프로세스 챔버(10)를 고압으로 진공형성시키는 과정에서, 단일 석영 원통관 형태의 외측 관(12)은 높은 진공압과 외부 대기압에 의해서 파손되는 경우가 빈발하는 문제점을 갖는 것이었다.
따라서 종래의 유기물 정제장치(1)는 이와 같이 외측 관(12)이 파손되어 프로세스 챔버(10)에 고압 진공을 형성시키지 못하면, 이를 보수 유지하는데에 많은 보수 유지시간이 필요하게 되므로, 정제작업의 생산성이 크게 저하되고, 보수 유지 비용이 크게 필요한 문제점을 갖는 것이었다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소시키기 위한 것으로서, 유기물의 물성 변화 온도차이를 이용하여 불순물을 승화 정제시키는 과정에서 인너 튜브에 담긴 유기질 재료의 승화 표면적이 크게 증가되도록 하여 열효율 및 정제 효율을 크게 향상시킬 수 있고, 유기물 재료의 국소적인 온도 편차를 최소화시킴으로써 재료 변질을 효과적으로 방지하여 순도 높은 정제품을 생산할 수 있으며, 유기물의 대량 정제처리에 적합하도록 개선된 유기물 정제장치를 제공함에 있다.
그리고 본 발명의 다른 목적은 프로세스 챔버를 고압 진공처리시키는 과정에서 프로세스 챔버의 파손을 완벽하게 방지시킬 수 있음으로써 프로세스 챔버의 보수 유지에 많은 정비시간과 비용을 절감할 수 있고, 장치의 가동율을 높여서 정제작업의 생산성을 크게 높일 수 있으며, 유지보수 비용을 크게 줄일 수 있도록 개선된 유기물 정제장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 유기물 재료의 물성 변화 온도차이를 이용하여 불순물을 승화 정제시키는 장치에 있어서,
일정크기의 프레임;
상기 프레임의 상부측에 위치되어 이중 진공챔버로서 보호되고, 유기물 재료가 내부에 담기는 프로세스 챔버를 구비하며, 상기 프로세스 챔버의 외측에서 히터를 통하여 프로세스 챔버 내의 유기물 재료를 가열시켜 불순물을 분리하는 정제 처리부;
상기 정제 처리부의 프로세스 챔버 내부에 삽입되고, 그 폭이 높이보다 크게 이루어진 단면으로 형성되며, 내부에는 유기물 재료가 담겨서 정제품과 불순물을 분리시키는 인너 튜브;
상기 정제 처리부의 이중 진공 챔버중 외측 진공챔버에 저압의 진공압을 부여하는 저진공 펌프를 구비하여 외부의 대기압으로부터 프로세스 챔버를 분리시키는 저진공 처리부; 및
상기 정제 처리부의 프로세스 챔버에 고압의 진공압을 부여하는 고진공 펌프를 구비하여 프로세스 챔버를 진공처리하는 고진공 처리부;를 포함하여 상기 프로세스 챔버내에 위치된 인너 튜브에 담긴 유기물 재료의 승화 표면적을 크게 증대시켜서 단위 시간당 승화량을 증대시켜 정제 효율을 향상시키도록 구성된 유기물 정제장치를 제공한다.
여기서, 상기 정제 처리부는, 상기 정제 처리부의 폭이 높이보다 크기가 큰 직사각형 단면을 형성하도록 상판, 하판, 및 좌우 측판들이 밀폐형으로 이루어지고, 그 내부에는 직사각형 단면의 석영판이 내장된다.
또한, 상기 석영판의 내측 둘레를 따라 봉 형상의 전기 히터들이 배치되고, 상기 석영판의 내측 둘레에는 상기 각 전기 히터들을 그립하고 석영으로 형성되는 다수의 그립 부재들이 설치된다.
그리고, 상기 히터들의 내부에는 석영 재료로 이루어진 프로세스 관이 배치되어 그 내부에서 프로세스 챔버를 형성하며, 상기 프로세스 챔버의 내부에는 인너 튜브가 내장된 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.
그리고 본 발명은 바람직하게는 상기 정제 처리부를 형성하는 상판, 하판, 및 좌우 측판은 스테인레스판으로 이루어지고, 좌우 측판에는 점검창이 각각 형성되며, 그 내측의 외측 진공챔버에는 상기 저진공 처리부의 저진공 펌프가 진공 배관을 통하여 연결되어 10-2 Torr의 진공압력이 가해지고, 상기 상판, 하판, 및 좌우 측판의 전면에는 개폐도어가 형성된 유기물 정제장치를 제공한다.
또한 본 발명은 바람직하게는 상기 프로세스 챔버는 그 폭이 그 높이보다 큰 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어진 프로세스 관을 통하여 그 내부에 형성되며, 상기 프로세스 관의 전단은 전방 개폐도어를 통하여 밀봉가능하게 차단되고, 그 후단은 버퍼 챔버를 경유하여 고진공 처리부의 고진공 펌프에 연결되어 내부에 진공압력이 형성되는 한편, 상기 버퍼 챔버의 후방측으로 형성된 후방 개폐도어를 통하여 외부에 대해서 밀봉가능하게 차단되는 유기물 정제장치를 제공한다.
그리고 본 발명은 바람직하게는 상기 인너 튜브는 상기 프로세서 챔버의 내부로 삽입가능한 단면 크기로서 그 폭이 그 높이보다 큰 크기의 직사각형 단면의 석영관으로 이루어지고, 전방측에는 원료인 유기질 재료가 투입되는 제1 튜브와, 상기 제1 튜브의 후방측으로 연결되어 정제품이 정제되어 담기는 제2 튜브, 및 상기 제2 튜브의 후방측으로 연결되어 불순물이 정제되어 담기는 제3 튜브로 이루어지며, 상기 제1 내지 제3 튜브의 양측 하부 모서리에는 각각 그 폭이 축소된 단턱이 각각 형성되어 프로세스 챔버로 인너 튜브의 삽입 및 인출시 작업용 지그가 위치되기 위한 작업 공간을 각각 형성한 유기물 정제장치를 제공한다.
또한 본 발명은 바람직하게는 상기 인너 튜브는 전면이 막힌 직사각형 단면의 튜브 구조로 제1 튜브가 이루어지고, 제1 튜브의 후면 상부에는 외부로 개방된 제1 연결관이 돌출되며, 상기 제2 및 제3 튜브들은 그 상,하 및 좌우 측면들이 막힌 튜브형으로서 각각 그 전면이 개방되고, 그 후면 상부에는 외부로 개방된 제2 및 제3 연결관이 각각 돌출형성됨으로써 제1 튜브의 후방 제1 연결관이 제2 튜브의 전면으로 삽입되어 제1 튜브와 제2 튜브가 정렬되고, 제2 튜브의 후방 제2 연결관이 제3 튜브의 전면으로 삽입되어 제2 튜브와 제3 튜브가 정렬되며, 제3 튜브의 후방 제3 연결관은 상기 버퍼 챔버의 내부로 연장됨으로서 상기 제1 내지 제3 튜브들은 프로세스 챔버내에서 일직선으로 서로 연결되고, 그 내부 공간이 제1 및 제2 연결관들을 통하여 서로 연통되는 유기물 정제장치를 제공한다.
그리고 본 발명은 바람직하게는 상기 인너 튜브는 상기 프로세스 챔버의 단면에 일치하는 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어지고, 그 폭의 크기가 높이의 2배 내지 6배 크게 형성되어 프로세스 챔버의 내부로 삽입되는 유기물 정제장치를 제공한다.
한편, 상기 그립 부재들은, 상기 각 히터들을 감싸고, 상기 히터를 외부로 노출시키는 절개홀이 형성되는 것이 바람직하다.
상기 그립 부재들은, 상기 히터의 길이 방향을 따라 일정 길이를 갖는 관 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 그립 부재들 각각은, 상기 각 히터의 외주를 다수 위치에서 그립하도록 다수의 그립링을 구비하는 것이 바람직하다.
상기 그립 부재들은, 원형 또는 다각 형상의 단면을 갖는 것이 바람직하다.
또한, 상기 석영판의 외측 둘레는 워터 자켓에 의해 에워싸인다.
여기서, 상기 워터 자켓의 일단에는 냉각수가 유입되는 냉각수 유입관이 형성되고, 상기 워터 자켓의 타단에는 냉각수가 유출되는 냉각수 유출관이 형성되는 것이 바람직하다.
또 한편, 상기 프로세스 챔버와 상기 외측 진공 챔버는 서로 진공도를 동일하게 유지하는 안전 밸브 수단을 구비한다.
여기서, 상기 안전 밸브 수단은, 상기 프로세스 챔버와 상기 외측 진공 챔버를 연결하는 한 쌍의 연결 라인과, 상기 각 연결 라인에 설치되며, 서로 다른 방향으로 개폐되며, 상기 프로세스 챔버와 상기 외측 진공 챔버의 진공도를 동일하게 유지하도록 개폐되는 한 쌍의 체크 밸브를 구비하는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 유기물 정제장치는 트랜스퍼 장치를 더 포함한다.
상기 트랜스퍼 장치는, 상기 정제 처리부의 측부에 연결설치되며, 상기 인너튜브를 상기 프로세스 챔버로 투입 또는 배출되는 대기 영역을 형성하는 트랜스퍼 챔버와, 상기 트랜스퍼 챔버의 일측에 설치되며, 상기 인너튜브를 상기 트랜스퍼 챔버로 로딩시키는 로딩부와, 상기 트랜스퍼 챔버의 일측에 설치되며, 상기 인너튜브를 상기 트랜스퍼 챔버로부터 언로딩시키는 언로딩부와, 상기 인너튜브를 상기 로딩부와 상기 언로딩부 사이에서 왕복 이송하는 이동 장치를 구비한다.
상기 트랜스퍼 챔버 투입부측 상부에는 히터가 장착되고, 이동 장치에는 상기 인너튜브를 가열하는 가열기와, 상기 인너튜브를 냉각하는 냉각기가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 트랜스퍼 장치는, 상기 인너튜브를 상기 프로세스 챔버로 투입 또는 배출시키기 위하여 개폐되는 게이트 밸브를 구비하고, 상기 트랜스퍼 챔버로 로딩되는 경우, 상기 가열기를 통해 상기 인너튜브를 가열하고, 상기 이동 장치를 사용하여 상기 프로세스 챔버로 투입하고, 상기 프로세스 챔버로부터 언로딩되는 경우, 배출되는 상기 인너튜브를 냉각기를 통해 냉각하고 상기 언로딩부를 통해 외부로 언로딩하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 유기물 정제장치에 의하면, 유기물의 물성 변화 온도차이를 이용하여 불순물을 승화 정제시키는 과정에서 인너 튜브는 그 폭이 높이보다 현저하게 크기가 큰, 바람직하게는 2배 내지 6배 이상 큰 크기로 이루어진 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어져서 프로세스 챔버내에서 승화작용이 이루어진다. 따라서 본 발명의 유기물 정제장치는 인너 튜브에 담긴 유기질 재료의 승화 표면적이 크게 증가되어 적어도 2배 이상 종래의 구조에 비하여 열효율 및 정제 효율을 크게 향상시킬 수 있다.
뿐만 아니라, 본 발명에 의하면 인너 튜브가 그 폭이 그 높이보다 현저하게 큰 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어진 프로세스 챔버내에서 가열되기 때문에 인너 튜브의 중앙 부분과 외측 부분에 위치된 유기물 재료의 국소적인 온도 편차를 최소화시킬 수 있고, 그에 따라서 유기물 재료의 변질을 효과적으로 방지하여 순도 높은 정제품을 생산할 수 있으며, 대량 정제처리에도 적합하게 된다.
그리고 본 발명에 의하면 프로세스 챔버를 고압 진공처리시키는 과정에서 프로세스 관의 외측에는 석영판과 외측 진공챔버의 10-2 Torr 진공압력이 형성되어 대기압으로부터 프로세스 챔버를 격리시킴으로써 고압 진공에 의해서 프로세스 챔버의 파손을 완벽하게 방지시킬 수 있고, 그에 따라서 프로세스 챔버의 보수 유지에 많은 정비시간과 비용을 절감할 수 있으며, 장치의 가동율을 높여서 정제작업의 생산성을 크게 높이고, 유지 보수비용을 크게 줄일 수 있는 우수한 효과를 얻을 수 있는 것이다.
도 1은 종래의 기술에 따른 유기물 정제장치의 승화 정제 원리를 도시한 설명도이다.
도 2는 종래의 기술에 따른 유기물 정제장치에 구비된 원통형 구조의 프로세스 챔버와 반원형 단면구조의 인너 튜브에서 발생되는 문제점을 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 유기물 정제장치를 전체적으로 도시한 정면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 유기물 정제장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 유기물 정제장치에 구비된 프로세스 챔버와 인너 튜브의 배치 구조를 도시한 단면도이다.
도 6a는 본 발명에 따른 유기물 정제장치의 좌측면도이다.
도 6b는 본 발명에 따르는 안전 밸브 수단의 작동 예를 보여주는 개념도이다.
도 7은 본 발명에 따른 유기물 정제장치에 구비된 외측 진공챔버, 프로세스 챔버 및 인너 튜브들이 그 폭이 높이보다 큰 크기의 직사각형 단면으로 형성된 구조를 도시한 단면도이다.
도 8a는 본 발명에 따른 유기물 정제장치에 구비된 프로세스 관의 직사각형, 직타원형 및 다각형 단면 구조를 각각 도시한 단면도이다.
도 8b는 본 발명에 따른 유기물 정제장치에 구비된 인너 튜브의 제1 내지 제3 튜브들 구조를 도시한 상세 단면도이다.
도 9는 도 5의 A를 확대 도시하고, 본 발명에 따른 유기물 정제장치에 구비된 외측 진공챔버, 프로세스 챔버 및 인너 튜브들이 유기물 재료를 승화 정제처리하는 작동을 도시한 설명도이다.
도 10은 본 발명에 따르는 그립 부재들이 형성되는 석영판을 보여주는 사시도이다.
도 11a는 본 발명에 따르는 그립 부재의 일 예를 보여주는 단면도이다.
도 11b는 본 발명에 따르는 그립 부재의 다른 예를 보여주는 단면도이다.
도 11c는 본 발명에 따르는 그립 부재의 다른 예를 보여주는 단면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는, 도 3 내지 도 6a에 도시된 바와 같이, 유기물 재료의 물성 변화 온도차이를 이용하여 불순물을 승화 정제시키는 장치로서, 일정크기의 프레임(110) 상부측에 정제 처리부(120)를 구비한다.
이와 같은 정제 처리부(120)는 이중 진공챔버로서 대기압으로부터 보호되고, 내부에는 프로세스 챔버(122)를 구비하며, 상기 프로세스 챔버(122)의 외측에서 히터(124)를 통하여 프로세스 챔버(122) 내의 유기물 재료를 가열시켜 불순물을 분리하게 된다.
또한 본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는 상기 정제 처리부(120)의 프로세스 챔버(122)의 내부에 삽입되는 인너 튜브(130)를 구비하는데, 이와 같은 인너 튜브(130)는 그 폭이 높이보다 크게 이루어진 단면으로 형성되며, 내부에는 유기물 재료가 담겨서 정제품과 불순물을 분리시키게 된다.
그리고 본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는 상기 정제 처리부(120)의 이중 진공 챔버중 외측 진공챔버(162)에 저압의 진공압을 부여하는 저진공 펌프(164)를 구비하여 외부의 대기압으로부터 프로세스 챔버(122)를 분리시키는 저진공 처리부(160)를 갖는다.
또한 본 발명은 상기 정제 처리부(120)의 프로세스 챔버(122)에 고압의 진공압을 부여하는 고진공 펌프(174)를 구비하여 프로세스 챔버(122)를 진공처리하는 고진공 처리부(170)를 포함하는 구조이다.
이와 같은 본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는 도 7에 단면으로 도시된 바와 같이, 그 폭(W1)이 높이(H1)보다 크기가 큰 직사각형 단면을 형성하는 상판(126a), 하판(126b), 및 좌우 측판(126c,126d)들이 밀폐형으로 이루어진 정제 처리부(120)를 구비한다.
이와 같은 정제 처리부(120)는 그 내부에 직사각형 단면의 석영판(210)이 내장되어 상기 상판(126a), 하판(126b), 및 좌우 측판(126c,126d)들과의 사이에서 외측 진공챔버(162)를 형성한다.
여기서, 도 10을 참조 하면, 본 발명에 따르는 석영판(210)의 내측 둘레를 따라 봉 형상의 전기 히터들(124)이 배치된다.
상기 석영판(210)의 내측 둘레에는 상기 각 전기 히터들(124)을 그립하고 석영으로 형성되는 다수의 그립 부재들(200)이 설치된다.
여기서, 그립 부재들(200)은 상기 각 히터들(124)을 감싸고, 상기 히터(124)를 외부로 노출시키는 절개홀(h)이 형성된다.
상기 절개홀(h)을 형성함으로써 열전도 효율을 상승시키고 각 히터(124)를 그립 부재(200)에 용이하게 끼울 수 있다.
또한, 도 11a 에 도시되는 바와 같이, 그립 부재들(200)은 상기 히터(124)의 길이 방향을 따라 일정 길이를 갖는 관 형상으로 형성된다.
이에 더하여, 도 11c에 도시되는 바와 같이, 상기 그립 부재들(202) 각각은 상기 각 히터(124)의 외주를 다수 위치에서 그립하도록 다수의 그립링을 구비할 수도 있다.
또한, 상기 그립 부재들(200,201)은 도 11a 및 도 11b에 도시되는 바와 같이, 원형 또는 다각 형상의 단면을 갖도록 구성하여, 다양한 형상의 히터들을 고정할 수 있도록 할 수도 있다.
도 11b의 경우 그립부재(201)의 상단이 서로 마주보는 측으로 일정 길이 연장되어 히터가 빠지지 않도록 규제할 수 있다. 이의 구성에서, 히터(124)는 그립부재(201)의 측부를 통해 끼워 설치할 수 있다.
상기 히터(124)들의 내부에는 석영 재료로 이루어진 프로세스 관(121)이 배치되어 그 내부에서 프로세스 챔버(122)를 형성한다. 또한 이와 같은 상기 프로세스 챔버(122)의 내부에는 인너 튜브(130)가 내장된 구조이다.
이와 같은 정제 처리부(120)는 상판(126a), 하판(126b), 및 좌우 측판(126c,126d)들이 각각 바람직하게는 스테인레스판으로 이루어지고, 그 내측에서 외측 진공챔버(162)를 형성한다.
이와 같은 외측 진공챔버(162)는 상기 저진공 처리부(160)의 저진공 펌프(164)가 진공 배관(166)을 통하여 연결되어 10-2 Torr의 진공압력이 내부에 가해지며, 석영판(210) 내측의 프로세스 챔버(122)를 외부의 대기압으로부터 격리시킨다.
그리고 이와 같은 정제 처리부(120)는 그 상판(126a), 하판(126b), 및 좌우 측판(126c,126d)의 전면에 개폐도어(182a)가 밀봉가능하게 형성된 구조이다.
또한 상기와 같은 정제 처리부(120)의 외측 진공챔버(162)가 외부에 형성되는 프로세스 챔버(122)는 석영판(210)의 히터(124) 내측에서 그 폭(W2)이 그 높이(H2)보다 큰 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어진 프로세스 관(121)을 통하여 그 내부에 형성된다.
이와 같은 프로세스 챔버(122)를 형성하는 프로세스 관(121)은 석영 재료로 이루어지고, 바람직하게는 도 8a에 도시된 바와 같이, 그 폭(W2)이 그 높이(H2) 보다 2배 내지 6배이상 큰 크기로 이루어진 구조이며, 상기 프로세스 관(121)의 전단은 전방 개폐도어(182a)를 통하여 밀봉가능하게 차단되고, 그 후단은 버퍼 챔버(186)를 경유하여 고진공 처리부(170)의 고진공 펌프(174)에 연결되어 내부에 진공압력이 형성된다.
또한, 상기 프로세스 관(121)은 버퍼 챔버(186)의 후방측으로 형성된 후방 개폐도어(182b)를 통하여 외부에 대해서 밀봉가능하게 차단되는 구조이다.
그리고 본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는 프로세스 관(121)의 내측에 인너 튜브(130)가 삽입되는데, 이와 같은 인너 튜브(130)는 상기 프로세스 챔버(122)의 내부로 삽입가능한 단면 크기로서 그 폭(W3)이 그 높이(H3)보다 큰 크기의 직사각형 단면의 석영관으로 이루어진다.
또한 이와 같은 인너 튜브(130)는 다르게는, 상기 프로세스 챔버(122)의 단면에 일치하는 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어지고, 그 폭(W3)의 크기가 높이(H3)의 2배 내지 6배 크게 형성되어 프로세스 챔버(122)의 내부로 삽입될 수 있다.
이와 같은 인너 튜브(130)는 그 전방측에 원료인 유기질 재료가 투입되는 제1 튜브(132a)가 위치되고, 상기 제1 튜브(132a)의 후방측으로 연결되어 정제품(150b)이 정제되어 담기는 제2 튜브(132b)가 위치되며, 상기 제2 튜브(132b)의 후방측으로 연결되어 불순물(150c)이 정제되어 담기는 제3 튜브(132c)가 구비된다.
이와 같은 인너 튜브(130)는 제1 내지 제3 튜브(132a,132b,132c)의 양측 하부 모서리에는 도 7에 도시된 바와 같이, 각각 그 폭(W)이 축소된 단턱(134a,134b)이 각각 형성되어 프로세스 챔버(122)로 인너 튜브(130)의 삽입 및 인출시 작업용 지그가 위치되기 위한 작업 공간을 각각 프로세스 관(121)과의 사이에서 형성하고 작업자가 편리하게 작업할 수 있다.
또한 이와 같은 인너 튜브(130)는 도 8b에 도시된 바와 같이, 제1 튜브(132a)가 그 전면이 막힌 직사각형 단면의 튜브 구조로 이루어지고, 제1 튜브(132a)의 후면 상부에는 외부로 개방된 제1 연결관(136a)이 돌출 형성된다.
또한 상기 제2 및 제3 튜브(132b,132c)들은 서로 동일한 구조로 이루어지는데, 그 각각은 상,하 및 좌우 측면들이 막힌 튜브형으로서 각각 그 전면이 개방되며, 그 후면 상부에는 외부로 개방된 제2 및 제3 연결관(136b,136c)이 각각 돌출 형성된 구조이다.
따라서 이와 같은 인너 튜브(130)는 도 5 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 튜브(132a)의 후방 제1 연결관(136a)이 제2 튜브(132b)의 전면으로 삽입되어 제1 튜브(132a)와 제2 튜브(132b)가 정렬되고, 제2 튜브(132b)의 후방 제2 연결관(136b)은 제3 튜브(132c)의 전면으로 삽입되어 제2 튜브(132b)와 제3 튜브(132c)가 정렬되며, 제3 튜브(132c)의 후방 제3 연결관(136c)은 상기 버퍼 챔버(186)의 내부로 연장됨으로서 상기 제1 내지 제3 튜브(132a,132b,132c)들은 프로세스 챔버(122)내에서 일직선으로 서로 연결되고, 그 내부 공간이 제1 및 제2 연결관(136a,136b)들을 통하여 서로 연통되는 것이다.
또한, 도 9를 참조 하면, 상기 석영판(210)의 외측 둘레는 워터 자켓(300)이 설치된다.
따라서, 상기 석영판(210)은 워터 자켓(300)에 의해 에워싸이도록 배치된다.
상기 워터 자켓(300)의 일단에는 냉각수가 유입되는 냉각수 유입관(310)이 형성되고, 상기 워터 자켓(300)의 타단에는 냉각수가 유출되는 냉각수 유출관(320)이 형성된다.
따라서, 냉각수는 냉각수 유입관(310)으로 유입되어 워터 자켓(300)을 따라 유동되어 냉각수 유출관(320)을 통해 유출됨이 반복적으로 진행되면서, 워터 자켓(300)을 순환할 수 있다.
이에 따라, 워터 자켓(300)이 석영판(210)의 외측 둘레에 배치됨으로써, 히터들(124)의 가열에 의해 외측 진공챔버(126a,126b,126c,126d)가 과도하게 온도가 상승되는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.
미설명 부호(190)는 내부 점검창이고, (194)는 실린더이다.
한편, 도 6a 및 도 6b를 참조 하면, 프로세스 챔버(122)와 상기 외측 진공 챔버(162)는 서로 진공도를 동일하게 유지하는 안전 밸브 수단(400)에 의해 연결된다.
상기 안전 밸브 수단(400)은 연결 라인(410)과, 한 쌍의 체크 밸브(420,430)로 구성된다.
상기 연결 라인(410)은 상기 프로세스 챔버(122)와 상기 외측 진공 챔버(162)를 연결한다.
그리고, 상기 한 쌍의 체크 밸브(420,430) 각각은 연결 라인 (410)에 설치된다. 여기서, 상기 각각의 체크 밸브(420,430)는 개폐 방향이 서로 다르다.
따라서, 상기 각각의 체크 밸브(420,430)에 의해 상기 프로세스 챔버(122)와 상기 외측 진공 챔버(162)의 진공도를 동일하게 유지하도록 하여 프로세스챔버의 파손을 방지 할 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는 상기 프로세스 챔버(122)내에 위치된 인너 튜브(130)에 담긴 유기물 재료(150a)의 승화 표면적을 크게 증대시켜서 단위 시간당 승화량을 증대시켜 정제 효율을 크게 향상시킬 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는 도 3 내지 도 6a에 도시된 바와 같이, 전방 개폐도어(182a) 또는 후방 개폐도어(182b)를 통하여 프로세스 챔버(122)를 열고, 그 내부에 인너 튜브(130)를 삽입한다.
이때, 인너 튜브(130)의 제1 튜브(132a)에는 그 내부에 원료인 유기질 재료를 투입하고, 제2 튜브(132b)와 제3 튜브(132c)는 빈 상태이다.
이와 같이 인너 튜브(130)를 프로세스 챔버(122)의 내부로 삽입한 다음, 개폐도어(182a,182b)를 닫고, 저진공 처리부(160)의 저진공 펌프(164)를 작동시켜서, 10-2 Torr 압력의 저 진공을 프로세스챔버(122) 및 외측 진공챔버(162)에 동시에 부여한다.
그리고 고진공 처리부(170)의 고진공 펌프(174)를 작동시켜서 프로세스 챔버(Process Chamber)(122) 내부를 고압력 진공배기하고, 히터(124)로 가열시키면 인너 튜브(130)의 제1 튜브(132a)에 담긴 유기물 재료(150a)가 프로세스 챔버(122)내에서 승화되어 정제품(150b)과 불순물(150c)로 정제된다.
이때, 상기 히터(124)는 종래와 같이 프로세스 챔버(122)의 내부에 온도 구배, 예를 들면 제1 튜브(132a)가 위치된 부분에는 400℃ 로 가열하고, 제2 튜브(132b)가 위치된 부분에는 250℃ 로 가열하며, 제3 튜브(132c)가 위치된 부분에는 100℃ 로 가열하여 구간별로 온도 구배를 형성시킨다.
따라서 제1 튜브(132a) 내의 유기물 재료(150a)는 승화되어 제1 연결관(136a)을 통하여 제2 튜브(132b)로 넘어가고, 정제품(150b)을 제2 튜브(132b)내에 석출시키며, 나머지 불순물(150c)은 제2 연결관을 통하여 제3 튜브(132c)로 넘어가서 제3 튜브(132c)내에서 석출된다.
따라서 제1 튜브(132a) 내의 유기물 재료(150a)는 제2 튜브(132b) 내의 정제품(150b)과, 제3 튜브(132c) 내의 불순물(150c)로 각각 분리 정제된다.
그리고 이와 같이 유기물 재료(150a)의 정제가 완료되면, 프로세스 챔버(122)를 냉각시키고 상온에서 진공을 해제시키며, 인너 튜브(130)를 프로세스 챔버(122)로부터 취출(取出)하여 정제된 유기질 정제품(150b)을 수거한다. 그리고 이와 같은 공정을 반복하여 유기질 재료의 순도를 향상시키게 된다.
이와 같은 과정에서 본 발명은 인너 튜브(130)의 폭(W3)이 그 높이(H3)보다 대략 2배 내지 6배이상 큰 크기로 이루어진 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어진 것이다.
따라서 프로세스 챔버(122)내에서 유기물 재료(150a)의 승화작용이 이루어지면, 제1 튜브(132a)에 담긴 유기질 재료의 승화 표면적(R2)이 종래의 승화 표면적(R1)에 비하여 크게 증가되어 적어도 2배 이상 종래에 비해 열효율 및 정제 효율을 향상시킬 수 있다.
뿐만 아니라, 상기 인너 튜브(130)는, 그 폭(W2)이 그 높이(H2)보다 대략 2배 내지 6배이상 큰 크기로 이루어진 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어진 프로세스 챔버(122) 내에서 히터(124)에 의해서 가열되기 때문에, 인너 튜브(130)의 중앙 부분과 외측 부분에 위치된 유기물 재료(150a)의 국소적인 온도 편차를 최소화시킬 수 있다.
즉, 본 발명은 프로세스 챔버(122)와 인너 튜브(130)가, 각각 그 폭에 비하여 높이가 크지 않고, 납작한 형태이기 때문에 인너 튜브(130)의 어느 곳에 담긴 유기물 재료(150a)들도 도 7에 도시된 바와 같이, 히터(124)로부터 멀리 위치하지 않고 대부분 가깝게 위치된다.
따라서 이와 같이 배치되어 가열되면, 인너 튜브(130) 내의 유기물 재료(150a)를 균일한 온도로 가열할 수 있게 되어 유기물 재료(150a) 간의 국소적인 온도 편차를 최소화시킬 수 있다.
결과적으로, 본 발명은 유기물 재료(150a)의 균일한 가열을 통하여 재료의 변질을 효과적으로 방지할 수 있고, 순도 높은 정제품(150b)을 생산할 수 있으며, 대량 정제처리에도 적합하게 된다.
그리고 본 발명은 이와 같이 유기물 재료(150a)를 정제시키는 과정에서 프로세스 챔버(122)를 고압 진공처리하는 경우, 프로세스 관(121)의 외측에는 석영판(210)과 외측 진공챔버(162)의 10-2 Torr 진공압력이 형성되어 대기압으로부터 프로세스 챔버(122)를 격리시키고 있다.
따라서 본 발명은 고압 진공을 프로세스 챔버(122)에 가하는 경우에도, 프로세스 관(121)에는 외부의 대기압이 미치지 않게 되어 프로세스 관(121)의 파손을 완벽하게 방지시킬 수 있고, 그에 따라서 프로세스 챔버(122)의 보수 유지에 많은 정비시간과 비용을 절감할 수 있으며, 장치의 가동율을 높여서 정제작업의 생산성을 크게 높이고, 유지 보수비용을 크게 줄일 수 있게 된다.
이에 더하여, 도 12 내지 13를 참조 하면, 본 발명의 유기물 정제장치는 트랜스퍼 장치(200)를 구비할 수도 있다.
도 12 및 도 13를 참조 하면, 본 발명에 따르는 유기물 정제장치는 크게 트랜스퍼 챔버(210)와, 히터(미도시), 로딩부(220), 언로딩부(230)와, 이동장치(240)로 구성된다.
상기 트랜스퍼 챔버는 본 발명에 따르는 정제 처리부(120)의 측부 프레임(110)에 연결되도록 설치된다. 여기서, 상기 트랜스퍼 챔버(210)는 프로세스 챔버(122)와 인너 튜브(50)가 이동되는 경로를 형성한다.
상기 경로 상에는 상기 경로를 개폐하는 게이트 밸브(GV)가 설치된다.
상기 로딩부(220)는 상기 트랜스퍼 챔버(210)의 일측부에 설치되고, 상기 언로딩부(230)는 상기 트랜스퍼 챔버(210)의 타측부에 설치된다.
상기로딩부(220)는 인너 튜브(50)를 상기 트랜스퍼 챔버(210)로 로딩시킬 수 있다. 상기 언로딩부(230)는 인너 튜브(50)를 상기 트랜스퍼 챔버(210)로 언로딩시킬 수 있다.
도 13을 참조 하면, 트랜스퍼 챔버(210) 상에는 전후로 이동되는 암(231)이 설치된다. 상기 암(231)에는 인너 튜브(50)가 위치될 수 있다.
상기 암(231)은 체인에 의해 전후진될 수 있다. 상기 체인을 동작시키는 서보 모터(234)가 구비될 수 있다.
상기 로딩부(220) 또는 언로딩부(230)는 공통적으로 수직하게 설치되고 다른 서보 모터(235)의 회전에 의해 회전되는 볼스크루(233)가 설치된다. 상기 볼스크루(233)의 상단부에는 인너튜브(50)가 위치되는 영역이 형성되고, 볼스크루(233)의 회전에 의해 인너 튜브(50)는 승강될 수 있다. '232'는 샤프트이다.
상기 이동 장치(240)는 로딩부(220)와 언로딩부(230)의 사이를 왕복할 수 있는 장치이다.
도 15를 참조 하면, 상기 이동 장치(240)는 인너 튜브(50)가 위치되는 스테이지(236)를 구비한다.
상기 스테이지(236)에는 가열기(236a)와 냉각기가 설치된다. 따라서, 가열존과 냉각존이 구획되어 설치된다.
상기 냉각기의 경우 별도의 냉각수 인라인(237) 및 아웃라인(238)을 통해 냉각을 이룬다.
상기 이동 장치(240)에는 이동실린더(239)가 설치되며, 상기 이동실린더(239)는 스테이지(236)를 로딩부(220)와 트랜스퍼 챔버(210) 위치 또는 언로딩부(230)와 트랜스퍼 챔버(210) 위치 간 더블 이송을 이룬다.
따라서, 본 발명에 따르는 트랜스퍼 장치(200)는 로딩부(220)로 인너튜브(50)가 로딩되면, 트랜스퍼 챔버(210)로 이동하여 가열배기 및 가열한 이후 프로세트 챔버(210)로 투입시킨다.
반면, 정제 공정 이후에 배출되는 인터 튜브(50)는 트랜스퍼 챔버(210)에서 진공 파기 후 냉각기를 통해 냉각 후 언로딩부(230)를 통해 외부로 언로딩한다.
본 발명은 상기에서 도면을 참조하여 특정 실시 예에 관련하여 상세히 설명하였지만 본 발명은 이와 같은 특정 구조에 한정되는 것은 아니다. 당 업계의 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술 사상 및 권리범위를 벗어나지 않고서도 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있을 것이다. 예를 들면, 상기 프로세스 관(121)과 인너 튜브(130)는 석영재료 뿐만 아니라, 유리, 세라믹, 또는 금속관 재질로 제조될 수 있을 것이다. 그렇지만 그와 같은 단순한 재료적 수정 또는 변형 구조들은 모두 명백하게 본 발명의 권리범위 내에 속하게 됨을 미리 밝혀 두고자 한다.
1: 종래의 유기물 정제장치 10: 프로세스 챔버
12: 외측 관 20: 히터
30: 내측 관 40: 유기물 재료
50: 인너 튜브(Inner Tube) 60: 정제품
70: 불순물 100: 본 발명의 유기물 정제장치
110: 프레임 120: 정제 처리부
121: 프로세스 관 122: 프로세스 챔버
124: 히터 126a: 상판
126b: 하판 126c,126d: 좌우 측판
210: 석영판 130: 인너 튜브
132a: 제1 튜브 132b: 제2 튜브
132c: 제3 튜브 134a,134b: 단턱
136a: 제1 연결관 136b,136c: 제2 및 제3 연결관
150a: 유기물 재료 150b: 정제품
150c: 불순물 160: 저진공 처리부
162: 외측 진공챔버 164: 저진공 펌프
170: 고진공 처리부 174: 고진공 펌프
182a,182b: 개폐도어 186: 버퍼 챔버
190: 내부 점검창 194: 실린더
P1: 외주측 P2: 중심측
R1,R2: 승화 표면적 H1,H2,H3: 높이
W1,W2,W3: 폭 200 : 트랜스퍼 장치

Claims (15)

  1. 유기물 재료의 물성 변화 온도차이를 이용하여 불순물을 승화 정제시키는 장치에 있어서,
    일정크기의 프레임;
    상기 프레임의 상부측에 위치되어 이중 진공챔버로서 보호되고, 유기물 재료가 내부에 담기는 프로세스 챔버를 구비하며, 상기 프로세스 챔버의 외측에서 히터를 통하여 프로세스 챔버 내의 유기물 재료를 가열시켜 불순물을 분리하는 정제 처리부;
    상기 정제 처리부의 프로세스 챔버 내부에 삽입되고, 그 폭이 높이보다 크게 이루어진 단면으로 형성되며, 내부에는 유기물 재료가 담겨서 정제품과 불순물을 분리시키는 인너 튜브;
    상기 정제 처리부의 이중 진공 챔버중 외측 진공챔버에 저압의 진공압을 부여하는 저진공 펌프를 구비하여 외부의 대기압으로부터 프로세스 챔버를 분리시키는 저진공 처리부; 및
    상기 정제 처리부의 프로세스 챔버에 고압의 진공압을 부여하는 고진공 펌프를 구비하여 프로세스 챔버를 진공처리하는 고진공 처리부;를 포함하여 상기 프로세스 챔버내에 위치된 인너 튜브에 담긴 유기물 재료의 승화 표면적을 크게 증대시켜서 단위 시간당 승화량을 증대시켜 정제 효율을 향상시키도록 구성된 것임을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 정제 처리부는,
    상기 정제 처리부의 폭이 높이보다 크기가 큰 직사각형 단면을 형성하도록 상판, 하판, 및 좌우 측판들이 밀폐형으로 이루어지고, 그 내부에는 직사각형 단면의 석영판이 내장되며,
    상기 석영판의 내측 둘레를 따라 봉 형상의 전기 히터들이 배치되고,
    상기 석영판의 내측 둘레에는 상기 각 전기 히터들을 그립하고 석영으로 형성되는 다수의 그립 부재들이 설치되고,
    상기 히터들의 내부에는 석영 재료로 이루어진 프로세스 관이 배치되어 그 내부에서 프로세스 챔버를 형성하며, 상기 프로세스 챔버의 내부에는 인너 튜브가 내장된 구조로 이루어진 것임을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 정제 처리부를 형성하는 상판, 하판, 및 좌우 측판은 스테인레스판으로 이루어지고, 좌우 측판에는 점검창이 각각 형성되며, 그 내측의 외측 진공챔버에는 상기 저진공 처리부의 저진공 펌프가 진공 배관을 통하여 연결되어 10-2 Torr의 진공압력이 가해지고, 상기 상판, 하판, 및 좌우 측판의 전면에는 개폐도어가 형성된 것임을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 프로세스 챔버는 그 폭이 그 높이보다 큰 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어진 프로세스 관을 통하여 그 내부에 형성되며, 상기 프로세스 관의 전단은 전방 개폐도어를 통하여 밀봉가능하게 차단되고, 그 후단은 버퍼 챔버를 경유하여 고진공 처리부의 고진공 펌프에 연결되어 내부에 진공압력이 형성되는 한편, 상기 버퍼 챔버의 후방측으로 형성된 후방 개폐도어를 통하여 외부에 대해서 밀봉가능하게 차단되는 것임을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 인너 튜브는 상기 프로세서 챔버의 내부로 삽입가능한 단면 크기로서 그 폭이 그 높이보다 큰 크기의 직사각형 단면의 석영관으로 이루어지고, 전방측에는 원료인 유기질 재료가 투입되는 제1 튜브와, 상기 제1 튜브의 후방측으로 연결되어 정제품이 정제되어 담기는 제2 튜브, 및 상기 제2 튜브의 후방측으로 연결되어 불순물이 정제되어 담기는 제3 튜브로 이루어지며, 상기 제1 내지 제3 튜브의 양측 하부 모서리에는 각각 그 폭이 축소된 단턱이 각각 형성되어 프로세스 챔버로 인너 튜브의 삽입 및 인출시 작업용 지그가 위치되기 위한 작업 공간을 각각 형성한 것임을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 인너 튜브는 전면이 막힌 직사각형 단면의 튜브 구조로 제1 튜브가 이루어지고, 제1 튜브의 후면 상부에는 외부로 개방된 제1 연결관이 돌출되며, 상기 제2 및 제3 튜브들은 그 상,하 및 좌우 측면들이 막힌 튜브형으로서 각각 그 전면이 개방되고, 그 후면 상부에는 외부로 개방된 제2 및 제3 연결관이 각각 돌출형성됨으로써 제1 튜브의 후방 제1 연결관이 제2 튜브의 전면으로 삽입되어 제1 튜브와 제2 튜브가 정렬되고, 제2 튜브의 후방 제2 연결관이 제3 튜브의 전면으로 삽입되어 제2 튜브와 제3 튜브가 정렬되며, 제3 튜브의 후방 제3 연결관은 상기 버퍼 챔버의 내부로 연장됨으로서 상기 제1 내지 제3 튜브들은 프로세스 챔버내에서 일직선으로 서로 연결되고, 그 내부 공간이 제1 및 제2 연결관들을 통하여 서로 연통되는 것임을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 인너 튜브는 상기 프로세스 챔버의 단면에 일치하는 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어지고, 그 폭의 크기가 높이의 2배 내지 6배 크게 형성되어 프로세스 챔버의 내부로 삽입되는 것임을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  8. 제 2항에 있어서, 상기 그립 부재들은,
    상기 각 히터들을 감싸고, 상기 히터를 외부로 노출시키는 절개홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 그립 부재들은,
    상기 히터의 길이 방향을 따라 일정 길이를 갖는 관 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  10. 제 8항에 있어서, 상기 그립 부재들 각각은,
    상기 각 히터의 외주를 다수 위치에서 그립하도록 다수의 그립링을 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  11. 제 8항에 있어서, 상기 그립 부재들은,
    원형 또는 다각 형상의 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  12. 제 2항에 있어서,
    상기 석영판의 외측 둘레는 워터 자켓에 의해 에워싸이고,
    상기 워터 자켓의 일단에는 냉각수가 유입되는 냉각수 유입관이 형성되고,
    상기 워터 자켓의 타단에는 냉각수가 유출되는 냉각수 유출관이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 프로세스 챔버와 상기 외측 진공 챔버는 서로 진공도를 동일하게 유지하는 안전 밸브 수단을 구비하되,
    상기 안전 밸브 수단은,
    상기 프로세스 챔버와 상기 외측 진공 챔버를 연결하는 연결 라인과,
    상기 연결 라인에 설치되며, 서로 다른 방향으로 개폐되며, 상기 프로세스 챔버와 상기 외측 진공 챔버의 진공도를 동일하게 유지하도록 하여 프로세스챔버의 파손을 방지하는 한 쌍의 체크 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  14. 제 1항에 있어서, 상기 유기물 정제장치는 트랜스퍼 장치를 더 포함하되,
    상기 트랜스퍼 장치는,
    상기 정제 처리부의 측부에 연결설치되며, 상기 인너튜브를 상기 프로세스 챔버로 진공을 파기하지 않고 투입 또는 배출되는 대기 영역을 형성하는 트랜스퍼 챔버와,
    상기 트랜스퍼 챔버의 투입부 상부에 설치되는 히터와, 상기 트랜스퍼 챔버의 일측에 설치되며, 상기 인너튜브를 상기 트랜스퍼 챔버로 로딩시키는 로딩부와,
    상기 트랜스퍼 챔버의 일측에 설치되며, 상기 인너튜브를 상기 트랜스퍼 챔버로부터 언로딩시키는 언로딩부와,
    상기 인너튜브를 상기 로딩부와 상기 언로딩부 사이에서 왕복 이송하는 이동 장치를 구비하되,
    상기 이동 장치에는 상기 인너튜브를 가열하는 가열기와, 상기 인너튜브를 냉각하는 냉각기가 설치되는 것을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 트랜스퍼 장치는,
    상기 인너튜브를 상기 프로세스 챔버로 투입 또는 배출시키기 위하여 개폐되는 게이트 밸브를 구비하고,
    상기 트랜스퍼 챔버로 로딩되는 경우, 상기 히터와 상기 가열기를 통해 상기 인너튜브를 가열하고, 상기 이동 장치를 사용하여 상기 프로세스 챔버로 투입하고,
    상기 프로세스 챔버로부터 언로딩되는 경우, 배출되는 상기 인너튜브를 냉각기를 통해 냉각하고 상기 언로딩부를 통해 외부로 언로딩하는 것을 특징으로 하는 유기물 정제장치.
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