KR20130090611A - 플럭스 디핑 장치 - Google Patents

Abstract

플럭스 디핑 장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플럭스 디핑 장치는, 제1 플럭스를 저장하는 탱크, 상기 탱크의 저면을 지지하며, 상기 제1 플럭스가 도포되는 플레이트, 상기 플레이트의 하부에 배치된 광원, 및 상기 탱크의 상부에 위치하며 상기 광원으로부터 발광된 빛을 수용하는 카메라를 포함하되, 상기 플레이트는 상기 탱크와 대응되는 위치에 투광창이 형성된다.

Description

플럭스 디핑 장치{APPARATUS FOR DIPPING FLUX}

본 발명은 플럭스 디핑 장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 탱크가 저장하는 플럭스의 수위를 용이하게 검출할 수 있는 플럭스 디핑 장치에 관한 것이다.

부품실장기는 반도체 칩 등의 부품을 인쇄회로기판의 일정 위치에 자동으로 설치하는 장치이다. 부품실장기는 인쇄회로기판에 소요되는 다품종의 부품을 여러 가지 방식으로 공급받아 흡착노즐을 이용하여 인쇄회로기판에 실장하게 된다.

인쇄회로기판에 실장되는 부품의 크기가 비교적 큰 경우에는 트레이에 부품을 적재하여 부품공급을 수행하지만 부품이 크기가 비교적 작은 경우는 이송 중 또는 설치작업 중에 배치된 위치에서 벗어나 분실되거나, 파손되는 경우가 많아 비교적 작은 부품을 부품실장기에 공급하기 위해 피더를 사용한다.

플럭스 디핑장치는 위와 같은 부품실장기에 설치되어 부품실장기에 공급되는 부품에 플럭스가 전사될 수 있도록 일정한 두께로 플럭스 플레이트 상부에 도포한다.

플럭스 디핑장치는 공급되는 부품을 인쇄회로기판 등에 실장하기 위해 부품의 범프에 플럭스를 도포한다. 플럭스는 부품의 접착될 부위 또는 범프가 산화되는 것을 방지하며, 표면에 형성된 산화 막을 제거한다. 또한, 열을 가하는 경우 범프의 융점을 낮추어 인접하는 범프가 상호 접촉되는 것을 방지하는 기능을 한다.

한국특허공개공보 제2010-0021813호 (2010년 2월 26일 공개) 일본특허공개공보 제2011-139085호 (2011년 7월 14일 공개) 한국특허공개공보 제2007-0097744호 (2007년 10월 5일 공개)

플럭스 디핑장치의 경우 탱크 내에 플럭스를 충진한 후, 사용 중에 탱크 내의 플럭스 유무를 검출하여 플럭스가 모두 소진되기 전에 새로운 플럭스를 자동으로 충진하거나 작업자가 일정시간 사용 후에 재충전하여 사용하게 된다.

플럭스 디핑장치의 탱크내 플럭스 유무를 검출하는 장치가 없는 경우, 작업자가 수작업으로 플럭스가 저장된 탱크를 확인하고, 플럭스가 부족할 경우 이를 공급해야 하는 불편함이 따르게 되므로, 플럭스 유무나 잔량을 감지할 수 있는 감지장치가 제안된 바 있다.

그러나, 종래의 감지장치는 광파이버 센서 등을 이용하게 되는데 이러한 경우, 탱크 내에 담겨있는 플럭스 종류에 따라 다른 결과값이 측정되며, 탱크의 움직임으로 인한 표면 굴곡 등의 다양한 원인으로 인하여 잔량 감지가 정확하게 이루어지지 않고, 센서 유닛 등이 탱크 윗면에 설치되어 있어 실장기의 헤드 부분과 충돌 우려가 있을 뿐만 아니라, 탱크와 플럭스 플레이트를 청소하기 위하여 분리할 경우, 센서와의 걸림 내지 충돌 등이 문제가 될 수 있다.

본 발명은 이와 같은 점으로부터 착안된 것으로, 본 발명이 해결하려는 과제는 탱크 내의 플럭스 잔량을 정밀하게 측정할 수 있는 플럭스 디핑 장치를 제공하고자 하는 것이다.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 별도의 센서 부재를 사용하지 않고 실장기의 피듀셜 카메라를 이용하여 플럭스의 잔량을 측정함으로써 별도의 센서 설치가 불필요한 플럭스 디핑 장치를 제공하고자 하는 것이다.

본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 플럭스 디핑 장치는, 제1 플럭스를 저장하는 탱크, 상기 탱크의 저면을 지지하며, 상기 제1 플럭스가 도포되는 플레이트, 상기 플레이트의 하부에 배치된 광원, 및 상기 탱크의 상부에 위치하며 상기 광원으로부터 발광된 빛을 수용하는 카메라를 포함하되, 상기 플레이트는 상기 탱크와 대응되는 위치에 투광창이 형성된다.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플럭스 디핑 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 플럭스 디핑 장치의 탱크가 이동부에 의해 변위된 상태를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1의 플럭스 디핑 장치의 개략적인 단면도이다.
도 4a 및 도 4b는 도 1의 플럭스 디핑 장치의 탱크 내에 저장된 플럭스의 수위가 다른 경우에 카메라로 수광되는 광량의 차이를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플럭스 디핑 장치를 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예들에 따른 플럭스 디핑 장치를 이용하여 플럭스 수위를 검출하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다.

본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "이루어지다(made of)"는 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 구성 요소들 상호 간의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 플럭스 디핑 장치에 대해 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플럭스 디핑 장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 플럭스 디핑 장치의 탱크가 이동부에 의해 변위된 상태를 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 1의 플럭스 디핑 장치의 개략적인 단면도이고, 도 4a 및 도 4b는 도 1의 플럭스 디핑 장치의 탱크 내에 저장된 플럭스의 수위가 다른 경우에 카메라로 수광되는 광량의 차이를 설명하기 위한 도면이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 플럭스 디핑 장치는, 제1 플럭스(F)를 저장하는 탱크(120), 상기 탱크(120)의 저면을 지지하며, 상기 제1 플럭스(F)가 도포되는 플레이트(112), 상기 플레이트(112)의 하부에 배치된 광원(116), 및 상기 탱크(120)의 상부에 위치하며 상기 광원(116)으로부터 발광된 빛을 수용하는 카메라(140)를 포함하되, 상기 플레이트(112)는 상기 탱크(120)와 대응되는 위치에 투광창(114)이 형성된다.

지지부(110)는 하부의 본체(170)에 의해 지지되며, 플럭스가 도포되는 플레이트(112)를 지지한다. 지지부(110)는 이동부(130)와 연결되어 이동부(130)가 탱크(120)를 소정 방향으로 직선 왕복 운동시킬 수 있도록 한다. 이를 위해 지지부(110)와 이동부(130)가 연결되는 위치에는, 이동부(130)가 원활이 이동될 수 있도록 이동레일(미도시)이 설치될 수 있다.

지지부(110)의 일측에는 광원(116)이 설치될 수 있다(도 2 참조). 광원(116)은 상부에 위치한 플레이트(112)에 형성된 투광창(114)을 통해 상부의 탱크(120)로 플럭스의 양을 측정하기 위한 소정의 광을 조사할 수 있다.

이를 위해 지지부(110)의 일부에는 광원(116)이 수용될 수 있는 홈이 형성될 수 있다(도 3 참조).

광원(116)은 외부로부터 구동신호 및 전력을 공급받아서, 투광창(114)을 통과하여, 탱크(120) 내의 플럭스(F)를 통과한 뒤 카메라(140)에 수광된다.

지지부(110)를 포함하는 본 실시예에 따른 플럭스 디핑 장치는, 부품실장기(미도시)에 설치될 수 있으며, 베이스 프레임과 같은 고정 수단에 의해 고정될 수 있다. 또한, 부품실장기를 통해 에어를 공급받을 수 있도록 에어공급포트(미도시)를 더 포함할 수 있다.

또한, 에어공급포트에 의해 공급된 에어를 이용하여 점성을 갖는 액상의 플럭스(F)를 일정량씩 공급할 수 있도록 하는 플럭스공급부(미도시)가 구비될 수 있고, 플럭스(F)의 공급량을 결정할 수 있게 일측에는 공급되는 에어의 양을 결정하는 밸브(미도시) 등이 구비될 수 있다.

플레이트(112)는 지지부(110)의 상부에 설치된다. 플레이트(112)에 묻은 플럭스(P)는 일정시간이 지나면 경화하는 성질이 있기 때문에 플레이트(112)를 분리하여 클리닝 할 수 있도록, 플레이트(112)는 지지부(110)와 분리가능하게 구비될 수 있다.

플레이트(112)의 상부면에는 일정 깊이의 도포홈이 형성될 수 있으며, 도포홈에는 플럭스(F)가 일정 두께로 도포될 수 있다.

플레이트(112)의 일측에는 투명한 투광창(114)이 형성될 수 있다. 투광창(114)은 빛을 투과시키는 재질로 형성될 수 있으며, 예를 들어 유리 또는 폴리에틸렌테레프탈레이트와 같은 투명한 재질의 플라스틱이 사용될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.

몇몇 실시예에서 투광창(114)은 투명한 재질로 제작되지 않을 수 있으며, 투광창(114)은 플레이트(112)를 관통하는 홈 형태로 구비되어, 빛이 통과되도록 구성될 수도 있다.

투광창(114)은 하부의 광원(116)으로부터 발광된 빛을 투과시키며, 투과된 빛이 상부의 탱크(120)에 저장된 플럭스(F)를 지나서 카메라(140)에 수광되도록 한다.

탱크(120) 내의 플럭스 수위가 변화함으로써 서로 다른 광량이 카메라(140)에 수광될 수 있는 형태라면, 투광창(114)이 형성되는 위치, 형태 또는 면적에는 제한이 없다.

탱크(120)는, 지지부(110) 또는 플레이트(112)의 상부에서 왕복 이동가능하게 설치되며, 플럭스(F)를 저장할 수 있는 수용부가 형성되어 있다. 탱크(120)는 플레이트(112)의 상면에 밀착된 상태에서 슬라이드 왕복 이동하는 과정에서 탱크(120)에 저장된 플럭스(F)를 플레이트(112)의 도포홈 내에 소정 두께로 도포하게 된다.

이를 위해, 탱크(120)의 저면에는 플럭스(F) 도포를 위한 소정의 개구부가 형성될 수 있다. 개구부는 항상 개방된 상태로 유지될 수 있으며, 이러한 경우, 탱크(120)와 플레이트(112)가 빈틈 없이 밀착된 상태를 유지하다가 탱크(120)가 이동하여 플레이트(112)의 도포홈에 도달하면, 탱크(120)의 개구부를 차단하던 플레이트(112)의 상면이 개구부로부터 이격되기 때문에, 플럭스(F)가 플레이트(112)의 도포홈에 도포될 수 있다.

몇몇 실시예에서, 탱크(120)의 개구부는 기계적인 신호 또는 전자적인 신호에 의해 개폐되는 차단부를 더 포함할 수 있다. 따라서, 탱크(120)의 플레이트(112) 상의 위치에 따라 개폐되어 플레이트(112)의 도포홈에 도달한 경우에만 개방되어 플럭스(F)를 정밀도 높게 도포할 수 있다.

탱크(120)의 좌우측 연장부는 탱크(120)를 슬라이드 왕복운동하도록 하는 이동부(130)와 연결될 수 있다. 이동부(130)가 모터 등과 같은 동력수단에 의해 본체(170) 또는 지지부(110)에 형성된 가이드 레일을 따라 이동하면, 탱크(120)도 이동부(130)를 따라 왕복운동 할 수 있다.

카메라(140)는 광원(116)으로부터 조사되어 탱크(120)에 저장된 플럭스(F)를 통과한 광을 수광하여 광량을 측정할 수 있다.

몇몇 실시예에서, 카메라(140)는 기판 인식을 수행하는 피듀셜 카메라일 수 있다. 즉, 플럭스의 수위를 측정하기 위해 별도로 설치된 카메라가 아니라 기판 실장 장치에서 기판의 정렬마크를 확인하여 부품 실장 위치를 제어하기 위해 사용되는 피듀셜 카메라를 공용으로 사용함으로써, 별도로 플럭스 수위 측정을 위한 센서 등의 설치가 불필요하다.

도 3에 도시된 바와 같이, 카메라(140)는 광원(116), 투광창(114), 탱크(120)와 일직선상에 위치할 수 있다.

도 4a 및 도 4b를 참조하여 카메라(140)를 이용한 탱크(120) 내의 플럭스 수위 내지 플럭스 양을 측정하는 원리에 대해 설명한다.

도 4a를 참조하면, 광원(116)으로부터 지속적으로 동일한 광량을 가지는 광이 조사되며, 조사된 광은 투광창(114)을 통과하여 탱크(120)에 도달하고, 탱크(120)의 저면을 통과하여 제1 수위(L1)로 채워진 플럭스(F)를 통과한 뒤 카메라(140)에 수광된다.

이를 위해 탱크(120)의 저면은 빛을 투과시키는 투명한 재질로 형성될 수 있으며, 앞서 살펴본 바와 같이, 탱크(120)가 개방되어 있는 개구부를 가지며 조사된 광이 개구부를 통과하도록 정렬될 수 있다.

플럭스(F)에 의해 광원(116)으로부터 발생한 빛의 일부가 소실되어, 카메라(140)에 수광되는 광량은 광원(116)에서 조사한 광량보다 감소될 수 있다.

이와 같은 원리에 의해, 플럭스(F)가 제1 수위(L1)만큼 채워진 상태에서 카메라(140)에 수광된 제1 광량(I1)을 측정할 수 있다.

이어서, 도 4b를 참조하면, 위와 마찬가지로 광원(116)으로부터 지속적으로 동일한 광량을 가지는 광이 조사되며, 조사된 광은 투광창(114)을 통과하여 탱크(120)에 도달하고, 탱크(120)의 저면을 통과하여 제2 수위(L2)로 채워진 플럭스(F)를 통과한 뒤 카메라(140)에 수광된다.

플럭스(F)에 의해 광원(116)으로부터 발생한 빛의 일부가 소실되어, 카메라(140)에 수광되는 광량은 광원(116)에서 조사한 광량보다 감소될 수 있다. 이때, 플럭스(F)의 양이 많을수록 소실되는 빛의 양이 증가하게 되므로, 탱크(120)를 통과하는 빛의 광량은 감소할 수 있다.

이와 같은 원리에 의해, 플럭스(F)가 제2 수위(L2)만큼 채워진 상태에서 카메라(140)에 수광된 제2 광량(I2)을 측정할 수 있다.

위의 과정을 소정 횟수만큼 반복하여, 탱크(120) 내에 저장된 플럭스(F)의 수위 또는 플럭스 양과 카메라(140)에 수광되는 광량 사이의 상관관계를 도출할 수 있다.

이를 위해, 실제 플럭스를 부품의 범프에 디핑하는 공정을 수행하기 전에, 사용될 플럭스의 종류에 따라 위와 같은 상관관계를 도출하기 위해 소정 횟수만큼 위와 같은 데이터 수집 과정을 미리 수행할 수 있다.

데이터 수집 과정에서는, 작업자가 광원(116)에 소정의 전력을 공급하여 발생되는 광량을 일정하게 유지하고, 탱크(120)의 플럭스 수위를 인지한 상태에서 카메라(140)로 획득한 영상의 픽셀 이미지를 분석하여 밝기 정보로부터 광량을 결정할 수 있다.

다양한 플럭스 수위 상태에서 위와 같은 과정을 반복하여 소정의 상관관계를 도출한 후, 실제 플럭스를 부품의 범프에 디핑하는 공정이 수행되는 과정에서는, 카메라(140)로 획득한 영상의 밝기 정보를 분석하여 역으로 탱크(120) 내의 플럭스 수위를 도출할 수 있다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플럭스 디핑 장치를 나타내는 사시도이다. 본 실시예에 따른 플럭스 디핑 장치는, 이전 실시예의 구성과 실질적으로 동일하되, 카메라(140)와 연결된 제어부(150)와, 제어부(150)와 연결된 표시부(160)를 더 포함할 수 있다.

제어부(150)는 카메라(140)로 수용된 광량과 탱크(120)에 저장된 플럭스의 양과의 상관관계를 추출할 수 있다. 즉, 실제 디핑 공정 전에, 미리 수위를 인지한 상태에서 플럭스의 양을 가변시켜서 카메라(140)로 광량을 측정하는 과정을 반복하면, 수집된 데이터를 기초로 제어부(150)는 상기 상관관계를 연산할 수 있다.

또한, 제어부(150)는 위와 같이 결정된 상관관계를 이용하여, 실제 플럭스 디핑 과정에서 카메라(140)로부터 획득한 광량(I3)을 기초로 탱크(120)에 저장된 플럭스의 양 내지 수위(Lx)를 계산할 수 있다.

부품의 종류에 따라 사용되는 플럭스의 종류도 달라질 수 있는데, 플럭스의 종류가 상이한 경우 이에 따른 광투과율도 상이할 수 있다.

따라서, 탱크(120) 내에 제1 플럭스와 투과율이 상이한 제2 플럭스를 저장하는 경우, 제어부(150)는 기존에 측정한 기준 플럭스(제1 플럭스)와 새로 변경된 플럭스(제2 플럭스)의 변경된 투과율을 고려하여 상관관계를 보정할 수 있다.

즉, 플럭스의 종류가 변경될 때마다, 새롭게 상관관계를 측정하는 것이 아니라, 플럭스의 종류에 따른 투과율 데이터를 기초로, 투과율 차이를 고려하여 상관관계를 보정하여, 탱크(120) 내의 플럭스 양을 측정할 수 있다.

표시부(160)는, 제어부(150)에 의해 측정된 탱크(120) 내의 플럭스 수위 내지 플럭스 양을 수치화 또는 그래픽화하여 작업자에게 표시할 수 있다.

도 6은 본 발명의 실시예들에 따른 플럭스 디핑 장치를 이용하여 플럭스 수위를 검출하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.

먼저, 광원으로부터 일정한 광량을 가지는 광을 조사한다(S110). 광원으로부터 발광된 빛은 플레이트의 투광창, 탱크를 통과할 수 있다.

플럭스가 채워진 탱크를 통과한 빛을 수광하여, 카메라로 수광된 광량을 측정한다(S120). 플럭스의 양에 따라 소실되는 빛의 양이 달라지기 때문에, 카메라로 수광된 광량이 상이할 수 있다.

탱크 내의 플럭스 양과 광량 사이의 관계가 도출되었는지 확인한 후(S130), 상관관계를 도출하기에 신뢰도가 부족한 경우, 탱크 내의 플럭스 양을 변경한 후(S140), 다시 광원으로부터 광을 조사하여 광량을 측정하는 과정을 반복하여, 데이터를 축적한다.

이와 같은 과정을 반복하여, 소정 신뢰도 이상의 상관관계가 도출된 경우, 플럭스 양과 수광된 광량 사이의 상관관계를 함수화할 수 있다(S150). 플럭스의 양이 많을수록 카메라로 수광되는 빛의 양이 감소할 수 있다.

이와 같이 도출된 함수를 이용하여 카메라로 획득한 광량을 기초로 탱크 내의 플럭스양을 검출한다(S160).

또한, 앞서 설명한 바와 같이, 플럭스의 종류가 변경되어 투과율이 달라지더라도 상관관계를 재설정하기 위해 데이터 수집 과정을 다시 반복할 필요가 없으며, 변경된 종류의 플럭스 투과율에 따라 상기 결정된 상관관계를 보정하여 변경된 종류의 플럭스에 따른 수정된 상관관계를 결정할 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

110: 지지부 112: 플레이트
114: 투광창 116: 광원
120: 탱크 130: 이동부
140: 카메라 150: 제어부
160: 표시부

Claims (9)

1. 제1 플럭스를 저장하는 탱크;
   상기 탱크의 저면을 지지하며, 상기 제1 플럭스가 도포되는 플레이트;
   상기 플레이트의 하부에 배치된 광원; 및
   상기 탱크의 상부에 위치하며 상기 광원으로부터 발광된 빛을 수용하는 카메라를 포함하되,
   상기 플레이트는 상기 탱크와 대응되는 위치에 투광창이 형성된, 플럭스 디핑 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 투광창은 유리 또는 투명 플라스틱 재질로 구성된, 플럭스 디핑 장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 광원은, 상기 탱크와 대응되는 위치에 배치된, 플럭스 디핑 장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 카메라로 수용된 광량과 상기 탱크에 저장된 제1 플럭스량 사이의 상관관계를 추출하는 제어부를 더 포함하는, 플럭스 디핑 장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 상관관계를 이용하여 상기 카메라로부터 획득한 광량을 기초로 상기 탱크에 저장된 제1 플럭스량을 계산하는, 플럭스 디핑 장치.
6. 제4항에 있어서,
   상기 탱크는 상기 제1 플럭스와 투과율이 상이한 제2 플럭스를 저장하고,
   상기 제어부는, 상기 제2 플럭스의 변경된 투과율을 고려하여 상기 상관관계를 보정하는, 플럭스 디핑 장치.
7. 제1항에 있어서,
   상기 탱크를 상기 플레이트 상의 다른 위치로 이동시키는 이동부를 더 포함하는, 플럭스 디핑 장치.
8. 제1항에 있어서,
   상기 광원으로부터 발광된 빛은 상기 투광창, 상기 탱크를 순차적으로 통과하여 상기 카메라에 수용되는, 플럭스 디핑 장치.
9. 제1항에 있어서,
   상기 카메라는,
   기판 인식을 수행하는 피듀셜 카메라인, 플럭스 디핑 장치.

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