KR20130074664A - Epoxy resin composition for encapsulating semiconductor device, and semiconductor apparatus using the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An epoxy resin composition is provided to improve fluidity, warp, soldering resistance, and a curing reaction. CONSTITUTION: An epoxy resin composition for sealing semiconductor devices comprises an epoxy resin, a hardening agent, a hardening accelerator, and an inorganic filling. The epoxy resin comprises a naphthalene epoxy resin. The hardening agent comprises a modified triphenolmethane hardening agent. The hardening accelerator comprises an imidazole hardening accelerator. The naphthalene epoxy resin comprises a naphthalene epoxy resin represented by chemical formula 1. In chemical formula 1, R is C1-6 alkylene and n and m are 0 or 1, respectively.

Description

반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물 및 이를 이용한 반도체 장치{EPOXY RESIN COMPOSITION FOR ENCAPSULATING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR APPARATUS USING THE SAME}Epoxy resin composition for semiconductor element sealing and semiconductor device using the same {EPOXY RESIN COMPOSITION FOR ENCAPSULATING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR APPARATUS USING THE SAME}

본 발명은 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물 및 이를 이용한 반도체 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 유동 특성, 휨 특성, 및 무연 땜납 공정에서 요구되는 내땜납성이 우수하고, 경화 반응이 우수한 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물 및 이를 이용하여 반도체 소자가 밀봉된 반도체 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an epoxy resin composition for sealing semiconductor elements and a semiconductor device using the same. More specifically, the present invention relates to an epoxy resin composition for sealing semiconductor devices excellent in flow characteristics, bending properties, solder resistance required in a lead-free solder process, and excellent in curing reaction, and a semiconductor device sealed using the semiconductor device. It is about.

최근 반도체 소자의 고집적화 경향에 따라 반도체 소자 크기의 대형화, 셀 면적의 소형화, 및 배선의 다층화가 급속히 진전되고 있다. 반도체 소자를 외부 환경으로부터 보호하는 패키지(Package) 방법 또한 고밀도 실장(즉, 표면 실장)으로 소형화 및 박형화가 가속화되고 있다. 또한, 반도체 소자를 밀봉하는데 있어서 환경 관련 규제가 엄격해짐에 따라 후공정인 땜납(Solder) 공정에서 납(Pb)의 사용이 금지되고 있는 바, 무연 땜납(Pb-free Solder) 공정에 대한 연구도 활발하게 이루어지고 있다.In recent years, with the tendency of high integration of semiconductor devices, the size of semiconductor devices has been increased, the cell area has been reduced, and the wiring has been multilayered. Package methods for protecting semiconductor devices from external environments are also accelerating miniaturization and thinning due to high density mounting (ie, surface mounting). In addition, due to strict environmental regulations in sealing semiconductor devices, the use of lead (Pb) in the post solder process is prohibited. It is actively done.

현재, 납(Pb)을 대신하여 사용하는 무연 땜납 재료로는 주석(Sn), 비스무스(Bi), 은(Ag) 등이 있는데, 이러한 재료를 사용할 경우에는 땜납 공정의 온도가 기존보다 20℃정도 높아져야 한다. 여기서, 반도체 소자는 외부 환경으로부터 보호되기 위해 주로 에폭시 수지 조성물을 사용하여 밀봉되는데, 이와 같이 에폭시 수지 조성물로 밀봉된 반도체 소자를 상기한 무연 땜납 공정에 투입할 경우 반도체 소자의 불량 발생률이 높아지기 때문에 에폭시 수지 조성물에 의한 내땜납성의 향상이 요구되고 있다. 즉, 흡수율(吸水率)이 높은 에폭시 수지 조성물로 밀봉된 반도체 소자를 무연 땜납 공정에 투입할 경우, 땜납 공정의 온도 상승으로 인해 반도체 소자에 존재하는 수분이 폭발함(수증기화)에 따라 응력이 발생하여 반도체 소자에 크랙이 발생하거나 반도체 소자와 에폭시 수지 조성물 간에 박리가 일어나는 등 신뢰성이 있는 반도체 소자를 수득하기가 어렵기 때문에 에폭시 수지 조성물에 의한 내땜납성 향상이 요구되는 것이다.Currently, lead-free solder materials used in place of lead (Pb) include tin (Sn), bismuth (Bi), and silver (Ag). When such materials are used, the solder process temperature is about 20 ° C. Should be high. Here, the semiconductor device is mainly sealed using an epoxy resin composition in order to protect it from the external environment. When the semiconductor device sealed with the epoxy resin composition is introduced into the lead-free solder process, the defect rate of the semiconductor device is increased. The improvement of the solder resistance by a resin composition is calculated | required. That is, when a semiconductor element sealed with an epoxy resin composition having a high water absorption rate is introduced into the lead-free solder process, the stress in the semiconductor element explodes due to the temperature rise of the solder process (water vaporization). It is difficult to obtain a reliable semiconductor device, such as cracks in the semiconductor device or peeling between the semiconductor device and the epoxy resin composition, so that the solder resistance improvement by the epoxy resin composition is required.

한편, 반도체 소자의 고집적화에 따른 다핀화에 의해 DIP, SOP, QFP 등의 양면 밀봉형 반도체 소자 패키지와 함께 QFN, BGA 등의 단면 밀봉형 반도체 소자 패키지가 주류를 이루고 있다. 이때, 단면 밀봉형 반도체 소자 패키지는 기판의 한쪽 면만을 에폭시 수지 조성물로 밀봉한다는 점에서 패키지의 휨이 커다란 문제가 되고 있다. 즉, 기판의 한쪽 면만을 에폭시 수지 조성물로 밀봉함에 따라 패키지가 비대칭을 이루어 휘어지게 되는데, 이렇게 패키지가 휘어질 경우 반도체 소자에 응력이 가해지거나 반도체 소자와 기판과의 단자 접합이 불완전해져 패키지의 전기적인 연결이 불량해지는 문제점이 발생하게 되는 것이다. 또한, 선팽창계수의 차이에 의해 에폭시 수지 조성물, 기판(substrate), 및 반도체 소자간의 수축률이 달라지게 되는데, 이러한 수축률 차이 또한 패키지 휨의 원인이 되어 상기와 같은 문제점이 발생하게 된다.On the other hand, due to the high pinning of semiconductor devices, single-sided sealed semiconductor device packages such as QFN and BGA have become mainstream along with double-sided sealed semiconductor device packages such as DIP, SOP, and QFP. At this time, in the single-sided sealing type semiconductor device package, the bending of the package is a big problem in that only one side of the substrate is sealed with the epoxy resin composition. That is, the package is asymmetrically bent by sealing only one side of the substrate with the epoxy resin composition. When the package is bent, the stress is applied to the semiconductor element or the terminal junction between the semiconductor element and the substrate is incomplete and the package is electrically bent. The problem is that a poor connection occurs. In addition, the shrinkage between the epoxy resin composition, the substrate (substrate), and the semiconductor device is changed by the difference in the coefficient of linear expansion, such a difference in shrinkage rate also causes the package warpage, the above problems occur.

패키지의 휨 문제를 해결하기 위해 트리페놀메탄형 에폭시수지와 트리페놀메탄형 페놀 수지를 이용하여 유리전이온도를 높이고 선팽창계수를 작게 하는 기술이 제안된 바 있다. 그런데, 상기 기술은 패키지의 휨 문제는 해결할 수 있으나 에폭시 수지 조성물의 흡수율(吸水率)이 매우 높아 내땜납성이 떨어지기 때문에 반도체 소자에 크랙이 발생하거나 반도체 소자와 에폭시 수지 조성물 간의 박리가 일어나는 등의 문제점은 여전히 남아 있다.In order to solve the warpage problem of the package, a technique of increasing the glass transition temperature and decreasing the coefficient of linear expansion using a triphenol methane type epoxy resin and a triphenol methane type phenol resin has been proposed. By the way, the above-described technology can solve the warpage problem of the package, but because the absorption rate of the epoxy resin composition is very high and the solder resistance is poor, cracks occur in the semiconductor device or peeling between the semiconductor device and the epoxy resin composition occurs. Problem still remains.

또한, 무기 충전제의 사용량을 높임으로써 선팽창계수를 저하시켜 패키지의 휨 문제를 개선하는 방법이 제안된 바 있다. 그러나 상기 방법은 에폭시 수지 조성물의 유동성이 저하되어 성형 시(반도체 소자의 밀봉 작업) 와이어 스윕(wire sweep)이나 미충전이 발생할 우려가 있다.
In addition, a method of improving the warpage problem of the package by reducing the coefficient of linear expansion by increasing the amount of the inorganic filler has been proposed. However, the above method may cause a decrease in the fluidity of the epoxy resin composition to cause wire sweep or uncharged during molding (sealing of semiconductor elements).

본 발명의 목적은 유동 특성, 휨 특성, 및 무연 땜납 공정에서 요구되는 내땜납성이 우수하고, 경화반응 또한 뛰어난 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물을 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide an epoxy resin composition for semiconductor element sealing that is excellent in flow characteristics, warpage characteristics, solder resistance required in a lead-free solder process, and also excellent in curing reaction.

본 발명의 다른 목적은 흡습률이 개선된 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물을 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide an epoxy resin composition for sealing semiconductor elements with improved moisture absorption.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물을 이용하여 밀봉된 반도체 장치를 제공하는 것이다. Still another object of the present invention is to provide a sealed semiconductor device using the epoxy resin composition for semiconductor element sealing.

본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 상세히 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.
These and other objects of the present invention can be achieved by the present invention which is described in detail.

본 발명의 하나의 관점은 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물에 관한 것이다. 상기 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물은 에폭시수지; 경화제; 경화촉진제; 및 무기 충전제를 포함하며, 상기 에폭시수지는 나프탈렌계 에폭시수지를 포함하고, 상기 경화제는 변성 트리페놀메탄계 경화제를 포함하며, 상기 경화촉진제는 이미다졸계 경화촉진제를 포함하는 것을 특징으로 한다. One aspect of the present invention relates to an epoxy resin composition for semiconductor element sealing. The epoxy resin composition for sealing a semiconductor device is an epoxy resin; Curing agent; Curing accelerators; And an inorganic filler, wherein the epoxy resin comprises a naphthalene-based epoxy resin, the curing agent includes a modified triphenol methane-based curing agent, and the curing accelerator comprises an imidazole-based curing accelerator.

구체예에서 상기 나프탈렌계 에폭시수지는 하기 화학식 1의 구조를 가질 수 있다:
In embodiments, the naphthalene-based epoxy resin may have a structure of Formula 1:

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00001
Figure pat00001

(상기 화학식 1에서, R은 탄소 수 1~6의 알킬렌이며, n 및 m은 각각 0 또는 1이다).
(In Formula 1, R is alkylene having 1 to 6 carbon atoms, n and m are each 0 or 1).

바람직하게는 상기 R은 CH2일 수 있다.Preferably, R may be CH 2 .

구체예에서 상기 변성 트리페놀메탄계 경화제는 하기 화학식 2의 구조를 가질 수 있다:
In embodiments, the modified triphenol methane-based curing agent may have a structure of Formula 2:

[화학식 2][Formula 2]

Figure pat00002
Figure pat00002

(상기 화학식 2에서, n의 평균값은 0~5이고 m의 평균값은 1~5이며, n+m의 평균값은 1 내지 10 임).
(In the formula (2), the average value of n is 0 to 5, the average value of m is 1 to 5, and the average value of n + m is 1 to 10).

구체예에서 상기 화학식 2의 두 반복 단위의 순서는 랜덤하게 배치될 수 있다.In an embodiment, the order of the two repeating units of Formula 2 may be randomly arranged.

상기 에폭시 수지 조성물은 에폭시수지 3~20 중량%, 경화제 2~15 중량%, 경화촉진제 0.02~0.4 중량%, 및 무기 충전제 70~95 중량%를 포함할 수 있다.The epoxy resin composition may include 3 to 20% by weight of epoxy resin, 2 to 15% by weight of curing agent, 0.02 to 0.4% by weight of curing accelerator, and 70 to 95% by weight of inorganic filler.

상기 나프탈렌계 에폭시수지는 전체 에폭시수지 중 40~100 중량%로 포함될 수 있다.The naphthalene-based epoxy resin may be included in 40 to 100% by weight of the total epoxy resin.

상기 변성 트리페놀메탄계 경화제는 전체 경화제중 40~100중량%로 포함될 수 있다.The modified triphenol methane-based curing agent may be included in 40 to 100% by weight of the total curing agent.

상기 이미다졸계 경화촉진제는 2-페닐-4-메틸-5-히드록시메틸이미다졸을 포함할 수 있다.The imidazole series curing accelerator may include 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole.

상기 이미다졸계 경화촉진제는 전체 경화촉진제중 40~100중량%로 포함될 수 있다.The imidazole-based curing accelerator may be included in 40 to 100% by weight of the total curing accelerator.

상기 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물은 실란 커플링제를 더 포함할 수 있다.The epoxy resin composition for sealing a semiconductor device may further include a silane coupling agent.

상기 실란 커플링제는 아미노실란 커플링제를 전체 실란 커플링제 중 30~100중량%로 포함할 수 있다.The silane coupling agent may include an aminosilane coupling agent in an amount of 30 to 100% by weight in the total silane coupling agents.

본 발명의 다른 관점은 상기 에폭시 수지 조성물을 이용하여 반도체 소자를 밀봉처리한 반도체 장치에 관한 것이다.
Another aspect of the present invention relates to a semiconductor device in which a semiconductor element is sealed by using the epoxy resin composition.

본 발명은 유동 특성, 휨 특성, 및 무연 땜납 공정에서 요구되는 내땜납성이 우수하고, 경화 반응이 뛰어나며, 흡습률을 최소화하여 무연 땜납 공정에서 요구되는 내땜납성을 향상시킬 수 있는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물 및 이를 이용하여 밀봉된 반도체 장치를 제공하는 발명의 효과를 갖는다.
The present invention provides a semiconductor device sealing that can improve the solder resistance required in the lead-free solder process by excellent flow resistance, bending characteristics, and solder resistance required in the lead-free solder process, excellent curing reaction, and minimized moisture absorption rate The present invention provides an epoxy resin composition for use and a semiconductor device sealed using the same.

본 발명의 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물은 에폭시수지; 경화제; 경화촉진제; 및 무기 충전제를 포함한다. The epoxy resin composition for semiconductor element sealing of the present invention is an epoxy resin; Curing agent; Curing accelerators; And inorganic fillers.

이하, 각 성분에 대해 하기에 상세히 설명한다.
Hereinafter, each component will be described in detail below.

(A) 에폭시수지(A) an epoxy resin

본 발명에 사용되는 에폭시수지는 나프탈렌계 에폭시수지를 포함한다. 상기 나프탈렌계 에폭시수지는 하기 화학식 1의 구조를 가질 수 있다:
The epoxy resin used in the present invention includes a naphthalene epoxy resin. The naphthalene epoxy resin may have a structure of Formula 1 below:

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00003
Figure pat00003

(상기 화학식 1에서, R은 탄소 수 1~6의 알킬렌이며, n 및 m은 각각 0 또는 1이다).
(In Formula 1, R is alkylene having 1 to 6 carbon atoms, n and m are each 0 or 1).

상기 화학식 1로 표시되는 에폭시수지는 나프탈렌 골격으로 이루어져 높은 유리전이온도(Tg)를 나타낸다. 일반적으로 강직하고 대칭성이 뛰어난 골격을 지닌 에폭시수지는 높은 유리전이온도를 나타내는데, 상기 화학식1로 표시되는 에폭시수지는 나프탈렌 골격 부분이 단단한 결합을 이루고 있고 분자 전체의 대칭성도 뛰어나기 때문에 높은 유리전이온도를 나타내게 된다.Epoxy resin represented by the formula (1) consists of a naphthalene skeleton exhibits a high glass transition temperature (Tg). In general, epoxy resins having rigid and excellent symmetry skeletons exhibit high glass transition temperatures. Epoxy resins represented by the general formula (1) have high glass transition temperatures because the naphthalene skeleton has a strong bond and excellent symmetry of the whole molecule. Will be displayed.

이와 같이 유리전이온도가 높은 에폭시수지는 낮은 선팽창계수(coefficient of linear expansion)를 나타내며, 선팽창계수가 낮음에 따라 저수축률을 얻을 수 있다. As such, the epoxy resin having a high glass transition temperature exhibits a low coefficient of linear expansion, and a low shrinkage ratio can be obtained as the coefficient of linear expansion is low.

일반적으로 반도체 소자 패키지가 휘는 원인 중 하나는 반도체 부재(예를 들어, 기판 또는 칩 등)와 밀봉되는 에폭시수지의 수축률 차이에 의한 것으로, 이러한 수축률 차이는 에폭시수지에 비해 반도체 부재의 수축률이 낮기 때문에 나타나게 된다. 그런데, 상기 에폭시수지는 상기와 같은 이유로 저수축률을 얻을 수 있기 때문에 반도체 부재와의 수축률 밸런스를 맞출 수 있게 되어 반도체 소자 패키지의 휨 특성을 향상시킬 수 있는 것이다.In general, one of the causes of bending of a semiconductor device package is due to a difference in shrinkage of an epoxy resin sealed with a semiconductor member (for example, a substrate or a chip), and the difference in shrinkage of the semiconductor member is lower than that of an epoxy resin. Will appear. However, since the epoxy resin can obtain a low shrinkage ratio for the same reason as described above, it is possible to balance the shrinkage ratio with the semiconductor member, thereby improving the bending property of the semiconductor device package.

또한, 상기 화학식 1의 에폭시수지 구조에서 나프탈렌은 소수성이기 때문에 에폭시수지의 흡수율(吸水率)을 낮추어 에폭시수지에 함유되는 수분의 양을 최소화시킴에 따라 무연 땜납 공정에서 요구되는 내땜납성 또한 향상시킬 수 있다.In addition, since naphthalene is hydrophobic in the epoxy resin structure of Chemical Formula 1, as the water absorption of the epoxy resin is minimized to minimize the amount of water contained in the epoxy resin, the solder resistance required in the lead-free solder process may also be improved. Can be.

한편, 상기 화학식 1의 에폭시수지는 n=1이고 m=1일 때 가교밀도가 높아져 저수축률 및 휨 특성이 가장 우수하게 나타나지만 점도가 높아짐에 따라 유동 특성이 저하될 수 있으므로, n=0이고 m=1(또는 n=1이고 m=0)인 에폭시수지와 n=0이고 m=0인 에폭시수지를 혼합하여 사용하는 것이 바람직하다.On the other hand, the epoxy resin of the general formula (1) is n = 1 and m = 1, the cross-link density is increased, the low shrinkage and warpage characteristics are the best, but the flow properties may be reduced as the viscosity increases, n = 0 and m It is preferable to use an epoxy resin of = 1 (or n = 1 and m = 0) and an epoxy resin of n = 0 and m = 0.

본 발명은 상기 화학식 1로 표시되는 나프탈렌계 에폭시수지 이외에 다른 에폭시수지를 병용할 수도 있다. 이때, 병용할 수 있는 에폭시수지는 한 분자 중에 두 개 이상의 에폭시기를 포함하는 에폭시수지가 바람직하다. 구체적인 예로는 페놀아랄킬형 에폭시수지, 바이페닐아랄킬형 에폭시수지, 크레졸노볼락형 에폭시수지, 페놀노볼락형 에폭시수지, 바이페닐형 에폭시수지, 비스페놀형 에폭시수지, 디시클로펜타디엔형 에폭시수지, 나프탈렌형 에폭시수지, 트리페놀메탄형 에폭시수지 등을 들 수 있으며, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 이들은 단독 또는 2종 이상 조합하여 사용될 수 있다. 이중 바람직하게 페놀아랄킬형 에폭시수지 또는 트리페놀메탄형 에폭시수지를 사용할 수 있다.The present invention may use other epoxy resins in addition to the naphthalene epoxy resin represented by the formula (1). At this time, the epoxy resin that can be used in combination is preferably an epoxy resin containing two or more epoxy groups in one molecule. Specific examples include phenol aralkyl type epoxy resins, biphenyl aralkyl type epoxy resins, cresol novolak type epoxy resins, phenol novolak type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, bisphenol type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins and naphthalenes. Type epoxy resin, triphenol methane type epoxy resin, etc. are mentioned, It is not necessarily limited to this. These may be used alone or in combination of two or more. Of these, phenol aralkyl type epoxy resins or triphenol methane type epoxy resins may be preferably used.

상기 화학식 1로 표시되는 나프탈렌계 에폭시수지 이외에 다른 에폭시수지를 병용할 경우, 상기 화학식 1로 표시되는 나프탈렌계 에폭시수지는 전체 에폭시수지 100 중량%를 기준으로 40~100 중량%로 사용하는 것이 바람직하다. 상기 범위에서 원하는 수축률과 휨 특성을 얻을 수 있다. When using another epoxy resin in addition to the naphthalene epoxy resin represented by the formula (1), it is preferable to use the naphthalene-based epoxy resin represented by the formula (1) 40 to 100% by weight based on 100% by weight of the total epoxy resin . It is possible to obtain the desired shrinkage and bending characteristics in the above range.

또한, 본 발명의 에폭시수지(상기 화학식 1로 표시되는 에폭시수지 단독 또는 상기 화학식 1로 표시되는 에폭시수지와 상기 다른 에폭시수지를 병용한 에폭시수지)는 에폭시 수지 조성물 전체 100 중량%를 기준으로 3~20 중량%, 바람직하게는 5~14 중량%로 사용할 수 있다. 상기 범위에서 유동성이 우수하고, 성형 시 와이어 스윕(wire sweep) 등의 문제가 발생하지 않으며, 적당한 수축률 및 흡수율을 가져 우수한 휨 특성과 패키지의 신뢰성을 얻을 수 있다.
In addition, the epoxy resin of the present invention (epoxy resin represented by the formula (1) alone or epoxy resin represented by the formula (1) and the other epoxy resin in combination) is 3 ~ based on 100% by weight of the total epoxy resin composition 20 wt%, preferably 5-14 wt%. It is excellent in the fluidity in the above range, does not cause problems such as wire sweep during molding, and has a good shrinkage and absorption rate can be obtained excellent bending characteristics and package reliability.

(B) 경화제(B) Curing agent

본 발명에서 사용되는 경화제는 변성 트리페놀메탄계 경화제를 포함한다. 상기 변성 트리페놀메탄계 경화제는 하기 화학식 2의 구조를 가질 수 있다:
The curing agent used in the present invention includes a modified triphenol methane-based curing agent. The modified triphenol methane-based curing agent may have a structure of Formula 2:

[화학식 2][Formula 2]

Figure pat00004
Figure pat00004

(상기 화학식 2에서, n의 평균값은 0~5이고 m의 평균값은 1~5이며, n+m의 평균값은 1 내지 10 임).
(In the formula (2), the average value of n is 0 to 5, the average value of m is 1 to 5, and the average value of n + m is 1 to 10).

상기 화학식 2로 표시되는 변성 트리페놀메탄계 경화제는 트리페놀메탄 골격과 페놀노볼락 골격으로 이루어진다. 따라서, 그 가교점 간격이 짧기 때문에 상기 화학식 1로 표시되는 나프탈렌계 에폭시수지와 반응할 경우 가교 밀도가 높아져 그 결과물인 경화물의 유리전이온도를 높이게 된다. 이와 같이 상기 화학식 2로 표시되는 경화제를 사용함에 따라 경화물의 유리전이온도가 높아지며 선팽창계수가 낮아지게 된다. 이에 따라 저수축률을 얻을 수 있어 결과적으로 상기에서 언급한 바와 같이 반도체 소자 패키지의 휨을 억제할 수 있다.The modified triphenol methane-based curing agent represented by the formula (2) comprises a triphenol methane skeleton and a phenol novolac skeleton. Therefore, since the crosslinking point is short, the crosslinking density is increased when reacting with the naphthalene-based epoxy resin represented by Chemical Formula 1, thereby increasing the glass transition temperature of the resulting cured product. As such, the glass transition temperature of the cured product is increased and the coefficient of linear expansion is lowered as the curing agent represented by Chemical Formula 2 is used. As a result, a low shrinkage rate can be obtained, and as a result, as described above, the warpage of the semiconductor device package can be suppressed.

상기 화학식 1로 표시되는 나프탈렌계 에폭시수지에 상기 화학식 2의 변성 트리페놀메탄계 경화제를 적용함으로서, 다른 경화제를 사용한 경우에 비해 경화 반응이 우수해져 적절한 경화 속도 및 경화 거동을 나타낼 수 있다. 따라서, 본 발명의 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물은 반도체 소자 성형 시 성형성이 우수하고, 작업성 및 생산효율 또한 향상시킬 수 있다.By applying the modified triphenol methane-based curing agent of the formula (2) to the naphthalene epoxy resin represented by the formula (1), the curing reaction is excellent compared to the case of using other curing agents can exhibit an appropriate curing rate and curing behavior. Therefore, the epoxy resin composition for semiconductor element sealing of the present invention is excellent in formability at the time of molding a semiconductor element, and can also improve workability and production efficiency.

본 발명은 상기 화학식 2로 표시되는 경화제 이외에 다른 경화제를 병용할 수도 있다. 이때, 병용할 수 있는 경화제는 한 분자 중에 두개 이상의 페놀기를 포함하는 경화제가 바람직하다. 구체적인 예로는 페놀아랄킬형 페놀수지, 바이페닐아랄킬형 페놀수지, 페놀노볼락형 페놀수지, 크레졸노볼락형 페놀수지, 자일록형 페놀수지, 디시크로펜타디엔형 페놀수지, 나프탈렌형 페놀수지, 트리페놀메탄형 페놀수지 등을 들 수 있으며 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 이들은 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용될 수 있다. 이중 바람직하게 페놀아랄킬형 페놀수지 또는 자일록형 페놀수지를 사용할 수 있다. The present invention may use other curing agents in addition to the curing agent represented by the formula (2). At this time, the hardening | curing agent which can be used together is preferable the hardening | curing agent containing two or more phenol groups in one molecule. Specific examples include phenol aralkyl type phenol resins, biphenyl aralkyl type phenol resins, phenol novolak type phenol resins, cresol novolak type phenol resins, xylloc type phenol resins, dicyclopentadiene type phenol resins, naphthalene type phenol resins, and triphenols. Methane type phenol resins, and the like, but is not necessarily limited thereto. These may be used alone or in combination of two or more. Of these, phenol aralkyl type phenol resins or xylloc type phenol resins can be preferably used.

상기 화학식 2로 표시되는 변성 트리페놀메탄계 경화제 이외에 다른 경화제를 병용할 경우, 상기 화학식 2로 표시되는 변성 트리페놀메탄계 경화제는 전체 경화제 100 중량%를 기준으로 40~100중량%로 포함되는 것이 바람직하다. 상기 범위에서 경화 시간이 적당하여 성형성 및 작업성이 우수할 수 있다.When using a curing agent other than the modified triphenol methane-based curing agent represented by the formula (2), the modified triphenol methane-based curing agent represented by the formula (2) is included in 40 to 100% by weight based on 100% by weight of the total curing agent desirable. The curing time in the above range may be suitable to excellent moldability and workability.

또한, 본 발명에서는 경화제를 에폭시 수지 조성물 전체 100중량%을 기준으로 2~15중량%, 바람직하게는 3~12 중량%로 사용하는 것이 바람직하다. 상기 범위에서 경화 시간이 적당하여 성형성 및 작업성이 우수하며, 수축률과 휨 특성이 우수할 수 있다.
In addition, in this invention, it is preferable to use a hardening | curing agent in 2-15 weight%, Preferably it is 3-12 weight% based on 100 weight% of all epoxy resin compositions. Hardening time in the above range is excellent in formability and workability, it may be excellent in shrinkage and bending properties.

(C) 경화촉진제(C) curing accelerator

본 발명에서 사용되는 경화촉진제는 이미다졸계 경화촉진제를 포함한다. 이와 같이 이미다졸계 경화촉진제를 포함하므로, 에폭시 수지 조성물의 경화물이 경화된 후의 유리전이온도가 높아져 선팽창계수가 낮아짐에 따라 저수축률을 얻을 수 있어 반도체 소자 패키지의 휨 특성을 제어할 수 있다.The curing accelerator used in the present invention includes an imidazole series curing accelerator. As such, since the imidazole-based curing accelerator is included, as the glass transition temperature after the cured product of the epoxy resin composition is cured increases and the linear expansion coefficient is lowered, a low shrinkage rate can be obtained, and thus the bending property of the semiconductor device package can be controlled.

특히 상기 화학식 1로 표시되는 나프탈렌계 에폭시수지 및 상기 화학식 2의 변성 트리페놀메탄계 경화제에 이미다졸계 경화촉진제를 사용할 경우 경화 반응이 우수해져 적절한 경화 속도 및 경화 거동을 나타내기 때문에 반도체 소자 성형 시 성형성이 우수하고, 작업성, 및 생산 효율 또한 향상시킬 수 있다.Particularly, when imidazole-based curing accelerators are used in the naphthalene-based epoxy resin represented by Chemical Formula 1 and the modified triphenol methane-based curing agent of Chemical Formula 2, the curing reaction is excellent, and thus, the curing time and curing behavior are excellent. It is excellent in moldability, and workability and production efficiency can also be improved.

본 발명에 따른 이미다졸계 경화촉진제의 구체적인 예로 2-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 1-벤질-2-페닐이미다졸, 2,4-디아미노-6-2’-메틸이미다졸(1’)-에틸-s-트리아진, 2-페닐-4-메틸-5-히드록시메틸이미다졸, 2-페닐-4,5-디히드록시메틸이미다졸, 2,3-지히드로1H-피로로[1,2-a]벤즈이미다졸 등을 들 수 있으며, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 이미다졸계 경화촉진제는 하나 또는 둘 이상을 병용하여 사용할 수 있다. 이 중에서도 휨 특성과 성형 시의 유동성 및 경화 반응의 밸런스에서 2-페닐-4-메틸-5-히드록시메틸이미다졸이 바람직하다.Specific examples of the imidazole series curing accelerator according to the present invention are 2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 2, 4-diamino-6-2'-methylimidazole (1 ')-ethyl-s-triazine, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4,5 -Dihydroxymethylimidazole, 2,3-zihydro 1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, and the like, but are not necessarily limited thereto. The imidazole series curing accelerator may be used in combination of one or two or more. Among these, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole is preferable from the balance of warpage characteristics, fluidity at the time of molding and curing reaction.

본 발명은 이미다졸계 경화촉진제 이외에 다른 경화촉진제를 병용할 수도 있다. 이때 병용할 수 있는 경화촉진제의 구체적인 예로 벤질디메틸아민, 트리에탄올아민, 트리에틸렌디아민, 디메틸아미노에탄올, 트리(디메틸아미노메틸)페놀 등의 3급 아민류; 트리페닐포스핀, 디페닐포스핀, 페닐포스핀 등의 유기 포스핀류; 테트라페닐포스포니움 테트라페닐보레이트, 트리페닐포스핀 테트라페닐보레이트 등의 테트라페닐보론염 등이 있으며, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 이들은 하나 또는 둘 이상 혼합하여 사용할 수 있다.The present invention may use other curing accelerators in addition to the imidazole series curing accelerators. Specific examples of the curing accelerator that can be used at this time include tertiary amines such as benzyldimethylamine, triethanolamine, triethylenediamine, dimethylaminoethanol and tri (dimethylaminomethyl) phenol; Organic phosphines such as triphenylphosphine, diphenylphosphine and phenylphosphine; Tetraphenylboron salts such as tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, triphenylphosphine tetraphenylborate, and the like, but are not necessarily limited thereto. These may be used alone or in combination of two or more.

상기 이미다졸계 경화촉진제 이외에 다른 경화촉진제를 병용할 경우, 이미다졸계 경화촉진제는 경화촉진제 전체 100 중량%를 기준으로 40~100 중량%인 것이 바람직하다. 상기 범위에서 적당한 경화 시간을 가지며, 성형성 및 작업성이 우수할 수 있다. When using another curing accelerator in addition to the imidazole series curing accelerator, the imidazole series curing accelerator is preferably 40 to 100% by weight based on 100% by weight of the total curing accelerator. It has a suitable curing time in the above range, it may be excellent in moldability and workability.

또한 본 발명의 경화촉진제(상기 이미다졸계 경화촉진제 단독 또는 상기 이미다졸계 경화촉진제와 상기 기타 경화촉진제를 병용한 경화촉진제)는 에폭시 수지 조성물 전체 100 중량%를 기준으로 0.02~0.4중량%로 사용하는 것이 바람직하다. 상기 범위에서 적당한 경화 시간을 가지며, 성형성, 및 작업성이 우수할 수 있다.
In addition, the curing accelerator of the present invention (the curing accelerator using the imidazole-based curing accelerator alone or the imidazole-based curing accelerator in combination with the other curing accelerator) is used in 0.02 ~ 0.4% by weight based on 100% by weight of the total epoxy resin composition It is desirable to. It has a suitable hardening time in the said range, and can be excellent in moldability and workability.

(D) 무기 충전제(D) inorganic filler

무기 충전제는 에폭시 수지 조성물에서 기계적 물성을 향상시키고 응력을 낮추기 위하여 사용된다. 이러한 무기 충전제로 사용할 수 있는 것은 용융 실리카, 결정성 실리카, 알루미나, 질화규소, 및 질화알루미늄 등을 들 수 있으며, 비용 및 기계적 특성 강화 측면에서 볼 때 용융 실리카를 사용하는 것이 바람직하다. 용융 실리카를 사용할 경우 그 형상 및 입경은 특별히 제한되지 않으나 평균 입경은 0.1~35㎛인 것을 사용하는 것이 좋다.Inorganic fillers are used in epoxy resin compositions to improve mechanical properties and lower stresses. Examples of the inorganic filler that can be used include fused silica, crystalline silica, alumina, silicon nitride, aluminum nitride, and the like, and in view of cost and mechanical properties enhancement, fused silica is preferable. In the case of using fused silica, its shape and particle diameter are not particularly limited, but an average particle diameter of 0.1-35 μm may be used.

상기 무기 충전제는 에폭시 수지 조성물 전체 100 중량%를 기준으로 70~95 중량%로 포함되는 것이 바람직하다. 상기 범위에서 휨 특성 및 패키지의 신뢰성이 우수하고, 유동성과 성형성이 우수할 수 있다. 바람직하게는 75~92 중량%이다.
The inorganic filler is preferably included in 70 to 95% by weight based on 100% by weight of the total epoxy resin composition. Within this range, the bending characteristics and the reliability of the package may be excellent, and fluidity and formability may be excellent. Preferably it is 75-92 weight%.

(E) 실란 커플링제(E) silane coupling agent

본 발명에서 사용될 수 있는 실란 커플링제는 에폭시수지와 무기 충전제 사이에서 반응하여, 에폭시수지와 무기 충전제의 계면 강도를 향상시키는 것이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 에폭시실란, 아미노실란, 머캅토실란, 알킬실란, 및 알콕시실란 등을 사용할 수 있다. 이중 아미노실란 커플링제를 바람직하게 포함할 수 있다.The silane coupling agent that can be used in the present invention is not particularly limited as long as it reacts between the epoxy resin and the inorganic filler to improve the interfacial strength of the epoxy resin and the inorganic filler. For example, epoxysilane, aminosilane, mercaptosilane, alkyl Silane, alkoxysilane, and the like can be used. It may preferably comprise a double aminosilane coupling agent.

상기 화학식 1로 표시되는 나프탈렌계 에폭시수지 및 상기 화학식 2의 변성 트리페놀메탄계 경화제에 아미노실란 커플링제를 적용할 경우, 반응성이 좋아질 뿐만 아니라, 에폭시 수지 조성물의 강도를 향상시킬 수 있고, 유동성 향상 효과를 최대한으로 이끌어 낼 수 있다. 또한 내땜납성을 향상시킬 수 있다.When the aminosilane coupling agent is applied to the naphthalene epoxy resin represented by the formula (1) and the modified triphenol methane-based curing agent of the formula (2), not only the reactivity is improved, but the strength of the epoxy resin composition can be improved, and the fluidity is improved. It can bring out the maximum effect. In addition, the solder resistance can be improved.

상기 아미노실란 커플링제의 예로는 N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-트리에톡시시릴-N-(1,3-디메틸-부틸리덴)프로필아민, N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란 등을 들 수 있으며, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 이들은 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용될 수 있다. 이중 반응성의 균형상 2급 아미노실란인 N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란이 바람직하다.Examples of the aminosilane coupling agent include N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2- (amino Ethyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N- (1,3-dimethyl-butylidene) Propylamine, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, and the like, but are not necessarily limited thereto. These may be used alone or in combination of two or more. Preference is given to N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, which is a secondary reactive silane in balance of double reactivity.

상기 아미노실란 커플링제 이외에 다른 실란 커플링제를 병용할 수도 있다. 이 때, 병용 가능한 실란 커플링제는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시크로헥실) 에틸트리메톡시실란 등의 에폭시실란 커플링제, 3-메르캅토프로필트리메톡시실란, 3-메르캅토프로필메틸디메톡시실란 등의 메르캅토실란커플링제 등을 들 수 있다.Other silane coupling agents may be used in addition to the aminosilane coupling agent. Under the present circumstances, the silane coupling agent which can be used together is not specifically limited. For example, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl And mercaptosilane coupling agents such as epoxy silane coupling agents such as trimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane.

상기 아미노실란 커플링제에 다른 실란 커플링제를 병용할 경우, 상기 아미노실란 커플링제는 실란 커플링제 전체 100 중량%를 기준으로 30~100 중량%로 포함되는 것이 바람직하다. 상기 범위에서 에폭시 수지 조성물의 강도 및 유동성 향상 효과가 보다 우수할 수 있다.When using another silane coupling agent together with the said aminosilane coupling agent, it is preferable that the said aminosilane coupling agent is contained in 30 to 100 weight% based on 100 weight% of total silane coupling agents. In the above range, the effect of improving the strength and fluidity of the epoxy resin composition may be more excellent.

상기 실란 커플링제는 에폭시 수지 조성물 전체 100 중량%를 기준으로 0.05~1 중량부로 포함되는 것이 바람직하다. 상기 범위에서 강도 및 유동성 향상 효과가 있으며, 성형성이 우수할 수 있다.
The silane coupling agent is preferably included in 0.05 to 1 parts by weight based on 100% by weight of the total epoxy resin composition. In the above range, there is an effect of improving strength and fluidity, and may be excellent in moldability.

기타 첨가제Other additives

본 발명에 따른 에폭시 수지 조성물은 필요에 따라 천연왁스, 합성왁스, 고급지방산, 고급지방산 금속염, 및 에스테르계 왁스 등의 이형제; 카본블랙, 유기염료, 및 무기염료 등의 착색제; 실리콘 고무, 실리콘 오일, 및 실리콘 레진 등의 응력 완화제; 포스파젠, 붕산아연, 수산화알루미늄, 및 수산화마그네슘 등의 난연제를 더 포함시켜 사용할 수도 있다.Epoxy resin composition according to the present invention, if necessary, release agents such as natural wax, synthetic wax, higher fatty acid, higher fatty acid metal salt, and ester wax; Coloring agents such as carbon black, organic dyes, and inorganic dyes; Stress relieving agents such as silicone rubber, silicone oil, and silicone resin; Flame retardants, such as phosphazene, zinc borate, aluminum hydroxide, and magnesium hydroxide, can also be used further.

이상에서 설명한 본 발명의 에폭시 수지 조성물을 제조하는 방법은 특별히 한정되지 않으나, 일반적으로 각각의 원료를 헨셀 믹서나 슈퍼 믹서를 이용하여 균일하게 혼합한 후 롤밀이나 니이더로 용융 혼련하고 냉각 및 분쇄 과정을 거쳐 최종 분말 형태로 제조할 수 있다. 이때, 용융 혼련은 70~120℃에서 3~15분간 실시하는 것이 바람직하다. 상기 범위에서 수지 조성물의 유동성과 조성물 내 원료의 분산성이 우수하여 경화 반응이 적절하게 진행되며, 보이드 발생을 방지할 수 있다.
The method for producing the epoxy resin composition of the present invention described above is not particularly limited, but in general, each raw material is uniformly mixed using a Henschel mixer or a super mixer, melt-kneaded with a roll mill or a kneader, and cooled and pulverized. It can be prepared in the form of a final powder. At this time, melt kneading is preferably performed at 70 to 120 ° C. for 3 to 15 minutes. It is excellent in the fluidity | liquidity of the resin composition and the dispersibility of the raw material in a composition in the said range, and hardening reaction advances suitably and can prevent a void generation.

한편, 본 발명은 상기에서 설명한 에폭시 수지 조성물로 밀봉된 반도체 소자 패키지를 제공할 수 있다. 이때, 밀봉되는 반도체 소자 패키지는 단면형(예를 들어, QFN, BGA 등)인 것이 바람직하다. 또한, 반도체 소자를 밀봉하는 방법은 저압 트랜스퍼 성형법이 가장 일반적으로 사용되는 방법이나, 압축(compression) 성형법, 인젝션(injection) 성형법이나 캐스팅(casting) 성형법 등을 사용할 수도 있다.On the other hand, the present invention can provide a semiconductor device package sealed with the epoxy resin composition described above. At this time, the semiconductor device package to be sealed is preferably a cross-sectional type (for example, QFN, BGA, etc.). The method of sealing a semiconductor element is a method in which a low pressure transfer molding method is most commonly used, but a compression molding method, an injection molding method, a casting molding method, or the like may be used.

여기서, 밀봉하는 과정은 특별히 한정되지 않으나 성형기(성형법에 따라 선택)를 이용하여 제조된 에폭시 수지 조성물로 반도체 소자를 밀봉 성형(경화)시키고, 성형이 완료된 반도체 소자 패지키를 후경화시켜 제조할 수 있다. 이때, 밀봉 성형시키는 온도 및 시간은 160~190℃에서 50~120초로, 후경화시키는 온도 및 시간은 160~190℃에서 0~8시간으로 하는 것이 바람직하다.
Here, the sealing process is not particularly limited, but may be manufactured by sealing molding (curing) the semiconductor device with an epoxy resin composition manufactured using a molding machine (selected according to the molding method) and post-curing the semiconductor device package which has been molded. have. At this time, the temperature and time to seal molding are 50-120 second at 160-190 degreeC, and it is preferable to make temperature and time to post-cure be 0 to 8 hours at 160-190 degreeC.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 통해 본 발명의 구성 및 작용을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명의 바람직한 예시로 제시된 것이며 어떠한 의미로도 이에 의해 본 발명이 제한되는 것으로 해석될 수는 없다. Hereinafter, the configuration and operation of the present invention through the preferred embodiment of the present invention will be described in more detail. It is to be understood, however, that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed in a limiting sense.

여기에 기재되지 않은 내용은 이 기술 분야에서 숙련된 자이면 충분히 기술적으로 유추할 수 있는 것이므로 그 설명을 생략하기로 한다.
Details that are not described herein will be omitted since those skilled in the art can sufficiently infer technically.

실시예Example

하기 실시예 및 비교예에서 사용된 각 성분의 사양은 다음과 같다:
The specifications of each component used in the following Examples and Comparative Examples are as follows:

(A) 에폭시수지(A) an epoxy resin

(a1) 나프탈렌계 에폭시수지: HP-4770, DIC (a1) Naphthalene epoxy resin: HP-4770, DIC

(a2) 바이페닐형 에폭시수지: YX-4000H, Japan Epoxy Resin(a2) Biphenyl type epoxy resin: YX-4000H, Japan Epoxy Resin

(a3) 트리페놀메탄형 에폭시수지: EPPN-501H, Nippon kayaku
(a3) Triphenol methane type epoxy resin: EPPN-501H, Nippon kayaku

(B) 경화제(B) Curing agent

(b1) 변성 트리페놀메탄계 경화제: HE-910C-10, Air water
(b1) Modified triphenol methane curing agent: HE-910C-10, Air water

(b2) 자일록형 페놀수지: MEH-7800SS, Meiwa Plastic Industries
(b2) Xylox phenolic resin: MEH-7800SS, Meiwa Plastic Industries

(C) 경화촉진제(C) curing accelerator

(c1) 2-페닐-4-메틸-5-히드록시메틸이미다졸: 2P4MHZ, NIPPON GOHSEI(c1) 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole: 2P4MHZ, NIPPON GOHSEI

(c2) 트리페닐포스핀: TPP, HOKKO CHEMICAL INDUSTRY
(c2) triphenylphosphine: TPP, HOKKO CHEMICAL INDUSTRY

(D) 무기 충전제 : 평균 입경이 7㎛인 실리카를 사용하였다.
(D) Inorganic filler: Silica whose average particle diameter was 7 micrometers was used.

(E) 실란커플링제(E) Silane Coupling Agent

(E1) 아미노실란: KBM-573, Shin-Etsu Chemical(E1) aminosilane: KBM-573, Shin-Etsu Chemical

(E2) 에폭시실란: KBM-403, Shin-Etsu Chemical
(E2) Epoxysilane: KBM-403, Shin-Etsu Chemical

(F) 기타 첨가제(F) Other additives

(f1) 카본블랙: MA600, Mitsubishi Chemical(f1) carbon black: MA600, Mitsubishi Chemical

(f2) 카르나우바왁스: Powderd Carnauba Wax No.1, S.KATO&CO.
(f2) Carnauba wax: Powderd Carnauba Wax No. 1, S.KATO & CO.

상기 각 성분들을 하기 표 1의 조성에 따라 각 성분들을 평량한 후 헨셀 믹서를 이용하여 균일하게 혼합하여 분말 상태의 1차 조성물을 제조하였다. 이후 연속 니이더를 이용하여 100℃에서 7분간 용융 혼련한 뒤 냉각 및 분쇄하여 에폭시 수지 조성물을 제조하였다.
Each of the above components was weighed according to the composition shown in the following Table 1, and then uniformly mixed using a Henschel mixer to prepare a powdery primary composition. After melt kneading at 100 ° C. for 7 minutes using a continuous kneader, the mixture was cooled and ground to prepare an epoxy resin composition.

(단위: 중량%)(Unit: wt%) 실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 비교예 3Comparative Example 3 (A)(A) (a1)(a1) 7.437.43 3.713.71 6.836.83 -- 5.965.96 6.986.98 (a2)(a2) -- 3.713.71 -- -- -- -- (a3)(a3) -- -- -- 6.976.97 -- -- (B)(B) (b1)(b1) 3.643.64 3.753.75 2.132.13 4.104.10 -- 2.172.17 (b2)(b2) -- -- 2.132.13 -- 5.115.11 2.172.17 (C)(C) (c1)(c1) 0.170.17 0.170.17 0.100.10 0.170.17 0.170.17 -- (c2)(c2) -- -- 0.050.05 -- -- 0.120.12 (D)(D) 88.0088.00 88.0088.00 88.0088.00 88.0088.00 88.0088.00 88.0088.00 (E)(E) (e1)(e1) 0.200.20 0.100.10 0.200.20 0.200.20 0.200.20 -- (e2)(e2) 0.100.10 0.100.10 0.100.10 0.100.10 0.100.10 0.100.10 (F)(F) (f1)(f1) 0.260.26 0.260.26 0.260.26 0.260.26 0.260.26 0.260.26 (f2)(f2) 0.200.20 0.200.20 0.200.20 0.200.20 0.200.20 0.200.20 합계Sum 100100 100100 100100 100100 100100 100100

물성평가Property evaluation

상기 실시예 1~3 및 비교예 1~3의 에폭시 수지 조성물에 대하여 하기 방법으로 각종 물성을 평가한 후 그 결과를 표 2에 나타내었다.
The physical properties of the epoxy resin compositions of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3 were evaluated by the following methods, and the results are shown in Table 2 below.

1. 스파이럴 플로우(Spiral Flow, inch): 저압 트랜스퍼 성형기를 사용하여, EMMI-1-66에 준한 스파이럴 플로우 측정용 금형에, 금형온도 175℃, 70kgf/cm2, 주입압력 9 MPa, 경화시간 90초의 조건으로 에폭시 수지 조성물을 주입하고, 유동 길이를 측정하였다. 측정값이 높을수록 유동성이 우수한 것이다.1. Spiral Flow (inch): Using a low pressure transfer molding machine, the mold for spiral flow measurement according to EMMI-1-66, mold temperature 175 ℃, 70kgf / cm 2 , injection pressure 9 MPa, curing time 90 The epoxy resin composition was injected on the conditions of the candle, and the flow length was measured. The higher the measured value, the better the fluidity.

2. 경화도(Hot Hardness): MPS(Multi Plunger System) 성형기를 이용하여 400FBGA를 175℃에서 60초간 성형시킨 후 금형이 열린 10초 후에 컬(Cull) 부분의 경화도를 Shore D 경도계로 측정하였다.2. Hardness (Hot Hardness): After 400FBGA was molded at 175 ° C. for 60 seconds using a MPS (Multi Plunger System) molding machine, the hardness of the curled part was measured with a Shore D hardness tester 10 seconds after the mold was opened.

3. 유리전이온도(Tg, ℃): 표준시편(12.7×10.0×6.4mm)을 만든 후 175℃에서 4시간 동안 후경화시킨 시편으로 TMA(thermomechanical analyzer)를 이용하여 5℃/min 승온 조건 하에서 물성 변곡점을 측정하였다.3. Glass transition temperature (Tg, ℃): After making the standard specimen (12.7 × 10.0 × 6.4mm) and post-cured at 175 ℃ for 4 hours under a temperature of 5 ℃ / min using a thermomechanical analyzer (TMA) Physical property inflection points were measured.

4. 고온굴곡탄성율(kgf/mm2): ASTM D-790에 준하여 표준시편(125×12.6×6.4mm)을 만든 후 175℃에서 4시간 후경화시킨 이후에 UTM(Universal Testing Machine)을 이용하여 260℃에서 3-point bending 방법으로 측정하였다.4. High Temperature Flexural Modulus (kgf / mm 2 ): After making the standard specimen (125 × 12.6 × 6.4mm) according to ASTM D-790 and curing it at 175 ℃ for 4 hours, using UTM (Universal Testing Machine) It was measured by the 3-point bending method at 260 ℃.

5. 휨 특성(㎛): MPS(Multi Plunger System) 성형기를 이용하여 175℃에서 60초간 성형시킨 후, 175℃에서 4시간 동안 후경화시켜, PCB 0.27mm, 패키지 두께 0.6mm 구조의 400FBGA(18×18mm)형 반도체 소자 패키지를 제작하고 비접촉식 레이저 측정기를 사용하여 상면의 대각선 방향의 중심과 모서리 끝의 높이 차를 측정하였다. 높이 차가 작을 수록 휨 특성이 우수한 것이다.5. Bending characteristics (㎛): After molding for 60 seconds at 175 ℃ using a multi-plunger system (MPS) molding machine, after curing for 4 hours at 175 ℃, 400FBGA (18mm PCB 0.27mm, 0.6mm package thickness) The x18mm) type semiconductor device package was fabricated and the height difference between the center of the diagonal direction and the edge end of the upper surface was measured using a non-contact laser measuring instrument. The smaller the height difference, the better the bending characteristics.

6. 흡습률(%): 121℃, 100% 상대 습도의 항온 항습기에서 24시간 흡습시킨 후 상온으로 식을 때까지 기다려 질량을 잰 후 흡습 전후의 무게 변화를 이용하여 흡습률을 계산하였다.6. Moisture absorption rate (%): After the moisture absorption in a constant temperature and humidity chamber of 121 ℃, 100% relative humidity for 24 hours, wait until it cools to room temperature, weighed the mass, and then the moisture absorption rate was calculated using the weight change before and after the moisture absorption.

7. 내땜납성: 상기 휨 특성 평가용 400FBGA 패키지 16개를 125℃에서 24시간 동안 건조시킨 후 5 사이클(1 사이클은 패키지를 -65℃에서 10분, 25℃에서 10분, 150℃에서 10분씩 방치하는 것을 나타냄)의 열충격 시험을 수행하였다. 이후 패키지를 85℃, 60% 상대 습도 조건 하에서 168시간 동안 방치시킨 후 260℃에서 30초 동안 IR 리플로우를 1회 통과시키는 것을 3회 반복하는 프리컨디션 조건 이후에 패키지의 외관 크랙 발생 유무를 광학 현미경으로 관찰하였다. 외관 크랙이 발생한 패키지에 대해서는 이후 평가를 진행하지 않았다. 이후 비파괴 검사인 C-SAM(Scanning Acoustic Microscopy)를 이용하여 에폭시 수지 조성물과 리드프레임 간의 박리 발생 유무를 평가하였다. 프리컨디션 조건 이후와 열 충격 시험 두 단계에서 크랙이 하나라도 발생한 반도체 소자 수 및 열 충격 시험 단계에서 박리가 발생한 반도체 소자 수를 합하여 내땜납성 불량 개수로 표기하였으며 그 결과를 표 2에 나타내었다.
7. Solder resistance: 5 cycles of the 400 FBGA package for evaluation of bending characteristics after drying at 125 ℃ for 24 hours (1 cycle is 10 minutes at -65 ℃, 10 minutes at 25 ℃, 10 at 150 ℃ Thermal shock test). After the package was left at 85 ° C. and 60% relative humidity for 168 hours, the package was subjected to optical cracking after preconditioning, which was repeated three times at 260 ° C. for 30 seconds. It was observed under a microscope. The evaluation of the package in which the appearance crack occurred was not carried out. Then, the presence of peeling between the epoxy resin composition and the lead frame was evaluated by using a non-destructive test C-SAM (Scanning Acoustic Microscopy). After the precondition condition and in the thermal shock test step, the number of semiconductor devices in which at least one crack occurred and the number of semiconductor devices in which the peeling occurred in the thermal shock test step were summed up as the number of solder resistance defects and the results are shown in Table 2.

평가항목Evaluation item 실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 비교예 3Comparative Example 3 스파이럴 플로우(inch)Spiral Flow (inch) 5656 6464 5757 4141 5959 4949 경화도Curing degree 8787 8383 8383 8989 7575 8181 Tg(℃)Tg (占 폚) 178178 167167 165165 188188 142142 149149 고온굴곡탄성율(kgf/㎟ at 260℃)High Temperature Flexural Modulus (kgf / ㎡ at 260 ℃) 105105 9393 9292 144144 7373 8686 휨특성(㎛)Flexural Characteristics (㎛) 1313 2626 2929 66 136136 6666 흡습률(%)Hygroscopicity (%) 0.220.22 0.240.24 0.210.21 0.300.30 0.190.19 0.200.20 내땜납성 불량개수
(16개의 패키지를 기준으로 함)
Number of solder resistance defects
(Based on 16 packages)
00 00 00 1414 00 00

상기 표 2에 나타난 바와 같이, 실시예 1~3은 비교예 1~3에 비하여 휨 특성, 경화도, 및 내땜납성 측면에서 모두 우수한 결과를 나타내었다.
As shown in Table 2, Examples 1 to 3 showed excellent results in terms of warpage characteristics, degree of curing, and solder resistance compared to Comparative Examples 1 to 3.

이상 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments and can be manufactured in various forms, and a person of ordinary skill in the art to which the present invention pertains has the technical spirit of the present invention. However, it will be understood that other specific forms may be practiced without changing the essential features. It is therefore to be understood that the embodiments described above are in all respects illustrative and not restrictive.

Claims (13)

에폭시수지; 경화제; 경화촉진제; 및 무기 충전제를 포함하며,
상기 에폭시수지는 나프탈렌계 에폭시수지를 포함하고,
상기 경화제는 변성 트리페놀메탄계 경화제를 포함하며,
상기 경화촉진제는 이미다졸계 경화촉진제를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.

Epoxy resins; Curing agent; Curing accelerators; And inorganic fillers,
The epoxy resin includes a naphthalene-based epoxy resin,
The curing agent includes a modified triphenol methane-based curing agent,
The curing accelerator is an epoxy resin composition for sealing a semiconductor device, characterized in that it comprises an imidazole-based curing accelerator.

제1항에 있어서, 상기 나프탈렌계 에폭시수지는 하기 화학식 1로 표시되는 나프탈렌계 에폭시수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물:

[화학식 1]
Figure pat00005

(상기 화학식 1에서, R은 탄소수 1~6의 알킬렌이며, n 및 m은 각각 0 또는 1이다).
The epoxy resin composition of claim 1, wherein the naphthalene epoxy resin comprises a naphthalene epoxy resin represented by Formula 1 below:

[Formula 1]
Figure pat00005

(In Formula 1, R is alkylene having 1 to 6 carbon atoms, n and m are each 0 or 1).
제2항에 있어서, 상기 R이 CH2인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.
The epoxy resin composition for sealing a semiconductor device according to claim 2, wherein R is CH 2 .
제1항에 있어서, 상기 변성 트리페놀메탄계 경화제는 하기 화학식 2의 구조를 갖는 변성 트리페놀메탄계 경화제를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물:

[화학식 2]
Figure pat00006

(상기 화학식 2에서, n의 평균값은 0~5이고 m의 평균값은 1~5이며, n+m의 평균값은 1 내지 10 임).
The epoxy resin composition of claim 1, wherein the modified triphenol methane curing agent comprises a modified triphenol methane curing agent having a structure of Formula 2 below:

(2)
Figure pat00006

(In the formula (2), the average value of n is 0 to 5, the average value of m is 1 to 5, and the average value of n + m is 1 to 10).
제4항에 있어서, 상기 화학식 2의 두 반복 단위의 순서는 랜덤하게 배치되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.
The epoxy resin composition for sealing a semiconductor device according to claim 4, wherein the order of the two repeating units of Chemical Formula 2 is randomly arranged.
제1항에 있어서, 상기 에폭시 수지 조성물은 에폭시수지 3~20 중량%, 경화제 2~15 중량%, 경화촉진제 0.02~0.4 중량%, 및 무기 충전제 70~95 중량%를 포함하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.
The epoxy resin sealing epoxy of claim 1, wherein the epoxy resin composition comprises 3 to 20 wt% of an epoxy resin, 2 to 15 wt% of a curing agent, 0.02 to 0.4 wt% of a curing accelerator, and 70 to 95 wt% of an inorganic filler. Resin composition.
제1항에 있어서, 상기 나프탈렌계 에폭시수지는 전체 에폭시수지 중 40~100 중량%로 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.
The epoxy resin composition for sealing a semiconductor device according to claim 1, wherein the naphthalene epoxy resin is contained in an amount of 40 to 100% by weight based on the total epoxy resin.
제1항에 있어서, 상기 변성 트리페놀메탄계 경화제는 전체 경화제 중 40~100 중량%로 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.
The epoxy resin composition for sealing a semiconductor device according to claim 1, wherein the modified triphenol methane-based curing agent is contained in an amount of 40 to 100% by weight in the total curing agent.
제1항에 있어서, 상기 이미다졸계 경화촉진제는 2-페닐-4-메틸-5-히드록시메틸이미다졸을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.
The epoxy resin composition for sealing a semiconductor device according to claim 1, wherein the imidazole series curing accelerator comprises 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole.
제1항에 있어서, 상기 이미다졸계 경화촉진제는 전체 경화촉진제 중 40~100 중량%로 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.
According to claim 1, wherein the imidazole-based curing accelerator is epoxy resin composition for semiconductor element sealing, characterized in that it comprises 40 to 100% by weight of the total curing accelerator.
제1항에 있어서, 상기 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물은 실란 커플링제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.
The epoxy resin composition for semiconductor element sealing according to claim 1, wherein the epoxy resin composition for semiconductor element sealing further comprises a silane coupling agent.
제11항에 있어서, 상기 실란 커플링제는 아미노실란 커플링제를 전체 실란 커플링제 중 30~100 중량%로 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물.
12. The epoxy resin composition for semiconductor element sealing according to claim 11, wherein the silane coupling agent comprises an aminosilane coupling agent in an amount of 30 to 100% by weight in the total silane coupling agents.
제1항 내지 제12항 중 어느 한 항의 에폭시 수지 조성물을 이용하여 반도체 소자를 밀봉 처리한 반도체 장치.




The semiconductor device which sealed the semiconductor element using the epoxy resin composition of any one of Claims 1-12.




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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016145650A1 (en) * 2015-03-19 2016-09-22 Ablestik (Shanghai) Ltd. Epoxy molding compound with high adhesion for nickel surface, method for preparing the same and uses thereof
KR20170068717A (en) * 2015-12-09 2017-06-20 삼성에스디아이 주식회사 Method for producing epoxy resin, epoxy resin, epoxy resin composition for encapsulating semiconductor device comprising the same and moled article using the same

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2954412B2 (en) * 1991-12-20 1999-09-27 住友ベークライト株式会社 Epoxy resin composition
JP4844733B2 (en) * 2005-06-24 2011-12-28 信越化学工業株式会社 Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation and semiconductor device
JP4835851B2 (en) * 2005-11-07 2011-12-14 信越化学工業株式会社 Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation and semiconductor device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016145650A1 (en) * 2015-03-19 2016-09-22 Ablestik (Shanghai) Ltd. Epoxy molding compound with high adhesion for nickel surface, method for preparing the same and uses thereof
KR20170068717A (en) * 2015-12-09 2017-06-20 삼성에스디아이 주식회사 Method for producing epoxy resin, epoxy resin, epoxy resin composition for encapsulating semiconductor device comprising the same and moled article using the same

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