KR20130069622A - 허니컴 구조체 봉구용 마스크 및 이것을 사용한 허니컴 구조체의 봉구 방법 - Google Patents

허니컴 구조체 봉구용 마스크 및 이것을 사용한 허니컴 구조체의 봉구 방법 Download PDF

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고우스케 우오에
데루오 고모리
마사하루 모리
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스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명에 관련된 마스크는, 허니컴 구조체의 셀의 봉구에 사용되는 것이고, 사용시에 있어서 허니컴 구조체의 단면과 맞닿는 영역에, 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 1 관통공을 갖는다. 제 1 관통공은, 개구 면적이 0.03 ㎟ 이상이고 또한 당해 제 1 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 90 % 미만이다.

Description

허니컴 구조체 봉구용 마스크 및 이것을 사용한 허니컴 구조체의 봉구 방법 {MASK FOR SEALING HONEYCOMB STRUCTURE, AND SEALING METHOD FOR HONEYCOMB STRUCTURE USING SAME}
본 발명은, 허니컴 구조체의 봉구 (封口) 에 사용되는 마스크 및 이것을 사용한 허니컴 구조체의 봉구 방법에 관한 것이다.
종래부터 허니컴 필터 구조체가 DPF (Diesel particulate filter) 용 등으로서 널리 알려져 있다. 이 허니컴 필터 구조체는, 다수의 관통공으로 이루어지는 셀 구조의 일부의 셀의 일단측을 봉구재로 봉함과 함께, 나머지의 셀의 타단측을 봉구재로 봉한 구조를 갖는다.
허니컴 구조체의 다수의 셀 중, 소정의 셀을 봉구하는 데에 마스크가 사용된다. 이와 같은 용도의 마스크로서 2 개의 타입이 있다. 하나는 봉구해야 할 셀에 대응하는 지점에 미리 관통공이 형성되어 있는 타입이다. 다른 하나는 관통공이 미리 형성되어 있지 않은 타입으로, 허니컴 구조체의 단면 (端面) 에 첩부한 후에 봉구해야 할 셀에 대응하는 지점에 레이저 등으로 관통공을 형성하는 것이다. 하기 특허문헌 1, 2 에는, 마스크를 사용하여 허니컴 구조체를 봉구하는 방법이 기재되어 있다.
일본 공개특허공보 2004-290766호 일본 공개특허공보 2008-132749호
그런데, 미리 관통공이 형성되어 있는 타입의 마스크는, 허니컴 구조체와의 위치 맞춤이 필요하다. 특히, 허니컴 구조체가 DPF 와 같이, 건조 공정이나 소성 공정을 거쳐 제조되는 소결체 또는 소성 전의 그린 성형체인 경우, 제조 프로세스에 있어서의 허니컴 구조체의 수축이나 변형에 의해, 마스크의 관통공과 봉구해야 할 셀의 위치 맞춤이 보다 더 곤란해진다. DPF 는, 좁은 셀 피치 (예를 들어 1.1∼2.8 ㎜ 정도) 를 갖는 것도 있어, 허니컴 구조체의 단면 일부에 대해서는 마스크의 관통공을 적절히 배치할 수 있어도, 다른 부분에서는 어긋남이 발생하는 경우도 있다.
본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 허니컴 구조체의 단면과의 위치 맞춤을 용이하게 실시할 수 있어, 소정의 셀을 확실하게 봉구하는 데에 유용한 마스크 및 이것을 사용한 봉구 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관련된 마스크는, 허니컴 구조체의 셀의 봉구에 사용되는 것으로, 사용시에 있어서 허니컴 구조체의 단면과 맞닿는 영역에, 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 1 관통공을 갖는다. 제 1 관통공은, 개구 면적이 0.03 ㎟ 이상이고 또한 당해 제 1 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 90 % 미만이다.
상기 마스크에 의하면, 제 1 관통공의 개구 면적을, 봉구해야 할 셀 개구 면적의 90 % 미만으로 함으로써, 제 1 관통공의 위치와 셀의 개구 위치가 다소 어긋나도 제 1 관통공을 통해서 봉구재를 소정의 셀 내에 공급할 수 있다. 또, 제 1 관통공의 개구 면적을 0.03 ㎟ 이상으로 함으로써, 봉구재가 제 1 관통공을 통과하기 쉬워, 소정량의 봉구재를 셀 내에 공급하기 쉽다.
본 발명에 관련된 마스크는, 사용시에 있어서 허니컴 구조체의 단면과 맞닿는 영역 중, 허니컴 구조체의 단면 주연부와 맞닿는 부분에, 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 2 관통공을 추가로 가져도 된다. 이 경우, 제 2 관통공은, 허니컴 구조체의 셀 피치보다 좁은 간격으로 형성되어 있음과 함께, 개구 면적이 0.03 ㎟ 이상이고 또한 제 1 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 60 % 미만인 것이 바람직하다.
허니컴 구조체의 주연부는, 허니컴 구조체의 측면을 이루는 최외층의 존재에 의해, 셀의 형상이 다른 부분과 상이한 경우가 있다. 예를 들어, 최외층의 형상이 원통형이고, 그 내부에 단면 형상이 정방형인 셀이 형성된 허니컴 구조체인 경우, 단면 형상이 정방형인 완전한 셀과 주연부의 불완전한 셀이 존재한다.
상기와 같은 불완전한 셀 및 필요하면 이것에 인접하는 셀을 완전하게 봉구하는 데에 제 2 관통공이 유용하다. 즉, 제 2 관통공의 개구 면적을 제 1 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 (완전한 셀) 개구 면적의 60 % 미만으로 제한하는 한편, 제 2 관통공의 배치를 허니컴 구조체의 셀 피치보다 좁은 간격으로 하여 그 수를 충분히 많게 함으로써, 제 2 관통공을 통해서 봉구재를 봉구해야 할 셀 내에 적절히 공급할 수 있다. 또, 제 2 관통공의 개구 면적을 0.03 ㎟ 이상으로 함으로써, 봉구재가 제 2 관통공을 통과하기 쉬워, 소정량의 봉구재를 셀 내에 공급하기 쉽다.
본 발명은 상기 마스크를 사용하여 허니컴 구조체의 소정의 셀의 개구를 봉하는 방법을 제공한다. 즉, 본 발명은 허니컴 구조체의 셀의 봉구 방법으로서,
(a) 허니컴 구조체의 일방의 단면 상에 마스크를 배치하는 공정과,
(b) 허니컴 구조체의 일방의 단면에 있어서의 봉구해야 할 셀의 개구에 마스크가 갖는 제 1 관통공을 통해서 봉지재를 공급하는 공정,
을 구비하고, 마스크는 허니컴 구조체의 일방의 단면과 맞닿는 영역에, 당해 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 1 관통공을 갖고, 제 1 관통공의 개구 면적은, 0.03 ㎟ 이상이고 또한 당해 제 1 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 90 % 미만인 봉구 방법을 제공한다.
상기 봉구 방법에 의하면, 허니컴 구조체의 단면과의 위치 맞춤을 용이하게 실시할 수 있어, 종래와 비교하여 소정의 셀을 보다 확실하게 봉구할 수 있다.
허니컴 구조체의 주연부에 불완전한 셀이 존재하는 경우, 상기 봉구 방법은, 이하와 같은 구성으로 할 수 있다. 즉, 상기 마스크는 허니컴 구조체의 일방의 단면과 맞닿는 영역 중, 허니컴 구조체의 단면 주연부와 맞닿는 부분에, 당해 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 2 관통공을 추가로 갖고, 제 2 관통공은 허니컴 구조체의 셀 피치보다 좁은 간격으로 형성되어 있음과 함께, 개구 면적이 0.03 ㎟ 이상이고 또한 제 1 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 60 % 미만인 것으로 할 수 있다. 그리고, 상기 (b) 공정에 있어서, 허니컴 구조체의 단면 주연부에 있어서의 봉구해야 할 셀의 개구에 당해 마스크의 제 2 관통공을 통해서 봉지재를 공급한다.
상기 봉구 방법은, 허니컴 구조체의 일방의 단면을 봉구 처리하는 공정 후, 타방의 단면에 대해서도 봉구 처리하는 공정을 추가로 구비해도 된다. 허니컴 구조체의 양방의 단면을 봉구 처리한 후, 필요에 따라 건조나 소성 등의 공정을 거침으로써, 허니컴 필터 구조체를 얻을 수 있다. 즉, 상기 봉구 방법은,
(c) 허니컴 구조체의 타방의 단면 상에 다른 마스크를 배치하는 공정과,
(d) 허니컴 구조체의 타방의 단면에 있어서의 봉구해야 할 셀의 개구에 상기 다른 마스크가 갖는 제 3 관통공을 통해서 봉지재를 공급하는 공정을 추가로 구비해도 된다. 이 경우, 상기 다른 마스크는, 허니컴 구조체의 타방의 단면과 맞닿는 영역에, 당해 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 3 관통공을 갖고, 제 3 관통공의 개구 면적은 0.03 ㎟ 이상이고 또한 당해 제 3 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 90 % 미만인 것이 바람직하다.
허니컴 구조체의 주연부에 불완전한 셀이 존재하고, 타방의 단면에 있어서도 불완전한 셀을 봉구하는 경우, 상기 봉구 방법은, 이하와 같은 구성으로 할 수 있다. 즉, 상기 다른 마스크는, 허니컴 구조체의 타방의 단면과 맞닿는 영역 중, 허니컴 구조체의 단면 주연부와 맞닿는 부분에, 당해 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 4 관통공을 추가로 갖고, 제 4 관통공은 허니컴 구조체의 셀 피치보다 좁은 간격으로 형성되어 있음과 함께, 개구 면적이 0.03 ㎟ 이상이고 또한 제 3 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 60 % 미만이며, 상기 (d) 공정에 있어서, 허니컴 구조체의 단면 주연부에 있어서의 봉구해야 할 셀의 개구에 당해 마스크의 제 4 관통공을 통해서 봉지재를 공급한다.
본 발명에 의하면, 허니컴 구조체의 단면과의 위치 맞춤을 용이하게 실시할 수 있어, 종래와 비교하여 소정의 셀을 보다 확실하게 봉구할 수 있다.
도 1(a) 는, 허니컴 구조체의 일례를 나타내는 사시도, 도 1(b) 는, 도 1(a) 의 부분 확대도이다.
도 2(a) 는, 본 발명에 관련된 마스크의 일 실시형태를 나타내는 사시도, 도 2(b) 는, 도 2(a) 의 부분 확대도이다.
도 3 은, 봉구 장치의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.
도 4 는, 도 3 의 봉구 장치 IV-IV 화살표도이다.
도 5(a) 는, 본 발명에 관련된 마스크의 다른 실시형태를 나타내는 사시도, 도 5(b) 는, 도 5(a) 의 부분 확대도이다.
도 6(a) 는, 도 3 의 봉구 장치의 동작을 설명하는 부분 단면도이고, 도 6(b) 는, 도 6(a) 에 계속되는 부분 단면도이다.
도 7(a) 는, 도 6(b) 에 계속되는 부분 단면도이고, 도 7(b) 는, 도 7(a) 에 계속되는 부분 단면도이다.
도 8(a) 는, 도 7(b) 에 계속되는 부분 단면도이고, 도 8(b) 는, 도 8(a) 에 계속되는 부분 단면도이다.
도 9(a) 는, 도 8(b) 에 계속되는 부분 단면도이고, 도 9(b) 는, 도 9(a) 에 계속되는 부분 단면도이다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 먼저, 본 발명에 관련된 마스크의 설명에 앞서, 허니컴 구조체에 대해 설명한다.
(허니컴 구조체)
도 1(a) 에 나타내는 바와 같이, 허니컴 구조체 (1) 는, 다수의 셀 (1a) 이 거의 평행하게 배치된 원기둥체이다. 셀 (1a) 은 허니컴 구조체 (1) 의 일방의 단면으로부터 타방의 단면에 걸쳐 관통하고 있다. 셀 (1a) 의 단면 형상은, 도 1(b) 에 나타내는 바와 같이 정방형이다. 이들 복수의 셀 (1a) 은, 허니컴 구조체 (1) 에 있어서, 단면에서 보아, 정방형 배치, 즉 셀 (1a) 의 중심축이 정방형의 정점에 각각 위치하도록 배치되어 있다. 셀 (1a) 단면의 정방형의 사이즈는, 예를 들어, 한 변 0.8∼2.5 ㎜ 로 할 수 있고, 그 개구 면적은 0.6∼7.0 ㎟ 정도 (보다 바람직하게는 0.8∼6.0 ㎟ 정도) 로 할 수 있다. 허니컴 구조체 (1) 의 셀 피치는 1.1∼2.8 ㎜ 로 할 수 있다. 또한, 셀 피치란, 인접하는 2 개의 셀 중심 간의 거리를 의미하고, 허니컴 구조체 (1) 에 있어서는 도 1(b) 에 나타내는 길이 (L) 이다.
허니컴 구조체 (1) 는, 측면을 이루는 최외층 (1c) 의 형상이 원통형이고, 상기 서술한 바와 같이, 그 내부에 단면 형상이 정방형인 셀 (1a) (이하, 「완전한 셀 (1a) 」또는 간단히 「셀 (1a) 」이라고 한다) 을 갖는다. 이것에 더하여 허니컴 구조체 (1) 는, 그 주연부에 단면 형상이 정방형이 아닌 셀 (1b) (이하, 「불완전한 셀 (1b) 」또는 간단히 「셀 (1b) 」이라고 한다) 을 갖는다. 도 1(b) 에 나타내는 바와 같이, 불완전한 셀 (1b) 의 형상은 일정하지 않고, 장소에 따라 상이하다.
허니컴 구조체 (1) 의 셀 (1a, 1b) 을 구성하는 관통공이 연장되는 방향의 길이는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 40∼350 ㎜ 로 할 수 있다. 또, 허니컴 구조체 (1) 의 외경도 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 100∼320 ㎜ 로 할 수 있다.
허니컴 구조체 (1) 의 재료는 특별히 한정되지 않지만, 고온 내성의 관점에서, 세라믹스 재료가 바람직하다. 세라믹스 재료로는, 예를 들어, 알루미나, 실리카, 물라이트, 코디어라이트, 유리, 티탄산알루미늄 등의 산화물, 실리콘 카바이드, 질화규소, 금속 등을 들 수 있다. 또한, 티탄산알루미늄은, 추가로 마그네슘 및/또는 규소를 함유할 수 있다. 이와 같은, 허니컴 구조체 (1) 는 통상 다공질이다.
또, 허니컴 구조체 (1) 는, 나중에 소성시킴으로써 상기 서술한 바와 같은 세라믹스 재료가 되는 그린 성형체 (미소성 성형체) 여도 된다. 그린 성형체는, 세라믹스 원료인 무기 화합물원 분말, 및 메틸셀룰로오스 등의 유기 바인더, 및 필요에 따라 첨가되는 첨가제를 함유한다.
예를 들어, 티탄산알루미늄의 그린 성형체인 경우, 무기 화합물원 분말은, α 알루미나 분말 등의 알루미늄원 분말, 및 아나타아제형이나 루틸형의 티타니아 분말 등의 티타늄원 분말을 함유하고, 필요에 따라, 추가로 마그네시아 분말이나 마그네시아 스피넬 분말 등의 마그네슘원 분말 및/또는, 산화규소 분말이나 유리 프릿 등의 규소원 분말을 함유할 수 있다.
유기 바인더로는, 메틸셀룰로오스, 카르복실메틸셀룰로오스, 하이드록시알킬메틸셀룰로오스, 나트륨카르복실메틸셀룰로오스 등의 셀룰로오스류;폴리비닐알코올 등의 알코올류;리그닌술폰산염을 들 수 있다.
첨가물로는, 예를 들어, 조공 (造孔) 제, 윤활제, 가소제, 분산제 및 용매를 들 수 있다.
조공제로는, 그라파이트 등의 탄소재;폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리메타크릴산메틸 등의 수지류;전분, 너트 껍질, 호두 껍질, 콘 등의 식물 재료;얼음;및 드라이아이스 등을 들 수 있다.
윤활제 및 가소제로는, 글리세린 등의 알코올류;카프릴산, 라우르산, 팔미트산, 아라키산, 올레산, 스테아르산 등의 고급 지방산;스테아르산 Al 등의 스테아르산 금속염, 폴리옥시알킬렌알킬에테르 (POAAE) 등을 들 수 있다.
분산제로는, 예를 들어, 질산, 염산, 황산 등의 무기산;옥살산, 시트르산, 아세트산, 말산, 락트산 등의 유기산;메탄올, 에탄올, 프로판올 등의 알코올류;폴리카르복실산암모늄, 폴리옥시알킬렌알킬에테르 등의 계면 활성제 등을 들 수 있다.
용매로는, 예를 들어, 메탄올, 에탄올, 부탄올, 프로판올 등의 알코올류;프로필렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 에틸렌글리콜 등의 글리콜류;및 물 등을 사용할 수 있다.
(허니컴 구조체 봉구용 마스크)
도 2 에 나타내는 마스크 (5) 는, 도 1 에 나타내는 허니컴 구조체 (1) 의 소정의 셀을 봉구하는 데에 사용되는 것이다. 마스크 (5) 는, 원형의 판상 부재이고, 두께 방향으로 관통하는 제 1 관통공 (5a) 및 제 2 관통공 (5b) 을 갖는다. 또한, 마스크 (5) 의 재료는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 금속이나 수지를 들 수 있다. 또, 마스크 (5) 의 관통공 (5a) 의 위치 결정을 용이하게 하기 위해, 마스크 (5) 에는, 오리엔테이션 플랫 (5c) 이 형성되고, 이것에 대응하여 도 3 에 나타내는 봉구 장치 (100) 의 링 부재 (25) 에도 오리엔테이션 플랫 (5c) 에 대응하는 돌기 (25b) 를 형성해도 된다 (도 4 참조). 또, 마스크 (5) 의 외경은, 봉구 장치 (100) 본체부 (10) 의 오목부 (10d) 내경보다 크게 되어 있는 것이 바람직하다.
제 1 관통공 (5a) 은 허니컴 구조체 (1) 의 완전한 셀 (1a) 에 봉지재를 공급하기 위한 것이다. 제 1 관통공 (5a) 은, 마스크 (5) 의 사용시에 있어서 허니컴 구조체 (1) 의 단면의 중앙부 (주연부 이외의 영역) 와 맞닿는 부분에 형성되어 있다.
제 1 관통공 (5a) 의 단면 형상은, 도 2(b) 에 나타내는 바와 같이, 허니컴 구조체 (1) 의 셀 (1a) 에 대응하는 정방형이다. 이들 제 1 관통공 (5a) 은, 지그재그 배치되어 있고, 각 제 1 관통공 (5a) 은, 도 1(b) 의 정방 배치된 복수의 셀 (1a) 중, 서로 상하 좌우에 인접하지 않는 관계에 있는 복수의 셀 (1a) 에만 대향하여 배치된다. 또한, 제 1 관통공 (5a) 의 형상은, 정방형에 한정되는 것은 아니지만, 페이스트상의 봉구재의 충전성의 관점에서, 셀 (1a) 의 개구보다 더욱 작고, 그 형상과 상사형 (相似形) 인 것이 바람직하다.
제 1 관통공 (5a) 은, 개구 면적이 0.03 ㎟ 이상이고 또한 제 1 관통공 (5a) 에 의해 봉구해야 할 셀 (1a) 개구 면적의 90 % 미만이다. 제 1 관통공 (5a) 의 개구 면적이 0.03 ㎟ 미만이면, 봉구재가 제 1 관통공 (5a) 을 통과하기 어려워져, 소정량의 봉구재를 셀 (1a) 내에 공급할 수 없게 된다. 제 1 관통공 (5a) 의 개구 면적은, 0.05 ㎟ 이상인 것이 바람직하고, 0.07 ㎟ 이상인 것이 보다 바람직하며, 0.2 ㎟ 이상이어도 된다.
한편, 제 1 관통공 (5a) 의 개구 면적이 셀 (1a) 개구 면적의 90 % 이상이면, 제 1 관통공 (5a) 의 위치와 셀 (1a) 개구의 위치가 조금 어긋날 뿐으로, 봉구해서는 안 되는 근방의 셀 (1a) 에 봉구재를 공급할 우려가 있다. 제 1 관통공 (5a) 의 개구 면적은, 셀 (1a) 개구 면적의 80 % 미만인 것이 바람직하고, 60 % 미만인 것이 보다 바람직하다.
제 2 관통공 (5b) 은 허니컴 구조체 (1) 의 불완전한 셀 (1b) 에 봉지재를 공급하기 위한 것이다. 제 2 관통공 (5b) 은, 마스크 (5) 의 사용시에 있어서 허니컴 구조체 (1) 의 단면 주연부와 맞닿는 부분에, 허니컴 구조체 (1) 의 셀 피치 (도 1 의 길이 (L)) 보다 좁은 간격으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 제 2 관통공 (5b) 의 간격은, 모든 셀 (1b) 을 확실하게 봉구하는 관점에서, L/10∼3L/4 인 것이 바람직하고, L/5∼L/2 인 것이 보다 바람직하다.
제 2 관통공 (5b) 의 형상은, 불완전한 셀 (1b) 의 형상에 관계없이, 한정된 영역에 다수의 관통공을 형성할 수 있는 형상이면 되고, 제 2 관통공 (5b) 의 형상은 예를 들어 원형 혹은 직사각형이어도 되는데, 바람직하게는 원형이다. 도 2(a) 에 나타내는 바와 같이, 마스크 (5) 에는 다수의 제 2 관통공 (5b) 으로 이루어지는 고리형의 띠가 형성되어 있다.
제 2 관통공 (5b) 은, 개구 면적이 0.03 ㎟ 이상이고 또한 제 1 관통공 (5a) 에 의해 봉구해야 할 셀 (1a) 개구 면적의 60 % 미만이다. 제 2 관통공 (5b) 의 개구 면적이 0.03 ㎟ 미만이면, 봉구재가 제 2 관통공 (5b) 을 통과하기 어려워져, 소정량의 봉구재를 셀 (1b) 내에 공급할 수 없게 된다. 제 2 관통공 (5b) 의 개구 면적은, 0.04 ㎟ 이상인 것이 바람직하고, 0.05 ㎟ 이상인 것이 보다 바람직하며, 0.2 ㎟ 이상이어도 된다.
한편, 제 2 관통공 (5b) 의 개구 면적이 완전한 셀 (1a) 개구 면적의 60 % 이상이면, 마스크 (5) 의 강성이 불충분해지기 쉽고, 또 마스크 (5) 의 약간의 어긋남에 의해 도 1(b) 에 나타내는 최외층 (1c) 의 외측으로 봉구재가 누출되거나, 혹은 봉구해서는 안되는 근방의 셀 (1a) 에 봉구재를 공급할 우려가 있다. 제 2 관통공 (5b) 의 개구 면적은, 완전한 셀 (1a) 개구 면적의 50 % 이하인 것이 바람직하고, 40 % 이하인 것이 보다 바람직하다.
또한, 관통공 (5a, 5b) 의 개구 면적이 마스크 (5) 의 두께 방향의 위치에 따라 변화되는 경우, 여기서 말하는 개구 면적이란 허니컴 구조체 (1) 의 단면과 맞닿게 하는 측의 마스크 (5) 의 표면에 있어서의 관통공 (5a, 5b) 의 개구 면적을 의미한다.
마스크 (5) 에 의하면, 제 1 관통공 (5a) 을 셀 (1a) 의 개구보다 작은 사이즈로 함으로써, 허니컴 구조체 (1) 의 단면과의 위치 맞춤을 용이하게 실시할 수 있어, 종래와 비교하여 소정의 셀 (1a) 을 보다 확실하게 봉구할 수 있다. 또, 마스크 (5) 에 다수의 제 2 관통공 (5b) 을 형성함으로써, 불완전한 셀 (1b) 을 보다 확실하게 봉구할 수 있다.
(봉구 장치)
마스크 (5) 를 이용하여 허니컴 구조체 (1) 의 봉구를 실시하는 데에 바람직한 봉구 장치에 대해 설명한다. 도 3 에 나타내는 봉구 장치 (100) 는, 주로 본체부 (10), 탄성판 (20), 펌프 (50) 및 유지부 (80) 를 구비한다.
본체부 (10) 는, 강성 재료로 형성되어 있다. 강성 재료로는, 스테인리스 등의 금속이나, 섬유 강화 플라스틱 등의 폴리머 재료를 들 수 있다. 본체부 (10) 의 상면 (10a) 에는, 오목부 (10d) 가 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 오목부 (10d) 의 형상은, 도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 원주상으로 되어 있다. 그리고, 본체부 (10) 의 상면 (10a) 에 대해, 오목부 (10d) 의 측면 (10b) 이 수직, 또한 저면 (10c) 이 평행으로 되어 있다. 오목부 (10d) 의 직경은, 예를 들어, 100∼320 ㎜ 로 할 수 있다. 오목부 (10d) 의 깊이는, 예를 들어, 0.2∼20 ㎜ 로 할 수 있다. 또한, 본체부 (10) 에는, 초음파 진동기 등의 가진기 (加振器) (140) 가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
탄성판 (20) 은, 오목부 (10d) 의 개구면을 덮도록, 본체부 (10) 의 상면 (10a) 상에 배치되어 있다. 탄성판 (20) 은, 탄성을 가져 용이하게 변형할 수 있다. 탄성판 (20) 으로는, 고무판이 바람직하다. 고무로는, 천연 고무나, 스티렌부타디엔 고무, 부타디엔 고무, 부틸 고무, 에틸렌프로필렌 고무, 니트릴 고무, 클로로프렌 고무, 불소 고무, 실리콘 고무, 우레탄 고무 등의 합성 고무를 들 수 있다. 탄성판 (20) 의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 0.3∼3.0 ㎜ 로 할 수 있다.
탄성판 (20) 은, 링 부재 (25), 및 볼트 (31) 에 의해 본체부 (10) 에 고정되어 있다. 링 부재 (25) 는, 본체부 (10) 의 오목부 (10d) 에 대응하는 위치에 개구 (25a) 를 갖고, 이로써 고리형 형상을 이루고 있다. 그리고, 링 부재 (25) 는, 탄성판 (20) 에 있어서의 중앙부 (오목부 (10d) 와의 대향부) 가 노출되도록 탄성판 (20) 상에 배치되어 있다. 이로써, 탄성판 (20) 의 주변부가, 본체부 (10) 와 링 부재 (25) 에 의해 끼워져 있다. 링 부재 (25) 및 탄성판 (20) 에는 관통공 (h) 이 각각 형성되고, 본체부 (10) 에는, 이들 관통공 (h) 에 대응하는 나사공 (j) 이 형성되어 있고, 볼트 (31) 가 이들 관통공 (h) 을 관통하여 배치되고, 나사공 (j) 에 비틀어 들어가 고정됨으로써, 본체부 (10) 의 상면 (10a) 에 있어서의 오목부 (10d) 의 둘레 부분에, 탄성판 (20) 의 주변부가 밀착되어 고정되어 있다.
도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 링 부재 (25) 의 개구 (25a) 의 내경은, 본체부 (10) 의 오목부 (10d) 의 내경보다 크게 되어 있는 것이 바람직하다.
본체부 (10) 는, 추가로 오목부 (10d) 의 저면 (10c) 으로 개구되는 연통로 (10e) 를 가지고 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 연통로 (10e) 는 오목부 (10d) 의 저면 (10c) 으로 개구되어 있는데, 오목부 (10d) 의 내면으로 개구되어 있으면 되고, 예를 들어, 오목부 (10d) 의 측면 (10b) 으로 개구되어 있어도 된다. 또, 연통로 (10e) 의 개구 형상이나 수도 특별히 한정되지 않는다.
연통로 (10e) 에는, 접속 파이프 (14) 를 개재하여 펌프 (50) 가 접속되어 있다.
펌프 (50) 는, 실린더 (51), 실린더 (51) 내에 배치된 피스톤 (53), 및 피스톤 (53) 에 접속된 피스톤 로드 (54) 를 구비한다. 피스톤 로드 (54) 에는, 피스톤 로드 (54) 를 축 방향으로 왕복 이동시키는 모터 (55) 가 접속되어 있다. 또한, 피스톤 로드 (54) 를 수동으로 움직여도 된다.
본 실시형태에서는, 탄성판 (20) 과 피스톤 (53) 사이에는, 본체부 (10), 접속 파이프 (14), 및 실린더 (51) 에 의해 형성되는 폐쇄 공간 (V) 이 형성되고, 폐쇄 공간 (V) 내에는, 유체 (FL) 가 충전되어 있다. 유체 (FL) 는 특별히 한정되지 않고, 공기 등의 기체여도 되지만 액체가 바람직하고, 특히 스핀들 오일 등이 바람직하다. 그리고, 피스톤 (53) 을 이동시킴으로써, 본체부 (10) 의 오목부 (10d) 내로부터 유체 (FL) 를 배출할 수 있고, 또, 오목부 (10d) 내에 유체 (FL) 를 공급할 수 있다.
본체부 (10) 상에는, 유지부 (80) 가 형성되어 있다. 유지부 (80) 는, 허니컴 구조체 (1) 를 유지하는 유지구 (81), 및 유지구 (81) 가 접속된 공기압 실린더 (82) 를 갖는다.
유지구 (81) 는, 허니컴 구조체 (1) 를, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 일방의 단면이 탄성판 (20) 및 오목부 (10d) 와 대향하도록 유지한다.
공기압 실린더 (82) 는, 상하 방향으로 연장되는 실린더 (82a) 와, 실린더 (82a) 내에 형성된 피스톤 (82b) 을 갖고, 외부로부터의 공급하는 압력을 조정함으로써 피스톤 (82b) 의 상하 양측에서의 압력을 조절 가능하게 되어 있다. 그리고, 이로써 공기압 실린더 (82) 는, 유지구 (81) 를, 허니컴 구조체 (1) 와 탄성판 (20) 이 가까워지는 방향 및 이들이 서로 멀어지는 방향으로 각각 이동 가능하다. 또, 공기압 실린더 (82) 는, 피스톤 (82b) 전후의 가스의 공급 압력에 따라 유지구 (81) 를 하방으로 소정의 힘으로 가압함으로써, 허니컴 구조체 (1) 를 마스크 (5) 에 대해 밀착시킬 수 있다. 또한 공기압 실린더 (82) 는, 피스톤 전후의 압력을 개방함으로써, 유지구 (81) 가 상하 방향으로 자유롭게 이동하는 것을 허가할 수도 있다. 즉, 유지부 (80) 는, 유지구 (81) 가 유지한 허니컴 구조체 (1) 를 상방향으로 자유롭게 이동 가능하게 하는 상태와, 허니컴 구조체 (1) 를 본체부 (10) 에 대해 고정시키는 상태를 전환할 수 있다.
(허니컴 구조체의 봉구 방법)
본 실시형태에 관련된 봉구 방법은, 마스크 (5) 를 사용하여 허니컴 구조체 (1) 의 소정의 셀의 개구를 봉지하기 위한 것이다. 보다 구체적으로는, 이 봉구 방법은 이하의 공정을 구비한다:
(a) 허니컴 구조체 (1) 의 일방의 단면 상에 마스크 (5) 를 배치하는 공정;및
(b) 허니컴 구조체 (1) 의 일방의 단면에 있어서의 봉구해야 할 셀의 개구에 마스크 (5) 의 제 1 관통공 (5a) 을 통해서 봉지재를 공급하는 공정.
이 봉구 방법에 의하면, 허니컴 구조체 (5) 의 단면과의 위치 맞춤을 용이하게 실시할 수 있어, 종래와 비교하여 소정의 셀을 보다 확실하게 봉구할 수 있다.
허니컴 구조체 (1) 는 주연부에 도 1(b) 에 나타내는 바와 같이 불완전한 셀 (1b) 이 존재한다. 이 때문에, 상기 (b) 공정에 있어서, 불완전한 셀 (1b) 의 개구에 마스크 (5) 의 제 2 관통공 (5b) 을 통해서 봉지재를 공급한다.
허니컴 필터 구조체를 제조하기 위해서는, 허니컴 구조체 (1) 의 일방의 단면에 대해 봉구 처리를 실시한 후, 타방의 단면에 대해서도 동일한 봉구 처리를 실시한다. 즉, 상기 (b) 공정 후,
(c) 허니컴 구조체 (1) 의 타방의 단면 상에 다른 마스크 (5') 를 배치하는 공정;및
(d) 허니컴 구조체 (1) 의 타방의 단면에 있어서의 봉구해야 할 셀의 개구에 마스크 (5') 의 제 3 관통공 (5a') 을 통해서 봉지재를 공급하는 공정;
을 순차 실시한다.
또한, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 마스크 (5') 는, 마스크 (5) 의 제 1 및 제 2 관통공 (5a, 5b) 에 각각 상당하는 제 3 및 제 4 관통공 (5a', 5b') 을 갖는다. 마스크 (5') 는 관통공 (5a') 의 배치가 마스크 (5) 의 관통공 (5a) 의 배치와 정반대인 지그재그 배치인 것 외에는, 마스크 (5) 와 동일한 구성이다. 허니컴 구조체 (1) 의 다른 단면에 있어서의 불완전한 셀 (1b) 을 봉구하기 위해서는, 상기 (d) 공정에 있어서, 불완전한 셀 (1b) 의 개구에 마스크 (5') 의 제 4 관통공 (5b') 을 통해서 봉지재를 공급한다.
이하, 상기 서술한 봉구 장치 (100) 및 마스크 (5) 를 사용하여 허니컴 구조체 (1) 를 봉구하는 방법에 대해 설명한다. 먼저, 도 3 의 상태로부터, 미리 공기압 실린더 (82) 를 구동시켜, 허니컴 구조체 (1) 를 유지하는 유지구 (81) 상방으로 끌어올려 둠과 함께, 마스크 (5) 를 탄성판 (20) 위로부터 분리해 둔다. 다음으로, 펌프 (50) 의 피스톤 (53) 을 하방으로 당김으로써, 본체부 (10) 의 오목부 (10d) 로부터 유체 (FL) 를 하방으로 배출시킨다. 이로써, 도 6(a) 에 나타내는 바와 같이, 탄성판 (20) 이 변형되어 오목부 (10d) 의 측면 (10b) 및 저면 (10c) 에 밀착되고, 이로써, 탄성판 (20) 의 오목부 (20d) 가 형성된다.
계속해서, 도 6(b) 에 나타내는 바와 같이, 탄성판 (20) 의 오목부 (20d) 내에 봉구재 (130) 를 공급한다. 필요에 따라, 가진기 (140) 를 구동시킴으로써, 봉구재 (130) 의 표면의 평탄화, 탈포를 촉진시킨다.
봉구재 (130) 는, 허니컴 구조체 (1) 의 셀 (1a, 1b) 의 단부를 폐쇄할 수 있는 것이면 특별히 한정되지 않지만, 액상인 것이 바람직하다. 예를 들어, 봉구재로서 세라믹스 재료 또는 세라믹스 원료와, 바인더와, 윤활제와, 조공제와, 용매를 함유하는 슬러리를 예시할 수 있다.
세라믹스 재료로는, 상기 서술한 허니컴 구조체의 구성 재료나, 그 원료를 들 수 있다. 세라믹스 재료의 사용량은, 예를 들어, 슬러리 100 중량부에 대해 50∼85 중량부로 할 수 있다.
바인더로는, 메틸셀룰로오스, 카르복실메틸셀룰로오스, 하이드록시알킬메틸셀룰로오스, 나트륨카르복실메틸셀룰로오스 등의 셀룰로오스류;폴리비닐알코올 등의 알코올류;리그닌술폰산염 등의 유기 바인더를 들 수 있다. 바인더의 사용량은, 예를 들어, 슬러리 100 중량부에 대해 0∼30 중량부로 할 수 있다.
윤활제로는, 글리세린 등의 알코올류;카프릴산, 라우르산, 팔미트산, 아라키산, 올레산, 스테아르산 등의 고급 지방산;스테아르산알루미늄 등의 스테아르산 금속염 등을 들 수 있다. 윤활제의 사용량은, 예를 들어, 슬러리 100 중량부에 대해 0.5∼20 중량부로 할 수 있다.
조공제로는, 그라파이트 등의 탄소재;폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리메타크릴산메틸 등의 수지류;전분, 너트 껍질, 호두 껍질, 콘 등의 식물 재료;얼음;및 드라이아이스 등 등을 들 수 있다. 조공제의 사용량은, 예를 들어, 슬러리 100 중량부에 대해 0∼20 중량부로 할 수 있다.
용매로는, 예를 들어, 메탄올, 에탄올, 부탄올, 프로판올 등의 알코올류;프로필렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 에틸렌글리콜 등의 글리콜류;및 물 등을 사용할 수 있다. 그 중에서도, 물이 바람직하고, 불순물이 적은 점에서, 보다 바람직하게는 이온 교환수가 사용된다. 용매의 사용량은, 예를 들어, 슬러리 100 중량부에 대해 10∼40 중량부로 할 수 있다.
허니컴 구조체 (1) 의 일방의 단면의 봉구에 사용하는 봉구재의 양은, 예를 들어, 3∼5000 ㎖ 로 할 수 있다.
계속해서, 도 7(a) 에 나타내는 바와 같이, 본체부 (10) 의 오목부 (10d) 를 덮도록 탄성판 (20) 상에 마스크 (5) 를 세트하고, 이어서, 공기압 실린더 (82) 에 의해 유지구 (81) 를 하방으로 이동시켜 허니컴 구조체 (1) 를 마스크 (5) 에 접촉시킨다. 이로써, 허니컴 구조체 (1) 의 일부의 셀 (1a) 과 마스크 (5) 의 제 1 관통공 (5a) 을 연통시킴과 함께, 허니컴 구조체 (1) 의 모든 불완전한 셀 (1b) 과 마스크 (5) 의 제 2 관통공 (5b) 을 연통시킨다. 또한 공기압 실린더 (82) 에 의해 유지구 (81) 를 하방으로 가압하여, 허니컴 구조체 (1) 를 마스크 (5) 및 본체부 (10) 에 대해 고정시킨다 ((a) 공정). 혹은 봉구재를 도입하고자 하는 셀 (1a) 과 제 1 관통공 (5a) 의 위치가 맞도록 미리 허니컴 구조체 (1) 의 단면에 마스크 (5) 를 배치하고, 이것을 봉구 장치 (100) 에 장착해도 된다.
이어서, 펌프 (50) 의 피스톤을 상방으로 이동시킴으로써, 오목부 (10d) 내에 유체 (FL) 를 공급하고, 이로써, 도 7(b) 에 나타내는 바와 같이, 탄성판 (20) 이 마스크 (5) 를 향해 이동한다. 이 공정은, 도 8(a) 에 나타내는 바와 같이, 탄성판 (20) 이 마스크 (5) 에 접촉하여, 탄성판 (20) 의 변형이 해소될 때까지 실시한다.
이로써, 봉구재 (130) 가 마스크 (5) 의 관통공 (5a, 5b) 을 통하여, 허니컴 구조체 (1) 의 일부의 셀 (1a) 및 모든 셀 (1b) 내에 공급되어, 봉구부 (1p) 가 형성된다 ((b) 공정).
계속해서, 공기압 실린더 (82) 에 의한 허니컴 구조체 (1) 의 하방향에 대한 가압을 정지시켜 허니컴 구조체 (1) 가 상방으로 자유롭게 이동할 수 있도록 한 후, 피스톤 (53) 을 더욱 상승시켜, 탄성판 (20) 과 본체부 (10) 사이에 다시 유체 (FL) 를 공급한다. 이로써, 도 8(b) 에 나타내는 바와 같이, 탄성판 (20) 은, 상방향으로 볼록한 형상으로 변형되고, 마스크 (5) 및 허니컴 구조체 (1) 가 상방으로 이동한다. 이 때, 볼록한 형상으로 변형되는 탄성판 (20) 의 주변부는 마스크 (5) 로부터 멀어지므로, 이로써, 마스크 (5) 및 허니컴 구조체 (1) 를 본체부 (10) 로부터 용이하게 분리할 수 있다.
계속해서, 허니컴 구조체 (1) 를 유지구 (81) 로부터 분리한 후, 위 아래를 뒤집은 후에 다시 허니컴 구조체 (1) 를 유지구 (81) 에 유지한다. 이어서, 마스크 (5) 와 제 1 관통공 (5a) 의 배치가 정반대인 지그재그 배치로 된 마스크 (5') 를 사용하여, 동일한 조작을 실시한다 ((c) 공정 및 (d) 공정). 이로써, 도 9(a) 에 나타내는 바와 같이, 나머지의 셀 (1a) 및 모든 불완전한 셀 (1b) 의 타단측이 봉구재로 봉구되어, 봉구부 (1p) 가 형성된다. 계속해서, 상기 서술한 바와 동일하게 하여 탄성판 (20) 을 위로 볼록한 형상으로 변형시킴으로써, 마스크 (5') 및 허니컴 구조체 (1) 를 용이하게 본체부 (10) 및 탄성판 (20) 으로부터 분리할 수 있다.
그리고 이와 같이 하여, 양 단에 대해 봉구 처리가 실시된 허니컴 구조체 (1) 를 건조, 소성시키거나 함으로써, 허니컴 필터 구조체를 제조할 수 있다.
마스크 (5) 및 마스크 (5') 를 사용한 상기 봉구 방법에 의하면, 다수의 완전한 셀 (1a) 중, 봉구해야 할 셀 (1a) 만을 보다 확실하게 봉구할 수 있음과 함께, 불완전한 셀 (1b) 모두를 보다 확실하게 봉구할 수 있다. 또, 봉구 장치 (100) 에 의하면, 도 8(b) 및 도 9(b) 에 나타내는 바와 같이, 탄성판을 볼록한 형상으로 변형시킬 수 있으므로, 봉구재 (130) 를 공급한 후의 허니컴 구조체 (1) 에 접하고 있는 마스크 (5) 를 본체부 (10) 나 탄성판 (20) 으로부터 용이하게 분리할 수 있다. 따라서, 생산 효율을 높일 수 있어, 봉구된 허니컴 구조체를 저비용화로 제조할 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해 상세하게 설명했는데, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 실시형태에 있어서는, 제 1 관통공 (5a) 및 제 2 관통공 (5b) 을 갖는 마스크 (5) 를 예시했지만, 허니컴 구조체에 불완전한 셀 (1b) 이 없는 경우나 마스크를 사용하여 셀 (1b) 을 봉구할 필요가 없는 경우 등에 있어서는, 제 1 관통공 (5a) 을 갖지만, 제 2 관통공 (5b) 을 갖지 않는 마스크를 사용해도 된다.
허니컴 구조체 (1) 의 형상이나 구조도 상기 서술에 한정되지 않는다. 예를 들어, 허니컴 구조체 (1) 의 외형 형상도 원주가 아니어도 되고, 예를 들어, 사각 기둥 등의 각 기둥이나 타원 기둥이어도 된다. 또, 셀의 개구 면적이 0.6∼7.0 ㎟ 정도 (보다 바람직하게는 0.8∼6.0 ㎟ 정도) 이면, 셀의 단면 형상은 정방형에 한정되지 않고, 예를 들어, 대략 삼각형, 대략 사각형, 대략 육각형, 대략 팔각형, 대략 원형 또는 이들의 조합이어도 된다. 또한, 셀의 배치도 셀 (1a) 정방형 배치가 아니어도 되고, 예를 들어, 삼각 배치, 육각 배치 등이어도 상관없다.
1 : 허니컴 구조체, 1a : 완전한 셀, 1b : 불완전한 셀, 5, 5' : 마스크, 5a : 제 1 관통공, 5b : 제 2 관통공, 5a' : 제 3 관통공, 5b' : 제 4 관통공.

Claims (8)

  1. 허니컴 구조체의 셀의 봉구 (封口) 에 사용되는 마스크로서,
    사용시에 있어서 상기 허니컴 구조체의 단면과 맞닿는 영역에, 당해 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 1 관통공을 갖고,
    상기 제 1 관통공의 개구 면적은, 0.03 ㎟ 이상이고 또한 당해 제 1 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 90 % 미만인 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    사용시에 있어서 상기 허니컴 구조체의 단면과 맞닿는 영역 중, 상기 허니컴 구조체의 단면 주연부와 맞닿는 부분에, 당해 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 2 관통공을 추가로 갖고,
    상기 제 2 관통공은, 상기 허니컴 구조체의 셀 피치보다 좁은 간격으로 형성되어 있음과 함께, 개구 면적이 0.03 ㎟ 이상이고 또한 상기 제 1 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 60 % 미만인 마스크.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 관통공의 개구 면적은 0.2 ㎟ 이상인 마스크.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2 관통공의 개구 면적은 0.2 ㎟ 이상인 마스크.
  5. 허니컴 구조체의 셀의 봉구 방법으로서,
    (a) 상기 허니컴 구조체의 일방의 단면 상에 마스크를 배치하는 공정과,
    (b) 상기 허니컴 구조체의 상기 일방의 단면에 있어서의 봉구해야 할 셀의 개구에 상기 마스크가 갖는 제 1 관통공을 통해서 봉지재를 공급하는 공정을 구비하고,
    상기 마스크는, 상기 허니컴 구조체의 상기 일방의 단면과 맞닿는 영역에, 당해 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 상기 제 1 관통공을 갖고,
    상기 제 1 관통공의 개구 면적은, 0.03 ㎟ 이상이고 또한 당해 제 1 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 90 % 미만인 봉구 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 마스크는, 상기 허니컴 구조체의 상기 일방의 단면과 맞닿는 영역 중, 상기 허니컴 구조체의 단면 주연부와 맞닿는 부분에, 당해 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 2 관통공을 추가로 갖고,
    상기 제 2 관통공은, 상기 허니컴 구조체의 셀 피치보다 좁은 간격으로 형성되어 있음과 함께, 개구 면적이 0.03 ㎟ 이상이고 또한 상기 제 1 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 60 % 미만이며,
    (b) 공정에 있어서, 상기 허니컴 구조체의 단면 주연부에 있어서의 봉구해야 할 셀의 개구에 당해 마스크의 상기 제 2 관통공을 통해서 봉지재를 공급하는 봉구 방법.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    (c) 상기 허니컴 구조체의 타방의 단면 상에 다른 마스크를 배치하는 공정과,
    (d) 상기 허니컴 구조체의 상기 타방의 단면에 있어서의 봉구해야 할 셀의 개구에 상기 다른 마스크가 갖는 제 3 관통공을 통해서 봉지재를 공급하는 공정을 추가로 구비하고,
    상기 다른 마스크는, 상기 허니컴 구조체의 상기 타방의 단면과 맞닿는 영역에, 당해 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 상기 제 3 관통공을 갖고,
    상기 제 3 관통공의 개구 면적은 0.03 ㎟ 이상이고 또한 당해 제 3 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 90 % 미만인 봉구 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 다른 마스크는, 상기 허니컴 구조체의 상기 타방의 단면과 맞닿는 영역 중, 상기 허니컴 구조체의 단면 주연부와 맞닿는 부분에, 당해 마스크의 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 4 관통공을 추가로 갖고,
    상기 제 4 관통공은, 상기 허니컴 구조체의 셀 피치보다 좁은 간격으로 형성되어 있음과 함께, 개구 면적이 0.03 ㎟ 이상이고 또한 상기 제 3 관통공에 의해 봉구해야 할 셀 개구 면적의 60 % 미만이며,
    (d) 공정에 있어서, 상기 허니컴 구조체의 단면 주연부에 있어서의 봉구해야 할 셀의 개구에 당해 마스크의 상기 제 4 관통공을 통해서 봉지재를 공급하는 봉구 방법.
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