KR20130052102A

KR20130052102A - 박막 증착용 증발기

Info

Publication number: KR20130052102A
Application number: KR1020110117340A
Authority: KR
Inventors: 박세훈
Original assignee: (주) 제이더블유테크널러지
Priority date: 2011-11-11
Filing date: 2011-11-11
Publication date: 2013-05-22

Abstract

본 발명은 증발원이 수용되는 서셉터를 공전 방향으로 복수개 배치함과 동시에 각 서셉터에는 증발원이 놓여지는 안착홈을 자전 방향으로 복수개 형성하고, 상기 서셉터를 공전 및 자전시킬 수 있도록 함으로써, 한 번에 많은 수의 증발원을 공정에 투입할 수 있는 박막 증착용 증발기에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 공전과 자전을 동시에 가능하게 하는 기어 구조를 갖추면서도 장치의 크기가 커지는 것을 방지할 수 있는 박막 증착용 증발기에 관한 것이다.

Description

박막 증착용 증발기{Evaporator for thin film deposition}

본 발명은 박막 증착용 증발기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 증발원이 수용되는 서셉터를 공전 방향으로 복수개 배치함과 동시에 각 서셉터에는 증발원이 놓여지는 안착홈을 자전 방향으로 복수개 형성하고, 상기 서셉터를 공전 및 자전시킬 수 있도록 함으로써, 한 번에 많은 수의 증발원을 공정에 투입할 수 있는 박막 증착용 증발기에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 공전과 자전을 동시에 가능하게 하는 기어 구조를 갖추면서도 장치의 크기가 커지는 것을 방지할 수 있는 박막 증착용 증발기에 관한 것이다.

LED(발광 다이오드) 기판을 비롯한 각종 반도체 소자의 증착(deposition) 공정을 실시하거나, 혹은 가공물의 표면에 각종 코팅층을 형성하는 공정시 증발기(evaporator)가 사용되고 있다.

증발기는 증발 재료의 기상 증착을 통해 발광층이나 유기물층과 같은 재료층이나 도금층 등을 형성하는 것으로, 도 1에 도시된 바와 같이 회전 원판(10) 위에 복수개의 서셉터(11)를 형성하고, 상기 서셉터(11)에 증착 재료를 수용하는 증발원(12)을 각각 탑재하였다.

따라서, 전자 총(미도시) 등을 이용하여 증발원(12)에 전자 빔을 쏴서 증발원(12)의 증발 재료가 기화되면, 그 기상의 증발 재료가 목적으로 하는 대상물(target)의 표면에 증착 또는 코팅되도록 하고, 사용중인 증발원(12)이 소진되면 회전 원판을 회전(즉, 공전)시켜서 다른 증발원(12)을 사용할 수 있도록 하였다.

그러나, 이상과 같은 종래의 증발기는 서셉터(11)를 회전 원판 위(10)에 복수개 구비한 상태에서 하나의 증발원(12)이 소모된 경우에는 회전 원판(10) 위에 놓인 서셉터(11)를 공전시켜서 다른 증발원을 공급하는 구조로 되어 있었기 때문에 한 번에 공급할 수 있는 증발원(12)의 개수가 너무 적다는 문제점이 있었다.

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 증발원이 수용되는 서셉터를 공전 방향으로 복수개 배치함과 동시에 각 서셉터에는 증발원이 놓여지는 안착홈을 자전 방향으로 복수개 형성하고, 상기 서셉터를 공전 및 자전시킬 수 있도록 함으로써, 한 번에 많은 수의 증발원을 공정에 투입할 수 있는 박막 증착용 증발기를 제공하고자 한다.

나아가, 본 발명은 공전과 자전을 동시에 가능하게 하는 기어 구조를 갖추면서도 장치의 크기가 커지는 것을 방지할 수 있는 박막 증착용 증발기를 제공하고자 한다.

이를 위해, 본 발명에 따른 박막 증착용 증발기는, 베이스 플레이트 위에 고정되어 있는 지지 블럭과; 측면에 기어 이빨이 형성된 원판 형상으로 이루어지며, 상기 지지 블럭 위에 수평하게 고정되는 고정 기어와; 상기 고정 기어보다 직경이 큰 원판 형상으로 이루어지고, 측면에는 기어 이빨이 형성되어 있고, 테두리에는 원주 방향을 따라서 제1 관통홀이 형성되어 있으며, 상기 고정 기어 위에서 회전하는 공전 기어와; 중심부에 상기 고정 기어가 끼워지도록 상기 고정 기어보다 직경이 큰 원형의 띠(band) 형상으로 이루어지고, 원주 방향을 따라서는 상기 제1 관통홀과 동일한 위치에 제2 관통홀이 형성되어 있으며, 상기 공전 기어의 밑면에 고정되는 스페이서(spacer)와; 상기 공전 기어의 기어 이빨에 맞물리는 구동 기어를 구비하며, 모터로부터 동력을 전달받아 회전하는 상기 구동 기어로 상기 공전 기어를 회전시키는 주동 구동부와; 측면에는 상기 고정 기어에 맞물리는 기어 이빨이 형성된 원판 형상의 자전 기어 및 상기 자전 기어의 상면 중심부에서 상측을 향해 일정 길이 연장된 회전축을 구비하며, 상기 회전축이 상기 제2 관통홀과 제1 관통홀을 관통하도록 설치되는 종동 구동부; 및 상기 공전 기어 위에 놓여지되 상기 제1 관통홀을 따라 복수개 구비되고, 각각 증발원이 놓여지는 안착홈이 복수개 형성되어 있으며, 상기 제2 관통홀 및 제1 관통홀을 통과하여 상측으로 돌출된 회전축과 연결된 서셉터;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이때, 상기 서셉터는, 원통 형상의 몸체와, 상기 몸체의 원주 방향을 따라 형성된 복수개의 안착홈 및 상기 몸체의 중심부에 관통 형성되어 있으며 상기 종동 구동부의 회전축이 끼워져 조립되는 조립공을 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 종동 구동부와 서셉터를 연결하는 연결부를 더 포함하되, 상기 연결부는, 상기 공전 기어의 제1 관통홀과 스페이서의 제2 관통홀에 끼워지는 연결 하우징과, 상기 연결 하우징 내에 삽입되는 복수개의 베어링과, 상기 베어링 사이에 끼워지는 O-링 및 상기 연결 하우징과 베어링 및 O-링을 관통하여 상측으로 돌출된 회전축과 결합되어 종동 구동부를 회전 가능하게 지지하는 마감 캡을 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 공전 기어에 의해 모든 서셉터들이 전자빔을 쏘이는 위치로 순차 이동되는 1 주기 동안 서셉터들은 각각 하나의 증발원이 상기 전자빔을 쏘이고, 상기 주기가 반복될 때마다 상기 자전 기어에 의해 상기 서셉터들은 각각 다른 하나의 증발원이 상기 전자빔을 쏘이는 위치로 이동되도록, 상기 공전 기어와 구동 기어 사이의 비 및 상기 자전 기어와 고정 기어 사이의 비(gear ratio)가 각각 조절되어 있는 것이 바람직하다.

이상과 같은 본 발명에 따른 박막 증착용 증발기에 의하면, 서셉터를 공전 방향으로 복수개 배치함과 동시에 각 서셉터에는 증발원이 놓여지는 안착홈을 자전 방향으로 복수개 형성하고, 상기 서셉터를 공전 및 자전시킬 수 있도록 함으로써, 많은 수의 증발원을 공정에 투입할 수 있게 된다. 따라서, 증발원을 보충하기 위한 공정 중단 횟수를 감소시키고 연속적인 공정을 가능하게 한다. 또한, 기어를 적층 구조로 배치함으로써 공전과 자전을 동시에 가능하게 하면서도 장치의 크기가 커지는 것을 방지할 수 있게 한다.

도 1은 종래 기술에 따른 증발기를 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 박막 증착용 증발기를 나타낸 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 박막 증착용 증발기의 상부를 나타낸 조립 상태도이다.
도 4는 본 발명에 따른 박막 증착용 증발기의 하부를 나타낸 조립 상태도이다.
도 5는 본 발명에 따른 박막 증착용 증발기를 나타낸 정단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 박막 증착용 증발기에 대해 상세히 설명한다.

먼저, 도 2를 통해 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 박막 증착용 증발기(100)는 베이스 플레이트(BP)와, 장치를 지지하는 지지 블럭(110)과, 고정된 상태에서 서셉터(180)가 자전될 수 있도록 보조하는 고정 기어(110)와, 서셉터(180)를 공전시키는 공전 기어(140)와, 상하 이격을 위해 소정 두께를 갖는 스페이서(spacer)(130)와, 상기 공전 기어(140)를 회전시키는 주동 구동부(150)와, 공전 기어(140)에 의해 구동되며 서셉터(180)를 자전시키는 종동 구동부(160) 및 각각 복수개의 증발원(도 1의 12 참조)을 수용하는 복수개의 서셉터(180)를 포함한다.

따라서, 도 3 내지 도 5와 같이 조립되면, 주동 구동부(150)에 의해 공전 기어(140)가 회전하면 서셉터(180)가 공전되고, 공전 기어(140)에 맞물린 종동 구동부(160)가 회전하면 서셉터(180)가 자전되므로, 공전 방향으로 복수개의 서셉터(180)를 배치하고, 각 서셉터(180)에 증발원(source)을 수용하는 안착홈(182)을 복수개 형성하면 서셉터(180)의 개수와 안착홈(182)의 개수를 곱한 만큼의 증발원을 동시에 공급하게 된다.

또한, 구조적인 측면에서도 얇은 원판 형상의 고정 기어(110)와 공전 기어(140)를 적층 배치하고, 종동 구동부(160)의 회전축(162)을 공전 기어(140)의 관통홀(141)을 통해 설치함과 동시에 자전 기어(161)를 고정 기어(110)에 물리게 한 상태에서, 상기 자전 기어(161)와 서셉터(180)를 연결하면 되므로, 장치 전체의 크기(특히, 높이)를 줄인다.

또한, 기어 물림은 오직 고정 기어(110)와 자전 기어(161) 사이 및 공전 기어(140)와 종동 구동부(160)의 구동 기어(152) 2개소에서만 이루어지면 되므로 기어 동작 신뢰성 역시 높일 수 있게 한다.

좀더 구체적으로 설명하면, 상기 지지 블럭(110)은 지지부의 역할을 하는 것으로, 일 예로 도시한 바와 같이 원통 형상의 지지 몸체(111)와, 상기 지지 몸체(111)의 하단에 구비된 플렌지(111a) 및 지지 몸체(111)의 상단면에 형성된 체결공(111b)을 포함한다. 다만, 지지부의 역할을 할 수 있으면 지지 블럭(110)의 형상에 특별한 제한은 없다.

따라서, 플렌지(111a)와 베이스 플레이트(BP)를 볼트 체결하면 지지 블럭(110)이 베이스 플레이트(BP) 위에 고정되고, 지지 블럭(110) 위에 고정 기어(110)를 올려 놓고 체결공(111b)에 볼트를 체결하면 고정 기어(110)가 설치된다.

한편, 지지 블럭(110)의 내부에는 냉각수 저장통(112)이 구비되어 있고, 상기 냉각수 저장통(112)에는 연결구(113)가 구비되어 있어서, 연결구(113)에 냉각 파이프(P)을 연결하여 냉각수를 순환시키면 공전 기어(140) 위에 놓인 서셉터(180)에 전자빔을 쏴서 증발원을 증발시키는 과정에서 발생하는 열을 식힐 수 있게 한다. 이에 대한 설명은 아래에서 좀더 상세히 한다.

고정 기어(110)는 상기 지지 블럭(110) 위에 수평하게 놓여 고정되는 것으로, 측면에 기어 이빨이 형성된 원판 형상으로 이루어져 있어서 종동 구동부(160)의 자전 기어(161)와 맞물린다. 이 고정 기어(110)는 그 자체가 회전하는 것은 아니고, 자전 기어(161)가 고정 기어(110)에 맞물려 있는 상태에서 공전 기어(140)에 의해 공전됨에 따라 자전이 이루어지도록 보조한다.

공전 기어(140)는 상기 고정 기어(110)보다 직경이 큰 원판 형상으로 이루어지고, 측면에는 기어 이빨이 형성되어 있다. 또한, 테두리에는 원주 방향을 따라서 제1 관통홀(141)이 형성되어 있어서 종동 구동부(160)의 회전축(162)이 끼워지고, 그 주변에는 제1 나사공(142)이 형성되어 있어서 볼트 체결을 통해 스페이서(130)가 고정되게 한다.

스페이서(130)(spacer)는 소정의 두께를 가지며, 중심부에 상기 고정 기어(110)가 끼워지도록 고정 기어(110)보다 직경이 큰 원형의 띠(band) 형상으로 이루어진다. 바람직하게, 스페이서(130) 홈이 형성되어 있어서 탄성을 높이기도 한다. 따라서, 자전 기어(161)와 공전 기어(140)를 상하 이격시키고, 회전축(162)의 길이를 충분히 길게 하여 조립 길이를 확보하는 등의 작용을 한다.

또한, 원주 방향에는 공전 기어(140)의 제1 관통홀(141)과 상하 방향 동일한 위치에 제2 관통홀(131)이 형성되어 있어서, 종동 구동부(160)의 회전축(162)이 제2 관통홀(131) 및 제1 관통홀(141)을 통과하여 끼워지게 한다.

또한, 그 주변에는 공전 기어(140)의 제1 나사공(142)과 상하 방향 동일한 위치에 제2 나사공(132)이 형성되어 있어서, 제1 나사공(142)과 제2 나사공(132)에 볼트를 체결하면, 스페이서(130)가 공전 기어(140)의 하면 테두리부에 결합된다.

주동 구동부(150)는 상기 공전 기어(140)를 회전시켜 공전이 이루어지도록 하는 것으로, 공전 기어(140)에 맞물리는 구동 기어(152)와, 상기 구동 기어(152)를 회전시키는 모터(151)와, 상기 모터(151)의 하단부를 지지하는 설치판(153) 및 상기 모터(151)에 전원을 공급하는 전원공급기(154)를 포함한다.

구동 기어(152)의 중심에는 끼움공이 형성되어 있고, 모터(151)의 상단 중심에는 끼움돌기가 형성되어 있어서 결합시 모터(151)로 구동 기어(152)를 회전시킨다.

모터(151)로는 일 예로 DD-모터(Direct Driver motor)가 사용될 수 있으며, 제어부(미도시)에 의해 제어되는 전원공급기(154)로부터 전원을 공급받아 지정된 속도 및 횟수만큼 구동 기어(152)를 회전시킴으로써 증발원이 소모되면 다른 증발원을 공급할 수 있게 한다.

종동 구동부(160)는 측면에는 상기 고정 기어(110)에 맞물리는 기어 이빨이 있는 원판 형상의 자전 기어(161) 및 상기 자전 기어(161)의 상면 중심부에서 상측을 향해 일정 길이 연장된 회전축(162)을 포함한다.

이러한 종동 구동부(160)는 비교적 소형인 자전 기어(161)가 공전 기어(140)에 동일 평면상에서 맞물린 상태에서 그 회전축(162)이 제2 관통홀(131)과 제1 관통홀(141) 모두를 관통하도록 설치된다.

이에, 자전 기어(161)의 직경은 이상과 같이 설치될 수 있도록 미리 설계되며, 설계된 자전 기어(161)의 직경에 따라 제2 관통홀(131)과 제1 관통홀(141)의 위치도 결정된다.

따라서, 주동 구동부(150)에 의해 공전 기어(140)가 공전을 하면, 회전축(162)이 스페이서(130)의 제2 관통홀(131)을 통과하여 공전 기어(140)의 제1 관통홀(141)까지 끼워져 있는 종동 구동부(160)도 공전을 하게 된다.

또한, 종동 구동부(160)의 자전 기어(161)가 회전하지 않는 고정 기어(110)에 맞물려 있는 상태이므로, 이상과 같이 공전 기어(140)에 의해 종동 구동부(160)가 공전하면, 고정 기어(110)를 지지발판 삼아 종동 구동부(160)가 자전하게 된다.

서셉터(180)는 기상 증착되는 증발 재료인 증발원을 수용하는 것으로, 공전 기어(140) 위에 놓여지되 제1 관통홀(141)을 따라 복수개 구비되며, 각 서셉터(180)에는 증발원이 놓여지는 안착홈(182)이 복수개 형성되어 있다. 따라서, 각각 복수개의 증발원이 수용된 서셉터(180)를 원주 방향을 따라 복수개 구비함으로써 종래에 비해 더욱 많은 증발원을 한번에 제공할 수 있게 한다.

이를 위해, 서셉터(180)는, 원통 형상의 몸체(181)와, 상기 몸체(181)의 원주 방향을 따라 형성된 복수개의 안착홈(182) 및 상기 몸체(181)의 중심부에 관통 형성되어 있는 조립공(183)을 포함하며, 조립공(183)에는 제2 관통홀(131) 및 제1 관통홀(141)을 통과하여 상측으로 돌출된 회전축(162)이 끼워진다.

서셉터(180)을 향하는 방향에는 전자 총이 설치되어 있어서, 서셉터(180)에 수용된 증발원에 전자빔을 쏘고, 전자빔을 쏘인 증발원이 증발되어 증발 재료가 기상 증착되는데, 공정 챔버 내에 설치되어 전자 빔을 쏘는 전자총 자체는 도 3 및 도 4와 같은 설치 박스(B) 내에 설치될 수 있으나 그 자체는 이미 공지된 기술이므로 이하 상세한 설명은 생략한다.

이상과 같이 종동 구동부(160)의 회전축(162)이 서셉터(180)에 조립됨에 있어서 안정적이면서도 견고한 결합상태를 유지하기 위해 연결부(170)를 더 포함하는 것이 바람직하다.

연결부(170)는 도시한 바와 같이 하측 돌기는 공전 기어(140)의 제1 관통홀(141)과 스페이서(130)의 제2 관통홀(131)에 끼워지지고 상측 걸림턱은 제1 관통홀(141)의 주변에 형성된 단턱에 걸리는 연결 하우징(171)을 포함한다.

또한, 상기 연결 하우징(171) 내에 삽입되는 복수개의 베어링(172)과, 상기 베어링(172) 사이에 끼워지는 O-링(173) 및 상기 베어링(172)과 O-링(173)을 관통하여 상측으로 돌출된 회전축(162)과 연결된 마감 캡(174)을 포함한다.

따라서, 베어링(172)에 의해 종동 구동부(160)의 회전축(162)이 자전하는 것을 안내하면서, O-링(173)으로는 실링을 하고, 마감 캡(174)으로는 상단을 막으면서 종동 구동부(160)가 하측으로 이탈되지 않도록 잡아준다.

한편, 위에서 이미 설명한 바와 같이, 상기 지지 블럭(110)의 내부에는 냉각수 저장통(112)이 구비되어 있고, 상기 냉각수 저장통(112)에는 연결구(113)가 구비되어 있다. 또한, 공전 기어(140)의 중심부와 고정 기어(110)의 중심부에는 각각 관통공이 형성되어 있다.

따라서, 관통공을 통해 연결구(113)에 냉각 파이프(P)를 연결하고, 냉각 파이프(P)가 공전 기어(140)의 상측을 경유하도록 배치하면, 냉각수가 냉각 파이프(P)를 따라 순환하는 과정에서 서셉터(180)에 전자빔을 쏴서 증발원을 증발시키는 과정에서 발생하는 열을 식힐 수 있게 한다.

이상과 같이, 본 발명은 증발원에 전자 빔을 쏴서 증발이 일어나도록 하고, 증발된 증발 재료가 타겟에 증착(혹은, 도금)되게 하는데, 증발에 의해 증발원이 소모되어 다른 증발원을 공급함에 있어서, 본 발명은 증발원을 수용하고 있는 서셉터(180)를 공전과 자전시키는 방식을 사용한다. 전자 총과 타겟은 일 예로 도 3과 도 4에 도시된 바와 같은 설치 박스(B)에 구비된다.

따라서, 공전 기어(140)에 의해 모든 서셉터(180)들이 전자빔을 쏘이는 위치로 순차 이동되는 1 주기 동안 서셉터(180)들은 각각 하나의 증발원이 전자빔을 쏘이고, 상기 주기가 반복될 때마다 자전 기어(161)에 의해 서셉터(180)들은 각각 다른 하나의 증발원이 전자빔을 쏘이는 위치로 이동되게 제어하여 증발원을 순차 공급한다.

즉, 각각의 서셉터(180)는 일 예로 첫 번째부터 네 번째 증발원이 수용되어 있고, 이러한 서셉터(180)는 원주 방향을 따라 복수개 구비되는데, 이때 첫 번째 서셉터(180)에 올려진 첫 번째 증발원, 두 번째 서셉터(180)에 올려진 첫 번째 증발원, 세 번째 서셉터(180)에 올려진 첫 번째 증발원을 순차 공급하는 방식으로 마지막 서셉터(180)의 첫 번째 증발원까지 공급하여 1 주기를 마친다. 또한, 같은 방식으로 다음의 2 주기에서는 첫 번째 서셉터(180)부터 마지막 서셉터(180)까지 두 번째 증발원을 순차적으로 공급하며, 그 다음 주기도 같은 방식으로 반복되도록 제어한다.

이를 위해, 공전 기어(140)와 구동 기어(152) 사이의 비 및 상기 자전 기어(161)와 고정 기어(110) 사이의 비(gear ratio)가 각각 조절되어 있어야 함은 물론, 제어부에 의해 주동 구동부(150)의 모터(151) 회전수를 제어함으로써 공전 기어(140)의 회전 길이를 적절히 조절되어야 할 것이다.

이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 설명하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.

따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

110: 지지 블럭 120: 고정 기어
130: 스페이서 140: 공전 기어
150: 주동 구동부 160: 종동 구동부
161: 자전 기어 162: 회전축
170: 연결부 180: 서셉터
BP: 베이스 플레이트 P: 냉각용 파이프

Claims

베이스 플레이트(BP) 위에 고정되어 있는 지지 블럭(110)과;
측면에 기어 이빨이 형성된 원판 형상으로 이루어지며, 상기 지지 블럭(110) 위에 수평하게 고정되는 고정 기어(110)와;
상기 고정 기어(110)보다 직경이 큰 원판 형상으로 이루어지고, 측면에는 기어 이빨이 형성되어 있고, 테두리에는 원주 방향을 따라서 제1 관통홀(141)이 형성되어 있으며, 상기 고정 기어(110) 위에서 회전하는 공전 기어(140)와;
중심부에 상기 고정 기어(110)가 끼워지도록 상기 고정 기어(110)보다 직경이 큰 원형의 띠(band) 형상으로 이루어지고, 원주 방향을 따라서는 상기 제1 관통홀(141)과 동일한 위치에 제2 관통홀(131)이 형성되어 있으며, 상기 공전 기어(140)의 밑면에 고정되는 스페이서(130)(spacer)와;
상기 공전 기어(140)의 기어 이빨에 맞물리는 구동 기어(152)를 구비하며, 모터(151)로부터 동력을 전달받아 회전하는 상기 구동 기어(152)로 상기 공전 기어(140)를 회전시키는 주동 구동부(150)와;
측면에는 상기 고정 기어(110)에 맞물리는 기어 이빨이 형성된 원판 형상의 자전 기어(161) 및 상기 자전 기어(161)의 상면 중심부에서 상측을 향해 일정 길이 연장된 회전축(162)을 구비하며, 상기 회전축(162)이 상기 제2 관통홀(131)과 제1 관통홀(141)을 관통하도록 설치되는 종동 구동부(160); 및
상기 공전 기어(140) 위에 놓여지되 상기 제1 관통홀(141)을 따라 복수개 구비되고, 각각 증발원이 놓여지는 안착홈(182)이 복수개 형성되어 있으며, 상기 제2 관통홀(131) 및 제1 관통홀(141)을 통과하여 상측으로 돌출된 회전축(162)과 연결된 서셉터(180);를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 증발기.
제1항에 있어서,
상기 서셉터(180)는,
원통 형상의 몸체(181)와, 상기 몸체(181)의 원주 방향을 따라 형성된 복수개의 안착홈(182) 및 상기 몸체(181)의 중심부에 관통 형성되어 있으며 상기 종동 구동부(160)의 회전축(162)이 끼워져 조립되는 조립공(183)을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 증발기.
제2항에 있어서,
상기 종동 구동부(160)와 서셉터(180)를 연결하는 연결부(170)를 더 포함하되,
상기 연결부(170)는,
상기 공전 기어(140)의 제1 관통홀(141)과 스페이서(130)의 제2 관통홀(131)에 끼워지는 연결 하우징(171)과, 상기 연결 하우징(171) 내에 삽입되는 복수개의 베어링(172)과, 상기 베어링(172) 사이에 끼워지는 O-링(173) 및 상기 연결 하우징(171)과 베어링(172) 및 O-링(173)을 관통하여 상측으로 돌출된 회전축(162)과 결합되어 종동 구동부(160)를 회전 가능하게 지지하는 마감 캡(174)을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 증발기.
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 공전 기어(140)에 의해 모든 서셉터(180)들이 전자빔을 쏘이는 위치로 순차 이동되는 1 주기 동안 서셉터(180)들은 각각 하나의 증발원이 상기 전자빔을 쏘이고,
상기 주기가 반복될 때마다 상기 자전 기어(161)에 의해 상기 서셉터(180)들은 각각 다른 하나의 증발원이 상기 전자빔을 쏘이는 위치로 이동되도록,
상기 공전 기어(140)와 구동 기어(152) 사이의 비 및 상기 자전 기어(161)와 고정 기어(110) 사이의 비(gear ratio)가 각각 조절되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 증발기.