CN207525329U - 环状器件内侧面蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种环状器件内侧面蒸镀装置，包括支撑装置、光罩、旋转机构；蒸镀过程中：环状器件套设在光罩表面、并安装在光罩和支撑装置之间，蒸发源设置于光罩中；旋转机构用于驱动支撑装置于竖直方向绕水平轴转动。通过设置支撑装置支撑环状器件，并将环状器件的轴向支撑于水平方向，将光罩安装在环状器件的内侧，并将蒸发源置于光罩中，而通过旋转机构支撑住支撑装置，同时使旋转机构驱动支撑装置在竖直方向上绕水平轴转动，从而可以使支撑装置支撑的环状器件的内侧面绕水平轴转动，而使环状器件的内侧面各处依次经过蒸发源上方，从而在环状器件的内侧面均匀镀膜，便于控制镀膜的厚度；该装置适用于对环状器件的内侧面进行镀膜。

Description

环状器件内侧面蒸镀装置

技术领域

本实用新型属于蒸镀技术领域，更具体地说，是涉及一种环状器件内侧面蒸镀装置。

背景技术

在真空环境中，将材料加热、蒸发，并镀到基板上的技术称为蒸发镀膜技术(简称蒸镀)。特别是层叠式的电发光器件，如OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)和QLED(Quantum Dot Light Emitting Diodes，量子点发光二极管)，其阴极多采用蒸镀的方法进行制备。当前蒸镀方法，一般是将器件上需要蒸镀的平面水平放置于支撑装置中，并随同支撑装置一起绕竖直轴水平旋转，以便在器件的平面上均匀镀上一层蒸发的材料。然而该方法仅适用于对器件上的平面进行蒸镀，而对一些呈环型的器件的环形内侧面，则无法进行镀膜厚度均匀，即当前的蒸镀设备无法对环状器件内侧面进行蒸镀。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种环状器件内侧面蒸镀装置，以解决现有技术中存在的蒸镀设备无法对环状器件内侧面进行蒸镀的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种环状器件内侧面蒸镀装置，用于对环状器件的内侧面进行蒸镀；所述环状器件内侧面蒸镀装置包括支撑装置、光罩、旋转机构；所述支撑装置用于支撑所述环状器件并使环状器件的轴向处于水平方向，所述支撑装置上设置有用于安装环状器件的固定结构；蒸镀过程中：所述环状器件套设在所述光罩表面、并安装在所述光罩和支撑装置之间，蒸发源设置于所述光罩中；所述旋转机构与所述支撑装置相连，用于驱动所述支撑装置于竖直方向绕水平轴转动。

进一步地，所述光罩呈配合置于所述环状器件内侧的环状，所述光罩的侧面开设有若干供蒸发材料透出的开孔。

进一步地，所述光罩的侧面呈筛子状，若干所述开孔形成所述光罩的筛子状侧面上的供所述蒸发材料通过并蒸镀于所述环状器件内侧面形成像素点的筛孔。

进一步地，所述光罩的外表面上设有若干用于弹性抵持所述环状器件内侧面的顶凸。

进一步地，还包括用于支撑并推进蒸发源置于所述光罩中的推进机构。

进一步地，所述支撑装置呈配合置于所述环状器件的套筒状。

进一步地，所述固定结构包括在支撑装置的侧面开设的使该支撑装置进行弹性变形的缺口。

进一步地，所述固定结构包括设置在所述缺口两侧的卡扣结构。

进一步地，所述固定结构包括开设于所述缺口两侧的两个通孔和与所述通孔对应设置的螺栓，所述螺栓穿过所述通孔。

进一步地，所述蒸镀装置还包括支撑所述光罩的支撑机构，所述支撑机构包括沿所述支撑装置轴向设置的支撑轴和支撑所述支撑装置的支架，所述支架与所述支撑轴相连，所述支撑轴与所述旋转机构相连。

本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型通过设置支撑装置支撑环状器件，并将环状器件的轴向支撑于水平方向，将光罩安装在环状器件中，使环状器件环绕光罩，并将蒸发源置于光罩中，而通过旋转机构支撑住支撑装置，同时使旋转机构驱动支撑装置在竖直方向上绕水平轴转动，从而可以使支撑装置支撑的环状器件的内侧面绕水平轴转动，而使环状器件的内侧面各处依次经过蒸发源上方，从而在环状器件的内侧面均匀镀膜，便于控制镀膜的厚度；该装置适用于对环状器件的内侧面进行镀膜。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的环状器件内侧面蒸镀装置的结构示意图。

其中，图中各附图主要标记：

10-环状器件内侧面蒸镀装置；11-支撑装置；111-缺口；112-通孔；12-支撑机构；121-支撑轴；122-支架；13-旋转机构；14-蒸发源；15-光罩；151-顶凸；16-推进机构；20-环状器件。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请一并参阅图1，现对本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10进行说明。所述环状器件内侧面蒸镀装置10，用于对环状器件20的内侧面进行蒸镀。环状器件20可以呈圆环状、椭圆环状、不规则环状等形状。所述环状器件内侧面蒸镀装置10包括光罩15、支撑装置11和旋转机构13；支撑装置11用于支撑环状器件20，并可以使环状器件20的轴向处于水平方向，所述支撑装置11上设置有用于安装环状器件20的固定结构，则当环状器件20安装在支撑装置11上时，使环状器件20的内侧面的长度方向沿水平方向设置。蒸镀过程中：所述环状器件20套设在所述光罩15表面，位于所述光罩15和支撑装置11之间，蒸发源14设置在光罩15中，用于将需要蒸镀的材料进行加热蒸发，以便将材料蒸镀在环状器件20上。支撑装置11安装在旋转机构13上，通过旋转机构13带动支撑装置11转动，并且支撑装置11的轴线与旋转机构13的旋转中心重合，而旋转机构13的旋转中心处于水平方向，从而可以带动支撑装置11在竖直方向(竖直面)上绕水平轴转动，进而带动环状器件20及光罩15绕水平轴转动，则环状器件20内侧面的各处依次处于蒸发源14上方，而附着蒸发源14蒸发的材料，进而将材料蒸镀在环状器件20内侧面，而通过控制环状器件20内侧面各处处在最上方的时间，而可以控制蒸镀到环状器件20内侧面上镀膜的厚度，实现在环状器件20内侧面均匀镀膜。

即该环状器件内侧面蒸镀装置10包括用于支撑环状器件20并使该环状器件20的轴向处于水平方向的支撑装置11、用于在蒸镀过程中安装于环状器件20中并容置蒸发源的光罩和驱动支撑装置于竖直方向绕水平轴转动的旋转机构；支撑装置安装于旋转机构上，所述支撑装置11上设置有用于安装环状器件20的固定结构。

本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10，与现有技术相比，本实用新型通过设置支撑装置11支撑环状器件20，并将环状器件20的轴向支撑于水平方向，将光罩15安装在环状器件20的内侧，并将蒸发源14置于光罩15中，而通过旋转机构13支撑住支撑装置11，同时使旋转机构13驱动支撑装置11在竖直方向上绕水平轴转动，从而可以使支撑装置11支撑的环状器件20的内侧面绕水平轴转动，而使环状器件20的内侧面各处依次靠近蒸发源14，从而在环状器件20的内侧面均匀镀膜，便于控制镀膜的厚度；该装置适用于对环状器件20的内侧面进行镀膜。

进一步地，请一并参阅图1，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，光罩15呈环状，可以配合置于环状器件20的内侧。光罩15的侧面开设有若干开孔(图未示)，以供蒸发材料透出光罩15，进而附着并镀在环状器件20的内侧面。

进一步地，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，光罩15呈与环状器件20内侧面相匹配的形状。即光罩15的侧面与环状器件20的内侧面形状相匹配，从而可以方便将光罩15安装在环状器件20的内侧。该结构同时可以通过光罩15侧面的开孔来限定在环状器件20内侧面上镀膜的形状。

进一步地，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，光罩15的侧面呈筛子状，若干开孔形成光罩15的筛子状侧面上的筛孔。在光罩15侧面开设开孔，并使光罩15侧面呈筛子状，这样，在蒸镀时，蒸发材料通过这些开孔镀在环状器件20内侧面，可以形成在环状器件20内侧面形成像素点。

进一步地，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，各开孔呈圆形、菱形、正方形或六边形等形状，以便可以根据需要在环状器件20内侧面蒸镀出需要形状的像素点。

进一步地，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，光罩15的外表面上设置若干顶凸151，各顶凸151具有弹性，以便在光罩15在安装环状器件20内侧时，可以使各顶凸151弹性抵持环状器件20内侧面，以将光罩15安装在环状器件20内侧。

进一步地，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，环状器件20的内侧对应于各顶凸151的位置开设有定位槽，以便定位安装光罩15。

进一步地，请一并参阅图1，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，支撑装置11呈套筒状，用于容置环状器件20，具体可以将环状器件20水平置于支撑装置11中，并固定在支撑装置11中。在其它一些实施例中，支撑装置11也可以为支架结构，通过支架结构夹持住环状器件20的外侧，以支撑住环状器件20。在还有一些实施例中，支撑装置11也可以为三爪夹，以夹持住环状器件20。

进一步地，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，当环状器件20小于支撑装置11内径时，可以在支撑装置11上安装支撑机构12，以固定支撑住环状器件20。如可以设置夹持结构或吸附结构，以支撑住环状器件20，而夹持结构或吸附结构可以与支撑装置11固定相连。

进一步地，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，固定结构包括开设于支撑装置11的侧面的缺口111。在支撑装置11的侧面开设缺口111，可以使支撑装置11可以进行适当的弹性变形，而在环状器件20置于支撑装置11中时，可以使支撑装置11更好的夹持住环状器件20。

进一步地，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，固定结构包括分别开设于支撑装置11上于缺口111两侧的通孔112和连接支撑装置11于缺口111两侧对应位置的螺栓，螺栓穿过缺口111两侧的通孔112。将环状器件20置于支撑装置11中时，通过螺栓穿过缺口111两侧的通孔112，再锁紧螺栓，而使支撑装置11夹固住环状器件20。

当然，在其它一些实施例中，固定结构包括分别设置在支撑装置11上于缺口111两侧的卡扣结构，通过卡扣连接，而使支撑装置11夹固住环状器件20。还有一些实施例中，固定结构也可以为其他锁紧结构。还有一些实施例中，固定结构可以安装在支撑装置11端部的吸附结构或夹持结构，以将环状器件20吸附固定或夹持固定在支撑装置11中。

进一步地，请一并参阅图1，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，该环状器件内侧面蒸镀装置10还包括支撑住该支撑装置11的支撑机构12，支撑机构12与旋转机构13相连。设置支撑机构12，以更好的支撑住支撑装置11，同时便于蒸发源14蒸发的材料进入支撑装置11，提高材料的利用率。

进一步地，请一并参阅图1，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，本实施例中，支撑机构12包括沿支撑装置11轴向设置的支撑轴121和支撑住支撑装置11的支架122，支架122与支撑轴121相连，支撑轴121与旋转机构13相连。通过支架122来固定连接支撑装置11，而支撑轴121与支架122相连，以通过支撑轴121来支撑住支撑装置11，而支撑轴121与旋转机构13相连，在旋转机构13带动支撑轴121转动时，带动支撑装置11旋转。该结构可以方便将支撑装置11置于一个密封的空间中，以提高材料的利用率。在其它一些实施例中，支撑装置11设置为筒状，将支撑装置11的一端部的中心直接与支撑轴121相连。还有一些实施例中，可以将支撑装置11直接与旋转机构13相连。

进一步地，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，旋转机构13可以为伺服电机。一些实施例中，旋转机构13还可以包括减速器，以便于精确控制。

进一步地，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，该环状器件内侧面蒸镀装置10还包括用于支撑并推进蒸发源14置于光罩15中的推进机构16。设置推进机构16，可以通过推进机构16来支撑住蒸发源14，同时方便通过推进机构16将蒸发源14水平推入光罩15中，而蒸镀完后，可以方便将蒸发源14从光罩15中带出。使用推进机构16，可以对蒸发源14进行精确定位。进一步地，推进机构16可以使用气缸或直线电机等装置。

进一步地，环状器件20可以为圆环形环状器件20。当然，在其它一些实施例中，环状器件20的截面也可以呈椭圆或多边形或其它一些不规则的形状等。

该环状器件内侧面蒸镀装置10可以对环状器件20的内侧面进行蒸发镀膜，如在加工QLED或OLED环状器件时，对环状器件20进行阴极蒸镀。

具体地，如在加工制作OLED环状器件时，蒸镀材料可以为制作OLED的有机发光层的材料、或制作OLED的电子注入层的材料、或制作OLED的空穴注入层的材料、或制作OLED的传输层的材料、或制作OLED的金属阴极的材料等。

具体地，如在加工制作QLED环状器件时，蒸镀材料可以为制作QLED的金属阴极的材料等。

进一步地，请参阅图1作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀装置10的一种具体实施方式，支撑装置11旋转的速度为30转/分，以方便控制蒸镀速度。当然，在其它一些实施例中，可以根据需要控制支撑装置11的旋转速度。

进一步地，支撑装置11设于真空腔中，以便蒸发材料镀在环状器件20内侧面，防止材料变质，同时便于材料蒸发。

进一步地，优选地，真空腔中的真空度为10^-4Pa。当然，在其它一些实施例中，真空腔中的真空度可以为根据需要设置相应的真空度。

环状器件内侧面蒸镀装置10对环状器件20内侧面进行蒸镀的具体实施如下：

实例一，该环状器件内侧面蒸镀装置10在制作OLED环状器件的电子注入层时，可以使用NaF材料，蒸发速率0.1埃每秒，真空度为10^-4Pa，支撑装置11旋转的速度为30转/分进行蒸镀，镀膜层厚度约1nm。

实例二，该环状器件内侧面蒸镀装置10在制作OLED环状器件的金属阴极时，可以使用Al材料，蒸发速率4埃每秒，真空度为10^-4Pa，支撑装置11旋转的速度为30转/分进行蒸镀，镀膜层厚度约100nm。

由此可知，该环状器件内侧面蒸镀装置10可以精确控制蒸发镀膜的厚度。

请参阅图1，本实用新型实施例还公开了一种环状器件内侧面蒸镀方法，包括如下步骤：

将环状器件20的轴向转至水平方向，并将该环状器件20水平固定在支撑装置11中；

将所述支撑装置11固定于旋转机构13上，所述旋转机构13的旋转中心轴水平设置；

将光罩15安装在环状器件20的内侧；

将蒸发源14置于所述光罩15中；

将待蒸镀的材料置于所述蒸发源14中，并启动所述蒸发源14；

启动所述旋转机构13，使所述旋转机构13驱动所述支撑装置11并带动所述环状器件20于竖直方向绕水平轴转动，以对环状器件20的内侧面进行镀膜。

将环状器件20的轴向置于水平方向，并将环状器件20水平固定在支撑装置11中，从而通过支撑装置1将环状器件20的轴向支撑于水平方向，将光罩15安装在环状器件20的内侧，并将蒸发源14置于所述光罩15中，而通过旋转机构13支撑住支撑装置11，同时使旋转机构13驱动支撑装置11在竖直方向上绕水平轴转动，从而可以使支撑装置11支撑的环状器件20的内侧面绕水平轴转动，而使环状器件20的内侧面各处依次靠近蒸发源14，从而在环状器件20的内侧面均匀镀膜，便于控制镀膜的厚度；该装置适用于对环状器件20的内侧面进行镀膜。本实用新型的环状器件内侧面蒸镀方法，可以对环状器件20的内侧面进行蒸发镀膜，并且可以方便控制镀膜的厚度和保证镀膜均匀。

进一步地，作为本实用新型提供的环状器件内侧面蒸镀方法的一种具体实施方式，在启动所述蒸发源14之前还包括步骤：将所述支撑装置11和所述蒸发源14置于真空腔中，并抽取真空腔中气体。将支撑装置11设于真空腔中，以便蒸发材料镀在环状器件20内侧面，防止材料变质，同时便于材料蒸发。

进一步地，本实用新型的环状器件内侧面蒸镀方法可以使用如上所述的环状器件内侧面蒸镀装置10对环状器件20的内侧面进行蒸镀。因而，上述环状器件内侧面蒸镀装置10中使用的各结构，在本实用新型的环状器件内侧面蒸镀方法中也可以进行使用。具体的结构及使用方法，请参阅对上述环状器件内侧面蒸镀装置10结构的说明，在此不再赘述。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.环状器件内侧面蒸镀装置，用于对环状器件的内侧面进行蒸镀，其特征在于：所述环状器件内侧面蒸镀装置包括支撑装置、光罩、旋转机构；所述支撑装置用于支撑所述环状器件并使环状器件的轴向处于水平方向，所述支撑装置上设置有用于安装环状器件的固定结构；蒸镀过程中：所述环状器件套设在所述光罩表面、并安装在所述光罩和支撑装置之间，蒸发源设置于所述光罩中；所述旋转机构与所述支撑装置相连，用于驱动所述支撑装置于竖直方向绕水平轴转动。

2.如权利要求1所述的环状器件内侧面蒸镀装置，其特征在于：所述光罩呈配合置于所述环状器件内侧的环状，所述光罩的侧面开设有若干供蒸发材料透出的开孔。

3.如权利要求2所述的环状器件内侧面蒸镀装置，其特征在于：所述光罩的侧面呈筛子状，若干所述开孔形成所述光罩的筛子状侧面上的供所述蒸发材料通过并蒸镀于所述环状器件内侧面形成像素点的筛孔。

4.如权利要求2所述的环状器件内侧面蒸镀装置，其特征在于：所述光罩的外表面上设有若干用于弹性抵持所述环状器件内侧面的顶凸。

5.如权利要求1-4任一项所述的环状器件内侧面蒸镀装置，其特征在于：还包括用于支撑并推进蒸发源置于所述光罩中的推进机构。

6.如权利要求1-4任一项所述的环状器件内侧面蒸镀装置，其特征在于：所述支撑装置呈配合置于所述环状器件的套筒状。

7.如权利要求6所述的环状器件内侧面蒸镀装置，其特征在于：所述固定结构包括在支撑装置的侧面开设的使该支撑装置进行弹性变形的缺口。

8.如权利要求7所述的环状器件内侧面蒸镀装置，其特征在于：所述固定结构包括设置在所述缺口两侧的卡扣结构。

9.如权利要求8所述的环状器件内侧面蒸镀装置，其特征在于：所述固定结构包括开设于所述缺口两侧的两个通孔和与所述通孔对应设置的螺栓，所述螺栓穿过所述通孔。

10.如权利要求1-4任一项所述的环状器件内侧面蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置还包括支撑所述光罩的支撑机构，所述支撑机构包括沿所述支撑装置轴向设置的支撑轴和支撑所述支撑装置的支架，所述支架与所述支撑轴相连，所述支撑轴与所述旋转机构相连。