KR20130044466A - Apparatus of transferring substrate - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate transferring device is provided to present a quantified use standard value by detecting the contact of substrates and to guide rollers in advance. CONSTITUTION: A substrate transferring device comprises multiple rotary shafts(120), multiple rotary rollers(130), multiple guide shafts(140), and multiple guide rollers(150). The rotary shafts are installed in a first direction to rotate in the rotation direction of a driving part. The rotary rollers are installed in multiple rotary shafts and rotate to transfer substrates. The guide shafts are installed in a second direction vertical to the rotary shafts. The guide rollers are installed in the guide shafts to rotate in a state of being contacted to the lateral side of the substrates. Second directional grooves are formed on the outer wheels of a predetermined number of the guide rollers.

Description

기판이송장치{Apparatus of Transferring Substrate}Substrate Transfer Equipment {Apparatus of Transferring Substrate}

본 발명의 실시예는 기판이송장치에 관한 것이다.An embodiment of the present invention relates to a substrate transfer apparatus.

정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Display: OLED), 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD) 및 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 표시장치의 사용이 증가하고 있다.As the information technology is developed, the market of display devices, which is a connection medium between users and information, is getting larger. Accordingly, the use of display devices such as organic light emitting display (OLED), liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), and the like is increasing.

앞서 설명한 바와 같은 표시장치는 기판 상에 형성된 다층의 박막 및 배선이 형성된다. 기판 상에 다층의 박막 및 배선을 형성하기 위해서는 증착, 베이킹, 식각, 세정 및 건조 등의 다양한 제조 공정이 요구된다. 각각의 공정은 주로 공정 챔버 내에서 이루어진다. 각 공정 챔버 사이에는 공정이 진행될 기판을 이송하는 기판이송장치가 설치된다.In the display device as described above, multilayer thin films and wirings formed on a substrate are formed. In order to form multilayer thin films and wirings on a substrate, various manufacturing processes such as deposition, baking, etching, cleaning, and drying are required. Each process is mainly carried out in a process chamber. A substrate transfer device for transferring a substrate to be processed is installed between each process chamber.

기판이송장치에는 구동부의 회전 방향에 따라 회전하도록 설치된 다수의 회전축과, 다수의 회전축에 설치되며 기판을 이송하도록 회전하는 다수의 회전롤러와, 다수의 회전축과 수직 하는 방향으로 설치된 다수의 가이드축과, 기판의 측면과 접촉하여 회전하도록 다수의 가이드축에 설치된 다수의 가이드롤러가 포함된다.The substrate transfer apparatus includes a plurality of rotation shafts installed to rotate in accordance with the rotational direction of the driving unit, a plurality of rotation rollers installed on the plurality of rotation shafts and rotating to convey the substrate, a plurality of guide shafts installed in a direction perpendicular to the plurality of rotation shafts, It includes a plurality of guide rollers installed on the plurality of guide shafts to rotate in contact with the side of the substrate.

가이드롤러는 기판의 측면과 접촉하여 회전하며 기판이 특정 방향으로 이탈하는 것을 방지하는 역할을 한다. 가이드롤러는 기판을 이송하는 과정에서 기판의 측면과 끊임없이 접촉하며 회전을 하므로 기판과의 접촉상태 등에 따라 표면 마모가 발생한다.The guide roller rotates in contact with the side surface of the substrate and serves to prevent the substrate from leaving in a specific direction. Since the guide roller rotates while constantly contacting the side of the substrate during the transfer of the substrate, surface wear occurs according to the contact state with the substrate.

그러므로, 기판이송장치를 운용할 때에는 가이드롤러와 기판 간의 접촉상태를 조정해주거나 가이드롤러의 표면 표면 마모도에 따른 교체 등과 같은 관리가 요구되지만 종래에는 정성적인 판단 기준만 있을 뿐 이를 점검할 수 있는 어떠한 장치도 마련되어 있지 않았다. 이 때문에, 종래 기판이송장치는 정확한 관리작업의 시행에 따른 어려움(점검시 시간 로스가 많음)이 있고, 장치 운용시 신뢰성 저하와 더불어 장치의 파손 등이 야기되고 있으므로 이의 개선이 요구된다.Therefore, when operating the substrate transfer device, management such as adjusting the contact state between the guide roller and the substrate or replacing the guide roller according to the surface abrasion degree of the guide roller is required, but there are only qualitative judgment criteria. There was no device. For this reason, the conventional substrate transfer device has a difficulty (a lot of time loss during inspection) due to the execution of the correct management work, and the improvement of the device is required since the reliability of the device and the damage of the device are caused.

상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 실시예는, 기판과 가이드롤러의 접촉 현황에 대해 사전 감지를 하여 정량화된 적정 사용 기준 값의 제시가 가능하고, 실제 양산 설비라인에서 가이드롤러의 마모 정도에 따른 교체시기를 명확하게 제시하며, 가이드롤러의 수명 사전 예측을 통해 생산 가동률과 수율을 향상(기판 파손 저감)시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는 것이다.Embodiment of the present invention for solving the above problems of the background art, it is possible to present the appropriate reference value quantified by pre-sensing the contact state of the substrate and the guide roller, the actual production equipment of the guide roller It clearly shows the replacement time according to the degree of wear, and provides a substrate transfer device that can improve production operation rate and yield (reduce board damage) by predicting the life of guide rollers in advance.

상술한 과제 해결 수단으로 본 발명의 실시예는, 구동부의 회전 방향에 따라 회전하도록 제1방향으로 설치된 다수의 회전축; 다수의 회전축에 설치되며 기판을 이송하도록 회전하는 다수의 회전롤러; 다수의 회전축과 수직 하는 제2방향으로 설치된 다수의 가이드축; 및 기판의 측면과 접촉하여 회전하도록 다수의 가이드축에 설치된 다수의 가이드롤러를 포함하되, 다수의 가이드롤러 중 N개(N은 1 이상 정수)는 외륜에 제2방향으로 형성된 홈을 갖는 기판이송장치를 제공한다.Embodiments of the present invention as a means for solving the above problems, a plurality of rotary shafts installed in the first direction to rotate in accordance with the rotation direction of the drive unit; A plurality of rotating rollers installed on the plurality of rotating shafts and rotating to transport the substrate; A plurality of guide shafts installed in a second direction perpendicular to the plurality of rotation shafts; And a plurality of guide rollers installed on the plurality of guide shafts so as to rotate in contact with the side surface of the substrate, wherein N of the plurality of guide rollers (N is an integer of 1 or more) transfers the substrate having grooves formed in the outer ring in the second direction. Provide the device.

홈은 다수의 가이드롤러와 기판과의 접촉상태, 직진도 및 표면 마모도에 따른 수명 평가 기준으로 사용될 수 있다.The groove may be used as a life evaluation criterion according to the contact state of the plurality of guide rollers and the substrate, straightness and surface wear.

홈은 다수의 가이드롤러의 외륜의 길이에 대응하여 직선으로 컷팅될 수 있다.The groove may be cut in a straight line corresponding to the length of the outer ring of the plurality of guide rollers.

홈의 형상은 다수의 가이드롤러의 외륜의 길이에 대응하여 다수의 가이드롤러의 외륜의 외주면이 제거된 직사각형 모양을 포함할 수 있다.The shape of the groove may include a rectangular shape in which the outer circumferential surface of the outer ring of the plurality of guide rollers is removed corresponding to the length of the outer ring of the plurality of guide rollers.

다수의 가이드롤러의 평면에는 홈의 위치를 사용자에게 안내하는 안내부가 형성될 수 있다.Guides for guiding the position of the groove to the user may be formed in the plane of the plurality of guide rollers.

다수의 회전축은 다수의 가이드축과 인접하는 영역의 높이가 그 반대 영역의 높이보다 상대적으로 낮은 경사를 이루도록 기울기를 갖고 설치될 수 있다.The plurality of rotation shafts may be installed with an inclination such that the height of the region adjacent to the plurality of guide shafts is inclined relatively lower than the height of the opposite region.

홈이 형성된 가이드롤러는 K개(K는 1 이상 정수)의 가이드축마다 설치될 수 있다.The grooved guide roller may be provided for each K guide shaft (K is an integer of 1 or more).

홈의 폭과 깊이는 다수의 가이드롤러를 구성하는 외륜의 둘레와 깊이에 대응하여 가변될 수 있다.The width and depth of the groove may be varied corresponding to the circumference and depth of the outer ring constituting the plurality of guide rollers.

다수의 가이드롤러는 홈의 외측 폭이 내측 폭보다 좁은 삼각형 모양을 가질 수 있다.The plurality of guide rollers may have a triangular shape in which the outer width of the groove is narrower than the inner width.

다수의 가이드롤러는 홈의 외측 폭이 내측 폭보다 넓은 브이(v)형 모양을 가질 수 있다.The plurality of guide rollers may have a v-shaped shape in which the outer width of the groove is wider than the inner width.

본 발명의 실시예는, 기판과 가이드롤러의 접촉 현황에 대해 사전 감지를 하여 정량화된 적정 사용 기준 값의 제시가 가능하고, 실제 양산 설비라인에서 가이드롤러의 마모 정도에 따른 교체시기를 명확하게 제시하며, 가이드롤러의 수명 사전 예측을 통해 생산 가동률과 수율을 향상(기판 파손 저감)시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는 효과가 있다.In the embodiment of the present invention, it is possible to present a quantified proper use reference value by pre-sensing the contact state between the substrate and the guide roller, and clearly indicate the replacement time according to the wear level of the guide roller in the actual production equipment line. In addition, there is an effect of providing a substrate transfer apparatus that can improve the production operation rate and yield (substrate breakage) through the life prediction of the guide roller.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 평면도.
도 2는 도 1에 도시된 기판이송장치의 단면도.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 기판과 가이드롤러를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 가이드롤러를 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 가이드롤러를 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 가이드롤러를 나타낸 도면.
도 7은 본 발명에 따른 가이드롤러의 설치되는 형태를 다양한 방면에서 보여주는 도면.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드롤러가 적용된 하나의 예를 나타낸 도면.
도 9는 비교예 대비 실시예에 따른 가이드롤러의 사용시간 대비 표면 마모도의 인지율을 설명하기 위한 그래프.1 is a plan view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of the substrate transfer device shown in FIG.
3 is a view showing the substrate and the guide roller shown in FIG.
Figure 4 is a view showing a guide roller according to a first embodiment of the present invention.
5 is a view showing a guide roller according to a second embodiment of the present invention.
6 is a view showing a guide roller according to a third embodiment of the present invention.
7 is a view showing the installation form of the guide roller according to the present invention in various aspects.
8 is a view showing an example in which a guide roller is applied according to an embodiment of the present invention.
9 is a graph for explaining the recognition rate of the surface wear versus the use time of the guide roller according to the embodiment compared to the comparative example.

이하, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판이송장치의 단면도이며, 도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 기판과 가이드롤러를 나타낸 도면이다.1 is a plan view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view of the substrate transfer apparatus shown in Figure 1, Figure 3 shows the substrate and the guide roller shown in Figures 1 and 2 Drawing.

실시예의 기판이송장치는 표시장치 제작시 사용되거나 기판을 필요로 하는 반도체나 다양한 장치 제작시 사용될 수 있다. 특히, 실시예의 기판이송장치는 표시장치 제작시 사용될 수 있다.The substrate transfer apparatus of the embodiment may be used when manufacturing a display device or when manufacturing a semiconductor or various devices requiring a substrate. In particular, the substrate transport apparatus of the embodiment can be used when manufacturing the display device.

표시장치의 경우 기판 상에 다층의 박막 및 배선을 형성하기 위해 증착, 베이킹, 식각, 세정 및 건조 등의 다양한 제조 공정이 요구된다. 각각의 공정은 주로 공정 챔버 내에서 이루어진다. 각 공정 챔버 사이에는 공정이 진행될 기판을 이송하기 위한 실시예의 기판이송장치가 설치되는데, 이에 대한 설명은 이하에서 더욱 자세히 다룬다.In the case of a display device, various manufacturing processes such as deposition, baking, etching, cleaning, and drying are required to form a multilayer thin film and wiring on a substrate. Each process is mainly carried out in a process chamber. Between each process chamber is provided with a substrate transfer device of the embodiment for transferring the substrate to be processed, the description thereof will be described in more detail below.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치에는 다수의 회전축(120), 다수의 회전롤러(130), 다수의 가이드축(140) 및 다수의 가이드롤러(150)가 포함된다.As shown in Figures 1 to 3, the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention a plurality of rotating shafts 120, a plurality of rotating rollers 130, a plurality of guide shafts 140 and a plurality of guide rollers 150 is included.

다수의 회전축(120)은 구동부의 회전 방향에 따라 회전하도록 제1방향으로 회전축 지지대(110) 상에 설치된다. 다수의 회전축(120)은 구동부의 회전 방향에 따라 다수의 회전롤러(130)를 회전시켜 로딩된 기판(GLS)을 이송시킨다. 다수의 회전축(120)은 제1방향으로 일정 공간 이격되도록 설치된다.The plurality of rotation shafts 120 are installed on the rotation shaft support 110 in the first direction to rotate in the rotation direction of the driving unit. The plurality of rotating shafts 120 rotates the plurality of rotating rollers 130 according to the rotation direction of the driving unit to transfer the loaded substrate GLS. The plurality of rotation shafts 120 are installed to be spaced apart in a predetermined space in the first direction.

다수의 회전롤러(130)는 다수의 회전축(120)에 설치되며 다수의 회전축(120)의 회전 방향에 따라 로딩된 기판(GLS)을 이송하도록 회전한다. 다수의 회전롤러(130)는 하나의 회전축(120)에 다수 배치되며 이들은 일정 공간 이격되도록 설치된다.The plurality of rotating rollers 130 are installed on the plurality of rotating shafts 120 and rotate to transport the loaded substrate GLS according to the rotation direction of the plurality of rotating shafts 120. A plurality of rotating rollers 130 are disposed on one rotation shaft 120 and they are installed to be spaced apart from a predetermined space.

다수의 가이드축(140)은 다수의 회전축(120)과 수직 하는 제2방향으로 가이드축 지지대(100) 상에 설치된다. 다수의 가이드축(140)은 일정 개수의 회전축(120)을 기준으로 균등하게 설치되거나 회전축(120)마다 설치될 수도 있다. 다수의 가이드축(140)은 다수의 회전축(120)과 달리 회전하지 않고 고정되도록 설치될 수 있다.The plurality of guide shafts 140 are installed on the guide shaft support 100 in a second direction perpendicular to the plurality of rotation shafts 120. The plurality of guide shafts 140 may be installed evenly on the basis of a predetermined number of rotation shafts 120 or may be installed for each rotation shaft 120. Unlike the plurality of rotation shafts 120, the plurality of guide shafts 140 may be installed to be fixed without rotation.

다수의 가이드롤러(150)는 다수의 가이드축(140)에 설치되며 기판(GLS)의 측면과 접촉하여 회전한다. 다수의 가이드롤러(150)는 다수의 가이드축(140)의 회전에 의해 회전하지 않고 기판(GLS)의 이송시 이루어지는 접촉에 의해 회전한다.The plurality of guide rollers 150 are installed on the plurality of guide shafts 140 and rotate in contact with the side surfaces of the substrate GLS. The plurality of guide rollers 150 do not rotate by the rotation of the plurality of guide shafts 140 but rotate by the contact made during the transfer of the substrate GLS.

실시예의 기판이송장치에 포함된 다수의 회전롤러(130)는 도 2와 같이 다수의 회전축(120)에 고정되는 내부롤러부(131)와 내부롤러부(131)에 결합되는 외부롤러부(135)로 구성될 수 있다. 여기서, 외부롤러부(135)는 탄성을 지니며 내마모성이 높고 접지력이 우수한 천연고무나 수지계열의 재료가 이용될 수 있다.The plurality of rotary rollers 130 included in the substrate transfer apparatus of the embodiment have an inner roller part 131 fixed to the plurality of rotating shafts 120 and an outer roller part 135 coupled to the inner roller part 131 as shown in FIG. 2. It can be composed of). Here, the outer roller portion 135 may be a natural rubber or resin-based material having elasticity and high wear resistance and excellent grounding force.

실시예의 기판이송장치에 포함된 다수의 회전롤러(130) 및 다수의 가이드롤러(150) 중 적어도 하나는 베어링이 포함된 것을 이용할 수 있다.At least one of the plurality of rotary rollers 130 and the plurality of guide rollers 150 included in the substrate transfer apparatus of the embodiment may use a bearing.

실시예의 기판이송장치에 포함된 다수의 회전축(120)은 도 2와 같이 다수의 가이드축(140)과 인접하는 영역의 높이가 그 반대 영역의 높이보다 상대적으로 낮은 경사를 이루도록 기울기(r)를 갖고 설치될 수 있다.The plurality of rotation shafts 120 included in the substrate transfer apparatus of the embodiment have an inclination r such that the height of the region adjacent to the plurality of guide shafts 140 is relatively lower than the height of the other region as shown in FIG. 2. Can be installed with.

이 경우, 기판(GLS)은 자동적으로 다수의 회전축(120)의 일측에 형성된 다수의 가이드축(140) 방향으로 기울어 지게 된다. 그리고, 기판(GLS)은 도 3과 같이 다수의 회전롤러(130)의 회전에 의해 자연스럽게 다수의 가이드롤러(150)와 접촉하는 방식으로 하중이 분포되며 이송된다.In this case, the substrate GLS is automatically inclined in the direction of the plurality of guide shafts 140 formed on one side of the plurality of rotation shafts 120. Then, the substrate GLS is distributed in a manner that the load is distributed in a manner that is naturally in contact with the plurality of guide rollers 150 by the rotation of the plurality of rotating rollers 130 as shown in FIG.

한편, 이와 같은 과정에서 다수의 가이드롤러(150)는 기판(GLS)과의 접촉시 형성되는 마찰로 인하여 표면 마모가 이루어진다.On the other hand, in this process, the plurality of guide rollers 150 are subject to surface abrasion due to the friction formed during contact with the substrate GLS.

실시예의 기판이송장치는 기판(GLS)과의 접촉시 마찰로 인하여 다수의 가이드롤러(150)에 형성되는 표면 마모 그리고 기판(GLS)과의 접촉상태 및 기판(GLS)의 직진도 등을 평가할 수 있도록 다수의 가이드롤러(150)에 표식을 형성한다.The substrate transfer apparatus of the embodiment can evaluate the surface wear formed on the plurality of guide rollers 150 due to friction upon contact with the substrate GLS, the contact state with the substrate GLS, the straightness of the substrate GLS, and the like. Marking is formed on the plurality of guide rollers 150 to be.

표식방법은 다수의 가이드롤러(150)의 표면에 특정 폭으로 선을 긋거나 특정 폭으로 홈을 형성하는 방법이 이용될 수 있다. 여기서, 선을 긋는 방법의 경우 가이드롤러(150)와 구분되도록 일정 표면에 색을 흡수시켜 입히는 방법이 이용될 수 있다. 그러나, 이 방법은 종래에 일반적으로 사용되는 가이드롤러에 적용하기 용이하지 않고, 색을 일정한 깊이로 형성하기 위한 공정상의 비용 증가가 있을 수 있다. 반면, 홈을 형성하는 방법의 경우 종래 사용되는 가이드롤러에 적용하기 용이하고, 선을 긋는 방법 대비 공정이 용이하며 비용 증가의 폭이 낮다.The marking method may be a method of drawing a line with a specific width or forming a groove with a specific width on the surface of the plurality of guide rollers 150. Here, in the case of drawing a line, a method of absorbing and coating a color on a predetermined surface may be used so as to be distinguished from the guide roller 150. However, this method is not easy to apply to guide rollers generally used in the past, and there may be an increase in the process cost for forming a color to a constant depth. On the other hand, in the case of forming the groove, it is easy to apply to a guide roller conventionally used, the process is easy compared to the method of drawing a line and the width of the increase in cost is low.

도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 가이드롤러를 나타낸 도면이고, 도 5는 도 본 발명의 제2실시예에 따른 가이드롤러를 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 가이드롤러를 나타낸 도면이다.Figure 4 is a view showing a guide roller according to a first embodiment of the present invention, Figure 5 is a view showing a guide roller according to a second embodiment of the present invention, Figure 6 is a third embodiment of the present invention Figure is a guide roller according to.

도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 가이드롤러(150)는 가이드축이 삽입되는 관통공(151), 관통공(151)을 감싸는 내륜(153) 및 내륜을 감싸는 외륜(155)으로 구성된다.As shown in Figure 1 and 4, the guide roller 150 according to the first embodiment of the present invention is a through hole 151 is inserted into the guide shaft, the inner ring 153 and the inner ring surrounding the through hole 151 Consists of the outer ring 155 surrounding the.

가이드롤러(150)에 형성된 표식은 외륜(155)에 제2방향으로 형성된 홈(H)이다. 홈(H)은 가이드롤러(150)의 외륜(155)의 길이 즉, 가이드축(140)이 삽입되는 방향에 대응하여 직선으로 컷팅된 구조를 갖는다. 이때, 홈(H)의 형상은 가이드롤러(150)의 외륜(155)의 외주면이 제거된 직사각형 모양을 갖는다.The mark formed on the guide roller 150 is a groove H formed in the outer ring 155 in the second direction. The groove H has a structure cut in a straight line corresponding to the length of the outer ring 155 of the guide roller 150, that is, the direction in which the guide shaft 140 is inserted. At this time, the shape of the groove (H) has a rectangular shape in which the outer peripheral surface of the outer ring 155 of the guide roller 150 is removed.

가이드롤러(150)의 외륜(155)에 형성된 홈(H)을 형성하는 방법은 가이드롤러(150)를 구성하는 재료에 따라 달라질 수 있지만, 레이저장비를 이용한 레이저 조사나 커팅장비를 이용한 물리적 커팅 등이 선택될 수 있다.How to form the groove (H) formed in the outer ring 155 of the guide roller 150 may vary depending on the material constituting the guide roller 150, such as laser irradiation using a laser equipment or physical cutting using a cutting equipment Can be selected.

홈(H)이 형성된 가이드롤러(150)는 다수의 가이드롤러(150) 중 N개(N은 1 이상 정수)에 적용된다. 즉, 홈(H)이 형성된 가이드롤러(150)는 K개(K는 1 이상 정수)의 가이드축(140)마다 설치된다. 예컨대, 홈(H)이 형성된 가이드롤러(150)는 모든 가이드롤러(150)에 적용되거나 일부 가이드롤러(150)에 적용될 수 있다.The guide roller 150 in which the groove H is formed is applied to N pieces (N is an integer of 1 or more) of the plurality of guide rollers 150. That is, the guide roller 150 in which the groove | channel H was formed is provided for every K guide shaft 140 (K is an integer of 1 or more). For example, the guide roller 150 in which the grooves H are formed may be applied to all the guide rollers 150 or to some guide rollers 150.

홈(H)의 폭과 깊이는 가이드롤러(150)를 구성하는 외륜(155)의 둘레와 깊이에 대응하여 가변될 수 있다.Width and depth of the groove (H) may be varied corresponding to the circumference and depth of the outer ring 155 constituting the guide roller 150.

앞서 설명한 바와 같은 구조로 가이드롤러(150)에 형성된 홈(H)은 기판(GLS)과의 접촉상태, 직진도 및 표면 마모도에 따른 수명 평가 기준으로 사용된다. 예컨대, 사용전의 가이드롤러(150)의 홈(H)을 기준으로 일정 시간 사용된 가이드롤러(150)의 홈(H)의 깊이나 폭을 측정하면, 기판(GLS)과의 접촉상태 및 직진도 등에 따른 정량적 및 정성적인 데이터를 산출할 수 있고, 이를 이용하여 가이드축(140)의 위치 등을 교정할 수 있게 된다. 또한, 사용전의 가이드롤러(150)의 홈(H)을 기준으로 일정 시간 사용된 가이드롤러(150)의 홈(H)의 깊이나 폭을 측정하면, 가이드롤러(150)에 대한 사용시간 대비 표면 마모도 데이터를 산출할 수 있고, 이를 이용하여 가이드롤러(150)의 수명과 교체시기를 판단할 수 있게 된다.The groove H formed in the guide roller 150 with the structure as described above is used as a life evaluation criterion according to the contact state, straightness and surface wear with the substrate GLS. For example, when measuring the depth or width of the groove (H) of the guide roller 150 used for a predetermined time based on the groove (H) of the guide roller 150 before use, the contact state and straightness with the substrate (GLS) Quantitative and qualitative data can be calculated, and the like can be used to correct the position of the guide shaft 140. In addition, if the depth or width of the groove (H) of the guide roller 150 used for a predetermined time based on the groove (H) of the guide roller 150 before use, the surface compared to the use time for the guide roller 150 Abrasion degree data can be calculated, and using this, it is possible to determine the life and replacement time of the guide roller 150.

한편, 가이드롤러(150)의 평면에는 홈(H)의 위치를 사용자에게 안내하는 안내부(157)가 형성될 수 있다. 가이드롤러(150)의 안내부(157)는 사용자가 홈(H)의 깊이나 폭을 측정할 때, 빠른 위치 찾기를 제공하는 역할을 한다.On the other hand, the guide portion 157 may be formed in the plane of the guide roller 150 to guide the position of the groove (H) to the user. The guide part 157 of the guide roller 150 serves to provide a quick position search when the user measures the depth or width of the groove (H).

도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 가이드롤러(150)는 가이드축이 삽입되는 관통공(151), 관통공(151)을 감싸는 내륜(153) 및 내륜을 감싸는 외륜(155)으로 구성된다.1 and 5, the guide roller 150 according to the second embodiment of the present invention has a through hole 151 into which a guide shaft is inserted, an inner ring 153 and an inner ring surrounding the through hole 151. Consists of the outer ring 155 surrounding the.

가이드롤러(150)에 형성된 표식은 외륜(155)에 제2방향으로 형성된 홈(H)이다. 홈(H)은 가이드롤러(150)의 외륜(155)의 길이 즉, 가이드축(140)이 삽입되는 방향에 대응하여 직선으로 컷팅된 구조를 갖는다. 이때, 홈(H)의 형상은 가이드롤러(150)의 외륜(155)의 외주면이 제거된 삼각형 모양을 갖는다.The mark formed on the guide roller 150 is a groove H formed in the outer ring 155 in the second direction. The groove H has a structure cut in a straight line corresponding to the length of the outer ring 155 of the guide roller 150, that is, the direction in which the guide shaft 140 is inserted. At this time, the shape of the groove (H) has a triangular shape from which the outer peripheral surface of the outer ring 155 of the guide roller 150 is removed.

도 4에 도시된 제1실시예에 따른 가이드롤러(150)의 경우 홈(H)의 외측과 내측 폭(w)이 동일하다. 하지만, 도 5에 도시된 제2실시예에 따른 가이드롤러(150)의 경우 홈(H)의 외측 폭(w1)이 내측 폭(w2)보다 좁은 형상을 갖는다.In the case of the guide roller 150 according to the first embodiment shown in Figure 4 the outer and inner width (w) of the groove (H) is the same. However, in the case of the guide roller 150 according to the second embodiment shown in FIG. 5, the outer width w1 of the groove H has a narrower shape than the inner width w2.

제1실시예의 구조는 홈(H)의 깊이를 측정하는 방식으로 마모도 등의 판단 기준을 마련할 수 있는 반면, 제2실시예의 구조는 홈(H)의 폭을 측정하는 방식을 더하여 표면 마모도 등의 판단 기준을 마련할 수 있게 된다. 또한, 제2실시예의 구조는 사용시간이 증가할수록 홈(H)의 폭이 넓어지므로 표면 마모도가 어느 정도 진행이 되었는지를 육안으로도 확인할 수 있게 된다.While the structure of the first embodiment can provide a criterion of wear and the like by measuring the depth of the groove (H), the structure of the second embodiment adds a method of measuring the width of the groove (H) to add surface wear and the like. It will be possible to establish the criteria for judging. In addition, in the structure of the second embodiment, the width of the grooves H becomes wider as the use time increases, so that it is possible to visually check how much the surface wear has progressed.

도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 가이드롤러(150)는 가이드축이 삽입되는 관통공(151), 관통공(151)을 감싸는 내륜(153) 및 내륜을 감싸는 외륜(155)으로 구성된다.As shown in Figure 1 and 6, the guide roller 150 according to the third embodiment of the present invention is a through hole 151, the inner ring 153 and the inner ring surrounding the through hole 151, the guide shaft is inserted Consists of the outer ring 155 surrounding the.

가이드롤러(150)에 형성된 표식은 외륜(155)에 제2방향으로 형성된 홈(H)이다. 홈(H)은 가이드롤러(150)의 외륜(155)의 길이 즉, 가이드축(140)이 삽입되는 방향에 대응하여 직선으로 컷팅된 구조를 갖는다. 이때, 홈(H)의 형상은 가이드롤러(150)의 외륜(155)의 외주면이 제거된 브이(V)형 모양을 갖는다.The mark formed on the guide roller 150 is a groove H formed in the outer ring 155 in the second direction. The groove H has a structure cut in a straight line corresponding to the length of the outer ring 155 of the guide roller 150, that is, the direction in which the guide shaft 140 is inserted. At this time, the shape of the groove (H) has a V-shaped shape in which the outer peripheral surface of the outer ring 155 of the guide roller 150 is removed.

도 4에 도시된 제1실시예에 따른 가이드롤러(150)의 경우 홈(H)의 외측과 내측 폭(w)이 동일하다. 하지만, 도 6에 도시된 제3실시예에 따른 가이드롤러(150)의 경우 홈(H)의 외측 폭(w1)이 내측 폭(w2)보다 넓은 형상을 갖는다.In the case of the guide roller 150 according to the first embodiment shown in Figure 4 the outer and inner width (w) of the groove (H) is the same. However, in the case of the guide roller 150 according to the third embodiment shown in FIG. 6, the outer width w1 of the groove H has a shape wider than the inner width w2.

제1실시예의 구조는 홈(H)의 깊이를 측정하는 방식으로 마모도 등의 판단 기준을 마련할 수 있는 반면, 제3실시예의 구조는 홈(H)의 폭을 측정하는 방식을 더하여 표면 마모도 등의 판단 기준을 마련할 수 있게 된다. 또한, 제3실시예의 구조는 사용시간이 증가할수록 홈(H)의 폭이 좁아지므로 표면 마모도가 어느 정도 진행이 되었는지를 육안으로도 확인할 수 있게 된다.The structure of the first embodiment can provide a criterion of wear, etc. by measuring the depth of the groove (H), while the structure of the third embodiment adds a method of measuring the width of the groove (H) to the surface wear degree, etc. It will be possible to establish the criteria for judging. In addition, in the structure of the third embodiment, the width of the grooves H becomes narrower as the use time increases, so that it is possible to visually check how much the surface wear has progressed.

도 7은 본 발명에 따른 가이드롤러의 설치되는 형태를 다양한 방면에서 보여주는 도면이다.7 is a view showing the installation form of the guide roller according to the present invention in various aspects.

도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 가이드롤러(150)는 축(141), 축 지지바(142), 고정핀(143) 및 고정바(144)를 포함하는 가이드축(140)에 의해 고정되는 구조를 가질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.As shown in FIG. 7, the guide roller 150 according to the present invention has a guide shaft 140 including a shaft 141, a shaft support bar 142, a fixing pin 143, and a fixing bar 144. It may have a structure fixed by, but is not limited thereto.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드롤러가 적용된 하나의 예를 나타낸 도면이다.8 is a view showing an example applied to the guide roller according to an embodiment of the present invention.

도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드롤러는 기판(GLS)을 이송하는 기판이송장치(120, 130, 140, 150)에 포함된 가이드롤러(150)는 물론 기판(GLS)을 얼라인하는 기판얼라인장치(160, 170, 180)에 포함된 가이드롤러(160)에도 적용될 수 있다. 기판얼라인장치(160, 170, 180)는 로딩된 기판(GLS)을 얼라인하고 기판(GLS)을 기판이송장치(120, 130, 140, 150) 방향으로 다운시킨 후, 회전롤러(130) 상에 안착시키는 역할을 한다.As shown in Figure 8, the guide roller according to an embodiment of the present invention is a guide roller 150 included in the substrate transfer device (120, 130, 140, 150) for transferring the substrate (GLS) as well as the substrate ( It can also be applied to the guide roller 160 included in the substrate alignment apparatus (160, 170, 180) to align the GLS. The substrate aligning apparatus 160, 170, 180 aligns the loaded substrate GLS and lowers the substrate GLS in the direction of the substrate transfer apparatus 120, 130, 140, 150, and then rotates the rotating roller 130. It serves to settle on the statue.

앞서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드롤러는 기판이송장치뿐만 아니라 다양한 분야에서 사용될 수 있다.As described above, the guide roller according to an embodiment of the present invention can be used in various fields as well as the substrate transfer device.

도 9는 비교예 대비 실시예에 따른 가이드롤러의 사용시간 대비 표면 마모도의 인지율을 설명하기 위한 그래프이다.9 is a graph illustrating the recognition rate of the surface wear degree compared to the use time of the guide roller according to the embodiment compared to the comparative example.

도 9의 비교예는 아무런 표식이 없는 가이드롤러를 이용한 기판이송장치에 대한 사용시간 대비 표면 마모도를 나타낸다. 도 9의 그래프를 통해 알 수 있듯이, 아무런 표식이 없는 가이드롤러를 사용하면 마모시작구간부터 수명도달 및 파손까지 가이드롤러의 표면에 마모가 어느 정도로 일어나는지 사용자가 알 수 없는 미인지 구간이 된다.The comparative example of Figure 9 shows the surface wear versus use time for the substrate transfer device using a guide roller without any mark. As can be seen through the graph of Figure 9, using a guide roller without any mark is a unknown section that the user can not know how much wear occurs on the surface of the guide roller from the wear start period to the end of life and failure.

반면, 도 9의 실시예는 표식이 형성된 가이드롤러를 이용한 기판이송장치에 대한 사용시간 대비 표면 마모도를 나타낸다. 도 9의 실시예의 그래프를 통해 알 수 있듯이, 표식이 형성된 가이드롤러를 사용하면 마모시작구간부터 수명도달 및 파손까지 가이드롤러의 표면에 마모가 어느 정도로 일어나는지 사용자가 알 수 있는 인지 구간이 된다.On the other hand, the embodiment of Figure 9 shows the surface wear versus use time for the substrate transfer device using the guide roller formed on the mark. As can be seen through the graph of the embodiment of Figure 9, using the guide roller formed with the mark is a user can know how much wear occurs on the surface of the guide roller from the wear start section to the end of life and failure.

즉, 비교예는 가이드롤러에 아무런 표식이 없기 때문에 직접적인 인지가 불가능한 어려움이 있는 반면, 실시예는 가이드롤러에 표식이 있기 때문에 직접적인 인지가 가능한 이점이 있다.That is, the comparative example has a difficulty that can not be directly recognized because there is no mark on the guide roller, while the embodiment has an advantage that can be directly recognized because there is a mark on the guide roller.

이상 본 발명은 기판과 가이드롤러의 접촉 현황에 대해 사전 감지를 하여 정량화된 적정 사용 기준 값의 제시가 가능하고, 실제 양산 설비라인에서 가이드롤러의 마모 정도에 따른 교체시기를 명확하게 제시하며, 가이드롤러의 수명 사전 예측을 통해 생산 가동률과 수율을 향상(기판 파손 저감)시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는 효과가 있다.The present invention is capable of presenting a quantified proper use reference value by pre-sensing the contact status between the substrate and the guide roller, and clearly showing the replacement time according to the degree of wear of the guide roller in the actual mass production line. It is effective to provide a substrate transfer device capable of improving production operation rate and yield (substrate breakage) through the life prediction of the roller.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood that the invention may be practiced. It is therefore to be understood that the embodiments described above are to be considered in all respects only as illustrative and not restrictive. In addition, the scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the detailed description. Also, all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included within the scope of the present invention.

120: 다수의 회전축 130: 다수의 회전롤러
140: 다수의 가이드축 150: 다수의 가이드롤러
GLS: 기판 151: 관통공
151: 관통공 153: 내륜
155: 외륜 H: 홈
157: 안내부120: a plurality of rotating shaft 130: a plurality of rotating roller
140: multiple guide shaft 150: multiple guide roller
GLS: Substrate 151: Through Hole
151: through hole 153: inner ring
155: paddle H: home
157: guide

Claims (10)

구동부의 회전 방향에 따라 회전하도록 제1방향으로 설치된 다수의 회전축;
상기 다수의 회전축에 설치되며 기판을 이송하도록 회전하는 다수의 회전롤러;
상기 다수의 회전축과 수직 하는 제2방향으로 설치된 다수의 가이드축; 및
상기 기판의 측면과 접촉하여 회전하도록 상기 다수의 가이드축에 설치된 다수의 가이드롤러를 포함하되,
상기 다수의 가이드롤러 중 N개(N은 1 이상 정수)는 외륜에 상기 제2방향으로 형성된 홈을 갖는 기판이송장치.A plurality of rotation shafts installed in the first direction to rotate in the rotation direction of the drive unit;
A plurality of rotating rollers installed on the plurality of rotating shafts and rotating to transport the substrate;
A plurality of guide shafts installed in a second direction perpendicular to the plurality of rotation shafts; And
It includes a plurality of guide rollers installed on the plurality of guide shafts to rotate in contact with the side of the substrate,
N of the plurality of guide rollers (N is an integer of 1 or more) has a groove formed in the outer ring in the second direction. 제1항에 있어서,
상기 홈은
상기 다수의 가이드롤러와 상기 기판과의 접촉상태, 직진도 및 표면 마모도에 따른 수명 평가 기준으로 사용되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method of claim 1,
The groove
Substrate transfer apparatus, characterized in that used as a life evaluation criteria according to the contact state of the plurality of guide rollers and the substrate, straightness and surface wear. 제1항에 있어서,
상기 홈은
상기 다수의 가이드롤러의 외륜의 길이에 대응하여 직선으로 컷팅된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method of claim 1,
The groove
Substrate transfer apparatus, characterized in that cut in a straight line corresponding to the length of the outer ring of the plurality of guide rollers. 제1항에 있어서,
상기 홈의 형상은
상기 다수의 가이드롤러의 외륜의 길이에 대응하여 상기 다수의 가이드롤러의 외륜의 외주면이 제거된 직사각형 모양을 포함하는 기판이송장치.The method of claim 1,
The shape of the groove
And a rectangular shape in which the outer circumferential surface of the outer ring of the plurality of guide rollers is removed corresponding to the length of the outer ring of the plurality of guide rollers. 제1항에 있어서,
상기 다수의 가이드롤러의 평면에는 상기 홈의 위치를 사용자에게 안내하는 안내부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method of claim 1,
Substrate transport apparatus, characterized in that the guide portion for guiding the position of the groove to the user is formed on the plane of the plurality of guide rollers. 제1항에 있어서,
상기 다수의 회전축은
상기 다수의 가이드축과 인접하는 영역의 높이가 그 반대 영역의 높이보다 상대적으로 낮은 경사를 이루도록 기울기를 갖고 설치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method of claim 1,
The plurality of rotation axis
And an inclination such that heights of regions adjacent to the plurality of guide shafts are inclined relatively lower than heights of the opposite regions. 제1항에 있어서,
상기 홈이 형성된 가이드롤러는
K개(K는 1 이상 정수)의 가이드축마다 설치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method of claim 1,
The grooved guide roller is formed
A substrate transfer apparatus characterized by being provided for each of K guide shafts (K is an integer of 1 or more). 제1항에 있어서,
상기 홈의 폭과 깊이는
상기 다수의 가이드롤러를 구성하는 외륜의 둘레와 깊이에 대응하여 가변되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method of claim 1,
The width and depth of the groove
Substrate transport apparatus, characterized in that the variable corresponding to the circumference and depth of the outer ring constituting the plurality of guide rollers. 제1항에 있어서,
상기 다수의 가이드롤러는
상기 홈의 외측 폭이 내측 폭보다 좁은 삼각형 모양을 갖는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method of claim 1,
The plurality of guide rollers
Substrate transport apparatus, characterized in that the outer width of the groove has a triangular shape narrower than the inner width. 제1항에 있어서,
상기 다수의 가이드롤러는
상기 홈의 외측 폭이 내측 폭보다 넓은 브이(v)형 모양을 갖는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method of claim 1,
The plurality of guide rollers
Substrate transfer apparatus, characterized in that the outer width of the groove has a v-shaped shape larger than the inner width.
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