KR101418359B1 - Apparatus for Detecting Abrasion of a Guide Roller - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가이드 롤러의 마모 감지장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 가이드 롤러의 마모 감지장치는 기판 이송장치에서 이송되는 기판의 측면을 지지하는 가이드 롤러의 마모를 감지하기 위한 것으로서, 기판이 이송되는 경로의 측면에 배치되고, 기판이 이송되는 방향으로 회동가능하도록 배치되는 회동부; 회동부의 끝단에 결합되고, 기판의 측면에 접촉하여 기판의 이동에 따라서 회전하는 회동부 롤러; 회동부에서 회동부 롤러가 결합된 반대의 끝단에 탑재되는 자성체; 및 일정한 위치에 고정되고, 자성체의 위치 변화에 따라서 자성체로부터의 자력 크기 변화를 검출하는 마그네틱 센서;를 구비한다.The present invention relates to a wear sensor of a guide roller. The apparatus for detecting abrasion of a guide roller according to the present invention is for detecting abrasion of a guide roller for supporting a side surface of a substrate conveyed in a substrate conveying apparatus and is disposed on a side surface of a path through which the substrate is conveyed, A turning part arranged to be rotatable; A pivotal roller coupled to an end of the pivotal portion and contacting the side surface of the substrate and rotating as the substrate moves; A magnetic body mounted on an opposite end of the pivot portion where the pivot roller is engaged; And a magnetic sensor that is fixed at a predetermined position and detects a magnitude variation of magnetic force from the magnetic body in accordance with a change in the position of the magnetic body.

Description

가이드 롤러의 마모 감지장치{Apparatus for Detecting Abrasion of a Guide Roller}[0001] Apparatus for Detecting Abrasion of a Guide Roller [

본 발명은 가이드 롤러의 마모 감지장치에 관한 것으로, 특히 가이드 롤러의 베어링이 마모된 정도를 감지하기 위한 것이다.
The present invention relates to a wear sensor of a guide roller, and more particularly to a wear sensor of a guide roller.

기판 이송장치는 평판 디스플레이장치 또는 반도체 웨이퍼 등 반도체 공정을 통해서 제작되는 기판을 이송하는 것으로, 각각의 공정장치 내에서 또는 각 공정 장치 간을 이동하는 과정에 이용된다. 기판 이송장치는 복수 개의 이송축이 모터에 의해서 구동됨으로써, 이송축의 이송롤러에 안착하는 기판을 이송한다.The substrate transfer apparatus transfers a substrate, which is manufactured through a semiconductor process such as a flat panel display device or a semiconductor wafer, and is used in a process of moving within each process apparatus or between process apparatuses. In the substrate transfer apparatus, a plurality of transfer shafts are driven by a motor to transfer a substrate that is seated on a transfer roller of the transfer shaft.

이때, 기판이 이송되는 경로에는 기판의 측면에서 기판을 정렬시키면서 안전하게 이송하기 위한 가이드 롤러가 배치된다. At this time, a guide roller for safely transporting the substrate while aligning the substrate is disposed on the side of the substrate.

즉, 도 1의 (a)에서와 같이, 가이드 롤러(6)는 기판(s)의 측면을 베어링(8)의 측면이 맞닿은 상태에서 지지하여 기판(s)의 흔들림을 방지한다. 이때, 베어링(8)의 측면은 기판(s)과 지속적인 마찰로 인해서 시간이 지날수록 도 1의 (b)에서와 같이 마모되기 마련이다. 베어링(8)의 마모가 심해지면 기판(s)과 맞물리는 영역에서 공차(d)가 발생하고 이에 따라서 기판(s)을 확실하게 지지하지 못하여 기판(s)이 흔들린다. 이동하는 과정에서 기판(s)이 흔들리면 기판(s)의 파손이 발생하여 불량이 나타난다. 1 (a), the guide roller 6 supports the side surface of the substrate s in a state in which the side surfaces of the bearing 8 are in contact with each other, thereby preventing the substrate s from being shaken. At this time, the side surface of the bearing 8 is worn as in (b) of FIG. 1 as time goes by due to continuous friction with the substrate (s). When the abrasion of the bearing 8 becomes severe, the tolerance d is generated in the region where the substrate s is engaged with the substrate s. Accordingly, the substrate s can not be reliably supported and the substrate s is shaken. If the substrate s is shaken in the process of moving, the substrate s is broken and a defect appears.

따라서, 가이드 롤러(6)의 베어링(8)이 일정 정도 마모되면 이를 교체하여야 하는데, 이때 교체의 여부는 작업자가 육안으로 검사하는 방법이 이용된다. Therefore, if the bearing 8 of the guide roller 6 is worn to a certain extent, it must be replaced. At this time, a method of inspecting the operator with the naked eye is used.

즉, 작업자는 이송장치의 운행을 중단한 상태에서 일일이 육안으로 가이드 롤러(6)들을 검사하여야 하기 때문에 시간이 많이 들고 번거로울 뿐만 아니라, 장비의 운행 중단으로 인해서 공정의 효율이 저하되는 문제점이 있다.
In other words, since the operator must inspect the guide rollers 6 visually in a state where the operation of the conveying device is stopped, it is time-consuming and cumbersome, and the efficiency of the process is lowered due to the interruption of the operation of the equipment.

따라서, 본 발명은 상기 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 가이드 롤러의 마모 정도를 손쉽게 파악할 수 있는 가이드 롤러의 마모 감지장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a wear detection apparatus for a guide roller which can easily grasp the degree of wear of a guide roller.

또한 본 발명은 가이드 롤러의 마모 정도를 작업자의 육안에 의지하지 않고, 더 정확히 판단할 수 있는 가이드 롤러의 마모 감지장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a wear detection apparatus for a guide roller which can judge the degree of wear of a guide roller more accurately without resorting to the naked eye of a worker.

그리고, 본 발명은 공정을 중단시키지 않으면서 가이드 롤러의 마모를 확인할 수 있는 마모 감지장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
It is another object of the present invention to provide a wear detection apparatus capable of confirming wear of a guide roller without interrupting the process.

상기한 문제점을 해결하기 위해서, 본 발명에 의한 가이드 롤러의 마모 감지장치는 기판 이송장치에서 이송되는 기판의 측면을 지지하는 가이드 롤러의 마모를 감지하기 위한 것으로서, 기판이 이송되는 경로의 측면에 배치되고, 기판이 이송되는 방향으로 회동가능하도록 배치되는 회동부; 회동부의 끝단에 결합되고, 기판의 측면에 접촉하여 기판의 이동에 따라서 회전하는 롤러; 회동부에서 롤러가 결합된 반대의 끝단에 탑재되는 자성체; 및 일정한 위치에 고정되고, 자성체의 위치 변화에 따라서 자성체로부터의 자력 크기 변화를 검출하는 마그네틱 센서;를 구비한다.In order to solve the above-mentioned problems, the apparatus for detecting abrasion of a guide roller according to the present invention detects abrasion of a guide roller for supporting a side surface of a substrate conveyed in the substrate conveying apparatus, A turning part arranged so as to be rotatable in a direction in which the substrate is fed; A roller coupled to an end of the pivotal portion and contacting the side surface of the substrate and rotating as the substrate moves; A magnetic body mounted on an opposite end to which the roller is engaged in the turning portion; And a magnetic sensor that is fixed at a predetermined position and detects a magnitude variation of magnetic force from the magnetic body in accordance with a change in the position of the magnetic body.

마그네틱 센서는 일정한 전류가 인가될 때에, 자성체와의 간격 변화에 따라서 출력 전압이 변화하는 홀센서를 이용할 수 있다.The magnetic sensor can use a hall sensor in which the output voltage changes in accordance with a change in the gap with the magnetic body when a constant current is applied.

회동부는 기판의 측면에서 수직으로 정렬되는 바디부; 및 바디부에서 기판이 이동하는 방향으로 굴곡진 롤러홀더;를 포함할 수 있다.Wherein the pivot portion includes a body portion vertically aligned on a side surface of the substrate; And a roller holder curved in a direction in which the substrate moves in the body portion.

그리고, 마그네틱 센서는 회동부와 분리되어서, 바디부의 끝단이 회동할 수 있도록 오목한 형태의 센서 홀더에 탑재될 수 있다.The magnetic sensor can be mounted on the sensor holder in a concave shape so that the end of the body part can be rotated, separated from the rotation part.

본 발명에 의한 마모 감지장치는 마그네틱 센서의 출력 전압값을 바탕으로 가이드 롤러의 베어링이 마모된 정도를 산출하는 제어부;를 더 구비한다.
The wear detection apparatus according to the present invention further includes a control unit for calculating a wear degree of the bearing of the guide roller based on the output voltage value of the magnetic sensor.

본 발명에 따른 가이드 롤러의 마모 감지장치는 가이드 롤러의 마모 정도를 관리자가 수작업으로 하는 것을 대체하기 때문에 시간이 절약되며, 더 정확히 가이드 롤러의 마모량을 파악할 수 있다. The wear sensor of the guide roller according to the present invention replaces the degree of wear of the guide roller manually by the manager, which saves time and more accurately grasp the wear amount of the guide roller.

또한, 본 발명에 따른 가이드 롤러의 마모 감지장치는 이송장치의 운행을 중단하지 않은 상태에서도 지속적으로 가이드 롤러의 마모량을 산출할 수 있어서, 공정의 효율성을 높일 수 있다.
In addition, the abrasion detecting device of the guide roller according to the present invention can continuously calculate the abrasion amount of the guide roller even when the operation of the conveying device is not interrupted, thereby improving the efficiency of the process.

도 1의 (a) 및 (b)는 가이드 롤러의 마모에 따른 문제점을 나타내는 도면.
도 2는 가이드 롤러의 마모 감지장치가 기판 이송장치에 결합 된 것을 나타내는 도면.
도 3은 본 발명에 의한 가이드 롤러의 마모 감지장치를 나타내는 사시도.
도 4 및 도 5는 각각 가이드 롤러의 마모 감지장치의 정면도 및 측면도.
도 6은 가이드 롤러의 마모 감지장치의 동작을 나타내는 도면.1 (a) and 1 (b) are views showing problems caused by wear of a guide roller.
2 is a view showing that the wear detection device of the guide roller is coupled to the substrate transfer device;
3 is a perspective view showing a wear sensor of the guide roller according to the present invention.
4 and 5 are a front view and a side view, respectively, of a wear sensor of the guide roller.
6 is a view showing the operation of the wear sensor of the guide roller.

이하 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시 예들을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 부호가 사용되며, 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention in which the above object can be specifically realized will be described with reference to the accompanying drawings. In the description of the embodiments, the same names and symbols are used for the same components, and further description thereof will be omitted.

도 2는 본 발명에 의한 마모 감지장치가 이송기판에 결합 된 상태를 나타내는 것을 나타내는 도면이다. 2 is a view showing a state in which a wear detection device according to the present invention is coupled to a transfer substrate.

기판 이송장치(10)는 이송축(2) 및 가이드 롤러(6)를 포함한다. 이송축(2)은 구동축(미도시)의 회전에 따라서 일정한 방향으로 회전함으로써 기판(S)을 이송한다. 이송축(2)은 기판(S)의 파손을 방지하기 위한 수지계열의 이송롤러(4)가 결합된다. The substrate transfer apparatus 10 includes a transfer shaft 2 and a guide roller 6. The transfer shaft 2 transfers the substrate S by rotating in a predetermined direction in accordance with the rotation of the drive shaft (not shown). The transfer shaft 2 is coupled with a resin-based transfer roller 4 for preventing breakage of the substrate S.

가이드 롤러(6)는 기판(S)의 양 측면에 접촉하여 기판(S)이 흔들리거나 이송 경로를 이탈하는 것을 방지하도록, 기판(S)의 이동경로를 안내한다. The guide rollers 6 guide the movement path of the substrate S in contact with both sides of the substrate S to prevent the substrate S from shaking or deviating from the conveyance path.

본 발명에 의한 가이드 롤러의 마모 감지장치(100)는 기판의 이송장치에서 이동하는 기판(S)의 측면을 지지하는 가이드 롤러(6)가 마모되는 정도를 감지하기 위한 것이다. The apparatus for detecting abrasion of a guide roller 100 according to the present invention is for detecting a degree of wear of a guide roller 6 supporting a side surface of a substrate S moving in a transfer device of a substrate.

도 2 내지 도 5를 참조하여, 마모 감지장치(100)를 자세히 살펴보면 다음과 같다. 이때, 도 3은 본 발명에 의한 가이드 롤러의 마모 감지장치(100)를 나타내는 사시도이다. 그리고, 도 4는 도 2에 도시된 마모 감지장치를 A방향에서 바라본 정면도이고, 5는 B방향에서 바라본 측면도이다. 2 to 5, the abrasion detecting apparatus 100 will be described in detail as follows. 3 is a perspective view showing a wear sensor 100 of the guide roller according to the present invention. 4 is a front view of the abrasion sensing apparatus shown in FIG. 2 viewed from the direction A, and FIG. 5 is a side view of the wear sensing apparatus viewed from the B direction.

마모 감지장치(100)는 자성체(142)를 포함하는 회동부(110), 회동부(110)의 일단에 결합되는 회동부 롤러(122) 및 회동부(110)의 진자운동을 감지하는 마그네틱 센서(132)를 구비한다. The abrasion detecting apparatus 100 includes a rotary part 110 including a magnetic body 142, a rotary part roller 122 coupled to one end of the rotary part 110, and a magnetic sensor (132).

회동부(110)는 회전축(124)을 통해서 기판 이송장치(10)에 회전가능하도록 결합된다. 이때 회동부(110)는 이송되는 기판(S)의 측면 근처에 위치하며, 좀 더 자세히는 회동부(110)의 끝단에 결합되는 회동부 롤러(122)가 기판(S)의 측면에 접하는 위치에서 기판 이송장치(10)와 결합된다. The rotary part 110 is rotatably coupled to the substrate transfer device 10 via a rotary shaft 124. At this time, the rotary part 110 is located near the side of the substrate S to be conveyed. More specifically, the rotary part roller 122, which is coupled to the end of the rotary part 110, To the substrate transfer apparatus 10.

그리고, 회동부(110)는 회전축(124)을 중심으로 굴곡진 형태를 갖는다. 즉, 회동부(110)는 기판(S)의 측면에 수직으로 배치되는 바디부(112) 및 기판 이송 방향으로 굴곡진 롤러홀더(114)를 포함하는 형태로 이루어질 수 있다. 이러한 바디부(112) 및 롤러홀더(114)는 회전축(124)을 중심으로 서로 일정한 각도를 유지하도록 형성되며, 이를 위해서 바디부(112) 및 롤러홀더(114)는 일체형의 프레임으로 제작될 수도 있다. 따라서, 회전축(124)을 중심으로 회동부(110)가 회동할 때에는 바디부(112) 및 롤러홀더(114)가 동일한 각도만큼 회동한다.The rotary part 110 has a curved shape centering on the rotary shaft 124. That is, the pivoting part 110 may be configured to include a body part 112 vertically disposed on the side surface of the substrate S and a roller holder 114 curved in the substrate transfer direction. The body part 112 and the roller holder 114 are formed to maintain a constant angle with respect to the rotation axis 124. For this purpose, the body part 112 and the roller holder 114 may be formed as an integral frame have. Therefore, when the rotary part 110 rotates about the rotary shaft 124, the body part 112 and the roller holder 114 rotate by the same angle.

회동부 롤러(122)는 회동부(110)의 롤러홀더(114)와 회전가능하도록 결합되며, 이송되는 기판(S)의 측면에 접촉한다. The rotary roller 122 is rotatably engaged with the roller holder 114 of the rotary part 110 and contacts the side surface of the substrate S to be conveyed.

그리고, 바디부(112)의 끝단에는 자성체(142)가 내장된다. 즉, 자성체(142)는 회동부(110)에서 기판(S)이 이동하는 반대방향에 위치한다. At the end of the body part 112, a magnetic substance 142 is embedded. That is, the magnetic substance 142 is positioned in the opposite direction to the movement of the substrate S in the rotation unit 110. [

마그네틱 센서(132)는 자성체(142)가 위치하는 영역인 바디부(112)의 끝단에 인접한 곳에서 센서홀더(130)에 탑재된 상태로 형성된다. The magnetic sensor 132 is formed in a state of being mounted on the sensor holder 130 at a position adjacent to the end of the body part 112 where the magnetic substance 142 is located.

센서홀더(130)는 회동부(110)와는 분리되는 구조물로서, 회동부(110)의 끝단에 인접한 상태에서 이송장치(10)에 결합 될 수 있다. 그리고, 센서홀더(130)는 도 5에서와 같이 회동부(110)의 바디부(112) 끝단이 진자운동을 할 수 있는 경로를 제공하도록 측면이 오목형태로 형성될 수 있다. The sensor holder 130 is separate from the rotary part 110 and can be coupled to the transfer device 10 while being adjacent to the end of the rotary part 110. [ As shown in FIG. 5, the sensor holder 130 may be formed in a concave shape so as to provide a path through which the end of the body part 112 of the rotary part 110 can perform the pendulum motion.

이러한 본 발명에 의한 가이드 롤러 마모 감지장치를 이용하여 가이드 롤러의 마모 정도를 감지하는 것을 도 6을 참조하여 살펴보면 다음과 같다. The detection of the degree of wear of the guide roller using the guide roller wear detection apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.

최초 기판(S)의 측면이 진행하는 방향인 이동 경로가 "ℓ0" 라고 하면, 최초 직경이 "G0"의 크기를 갖는 가이드 롤러(6)의 베어링은 "ℓ0"의 경로에 정렬되어, 이동하는 기판(S)의 측면을 지지한다. If the moving path that is the direction in which the side surface of the initial substrate S advances is "t0 ", the bearing of the guide roller 6 whose initial diameter is" G0 " is aligned with the path of " Thereby supporting the side surface of the substrate S.

그리고, 마모 감지장치(100)의 회동부 롤러(122)는 가이드 롤러(6)의 베어링의 끝단과 마찬가지로 기판(S)의 측면에 접하는 위치인 최초 이동 경로 "ℓ0"에 정렬된다. The rotation roller 122 of the wear detection device 100 is aligned with the initial movement path "t0" at a position tangent to the side surface of the substrate S, similar to the end of the bearing of the guide roller 6. [

기판 이송 과정을 반복함에 따라서 가이드 롤러(6) 베어링의 측면은 마모가 되어서, 베어링은 직경이 "G1"으로 작아진다. 이처럼 기판(S)의 측면을 지지하는 가이드 롤러(6)의 베어링이 작아지면, 기판(S)이 이송되는 과정에서 좌/우로 흔들릴 수 있는 공간이 발생한다. 즉, 도면에서와 같이, 기판의 이동경로도 기판(S)의 측면이 "ℓ1" 까지 확장된다. As the substrate transferring process is repeated, the side surface of the bearing of the guide roller 6 is worn out, and the diameter of the bearing becomes small as "G1 ". When the bearing of the guide roller 6 that supports the side surface of the substrate S is small, a space that can be shaken to the left and right occurs in the process of transferring the substrate S. That is, as shown in the drawing, the movement path of the substrate also extends to the side surface of the substrate S to "tl ".

이처럼 기판(S)이 최초 이동경로(ℓ0)에서 벗어난 "ℓ1"을 따라서 이동하면, 기판(S)의 측면에 접하는 감지장치()의 회동부 롤러(122) 위치 역시 "R0"에서 "R1"으로 이동된다. When the substrate S moves along "l1" out of the initial movement path l0, the position of the rotation roller 122 of the sensing device tangent to the side surface of the substrate S also changes from & .

그리고, 회동부 롤러(122)의 위치가 이동함에 따라서, 회동부 롤러(122)를 지지하는 회동부(110)는 회전축(124)을 중심으로 회동한다. 즉, 바디부(112)는 "B0"의 위치에서 "B1"의 위치로 회동한다. As the position of the rotation roller 122 moves, the rotation unit 110 supporting the rotation roller 122 rotates about the rotation axis 124. [ That is, the body portion 112 rotates to the position of "B1" at the position of "B0".

이에 따라서 바디부(112)의 끝단에 탑재되는 자성체(142)는 센서홀더(130)에 내장된 마그네틱 센서(132)와의 간격이 변화된다. The distance between the magnetic body 142 mounted on the end of the body part 112 and the magnetic sensor 132 incorporated in the sensor holder 130 is changed.

마그네틱 센서(132)는 자성체(142)와의 간격에 따라서 변화하는 출력전압을 제어부(150)로 전송하고, 제어부(150)는 마그네틱 센서(132)의 출력변화를 바탕으로 가이드 롤러(6) 베어링의 마모 정도를 판단한다. The magnetic sensor 132 transmits an output voltage varying in accordance with the interval to the magnetic body 142 to the controller 150. The controller 150 controls the output of the magnetic sensor 132 based on the output change of the magnetic sensor 132, Determine the degree of wear.

제어부(150)가 가이드 롤러(6)의 마모 정도를 판단하는 방법은 가이드 롤러(6)의 마모에 따라서 자성체(142)를 탑재한 바디부(112)가 회동하는 정도를 기초로 추정한다. 이때, 가이드 롤러(6)의 마모에 따라서 바디부(112)가 회동하는 정도는 구조물의 설계에 따라서 결정된다. 예컨대, 회동부 롤러(122)가 일정량 이동하였을 때에 대응하는 바디부(112)의 회동 거리는 바디부(112)와 롤러홀더(114) 간의 각도 및 바디부(112)의 길이 등에 따라서 결정된다. The method by which the controller 150 determines the degree of wear of the guide roller 6 estimates based on the degree of rotation of the body portion 112 on which the magnetic substance 142 is mounted in accordance with the wear of the guide roller 6. At this time, the extent to which the body portion 112 rotates according to the wear of the guide roller 6 is determined according to the design of the structure. For example, the rotation distance of the corresponding body part 112 when the rotation part roller 122 moves a certain amount is determined according to the angle between the body part 112 and the roller holder 114, the length of the body part 112, and the like.

제어부(150)는 이와 같이 회동부 롤러(122)의 이동에 따라서 회동부(110)의 회동거리를 데이터베이스로 저장하고, 마그네틱 센서(132)의 출력변화로 산출되는 회동부(110)의 회동거리에 따라서 회동부 롤러(122)의 이동량을 파악할 수 있다. 결국, 제어부(150)는 회동부 롤러(122)의 이동량에 영향을 준 가이드 롤러(6)가 마모된 정도를 산출할 수 있다. The control unit 150 stores the rotation distance of the rotation unit 110 in the database in accordance with the movement of the rotation unit roller 122 and calculates the rotation distance of the rotation unit 110 calculated by the output change of the magnetic sensor 132, The movement amount of the rotation roller 122 can be grasped. As a result, the control unit 150 can calculate the extent to which the guide roller 6, which influences the movement amount of the rotation roller 122, is worn.

제어부(150)는 이와 같은 방법으로 가이드 롤러(6)의 마모 정도를 산출하고, 가이드 롤러(6) 베어링의 마모량이 일정한 임계치를 벗어날 경우에 알림 신호를 생성할 수 있다. The control unit 150 calculates the degree of wear of the guide roller 6 in this manner and generates a notification signal when the amount of wear of the guide roller 6 exceeds a predetermined threshold value.

이와 같이, 본 발명에 의한 마모 감지장치는 가이드 롤러(6)의 베어링이 마모 정도를 자동으로 판단하며, 가이드 롤러(6)의 베어링이 마모된 양이 일정한 정도를 넘어설 경우에는 바로 알림 신호를 생성할 수 있다. 따라서 작업자는 지속적인 모니터링을 하지 않더라도 가이드 롤러(6)가 어느 정도 마모된 지 여부를 손쉽게 판단하고, 이에 대응하여 신속한 조치를 취할 수 있다.As described above, the abrasion detecting apparatus of the present invention automatically determines the degree of wear of the bearings of the guide rollers 6, and when the amount of wear of the bearings of the guide rollers 6 exceeds a certain level, Can be generated. Therefore, even if the operator does not monitor continuously, the operator can easily judge to what extent the guide roller 6 is worn, and can quickly take measures in response to this.

위에서 몇몇의 실시예가 예시적으로 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 따라서, 상술한 실시 예는 제한적인 것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시 예는 본 발명의 범주 내에 포함된다.
It is to be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in many other forms without departing from the spirit and scope of the invention, Accordingly, the above-described embodiments are to be considered illustrative and not restrictive, and all embodiments falling within the scope of the appended claims and their equivalents are intended to be included within the scope of the present invention.

100 : 마모 감지장치 110 : 회동부
112 : 바디부 114 : 롤러홀더
122 : 회동부 롤러 124 : 회전축
130 : 센서홀더 132 : 마그네틱 센서
142 : 자성체 150 : 제어부100: abrasion detecting device 110:
112: Body part 114: Roller holder
122: Rotation roller 124:
130: Sensor holder 132: Magnetic sensor
142: Magnetic body 150:

Claims (5)

기판 이송장치에서 이송되는 기판의 측면을 지지하여 상기 기판이 이송 경로를 이탈하는 것을 방지하는 가이드 롤러의 마모를 감지하기 위한 것으로서,
상기 기판의 측면에 접촉하는 회동부 롤러;
자성체;
상기 회동부 롤러와 자성체가 양단에 각각 배치되며, 상기 기판이 상기 이송 경로를 이탈하면서 상기 회동부 롤러에 가하는 압력에 의해 회동하는 회동부;
일정한 위치에 상기 자성체로부터 이격되어 고정되며, 상기 회동부의 회동에 따른 자력의 세기를 검출하는 마그네틱 센서; 및
상기 마그네틱 센서의 출력을 바탕으로 상기 회동부의 회동거리를 산출하고, 상기 산출된 회동거리에 따른 상기 회동부 롤러의 이동량을 산출함으로써, 상기 가이드 롤러의 베어링이 마모된 정도를 산출하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 가이드 롤러의 마모 감지장치.
The present invention relates to a method of detecting abrasion of a guide roller that supports a side surface of a substrate transferred from a substrate transfer device to prevent the substrate from deviating from a transfer path,
A roller portion contacting the side surface of the substrate;
Magnetic body;
A rotation unit disposed at both ends of the rotation part roller and the magnetic body and rotated by a pressure applied to the rotation part roller while the substrate is separated from the conveyance path;
A magnetic sensor fixed at a predetermined position spaced apart from the magnetic body and detecting an intensity of a magnetic force due to the rotation of the rotor; And
A controller for calculating a rotation distance of the rotary part on the basis of the output of the magnetic sensor and calculating a degree of wear of the bearing of the guide roller by calculating a movement amount of the rotary part roller according to the calculated rotation distance Wherein the guide roller is provided with an abrasion detecting unit for detecting abrasion of the guide roller.
제 1 항에 있어서,
상기 마그네틱 센서는 일정한 전류가 인가될 때에, 상기 자성체와의 간격 변화에 따라서 출력 전압이 변화하는 홀센서인 것을 특징으로 하는 가이드 롤러의 마모 감지장치.
The method according to claim 1,
Wherein the magnetic sensor is a Hall sensor in which an output voltage changes according to a change in interval with the magnetic body when a constant current is applied.
제 1 항에 있어서,
상기 회동부는
상기 기판의 측면에서 수직으로 정렬되는 바디부; 및
상기 바디부에서 상기 기판이 이동하는 방향으로 굴곡진 롤러홀더;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 롤러의 마모 감지장치.
The method according to claim 1,
The pivoting portion
A body portion vertically aligned on a side surface of the substrate; And
And a roller holder curved in a direction in which the substrate moves in the body part.
제 3 항에 있어서,
상기 마그네틱 센서는 상기 회동부와 분리되어서, 상기 바디부의 끝단이 회동할 수 있도록 오목한 형태의 센서 홀더에 탑재되는 것을 특징으로 하는 가이드 롤러의 마모 감지장치.
The method of claim 3,
Wherein the magnetic sensor is mounted on a sensor holder having a concave shape so that the end of the body part is separated from the rotation part.
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